EP4227539A1

EP4227539A1 - Vacuum pump

Info

Publication number: EP4227539A1
Application number: EP23179789.5A
Authority: EP
Inventors: Torsten Gogol
Original assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Current assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Priority date: 2023-06-16
Filing date: 2023-06-16
Publication date: 2023-08-16

Abstract

Eine Vakuumpumpe weist eine Rotorwelle, die pumpaktive Elemente eines Rotors der Vakuumpumpe trägt, und zumindest ein Lager auf, an welchem die Rotorwelle drehbar gelagert ist. Zur Schmierung des Lagers ist ein Schmiermittel vorgesehen. Die Rotorwelle weist zumindest eine Ausnehmung auf, die außerhalb eines Lagerbereichs der Rotorwelle angeordnet ist und zum Aufnehmen des Schmiermittels ausgebildet ist.A vacuum pump has a rotor shaft, which carries active pumping elements of a rotor of the vacuum pump, and at least one bearing, on which the rotor shaft is rotatably mounted. A lubricant is provided to lubricate the bearing. The rotor shaft has at least one recess which is arranged outside of a bearing area of the rotor shaft and is designed to receive the lubricant.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einer Rotorwelle, die pumpaktive Elemente eines Rotors der Vakuumpumpe trägt, und mit zumindest einem Lager, an welchem die Rotorwelle drehbar gelagert ist.The invention relates to a vacuum pump with a rotor shaft, which carries active pumping elements of a rotor of the vacuum pump, and with at least one bearing on which the rotor shaft is rotatably mounted.

Wenn eine Vakuumkammer mittels einer Vakuumpumpe evakuiert werden soll, kann es erforderlich sein, die Vakuumpumpe an einer bestimmten Position und in einer bestimmten räumlichen Lage bezüglich der Vakuumkammer zu installieren. Diese Position kann beispielsweise durch den vorhandenen Bauraum im Bereich der Vakuumkammer vorgegeben sein. Wenn die Vakuumpumpe einen Rotor mit einer bestimmten Drehachse und einen Stator aufweist, kann es dementsprechend erforderlich sein, dass die Vakuumpumpe sowohl in einer Lage mit horizontaler Drehachse des Rotors als auch in einer Lage mit vertikaler Drehachse des Rotors sowie möglicherweise in weiteren Lagen zwischen diesen betrieben werden kann.If a vacuum chamber is to be evacuated by means of a vacuum pump, it may be necessary to install the vacuum pump at a specific position and in a specific spatial position with respect to the vacuum chamber. This position can be specified, for example, by the available installation space in the area of the vacuum chamber. Accordingly, if the vacuum pump has a rotor with a specific axis of rotation and a stator, it may be necessary for the vacuum pump to be operated both in a position with a horizontal axis of rotation of the rotor and in a position with a vertical axis of rotation of the rotor and possibly in further positions in between can be.

Der Rotor einer Vakuumpumpe weist üblicherweise eine Rotorwelle auf, für die eine Lagerung erforderlich ist. Diese Lagerung erfolgt an mindestens zwei Lagerstellen, die sich beispielsweise im Bereich jeweiliger Enden der Rotorwelle befinden. Neben Magnetlagern, die überwiegend auf einer Hochvakuumseite von Turbomolekularpumpen verwendet werden, werden zur Lagerung von Rotorwellen der Vakuumpumpen häufig Kugellager eingesetzt, da diese kostengünstiger als Magnetlager sind.The rotor of a vacuum pump usually has a rotor shaft that requires a bearing. This storage takes place at at least two bearing points, which are located, for example, in the area of the respective ends of the rotor shaft. In addition to magnetic bearings, which are mainly used on a high-vacuum side of turbomolecular pumps, ball bearings are often used to support the rotor shafts of vacuum pumps, since they are cheaper than magnetic bearings.

Die Bedingungen, unter denen die Vakuumpumpe betrieben werden soll, müssen jedoch die Verwendung eines Kugellagers zulassen. Zu diesen Bedingungen gehört beispielsweise der zu erreichende Enddruck bzw. minimale Druck in der Vakuumkammer, der ein bestimmtes Saugvermögen der Vakuumpumpe und damit eine bestimmte Pumpenkonstruktion bzw. einen bestimmten Pumpentyp bedingt, sowie Anforderungen bezüglich der Ölfreiheit des Vakuums innerhalb der Vakuumkammer. Da Kugellager mit einem Schmiermittel wie etwa Öl geschmiert werden müssen, bestehen gewisse Grenzen für den Einsatz von Kugellagern innerhalb von Vakuumpumpen. Eine Migration des Schmiermittels aus einem Kugellager in ein Pumpsystem, d. h. in den Bereich pumpaktiver Elemente der Vakuumpumpe, ist jedoch in jedem Fall während des Betriebs der Vakuumpumpe zu vermeiden.However, the conditions under which the vacuum pump is to be operated must permit the use of a ball bearing. On these terms includes, for example, the final pressure to be achieved or minimum pressure in the vacuum chamber, which requires a certain pumping speed of the vacuum pump and thus a certain pump design or a certain pump type, as well as requirements regarding the oil-free vacuum within the vacuum chamber. Because ball bearings must be lubricated with a lubricant such as oil, there are certain limitations on the use of ball bearings within vacuum pumps. However, a migration of the lubricant from a ball bearing into a pump system, ie into the area of pump-active elements of the vacuum pump, must be avoided in any case during the operation of the vacuum pump.

Wenn die Vakuumpumpe mit vertikal ausgerichteter Drehachse des Rotors betrieben werden soll und zur Lagerung der Rotorwelle ein Kugellager an deren oberem Ende vorgesehen ist, kann das Schmiermittel bzw. Öl aus dem Kugellager in den darunter liegenden Bereich der Rotorwelle gelangen. Beispielsweise kann Öl aus dem Kugellager auf eine unter dem Kugellager liegende plane Fläche einer Rotorwelle tropfen, wenn sich die Vakuumpumpe im Stillstand befindet. Für den Betrieb der Vakuumpumpe sind hingegen Einrichtungen zur Rückführung des Öls in das Kugellager vorgesehen, wie beispielsweise Rückholfilze. Durch die Drehung des Rotors im Betrieb der Vakuumpumpe wird das Öl von der planen Fläche der Rotorwelle gegen einen solchen Rückholfilz geschleudert und durch dessen kapillare Wirkung zum Kugellager zurückgeführt.If the vacuum pump is to be operated with the rotor axis of rotation aligned vertically and a ball bearing is provided at the upper end to support the rotor shaft, the lubricant or oil can get from the ball bearing into the area of the rotor shaft below. For example, oil can drip from the ball bearing onto a flat surface of a rotor shaft located under the ball bearing when the vacuum pump is at a standstill. For the operation of the vacuum pump, however, devices for returning the oil to the ball bearing are provided, such as return felts. Due to the rotation of the rotor during operation of the vacuum pump, the oil is thrown from the flat surface of the rotor shaft against such a return felt and is returned to the ball bearing by its capillary effect.

Wenn Öl jedoch während des Stillstands der Vakuumpumpe aus dem Kugellager auf die darunterliegende plane Fläche der Rotorwelle tropft, sollte dieses Öl bei einer erneuten Inbetriebnahme der Vakuumpumpe ebenso in den Rückholfilz geschleudert werden und nicht von der planen Fläche weiter in den pumpaktiven Bereich der Vakuumpumpe gelangen. Dies ist jedoch nur für eine geringe Menge des Öls oder eines anderen Schmiermittels möglich. Wenn ferner die räumliche Lage der Vakuumpumpe nach deren Abschalten verändert wird, kann das Öl bzw. Schmiermittel aus dem Kugellager unbeabsichtigt von der planen Fläche der Rotorwelle weiter in das Innere der Vakuumpumpe gelangen. Bei Vakuumpumpen mit vertikaler Einbaulage der Rotorwelle und mit Kugellagern kann daher das Problem auftreten, dass eine unbeabsichtigte Migration des Öls bzw. Schmiermittels aus einem der Kugellager in das Pumpsystem der Vakuumpumpe erfolgt.However, if oil drips from the ball bearing onto the flat surface of the rotor shaft underneath while the vacuum pump is at a standstill, this oil should also be thrown into the return felt when the vacuum pump is started up again and not continue from the flat surface into the active pumping area of the vacuum pump. However, this is only possible for a small amount of the oil or other lubricant. Furthermore, if the spatial position of the vacuum pump is changed after it has been switched off, the oil or Lubricant from the ball bearing can unintentionally get further into the interior of the vacuum pump from the flat surface of the rotor shaft. In the case of vacuum pumps with a vertical installation position of the rotor shaft and with ball bearings, the problem can therefore arise that the oil or lubricant unintentionally migrates from one of the ball bearings into the pumping system of the vacuum pump.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vakuumpumpe der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der eine Migration eines Schmiermittels aus Lagern der Vakuumpumpe in einen pumpaktiven Bereich hinein verhindert oder zumindest verringert wird.One object of the invention is to create a vacuum pump of the type mentioned at the outset, in which migration of a lubricant from bearings of the vacuum pump into a pump-active area is prevented or at least reduced.

Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen angegeben.This object is achieved by a vacuum pump having the features of claim 1. Advantageous developments of the invention are specified in the dependent claims, the description and the drawings.

Die Vakuumpumpe weist eine Rotorwelle, die pumpaktive Elemente eines Rotors der Vakuumpumpe trägt, und zumindest ein Lager auf, an welchem die Rotorwelle drehbar gelagert ist. Zur Schmierung des Lagers ist ein Schmiermittel vorgesehen. Die Rotorwelle weist zumindest eine Ausnehmung auf, die außerhalb eines Lagerbereichs der Rotorwelle angeordnet ist und zum Aufnehmen des Schmiermittels ausgebildet ist.The vacuum pump has a rotor shaft, which carries active pumping elements of a rotor of the vacuum pump, and at least one bearing, on which the rotor shaft is rotatably mounted. A lubricant is provided to lubricate the bearing. The rotor shaft has at least one recess which is arranged outside of a bearing area of the rotor shaft and is designed to receive the lubricant.

Der Lagerbereich der Rotorwelle ist derjenige räumliche Bereich, in dem das Lager innerhalb der Vakuumpumpe angeordnet ist und mit der Rotorwelle in Verbindung steht, um diese drehbar zu lagern. Innerhalb des Lagerbereichs befindet sich das Schmiermittel wie beispielsweise Öl zur Schmierung des Lagers. Die Ausnehmung kann an einer Außenfläche der Rotorwelle angeordnet sein und sich in einem Bereich in der Nähe des Lagers befinden, auch wenn die Ausnehmung außerhalb des unmittelbaren Lagerbereichs der Rotorwelle angeordnet ist.The bearing area of the rotor shaft is that spatial area in which the bearing is arranged inside the vacuum pump and is connected to the rotor shaft in order to support it rotatably. Within the bearing area is the lubricant such as oil for lubricating the bearing. The recess may be located on an outer surface of the rotor shaft and in an area near the bearing, even if the recess is located outside of the immediate bearing area of the rotor shaft.

Durch die Ausnehmung, bei der es sich um eine Vertiefung oder Aussparung innerhalb der Rotorwelle handeln kann, wird ein zusätzliches Volumen beispielsweise an der Außenfläche der Rotorwelle geschaffen, in das in bestimmten Einbaulagen der Vakuumpumpe das Schmiermittel aufgenommen werden kann, das aus dem Lager gelangt. Durch die Ausnehmung und die Möglichkeit, das Schmiermittel in deren Volumen aufzunehmen, wird folglich verhindert, dass das Schmiermittel weiter in einen Innenraum der Vakuumpumpe gelangt, in welchem sich deren pumpaktive Elemente befinden. Eine unerwünschte Ölmigration in den Innenraum der Vakuumpumpe bzw. in deren Pumpsystem wird folglich durch das Vorhandensein der Ausnehmung verhindert oder zumindest verringert.The recess, which can be a depression or recess within the rotor shaft, creates an additional volume, for example on the outer surface of the rotor shaft, into which the lubricant that comes out of the bearing can be absorbed in certain installation positions of the vacuum pump. The recess and the possibility of accommodating the lubricant in its volume consequently prevent the lubricant from getting further into an interior space of the vacuum pump in which its active pumping elements are located. An undesired migration of oil into the interior of the vacuum pump or into its pumping system is consequently prevented or at least reduced by the presence of the recess.

Gemäß einer Ausführungsform weist die Rotorwelle eine Drehachse auf, die eine axiale Richtung definiert. Ein axiales Ende der Rotorwelle und die zumindest eine Ausnehmung können in der axialen Richtung auf gegenüberliegenden Seiten des Lagers angeordnet sein. Die Ausnehmung ist bei dieser Ausführungsform folglich bezogen auf das Lager "axial innen" angeordnet, d. h. auf der Seite des Lagers, die den pumpaktiven Elementen des Rotors zugewandt ist. Wenn die Vakuumpumpe in einer Lage positioniert ist, in der die Drehachse der Rotorwelle vertikal verläuft und sich die pumpaktiven Elemente des Rotors unterhalb des Lagers befinden, kann die axial innenliegende Ausnehmung das Schmiermittel aufnehmen, wenn dieses aus dem Lagerbereich der Rotorwelle austritt. Die in vertikaler Richtung darunter liegenden pumpaktiven Elemente können daher gegenüber einer Migration des Schmiermittels geschützt sein.According to one embodiment, the rotor shaft has an axis of rotation that defines an axial direction. An axial end of the rotor shaft and the at least one recess may be located on opposite sides of the bearing in the axial direction. In this embodiment, the recess is therefore arranged "axially inwards" with respect to the bearing, i. H. on the side of the bearing facing the pumping active elements of the rotor. If the vacuum pump is positioned in a position in which the axis of rotation of the rotor shaft is vertical and the active pumping elements of the rotor are below the bearing, the axially inner recess can receive the lubricant when it escapes from the bearing area of the rotor shaft. The pump-active elements lying underneath in the vertical direction can therefore be protected against migration of the lubricant.

Die Ausnehmung kann durch eine Neigung und/oder Verschiebung einer Außenfläche der Rotorwelle gebildet sein. Eine solche Ausnehmung kann folglich mit geringem Aufwand hergestellt werden, um ein zusätzliches Volumen zur Aufnahme des Schmiermittels zu schaffen. Die Neigung und/oder Verschiebung der Außenfläche der Rotorwelle kann ferner ermöglichen, die Ausnehmung zur Aufnahme des Schmiermittels nachträglich bei existierenden Vakuumpumpen zu bilden.The recess can be formed by an inclination and/or displacement of an outer surface of the rotor shaft. Such a recess can consequently be produced with little effort in order to create an additional volume for accommodating the lubricant. The inclination and/or shifting of the outer surface of the rotor shaft may also allow the recess to receive the lubricant to be retrofitted to existing vacuum pumps.

Die Ausnehmung kann ferner dadurch gebildet sein, dass die Außenfläche der Rotorwelle bezogen auf eine radiale Richtung geneigt ist, die rechtwinklig zu der axialen Richtung verläuft. Bekannte Vakuumpumpen weisen häufig eine Stirnfläche der Rotorwelle auf, die in der radialen Richtung verläuft, d. h. rechtwinklig zu der Drehachse der Rotorwelle. Im Vergleich zu einer Rotorwelle einer bestehenden Vakuumpumpe bewirkt die Neigung der Außenfläche der Rotorwelle bezogen auf die axiale Richtung, die bei der vorliegenden Ausführungsform vorgesehen ist, dass durch die Neigung eine Vertiefung zum Aufnehmen des Schmiermittels gebildet wird.The recess may further be formed by inclining the outer surface of the rotor shaft with respect to a radial direction perpendicular to the axial direction. Known vacuum pumps often have an end face of the rotor shaft running in the radial direction, i. H. perpendicular to the axis of rotation of the rotor shaft. Compared with a rotor shaft of an existing vacuum pump, the inclination of the outer surface of the rotor shaft with respect to the axial direction provided in the present embodiment causes a recess for receiving the lubricant to be formed by the inclination.

Bei einer solchen Ausführungsform kann eine Distanz in axialer Richtung zwischen der Außenfläche der Rotorwelle und dem Lager entlang der zumindest einen Ausnehmung zunehmen, wenn ein Abstand von der Drehachse in der radialen Richtung abnimmt. Mit anderen Worten kann die geneigte Außenfläche in radialer und in axialer Richtung "nach innen" geneigt sein, d. h. zu der Drehachse der Rotorwelle bzw. zum Innenbereich der Vakuumpumpe hin, um dadurch bei vertikaler Ausrichtung der Drehachse eine Vertiefung in der Rotorwelle zur Aufnahme des Schmiermittels zu bilden. Eine solche Ausgestaltung der Ausnehmung bewirkt, dass das Schmiermittel, das aus dem Lagerbereich austritt, radial nach innen in Richtung der Drehachse bewegt wird und nicht über einen Rand der Stirnfläche der Rotorwelle hinaus in den Bereich der pumpaktiven Elemente hinein migriert.In such an embodiment, a distance in the axial direction between the outer surface of the rotor shaft and the bearing along the at least one recess may increase as a distance from the axis of rotation in the radial direction decreases. In other words, the inclined outer surface may be "inwardly inclined" in both the radial and axial directions, i. H. toward the axis of rotation of the rotor shaft or toward the interior of the vacuum pump, in order to thereby form a recess in the rotor shaft for accommodating the lubricant when the axis of rotation is aligned vertically. Such a design of the recess causes the lubricant that emerges from the bearing area to be moved radially inward in the direction of the axis of rotation and does not migrate beyond an edge of the end face of the rotor shaft into the area of the active pumping elements.

Ein Neigungswinkel der Außenfläche der Rotorwelle kann daher bezogen auf die radiale Richtung größer als null Grad, aber deutlich kleiner als 90 Grad sein. Ein Neigungswinkel von weniger als etwa zehn Grad bezogen auf die radiale Richtung kann ausreichend sein, um ein genügend großes Volumen zur Aufnahme des Schmiermittels in der Form der Ausnehmung der Rotorwelle zu schaffen.An angle of inclination of the outer surface of the rotor shaft can therefore be greater than zero degrees, but significantly less than 90 degrees, in relation to the radial direction. An angle of inclination of less than about ten degrees with respect to the radial direction may be sufficient to provide a large enough volume to contain the lubricant in the form of the recess of the rotor shaft.

Die geneigte Außenfläche der Rotorwelle kann zumindest abschnittsweise einen ebenen Verlauf aufweisen. Auf diese Weise kann die Ausnehmung wiederum mit geringem Aufwand hergestellt werden. Ferner kann die Ausnehmung einen abgerundeten Bereich an der Außenfläche der Rotorwelle umfassen. Ein solcher abgerundeter Bereich kann das Volumen weiter vergrößern, das durch die Ausnehmung zur Aufnahme des Schmiermittels bereitgestellt wird. Ferner kann die Außenfläche der Rotorwelle den abgerundeten Bereich an einem in radialer Richtung inneren Ende der Ausnehmung aufweisen. Ein solcher abgerundeter Bereich kann ggf. die Herstellung der Rotorwelle erleichtern und/oder wiederum das Volumen der Ausnehmung vergrößern.The inclined outer surface of the rotor shaft can have a planar course, at least in sections. In this way, the recess can again be produced with little effort. Furthermore, the recess can include a rounded area on the outer surface of the rotor shaft. Such a rounded area can further increase the volume provided by the recess for receiving the lubricant. Further, the outer surface of the rotor shaft may have the rounded portion at an inner end of the recess in the radial direction. Such a rounded area can possibly facilitate the manufacture of the rotor shaft and/or in turn increase the volume of the recess.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann die Vakuumpumpe zwei Lager aufweisen, die jeweils in einem Bereich entgegengesetzter Enden der Rotorwelle angeordnet sind und die Rotorwelle jeweils drehbar lagern, wobei ein Schmiermittel wie beispielsweise Öl zur Schmierung des jeweiligen Lagers vorgesehen ist. Die Rotorwelle kann zumindest zwei Ausnehmungen aufweisen, die jeweils einem der zwei Lager zugeordnet sind. Die zwei Lager können beispielsweise an entgegengesetzten axialen Enden der Rotorwelle angeordnet sein, und es kann jeweils eine Ausnehmung angrenzend an das jeweilige Lager bzw. in dessen Nähe angeordnet sein.According to a further embodiment, the vacuum pump can have two bearings which are each arranged in a region of opposite ends of the rotor shaft and each rotatably support the rotor shaft, with a lubricant such as oil being provided for lubricating the respective bearing. The rotor shaft can have at least two recesses, each of which is assigned to one of the two bearings. For example, the two bearings may be located at opposite axial ends of the rotor shaft, and a recess may be located adjacent to or near each bearing.

Bei dieser Ausführungsform kann jeweils eine der zumindest zwei Ausnehmungen bei einer vertikalen Ausrichtung der Drehachse der Rotorwelle derart positioniert sein, dass sich das der Ausnehmung zugeordnete Lager vertikal oberhalb der Ausnehmung befindet und diese Ausnehmung somit das aus dem Lagerbereich austretende Schmiermittel aufnehmen kann. Dies ermöglicht eine zusätzliche Flexibilität bei der Installation der Vakuumpumpe, da diese bei vertikaler Drehachse der Rotorwelle in mindestens zwei Lagen installiert werden kann, bei denen die Ausrichtung der Drehachse relativ zueinander um 180 Grad gedreht ist. Mit anderen Worten kann bei diesen Lagen jeweils eines der Lager an einem oberen axialen Ende der Drehachse angeordnet sein, während das zweite Lager an dem entgegengesetzten unteren Ende der Rotorwelle angeordnet ist, und umgekehrt.In this embodiment, one of the at least two recesses can be positioned in a vertical orientation of the axis of rotation of the rotor shaft such that the bearing assigned to the recess is located vertically above the recess and this recess can thus receive the lubricant escaping from the bearing area. This allows additional flexibility in the installation of the vacuum pump, since with the axis of rotation of the rotor shaft vertical, it can be installed in at least two positions in which the orientation of the axis of rotation is rotated by 180 degrees relative to one another. In other words, one of the bearings at a top in these layers axial end of the axis of rotation, while the second bearing is arranged at the opposite lower end of the rotor shaft, and vice versa.

Die zumindest zwei Ausnehmungen können entlang der Rotorwelle zwischen den zwei Lagern angeordnet sein. Somit befinden sich die zumindest zwei Ausnehmungen bezogen auf das jeweilige Lager axial innen. Dadurch kann bei einer vertikalen Ausrichtung der Drehachse der Rotorwelle stets eine der Ausnehmungen unterhalb eines Lagers angeordnet sein und das aus diesem austretende Schmiermittel aufnehmen.The at least two recesses can be arranged along the rotor shaft between the two bearings. The at least two recesses are thus located axially on the inside in relation to the respective bearing. As a result, with a vertical orientation of the axis of rotation of the rotor shaft, one of the recesses can always be arranged below a bearing and receive the lubricant emerging from it.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann eine zentrale Einlassöffnung der Vakuumpumpe zwischen den zwei Lagern angeordnet sein. Die Vakuumpumpe kann daher als so genannte "doppelflutige" Pumpe ausgebildet sein. Ferner können zwei Auslassöffnungen der Vakuumpumpe jeweils in einem Bereich an zwei Enden der Rotorwelle und zwischen den zwei Lagern angeordnet sein. Bei einer solchen Ausführungsform können jeweilige Ausnehmungen der Rotorwelle jeweils zwischen einer der Auslassöffnungen und einem jeweiligen Lager angeordnet sein. Die jeweiligen Ausnehmungen können somit auch eine Migration des Schmiermittels in den Bereich der Auslassöffnungen verhindern bzw. verringern.According to a further embodiment, a central inlet opening of the vacuum pump can be arranged between the two bearings. The vacuum pump can therefore be designed as a so-called "double-flow" pump. Furthermore, two exhaust ports of the vacuum pump may be arranged in a region at two ends of the rotor shaft and between the two bearings, respectively. In such an embodiment, respective recesses of the rotor shaft can each be arranged between one of the outlet openings and a respective bearing. The respective recesses can thus also prevent or reduce migration of the lubricant into the area of the outlet openings.

Die Vakuumpumpe kann ferner als Turbomolekularpumpe ausgebildet sein. Da Turbomolekularpumpen für den Hochvakuumbereich vorgesehen sind, kann eine Verhinderung der Migration des Schmiermittels in den Bereich der pumpaktiven Elemente der Turbomolekularpumpe besonders wünschenswert oder sogar für Anwendungen in einer Vakuumanlage notwendig sein.The vacuum pump can also be designed as a turbomolecular pump. Since turbomolecular pumps are intended for the high-vacuum range, preventing the migration of the lubricant into the area of the pumping-active elements of the turbomolecular pump can be particularly desirable or even necessary for applications in a vacuum system.

Das zumindest eine Lager kann ferner als ein Kugellager ausgebildet sein. Kugellager können eine kostengünstige Ausgestaltung der Lager für die Rotorwelle sein.The at least one bearing can also be designed as a ball bearing. Ball bearings can be an inexpensive form of bearing for the rotor shaft.

Die zumindest eine Ausnehmung kann mit einer Einrichtung funktional in Verbindung stehen, die ausgebildet ist, um das Schmiermittel zu dem zumindest einen Lager zurückzuführen. Eine solche Einrichtung kann ein Rückholfilz sein, dessen Enden einerseits in der Nähe der Ausnehmung und andererseits in der Nähe des Lagers angeordnet sind. Die funktionale Verbindung zwischen der Einrichtung zur Rückführung des Schmiermittels und der Ausnehmung kann somit darin bestehen, dass das Schmiermittel bei einer Drehung des Rotors aus der Ausnehmung in Richtung der Einrichtung, beispielsweise gegen einen Rückholfilz, geschleudert wird. Durch eine solche Einrichtung kann somit ermöglicht werden, dass ausgetretenes Schmiermittel nicht in der Ausnehmung bleibt, sondern in den Lagerbereich zurückgebracht wird, sodass die Ausnehmung bereit sein kann, weiteres Schmiermittel aufzunehmen, das aus dem Lagerbereich austreten kann.The at least one recess can be functionally connected to a device that is designed to return the lubricant to the at least one bearing. Such a device can be a return felt, the ends of which are arranged on the one hand in the vicinity of the recess and on the other hand in the vicinity of the bearing. The functional connection between the device for returning the lubricant and the recess can thus consist in the lubricant being thrown out of the recess in the direction of the device, for example against a return felt, when the rotor rotates. Such a device can thus make it possible that escaped lubricant does not remain in the recess but is brought back into the bearing area, so that the recess can be ready to receive further lubricant that can escape from the bearing area.

Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand einer vorteilhaften Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:

Fig. 1: eine Schnittansicht einer Vakuumpumpe,
Fig. 2: eine Detailansicht von Fig. 1 und
Fig. 3: eine weitere Detailansicht von Fig. 1.

The invention is described below by way of example using an advantageous embodiment with reference to the accompanying figures. They show, each schematically:

1: a sectional view of a vacuum pump,
2: a detailed view of 1 and
3: another detail view of 1 .

Fig. 1 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Vakuumpumpe 100. Die Vakuumpumpe 100 umfasst ein Gehäuse 105, in dem ein Rotor 110 angeordnet ist. Das Gehäuse 105 ist zweiteilig und umfasst einen ersten Abschnitt 105-1 sowie einen zweiten Abschnitt 105-2, die unter Verwendung einer Dichtung 106 miteinander verbunden sind. Der Rotor 110 weist eine Rotorwelle 112 mit einer Drehachse 114 auf, die eine axiale Richtung innerhalb der Vakuumpumpe 100 festlegt. 1 shows a schematic sectional view of a vacuum pump 100. The vacuum pump 100 comprises a housing 105 in which a rotor 110 is arranged. The housing 105 is in two parts and comprises a first section 105 - 1 and a second section 105 - 2 which are connected to one another using a seal 106 . The rotor 110 has a rotor shaft 112 with an axis of rotation 114 that defines an axial direction within the vacuum pump 100 .

Die Rotorwelle 112 trägt pumpaktive Elemente des Rotors 110. Die Vakuumpumpe 100 ist als Turbomolekularpumpe ausgebildet und umfasst als pumpaktive Elemente 115 Rotorscheiben 116, Holweckelemente 118 und Holweckhülsen 120.The rotor shaft 112 carries active pumping elements of the rotor 110. The vacuum pump 100 is designed as a turbomolecular pump and comprises rotor disks 116, Holweck elements 118 and Holweck sleeves 120 as active pumping elements 115.

Die Vakuumpumpe 100 umfasst ferner eine zentrale Einlassöffnung 130, über die ein zu förderndes Gas, das beispielsweise aus einer nicht dargestellten Vakuumkammer stammt, in die Vakuumpumpe 100 gelangt. In einem axialen Bereich an jeweiligen Enden der Rotorwelle 115 weist die Vakuumpumpe 100 ferner eine jeweilige Auslassöffnung 132, 134 auf, über die das zu fördernde Gas die Vakuumpumpe 100 wieder verlässt. Die beiden Auslassöffnungen 132, 134 sind über einen Auslasskanal 136 miteinander verbunden.The vacuum pump 100 also includes a central inlet opening 130, via which a gas to be conveyed, which originates, for example, from a vacuum chamber (not shown), enters the vacuum pump 100. In an axial area at the respective ends of the rotor shaft 115, the vacuum pump 100 also has a respective outlet opening 132, 134, via which the gas to be conveyed leaves the vacuum pump 100 again. The two outlet openings 132, 134 are connected to one another via an outlet channel 136.

Die pumpaktiven Elemente 115 sind nahezu symmetrisch auf beiden Seiten der zentralen Einlassöffnung 130 angeordnet. Das zu fördernde Gas wird dadurch von der Einlassöffnung 130 über die pumpaktiven Elemente 115 zu beiden Auslassöffnungen 132, 134 transportiert. Daher wird die Vakuumpumpe 100 auch als doppelflutige Vakuumpumpe bezeichnet.The active pumping elements 115 are arranged almost symmetrically on both sides of the central inlet opening 130 . The gas to be conveyed is thus transported from the inlet opening 130 via the active pumping elements 115 to both outlet openings 132, 134. Therefore, the vacuum pump 100 is also referred to as a double-flow vacuum pump.

Die Rotorwelle 112 ist an ihren jeweiligen axialen Enden 220, 320 bezüglich des Gehäuses 105 an einem jeweiligen Kugellager 142, 143 drehbar gelagert. Das erste Kugellager 142 befindet sich in einem Lagerbereich in der Nähe des axialen Endes 220 der Rotorwelle 112, das einer Antriebsseite der Vakuumpumpe 100 gegenüberliegt. Das zweite Kugellager 143 befindet sich auf der Antriebsseite der Vakuumpumpe 100, auf der ein Elektromotor 150 zum Antreiben der Rotorwelle 112 vorgesehen ist. In den Kugellagern 142, 143 ist für deren Schmierung ein Schmiermittel vorgesehen, wobei als Schmiermittel Öl verwendet wird.The rotor shaft 112 is rotatably mounted at its respective axial ends 220, 320 with respect to the housing 105 on a respective ball bearing 142, 143. The first ball bearing 142 is located in a bearing area near the axial end 220 of the rotor shaft 112, which is opposite a drive side of the vacuum pump 100. The second ball bearing 143 is located on the drive side of the vacuum pump 100 on which an electric motor 150 for driving the rotor shaft 112 is provided. A lubricant is provided in the ball bearings 142, 143 to lubricate them, and oil is used as the lubricant.

In Fig. 1 ist die Vakuumpumpe 100 in einer horizontalen Lage dargestellt, bei der die Drehachse 114 der Rotorwelle 112 in horizontaler Richtung verläuft. Bei einer Installation an einer nicht dargestellten Vakuumkammer kann die Vakuumpumpe 100 jedoch je nach Anforderungen bezüglich der Umgebung der Vakuumkammer, beispielsweise bezüglich des vorhandenen Bauraums, in unterschiedlichen Lagen mit der Vakuumkammer verbunden werden. Daher kann sich die Vakuumpumpe während ihres Betriebs in einer vertikalen räumlichen Lage befinden, in der entweder das Kugellager 142 oder das Kugellager 143 in vertikaler Richtung an der Oberseite der Vakuumpumpe 100 angeordnet ist. Mit anderen Worten verläuft die Drehachse 114 der Rotorwelle 112 bei einer solchen Ausrichtung der Vakuumpumpe 100 in vertikaler Richtung.In 1 the vacuum pump 100 is shown in a horizontal position, in which the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112 runs in the horizontal direction. When installed on a vacuum chamber, not shown, the vacuum pump However, 100 can be connected to the vacuum chamber in different positions depending on the requirements with regard to the surroundings of the vacuum chamber, for example with regard to the available installation space. Therefore, during its operation, the vacuum pump can be in a vertical spatial position in which either the ball bearing 142 or the ball bearing 143 is arranged at the top of the vacuum pump 100 in the vertical direction. In other words, the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112 runs in the vertical direction when the vacuum pump 100 is aligned in this way.

In einer solchen vertikalen Ausrichtung der Vakuumpumpe 100 befindet sich entweder das Kugellager 142 oder das Kugellager 143 vertikal oberhalb einer jeweiligen Stirnfläche 210, 310 (vgl. auch Fig. 2 und Fig. 3) an einem jeweiligen axialen Ende der Rotorwelle 112. In einer solchen vertikalen Ausrichtung der Vakuumpumpe 100 ist ferner eines der beiden Kugellager 142, 143 in vertikaler Richtung oberhalb der pumpaktiven Elemente 115 des Rotors 110 angeordnet.In such a vertical orientation of the vacuum pump 100, either the ball bearing 142 or the ball bearing 143 is located vertically above a respective end face 210, 310 (cf. also 2 and 3 ) at a respective axial end of the rotor shaft 112. In such a vertical orientation of the vacuum pump 100, one of the two ball bearings 142, 143 is also arranged in the vertical direction above the active pumping elements 115 of the rotor 110.

In Fig. 2 ist der Bereich des Kugellagers 142 vergrößert dargestellt, d. h. der Bereich des in Fig. 1 auf der linken Seite dargestellten axialen Endes 220 der Rotorwelle 112. In Fig. 3 hingegen ist der Bereich des Kugellagers 143 vergrößert dargestellt, der sich auf der Antriebsseite der Vakuumpumpe 100 in der Nähe des axialen Endes 320 der Rotorwelle 112 befindet, das in Fig. 1 auf der rechten Seite dargestellt ist.In 2 the area of the ball bearing 142 is shown enlarged, ie the area of the in 1 axial end 220 of the rotor shaft 112 shown on the left-hand side. In 3 on the other hand, the area of the ball bearing 143 which is located on the drive side of the vacuum pump 100 in the vicinity of the axial end 320 of the rotor shaft 112, which is shown in FIG 1 is shown on the right.

Im Bereich des Kugellagers 143 weist die Rotorwelle 112 einen Wuchtring 330 auf (vgl. Fig. 3), der vor der Montage der Vakuumpumpe 100 auf die Rotorwelle 112 gepresst ist. Daher bildet der Wuchtring 330 einen Teil der Außenfläche der Rotorwelle 112. Die Stirnfläche 310 der Rotorwelle 112 wird somit teilweise durch den Wuchtring 330 gebildet.In the area of the ball bearing 143, the rotor shaft 112 has a balancing ring 330 (cf. 3 ), which is pressed onto the rotor shaft 112 before the vacuum pump 100 is assembled. Therefore, the balancing ring 330 forms part of the outer surface of the rotor shaft 112. The end face 310 of the rotor shaft 112 is thus partially formed by the balancing ring 330.

Wenn die Vakuumpumpe 100 in einer vertikalen räumlichen Lage ausgerichtet ist, in der die Drehachse 114 der Rotorwelle 112 vertikal verläuft, kann Öl aus demjenigen Kugellager 142 oder 143, das sich in vertikaler Richtung an der Oberseite der Vakuumpumpe 100 befindet, aus einem Bereich dieses Kugellagers 142 oder 143 gelangen und auf eine der Stirnflächen 210 oder 310 der Rotorwelle 112 tropfen, die sich in der jeweiligen Einbaulage der Vakuumpumpe 100 unterhalb dieses Kugellagers 142 oder 143 befindet. Das Öls kann vor allem im Stillstand der Vakuumpumpe 100 aus dem entsprechenden Kugellager 142, 143 heraustropfen.If the vacuum pump 100 is aligned in a vertical spatial position in which the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112 runs vertically, oil from the ball bearing 142 or 143, which is located in the vertical direction on the top of the vacuum pump 100, can escape from a region of this ball bearing 142 or 143 and drop onto one of the end faces 210 or 310 of the rotor shaft 112, which is located below this ball bearing 142 or 143 in the respective installation position of the vacuum pump 100. The oil can drip out of the corresponding ball bearing 142, 143, especially when the vacuum pump 100 is at a standstill.

Bei einem erneuten Einschalten der Vakuumpumpe 100 nach deren Stillstand sowie während deren Betrieb wird das Öl, das aus dem Bereich des jeweiligen Kugellagers 142, 143 austritt, gegen einen Rückholfilz 230 geschleudert. Ein jeweiliger Rückholfilz 230 umgibt die beiden axialen Enden 220, 320 der Rotorwelle 112 (vgl. Fig. 1) und umfasst mehrere Filzscheiben bzw. Filzringe, die miteinander verbunden sind und von denen jeweils einer die jeweilige Stirnfläche 210 oder 310 der Rotorwelle 112 umgibt. Durch die kapillare Wirkung der Rückholfilze 230 an beiden axialen Enden 220, 320 der Rotorwelle 112 wird das Öl wieder in den Bereich des jeweiligen Kugellagers 142, 143 zurückgebracht. Eine solche Rückführung des Öls funktioniert jedoch nur dann, wenn dessen Menge einen bestimmten Wert nicht überschreitet und wenn die räumliche Lage der Vakuumpumpe 100 nach deren Ausschalten und vor dem erneuten Einschalten nicht verändert wird.When the vacuum pump 100 is switched on again after it has stopped and during its operation, the oil that escapes from the area of the respective ball bearing 142, 143 is thrown against a return felt 230. A respective return felt 230 surrounds the two axial ends 220, 320 of the rotor shaft 112 (cf. 1 ) and comprises a plurality of felt discs or felt rings which are connected to one another and of which one surrounds the respective end face 210 or 310 of the rotor shaft 112 . Due to the capillary action of the return felts 230 at both axial ends 220, 320 of the rotor shaft 112, the oil is returned to the area of the respective ball bearing 142, 143. However, such a recirculation of the oil only works if its quantity does not exceed a certain value and if the spatial position of the vacuum pump 100 is not changed after it has been switched off and before it is switched on again.

In einer vertikalen Einbaulage der Vakuumpumpe 100, in der die Drehachse 114 der Rotorwelle 112 in vertikaler Richtung rechtwinklig zum Boden verläuft, kann daher eine Migration des Öls aus einem der Kugellager 142, 143, das sich in dieser Einbaulage an der Oberseite der Vakuumpumpe 100 oberhalb einer der Stirnflächen 210, 310 der Rotorwelle 112 befindet, in den Bereich der pumpaktiven Elemente 115 des Rotors 110 hinein auftreten. Um eine solche Migration des Öls aus dem jeweiligen Kugellager 142, 143 zu verringern oder sogar ganz zu verhindern, weist die Rotorwelle 112 an der jeweiligen Stirnfläche 210, 310 eine jeweilige Ausnehmung 212 (vgl. Fig. 2) bzw. 312 (vgl. Fig. 3) auf. Die Ausnehmung 212, 312 ist dafür vorgesehen, ein zusätzliches Volumen zum Aufnehmen des Öls aus dem darüberliegenden Kugellager 142, 143 bereitzustellen, wenn die Vakuumpumpe 100 in der entsprechenden vertikalen Einbaulage angeordnet ist.In a vertical installation position of the vacuum pump 100, in which the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112 runs in the vertical direction at right angles to the ground, migration of the oil from one of the ball bearings 142, 143, which in this installation position is on the top of the vacuum pump 100 above one of the end faces 210, 310 of the rotor shaft 112 can occur in the region of the active pumping elements 115 of the rotor 110. In order to reduce or even completely prevent such a migration of the oil from the respective ball bearing 142, 143, the rotor shaft 112 has a respective one on the respective end face 210, 310 Recess 212 (cf. 2 ) or 312 (cf. 3 ) on. The recess 212, 312 is intended to provide an additional volume for receiving the oil from the overlying ball bearing 142, 143 when the vacuum pump 100 is arranged in the corresponding vertical installation position.

Um die Ausnehmung 212, 312 an der jeweiligen Stirnfläche 210, 310 der Rotorwelle 112 zu bilden, weist ein ebener Abschnitt 214, 314 der jeweiligen Stirnfläche 210, 310 eine Neigung bezüglich einer radialen Richtung auf, die rechtwinklig zu der Drehachse 114 der Rotorwelle 112 verläuft. Die Neigung des ebenen Abschnitts 214, 314 verläuft derart, dass eine Distanz in axialer Richtung zwischen der Stirnfläche 210, 310 bzw. dem ebenen Abschnitt 214, 314 und dem jeweiligen Kugellager 142, 143 zunimmt, wenn der Abstand von der Drehachse 114 in der radialen Richtung abnimmt.In order to form the recess 212, 312 on the respective end face 210, 310 of the rotor shaft 112, a flat section 214, 314 of the respective end face 210, 310 has an inclination with respect to a radial direction that runs perpendicular to the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112 . The inclination of the flat section 214, 314 is such that a distance in the axial direction between the end face 210, 310 or the flat section 214, 314 and the respective ball bearing 142, 143 increases when the distance from the axis of rotation 114 in the radial direction decreases.

Mit anderen Worten ist der ebene Abschnitt 214, 314 radial nach innen in Richtung der Drehachse 114 der Rotorwelle 112 geneigt, und diese Neigung des ebenen Abschnitts 214, 314 verläuft auch axial nach innen, d.h. in eine Richtung, die den pumpaktiven Elementen 115 des Rotors 110 zugewandt ist. Wenn sich die Vakuumpumpe 100 in einer räumlichen Lage mit vertikaler Drehachse 114 des Rotors 110 befindet, bildet die Ausnehmung 214, 314 somit eine Vertiefung in der Stirnfläche 210, 310 der Rotorwelle 112, die das zusätzliche Volumen zum Aufnehmen des Öls aus den jeweiligen Kugellager 142, 143 bereitstellt.In other words, the planar section 214, 314 is inclined radially inwards towards the axis of rotation 114 of the rotor shaft 112, and this incline of the planar section 214, 314 also extends axially inwards, i.e. in a direction which is opposite to the pumping active elements 115 of the rotor 110 faces. If the vacuum pump 100 is in a spatial position with a vertical axis of rotation 114 of the rotor 110, the recess 214, 314 thus forms a depression in the end face 210, 310 of the rotor shaft 112, which provides the additional volume for receiving the oil from the respective ball bearings 142 , 143 provides.

An einem radial inneren Ende weist die Ausnehmung 212, 312 einen jeweiligen abgerundeten Bereich 216, 316 auf. Der abgerundete Bereich 316 (vgl. Fig. 3) der Stirnfläche 310 bzw. der Ausnehmung 312 ist konvex ausgebildet, indem der Wuchtring 330 radial nach innen abgerundet ist. Durch diese Ausbildung des abgerundeten Bereichs 316 wird das Volumen der Ausnehmung 312 vergrößert.At a radially inner end, the recess 212, 312 has a rounded area 216, 316, respectively. The rounded area 316 (cf. 3 ) of the end face 310 or of the recess 312 is convex in that the balancing ring 330 is rounded radially inwards. This formation of the rounded area 316 increases the volume of the recess 312 .

Das jeweilige axiale Ende 220 bzw. 320 und die jeweiligen Ausnehmungen 210, 212 an den Stirnflächen 210, 310 der Rotorwelle 112 sind in der axialen Richtung jeweils auf gegenüberliegenden Seiten des jeweiligen Kugellagers 142, 143 angeordnet. Die Ausnehmungen 212, 312 befinden sich somit jeweils auf einer axialen Innenseite der Kugellager 142, 143, auf der sich auch die pumpaktiven Elemente 115 des Rotors 110 befinden. Bei einer vertikalen Einbaulage der Vakuumpumpe 100 ist folglich stets eine der Ausnehmungen 212, 312 unterhalb des entsprechenden Kugellagers 142, 143 angeordnet, das sich in dieser Einbaulage an der Oberseite der Vakuumpumpe 100 befindet.The respective axial end 220 or 320 and the respective recesses 210, 212 on the end faces 210, 310 of the rotor shaft 112 are arranged on opposite sides of the respective ball bearing 142, 143 in the axial direction. The recesses 212, 312 are thus each located on an axial inner side of the ball bearings 142, 143, on which the active pumping elements 115 of the rotor 110 are also located. In a vertical installation position of the vacuum pump 100, one of the recesses 212, 312 is consequently always arranged below the corresponding ball bearing 142, 143, which is located on the upper side of the vacuum pump 100 in this installation position.

Unabhängig davon, welches der beiden Kugellager 142, 143 bezogen auf die vertikale Richtung oben angeordnet ist, befindet sich eine der beiden Ausnehmungen 212, 312 unterhalb dieses Kugellagers, um jeweils ein zusätzliches Volumen zur Aufnahme von Öl bereitzustellen, das möglicherweise im Stillstand oder bei einer Lageänderung der Vakuumpumpe 100 aus dem entsprechenden Kugellager 142, 143 heraustropft. Dadurch wird eine Migration des Öls aus den Kugellagern 142, 143 in den Bereich der pumpaktiven Elemente 115 für beide vertikalen Einbaulagen der Vakuumpumpe 100 verringert bzw. verhindert, bei denen sich eines der beiden Kugellager 142, 143 an der Oberseite der Vakuumpumpe 100 befindet. Mit anderen Worten wird verhindert, dass in diesen vertikalen Einbaulagen Öl an der Rotorwelle 112 entlang herunterläuft und in den Bereich der pumpaktiven Elemente 115 gelangt, da dieses Öl zuvor in einer der beiden Ausnehmungen 212, 312 aufgefangen wird.Regardless of which of the two ball bearings 142, 143 is arranged at the top in relation to the vertical direction, one of the two recesses 212, 312 is located below this ball bearing in order to provide an additional volume for holding oil that may be present at a standstill or at a Change in position of the vacuum pump 100 drips out of the corresponding ball bearing 142, 143. This reduces or prevents migration of the oil from the ball bearings 142, 143 into the area of the pump-active elements 115 for both vertical installation positions of the vacuum pump 100, in which one of the two ball bearings 142, 143 is located on the top of the vacuum pump 100. In other words, it is prevented that in these vertical installation positions oil runs down the rotor shaft 112 and gets into the area of the active pumping elements 115, since this oil is previously caught in one of the two recesses 212, 312.

Reference List

100100: Vakuumpumpevacuum pump
105105: GehäuseHousing
105-1105-1: erster Abschnitt des Gehäusesfirst section of the case
105-2105-2: zweiter Abschnitt des Gehäusessecond section of the case
106106: Dichtungpoetry
110110: Rotorrotor
112112: Rotorwellerotor shaft
114114: Drehachseaxis of rotation
115115: pumpaktive Elemente des Rotorspumping active elements of the rotor
116116: Rotorscheiberotor disc
118118: HolweckelementHolweck element
120120: HolweckhülseHolweck sleeve
130130: Einlassöffnungintake port
132132: Auslassöffnungexhaust port
134134: Auslassöffnungexhaust port
136136: Auslasskanalexhaust port
142142: Kugellagerball-bearing
143143: Kugellagerball-bearing
150150: Elektromotorelectric motor
210210: Stirnfläche der Rotorwelleface of the rotor shaft
212212: Ausnehmungrecess
214214: ebener Abschnittlevel section
216216: abgerundeter Abschnittrounded section
220220: axiales Ende der Rotorwelleaxial end of the rotor shaft
230230: Rückholfilzreturn felt
310310: Stirnfläche der Rotorwelleface of the rotor shaft
312312: Ausnehmungrecess
314314: ebener Abschnittlevel section
316316: abgerundeter Abschnittrounded section
320320: axiales Ende der Rotorwelleaxial end of the rotor shaft
330330: Wuchtringbalancing ring

Claims

Vacuum pump (100) with a rotor shaft (112) which carries active pumping elements (115) of a rotor (110) of the vacuum pump (100), and

at least one bearing (142, 143) on which the rotor shaft (112) is rotatably mounted, a lubricant being provided for lubricating the bearing (142, 143),

wherein the rotor shaft (112) has at least one recess (212, 312) which is arranged outside a bearing area of the rotor shaft (112) and is designed to receive the lubricant.

The vacuum pump (100) of claim 1, wherein the rotor shaft (112) has an axis of rotation (114) which defines an axial direction,

an axial end (220, 320) of the rotor shaft (112) and the at least one recess (212, 312) are arranged on opposite sides of the bearing (142, 143) in the axial direction.

Vacuum pump (100) according to claim 1 or 2, wherein the recess (212, 312) is formed by an inclination and/or displacement of an outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112).

A vacuum pump (100) according to claim 3, wherein the rotor shaft (112) has an axis of rotation (114) defining an axial direction, and

the recess (212, 312) is formed by inclining the outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112) with respect to a radial direction perpendicular to the axial direction.

A vacuum pump (100) according to claim 4, wherein
a distance in the axial direction between the outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112) and the bearing (142, 143) along the at least one recess (212, 312) increases when a distance from the axis of rotation (114) in the radial direction decreases.

Vacuum pump (100) according to one of Claims 3 to 5, the inclined outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112) having a planar course (214, 314) at least in sections.

A vacuum pump (100) according to any one of claims 1 to 6, wherein the recess (212, 312) comprises a rounded portion (216, 316) on an outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112).

A vacuum pump (100) according to claim 7, wherein the recess (212, 312) has an inner end in the radial direction and

the outer surface (210, 310) of the rotor shaft (112) has the rounded portion (216, 316) at the inner end of the recess (212, 312).

A vacuum pump (100) according to any one of claims 1 to 8, wherein the vacuum pump (100) has two bearings (142, 143) which are arranged in a region of opposite ends (220, 320) of the rotor shaft (112) and rotatably support the rotor shaft (112) respectively, wherein a Lubricant for lubricating the respective bearing (142, 143) is provided and

the rotor shaft (112) has at least two recesses (212, 312), which are each associated with one of the two bearings (142, 143).

A vacuum pump (100) according to claim 9, wherein
the at least two recesses (212, 312) are arranged along the rotor shaft (112) between the two bearings (142, 143).

A vacuum pump (100) according to claim 9 or 10, wherein
a central inlet opening (130) of the vacuum pump (100) is arranged between the two bearings (142, 143).

Vacuum pump (100) according to one of claims 9 to 11, wherein two outlet openings (132, 134) of the vacuum pump (100) are each in an area at two ends (220, 320) of the rotor shaft (112) and between the two bearings (142, 143) are arranged.

Vacuum pump (100) according to any one of claims 1 to 12, wherein the vacuum pump (100) is designed as a turbomolecular pump.

Vacuum pump (100) according to any one of claims 1 to 13, wherein the at least one bearing (142, 143) is designed as a ball bearing.

Vacuum pump (100) according to one of claims 1 to 14, wherein the at least one recess (212, 312) communicates with a device (230) which is designed to return the lubricant to the at least one bearing (142, 143). .