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B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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Abstract
Elemento piezoeléctrico que permite el movimiento tridimensional y ortogonal caracterizado por estar compuesto de tres láminas piezoeléctricas polarizadas y conectadas de manera que dos de ellas permitan un movimiento lateral en direcciones ortogonales, mientras que la tercera permita un movimiento perpendicular, es decir en la dirección del grosor de las láminas. Por sus características, este tipo de elemento piezoeléctrico es especialmente apropiado para su aplicación en microscopios de campo cercano, siendo su ventaja esencial el tamaño reducido del elemento, así como la rapidez y precisión de sus movimientos.
ES009502466A1995-12-151995-12-15Elemento piezoelectrico que permite el movimiento tridimensional y ortogonal.
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