FI74154C - Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon. - Google Patents

Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon. Download PDF

Info

Publication number
FI74154C
FI74154C FI852453A FI852453A FI74154C FI 74154 C FI74154 C FI 74154C FI 852453 A FI852453 A FI 852453A FI 852453 A FI852453 A FI 852453A FI 74154 C FI74154 C FI 74154C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
hologram
laser beam
sub
pixel
pixels
Prior art date
Application number
FI852453A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI74154B (fi
FI852453A0 (fi
FI852453L (fi
Inventor
Eero Byckling
Markus Kajanto
Original Assignee
Eero Byckling
Markus Kajanto
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Eero Byckling, Markus Kajanto filed Critical Eero Byckling
Priority to FI852453A priority Critical patent/FI74154C/fi
Publication of FI852453A0 publication Critical patent/FI852453A0/fi
Priority to PCT/FI1986/000065 priority patent/WO1986007640A1/en
Priority to US07/027,205 priority patent/US4925261A/en
Priority to DE19863690327 priority patent/DE3690327T1/de
Priority to GB8702310A priority patent/GB2188444B/en
Priority to JP61503581A priority patent/JPS63500897A/ja
Publication of FI852453L publication Critical patent/FI852453L/fi
Publication of FI74154B publication Critical patent/FI74154B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI74154C publication Critical patent/FI74154C/fi

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/12Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using the sheet-feed movement or the medium-advance or the drum-rotation movement as the slow scanning component, e.g. arrangements for the main-scanning
    • H04N1/126Arrangements for the main scanning
    • H04N1/1265Arrangements for the main scanning using a holographic scanning element
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/106Scanning systems having diffraction gratings as scanning elements, e.g. holographic scanners
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K15/00Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers
    • G06K15/02Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using printers
    • G06K15/12Arrangements for producing a permanent visual presentation of the output data, e.g. computer output printers using printers by photographic printing, e.g. by laser printers
    • G06K15/1285Holographic scanning
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/024Details of scanning heads ; Means for illuminating the original
    • H04N1/032Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction
    • H04N1/036Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction for optical reproduction
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/12Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using the sheet-feed movement or the medium-advance or the drum-rotation movement as the slow scanning component, e.g. arrangements for the main-scanning
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/32Holograms used as optical elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Description

741 54
P
Menetelmä lasersäteen pyyhkäisemiseksi ei-mekaanisten poikkeuttimien avulla Tämän keksinnön kohteena on menetelmä, jonka avulla lasersäteestä voidaan muodostaa suuri määrä samanlaisia kuvapisteitä peräkkäin suurella nopeudella. Menetelmässä lasersädettä poikkeutetaan ei-mekaanisilla lasersäteen poikkeuttimilla kahteen toisiaan vastaan kohtisuoraan suuntaan, ja poik-keutus muunnetaan yksiulotteiseksi sopivalla linsseistä, hologrammeista, peileistä ja prismoista muodostuvalla optiikalla.
Ennestään on tunnettu useita erilaisia lasersäteen yksiulotteisia pyyhkäisy-menetelmiä kuvapistejoukon muodostamiseksi. Näitä menetelmiä on sekä mekaanisia että ei-mekaanisia. Yhteenveto tärkeimmistä pyyhkäisymenetel-mistä on esitetty artikkelissa Leo Beiser "Laser Scanning and Recording: Developments and Trends", Laser Focus/Electro-Optics (February 1985).
Mekaanisissa pyyhkäisymenetelmissä lasersädettä poikkeutetaan liikkuvalla galvanometripeilillä tai pyörivällä pellitetyllä monitahokkaalla, ja säde fokusoidaan kuvapisteiksi sopivalla ennen poikkeutuselementtiä tai sen jälkeen olevalla linssioptiikalla tai hologrammeilla. On esitetty ja käytetty liikkuvia hologrammeja, joissa on itsessään fokusoiva vaikutus kuvapisteiden muodostamiseksi tai fokusointi tehdään samoin kuin yllä.
Εί-mekaanisissa pyyhkäisymenetelmissä sädettä poikkeutetaan akusto-op-tisilla tai elektro-optisilla lasersäteen poikkeuttimilla ja fokusointi tehdään kuten edellä. On myös esitetty menetelmä, jossa itse fokusointi tehdään -2- 74154 akusto-optisella poikkeuttimella (ns. chirp-poikkeutin, U.S. Pat. 3851951).
Mekaanisissa pyyhkäisymenetelmissä on haittapuolena vaativa rakenne ja huomattavasti kohoavat kustannukset, kun pyritään saavuttamaan suuruusluokkaa 10000 kuvapistettä, koska vaadittavien erittäin tarkkojen mekaanisten elementtien valmistuskustannukset kasvavat tällöin huomattaviksi, ja fokusoiva optiikka tulee monimutkaiseksi ja kalliiksi.
Ei-mekaanisissa pyyhkäisymenetelmissä on haittapuolena saavutettava suhteellisen pieni kuvapisteiden lukumäärä eli resoluutio (suuruusluokkaa 1000). Ns. chirp-poikkeuttimilla voidaan saavuttaa resoluutio, joka on suuruusluokkaa 10000, mutta tällaisen poikkeuttimen rakenne on paljon monimutkaisempi ja hintataso korkeampi, kuin mihin nyt esitettävällä keksinnöllä pyritään.
Ei-mekaaninen holografinen lasersäteen pyyhkäisymenetelmä on esitetty patentissa U.S. Pat. 4307929 (Eveieth). Tässä patentissa esitetyssä menetelmässä lasersädettä poikkeutetaan akusto-optisilla lasersäteen poikkeuttimilia kahteen toisiaan vastaan kohtisuoraan suuntaan, ja toista akusto-optista poik-keutinta ohjataan monimutkaisella signaalilla, joka aikaansaa usean akustisen aallon samanaikaisen läsnäolon akusto-optisessa poikkeuttimessa, sekä jokainen kuvapiste muodostetaan omalla erillisellä hologrammilla. Nyt esitettävä menetelmä poikkeaa oleellisesti Evelethin esittämästä sekä rakenteeltaan että toimitatavaltaan. Menetelmässämme muodostetaan yhdellä hilalla tai hologrammilla monta erillistä kuvapistettä ja akusto-optisten poikkeuttimien toiminta on yksinkertaisempaa. Menetelmä on siten yksinkertaisempi, koska erillisten hilojen ja hologrammien lukumäärä on pieni ja lisäksi ei-mekaanisilta poikkeut-timilta ei vaadita yhtä paljon resoluutiota kun halutaan piirtää suuri määrä kuvapisteitä.
Nyt esitettävälle menetelmälle on tunnusomaista se, että siinä ei käytetä mekaanisia osia, ja erityisesti hologrammit pysyvät paikallaan. Ennestään on tunnettu yllä esitetyn patentin lisäksi patentti U.S. Pat. 4 073566 (Noguchi), jossa käytetään paikallaan pysyviä hologrammeja. Tässä patentissa käytetään kuitenkin pyörivää pellitettyä monitahokasta lasersäteen poikkeuttamiseen, eli se sisältää mekaanisesti liikkuvia osia. Patenteissa U.S. Pat. 4455601 (Case) sekä U.S. Pat. 4106844 (Bryngdahl et. ai.) käytetään hologrammeja muodostamaan tietty kuvapistejoukko. Eri kuvapisteet saadaan aikaan hologrammeja liikuttamalla, toisin kuin nyt esitettävässä menetelmässä.
i.
-3- 74154
Osa keksinnöstä liittyy tapaan eliminoida kuvapisteen paikkavirhe. Monissa patenteissa on aikaisemmin selostettu kuvaviivan suuntaa vastaan kohtisuoran suuntaisen kuvapisteen paikan virheen eliminoimista, mutta nyt esitettävä menetelmä poikkeaa oleellisesti näistä. Ensinnäkin nyt esitettävä menetelmä on ei-mekaaninen, toisin kuin muissa patenteissa esitetyt menetelmät, joissa korjataan kuvapisteiden kuvaviivan suuntaa vastaan kohtisuoran suuntaista paikkavirhettä. Toiseksi, esitämme tässä menetelmän, jolla on se ominaisuus, että suunnassa, jossa virhe halutaan eliminoida, virhe saadaan eliminoitua tietyllä alueella kaikilla eri ei-mekaanisen poikkeuttimen poikkeutuskul-man arvoilla, kun taas muissa patenteissa säteen suuntaus tässä suunnassa halutaan pitää mahdollisimman vakiona.
Tunnetuissa patenteissa ja konstruktioissa ei ole esitetty suuren resoluution edullista ei-mekaanista laserpoikkeutinta. Rajoittavia tekijöitä ovat olleet ei-mekaanisen poikkeuttimen riittämätön resoluutio tai systeemin liian monimutkainen rakenne.
Nyt esitettävän menetelmän lähtökohtana on seuraava uusi idea. Tavallisissa lasersäteen pyyhkäisymenetelmissä suoritetaan säteelle samanaikaisesti kaksi eri operaatiota: erillisiä fokusoituja pisteitä muodostavien, keskenään tietyssä mielessä ortogonaalisten, sähkömagneettisten aaltojen (lasersäteiden) synnyttäminen peräkkäin, ja toisaalta näiden säteiden ohjaaminen haluttuihin suuntiin eli varsinainen poikkeutus. Jos nyt erotetaan nämä kaksi operaatiota tehtäviksi erillisillä komponenteilla, voidaan kumpikin alisysteemi tehdä juuri siihen tarkoitukseen parhaiten sopivaksi. Tällöin päästään samaan suorituskykyyn oleellisesti yksinkertaisemmilla komponenteilla. Erityisesti voidaan rakentaa suuren erotuskyvyn poikkeutin ilman mekaanisesti liikkuvia osia, mikä ei ole ollut tähän mennessä mahdollista.
Yleinen idea voidaan esittää myös niin, että ensin lasersäde koodataan erityisessä koodauselementissä sisältämään informaatio siitä, mikä N:stä orto-gonaalisesta aallosta kulloinkin on kyseessä. Toisella komponentilla sitten muunnetaan nämä N eri aaltoa N:ksi fokusoiduksi lasersädepisteeksi oikeissa paikoissa kuvajanalla. Sekä säteen koodaus että aaltojen muuntaminen fokusoiduiksi pisteiksi voidaan suorittaa monia erilaisia komponentteja käyttäen. Esimerkiksi koodaukseen soveltuvat ns. spacial light modulators. Aaltojen muuntaminen tapahtuu esimerkiksi hologrammien avulla.
Seuraavassa esitämme erään konstruktion, joka on edullinen nykyisen elektro-optisen komponenttiteknologian puitteissa. Koodauselementin _____.-1 -4- 74154 muodostaa kahdesta kohtisuorasta akusto-optisesta elementistä koostuva komponentti. Aaltojen muuntaminen tapahtuu hilayhdistelmän ja hologrammin muodostamassa alijärjestelmässä. Koko systeemissä siis sädettä muokataan akusto-optiseila poikkeuttimella toisessa suunnassa tietyllä tavalla ja tätä suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa toisella poikkeuttimella toisella tavalla siten, että yhteisvaikutuksena säde saadaan muokatuksi halutunlaiseksi. Näin muokattu säde kulkee konventionaalisten optisten elementtien ja hologrammien läpi. Eri kuvapisteet muodostava informaatio on talletettu hologrammei-hin, ja eri kuvapisteet saadaan esille sopivalla akusto-optisten elementtien ohjauksella. Hologrammit voidaan valmistaa esimerkiksi tietokonehologram-meina, jolloin voidaan periaatteessa saada aikaan mielivaltainen hologrammi, joka muuntaa annetun aaitorintaman halutunlaiseksi.
Vaatimukset lasersäteen kohdistustarkkuudeile ovat monissa sovellutuksissa erittäin suuret. Kuvapisteen paikan virhe saa usein olla vain murto-osa pisteen halkaisijasta. Menetelmässämme tarkkuus perustuu siihen, että koo-dauselementin (esimerkiksi akusto-optisten poikkeuttimien) pienet virheet eivät vaikuta kuvapisteen paikkaan. Eräs tapa aikaansaada tämä on se, että koo-dauseiementin apertuuri kuvataan sen jälkeen olevalla optiikalla kuvapinnalle kuvapisteeksi. Silloin ei tunnettujen optiikan lakien perusteella apertuurista lähtevien säteiden suunnan muuttaminen aiheuta kuvapisteen paikan siirtymistä. Koska joissakin konstruktioissa tällainen rakenne aiheuttaa sangen monimutkaisen optiikan, voidaan kyseinen kuvausominaisuus toteuttaa myös vain yhdessä sädettä vastaan kohtisuorassa suunnassa. Toisessa suunnassa virhe korjataan elektroniikalla.
Patenttivaatimusten tunnusmerkkiosan mukainen keksintö tarjoaa menetelmän, jossa ei-mekaanisia lasersäteen poikkeuttimia käyttäen saadaan aikaan edullinen,tarkka ja luotettava suuren resoluution laserpoikkeutin.
Seuraavassa keksintöä kuvataan yksityiskohtaisesti seuraaviin piirustuksiin viittaamalla
Kuva 1. Lasersäteen pyyhkäisymenetelmän eräs toteuttamistapa.
Kuva 2. Säteen kulku kuvan 1 systeemissä janan 10 tasossa.
Kuva 3. Säteen kulku kuvan 1 systeemissä janaa 10 vastaan kohtisuorassa tasossa.
Kuva 4. Hilan 8 rakenne.
-s- 74154
Kuva 5. Hologrammin 9 rakenna.
Kuva 6. Säteen kulku eräältä alihologrammilta kuvajanalle 10 kuvajanan tasossa.
Kuva 7. Poikkeuttimen 2 ohjausjännite ajan funktiona kaaviomaisestl.
Kuva 8. Poikkeuttimen 3 ohjausjännite ajan funktiona kaaviomaisesti.
Kuva 9. Säteen poikkeutuskulmien tarkistus.
Kuva 10. Alihologrammien paikat esitetyillä parametrien arvoilla.
Kuvassa 1 on esitetty yksi mahdollinen menetelmän toteuttamistapa, jossa ei-mekaanisina lasersäteen poikkeuttimina käytetään akusto-optisia poikkeutti-mia.
Laseria ja sen sädettä muokkavaa optiikkaa on merkitty numerolla 1. Numerot 2 ja 3 merkitsevät akusto-optisia poikkeuttimia, 4, 5, 6, ja 7 ovat linssejä, joista 5 ja 6 ovat sylinterilinssejä ja 4 ja 7 ovat tavallisia linssejä, 8 on useasta alihiiasta koostuva hila, 9 on useasta fokusoivasta alihologrammista koostuva hologrammi, 10 on kuvapisteiden muodostama kuvajana ja 11 on systeemin optinen akseli.
Kuvan 1 tapauksessa akusto-optinen poikkeutin 2 toimii yksinään haja-saantisessa moodissa ja akusto-optinen poikkeutin 3 toimii yksinään jatkuvassa moodissa. Poikkeutin toimii siten, että koko kuvaviiva piirretään osissa, ja yhdessä kuvaviivan osassa olevat kuvapisteet saadaan piirrettyä akusto-opti-sen poikkeuttimen 3 poikkeutuskulman kulkiessa poikkeutusalueensa yli. Kuvapisteet muodostuvat akusto-optisen poikkeuttimen 3 vaikutussuunnassa kollimoidun säteen osuessa fokusoivaan elementtiin. Eri kuvapisteet saadaan säteen tulokulmaa fokusoivalle elementille vaihtelemalla ja tämä vaihtelu saadaan aikaan akusto-optisella poikkeuttimella 3. Eri kuvaviivan osat saadaan piirrettyä suuntaamalla säde pystypoikkeutuskulmaa vaihtelemalla eri fokusoiville elementeille, joista kullakin saadaan tietty kuvaviivan osa piirrettyä siten, että peräkkäisillä pystypoikkeutuskulman arvoilla saadaan peräkkäiset kuvaviivan osat piirrettyä ja fokusoivat elementit on sijoitettu siten, että kuvaviivan osat liittyvät virheettömästi toisiinsa muodostaen koko kuvajanan. Akusto-optisen poikkeuttimen 2 vaikutussuunnassa eli kuvaviivan suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa on kuvapisteiden paikan virhe eliminoitu. Tämä virhe saadaan eliminoiduksi, jos kuvapiste on tässä suunnassa joissain poikkeuttimen kohdassa tässä suunnassa paikallaan pysyvän lasersäteen .6- 74154 halkileikkauksen tässä suunnassa oleva sopivasti skaalattu kuva. Tässä tapauksessa tällaiseksi kohdaksi sopii esimerkiksi akusto-optisen poikkeutti-men apertuuri. Lasersädettä moduloidaan esimerkiksi erillisellä ei-mekaani-sella lasersäteen modulaattorilla tai, jos laserina käytetään puolijohdelaseria, suoraan laserin syöttöjännitettä moduloimalla.
Tarkastellaan seuraavassa poikkeuttimen toimintaa hieman tarkemmin. Oletetaan, että laserista lähtevän säteen intensiteetti on likimain gausslsesti jakautunut.
Kuvassa 2 on esitetty säteen kulku poikkeuttimessa akusto-optisen poikkeuttimen 3 vaikutussuunnassa eli tässä tapauksessa kuvaviivan suuntaisessa tasossa. Viivat 12 ilmoittavat säteen halkaisijan tässä suunnassa. Kuvassa ei ole oikeita suhteita.
Hologrammit ja hilat voivat olla joko heijastusmoodissa toimivia tai läpäisy-moodissa toimivia. Kuvassa 1 ne toimivat heijastusmoodissa, mutta kuviin 2 ja 3 ne on yksinkertaisuuden vuoksi piirretty toimiviksi läpäisymoodissa.
Vastaavasti kuvassa 3 on esitetty säteen kulku poikkeuttimessa akusto-optisen poikkeuttimen 2 vaikutussuunnassa eli tässä tapauksessa kuvaviivan suuntaa vastaan kohtisuoran suuntaisessa tasossa. Viivat 13 ilmoittavat säteen halkaisijan tässä suunnassa. Kuvassa ei ole oikeita suhteita.
Tarkastellaan säteen kulkua poikkeuttimessa aluksi kuvaviivan suuntaisessa tasossa. Kuvasta 2 havaitaan, että akusto-optisilta poikkettimilta 2 ja 3, joista 3 vaikuttaa tässä suunnassa, tuleva tässä suunnassa divergoiva säde 12, joka on saatu divergoivaksi valitsemalla jatkuvan poikkeutuksen kasvusuunta sopivasti, kohtaa linssin 4, joka poistaa säteen divergenssin. Säde on tämän jälkeen tasoaalto, jollaisena se kohtaa linssien 5 ja 7 muodostaman teleskoopin, joka tässä suunnassa suurentaa säteen halkaisijaa ja pienentää sen poik-keamakulmaa. Teleskoopilta säde etenee hilan 8 kautta hologrammille 9, joka fokusoi säteen kuvapisteeksi, jollainen on esimerkiksi 10c, kuvajanalle 10.
Tarkastellaan seuraavaksi säteen kulkua poikkeuttimessa kuvaviivan suuntaa vastaan kohtisuorassa tasossa. Kuvasta 3 havaitaan, että poikkeuttimilta 2 ja 3, joista 2 vaikuttaa tässä suunnassa, tuleva säde kohtaa fokusoivan linssin 4. Näin aikaansaatu konvergoiva säde etenee fokusoiville linsseille 6 ja 7. Unssi 7 on jaettu tässä suunnassa käsitteellisesti kahteen komponenttiin. Toinen komponentti muodostaa linssien 4 ja 6 kanssa teleskoopin, jonka tulo- ja lähtöaukko ovat vastaavasti linssien 4 ja 7 kohdalla, ja toinen komponentti I- -7- 74154 fokusoi näin saadun säteen alihologrammien tasoon eli muodostaa säteestä Fourier-muunnoksen alihologrammien tasoon. Linssissä 7 on siten fokusoiva komponentti, jonka polttoväli on linssin 7 ja hologrammin 9 välinen etäisyys.
Tarkoituksena on saada linssille 7 hyvin kapea säde kuvaviivaa vastaan kohtisuorassa tasossa. Kun tällainen säde fokusoidaan, aiheutuu siitä se, että fokusoidun säteen pienin halkaisija tulee hyvin lähelle linssiä ja säde alkaa tämän jälkeen divergoida. Tässä suunnassa säde on hyvin pian linssin 7 jälkeen divergoiva sylinteriaalto, joka kohtaa aluksi hilan 8 ja sitten hologrammin 9. Hologrammissa 9 on tässä suunnassa syiinteriaallon poistava komponentti samanlaisen fokusoivan komponentin lisäksi, kuin mikä on tätä suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa. Tässä suunnassa saadaan kuvajanalle 10 kuvapisteeksi apertuurin 18 kuva, joten akusto-optisen poikkeuttimen 2 pienet poikkeamakulman virheet eivät tässä suunnassa vaikuta kuvapisteen asemaan.
Poikkeuttimen parametrit on järjestetty siten, että hologrammilla säteen intensiteettijakautuma sekä kuvaviivan suunnassa että tätä suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa ovat likimain samanlaiset ja säteen fokusointi on kumpaankin suuntaan samanlainen. Tällöin saadaan (sylinteriaaltokomponen-tin poistamisen jälkeen) lopulliseksi kuvapisteeksi kumpaankin suuntaan likimain samanlaisen intensiteettijakautuman omaava piste.
Käsitellään seuraavaksi poikkeuttimen toiminta yhden kokonaisen kuvaviivan piirtämisen aikana. Esitetään aluksi hilan ja hologrammin rakenteet. Hila 8 (kuva 4) koostuu useasta alihilasta, joita ovat esimerkiksi 15. Jokainen alihila on tavallinen vakioviivavälinen hila. Hologrammi 9 (kuva 5) koostuu useasta pitkänomaisesta alihologrammista, joita ovat esimerkiksi 60 ja 17. Ennen kuva-viivan piirtämisen aloittamista tarkistetaan poikkeutuskulmat. Alkutilassa akusto-optisen poikkeuttimen 2 poikkeutuskulma on ääriasennossaan alaspäin ja akusto-optisen poikkeuttimen 3 poikkeutuskulma on ääriasennossaan oikealla. Tällöin säde osuu alihologrammille 31, jolla saadaan tarkistettua poikkeutuskulmat jäljempänä esitetyllä tavalla. Tarkistuksen jälkeen muutetaan pystypoik-keutuskulmaa hieman ja aloitetaan vaakapoikkeutus jälleen ääriasennostaan oikealta. Säde kohtaa hilan nyt pisteessä 19a ja hologrammin pisteessä 19b sekä osuu kuvajanalle pisteessä 19c, jotka on merkitty kuviin 1, 4 ja 5. Akusto-optisen poikkeuttimen 3 poikkeutuskulmaa jatkuvasti muuttamalla ollaan jossakin vaiheessa pisteessä 20a,b,c. Koska poikkeuttimen 3 poikkeutuskulma vaihtuu tasaisesti ja hologrammilla 9 on fokusoiva linssivaikutus, saadaan kuvapisteet tasavälein kuvajanalle ja niiden pystysuuntaisessa paikassa ei -8- 74154 edellä esitetyn perusteella ole virhettä. Akusto-optisen poikkeuttimen 3 poik-kutuskulman saavuttaessa vasemman ääriarvonsa ollaan pisteessä 2la,b,c. Tällöin muutetaan pystypoikkeutuskulmaa hieman ja aloitetaan vaakapoikkeu-tus alusta, jolloin saavutetaan piste 22a,b,c. Näin jatkaen saadaan kuvaviiva piirrettyä.
Kun ollaan piirretty monta kuvaviivan osaa, saavutetaan piste 23a,b,c. Tällöin muutetaan pystypoikkeutuskulmaa kaksinkertaisella määrällä, jolloin saavutetaan, kun vaakapoikkeutus alkaa alusta, piste 24a,b.c. Tämä poikkea· makulman muuttaminen kaksinkertaisella määrällä johtuu siitä, että siirryttäessä alihilalta toiselle, eivät akusto-optisen poikkeuttimen 2 pienet suuntavirheet saa vaikuttaa säteen osumiseen kokonaan yhteen alihilaan. Koko kuvaviiva saadaan siis piirrettyä pätkissä, jotka ovat pisteiden 22c ja 19c välisen etäisyyden mittaisia. Yhtenäisen viivan 50 kohdalla saadaan kuvapisteet piirrettyä ja katkoviivan 51 kohdalla siirrytään alielementistä toiseen ja säde on sammutettu. Nuolilla on merkitty poikkeutuksen kulkusuunta.
Jotta hilalle ja hologrammille saataisiin mahdollisimman homogeeniset hyötysuhteet täytyy niiden viivavälien olla mahdollisimman homogeeniset. Tämä voidaan saada aikaan sopivilla alihologrammien paikkojen valinnalla, jos vaaditaan samalla fokuksen syvyyden alueella pysyminen, jos alihologram-meilla on normaali linssintapainen fokusointiominaisuus. Tätä havainnollistaa kuva 6, joka on esitetty akusto-optisen poikkeuttimen 3 vaikutussuunnassa. Fokuksen syvyys on 25 ja 26-28 ovat kolme eri kulmissa hologrammille tulevaa sädettä. Viivavälin homogeenisuutta voidaan auttaa taittamalla optinen akseli sopivilla kulmilla 29 ja 29’ (kuva 1), jotka mieluiten ovat yhtä suuret. Aliholog-rammin vaihefunktio voidaan esittää muodossa *2 4>h,i = Y * sinö h + j- + y sinö „ )+ ^{ht-x)* + {hf-y)* + f*- f ,
Koordinaatiston x ,y origo on käsiteltävän alihologrammin i keskipiste, ja h x ja hy ovat i :nnellä alihologrammilla piirrettävän kuvaviivan osan keskipisteen koordinaatit, f F on Fourier-muuntavan osuuden polttoväli linssissä 7 ja / on hologrammin fokusointipolttoväli ja t indeksoi alihologrammeja.
Alihologrammien vaihefunktioita voi lisäksi optimoida sopivasti, jolloin alihologrammien paikat voidaan valita vapaammin ja fokuksen syvyyden alueella pysymisestä ei tarvitse huolehtia. Optimoinnissa vaihefunktioon lisätään esimerkiksi tietty polynomi x:stä ja y:stä, ja tämän polynomin kertoimet I, -9- 74154 määrätään sopivalla optimoinnilla.
Kuvissa 7 ja 8 on esitetty akusto-optisten poikkeuttimien syöttöjännitteet. Kuvat eivät ole mittakaavassa. Kuvassa 7 on akusto-optisen poikkeuttimen 2 syöttöjännite ja kuvassa 8 on akusto-optisen poikkeuttimen 3 syöttöjännite. Kohta 30 kuvaa kaikkia piirtämättä jääneitä kohtia. Kuvassa 9 on esitetty akusto-optisten poikkeuttimien poikkeutuskulmien tarkistus. Tässä konstruktiossa ovat ensimmäinen alihologrammi 31 ja viimeinen alihologrammi 32 kolmeosaisia. Varsinainen kuvapisteiden piirtäminen alkaa vasta toisesta aiihologram-mista ja loppuu toiseksi viimeiseen alihologrammiin. Tarkistuksessa vaaka-poikkeutuskulma kulkee tasaisesti poikkeutusalueensa yli samoin kuin kuvavii-van piirtämisen kohdalla. Osilla 33 ja 35 tarkistetaan vaakapoikkeutuksen paikka ja osalla 34 pystypoikkeutuksen palkka. Osat 33 ja 35 fokusoivat säteen, vastaavasti kuin kuvapisteen muodostamisessa säde fokusoidaan, detektorille 36, jolla saadaan määrättyä tiettyä poikkeamakulmaa vastaava tarkka jännite. Pystypoikkeutuksen tarkistus on hankalampaa, koska fokusointi poistaa akusto-optisen poikkeuttimen 2 kulmavirheen. Tarkistus käy päinsä esimerkiksi poistamalla alihologrammin osalla 34 sylinteriaaltokomponentti ja suuntaamalla saatu tasoaalto kahdelle detektorille 37 ja 38, joiden, ollessaan sopivasti asetetut, näyttämän erosta saadaan pystypoikkeutuskulmaa vastaava jännitten arvo. Tarkistus voidaan myös tehdä esimerkiksi alihologrammien reunoilla, jolloin keskiosalla voidaan piirtää kuvapisteitä.
Koko kuvaviivan piirtämisen alussa saadaan mitattua jännitteet νΛ ja V2 , jotka vastaavat akusto-optisen poikkeuttimen 3 pienintä ja suurinta poikkeutus-kulmaa kuvaviivan piirtämisen alussa, sekä V5, joka vastaa akusto-optisen poikkeuttimen 2 pienintä poikkeutuskulmaa, ja lopussa jännitteet V3 ja V4, jotka vastaavat akusto-optisen poikkeuttimen 3 pienintä ja suurinta poikkeutuskulmaa kuvaviivan piirtämisen lopussa, sekä V6, joka vastaa akusto-optisen poikkeuttimen 2 suurinta poikkeutuskulmaa. Näistä saadaan laskettua akusto-optisten poikkeuttimen 3 ohjausjännitteen aloituskohta V0i ja kasvunopeus dV{ jdt jokaiselle alihologrammille, missä i indeksoi alihologrammia, sekä akusto-optisten poikkeuttimen 2 ohjausjännitteen askeleen suuruus AV. Tällä takaisinkytkennät saadaan eliminoitua poikkeutuselektroniikan aiheuttama ryömintä ja siitä syntyvät virheet kuvapisteiden paikassa.
Edellä esitetty laserpoikkeutin voidaan toteuttaa esimerkiksi seuraavissa taulukoissa olevilla parametrien arvoilla.
-10- 74154
Kuvapisteiden piirtotaajuus 8 MHz
Kuvaviivan pituus 420,448 mm r-> i viivaa
Resoluutio 600 - tuuma
Kuvapisteiden lukumäärä 9932
Laser
Tyyppi puolijohdelaser Moodi TEM-00 Aallonpituus 780 nm Haluttu säteen muoto ellipsi Säteen koko 2,5 mm x 1,86 mm
Akusto-optinen poikkeutin 2
Materiaali TeÖ2 Akustinen kaista Δ f 41,5 MHz Aika-apertuuri r 4,44 μβ τΔ f 184
Apertuuri 2,75 x 2,75 mm 2 Staattinen 1/e 2 resoluutio 98
Akusto-optinen poikkeutin 3
Materiaali TeO 2 Akustinen kaista Δ f 41,5 MHz Aika-apertuuri r 4,44 μβ τΔ f 184
Apertuuri 2,75 x 2,75 mm 2 Dynaaminen 1 /2 resoluutio 128
Pyyhkäisytaajuus 62,5 kHz Ajallinen hyötysuhde 72 % i 74154 -11 -
Linssien 4, 5, 6 ja 7 parametrit linssi no 4 linssi no 5 linssi no 6 linssi no 7
Tyyppi pallo sylinteri sylinteri pallo
Polttoväli 19,0 cm 1,67 cm 2,21 cm 2,43 cm /# 76 6,7 ~ 200 6,7
Fourier-muuntavan osuuden polttoväli linssissä 7 on 90 cm Hilan parametrit
Koko 1,67 cm X 8,7 cm
Alihilan koko 1,67 cm x 0,87 cm
Viivaväli 2,2 - 3,0 μ™
Tyyppi sahalaita
Hologrammin parametrit
Koko 41,0 cm X 3,2 cm
Nauhahologrammin koko 3,41 cm x 0,40 cm
Viivaväli ~ 2 - ~ 3 μτη
Tyyppi sahalaita
Polttoväli 21,0 cm
Sylinteriaallon poistopolttoväli 90,0 cm
Kuvassa 10 on esitetty kuvassa 5 olevien alihologrammiryhmien 40 paikat hologrammin 9 symmetriajanan 41 suhteen. Etäisyydet ovat: ^ = 0,6 cm , l 2 = 4,7 cm , 13 = 8,9 cm , 14 = 13,0 cm , l 5 = 17,1 cm
Yllä kuvatussa systeemissä on alihologrammeja 80 kappaletta ja yhdellä alihologrammilla saadaan piirrettyä 128 kuvapistettä. Näin saadaan siis piirrettyä kaikkiaan 10240 kuvapistettä. Koska ensimmäinen ja viimeinen aliholog-rammi on varattu paikan tarkistukseen saadaan piirrettyä 9984 kuvapistettä eli kaikki halutut 9932 kuvapistettä saadaan piirrettyä ja lisäksi tarvittaessa 52 ylimääräistä.
Hilat ja hologrammit voidaan esimerkiksi valmistaa tietokonehologram-meina elektronisäde-etsauksella ja niitä voidaan kopioida helposti ja edullisesti esimerkiksi painamalla ne muotista, tai hologrammit voidaan valmistaa .-,2. 74154 valottamalla. Ei-mekaanisna poikkeuttimina voidaan käyttää myös esimerkiksi FbMoO 4-kidettä, jolloin näiden el-mekaanisten poikkeuttimien ympärille täytyy lisätä sopivasti sylinteri- ja paliolinssejä tai samassa kiteessä voi edetä kaksi aaltoa toisiaan vastaan kohtisuoriin suuntiin. Lisäksi kaikkien aliholog-rammiryhmien ei tarvitse olla samassa tasossa, vaan ne voivat olla kaarevasti siten, että kun alihologrammit ovat heijastushologrammeja, lähellä kuvaviivan reunoja olevat alihologrammit voivat olla lähempänä kuvaviivaa, jolloin säteen kulkema matka hilalta alihologrammille on likimain sama kalkille alihologram-meille, ja tällöin myös alihologrammien optimointi yksinkertaistuu. Poikkeutus-kulmien tarkistus voidaan myös tehdä alihologrammien reunoilla, jolloin tällaisen aiihologrammin keskiosalla voidaan piirtää kuvaviivaa. Lisäksi tarkistus voidaan tehdä haluttaessa useamman kerran.
Menetelmä ei ole rajoittunut vain tähän konstruktioon. Poikkeutin voidaan rakentaa myös siten, että säde kohtaa ensin fokusoivan hologrammin ja hologrammilta säde etenee usealle erilliselle hilalle, jotka ohjaavat säteen kuvapis-teiksi kuvajanalle. Systeemi voi myös olla sellainen, jossa säde kulkee usean hologrammin läpi, joiden yhteisvaikutuksesta muun optiikan kanssa saadaan haluttu kuvapistejoukko. Myös itse kuvapisteiden fokusointi voidaan tehdä erillisellä linssillä ja hologrammeilla ainoastaan ohjataan linssillä fokusoitu säde halutuilla paikoilla oleviksi kuvapisteiksl. Akusto-optiset poikkeuttimet voivat lisäksi olla vinottain kuvaviivan suuntaan nähden, ja niiden yhteisvaikutuksena saadaan haluttu toiminta kuvaviivan suunnassa ja tätä suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa.
Pystypoikkeutuksen suunnassa poikkeutusvirheiden eliminoinnissa on olennaista, että saadaan aikaan divergoiva sylinteriaalto, jonka ajateltu diver-goimispiste pysyy paikallaan poikkeutuskulmasta riippumatta. Yllä esitetty tapa on vain yksi mahdollinen saada tämä vaikutus aikaan. Sopiva divergoiva aalto saadaan aikaan myös fokusoimalla leveämpi säde kuin yllä olevassa konstruktiossa oleva, mikä fokusoitu säde alkaa fokusoinnin jälkeen divergoida ennalta halutulla tavalla. Tällöin fokusoivan elementin ja aiihologrammin välinen etäisyys on suurempi kuin sylinteriaallon divergenssisäde ja fokusontipolttoväli ei myöskään ole niiden välisen etäisyyden suuruinen. Divergoiva sylinteriaalto voidaan saada aikaan myös divergoivalla linssillä.
t,

Claims (9)

13 74154
1. Menetelmä kuvaviivan (10) muodostamiseksi lasersäteellä, jonka menetelmän mukaan - laserilla (1) synnytetään lasersäde, - lasersäteen voimakkuutta muutetaan esim. erillisellä modulaattorilla tai itse laserilla (1) ja - moduloitu lasersäde syötetään koodaus e 1emen11iin (8) , jolla ainakin yhtä lasersäteen ominaisuutta, kuten amplitudia, vaihetta tai suuntaa, muutetaan sähköisellä signaalilla ohjatusti ja - koodattu lasersäde syötetään hologrammiin (9), jolla lasersäde muutetaan fokusoiduksi kuvapis-teeksi (20...24e>^tc), - kuvap i s te i s t ä ( 20 . . . 24a } j, > c ) muodostetaan kuva-viiva (10) kuvapinnalle ja lisäksi lasersädettä ohjataan ja muokataan optisilla elementeillä, tunnettu siitä, että - koodauselementillä (8) muutetaan lasersäteen mainittua ominaisuutta siten, että koodauselemen-tin (8) ohjaussignaalia vaihdettaessa muodostuu joukko koodattuja, tietyssä mielessä ortogonaali-sia kenttiä, - optiikka ja hologrammit (9) sovitetaan yhdessä koodaavan elementin kanssa siten, että hologrammin (9) avulla koodatut kentät ovat erotettavissa toisistaan siten, että kukin erillinen kenttä muodostaa yhden kuvapisteen (20...24a>^^c ) kuvapinnalle, 14 74154 - pyyhkäisemällä koodauselementin (6) ohjaussignaali yli vaihtelualueensa, saadaan muodostet-tuksi joukko kuvapisteitä (20...24af^fc), jotka muodostavat kuvaviivan (10), ja - koodauselenentti (8), optiikka sekä hologrammi (9) sovitetaan siten, että kuvapiste id en ( 20 . . . 24a j t c) paikan virhe pienenee tai virhe saadaan elektroniikan avulla pienennettyä.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että lasersäteen koodauselemen tteinä (8) käytetään kahta toisiaan vastaan kohtisuoraan suuntaan poikkeuttavaa, ei-mekaanista lasersäteen poikkeutintä, sädettä muokataan ja ohjataan linsseillä (4 - 7) ja ainakin yhdellä hilalla, peilillä tai prismalla (8), sekä kuvapisteet (20...24a>^^c) muodostetaan hologrammilla (9).
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ei-mekaaninen poikkeutus kahteen toisiaan vastaan kohtisuoraan suuntaan suoritetaan akusto-optisi11 a poikkeuttimi 1la (2, 3) tai e1ektro-optisi11a poikkeuttimi 1- la.
4. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että koodattu lasersäde syötetään hologrammiin (9), joka koostuu useista erillisistä aiihologrammeis ta (60, 17), joilla on sopivasti optimoiva vaikutus, ja yhdellä fokusoivalla a1 iho 1 ogrammi11a (60, 17) muodostetaan enemmän kuin yksi kuvapiste ( 20 . . . 24a f > c ) siten, että yhdellä fokusoivalla aiihologrammi1la (60, 17) muodostettavat eri kuvapis teet (20 . . .24afkfc) saadaan aikaan vaihtelemalla kuvaviivan suunnassa säteen tulosuuntaa hologrammille.
5. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että pdkkeutus kuvaviivan (10) suuntaan suoritetaan jatkuvasti ja sitä vastaan kohtisuoraan suuntaan hajasaanti-s e s t i . li 15 74154
6. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että lasersäteen suuntaa muutetaan optiikkaan sisältyvällä, useista aiielementeistä koostuvalla elementillä, joka on sovitettu siten, että jokainen alielementti ohjaa siihen tietyllä pystypoikkeutuskulman arvolla osuvan säteen tietylle alihologrammille (60, 17), ja sade saadaan osumaan eri ai ihologrammeihin (60, 17) pystypoikkeutuskulmaa vaihtelemalla, ja alielementtinä käytetään hilaa, peiliä tai prismaa.
7. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ei-mekaanisten poikkeuttimi en poikkeutuskulma tarkistetaan ainakin yksi kerta koko kuvaviivan (10) pyyh-käisyn aikana, ja tarkistus tehdään suuntaamalla säde erityisellä alihologrammille (31, 32) tai ai{hologrammin osalla fotodetektoreille (37, 38), joiden avulla saadaan määrätyksi tarkka poikkeutuskulma seka kuvaviivan (10) suunnassa että sitä vastaan kohtisuorassa suunnassa.
8. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että sovitetaan koodauselementti (8), optiikka ja hologrammi (9) siten, että kuvapiste (20... 24af5>c ) on kuva-viivan (10) suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa jossain laitteen kohdassa tässä suunnassa paikallaan pysyvän lasersäteen halkileikkauksen (13) tässä suunnassa oleva kuva, jolloin saadaan kuvaviivan (10) suuntaa vastaan kohtisuorassa suunnassa kuvapisteen (20...24a>5tc) paikan virhe pienennetyksi .
9. Patenttivaatimusten 6 ja 8 mukainen menetelmä, tun nettu siitä, että optiikka sovitetaan siten, että ali-hologrammeille (60, 17) osuu sade, joka on kuvaviivan (10) suunnassa kollimoitu ja sitä vastaan kohtisuorassa suunnassa approksimoitavissa divergoivaksi sy1 interiaal1oksi, jonka ajateltu divergoimispis te divergoinnin suunnassa on likimain riippumaton pystypoikkeutuskulmasta, jolloin kuvapisteen (20...24atkfc) paikan virhe kohtisuorassa suunnassa pienenee, kun säde fokusoidaan. 74154 16
FI852453A 1985-06-20 1985-06-20 Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon. FI74154C (fi)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI852453A FI74154C (fi) 1985-06-20 1985-06-20 Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon.
PCT/FI1986/000065 WO1986007640A1 (en) 1985-06-20 1986-06-19 A method for scanning a laser beam by non-mechanical deflectors
US07/027,205 US4925261A (en) 1985-06-20 1986-06-19 Method for scanning a laser beam by non-mechanical deflectors
DE19863690327 DE3690327T1 (fi) 1985-06-20 1986-06-19
GB8702310A GB2188444B (en) 1985-06-20 1986-06-19 A method for scanning a laser beam by non-mechanical deflectors
JP61503581A JPS63500897A (ja) 1985-06-20 1986-06-19 非機械的偏向器によるレ−ザ光線走査法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI852453A FI74154C (fi) 1985-06-20 1985-06-20 Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon.
FI852453 1985-06-20

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI852453A0 FI852453A0 (fi) 1985-06-20
FI852453L FI852453L (fi) 1986-12-21
FI74154B FI74154B (fi) 1987-08-31
FI74154C true FI74154C (fi) 1987-12-10

Family

ID=8521013

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI852453A FI74154C (fi) 1985-06-20 1985-06-20 Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4925261A (fi)
JP (1) JPS63500897A (fi)
DE (1) DE3690327T1 (fi)
FI (1) FI74154C (fi)
GB (1) GB2188444B (fi)
WO (1) WO1986007640A1 (fi)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3855226T2 (de) * 1987-02-03 1996-09-05 Fujitsu Ltd Holographische Ablenkungsvorrichtung
WO1989012369A1 (en) * 1988-06-06 1989-12-14 Spectrum Sciences B.V. Multi-beam laser scanner system
JP2801257B2 (ja) * 1989-04-07 1998-09-21 シチズン時計株式会社 光ビーム走査装置
US5097351A (en) * 1990-08-06 1992-03-17 Holotek, Ltd. Simultaneous multibeam scanning system
DE4124203A1 (de) * 1991-07-20 1993-01-21 Krupp Ag Holographische messmarken
JPH05210141A (ja) * 1992-01-30 1993-08-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光情報処理装置
US5651600A (en) * 1992-09-28 1997-07-29 The Boeing Company Method for controlling projection of optical layup template utilizing cooperative targets
JPH08328050A (ja) * 1995-05-29 1996-12-13 Fuji Xerox Co Ltd 光走査素子、光走査方法及びそれを用いた画像形成装置
AUPO790397A0 (en) * 1997-07-16 1997-08-07 Lions Eye Institute Of Western Australia Incorporated, The Laser scanning apparatus and method
US6480323B1 (en) 1998-12-18 2002-11-12 Carnegie Mellon University Two-dimensional beam scanner
US6567206B1 (en) 2001-12-20 2003-05-20 St. Clair Intellectual Property Consultants, Inc. Multi-stage optical switching device
US7177494B1 (en) 2005-01-14 2007-02-13 St. Clair Intellectual Property Consultants, Inc. Optical control device and method
TWI594828B (zh) * 2009-05-28 2017-08-11 伊雷克托科學工業股份有限公司 應用於雷射處理工件中的特徵的聲光偏轉器及相關雷射處理方法
CN118492645B (zh) * 2024-06-04 2024-12-27 珠海市申科谱工业科技有限公司 激光打标设备及激光打标方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3851951A (en) * 1974-01-16 1974-12-03 Isomet Corp High resolution laser beam recorder with self-focusing acousto-optic scanner
JPS562933B2 (fi) * 1974-09-04 1981-01-22
NL7606290A (nl) * 1975-06-25 1976-12-28 Xerox Corp Laser-aftastsysteem met behulp van door een reken- machine opgewekte hologrammen.
US4307929A (en) * 1979-08-29 1981-12-29 Eveleth Jason H Method of scanning a laser beam in a straight line
US4547037A (en) * 1980-10-16 1985-10-15 Regents Of The University Of Minnesota Holographic method for producing desired wavefront transformations
JPS59189312A (ja) * 1983-03-30 1984-10-26 イ−ロ・ビツクリング 低分解能部品から高分解能レ−ザビ−ム偏向器を得る方法

Also Published As

Publication number Publication date
FI74154B (fi) 1987-08-31
DE3690327T1 (fi) 1987-08-06
US4925261A (en) 1990-05-15
GB8702310D0 (en) 1987-03-11
JPS63500897A (ja) 1988-03-31
FI852453A0 (fi) 1985-06-20
WO1986007640A1 (en) 1986-12-31
GB2188444B (en) 1989-07-26
GB2188444A (en) 1987-09-30
FI852453L (fi) 1986-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI74154C (fi) Foerfarande foer bestrykning av laserstraole medelst icke-mekaniska avlaenkningsdon.
US4904034A (en) Scanning apparatus
JP4996029B2 (ja) 導波路ディスプレー
US4094576A (en) Straight-line optical scanner using rotating holograms
US5331468A (en) Intensity redistribution for exposure correction in an overfilled symmetrical laser printer
US7446925B2 (en) Micro-electromechanical light modulator with anamorphic optics
JPS5845003B2 (ja) レ−ザコウヘンコウコウカクソウチ
KR940010163B1 (ko) 다중 비임 결합용 도광관을 갖는 광 위상 공액 장치 및 그 방법
KR0130961B1 (ko) 광정보처리장치
CN112241070A (zh) 大幅面光学偏振图案生成装置及生成方法
KR20010025981A (ko) 독립적 간섭성 빔 어레이 발생장치
EP0078269A1 (en) Improved diffraction grating scanner with anamorphic correction of scan curvatures
US7548375B2 (en) Method and device for influencing light
JP3197804B2 (ja) マルチビーム走査装置
JP7613701B2 (ja) データ読み取り/書き込みシステム及び方法
TWI485431B (zh) 用於均質同調輻射的設備
US20090323169A1 (en) Scanned, one-dimensional, phased-array display system
CN114488549A (zh) 一种基于螺旋变换的通用涡旋光复用系统及方法
US3515458A (en) Radiation scanning system
Yang et al. Optical Möbius transformation module for expanding beam-steering dimensions
CN108169956B (zh) 一种基于空间光调制器的低栅瓣多波束扫描方法及系统
CN116300149B (zh) 基于双编码孔径的长波红外动态空间调制装置及方法
JP2021196408A (ja) 光線走査広角化システム
Lü et al. Two-dimensional focusing of laser beams to provide uniform irradiation
JPH08309574A (ja) レーザ光源およびレーザ描画装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: SCITEX CORPORATION LTD.