EP4377656A1 - Leckdetektoren - Google Patents

Leckdetektoren

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Publication number
EP4377656A1
EP4377656A1 EP22731592.6A EP22731592A EP4377656A1 EP 4377656 A1 EP4377656 A1 EP 4377656A1 EP 22731592 A EP22731592 A EP 22731592A EP 4377656 A1 EP4377656 A1 EP 4377656A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
gas
line
detector
leak detection
test
Prior art date
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Pending
Application number
EP22731592.6A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Silvio Decker
Simon MATHIOUDAKIS
Randolf Paul Rolff
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inficon GmbH Deutschland
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
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Filing date
Publication date
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Publication of EP4377656A1 publication Critical patent/EP4377656A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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    • G01M3/3272—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators by monitoring the interior space of the containers for verifying the internal pressure of closed containers

Definitions

  • the invention relates to a leak detection device and a leak detection method for combined integral and localized leak detection.
  • a test object is evacuated using a vacuum pump and the total pressure profile in the evacuated test object is then measured in order to conclude that there is a gas leak in the test object based on the total pressure profile. If the pressure remains essentially the same, it can be assumed that that the test item is leakproof. If the total pressure curve increases, it is assumed that the test item has a leak.
  • localized leak detection is carried out using a spray gun or a sniffer leak detector to localize the location of a leak in the test object. With the conventional gas leak detection methods, either only an integral leak detection or a localized leak detection could take place.
  • the volume to be tested When measuring the increase in pressure, the volume to be tested must be completely isolated, ie the volume to be measured must not be further evacuated during the measurement in order not to change the pressure.
  • a conventional leak detector with a test gas spray gun requires the gas to be measured to be continuously pumped out of the test object. A simultaneous measurement of the integral tightness and a test gas spray leak detection is not possible with the previous leak detection devices.
  • the invention is based on the object of providing an improved leak detection device and an improved leak detection method.
  • a test specimen connection to which the test specimen to be examined is connected, is connected to the inlet of a test specimen high-vacuum pump.
  • the outlet of the test item high-vacuum pump is connected to the inlet of a backing pump via a test item line.
  • the fore-vacuum pump is connected to a gas detector, which is connected via at least one first gas line to the test item high-vacuum pump, the test item line and/or the test item connection in such a way that the gas detector is supplied with gas from the test item connection for gas analysis via the first gas line.
  • the special feature of the first variant of the invention is that a gas pressure measuring volume connected to a gas pressure sensor is designed in the test item line in such a way that, during the gas analysis with the gas detector, an integral leak search can be carried out by simultaneously measuring the pressure profile, e.g. the total pressure, the differential pressure, the gas pressure or of the partial pressure in which the gas pressure measurement volume can take place.
  • a test object connection is also provided, to which the test object to be examined is connected, while the inlet of a backing pump is connected to the outlet of a detector high-vacuum pump via a detector line.
  • the gas detector is connected to the inlet of the detector high-vacuum pump and connected via at least one first gas line to the test piece line and/or to the test piece connection in such a way that the gas detector is supplied with gas from the test piece connection via the gas line.
  • the special feature of the second variant of the invention is that in the detector line a gas pressure measuring volume connected to the gas pressure sensor is designed in such a way that an integral leak search can be carried out during the gas measurement with the gas detector by measuring the pressure profile in the gas pressure measuring volume.
  • the gas detector can be a partial pressure sensor capable of gas-selectively detecting a type of gas, such as a mass spectrometer.
  • a gas pressure measurement volume connected to a gas pressure sensor enables integral leak detection by measuring the pressure profile in the gas pressure measurement volume while or after the gas measurement is carried out with the gas detector for localizing leak detection.
  • an integral leak detection can be carried out with the aid of the gas pressure measuring volume and the gas pressure sensor connected to it at the same time or in rapid alternation with the localizing leak detection.
  • a test specimen is first connected to the test specimen connection and the test specimen is then evacuated. Gas from the test item is transported into the gas pressure measurement volume and the pressure curve of the total pressure is measured during a period of time in the gas pressure measurement volume.
  • the test object is sprayed with a test gas, for example in the form of hydrogen or helium, and a partial flow of the gas extracted from the test object is fed to the gas detector via the gas line and analyzed by the gas detector.
  • the test item high-vacuum pump can split the gas flow extracted from the test item in such a way that light gas components are fed to the gas detector via the gas line, while a large part of the gas pumped out of the test item with the test item high-vacuum pump is compressed into the gas pressure measuring volume. This is typically air. The air compressed in the gas pressure measurement volume cannot get into the gas detector via the high-vacuum pump under test.
  • a selectively lockable check valve is formed between the gas pressure measuring volume and the backing pump in order to separate the gas pressure measuring volume from the backing pump during the pressure rise measurement.
  • the fore-vacuum pump can thereby be used during the pressure rise measurement to evacuate the gas detector and/or a detector high-vacuum pump connected to the gas detector. This can be advantageous in particular in the case of a mass spectrometric gas detector.
  • the gas line can connect an intermediate gas connection of the high-vacuum pump under test to the gas detector, for example via an intermediate gas connection of the detector high-vacuum pump.
  • a gas line can be provided which connects the test piece line between the test piece high-vacuum pump and the backing pump and/or the gas pressure measuring volume with the gas detector, for example via an intermediate gas connection of the detector high-vacuum pump.
  • a throttle with a predetermined conductance can be provided in the intermediate gas line in order to feed a continuous flow of gas from the gas pressure measurement volume to the gas detector. Taking into account the Known conductance of the throttle and / or the pressure drop across the throttle, the total pressure increase in the gas pressure measurement volume can be determined.
  • the high-vacuum pump under test can be a booster pump that is operated together with a conventional mass spectrometric countercurrent leak detector.
  • Each intermediate gas line and, if possible, also the connecting line between the detector high-vacuum pump and the backing pump should each be provided with a selectively closable shut-off valve.
  • the gas pressure measurement volume is provided with a gas pressure sensor for measuring the pressure profile in the gas pressure measurement volume.
  • the gas pressure sensor can be a gas density sensor or a manometer for total pressure measurement.
  • FIG. 1 shows a schematic block diagram of a first exemplary embodiment of the leak detection device
  • Fig. 4 is a schematic block diagram of a second embodiment of the leak detection device and 5 shows a schematic block diagram of a third exemplary embodiment of the leak detection device.
  • FIG. 1 The embodiment shown in Fig. 1 relates to the first variant of the invention.
  • a test specimen 12 is connected to a test specimen connection 14 which is connected to the inlet of a test specimen high-vacuum pump 16 in a gas-conducting manner.
  • the test item high-vacuum pump 16 is connected to a backing pump 20 via a test item line 18 and has a gas pressure measurement volume 22 which is connected via a first part of the test item line 18 to the outlet 19 of the test item high-vacuum pump 16 and via a second part of the test item line 18 to the inlet the backing pump 20 is connected in a gas-conducting manner.
  • the gas pressure measurement volume 22 is connected to a gas pressure sensor 24 which measures the gas pressure pl within the gas pressure measurement volume 22 .
  • An intermediate gas vacuum connection 26 of the test object high vacuum pump 16 is connected to a detector high vacuum pump 30 via a first gas line 28 .
  • the detector high vacuum pump 30 and the specimen high vacuum pump 16 are each conventional turbomolecular pumps.
  • the inlet of the detector high vacuum pump 30 is connected to the gas detector 32 .
  • the gas detector 32 is a mass spectrometer which is evacuated by the detector high vacuum pump 30 .
  • the detector high-vacuum pump 30 is connected to the backing pump 20 via a connecting line 34 .
  • the arrangement shown in FIG. 1 is a mass spectrometric gas leak detector based on the countercurrent principle, in which the gas from the test specimen 12 passes through the gas line 28 into the mass spectrometer 32 in countercurrent.
  • a second gas line 36 connects the gas pressure measuring volume 22 to a further intermediate gas connection of the detector high-vacuum pump 30.
  • the second gas line 36 has a throttle 38 with a predetermined and, for example, adjustable gas conductivity. Via the second gas line 36, gas from the gas pressure measuring volume 22 can flow in countercurrent through the detector High vacuum pump 30 reach the mass spectrometer 32. While the first gas line 28 and the second gas line 36 are shown in combination in the exemplary embodiment shown in Fig. 1, other exemplary embodiments not shown in the figures are conceivable, in which either the first gas line 28 is present without the second intermediate gas line 36, or in which the second intermediate gas line 36 is present without the first gas line 28.
  • a third gas supply (40) is conceivable in all of the exemplary embodiments and is present in the exemplary embodiment shown in the figure.
  • the third gas line 40 connects the gas pressure measuring volume 22 in a gas-conducting manner to the further intermediate gas connection of the gas detector high-vacuum pump 30 and has a selectively closable valve 3 .
  • the gas pressure measuring volume 22 can be vented via the valve 3 and the third intermediate gas line 40 .
  • the first gas line 28 has a selectively closable first check valve 1 .
  • the second intermediate gas line 36 has a selectively closable second check valve 2 .
  • the third intermediate gas line 40 has a selectively closable third check valve 3 .
  • the second section of the test piece line 18 connecting the gas pressure measurement volume 22 and the backing pump 20 has a selectively closable fourth check valve 4 .
  • the connecting line 34 connecting the detector high-vacuum pump 30 to the backing pump 20 has a selectively closable fifth check valve 5 .
  • the first gas line 28 is provided with a second pressure sensor 42 which measures the pressure at the intermediate gas outlet or intermediate gas vacuum connection 26 of the high vacuum pump 16 under test.
  • the connecting line 34 has a third pressure sensor 44 which measures the pressure at the outlet of the detector high-vacuum pump 30 .
  • the gas pressure sensor 24 is on the fore-vacuum connection of the test object
  • High vacuum pump 16 and thus provided to a certain extent at the inlet of the leak detector.
  • the pressure increase in the gas pressure measuring volume 22 is behind, i.e. downstream of the test object
  • the test piece high vacuum pump 16 can also be referred to as a booster pump.
  • the DUT high-vacuum pump 16 separates the gas stream sucked out of the DUT 12 into light components, such as helium and/or hydrogen, which are mainly transported to the detector high-vacuum pump 30 and used for localizing leak detection (spray leak detection), while the majority of the air sucked off the test item 12 into the gas pressure measurement volume 22 behind, i.e. downstream of the test item
  • High vacuum pump 16 is transported. Due to the large compression between the intermediate gas vacuum port 26 and the outlet of the test piece high vacuum pump 16, the test piece high vacuum pump 16 acts as a barrier for the air components.
  • the gas pressure measurement volume 22 is closed cyclically by switching at least one of the valves in the detector lines 18, 36, 40 connected to the gas pressure measurement volume 22, ie at least one of the valves V2, V3 or V4, preferably by switching the third valve V3.
  • the pressure in the gas pressure measuring volume 22 is increased by the air flowing in and compressed by the high-vacuum pump 16 under test and measured by the pressure sensor 24 .
  • the pressure increase is proportional to the integral leakiness of the test specimen 12.
  • a localized leak search here in the form of a spray leak search, can be carried out according to the mass spectrometric countercurrent principle at the same time as the integral leak search.
  • the gas flow can be routed via the throttle 38 of a second intermediate gas line 36 to a second or the same intermediate gas connection of the detector high-vacuum pump 30 .
  • Gas which is compressed into the gas pressure measuring volume 22 via the test piece high-vacuum pump 16 can flow into the mass spectrometer 32 via the throttle 38 and in countercurrent through the detector high-vacuum pump 30 .
  • the pressure drop across the throttle 38 can be determined and, like the pressure rise, is a measure of the integral leakiness of the test specimen 12. With this method, too, it is possible via the open intermediate gas vacuum connection 26 of the test specimen high-vacuum pump 16 to locate a leak search parallel to the to operate integral leak detection.
  • the pressure rise measurement is described below with reference to the pressure progression curve in FIG. 2 .
  • gas which has reached the test specimen 12 through leaks is transported away from the test specimen 12 by the test specimen high-vacuum pump 16 . Due to the compression differences, light gases such as helium are mainly transported to the detector high-vacuum pump 30. Therefore, helium is often used as the test gas.
  • the remaining air is mainly transported into the gas pressure measuring volume 22 behind the high-vacuum pump 16 under test. Since the compression between the intermediate gas vacuum port 26 of the DUT high-vacuum pump 16 and its outlet 19 for air components is large, the gas collects in the gas pressure measurement volume 22 and increases the pressure there. This increase in pressure is proportional to the integral leak rate of the specimen 12.
  • the pressure increase in the gas pressure measurement volume 22 is independent of the volume of the specimen 12.
  • the pressure is above a suitable Total pressure sensor or gas density sensor 24, which is connected to the gas pressure measurement volume 22, measured.
  • the pressure in the gas pressure measuring volume 22 is preferably kept within a range in which the test piece high vacuum pump 16 can still maintain the compression well and backflow of light gases is low. This is typically the case in a pressure range between 0 mbar and 5 mbar. In this respect, the pressure pl should be kept between 0 mbar and 5 mbar. If the pressure pl rises too much, the gas can be released by briefly opening at least one of the valves in the detector lines 18, 36, 40, d. H. of the second valve V2, the third valve V3 or the fourth valve V4 or any combination of these valves V2, V3, V4.
  • the increase in pressure within the gas pressure measurement volume 22 is measured within a specified time t, or the time taken for a specific increase in pressure to be reached is measured.
  • the gas pressure measurement volume 22 is not completely closed off.
  • the gas is transported in the direction of the detector high-vacuum pump 30 via the throttle 38 .
  • This throttling leads to an increase in pressure in the gas pressure measurement volume 22 which is measured via the first pressure sensor 24 .
  • This increase in pressure is proportional to the amount of gas flowing into the test object and thus to the leakage.
  • the resulting pressure stroke is shown in FIG. 3 and is used here as a measure of the leakage.
  • the final pressure or equilibrium pressure of the unit can be determined by briefly opening the third valve 3 and/or the fourth valve V4. The flow then results from the pressure difference between the equilibrium pressure when the third valve V3 opens and the pressure when the valve V3 is closed.
  • a simultaneous integral leak search and a localized helium or hydrogen leak search are possible.
  • FIGS. 4 and 5 relate to the second variant of the invention, in which the pressure measuring volume is provided in a section of the detector line 34 connecting the backing pump 20 to the detector high-vacuum pump 30, namely between the valve V5 and the Detector high-vacuum pump 30.
  • the pressure in the pressure measuring volume 22 can be measured with the pressure sensor 24 via a cyclical closing and opening of the valve V5 in order to carry out an integral leak search according to the pressure increase method.
  • the pressure increase in the pressure measuring volume 22 is measured when the valve V5 is closed. This pressure increase is proportional to the integral leak rate of the test object 12.
  • test gas sprayed onto the test object 12 for localizing leak detection can be detected with the gas detector in order to localize leaks in the test object 12.
  • the gas detector 32 can be used to determine a steady increase in a test gas signal, for example in the form of the helium content in air, if air from the atmosphere surrounding the test specimen 12 enters the test specimen 12 through a leak and from there the gas detector 32 is supplied. In this way, an integral leak search can also be carried out. Without converting the device, a localized search can then be carried out immediately by spraying the test object 12 with a test gas, such as helium.
  • an internal leak in the test specimen 12 for example in the form of a burst nitrogen line inside the test specimen 12, can be distinguished from an external leak that exists in the outer shell of the test specimen 12.
  • An internal leak results in an increase in pressure, which can be measured via the pressure sensor 24, without the test gas (e.g. helium) background signal in the gas detector 32 increasing.
  • test gas e.g. helium

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Abstract

Lecksuchvorrichtung zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche, mit einem Prüflingsanschluss (14), einer Prüflings-Hochvakuumpumpe (16), deren Einlass mit dem Prüflingsanschluss (14) verbunden ist, mindestens einer Vorvakuumpumpe (20), deren Einlass über eine Prüflingsleitung (18) mit dem Auslass (19) der Prüflings-Hochvakuumpumpe (16) verbunden ist, und einem mit der Vorvakuumpumpe (20) verbundenen Gasdetektor (32), der über mindestens eine erste Gasleitung (28) mit der Prüflings-Hochvakuumpumpe (16), der Prüflingsleitung (18) und/oder dem Prüflingsanschluss (14) derart verbunden ist, das dem Gasdetektor (32) über die Gasleitung (28) Gas vom Prüflingsanschluss (14) zur Gasanalyse zugeführt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass in der Prüflingsleitung (18) ein mit einem Gasdrucksensor verbundenes Gasdruckmessvolumen (22) derart ausgebildet ist, dass während der Gasmessung mit dem Gasdetektor (32) eine integrale Lecksuche durch Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) erfolgen kann.

Description

Leckdetektoren
Die Erfindung betrifft eine Lecksuchvorrichtung und ein Lecksuchverfahren zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche.
Bei der Methode „Rate of Rise" zur integralen Gaslecksuche wird ein Prüfling mit Hilfe einer Vakuumpumpe evakuiert und anschließend der Totaldruckverlauf im evakuierten Prüfling gemessen, um anhand des Totaldruckverlaufs auf ein Gasleck des Prüflings zu schließen. Bei im Wesentlichen gleichbleibendem Druck kann davon ausgegangen werden, dass der Prüfling dicht ist. Bei ansteigendem Totaldruckverlauf wird davon ausgegangen, dass der Prüfling ein Leck aufweist. Alternativ zu der integralen Lecksuche erfolgt die lokalisierende Lecksuche mit Hilfe einer Sprühpistole oder mit Hilfe eines Schnüffellecksuchers, um den Ort eines Lecks im Prüfling zu lokalisieren. Bei den herkömmlichen Gaslecksuchverfahren konnte entweder nur eine integrale Leckerkennung oder eine lokalisierende Leckerkennung erfolgen. Bei der Druckanstiegsmessung muss das zu prüfende Volumen vollständig isoliert sein, d.h. während der Messung darf das Messvolumen nicht weiter evakuiert werden, um den Druck nicht zu verändern. Demgegenüber erfordert jedoch ein herkömmliches Lecksuchgerät mit einer Prüfgassprühpistole ein kontinuierliches Abpumpen des zu messenden Gases aus dem Prüfling. Ein gleichzeitiges Messen der integralen Dichtheit und eine Prüfgas-Sprühlecksuche ist mit den bisherigen Lecksuchvorrichtungen nicht möglich.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Lecksuchvorrichtung und ein verbessertes Lecksuchverfahren bereitzustellen.
Bei einer ersten Variante der erfindungsgemäßen Lecksuchvorrichtung ist ein Prüflingsanschluss, an den der zu untersuchende Prüfling angeschlossen wird, mit dem Einlass einer Prüflings-Hochvakuumpumpe verbunden. Der Auslass der Prüflings-Hochvakuumpumpe ist über eine Prüflingsleitung mit dem Einlass einer Vorvakuumpumpe verbunden. Ferner ist die Vorvakuumpumpe mit einem Gasdetektor verbunden, der über mindestens eine erste Gasleitung mit der Prüflings-Hochvakuumpumpe, der Prüflingsleitung und/oder dem Prüflingsanschluss derart verbunden ist, dass dem Gasdetektor über die erste Gasleitung Gas von dem Prüflingsanschluss zur Gasanalyse zugeführt wird. Die Besonderheit der ersten Variante der Erfindung besteht darin, dass in der Prüflingsleitung ein mit einem Gasdrucksensor verbundenes Gasdruckmessvolumen derart ausgebildet ist, dass während der Gasanalyse mit dem Gasdetektor eine integrale Lecksuche durch gleichzeitiges Messen des Druckverlaufs, z.B. des Totaldrucks, des Differenzdrucks, des Gasdrucks oder des Partialdrucks, in dem Gasdruckmessvolumen erfolgen kann. Bei einer zweiten Variante der erfindungsgemäßen Lecksuchvorrichtung ist ebenfalls ein Prüflingsanschluss vorgesehen, an den der zu untersuchende Prüfling angeschlossen wird, während der Einlass einer Vorvakuumpumpe über eine Detektorleitung mit dem Auslass einer Detektor-Hochvakuumpumpe verbunden ist. Der Gasdetektor ist mit dem Einlass der Detektor-Hochvakuumpumpe verbunden und über mindestens eine erste Gasleitung mit der Prüflingsleitung und/oder mit dem Prüflingsanschluss derart verbunden, dass dem Gasdetektor über die Gasleitung Gas vom Prüflingsanschuss zugeführt wird. Die Besonderheit der zweiten Variante der Erfindung besteht darin, dass in der Detektorleitung ein mit dem Gasdrucksensor verbundenes Gasdruckmessvolumen derart ausgebildet ist, dass während der Gasmessung mit dem Gasdetektor eine integrale Lecksuche durch Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen erfolgen kann.
Bei dem Gasdetektor kann es sich um einen Partialdrucksensor handeln, der eine Gasart gasselektiv detektieren kann, wie zum Beispiel ein Massenspektrometer.
Die Gemeinsamkeit beider Varianten der Erfindung besteht darin, dass ein mit einem Gasdrucksensor verbundenes Gasdruckmessvolumen eine integrale Lecksuche durch Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen ermöglicht, während oder nachdem die Gasmessung mit dem Gasdetektor zur lokalisierenden Lecksuche erfolgt. Während also der Gasdetektor zur lokalisierenden Lecksuche genutzt wird, kann mit Hilfe des Gasdruckmessvolumens und dem daran angeschlossenen Gasdrucksensor zeitgleich oder in schnellem Wechsel mit der lokalisierenden Lecksuche eine integrale Lecksuche erfolgen.
Bei dem erfindungsgemäßen Lecksuchverfahren zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche wird zunächst ein Prüfling an den Prüflingsanschluss angeschlossen und der Prüfling anschließend evakuiert. Gas aus dem Prüfling wird in das Gasdruckmessvolumen transportiert und der Druckverlauf des Totaldrucks wird während eines Zeitraums in dem Gasdruckmessvolumen gemessen. Gleichzeitig wird der Prüfling mit einem Prüfgas, beispielsweise in Form von Wasserstoff oder Helium, besprüht und ein Teilstrom des aus dem Prüfling abgesaugten Gases über die Gasleitung dem Gasdetektor zugeführt und von dem Gasdetektor analysiert. Dabei kann die Prüflings-Hochvakuumpumpe den aus dem Prüfling abgesaugten Gasstrom derart aufteilen, dass leichte Gasbestandteile über die Gasleitung dem Gasdetektor zugeführt werden, während ein Großteil des mit der Prüflings-Hochvakuumpumpe aus dem Prüfling geförderten Gases in das Gasdruckmessvolumen hinein komprimiert wird. Dabei handelt es sich typischerweise um Luft. Die in das Gasdruckmessvolumen komprimierte Luft kann nicht über die Prüflings-Hochvakuumpumpe in den Gasdetektor gelangen.
Hierbei ist es von Vorteil, wenn zwischen dem Gasdruckmessvolumen und der Vorvakuumpumpe ein selektiv sperrbares Sperrventil ausgebildet ist, um das Gasdruckmessvolumen während der Druckanstiegsmessung von der Vorvakuumpumpe zu trennen. Die Vorvakuumpumpe kann dadurch während der Druckanstiegsmessung benutzt werden, um den Gasdetektor zu evakuieren und/oder eine mit dem Gasdetektor verbundene Detektor-Hochvakuumpumpe. Dies kann insbesondere bei einem massenspektrometrischen Gasdetektor von Vorteil sein.
Die Gasleitung kann dabei einen Zwischengasanschluss der Prüflings- Hochvakuumpumpe mit dem Gasdetektor, beispielsweise über einen Zwischengasanschluss der Detektor-Hochvakuumpumpe, verbinden. Alternativ oder ergänzend kann eine Gasleitung vorgesehen sein, die die Prüflingsleitung zwischen Prüflings-Hochvakuumpumpe und Vorvakuumpumpe und/oder das Gasdruckmessvolumen mit dem Gasdetektor, zum Beispiel über einen Zwischengasanschluss der Detektor-Hochvakuumpumpe, verbindet. Hierbei kann eine Drossel mit einem vorgegebenen Leitwert in der Zwischengasleitung vorgesehen sein, um einen kontinuierlichen Gasstrom aus dem Gasdruckmessvolumen dem Gasdetektor zuzuführen. Unter Berücksichtigung des bekannten Leitwerts der Drossel und/oder des Druckabfalls über die Drossel kann der Totaldruckanstieg in dem Gasdruckmessvolumen bestimmt werden.
Insbesondere kann es sich bei der Prüflings-Hochvakuumpumpe um eine Boosterpumpe handeln, die zusammen mit einem herkömmlichen massenspektrometrischen Gegenstromlecksucher betrieben wird. Dabei sollte jede Zwischengasleitung und möglichst auch die Verbindungsleitung zwischen Detektor-Hochvakuumpumpe und Vorvakuumpumpe jeweils mit einem selektiv schließbaren Sperrventil versehen sein.
Das Gasdruckmessvolumen ist mit einem Gasdrucksensor zum Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen versehen. Bei dem Gasdrucksensor kann es sich um einen Gasdichtesensor oder um ein Manometer zur Totaldruckmessung handeln.
Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Figuren näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein schematisches Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispiels der Lecksuchvorrichtung,
Fig. 2 einen ersten Druckverlauf,
Fig. 3 einen zweiten Druckverlauf,
Fig. 4 ein schematisches Blockschaltbild eines zweiten Ausführungsbeispiels der Lecksuchvorrichtung und Fig. 5 ein schematisches Blockschaltbild eines dritten Ausführungsbeispiels der Lecksuchvorrichtung.
Das in Fig. 1 dargestellte Ausführungsbeispiel bezieht sich auf die erste Variante der Erfindung. Ein Prüfling 12 ist an einem Prüflingsanschluss 14 angeschlossen, der gasleitend mit dem Eingang einer Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 verbunden ist. Die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 ist über eine Prüflingsleitung 18 mit einer Vorvakuumpumpe 20 verbunden und weist ein Gasdruckmessvolumen 22 auf, das über einen ersten Teil der Prüflingsleitung 18 mit dem Auslass 19 der Prüflings- Hochvakuumpumpe 16 und über einen zweiten Teil der Prüflingsleitung 18 mit dem Einlass der Vorvakuumpumpe 20 gasleitend verbunden ist. Das Gasdruckmessvolumen 22 ist mit einem Gasdrucksensor 24 verbunden, der den Gasdruck pl innerhalb des Gasdruckmessvolumens 22 misst.
Ein Zwischengasvakuumanschluss 26 der Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 ist über eine erste Gasleitung 28 mit einer Detektor-Hochvakuumpumpe 30 verbunden. Die Detektor-Hochvakuumpumpe 30 und die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 sind jeweils Turbomolekularpumpen herkömmlicher Bauart. Der Einlass der Detektor- Hochvakuumpumpe 30 ist mit dem Gasdetektor 32 verbunden. Der Gasdetektor 32 ist ein Massenspektrometer, das von der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 evakuiert wird. Die Detektor-Hochvakuumpumpe 30 ist über eine Verbindungsleitung 34 mit der Vorvakuumpumpe 20 verbunden. Bei der in Fig. 1 dargestellten Anordnung handelt es sich um einen massenspektrometrischen Gaslecksucher nach dem Gegenstromprinzip, bei dem das Gas aus dem Prüfling 12 über die Gasleitung 28 im Gegenstrom in das Massenspektrometer 32 gelangt.
Eine zweite Gasleitung 36 verbindet das Gasdruckmessvolumen 22 mit einem weiteren Zwischengasanschluss der Detektor-Hochvakuumpumpe 30. Dabei weist die zweite Gasleitung 36 eine Drossel 38 mit vorgegebenem und beispielsweise einstellbarem Gasleitwert auf. Über die zweite Gasleitung 36 kann kontinuierlich Gas aus dem Gasdruckmessvolumen 22 im Gegenstrom durch die Detektor- Hochvakuumpumpe 30 in das Massenspektrometer 32 gelangen. Während bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel die erste Gasleitung 28 und die zweite Gasleitung 36 in Kombination dargestellt sind, sind weitere, in den Figuren nicht dargestellte Ausführungsbeispiele denkbar, bei denen entweder die erste Gasleitung 28 ohne die zweite Zwischengasleitung 36 vorhanden ist, oder bei denen die zweite Zwischengasleitung 36 ohne die erste Gasleitung 28 vorhanden ist.
Eine dritte Gasleistung (40) ist bei allen Ausführungsbeispielen denkbar und bei dem in der Figur dargestellten Ausführungsbeispiel vorhanden. Die dritte Gasleitung 40 verbindet das Gasdruckmessvolumen 22 gasleitend mit dem weiteren Zwischengasanschluss der Gasdetektor-Hochvakuumpumpe 30 und weist ein selektiv schließbares Ventil 3 auf. Über das Ventil 3 und die dritte Zwischengasleitung 40 kann das Gasdruckmessvolumen 22 entlüftet werden.
Die erste Gasleitung 28 weist ein selektiv schließbares erstes Sperrventil 1 auf. Die zweite Zwischengasleitung 36 weist eine selektiv schließbares zweites Sperrventil 2 auf. Die dritte Zwischengasleitung 40 weist ein selektiv schließbares drittes Sperrventil 3 auf. Der das Gasdruckmessvolumen 22 und die Vorvakuumpumpe 20 verbindende zweite Abschnitt der Prüflingsleitung 18 weist ein selektiv schließbares viertes Sperrventil 4 auf. Die die Detektor- Hochvakuumpumpe 30 mit der Vorvakuumpumpe 20 verbindende Verbindungsleitung 34 weist ein selektiv schließbares fünftes Sperrventil 5 auf.
Die erste Gasleitung 28 ist mit einem zweiten Drucksensor 42 versehen, der den Druck am Zwischengasauslass bzw. Zwischengasvakuumanschluss 26 der Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 misst.
Die Verbindungsleitung 34 weist zwischen dem fünften Ventil 5 und dem Auslass der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 einen dritten Drucksensor 44 auf, der den Druck am Auslass der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 misst. Der Gasdrucksensor 24 ist am Vorvakuumanschluss der Prüflings-
Hochvakuumpumpe 16 und somit gewissermaßen am Einlass des Lecksuchers vorgesehen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Druckanstieg im Gasdruckmessvolumen 22 hinter, d.h. stromabwärts der Prüflings-
Hochvakuumpumpe gemessen. Die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 kann auch als Boosterpumpe bezeichnet werden.
Die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 trennt den aus dem Prüfling 12 abgesaugten Gasstrom in leichte Komponenten, wie z.B. Helium und/oder Wasserstoff, die hauptsächlich zu der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 transportiert werden und zur lokalisierenden Lecksuche (Sprühlecksuche) dienen, während der überwiegende Anteil der aus dem Prüfling 12 abgesaugten Luft in das Gasdruckmessvolumen 22 hinter, d.h. stromabwärts der Prüflings-
Hochvakuumpumpe 16 transportiert wird. Aufgrund der großen Kompression zwischen dem Zwischengasvakuumanschluss 26 und dem Auslass der Prüflings- Hochvakuumpumpe 16 wirkt die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 als Sperre für die Luftkomponenten. Das Gasdruckmessvolumen 22 wird zyklisch durch Schalten mindestens eines der Ventile in den mit dem Gasdruckmessvolumen 22 verbundenen Detektorleitungen 18, 36, 40, d. h. mindestens eines der Ventile V2, V3 oder V4, abgeschlossen, bevorzugt durch Schalten des dritten Ventils V3. Durch die einströmende und durch die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 komprimierte Luft wird der Druck im Gasdruckmessvolumen 22 erhöht und durch den Drucksensor 24 gemessen. Der Druckanstieg ist proportional zur integralen Undichtigkeit des Prüflings 12. Der Zwischengasvakuumanschluss 26, der auch als Zwischengasauslass bezeichnet werden kann, ist dabei kontinuierlich offen und mit dem Gasdetektor 32, genauer gesagt einem ersten Zwischengasanschluss der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 verbunden. Dadurch kann gleichzeitig zur integralen Lecksuche eine lokalisierende Lecksuche, hier in Form einer Sprühlecksuche, nach dem massenspektrometrischen Gegenstromprinzip erfolgen. Alternativ zu dem kompletten Abschließen des Gasdruckmessvolumens 22 über das vierte Ventil 4 kann der Gasstrom über die Drossel 38 einer zweiten Zwischengasleitung 36 zu einem zweiten oder demselben Zwischengasanschluss der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 geführt werden. Gas, welches über die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 in das Gasdruckmessvolumen 22 komprimiert wird, kann über die Drossel 38 und im Gegenstrom durch die Detektor- Hochvakuumpumpe 30 in das Massenspektrometer 32 strömen. Der Druckabfall über die Drossel 38 kann bestimmt werden und ist, wie auch der Druckanstieg, ein Maß für die integrale Undichtigkeit des Prüflings 12. Auch bei dieser Methode ist es über den offenen Zwischengasvakuumanschluss 26 der Prüflings- Hochvakuumpumpe 16 möglich, eine lokalisierenden Lecksuche parallel zur integralen Lecksuche zu betreiben.
Im Folgenden wird anhand der Druckverlaufskurve in Fig. 2 die Druckanstiegsmessung beschrieben. Dabei wird durch Leckagen in den Prüfling 12 gelangendes Gas durch die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 aus dem Prüfling 12 abtransportiert. Aufgrund der Kompressionsunterschiede werden leichte Gase, wie z.B. Helium, dabei hauptsächlich zur Detektor-Hochvakuumpumpe 30 transportiert. Daher wird häufig Helium als Prüfgas verwendet. Die übrige Luft wird hingegen hauptsächlich in das Gasdruckmessvolumen 22 hinter der Prüflings- Hochvakuumpumpe 16 transportiert. Da die Kompression zwischen dem Zwischengasvakuumanschluss 26 der Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 und deren Auslass 19 für Luftkomponenten groß ist, sammelt sich das Gas im Gasdruckmessvolumen 22 und erhöht dort den Druck. Dieser Druckanstieg ist proportional zu der integralen Leckrate des Prüflings 12.
Da sämtliches einströmendes Gas durch die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 transportiert wird, ist der Druckanstieg im Gasdruckmessvolumen 22 unabhängig vom Volumen des Prüflings 12. Der Druck wird über einen geeigneten Totaldrucksensor oder Gasdichtesensor 24, der an das Gasdruckmessvolumen 22 angeschlossen ist, gemessen.
Der Druck in dem Gasdruckmessvolumen 22 wird vorzugsweise innerhalb eines Bereichs gehalten, in dem die Prüflings-Hochvakuumpumpe 16 noch gut die Kompression aufrechterhalten kann und eine Rückströmung leichter Gase gering ist. Dies ist typischerweise in einem Druckbereich zwischen 0 mbar und 5 mbar der Fall. Insofern sollte der Druck pl zwischen 0 mbar und 5 mbar gehalten werden. Steigt der Druck pl zu stark an, kann das Gas über ein kurzzeitiges Öffnen mindestens eines der Ventile in den mit dem Gasdruckmessvolumen 22 verbundenen Detektorleitungen 18, 36, 40, d. h. des zweiten Ventils V2, des dritten Ventils V3 oder des vierten Ventils V4 oder einer beliebigen Kombination dieser Ventile V2, V3, V4 abtransportiert werden.
Der Druckanstieg innerhalb des Gasdruckmessvolumens 22 wird innerhalb einer vorgegebenen Zeit t gemessen oder es wird die Zeit zum Erreichen eines bestimmten Druckanstiegs gemessen.
Zeitgleich zur integralen Leckagemessung über die Druckanstiegsmethode ist auch eine lokalisierende -Lecksuche mittels leichter Gase, wie z.B. Helium oder Wasserstoff, möglich, da über das erste Ventil VI hauptsächlich leichte Gase zum Gasdetektor 32 transportiert werden. Damit ist es möglich, gleichzeitig einelokalisierende Lecksuche durch Besprühen des Prüflings miteinem leichten Prüfgas und eine integrale Dichtheitsmessung des gesamten Prüflings 12 zuzuführen. Die integrale Leckrate ergibt sich aus dem Volumen VA des Gasdruckmessvolumens 22 und dem Druckanstieg Dr/Dί zu q = VA [I] * Ap[mbar]/t[s].
Bei geöffnetem erstem Ventil VI, zweitem Ventil V 2 und fünftem Ventil V5, während das dritte Ventil V3 und das vierte Ventil V4 geschlossen sind, kann eine direkte Messung der integralen Dichtheit über eine Druckdifferenzmessung erfolgen. Im Gegensatz zu der oben zuvor beschriebenen Druckanstiegsmessung wird dabei das Gasdruckmessvolumen 22 nicht vollständig abgeschlossen. Über die Drossel 38 wird das Gas in Richtung der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 transportiert. Diese Drosselung führt zu einer Druckerhöhung im Gasdruckmessvolumen 22, die über den ersten Drucksensor 24 gemessen wird. Diese Druckerhöhung ist proportional zu der Menge des einströmenden Gases in den Prüfling und damit zur Leckage. Der resultierende Druckhub ist in Fig. 3 dargestellt und wird an dieser Stelle als Maß für die Leckage verwendet. Durch kurzes Öffnen des dritten Ventils 3 und/oder des vierten Ventils V4 kann der Enddruck oder Gleichgewichtsdruck der Einheit bestimmt werden. Dann ergibt sich der Fluss aus der Druckdifferenz zwischen dem Gleichgewichtsdruck beim Öffnen des dritten Ventils V3 und dem Druck bei geschlossenem Ventil V3. Entsprechend wie bei dem zuvor beschriebenen Totaldruckmessverfahren ist dabei eine gleichzeitige integrale Lecksuche und eine lokalisierende Helium- bzw. Wasserstoff- Lecksuche möglich.
Die in den Fig. 4 und 5 dargestellten Ausführungsbeispiele beziehen sich auf die zweite Variante der Erfindung, bei der das Druckmessvolumen in einem die Vorvakuumpumpe 20 mit der Detektor-Hochvakuumpumpe 30 verbindenden Abschnitt der Detektorleitung 34 vorgesehen ist, und zwar zwischen dem Ventil V5 und der Detektor-Hochvakuumpumpe 30. Dabei kann über ein zyklisches Schließen und Öffnen des Ventils V5 der Druck in dem Druckmessvolumen 22 mit dem Drucksensor 24 gemessen werden, um eine integrale Lecksuche nach der Druckanstiegsmethode auszuführen. Dabei wird bei geschlossenem Ventil V5 der Druckanstieg in dem Druckmessvolumen 22 gemessen. Dieser Druckanstieg ist proportional zur integralen Leckrate des Prüflings 12. Bei gleichzeitig geöffnetem Ventil VI kann auf den Prüfling 12 gesprühtes Testgas zur lokalisierenden Lecksuche mit dem Gasdetektor nachgewiesen werden, um Lecks im Prüfling 12 zu lokalisieren. Alternativ oder ergänzend kann mit dem Gasdetektor 32 ein stetiger Anstieg eines Testgassignals, beispielsweise in Form des in Luft enthaltenden Helium- Anteils, ermittelt werden, falls Luft aus der den Prüfling 12 umgebenden Atmosphäre durch ein Leck in den Prüfling 12 gelangt und von dort dem Gasdetektor 32 zugeführt wird. Auf diese Weise kann ebenfalls eine integrale Lecksuche durchgeführt werden. Ohne Umbau der Vorrichtung kann anschließend unmittelbar eine lokalisierende Suche durch Besprühen des Prüflings 12 mit einem Testgas, wie zum Beispiel Helium, erfolgen.
Aus der Kombination dieser beiden Möglichkeiten ist ein internes Leck im Prüfling 12, beispielsweise in Form einer geplatzten Stickstoffleitung im Inneren des Prüflings 12, von einem externen Leck zu unterscheiden, das in der äußeren Hülle des Prüflings 12 besteht. Ein internes Leck führt zu einem Druckanstieg, der über den Drucksensor 24 messbar ist, ohne dass das Testgas- (zum Beispiel Helium-) Untergrundsignal im Gasdetektor 32 ansteigt.

Claims

Ansprüche
1. Lecksuchvorrichtung zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche, mit einem Prüflingsanschluss (14), einer Prüflings-Hochvakuumpumpe (16), deren Einlass mit dem Prüflingsanschluss (14) verbunden ist, mindestens einer Vorvakuumpumpe (20), deren Einlass über eine Prüflingsleitung (18) mit dem Auslass (19) der Prüflings-Hochvakuumpumpe (16) verbunden ist, und einem mit der Vorvakuumpumpe (20) verbundenen Gasdetektor (32), der über mindestens eine erste Gasleitung (28) mit der Prüflings- Hochvakuumpumpe (16), der Prüflingsleitung (18) und/oder dem Prüflingsanschluss (14) derart verbunden ist, das dem Gasdetektor (32) über die Gasleitung (28) Gas vom Prüflingsanschluss (14) zur Gasanalyse zugeführt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass in der Prüflingsleitung (18) ein mit einem Gasdrucksensor verbundenes Gasdruckmessvolumen (22) derart ausgebildet ist, dass während der Gasmessung mit dem Gasdetektor (32) eine integrale Lecksuche durch Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) erfolgen kann.
2. Lecksuchvorrichtung zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche, mit einem Prüflingsanschluss (14), einer Detektor-Hochvakuumpumpe (30), mindestens einer Vorvakuumpumpe (20), deren Einlass über eine Detektorleitung (34) mit dem Auslass der Detektor-Hochvakuumpumpe (30) verbunden ist, und einem mit dem Einlass der Detektor-Hochvakuumpumpe (30) verbundenen Gasdetektor (32), der über mindestens eine erste Gasleitung (28) mit der Prüflingsleitung (18) und/oder dem Prüflingsanschluss (14) derart verbunden ist, das dem Gasdetektor (32) über die Gasleitung (28) Gas vom Prüflingsanschluss (14) zur Gasanalyse zugeführt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass in der Detektorleitung (34) ein mit einem Gasdrucksensor (24) verbundenes Gasdruckmessvolumen (22) derart ausgebildet ist, dass während der Gasmessung mit dem Gasdetektor (32) eine integrale Lecksuche durch Messen des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) erfolgen kann.
3. Lecksuchvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Prüflings-Hochvakuumpumpe (16) vorgesehen ist, deren Einlass mit dem Prüflingsanschluss (14) verbunden ist und deren Auslass (19) über eine Prüflingsleitung (18) mit der Vorvakuumpumpe (20) verbunden ist
4. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vorrichtung, z.B. in Form eines Sperrventils (V4, V5) oder einer Abschaltvorrichtung für die Vorvakuumpumpe (20), zum Deaktivieren der Wirkung des Saugvermögens der Vorvakuumpumpe (20) auf das Gasdruckmessvolumen (22) während des Messens des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) mit dem Gasdrucksensor (24) vorgesehen ist.
5. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasleitung (28) mit einem Zwischengasanschluss der Prüflings-Hochvakuumpumpe (16) verbunden ist.
6. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, Prüflingsleitungdass mindestens eine mit dem Gasdruckmessvolumen (22) verbundene Gasleitung (18, 36, 40) mit einer Drossel (38) versehen ist.
7. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Drossel (38) in einer das Gasdruckmessvolumen (22) mit der Detektor-Hochvakuumpumpe (30) verbindenden Zwischengasleitung (36, 40) vorgesehen ist.
8. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasleitung (28) und oder mindestens eine Zwischengasleitung (36, 40) in eine den Gasdetektor (32) evakuierende Detektor-Hochvakuumpumpe (30) mündet.
9. Lecksuchvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Auslass der Detektor-Hochvakuumpumpe (30) mit der Vorvakuumpumpe (20) verbunden ist, um von dieser evakuiert zu werden.
10. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdetektor (32) ein Massenspektrometer ist.
11. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasdrucksensor (24) ein Manometer als Totaldrucksensor, ein Gasdichtesensor oder ein Differenzdrucksensor ist.
12. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassmindestens eine, mit einem selektiv verschließbarem Sperrventil (V2, V3) versehene Gasleitung (2836, 40) vorgesehen ist und/oder die Gasleitung (28) ein selektiv verschließbares Sperrventil (VI) aufweist.
13. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der die Detektor-Hochvakuumpumpe (30) und die Vorvakuumpumpe (20) verbindenden Detektorleitung (34) ein selektiv verschließbares Sperrventil (V5) vorgesehen ist.
14. Lecksuchvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Sperrventil (V5) in einem das Druckmessvolumen (22) mit der Vorvakuumpumpe (20) verbindenden Abschnitt der Detektorleitung (34) ausgebildet ist.
15. Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüflingsleitung (18) zwischen dem Gasdruckmessvolumen (22) und der Vorvakuumpumpe (20) ein selektiv verschließbares Sperrventil (V4) aufweist.
16. Lecksuchverfahren zur kombinierten integralen und lokalisierenden Lecksuche mit einer Lecksuchvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Schritte:
Anschließen eines Prüflings (12) an den Prüflingsanschluss (14), Evakuieren des Prüflings (12),
Fördern von Gas aus dem Prüfling (12) in das Gasdruckmessvolumen (22) und Messen eines Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22),
Besprühen des Prüflings (12) mit Prüfgas, und
Transportieren eines Teilgasstroms des aus dem Prüfling (12) abgesaugten Gases zu dem Gasdetektor (32) und Analysieren des Gases mit dem Gasdetektor (32) während mit dem Gassensor (24) der Druckverlauf in dem Gasdruckmessvolumen (22) gemessen wird.
17. Lecksuchverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Teilgasstrom mindestens über die erste Gasleitung (28) oder über die erste Gasleitung (28) und eine das Gasdruckmessvolumen (22) mit der Detektor-Hochvakuumpumpe (30) verbindende Zwischengasleitung (36), die eine bekannte Drossel (38) aufweist, transportiert wird.
18. Lecksuchverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Drossel (38) bei Transportieren des Teilgasstroms über die Zwischengasleitung (36) zur Ermittlung des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) berücksichtigt wird.
19. Lecksuchverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass während des Messens des Druckverlaufs in dem Gasdruckmessvolumen (22) mit dem Gasdrucksensor (24) die Wirkung des Saugvermögens der Vorvakuumpumpe (20) auf das Gasdruckmessvolumen (22) deaktiviert wird.
20. Lecksuchverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein das Gasdruckmessvolumen (22) mit der Vorvakuumpumpe (20) verbindender Gasleitungsweg, insbesondere die Detektorleitung (34), die Prüflingsleitung (18) oder mindestens eine Zwischengasleitung (36, 40) zyklische in Abhängigkeit des im
Druckmessvolumen (22) gemessenen Drucks geschlossen und wieder geöffnet wird, wobei im geschlossenen Zustand anhand eines gemessenen Druckanstiegs im Druckmessvolumen (22) nach der Druckanstiegsmethode auf ein Leck im Prüfling geschlossen wird.
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