EP4309208A1 - Composant quantique - Google Patents

Composant quantique

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EP4309208A1
EP4309208A1 EP22716986.9A EP22716986A EP4309208A1 EP 4309208 A1 EP4309208 A1 EP 4309208A1 EP 22716986 A EP22716986 A EP 22716986A EP 4309208 A1 EP4309208 A1 EP 4309208A1
Authority
EP
European Patent Office
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quantum
gate electrode
microwave
nano
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP22716986.9A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Matthieu DESJARDINS
William LEGRAND
Quentin SCHAEVERBEKE
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
C12 Quantum Electronics
Original Assignee
C12 Quantum Electronics
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Filing date
Publication date
Application filed by C12 Quantum Electronics filed Critical C12 Quantum Electronics
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Pending legal-status Critical Current

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    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66977—Quantum effect devices, e.g. using quantum reflection, diffraction or interference effects, i.e. Bragg- or Aharonov-Bohm effects
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    • H10K10/481—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the gate conductors
    • H10K10/482—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the gate conductors the IGFET comprising multiple separately-addressable gate electrodes
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    • H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
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    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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    • H10K85/20—Carbon compounds, e.g. carbon nanotubes or fullerenes
    • H10K85/221—Carbon nanotubes

Definitions

  • the present invention relates to a quantum component.
  • the invention relates more particularly to quantum computing architectures, and more specifically, to exemplary embodiments of an exemplary semiconductor quantum dot device and a method for forming a scalable array of quantum dots.
  • the quantum component is intended in particular, but not exclusively, for the manufacture of quantum computers.
  • One of the main candidates for the quantum analog of the transistor is the semiconductor quantum dot/dot defined by gate electrodes.
  • the spin state of an electron trapped in a quantum dot/dot can be a beneficial physical system for storing quantum information.
  • Silicon Silicon
  • Si in particular, with its weak hyperfine fields, small spin-orbit coupling, and lack of electron-phonon piezoelectric coupling, forms a "semiconductor vacuum" for spin states and supports electron spin coherence of a few seconds.
  • fabricating reliable and scalable Si-based quantum dots/dots has proven challenging. Regardless of need of a pure spin environment, the quantum dots/dots must have reproducible electrical properties for scaling.
  • the large effective mass of electrons in Si together with the generally lower mobilities of two-dimensional ('2D') Si electron gases, make it difficult to fabricate tightly confined, few-electron quantum dots/dots with properties reproducible.
  • the first quantum dot grid architectures were fabricated on doped gallium arsenide/aluminum gallium arsenide (“GaAs/AlGaAs”) substrates in which conduction electrons are provided by a layer of dopant global and can be confined to the GaAs/AlGaAs (“QW”) quantum well interface forming a two-dimensional (“2DEG”) electron gas.
  • GaAs/AlGaAs doped gallium arsenide/aluminum gallium arsenide
  • QW GaAs/AlGaAs
  • 2DEG two-dimensional
  • gate designs have attempted to isolate a single conduction electron by fabricating gate electrodes in a corral pattern which could potentially create a circular barrier by applying negative voltages across the gates to deplete the 2DEG directly below the gates. doors. Devices using this type of gate pattern have been referred to as depletion mode devices.
  • depletion mode devices have been very successful in demonstrating quantum computing criteria and are still widely used throughout the quantum dot/dot community.
  • depletion-mode devices have major drawbacks with respect to containment potential control and scaling. Grid patterns in depletion mode devices probably have the most control over the electrostatic potential surrounding the dot/box, rather than having direct control over the region of space where the function resides. electronic wave. This inability to control the electron wavefunction has led to a wide variety of depletion mode grid designs, most of which do not provide a simple path for scaling to tens or hundreds of points. /quantum boxes.
  • quantum dots/dots in quantum computing architectures generally depends on the ability to control the confinement potential of the dot/quantum dot, and more specifically the ability to control the physically relevant parameters of the dot. / of the quantum dot (for example, the tunnel coupling and the potential electrochemical).
  • the quantum dot for example, the tunnel coupling and the potential electrochemical.
  • depletion mode devices have very limited control over the containment potential. Simulations of the dot/quantum dot devices in depletion mode have shown that the resulting confinement potential can be much smaller than the grid dimensions.
  • neighboring grids usually have a similar effect on point/box tunneling couplings and electrochemical potential, and often it is not possible in depletion mode devices to adjust tunnel couplings and electrochemical potential to desired values without going to such extreme voltages that dielectric breakdown occurs in the device.
  • Carbon nanotubes are materials with exceptional crystallinity, which allows them to be as mechanically resistant as diamond while having record electronic conductivity, the electrons being a hundred times more mobile than in silicon. Information can be encoded in quantum form in the spin of an electron and carbon nanotubes are an ideal host material for these electrons thanks to their high crystalline purity. Carbon nanotubes also have an optical response covering a spectrum from visible to near infrared depending on the size of their diameter. They are therefore also integrated into optical or optoelectronic devices.
  • Carbon nanotubes also exhibit a diversity of crystalline structure during their growth and tend to agglomerate.
  • the ability to isolate and manipulate a single object without degrading it provides increased control over the behavior of the futilizing device.
  • the manufacture of electronic circuits with inks or thin layers does not allow optimal control of the characteristics of the manufactured component.
  • the inks also have chemical additives that modify the environment of the nanotube, a problem that is also found in the nanotubes in solution.
  • integration with electron lithography techniques degrades the crystalline structure of the nanotube due to the use of resin and an electron microscope.
  • a transistor structure comprising an arrangement of electrodes comprising at least two raised electrodes including at least one source electrode and one drain electrode, and one or more gate electrodes located between the source and drain electrodes, and one or more separate nanotubes bridging between at least two raised electrodes of this electrode arrangement.
  • the separate nanotube(s) are suspended between the source and drain electrodes above the gate electrode(s), the electrode arrangement is mounted on a cantilever tip, and at the at least one or more of the separate nanotubes is located at an end portion of the cantilevered tip.
  • Document US2021/0028344 discloses a quantum device comprising at least one magnetic field source configured to provide an inhomogeneous magnetic field.
  • An electron reciprocates between at least two quantum states in at least one silicon semiconductor layer in the presence of the inhomogeneous magnetic field.
  • the movement of the electron between the at least two quantum states can generate an oscillating magnetic field to cause a quantum transition between a spin-up state, also called spin 1 ⁇ 2, and a spin-down state, also called spin -1 /2, of the electron thus implementing a qubit gate on a spin state of the electron.
  • This document proposes a system comprising a signal generator for generating a microwave frequency electrical signal.
  • the spin can be controlled using an oscillating magnetic field at microwave frequency (eg, 10-40 GHz).
  • the oscillating magnetic field is difficult to locate on a small scale and is created using milliamp currents (e.g. current refers to a quantum dot, and current flows through a wire close to the dot), which is difficult to put scaled to a large number of qubits in a cryogenic environment due to the high power dissipated by the current.
  • the disclosed process for driving single-spin spins is based on shifting the position of an electron in a magnetic field gradient, which leads to an effective oscillating magnetic field (eg, and lower power dissipation).
  • npj Quantum Information discloses an electron-photon coupling based on two non-collinear Zeeman fields on each quantum dot in a double quantum dot, originating from zig-zag shaped ferromagnetic contacts, said coupling being made with a carbon nanotube.
  • These non-collinear Zeeman fields can be obtained by interface exchange fields or by leakage magnetic fields which both give similar Hamiltonians.
  • An object of the invention is to propose a new quantum component architecture making it possible to significantly reduce the quantum decoherence observed in the quantum components of the prior art, and thus to improve the performance of these components.
  • the invention proposes a quantum component comprising:
  • - at least two suspension electrodes a source electrode connected to an electron source and a drain electrode connected to a reference potential
  • the at least one nano-object element suspended between the two suspension electrodes, and electrically connected thereto, the at least one nano-object element being arranged above the at least one gate electrode, the nano-object element containing or comprising at least two quantum dots,
  • At least one microwave grid electrode connected to a microwave circuit arranged to transport a microwave signal, characterized in that at least one electrode comprises a magnetic material, called at least one magnetic electrode and is arranged and configured to apply to the nano-object element an inhomogeneous magnetic field over the spatial extent of said nano-object element.
  • - quantum component an assembly of electronic circuits and/or devices using nanotubes as conductive or semi-conductive elements thereof, the circuits having single, double or multiple quantum dots or boxes, in series or in parallel, using a single nano-object having selected properties as channel elements, or a plurality of distinctly selected nano-objects;
  • nano-object an object having at least one of its external dimensions (typically among its height, width, thickness, length) less than 100 nanometers; if its three external dimensions (defined along three orthogonal axes) are less than 100 nanometers: it is a nanoparticle; if two of its external dimensions (preferably defined along two orthogonal axes) are less than 100 nanometers: it is for example a single or multi-walled hollow nanotube which can be closed at least at one end or a nanofiber c is to say a full fiber.
  • An electrically conductive or semi-conductive nanofiber will be referred to below as a nanowire. If an external dimension is less than 100 nm (typically its thickness), it is a nano-sheet;
  • a gate electrode an electrode which carries a microwave signal or which makes it possible to fix the potentials (in volts);
  • a microwave gate electrode a gate electrode which transports and radiates a microwave signal which allows the interaction between a microwave cavity and a nano-object
  • - Quantum gate a logical operation that can change the superposition state of a qubit.
  • a qubit may have a chance in two of being in one or the other of the two states;
  • a magnetic field generated so as to generate a magnetic dipole preferably by any variation of the magnetic field around and/or along the at least one nano-object element; for example, a vertical and/or horizontal component of the magnetic field changes sign along or around the at least one nano-object element, preferably at or plumb with at least one magnetic gate electrode; according to a particular example, a horizontal magnetic field gradient or along Pat least one nano-object element which makes the total field inhomogeneous along said at least one nano-object element, preferably the component of the magnetic field along the axis or the direction of Pat least one nano-object changes sign along Pat least one nano-object element; [0030] - spatial extent, the zone located along and/or around, preferably radially, of the at least one nano-object element, preferably between the suspension electrodes, according to one embodiment an extent corresponding to the distance between two quantum dots; [0031] purified, in association with a nano-object, a nano-object which may be composed of a metallic material
  • the at least one gate electrode comprises the at least one microwave gate electrode.
  • the at least one gate electrode comprises at least one low-frequency gate electrode provided to define the electrostatic potentials allowing the formation of the two quantum dots.
  • the low frequency gate electrodes are superconductive.
  • the magnetic material is a ferromagnetic material, preferably cobalt or palladium-nickel.
  • the at least one electrode comprising a magnetic material is a gate electrode.
  • the at least one gate electrode comprising a magnetic material is a low frequency gate electrode.
  • the low frequency gate electrode is provided to define the electrostatic potentials allowing the formation of the two quantum dots.
  • the at least one low-frequency gate electrode has a height greater than the height of a neighboring or adjacent low-frequency gate electrode.
  • At least one electrode preferably at least one electrode of suspension, and/or preferably at least one gate electrode, and/or preferably at least one low-frequency gate electrode may take the form of a pad or a layer.
  • the distance, called microwave distance, separating the at least one microwave grid electrode from the at least one nano-object element is different from the distance, called low distance frequency, separating the at least one low frequency gate electrode from the at least one nano-object element.
  • the microwave distance is at least 20% less than the low-frequency distance.
  • the microwave distance and the low frequency distance are vertical distances and/or measured in parallel. They are measured from the same nano-object element.
  • the at least one microwave gate electrode has a relative height with respect to the at least one nano-object element different from the height of the at least one low-frequency gate electrode.
  • the height or heights are measured vertically.
  • the at least one microwave gate electrode has a height greater by at least 20% compared to the height of the at least one low-frequency gate electrode, the heights being measured from the face on which the at least one low-frequency gate electrode rests.
  • the quantum component can be fabricated or provided on a semiconductor substrate.
  • the substrate can be chosen from the following list: (i) a silicon/silicon-germanium (Si/SiGe) substrate, (ii) a silicon dioxide on a silicon substrate and/or (iii) a GaAs / AlGaAs heterostructure, and/or (iv) sapphire (v) quartz, or a mixture thereof.
  • the substrate is a high resistivity or insulating substrate, in particular at low temperature.
  • the quantum component comprises at least one conductive layer placed on the substrate and under the at least one gate electrode, each gate electrode being separated from the conductive layer by an insulating layer.
  • the conductive layer is arranged under the at least one gate electrode and under the suspension electrodes, each electrode being separated from the at least one conductive layer by an insulating layer.
  • the at least one conductive layer also called a return conductive layer, is an electrically conductive layer. It can be a superconductor. It makes it possible to repel the microwave electromagnetic field towards the nano-object element.
  • the quantum component comprises at least one trench made in at least said conductive layer, the at least one microwave gate electrode being separated from the at least one adjacent gate electrode by said at least one trench.
  • the quantum component comprises at least one trench made in at least said conductive layer, the at least one microwave gate electrode being placed on the first substrate and being separated from the at least an adjacent gate electrode disposed on the conductive layer by said at least one trench.
  • the substrate is partially hollowed out, so as to extend said at least one trench.
  • the height of the trench can be equal to the height of the at least one microwave gate electrode.
  • the height of said electrode is measured between the outer horizontal face on which said microwave electrode is placed.
  • the height of the trench is measured from the outer horizontal face on which the gate electrodes are placed to the bottom of the trench.
  • the trench may have a rectangular cross section.
  • the trench reinforces the electromagnetic field diffused by the microwave gate electrode and perceived by the nano-object.
  • the conductive layer is made of an electrical material, for example ferromagnetic or non-ferromagnetic, so as to repel the microwave electromagnetic field towards the nano-object element.
  • the at least one nano-object element is a two-dimensional or one-dimensional element.
  • the at least one nano-object element is at least one nanotube or at least one nanowire.
  • the at least one nano-object element is at least one carbon nano-object element. Carbon nano-object elements allow electrons to diffuse to an even greater distance than in a semiconductor layer.
  • the nanotubes, nanowires also have a collection of properties such as: strong electron-electron interactions which can generate correlated electronic ground states, allow localization and individual control of spins and therefore the realization of a chain of quantum information or charge/spin pumps, and the interaction of electronic states with the mechanical motion of nanotubes or other correlated materials.
  • nanotube refers to single- and double-walled carbon nanotubes, as well as other types of nanotubes such as semiconductor nanowires (eg silicon, GaAs, etc.) and other inorganic nanowires (eg molybdenum disulfide - MoS2).
  • semiconductor nanowires eg silicon, GaAs, etc.
  • inorganic nanowires eg molybdenum disulfide - MoS2.
  • the technique described above can also provide an electronic device using any number of distinct nanotubes (for example one to several tens, hundreds, thousands or any number of distinct nanotubes), which are positioned distinctly at desired locations along a single electrode arrangement.
  • the nanotubes can be arranged in parallel between the at least two elevated electrodes and/or can be combined with different sets of electrodes to provide two or more quantum dot structures in a single electronic device.
  • the electrode arrangement may include a plurality of sets of elevated electrodes arranged parallel to each other, thereby allowing a single nanotube to be attached to a plurality of pairs of elevated electrodes. This provides a plurality of transistor structures made of the same nanotube thus having a channel of similar characteristics and cleanliness.
  • the technique of the present invention allows the production of an electronic device comprising one or more transistor structures, so that each transistor structure uses one or more distinct nanotubes being a channel element suspended between an electrode of source and drain.
  • One or more gate electrodes may be located between the source and drain electrodes, such that the nanotube hangs above the gate electrode(s).
  • the nanotube can be suspended at a height between several microns, or as low as several nanometers above the gate electrodes, for example the nanotube can be suspended at a height of 50 nanometers above the gate electrodes .
  • the parameters of the nanotube can be selected to give the transistor structure(s) the desired electrical characteristics.
  • the assembly technique thus offers the possibility of generating electronic devices of high electronic cleanliness compared to the semiconductor electronic devices available on the market.
  • the resulting device can eliminate or at least greatly reduce electronic clutter inside the device.
  • the device can be configured with one or more localized grids located under the suspended nanotube.
  • transistor structures including transistor structures located on a sub-portion of the suspended nanotube and thus having active elements remote from the contact metals. This eliminates or at least significantly reduces noise and capacitive coupling due to nearby metals and therefore significantly improves electronic characteristics compared to conventional devices.
  • the electronic device can operate as a Single Electron Transistor (SET) and/or as a Field Effect Transistor (FET) depending on the ambient temperature. Additionally, the transistor structure may utilize electrical triggering to a tunable barrier device located along the suspended nanotube.
  • SET Single Electron Transistor
  • FET Field Effect Transistor
  • the transistor structure can use electrical triggering to generate a single electronic quantum dot, or at least two electronic quantum dots, along the suspended nanotube, being as short as a few tens of nanometers, as well as multiple quantum dots connected in series or in parallel.
  • the nanotube channel allows high current along the suspended nanotube.
  • the at least one nano-object element comprises an isotopically purified or enriched material.
  • said material is obtained by CVD (Chemical Vapor Deposition) growth from a source of isotopically purified or enriched gas.
  • the at least one gate electrode is arranged and configured to create a spin polarization of an electron, which is non-collinear between two quantum dots formed in the nano-object element.
  • the at least one low-frequency gate electrode is arranged and configured to create an electron spin polarization, which is non-collinear between two quantum dots formed in the nano-object element.
  • the at least one gate electrode further comprises means for creating a spin polarization of an electron, which is non-collinear between two quantum dots formed in the nano-object element.
  • the at least one low-frequency gate electrode further comprises means for creating a spin polarization of an electron, which is non-collinear between two quantum dots formed in the nano-object element.
  • the quantum component may also have the following characteristic(s):
  • the distance separating the at least one gate electrode from the at least one suspended nano-object element is 100 nanometers
  • the height of the at least one gate electrode, advantageously the at least one low-frequency gate electrode, is greater than the distance separating the at least one gate electrode from the at least one suspended nano-object element ,
  • the distance horizontally separating two gate electrodes is 200 nanometers, the extreme points being located at the center of each electrode,
  • the at least one gate electrode comprises or consists of a material with strong magnetization
  • the at least one gate electrode comprises or consists of a single layer of material or several layers of material
  • the quantum component comprises:
  • - at least one gate electrode is made of a ferromagnetic or anti-ferromagnetic or magnetic multilayer material, preferably at least one low-frequency gate electrode made of a ferromagnetic or anti-ferromagnetic material or magnetic multilayer, preferably at least one microwave gate electrode made of a ferromagnetic or anti-ferromagnetic or magnetic multilayer material;
  • the at least one gate electrode and/or the at least two suspension electrodes is made or are made of a ferromagnetic or anti-ferromagnetic or magnetic multilayer material;
  • At least one magnetic electrode which can also be configured to create a spin polarization of an electron, which is non-collinear between two quantum boxes formed in the nano-object;
  • At least one magnetic gate electrode which can also be configured to create a spin polarization of an electron, which is non-collinear between two quantum boxes formed in the nano-object;
  • [0075] means for applying a homogeneous magnetic field allowing polarization of the at least one magnetic electrode, preferably of the at least one low-frequency gate electrode;
  • said means comprise at least one coil, preferably placed around the at least one gate electrode, advantageously the quantum component is placed at the center of the coil in order to apply a magnetic field homogeneous
  • said at least one microwave gate electrode being connected to a microwave circuit arranged to transport a microwave signal
  • the at least one microwave gate electrode comprises means, called control, for controlling said quantum component, said au at least one microwave gate electrode being connected to a microwave circuit arranged to transport a microwave signal;
  • control means are capacitive coupling means, so as to electromagnetically couple said component to the microwave circuit;
  • the at least one microwave gate electrode allowing control of the quantum component, this microwave electrode being connected to a microwave circuit arranged to transport a microwave signal, for example quantum or non- quantum;
  • the at least one microwave gate electrode comprises means, called coupling means, for coupling several quantum components, said microwave gate electrode being connected to a microwave circuit arranged to carry a coupling microwave signal;
  • said coupling means are capacitive coupling means, so as to electromagnetically couple said components to the microwave circuit;
  • the at least one electrode may comprise a material chosen from the following list: cobalt, iron, nickel, palladium, alloys thereof, a multi-ferroic material or a combination thereof, preferably cobalt or a palladium-nickel alloy. Any other magnetic material can be used.
  • the microwave circuit is for example a microwave resonator.
  • the invention proposes an electronic device comprising at least one quantum component according to one or more of the characteristics of the first aspect.
  • the invention proposes a method for controlling a quantum component, comprising: - defining, using one or more nano-object elements, at least two quantum states in at least one nano-object, the at least two quantum states being in an inhomogeneous magnetic field, and - causing, on the basis of a microwave oscillating electric signal carried by a microwave electrode, the movement of an electron back and forth between the at least two quantum states in the presence of the inhomogeneous magnetic field, the movement of the electron generating an oscillation of the magnetic field to drive a quantum transition between a spin state oriented in one direction and a spin state oriented in an opposite direction of the electron, thus implementing a qubit gate on a spin state of the electron.
  • said method controls a quantum component according to one or more of the characteristics of the first aspect.
  • FIG. 1 represents a diagram of a quantum component seen according to a cross section, according to a first embodiment
  • FIG. 2 represents a diagram of a quantum component seen according to a cross section, according to a second embodiment
  • FIG. 3 represents a diagram of a quantum component seen according to a cross section, according to a third embodiment
  • FIG. 4 represents a diagram of a quantum component seen according to a cross section, according to a fourth embodiment
  • Figure 5 shows two graphs one above the other, the top graph representing on the one hand in solid gray line the electrostatic potential in a nanotube as a function of the distance in nanometers, and on the other share via the black lines the two bonding (solid black line) and anti-binding (black dotted line) states of an electron in a double quantum box, and the graph below representing the profile of two magnetic field components of leakage.
  • FIG. 4 represents a diagram of a quantum component seen according to a cross section, according to a fourth embodiment
  • Figure 5 shows two graphs one above the other, the top graph representing on the one hand in solid gray line the electrostatic potential in a nanotube as a function of the distance in nanometers, and on the other share via the black lines the two bonding (solid black line) and anti-binding (black dotted line) states of an electron in a double quantum box, and the graph below representing the profile of two magnetic field components
  • a quantum component comprising:
  • - gate electrodes 1, 2 (by way of illustration, five gate electrodes are represented: 4 low-frequency gate electrodes and a magnetic electrode 2), the gate electrodes being placed on the conductive layer 5 by the intermediary of an insulating layer,
  • suspension electrodes 4 (by way of illustration, two suspension electrodes are represented), a source electrode connected to a source of electrons and a drain electrode connected to a reference potential, the suspension electrodes being placed on the conductive layer 5 via an insulating layer, and on either side of the group of gate electrodes, the suspension electrodes being raised relative to the gate electrodes,
  • nanotube or a nanowire 8 connected to the two suspension electrodes 4, the nanotube or the nanowire being suspended in a rectilinear manner above the grid electrodes, the nanotube or the nanowire preferably being made of carbon,
  • microwave gate electrode 3 connected to a microwave circuit (not shown) arranged to transport a read microwave signal intended to be processed and deliver the state of the quantum component, the microwave gate electrode 3 being placed on the substrate 6 and is separated from the adjacent gate electrode, called the low-frequency gate electrode, by a trench 7.
  • the width of the electrode 2 has a distance or a dimension equal to or less than half the distance separating the electrode 2 from the adjacent electrode 1.
  • the width of electrode 2 is between 50 and 250 nanometers.
  • the quantum component may comprise several electrodes 2, for example at least two electrodes 2.
  • the at least two electrodes 2 can be arranged alternately with respect to the gate electrodes 1.
  • trench 7 crosses the thickness of conductive layer 5, so that the total depth of the trench is substantially equal to the height of microwave gate electrode 3.
  • the trench 7 only crosses the thickness of the conductive layer 5.
  • the microwave gate electrode 3 is arranged on the conductive layer 5 via an insulating layer.
  • the quantum component does not comprise a trench.
  • the quantum component comprises a single substrate 6, no trench and in particular a magnetic gate electrode 2 made or covered with a ferromagnetic material, preferably cobalt.
  • the electrode 2 has a greater height compared to the low frequency gate electrodes 1 arranged in its vicinity.
  • this characteristic can be combined with the embodiments represented by the preceding figures. This characteristic makes it possible to polarize the nano-object and to magnetize by a dipolar field the spins of the nano-object.
  • the wave functions of a double quantum well are illustrated as well as the magnetic field profile created by a pad or gate electrode of a quantum component according to one embodiment.
  • the wave functions of two states in a double quantum box are shown, in particular the electrostatic potential in the nanotube as a function of the x axis in nanometers.
  • the electrostatic potential (represented in solid gray line) makes it possible to form these two quantum dots.
  • the potential profile is the result of the voltages applied to the gate electrodes. According to the cases represented in the figures, in particular figure 1, the high voltages in the middle and at the edge are created by the central gate electrode 2 and the two outermost gate electrodes 1. Voltage low is created by the two gate electrodes 1 on either side of the gate electrode 2. This potential profile thus creates a double quantum box, illustrated by the shaded area.
  • the black lines represent the two binding (solid line) and anti-binding (dotted line) states of an electron in a double quantum box, housed for example in a carbon nanotube (not shown).
  • the magnetic field profiles created by a ferromagnetic Cobalt gate electrode are shown.
  • the magnetic simulation was carried out for a Cobalt electrode 100 nanometers high, 200 nanometers wide.
  • the profile of two magnetic field components corresponds to the leakage field generated 100 nanometers above the Cobalt electrode, which corresponds to the height of the nano-object relative to this electrode.
  • the Cobalt electrode is polarized by a homogeneous magnetic field of 300mT in the x direction (axis of the double quantum dots and of the nanotube).
  • the Bz component (dotted line) generates an inhomogeneous magnetic field (field gradient), for example the Bz component is strictly greater than 15 mT.
  • the convolution of this inhomogeneous field with the shape of the wave function of the quantum state gives the value of the non-collinear polarization which allows the coupling of the spin to the microwave.
  • the suspended material is pure and the central gate electrode is a cobalt rod.
  • no ferromagnetic source-drain electrode is used to create the non-collinear bias. This makes it possible to move the quantum boxes away from the source and drain electrodes and thus reduce the noise generated by these electrodes. This makes it possible to come even closer to the ideal system of a suspended nano-object. This example makes it possible to propose a quantum component with better performance than the components of the prior art.

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Abstract

L'invention porte sur un composant quantique comprenant : • un substrat (6), • deux électrodes de suspension (4), • plusieurs électrodes de grille (1, 2, 3) disposée entre les deux électrodes de suspension, les deux électrodes de suspension étant surélevées par rapport à Taux électrodes de grille, • au moins un élément nano-objet (8), particulièrement un nanofil ou un nanotube, suspendu entre les deux électrodes de suspension, l'a u moins un élément nano-objet étant disposé au-dessus des électrodes de grille, les électrodes du composant quantique comprenant: • plusieurs électrodes de grille basse fréquence (1, 2) prévues pour définir des potentiels électrostatiques dans l'élément nano-objet permettant la formation d'au moins deux boîtes quantiques dans l'élément nano-objet, • au moins une électrode de grille micro-onde (3), et • dans lequel au moins une électrode comprend un matériau magnétique, de préférence ferromagnétique, et est agencée pour appliquer à l'élément nano-objet un champ magnétique inhomogène sur l'étendue spatiale dudit élément nano-objet.

Description

COMPOSANT QUANTIQUE
DOMAINE TECHNIQUE DE L’INVENTION
[001] La présente invention concerne un composant quantique.
[002] L’invention concerne plus particulièrement des architectures de calcul quantique, et plus spécifiquement, des exemples de modes de réalisation d'un exemple de dispositif de point quantique à semi-conducteur et un procédé pour former un réseau évolutif de points quantiques. [003] Le composant quantique est destiné notamment, mais non exclusivement, à la fabrication d’ordinateur quantique.
ETAT DE LA TECHNIQUE
[004] La densité des transistors dans les circuits intégrés suit la loi de Moore depuis sa conception. Cependant, à mesure que la taille des transistors s'approche de la taille d'un seul atome, les lois de la physique quantique jouent un rôle de plus en plus dominant dans les architectures informatiques, ce qui rend difficile la poursuite de cette tendance plus longtemps. Malgré cela, la perspective d'utiliser des phénomènes de mécanique quantique dans le traitement de l'information offre une opportunité d'augmenter la puissance de calcul des ordinateurs au-delà de ce qui est connu pour être possible même sur l'ordinateur classique le plus idéal. Tout comme l'ordinateur classique dépend de la robustesse du transistor, les ordinateurs quantiques fonctionnels peuvent nécessiter un composant physique sur puce avec des propriétés reproductibles qui peuvent être incorporées dans des structures à grande échelle.
[005] L'un des principaux candidats pour l'analogue quantique du transistor est le point/la boîte quantique semi-conducteur défini par des électrodes de grille. L'état de spin d'un électron piégé dans un point/une boîte quantique peut être un système physique bénéfique pour stocker des informations quantiques. Le silicium («Si») en particulier, avec ses faibles champs hyperfins, son petit couplage spin-orbite et son absence de couplage piézoélectrique électron- phonon, forme un «vide semi-conducteur» pour les états de spin et supporte des temps de cohérence de spin électronique de quelques secondes. Cependant, la fabrication de points/boîtes quantiques fiables et évolutifs à base de Si s'est avérée difficile. Indépendamment du besoin d'un environnement de spin pur, les points/boîtes quantiques doivent avoir des propriétés électriques reproductibles pour la mise à l'échelle. La grande masse effective d'électrons dans le Si, ainsi que les mobilités généralement plus faibles des gaz d'électrons bidimensionnels Si («2D»), rendent difficile la fabrication de points/boîtes quantiques étroitement confinés, à quelques électrons, avec des propriétés reproductibles.
[006] Les premières architectures de grille de points quantiques ont été fabriquées sur des substrats dopés en arséniure de gallium / arséniure d'aluminium et de gallium («GaAs / AlGaAs») dans lesquels les électrons de conduction sont fournis par une couche de dopant global et peuvent être confinés au puits quantique GaAs / AlGaAs («QW») ) interface formant un gaz d'électrons bidimensionnel («2DEG»). Dans ces structures dopées, par défaut, le 2DEG est rempli d'électrons de conduction. Par conséquent, les conceptions de grille ont tenté d'isoler un seul électron de conduction en fabriquant des électrodes de grille dans un modèle de corral qui pourrait potentiellement créer une barrière circulaire en appliquant des tensions négatives sur les grilles pour épuiser le 2DEG directement sous les portes. Les dispositifs utilisant ce type de motif de porte ont été appelés dispositifs en mode d'appauvrissement.
[007] Les dispositifs en mode d'appauvrissement ont très bien réussi à démontrer les critères de calcul quantique et sont encore largement utilisés dans toute la communauté des points/boîtes quantiques. Cependant, les dispositifs en mode d'appauvrissement présentent des inconvénients majeurs en ce qui concerne le contrôle du potentiel de confinement et la mise à l'échelle. Les motifs de grille dans les dispositifs en mode d'appauvrissement ont probablement le plus de contrôle sur le potentiel électrostatique entourant le point/la boîte, plutôt que d'avoir un contrôle direct sur la région de l'espace où réside la fonction d'onde électronique. Cette incapacité à contrôler la fonction d'onde électronique a conduit à une grande variété de conceptions de grilles en mode d'appauvrissement, dont la plupart ne fournissent pas un chemin simple pour une mise à l'échelle à des dizaines ou des centaines de points/boîtes quantiques.
[008] L'utilisation des points/boîtes quantiques dans les architectures de calcul quantique dépend généralement de la capacité de contrôler le potentiel de confinement du point/de la boîte quantique, et plus spécifiquement de la capacité de contrôler les paramètres physiquement pertinents du point/de la boîte quantique (par exemple, le couplage tunnel et le potentiel électrochimique). Cependant, les dispositifs en mode d'appauvrissement ont un contrôle très limité sur le potentiel de confinement. Des simulations des dispositifs à points/boîtes quantiques en mode d'appauvrissement ont montré que le potentiel de confinement résultant peut être beaucoup plus petit que les dimensions de la grille. En raison d'une telle situation, les grilles voisines ont généralement un effet similaire sur les couplages tunnel du point/de la boîte et le potentiel électrochimique, et souvent il n'est pas possible dans les appareils en mode d'épuisement d'ajuster les couplages tunnel et le potentiel électrochimique aux valeurs souhaitées sans aller à des tensions aussi extrêmes qu’une rupture diélectrique se produit dans l'appareil.
[009] L'intégration de nano-objets sur un composant électronique permet de fabriquer des dispositifs capables d'atteindre les limites quantiques. Les comportements quantiques étant très sensibles à leur environnement, il est crucial de disposer d'un matériau d'une grande pureté pour l'ingénierie de technologies quantiques. Les nanotubes de carbone sont des matériaux à la cristallinité exceptionnelle, ce qui leur permet d'être aussi résistant mécaniquement que le diamant tout en ayant une conductivité électronique record, les électrons étant cent fois plus mobiles que dans le silicium. L'information peut être encodée sous forme quantique dans le spin d'un électron et les nanotubes de carbone sont un matériau hôte idéal pour ces électrons grâce à leur grande pureté cristalline. Les nanotubes de carbone ont aussi une réponse optique couvrant un spectre du visible jusqu'au proche infrarouge suivant la taille de leur diamètre. Ils sont donc aussi intégrés à des dispositifs optiques ou optoélectroniques.
[0010] Ces propriétés sont cependant dégradées par les défauts ou les pollutions sur le nanotube. Les nanotubes de carbone présentent de plus une diversité de structure cristalline lors de leur croissance et ont tendance à s'agglomérer. La capacité à isoler et à manipuler un objet unique sans le dégrader permet d'apporter un contrôle accru sur le comportement du dispositif futilisant. Aussi la fabrication de circuits électroniques avec des encres ou des couches minces ne permet pas un contrôle optimal des caractéristiques du composant fabriqué. Les encres présentent de plus des additifs chimiques qui modifient l'environnement du nanotube, problème que l'on retrouve aussi dans les nanotubes en solution. De même, l'intégration avec des techniques de lithographie électronique dégrade la structure cristalline du nanotube à cause de l'utilisation de résine et d'un microscope électronique. [0011] L'intégration d'un nanotube unique, sans pollution ni défaut et aux caractéristiques cristallines identifiées permet de conserver les propriétés des nanotubes, et assure une reproductibilité et un plus grand contrôle des dispositifs. De plus, la dégradation du nanotube et la présence de pollution a un impact sur le taux de succès de l'intégration, qui dépend crucialement de la qualité du contact entre le nanotube et le substrat cible.
[0012] On connaît en outre du document EP3066701, une structure à transistor comprenant un agencement d’électrodes comprenant au moins deux électrodes surélevées dont au moins une électrode de source et une électrode de drain, et une ou plusieurs électrodes de grille situées entre les électrodes de source et de drain, et un ou plusieurs nanotubes distincts effectuant un pontage entre au moins deux électrodes surélevées de cet agencement d’électrodes. L’un ou les nanotubes distincts sont suspendus entre les électrodes de source et de drain au-dessus de l’une ou des électrodes de grille, l’agencement d’électrodes est monté sur une pointe en porte-à-faux, et au moins l’un ou plusieurs des nanotubes distincts est situé à une partie d’extrémité de la pointe en porte-à-faux.
[0013] Le document US2021/0028344 divulgue un dispositif quantique comprenant au moins une source de champ magnétique configurée pour fournir un champ magnétique inhomogène. Un électron réalise un mouvement de va-et-vient entre au moins deux états quantiques dans au moins une couche semi-conductrice en silicium en présence du champ magnétique inhomogène. Le mouvement de l'électron entre les au moins deux états quantiques peut générer un champ magnétique oscillant pour entraîner une transition quantique entre un état de spin-up, dit aussi spin ½, et un état de spin-down, dit aussi spin -1/2, de l'électron mettant ainsi en œuvre une porte qubit sur un état de spin de l'électron. Ce document propose un système comprenant un générateur de signal pour générer un signal électrique de fréquence micro-onde. Dans la résonance de spin électronique conventionnelle, le spin peut être contrôlé en utilisant un champ magnétique oscillant à fréquence micro-ondes (par exemple, 10-40 GHz). Le champ magnétique oscillant est difficile à localiser à petite échelle et est créé à l'aide de courants milliampères (par exemple, le courant fait référence à un point quantique et le courant traverse un fil proche du point), ce qui est difficile à mettre à l'échelle à un grand nombre de qubits dans un environnement cryogénique en raison de la forte puissance dissipée par le courant. Le processus divulgué pour entraîner des rotations à un seul spin est basé sur le décalage de la position d'un électron dans un gradient de champ magnétique, ce qui conduit à un champ magnétique oscillant efficace (par exemple, et une dissipation de puissance inférieure).
[0014] Les approches précédentes qui induisaient des oscillations magnétiques impliquaient futilisation de points quantiques uniques, où l'électron est déplacé d'une petite quantité (par exemple, environ 1 pm) et des champs électriques élevés sont nécessaires pour obtenir un tel déplacement. Le procédé décrit implique une résonance de spin à commande électrique dans une double boîte quantique. Dans une double boîte quantique, l'électron peut être déplacé sur une distance beaucoup plus grande, ce qui conduit à des champs magnétiques oscillants effectifs plus importants et à des vitesses de rotation de spin beaucoup plus rapides. Les vitesses de rotation de spin plus rapides permettent au spin d'être entraîné à de faibles puissances micro ondes, ce qui est bénéfique dans un environnement cryogénique. De plus, il est divulgué une architecture informatique quantique qui combine le processus de résonance de spin électronique avec des portes à deux qubits basées sur un couplage d'échange ou un couplage de cavité, et des interactions avec des points quantiques ancilla pour la lecture par micro-ondes de l'état de spin. [0015] Enfin le document T. Cubaynes, M. R. Delbecq, M. C. Dartiailh, R. Assouly, M. M. Desjardins, L. C. Contamin, L. E. Bruhat, Z. Leghtas, F. Mallet, A. Cottet and T. Kontos, « Highly cohérent spin States in carbon nanotubes coupled to cavity photons », npj Quantum Information divulgue un couplage électron-photon reposant sur deux champs de Zeeman non colinéaires sur chaque boîte quantique dans une double boîte quantique, provenant de contacts ferromagnétiques en forme de zig-zag, ledit couplage étant réalisé avec un nanotube de carbone. Ces champs de Zeeman non colinéaires peuvent être obtenus par des champs d'échange d'interface ou par des champs magnétiques de fuite qui donnent tous deux des hamiltoniens similaires.
[0016] Un but de l’invention est de proposer une nouvelle architecture de composant quantique permettant de réduire significativement la décohérence quantique observée dans les composants quantiques de l’art antérieur, et d’améliorer ainsi les performances de ces composants. OBJET DE L’INVENTION
[0017] A cet effet, et selon un premier aspect, l’invention propose un composant quantique comprenant :
- un substrat,
- au moins deux électrodes de suspension : une électrode source reliée à une source d’électrons et une électrode drain reliée à un potentiel de référence,
- au moins une électrode de grille disposée entre les deux électrodes de suspension, les deux électrodes de suspension étant surélevées par rapport à l’au moins une électrode de grille,
- au moins un élément nano-objet suspendu entre les deux électrodes de suspension, et connecté électriquement à celles-ci, l’au moins un élément nano-objet étant disposé au-dessus de l’au moins une électrode de grille, l’élément nano-objet renfermant ou comprenant au moins deux boîtes quantiques,
- au moins une électrode de grille micro-onde reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde, caractérisé en ce que au moins une électrode comprend un matériau magnétique, dite au moins une électrode magnétique et est agencée et configurée pour appliquer à l’élément nano-objet un champ magnétique inhomogène sur l’étendue spatiale dudit élément nano-objet.
[0018] Pour ce qui précède et pour la suite de la description, on entend par :
[0019] - composant quantique, un assemblage de circuits électroniques et/ou de dispositifs utilisant nanotubes en tant qu'éléments conducteurs ou semi-conducteurs de ceux-ci, les circuits ayant des points ou boîtes quantiques simples, doubles ou multiples, en série ou en parallèle, utilisant un seul nano-objet ayant des propriétés sélectionnées comme éléments de canal, ou une pluralité de nano-objets sélectionnés de manière distincte ;
[0020] - une boîte quantique, ou point quantique, un électron est piégé/confiné dans les trois dimensions ; il ne peut occuper que des niveaux discrets d’énergie ;
[0021] - un nano-objet, un objet ayant au moins une de ses dimensions externes (typiquement parmi sa hauteur, largeur, épaisseur, longueur) inférieure à 100 nanomètres ; si ses trois dimensions externes (définies selon trois axes orthogonaux) sont inférieures à 100 nanomètres : c'est une nanoparticule ; si deux de ses dimensions externes (de préférence définies selon deux axes orthogonaux) sont inférieures à 100 nanomètres : c'est par exemple un nanotube creux mono ou multi-paroi et qui peut être fermé à au moins une extrémité ou une nano-fibre c'est-à- dire une fibre pleine. Une nano-fibre électriquement conductrice ou semi-conductrice sera dénommée par la suite un nano-fil. Si une dimension externe est inférieure à 100 nm (typiquement son épaisseur), c'est un nano-feuillet ;
[0022] - une électrode, une extrémité d'un conducteur électrique agencé pour libérer ou capter un courant électrique ;
[0023] - une électrode de grille, une électrode qui transporte un signal micro-onde ou qui permet de fixer les potentiels (en Volt) ;
[0024] - une électrode de grille micro-onde, une électrode de grille qui transporte et rayonne un signal micro-onde qui permet l'interaction entre une cavité micro-onde et un nano-objet ; [0025] - une électrode de grille basse fréquence, une électrode de grille qui permet de fixer les potentiels électrostatiques et de créer une double boîte quantique ;
[0026] - potentiels électrostatiques permettant la formation des deux boites quantiques, les potentiels électrostatiques qui permettent de moduler les barrières d'énergie potentielle et de créer une double boîte quantique ;
[0027] - Couplage spin-photon, l’interaction contrôlable ou « couplage » entre l'aspect magnétique du qubit, c'est-à-dire son spin, et un champ électrique micro-onde provenant d'une cavité micro-onde. Le champ électrique étant constitué de photons, on parle de couplage spin- photon ;
[0028] - Porte quantique, une opération logique qui peut changer l'état de superposition d'un qubit. Par exemple, un qubit peut avoir une chance sur deux de se retrouver dans l'un ou l'autre des deux états ;
[0029] - champ magnétique inhomogène, un champ magnétique généré de manière à engendrer un dipôle magnétique, de préférence par une variation quelconque du champ magnétique autour et/ou le long de l’au moins un élément nano-objet ; par exemple, une composante verticale et/ou horizontale du champ magnétique change de signe le long ou autour de l’au moins un élément nano-objet, de préférence au niveau ou à l’aplomb de Pau moins une électrode de grille magnétique ; selon un exemple particulier un gradient de champ magnétique horizontal ou le long de Pau moins un élément nano-objet qui rend le champ total inhomogène le long dudit au moins un élément nano-objet, de préférence la composante du champ magnétique selon l’axe ou la direction de Pau moins un nano-objet change de signe le long de Pau moins un élément nano-objet ; [0030] - étendue spatiale, la zone située le long et/ou autour, de préférence radialement, de l’au moins un élément nano-objet, de préférence entre les électrodes de suspension, selon un mode de réalisation une étendue correspondant à la distance entre deux boîtes quantiques ; [0031] - purifié, en association à un nano-objet, un nano-objet pouvant être composé d'un matériau métallique ayant un taux de pureté supérieur à 90%, par exemple 99,9% ;
[0032] - substrat, un élément du composant présentant, une haute résistivité, par exemple une constante diélectrique plus élevé que l’air, en particulier à basse température.
[0033] De préférence, l’au moins une électrode de grille comprend l’au moins une électrode de grille micro-onde.
[0034] De manière préférentielle, l’au moins une électrode de grille comprend au moins une électrode de grille basse fréquence prévue pour définir les potentiels électrostatiques permettant la formation des deux boîtes quantiques. De préférence, les électrodes de grille basse fréquence sont superconductrices.
[0035] Selon un mode de réalisation, le matériau magnétique est un matériau ferromagnétique, de préférence le cobalt ou le palladium- nickel.
[0036] De manière préférentielle, l’au moins une électrode comprenant un matériau magnétique est une électrode de grille.
[0037] De préférence, l’au moins une électrode de grille comprenant un matériau magnétique est une électrode de grille basse fréquence. L’électrode de grille basse fréquence est prévue pour définir les potentiels électrostatiques permettant la formation des deux boîtes quantiques.
[0038] Selon un mode de réalisation, l’au moins une électrode de grille basse fréquence présente une hauteur supérieure par rapport à la hauteur d’une électrode de grille basse fréquence voisine, ou adjacente.
[0039] Selon différents modes de réalisation pouvant être combinés à un ou plusieurs modes de réalisation précédents, au moins une électrode, de préférence au moins une électrode de suspension, et/ou de préférence au moins une électrode de grille, et/ou de préférence au moins une électrode de grille basse fréquence peut ou peuvent prendre la forme d’un plot ou d’une couche.
[0040] Selon un mode de réalisation du composant quantique, la distance, dite distance micro onde, séparant l’au moins une électrode de grille micro-onde de l’au moins un élément nano objet est différente de la distance, dite distance basse fréquence, séparant l’au moins une électrode de grille basse fréquence de l’au moins un élément nano-objet.
[0041] Selon un mode de réalisation, la distance micro-onde est inférieure d’au moins 20% à la distance basse fréquence.
[0042] De préférence, la distance micro-onde et la distance basse fréquence sont des distances verticales et/ou mesurées parallèlement. Elles sont mesurées depuis le même élément nano objet.
[0043] De préférence, l’au moins une électrode de grille micro-onde présente une hauteur relative par rapport à l’au moins un élément nano-objet différente de la hauteur de l’au moins une électrode de grille basse fréquence. Pour ce qui précède et pour la suite de la description, la ou les hauteurs sont mesurées verticalement.
[0044] Selon un exemple réalisation, l’au moins une électrode de grille micro-onde présente une hauteur supérieure d’au moins 20% par rapport à la hauteur de l’au moins une électrode de grille basse fréquence, les hauteurs étant mesurées depuis la face sur laquelle repose l’au moins une électrode de grille basse fréquence.
[0045] Le composant quantique peut être fabriqué ou fourni sur un substrat semi-conducteur. Par exemple, le substrat peut être choisi parmi la liste suivante : (i) un substrat de silicium / silicium-germanium (Si / SiGe), (ii) un dioxyde de silicium sur un substrat de silicium et / ou (iii) un GaAs / Hétérostructure AlGaAs, et/ou (iv) saphir (v) quartz, ou un mélange de ceux-ci. [0046] De préférence, le substrat est un substrat haute résistivité ou isolant, en particulier à basse température.
[0047] Selon un mode de réalisation, le composant quantique comprend au moins une couche conductrice disposée sur le substrat et sous l’au moins une électrode de grille, chaque électrode de grille étant séparée de la couche conductrice par une couche isolante. [0048] Selon une variante de réalisation, la couche conductrice est disposée sous l’au moins une électrode de grille et sous les électrodes de suspension, chaque électrode étant séparée de l’au moins une couche conductrice par une couche isolante. L’au moins une couche conductrice, dit aussi couche conductrice de renvoi, est une couche conductrice électriquement. Elle peut être super-conductrice. Elle permet de repousser le champ électromagnétique micro onde vers l’élément nano-objet.
[0049] De préférence, le composant quantique comprend au moins une tranchée réalisée dans au moins ladite couche conductrice, l’au moins une électrode de grille micro-onde étant séparée de l’au moins une électrode de grille adjacente par ladite au moins une tranchée.
[0050] Selon une variante de réalisation, le composant quantique comprend au moins une tranchée réalisée dans au moins ladite couche conductrice, l’au moins une électrode de grille micro-onde étant disposée sur le premier substrat et étant séparée de l’au moins une électrode de grille adjacente disposée sur la couche conductrice par ladite au moins une tranchée.
[0051] De préférence, le substrat est partiellement évidé, de manière à prolonger ladite au moins une tranchée.
[0052] Selon les deux modes de réalisations précédents, la hauteur de la tranchée peut être égale à la hauteur de l’au moins une électrode de grille micro-onde. La hauteur de ladite électrode est mesurée entre la face horizontale extérieure sur laquelle est placée ladite électrode micro-onde. La hauteur de la tranchée est mesurée à partir de la face horizontale extérieure sur laquelle sont placées les électrodes de grille jusqu’au fond de la tranchée.
[0053] Selon les deux modes de réalisation ci-dessus, la tranchée peut présenter une section transversale rectangulaire.
[0054] La tranchée permet de renforcer le champ électromagnétique diffusé par l’électrode de grille micro-onde et perçu par le nano-objet. [0055] De préférence, la couche conductrice est réalisée dans un matériau électrique, par exemple ferromagnétique ou non-ferromagnétique, de manière à repousser le champ électromagnétique micro-onde vers l’élément nano-objet.
[0056] Selon un mode de réalisation, l’au moins un élément nano-objet est un élément bidimensionnel ou unidimensionnel. De préférence l’au moins un élément nano-objet est au moins un nanotube ou au moins un nanofil. Par exemple, l’au moins un élément nano-objet est au moins un élément nano-objet de carbone. Les éléments nano-objets en carbone permettent aux électrons de se diffuser à une distance encore plus grande que dans une couche semi- conductrice.
[0057] De préférence, Les nanotubes, nanofils, possèdent également une collection de propriétés telles que : de fortes interactions électron-électron qui peuvent générer des états fondamentaux électroniques corrélés, permettre la localisation et le contrôle individuel des spins et donc la réalisation d'une chaîne d'information quantique ou de pompes de charge / spin, et l'interaction des états électroniques avec le mouvement mécanique des nanotubes ou d'autres matériaux corrélés.
[0058] Dans cette relation, il convient de noter que le terme nanotube tel qu'utilisé ici se réfère aux nanotubes de carbone à simple et double paroi, ainsi qu'à d'autres types de nanotubes tels que les nanofils semi-conducteurs (par exemple silicium, GaAs, etc.) et autres nanofils inorganiques (par exemple disulfure de molybdène - MoS2).
[0059] Il convient de noter que la technique décrite ci-dessus peut également prévoir un dispositif électronique utilisant un nombre quelconque de nanotubes distincts (par exemple un à plusieurs dizaines, centaines, milliers ou tout nombre de nanotubes distincts), qui sont positionnés distinctement aux emplacements souhaités le long d'une disposition à électrode unique. Les nanotubes peuvent être disposés en parallèle entre les au moins deux électrodes élevées et / ou peuvent être associés à différents ensembles d'électrodes pour fournir deux ou plusieurs structures de boîtes quantiques dans un seul dispositif électronique. De plus, l'agencement d'électrodes peut comprendre une pluralité d'ensembles d'électrodes élevées disposées parallèlement les unes aux autres, permettant ainsi à un seul nanotube d'être attaché à une pluralité de paires d'électrodes élevées. Ceci fournit une pluralité de structures de transistors constituées du même nanotube ayant ainsi un canal de caractéristiques et de propreté similaires. [0060] Ainsi, la technique de la présente invention permet la réalisation d'un dispositif électronique comprenant une ou plusieurs structures de transistors, de sorte que chaque structure de transistor utilise un ou plusieurs nanotubes distincts étant un élément de canal suspendu entre une électrode de source et de drain. Une ou plusieurs électrodes de grille peuvent être situées entre les électrodes de source et de drain, de sorte que le nanotube est suspendu au-dessus de la ou des électrodes de grille.
[0061] Le nanotube peut être suspendu à une hauteur comprise entre plusieurs microns, ou aussi bas que plusieurs nanomètres au-dessus des électrodes de grille, par exemple le nanotube peut être suspendu à une hauteur de 50 nanomètres au-dessus des électrodes de grille.
[0062] Les paramètres du nanotube peuvent être sélectionnés pour conférer à la ou aux structures de transistor les caractéristiques électriques souhaitées.
[0063] La technique d'assemblage offre ainsi la possibilité de générer des dispositifs électroniques de grande propreté électronique par rapport aux dispositifs électroniques à semi- conducteurs disponibles dans le commerce. En sélectionnant de manière appropriée un nanotube de propriétés souhaitées, le dispositif résultant peut éliminer ou au moins réduire considérablement le désordre électronique à l'intérieur du dispositif.
[0064] De plus, le dispositif peut être configuré avec une ou plusieurs grilles localisées situées sous le nanotube suspendu.
[0065] Ceci permet de former diverses configurations de structures de transistors, y compris des structures de transistors localisées sur une sous-partie du nanotube suspendu et ayant ainsi des éléments actifs éloignés des métaux de contact. Ceci élimine ou au moins réduit de manière significative le bruit et le couplage capacitif dus aux métaux proches et par conséquent améliore considérablement les caractéristiques électroniques par rapport aux dispositifs conventionnels. Fonctionnant comme une structure de transistor, le dispositif électronique peut fonctionner comme un transistor à un seul électron (SET) et / ou comme un transistor à effet de champ (FET) en fonction de la température ambiante. De plus, la structure de transistor peut utiliser un déclenchement électrique vers un dispositif de barrière accordable localisé le long du nanotube suspendu. En outre, la structure de transistor peut utiliser un déclenchement électrique pour générer un seul point quantique électronique, ou au moins deux points quantique électronique, le long du nanotube suspendu, étant aussi court que quelques dizaines de nanomètres, ainsi que plusieurs points quantiques connectés en série ou en parallèle. De plus, le canal de nanotube permet un courant élevé le long du nanotube suspendu. [0066] De préférence, l’au moins un élément nano-objet comprend un matériau isotopiquement purifié ou enrichi. Par exemple, ledit matériau est obtenu par croissance CVD (Chemical Vapor Déposition ou dépôt chimique en phase vapeur) à partir d’une source de gaz isotopiquement purifié ou enrichi.
[0067] Selon un mode de réalisation, l’au moins une électrode de grille est agencée et configurée pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boites quantiques formées dans l’élément nano-objet. De préférence, l’au moins une électrode de grille basse fréquence est agencée et configurée pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boites quantiques formées dans l’élément nano-objet.
[0068] L’au moins une électrode de grille comprend en outre des moyens pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boites quantiques formées dans l’élément nano-objet. De préférence, l’au moins une électrode de grille basse fréquence comprend en outre des moyens pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boites quantiques formées dans l’élément nano-objet.
[0069] Le composant quantique peut en outre présenter le ou les caractéristiques suivantes :
- la distance séparant l’au moins une électrode de grille de l’au moins un élément nano-objet suspendu est de 100 nanomètres,
- la hauteur de l’au moins une électrode de grille, avantageusement l’au moins une électrode de grille basse fréquence, est supérieure à la distance séparant l’au moins une électrode de grille de l’au moins un élément nano-objet suspendu,
- la distance séparant horizontalement deux électrodes de grille est de 200 nanomètres, les points extrêmes étant situés au centre de chaque électrode,
- l’au moins une électrode de grille comprend ou est constitué d’un matériau à forte aimantation,
- l’au moins une électrode de grille comprend ou est constitué d’une seule couche de matériau ou de plusieurs couches de matériau,
- ledit matériau comprend ou est constitué d’un matériau choisi parmi la liste suivante : cobalt, nickel, palladium, ou un mélange de ceux-ci ; de préférence un mélange de palladium et nickel, ou un mélange de palladium et cobalt. [0070] Selon d’autre(s) mode(s) de réalisation optionnel(s) pouvant, ou non, être combiné en particulier avec les caractéristiques précédentes, le composant quantique comprend :
[0071] - au moins une électrode de grille est réalisée dans un matériau ferromagnétique ou anti-ferromagnétique ou multicouche magnétique, de préférence au moins une électrode de grille basse fréquence réalisée dans un matériau ferromagnétique ou anti-ferromagnétique ou multicouche magnétique, de préférence au moins une électrode de grille micro-onde réalisée dans un matériau ferromagnétique ou anti-ferromagnétique ou multicouche magnétique ; [0072] - l’au moins une électrode de grille et /ou les au moins deux électrodes de suspension est réalisée ou sont réalisées dans un matériau ferromagnétique ou anti-ferromagnétique ou multicouche magnétique ;
[0073] - au moins une électrode magnétique, pouvant en outre être configurée pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boîtes quantiques formées dans le nano-objet ;
[0074] - au moins une électrode de grille magnétique, pouvant en outre être configurée pour créer une polarisation du spin d’un électron, qui est non colinéaire entre deux boîtes quantiques formées dans le nano-objet ;
[0075] - des moyens pour appliquer un champ magnétique homogène permettant une polarisation de l’au moins une électrode magnétique, de préférence de l’au moins une électrode de grille basse fréquence ;
[0076] -des moyens pour appliquer un champ magnétique homogène permettant une polarisation de l’au moins une électrode de grille magnétique, de préférence de l’au moins une électrode de grille basse fréquence ;
[0077] - selon un mode de réalisation, lesdits moyens comprennent au moins une bobine, de préférence disposée autour de l’au moins une électrode de grille, avantageusement le composant quantique est disposé au centre de la bobine afin d’appliquer un champ magnétique homogène
[0078] - des moyens de contrôle pour contrôler ledit composant quantique, ladite au moins une électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde ;
[0079] - selon une variante de réalisation, l’au moins une électrode de grille micro-onde comprend des moyens, dit de contrôle, pour contrôler ledit composant quantique, ladite au moins une électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde ;
[0080] - de préférence lesdits moyens de contrôle sont des moyens de couplage capacitif, de manière à coupler électromagnétiquement ledit composant au circuit micro-onde ;
[0081] - l’au moins une électrode de grille micro-onde permettant un contrôle du composant quantique, cette électrode micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde, par exemple quantique ou non-quantique ;
[0082] - des moyens de couplage pour coupler plusieurs composants quantiques, ladite au moins une électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde ;
[0083] - selon une variante de réalisation, l’au moins une électrode de grille micro-onde comprend des moyens, dit de couplage, pour coupler plusieurs composants quantiques, ladite électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde de couplage ;
[0084] - de préférence lesdits moyens de couplage sont des moyens de couplage capacitif, de manière à coupler électromagnétiquement lesdits composants au circuit micro-onde ;
[0085] - l’au moins une électrode peut comprendre un matériau choisi parmi la liste suivante : cobalt, fer, nickel, palladium, alliages de ceux-ci, un matériau multi-ferroïque ou une combinaison de ceux-ci, de préférence du cobalt ou un alliage palladium- nickel. Tout autre matériau magnétique peut être utilisé.
[0086] Le circuit micro-onde est par exemple un résonateur micro-onde.
[0087] Selon un deuxième aspect, l’invention propose un dispositif électronique comprenant au moins un composant quantique selon l’une ou plusieurs des caractéristiques du premier aspect. [0088] Selon un troisième aspect, l’invention propose un procédé de commande d’un composant quantique, comprenant : - définir, en utilisant un ou plusieurs éléments nano objets, au moins deux états quantiques dans au moins un nano-objet, les moins deux états quantiques étant dans un champ magnétique inhomogène, et - provoquer, sur la base d’un signal électrique oscillant micro-onde porté par une électrode micro-onde, le déplacement d’un électron en va et vient entre les au moins deux états quantiques en présence du champ magnétique inhomogène, le mouvement de l’électron générant une oscillation du champ magnétique pour conduire une transition quantique entre un état de spin orienté dans un sens et un état de spin orienté dans un sens opposé de l’électron, implémentant ainsi une porte qubit sur un état de spin de l’électron.
[0089] De préférence, ledit procédé commande un composant quantique selon l’une ou plusieurs des caractéristiques du premier aspect.
BREVE DESCRIPTION DES FIGURES
[0090] D’autres caractéristiques et avantages de l’invention ressortiront de la description détaillée de l’invention qui va suivre en référence aux figures annexées et dans lesquelles : [Fig. 1] La figure 1 représente un schéma d’un composant quantique vue selon une section transversale, selon un premier mode de réalisation ;
[Fig. 2] La figure 2 représente un schéma d’un composant quantique vue selon une section transversale, selon un deuxième mode de réalisation ;
[Fig. 3] La figure 3 représente un schéma d’un composant quantique vue selon une section transversale, selon un troisième mode de réalisation ;
[Fig. 4] la figure 4 représente un schéma d’un composant quantique vue selon une section transversale, selon un quatrième mode de réalisation ; [Fig. 5] la figure 5 montre deux graphiques l’un au-dessus de l’autre, le graphique du dessus représentant d’une part en trait plein gris le potentiel électrostatique dans un nanotube en fonction de la distance en nanomètres, et d’autre part via les traits noir les deux états liant (trait plein noir) et anti-liant (trait pointillé noir) d’un électron dans une double boîtes quantique, et le graphique du dessous représentant le profil de deux composantes de champ magnétique de fuite. [0091] Pour plus de clarté, les éléments identiques ou similaires des différents modes de réalisation sont repérés par des signes de référence identiques sur l’ensemble des figures.
DESCRIPTION DETAILLEE DE L’INVENTION
[0092] En relation avec la figure 1, il est représenté un mode de réalisation d’un composant quantique comprenant :
[0093] - un substrat 6, réalisé dans un matériau à haute résistivité, par exemple en silicone, ou en silicium,
[0094] - une couche d’un matériau électrique 5, réalisée dans un matériau conducteur, par exemple en niobium, disposée sur le substrat 6,
[0095] - des électrodes de grille 1, 2 (à titre illustratif, cinq électrodes de grille sont représentées : 4 électrodes de grille basse fréquence et une électrode magnétique 2), les électrodes de grille étant placées sur la couche conductrice 5 par l’intermédiaire d’une couche isolante,
[0096] - deux électrodes de suspension 4 (à titre illustratif, deux électrodes de suspension sont représentées), une électrode source reliée à une source d’électrons et une électrode drain reliée à un potentiel de référence, les électrodes de suspension étant placées sur la couche conductrice 5 par l’intermédiaire d’une couche isolante, et de part et d’autre du groupe d’électrodes de grille, les électrodes de suspension étant surélevées par rapport aux électrodes de grille,
[0097] - un nanotube ou un nanofil 8 relié aux deux électrodes de suspension 4, le nanotube ou le nanofil étant suspendu de manière rectiligne au-dessus des électrodes de grille, le nanotube ou le nanofil étant réalisé de préférence en carbone,
[0098] - une électrode de grille dite électrode de grille micro-onde 3 reliée à un circuit micro onde (non représenté) agencé pour transporter un signal micro-onde de lecture prévu pour être traité et délivrer l’état du composant quantique, l’électrode de grille micro-onde 3 étant placée sur le substrat 6 et est distante de l’électrode de grille adjacente, dite électrode de grille basse fréquence, par une tranchée 7.
[0099] Selon un mode de réalisation, la largeur de l’électrode 2 présente une distance ou une dimension égale ou inférieure de moitié à la distance séparant l’électrode 2 de l’électrode 1 adjacente. De préférence la largeur de l’électrode 2 est comprise entre 50 et 250 nanomètres. [00100] Selon d’autres modes de réalisation non représentés, le composant quantique peut comprendre plusieurs électrodes 2, par exemple au moins deux électrodes 2. Par exemple, les au moins deux électrodes 2 peuvent être disposées de manière alternée par rapport aux électrodes de grille 1.
[00101] De préférence la tranchée 7 traverse l’épaisseur de la couche conductrice 5, de manière que la profondeur totale de la tranchée est sensiblement égale à la hauteur de l’électrode de grille micro-onde 3.
[00102] Selon une variante de réalisation représentée par la figure 2, la tranchée 7 traverse uniquement l’épaisseur de la couche conductrice5. L’électrode de grille micro-onde 3 est disposée sur la couche conductrice 5 par l’intermédiaire d’une couche isolante.
[00103] Selon encore une autre variante de réalisation représentée par la figure 3, le composant quantique ne comprend pas de tranchée.
[00104] Selon une variante simplifiée de réalisation représentée par la figure 4, le composant quantique comprend un unique substrat 6, aucune tranchée et en particulier une électrode de grille magnétique 2 réalisée ou recouverte d’un matériau ferromagnétique, de préférence en cobalt. En outre, l’électrode 2 présente une hauteur supérieure par rapport aux électrodes de grille basse fréquence 1 disposées à son voisinage. De manière optionnelle, cette caractéristique peut être combinée avec les modes de réalisations représentés par les figures précédentes. Cette caractéristique permet de polariser le nano-objet et magnétiser par un champ dipolaire les spins du nano-objet.
[00105] En référence à la figure 5, il est illustré les fonctions d’ondes d’un double puits quantique ainsi que le profil de champ magnétique créé par un plot ou électrode de grille d’un composant quantique selon un mode de réalisation.
[00106] En référence au graphique supérieur ou du dessus, il est représenté les fonctions d’ondes de deux états dans une double boîte quantique, en particulier le potentiel électrostatique dans le nanotube en fonction de l'axe x en nanomètres. Le potentiel électrostatique (représenté en trait plein gris) permet de former ces deux boîtes quantiques. Le profil de potentiel est le résultat des tensions appliquées sur les électrodes de grilles. Selon les cas représentés sur les figures, en particulier la figure 1, les tensions hautes au milieu et au bord sont créées par l’électrode de grille centrale 2 et les deux électrodes de grille 1 les plus externes. La tension basse est créée par les deux électrodes de grille 1 de part et d'autre de l’électrode de grille 2. Ce profil de potentiel créé un ainsi une double boîte quantique, illustré par la zone grisée. Les traits noirs représentent les deux états liant (trait plein) et anti-liant (trait pointillé) d’un électron dans une double boîte quantique, hébergée par exemple dans un nanotube de carbone (non représenté).
[00107] En référence au graphique inférieur ou du dessous, il est représenté les profils de champ magnétique créé par une électrode de grille ferromagnétique de Cobalt. La simulation magnétique a été réalisée pour une électrode de Cobalt de 100 nanomètres de hauteur, 200 nanomètres de largeur. Le profil de deux composantes de champ magnétique correspond au champ de fuite généré 100 nanomètres au-dessus de l'électrode de Cobalt, qui correspond à la hauteur du nano-objet par rapport à cette électrode. L'électrode de Cobalt est polarisée par un champ magnétique homogène de 300mT dans la direction x (axe des doubles boîtes quantiques et du nanotube). La composante Bz (trait en pointillé) génère un champ magnétique inhomogène (gradient de champ), par exemple la composante Bz est strictement supérieure à 15 mT. La convolution de ce champ inhomogène avec la forme de la fonction d'onde de l'état quantique (graphique supérieur) donne la valeur de la polarisation non-colinéaire qui permet le couplage du spin au micro-onde. De préférence, le matériau suspendu est pur et l’électrode de grille centrale est un barreau de cobalt. En outre, de manière préférentielle, il n’est pas utilisé d'électrode source drain ferromagnétique pour créer la polarisation non-colinéaire. Ceci permet d'éloigner les boîtes quantiques par rapport aux électrodes de source et drain et ainsi diminuer le bruit généré par ces électrodes. Ceci permet de se rapprocher d'autant plus du système idéal d'un nano-objet suspendu. Cet exemple permet de proposer un composant quantique présentant de meilleures performances que les composants de l’art antérieur.

Claims

REVENDICATIONS
1. Composant quantique comprenant :
- un substrat (6),
- au moins deux électrodes de suspension (4) : une électrode source reliée à une source d’électrons et une électrode drain reliée à un potentiel de référence,
- au moins une électrode de grille (1, 2, 3) disposée entre les deux électrodes de suspension, les deux électrodes de suspension étant surélevées par rapport à l’au moins une électrode de grille,
- au moins un élément nano-objet suspendu (6) entre les deux électrodes de suspension, et connecté électriquement à celles-ci, l’au moins un élément nano-objet étant disposé au- dessus de l’au moins une électrode de grille, l’élément nano-objet comprenant au moins deux boîtes quantiques, le composant quantique comprenant en outre :
- au moins une électrode de grille micro-onde (3) reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde, caractérisé en ce que au moins une électrode comprend un matériau magnétique, dite au moins une électrode magnétique, et est agencée et configurée pour appliquer à l’élément nano-objet un champ magnétique inhomogène sur l’étendue spatiale dudit élément nano objet.
2. Composant quantique selon la revendication 1, dans lequel le matériau magnétique est un matériau ferromagnétique, de préférence le cobalt, le palladium- nickel.
3. Composant quantique selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l’au moins une électrode comprenant un matériau magnétique est au moins une électrode de grille basse fréquence (1, 2).
4. Composant quantique selon la revendication 3, dans lequel au moins une électrode de grille basse fréquence (2) présente une hauteur supérieure par rapport à la hauteur d’une électrode de grille basse fréquence voisine.
5. Composant quantique selon la revendication 3 , dans lequel la distance, dite distance micro onde, séparant l’au moins une électrode de grille micro-onde (3) de l’au moins un élément nano-objet (8) est différente de la distance, dite distance basse fréquence, séparant l’au moins une électrode de grille basse fréquence (1, 2) de l’au moins un élément nano-objet (8).
6. Composant quantique selon la revendication précédente, dans lequel la distance micro onde est inférieure d’au moins 20% à la distance basse fréquence.
7. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, comprenant au moins une couche conductrice (5) disposée sur le substrat (6) et sous l’au moins une électrode de grille, chaque électrode de grille étant séparée de la couche conductrice par une couche isolante.
8. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, comprenant au moins une tranchée (7) réalisée dans au moins ladite couche conductrice (5), l’au moins une électrode de grille micro-onde (3) étant séparée de l’au moins une électrode de grille adjacente par ladite tranchée (7).
9. Composant quantique selon l’une des revendications 1 à 6, comprenant au moins une tranchée (7) réalisée dans au moins ladite couche conductrice (5), l’au moins une électrode de grille micro-onde (3) étant disposée sur le substrat (6) et étant séparée de l’au moins une électrode de grille adjacente disposée sur la couche conductrice (5) par une tranchée (7).
10. Composant quantique selon la revendication précédente, dans lequel le substrat (6) est partiellement évidé, de manière à prolonger ladite tranchée (7).
11. Composant quantique selon l’une des revendications 8 à 10, dans lequel la hauteur de la tranchée est égale à la hauteur de l’au moins une électrode de grille micro-onde (3).
12. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’au moins un élément nano-objet (8) est au moins un nanotube ou au moins un nanofil.
13. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’au moins un élément nano-objet (8) comprend un matériau isotopiquement purifié ou enrichi.
14. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’au moins une électrode magnétique est agencée et configurée pour créer une polarisation du spin d’un électron qui est non-colinéaire entre deux boites quantiques formées dans l’élément nano-objet.
15. Composant quantique selon la revendication précédente, comprenant en outre des moyens pour appliquer un champ magnétique homogène permettant une polarisation de l’au moins une électrode magnétique.
16. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’au moins une électrode de grille micro-onde comprend en outre des moyens pour contrôler ledit composant quantique, ladite au moins une électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde.
17. Composant quantique selon l’une des revendications précédentes, dans lequel l’au moins une électrode de grille micro-onde comprend en outre des moyens pour coupler plusieurs composants quantiques, ladite au moins une électrode de grille micro-onde étant reliée à un circuit micro-onde agencé pour transporter un signal micro-onde de couplage.
18. Dispositif électronique comprenant au moins un composant quantique selon l’une ou plusieurs des revendications précédentes.
19. Procédé de commande d’un composant quantique, comprenant :
- définir, en utilisant un ou plusieurs éléments nano-objets, au moins deux états quantiques dans au moins un nano-objet, les moins deux états quantiques étant dans un champ magnétique inhomogène, et
- provoquer, sur la base d’un signal électrique oscillant micro-onde porté par une électrode de grille micro-onde, le déplacement d’un électron en va et vient entre les au moins deux états quantiques en présence du champ magnétique inhomogène, le mouvement de l’électron générant une oscillation du champ magnétique pour conduire une transition quantique entre un état de spin orienté dans un sens et un état de spin orienté dans un sens opposé de l’électron, implémentant ainsi une porte qubit sur un état de spin de l’électron.
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