ES2127092R - - Google Patents

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Procedimiento para la fabricación de flejes de geometría circular con un espejo en su extremo para la detección de su deflexión, que consiste en adherir al extremo del fleje una capa delgada de un material reflejante, tal y como puede ser oro, depositado sobre un substrato adecuado. Cuando la unión de la capa reflejante al fleje es mayor que la adhesión de esta capa al substrato, y si la capa reflejante es lo suficientemente delgada, únicamente se desprende del substrato un pequeño fragmento de la capa reflejante desempeñando este fragmento la función de espejo.
ES9502467A 1995-12-15 1995-12-15 Procedimiento para la fabricacion de flejes de geometria curcular con un espejo en su extremo para la deteccion de su defelxion. Expired - Fee Related ES2127092B1 (es)

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US5394741A (en) * 1990-07-11 1995-03-07 Olympus Optical Co., Ltd. Atomic probe microscope
US5264696A (en) * 1991-05-20 1993-11-23 Olympus Optical Co., Ltd. Cantilever chip for scanning probe microscope having first and second probes formed with different aspect ratios

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