ES2380989B1 - Procedimiento y termometro para medir bajas temperaturas - Google Patents

Abstract

Procedimiento y termómetro para medir bajas temperaturas.#La invención describe un procedimiento para medir bajas temperaturas empleando una unión NIS que comprende un electrodo superconductor y un electrodo normal separados por una capa aislante, donde el electrodo superconductor sigue la teoría BCS, que comprende las siguientes operaciones: aplicar entre el electrodo superconductor y el electrodo normal una tensión comprendida entre 0,95{dl} y 1,05{dl}; medir la intensidad que atraviesa la unión NIS, siendo la temperatura sustancialmente proporcional a dicha intensidad; y emplear la función polinómica:**IMAGEN**, según la cual es posible obtener la temperatura a partir del valor de intensidad medido. Además, se describe un termómetro que funciona de acuerdo con este procedimiento.

Description

Procedimiento y termómetro para medir bajas temperaturas.

Objeto de la invención

El objeto principal de la presente invención es un procedimiento y un termómetro primario para medir bajas temperaturas. El termómetro está basado en una unión NIS que presenta una sensibilidad sustancialmente constante a muy bajas temperaturas, permitiendo realizar medidas muy precisas en temperaturas cercanas al cero absoluto.

Antecedentes de la invención

La termometría a temperaturas cercanas e inferiores a la temperatura de licuación del helio (4,2 K) presenta actualmente gran interés, ya que es necesaria en campos tan dispares como la ciencia de los materiales, química, nanotecnología, semiconductores y astrofísica. Normalmente, los sensores más utilizados en este rango de temperaturas son termómetros secundarios de resistencia, que deben ser calibrados previamente con termómetros primarios cuyo parámetro termométrico sigue una ley conocida.

Sin embargo, aunque son más adecuados los termómetros primarios, la mayoría de ellos presenta dificultades para cumplir con los requerimientos de los experimentos más comunes. Actualmente existen varios tipos de termómetros primarios en el rango de temperaturas descrito. Dos de ellos son especialmente relevantes para esta invención: el sensor de bloqueo de Coulomb o Coulomb blockade en inglés (K. Hirvi, J. Kauppinen y M. Aplanen, Phys. Rev. Lett. 73, 2903, 1994) y el sensor de ruido de disparo o shot noise en inglés (A. Caseya, B.P. Cowana, H. Dyballa, J. Lia,

C.P. Lusher, V. Maidanov, J. Nyekia, J. Saunders y D. Shvartsa, Physica B 329-333, 1556, 2003). Sin embargo, estos termómetros aún presentan inconvenientes que limitan en gran medida su aplicación.

Por otro lado, son conocidas también las uniones NIS, que se suelen emplear en la fabricación de bolómetros

(A. Lee, P. Richards, S. Nam, B. Cabrera y K. Irwin, Appl. Phys. Lett. 69, 1801, 1996) o para microrefrigeración (Microrefrigeration by normal-metal/insulator/superconductor tunel functions, M. M. Leivo, A. J. Manninen y J. P. Pekola, Applied Superconductivity vol. 5, Nos 7-12, pp. 227-233, 1998).

Descripción de la invención

Un aspecto importante de un termómetro es su sensibilidad α (definiéndose α en un termómetro de resistencia

como

donde R es el parámetro termométrico). Idealmente se requiere que α no varíe mucho con la

temperatura, es decir, que la variación del parámetro termométrico correspondiente a una cierta variación de la temperatura sea aproximadamente constante en todo el rango útil del termómetro. Si la sensibilidad α es baja evidentemente el termómetro no es bueno, pero tampoco es adecuado que la sensibilidad α sea demasiado alta, ya que en ese caso se obtendría un rango útil de temperaturas pequeño.

Los solicitantes de la presente solicitud de patente han descubierto que se puede conseguir que la relación entre la intensidad que atraviesa una unión NIS y la temperatura a la que se encuentra dicha unión tenga una variación sustancialmente constante en función de la temperatura -para un amplio rango de temperaturas por debajo de la temperatura de licuación del helio. Para que esto ocurra, es necesario que el electrodo superconductor siga la teoría Bardeen Cooper Schrieffer (BCS), y además aplicar entre los electrodos superconductor y normal un voltaje cercano al gap superconductor del electrodo superconductor.

El motivo de este comportamiento se describe a continuación. Es bien conocido que la intensidad túnel que aparece en una unión NIS cuyo electrodo superconductor sigue la teoría BCS depende únicamente de la densidad de estados del superconductor desplazada según el voltaje aplicado N(E -eV), del gap superconductor Δ y del redondeo térmico dado por la dependencia en función de la temperatura de la diferencia entre las funciones de Fermi f(E -eV) y f(E):

donde N(E) se obtiene de:

Estas ecuaciones [1] y [2] muestran que las variaciones de la intensidad túnel cuando se aplica un voltaje dado,

o del voltaje con una intensidad dada, son muy fuertes. Esto proporciona una lectura primaria de la temperatura, ya que el gap superconductor y la resistencia de la unión NIS se pueden determinar independientemente. Sin embargo, la sensibilidad tiene una dependencia compleja con la temperatura, además de depender del modo en que se excita la unión. Si la unión NIS se excita aplicando un voltaje V, se obtiene que cuando V < Δ la intensidad túnel cae

exponencialmente a 0 por debajo de una cierta temperatura, de modo que

depende fuertemente de

T. Por otro lado, si V > Δ es relativamente fácil deducir de las ecuaciones que α será pequeño y además que tendrá una fuerte dependencia con la temperatura. Se obtienen las mismas conclusiones si se excita una unión NIS con una determinada intensidad I.

A pesar de este comportamiento aparente de las uniones NIS, y en contra de la opinión establecida, los solicitantes de la presente invención han descubierto que aplicando una determinada tensión V a la unión NIS se obtiene un termómetro primario cuya sensibilidad α se mantiene aproximadamente constante durante un rango de temperaturas que cubre varios órdenes de magnitud por debajo de Tc (la temperatura crítica del electrodo superconductor de la unión NIS). Esto permite fabricar de manera relativamente sencilla un termómetro primario fácil de utilizar en un amplio rango de bajas temperaturas.

Efectivamente, se pueden resolver las ecuaciones [1] y [2] utilizando en la integración un intervalo de energía lo suficientemente ancho (alrededor de 100 meV) junto con un paso de integración adecuado, de aproximadamente 10−7 meV. Se introduce también la dependencia con la temperatura del gap superconductor establecida por la teoría BCS:

donde hωD ≈ 25 meV y Δ = 1 meV, y donde Δ es el gap superconductor en el cero absoluto. Extrayendo una serie

de curvas de t(i)

para diferentes tensiones de excitación, y analizando en

particular el comportamiento cercano al gap superconductor Δ, se obtienen las curvas de las figuras1y2.La figura 1 representa la temperatura normalizada con la temperatura crítica Tc frente a la intensidad que atraviesa la unión NIS normalizada con la intensidad correspondiente a la temperatura crítica Tc. La figura 2 representa la sensibilidad del termómetro frente a la temperatura normalizada con la temperatura crítica Tc. En ambos casos se han representado, desde arriba hasta abajo, las curvas correspondientes a las tensiones V = 0,95 Δ, 0,97 Δ, 0,99 Δ, 1,00 Δ, 1,01 Δ, 1,02 Δ, 1,03 Δ, 1,04 Δ y 1,05 Δ.

Se aprecia en la figura 1 que para voltajes de excitación por debajo de Δ, la corriente túnel aumenta exponencialmente desde cero a muy bajas temperaturas. Por ejemplo, para V = 0,95 Δ, y entre 0,02Tc y 0,05Tc, i varía dos órdenes de magnitud, de modo que a aumenta fuertemente por debajo de 0,05Tc. Para T>0,05Tc, t(i) proporciona una sensibilidad α aproximadamente independiente de la temperatura. A medida que los voltajes de excitación se acercan más a Δ, aumenta el rango de temperaturas donde α permanece aproximadamente constante a temperaturas más bajas. Sin embargo, este aumento no es muy significativo, ya que es proporcional a V -Δ. Por tanto, la precisión al fijar el voltaje de excitación determina el rango de temperaturas en el que la sensibilidad α es aproximadamente independiente de la temperatura.

Sin embargo, para voltajes por encima de Δ t(i) este comportamiento es completamente diferente. Cuando los voltajes están cerca de Δ las curvas son suaves. La sensibilidad α es muy cercana a 1 en un rango de temperaturas muy amplio. Sin embargo, para bajas temperaturas t(i) se vuelve multivaluado, como se aprecia por ejemplo en la figura 2 para V = 1,02 Δ y superiores. Esto se puede interpretar considerando las ecuaciones anteriores [1] y [2]. A la temperatura cero, I(V) es exactamente cero para V < Δ. Para tensiones de excitación V ≥ Δ, I(V) aumenta continuamente desde cero con una fuerte curvatura cóncava a medida que el voltaje de excitación toma valores más elevados. El comportamiento óhmico se recupera a voltajes altos, cuando la cantidad de estados de cuasi-partículas disponibles se iguala con los existentes en la fase normal. La curvatura cóncava de I(V) refleja la elevada cantidad de estados de cuasi-partículas disponibles justo en el borde del gap superconductor (Ecuación 3), que disminuye continuamente a medida que aumenta el voltaje. Sin embargo, cuando la temperatura aumenta I(V) se redondea, de modo que para V < Δ la corriente túnel aumenta rápidamente con el voltaje, y para V > Δ aumenta más lentamente hasta que alcanza el comportamiento óhmico cuando V >> Δ. Esto es debido al redondeo térmico de las funciones de Fermi de la integral de la corriente túnel de la ecuación [1]. Así, I(V) a una temperatura finita se cruza con I(V) a temperatura cero para V > Δ, lo cual explica la aparición de un mínimo en i(t) en tmin para V por encima de Δ, aunque muy cerca.

En definitiva, se observa que tmin disminuye hacia cero mucho más rápidamente que la diferencia de voltaje del correspondiente voltaje de excitación menos el gap superconductor V -Δ. La pronunciada curvatura cóncava de la corriente túnel contra el voltaje a temperatura cero es la responsable de este fuerte descenso de tmin cuando V -Δ disminuye. El resultado es que, por ejemplo, para un voltaje un 1% mayor que el gap superconductor, la curva de temperatura contra la corriente túnel es uni-evaluada y continua a lo largo de al menos cinco órdenes de magnitud de la temperatura (ver figura 2). Es más, esta curva es suave y mantiene una alta sensibilidad α a lo largo de más de cinco órdenes de magnitud de la temperatura.

De acuerdo con todo lo anterior, un primer aspecto de la presente invención describe un procedimiento para medir bajas temperaturas empleando una unión NIS que comprende un electrodo superconductor y un electrodo normal separados por una capa aislante, donde el electrodo superconductor sigue la teoría BCS. Así, el procedimiento de la invención comprende las siguientes operaciones:

1) Aplicar entre el electrodo superconductor y el electrodo normal de la unión NIS una tensión comprendida entre 0,95 Δ y 1,05 Δ.

2) Medir la intensidad que atraviesa la unión NIS, siendo la temperatura sustancialmente proporcional a dicha intensidad.

Con el objeto de facilitar la medida de la temperatura siguiendo el procedimiento descrito, resulta útil utilizar una función más sencilla que la correspondiente a la representada en la figura 1 obtenida de resolver las ecuaciones [1], [2] y [3]. Se busca entonces una función de regresión que siga lo más fielmente la figura 1, pero que al mismo tiempo sea suficientemente sencilla como para agilizar la realización de los cálculos necesarios para la medida de la temperatura. En principio, se puede emplear cualquier función siempre que cumpla con el compromiso entre precisión y complejidad más adecuado a cada aplicación concreta. Sin embargo, en una realización preferente de la invención, se describe una función del tipo:

La figura 3 representa algunos puntos correspondientes a la corriente túnel frente a la temperatura según las ecuaciones [1], [2] y [3] (representados mediante círculos), y superpuesta a ellos la curva correspondiente al ajuste polinómico descrito. La figura 4 muestra cómo el error cometido apenas sobrepasa el 1% en el peor de los casos.

Un segundo aspecto de la presente invención está dirigido a un termómetro para la medida de bajas temperaturas según el procedimiento descrito, que comprende:

a) Una unión NIS, que comprende un electrodo superconductor y un electrodo normal separados por una capa aislante, donde el electrodo superconductor sigue la teoría BCS.

b) Una fuente de tensión conectada entre el electrodo superconductor y el electrodo normal de dicha unión NIS, que aplica una tensión comprendida entre 0,95 Δ y 1,05 Δ.

c) Un medio de medida de intensidad, que mide la intensidad que atraviesa la unión NIS, siendo la intensidad el parámetro termométrico.

Existen pocos materiales superconductores que sigan perfectamente la densidad de estados de la ecuación [2] descrita en la teoría BCS, como por ejemplo los superconductores amorfos o capas delgadas. Si el método de la invención se realiza empleando un superconductor que no sigue la teoría BCS, se producen cambios significativos en las curvas t(i). En la figura 5 se muestran las curvas t(i) para dos densidades de estados superconductores diferentes, uno de los cuales sigue la teoría BCS y el otro arbitrario. Se observa que la curva correspondiente al material superconductor que no sigue la teoría BCS se desvía fuertemente a bajas temperaturas del comportamiento lineal mostrado por el material superconductor que sigue la teoría BCS. En consecuencia, es de gran importancia que el material superconductor siga lo más fielmente posible la teoría BCS.

Además, es importante que el medio de medida de intensidad tenga una fluctuación (jitter) por debajo del 1% de eΔ para garantizar un buen funcionamiento en el rango de bajas temperaturas. A este respecto, es interesante el uso de superconductores con un gap superconductor grande, y por tanto Tc más elevada.

De acuerdo con esto, algunos materiales adecuados para la fabricación del electrodo superconductor son los elementos Pb, Al, Sn, Nb, W, todo tipo de láminas delgadas fabricadas por evaporación, o por otras técnicas como epitaxia molecular o haces de iones focalizados, que contengan los metales mencionados u otros metales de transición y sean superconductoras, compuestos o mezclas de compuestos a base de metales de transición superconductores. Entre ellos, cabe destacar, por ejemplo, las películas delgadas de aleaciones de Mo-Ge o Mo-Si, así como aquellas basadas en Bi

o las de MgB2.

En cuanto al electrodo normal, no existe mayor requisito que el de disponer de una densidad de estados constante en un rango de voltajes del orden de magnitud del gap del electrodo superconductor, cosa que se encuentra prácticamente en todos los metales conocidos.

En tercer lugar, es importante que la barrera aislante situada entre el electrodo normal y el electrodo superconductor no tenga cortocircuitos que puedan provocar grandes cambios en i(t), alejando así su comportamiento de la relación casi lineal entre intensidad túnel y temperatura. Así, en una realización particular de la invención la barrera aislante está formada por una capa de vacío. Otra realización sería con una barrera aislante formada por una capa de Al2O3 o cualquier otro óxido conocido.

Descripción de las figuras

Para complementar la descripción que se está realizando y con objeto de ayudar a una mejor comprensión de las características de la invención, de acuerdo con un ejemplo preferente de realización práctica de la misma, se acompaña como parte integrante de dicha descripción, un juego de dibujos en donde con carácter ilustrativo y no limitativo, se ha representado lo siguiente:

Figura 1. Muestra una gráfica que representa la temperatura normalizada frente a la intensidad túnel para varios valores de la tensión de excitación.

Figura 2. Muestra una gráfica que representa la sensibilidad del termómetro frente a la temperatura para los valores de la tensión de excitación mostrados en la figura 1.

Figura 3. Muestra los valores reales de la temperatura frente a la intensidad túnel (en círculos) calculados mediante las ecuaciones [1], [2] y [3] para un voltaje de excitación de 1,01 Δ. La línea continua representa los valores calculados mediante la curva de ajuste.

Figura 4. Muestra el error cometido como consecuencia de emplear la curva de ajuste descrita en lugar de las ecuaciones [1], [2] y [3] reales para el cálculo de la temperatura.

Figura 5. Muestra la temperatura frente a la intensidad túnel respectivamente para un superconductor que sigue la teoría BCS y para otro que no la sigue.

Figura 6. Muestra un esquema simplificado de un termómetro NIS de acuerdo con la presente invención.

Realización preferente de la invención

Se muestra a continuación un ejemplo de termómetro (1) de acuerdo con la invención haciendo referencia a la figura

6. En ella se ha representado la unión NIS (2), que está formada por un electrodo superconductor (2a) y un electrodo normal (2c) separados por una capa aislante (2b). En este ejemplo, se aplica una tensión de 1,01 Δ entre ambos electrodos por medio de una fuente de tensión (3). A continuación, se emplea un medio de medida de intensidad

(4) para obtener la intensidad que atraviesa la unión NIS. Según lo descrito anteriormente, la intensidad medida es sustancialmente proporcional en un amplio rango de temperaturas a la temperatura a la que se encuentra la unión NIS (2).

En este ejemplo donde la tensión aplicada es 1,01 Δ, para correlacionar la intensidad medida con la temperatura se emplea una aproximación polinómica del tipo:

cuyos coeficientes son los siguientes:

Esto permite obtener de una forma rápida y sencilla el valor de la temperatura a partir de la intensidad.

Claims (8)

1. REIVINDICACIONES

   1. Procedimiento para medir bajas temperaturas empleando una unión NIS (2) que comprende un electrodo superconductor (2a) y un electrodo normal (2c) separados por una capa aislante (2b), donde el electrodo superconductor (2a) sigue la teoría BCS, caracterizado porque comprende las siguientes operaciones:

   aplicar entre el electrodo superconductor (2a) y el electrodo normal (2c) una tensión comprendida entre 0,95 Δ y 1,05 Δ,

   medir la intensidad que atraviesa la unión NIS (2), siendo la temperatura sustancialmente proporcional a dicha intensidad, y

   emplear la función polinómica:

   según la cual es posible obtener el

   valor de la temperatura a partir del valor de intensidad medido.
2. 2. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 1, donde los coeficientes (a0, ..., a14) de la función polinómica correspondientes a una tensión de 1,01 Δ tienen los siguientes valores:
3. 3. Termómetro (1) para medir bajas temperaturas, caracterizado porque comprende:

   una unión NIS (2) que comprende un electrodo superconductor (2a) y un electrodo normal (2c) separados por una capa aislante (2b), donde el electrodo superconductor (2a) sigue la teoría BCS;

   una fuente de tensión (3) conectada entre el electrodo superconductor (2a) y el electrodo normal (2c), que aplica una tensión comprendida entre 0,95 Δ y 1,05 Δ;y

   un medio de medida de intensidad (4), que mide la intensidad que atraviesa la unión NIS (2), siendo la temperatura proporcional a dicha intensidad.

4. 4.

   Termómetro (1) de acuerdo con la reivindicación 3, donde el electrodo superconductor (2a) está fabricado de Pb, Al, Sn, Nb, W, o de aleaciones de Mo-Ge o de Mo-Si.

5. 5.

   Termómetro (1) de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 3-4, donde la capa aislante (2b) está formada por vacío.

6. 6.

   Termómetro (1) de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 3-4, donde la capa aislante (2b) está formada por un óxido.

7. 7. Termómetro (1) de acuerdo con la reivindicación 6, donde el óxido es Al2O3.

   OFICINA ESPAÑOLA DE PATENTES Y MARCAS

   N.º solicitud: 200930647

   ESPAÑA

   Fecha de presentación de la solicitud: 03.09.2009

   Fecha de prioridad:

   INFORME SOBRE EL ESTADO DE LA TECNICA

   51 Int. Cl. : G01K7/00 (2006.01) H01L39/22 (2006.01)

   DOCUMENTOS RELEVANTES

   Categoría

   56 Documentos citados Reivindicaciones afectadas

   X

   P.J. KOPPINEN et al. "Effects of charging energy on SINIS tunnel junction thermometry". J. Low Temp. Phys. 16 april 2009. 1, 2

   X

   R. LEONI et al. "Measurement and control of the electronic temperature in small thin-film structures". Journal of Applied Physics. Volume 93. Number 6. 15 march 2003. 3-7

   A

   US 6581387 B1 (ULLOM JOEL N) 24/06/2003, columna 1, línea 19 -columna 2, línea 13; columna 3, línea 24 -columna 5, línea 39. 3-7

   Categoría de los documentos citados X: de particular relevancia Y: de particular relevancia combinado con otro/s de la misma categoría A: refleja el estado de la técnica O: referido a divulgación no escrita P: publicado entre la fecha de prioridad y la de presentación de la solicitud E: documento anterior, pero publicado después de la fecha de presentación de la solicitud

   El presente informe ha sido realizado • para todas las reivindicaciones • para las reivindicaciones nº:

   Fecha de realización del informe 07.05.2012

   Examinador B. Tejedor Miralles Página 1/4

   INFORME DEL ESTADO DE LA TÉCNICA

   Nº de solicitud: 200930647

   Documentación mínima buscada (sistema de clasificación seguido de los símbolos de clasificación) G01K, H01L Bases de datos electrónicas consultadas durante la búsqueda (nombre de la base de datos y, si es posible, términos de

   búsqueda utilizados) INVENES, EPODOC, WPI, NPL, XPESP, XPIEE, XPAIP, INTERNET

   Informe del Estado de la Técnica Página 2/4

   OPINIÓN ESCRITA

   Nº de solicitud: 200930647

   Fecha de Realización de la Opinión Escrita: 07.05.2012

   Declaración

   Novedad (Art. 6.1 LP 11/1986)

   Reivindicaciones Reivindicaciones 1, 2 3-7 SI NO

   Actividad inventiva (Art. 8.1 LP11/1986)

   Reivindicaciones Reivindicaciones 1-7 SI NO

   Se considera que la solicitud cumple con el requisito de aplicación industrial. Este requisito fue evaluado durante la fase de examen formal y técnico de la solicitud (Artículo 31.2 Ley 11/1986).

   Base de la Opinión.-

   La presente opinión se ha realizado sobre la base de la solicitud de patente tal y como se publica.

   Informe del Estado de la Técnica Página 3/4

   OPINIÓN ESCRITA

   Nº de solicitud: 200930647

   1. Documentos considerados.-

   A continuación se relacionan los documentos pertenecientes al estado de la técnica tomados en consideración para la realización de esta opinión.

   Documento

   Número Publicación o Identificación Fecha Publicación

   D01

   P.J. KOPPINEN et al. 16.04.2009

   D02

   R. LEONI et al. 15.03.2003

   D03

   US 6581387 B1 (ULLOM JOEL N ) 24.06.2003

8. 2. Declaración motivada según los artículos 29.6 y 29.7 del Reglamento de ejecución de la Ley 11/1986, de 20 de marzo, de Patentes sobre la novedad y la actividad inventiva; citas y explicaciones en apoyo de esta declaración

   Reivindicación 1:

   Se considera como estado de la técnica más cercano el documento D01. Dicho documento, divulga un termómetro para medir bajas temperaturas, caracterizado porque comprende una unión NIS que consiste en un electrodo superconductor que sigue la teoría BCS. Las etapas del procedimiento reivindicado son: aplicar una tensión, medir la intensidad, utilizar la ecuación mencionada para obtener el valor de la temperatura correspondiente. Se diferencia en la aplicación de la ecuación matemática. El problema técnico a resolver es como obtener una relación entre la intensidad y la temperatura para poder utilizar una unión NIS como termómetro primario. Sin embargo, la elección de una u otra función polinómica no produce un efecto técnico. Dicha función proviene de un mero ajuste matemático de los datos obtenidos con las ecuaciones (ecuaciones (1), (2), (3) citadas en la descripción de la solicitud) derivadas de la representación de la intensidad túnel que responden a la corriente a través de una unión NIS. Por lo tanto, se trata de una elección matemática que un experto en la materia seleccionaría según las circunstancias sin el ejercicio de la actividad inventiva. Así, la primera reivindicación no presenta actividad inventiva según el artículo 8.1 de la ley de patentes 11/1986.

   Reivindicación 2:

   La reivindicación dependiente 2 expone el valor de los coeficientes que se deben utilizar con la ecuación expresada en la primera reivindicación. Dichos coeficientes se han obtenido a partir de un cierto valor de tensión teórico por lo que esta reivindicación se considera que no implica actividad inventiva según el artículo 8.1 de la ley de patentes 11/1986.

   Reivindicación 3:

   Se considera como estado de la técnica más cercano el documento D02, que divulga un termómetro para medir bajas temperaturas, caracterizado porque comprende una unión NIS que consiste en un electrodo superconductor que sigue la teoría BCS, un electrodo normal separados por una capa aislante; una fuente de tensión y un medio de medida de intensidad (parte III: páginas 3573-3574; D02). Por lo tanto, dicha reivindicación no presenta novedad según el artículo 6.1 de la ley de patentes 11/1986.

   Reivindicaciones dependientes 4-7:

   Las reivindicaciones dependientes hacen referencia a los posibles materiales de construcción del termómetro. Dichos materiales son ampliamente conocidos por el experto en la materia para el propósito mencionado. A modo de ejemplo se cita el documento D03. No obstante, el documento D01 expone que el electrodo superconductor es de Nb y que la capa aislante es un oxido. Por lo tanto las reivindicaciones 4 y 5 no presentan novedad según el artículo 6.1 de la ley de patentes 11/1986. Las reivindicaciones 6 y 7 carecen de actividad inventiva según el artículo 8.1 de la ley de patentes 11/1986. .

   Informe del Estado de la Técnica Página 4/4