FI113018B - Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi - Google Patents

Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi Download PDF

Info

Publication number
FI113018B
FI113018B FI20015002A FI20015002A FI113018B FI 113018 B FI113018 B FI 113018B FI 20015002 A FI20015002 A FI 20015002A FI 20015002 A FI20015002 A FI 20015002A FI 113018 B FI113018 B FI 113018B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
sensor
ultrasonic vibrator
cleaning
primary
signal
Prior art date
Application number
FI20015002A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI20015002A0 (fi
FI20015002A (fi
Inventor
Hannu Helle
Hannu Sekki
Kirsi Korpijaervi
Hannu Vaelimaeki
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI20015002A priority Critical patent/FI113018B/fi
Publication of FI20015002A0 publication Critical patent/FI20015002A0/fi
Publication of FI20015002A publication Critical patent/FI20015002A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI113018B publication Critical patent/FI113018B/fi

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

113018
MENETELMÄ ANTURIN PUHDISTAMISEKSI ULTRAÄÄNIVÄRÄHTELIJÄLLÄ JA VASTAAVA ANTURI
Keksinnön kohteena on menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraää-5 nivärähtelijällä halutun puhdistustason saavuttamiseksi, jossa primaarianturia värisytetään pesujaksossa ultraäänivärähtelijän avulla, ja menetelmän toteuttava anturi.
Nesteessä olevien pintojen, kuten erityisesti prosessimittalait-10 teiden, puhdistamisessa käytetään ultraäänitekniikkaa yleisesti hyväksi välillisessä ja välittömässä puhdistuksessa. Välillisessä puhdistuksessa ultraääni johdetaan väliainetta (esim. nestettä) hyväksikäyttäen puhdistuskohteeseensa ja välittömässä puhdistuksessa ultraäänianturi on kiinteässä kontaktissa primaa-15 risen mitta-anturin kanssa. Kavitaatioon perustuvassa puhdistuksessa äänikentässä syntyneiden kaasukuplien voimakas luhistuminen aiheuttaa nestepaineiskun vaikutuksen kohdepinnassa.
Monissa prosessiteollisuuden kohteissa mitta-antureiden likaan-20 tuminen heikentää tuottavuutta lisäämällä esimerkiksi kunnossapidollisten toimenpiteiden tarvetta. Useissa prosesseissa nämä toimenpiteet ovat tuotannon pullonkauloina, eikä läheskään kaikkiin ongelmiin löydy markkinoilta tyydyttäviä ratkaisuja.
• 1 ..· Antureiden ja elektrodien likaantuminen vaikeuttaa esim. johto- 25 kyvyn ja pH:n luotettavaa mittaamista paperikoneilla. Tällä , * * V t · · hetkellä mittauksiin liittyviä pintoja pyritään pitämään puhtai- Γ*: na vaikuttamalla itse prosesseihin ja pintojen fysikaalis- ‘ kemiallisiin ominaisuuksiin. Pintojen puhtaanapitoon käytetään mm. kemiallisia pesuja, vesihöyryä, paineilmaa tai -vettä tai ·:*: 30 muita mekaanisia irrotustapoja. Yleisesti ottaen mittauksiin • liittyvien kriittisten pintojen puhdistustekniikat eivät ole :kehittyneet muun prosessiautomaation ja mittaustekniikan myötä, .. eikä tehtyjä investointeja voida näin ollen täysipainoisesti ,,,‘Γ hyödyntää. Esimerkiksi paperiteollisuuden monet vesipohjaiset | ” 35 prosessit, puhdistamovesijärjestelmät ja kemianteollisuuden *· '_* prosessit ovat herkkiä kemiallisten ja mikrobiologisten saostu- • · 2 113018 mien muodostumiselle ja juuri näissä kohteissa puhdistusmenetelmien tarve onkin merkittävä.
Julkaisussa US-3,771,361 on esitetty ratkaisu, jossa sähkömag-5 neettisen virtausmittarin elektrodien puhtaanapito tapahtuu ultraäänellä. Tässä kerrosmaisesti rakennettu ultraäänivärähte-lijä on sijoitettu elektrodin sisään ja värähtely johdetaan ohuen seinämän välityksellä puhdistettavalle elektrodipinnalle.
10 Patenttijulkaisussa US-5,889,209 on esitetty menetelmä esimerkiksi liuenneen hapen määritykseen tarkoitetun anturin kalvopin-nan biologisen likaantumisen ehkäisyyn. Tässä ratkaisussa puhtaanapito suoritetaan nesteen kautta puhdistettavalle pinnalle tuotavalla ultraäänivärähtelyllä, jota käytetään jaksoittain. 15
Julkaisussa GB-2269674 on esitetty menetelmä esimerkiksi liuenneen hapen mittaukseen tarkoitetun sähkökemiallisen anturin kalvopinnan puhdistamiseksi, joka suoritetaan anturin kalvopin-nan alapuolelle sijoitetuilla pietsosähköisellä kiteellä väris-20 täen kalvoa ja nestettä kalvopinnan läheisyydessä.
, Julkaisussa US-4,092,858 on esitetty meritutkimuksessa käytettä- ’; ’ ··* vä anturi, joka osaa puhdistaa itse itsensä. Kiteisestä aineesta ; • ...* valmistettu anturi hyödyntää pietsosähköistä ilmiötä ja värähte- • * * • ; : : 25 lee lähellä resonanssitaajuuttaan, jolloin anturin pinta puhdis- ^ · ’ ”· tuu vieraista aineista.
* 5 . ·
Edellä olevien patenttijulkaisujen perusteella voidaan todeta, ♦ ""· että antureiden toimintakuntoa ei edellä esitetyissä julkaisuis- : 30 sa kuvatuilla menetelmillä ja välineillä kyetä millään muotoa luotettavasti tarkkailemaan. Anturin puhdistamisen jälkeen saatavista mittaustuloksista ei kyetä luotettavasti toteamaan ...J anturin toimintakuntoa ja todellista puhtausastetta. Puhdistus- ,f. “ jaksosta huolimatta anturi saattaa olla edelleen likainen tai ! *'»* · ’35 värähtelijä saattaa olla rikki. Anturi, joka ei toimi oletetulla 3 113018 tavalla, välittää väärää tietoa mittaamistaan prosessisuureista. Tämä aiheuttaa prosessiin ongelmia ja epätaloudellisuutta.
Tämän keksinnön tarkoituksena on aikaansaada uudenlainen mene-5 telmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä halutun puhtaustason saavuttamiseksi, jossa primaarianturia värisytetään ultraäänivärähtelijän avulla. Keksinnön mukaisen menetelmän tunnusomaiset piirteet on esitetty patenttivaatimuksessa 1 ja anturin tunnusomaiset piirteet patenttivaatimuksessa 4. Keksin-10 nön mukaisella menetelmällä parannetaan merkittävästi anturin toimintavarmuutta. Keksinnön mukaisessa menetelmässä primaarian-turin tai ultraäänivärähtelijän signaalin vaste palautetaan ja tulkitaan valitulla kriteerillä. Kriteeri voidaan asettaa joko itse primaarianturin signaalille tai ultraäänivärähtelijästä 15 saatavalle signaalille. Keksinnön mukaiseen anturiin on sovitettu väylä signaalin vasteen palauttamiseksi ja välineet signaalin vasteen tulkitsemiseksi.
Keksinnön mukaisella menetelmällä parannetaan merkittävästi 20 anturin toimintavarmuutta, jolloin tämän epäkuntoisuudesta saadaan välitön informaatio ja tämän perusteella voidaan ryhtyä > · 'ϊ toimenpiteisiin vian korjaamiseksi. Ultraäänivärähtelijä on i J · edullisesti integroitu anturin yhteyteen kiinteäksi rakenteeksi, jolloin puhdistusteho voidaan välittää suoraan anturille.
: : 25 • ”* Keksintöä kuvataan seuraavassa yksityiskohtaisesti viittaamalla « * ' oheisiin keksintöä kuvaaviin piirroksiin, joiden yksityiskohtiin , keksintöä ei ole rajoitettu « * · a 30 Kuvat la ja Ib esittävät keksinnön mukaisia anturin v mittaus- ja pesurielektroniikan kytken- i » , töjä mittauksen ja pesun aikana, * « ' » a , ,· Kuvat 2a ja 2b esittävät kuvien la ja Ib mukaisen an- * turin ydinosan rakennetta ja sähköisiä I ;i ·; 35 kytkentÖ3ä.
i 4 113018
Kuvissa la ja Ib esitetään periaatteellisesti keksinnön mukaista menetelmää hyödyntävän anturin mittaus- ja pesuelektroniikan kytkennät primaarisen ultraäänianturin yhteydessä. Primaariantu-rina on leikkaus-paksuusmoodin (Thickness Shear Mode, TSM) 5 kvartsikideresonaattori 11, jonka avulla voidaan mitata kiteen pinnan läheisyydessä olevan ainekerroksen viskositeetin ja tiheyden tulon lisäksi kiteen pinnan läheisyydessä olevan ainekerroksen viskoelastisuutta ja kiteen pintaan tarttuvaa ja siitä irtoavaa kiinteää massaa. Viimeksi mainitut suuret ovat 10 edullisia mm. selvitettäessä ultraäänipesurin pesutehoa. Todellisessa käyttökohteessa voi viskositeetin mittaukseen soveltuvan primaarianturin tilalla toimia myös esimerkiksi pH:n tai lämpötilan mittaukseen soveltuva anturi.
15 Prototyypin primaarianturissa 11 käytetään 10MHz:n ominaisväräh-telytaajuuden TSM-kvartsikiteitä 11.1, joilla on mitattavissa perusresonanssin lisäksi harmonisia monikertoja. Näiden tasopin-toihin on valmistettu kultaelektrodit 11.2. Kidelevyn 11.1 paksuus on esimerkin mukaisessa primaarianturissa 160 pm ja 1 20 kultaelektrodien 11.2 paksuus noin 200 nm. Pesuun käytettävä * 1 ;'.j ultraäänivärähtelijä 10 voidaan rakentaa kahdesta rengaspietsos- ta, jotka värähtelevät esimerkiksi noin 50 kHz-.n taajuudella. Pesuresonaattoreille 10.1, 10.2 (kuvassa 2a) on järjestetty tehoyksikkö, joka koostuu 50 kHz:n värähtelijöille modifioidusta 1 9 · :··· 25 taajuusgeneraattorista 13. Taajuusgeneraattorin 13 tuottaman ' signaalin amplitudi asetetaan tehoa säätämällä.
· ·
Puhdistusvärähtely tuotetaan kahden pietsokeraamiresonaattorin • · 10.1, 10.2 tuottaman värähtelyn avulla siten, että niiden • 30 värähtely johdetaan kiinteitä rakenteita pitkin primaarianturiin » t } » · · 11. Kuviin la ja Ib on piirretty vain toinen pesuresonaattori > · 10.1. Kuvassa la on esitetty kytkentä mittausasennossa. Tällöin resonaattorin 10 kytkennät 22.1 ja 22.2 ovat avoimet. Kun pesujakso tulee suoritukseen, niin kvartsikiteen 11 elektrodit » > t . 35 11.2 menevät oikosuljettuun tilaan ja piiri/spektrianalysaattori 5 113018 tai muu mittauselektroniikka-yksikkö (ei esitetty) kytketään irti (kuva Ib).
Kuvassa 2a on esitetty anturin ydinosan rakenne ja sähköiset 5 kytkennät. Signaalijohtimen 19 toinen pää on sähköisesti liitetty kvartsikiteen 11.1 yläelektrodiin 11.2' kiinnitysruuviin 18 poratun reiän kautta. Signaalijohtimella 19 välitetään mittasuu-retta vastaava primaarianturin 11 taajuus pii-ri/spektrianalysaattorille tai vastaavalle (ei esitetty). 10 Resonaattori 10.1 saadaan tiiviiseen kontaktiin resonaattorin 10.2 kanssa kiinnitysruuvilla 18 paikalleen kiristetyllä alumiinisella vastapainolla 17. Muovinen väliosa 16 eristää resonaattorit 10.1, 10.2 primaarianturista 11, jonka näytteen puoleinen elektrodi 11.2* on maadoitettu lopullisessa kokoon-15 panossa anturin runkoon 12 sähköä johtavan O-renkaan 15 kautta (kuva 2b). Puhdistusresonaattoreita 10.1, 10.2 käytetään taa- juusgeneraattorin 13 avulla, jonka yhteyteen on sovitettu keksinnön mukaisen menetelmän ja anturin kannalta oleelliset signaalin vasteen palauttava väylä ja välineet väylän välittämän 20 vastesignaalin tulkitsemiseksi kussakin pesujaksossa (ei esitet-:’·· ty) . Puhdistusresonaattori 10 on liitetty runkoon 12 siten, että : näiden välissä on ruuveilla 20 kiinnitetty kiinnitysmekanismi ; 21, jolla resonaattorit 10.1, 10.2 liitetään kerrosrakenteisesti • integroituina primaarianturin 11 kanssa samoihin kiinteisiin ':··· 25 rakenteisiin 12 ja värähtely saadaan välittömästi välitettyä primaarianturiin 11.
» »
Ultraäänianturin käyttäminen tapahtuu siten, että pesujaksot on .···. ennakolta ohjelmoitu suoritettavaksi joko säännöllisin aikavä- * 30 lein tai ennalta asetetun ehdon mukaisesti. Tällainen ehto voi olla esimerkiksi mittasuureen, kuten primaarianturin 11 välittä- mää taajuutta vastaavan viskositeetin eroaminen prosessille .Λ.’·· ominaisesta perusarvosta, jota myös kriteeriarvoksi kutsutaan.
,!”! Myös signaalin amplitudia voidaan käyttää kriteeriarvona.
» » » ’ , 35 Edullisimmin kriteeri on ajan funktio eli vasteen tulee seurata «»ti» valittua käyrää, jotta tulos hyväksytään.
6 113018
Primaarianturi 11 kytketään pesujakson ajaksi pois päältä. Pesujakso muodostuu asetetun mittaisista ultraäänipulsseista, joita lähetetään asetettu määrä ja asetetulla teholla. Tällaiset arvot voivat olla esimerkiksi pulssien pituuden osalta 0,5 5 sekuntia, pulssien välisen tauon pituuden osalta 1,0 s, pulssien lukumäärän ollessa pesujaksossa 10 ja tehona 30% maksimitehosta. Pesun seurauksena anturin mittaustulos lähenee prosessille ominaista perusarvoa. Pesujaksoja toistetaan samalla teholla niin monta kertaa, kunnes mittaustulos ei enää muutu. Tällöin 10 esimerkiksi nostetaan pesutehoa (10%) tai lisätään pulssien lukumäärää pesujaksossa (50) ja toistetaan muutoin samoilla asetuksilla pesujakso. Tehonnoston seurauksena anturi puhdistuu edelleen ja myös sen välittämä mittaustulos lähenee prosessille ominaista perusarvoa. Vastaava tehon nosto ja mahdollisesti 15 pulssien lukumäärän nosto ajan funktiona suoritetaan niin moneen kertaan kunnes päästään ennalta asetettuun prosessille ominaiseen perusarvoon ja kytkentä voidaan siirtää mittausasentoon, jossa ultraäänivärähtelijä 10 on kytketty pois päältä.
20 Jos lukuisten pesujaksojen ja portaittaisten tehon nostojen ·;*·· seurauksena vastesignaalin ja asetetun kriteeriarvon välinen * erotus on edelleen suurempi kuin asetettu raja-arvo, voidaan • > i : olettaa mittausanturissa olevan vikaa ja antaa ilmoitus primaa- • * **··: rianturin epäkuntoisuudesta. Tällöin voidaan ryhtyä toimenpitei- • * 25 siin vian korjaamiseksi, joka usein edellyttää anturin vaihta- • * · ’·'· ;"‘i mistä ehjään. Teho voidaan nostaa arvioituun täyden puhdistuste- 1 · · (Iti* ’ * hon vaatimaan arvoonsa myös välittömästi heti ensimmäiseen • · · pesujaksoon, mutta tällöin menetetään primaarianturin toiminta-kuntoa selventävää informaatiota, joka edullisesti saadaan • · » ♦ » · * • 30 portaittaisesta pesutehon nostosta.
. · ·· * » · * · * · .... ;·’ Ultraäänivärähtelijän vastesignaalin amplitudi on verrannollinen ./.;·· primaarianturiin kerääntyvään saostuman viskositeettiin ja vastesignaalin taajuus saostuman massaan. Näiden tuloksien ’ , 35 välittämä informaatio selventää primaarianturiin kerääntyneiden epäpuhtauksien arviointia. Edullisesti puhdistamisessa voidaan 7 113018 käyttää useita tehoja, taajuuksia ja värähtelymoodeja. Värähte-lymoodeja voidaan muuttaa tehon tai taajuuden muutoksella. Näillä muutoksilla saadaan puhdistettua aluetta suurennettua ja voidaan pienentää maksimaalisella teholla tapahtuvaa puhdistus-5 aikaa minimoiden anturin vaurioitumistodennäköisyyttä.
t a i a a • a * : »
. i I
» a a 1,1 * t t ·
• * ; J
* a a f
* M
* » ' a * * * * > a • s * a a t a a ' 7 e I ·· » a ? t » i a * * a a

Claims (6)

1. Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä (10) halutun puhtaustason saavuttamiseksi, jossa anturia (11) 5 värisytetään pesujaksossa ultraäänivärähtelijän (10) avulla, tunnettu siitä, että tutkitaan anturin tai ultraäänivärähteli jän signaalia ja asetetaan sille kriteeri, jonka mukaan anturin puhtaustaso hyväksytään.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että asetetaan kriteeri pesujakson suhteen tietylle ajanjaksolle ajan funktiona, jolloin signaalin tulee seurata valittua käyrää tietyllä tarkkuudella mittaustuloksen hyväksymiseksi.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että ultraäänivärähtelijän (10) tehoa muutetaan pesujaksossa ajan funktiona.
4. Anturi, johon kuuluu mittasuureen mittaamista varten sovitet- 20 tu primaarianturi (11) ja ultraäänivärähtelijä (10) tämän puhdistamiseksi, tunnettu siitä, että anturiin on sovitettu , . , signaalin vasteen palauttava väylä ja välineet väylän välittämän • » » · vastesignaalin tulkitsemiseksi. • · • * · • tl > I t
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen ultraäänianturi, tunnettu : * siitä, että ultraäänivärähtelijä (10) on kerrosrakenteisesti integroitu primaarisen ultraäänianturin (11) kanssa samaan ..· rakenteeseen. : *· 30
6. Patenttivaatimuksen 4 tai 5 mukainen anturi, tunnettu siitä, ' ..· että anturiin kuuluu kytkinvälineet primaarianturin (11) kytke- ;··· miseksi pois päältä pesuasennossa ja ultraäänivärähteli jän (10) > * · · .. kytkemiseksi pois päältä mittausasennossa. 9 113018
FI20015002A 2001-04-17 2001-04-17 Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi FI113018B (fi)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20015002A FI113018B (fi) 2001-04-17 2001-04-17 Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20015002A FI113018B (fi) 2001-04-17 2001-04-17 Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi
FI20015002 2001-04-17

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI20015002A0 FI20015002A0 (fi) 2001-04-17
FI20015002A FI20015002A (fi) 2002-10-18
FI113018B true FI113018B (fi) 2004-02-27

Family

ID=8562618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20015002A FI113018B (fi) 2001-04-17 2001-04-17 Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI113018B (fi)

Also Published As

Publication number Publication date
FI20015002A0 (fi) 2001-04-17
FI20015002A (fi) 2002-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4033830A (en) On-line amperometric analysis system and method incorporating automatic flow compensation
US5323638A (en) Sensor apparatus
EP1659644B1 (en) Piezoelectric/electrostrictive device
JP4246992B2 (ja) チップ状水晶振動子及び液相センサ
Lin et al. Operation of an ultrasensitive 30-MHz quartz crystal microbalance in liquids
RU2291403C2 (ru) Устройство для контроля заданного уровня измеряемой среды в емкости
US20230221288A1 (en) Vibronic multisensor
US4092858A (en) Oceanographic sensor with in-situ cleaning and bio-fouling prevention system
EP1533611B1 (en) Apparatus and method for measuring micro mass using oscillation circuit
US9645115B2 (en) QCM sensor
FI113018B (fi) Menetelmä anturin puhdistamiseksi ultraäänivärähtelijällä ja vastaava anturi
JP2011027613A (ja) 導電率計
KR101821052B1 (ko) 초음파를 이용한 자동세척 수중센서
JP4646813B2 (ja) バイオセンサ計測システム、粘性率測定方法、および微量質量測定方法
JP2007057289A (ja) 分析用マイクロセンサ
CN114441388B (zh) 一种液体参数测量装置及液体参数测量方法
JP2011016081A (ja) 超音波強度監視装置
WO1999040397A1 (en) Device at piezoelectric crystal oscillator
JP2004264163A (ja) 音圧測定用ゾンデ
JP4752544B2 (ja) パッケージ内異物検出装置および検出方法
JP5114316B2 (ja) 分注装置
Park et al. Capacitive micromachined ultrasonic transducer as a chemical sensor
Shen et al. Flexural vibrations and resonance of piezoelectric cantilevers with a nonpiezoelectric extension
White et al. Excitation of thick-film resonant sensor structures
JP3942420B2 (ja) 音圧モニタ