FI117971B - Process and plant for the production of nanoparticles - Google Patents

Process and plant for the production of nanoparticles Download PDF

Info

Publication number
FI117971B
FI117971B FI20050595A FI20050595A FI117971B FI 117971 B FI117971 B FI 117971B FI 20050595 A FI20050595 A FI 20050595A FI 20050595 A FI20050595 A FI 20050595A FI 117971 B FI117971 B FI 117971B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
liquid
flame
nanoparticles
gas
particles
Prior art date
Application number
FI20050595A
Other languages
Finnish (fi)
Swedish (sv)
Other versions
FI20050595A0 (en
FI20050595A (en
Inventor
Kai Asikkala
Markku Rajala
Original Assignee
Beneq Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beneq Oy filed Critical Beneq Oy
Priority to FI20050595A priority Critical patent/FI117971B/en
Publication of FI20050595A0 publication Critical patent/FI20050595A0/en
Publication of FI20050595A publication Critical patent/FI20050595A/en
Application granted granted Critical
Publication of FI117971B publication Critical patent/FI117971B/en

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/02Impregnation, coating or precipitation
    • B01J37/0215Coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/02Impregnation, coating or precipitation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/02Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
    • B05D1/08Flame spraying
    • B05D1/10Applying particulate materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/34Applying different liquids or other fluent materials simultaneously
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/06Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain multicolour or other optical effects
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B1/00Nanostructures formed by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4545Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied as a powdery material
    • C04B41/4547Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied as a powdery material characterised by the grain distribution
    • C04B41/4549Nanometer-sized particles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

' .. ai'.'.. ai'.

117971 i . s117971 i. s

Menetelmä ja laitteisto nanohiukkasten tuottamiseksiMethod and apparatus for producing nanoparticles

Keksinnön kohteena on menetelmä nanohiukkasten tuottamiseksi jossa 5 menetelmässä nanohiukkasten lähtöaineet sekoitetaan ainakin nestepisaroina sekä mahdollisesti myös kaasuina ja/tai höyryinä ainakin polttokaasujen joukkoon esisekoituskammiossa, erotetaan seoksesta kokoa d suuremmat nestepisarat, jonka jälkeen seos johdetaan ainakin yhdelle poltinpäälle, jossa polttokaasut sytytetään niin että muodostuu voimakkaasti sekoittava liekki, jossa lähtöaineet 10 reagoivat ja mahdolliset liuottimet haihtuvat, ja nukleoitumisen ja/tai sintraantumisen ja/tai agglomeraation kautta synnyttävät hiukkasia, joiden 'j halkaisija on 1-1000 nanometriä.The invention relates to a process for producing nanoparticles, wherein the nanoparticle starting materials are mixed at least as liquid droplets and possibly also gases and / or vapors in at least one of the combustion gases in a premix chamber, separating liquid droplets a flame in which the reactants 10 react and any solvents evaporate and, through nucleation and / or sintering and / or agglomeration, produce particles having a diameter of from 1 to 1000 nanometers.

Edelleen keksinnön kohteena on nanohiukkasten tuottolaitteisto, jossa laitteessa 15 on välineet nesteen atomisoimiseksi ja atomisoidun nesteen johtamiseksi esisekoituskammioon, välineet polttokaasujen johtamiseksi esisekoitus- ^ kammioon, välineet kokoa d suurempien pisaroiden poistamiseksi seoksesta, välineet seoksen johtamiseksi esisekoituskammiosta ainakin yhdelle poltinpäälle sekä välineet liekin muodostamiseksi poltinpäässä.The invention further relates to a nanoparticle production apparatus, wherein the device 15 comprises means for atomizing the liquid and introducing the atomized liquid into the premixing chamber, means for removing droplets larger than size d from the mixture, means for leading the mixture into the combustion head

20 • · · ·20 • · · ·

Nanohiukkasilla, eli hiukkasilla, joiden koko on 1-1000 nanometriä, on havaittu • olevan useita merkittäviä käyttökohteita, kuten katalyyttiset pinnat, ♦ ♦ · * itsepuhdistuvat ja antibakteeriset tuotteet, lasin värjäys, aurinkosuojavoiteet, ♦ ♦ · : optisten komponenttien, kuten optisen kuidun valmistus, jne. Nanohiukkasten • # ♦ » :***: 25 taloudellinen tuotanto on oleellinen tekijä näiden sovelluskohteiden taloudellisen • · · käytön kannalta. Nanohiukkasilta vaaditaan suhteellisen kapeaa kokojakaumaa : (monodispersiivisyyttä), agglomeraation välttämistä ja homogeenisuutta.Nanoparticles, i.e., particles in the size range of 1-1000 nanometers, have been found to have a number of important applications such as catalytic surfaces, ♦ ♦ · * self-cleaning and antibacterial products, glass tinting, sunscreen, ♦ ♦ ·: manufacture of optical components such as optical fiber , etc. The economic production of nanoparticles • # ♦ »: ***: 25 is an essential factor for the economic use of these applications. Nanoparticles require relatively narrow size distribution: (monodispersity), avoid agglomeration and homogeneity.

Nanohiukkasten tuotannon tulee mielellään helposti skaalautua : laboratorioasteelta teolliseen tuotantoon.The production of nanoparticles should preferably be easily scaled: from laboratory to industrial production.

• · · * · • 30 • · ····· • · ♦ * * « · · • · i 117971 2 ..-• · · * · • 30 • · ····· • · ♦ * * «· · • · i 117971 2. ..-

Nanohiukkasia voidaan tuottaa sekä märkäkemiallisilla menetelmillä että kaasufaasimenetelmillä, joista kaasufaasimenetelmät ovat yleensä yksinkertaisempia ja helpommin skaalautuvia kuin märkämenetelmät. Kaasufaasimenetelmiä, joita kutsutaan myös aerosolireaktorimenetelmiksi, ovat 5 mm. liekkireaktorit, uunireaktorit, plasmareaktorit, kaasukondensaatio-menetelmät, laserablaatio ja spray-pyrolyysi. Nyt käsillä olevan keksinnön kannalta oleellinen nykyisen tekniikan taso on liekkireaktorl ja spray-pyrolyysimenetelmä. Nykyinen tekniikan taso on esitetty mm. artikkelissa L.Mädler, Liquid-fed Aerosol Reactors for One-step Synthesis of Nano-structured 10 Particles, KONA (No. 22, 2004, pp. 107-120), ja artikkelia referoidaan lyhyesti alla nykyisen tekniikan tason esittelemiseksi.Nanoparticles can be produced by both wet chemical methods and gas phase methods, of which gas phase methods are generally simpler and more scalable than wet methods. Gas phase methods, also called aerosol reactor methods, are 5 mm. flame reactors, furnace reactors, plasma reactors, gas condensation methods, laser ablation and spray pyrolysis. The state of the art relevant to the present invention is a flame reactor and a spray pyrolysis process. The present state of the art is presented e.g. L.Mädler, Liquid-fed Aerosol Reactors for One-Step Synthesis of Nano-Structured 10 Particles, KONA (No. 22, 2004, pp. 107-120), and is briefly reviewed below for presenting prior art.

Spray-prosessit nanohiukkasten tuottamiseksi eroavat toisistaan lähinnä siinä, millä tavoin pyrolyysin kannalta tarpeellinen terminen energia tuodaan prosessiin.Spray processes for producing nanoparticles differ mainly in the way in which the thermal energy required for pyrolysis is introduced into the process.

15 Termisen energian tuonti vaikuttaa mm. maksimilämpötilaan, lämpötilaprofiiliin ja viipymäaikaan. Neljä päämenetelmää spray-prosesseille nanohiukkasten tuottamisessa ovat spraypyrolyysi putkireaktorissa (englanniksi spray pyrolysis in tubular reactor, SP), spraypyrolyysi käyttäen höyry/liekki-reaktoria (vapor flame reactor spray pyrolysis, VFSP), emulsionpolttomenetelmä (emulsion combustion • 20 method, ECM) ja liekkispraypyrolyysi (flame spray pyrolysis, PSP). Näistä * 1 2 1 menetelmistä SP käyttää termisenä reaktorina uunia (hot-wall reactor) eikä täten • :2: ole käsillä olevan keksinnön kannalta relevantti ja ECM ja FSP käyttävät • · 1 · :3: polttoaineena öljyä ja eksotermistä nestettä, vastaavasti, eivätkä täten ole käsillä «»1 : olevan keksinnön kannalta relevantteja.15 Imports of thermal energy affect eg. maximum temperature, temperature profile and residence time. The four main methods of spray processes for producing nanoparticles are spray pyrolysis in tubular reactor (SP), vapor flame reactor spray pyrolysis (VFSP), emulsion combustion method and emulsion combustion method (emulsion combustion). (flame spray pyrolysis, PSP). Of these * 1 2 1 methods, SP uses a hot-wall reactor as a thermal reactor and thus:: 2: is not relevant to the present invention and ECM and FSP use • · 1 ·: 3: fuel oil and exothermic liquid, respectively, and hence, are relevant to the invention of "1".

• · · · • · · A _ : : 25 • · · Höyry/liekkl-reaktorissa käytetään polttokaasujen avulla muodostettua termistä : reaktoria lämmönlähteenä. Liekin etuna verrattuna uunireaktoriin on 7 • · · 'Λ huomattavasti korkeampi lämpötila ja lyhyempi viipymäaika. VFSP-reaktorissa .·! : raaka-aine höyrystetään pulputinta (engl. bubbler) tai höyrystintä (engl.The steam / flame reactor uses the term formed by combustion gases: the reactor as a heat source. The advantage of the flame compared to the furnace reactor is 7 · · · 'Λ with a significantly higher temperature and a shorter residence time. VFSP Reactor ·! : the raw material is evaporated in a bubbler or in a vaporizer.

• · 30 evaporator) käyttäen ja höyry johdetaan polttokaasujen avulla muodostettuun . liekkiin. Höyryt voidaan sekoittaa polttokaasuun joko ennen poltinpäätä (pre- 2 * · • · · · · 3 • · 3 117971 mixed burner) tai poltinpään ulkopuolella. Raaka-aineet reagoivat liekissä muodostaen hiukkasia. Menetelmän haittana on raaka-aineiden niukkuus, vain harvoilla alkuaineilla on sellaisia yhdisteitä, joiden höyrynpaine olisi prosessin kannalta riittävän korkea.• · 30 evaporator) and the steam is conducted to the one formed by the combustion gases. a flame. The vapors can be mixed with the combustion gas either before the burner head (pre-2 * 3 • 3 117971 mixed burner) or outside the burner head. The raw materials react in flame to form particles. The disadvantage of the process is the scarcity of the raw materials, with only a few elements having compounds with a vapor pressure high enough for the process.

55

Menetelmästä on edelleen tehty modifikaatiota, joissa nestemäiset raaka-aineet atomisoidaan ja syötetään liekkiin. Tällaisia modifikaatioita esitellään viitaten US patenttiin US 3,883,336 sekä suomalaiseen patenttiin FI98832.The process is further modified by atomizing the liquid raw materials and feeding them into a flame. Such modifications are disclosed with reference to US Patent 3,883,336 and Finnish Patent FI98832.

10 US-patentissa 3,883,336 on esitetty laitteisto, jossa liekki ruiskuun tuodaan piitetrakloridia sumuna kantokaasuna toimivan hapen avulla. Edelleen kyseisessä julkaisussa on esitetty, että liekkiruiskun liekkiin suihkutetaan ulkopuolelta aerosolia lasin valmistamiseksi. Kyseinen laitteisto on hyötysuhteeltaan huono ja piitetrakloridin syöttäminen höyrynä kantokaasun 15 avulla laitteeseen on hidasta, sillä jos piitetrakloridia on kantokaasuun nähden liikaa, se nukleoituu suuremmiksi pisaroiksi, eikä näin ollen riittävän pieniä hiukkasia saada ruiskutettua.10 U.S. Patent 3,883,336 discloses an apparatus wherein a flame is injected into a syringe by means of oxygen acting as a carrier gas as a mist. Further, it is disclosed in that publication that an aerosol is sprayed onto the flame of a flame spray gun to produce glass. The apparatus in question is of poor efficiency and the supply of silicon tetrachloride by means of the carrier gas 15 to the device is slow because, if the silicon tetrachloride is too much in relation to the carrier gas, it is nucleated into larger droplets and thus not small particles can be injected.

Suomalaisessa patentissa Fl 98832 on esitetty menetelmä ja laitteisto, jossa ;* 20 ruiskutettava aine johdetaan nestemäisessä muodossa liekkiin ja pisaroitetaan »»» · kaasun avulla olennaisesti liekin läheisyydessä siten, että pisaroitus ja liekin • j'; muodostus tapahtuvat samassa laitteessa. Edelleen kyseisessä julkaisussa on • · · · :***: esitetty, että laitteessa on välineet nestemäisen aineen johtamiseksi liekkiin ja * * * : :*· välineet kaasun johtamiseksi ruiskutettavaan nesteeseen siten, että kaasu • » · · 25 pirskottaa ruiskutettavan nesteen pisaroiksi olennaisesti liekin läheisyydessä, • · · jolloin pisaroitus tapahtuu samassa laitteessa liekin muodostuksen kanssa.Finnish patent F1 98832 discloses a method and apparatus in which: * 20 the substance to be injected is introduced in a liquid form into a flame and droplet »» »· with gas substantially in the vicinity of the flame such that the droplet and the flame • j '; the formation takes place on the same device. Further, this publication discloses that the apparatus includes means for introducing a liquid substance into a flame and * * *:: * · means for conducting a gas into the liquid to be injected so that the gas essentially drips the liquid to be injected into droplets in the vicinity of the flame, · · · whereby the droplet occurs in the same apparatus as the flame formation.

: Kyseisessä menetelmässä käytettävien pirskotuskaasujen ja polttokaasujen ; nopeudet saattavat poiketa huomattavasti toisistaan, mikä aiheuttaa mahdollisia ··· .·! : takaisinvirtauksia synnytettävässä liekissä ja takaisinvirtauksista johtuvaa • · · • 30 poltinpään likaantumista ja jopa tukkeutumista. Useiden eri nesteiden ♦ · * . samanaikainen pirskottaminen on kyseisessä menetelmässä hankalaa.: The sprinkling and combustion gases used in this process; the speeds may differ significantly, causing possible ···. ·! : backflows in the flame to be generated and fouling and even clogging of • · · • 30 burner heads due to backflows. A variety of liquids ♦ · *. simultaneous sprinkling is difficult in this method.

• · ♦ - ' ***** * · : · \• · ♦ - '***** * ·: · \

Skaalautuvuudeltaan menetelmä ja laitteisto on hankala, koska jokainen poltinpää tarvitsee erikseen kaasujen massavirtauksen säädön, jotta atomisointi ja liekin muodostus saadaan hyvin hallittua.The scalability of the method and apparatus is difficult because each burner head requires individually controlling the mass flow of the gases in order to achieve a well controlled atomization and flame formation.

4 117971 5 Julkaisussa US 5876 683 on esitetty menetelmä nanopartikkelien valmistamiseksi, jossa menetelmässä kaasumaiset lähdeaineet ja polttokaasut sekoitetaan keskenään ennen liekkiä, jossa lähdeaineiden termisen hajoamisen seurauksena muodostuu nanopartikkeleita. Lisäksi tästä julkaisusta tunnetaan nanopartikkelien käyttö pinnoitukseen.U.S. Pat. No. 5,879,783 discloses a process for preparing nanoparticles, wherein the gaseous source materials and the combustion gases are mixed with one another prior to the flame, where nanoparticles are formed as a result of thermal decomposition of the source materials. In addition, the use of nanoparticles for coating is known from this publication.

1 °

Julkaisuissa US 5 958 361 ja US 2002/0031658 esitetään menetelmä . / nanojauheen valmistamiseksi, jossa menetelmässä lähdeaineet sekoitetaan samaan liuokseen, joka edelleen suihkutetaan liekkiin. Mainittuja menetelmiä voidaan edelleen soveltaa monikomponenttisten nanopartikkelien 15 valmistamiseen.US 5,958,361 and US 2002/0031658 disclose a method. / nanopowder, in which the starting materials are mixed with the same solution, which is further sprayed onto the flame. Said methods may further be applied to the preparation of multi-component nanoparticles 15.

Nyt käsillä olevan keksinnön pääasiallisena tarkoituksena on saada aikaan menetelmä ja laitteisto, joilla suuruusluokaltaan nanometrien (1-1000 nm) suuruisia hiukkasia voidaan tuottaa nopeasti ja taloudellisesti. Erityisesti : :\ 20 keksinnön tarkoituksena on saada aikaan menetelmä monikomponenttisten nanohiukkasten tuottamiseksi.The main object of the present invention is to provide a method and apparatus for the rapid and economical production of nanometer (1-1000 nm) particles. In particular: It is an object of the invention to provide a process for producing multicomponent nanoparticles.

• · · .• · ·.

• · • « · ··# • * · ·• · • «· ·· # • * · ·

Keksinnön mukaiselle menetelmälle on tunnusomaista se, että menetelmässä * » ' • · · • käytetään nestemäisiä raaka-aineita, jotka ovat useimmiten metallisuolojen • · ♦ · :***. 25 liuoksia, neste atomisoidaan pieniksi pisaroiksi esisekoituskammioon, • · · sekoitetaan esisekoituskammiossa ainakin polttokaasujen kanssa, seos ; ;*; johdetaan luokittelijalle, joka erottelee seoksesta aerodynaamiselta • · · :***; halkaisijaltaan kokoa d suuremmat nestepisarat, seos, joka sisältää halkaisijaa d « · · ,·! . pienemmät pisarat johdetaan poltinpäälle, muodostetaan liekki ja raaka-aineet • · 30 muuttuvat liekissä nanohiukkasiksi, joiden koostumus voi olla erilainen kuin -¾ • · • raaka-aineiden koostumus.The process according to the invention is characterized in that the process utilizes liquid raw materials, which are most often in the form of metal salts. Solutions, the liquid is atomized into small droplets in the premix chamber, · · · mixed in the premix chamber with at least the combustion gases, mixture; ; *; is passed to the classifier which distinguishes the mixture from the aerodynamic • · ·: ***; liquid droplets larger than d in diameter, a mixture containing a diameter d «· ·, ·! . smaller droplets are conducted to the burner head, the flame is formed and the materials are · · 30 converted into flame nanoparticles, which may have a different composition from the -¾ • · • raw materials.

• · • · · ♦ · • · ' 5 117971• · • · · ♦ · • · '5 117971

Edelleen keksinnön mukaiselle menetelmälle on tunnusomaista se, että esisekoituskammioon voidaan erikseen syöttää usean eri raaka-aineen pisaroita ja/tai sinne voidaan syöttää muita nanohiukkasten raaka-aineita kaasumaisessa 5 tai höyrymäisessä muodossa, jolloin saadaan aikaan monikomponenttisten nanohiukkasten raaka-aineseos.Further, the process according to the invention is characterized in that droplets of several different raw materials can be separately fed to the premixing chamber and / or other nanoparticle raw materials can be fed therein in gaseous or vaporous form to produce a multi-component nanoparticle raw material mixture.

Edelleen keksinnön mukaiselle laitteelle on tunnusomaista se, että laitteessa on välineet nesteen atomisoimiseksi pisaroiksi, välineet pisaroiden johtamiseksi 10 esisekoituskammioon, välineet poltto- ja muiden kaasujen johtamiseksi esisekoituskammioon, välineet kaasujen ja nestepisaroiden sekoittamiseksi, välineet isojen nestepisaroiden poistamiseksi seoksesta, välineet seoksen johtamiseksi ainakin yhdelle poltinpäälle ja välineet liekin muodostamiseksi.Further, the device according to the invention is characterized in that the device has means for atomizing the liquid into droplets, means for introducing droplets into the premix chamber, means for introducing combustion and other gases into the premix chamber, means for mixing gases and liquid droplets means for forming a flame.

15 Edelleen keksinnön mukaiselle laitteelle on tunnusomaista se, että laitteen pinnat voivat olla lämmitettyjä. Tällöin laitteen pinnoille ajautuvista nestepisaroista neste haihtuu kaasuvirtauksen mukaan, mutta nesteen sisältämä suola kiteytyy laitteiston pinnoille eikä ajaudu kaasuvirtauksen mukaan. Tällä tavoin voidaan estää pinnoille kertyneen nesteen irtoaminen suurina pisaroina kaasuvirtauksen : .1. 20 mukaan.Further, the device according to the invention is characterized in that the surfaces of the device can be heated. In this case, the liquid droplets flowing to the surfaces of the device evaporate according to the gas flow, but the salt contained in the liquid crystallizes on the surfaces of the apparatus and does not drift according to the gas flow. In this way, the liquid accumulated on the surfaces can be prevented from being released in large droplets by the gas flow: .1. 20 according to.

··· ....··· ....

# · ♦ # · ♦ • ♦ · : .·. Keksinnön olennainen ajatus on, että monikomponenttisia, nanokokoisia • · · · .·2. hiukkasia voidaan tuottaa teollisesti ja skaalautuvasti.# · ♦ # · ♦ • ♦ ·:. ·. The essential idea of the invention is that multi-component, nanoscale • · · ·. · 2. particles can be produced industrially and scalably.

• · · - • · • · · * · 1 * 2 · · :***; 25 Seuraava esimerkkien avulla suoritettava keksinnön yksityiskohtaisempi selitys • · · havainnollistaa alan ammattimiehelle edelleen selvemmin keksinnön edullisia : ;1; suoritusmuotoja sekä keksinnöllä tunnettuun tekniikan tasoon saavutettavia 1 :2·: etuja.• · · - • · • · · * · 1 * 2 · ·: ***; The following more detailed description of the invention, by way of example, will further illustrate the advantages of the invention to one skilled in the art:; 1; embodiments, as well as the 1: 2 ·: advantages achieved by the present invention.

··· » · • · · • 1 · ,),.1 30 Keksintöä selostetaan seuraavassa tarkemmin viittaamalla oheisiin piirustuksiin, * · • # joissa ··«·1 • · · 1 · · 2 t 1 117971 — .. ' i : 6 ,· ·' . ,, kuva 1 havainnollistaa periaatteellisesti tunnettua tekniikan tasoa kuva 2 havainnollistaa periaatteellisesti keksinnön erästä edullista suoritusmuotoa kuva 3 havainnollistaa keksinnön erästä käyttökohdetta, jossa keksinnön 5 mukaisella menetelmällä tuotetaan nanohiukkasia tasolasin värjäämiseen kuva 4 havainnollistaa keksinnön erästä käyttökohdetta, jossa keksinnön mukaisella menetelmällä tuotetaan nanohiukkasia keraamisen laatan pinnoittamiseksi fotokatalyyttisellä puolijohteella 10 kuva 5 havainnollistaa keksinnön erästä käyttökohdetta, jossa keksinnön mukaisella menetelmällä tuotetaan nanohiukkasia optisen > kuitupreformin valmistukseen kuva 6 havainnollistaa keksinnön erästä käyttökohdetta, jossa laitteen pinta on lämmitetty niin että estetään suurien pisaroiden kulkeutuminen 15 alaspäin suunnattuun poltinpäähänThe invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which: ··· 1 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · : 6, · · '. FIG. 1 illustrates a substantially prior art embodiment of the invention FIG. with semiconductor 10, Figure 5 illustrates an application of the invention in which the method of the invention produces nanoparticles for the manufacture of an optical fiber reform. Figure 6 illustrates an application of the invention wherein the device surface is heated to prevent large droplets from passing

Kuvassa 1 on esitetty tunnettu tekniikan taso tuotettaessa nanokokoisia hiukkasia esimerkiksi suomalaisessa patentissa FI98832 esitetyllä tavalla.Figure 1 shows a known state of the art in the production of nanoscale particles, for example, as disclosed in Finnish patent FI98832.

Nesteliekkiruiskulla 1 muodostetaan liekki 8 ruiskutettavan aineen : .·. 20 ruiskuttamiseksi. Liekkiruiskuun 1 tuodaan tarvittavat kaasut kaasukanavia 2, 3 ja r: • · * .···, 4 pitkin. Kaasukanavia 2, 3 ja 4 pitkin tuodaan liekin muodostavat polttokaasut, • · · : .·. ruiskutettavan nesteen pirskotuskaasu ja mahdollinen reaktion hallintaa varten * · » • · · · .···. tuotettava kaasu. Ruiskutettava aine syötetään nestemäisessä muodossa · · : .*. liekkiruiskuun 1 nestekanavaa 5 pitkin. Ruiskutettava neste siirretään • · « • · Φ · ,···. 25 nestekanavaa 5 pitkin pumppaamalla sitä ruiskupumpulla 6. Liekkiruiskun päässä * * * on suutin 7, jossa polttokaasut sytytetään liekin aikaansaamiseksi ja jossa . ruiskutettava neste pisaroitetaan pirskotuskaasun avulla. Nestepisarat johdetaan * * · .***. kaasuvirtauksen avulla liekkiin 8, jossa neste haihtuu ja ruiskutettavassa * * * / . aineessa olevat metalliyhdisteet muodostavat hiukkasia.The liquid flame gun 1 produces a flame 8 of the substance to be injected:. 20 for spraying. The flame gun 1 delivers the required gases through the gas channels 2, 3 and r: · · *. ···, 4. Flame forming combustion gases are introduced through the gas channels 2, 3 and 4,. sputtering gas of liquid to be injected and possible reaction control * · »• · · · ···. the gas produced. The substance to be injected is fed in a liquid form · ·:. *. the flame spray 1 along the liquid passage 5. The liquid to be injected is transferred. 25 fluid channels 5 by pumping it with a syringe pump 6. At the end of the flame gun * * * is a nozzle 7 in which the combustion gases are ignited to produce a flame and in which. the liquid to be injected is sprayed with the spray gas. Liquid droplets are conducted * * ·. ***. by means of gas flow to flame 8, where the liquid evaporates and can be injected * * * /. the metal compounds in the substance form particles.

• · · * : 3o • · · * · • · *·φ·* • · ····»'' • · i 117971• · · *: 3o • · · * · • · * · φ · * • · ···· »'' • · i 117971

Tuotettaessa nanokokoisia hiukkasia kuvan 1 mukaisella menetelmällä, on ongelmana se että prosessissa mahdollisesti syntyvät isot nestepisarat eivät täydellisesti haihdu, jolloin syntyy niin sanottuja jäännöshiukkasia, joiden koko on suurempi kuin toivottava nanohiukkasten koko. Edelleen kyseisen menetelmän 5 ongelmana on vaikeus tuottaa hiukkasia sellaisista nestekomponenteista, jotka eivät sekoitu keskenään tai reagoivat keskenään ei-toivotusti, esimerkiksi muodostaen geelin.The problem with producing nanoscale particles by the process of Figure 1 is that the large liquid droplets that may be produced in the process are not completely evaporated, resulting in so-called residual particles larger than the desired nanoparticle size. A further problem with this process 5 is the difficulty of producing particles of liquid components which do not mix or react undesirably, for example, to form a gel.

Kuvassa 2 on esitetty eräs edullinen suoritusmuoto nyt käsillä olevalle 10 keksinnölle. Esisekoituskammioon 10 atomisoidaan nestepisaroita 12 käyttäen kaasuhajoitteista atomisaattoria 3, jossa poltinkaasun 16 avulla atomisoidaan £ nestesyöttö 5 pieniksi pisaroiksi 12. Samaan esisekoituskammioon 10 atomisoidaan toisia nestepisaroita 14 käyttäen painehajoitteista atomisaattoria 20, jolla nestesyöttö 26 atomisoidaan pieniksi pisaroiksi 14. Edelleen samaan 15 esisekoituskammioon 10 atomisoidaan kolmansia nestepisaroita 28 käyttäen värähtelevään levyyn, kuten ultraääni levyyn perustuvaa atomisaattoria 22, jolla nestelähde 30 atomisoidaan pieniksi pisaroiksi 28. Esisekoituskammioon 10 syötetään polttokaasu kanavasta 32. Polttokaasu voi olla esimerkiksi vetyä, metaania, propaania tai butaania tai näiden yhdistelmää tai näiden ja jonkin : .·. 20 muun kaasun yhdistelmää. Samaten esisekoituskammioon 10 syötetään happea * · .···. tuova kaasu kanavasta 34. Happea tuova kaasu voi olla esimerkiksi ilmaa, • · · • happea tai otsonia. Kaasukanavasta 36 esisekoituskammioon 10 syötetään jotain • · · • · * · .···, inerttiä kaasua, kuten typpeä tai hiilidioksidia. Kaasukanavasta • · • · · : .·. esisekoituskammioon 10 syötetään jotain kaasua, joka sisältää tuotettavien • · · • · * * .···. 25 nanohiukkasten ainakin yhtä raaka-ainetta. Kanavasta 38 esisekoituskammioon * * * 10 syötetään höyryä, joka sisältää tuotettavien nanohiukkasten ainakin yhtä . raaka-ainetta. Höyry syötetään syöttämällä kanavasta 40 kaasua nestettä 42 • · · ' · .·*·. sisältävän pulputinpullon 44 läpi, jolloin höyrystynyt neste (höyry) siirtyy kanavaa • « · .* . 38 pitkin esisekoituskammioon 10. Nestepisarat, kaasut ja höyryt sekoittuvat * · · * * * * *. 30 tehokkaasti esisekoituskammiossa 10 muodostaen homogeenisen seoksen 46.Figure 2 shows a preferred embodiment of the present invention 10. Liquid droplets 12 are atomized into premix mixing chamber 10 using a gas-dispersed atomizer 3, whereby liquid gas supply 5 is atomized by small burner gas 16 into other droplets 12. 28 using an oscillating disk such as an ultrasonic disk atomizer 22 to atomize the liquid source 30 into small droplets 28. The premixing chamber 10 is supplied with combustion gas from channel 32. The combustion gas may be, for example, hydrogen, methane, propane or butane, or a combination thereof. 20 other gas combinations. Similarly, oxygen * · · ··· is supplied to the premixing chamber 10. the oxygen-carrying gas may be, for example, air, oxygen, or ozone. From the gas passage 36 to the premixing chamber 10, an inert gas such as nitrogen or carbon dioxide is supplied. From the Gas Duct • · • · ·:. ·. a pre-mixing chamber 10 is supplied with some gas containing the · · · • * * * produced. 25 at least one raw material of nanoparticles. From channel 38 to steam * * * 10, steam containing at least one of the nanoparticles to be produced is fed. the raw material. Steam is supplied by supplying liquid 42 from the conduit 40 to the fluid 42 • · · '·. · * ·. through a pulverizer bottle 44, whereby the evaporated liquid (vapor) passes through the channel • «·. *. 38 along the premix chamber 10. Liquid droplets, gases and vapors mix * · · * * * * *. 30 effectively in the premix chamber 10 to form a homogeneous mixture 46.

· . Seos johdetaan edelleen pisaraerottimeen 48, joka erottelee seoksesta • < ···»* * * __ - 8 117971 hiukkaskokoa d suuremmat pisarat 50. pisaroiden sisältämä neste johdetaan edelleen keruukanavaa 52 pitkin keruuastiaan 54. Pisaraerotin 48 voi perustua esimerkiksi impaktioon, ilmaluokitteluun (engl. air classifier), sähköiseen luokitteluun, sykloniin tai vastaavaan. Seos 56, josta suuret nestepisarat on 5 poistettu johdetaan poltinpäälle 58. Poltinpäässä seos sytytetään liekin 60 aikaansaamiseksi. Liekki 60 on edullisesti turbulenttien tai muulla tavoin sellainen, että seoksen tehokas sekoittaminen on varmistettu. Liekissä 60 nestemäiset komponentit haihtuvat ja raaka-aineet reagoivat muodostaen hiukkasia 62.·. The mixture is further passed to droplet separator 48, which separates from the mixture droplets larger than particle size d 50. The liquid contained in the droplets is further passed through collecting passage 52 to collecting vessel 54. The droplet separator 48 may be based, for example, on impaction, air classification. air classifier), electronic classification, cyclone or the like. The mixture 56 from which the large droplets of liquid have been removed is led to the burner head 58. At the burner end, the mixture is ignited to produce a flame 60. The flame 60 is preferably turbulent or otherwise such that effective mixing of the mixture is ensured. In flame 60, the liquid components evaporate and the raw materials react to form particles 62.

1010

Kuvassa 3 on esitetty eräs edullinen suoritusmuoto nyt käsillä olevalle keksinnölle silloin, kun sitä käytetään tasolasin värjäykseen. Samalla kuva ja sen selitys toimii esimerkkinä keksinnön käytöstä eräässä sovelluskohteessa. SFigure 3 shows a preferred embodiment of the present invention when used for flat glass staining. At the same time, the figure and its description serve as an example of the use of the invention in an application. S

Esisekoituskammioon 10 atomisoidaan nestepisaroita 12 ja 14 käyttäen kahta 15 painehajoitteista atomisaattoria 18 ja 20, joilla nestesyötöt 24 ja 26 atomisoidaan pieniksi pisaroiksi. Neste 64 imetään korkeapainepumpulla 66 ja syötetään edelleen painehajoitteiselle atomisaattorille 18. Neste 64 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta koboltti(ll)nitraatista Co(N03)2 6H20, liuotussuhteen ollessa 100 ml metanolia ja 20 g koboltti (I I )nitraattia. Korkeapainepumpun 66 syöttö • .·, 20 rajoitetaan kuristusventtiilillä 68 tai vastaavalla arvoon 50 ml/min. Neste 70 • · · imetään korkeapainepumpulla 72 ja syötetään edelleen painehajoitteiselle • · · .Liquid droplets 12 and 14 are atomized into pre-mixing chamber 10 using two pressure-dispensed atomizers 18 and 20 to atomize liquid inlets 24 and 26 into small droplets. Liquid 64 is aspirated by high pressure pump 66 and is further supplied to pressure atomizer 18. Liquid 64 consists of methanol and cobalt (II) nitrate Co (NO3) 26H2O dissolved therein at a solubility of 100 ml methanol and 20 g of cobalt (II) nitrate. The supply to the high pressure pump 66 is limited by a throttle valve 68 or equivalent to 50 ml / min. Liquid 70 • · · is aspirated by a high pressure pump 72 and is further supplied to a pressure relief • · ·.

: atomisaattorille 20. Neste 70 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta • · « • * · · .···. kalsiumnitraatista Ca(N03)2'4H20, liuotussuhteen ollessa 100 ml metanolia ja 18 * ·: for atomizer 20. Liquid 70 is made up of methanol and dissolved in it. calcium nitrate Ca (NO 3) 2 · 4H 2 O, with a dissolution ratio of 100 ml methanol and 18 * ·

• M• M

: g kalsiumnitraattia. Korkeapainepumpun 72 syöttö rajoitetaan kuristusventtiilillä: g of calcium nitrate. The supply of high pressure pump 72 is limited by a throttle valve

Il* · .···. 25 74 tai vastaavalla arvoon 50 ml/min. Esisekoituskammioon 10 syötetään • · · vetykaasua tilavuusvirtauksella 500 l/min kanavasta 32. SamatenIl * ·. ···. 74 or equivalent to 50 ml / min. The pre-mixing chamber 10 is supplied with hydrogen gas at a flow rate of 500 l / min from conduit 32.

. esisekoituskammioon 10 syötetään ilmaa tilavuusvirtauksella 1250 l/min J. air is supplied to the premixing chamber 10 at a flow rate of 1250 l / min J

· · .*··. kanavasta 34. Nestepisarat ja kaasut sekoittuvat tehokkaasti • « · .* , esisekoituskammiossa 10 muodostaen homogeenisen seoksen 46. Seos • * · * I 30 johdetaan edelleen pisaraerottimeen 48, joka erottelee seoksesta halkaisijaltaan • · . aerodynaamista halkaisijaa 5 mikrometriä suuremmat pisarat 50. Pisaroiden • · ···#· • · 9 117971 sisältämä neste johdetaan edelleen keruukanavaa 52 pitkin keruuastiaan 54. Seos 56, josta suuret nestepisarat on poistettu johdetaan poltinpäälle 58. Poltinpää 58 on rakosuutin, jonka leveys on 1000 mm ja raon leveys 20 mm. Poltinpäässä seos sytytetään liekin 60 aikaansaamiseksi. Liekissä 60 5 nestemäiset komponentit haihtuvat ja raaka-aineet reagoivat muodostaen hiukkasia 62. Nämä hiukkaset ohjataan edelleen tasolasin 76 pintaan, jonka lämpötila on yli 600°C, ja johon hiukkaset 78 kiinnittyvät. Hiukkaset 78 diffundoituvat ja liukenevat edelleen lasiin 76 värjäten lasin pinnan siniseksi.· ·. * ··. from channel 34. Liquid droplets and gases are efficiently mixed in the pre-mixing chamber 10 to form a homogeneous mixture 46. The mixture is further introduced into a droplet separator 48 which separates the mixture from the diameter. droplets larger than 5 micrometers in aerodynamic diameter 50. The liquid contained in the droplets is further conducted through collecting channel 52 to collecting vessel 54. The mixture 56 from which large liquid droplets have been removed is directed to burner head 58. Burner head 58 is a slot nozzle having a width of 1000 mm and slot width 20 mm. At the burner end, the mixture is ignited to produce a flame 60. In flame 605, the liquid components evaporate and the raw materials react to form particles 62. These particles are further directed to a surface of flat glass 76 having a temperature greater than 600 ° C, to which particles 78 adhere. Particles 78 diffuse and further dissolve in glass 76, causing the surface of the glass to turn blue.

10 Kuvassa 4 on esitetty eräs edullinen suoritusmuoto nyt käsillä olevalle keksinnölle silloin, kun sitä käytetään fotokatalyyttisen pinnan tuottamiseen keraamiselle laatalle. Samalla kuva ja sen selitys toimii esimerkkinä keksinnön käytöstä eräässä sovelluskohteessa. Esisekoituskammioon 10 atomisoidaan nestepisaroita 12 ja 14 käyttäen kahta kaasuhajoitteista atomisaattoria 18 ja 20, 15 joilla nestesyötöt 24 ja 26 atomisoidaan pieniksi pisaroiksi. Neste 64 syötetään letkupumpulla 80 kaasuhajoitteiselle atomisaattorille 19. Neste 64 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta tetraetyyliortotitanaatista, Ti(OC2H5)4 (TEOT) , sekoitussuhteen ollessa 1:1. Nesteen tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla 80 arvoon 10 ml/min. Neste 70 syötetään letkupumpulla 82 ja kaasuhajoitteiselle • . 20 atomisaattorille 21. Neste 70 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta • · · .‘*.V hopeanitraatista, AgN03, sekoitussuhteen ollessa 100 ml metanolia ja 10 g • · · hopeanitraattia Nesteen tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla 82 arvoon 5 • · · ]···[ ml/min. Esisekoituskammioon 10 syötetään vetykaasua tilavuusvirtauksella 40 * · l/min kanavasta 84, joka edelleen yhtyy kaasuhajoitteisen atomisaattorin 19 • · · .···. 25 kaasukanavaan ennen johtamista esisekoituskammioon 10. Samaten • · esisekoituskammioon 10 syötetään happea tilavuusvirtauksella 20 l/min . .·. kanavasta 86, joka edelleen yhtyy kaasuhajoitteisen atomisaattorin 21 .···. kaasukanavaan ennen johtamista sekoituskammioon 10. Nestepisarat ja kaasut • ♦ .· , sekoittuvat tehokkaasti esisekoituskammiossa 10 muodostaen homogeenisen « · « ** *; 30 seoksen 46. Seos 46 johdetaan edelleen pisaraerottimeen 48, joka erottelee seoksesta halkaisijaltaan aerodynaamista halkaisijaa 10 mikrometriä suuremmat • « ····» • · ...Figure 4 illustrates a preferred embodiment of the present invention when used to produce a photocatalytic surface on a ceramic tile. At the same time, the figure and its description serve as an example of the use of the invention in an application. Liquid droplets 12 and 14 are atomized into the premixing chamber 10 using two gas dispersed atomizers 18 and 20, 15 to atomize the liquid feeds 24 and 26 into small droplets. Liquid 64 is supplied by a hose pump 80 to a gas-atomized atomizer 19. Liquid 64 consists of methanol and tetraethyl orthotitanate, Ti (OC 2 H 5) 4 (TEOT) dissolved therein in a 1: 1 mixing ratio. The volume flow rate of the liquid is adjusted by the hose pump 80 to 10 ml / min. Liquid 70 is supplied by hose pump 82 and gas - dispersed •. 20 for atomizer 21. Liquid 70 consists of methanol and silver nitrate dissolved therein, AgN03, with a mixing ratio of 100 ml methanol and 10 g • · · silver nitrate The volume flow rate of the liquid is adjusted by a hose pump 82 to 5 · · ·] ··· [ ml / min. Hydrogen gas is supplied to the pre-mixing chamber 10 at a volume flow rate of 40 * · l / min from channel 84, which further coalesces with the gas-dispersed atomizer 19 • · ·. ···. 25 into the gas passage before being introduced into the premix chamber 10. Also, · the premix chamber 10 is supplied with oxygen at a flow rate of 20 l / min. . ·. from channel 86, which further joins the gas-atomized atomizer 21. to the gas passage before being introduced into the mixing chamber 10. Liquid droplets and gases • ♦. ·, are effectively mixed in the premixing chamber 10 to form a homogeneous «·« ** *; 30 mixture 46. The mixture 46 is further conducted to a droplet separator 48 which separates the mixture from an aerodynamic diameter of 10 micrometres in diameter.

10 117971 pisarat 50. Pisaroiden 50 sisältämä neste johdetaan edelleen keruukanavaa 52 pitkin keruuastiaan 54. Seos 56, josta suuret nestepisarat on poistettu johdetaan poltinpäälle 58. Poltinpää 58 on rakosuutin, jonka leveys on 300 mm ja raon leveys 5 mm. Poltinpäässä 58 seos sytytetään liekin 60 aikaansaamiseksi.The liquid 56 contained in the droplets 50 is further passed through collecting passage 52 to a collecting vessel 54. The mixture 56 from which large liquid droplets have been removed is fed to burner head 58. Burner head 58 is a slot nozzle having a width of 300 mm and a slot width of 5 mm. At the burner head 58, the mixture is ignited to produce a flame 60.

5 Liekissä 60 nestemäiset komponentit haihtuvat ja raaka-aineet reagoivat muodostaen hiukkasia 62. Nämä hiukkaset 62 ohjataan edelleen keraamisen laatan 88 pintaan, johon hiukkaset kiinnittyvät muodostaen laatan pintaan fotokatalyyttisen pinnoitteen.5 In flame 60, the liquid components evaporate and the raw materials react to form particles 62. These particles 62 are further directed to the surface of the ceramic tile 88, to which the particles adhere to form a photocatalytic coating on the tile surface.

10 Kuvassa 5 on esitetty eräs edullinen suoritusmuoto nyt käsillä olevalle keksinnölle silloin, kun sitä käytetään aktiivisten optisten kuitujen valmistuksessa tarvittavien huokoisten kuituaihioiden valmistuksessa. Samalla kuva ja sen selitys toimii esimerkkinä keksinnön käytöstä eräässä sovelluskohteessa.Figure 5 illustrates a preferred embodiment of the present invention when used in the preparation of porous fiber preforms for the manufacture of active optical fibers. At the same time, the figure and its description serve as an example of the use of the invention in an application.

Esisekoituskammioon 10 atomisoidaan nestepisaroita 12 ja 14 käyttäen kahta 15 kaasuhajoitteista atomisaattoria 12 ja 14, joilla nestesyötöt 24 ja 26 atomisoidaan pieniksi pisaroiksi. Atomisointikaasuna 90 käytetään paineilmaa, joka johdetaan atomisointisuuttimien kaasukanaviin 92 ja 94 virtaussäätimien 96 ja 98 kautta.Liquid droplets 12 and 14 are atomized into the premixing chamber 10 using two gas-dispersed atomizers 12 and 14 to atomize the liquid feeds 24 and 26 into small droplets. Compressed air is used as the atomization gas 90 and is supplied to the gas channels 92 and 94 of the atomization nozzles through the flow regulators 96 and 98.

Neste 64 syötetään letkupumpulla 80 kaasuhajoitteiselle atomisaattorille 19.Liquid 64 is supplied by a hose pump 80 to a gas-dispersed atomizer 19.

Neste 64 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta alumiininitraatista, . . 20 AI(N03)3 9H20, sekoitussuhteen ollessa 20 g alumiininitraattia 100 millilitraan • · · • · « *!*.* metanolia.. Nesteen 64 tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla 80 arvoon 12 • » « • » i / ,m ml/min. Neste 70 syötetään letkupumpulla 82 kaasuhajoitteiselle atomisaattorille • · · 21. Neste 70 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta erbiumnitraatista,Liquid 64 consists of methanol and aluminum nitrate dissolved therein. . 20 Al (NO 3) 3 9H 2 O, with a mixing ratio of 20 g aluminum nitrate per 100 milliliters • · · • · «*! *. * Methanol. The volume flow rate of liquid 64 is adjusted by a hose pump 80 to 12 · m / ml. Liquid 70 is fed by a hose pump 82 to a gas atomizer • · · 21. Liquid 70 consists of methanol and erbium nitrate dissolved therein,

• I• I

Εγ(Ν03)3 5Η20 sekoitussuhteen ollessa 100 ml metanolia ja 2 g erbiumnitraattia • · » 25 Nesteen tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla 82 arvoon 12 ml/min.Εγ (Ν03) 3 At a 5Η20 mixing ratio of 100 ml methanol and 2 g erbium nitrate • · »25 Adjust the volume flow rate of the liquid by means of a hose pump 82 to 12 ml / min.

• «• «

Kantokaasuna 40 toimivaa happea syötetään massavirtaussäätäjän 100 kautta pulputtimelle 44. Pulputtimessa 44 oleva piitetrakloridi, SiCI4 höyrystyy • · · .·*·, kantokaasuun ja kulkeutuu kantokaasun mukana esisekoituskammioon 10 • · kanavan 38 kautta. Kantokaasun 40 virtaus on 500 ml/min ja pulputtimen 44Oxygen acting as carrier gas 40 is fed through pulverizer 100 to pulverizer 44. Silicon tetrachloride, SiCl 4 in pulverizer 44 is vaporized into the carrier gas and transported with the carrier gas through a pre-mixing chamber 10. Carrier gas 40 has a flow rate of 500 ml / min and pulverizer 44

• · I• · I

*· *· 30 lämpötila 30°C. Esisekoituskammioon 10 syötetään vetykaasua tilavuusvirtauksella 30 l/min kanavasta 36. Samaten esisekoituskammioon 10 m • · ····· • · ...* · * · 30 temperature 30 ° C. Hydrogen gas is supplied to the premix chamber 10 at a flow rate of 30 l / min from duct 36. Also, the premix chamber 10m · · ····· · · ...

117971 11 syötetään happea tilavuusvirtauksella 15 l/min kanavasta 34. Nestepisarat, höyry ja kaasut sekoittuvat tehokkaasti esisekoituskammiossa 10 muodostaen homogeenisen seoksen 46. Seos 46 johdetaan edelleen pisaraerottimeen 48, joka erottelee seoksesta halkaisijaltaan aerodynaamista halkaisijaa 8 mikrometriä 5 suuremmat pisarat 50. Pisaroiden 50 sisältämä neste johdetaan edelleen keruukanavaa 52 pitkin keruuastiaan 54. Seos 56, josta suuret nestepisarat on poistettu johdetaan poltinpäälle 58. Poltinpää 58 on pyöreä suutin, jonka halkaisija on 2 mm. Poltinpäässä 58 seos sytytetään liekin 60 aikaansaamiseksi.117971 11 is supplied with oxygen at a flow rate of 15 L / min from channel 34. Liquid droplets, vapor and gases are effectively mixed in premixing chamber 10 to form a homogeneous mixture 46. Mixture 46 is further passed to droplet separator 48 which separates from 50 micrometre to 50 micrometres aerodynamic diameter the mixture 56 from which the large droplets of liquid have been removed is directed to the burner head 58. The burner head 58 is a circular nozzle having a diameter of 2 mm. At the burner head 58, the mixture is ignited to produce a flame 60.

Liekissä 60 nestemäiset komponentit haihtuvat ja raaka-aineet reagoivat 10 muodostaen hiukkasia 62. Hiukkasten koostumus on Si02-AI203-Er203 suhteessa 100-10-1. Nämä hiukkaset ohjataan edelleen tuurnan 102 pintaan, johon hiukkaset kiinnittyvät muodostaen huokoisen lasikerroksen. Kasvatuksen , jälkeen tuurna 102 poistetaan, jolloin lopputuloksena saadaan aikaiseksi huokoinen lasiaihio.In flame 60, the liquid components evaporate and the raw materials react 10 to form particles 62. The composition of the particles is SiO 2 -Al 2 O 3 -Er 3 O 3 in a ratio of 100 to 10-1. These particles are further directed to the surface of mandrel 102, to which the particles adhere to form a porous glass layer. After culturing, the mandrel 102 is removed, resulting in a porous glass blank.

15 115 1

Kuvassa 6 on esitetty eräs edullinen suoritusmuoto nyt käsillä olevalle keksinnölle silloin, kun sitä käytetään nanohiukkasten tuottamiseen pinnoitusta varten alaspäin suunnatussa poltinpäässä. Samalla kuva ja sen selitys toimii esimerkkinä keksinnön käytöstä eräässä sovelluskohteessa.Figure 6 shows a preferred embodiment of the present invention when used to produce nanoparticles for coating at a downwardly directed burner head. At the same time, the figure and its description serve as an example of the use of the invention in an application.

: .·. 20 Esisekoituskammioon 10 atomisoidaan nestepisaroita 12 ja 14 käyttäen kahta • · · · kaasuhajoitteista atomisaattoria 19 ja 21, joilla nestesyötöt 24 ja 26 atomisoidaan ; • : pieniksi pisaroiksi. Neste 64 syötetään letkupumpulla 80 kaasuhajoitteiselle .**·. atomisaattorille 19. Neste 64 koostuu metanolista ja siihen liuotetusta * * * : .·. kuparinitraatista, Cu(N03)23H20, sekoitussuhteen ollessa 30 g kuparinitraattia • · · · 25 100 millilitraan metanolia.. Nesteen 64 tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla * · * 80 arvoon 8 ml/min. Neste 70 syötetään letkupumpulla 82 ja kaasuhajoitteiselle . atomisaattorille 21. Neste 70 on tetraetyyliortosilikaattia, TEOS. Nesteen * * * tilavuusvirtaus säädetään letkupumpulla 82 arvoon 20 ml/min.:. ·. Liquid droplets 12 and 14 are atomized into the premix chamber 10 using two gas-atomized atomizers 19 and 21 to atomize the fluid feeds 24 and 26; •: in small drops. Liquid 64 is supplied by a hose pump 80 to a gas dispenser. ** ·. for atomizer 19. Liquid 64 consists of methanol and * * * :. ·. of copper nitrate, Cu (NO 3) 23H 2 O, with a mixing ratio of 30 g of copper nitrate • · · · 25 in 100 ml of methanol. The volume flow rate of liquid 64 is adjusted by a hose pump * · * 80 to 8 ml / min. Liquid 70 is fed to the hose pump 82 and to the gas dispenser. for atomizer 21. Liquid 70 is tetraethyl orthosilicate, TEOS. The volume flow * * * of the liquid is adjusted by the hose pump 82 to 20 ml / min.

/ . Esisekoituskammioon 10 syötetään vetykaasua tilavuusvirtauksella 30 l/min • * * 30 kanavasta 104, joka samalla toimii kaasuhajoitteisen atomisaattorin • * • ^ hajoituskaasukanavana. Samaten esisekoituskammioon 10 syötetään ilmaa • · • · : ,, ' 1 1 7971 tilavuusvirtauksella 75 l/min kanavasta 34. Nestepisarat ja kaasut sekoittuvat tehokkaasti esisekoituskammiossa 10 muodostaen homogeenisen seoksen 46. Seos johdetaan edelleen poltinpäälle 58. Poltinpää 58 on rakosuutin, jonka leveys on 200 mm ja raon halkaisija on 1 mm. Poltinpää 58 ja 5 esisekoituskammion 10 pinnat 106 on lämmitetty sähkölämmittimellä 114 lämpötilaan 120°C. Tällöin pinnoille 106 ja poltinpään 58 sisäpintaan ajautuvista nestehiukkasista 108 haihtuu metanoli 110 ja nesteen sisältämät suolat 112 tarttuvat pintoihin. Tällöin estetään pintaan tarttuneen nesteen virtaaminen/valuminen suurina pisaroina ulos poltinpäästä 58. Poltinpäässä 58 10 seos sytytetään liekin 60 aikaansaamiseksi. Liekissä 60 nestemäiset komponentit haihtuvat ja raaka-aineet reagoivat muodostaen hiukkasia 62. Hiukkaset ohjataan edelleen tasolasin pintaan 116, johon hiukkaset 62 kiinnittyvät. Hiukkaset diffundoituvat, liukenevat ja sekoittuvat tasolasin pintaan värjäten sen turkoosiksi./. Hydrogen gas is supplied to the pre-mixing chamber 10 at a volume flow rate of 30 L / min • * * 30 from channel 104, which at the same time acts as a decomposition gas channel of the gas-dispersed atomizer. Likewise, air is supplied to pre-mixing chamber 10 at a flow rate of 75 liters / minute from duct 34. Liquid droplets and gases are effectively mixed in pre-mixing chamber 10 to form a homogeneous mixture 46. The mixture is further directed to burner head 58. Burner head 58 is a slot nozzle 200 mm and a gap diameter of 1 mm. The surfaces 106 of the burner head 58 and 5 are heated by an electric heater 114 to a temperature of 120 ° C. The liquid particles 108 flowing to the surfaces 106 and the inner surface of the burner head 58 then evaporate the methanol 110 and the salts 112 contained in the liquid adhere to the surfaces. This prevents the liquid adhering to the surface from flowing / draining in large droplets out of the burner head 58. At the burner head 58 10, the mixture is ignited to produce a flame 60. In flame 60, the liquid components evaporate and the raw materials react to form particles 62. The particles are further guided to the surface 116 of the flat glass, to which the particles 62 adhere. The particles diffuse, dissolve and mix with the surface of the flat glass, making it turquoise.

1515

Alan ammattimiehelle on luonnollisesti selvää, että edellä keksinnön eri suoritusmuotojen yhteydessä esitettyjä menetelmiä, toimintatapoja ja laitteiston rakenteita eri tavoin yhdistelemällä voidaan aikaansaada erilaisia keksinnön suoritusmuotoja, jotka ovat keksinnön hengen mukaisia. Tämän vuoksi edellä : .·. 20 esitettyjä esimerkkejä ei tule tulkita keksintöä rajoittavasti vaan keksinnön • · · [···', suoritusmuodot voivat vapaasti vaihdella jäljempänä patenttivaatimuksissa * 1 · esitettyjen keksinnöllisten piirteiden puitteissa.It will, of course, be apparent to one skilled in the art that various combinations of the methods, procedures, and apparatus structures described above in connection with the various embodiments of the invention may provide various embodiments of the invention that are within the spirit of the invention. Therefore, the above:. The examples presented in Fig. 20 are not to be construed as limiting the invention but embodiments of the invention may be varied within the scope of the inventive features set forth in claims * 1 · below.

• · 1 * 1 1 1 • · ♦ • · · : .·. Alan ammattimiehelle on luonnollisesti myös selvää, että oheiset piirustukset on * · · · .···. 25 tarkoitettu keksinnön havainnollistamiseksi, ja siten niissä esitetyt rakenteet ja • · · komponentit eivät ole piirretty niiden oikeita keskinäisiä mittasuhteita vastaavasti.• · 1 * 1 1 1 • · ♦ • · ·:. ·. It will, of course, be obvious to one skilled in the art that the accompanying drawings are * · · ·. ···. 25 are intended to illustrate the invention, and thus the structures and components shown therein are not drawn in their proper mutual dimensions.

• · · » » ♦ * 1 · .··1. Alan ammattimiehelle on luonnollisesti myös selvää, että esitetyt geometriat on • · · .1 . tarkoitettu keksinnön havainnollistamiseksi, ja siten esimerkiksi sekoituskammion • · 1 • · · ····· • · 1 30 muoto voi olla mielivaltainen ja poltinpään muoto voi olla hyvin vapaa, kunhan • · · · · • · . huolehditaan siitä etteivät käytetyt geometriat esimerkiksi haitallisesti kerää ·····-' • · ' 13 117971 nestehiukkasia. Esimerkkinä tällaisesta haitallisesta muodosta on esimerkiksi rei’itetty poltinpää, jossa reikien väliin jäävät pinnat voivat toimia hiukkasten impaktiokeräiminä.• · · »» ♦ * 1 ·. ·· 1. Of course, it will also be obvious to one skilled in the art that the geometries shown are • · · .1. is intended to illustrate the invention and thus, for example, the shape of the mixing chamber may be arbitrary and the shape of the burner head may be very free provided that. care is taken that the geometries used, for example, do not collect ····· - '• ·' 13 117971 liquid particles. An example of such a harmful shape is, for example, a perforated burner head where the surfaces between the holes may act as particle impact collectors.

5 • · * · * • · · ··· * · φ · • · · • · *·· * · · *··* ...5 • · * · * • · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ···

• * * * · * · · · * « • · · • · · • * · · • * · • · * · • · * * • t * * · · .• * * * · * · · · * «• • • • • • * * t * * · ·.

• · * 'i • φ φ # • φ φ # φ φ • # # . φ φ · φ # # φ # # φ 1 • · φ · φ · · # φ• · * 'i • φ φ # • φ φ # φ φ • # #. φ φ · φ # # φ # # φ 1 • · φ · # · # # φ

Claims (13)

14 1 1 797114 1 1 7971 1. Menetelmä nanohiukkasten tuottamiseksi, jossa menetelmässä tuotetaan nestemäisiä hiukkasia, jotka mainitut nestehiukkaset johdetaan liekkiin, jossa 5 nanohiukkaset muodostuvat nestehiukkasista, tunnettu siitä, että ainakin yhdestä nestemäisestä lähtöaineesta atomisoidut nestehiukkaset ja liekin muodostavat poltto- ja hapettavat kaasut sekoitetaan keskenään ennen liekin muodostamista..A process for producing nanoparticles, wherein the liquid particles are introduced into a flame, said nanoparticles being led to a flame, wherein the nanoparticles are formed of liquid particles, characterized in that the atomised liquid particles and the flame forming combustion and oxidizing gases form the flame. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että liekkiin johdettavien nestehiukkasten aerodynaamisen halkaisijan mediaani on välillä 1-20 mikrometriä.Method according to Claim 1, characterized in that the median aerodynamic diameter of the liquid particles introduced into the flame is between 1 and 20 micrometers. 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että 15 aerodynaamiselta halkaisijaltaan yli 5-20 mikrometrin suuruiset aerosolihiukkaset poistetaan kaasuvirtauksesta ennen liekkiä.Method according to Claim 1, characterized in that the aerosol particles having an aerodynamic diameter greater than 5 to 20 micrometres are removed from the gas stream before the flame. 4. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä että menetelmän mukaisen laitteen seinämiä lämmitetään siten että seinälle ajautuvien : 20 nestepisaroiden nestekomponentti kokonaan tai osittain haihtuu ja nesteen * * · · sisältämä suola jää kiinni lämmitettyyn pintaan. » * · • * * • · · ··* ·Method according to Claim 1, characterized in that the walls of the device according to the method are heated so that the liquid component of the liquid droplets applied to the wall is completely or partially evaporated and the salt contained in the liquid * * · · remains on the heated surface. »* · • * * • · · ·· * · 5. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, • ♦ * 1 m * * » j aerosolihiukkasten ja liekin muodostavien poltto- ja hapettavien kaasujen • · · · 25 joukkoon sekoitetaan ainakin yhtä nanohiukkasten muodostumisreaktioon • * · osallistuvaa kaasua tai höyryä. * · · s··»A process according to claim 1, characterized in that at least one gas or vapor involved in the formation of the nanoparticles is mixed with the aerosol particles and the flame-forming combustion and oxidizing gases. * · · S ·· » • · ♦ ·'< ··· ·’**; 6. Laite nanohiukkasten muodostamiseksi, jossa laitteessa on välineet (18, 20, ,-¾ • * * ,·[ : 22) nestemäisten raaka-aineiden atomisoimiseksi ja välineet (32, 34, 36, 38; 84, • ·» 30 86) kaasujen ja/tai höyryjen syöttämiseksi, välineet (10) atomisoitujen nesteiden, • ♦ • ^ kaasujen ja/tai höyryjen sekoittamiseksi, välineet seoksen (46) johtamiseksi * * • · « · · * · ' ' . ' 15 117971 poltinpäälle (58) ja välineet liekin (60) muodostamiseksi, tunnettu siitä, että atomisoidut nestehiukkaset ja kaasut/höyryt sekoitetaan keskenään ennen liekin (60) muodostamista.• · ♦ · '<··· ·' **; An apparatus for forming nanoparticles comprising means (18, 20,, -¾ • * *, · [: 22) for atomizing liquid raw materials and means (32, 34, 36, 38; 84, • · 3086) ) for supplying gases and / or vapors, means (10) for mixing atomized liquids, • for mixing gases and / or vapors, means for conducting the mixture (46). 117971 burner head (58) and means for forming a flame (60), characterized in that the atomized liquid particles and the gases / vapors are mixed with each other before the flame (60) is formed. 7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen laite, tunnettu siitä että nestehiukkaset atomisoidaan painehajoitteisella atomisaattorilla (18, 20), kaasuhajoitteisella atomisaattorilla (19, 21) tai värähtelevällä levyllä (22).Apparatus according to claim 6, characterized in that the liquid particles are atomized by a pressure-atomized atomizer (18, 20), a gas-atomized atomizer (19, 21) or by a vibrating plate (22). 8. Patenttivaatimuksen 6 mukainen laite, tunnettu siitä että laitteessa on välineet 10 aerodynaamiselta halkaisijalta yli 5-20 mikrometrin suuruisten nestepisaroiden poistamiseksi kaasuvirrasta ennen liekkiä. ;Device according to Claim 6, characterized in that the device comprises means 10 for removing droplets of liquid from an aerodynamic diameter of more than 5 to 20 micrometers from the gas stream before the flame. ; 9. Patenttivaatimuksen 6 mukainen laite, tunnettu siitä että laitteessa on välineet seosvirtauksen kanssa yhteydessä olevien pintojen lämmittämikseksi. r 15Device according to Claim 6, characterized in that the device comprises means for heating the surfaces in contact with the mixture flow. r 15 10. Jokin patenttivaatimusten 1-9 mukainen menetelmä tai laite, tunnettu siitä että menetelmää tai laitetta käytetään nanohiukkasten tuottamiseen tasolasin pinnan värjäyksessä. : 20Method or device according to one of Claims 1 to 9, characterized in that the method or device is used to produce nanoparticles in the staining of the flat glass surface. : 20 11. Jokin patenttivaatimusten 1-9 mukainen menetelmä tai laite, tunnettu siitä » · · • · · · että menetelmää tai laitetta käytetään nanohiukkasten tuottamiseen • · * : .·. fotokatalyyttisen pinnan valmistuksessa.The method or device according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the method or device is used to produce nanoparticles. in the manufacture of a photocatalytic surface. • · · * · · · • · · » · : .·. 12. Jokin patenttivaatimusten 1-9 mukainen menetelmä tai laite, tunnettu siitä • · · · .**·. 25 että menetelmää tai laitetta käytetään nanohiukkasten tuottamiseen optisen • · · kuidun aihion valmistuksessa. ··· • φ · * · ·• · · * · · · · · »»:. ·. A method or device according to any one of claims 1 to 9, characterized by a · · · ·. ** ·. 25 that the method or apparatus is used to produce nanoparticles in the manufacture of optical fiber preforms. ··· • φ · * · · 13. Jokin patenttivaatimusten 1-9 mukainen menetelmä, tunnettu siitä että * · · / . menetelmää tai laitetta käytetään nanohiukkasten tuottamiseen keraamisen, 30 lasisen tai metallisen kappaleen pinnoittamisessa. ·····'-• · φ • · 16 1 1 7971Method according to one of Claims 1 to 9, characterized in that * · · /. The method or apparatus is used to produce nanoparticles in a coating of a ceramic, glass or metal body. ····· '- • · φ • · 16 1 1 7971
FI20050595A 2005-06-06 2005-06-06 Process and plant for the production of nanoparticles FI117971B (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20050595A FI117971B (en) 2005-06-06 2005-06-06 Process and plant for the production of nanoparticles

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20050595A FI117971B (en) 2005-06-06 2005-06-06 Process and plant for the production of nanoparticles
FI20050595 2005-06-06

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20050595A0 FI20050595A0 (en) 2005-06-06
FI20050595A FI20050595A (en) 2006-12-07
FI117971B true FI117971B (en) 2007-05-15

Family

ID=34778318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20050595A FI117971B (en) 2005-06-06 2005-06-06 Process and plant for the production of nanoparticles

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI117971B (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009080892A1 (en) * 2007-12-20 2009-07-02 Beneq Oy Device for forming aerosol, and method and apparatus for coating glass
WO2009080896A1 (en) 2007-12-20 2009-07-02 Beneq Oy Device and method for producing particles
WO2012120194A1 (en) * 2011-03-09 2012-09-13 Beneq Oy Coating process, apparatus and use

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA015999B1 (en) * 2006-10-24 2012-01-30 Бенек Ой Device for producing nanoparticles
EA015054B1 (en) * 2007-02-12 2011-04-29 Бенек Ой Method for doping glass
WO2013064728A2 (en) * 2011-11-01 2013-05-10 Beneq Oy Surface treatment device and method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009080892A1 (en) * 2007-12-20 2009-07-02 Beneq Oy Device for forming aerosol, and method and apparatus for coating glass
WO2009080896A1 (en) 2007-12-20 2009-07-02 Beneq Oy Device and method for producing particles
EA017446B1 (en) * 2007-12-20 2012-12-28 Бенек Ой Device and method for producing particles
EA018506B1 (en) * 2007-12-20 2013-08-30 Бенек Ой Device for forming aerosol, and method and apparatus for coating glass
EA021546B1 (en) * 2007-12-20 2015-07-30 Бенек Ой Method and apparatus for forming coating on glass surface
WO2012120194A1 (en) * 2011-03-09 2012-09-13 Beneq Oy Coating process, apparatus and use

Also Published As

Publication number Publication date
FI20050595A0 (en) 2005-06-06
FI20050595A (en) 2006-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8231369B2 (en) Device and method for producing nanoparticles
FI117971B (en) Process and plant for the production of nanoparticles
Mueller et al. Nanoparticle synthesis at high production rates by flame spray pyrolysis
US6508855B2 (en) Aerosol delivery apparatus for chemical reactions
FI121990B (en) Device for producing fogs and particles
FI116619B (en) Method and apparatus for producing optical material and optical waveguide
JP6133319B2 (en) Method for producing synthetic quartz glass by deposition from the gas phase and by atomizing a liquid siloxane feed
JP2000063126A (en) Formation of silica-containing soot and burner
EA021546B1 (en) Method and apparatus for forming coating on glass surface
JP4504569B2 (en) Method and apparatus for spraying raw materials
US20090095128A1 (en) Uniform aerosol delivery for flow-based pyrolysis for inorganic material synthesis
US8828544B2 (en) Process and apparatus for depositing nanostructured material onto a substrate material
US7655274B2 (en) Combustion deposition using aqueous precursor solutions to deposit titanium dioxide coatings
FI117790B (en) Method and apparatus for coating materials
KR100841293B1 (en) Method and apparatus of synthesizing carbon nanotubes with ultra sonic evaporator
RU2349546C1 (en) Method of producing fine silicon dioxide powder
US20090029064A1 (en) Apparatus and method for making nanoparticles using a hot wall reactor
Aromaa et al. Liquid Flame Spray as a Means to Achieve Nanoscale Coatings with Easy‐to‐Clean Properties
Jung Flame Synthesis of Nanomaterials
JP2002522333A (en) Method and apparatus for forming soot for glass making

Legal Events

Date Code Title Description
PC Transfer of assignment of patent

Owner name: BENEQ OY

Free format text: BENEQ OY

FG Patent granted

Ref document number: 117971

Country of ref document: FI

MM Patent lapsed