FR1013995A - Dispositif électrique pour stéréomicroscopie électronique - Google Patents

Dispositif électrique pour stéréomicroscopie électronique

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1478—Beam tilting means, i.e. for stereoscopy or for beam channelling

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0001228A1 (fr) * 1977-09-26 1979-04-04 Siemens Aktiengesellschaft Perfectionnement à un dispositif de modulation en impulsions d'un faisceau d'électrons

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EP0001228A1 (fr) * 1977-09-26 1979-04-04 Siemens Aktiengesellschaft Perfectionnement à un dispositif de modulation en impulsions d'un faisceau d'électrons

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