EP4631094A1 - Procédé de fabrication d'un substrat pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence - Google Patents

Procédé de fabrication d'un substrat pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence

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Publication number
EP4631094A1
EP4631094A1 EP23833178.9A EP23833178A EP4631094A1 EP 4631094 A1 EP4631094 A1 EP 4631094A1 EP 23833178 A EP23833178 A EP 23833178A EP 4631094 A1 EP4631094 A1 EP 4631094A1
Authority
EP
European Patent Office
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substrate
silicon carbide
support substrate
layer
carbon inclusions
Prior art date
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Pending
Application number
EP23833178.9A
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German (de)
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Inventor
Hugo BIARD
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Soitec SA
Original Assignee
Soitec SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Soitec SA filed Critical Soitec SA
Publication of EP4631094A1 publication Critical patent/EP4631094A1/fr
Pending legal-status Critical Current

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    • H10P14/3452—Microstructure
    • H10P14/3456—Polycrystalline

Definitions

  • the present invention relates to a substrate for an electronic device, in particular for application to power or radio frequency electronics.
  • the invention also relates to an electronic device comprising such a substrate, and to a method of manufacturing such a substrate.
  • STATE OF THE ART Silicon carbide (SiC) is widely used for the manufacture of power or radio frequency electronic components.
  • a substrate for producing such components typically comprises a support substrate which may be made of polycrystalline SiC (p-SiC), and a surface layer of monocrystalline SiC (m-SiC) extending over the support substrate.
  • Electronic components are manufactured in or on the monocrystalline SiC layer.
  • the structure is cut into the form of chips, each comprising one or more electronic components.
  • Each die is soldered to a heat dissipation stack, including metal layers, a heat-conducting ceramic, and a heat sink.
  • the heat is thus evacuated mainly by the heat dissipation stack, implying significant thermal stresses on the filler material brazing the electronic component and the upper metal layer of the heat dissipation stack.
  • the coefficient of thermal expansion (CTE) and Young's modulus of SiC and thermal stack, especially copper are very different. Temperature variations therefore generate deformations of unequal magnitude in the different layers above and below the solder.
  • the Young's modulus of SiC is high compared to that of other materials, the stresses are concentrated in them and in particular in the filler material.
  • the filler material is highly stressed, which leads to cracks, delamination, or crumbling at the solder interface, resulting in a shortened lifespan of the device.
  • the abrasion of such a base substrate is long and laborious, resulting in a high cost of electronic component.
  • thinning involves a risk of breakage, rendering the composite structure unusable.
  • An aim of the invention is to propose a composite structure for the production of electronic devices, having better resistance to temperature cycles, avoiding cracks, delamination and spalling at the level of the soldering interface.
  • the invention proposes a method of manufacturing a substrate for a power or radio frequency electronic device, comprising ⁇ the formation of a support substrate comprising a deposition of at least one layer of polycrystalline silicon carbide by deposition chemical vapor deposition, CVD, in an atmosphere comprising a mixture of argon and a deposition precursor fluidized in hydrogen, said chemical vapor deposition being carried out under conditions of ratio Ar/(Ar+H2) and temperature adapted to form carbon inclusions in said silicon carbide layer, and ⁇ assembling the support substrate and a surface layer in a monocrystalline material.
  • the CVD process under a gas atmosphere is an alternative to the known sintering process.
  • the CVD process makes it possible to control the composition and morphology of the deposited layer.
  • the elongated silicon carbide grains are capable of generating an anisotropic electrical and thermal resistivity which is lower in a direction perpendicular to the surface of the substrate. This improves heat dissipation and electricity conduction towards the rear surface of the substrate.
  • the presence of carbon inclusions does not penalize the operation of the electronic device which is manufactured in or on the surface monocrystalline layer, which is devoid of such inclusions.
  • the deposit precursor is methyltrichlorosilane.
  • the surface layer is made of a semiconductor material, preferably silicon carbide or gallium nitride or diamond.
  • At least a first phase of the chemical vapor deposition is carried out at a temperature above 1200°C, preferably above 1400°C.
  • a first chemical vapor deposition start temperature is greater than a second chemical vapor deposition end temperature.
  • the Ar/(Ar+H2) ratio decreases during the chemical vapor deposition step.
  • the formation of the support substrate further comprises a step of assembling said at least one layer of silicon carbide comprising carbon inclusions with a base layer of porous silicon carbide.
  • the invention also relates to a substrate for a power or radio frequency electronic device, comprising ⁇ a support substrate made of polycrystalline silicon carbide having a front face and a rear face, and ⁇ a surface layer of a monocrystalline material extending over the front face of said support substrate, said substrate being characterized in that at least one portion of said support substrate comprises a plurality of silicon carbide grains having an elongated shape oriented in a direction perpendicular to the surface of the substrate and a plurality of carbon inclusions located between said grains.
  • the surface layer is made of a semiconductor material, preferably silicon carbide or gallium nitride or diamond.
  • the ratio between the length and width of the silicon carbide grains in the support substrate is greater than or equal to 1:1.2, advantageously greater than 1:10 and more advantageously greater than 1:20.
  • the ratio between the length and width of the silicon carbide grains also facilitates polishing.
  • polishing causes a tearing of a grain of silicon carbide elongated in a direction perpendicular to the surface of the substrate, we obtain a cavity having reduced horizontal dimensions in comparison with the tearing of a grain in an isotropic structure .
  • tearing is made more difficult since the grain is more deeply included in the matrix formed by the other grains.
  • the carbon inclusions are discontinuous.
  • the ratio between the width and length of the carbon inclusions is 1:1.2, preferably greater than 1:20 and more preferably greater than 1:30.
  • the support substrate has a concentration gradient of the carbon inclusions, so that the density of the carbon inclusions increases from the front face towards the rear face.
  • only a portion of the support substrate comprises said carbon inclusions and the support substrate further comprises a portion devoid of carbon inclusions between the surface layer of monocrystalline SiC and the portion comprising the carbon inclusions.
  • the volume ratio of the carbon inclusions in the support substrate is between 1% and 40%, preferably between 1% and 20%.
  • the invention also relates to an electronic device comprising a substrate as described above and at least one power or radio frequency electronic component formed in or on the surface layer, and a heat evacuation device, the substrate being brazed on the heat evacuation device via a filler material so that the filler material is in integral contact with at least part of the portion comprising carbon inclusions on the rear face of the support substrate.
  • Figure 1 illustrates a device comprising two electronic components made from a substrate according to the invention and a heat dissipation stack.
  • Figure 2A illustrates a substrate according to a first embodiment.
  • Figure 2B illustrates a substrate according to a second embodiment.
  • Figure 2C illustrates a substrate according to a third embodiment.
  • Figures 3A to 3D illustrate the steps of producing a support substrate according to the invention.
  • Figures 4A to 4C illustrate the steps of assembling the support substrate with the surface layer.
  • Figure 5 is a graph of the different silicon carbide phases obtained during a CVD process as a function of the temperature and the gas composition in the deposition chamber.
  • Figure 1 illustrates a power or radio frequency electronic device comprising one or more electronic chips 11, 12 made from a substrate according to the invention. Chips can be linked by interconnections. In the case of a radio frequency device, the electronic chip may carry a lateral gallium nitride device.
  • the electronic chips 11, 12 are mounted on a heat dissipating structure by solders 22, 23.
  • This dissipating structure (DBC, acronym for the Anglo-Saxon term “Direct Bonded Copper”) comprises two copper metallizations 17, 19 and a substrate 18 made of a heat-conducting and electrically insulating ceramic, for example aluminum nitride. Electrical connections 27, 28 are fixed to the copper metallization 17 via solders 25, 26.
  • a solder 29 fixes the device on a heat sink 34 and a base plate 32.
  • a layer of thermal grease 31 ensures the thermal contact between the heatsink 34 and the base plate 32.
  • the power or radio frequency electronic device is encapsulated in a housing 39 which is typically made of plastic.
  • Each chip is formed from a substrate comprising a support substrate made of silicon carbide and a surface layer of a monocrystalline material in or on which is formed at least one power electronic component or a radio frequency electronic component.
  • Presentation of the substrate Figures 2A to 2C illustrate substrates 15 for a power or radio frequency electronic device according to different embodiments.
  • Each substrate 15 comprises, from its rear face towards its front face, a support substrate 10 and a surface layer 20.
  • the rear face 105, 106 of the support substrate 10 is intended to be fixed on the thermal stack 17,18,19 of Figure 1 by soldering 22.
  • One or more electronic components 11, 12 can be formed in or on the surface layer 20.
  • the support substrate 10 is made of polycrystalline silicon carbide. At least part of the support substrate 10 comprises carbon inclusions 1.
  • the silicon carbide is in the form of a plurality of grains 2 of elongated shape.
  • the ratio between the width and length of the grains 2 is greater than or equal to 1:1.2, and preferably greater than 1:10. In preferred embodiments, the ratio of grain width to length is greater than 1:20.
  • the grains 2 are oriented in a direction Z perpendicular to the surface 220 of the substrate and linked together.
  • the measurement and variation of grain size can be assessed by counting the number of intersections between a line parallel to the base of the substrate and the grain boundaries. Such a measure is for example carried out by technical observation of electron microscopy such as backscattered electron microscopy (BSE, acronym for the Anglo-Saxon term “backscattered electrons”).
  • BSE backscattered electron microscopy
  • the carbon inclusions 1 are dispersed discontinuously between the grains 2 of silicon carbide.
  • the ratio between the width and length of the carbon 1 inclusions is greater than or equal to 1:1.2, and preferably greater than 1:10. In preferred embodiments, the ratio between the width and length of the carbon 1 inclusions is greater than 1:30.
  • the elongated geometry of the silicon carbide grains 2 and the carbon inclusions 1 results in electrical and/or thermal conductivity in a direction Z perpendicular to the surface 220 of the substrate improved with respect to the conductivity perpendicular to Z, because the number of joints of grains to cross between the two faces is limited. Such thermal conductivity promotes in particular good heat evacuation towards a thermal stack linked to the rear face 105 of the substrate by solder.
  • the carbon inclusions 1 can be distributed throughout the entire extent of the support substrate 10.
  • the distribution of the inclusions can be homogeneous.
  • the support substrate presents a concentration gradient of carbon inclusions.
  • the density of carbon inclusions decreases from the rear face towards the front face.
  • the gradient can be carried out continuously, or successively in several layers having carbon levels decreasing from the rear face towards the surface.
  • a portion 10A extending from the front face is devoid of carbon inclusions and a second portion 10B includes inclusions, which can be distributed homogeneously or according to a gradient .
  • Such a configuration has a front face of homogeneous composition, which facilitates the preparation of the support substrate for bonding a layer of monocrystalline SiC.
  • the grinding and/or polishing steps are easier to carry out on a homogeneous front face, because the carbon inclusions are more friable than the SiC grains. These inclusions are therefore more easily destroyed or torn off during polishing, which can lead to increased surface roughness.
  • the portion 10B comprising the inclusions can be a so-called thin layer, having a thickness of between 100 nm and 3 ⁇ m. In this case, the layer containing the inclusions has very little impact on the thermal and electrical conductivity.
  • the portion 10B comprising the inclusions is a so-called thick layer, having a thickness which is for example approximately 350 ⁇ m.
  • a layer allows the substrate to be thinned on its rear face after the manufacture of the electronic components on its front face.
  • the layer can be thinned to a final thickness of between 100 and 180 ⁇ m. This makes it possible to reduce the total resistance to the passage of a current circulating in the direction of a Z axis perpendicular to the base of the substrate.
  • the substrate may include other additional layers.
  • the substrate may comprise a layer of porous silicon carbide 60 extending from its rear face 106.
  • the substrate may comprise other layers having a different porosity from the layer 60, or one or more layers comprising inclusions obtained by a different method such as sintering, or made of another material.
  • a high carbon content makes it possible to reduce the Young's modulus of the silicon carbide and thus bring the Young's modulus closer to the substrate supporting the Young's module of a thermal stack on which the electronic component will be brazed. This makes it possible to avoid mechanical and thermal stresses in the substrate, particularly at the rear face of the support substrate, and in the solder. The reduction in stress increases the lifespan of the component.
  • the volume content of carbon inclusions in the support substrate is between 1% and 40%.
  • the thickness of the layer comprising the inclusions after deposition by CVD is typically between 500 ⁇ m and 4 mm, with thickness variations (TTV, acronym for the Anglo-Saxon term “Total Thickness Variation”) which are typically included between 50 ⁇ m and 1.5 mm.
  • the final thickness of the silicon carbide layer formed by CVD may vary depending on the intended application. For example, for a substrate diameter of 150 mm, the thickness of the layer comprising the inclusions is typically 350 ⁇ m ⁇ 25 ⁇ m, and for a substrate diameter of 200 mm, the thickness of the layer comprising the inclusions is d 'approximately 500 ⁇ m ⁇ 25 ⁇ m.
  • the surface layer 20 is made of a single-crystal material, for example a semiconductor such as silicon carbide or gallium nitride or another III-V type semiconductor. In some cases, the surface layer is diamond. In a preferred embodiment, the surface layer is made of silicon carbide monocrystalline.
  • the surface layer 20 can be a non-continuous layer, for example a layer composed of a set of blocks which are each made of a monocrystalline material.
  • This variant can be used for materials not available in the dimensions corresponding to the diameter of the support substrate.
  • the surface layer may be composed of a plurality of juxtaposed diamond pavers.
  • the function of the support substrate is to provide mechanical support for the component to be manufactured, and to evacuate heat to the thermal stack efficiently. Furthermore, due to the anisotropy of the grains and carbon inclusions, the electrical conductivity perpendicular to the surface of the substrate is maximized because the number of grain boundaries to cross along the path is reduced. Manufacturing process We will now describe the steps of a process for manufacturing such a substrate 15.
  • a support 80 made of graphite is typically used. easy to remove or burn after manufacturing the support substrate.
  • the support 80 is introduced into a chemical vapor deposition (CVD) enclosure and the enclosure is heated to a first temperature T1.
  • the first temperature T1 is greater than 1200°C, preferably greater than 1400°C.
  • a high T1 temperature favors the formation of carbon inclusions in the support substrate to be formed.
  • a mixture of gases is introduced into the deposition chamber.
  • the gas mixture comprises a carrier gas, typically argon, and a deposit precursor fluidized by another gas which is typically hydrogen.
  • the precursor is for example methyltrichlorosilane (CH 3 SiCl 3 ).
  • a layer 100 of silicon carbide comprising carbon inclusions is thus deposited on the support 80.
  • the temperature in the enclosure is gradually lowered during the vapor deposition process to reach an end of deposition temperature T2 lower than T1 and/or the gas ratio Ar/(Ar+H2) is reduced.
  • these parameters are kept constant.
  • We thus continue the deposition of the silicon carbide layer in order to obtain a thickness greater than the thickness of the support substrate to be manufactured.
  • the grain size is often variable then becomes more homogeneous.
  • the surface 110 of the layer 100 has a high roughness due to the vertical orientation of the grains.
  • a substrate presenting silicon carbide in the form of a plurality of grains of elongated shape is for example illustrated in Figures 3a to 3c of patent FR3134234. In the process according to the invention, silicon carbide grains having a similar structure are obtained.
  • the process according to the invention is implemented under determined conditions of temperature and argon content in the mixture of carrier gas and fluidization gas introduced with precursor.
  • the temperature is adjusted as a function of the argon content and preferably higher than the temperature used in the process described in patent FR31342234, which also promotes growth of silicon carbide in the form of elongated grains.
  • Such deposition conditions also cause the growth of carbon inclusions in the form of elongated grains.
  • the ratio between the length and width of the silicon carbide grains in the support substrate is greater than or equal to 1:1.2, advantageously greater than 1:10 and more advantageously greater than 1:20.
  • the carbon support 80 is removed mechanically or by combustion.
  • Figure 3C we then proceed to remove the lower portion 13 of the silicon carbide layer in which the grain size is inhomogeneous and the crystal quality is less good than in the upper portion produced at the end of the CVD deposition. .
  • the removal of these excess portions 13, 14 is typically carried out by grinding followed by mechanical-chemical polishing to achieve a surface 120 that is flat and sufficiently smooth for bonding a surface layer.
  • Such polishing uses a slip containing abrasive particles in a chemically active mixture.
  • the thickness of the silicon carbide support substrate 10 is between 150 and 500 ⁇ m and can vary depending on the intended application. After subsequent thinning stages, the thickness is typically between 100 ⁇ m and 180 ⁇ m.
  • the support substrate 10 thus prepared is assembled with a surface layer 20 of a monocrystalline material, typically by a Smart Cut TM type process.
  • a single-crystal donor substrate 200 is prepared to produce the surface layer 20. Cleaning and/or a surface treatment can be applied to the surface of the donor substrate 200. A weakening zone 21 is then formed in the donor substrate 200, so as to delimit a single-crystal layer 20.
  • the weakening zone 21 is formed in the donor substrate 200 at a predetermined depth which corresponds substantially to the thickness of the single-crystal layer intended to form the surface layer of the support substrate for electronic power or radio frequency device to be formed.
  • the weakened zone 21 is created by implantation of hydrogen and/or helium atoms in the donor substrate.
  • the donor substrate 200 is then glued to the silicon carbide layer 10.
  • the donor substrate 200 is caused to detach along the weakening zone 21, so as to transfer the single-crystal layer 20 onto the silicon carbide layer comprising the carbon inclusions.
  • the support substrate 10 is assembled with other layers, for example with a layer 60 of porous silicon carbide as illustrated in FIG. 2C.
  • power or radio frequency electronic components can be formed in or on the monocrystalline surface layer.
  • the substrate is brazed onto a heat evacuation device. Soldering is carried out by adding a material, for example silver, an epoxy loaded with silver, gold-silicon, gold-tin, lead-tin, or a material sintered in liquid phase, in integral contact with the underside of the substrate.
  • the filler material is in thermal contact with the carbon inclusions arranged at the rear face of the support substrate, which allows heat to be evacuated from the substrate to the heat evacuation device efficiently.
  • FIG. 5 is a representation of the different chemical compositions deposited as a function of the temperature and the composition of the gas in the deposition chamber. When the temperature and the Ar/(Ar+H2) gas ratio are relatively low, we obtain a deposit of silicon carbide and pure silicon .
  • silicon carbide is deposited.
  • silicon carbide and carbon are deposited.
  • the operating conditions of the invention therefore correspond to the upper part of the phase diagram.
  • the amount of carbon is lower than the amount of silicon carbide deposited, and the carbon is in the form of inclusions in the silicon carbide layer.
  • the ideal rate for the formation of silicon carbide grains and carbon inclusions therefore depends on the temperature and the atmosphere in the deposition enclosure, in particular on the ratio of the flow of carrier gas relative to the fluidization gas.
  • the geometry and size of the inclusions also depend on these parameters.
  • R. Liu et al. uses methyltrichlorosilane (CH 3 SiCl 3 ) as a precursor.
  • the precursor is mixed with argon and hydrogen gas before introducing the gas mixture into the CVD deposition chamber.
  • Deposits are made at different temperatures and different argon levels.
  • the appearance and shape of carbon inclusions are evaluated based on these parameters.
  • the appearance of carbon inclusions depends on the Ar/(Ar+H2) ratio and the temperature of the deposit. For example, for an Ar/(Ar+H2) volume ratio of 25%, the appearance of product carbon inclusions from a temperature of 1560°C.
  • carbon inclusions are formed at a temperature greater than or equal to 1500°C.
  • carbon inclusions can be formed from a deposition temperature of between 1200°C or 1300°C.
  • a high concentration of inclusions is obtained.
  • the volume content of carbon in the substrate thus depends on the argon content and the temperature.
  • the grain size can also be reduced by increasing the level of argon in the deposition chamber. To reduce grain size of carbon for a fixed carbon concentration, we lower the temperature and simultaneously increase the argon content.
  • the ratio between the width and length of the carbon inclusions also depends on the temperature and the Ar/(Ar+H2) ratio.
  • CVD deposition has other advantages over the formation of a two-phase structure by sintering. We avoid the use of a binder that could be polluting, particularly in clean rooms. Controlling the flow and mixing of gases is also easy to master.
  • a concentration gradient of inclusions is achieved in a single deposition process. The temperature reduction can be carried out in a continuous ramp in order to produce a continuous gradient for the concentration of inclusions. Alternatively, the temperature can be lowered in stages to create layers in the substrate in which the rate of inclusions decreases in discrete stages.
  • a concentration gradient of carbon inclusions can be produced over a thickness of 10 ⁇ m to 50 ⁇ m of the polycrystalline silicon carbide layer.
  • the concentration of the initial carbon inclusions is reduced to between 1 and 40%, so that the concentration of the inclusions is maximum at the start of the deposition and reaches a value of zero at the end of the deposition.
  • Such a reduction can be obtained by continuously reducing the set temperature during the growth of the SiC layer.
  • the thermal dynamics of known CVD machines makes it possible to deposit a layer of SiC with such a gradient by carrying out a continuous deposition with modification of the temperature setpoint, without interrupting the deposition for possible cooling steps.
  • a first portion of the substrate can be produced by CVD deposition at a temperature and an argon level causing carbon inclusions.
  • the argon level is then greatly reduced and/or the deposition chamber is allowed to cool before carrying out a second deposition step in which the deposited layer consists of SiC without carbon inclusions.
  • a support substrate in which a first portion comprises carbon inclusions, and a second portion is devoid of carbon inclusions.
  • the surface layer of monocrystalline SiC will subsequently be transferred to the second portion devoid of carbon inclusions.

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Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat (15) pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence, comprenant · la formation d'un substrat support (10) comprenant un dépôt d'au moins une couche (100) de carbure de silicium polycristallin par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) dans une atmosphère comprenant un mélange d'argon et d'un précurseur de dépôt fluidifié dans de l'hydrogène, ledit dépôt chimique en phase vapeur étant réalisé dans des conditions de ratio Ar/(Ar+H2) et de température adaptées pour former des inclusions de carbone (1) dans ladite couche de carbure de silicium, et · l'assemblage du substrat support (10) et d'une couche superficielle (20) en un matériau monocristallin.

Description

PROCEDE DE FABRICATION D’UN SUBSTRAT POUR UN DISPOSITIF ELECTRONIQUE DE PUISSANCE OU RADIOFREQUENCE DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne un substrat pour un dispositif électronique, notamment pour application à l’électronique de puissance ou radiofréquence. L’invention se rapporte également à un dispositif électronique comprenant un tel substrat, et à un procédé de fabrication d’un tel substrat. ETAT DE LA TECHNIQUE Le carbure de silicium (SiC) est largement utilisé pour la fabrication de composants électroniques de puissance ou radiofréquence. Un substrat pour réaliser de tels composants comprend typiquement un substrat support pouvant être en SiC polycristallin (p-SiC), et une couche superficielle de SiC monocristallin (m-SiC) s’étendant sur le substrat support. Des composants électroniques sont fabriqués dans ou sur la couche de SiC monocristallin. La structure est découpée sous forme de puces comprenant chacune un ou plusieurs composants électroniques. Chaque puce est brasée sur un empilement de dissipation thermique, comprenant des couches métalliques, une céramique conductrice de chaleur et un dissipateur thermique. La chaleur est ainsi évacuée principalement par l’empilement de dissipation thermique, impliquant des contraintes thermiques importantes sur le matériau d’apport liant par brasage le composant électronique et la couche métallique supérieure de l’empilement de dissipation thermique. Cependant, le coefficient de dilatation thermique (CTE) et le module de Young du SiC et de l’empilement thermique, notamment le cuivre, sont très différents. Des variations en température engendrent donc des déformations d’ampleur inégale dans les différentes couches au-dessus et en-dessous de la brasure. En particulier, puisque le module de Young du SiC est élevé par rapport à celui des autres matériaux, les contraintes se concentrent dans ceux-ci et notamment dans le matériau d’apport. Ainsi, le matériau d’apport est très sollicité, ce qui entraine des fissures, délaminations, ou un effritement au niveau de l’interface de la brasure, résultant en une durée de vie du dispositif raccourcie. Pour diminuer ces contraintes mécaniques, il est connu d’amincir les couches de la structure composite, notamment du substrat de base en SiC polycristallin. Cependant, l’abrasion d’un tel substrat de base est longue et laborieuse, résultant en un coût élevé du composant électronique. En outre, l’amincissement implique un risque de casse, rendant la structure composite inutilisable. Une autre solution est de modifier les matériaux utilisés pour réaliser le brasage, ce qui est difficile à mettre en œuvre, en particulier en préservant la solidité mécanique et la conductivité électrique et thermique du brasage. EXPOSE DE L'INVENTION Un but de l’invention est de proposer une structure composite pour la réalisation des dispositifs électroniques, présentant une meilleure tenue aux cycles en température, en évitant des fissures, délaminations et effritements au niveau de l’interface de brasage. A cette fin, l’invention propose un procédé de fabrication d’un substrat pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence, comprenant ^ la formation d’un substrat support comprenant un dépôt d’au moins une couche de carbure de silicium polycristallin par dépôt chimique en phase vapeur, CVD, dans une atmosphère comprenant un mélange d’argon et d’un précurseur de dépôt fluidifié dans de l’hydrogène, ledit dépôt chimique en phase vapeur étant réalisé dans des conditions de ratio Ar/(Ar+H2) et de température adaptées pour former des inclusions de carbone dans ladite couche de carbure de silicium, et ^ l’assemblage du substrat support et d’une couche superficielle en un matériau monocristallin. Le procédé CVD sous atmosphère gazeuse est une alternative au procédé de frittage connu. Le procédé CVD permet de contrôler la composition et morphologie de la couche déposée. En particulier, il peut permettre de créer un gradient de concentration d’inclusions dans un seul procédé de dépôt. Les grains de carbure de silicium de forme allongée sont susceptibles de générer une résistivité électrique et thermique anisotrope qui est plus faible dans une direction perpendiculaire à la surface du substrat. Cela améliore l’évacuation de la chaleur et la conduction d’électricité en direction de la surface arrière du substrat. La présence des inclusions de carbone ne pénalise pas le fonctionnement du dispositif électronique qui est fabriqué dans ou sur la couche monocristalline superficielle, laquelle est dépourvue de telles inclusions. Avantageusement, 1. le précurseur de dépôt est du méthyltrichlorosilane. De préférence, la couche superficielle est en un matériau semiconducteur, de préférence en carbure de silicium ou en nitrure de gallium ou en diamant. De manière avantageuse, au moins une première phase du dépôt chimique en phase vapeur est réalisée à une température supérieure à 1200 °C, de préférence supérieure à 1400°C. Avantageusement, une première température de début de dépôt chimique en phase vapeur est supérieure à une deuxième température de fin de dépôt chimique en phase vapeur. De préférence, le ratio Ar/(Ar+H2) diminue pendant l’étape de dépôt chimique en phase vapeur. De manière avantageuse, la formation du substrat support comprend en outre une étape d’assemblage de ladite au moins une couche de carbure de silicium comportant les inclusions de carbone avec une couche de base en carbure de silicium poreux. L’invention se rapport aussi à un substrat pour dispositif électronique de puissance ou radiofréquence, comprenant ^ un substrat support en carbure de silicium polycristallin présentant une face avant et une face arrière, et ^ une couche superficielle en un matériau monocristallin s’étendant sur la face avant dudit substrat support, ledit substrat étant caractérisé en ce qu’au moins une portion dudit le substrat support comprend une pluralité de grains de carbure de silicium présentant une forme allongée orientés selon une direction perpendiculaire à la surface du substrat et une pluralité d’inclusions de carbone situées entre lesdits grains. De préférence, la couche superficielle est en un matériau semiconducteur, de préférence en carbure de silicium ou en nitrure de gallium ou en diamant. De manière avantageuse, le rapport entre la longueur et la largeur des grains de carbure de silicium dans le substrat support est supérieur ou égal à 1 :1,2, avantageusement supérieur à 1:10 et plus avantageusement supérieur à 1:20. Le rapport entre la longueur et la largeur des grains de carbure de silicium facilite en outre le polissage. Ainsi, si le polissage provoque un arrachement d’un grain de carbure de silicium allongé dans une direction perpendiculaire à la surface du substrat, on obtient une cavité présentant des dimensions horizontales réduites en comparaison avec l’arrachement d’un grain dans une structure isotrope. En outre, l’arrachement est rendu plus difficile puisque le grain est plus profondément inclus dans la matrice formée par les autres grains. Avantageusement, les inclusions de carbone sont discontinues. De préférence, le rapport entre la largeur et la longueur des inclusions de carbone est de 1 :1,2, avantageusement supérieur à 1:20 et plus avantageusement supérieur à 1:30. De manière avantageuse, le substrat support présente un gradient de concentration des inclusions de carbone, de sorte que la densité des inclusions de carbone augmente de la face avant en direction de la face arrière. Dans certains modes de réalisation, seule une portion du substrat support comprend lesdites inclusions de carbone et le substrat support comprend en outre une portion dépourvue d’inclusions de carbone entre la couche superficielle de SiC monocristallin et la portion comprenant les inclusions de carbone. De préférence, le taux volumique des inclusions de carbone dans le substrat support est compris entre 1% et 40%, de préférence compris entre 1% et 20%. L’invention se rapporte également à un dispositif électronique comprenant un substrat tel que décrit ci-dessus et au moins un composant électronique de puissance ou radiofréquence formé dans ou sur la couche superficielle, et un dispositif d’évacuation de chaleur, le substrat étant brasé sur le dispositif d’évacuation de chaleur par l’intermédiaire d’un matériau d’apport de sorte que le matériau d’apport est en contact solidaire d’au moins une partie de la portion comprenant des inclusions de carbone sur la face arrière du substrat support. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES D’autres caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront de la description détaillée qui va suivre, en référence aux dessins annexés, sur lesquels : La figure 1 illustre un dispositif comprenant deux composants électroniques réalisés à partir d’un substrat selon l’invention et un empilement de dissipation de chaleur. La figure 2A illustre un substrat selon un premier mode de réalisation. La figure 2B illustre un substrat selon un deuxième mode de réalisation. La figure 2C illustre un substrat selon un troisième mode de réalisation. Les figures 3A à 3D illustrent les étapes de réalisation d’un substrat support selon l’invention. Les figures 4A à 4C illustrent les étapes d’assemblage du substrat support avec la couche superficielle. La figure 5 est un graphe des différentes phases de carbure de silicium obtenues lors d’un procédé CVD en fonction de la température et de la composition de gaz dans l’enceinte de dépôt. DESCRIPTION DETAILLEE DE MODES DE REALISATION La figure 1 illustre un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence comprenant une ou plusieurs puces électroniques 11, 12 réalisées à partir d’un substrat selon l’invention. Les puces peuvent être liées par des interconnexions. Dans le cas d’un dispositif radiofréquence, la puce électronique peut porter un dispositif latéral en nitrure de gallium. Les puces électroniques 11, 12 sont montées sur une structure dissipatrice de chaleur par des brasures 22, 23. Cette structure dissipatrice (DBC, acronyme du terme anglo-saxon « Direct Bonded Copper ») comprend deux métallisations en cuivre 17, 19 et un substrat 18 en une céramique conductrice de chaleur et électriquement isolante, par exemple en nitrure d’aluminium. Des connexions électriques 27, 28 sont fixées sur la métallisation en cuivre 17 par l’intermédiaire de brasures 25, 26. Une brasure 29 fixe le dispositif sur un dissipateur thermique 34 et une plaque de base 32. Une couche de graisse thermique 31 assure le contact thermique entre le dissipateur 34 et la plaque de base 32. Le dispositif électronique de puissance ou radiofréquence est encapsulé dans un boitier 39 qui est typiquement en plastique. Chaque puce est formée à partir d’un substrat comprenant un substrat support en carbure de silicium et une couche superficielle en un matériau monocristallin dans ou sur laquelle est formé au moins un composant électronique de puissance ou un composant électronique radiofréquence. Présentation du substrat La figures 2A à 2C illustrent des substrats 15 pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence selon différents modes de réalisation. Chaque substrat 15 comprend, de sa face arrière vers sa face avant, un substrat support 10 et une couche superficielle 20. La face arrière 105, 106 du substrat support 10 est destinée à être fixée sur l’empilement thermique 17,18,19 de la figure 1 par une brasure 22. Un ou plusieurs composants électroniques 11, 12 peuvent être formés dans ou sur la couche superficielle 20. Le substrat support 10 est en carbure de silicium polycristallin. Au moins une partie du substrat support 10 comprend des inclusions de carbone 1. Le carbure de silicium se présente sous forme d’une pluralité de grains 2 de forme allongée. Le rapport entre la largeur et la longueur des grains 2 est supérieur ou égal à 1 :1,2, et de préférence supérieur à 1 :10. Dans les modes de réalisation préférés, le rapport entre la largeur et la longueur des grains est supérieur à 1:20. Les grains 2 sont orientés selon une direction Z perpendiculaire à la surface 220 du substrat et liés entre eux. La mesure et la variation de la taille des grains peuvent être évaluées en comptant le nombre d’intersections entre une ligne parallèle à la base du substrat et les joints de grains. Une telle mesure est par exemple réalisée par une observation technique de microscopie électronique comme la microscopie d'électrons rétrodiffusés (BSE, acronyme du terme anglo-saxon « backscattered electrons »). Les inclusions de carbone 1 sont dispersées de manière discontinue entre les grains 2 de carbure de silicium. Le rapport entre la largeur et la longueur des inclusions de carbone 1 est supérieur ou égal à 1 :1,2, et de préférence supérieur à 1 :10. Dans les modes de réalisation préférés, le rapport entre la largeur et la longueur des inclusions de carbone 1 est supérieur à 1:30. La géométrie allongée des grains 2 de carbure de silicium et des inclusions 1 de carbone entraine une conductivité électrique et/ou thermique dans une direction Z perpendiculaire à la surface 220 du substrat améliorée par rapport à la conductivité perpendiculaire à Z, car le nombre de joints de grains à traverser entre les deux faces est limité. Une telle conductivité thermique favorise en particulier une bonne évacuation de la chaleur vers un empilement thermique lié à la face arrière 105 du substrat par une brasure. En référence à la figure 2A, les inclusions de carbone 1 peuvent être réparties dans toute l’étendue du substrat support 10. La répartition des inclusions peut être homogène. De manière alternative, le substrat support présente un gradient de concentration des inclusions de carbone. Dans ce cas, la densité des inclusions de carbone diminue de la face arrière en direction de la face avant. Le gradient peut être réalisé de manière continue, ou successivement en plusieurs couches présentant des taux de carbone décroissant de la face arrière vers la surface. Dans certains cas, en référence à la figure 2B, une portion 10A s’étendant à partir de la face avant est dépourvue d’inclusions de carbone et une deuxième portion 10B comprend des inclusions, qui peuvent être reparties de manière homogène ou selon un gradient. Une telle configuration présente une face avant de composition homogène, ce qui facilite la préparation du substrat support pour le collage d’une couche de SiC monocristallin. Notamment les étapes de meulage et/ou de polissage sont plus faciles à réaliser sur une face avant homogène, car les inclusions de carbone sont plus friables que les grains de SiC. Ces inclusions sont donc plus facilement détruites ou arrachées pendant le polissage, ce qui peut entrainer l’augmentation de la rugosité de la surface. Par exemple, la portion 10B comprenant les inclusions peut être une couche dite fine, présentant une épaisseur comprise entre 100 nm et 3 µm. Dans ce cas, la couche comportant les inclusions impacte très peu la conductivité thermique et électrique. De manière alternative, la portion 10B comprenant les inclusions est une couche dite épaisse, présentant une épaisseur qui est par exemple comprise d’environ 350 µm. Une telle couche permet un amincissement du substrat par sa face arrière après la fabrication des composants électroniques sur sa face avant. Par exemple, on peut amincir la couche à une épaisseur finale comprise entre 100 et 180 µm. Cela permet de diminuer la résistance totale au passage d’un courant circulant en direction d’un axe Z perpendiculaire à la base du substrat. Pour toutes les épaisseurs de la portion comprenant les inclusions, également pour des épaisseurs intermédiaires entre 3 et 100 µm, on peut préparer une portion 10B de départ présentant une épaisseur supérieure à l’épaisseur envisagée pour l’application finale, et réaliser un amincissement dans une étape ultérieure. Dans d’autres modes de réalisation, le substrat peut comporter d’autres couches supplémentaires. En référence à la figure 2C, le substrat peut comprendre une couche en carbure de silicium poreux 60 s’étendant de sa face arrière 106. Le substrat peut comprendre d’autres couches présentant une porosité différente de la couche 60, ou une ou plusieurs couches comprenant des inclusions obtenues par une méthode différente tel qu’un frittage, ou constituées d’un autre matériau. Un taux de carbone élevé permet de diminuer le module d’Young du carbure de silicium et ainsi de rapprocher le module d’Young du substrat support du module d’Young d’un empilement thermique sur lequel le composant électronique sera brasé. Cela permet d’éviter des contraintes mécaniques et thermiques dans le substrat, notamment au niveau de la face arrière du substrat support, et dans la brasure. La diminution de contraintes permet d’augmenter la durée de vie du composant. Le taux volumique des inclusions de carbone dans le substrat support est compris entre 1% et 40%. L’épaisseur de la couche comprenant les inclusions après le dépôt par CVD est typiquement comprise entre 500 µm et 4 mm, avec des variations d’épaisseur (TTV, acronyme pour le terme anglo-saxon « Total Thickness Variation ») qui sont typiquement comprises entre 50 µm et 1,5 mm. Après amincissement, l’épaisseur finale de la couche de carbure de silicium formée par CVD peut varier selon l’application envisagée. Par exemple, pour un diamètre du substrat de 150 mm, l’épaisseur de la couche comprenant les inclusions est typiquement de 350 µm ±25µm, et pour un diamètre du substrat de 200 mm, l’épaisseur de la couche comprenant les inclusions est d’environ 500 µm ±25µm. La couche superficielle 20 est en un matériau monocristallin, par exemple en un semiconducteur tel que le carbure de silicium ou le nitrure de gallium ou un autre semiconducteur du type III-V. Dans certains cas, la couche superficielle est en diamant. Dans un mode de réalisation préféré, la couche superficielle est en carbure de silicium monocristallin. Dans une variante, la couche superficielle 20 peut être une couche non continue, par exemple une couche composée d’un ensemble de pavés qui sont chacun en un matériau monocristallin. Cette variante peut être utilisée pour des matériaux non disponibles dans les dimensions correspondant au diamètre du substrat support. Par exemple, la couche superficielle peut être composée d’une pluralité de pavés juxtaposés en diamant. La fonction du substrat support est de fournir un support mécanique pour le composant à fabriquer, et d’évacuer la chaleur vers l’empilement thermique de manière efficace. Par ailleurs, en raison de l’anisotropie des grains et des inclusions de carbone, la conductivité électrique perpendiculairement à la surface du substrat est maximisée car le nombre de joints de grains à traverser sur le trajet est diminué. Procédé de fabrication Nous allons maintenant décrire les étapes d’un procédé de fabrication d’un tel substrat 15. On commence par la mise à disposition d’un support 80 pour la fabrication du substrat support 10. On utilise typiquement un support 80 en graphite facile à retirer ou à brûler après la fabrication du substrat support. On introduit le support 80 dans une enceinte de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et on chauffe l’enceinte à une première température T1. La première température T1 est supérieure à 1200°C, de préférence supérieure à 1400°C. Une température T1 élevée favorise la formation d’inclusions de carbone dans le substrat support à former. Simultanément, on introduit un mélange de gaz dans l’enceinte de dépôt. Le mélange de gaz comprend un gaz porteur, typiquement de l’argon, et un précurseur de dépôt fluidifié par un autre gaz qui est typiquement de l’hydrogène. Le précurseur est par exemple du méthyltrichlorosilane (CH3SiCl3). En référence à la figure 3A, on dépose ainsi une couche 100 de carbure de silicium comprenant des inclusions de carbone sur le support 80. Dans le cas où on vise une couche supérieure dépourvue d’inclusions ou un gradient d’inclusions (figure 2B), la température dans l’enceinte est progressivement baissée au cours du procédé de dépôt en phase vapeur pour atteindre une température de fin de dépôt T2 inférieure à T1et/ou on baisse le ratio de gaz Ar/(Ar+H2). Dans le cas où on dépose une couche avec une répartition homogène des inclusions (figure 2A), on maintient ces paramètres constants. On continue ainsi le dépôt de la couche de carbure de silicium afin d’obtenir une épaisseur supérieure à l’épaisseur du substrat support à fabriquer. Typiquement, on vise une épaisseur comprise entre 500 µm et 2 mm. Au début de la croissance de la couche 100 de carbure de silicium, la taille des grains est souvent variable puis devient plus homogène. En favorisant la croissance d’une couche épaisse, on peut retirer ultérieurement la portion dans laquelle la taille des grains varie fortement, et utiliser la portion dans laquelle la taille des grains est homogène et de bonne qualité cristalline. Pendant et après le dépôt, la surface 110 de la couche 100 présente une forte rugosité en raison de l’orientation verticale des grains. Un substrat présentant du carbure de silicium sous forme d’une pluralité de grains de forme allongée est par exemple illustré dans les figures 3a à 3c du brevet FR3134234. Dans le procédé selon l’invention, on obtient des grains de carbure de silicium présentant une structure similaire. Cependant, pour former les inclusions de carbone entre les grains de carbure de silicium, le procédé selon l’invention est mis en œuvre dans des conditions déterminées de température et de teneur en argon dans le mélange de gaz porteur et de gaz de fluidification introduits avec le précurseur. La température est ajustée en fonction du taux d’argon et de préférence supérieure à la température utilisée dans le procédé décrit dans le brevet FR31342234, ce qui favorise également une croissance du carbure de silicium sous forme de grains allongés. De telles conditions de dépôt provoquent également la croissance des inclusions de carbone sous forme de grains allongés. Avantageusement, le rapport entre la longueur et la largeur des grains de carbure de silicium dans le substrat support est supérieur ou égal à 1 :1,2, avantageusement supérieur à 1:10 et plus avantageusement supérieur à 1:20. En référence à la figure 3B, une fois l’épaisseur envisagée de la couche 100 de carbure de silicium atteinte, on retire le support 80 en carbone par voie mécanique ou par combustion. En référence à la figure 3C, on procède ensuite au retrait de la portion inférieure 13 de la couche de carbure de silicium dans laquelle la taille de grains est inhomogène et la qualité cristalline moins bonne que dans la portion supérieure réalisée en fin du dépôt par CVD. On retire également une portion surfacique 14 présentant une forte rugosité ou une forte variation locale d’épaisseur à une échelle plus grande que la rugosité. Le retrait de ces portions excédentaires 13, 14 est typiquement réalisé par un meulage suivi par un polissage mécano-chimique pour atteindre une surface 120 plane et suffisamment lisse pour le collage d’une couche superficielle. Un tel polissage utilise une barbotine contenant des particules abrasives dans un mélange chimiquement actif. Typiquement, après les étapes de retrait, l’épaisseur du substrat support 10 de carbure de silicium est comprise entre 150 et 500 µm et peut varier selon l’application envisagée. Après des étapes ultérieures d’amincissement, l’épaisseur est typiquement comprise entre 100 µm et 180 µm. En référence à la figure 3D, on assemble le substrat support 10 ainsi préparé avec une couche superficielle 20 en un matériau monocristallin, typiquement par un procédé du type Smart CutTM. En référence à la figure 4A, on prépare un substrat donneur 200 monocristallin pour réaliser la couche superficielle 20. On peut appliquer un nettoyage et/ou un traitement de surface à la surface du substrat donneur 200. On forme ensuite une zone de fragilisation 21 dans le substrat donneur 200, de sorte à délimiter une couche monocristalline 20. La zone de fragilisation 21 est formée dans le substrat donneur 200 à une profondeur prédéterminée qui correspond sensiblement à l'épaisseur de la couche monocristalline destinée à former la couche superficielle du substrat support pour dispositif électronique de puissance ou radiofréquence à former. De préférence, la zone de fragilisation 21 est créée par implantation d'atomes d'hydrogène et/ou d'hélium dans le substrat donneur. En référence à la figure 4B, on colle ensuite le substrat donneur 200 sur la couche de carbure de silicium 10. En référence à la figure 4C, on provoque un détachement du substrat donneur 200 le long de la zone de fragilisation 21, de sorte à transférer la couche monocristalline 20 sur la couche de carbure de silicium comportant les inclusions de carbone. On peut, avant ou après l’assemblage avec la couche 20 en carbure de silicium monocristallin, assembler le substrat support 10 avec d’autres couches, par exemple avec une couche 60 de carbure de silicium poreux comme illustré à la figure 2C. A partir du substrat finalisé, on peut former des composants électroniques de puissance ou radiofréquence dans ou sur la couche superficielle monocristalline. On brase le substrat sur un dispositif d’évacuation de chaleur. La brasure est réalisée par apport d’un matériau, par exemple de l’argent, d’un époxyde chargé d’argent, de l’or-silicium, de l’or- étain, du plomb-étain, ou d’un matériau fritté en phase liquide, en contact solidaire avec la face inférieure du substrat. Ainsi, le matériau d’apport est en contact thermique avec les inclusions de carbone agencées au niveau de la face arrière du substrat support, ce qui permet d’évacuer la chaleur du substrat vers le dispositif d’évacuation de chaleur de manière efficace. Formation des grains durant le procédé CVD L’utilisation d’un procédé CVD favorise la formation de grains dans le carbure de silicium et la formation d’inclusions de carbone. De plus, contrairement à une couche réalisée par frittage, le dépôt par CVD entraine généralement une croissance anisotrope des grains, de manière que leur axe d’élongation maximale s’étende parallèlement à l’axe Z perpendiculaire à la base du substrat. Une forte anisotropie est souhaitée pour favoriser la conductivité thermique et/ou électrique le long de l’axe Z. La figure 5 est une représentation des différentes compositions chimiques déposées en fonction de la température et la composition du gaz dans l’enceinte de dépôt. Quand la température et le ratio du gaz Ar/(Ar+H2) sont relativement bas, on obtient un dépôt de carbure de silicium et du silicium pur. Pour des valeurs intermédiaires de ces deux paramètres, uniquement du carbure de silicium est déposé. A des températures élevées et un ratio de gaz Ar/(Ar+H2) important, du carbure de silicium et du carbone sont déposés. Les conditions opératoires de l’invention correspondent donc à la partie supérieure du diagramme de phase. Dans les gammes de températures représentées, la quantité de carbone est plus faible que la quantité de carbure de silicium déposée, et le carbone se présente sous forme d’inclusions dans la couche de carbure de silicium. Le taux idéal pour la formation des grains de carbure de silicium et des inclusions de carbone dépend donc de la température et de l’atmosphère dans l’enceinte de dépôt, notamment du ratio du flux de gaz porteur par rapport au gaz de fluidification. La géométrie et la taille des inclusions dépendent également de ces paramètres. Le procédé par voie CVD pour obtenir un dépôt biphasique de carbure de silicium comportant des inclusions de carbone est expliqué en détail dans R. Liu et al. Le procédé de R. Liu et al. utilise du méthyltrichlorosilane (CH3SiCl3) en tant que précurseur. Le précurseur est mélangé avec de l’argon et de l’hydrogène gazeux avant l’introduction du mélange des gaz dans l’enceinte de dépôt CVD. Des dépôts sont réalisés à différentes températures et différents taux d’argon. L’apparition et la forme des inclusions de carbone sont évalués en fonction de ces paramètres. L’apparition des inclusions de carbone dépend du ratio Ar/(Ar+H2) et de la température du dépôt. Par exemple, pour un ratio volumique Ar/(Ar+H2) de 25%, l’apparition d’inclusions de carbone de produit à partir d’une température de 1560°C. Pour un ratio volumique de 50%, des inclusions de carbone sont formées à une température supérieure ou égale à 1500°C. Dans une ambiance d’argon sans hydrogène, des inclusions de carbone peuvent être formées à partir d’une température de dépôt comprise entre 1200°C ou 1300°C. En utilisant des ratios comprenant un taux d’argon élevé et une température élevée, on obtient une concentration élevée d’inclusions. Le taux volumique du carbone dans le substrat dépend ainsi du taux d’argon et de la température. A une température donnée, on peut également diminuer la taille de grains par l’augmentation du taux d’argon dans l’enceinte de dépôt. Pour diminuer la taille des grains de carbone pour une concentration de carbone fixe, on baisse la température et on augmente simultanément le taux d’argon. Le rapport entre la largeur et la longueur des inclusions de carbone dépend également de la température et du ratio Ar/(Ar+H2). En plus de l’obtention d’une structure anisotrope, le dépôt par CVD présente d’autres avantages par rapport à la formation d’une structure biphasique par frittage. On évite l’utilisation d’un liant pouvant être polluant notamment en salle blanche. Le contrôle du flux et de mélange des gaz est en outre facile à maitriser. En baissant la température au cours du dépôt par CVD avec un ajustement du ratio du gaz Ar/(Ar+H2), on réalise un gradient de concentration d’inclusions dans un seul procédé de dépôt. La diminution de température peut être réalisée en une rampe continue afin de réaliser un gradient continu pour la concentration d’inclusions. De manière alternative, on peut baisser la température par paliers pour créer des couches dans le substrat dans lesquelles le taux d’inclusions diminue par paliers discrets. De manière illustrative et non limitative, on peut réaliser un gradient de concentration d’inclusions de carbone sur une épaisseur de 10 µm à 50 µm de la couche de carbure de silicium polycristallin. Typiquement, on diminue la concentration des inclusions de carbone initiale comprise entre 1 et 40%, de sorte que la concentration des inclusions soit maximale lors du début du dépôt et atteint une valeur de zéro à la fin du dépôt. Une telle diminution peut être obtenue en diminuant de manière continue la température de consigne pendant la croissance de la couche de SiC. La dynamique thermique des machines de CVD connues permet de déposer une couche de SiC avec un tel gradient en réalisant un dépôt en continu avec modification de la consigne de température, sans interrompre le dépôt pour d’éventuelles étapes de refroidissement. Pour obtenir un tel gradient de concentration, on peut également diminuer le taux d’argon pendant le dépôt, ou combiner une diminution de température avec une diminution du taux d’argon. De manière alternative, on peut réaliser une première portion du substrat par dépôt CVD à une température et un taux d’argon provoquant des inclusions de carbone. On réduit par la suite fortement le taux d’argon et/ou laisse l’enceinte de dépôt refroidir avent de réaliser une deuxième étape de dépôt dans laquelle la couche déposée est constituée de SiC sans inclusions de carbone. Ainsi, on peut réaliser un substrat support dans lequel une première portion comprend des inclusions de carbone, et une seconde portion est dépourvue d’inclusions de carbone. La couche superficielle de SiC monocristallin sera par la suite transférée sur la seconde portion dépourvue d’inclusions de carbone. REFERENCES R. Liu et al.: Experimental phase diagram of SiC in CH3SiCl3–Ar–H2 system, Journal of Materials Research August 2016-1(17):1-11. FR3134234

Claims

REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d’un substrat (15) pour un dispositif électronique de puissance ou radiofréquence, comprenant o la formation d’un substrat support (10) comprenant un dépôt d’au moins une couche (100) de carbure de silicium polycristallin par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) dans une atmosphère comprenant un mélange d’argon et d’un précurseur de dépôt fluidifié dans de l’hydrogène, ledit dépôt chimique en phase vapeur étant réalisé dans des conditions de ratio Ar/(Ar+H2) et de température adaptées pour former des inclusions de carbone (1) dans ladite couche de carbure de silicium, et o l’assemblage du substrat support (10) et d’une couche superficielle (20) en un matériau monocristallin. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le précurseur de dépôt est du méthyltrichlorosilane (CH3SiCl3). 3. Procédé selon la revendication 1 ou la revendication 2, la couche superficielle (20) est en un matériau semiconducteur, de préférence en carbure de silicium ou en nitrure de gallium ou en diamant. 4. Procédé selon l’une des revendications précédentes, dans lequel au moins une première phase du dépôt chimique en phase vapeur est réalisée à une température supérieure à 1200 °C, de préférence supérieure à 1400°C. 5. Procédé selon l’une des revendications précédentes, dans lequel une première température (T1) de début de dépôt chimique en phase vapeur est supérieure à une deuxième température (T2) de fin de dépôt chimique en phase vapeur. 6. Procédé selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le ratio Ar/(Ar+H2) diminue pendant l’étape de dépôt chimique en phase vapeur. 7. Procédé selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la formation du substrat support comprend en outre une étape d’assemblage de ladite au moins une couche de carbure de silicium comportant les inclusions de carbone (1) avec une couche de base en carbure de silicium poreux. 8. Substrat pour dispositif électronique de puissance ou radiofréquence, comprenant o un substrat support (10) en carbure de silicium polycristallin présentant une face avant (410) et une face arrière, et o une couche superficielle (20) en un matériau monocristallin s’étendant sur la face avant (410) dudit substrat support (10), ledit substrat étant caractérisé en ce qu’au moins une portion dudit substrat support (10) comprend une pluralité de grains de carbure de silicium présentant une forme allongée orientés selon une direction perpendiculaire à la surface du substrat et une pluralité d’inclusions de carbone situées entre lesdits grains. 9. Substrat selon la revendication 8, dans lequel la couche superficielle (20) est en un matériau semiconducteur, de préférence en carbure de silicium ou en nitrure de gallium ou en diamant. 10. Substrat selon la revendication 8 ou la revendication 9, dans lequel le rapport entre la longueur et la largeur des grains (1) de carbure de silicium dans le substrat support (10) est supérieur ou égal à 1:1,2, avantageusement supérieur à 1:10 et plus avantageusement supérieur à 1:20. 11. Substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel les inclusions de carbone (1) sont discontinues. 12. Substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 11, dans lequel le rapport entre la largeur et la longueur des inclusions de carbone (1) est de 1:1,2, avantageusement supérieur à 1:20 et plus avantageusement supérieur à 1:30. 13. Substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel le substrat support présente un gradient de concentration des inclusions de carbone (1), de sorte que la densité des inclusions de carbone (1) augmente de la face avant en direction de la face arrière. 14. Substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 13, dans lequel seule une portion du substrat support comprend lesdites inclusions de carbone (1) et le substrat support (30) comprend en outre une portion dépourvue d’inclusions de carbone (1) entre la couche superficielle (20) de SiC monocristallin et la portion comprenant les inclusions de carbone (1). 15. Substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 14, dans lequel le taux volumique des inclusions de carbone (1) dans le substrat support est compris entre 1% et 40%, de préférence compris entre 1% et 20%. 16. Dispositif électronique comprenant un substrat selon l’une quelconque des revendications 8 à 15 et au moins un composant électronique de puissance ou radiofréquence formé dans ou sur la couche superficielle (20), et un dispositif d’évacuation de chaleur, le substrat étant brasé sur le dispositif d’évacuation de chaleur par l’intermédiaire d’un matériau d’apport de sorte que le matériau d’apport est en contact solidaire d’au moins une partie de la portion comprenant des inclusions de carbone (1) sur la face arrière du substrat support (10).
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