EP4747899A1 - Vakuumschaltröhre und vakuumschalter - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumschaltröhre (1) und einen Vakuumschalter (40) mit einer Vakuumschaltröhre (1). Die Vakuumschaltröhre (1), umfasst ein Röhrengehäuse (3), ein Kontaktelement (7) und einen Faltenbalg (9). Das Kontaktelement (7) ragt durch eine Gehäuseöffnung (13) des Röhrengehäuses (3) in ein von dem Röhrengehäuse (3) umgebenes Röhrenvolumen (11) hinein und ist relativ zu dem Röhrengehäuse (3) entlang einer Längsachse (15) des Kontaktelements (7) bewegbar. Der Faltenbalg (9) weist ein fest mit dem Kontaktelement (7) verbundenes erstes Ende (21) und ein fest mit dem Röhrengehäuse (3) verbundenes, die Gehäuseöffnung (13) umschließendes zweites Ende (23) auf. Dabei ist der Faltenbalg (9) mehrlagig ausgeführt.

Description

Beschreibung

Vakuumschaltröhre und Vakuumschalter

Die Erfindung betri f ft eine Vakuumschaltröhre und einen Vakuumschalter mit einer Vakuumschaltröhre .

Mit einem Vakuumschalter wird im Folgenden ein Leistungsschalter bezeichnet , der wenigstens ein Paar zweier relativ zueinander bewegbarer Kontaktelemente aufweist , die in einem Vakuum zum Schließen eines Strompfads einander kontaktieren und zum Öf fnen des Strompfads voneinander getrennt sind, wobei unter dem Vakuum ein so genanntes technisches Vakuum verstanden wird .

Mit einer Vakuumschaltröhre wird im Folgenden eine Komponente eines Vakuumschalters bezeichnet , die ein Röhrengehäuse und wenigstens ein Paar zweier relativ zueinander bewegbarer Kontaktelemente des Vakuumschalters umfasst . Das Röhrengehäuse umschließt ein Röhrenvolumen, das zur Erzeugung des Vakuums evakuiert wird . Oft ist in dem Röhrenvolumen ein fest mit dem Röhrengehäuse verbundenes Kontaktelement angeordnet . Ein weiteres , gegenüber dem Röhrengehäuse bewegbares Kontaktelement ist durch eine Röhrenöf fnung in dem Röhrengehäuse geführt , um eine Bewegung dieses Kontaktelements von außen antreiben zu können . Die Röhrenöf fnung muss abgedichtet werden, um ein Eindringen von Gas in das Röhrenvolumen zu verhindern . Um die Röhrenöf fnung abzudichten wird beispielsweise ein Faltenbalg verwendet , der ein mit dem bewegbaren Kontaktelement verbundenes Ende und ein mit dem Röhrengehäuse verbundenes Ende aufweist .

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde , eine Vakuumschaltröhre mit einem verbesserten Faltenbalg und einen Vakuumschalter mit einer derartigen Vakuumschaltröhre anzugeben . Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vakuumschaltröhre mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und einen Vakuumschalter mit den Merkmalen des Anspruchs 13 gelöst .

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche .

Eine erfindungsgemäße Vakuumschaltröhre umfasst

- ein Röhrengehäuse ,

- einen durch eine Gehäuseöf fnung des Röhrengehäuses in ein von dem Röhrengehäuse umgebenes Röhrenvolumen hineinragendes Kontaktelement , das relativ zu dem Röhrengehäuse entlang einer Längsachse des Kontaktelements bewegbar ist , und

- einen Faltenbalg, der ein fest mit dem Kontaktelement verbundenes erstes Ende und ein fest mit dem Röhrengehäuse verbundenes , die Gehäuseöf fnung umschließendes zweites Ende aufweist , wobei

- der Faltenbalg mehrlagig ausgeführt ist .

Die Erfindung zielt auf eine Aus führung des Faltenbalgs einer Vakuumschaltröhre eines Vakuumschalters , die dem Faltenbalg eine hohe Stabilität und Lebensdauer verleiht , so dass der Faltenbalg beispielsweise für mehrere Zehntausend oder Hunderttausend Schaltvorgänge des Vakuumschalters , die j eweils ein Stauchen oder Strecken des Faltenbalgs mit sich bringen, ausgelegt ist . Zu diesem Zweck sieht die Erfindung vor, den Faltenbalg mehrlagig aus zuführen . Durch die mehrlagige Aus führung des Faltenbalgs können dessen Stabilität und Lebensdauer gegenüber einer einlagigen Aus führung deutlich erhöht werden . Insbesondere ermöglicht die mehrlagige Aus führung des Faltenbalgs , dass eine Beschädigung einer Lage des Faltenbalgs nicht notwendig zu einem Aus fall der die Gehäuseöf fnung abdichtenden Funktion des Faltenbalgs führt , da diese Funktion von einer unbeschädigten Lage des Faltenbalgs erfüllt werden kann .

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung weist der Faltenbalg wenigstens zwei Lagen auf , die aus voneinander verschiedenen Materialien gefertigt sind . Beispielsweise ist wenigstens eine Lage des Faltenbalgs aus einem Edelstahl gefertigt und/oder wenigstens eine Lage des Faltenbalgs ist aus einer Legierung gefertigt , die Nickel , Chrom, Molybdän und Niob enthält .

Die Aus führung des Faltenbalgs mit Lagen, die aus voneinander verschiedenen Materialien gefertigt sind, hat den Vorteil , dass Vorzüge verschiedener Materialien kombiniert werden können . Lagen, die aus einem Edelstahl oder aus einer Legierung, die Nickel , Chrom, Molybdän und Niob enthält , eignen sich besonders vorteilhaft für die Stabilität und die Lebensdauer des Faltenbalgs .

Bei einer weiteren Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre weist der Faltenbalg mehrere um die Längsachse des Kontaktelements herum verlaufende Falten mit einer entlang der Längsachse variierenden Faltenstruktur auf . Vorzugsweise wirkt die Faltenstruktur dabei einer ungleichmäßigen Belastung des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements entgegen .

Die vorgenannte Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre berücksichtigt , dass ein Faltenbalg einer Vakuumschaltröhre in der Regel entlang seiner Längsausdehnung mechanisch unterschiedlich stark belastet wird . Die mechanische Belastung eines Bereichs des Faltenbalgs hängt daher in der Regel davon ab, wo sich der Bereich entlang der Längsausdehnung des Faltenbalgs befindet . Beispielsweise werden oft die Endbereiche des Faltenbalgs besonders stark belastet . Dieser Ef fekt kann durch auf den Faltenbalg einwirkende Querkräfte verstärkt werden, die beispielsweise durch eine nicht perfekte Führung des Faltenbalgs oder, insbesondere bei einer hori zontalen Einbaulage des Faltenbalgs , durch die Erdanziehungskraft erzeugt werden . Dementsprechend sieht eine Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre vor, dass die Variation der Faltenstruktur der Falten des Faltenbalgs einer ungleichmäßigen Belastung des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements entgegenwirkt . Mit anderen Worten wird die Faltenstruktur der Falten des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements derart gestaltet , dass sie eine ungleichmäßige Belastung des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements kompensiert . Dadurch kann die Lebensdauer des Faltenbalgs vorteilhaft erhöht werden .

Bei einer weiteren Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre variiert eine Faltenhöhe der Falten des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements . Beispielsweise ist die Faltenhöhe in einem stärker belasteten Bereich des Faltenbalgs kleiner als in einem weniger stark belasteten Bereich des Faltenbalgs . Insbesondere kann die Faltenhöhe der Falten des Faltenbalgs zu dem ersten Ende und/oder zu dem zweiten Ende des Faltenbalgs hin gegenüber einem mittleren Bereich des Faltenbalgs abnehmen .

Bei einer weiteren Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre variiert ein Faltenabstand zweier einander benachbarter Falten des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements . Beispielsweise ist der Faltenabstand in einem stärker belasteten Bereich des Faltenbalgs größer als in einem weniger stark belasteten Bereich des Faltenbalgs . Insbesondere kann der Faltenabstand zu dem ersten Ende und/oder zu dem zweiten Ende des Faltenbalgs hin gegenüber einem mittleren Bereich des Faltenbalgs zunehmen .

Bei einer weiteren Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre variiert eine Materialstärke des Faltenbalgs entlang der Längsachse des Kontaktelements . Beispielsweise ist die Materialstärke in einem stärker belasteten Bereich des Faltenbalgs größer als in einem weniger stark belasteten Bereich des Faltenbalgs .

Insbesondere kann die Materialstärke zu dem ersten Ende und/oder zu dem zweiten Ende des Faltenbalgs hin gegenüber einem mittleren Bereich des Faltenbalgs zunehmen . Bei den vorgenannten Ausgestaltungen einer erfindungsgemäßen Vakuumschaltröhre wird einer ungleichmäßigen Belastung des Faltenbalgs entlang seiner Längsausdehnung also durch eine sich entlang der Längsausdehnung ändernde geometrische Gestaltung der Falten des Faltenbalgs entgegengewirkt , indem die Faltenhöhe , der Faltenabstand oder die Materialstärke der Falten entlang der Längsausdehnung variiert . Dabei können diese Merkmale der Faltenstruktur auch miteinander kombiniert werden, so dass der Faltenbalg entlang seiner Längsausdehnung Bereiche voneinander verschiedener Faltenhöhen, Faltenabstände und/oder Materialstärken aufweist . Eine Abnahme der Faltenhöhe , eine Zunahme des Faltenabstands und/oder eine Zunahme der Materialstärke zu einem Ende des Faltenbalgs hin entlastet den dieses Ende aufweisenden Endbereich des Faltenbalgs und berücksichtigt , dass typischerweise die Endbereiche des Faltenbalgs besonders hohen Belastungen ausgesetzt sind .

Ein erfindungsgemäßer Vakuumschalter weist eine erfindungsgemäß ausgebildete Vakuumschaltröhre auf .

Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise , wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung von Aus führungsbeispielen, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden . Dabei zeigen :

FIG 1 eine Schnittdarstellung eines Aus führungsbeispiels einer Vakuumschaltröhre ,

FIG 2 eine Schnittdarstellung eines ersten Aus führungsbeispiels eines Faltenbalgs einer Vakuums chalt röhre , FIG 3 eine Schnittdarstellung eines zweiten

Aus führungsbeispiels eines Faltenbalgs einer Vakuums chalt röhre ,

FIG 4 eine Schnittdarstellung eines dritten Aus führungsbeispiels eines Faltenbalgs einer Vakuums chalt röhre ,

FIG 5 eine Schnittdarstellung eines vierten Aus führungsbeispiels eines Faltenbalgs einer Vakuums chalt röhre ,

FIG 6 eine Schnittdarstellung eines fünften Aus führungsbeispiels eines Faltenbalgs einer Vakuums chalt röhre ,

FIG 7 ein Blockdiagramm eines Aus führungsbeispiels eines Vakuumschalters .

Einander entsprechende Teile sind in den Figuren mit denselben Bezugs zeichen versehen .

Figur 1 ( FIG 1 ) zeigt ein Aus führungsbeispiel einer Vakuumschaltröhre 1 in einer schematischen

Schnittdarstellung . Die Vakuumschaltröhre 1 umfasst ein Röhrengehäuse 3 , ein erstes Kontaktelement 5 , ein zweites Kontaktelement 7 und einen Faltenbalg 9 .

Das Röhrengehäuse 3 umschließt ein Röhrenvolumen 11 , das zum Betrieb der Vakuumschaltröhre 1 zur Erzeugung eines Vakuums evakuiert wird . Das Röhrengehäuse 3 weist eine Gehäuseöf fnung 13 für das zweite Kontaktelement 7 auf .

Das erste Kontaktelement 5 ist in dem Röhrenvolumen 11 angeordnet und fest mit dem Röhrengehäuse 3 verbunden . Das zweite Kontaktelement 7 ist durch die Gehäuseöf fnung 13 geführt und ragt in das Röhrenvolumen 11 hinein . Das zweite Kontaktelement 7 ist relativ zu dem Röhrengehäuse 3 entlang einer Längsachse 15 des zweiten Kontaktelements 7 zwischen einer ersten Schaltstellung, in der es in galvanischem Kontakt mit dem ersten Kontaktelement 5 steht , und einer in Figur 1 gezeigten zweiten Schaltstellung, in der es von dem ersten Kontaktelement 5 getrennt ist , bewegbar . Die Längsachse 15 des zweiten Kontaktelements 7 ist auch eine Längsachse der Vakuumschaltröhre 1 und eine Längsachse des Faltenbalgs 9 .

Die beiden Kontaktelemente 5 , 7 weisen einander zugewandte stempelartige Kontaktbereiche 17 , 19 auf , die in der ersten Schaltstellung aneinander anliegen . Das Röhrengehäuse 3 ist im Bereich der Kontaktbereiche 17 , 19 breiter ( das heißt mit einem größeren Durchmesser in einer zu der Längsachse 15 senkrechten Ebene ) ausgeführt als in seinen Endbereichen .

Der Faltenbalg 9 ist in dem Röhrenvolumen 11 angeordnet . Ein erstes Ende 21 des Faltenbalgs 9 ist fest mit dem zweiten Kontaktelement 7 verbunden . Ein dem ersten Ende 21 gegenüberliegendes zweites Ende 23 des Faltenbalgs 9 ist fest mit dem Röhrengehäuse 3 verbunden und umgibt die Gehäuseöf fnung 13 . Der Faltenbalg 9 verschließt das Röhrenvolumen 11 gegen eine Umgebung der Vakuumschal tröhre 1 und weist um die Längsachse 15 des Kontaktelements 7 herum verlaufende Falten 25 auf . Das erste Ende 21 des Faltenbalgs 9 ist beispielsweise durch Löten mit dem zweiten Kontaktelement 7 verbunden . Das zweite Ende 23 des Faltenbalgs 9 ist beispielsweise durch Löten mit dem Röhrengehäuse 3 verbunden .

Aus führungsbeispiele des Faltenbalgs 9 sind in den Figuren 2 bis 6 dargestellt . Dabei ist in den Figuren 2 bis 6 j eweils eine Schnittdarstellung eines Teils des Faltenbalgs 9 gezeigt .

Figur 2 ( FIG 2 ) zeigt ein erstes Aus führungsbeispiel des Faltenbalgs 9 . Der Faltenbalg 9 ist mehrlagig mit drei Lagen 35 , 36 , 37 ausgeführt . Die Lagen 35 , 36 , 37 sind aus voneinander verschiedenen Materialien gefertigt. Beispielsweise ist wenigstens eine Lage 35, 36, 37 aus einem Edelstahl gefertigt und wenigstens eine Lage 35, 36, 37 ist aus einer Legierung gefertigt, die Nickel, Chrom, Molybdän und Niob enthält.

Bei anderen Ausführungsbeispielen kann der Faltenbalg 9 statt drei Lagen 35, 36, 37 nur zwei oder mehr als drei Lagen aufweisen. Alternativ oder zusätzlich kann der Faltenbalg 9 eine entlang der Längsachse 15 variierende Faltenstruktur aufweisen. In den Figuren 3 bis 6 ist jeweils ein Ausführungsbeispiel des Faltenbalgs 9 mit einer entlang der Längsachse 15 variierenden Faltenstruktur gezeigt. Bei jedem dieser Ausführungsbeispiele ist der Faltenbalg 9 analog zu dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel mehrlagig ausgeführt, wobei die Lagen 35, 36, 37 des Faltenbalgs 9 in den Figuren 3 bis 6 jedoch nicht dargestellt sind. Die Faltenstruktur des Faltenbalgs 9 wirkt dabei jeweils einer ungleichmäßigen mechanischen Belastung des Faltenbalgs 9 entlang der Längsachse 15 entgegen. Die Figuren 3 bis 6 zeigen jeweils ein Ausführungsbeispiel eines Faltenbalgs 9, dessen mechanische Belastung in einem Bereich 27, 29 jeweils größer als in einem Bereich 31 ist. Bei diesen Ausführungsbeispielen ist jeder Bereich 27, 29 ein Endbereich des Faltenbalgs 9 und der Bereich 31 ist ein mittlerer Bereich des Faltenbalgs 9, wobei der Bereich 27 das erste Ende 21 des Faltenbalgs 9 umfasst und der Bereich 29 das zweite Ende 23 des Faltenbalgs 9 umfasst. Bei anderen Ausführungsbeispielen können die Bereiche 27, 29, 31 jedoch andere Bereiche des Faltenbalgs 9 sein.

Figur 3 (FIG 3) zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des Faltenbalgs 9. Bei diesem Ausführungsbeispiel variiert eine Faltenhöhe h der Falten 25 des Faltenbalgs 9 entlang der Längsachse 15. Dabei nimmt die Faltenhöhe h der Falten 25 des Faltenbalgs 9 in dem Bereich 27 zu dem ersten Ende 21 des Faltenbalgs 9 hin und in dem Bereich 29 zu dem zweiten Ende 23 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 ab . Die Faltenhöhe h einer Falte 25 bezeichnet eine Di f ferenz eines maximalen Abstands und eines minimalen Abstands einer Faltenoberfläche 33 der Falte 25 von der Längsachse 15 .

Figur 4 ( FIG 4 ) zeigt ein drittes Aus führungsbeispiel eines Faltenbalgs 9 . Bei diesem Aus führungsbeispiel variiert ein Faltenabstand d zweier einander benachbarter Falten 25 des Faltenbalgs 9 entlang der Längsachse 15 . Dabei nimmt der Faltenabstand d in dem Bereich 29 zu dem zweiten Ende 23 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 zu .

Figur 5 ( FIG 5 ) zeigt ein viertes Aus führungsbeispiel eines Faltenbalgs 9 . Bei diesem Aus führungsbeispiel variiert eine Materialstärke b der Falten 25 des Faltenbalgs 9 entlang der Längsachse 15 . Dabei nimmt die Materialstärke b der Falten 25 des Faltenbalgs 9 in dem Bereich 27 zu dem ersten Ende 21 des Faltenbalgs 9 hin und in dem zweiten Bereich 29 zu dem zweiten Ende 23 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 zu .

Figur 6 ( FIG 6 ) zeigt ein fünftes Aus führungsbeispiel eines Faltenbalgs 9 . Bei diesem Aus führungsbeispiel variieren die Faltenhöhe h, der Faltenabstand d und die Materialstärke b der Falten 25 des Faltenbalgs 9 entlang der Längsachse 15 . Dabei nehmen der Faltenabstand d und die Materialstärke b in dem Bereich 27 zu dem ersten Ende 21 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 zu . In dem Bereich 29 nimmt die Faltenhöhe h zu dem zweiten Ende 23 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 ab und der Faltenabstand d nimmt zu dem zweiten Ende 23 des Faltenbalgs 9 hin gegenüber dem Bereich 31 des Faltenbalgs 9 zu .

Figur 7 ( FIG 7 ) zeigt ein Blockdiagramm eines Aus führungsbeispiels eines Vakuumschalters 40 . Der Vakuumschalter 40 weist ein Schaltergehäuse 41 , eine Vakuumschaltröhre 1 und eine Antriebseinheit 42 auf . Der Vakuumschalter 40 kann weitere Komponenten aufweisen, die in Figur 7 nicht dargestellt sind, da sie für die Erfindung nicht relevant sind . Die Vakuumschaltröhre 1 ist in dem Schaltergehäuse 41 angeordnet und gemäß einem der anhand der Figuren 1 bis 6 beschriebenen Aus führungsbeispiele ausgebildet . Die Antriebseinheit 42 ist eingerichtet , das zweite Kontaktelement 7 relativ zu dem Röhrengehäuse 3 der Vakuumschaltröhre 1 entlang seiner Längsachse 15 zu bewegen . Die Antriebseinheit 42 kann außerhalb oder innerhalb des Schaltergehäuses 41 angeordnet sein .

Obwohl die Erfindung im Detail durch bevorzugte Aus führungsbeispiele näher illustriert und beschrieben wurde , so ist die Erfindung nicht durch die of fenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen .

Claims

Patentansprüche

1. Vakuumschaltröhre (1) , umfassend

- ein Röhrengehäuse (3) ,

- einen durch eine Gehäuseöffnung (13) des Röhrengehäuses (3) in ein von dem Röhrengehäuse (3) umgebenes Röhrenvolumen (11) hineinragendes Kontaktelement (7) , das relativ zu dem Röhrengehäuse (3) entlang einer Längsachse (15) des Kontaktelements (7) bewegbar ist, und

- einen Faltenbalg (9) , der ein fest mit dem Kontaktelement (7) verbundenes erstes Ende (21) und ein fest mit dem Röhrengehäuse (3) verbundenes, die

Gehäuseöffnung (13) umschließendes zweites Ende (23) aufweist, wobei

- der Faltenbalg (9) mehrlagig ausgeführt ist.

2. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 1, wobei der Faltenbalg (9) wenigstens zwei Lagen (35, 36, 37) aufweist, die aus voneinander verschiedenen Materialien gefertigt sind.

3. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 1 oder 2, wobei wenigstens eine Lage (35, 36, 37) des Faltenbalgs (9) aus einem Edelstahl gefertigt ist.

4. Vakuumschaltröhre (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei wenigstens eine Lage (35, 36, 37) des Faltenbalgs (9) aus einer Legierung gefertigt ist, die Nickel, Chrom, Molybdän und Niob enthält.

5. Vakuumschaltröhre (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Faltenbalg (9) mehrere um die Längsachse (15) des Kontaktelements (7) herum verlaufende Falten (25) mit einer entlang der Längsachse (15) variierenden Faltenstruktur aufweist.

6. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 5, wobei die Faltenstruktur einer ungleichmäßigen Belastung des Faltenbalgs (9) entlang der Längsachse (15) des Kontaktelements (7) entgegenwirkt.

7. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 5 oder 6, wobei eine Faltenhöhe (h) der Falten (25) des Faltenbalgs (9) entlang der Längsachse (15) des Kontaktelements (7) variiert.

8. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 7, wobei die Faltenhöhe (h) der Falten (25) des Faltenbalgs (9) zu dem ersten Ende (21) und/oder zu dem zweiten Ende (23) des Faltenbalgs (9) hin gegenüber einem mittleren Bereich (31) des Faltenbalgs (9) abnimmt.

9. Vakuumschaltröhre (1) nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei ein Faltenabstand (d) zweier einander benachbarter Falten (25) des Faltenbalgs (9) entlang der Längsachse (15) des Kontaktelements (7) variiert.

10. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 9, wobei der Faltenabstand (d) zu dem ersten Ende (21) und/oder zu dem zweiten Ende (23) des Faltenbalgs (9) hin gegenüber einem mittleren Bereich (31) des Faltenbalgs (9) zunimmt.

11. Vakuumschaltröhre (1) nach einem der Ansprüche 5 bis 10, wobei eine Materialstärke (b) des Faltenbalgs (9) entlang der Längsachse (15) des Kontaktelements (7) variiert.

12. Vakuumschaltröhre (1) nach Anspruch 11, wobei die Materialstärke (b) zu dem ersten Ende (21) und/oder zu dem zweiten Ende (23) des Faltenbalgs (9) hin gegenüber einem mittleren Bereich (31) des Faltenbalgs (9) zunimmt.

13. Vakuumschalter (40) mit einer gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildeten Vakuumschaltröhre (1) .