ES2923684T3 - Articulación para sistemas micro y nanoelectromecánicos con desplazamiento fuera de plano que ofrece una no linealidad reducida - Google Patents

Articulación para sistemas micro y nanoelectromecánicos con desplazamiento fuera de plano que ofrece una no linealidad reducida Download PDF

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Abstract

Articulación entre una primera parte y una segunda parte de un sistema microelectromecánico, dicho sistema que comprende una primera (s) y un segundo elemento (M) móviles entre sí en una dirección fuera del plan, dijo la articulación que implica una primera parte rígida (4), una segunda parte (6) en solidaridad con un primer lado de la primera parte (4) en un extremo y anclada al segundo elemento por un segundo extremo, dijo la segunda parte (6) distorsionando en flexión desde la dirección de la planta, una tercera parte (8) en solidaridad con un primer lado de la primera parte (4) por un primer extremo, y anclado al primer elemento (s) por un segundo extremo, la tercera parte (8) distribuyendo en flexión en el Dirección fuera de los planos (z) y, en un estado indefinido, la segunda parte (6) y la tercera parte (8) comprende un lado ubicado en el mismo plano (P2) ortogonal a la dirección Hors-Plan (Z). (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

Description

DESCRIPCIÓN
Articulación para sistemas micro y nanoelectromecánicos con desplazamiento fuera de plano que ofrece una no linealidad reducida
Campo técnico y estado de la técnica anterior
La presente invención se refiere a una articulación para sistemas micro y nanoelectromecánicos que ofrecen una no linealidad al menos reducida y a un sistema que implementa al menos dos de tales articulaciones.
Los sistemas microelectromecánicos o MEMS (microelectromechanical systems en terminología anglosajona) y los sistemas micro y nanoelectromecánicos o sistemas M&NEMS (micro & nanoelectromechanical systems en terminología anglosajona) son utilizados para realizar sensores o actuadores. Incluyen al menos un elemento móvil con respecto a un sustrato. Por ejemplo, en el caso de un sensor, el desplazamiento de la parte móvil o masa se puede medir y se puede traducir en una característica por detectar, por ejemplo, una aceleración, y en el caso de un actuador, el elemento móvil se desplaza, por ejemplo, por medio de fuerzas electrostáticas, por ejemplo, para desplazar un microespejo.
El elemento móvil está suspendido con respecto al sustrato y según las aplicaciones se puede desear que tenga un desplazamiento en el plano del sistema o un desplazamiento fuera de plano, es decir, ortogonal al plano del sistema.
Cuando el elemento móvil tiene un desplazamiento de gran amplitud en la dirección fuera de plano, la zona de conexión puede presentar una no linealidad significativa.
Este comportamiento de no linealidad se ilustra en las Figuras 12A a 12C. La masa M móvil está suspendida del sustrato S por una articulación A formada por una delgada membrana. El desplazamiento en la dirección Z de la masa M provoca una deformación de la membrana de primer orden en la dirección Z y de segundo orden en la dirección X. Cuando el desplazamiento de la masa en la dirección Z es significativo, el alargamiento de la membrana en la dirección X (Figura 12B) ya no es insignificante. Como resultado, la fuerza de retorno ejercida por la membrana sobre la masa no es lineal (Figura 12C) y varía de manera significativa con el desplazamiento en la dirección Z. Esta no linealidad puede afectar sustancialmente la respuesta del sistema, por ejemplo, en el caso de un sensor, y puede hacer que este último sea poco fiable.
El documento WO 01/98786 describe un acelerómetro que comprende una masa conectada a un soporte por vigas elásticas en forma de U conectadas a la masa y al soporte por los extremos libres de las ramas de la U.
Exposición de la invención
Por lo tanto, es un objetivo de la presente invención ofrecer una articulación para un sistema MEMS o M&NEMS que asegura un guiado de los desplazamientos fuera de plano de al menos dos partes móviles entre sí, presentando a la vez una no linealidad al menos reducida, incluso para los desplazamientos fuera de plano de grandes amplitudes.
El objetivo enunciado más arriba se alcanza mediante una articulación, tal como se define a través de la reivindicación 1, destinada para conectar un primer elemento y un segundo elemento de un sistema MEMS o M&NEMS, que comprende una primera parte rígida en las tres direcciones del espacio, al menos una segunda parte conectada a la primera parte y destinada para ser conectada al primer elemento, siendo la segunda parte capaz de ser deformada en flexión en la dirección fuera de plano, y al menos una tercera parte conectada a la primera parte y capaz de ser deformada en flexión en la dirección fuera de plano, extendiéndose la segunda y la tercera partes en reposo sobre el mismo plano.
Las partes segunda y tercera están dispuestas con respecto a la primera parte y a los dos elementos del sistema de modo que, durante el desplazamiento relativo del primer elemento y del segundo elemento en la dirección fuera de plano, cada una de las partes segunda y tercera sufren una deformación en el plano, las amplitudes de las deformaciones de las partes segunda y tercera en el plano son al menos similares y se compensan al menos en parte. De manera muy ventajosa, las deformaciones en el plano de las parte segunda y tercera son idénticas y se compensan totalmente.
Como resultado, la articulación sufre poca, o incluso ninguna deformación en el plano al nivel de las fijaciones al primer y segundo elemento, y, por lo tanto, presenta poca o ninguna no linealidad, incluso durante los desplazamientos fuera de plano de gran amplitud. En efecto, cualquiera que sea el desplazamiento relativo fuera de plano de los dos elementos, las deformaciones en el plano de la articulación se compensan al menos en parte.
En otras palabras, de manera muy ventajosa, se realiza una articulación que autoanula al menos en parte las deformaciones en el plano responsables de un comportamiento no lineal. La invención no limita la deformación en el plano, sino que la compensa al menos en parte por medio de una articulación compuesta.
La articulación según la invención presenta además la ventaja de permitir ajustar de manera fácil su rigidez eligiendo las dimensiones de las partes segunda y tercera.
De manera ventajosa, las partes segunda y tercera son membranas y tienen las mismas dimensiones, presentando así los mismos comportamientos mecánicos cuando se deforman en flexión.
De manera ventajosa, un sistema M&NEMS incluye al menos dos articulaciones lo que asegura un muy buen guiado en la dirección fuera de plano y al menos un guiado en una dirección en el plano.
De manera aún más ventajosa, el sistema M&NEMS incluye al menos tres articulaciones, y aún más ventajosamente cuatro articulaciones, permitiendo asegurar un guiado en la dirección fuera de plano y un muy buen mantenimiento en las dos direcciones del plano.
Por lo tanto, la presente invención tiene entonces por objeto una articulación, tal como se define en la reivindicación 1.
La presente invención también tiene por objeto un sistema microelectromecánico que comprende un primer elemento y un segundo elemento móviles entre sí en una dirección fuera de plano, y al menos dos articulaciones según la invención, cada una anclada al primer elemento y al segundo elemento, y las articulaciones están orientadas de modo que la primera dirección sea la dirección fuera de plano y las direcciones segunda y tercera sean las direcciones en el plano.
Breve descripción de los dibujos
La presente invención se comprenderá mejor sobre la base de la siguiente descripción y de los dibujos adjuntos en los cuales:
La Figura 1 es una representación en perspectiva de un ejemplo de articulación, siendo los elementos entre los cuales se dispone la articulación representados con líneas punteadas.
La Figura 2 es una vista detallada de la Figura 1.
La Figura 3 es una vista frontal de la articulación de la Figura 1.
La Figura 4 es una vista desde arriba de la articulación de la Figura 1.
La Figura 5A es una vista lateral que representa de manera esquemática la segunda parte de la articulación de la Figura 1 en un estado deformado.
La Figura 5B es una vista lateral que representa de manera esquemática la tercera parte de la articulación de la Figura 1 en un estado deformado.
La Figura 6 es una vista en perspectiva de un ejemplo de sistema M&NEMS que comprende dos articulaciones de la Figura 1 en una posición fuera de plano.
La Figura 7 es una representación en perspectiva de otro ejemplo de articulación, siendo los elementos entre los cuales se dispone la articulación representados con líneas punteadas.
La Figura 8 es una vista detallada de la Figura 7.
La Figura 9 es una vista frontal de la articulación de la Figura 7.
La Figura 10 es una vista desde arriba de la articulación de la Figura 7.
La Figura 11 es una vista en perspectiva de un ejemplo de sistema M&NEMS que comprende dos articulaciones de la Figura 7 en una posición fuera de plano.
La Figura 12A y la Figura 12B son vistas laterales de un sistema MEMS del estado de la técnica en el estado de reposo y en un estado en el que la masa se ha desplazado en la dirección fuera de plano e ilustra el alargamiento de la articulación.
La Figura 12C es una representación gráfica del alargamiento de la articulación de las Figuras 12A y 12B, en la dirección X con base en el desplazamiento de la masa en la dirección Z.
Exposición detallada de modos de realización particulares
En la presente solicitud, se designa por «sistema microelectromecánico» o «sistema MEMS», un sistema micro y/o nanoelectromecánico, es decir, que comprende elementos que tienen dimensiones micrométricas y/o elementos que tienen dimensiones nanométricas.
En las Figuras 1 a 4, se puede apreciar un ejemplo de una articulación 2 según la invención. En líneas discontinuas se representan una parte fija o sustrato S de un sistema microelectromecánico y una parte móvil o masa M destinada para ser suspendida del sustrato S por la articulación 2. Se comprenderá que la articulación puede realizar la articulación entre dos partes móviles entre sí, y ellas mismas móviles con respecto a un sustrato fijo.
La articulación 2 está destinada para permitir un desplazamiento fuera de plano de la parte M móvil.
El plano del sistema está definido por las direcciones X y Y, y corresponde al plano medio del sistema en el cual se extiende la masa M móvil, es también el plano medio de la parte fija.
La dirección Z fuera de plano es ortogonal al plano del sistema.
En la Figura 2 la masa y el sustrato no son representados.
La articulación incluye una primera parte 4 rígida.
Se entiende por «parte o elemento rígido» un elemento que se deforma poco o nada bajo el efecto de las tensiones aplicadas en general a un sistema MEMS en el caso de un sensor o de un actuador en un funcionamiento normal.
En el ejemplo representado, la primera parte 4 tiene la forma de una viga paralelepipédica que presenta un espesor Tb, un ancho Wb y una longitud Lb. La primera parte se extiende en la dirección Z entre un primer plano P1 y un segundo plano P2 paralelos entre sí.
El espesor corresponde a la dimensión según Z, el ancho corresponde a la dimensión según X y el largo corresponde a la dimensión según Y.
Las dimensiones Tb, Wb y Lb se encuentran, por ejemplo, comprendidas entre algunas jm y algunas centenas de |jm.
La articulación incluye una segunda parte 6 que presenta un espesor Tm pequeño con respecto a su longitud Lm y con su ancho Wm, de modo que permita su deformación en flexión según la dirección Z, de preferencia 1/10 <Tm/Wm<1/100 et 1/10<Tm/Lm<1/100.
Por ejemplo, su espesor Tm está comprendido entre una centena de nm y algunas pm, su longitud Lm y su ancho Wm están comprendidos entre algunas pm y algunas centenas de pm.
La segunda parte 6 presenta entonces la forma de una membrana que está solidarizada por un primer borde 6.1 que se extiende según la dirección Y hacia un primer lado 4.1 de la primera parte 4, y un segundo borde 6.2 paralelo al primer borde 6.1 y destinado para ser solidario de la masa M.
La segunda parte 6 conecta la primera parte 4 y la masa M. En el ejemplo representado, la cara inferior de la segunda parte está dispuesta en reposo sobre el plano P2 en el cual se ubica la cara inferior de la primera parte 4 en la representación de las Figuras 1 a 4. Además, en el ejemplo representado la cara inferior de la masa M también está contenida en el plano P2.
En las Figuras 1 a 4, la articulación también incluye una tercera parte 8 que presenta un espesor Tm' pequeño con respecto a su longitud Lm' y su ancho Wm' de modo que permita su deformación en flexión según la dirección Z, de preferencia 1 /10 <Tm'/Wm'<1/100 et 1/10<Tm'/Lm'<1/100.
La segunda parte 6 y la tercera parte 8 están configuradas de modo que presenten comportamientos mecánicos similares o idénticos, durante un desplazamiento fuera de plano de la parte M móvil con respecto al sustrato S.
De preferencia, se obtienen los comportamientos mecánicos similares o idénticos realizando segundas y terceras partes en el mismo material o materiales con propiedades mecánicas similares, y que tengan las mismas dimensiones, es decir Tm = Tm', Lm = Lm' y Wm = Wm'. Las dimensiones son iguales a las imprecisiones vinculadas con el procedimiento de realización.
La tercera parte 8 presenta entonces también una forma de membrana que está solidarizada por un primer borde 8.1 que se extiende según la dirección Y hasta el primer borde 4.1 de la primera parte 4, y un segundo borde 8.2 paralelo al primer borde 8.1 y destinado para ser solidario del sustrato S.
Las partes 6 , 8 segunda y tercera están conectadas al mismo lado de la primera parte 4 y están dispuestas una al lado de la otra.
La cara inferior de la tercera parte 8 también está dispuesta en reposo sobre el plano P2 que delimita la cara inferior de la primera parte 4 en la representación de las Figuras 1 a 4. Las caras inferiores de la segunda parte 6 y de la tercera parte 8 están en reposo ubicadas en el mismo plano P2 ortogonal a la dirección fuera de plano.
En la Figura 6, se puede apreciar un sistema 10 MEMS implementando dos articulaciones 2. Las articulaciones 2 están ancladas sobre la parte M móvil de manera simétrica con respecto a un plano medio de la parte M móvil paralelo al plano YZ.
Las segundas partes de cada articulación se anclan en las caras paralelas M.1, M.2 de la parte M móvil, y las terceras partes se anclan en la parte S fija.
En la representación de la Figura 6, la parte M móvil tiene un movimiento fuera de plano hacia arriba, las segundas partes y las terceras partes se deforman en flexión.
A continuación, se describirá el funcionamiento de la articulación utilizando las Figuras 5A y 5B que muestran de manera separada la deformación de una segunda parte y una tercera parte.
Considerando la aplicación a un sensor, por ejemplo, un acelerómetro destinado para medir la aceleración en la dirección Z.
Cuando la parte M móvil tiene un desplazamiento fuera de plano bajo el efecto de una aceleración según Z, las segundas 6 y las terceras 8 partes, debido a su pequeño espesor, se deforman en flexión.
Las segundas partes 6 se deforman entre la primera parte 4 y la masa (Figura 5A), su extremo conectado a la masa sufre una deformación 8x1 en el plano XY en la dirección X.
Las terceras partes 8 se deforman entre la primera parte 4 y el sustrato S (Figura 5B), su extremo conectado a la primera parte sufre una deformación 8x2 en el plano Xy en la dirección X.
Al realizar las partes segunda y tercera que presentan comportamientos mecánicos similares, las amplitudes de las deformaciones 8x1, 8x2 son similares, por tanto, se compensan al menos en parte. El comportamiento no lineal de la articulación se reduce entonces en gran medida.
Las dimensiones y materiales de las partes segunda y tercera se determinan de modo que la amplitud de la deformación 8x 1 sea similar o igual a la amplitud de la deformación 8x2
De manera preferente, eligiendo la segunda parte 6 y la tercera parte 8 de cada articulación de las mismas dimensiones, la amplitud de la deformación 8x1 es igual a la amplitud de la deformación 8x2, se compensan completamente. La articulación presenta entonces una rigidez fuera de plano pura y lineal.
En las Figuras 7 a 10, se puede apreciar otro ejemplo de articulación 102 en el cual la articulación incluye dos terceras partes 108 dispuestas a cada lado de la segunda parte 106. En este ejemplo ventajoso, las dos terceras partes 108 tienen la misma longitud Lm” y esta última es igual a la mitad de la longitud Lm de la segunda parte 106 y las otras dimensiones Wm” y Tm” de las dos terceras partes son idénticas a las de Wm y Tm de la segunda parte 106. Las dos terceras partes de ancho Lm” = 2 Lm son mecánicamente equivalentes a una sola tercera parte de ancho Lm y, por lo tanto, sufren la misma deformación en el plano 8x2.
Se comprenderá que la segunda parte de una determinada longitud también puede ser sustituida por varias segundas partes de la misma dimensión equivalente.
La dimensión equivalente en la dirección Y de la o las segunda(s) parte(s) es igual a la dimensión equivalente en la dirección Y de la o las tercera(s) parte(s).
Se entiende por «dimensión equivalente» de la segunda parte o de la tercera parte en la dirección Y, la dimensión de la segunda parte o de la tercera parte en la dirección Y o la suma de las dimensiones de las segundas partes o de las dimensiones de las terceras partes en la dirección Y.
Como variante, la articulación incluye dos segundas partes a cada lado de una tercera parte. Como variante adicional, la articulación incluye m segundas partes y n terceras partes, siendo m y n números enteros estrictamente positivos, pudiendo ser m y n iguales o diferentes. Siendo las segundas partes y las terceras partes alternadas o no.
En el ejemplo representado, las caras inferiores de la(s) segunda(s) y tercera(s) parte(s) y la cara inferior de la primera parte están en el mismo plano. Como variante, las caras inferiores de la(s) segunda(s) y tercera(s) parte(s) se ubican en un plano cualquiera paralelo al plano XY a lo largo de la dirección Z.
Además, en el ejemplo representado, la cara inferior de la segunda parte está en el plano que contiene la cara inferior de la parte móvil. Como variante, la cara superior de la segunda parte está en el plano de la cara superior de la parte móvil o en cualquier plano intermedio
En la Figura 11, se puede apreciar un ejemplo de estructura MEMS que comprende dos articulaciones 102 según la invención, cada una dispuesta en un extremo de la masa M a lo largo de la dirección X. Por tanto, se mejora el guiado en traslación. Además, se mejora el mantenimiento en la dirección Y.
En otro ejemplo, la estructura MEMS incluye al menos tres articulaciones dispuestas a 120° entre sí, de manera aún más ventajosa cuatro articulaciones dispuestas en ángulo recto entre sí. Las vigas de las primeras partes están orientadas a 120° de dos en dos. La implementación de al menos tres articulaciones mejora el mantenimiento en las dos direcciones del plano.
En otro ejemplo, varias articulaciones están dispuestas una al lado de la otra a lo largo de un lado de la parte móvil, por ejemplo, dos articulaciones una al lado de la otra. De preferencia, en el caso de una masa de forma rectangular o cuadrada vista desde arriba, las articulaciones están dispuestas de manera simétrica al nivel de los lados paralelos.
Además, se pueden implementar diferentes números de articulaciones ancladas a los bordes de la parte móvil.
De preferencia, las segundas y/o terceras partes están estructuradas y/o perforadas para presentar formas que aseguren una gran flexibilidad según Z y una gran rigidez en el plano, por ejemplo, se realizan travesaños o celosías.
Gracias a la invención, la rigidez de la articulación se puede ajustar con precisión eligiendo las dimensiones de las segundas y terceras partes.
La articulación según la invención puede implementarse en sensores MEMS, para lo cual se prevén medios de detección del movimiento de la masa según Z, por ejemplo, medios capacitivos o galgas extensométricas, por ejemplo, galgas piezorresistivas, piezoeléctricas o resonantes, o capas piezoeléctricas.
La articulación según la invención puede implementarse en actuadores MEMS, para ello se prevén medios 12 de accionamiento de la parte móvil en la dirección Z, por ejemplo, medios electrostáticos representados esquemáticamente en la Figura 11. Los medios electrostáticos incluyen al menos un par de electrodos, estando uno formado sobre el sustrato bajo la parte M móvil y estando el otro electrodo formado sobre la parte M móvil en frente del electrodo sobre el sustrato S. La aplicación de una diferencia de potenciales genera fuerzas electrostáticas entre los dos electrodos y, por lo tanto, un desplazamiento fuera de plano de la masa M móvil con respecto al sustrato S.
De manera muy ventajosa, un sistema MEMS que comprende las articulaciones según la invención puede ser utilizado para realizar un micrófono. La articulación y el sistema MEMS pueden ser fabricados de manera ventajosa por procedimientos conocidos de microelectrónica por deposición de capas y grabados. Por ejemplo, los ejemplos del procedimiento de fabricación descritos en el documento FR2941533 pueden implementarse para realizar un tal sistema MEMS.
Por ejemplo, las membranas están formadas por la capa superior de un sustrato de silicio sobre aislante o SOI (Silicon on Insulatoren terminología anglosajona) y la primera parte se realiza a través de grabado y liberación. Como variante, las membranas se realizan por deposición de una capa de un espesor de algunas centenas de nm y la primera parte se realiza a través de grabado y liberación.
El sistema está, por ejemplo, realizado de material semiconductor, tal como el silicio o el SiGe.

Claims (15)

REIVINDICACIONES
1. Articulación entre al menos un primer elemento y al menos un segundo elemento de un sistema microelectromecánico, siendo los dichos primer elemento (S) y segundo elemento (M) móviles entre sí al menos en una dirección fuera de plano, comprendiendo la dicha articulación una primera parte (4, 104) rígida, al menos una segunda parte (6 , 106) solidaria de una primera cara de la primera parte (4, 104) por un extremo y destinada para ser anclada al primer elemento o al segundo elemento por un segundo extremo, siendo los extremos primero y segundo de la segunda parte considerados a lo largo de una segunda dirección (X), estando la dicha segunda parte (6 , 106) configurada para ser deformable en flexión en una primera dirección (Z), al menos una tercera parte (8, 108) solidaria de la primera cara de la primera parte (4, 104) por un primer extremo, y destinada para ser anclada al segundo elemento (M) o al primer elemento (S) por un segundo extremo, siendo los extremos primero y segundo de la tercera parte (8, 108) considerados a lo largo de la segunda dirección (X), estando la tercera parte (8, 108) configurada para deformarse en flexión en la primera dirección (Z), y, en un estado no deformado, estando la segunda parte (6 , 106) y la tercera parte (8, 108) ubicadas en un mismo plano (P2) ortogonal a la primera dirección (Z), caracterizada porque la segunda parte (6, 106) y la tercera parte (8, 108) presentan un espesor según la primera dirección (Z) inferior al espesor de la primera parte (4, 104).
2. Articulación según la reivindicación 1, en la cual las partes segunda y tercera están configuradas para presentar deformaciones de amplitudes similares o idénticas en la segunda dirección (X), durante una deformación de la articulación en la primera dirección (Z).
3. Articulación según la reivindicación 1 o 2, que comprende m segundas partes y n terceras partes, siendo m y n enteros estrictamente positivos, pudiendo ser m y n iguales o diferentes.
4. Articulación según la reivindicación 3, en la cual las m segundas partes y las n terceras partes presentan una dimensión similar o igual en la primera dirección (Z), y en la cual la dimensión equivalente de las m segundas partes en una tercera dirección (Y) ortogonal a la primera dirección (Z) y la segunda dirección (X) es similar o igual a la dimensión equivalente en la tercera dirección (Y) de las n terceras partes.
5. Articulación según una de las reivindicaciones 1 a 4, en la cual la primera parte es una viga cuya mayor dimensión se extiende en la tercera dirección (Y), presentando la primera parte ventajosamente dimensiones en las direcciones primera (Z), segunda (X) y tercera (Y) comprendidas entre algunos pm y algunas centenas de pm.
6. Articulación según una de las reivindicaciones 1 a 5, en la cual la segunda parte (6) presenta una dimensión en la primera dirección (Z) reducida con respecto a las dimensiones en las otras direcciones.
7. Articulación según una de las reivindicaciones 1 a 6, en la cual las partes segunda y tercera tienen una dimensión en la primera dirección (Z) comprendida entre una centena de nm y algunos micrómetros, una dimensión en la segunda dirección (X) comprendida entre algunas pm y algunas centenas de pm y una dimensión equivalente en la tercera dirección (Y) comprendida entre algunas pm y algunas centenas de pm.
8. Articulación según una de las reivindicaciones 1 a 7, que comprende una segunda parte y dos terceras partes dispuestas a cada lado de la segunda parte.
9. Articulación según una de las reivindicaciones 1 a 8, en la cual las partes segunda y tercera son solidarias cada una de la primera cara de la primera parte en zonas distintas.
10. Sistema microelectromecánico que comprende un primer elemento y un segundo elemento móviles entre sí en una dirección fuera de plano, y al menos dos articulaciones según una de las reivindicaciones 1 a 9, ancladas cada una al primer elemento (S) y al segundo elemento (M), y en el cual las articulaciones están orientadas de modo que la primera dirección sea la dirección fuera de plano y las direcciones segunda y tercera sean las direcciones en el plano.
11. Sistema microelectromecánico según la reivindicación 10, en el cual el primer elemento (S) es una parte fija del sistema.
12. Sistema microelectromecánico según la reivindicación 10 o 11, en el cual las al menos dos articulaciones están dispuestas de manera simétrica con respecto a un plano medio del segundo elemento (M), extendiéndose el dicho plano medio en la dirección fuera de plano.
13. Sistema microelectromecánico según la reivindicación 10, 11 o 12, que comprende al menos cuatro articulaciones y en el cual las primeras partes de cada articulación son vigas, siendo los ejes de las vigas ortogonales de dos en dos.
14. Sistema microelectromecánico según una de las reivindicaciones 10 a 13, que comprende medios (12) de puesta en movimiento del segundo elemento al menos en una dirección fuera de plano.
15. Sistema microelectromecánico según una de las reivindicaciones 10 a 14, que forma un micrófono.
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