FI88204B - Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet - Google Patents
Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet Download PDFInfo
- Publication number
- FI88204B FI88204B FI910401A FI910401A FI88204B FI 88204 B FI88204 B FI 88204B FI 910401 A FI910401 A FI 910401A FI 910401 A FI910401 A FI 910401A FI 88204 B FI88204 B FI 88204B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- detector
- image
- scattering
- light
- light source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Claims (5)
1. Anordning för mätning av formen pä ett objekts yta, tili vilken anordning hör en ljuskälla (1), vilken är anordnad att sända en ljuskägla mot 5 objektets yta; en första optisk anordning (2) för fo-kusering av ljuskäglan väsentligen tili punktform mot objektets yta; en lägeskänslig detektor (3) för detek-tering av den frän ytan spridda ljuskäglans bilds läge; en andra optisk anordning (4) för riktande av den 10 spridda ljuskäglan mot detektorn; en ram (5), varpä ljuskällan, de optiska anordningarna och detektorn är fästa; och en transportanordning (6), vilken är anordnad att förskjuta ramen i förhällande tili ytans olika mätpunkter sä, att ytan i var och en mätpunkt alltid är 15 i den av ljuskällan utsända ljuskäglans fokus och den spridda käglans bild är pä ett av detektorns bildomräde förutbestämt omräde, fördelaktigt i bildomrädets centrum, varvid ramens förskjutningar är direkt proportio-nella mot ytans form; och en databehandlingsanordning 20 (7) för registrering av ramens förskjutning för bestäm- ning av ytans form; och ljuskäglans optiska axel (8) och detekteringsriktningens optiska axel (9) i förhäl-lande tili varandra är i en vinkel, fördelaktigt en rät vinkel, kännetecknad därav, att tili den 25 lägeskänsliga detektorn (3) hör en första lägeskänslig detektor (31) och en andra lägeskänslig detektor (32), vilken är tvädimensionell; att tili anordningen hör en sträldelare (10) för uppdelning av den frän ytan spridda ljuskäglan tili en första kägla (11) tili den första 30 detektorn (31) och en andra kägla (12) tili den andra detektorn (32); en förstoringsoptik (13) för förstoring av den andra käglans bild och för bildande av den andra detektorns bildomräde tili en del av den första detektorns bildomräde bestämd av förstoringsoptikens försto-35 ring; att sträldelaren och förstoringsoptiken är fästa pä ramen (5); att den första detektorn (31) är anordnad säsom en grovlokalisering för riktande av den andra 10 88204 käglans (12) bild mot den andra detektorn (32) för bildomrädets samverkan med transportanordnlngen (6); och att databehandlingsanordningen (7) är anordnad att ur den andra detektorns (32) bildomräde bestämmä den 5 andra käglans (12) bilds läge, och pä grund härav genom kalkyleringar vldare precisera mätningens resultat noggrannare än det ur transportanordnlngen erhällna värdet.
2. Anordnlng enligt patentkrav 1, k ä n n e -10 tecknad därav, att den första detektorn (31) utgörs av en tvädimensionell lägeskänslig detektor.
3. Anordnlng enligt patentkrav 1 eller 2, kännetecknad därav, att tili transpor-tanordningen (6) hör en eller flera transportörer.
4. Anordnlng enligt n&got av patentkraven 1 - 3, kännetecknad därav, att ljuskällan (1) utgörs av en laser, säsom en haivledarlaser.
5. Anordnlng enligt n&got av patentkraven 1 - 4, kännetecknad därav, att sträldelaren 20 (10) utgörs av en halvgenomsläppande spegel, ett sträl- fördelningsprisma eller motsvarande, frän vilket en del av strälningen reflekteras och en del gär igenom.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI910401A FI88204C (sv) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Anordning för bestämning av ytformen av föremålet |
| FI920360A FI89746C (sv) | 1991-01-25 | 1992-01-27 | Anordning för bestämning av ytformen av föremålet |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI910401A FI88204C (sv) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Anordning för bestämning av ytformen av föremålet |
| FI910401 | 1991-01-25 |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI910401A0 FI910401A0 (fi) | 1991-01-25 |
| FI910401A FI910401A (fi) | 1992-07-26 |
| FI88204B true FI88204B (fi) | 1992-12-31 |
| FI88204C FI88204C (sv) | 1993-04-13 |
Family
ID=8531799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI910401A FI88204C (sv) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | Anordning för bestämning av ytformen av föremålet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FI (1) | FI88204C (sv) |
-
1991
- 1991-01-25 FI FI910401A patent/FI88204C/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI910401A (fi) | 1992-07-26 |
| FI88204C (sv) | 1993-04-13 |
| FI910401A0 (fi) | 1991-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7227647B2 (en) | Method for measuring surface properties and co-ordinate measuring device | |
| US4764016A (en) | Instrument for measuring the topography of a surface | |
| CN111220090A (zh) | 一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统及方法 | |
| JP2004504586A (ja) | 物体の幾何学的形状の無接触測定のための方法 | |
| US7283256B2 (en) | Method and apparatus for measuring wafer thickness | |
| CN211876977U (zh) | 一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统 | |
| Takushima et al. | On-machine multi-directional laser displacement sensor using scanning exposure method for high-precision measurement of metal-works | |
| US20160238380A1 (en) | Image measuring method and image measuring apparatus | |
| FI88204B (fi) | Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet | |
| Zeng et al. | Two-directional scanning method for reducing the shadow effects in laser triangulation | |
| KR20190084109A (ko) | 포커싱 및 레벨링 장치 | |
| JP2002511575A (ja) | 自動焦点調整原理による材料表面の点走査式輪郭決定のための方法及び座標測定器 | |
| JP3162364B2 (ja) | 光センサ装置 | |
| KR0131526B1 (ko) | 광학식 측정장치 및 그 측정방법 | |
| FI89746B (fi) | Anordning foer bestaemning av ytformen av foeremaolet | |
| JP2003161610A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JP2828145B2 (ja) | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 | |
| JPH0540821A (ja) | 三次元計測装置 | |
| JP3967058B2 (ja) | 板状のワークの表面形状と板厚の測定方法および測定装置 | |
| KR100314284B1 (ko) | 광학식 두께측정 방법과 장치 | |
| RU2153647C2 (ru) | Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции | |
| JPH06109435A (ja) | 表面変位計 | |
| US5796488A (en) | Optical target alignment and technique | |
| JPH0469508A (ja) | 非接触式形状測定装置及び形状測定法 | |
| JP2591143B2 (ja) | 三次元形状測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Owner name: VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS |
|
| MM | Patent lapsed |