ES2568696B2

ES2568696B2 - Equipment for the production of thin sheets by means of the rotation coating process

Info

Publication number: ES2568696B2
Application number: ES201400852A
Authority: ES
Inventors: Francisco SIMÓN GARCÍA; David SALES LÉRIDA; Sergio Ignacio Molina Rubio
Original assignee: Universidad de Cadiz
Current assignee: Universidad de Cadiz
Priority date: 2014-10-30
Filing date: 2014-10-30
Publication date: 2016-11-14
Anticipated expiration: 2034-10-30
Also published as: ES2568696A1; WO2016066868A1

Abstract

Equipo para fabricación de láminas delgadas mediante el proceso de recubrimiento por rotación.#Los equipos convencionales carecen de un sistema de control de los parámetros del proceso, que permita monitorizar en continuo sus variables, al tiempo que controle la seguridad del proceso y los usuarios, y memoricen estas variables para asegurar la replicabilidad del proceso.#Las características principales de la invención son:#- Sujeción del sustrato mediante una ventosa acoplada al eje de transmisión de giro de la máquina, activada por un sistema generador de vacío integrado en el interior del citado eje de transmisión.#- Alimentación eléctrica del generador mediante un conjunto de anillos rozantes de bajo nivel de fricción, que además permiten la transmisión de la señal del sensor de vacío.#- Doble sistema de nivelación compuesto por una corona de nivelación y sustentación, y apoyos regulables.#- Monitorización en continuo del nivel de vacío y de vibraciones.Equipment for the manufacture of thin sheets by means of the rotation coating process. # Conventional equipment lacks a system for controlling the process parameters, which allows continuous monitoring of its variables, while controlling the safety of the process and users, and memorize these variables to ensure the replicability of the process. # The main features of the invention are: # - Clamping of the substrate by means of a suction cup coupled to the axis of rotation of the machine, activated by a vacuum generating system integrated inside of the mentioned transmission shaft. # - Generator power supply by means of a set of friction rings with low friction level, which also allow the transmission of the vacuum sensor signal. # - Double leveling system composed of a leveling crown and lift, and adjustable supports. # - Continuous monitoring of the level of vacuum and vibration.

Description

EQUIPO PARA FABRICACIÓN DE LÁMINAS DELGADAS MEDIANTE EL PROCESO DE RECUBRIMIENTO POR ROTACIÓN. EQUIPMENT FOR THE MANUFACTURE OF SLIM SHEETS THROUGH THE ROTATION COATING PROCESS.

CAMPO DE LA INVENCIÓN. FIELD OF THE INVENTION

5 La presente invención describe un dispositivo de bajo coste, alta eficiencia energética y control externo mediante software, para la realización de láminas delgadas por el proceso de recubrimiento por rotación, comÚIUnente conocido por su denominación en ¡ogl és quot;spin coalerquot;. The present invention describes a device of low cost, high energy efficiency and external control by means of software, for the realization of thin sheets by the coating process by rotation, commonly known by its denomination in ¡ogl quot; spin coalerquot ;.

El equipo objeto de la invención permite realizar recubrimientos sobre obleas de The equipment object of the invention allows coating on wafers of

10 materiales diversos: metales, plásticos, gomas, cerámicos, etc. Las láminas serán principalmente polímeros solubles o mezclas de éstos con nanopartículas de distinta naturaleza y fracción volumétrica, con disolventes orgánicos. 10 different materials: metals, plastics, rubber, ceramics, etc. The sheets will be mainly soluble polymers or mixtures thereof with nanoparticles of different nature and volumetric fraction, with organic solvents.

ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN BACKGROUND OF THE INVENTION

15 El recubrimiento por rotación o spin coater, se ha utilizado durante varias décadas para la aplicación de láminas delgadas. Un proceso lípico implica depositar una pequeña gota de una resina fluida en el centro de un sustrato y a continuación girar el sustrato a alta velocidad (típicamente alrededor 3.000 rpm). 15 The coating by rotation or spin coater, has been used for several decades for the application of thin sheets. A lypical process involves depositing a small drop of a fluid resin in the center of a substrate and then rotating the substrate at high speed (typically around 3,000 rpm).

La aceleración centrípeta hará que la resina se extienda, desde el centro hacia el Centripetal acceleration will cause the resin to spread, from the center to the

20 borde del sustrato dejando una lámina delgada de resina en la superficie, mientras que la resina excedente es despedida por el borde del sustrato. El espesor final de la lámina y otras propiedades dependerán de la naturaleza de la resina (viscosidad, velocidad de secado, tanto por ciento de sólidos, tensión superficial, etc.) y de los parámetros elegidos para el proceso de centrifugado. Factores como la velocidad 20 edge of the substrate leaving a thin sheet of resin on the surface, while the excess resin is fired by the edge of the substrate. The final thickness of the sheet and other properties will depend on the nature of the resin (viscosity, drying rate, percent solids, surface tension, etc.) and the parameters chosen for the centrifuging process. Factors such as speed

25 de giro, la aceleración, y de extracción de humos afecta a las propiedades de recubrimiento. 25 rotation, acceleration, and fume extraction affects the coating properties.

Existe una gran diversidad de invenciones relativas a aparatos de recubrimiento por el proceso spin coater. Entre ellos, podemos destacar como más semejantes a esta invención los descritos en las patentes U.S Pat. No. 4.113.492. A Y U.S Pat. No. 5.803.968. A. There is a great diversity of inventions related to coating devices by the spin coater process. Among them, we can highlight as more similar to this invention those described in U.S Pat. No. 4,113,492. A AND U.S Pat. No. 5,803,968. TO.

A continuación se añade una breve descripción de esos dispositivos y como se diferencian del aparato mostrado en esta invención. A brief description of these devices and how they differ from the apparatus shown in this invention are added below.

U.S U.S: Pat. No. 4.113.492. A, describe un dispositivo para el recubrimiento por rotación de una resina en la superficie de una placa de base, que comprende el suministro de un material que es compatible con la composición de revestimiento, ya sea en forma líquida o de vapor, a la superficie opuesta de la placa de base a la superficie sobre la que el composición de revestimiento ha sido suministrado. Pat. No. 4,113,492. A, describes a device for rotating coating a resin on the surface of a base plate, comprising the supply of a material that is compatible with the coating composition, either in liquid or vapor form, to the surface opposite the base plate to the surface on which the coating composition has been supplied.

U.S U.S: Pat. No. 5.803.968. A, describe un dispositivo para el recubrimiento por rotación de sustratos, incluyendo un sustrato de soporte, un motor para hacer girar el portador de substrato, y un plato de giro que rodea el portador de substrato. Una tapa que cubre al menos parcialmente el recipiente para disminuir el escape de vapores a la atmósfera ambiente durante el revestimiento por centrifugación de un sustrato. La tapa también está diseñada para mejorar el flujo de aire alrededor del SlL'\trato durante el recubrimiento por rotación del sustrato. Pat. No. 5,803,968. A, describes a device for rotating coating of substrates, including a support substrate, a motor for rotating the substrate carrier, and a turntable surrounding the substrate carrier. A lid that at least partially covers the container to reduce the escape of vapors into the ambient atmosphere during coating by centrifuging a substrate. The lid is also designed to improve the air flow around the SlL '\ deal during coating by rotating the substrate.

Aunque su finalidad es la misma que el equipo objeto de la presente invención, los equipos anteriormente descritos carecen de un sistema de control suficientemente preciso de los parámetros del proceso, que permita monitorizar en continuo sus variables, al tiempo que controle la seguridad del proceso y los usuarios, y memoricen estas variables para asegurar la replicabilidad del proceso. Although its purpose is the same as the equipment object of the present invention, the equipment described above lacks a sufficiently precise control system of the process parameters, which allows continuous monitoring of its variables, while controlling the safety of the process and users, and memorize these variables to ensure process replicability.

DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN DESCRIPTION OF THE INVENTION

La presente invención describe un dispositivo de bajo coste, alta eficiencia energética y control externo mediante software, para la realización de láminas delgadas por el proceso quot;spin coaterquot;. The present invention describes a device of low cost, high energy efficiency and external control by means of software, for the realization of thin sheets by the process "spin coater".

En el equipo propuesto, la sujeción del sustrato se realiza mediante una ventosa acoplada al eje de transmisión de giro de la máquina, la cual es activada por un sistema generador de vacío integrado en el interior del citado eje de transmisión. Esto pennite que el vacío se transmita por el interior del eje, evitando la necesidad del uso de juntas rotativas. In the proposed equipment, the substrate is secured by means of a suction cup coupled to the machine's spindle transmission shaft, which is activated by a vacuum generating system integrated into said transmission shaft. This means that the vacuum is transmitted inside the shaft, avoiding the need for the use of rotating joints.

Otra característica del equipo propuesto es que la alimentación eléctrica del generador de vacío, se realiza mediante un conjunto de anillos rozantes de bajo nivel de fricción. Con ello se reducen las pérdidas por fricción en la máquina, mejorando su eficiencia energética. Another characteristic of the proposed equipment is that the power supply of the vacuum generator is carried out by means of a set of friction rings of low friction. This reduces friction losses in the machine, improving its energy efficiency.

El equipo realiza en continuo tanto la monitorización del nivel de vacío, como de nivel de vibraciones en el sistema. Esta monitorización se realiza mediante la incorporación de sendos sensores que envían señales que son interpretadas por el sistema de control, el cual en función de los valores de las señales recibidas actúa de forma automática, garantizando un correcto recubrimiento, manteniendo la seguridad de los usuarios y del equipo. The equipment continuously monitors both the vacuum level and the vibration level in the system. This monitoring is done by incorporating two sensors that send signals that are interpreted by the control system, which depending on the values of the received signals acts automatically, guaranteeing a correct coating, maintaining the safety of the users and of the team.

El sistema de control implementado mediante software pennite un control preciso de los parámetros del proceso de recubrimiento, mantiene la seguridad del proceso y los usuarios, monitoriza en continuo estas variables, y pennite la manipulación de los datos de fonna sencilla, así como memorizar procesos con lo que se mejora la replicabilidad. The control system implemented through pennite software precise control of the parameters of the coating process, maintains the safety of the process and users, continuously monitors these variables, and allows the manipulation of data in a simple way, as well as memorizing processes with which improves replicability.

Por último, el equipo incorpora un doble sistema de nivelación compuesto por una corona de nivelación y sustentación, y apoyos e1astómeros regulables en altura, que penniten un correcto nivelado del equipo, necesario para obtener una correcta planaridad en la lámina delgada. Finally, the equipment incorporates a double leveling system composed of a leveling and lift crown, and supports adjustable height heights, which allow a correct leveling of the equipment, necessary to obtain a correct planarity in the thin sheet.

BREVE DESCRIPCIÓN DE LAS FIGURAS BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

FIG. l.-Perspectiva del renderizado obtenido sobre una maqueta virtual simplificada del dispositivo descrito en esta memoria. En ella se puede apreciar el aspecto exterior de esta, siendo visibles la toma de conexión eléctrica, el cable de FIG. l.-Perspective of the rendering obtained on a simplified virtual model of the device described in this memory. In it you can see the external appearance of this, the electrical connection socket, the power cable being visible

comunicación con el pe, el sistema de dispensación manual, nivelación, aberturas de ventilación y tapa lateral, entre otros. communication with the pe, the manual dispensing system, leveling, ventilation openings and side cover, among others.: sistema de system from

5 5: FIG. 2.· Perspectiva del renderizado obtenido sobre una maqueta virtual simplificada del dispositivo descrito en esta memoria. En ella se puede apreciar el aspecto interior de esta, siendo visibles el cableado de eléctrico d,e alimentación y control, rodamientos, cilindro de vacío, sensor de vacío, sensor de vibraciones, conjunto de anillo rozantes y escobillas, tarjeta de comunicación, módulo de relés, modulo convertidor, fuente de alimentación, entre otros. FIG. 2. · Perspective of the rendering obtained on a simplified virtual model of the device described in this memory. In it you can see the interior aspect of it, being visible the wiring of electric d, e power and control, bearings, vacuum cylinder, vacuum sensor, vibration sensor, ring and brush ring assembly, communication card, module of relays, converter module, power supply, among others.

10 10: FIG.3.Vista exterior en perspectiva de la invención, incluyendo detalle de los componentes principales. En la figura se di stinguen: FIG.3 External perspective view of the invention, including detail of the main components. The figure shows:

1.-Accesorio para posicionamiento de obleas. 2.-Recipiente parte inferior. 3.-Oblea. 1.-Accessory for wafer positioning. 2.-Bottom part container. 3.-Wafer.

lS lS: 4.-Tapa superior chasis. 5.-Carcasa lateral chasis. 4.-Top chassis cover. 5.-Chassis side housing.

6.-Tapa lateral chasis. 7.-Cable de comunicación. 6.-Chassis side cover. 7.-Communication cable.

8.-Tapa inferior chasis. 9.-Tomillería 8.-Lower chassis cover. 9.-Tomillería

20 twenty: 10.-Soporte de nivelación. FIG.4.-Vista interior doble en perspectiva de la invención, incluyendo detalle de los componentes principales. En la figura se distinguen: 10.-Leveling support. FIG.4.-Double perspective interior view of the invention, including detail of the main components. The figure distinguishes:

11.-Sensor de vibraciones. 11.-Vibration sensor.

12.-Sensor de vacío. 12.-Vacuum sensor.

25 25: 13.-Convertidor DC/DC. 14.-Contactares. 13.-DC / DC converter. 14.-Contact.

15.-Fuente de alimentación. 15.-Power supply.

16.-Condensador. 16.-Condenser.

17.-Tarjeta controladora. 17.-Controller card.

18.-Toma de corriente. 18.-Power socket.

S S: FIG.S.-Vista interior en perspectiva de la invención, incluyendo detalle de los FIG.S.-Perspective interior view of the invention, including detail of the

componentes principales. En la figura se distinguen: main components. The figure distinguishes:

19.-Corona de nivelación y sustentación. 19.-Crown leveling and lift.

20.-Ventosa. 20.-Suction cup.

21.-Semieje superior. 21.-Upper axle shaft.

10 10: 22.-Rodamiento. 22.-Bearing.

23.-Cilindro de vacío. 23.-Vacuum cylinder.

24.-Tapa cilindro de vacío. 24.-Vacuum cylinder cover.

25.-Semieje inferior. 25.-Lower axle shaft.

26.-Mástil interior. 26.-Inner mast.

15 fifteen: 27.-Plataforma interior. 27.-Interior platform.

FIG.6.-Vista interior en perspectiva de la invención, incluyendo detalle de los FIG. 6 .-- Interior perspective view of the invention, including detail of the

22.-Rodamiento. 22.-Bearing.

28.-Rodamiento. 28.-Bearing.

20 twenty: 29.-Abrazadera de anclaje. 29.-Anchor clamp.

30.-Tubo flexible. 30.-Flexible tube.

31.-Bomba de vacío. 31.-Vacuum pump.

32.-Escobillas. 32.-Brushes.

33.-Anillos rozantes. 33.-Rubbing rings.

2S 2S: 34.-Anclaje motor eléctrico. 34.-Electric motor anchor.

35.-Motor eléctrico brushless. 35.-Brushless electric motor.

FIG.7.-Vista tapa superior y componentes en perspectiva de la invención, incluyendo detalle de los componentes principales. En la figura se distinguen: FIG. 7.-Top view and perspective components of the invention, including detail of the main components. The figure distinguishes:

36.-Inyector. 37.-Recipiente subtapa 38.-Recipiente parte superior. FIG.8.-Esquema básico de control, donde se ven los diferentes pasos principales 36.-Injector. 37.-Subcap container 38.-Container upper part. FIG. 8 .-- Basic control scheme, where the different main steps are seen

del proceso realizado por la máquina. of the process performed by the machine.

MODO DE REALIZACIÓN DE LA INVENCIÓN. MODE OF EMBODIMENT OF THE INVENTION.

El equipo comprende los siguientes componentes, los cuales se agrupan en subsistemas según la funcionalidad de cada uno: The equipment comprises the following components, which are grouped into subsystems according to the functionality of each one:

al Subsistema de giro to the rotation subsystem

Aporta la velocidad de giro y aceleración necesarias para que el proceso funcione, teniendo cuenta las necesidades de par motor para arrastrar el eje y la oblea. It provides the speed of rotation and acceleration necessary for the process to work, taking into account the needs of torque to drag the shaft and the wafer.

3. 1) El motor empleado (35) es un motor eléctrico sin escobillas, con una velocidad máxima de 8000 r.p.m. y un par pico de 21 mN ·m. El motor en las condiciones más desfavorables. es capaz de llevar al conjunto a la velocidad de régimen, 6000 r.p.m., en menos de 30 segundos. 3. 1) The motor used (35) is a brushless electric motor, with a maximum speed of 8000 rpm. and a peak pair of 21 mN · m. The engine in the most unfavorable conditions. It is able to take the set to the speed of regime, 6000 r.p.m., in less than 30 seconds.

El molar se encuentra anclado al chasis y transmite su movimiento de rotación al eje. The molar is anchored to the chassis and transmits its rotation movement to the axis.

a.2) Eje a.2) Axis

El eje es el encargado de transmitir tanto el par entre el motor y la pieza, dar soporte y nivelación a la oblea, y transmitir el vacío por su interior. El eje está compuesto por dos semiejes, uno inferior (25) y otro superior (21), entre los que se intercala el cilindro de vacío (23), elemento llamado así porque en su interior se ubica la bomba de vacío (31). La unión entre el semieje superior -cilindro de The shaft is responsible for transmitting both the torque between the engine and the part, giving support and leveling to the wafer, and transmitting the vacuum inside. The axle is made up of two semi-axles, one lower (25) and the other upper (21), between which the vacuum cylinder (23) is inserted, an element named because the vacuum pump (31) is located inside. The union between the upper axle-cylinder

vacío -semieje inferior, se realiza mediante collarín o unión tipo abrazadera (29) que posee en ambos extremos el cilindro de vacío. Vacuum-lower part, is carried out by means of a collar or clamp-type joint (29) that has at both ends the vacuum cylinder.

S 10 S 10: Los semiejes están huecos para aligerar pesos en ambos. Además en el semieje superior tiene la función de conducto de vacío para transmitir el vacío entre bomba de vacio (31) Y la ventosa (20). El diámetro de estos es tal que permitirá un correcto acoplamiento con los rodamientos (22 y 28). El semieje inferior (25) dispone de dos discos aligerados y sobresalientes, para dar soporte y acoplamiento al cilindro portador de los anillos rozantes (33). Este semieje también pose en su parte inferior un hueco con fo rma geométrica para el acoplamiento mecánico entre el eje y el motor. Este acoplamiento no permitirá deslizamientos entre las partes que lo conforman. The semi-axles are hollow to lighten weights in both. In addition in the upper axle it has the function of a vacuum duct to transmit the vacuum between the vacuum pump (31) and the suction cup (20). The diameter of these is such that it will allow a correct coupling with the bearings (22 and 28). The lower axle shaft (25) has two lightened and protruding discs, to support and engage the carrier cylinder of the friction rings (33). This semi-axle also has a hollow with a geometric shape in its lower part for the mechanical coupling between the shaft and the motor. This coupling will not allow landslides between the parts that make it up.

15 fifteen: El cilindro de vacío (23), es un cilindro hueco para alojar en su interior la bomba de vacío (3 1), Y accesorios. En su interior tiene el sistema de acople de la bomba mediante abrazadera. También dispondrá de un hueco para el acoplamiento del sensor de vacío ( 12). Para poder realizar Wl mantenimiento de la bomba de vacío (3 1) u otros elementos, el cilindro de vacío (23) tendrá una tapa lateral (24) desmontable. Para aligerar el cilindro y pennHlr un fluj o de aire generado por la bomba de vacío. se dispondrán perforaciones o huecos disei'iado a tal fin y de fo rma equilibrada. The vacuum cylinder (23), is a hollow cylinder to house inside the vacuum pump (3 1), and accessories. Inside it has the pump coupling system by means of a clamp. It will also have a gap for coupling the vacuum sensor (12). In order to carry out maintenance of the vacuum pump (3 1) or other elements, the vacuum cylinder (23) will have a removable side cover (24). To lighten the cylinder and pennHlr a flow of air generated by the vacuum pump. perforations or holes designed for this purpose and balanced form shall be provided.

20 twenty: bl Subsistema de control bl Control Subsystem

El subsistema de control comprende los siguientes componentes: The control subsystem comprises the following components:

b.I) Trujeta controladora (17) b.I) Controller card (17)

25 25: El control del equipo comprende una tarjeta controladora (17) con cncoder. que realiza las funciones de controlar, alimentar y monitorizar el motor, además de ser el medio de transmisión de las señales de entrada/salida entre los elementos que componen el equipo, principalmente el sensor de vibraciones ( 11), el sensor de vacío (12), los contactores (14) yel software . The control of the equipment comprises a controller card (17) with cncoder. It performs the functions of controlling, feeding and monitoring the engine, in addition to being the means of transmission of the input / output signals between the elements that make up the equipment, mainly the vibration sensor (11), the vacuum sensor (12 ), the contactors (14) and the software.

• •

b.2) Software b.2) Software

El software contiene la lógica de funcionamiento del sistema, e interpreta las sei\ales digitales o analógicas procedentes de sensores y subsistemas del equipo que llegan a la tarjeta controladora. The software contains the operating logic of the system, and interprets the digital or analog signals from sensors and equipment subsystems that reach the controller card.

El software cumple con los requisitos de flexibilidad y control de las diferentes variables, permitiendo trabajar en diferentes unidades. Con él se pueden programar diferentes secuencias combinando sentidos de giro, velocidad mínima, velocidad máxima, rampas de aceleración, rampas de frenado y escalones. The software meets the flexibility and control requirements of the different variables, allowing work in different units. With it you can program different sequences combining directions of rotation, minimum speed, maximum speed, acceleration ramps, braking ramps and steps.

La replicabilidad del proceso queda garantizada con el empleo del software, ya que nos permite guardar en un archivo del ordenador el proceso disei\ado. The replicability of the process is guaranteed with the use of the software, since it allows us to save the designed process in a computer file.

La comunicación entre el equipo y el ordenador se realiza mediante el cable de comunicación adecuado. The communication between the device and the computer is carried out using the appropriate communication cable.

bJ) Módulo relé 2 canales (14) bJ) 2-channel relay module (14)

Uno de los elementos controlados por la tarjeta. es un módulo relé de 2 canales, que tiene la función de apertura o cierre de los circuitos de alimentación de la bomba de vacío y del sensor de vacío. One of the elements controlled by the card. It is a 2-channel relay module, which has the function of opening or closing the supply circuits of the vacuum pump and the vacuum sensor.

El control de la apertura o cierre de los relés se realiza median 2 señales TTL independientes procedentes de la tarjeta controladora (17). La alimentación de módulo de relé se realiza a DC SV, suministrado por el modulo convertidor. The control of the opening or closing of the relays is carried out by means of 2 independent TTL signals coming from the controller card (17). The relay module is powered by DC SV, supplied by the converter module.

b.4) Sensor de vibraciones (11) b.4) Vibration sensor (11)

El sensor de vibraciones (1 1) registra SI existen vibraciones en el sistema, pudiéndose ajustar su sensibilidad para que envíe una señal a la tarjeta controladora (17) cuando se superen el nivel de vibraciones que pongan en riesgo a las personas o el equipo. Esta señal será tratada mediante el software, que The vibration sensor (1 1) records IF there are vibrations in the system, and its sensitivity can be adjusted to send a signal to the controller card (17) when the level of vibrations that put people or equipment at risk is exceeded. This signal will be treated by software, which

pararía el sistema para evitar posibles daños. It would stop the system to avoid possible damage.

b.5) Sensor de vacio (12) b.5) Vacuum sensor (12)

Su función es verificar que en el subsistema de sujeción del sustrato existe el nivel mínimo de vaCÍo que garantice una correcta operación. Its function is to verify that the minimum level of vacuum exists in the substrate holding subsystem to ensure proper operation.

5 5: El sensor (12) envía una señal a la tarjeta controladora (17), indicándole el nivel de vacío que mantiene el sistema. Esta sefia1 será gestionada por el software, de fonna que hasta que el nivel de vacío no esté en valores donde obtenga un buen agarre del sustrato, no se podrá arrancar el motor. Con esto se garantizaría que nunca comenzara a girar la máquina, mientras no esté garantizada la correcta sujeción de la oblea. The sensor (12) sends a signal to the controller card (17), indicating the level of vacuum maintained by the system. This signal1 will be managed by the software, so that until the vacuum level is not at values where you get a good grip on the substrate, the engine cannot be started. This would ensure that the machine never begins to rotate, as long as the correct hold of the wafer is not guaranteed.

10 10: La medición del vacío se mantiene durante todo el proceso, trabajando como sistema de seguridad ante una pérdida de vacío durante el recubrimiento de la oblea. Si en algún momento del proceso, el nivel de vacío bajara a niveles que no garanticen la correcta sustentación del sustrato, el sistema de control, por seguridad, detendrá el proceso. The vacuum measurement is maintained throughout the process, working as a safety system against a loss of vacuum during the coating of the wafer. If at any time during the process, the vacuum level will go down to levels that do not guarantee the correct sustenance of the substrate, the control system, for safety, will stop the process.

15 fifteen: El sensor de vacío (12) se ubicara lo más próximo posible al subsistema de vacío. Estará ubicado en el cilindro (23) contenedor de la bomba de vacío. The vacuum sensor (12) will be located as close as possible to the vacuum subsystem. It will be located in the cylinder (23) vacuum pump container.

c) Subsistema de alimentación eléctrica c) Power supply subsystem

Está compuesto por: It is composed of:

c.l) Fuente de alimentación (15) c.l) Power supply (15)

20 twenty: La función de la fuente de alimentación (15)es la de alimentar a todos los elementos que componen el equipo, suministrándole la necesaria tensión De. Es interesante que la fuente de alimentación incorpore un fusible o sistema de protección contra cortocircuitos, además de contar con un interruptor para el corte de suministro eléctrico. The function of the power supply (15) is to feed all the elements that make up the equipment, providing the necessary voltage. It is interesting that the power supply incorporates a fuse or short circuit protection system, in addition to having A switch for the power cut.

2S 2S

c.2) Conjunto de Escobillas (32) -Anillos rozantes (33) c.2) Brush Set (32) - Rubbing Rings (33)

S S: Es el mecanismo usado para transmitir tanto la alimentación eléctrica a los equipos instalados en el eje, como para la transmisión de señales debido a su baja resistencia. Presenta 5 conjuntos anillo-escobilla para transmitir 2 alimentaciones eléctricas y GND, para alimentar a la bomba de vacío y al sensor de vacío, y 2 anillos para transmitir la señal analógica del sensor de vacío. It is the mechanism used to transmit both the power supply to the equipment installed on the shaft, and for the transmission of signals due to its low resistance. It has 5 brush-ring assemblies to transmit 2 electrical supplies and GND, to feed the vacuum pump and the vacuum sensor, and 2 rings to transmit the analog signal of the vacuum sensor.

c.3) Convertidor DCIDC (13) c.3) DCIDC converter (13)

10 10: Para la alimentación del módulo de relé (14) Y para el sensor de vibraciones (11), se usa tul módulo convertidor OC 12V a OC 5V, que garantizara el suministro eléctrico a la tensión adecuada para los dos elementos. For the supply of the relay module (14) And for the vibration sensor (11), the converter module OC 12V to OC 5V is used, which will guarantee the power supply at the appropriate voltage for the two elements.

d) Subsistema de posicionamiento y sujeción del sustrato. d) Subsystem for positioning and securing the substrate.

Este sistema tiene un doble objetivo. Por una lado la colocación correcta inicial de la oblea, antes de comenzar el proceso, y por otro la sujeción de la misma durante todo el proceso. This system has a double objective. On the one hand, the correct initial placement of the wafer, before starting the process, and on the other, the clamping of the wafer during the entire process.

15 fifteen: Comprende los siguientes elementos: It includes the following elements:

d.1) Paleta para posicionamiento de obleas (1) d.1) Wafer positioning paddle (1)

20 twenty: Para gamntizar una correcta posición de la oblea y evitar vibraciones derivadas de un incorrecto centrado de la pieza, se hace uso de un accesorio desarrollado para tal fin. Este accesorio consiste en una paleta con varios salientes, una para la colocación de obleas de 4quot;, otro saliente para obleas de 6quot; al ser las dimensiones usuales, y un tercero que se usara como límite, siendo el contacto entre el recipiente y la paleta accesoria. Esta paleta también dispone de elementos para poder posicionar obleas de 3quot; y 5quot;. To gamntizar a correct position of the wafer and avoid vibrations derived from an incorrect centering of the piece, use is made of an accessory developed for this purpose. This accessory consists of a pallet with several projections, one for the placement of 4 "wafers; another projection for 6" wafers; being the usual dimensions, and a third that will be used as a limit, being the contact between the container and the accessory palette. This palette also has elements to position 3quot wafers; and 5``;

d.2) Ventosa plana (20) d.2) Flat suction cup (20)

25 25: Además de asegurar la correcta colocación inicial de la oblea, este sistema debe asegurar el correcto acoplamiento de la oblea durante todo el proceso. Para ello es In addition to ensuring the correct initial placement of the wafer, this system must ensure the correct coupling of the wafer throughout the process. To do this it is

imprescindible que la sujeción se realice sin que exista ningún elemento que impida el desplazamiento de la resina depositada sobre el sustrato, ya que esto podría producir acumulación de material en determinados puntos, con lo que aparecerían defectos en la lámina delgada, tanto de planaridad, espesor y homogeneidad de esta. It is essential that the fastening is carried out without any element that prevents the displacement of the resin deposited on the substrate, since this could produce accumulation of material at certain points, which would cause defects in the thin sheet, both of planarity, thickness and homogeneity of this.

Estos problemas son resueltos mediante el empleo de una ventosa plana. Esta ventosa está acoplada al eje mediante conexión G 1I8quot;-MA, lo que permite un reemplazo por mantenimiento o necesidades operativas. These problems are solved by using a flat suction cup. This suction cup is coupled to the shaft by means of a G 1I8 "-MA connection, which allows a replacement for maintenance or operational needs.

Esta ventosa está realizada en caucho fluorado. Presenta una excelente resistencia a las altas temperaturas, excelente resistencia a los agentes químicos, disolventes aromáticos y alifáticos, lubricantes y aceites y excelente resistencia a la luz solar y al ozono, no siendo apta para éteres ni cetonas. (-30 / +2500 C). La fuerza máxima de aspiración de la ventosa es de 26,5 N, superior a los requisitos del equipo. This suction cup is made of fluorinated rubber. It has excellent resistance to high temperatures, excellent resistance to chemical agents, aromatic and aliphatic solvents, lubricants and oils and excellent resistance to sunlight and ozone, not being suitable for ethers or ketones. (-30 / +2500 C). The maximum suction force of the suction cup is 26.5 N, higher than the equipment requirements.

Las ventosas planas presentan numerosos beneficios, ya que presentan altas fuerzas de aspiración con dimensiones pequeñas, no generan defonnaciones pennanentes en el caso de piezas de pared delgada, manipulación de piezas planas con superficie lisa o ligeramente rugosa. Flat suction cups have numerous benefits, since they have high suction forces with small dimensions, they do not generate penilent defolutions in the case of thin-walled pieces, manipulation of flat pieces with a smooth or slightly rough surface.

El vacío se transmite por el interior del eje, que será hueco para confonnar el conducto de vacío, que en su extremo superior presentara rosca GI/8quot;-H, para el conexionado de la ventosa. En su extremo inferior presentara conexión neumática, donde se conecta W1 racor en Y. The vacuum is transmitted through the interior of the shaft, which will be hollow to confront the vacuum conduit, which at its upper end will have a GI / 8 "thread; -H, for the connection of the suction cup. At its lower end it will have pneumatic connection, where W1 Y-connection is connected.

d.3) Racor en Y d.3) Y-fitting

El racor en Y con diámetro nominal dc 1.5 mm, apto para tubo flexible de 3 mm de diámetro exterior. Uno de sus terminales se conecta al eje hueco para dar servicio a la ventosa. Otro de los tenninales se conectara al sistema de generación de vacío mediante tubo flexible de 3mm de diámetro exterior. El tercer tenninal se conecta mediante el mismo tipo de tubo flexible al transductor o sensor de vacío. The Y-fitting with a nominal diameter of 1.5 mm, suitable for a flexible tube with a diameter of 3 mm. One of its terminals is connected to the hollow shaft to service the suction cup. Another one of the tenninales will connect to the system of generation of vacuum by means of flexible tube of 3mm of outer diameter. The third tenninal is connected by the same type of hose to the transducer or vacuum sensor.

El tubo flexible de 3 mm de diámetro exterior es de material sintético apto para presiones de -0,95 a 10 bar, homologación TOV y conforme con RoHS. The 3 mm outer diameter flexible tube is made of synthetic material suitable for pressures from -0.95 to 10 bar, TOV approval and RoHS compliant.

d.4) Bomba de vacío (31) d.4) Vacuum pump (31)

S S: El sistema de generación de vacío se encuentra ubicado en el interior del eje giratorio del equipo, eliminándose así la necesidad de empleo de juntas rotativas. The vacuum generation system is located inside the rotating shaft of the equipment, thus eliminating the need for rotating joints.

Para la generación de vacío se hace uso de una micro-bomba de vacío del tipo diafragma, de alimentación eléctrica OC, de bajo peso y pequeño tamaño, colocada en el cilindro hueco ubicado en el eje. El vacío máximo será de -440 mbar. For vacuum generation, a vacuum micro-pump of the diaphragm type, with a low-power and small-sized OC power supply, is placed in the hollow cylinder located on the shaft. The maximum vacuum will be -440 mbar.

10 10: d.5) Cilindro de vacio (23) d.5) Vacuum cylinder (23)

15 fifteen: La bomba de vacio estará alojada en W1 cilindro hueco que posee un anclaje que permite una unión mecánica estable de la bomba de vacío (31) al conjunto, mediante una abrazadera. Este cilindro está aligerado para evitar cargas innecesarias. Una de sus caras es desmontable para permitir el acceso al interior del cilindro, para tareas de reparación, sustitución o mantenimiento en alguna de los elementos que contiene, como la bomba de vacío, tubos de vacio o racor Y. The vacuum pump will be housed in a hollow cylinder W1 that has an anchor that allows a stable mechanical connection of the vacuum pump (31) to the assembly, by means of a clamp. This cylinder is lightened to avoid unnecessary loads. One of its faces is removable to allow access to the interior of the cylinder, for repair, replacement or maintenance tasks in any of the elements it contains, such as the vacuum pump, vacuum tubes or Y fitting.

El cilindro hueco, posee un taladro de diámetro tal que permita el paso para una correcta unión entre el tubo de vacío y el sensor de vacío colocado en el exterior del cilindro. The hollow cylinder has a bore with a diameter that allows the passage for a correct connection between the vacuum tube and the vacuum sensor placed outside the cylinder.

20 twenty: La unión mecánica entre el eje y el cilindro se realizara mediante abrazaderas a presión, realizadas sobre el mismo cilindro. El mecanismo de apriete será por unión roscada (tomillo pasante). Las tenninaciones del eje y cilindro hueco donde se acopla esta, serán de tipo cónica para garantizar un buen asentamiento de la unión. The mechanical connection between the shaft and the cylinder will be carried out by means of pressure clamps, made on the same cylinder. The tightening mechanism will be by threaded connection (through thyme). The tenninaciones of the axis and hollow cylinder where this is coupled, will be of conical type to guarantee a good settlement of the union.

25 25: La bomba de vacío para poder mantener el vacío debe de estar alimentada, una vez que se le retire la alimentación eléctrica, el vacío se perderá de forma gradual en un proceso que se completa en un corto periodo de tiempo (de segundos a In order to maintain the vacuum, the vacuum pump must be powered, once the power supply is removed, the vacuum will be gradually lost in a process that is completed in a short period of time (from seconds to

S S: minutos), por lo que esta característica será la usada para el sistema de desacople de la oblea, no siendo necesaria la instalación de válvulas u otros sistemas para liberación del sustrato. El control de la alimentación eléctrica de la bomba se realizara mediante el software de control y la tarjeta que enviara señales de apertura y cierre de los diferentes contactores. minutes), so this feature will be used for the wafer decoupling system, the installation of valves or other systems for substrate release not being necessary. The control of the power supply of the pump will be carried out by means of the control software and the card that will send opening and closing signals of the different contactors.

el Subsistema de nivelado the leveling subsystem

La planaridad de la oblea es fundamental para realizar un recubrimiento homogéneo de su superficie a tratar. Es importante el nivelado de la oblea una vez acoplada a la máquina. The flatness of the wafer is essential to make a homogeneous coating of its surface to be treated. Wafer leveling is important once attached to the machine.

10 10: El sistema de nivelado está compuesto por dos elementos: The leveling system consists of two elements:

e.l) Corona de nivelación y sustentación (19) e.l) Leveling and lift crown (19)

15 fifteen: La corona~ es un elemento diseñado para dar estabilidad y soporte a obleas (3). La corona está nivelada con la ventosa (20), de manera que una vez acoplada la oblea(3), la corona (19) y la ventosa (20) quedar.\¡¡ enrasadas, obteniendo un doble efecto: buena planaridad y un mayor reparto de las cargas sobre la oblea. The crown ~ is an element designed to give stability and support to wafers (3). The crown is level with the suction cup (20), so that once the wafer (3) is coupled, the crown (19) and the suction cup (20) remain flush, obtaining a double effect: good planarity and a greater distribution of the loads on the wafer.

La corona (19) se acopla a la parte superior del eje mediante una configuración de geometría complementaria. Esta unión es complementada con la acción de gravedad y la succión de la pieza, estas dos acciones favorecen la unión de la corona y el eje. The crown (19) is coupled to the upper part of the shaft by means of a complementary geometry configuration. This union is complemented by the action of gravity and the suction of the piece, these two actions favor the union of the crown and the axis.

20 twenty: e.2) Soporte de nivelación (10) e.2) Leveling support (10)

25 25: Permite el nivelado del equipo respecto a la superficie sobre la que se encuentre. Consistente en 4 apoyos regulables de material elastómero, cuerpo en varilla roscada y tuerca, esta última se insertara en la parte inferior de la carcasa del equipo. La regulación en altura se realizara roscando los diferentes apoyos hasta obtener un correcto nivelado. It allows the leveling of the equipment with respect to the surface on which it is located. Consisting of 4 adjustable supports made of elastomeric material, threaded rod body and nut, the latter will be inserted in the lower part of the equipment housing. The height adjustment will be done by threading the different supports until obtaining a correct leveling.

oEstructura exterior o Exterior structure

La estructura está compuesta por cinco piezas: tapa inferior (8), la tapa superior (4), carcasa lateral (5), tapa lateral (6) y recipiente (2). The structure is composed of five pieces: lower cover (8), upper cover (4), side housing (5), side cover (6) and container (2).

S S: f.1) La tapa inferior (8) presenta 4 cilindros sobresalientes para alojar la tuerca donde se roscara los apoyos niveladores (10), en el centro de los cilindros sobresalientes se practican taladros para permitir el paso de los vástagos de los apoyos niveladores. f.1) The lower cover (8) has 4 protruding cylinders to accommodate the nut where the leveling supports are threaded (10), in the center of the protruding cylinders, drills are made to allow the passage of the stems of the leveling supports.

10 10: f.2) La tapa superior (4) presenta un taladro para permitir la unión atornillada del sensor de vibraciones, En su cara interior presentara un rebaje con taladro en el centro de la cara para la instalación de la pieza tipo columna donde se anclara el conjunto de escobillas. En su cara superior presentara un anillo en relieve o guía, para posicionar de forma correcta el recipiente sobre la máquina. f.2) The top cover (4) has a hole to allow the screwed connection of the vibration sensor. In its inner face it will present a recess with a hole in the center of the face for the installation of the column type piece where the brush set. On its upper face it will present an embossed ring or guide, to correctly position the container on the machine.

15 fifteen: En su parte central la tapa superior, tendrá un taladro junto con un cilindro sobresaliente con geometría tal que. pennita un buen asentamiento del rodamiento superior (cama) y el paso del eje de la máquina, pennitiendo un fácil acceso al rodamiento para mantenimiento. engrase o sustitución de este. In its central part the top cover, will have a drill along with an outstanding cylinder with geometry such that. a good settlement of the upper bearing (bed) and the passage of the machine shaft, allowing easy access to the bearing for maintenance. greasing or replacement of this.

20 twenty: f.3) La carcasa lateral (5) parte de una fonna básica de arco de circunferencia. Sobre ella se unirán las tapas superior e inferior, la tapa lateral. En su cara exterior presenta diferentes huecos para facilitar la ventilación natural del equipo, así como para la instalación de conector eléctrico con interruptor. f.3) The side housing (5) starts from a basic circumference arc. On it the upper and lower covers, the side cover, will be joined. In its outer face it presents different holes to facilitate the natural ventilation of the equipment, as well as for the installation of electrical connector with switch.

2S 2S: En su cara interior, la carcasa lateral. presenta los apoyos de las tapas inferior, superior y el chasis interno. con taladros roscados para su unión atornillada Presenta también pieza para el anclase del condensador de seguridad. para una unión mediante brida o abrazadera. También existen 4 anclajes tipo cilindro hueco para la fijación de la fuente de alimentación. que dará estabilidad a la fuente, y pennitirá la circulación de aire de ventilación por las diferentes zonas de la fuente de alimentación. On its inner face, the side case. It presents the supports of the lower, upper covers and the internal chassis. with threaded holes for screwed connection It also has a piece for anchoring the safety condenser. for a connection by flange or clamp. There are also 4 hollow cylinder type anchors for fixing the power supply. which will give stability to the source, and will penetrate the circulation of ventilation air through the different areas of the power supply.

f.4) La tapa lateral (6) parte de una geometría simple rectangular (plana), que presenta 6 taladros para las uniones atornilladas a la carcasa lateral, así como un hueco rectangular para dar acceso desde el exterior al pueno de comunicaciones. f.4) The side cover (6) part of a simple rectangular geometry (flat), which has 6 holes for the bolted connections to the side housing, as well as a rectangular hole to give access to the communications port from the outside.

El conjunto recipiente y tapas, en su interior es donde se realiza el proceso de recubrimiento por giro, evita la salida del material de su interior y protege a los operarios y otros equipos de un mal funcionamiento del equipo. Es un conjunto cerrado, formado por 3 partes que en su superficie interior estarán recubiertas con PTFE para darle protección a di solventes orgánicos y anti-adherencia. El bowl o recipiente, es la parte inferior del conjunto que está apoyado sobre la tapa inferior, presenta una hendidura en forma de anillo semicircular para el buen asentamiento en la tapa superior. The container and lids assembly, inside it is where the spin coating process is carried out, prevents the exit of the material from its interior and protects the operators and other equipment from equipment malfunction. It is a closed set, formed by 3 parts that on its inner surface will be coated with PTFE to give protection to organic solvents and anti-adhesion. The bowl or container, which is the lower part of the assembly that is resting on the lower lid, has a semicircular ring-shaped groove for good seating in the upper lid.

La tapa es la encargada de cerrar el conjunto, asilando el proceso del exterior. Esta presenta un ala exterior como asa para su manipulación por los operarios. Está presente una sub-tapa, para poder tener acceso al interior, su utilidad será la de poder depositar la resina sobre la oblea si se plantea una dispensación dinámica (la deposición del material sobre la oblea en movi miento). La sub-tapa superior incorpora un asa superior para su manipulación por los operarios. La unión de la sub-tapa y la tapa se realizara por simple apoyo, para facilitar el buen asentamiento, la unión será cónica. The lid is responsible for closing the assembly, assimilating the process outside. This presents an outer wing as a handle for handling by the operators. A sub-cover is present, in order to have access to the interior, its usefulness will be to be able to deposit the resin on the wafer if a dynamic dispensing is raised (the deposition of the material on the wafer in motion). The upper sub-cover incorporates an upper handle for handling by operators. The union of the sub-cover and the cover will be carried out by simple support, to facilitate the good settlement, the union will be conical.

g) Chasis interno g) Internal chassis

El chasis interno tiene la función de dar soporte y sujeción a los diferente elementos internos que componen el equipo como la electrónica y el rodamiento inferior. La fonna pennite una correcta sustentación de los elementos, además de tener huecos y zonas libres para pennitir el paso de conductores de potencia y/o control, así como una circulación del aire de refrigeración. The internal chassis has the function of giving support and support to the different internal elements that make up the equipment such as electronics and the lower bearing. La fonna pennite a correct support of the elements, in addition to having holes and free areas to penetrate the passage of power and / or control conductors, as well as a circulation of the cooling air.

Está compuesto por una platafonna horizontal (27) unido a la carcasa exterior mediante uniones roscadas, además contara con un mástil vertical (8) unido a la tapa superior (4) Y a la plataforma horizontal del chasis interno (27) para el It is composed of a horizontal platform (27) attached to the outer casing by means of threaded joints, in addition it will have a vertical mast (8) attached to the upper cover (4) And to the horizontal platform of the internal chassis (27) for

,. .

anclaje del sistema de escobillas (32) de los anillos rozantes (33). Para la sujeción del motor eléctrico (35) al chasis, se hará uso de una pieza de transición con uniones roscadas entre la pieza y el motor, así comO entre el chasis y el motor, garantizando una correcta estabilidad del conjunto. La pieza de acoplamiento pennitirá de fonna sencilla el desmontaje del motor para mantenimiento O reposiciones. anchoring of the brush system (32) of the friction rings (33). For the fastening of the electric motor (35) to the chassis, a transition piece with threaded joints between the part and the motor will be used, as well as between the chassis and the motor, guaranteeing a correct stability of the assembly. The coupling piece will easily disassemble the engine for maintenance or replacement.

El proceso debe comenzar con la colocación de la oblea (3) en el recipiente, haciendo uso de la paleta de posicionamiento (1). U na vez posicionada la oblea se debe cerrar el sistema de inyección, quedando la oblea confinada para realizar de fonna segura el proceso de recubrimiento por rotación. The process must begin with the placement of the wafer (3) in the container, using the positioning palette (1). Once the wafer is positioned, the injection system must be closed, the wafer being confined to safely perform the coating process by rotation.

La dispensación de la resina necesaria para el proceso puede realizarse de forma estática, se procederá a realizarla de fonna manual, o de forma dinámica, esta se realizara cuando la oblea este a una baja velocidad de rotación en el momento que el sistema nos lo indique. The dispensing of the resin necessary for the process can be done statically, it will be done manually, or dynamically, this will be done when the wafer is at a low rotation speed at the time that the system indicates .

Una vez posicionada la oblea y cerrado el sistema de inyección, se comenzara el proceso implementado en el programa de control. Una vez accionado, el proceso se realizara de forma automática hasta su finalización, a excepción de la dispensación dinámica que es manual y debe realizarse cuando el sistema lo indique. Once the wafer is positioned and the injection system closed, the process implemented in the control program will begin. Once activated, the process will be carried out automatically until its completion, except for the dynamic dispensing that is manual and should be performed when the system indicates it.

Una vez iniciado, el software env(a sef\al de inicio a la taJjeta controladora que activa el relé KI, que alimenta al sensor de vacío, y al relé K2, que alimenta a la bomba de vacio. El sistema comienza a generar vacío que es transmitido desde la bomba hasta la ventosa mediante los tubos flexibles, el racor Y y el eje hueco. En todo momento el sensor de vacío está monitorizando el nivel de vacio del sistema y enviándolo al software mediante una señal analógica del sensor a la tarjeta controladora y de esta a Wl ordenador. Mientras el nivel de vacío en el sistema no llegue a valor mínimo seguro que garantice el correcto agarre de la oblea, el sistema no deja continuar el proceso. Este valor de vacío dependerá del sustrato y ventosa, pero nW1ca estará por debajo de los -300 mbar. Once started, the software sends (to start signal to the controller board that activates the relay KI, which feeds the vacuum sensor, and the relay K2, which feeds the vacuum pump. The system starts to generate vacuum which is transmitted from the pump to the suction cup via the flexible tubes, the Y-fitting and the hollow shaft, at all times the vacuum sensor is monitoring the vacuum level of the system and sending it to the software through an analog signal from the sensor to the card controller and from this to the computer. As long as the vacuum level in the system does not reach a minimum safe value that guarantees the correct grip of the wafer, the system does not allow the process to continue. This vacuum value will depend on the substrate and suction cup, but nW1ca will be below -300 mbar.

S S: Una vez obtenido el nivel de vacío mínimo seguro, el software inicia el proceso de recubrimiento por rotación según el proceso implementado, en todo momento se estará monitorizando la velocidad y aceleración de la oblea, el nivel de vacío del sistema de sujeción y el nivel de vibraciones del equipo. Si en algún momento del proceso, algunos de estos parámetros se desvía o toma valores no válidos, el sistema envía una señal de alanna, si la desviación es leve, o detiene el proceso si esta fuera de tal magnitud que pudiera poner en riesgo a los usuarios, a la máquina o generar defectos en la lámina delgada. Once the minimum safe vacuum level is obtained, the software starts the rotation coating process according to the implemented process, at all times the speed and acceleration of the wafer, the vacuum level of the clamping system and the level of team vibes. If at any time during the process, some of these parameters deviate or take invalid values, the system sends an alanna signal, if the deviation is slight, or stops the process if it is of such magnitude that it could put the users, to the machine or generate defects in the thin sheet.

10 10: Si no aparecen anomalías en el proceso de recubrimiento, este llegará a su ftn según lo implementado en el software. Una vez finalizado, el sistema detendrá el motor. Una vez que el motor llegue a la posición de reposo (O r.p. m.), el sistema enviará el paro a la bomba de vacío para que el vacío que sustenta a oblea se pierda de tal fonna que la oblea quede liberada. If no anomalies appear in the coating process, it will reach its ftn as implemented in the software. Once finished, the system will stop the engine. Once the engine reaches the rest position (O r.p. m.), The system will send the stop to the vacuum pump so that the vacuum that supports the wafer is lost in such a way that the wafer is released.

15 fifteen: Una vez finalizado el proceso y la oblea liberada, el sistema envía un mensaje de proceso finalizado y permite retirar la oblea. Once the process is finished and the wafer released, the system sends a finished process message and allows the wafer to be removed.

20 twenty: MANERA EN QUE LA INVENCIÓN ES SUSCEPTIBLE DE APLICACIÓN INDUSTRIAL No se considera necesario hacer más extensa esta descripción para que cualquier expeno en la materia comprenda el alcance de la invención y las vent.ajas que de la misma se derivan. WAY IN WHICH THE INVENTION IS SUSCEPTIBLE OF INDUSTRIAL APPLICATION It is not considered necessary to make this description more extensive so that any person skilled in the art understands the scope of the invention and the ventures derived therefrom.

Los materiales, fonna, tamaño y disposición de los elementos serán susceptibles de variación, siempre y cuando ello no suponga una alteración a la esencialidad del invento. The materials, fonna, size and arrangement of the elements will be subject to variation, provided that this does not imply an alteration to the essentiality of the invention.

25 25: Los ténninos en que se ha descrito esta memoria deberán ser tomados siempre con carácter amplio y no limitativo. The terms in which this report has been described must always be taken broadly and not limitatively.

,. .

Claims

1. Equipment for the manufacture of thin sheets by means of the rotational coating process comprising the following components: a) Rotation subsystem. composed by:

-A brushless electric motor (35). -A shaft consisting of two hollow shafts (21 and 25), between that the vacuum cylinder (23) is inserted, inside which it is located the vacuum pump (31).

b) Control subsystem consisting of: -A controller card (17) that controls, feeds and monitors the engine, in addition to being the means of transmission of the input / output signals between the elements that make up the equipment, mainly the sensor vibrations (11), the vacuum sensor (12). the contactors (14) and the software. -Software through which the different sequences are programmed combining directions of rotation, minimum speed, maximum speed, acceleration ramps, braking ramps and steps. - 2-channel relay module (14) for opening or closing the supply circuits of the vacuum pump (31) and the vacuum sensor (12). -Vibration sensor (11). Adjustable sensitivity, connected to the controller card (17). - Vacuum sensor (12), located inside the vacuum cylinder (23), and connected to the controller card (17).

cl Power supply subsystem, consisting of: - Power supply (15), which supplies the necessary DC voltage for system operation, which incorporates a fuse or short-circuit protection system, in addition to having a switch for cutting electric supply.

--: Conjunto de Escobillas (32) -Anillos rozantes (33) para transmitir Brush Set (32) -Rubbing Rings (33) to transmit

both the power supply to the equipment installed on the shaft, and for the transmission of signals.

--: Convertidor DCIDC (13) para la alimentación del módulo de relé 5 (14) y para el sensor de vibraciones (ll). DCIDC converter (13) for the supply of relay module 5 (14) and for the vibration sensor (ll).

dl Subsystem for positioning and securing the substrate. composed of: - Wafer positioning pad (1), with several protrusions that allow the positioning of different size wafers. -Flat suction cup (2), coupled to the axis of rotation through whose interior

10 produces the vacuum. - Vacuum pump (31), placed inside the vacuum cylinder.

--: Cilindro de vacío (5). Vacuum Cylinder (5).

The Leveling Subsystem, consisting of:

--: Corona de nivelación y sustentación (19), acoplada a la parte 15 superior del eje (21) Y nivelada con la ventosa (2). Leveling and lift crown (19), coupled to the upper part of the shaft (21) And leveled with the suction cup (2).

--: Soporte de nivelación (10) consistente en 4 apoyos regulables de material elastómero. cuerpo en varilla roscada y tuerca, esta última se insertara en la parte inferior de la carcasa del equipo. Leveling support (10) consisting of 4 adjustable supports made of elastomeric material. threaded rod body and nut, the latter will be inserted in the lower part of the equipment housing.

f) External structure, consisting of five pieces: lower cover (8), the cover

Top 20 (4), side case (5), side cover (6) and container (2).

g) Internal chassis to support system components.