EP3794325A1 - Composite multispectral raman spectroscopy method and device - Google Patents

Composite multispectral raman spectroscopy method and device

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EP3794325A1
EP3794325A1 EP19742428.6A EP19742428A EP3794325A1 EP 3794325 A1 EP3794325 A1 EP 3794325A1 EP 19742428 A EP19742428 A EP 19742428A EP 3794325 A1 EP3794325 A1 EP 3794325A1
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EP
European Patent Office
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raman
excitation
wavelength
spectral
observation
Prior art date
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Pending
Application number
EP19742428.6A
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German (de)
French (fr)
Inventor
Nicolas DAUGEY
Thierry BUFFETEAU
Jean-Luc Bruneel
Vincent RODRIGUEZ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAUGEY, NICOLAS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Universite de Bordeaux
Institut Polytechnique de Bordeaux
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Universite de Bordeaux, Institut Polytechnique de Bordeaux filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
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    • G01J3/10Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • G01J2003/102Plural sources

Definitions

  • the present invention generally relates to the field of Raman spectrometry.
  • It relates more particularly to an apparatus and a method of Raman spectrometry.
  • Raman spectrometry The observation of spectral domains towards high wavenumbers by Raman spectrometry (referred to as high frequency Raman spectrometry) generally requires adjustments involving the displacement of optical components or the use of other optical components, or following the case, more suitable detection systems increasing the complexity and therefore the cost of the device. These conventional systems of Raman spectrometry are generally limited in spectral resolution and / or in the observed spectral domains.
  • Another known configuration consists of choosing a fixed spectral separation system for the entire spectral domain but with a lower spectral resolution.
  • Yet another configuration is to use a mask comprising a set of slots in front of the detection system to refine the resolution, and successively shift this mask to solve the spectrum over the entire spectral range.
  • This technology applies to a Raman spectrometry apparatus, for which it is desirable to extend the spectral range and / or increase the spectral resolution, while maintaining the compactness, simplicity and therefore its cost and strength but also its reproducibility.
  • the The present invention provides a Raman spectrometry apparatus.
  • a Raman spectrometry apparatus for characterizing a sample, the apparatus comprising a source system generating a first incident light beam excitation at a first excitation wavelength, a system of spectral separation receiving a first scattered light beam formed by scattering said first incident excitation light beam onto the sample and spectrally separating said first scattered light beam, a detection system for recording a first Raman signal associated with said first scattered light beam and detected in a spectral wavelength observation range extending between a first observation wavelength and a second observation wavelength, a computer receiving the first Raman signal of said detection system and generating a first part of Raman spectrum in function Raman displacement in a first Raman spectral domain in relative wavenumber, said first Raman spectral domain extending between a first relative wavenumber function of the first excitation wavelength and the first wavelength observation wave and a second relative wave number according to the first excitation wavelength and the second observation wavelength.
  • said source system is adapted to generate at least a second excitation incident light beam at a second excitation wavelength, said second excitation wavelength being different from the first excitation wavelength.
  • excitation wave said spectral separation system being adapted to receive a second scattered light beam formed by scattering said incident incident light beam onto the sample and spectrally separating said second scattered light beam
  • said detection system being adapted to detect and record a second Raman signal associated with said second light beam scattered in the same wavelength observation spectral range
  • said computer being adapted to measure the second Raman signal and to generate a second portion of Raman spectrum according to of Raman displacement in a second Raman spectral domain in name relative wavelength, said second Raman spectral domain extending between a third relative wavenumber according to the second wavelength of excitation and the first wavelength of observation and a fourth relative wave number according to the second excitation wavelength and the second observation wavelength, the second Raman spectral domain being different from the first Raman spectral domain in number of a relative wave, the first part of the Raman spectrum
  • different excitation wavelengths are used in combination without modifying the detection filter or filters.
  • a relatively narrow spectral observation interval then makes it possible to obtain as many different portions of the Raman spectrum on different spectral domains in relative wavelengths as excitation wavelengths, then allowing the constitution of a set of parts.
  • the compactness of the spectrometry apparatus and its simplified use are then improved because only the excitation wavelengths are modified, no further adjustment is necessary.
  • the source system is adapted to generate a plurality of excitation light beams at a plurality of excitation wavelengths
  • the source system comprises a plurality of monochromatic laser sources, an optical frequency tunable laser source and / or a source generating a plurality of spatially selectable or spatially separable monochromatic excitation wavelengths;
  • the source system comprises a continuous or pulsed laser source
  • At least one device for polarizing the excitation light beam between the source system and the sample is provided, said polarization device being adapted to polarize the first excitation incident light beam according to at least two polarization states; different, for example orthogonal to each other, and respectively the second excitation incident light beam according to at least two different polarization states, for example orthogonal to each other;
  • polarization analyzer disposed between the sample and the detection system, the polarization analyzer being adapted to analyze and / or polarize the first scattered light beam and, respectively, the second scattered light beam;
  • the computer is configured to retain the first part of the Raman scattering spectrum and the second part of the Raman scattering spectrum and to constitute a set of parts of Raman spectra or to combine the first part of the Raman spectrum and the second part of the Raman spectrum; reconstructing an extended Raman spectrum and / or increased spectral resolution in relative wavenumber;
  • the computer is adapted to generate a first, respectively second, part of the hyper Raman scattering spectrum in a first, respectively second, hyper Raman displacement spectral domain in relative wave number, in which the first relative wave number is equal to the difference between a product of an integer n and the first excitation wave number and the first observation wave number, the second relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the first excitation wave number and the second observation wave number, the third relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the second wavenumber excitation number and the first observation wave number, the fourth relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the second excitation wave number and the second x number of observation wave, the integer multiple n being greater than or equal to two;
  • a detection filter configured to cut the first excitation wavelength and / or the second excitation wavelength
  • the filter in detection comprises at least one high-pass filter, a low-pass filter or a band-pass filter or a combination of said filters;
  • the spectral separation system comprises a spectrometer based on diffraction grating (s), prism (s) and / or grism (s) or a spectrometer comprising a combination of diffraction grating (s) and / or prism (s) and / or grism (s);
  • the spectral separation system comprises an interference filter and / or an interferometer
  • the detection system comprises a single-channel detector or a one-dimensional linear detector or a two-dimensional matrix detector.
  • the invention also proposes a Raman spectrometry method comprising the following steps:
  • FIG. 1 provides a schematic representation of the various elements of a Raman spectrometry apparatus according to the invention
  • FIG. 2 provides an example of an instrumental configuration of the Raman spectrometry apparatus according to the invention
  • FIG. 3 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wavenumber for several proposed excitation wavelengths
  • FIG. 4 represents an example of several portions of Raman scattering spectra in Stokes configuration, acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the observation wavelength;
  • FIG. 5 represents an example of Raman scattering spectrum portions in Stokes configuration calculated from the spectral portions of FIG. 4 and represented as a function of the Raman displacement expressed in relative wavenumber;
  • FIG. 6 represents an example of several parts of Raman scattering spectra in anti-Stokes configuration, acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the wavelength. observation;
  • FIG. 7 represents the examples of Raman scattering spectrum parts in anti-Stokes configuration calculated from the spectral portions of FIG. 6 acquired at different excitation wavelengths, and represented as a function of the Raman displacement expressed in FIG. relative wave number;
  • FIG. 8 represents an example of hyper Raman scattering spectrum parts in Stokes configuration, acquired at different excitation wavelengths and represented as a function of the observation wavelength;
  • FIG. 9 represents the examples of Stokes hyper-Raman scattering spectrum parts calculated from the spectral portions of FIG. 8 and represented as a function of the Raman displacement expressed as a relative wavenumber;
  • FIG. 10 proposes another schematic representation of the different elements of a Raman spectrometry apparatus according to the invention.
  • FIG. 11 represents an example of several parts of Raman scattering spectra acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the wavelength of observation;
  • FIG. 12 represents an example of Raman scattering spectrum parts calculated from the spectral portions of FIG. 11 and represented as a function of the Raman displacement expressed in relative wavenumber;
  • FIG. 13 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wavenumber for several proposed excitation wavelengths and several spectral separation systems, the x-axis being in wavelength;
  • FIG. 14 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wave number of FIG. 13 for several proposed excitation wavelengths and several spectral separation systems, the x-axis being in wave number relative.
  • v is the wavenumber, expressed in cm 1 and l is the wavelength expressed in nm.
  • the Raman effect consists of the inelastic scattering of photons by a material, a solution or a gas.
  • the Raman shift or Raman shift is always expressed as a difference in wave numbers, here noted Nv Raman .
  • the Raman displacement is equal to the difference between a wave number corresponding to the wavelength of the excitation incident light beam and a wavenumber corresponding to a wavelength in a spectral observation interval.
  • the Raman displacement in wavenumber referred to herein as the relative wave number, of the excitation with respect to the observation, is given by the following formula:
  • difference or difference in wave numbers Dn Ka7hah expressed in relative wavenumber (in cm 1 ) corresponds to the Raman shift or Raman shift
  • ⁇ t exc corresponds to the excitation wavelength
  • ⁇ obs corresponds to a wavelength in the spectral observation interval, at and at exc obs being expressed in nm.
  • the negative values of Dn Ka7hah correspond to the anti-Stokes Raman scattering and the positive values of ⁇ v Raman correspond to the Raman Stokes scattering.
  • the relative wave number is thus formed by the difference between an integer multiple of the excitation wave number and the observation wave number:
  • Av Ram an n - v e xc ⁇ v 0 bs (3), with n 3 2.
  • Raman spectral domain A Raman shift or Raman shift spectral domain, hereinafter referred to as the Raman spectral domain, is defined as a relative wavenumber.
  • Figure 1 provides a schematic representation of the elements of a Raman spectrometer apparatus 1 according to the invention.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 comprises a source system 2, an optional polarization device 4, an optional optical system 3 for guiding and / or focusing and / or collimation and / or beam shaping, a spectral separation system 8, a detection filter 9, a detection system 10 and a computer 12.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 is intended to to characterize a sample 6.
  • the source system 2 is adapted to generate an incident excitation light beam at at least a first excitation wavelength, denoted by exCi and at a second excitation wavelength exC2 .
  • the source system 2 comprises a plurality of monochromatic laser sources 21, 22.
  • the first laser source 21 generates an excitation light beam at the first excitation wavelength ⁇ exCl ,
  • the source system 2 comprises a wavelength tunable laser source. According to another alternative, the source system 2 comprises a plurality of wavelength tunable sources. According to another alternative, the source system 2 comprises a selected multi-wavelength source. The source system 2 generates an incident light beam of continuous or pulsed excitation.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 comprises a polarization device 4.
  • the polarization device 4 can be integrated in the source system 2 or separated from the source system 2. This polarization device 4 is described below, in connection with FIG. with the application to the Raman Optical Activity Measurement (ROA).
  • ROA Raman Optical Activity Measurement
  • the Raman spectrometry apparatus 1 comprises an optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam.
  • the optical system 3 may be integrated at least in part with the source system 2 or separated from the source system 2.
  • the incident light excitation beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam.
  • the optical system 3 is configured to direct and adapt the light beam to the sample 6.
  • the optical system 3 may comprise a set of lenses and / or mirrors and / or an optical fiber and / or a set of optical fibers.
  • the optical fiber used is a hollow fiber which makes it possible to limit the parasitic signals during the transmission of the light beam.
  • the optical system 3 may comprise a confocal optical device with a mirror and / or a microscope objective.
  • the incident light beam excitation at the first excitation wavelength is diffused by the sample 6 and generates a first scattered light beam.
  • the name "light beam scattered by the sample” will also take into account the case of scattered light beams regardless of the direction of observation, particularly the example of light beams backscattered by opaque samples by example.
  • the incident light beam excitation at the second excitation wavelength is scattered by the sample and generates a second scattered light beam.
  • a collection optical system 7 can make it possible to collect the light beam scattered by the sample 6.
  • the collection optical system 7 can be confused with the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and shaping the beam.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 comprises a spectral separation system 8 adapted to receive and spectrally separate the light beam scattered by the sample 6.
  • the spectral separation system 8 comprises a network-based spectrometer ( x) diffraction (or "diffraction grating" according to the English terminology) or a spectrometer based prism (s) or a spectrometer based on grism (s) or a spectrometer comprising a combination of network (s) of (x) diffraction and / or prism (s) and / or grism (s).
  • the light beam scattered by the sample 6 is thus dispersed spatially at its different wavelengths.
  • the spectral separation system 8 can also comprise one or more band-pass or interference filters and / or an acousto-optical adjustable filter (or AOTF for "Acousto-Optic Tunable Filters” according to the English terminology). Saxon) and / or an interferometer generally limited in spectral domain. In the case of a interferometer, the different wavelengths of the scattered light beam are separated by interferometry.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 also comprises at least one detection filter 9 disposed between the sample and the spectral separation system 8 in the path of the first, respectively, second scattered light beam.
  • the filter 9 is generally placed after the collection optical system 7. This filter 9 intersects the first excitation wavelength ⁇ exCi and the second excitation wavelength exC2 , thus suppressing the Rayleigh scattering of said scattered light beams. .
  • This filter 9 passes all the wavelengths of the spectral observation interval.
  • the use of the filter 9 differs from known prior art devices in which is preferably used a notch filter (or "notch filter” according to the English terminology used), narrowband filter (of the order of few nanometers) centered on a determined excitation wavelength in order to eliminate it from the collected signal.
  • the filter 9 may be a high-pass filter for observing Raman Stokes scattering.
  • the filter has a cut-off wavelength located strictly between the highest excitation wavelength, for example ⁇ exCl , and the lowest observation wavelength ⁇ .
  • the filter 9 may be a low-pass filter for the observation of anti-Stokes Raman scattering.
  • the filter 9 may be a bandpass filter for the simultaneous observation of Raman Stokes and anti-Stokes scatterings. In the case of simultaneous observation of Raman Stokes and anti-Stokes scatterings, an additional jet-type filter centered on the excitation wavelength is used to filter the excitation wavelength in question. .
  • rejection filter only makes it possible to block the excitation wavelength in the spectral observation interval. For excitation wavelengths outside the spectral observation range, all the wavelengths outside the observation spectral range are cut off.
  • a rejection filter can also be used only to limit the brightness at the detection system.
  • the first, respectively second, spectrally separated light beam is directed to the detection system 10.
  • the spectral range of observation of the detection system 10 is set. This spectral range of observation extends between a first observation wavelength at obSi and a second observation wavelength at obS2 .
  • Prior art devices of Raman spectrometry using a fixed spectral separation system are generally configured to acquire measurements over the widest spectrum possible in wavelength. According to the configuration of the invention, the width of the spectral observation range is relatively narrow, for example here 130 nm.
  • the detection system 10 comprises a one-dimensional linear detector or a two-dimensional matrix detector, for example a CCD or CMOS-type camera for visible detection. and near-infrared or InGaAs or MCT for infrared detection.
  • the spectral separation system 8 comprises an interference filter, possibly combined with a bandpass filter.
  • the detection system 10 then comprises a detector allowing a temporal tracking of the interference signal on this detector.
  • temporal tracking of the signal is meant an interference system in which a mirror is moved as a function of time to observe the interference fringes. The Raman spectrum in relative wavenumber is reconstructed by Fourier transform from the interferogram.
  • the detection system 10 generally comprises a detector that makes it possible to convert the photons that it receives from the scattered beam into electrons and to accumulate these electrons.
  • the detection system 10 usually includes an analog-to-digital converter adapted to count the accumulated electrons and convert these measurements into numerical values.
  • the detection system 10 thus records in the form of numerical values a first, respectively second, Raman scattered signal, hereinafter called Raman signal, associated with the first, respectively second, scattered light beam and separated spectrally by the spectral separation system 8 in the selected spectral range of observation.
  • a calculator 12 is adapted to receive the first, respectively second, registered Raman signal as numerical values.
  • the computer 12 is adapted to generate a first, respectively second, spectrum of the Raman signal, also called Raman spectrum part in the following, depending on the excitation wavelength and the selected spectral range of observation wavelength [A ofcSl A ofcs J.
  • the computer 12 is adapted to calculate a first, respectively second, part of the Raman scattering spectrum as a function of the relative wave number calculated with respect to the first excitation wave number v exCi , respectively to the second wave number. of excitation v exC2 , associated with the incident light beam of excitation.
  • This first, respectively second, part of the Raman spectrum is calculated in a first, respectively second, Raman spectral domain, expressed as a relative wavenumber depending on the excitation wavenumber and the observation spectral interval, expressed wavenumber [OBS2 v, v J obs.
  • the first Raman spectral domain extends between a first relative wave number corresponding to the difference between the first excitation wave number v exCi and the number of maximal observation wave v obSi and a second relative wave number Dn 2 corresponding to the difference between the first excitation wave number v exCi and the minimum observation wave number v obS2 .
  • the second Raman spectral domain extends between a third relative wave number Dn 3 corresponding to the difference between the second excitation wave number v exC2 and the number maximum observation waveform v obSi and a fourth relative wave number Dn 4 corresponding to the difference between the second excitation wave number v exC2 and the minimum observation wave number v obS2 .
  • the computer converts the first, respectively second, Raman signal expressed in wavelength into a first, respectively second, part of the Raman spectrum expressed as a relative wavenumber.
  • the first Raman spectral domain and the second Raman spectral domain are different in relative wavenumber.
  • the first Raman spectral domain and the second Raman spectral domain may be disjoint or partially overlapping.
  • Prior art devices of Raman spectrometry generally use a single excitation wavelength and adapt the system of spectral separation and / or the detection system to obtain a Raman spectrum expressed as a function of the largest possible relative wave number.
  • different excitation wavelengths are used in combination preferably with a single detection filter or possibly in some cases with several detection filters.
  • the detection filter or filters may remain fixed despite the change in excitation wavelength.
  • a relatively narrow spectral observation interval then makes it possible to obtain as many different parts of the Raman spectrum on different spectral domains in relative wavenumber as excitation wavelengths, then allowing the reconstruction of an extended Raman spectrum. and / or possibly with a high spectral resolution by adapting the spectral separation system 8.
  • the device according to the invention also makes it possible to obtain some parts of specific Raman spectra with a high spectral resolution and / or remote from each other in number relative wave.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 described above makes it possible to implement the following method of characterizing a sample by Raman spectrometry.
  • the source system 2 generates a first excitation incident light beam at a first excitation wavelength ⁇ exCi which corresponds to a first excitation wavenumber v exCl .
  • a first excitation wavelength 785 nm, as the first example shown in Figure 2 (top).
  • the first excitation light beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimation and / or focusing and / or shaping before being diffused by the sample 6 to be characterized.
  • a first scattered light beam, formed by diffusion of the first excitation incident light beam on the sample 6, is propagated after the sample 6 towards the detection filter 9.
  • this filter 9 blocks the first length of the light. ExCi excitation wave , thus suppressing Rayleigh scattering.
  • the first scattered light beam is then directed to the spectral separation system 8 which generates a first spectrally separated scattered light beam.
  • the first scattered light beam separated spectrally is analyzed by the detection system 10.
  • the detection system 10 records a first Raman signal associated with the first scattered light beam.
  • This first Raman signal is detected in a spectral wavelength observation interval.
  • This spectral observation interval extends between a first observation wavelength At obSi and a second observation wavelength obS2 .
  • the observation spectral interval can be expressed as a wavenumber, with v obS1 the first observation wavenumber and v obS2 the second observation wavenumber.
  • the filter 9 passes all the wavelengths contained in this spectral observation range and blocks the excitation wavelengths.
  • a complementary filter is used in order to further filter each excitation wavelength and to avoid any parasitic signals at the level of the detection system 10.
  • FIG. spectral range of observation defined by the spectral separation system 8 extends between 790 nm and 920 nm.
  • the detection filter 9 is represented by a dashed line.
  • the computer 12 determines a first wavelength Raman spectrum from the first Raman signal in the observation spectral range, in the examples of FIGS. 2 and 3, between 790 nm and 920 nm.
  • the computer 12 generates a first portion of Raman spectrum expressed as a function of the relative wave number Dn Ka7hah , itself a function of the first excitation wave number v exCi and the spectral observation interval (on the examples Figures 2 and 3, between 790 nm and 920 nm).
  • the computer converts the first Raman signal expressed in wavelength into a first portion of Raman spectrum expressed in relative wavenumber.
  • Dn- L ⁇ exc 1 ⁇ ⁇ obs 1
  • Dn 2 v exCi -v obS2 .
  • the source system 2 is adapted to generate a second excitation incident light beam at a second excitation wavelength exC2 corresponding to a second excitation wave number v exC2 .
  • Said second excitation wavelength is different from the first excitation wavelength at exC2 1 to exCi .
  • the second excitation wavelength 690 nm, as the second example shown in Figures 2 and 3 (second line from the top in Figures 2 and 3).
  • the difference between the first excitation wavelength and the second excitation wavelength is between a few nm and a few hundred nm.
  • the second excitation incident light beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimation and / or focusing and shaping then to the sample 6 to be characterized.
  • a second scattered light beam is formed by diffusion, by the sample 6, of the second excitation incident light beam.
  • the second scattered light beam is then filtered by the detection filter 9 and separated by the spectral separation system 8, and finally directed towards the detection system 10.
  • This detection system 10 measures and records a second Raman signal associated with the second scattered and spectrally separated light beam.
  • This second Raman signal is detected in the same wavelength observation spectral range, which extends for the examples of FIGS. 2 and 3 between 790 nm and 920 nm.
  • the detection system 10 then converts the Raman signals into numerical values.
  • the calculator 12 calculates a second part of the Raman spectrum associated with the second signal scattered in a second Raman spectral domain, expressed in terms of wavenumber relative to Raman as a function of the second number. spectral observation in wavenumber.
  • the computer converts the second Raman signal expressed in wavelength into a second part of Raman spectrum expressed in relative wavenumber.
  • the computer 12 retains the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to form a set of Raman spectra portions that can be processed later. It can also keep in this game the information of the wavelengths of excitation and the wavelength observation domain (s).
  • the various parts of conserved Raman spectra are for example preserved in the form of vectors comprising the wavelength, the wave number, the intensity and the intensity of the background signal.
  • the computer 12 combines the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to reconstitute a Raman scattering spectrum over a relative wavelength-extended spectral domain (see the example illustrated in FIG. Figs. 11-12) and / or a spectral range with increased spectral resolution (see the example shown in Figs. 13-14).
  • This combination is done in different ways. It can be accomplished by grossly assembling the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to form a single Raman scattering spectrum. This scattering spectrum obtained may be continuous or discontinuous, depending on the continuity or discontinuity of the spectral domains of sampled Raman scattering spectrum portions.
  • a correction can be made to the different parts of Raman scattering spectra before their assembly.
  • the correction may relate to a compensation of a background signal by subtracting the background signal from the signal associated with each part of the Raman scattering spectrum. It can also be a correction of the intensity Raman scattering spectrum parts taking into account the detection system 10 (previously calibrated with a test sample), the energy associated with the source system 2, the size the focal point of the source system 2 at a point of observation, the volume or the surface of the sample 6 to be characterized or the excitation wavelength.
  • the signal associated with the corrected spectrum is obtained by dividing the signal associated with each part of the Raman scattering spectrum and corrected by background signal by the volume of the sample 6.
  • a gain in intensity as a function of the signal obtained at a new excitation wavelength l ⁇ with respect to a reference excitation wavelength 1, which is expressed as follows: l, 4 / l 4 .
  • the Raman spectrum portion obtained at the excitation wavelength can thus be corrected with respect to the portion of the Raman spectrum obtained at the excitation wavelength I, with the gain factor indicated above.
  • the Raman scattering spectrum portion when an overlap is observed between the first Raman scattering spectrum portion and the second Raman scattering spectrum portion, an average of the two Raman scattering spectrum portions is calculated and used for the final spectrum in the Raman scattering spectrum portion. recovery.
  • the Raman scattering spectrum portion having the best signal to noise ratio can be used. Outside the overlap area, each part of the Raman scattering spectrum is conserved, not corrected according to the possibilities introduced previously.
  • FIGS. 11 and 12 show, for example, that when using three excitation wavelengths of 532 nm, 561 nm and 633 nm in combination with the same spectral separation and detection system limited to a spectral domain of FIG. extending from 630 nm to 740 nm, the Raman scattering spectrum (also called extended Raman spectrum or composite multispectral Raman spectrum) obtained by the combination of three parts of Raman spectra extends over a spectral range in relative wavenumber. between about 100 cm 1 and 5200 cm 1 .
  • the combination of the Raman scattering spectrum portions according to the invention also has the advantage of improving the spectral resolution in a determined Raman spectral domain.
  • FIGS. 13 and 14 show that the use of a spectral separation system with a finer pitch diffraction grating, for example of 1200 or 1800 lines / mm, associated with the use of several excitation wavelengths , improves the spectral resolution of the Raman scattering spectra.
  • the spectral domain over which the reconstituted Raman scattering spectrum extends remains relatively large even though it may have certain discontinuities.
  • the detection system detects for example N pixels between 635 nm and 1003 nm. This system makes it possible to obtain a Raman spectrum extending between 100 cm 1 and 5828 cm 1 but requires a sensitive spectrometer in the near infrared.
  • Figures 13 and 14 show for example the use of a diffraction grating spectral separation system, for example 1200 lines / mm, with a first excitation wavelength of 633 nm, we acquire a first part between 635 nm and 798 nm, and with a second excitation wavelength of 561 nm, a second spectrum portion is acquired in the same spectral window between 635 nm and 798 nm.
  • a first portion of Raman spectrum extending in wavelength between 100 cm 1 and 3266 cm 1 and a second portion of spectrum Raman extending in wavenumber between 2127 cm 1 and 5294 cm 1 are acquired. .
  • the reconstituted Raman scattering spectrum obtained by combining the first and second Raman spectral portions extends over a spectral domain then extending in relative wavenumber between 100 cm 1 and 5294 cm 1 with an approximate spectral resolution. double that obtained with the single excitation wavelength of 633 nm, the diffraction grating of 600 lines / mm while using a narrower detection system in wavelength with a better detectivity on the domain, here in the visible, so more standard and less expensive.
  • FIGS. 13-14 show, for example, the use of a diffraction grating spectral separation system, for example 1800 lines / mm with three excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm and 532 nm.
  • a first excitation wavelength of 633 nm a first spectrum portion is acquired between 635 nm and 718 nm
  • a second excitation wavelength of 561 nm a second spectrum portion is acquired in the the same spectral window between 635 nm and 718 nm
  • a third excitation wavelength of 532 nm is acquired a third spectrum portion in the same spectral window between 635 nm and 718 nm.
  • a first portion of Raman spectrum extending in wavelength between 100 cm 1 and 1870 cm 1 is acquired, a second portion of Raman spectrum extending in wavenumber between 2127 cm 1 and 3898 cm 1 and a third portion of Raman spectrum extending in wavenumber between 3098 cm 1 and 4869 cm 1 .
  • the Raman scattering spectrum reconstituted (also called composite multispectral Raman spectrum) obtained by the combination of the first, second and third parts of Raman spectra extends over a spectral range extending in relative wavenumber between 100 cm 1 and 1870 cm 1 and between 2127 cm 1 and 4869 cm 1 with a spectral resolution approximately triple that obtained with a single excitation wavelength of 633 nm, a diffraction grating of 600 lines / mm and using a field of observation or a control system. more limited detection in wavelength, here in the visible, so simpler, more efficient and less expensive.
  • the known devices for Raman spectrometry generally use a single source at a single fixed excitation wavelength. There is then obtained at once a Raman the widest possible spectrum wavenumber relative [Av min, Av max].
  • the other known configuration uses a mobile spectral separation system, for example based on a mobile diffraction grating, and makes it possible to obtain in several times a Raman spectrum better solved and extended.
  • ROA Raman Optical Activity
  • the method of the invention makes it possible to obtain an extended Raman spectrum towards the high wavenesses by modifying only the excitation wavelength of the incident light beam: each excitation wavelength generates a portion of Raman spectrum in a different spectral range in relative wavenumber.
  • a chosen set of these different parts of the Raman spectrum makes it possible to reconstruct the extended Raman spectral domain.
  • the detection filter 9, the polarization device, the polarization analyzer and the spectral separation system 8 can remain fixed. This same extended domain of reconstituted Raman spectrum can be obtained with greater spectral resolution in relative wavenumber, by increasing the resolution of the original spectral separation system.
  • the source system 2 may be adapted to generate more than two incident light beams of excitation.
  • five incident excitation light beams with five excitation wavelengths of 785 nm, 690 nm, 633 nm, 532 nm and 488 nm, respectively, are generated either sequentially, either simultaneously but spatially shifted on a two-dimensional detection system.
  • the method applied to each of the different excitation wavelengths makes it possible to generate five parts of Raman spectrum according to the relative wavenumber (or Raman shift Dn Ka7hah ) of the spectral interval of observation to each incident light beam. excitation (v exc ).
  • FIG. 2 shows that, according to an exemplary embodiment, the detection filter 9 remains unchanged when the excitation wavelengths are modified.
  • the detection filter 9 changes as a function of the excitation wavelength. As shown in FIG. 2, it is the specific features of the instrumental configuration combining different excitation wavelengths, at least one detection filter 9 and a preferably fixed observation spectral interval, which make it possible to observe a domain extended Raman spectral, decomposed in parts, or according to another choice, to rapidly observe Raman spectral domains distant from each other with a high spectral resolution.
  • the Raman spectral domains associated with these spectrum portions extend respectively for the five excitation wavelengths of the example above: between 81 cm 1 and 1869 cm 1 , between 1835 cm 1 and 3623 cm 1 , between 3140 cm 1 and 4929 cm 1, between 6138 cm 1 and 7928 cm 1 and between 7833 cm 1 and 9623 cm 1.
  • the use of a plurality of incident excitation wavelengths makes it possible to reconstruct an extended spectral range towards the high wavenumbers.
  • FIG. 3 shows the different parts of spectra that make it possible to reconstitute a Raman spectral domain with a relative wavenumber between 80 cm 1 and 9623 cm 1 .
  • FIGS. 13 and 14 show the different spectral parts that make it possible to reconstitute a Raman spectral domain with a relative wavenumber between 100 cm 1 and 5828 cm 1 .
  • the measurements carried out towards the high wavenesses make it possible in particular to observe the modes of combinations, of the elongation modes CH, NH and OH, but also of harmonic modes (or “overtones" according to the English terminology sometimes used ) in these high frequencies, and this with increased efficiency in our embodiment, because the Raman intensity is proportional to the power of 4 of the inverse of the excitation wavelength, and therefore increases when a shift from red to blue, that is to say towards shorter wavelengths. This is also the case for higher order harmonic modes in very high frequencies.
  • Another example of reconstituted Raman spectral domain is proposed in the following Table I. In this example, the spectral range of observation extends between 535 nm and 615 nm.
  • the width of the spectral observation range of 80 nm is here less than 100 nm.
  • the source system 2 is adapted to sequentially generate five excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm, 532 nm, 488 nm and 473 nm, respectively.
  • the lower and upper bounds of each Raman spectral domain in relative wavenumber are calculated from the aforementioned formula (1).
  • Tables I and II summarize the relative wavelength Raman spectral domains obtained for two spectral observation ranges, between 535 nm and 615 nm for Table I and between 790 nm and 920 nm for Table II:
  • FIG. 4 represents an example of Raman scattering spectra for the Stokes configuration obtained using the Raman spectrometry method described above.
  • the ordinate axis corresponds to the intensity of the electronic signal recorded by the detection system in arbitrary units (u. A.).
  • the abscissa axis corresponds to the observation wavelength (in nm).
  • the different curves are associated with different excitation wavelengths of 700 nm, 710 nm, 720 nm, 730 nm, 740 nm and 750 nm, respectively.
  • the spectral range of observation ranges here between 760 nm and 880 nm.
  • the width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 120 nm.
  • FIG. 5 represents an example of Raman scattering spectrum parts, for the Stokes configuration, in relative wavenumber corresponding to the wavelength spectra of FIG. 4.
  • the ordinate axis corresponds to the intensity of the signal electronic recorded by the detection system in arbitrary units (ua).
  • the abscissa axis corresponds to Raman displacement in relative wavenumber (in cm 1 ).
  • Each spectrum portion shown in FIG. 5 corresponds to a spectrum shown in FIG. 4.
  • the spectrum portions of FIG. 5 are generated by the Raman displacement calculator in relative wavenumber for the same spectral observation interval as that of Figure 4 with respect to the different excitation wavelengths.
  • the configuration of the spectral separation system and the detection system remains the same for all excitation wavelengths.
  • the spectral range of all the Raman spectrum portions here ranges from about 0 cm 1 to 2800 cm 1 .
  • FIG. 11 represents another example of Raman scattering spectral spectra obtained using the Raman spectrometry method described previously.
  • the different curves are associated with different excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm and 532 nm, respectively.
  • the spectral range of observation extends here between 630 nm and 740 nm.
  • the width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 110 nm.
  • FIG. 12 represents an example of relative wave number Raman scattering spectrum portions corresponding to the wavelength spectra of FIG. 11. Each spectrum portion shown in FIG. 12 corresponds to a spectrum shown in FIG. 11. The spectrum portions of FIG. 12 are generated by the Raman shift calculator in relative wavenumber for the same spectral observation interval as that of FIG. 11 with respect to the different excitation wavelengths.
  • a first part of Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 633 nm extends between 100 cm 1 and about 2300 cm 1 ; a second portion of Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 561 nm extends from 2100 cm 1 and 4300 cm 1 and a third portion of the Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 532 nm extends between about 3000 cm 1 and 5300 cm 1 .
  • the configuration of the spectral separation system and the detection system remains the same for all excitation wavelengths.
  • the spectral range of all the Raman spectrum portions here ranges from about 0 cm 1 to 5300 cm 1 .
  • the use of four excitation wavelengths of 785 nm, 685 nm, 633 nm and 561 nm makes it possible to obtain four parts of Raman spectra of chloroform and the computer makes it possible to conserve this play four parts of Raman spectra for later processing or combine these four parts of Raman spectrum to reconstitute a Raman spectrum extending from 100 cm 1 up to 7000 cm 1 .
  • FIGS. 6 and 7 represent examples of Raman spectrum for the anti-Stokes configuration, as a function of the observation wavelength for FIG. 6 and as a function of the relative wavenumber for FIG. 7.
  • the ordinate axis corresponds to the intensity of the Raman signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua).
  • spectra were obtained for an observation spectral range extending between 660 nm and 780 nm, with a spectral separation system by diffraction grating, for example 830 lines / mm, and a detection system comprising a CCD camera. for example 2048 pixels.
  • the width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 120 nm.
  • the different curves are associated with different excitation wavelengths respectively of 788 nm, 800 nm, 820 nm and 850 nm.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to measure non-linear Raman effects such as Hyper Raman, stimulated Raman, and anti-Stokes Raman scattering (CARS).
  • the Raman spectrometer 1 can be used to measure the Hyper Raman effect at 2 photons or more generally at n photons, where n is a natural number greater than or equal to 2.
  • the source system 2 generates an incident light beam of excitation at an excitation wavelength noted at exc .
  • the calculator 12 is adapted to generate a portion of the Raman spectrum in an observation spectral interval, said spectral observation interval extending beside a wavelength corresponding to a fraction 1 / n of the length of the spectrum.
  • an additional filter is disposed in the apparatus between the sample 6 and the detection system 10, to cut the corresponding wavelength that fraction 1 / n of the excitation wavelength.
  • the computer 12 is adapted to generate a 2-photon Hyper Raman spectrum portion in a relative wavenum spectral domain:
  • the relative wave number for the 2-photon hyper-Raman signal is here equal to the difference between twice the excitation wave number and the observation wave number.
  • the relative wave number is thus formed of a linear combination of the excitation wave number and the observation wave number.
  • FIG. 8 represents an example of Hyper Raman scattering spectra obtained using the variant of the Raman spectrometry method described in the preceding paragraph.
  • the ordinate axis corresponds to the intensity of the Raman signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua).
  • the abscissa axis corresponds to the observation wavelength (in nm).
  • the different curves are associated with different excitation wavelengths of 1160 nm, 1180 nm, 1210 nm, 1240 nm, 1270 nm and 1300 nm, respectively.
  • the spectral range of observation here ranges between 635 nm and 705 nm.
  • the width of the spectral range of observation is here limited to about 70 nm for most spectra.
  • a Raman spectrum of about 200 nm is shown for a spectrum at the excitation wavelength of 1300 nm, rotating the diffraction grating.
  • These different spectra were obtained with a spectral separation system by diffraction grating, for example 1800 lines / mm and a detection system comprising a CCD camera, for example 2048 pixels.
  • FIG. 9 represents an example of parts of the Hyper Raman scattering spectrum of relative wavenumber.
  • the ordinate axis corresponds to the intensity of the electronic signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua).
  • the x-axis corresponds to the Raman displacement in relative wavenumber (in cm 1 ) in the two-photon hyper-Raman configuration (deduced from formula (3)).
  • the spectrum portions shown in FIG. 9 correspond to the spectra shown in FIG.
  • the computer 12 generates the spectrum portions of FIG. 9 in relative wavenumber of the spectral observation interval of FIG. 8 with respect to each excitation wavelength, the configurations of the spectral separation systems and detection being identical.
  • the Raman spectral domain (deduced from formula (3)) here extends in relative wavenumber from - 200 cm 1 to 3300 cm 1 .
  • the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to perform Raman Optical Activity (or ROA) measurements.
  • the sample 6 to be analyzed is then either chiral, or of primary or secondary chiral structure.
  • the measurement of the ROA spectrum is based on a difference of Raman signals resulting from a polarization modulation of the beam bright incident of excitation and / or scattered light beam.
  • Figure 10 provides a schematic representation of the different elements of a Raman spectrometry apparatus 100 as part of Raman Optical Activity measurements. The elements common to Figures 1 and 10 have the same references and will not be described again below.
  • the source system 2 generates a first incident light beam excitation at a first excitation wavelength.
  • the incident excitation light beam is directed towards a polarization device 4.
  • Said polarization device 4 comprises, for example, a polarizer and / or a prism or a half-wave or quarter-wave delay plate adapted to polarize the light beam.
  • excitation incident is according to at least two different polarization states, for example orthogonal to each other such as for example two circular or elliptic polarization states, or in a linear polarization of random direction perpendicular to the propagation axis simulating an unpolarized beam .
  • the incident light beam of excitation thus polarized by the polarization device 4 is then directed towards the sample 6 to be characterized.
  • the Raman spectrometry apparatus 100 further comprises a polarization analyzer 7 adapted to analyze the filtered light beam.
  • the polarization analyzer 7 comprises a right and / or left circular polarization diffuser or selector or a right and / or left elliptic polarization selector or a linear polarization separator located after a linear polarization circular polarization converter, for example a quarter wave plate.
  • the polarization analyzer 7 can be positioned before the polarization analyzer 7. filter in detection 9.
  • the first excitation light beam at a first excitation wavelength polarized in a first polarization leads to the recording of a first Raman signal.
  • the polarization device 4 is configured to modify the polarization state of the incident light beam excitation and / or scattered, for example in the first place in a left circular polarization. According to the method of Raman spectrometry described above, a second excitation light beam at this first excitation wavelength and polarized according to a second polarization leads to the recording by the detection system 10 of a second Raman signal.
  • the computer 12 is adapted to generate a third Raman signal, said spectrum of Raman Optical Activity, this third signal corresponding to the difference of the first Raman signal and the second Raman signal or, in another configuration, to a linear combination of a a set of Raman spectra of different polarizations, expressed as the relative wavenumber of the excitation v exCi with respect to the spectral range of observation [v obS2 , v obSl ].
  • the source system 2 is adapted to generate at least two different excitation wavelengths.
  • the method applied for each of the different excitation wavelengths makes it possible to generate at least two portions of the Raman optical activity spectrum as a function of the relative wave number of the spectral observation interval with respect to the number of wave corresponding to the excitation light beam, without changing the polarizing optical components.
  • the use of multiple incident excitation wavelengths makes it possible either to reconstruct an extended spectral domain towards high wavenumbers, or to rapidly observe Raman spectral domains that are well resolved and remote from one another. Both solutions make it possible to complete and refine the spectral characterization of the sample 6 studied, for example chirality in the case of the Raman Optical Activity.
  • the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to perform Hyper Raman Optical Activity (or HROA) measurements.
  • HROA Hyper Raman Optical Activity
  • the spectrometry apparatus is declined as the variant of Raman Optical Activity, with a two photon excitation instead of one or at n photons if we observe the higher order nonlinear HROA effect.
  • the Hyper Raman (or HROA) configuration only the excitation and the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam must be adapted for a wavelength of double excitation of that used in the Raman configuration (or ROA).
  • an adapted additional filter can be added to cut the excitation wavelength that can noisy the Raman system, even at a wavelength much greater than the domain observation.
  • the spectral separation system 8 and / or the detection filter 9 and / or the interference system and / or the detection system 10 is adapted to record a Raman spectrum, respectively ROA spectrum, associated with said first light beam scattered and detected in another spectral range of reduced wavelength observation [A ofcS3 A ofcs J with better resolution.
  • a Raman spectrum respectively ROA spectrum
  • another broadcast signal is then detected and thus has a higher accuracy and spectral resolution than the first Raman signal.
  • the computer 12 receives the other of the detection system signal 10 and generates another spectrum from said another broadcast signal according to said wavelength other spectral observation interval [A oi, S3, A oi, s J.
  • the computer 12 is also adapted to generate another part of the Raman spectrum in relative wavenumber as a function of the difference between the first wavenumber associated with the first excitation light beam and the wavenumbers of said spectral range.
  • the spectral accuracy of the Raman scattering spectrum obtained increases.
  • the spectral accuracy increases inversely with the reduction ratio of the wavelength observation spectral interval.
  • a second spectral separation system (not shown) may be added to the path of the light beam after the first spectral separation system 8, which makes it possible to reduce the spectral observation interval and thus to obtain domains Raman spectrals in relatively high relative wavenumber, typically of the order of a few tens of cm 1 .
  • the Raman spectrometry apparatus 1 makes it possible to calibrate a spectral separation system accurately and rapidly at a wavelength.
  • the source system 2 comprises a wavelength tunable laser source, or different discrete wavelengths selected.
  • the source system is calibrated in origin or measured in wavelength with a lambdameter for example.
  • These light beams of excitation whose wavelength is determined, are diffused by a reference sample having one or more fine and well known spectral bands.
  • the change in excitation wavelength makes it possible to scan and calibrate the spectral range of the spectral separation system.
  • the use of the Raman spectrometry apparatus 1 according to the invention then makes it possible to dispense with the spectral calibration lamps.
  • the Raman spectrometry apparatus can relate to all Raman spectrometers, including portable and embedded devices, which work with a fixed spectral observation interval, adapted for measurements on sites, from satellites, since the extraterrestrial probes or in the depths of the oceans. For these different applications, spectral reproducibility and the absence of moving parts is crucial for the durability of instruments and measurements.
  • the Raman spectrometry apparatus in accordance with the invention can also relate to Raman spectrometers for which measurements with high dynamics and high signal-to-noise ratio at high wavenumbers are desired: the spectral range of observation in length of wave for which the spectral separation and detection system is optimized, regardless of the Raman domain probed. In particular, it allows to probe higher order harmonics with very high numbers wavelength, particularly greater than 5000 cm 1. In the same way, the invention also makes it possible to quickly probe with high resolution several Raman spectral domains narrow and far apart in relative wave number with these same efficiency advantages.
  • the present invention makes it possible to probe Raman Stokes spectral domains of relative wavenumber well above the initial observation wavenumber: for example, if the observation is located around 10000 nm (1000 cm 1 ), by exciting at 1000 nm (10000 cm 1), the invention makes it easy to measure a very high wave number spectrum to 9000 cm 1, wherein are located the third harmonics of the CH stretch modes.
  • the present invention retaining essentially the same nm observation range on at least one overlap zone and the optimized efficiency of the spectral separation system and the detection system makes it easy to measure these high relative wave numbers while increasing the Raman effect (proportional to Ml ece ) and always avoiding the fluorescence which remains confined in the same emission spectral domain in nm whatever the exciter wavelength.

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Abstract

The invention relates to a Raman spectroscopy device (1) comprising a source system (2) generating a first excitation light beam at a first excitation frequency, a spectral separation system (8), a system for detection (10) in an observation spectral range, and a computer (12) generating a first part of the Raman scattering spectrum in a first Raman spectral range extending between a first relative wave number and a second relative wave number. According to the invention, the source system is adapted to generate a second excitation light beam at a second excitation frequency different from the first excitation frequency, the computer generating a second part of the Raman scattering spectrum in a second Raman spectral range, expressed as wave number as a function of the same observation spectral range, said second spectral range extending between a third relative wave number and a fourth relative wave number. The invention also relates to a Raman spectroscopy method.

Description

APPAREIL ET PROCÉDÉ DE SPECTROMETRIE RAMAN MULTISPECTRAL COMPOSITE  APPARATUS AND METHOD FOR COMPOSITE RAMAN MULTISPECTRAL SPECTROMETRY
DOMAINE TECHNIQUE AUQUEL SE RAPPORTE L'INVENTIONTECHNICAL FIELD TO WHICH THE INVENTION REFERS
La présente invention concerne de manière générale le domaine de la spectrométrie Raman. The present invention generally relates to the field of Raman spectrometry.
Elle concerne plus particulièrement un appareil et un procédé de spectrométrie Raman.  It relates more particularly to an apparatus and a method of Raman spectrometry.
ARRIERE-PLAN TECHNOLOGIQUE  BACKGROUND
L’observation de domaines spectraux vers les hauts nombres d’onde par spectrométrie Raman (on parle de spectrométrie Raman aux hautes fréquences) nécessite en général des réglages impliquant de déplacer les composants optiques ou l’utilisation d’autres composants optiques, ou suivant le cas, de systèmes de détection plus adaptés augmentant la complexité et donc le coût de l’appareil. Ces systèmes conventionnels de spectrométrie Raman sont en général limités en résolution spectrale et/ou dans les domaines spectraux observés.  The observation of spectral domains towards high wavenumbers by Raman spectrometry (referred to as high frequency Raman spectrometry) generally requires adjustments involving the displacement of optical components or the use of other optical components, or following the case, more suitable detection systems increasing the complexity and therefore the cost of the device. These conventional systems of Raman spectrometry are generally limited in spectral resolution and / or in the observed spectral domains.
D’après les dispositifs connus, il est possible d’obtenir une bonne résolution spectrale en restreignant le domaine spectral. L’utilisation d’un spectromètre avec un système dispersif mobile permet ensuite de sonder successivement tout le domaine spectral. En général, cette configuration induit une baisse de détectivité du système de détection aux très hauts nombres d’onde (supérieurs à 4000 cm 1). From the known devices, it is possible to obtain a good spectral resolution by restricting the spectral range. The use of a spectrometer with a mobile dispersive system then makes it possible to successively probe the entire spectral domain. In general, this configuration induces a decrease in detectivity of the detection system at very high wavenumbers (greater than 4000 cm 1 ).
Une autre configuration connue consiste à choisir un système de séparation spectrale fixe pour tout le domaine spectral mais avec une résolution spectrale plus faible.  Another known configuration consists of choosing a fixed spectral separation system for the entire spectral domain but with a lower spectral resolution.
Une autre configuration encore consiste à utiliser un masque comprenant un jeu de fentes devant le système de détection pour affiner la résolution, et de décaler successivement ce masque pour résoudre le spectre sur tout le domaine spectral.  Yet another configuration is to use a mask comprising a set of slots in front of the detection system to refine the resolution, and successively shift this mask to solve the spectrum over the entire spectral range.
Cette technologie s’applique à un appareil de spectrométrie Raman, pour lequel il est souhaitable d’étendre le domaine spectral et/ou d’augmenter la résolution spectrale, tout en maintenant la compacité, la simplicité et par conséquent son coût et sa solidité mais aussi sa reproductibilité.  This technology applies to a Raman spectrometry apparatus, for which it is desirable to extend the spectral range and / or increase the spectral resolution, while maintaining the compactness, simplicity and therefore its cost and strength but also its reproducibility.
OBJET DE L’INVENTION  OBJECT OF THE INVENTION
Afin de remédier aux inconvénients précités de l’état de la technique, la présente invention propose un appareil de spectrométrie Raman. In order to overcome the aforementioned drawbacks of the state of the art, the The present invention provides a Raman spectrometry apparatus.
Plus particulièrement, on propose selon l’invention un appareil de spectrométrie Raman pour caractériser un échantillon, l’appareil comprenant un système de source générant un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation, un système de séparation spectrale recevant un premier faisceau lumineux diffusé formé par diffusion dudit premier faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon et séparant spectralement ledit premier faisceau lumineux diffusé, un système de détection permettant d’enregistrer un premier signal Raman associé audit premier faisceau lumineux diffusé et détecté dans un intervalle spectral d’observation en longueur d’onde s’étendant entre une première longueur d’onde d’observation et une deuxième longueur d’onde d’observation, un calculateur recevant le premier signal Raman dudit système de détection et générant une première partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit premier domaine spectral Raman s’étendant entre un premier nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un deuxième nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation.  More particularly, it is proposed according to the invention a Raman spectrometry apparatus for characterizing a sample, the apparatus comprising a source system generating a first incident light beam excitation at a first excitation wavelength, a system of spectral separation receiving a first scattered light beam formed by scattering said first incident excitation light beam onto the sample and spectrally separating said first scattered light beam, a detection system for recording a first Raman signal associated with said first scattered light beam and detected in a spectral wavelength observation range extending between a first observation wavelength and a second observation wavelength, a computer receiving the first Raman signal of said detection system and generating a first part of Raman spectrum in function Raman displacement in a first Raman spectral domain in relative wavenumber, said first Raman spectral domain extending between a first relative wavenumber function of the first excitation wavelength and the first wavelength observation wave and a second relative wave number according to the first excitation wavelength and the second observation wavelength.
Selon l’invention, ledit système de source est adapté pour générer au moins un deuxième faisceau lumineux incident d’excitation à une deuxième longueur d’onde d’excitation, ladite deuxième longueur d’onde d’excitation étant différente de la première longueur d’onde d’excitation, ledit système de séparation spectrale étant adapté pour recevoir un deuxième faisceau lumineux diffusé formé par diffusion dudit deuxième faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon et pour séparer spectralement ledit deuxième faisceau lumineux diffusé, ledit système de détection étant adapté pour détecter et enregistrer un deuxième signal Raman associé audit deuxième faisceau lumineux diffusé dans le même intervalle spectral d’observation en longueur d’onde, ledit calculateur étant adapté pour mesurer le deuxième signal Raman et pour générer une deuxième partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un deuxième domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit deuxième domaine spectral Raman s’étendant entre un troisième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un quatrième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation, le deuxième domaine spectral Raman étant différent du premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, la première partie de spectre Raman et la deuxième partie de spectre Raman étant destinées à être combinées pour reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif et/ou ayant une résolution spectrale accrue dans le premier et/ou deuxième domaine spectral Raman. According to the invention, said source system is adapted to generate at least a second excitation incident light beam at a second excitation wavelength, said second excitation wavelength being different from the first excitation wavelength. excitation wave, said spectral separation system being adapted to receive a second scattered light beam formed by scattering said incident incident light beam onto the sample and spectrally separating said second scattered light beam, said detection system being adapted to detect and record a second Raman signal associated with said second light beam scattered in the same wavelength observation spectral range, said computer being adapted to measure the second Raman signal and to generate a second portion of Raman spectrum according to of Raman displacement in a second Raman spectral domain in name relative wavelength, said second Raman spectral domain extending between a third relative wavenumber according to the second wavelength of excitation and the first wavelength of observation and a fourth relative wave number according to the second excitation wavelength and the second observation wavelength, the second Raman spectral domain being different from the first Raman spectral domain in number of a relative wave, the first part of the Raman spectrum and the second part of the Raman spectrum being intended to be combined to reconstitute a Raman scattering spectrum over an extended spectral range in relative wavenumber and / or having an increased spectral resolution in the first and / or second Raman spectral domain.
De manière avantageuse, dans la configuration de l’invention, différentes longueurs d’onde d’excitation sont utilisées en combinaison sans pour autant modifier le ou les filtres de détection. Un intervalle spectral d’observation relativement étroit permet ensuite d’obtenir autant de parties différentes du spectre Raman sur différents domaines spectraux en nombre d’onde relatif que de longueurs d’onde d’excitation, permettant ensuite la constitution d’un jeu de parties de spectres Raman ou la reconstitution d’un spectre Raman étendu et/ou de résolution spectrale accrue en nombre d’onde relatif. La compacité de l’appareil de spectrométrie et son utilisation simplifiée sont alors améliorées car seules les longueurs d’onde d’excitation sont modifiées, aucun réglage supplémentaire n’est nécessaire.  Advantageously, in the configuration of the invention, different excitation wavelengths are used in combination without modifying the detection filter or filters. A relatively narrow spectral observation interval then makes it possible to obtain as many different portions of the Raman spectrum on different spectral domains in relative wavelengths as excitation wavelengths, then allowing the constitution of a set of parts. Raman spectra or the reconstitution of an extended Raman spectrum and / or increased spectral resolution in relative wavenumber. The compactness of the spectrometry apparatus and its simplified use are then improved because only the excitation wavelengths are modified, no further adjustment is necessary.
D’autres caractéristiques non limitatives et avantageuses de l’appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention, prises individuellement ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles, sont les suivantes :  Other non-limiting and advantageous features of the Raman spectrometry apparatus according to the invention, taken individually or in any technically possible combination, are as follows:
- le système de source est adapté pour générer une pluralité de faisceaux lumineux d’excitation à une pluralité de longueurs d’onde d’excitation ;  the source system is adapted to generate a plurality of excitation light beams at a plurality of excitation wavelengths;
- le système de source comprend une pluralité de sources lasers monochromatiques, une source laser accordable en fréquence optique et/ou une source générant plusieurs longueurs d’onde d’excitation monochromatiques sélectionnâmes ou séparables spatialement ;  the source system comprises a plurality of monochromatic laser sources, an optical frequency tunable laser source and / or a source generating a plurality of spatially selectable or spatially separable monochromatic excitation wavelengths;
- le système de source comprend une source laser continue ou à impulsion ;  the source system comprises a continuous or pulsed laser source;
- il est également prévu au moins un dispositif de polarisation du faisceau lumineux d’excitation entre le système de source et l’échantillon, ledit dispositif de polarisation étant adapté pour polariser le premier faisceau lumineux incident d’excitation suivant au moins deux états de polarisation différents, par exemple orthogonaux entre eux, et, respectivement le deuxième faisceau lumineux incident d’excitation suivant au moins deux états de polarisation différents, par exemple orthogonaux entre eux ; at least one device for polarizing the excitation light beam between the source system and the sample is provided, said polarization device being adapted to polarize the first excitation incident light beam according to at least two polarization states; different, for example orthogonal to each other, and respectively the second excitation incident light beam according to at least two different polarization states, for example orthogonal to each other;
- il est également prévu un analyseur de polarisation disposé entre l’échantillon et le système de détection, l’analyseur de polarisation étant adapté pour analyser et/ou séparer en polarisation le premier faisceau lumineux diffusé et, respectivement, le deuxième faisceau lumineux diffusé ;  - There is also provided a polarization analyzer disposed between the sample and the detection system, the polarization analyzer being adapted to analyze and / or polarize the first scattered light beam and, respectively, the second scattered light beam;
- le calculateur est configuré pour conserver la première partie de spectre de diffusion Raman et la deuxième partie de spectre de diffusion Raman et constituer un jeu de parties de spectres Raman ou pour combiner la première partie de spectre Raman et la deuxième partie de spectre Raman et reconstituer un spectre Raman étendu et/ou de résolution spectrale accrue en nombre d’onde relatif ;  the computer is configured to retain the first part of the Raman scattering spectrum and the second part of the Raman scattering spectrum and to constitute a set of parts of Raman spectra or to combine the first part of the Raman spectrum and the second part of the Raman spectrum; reconstructing an extended Raman spectrum and / or increased spectral resolution in relative wavenumber;
- le calculateur est adapté pour générer une première, respectivement deuxième, partie de spectre de diffusion hyper Raman dans un premier, respectivement deuxième, domaine spectral de déplacement hyper Raman en nombre d’onde relatif, dans lequel le premier nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit d’un nombre entier n et du premier nombre d’onde d’excitation et le premier nombre d’onde d’observation, le deuxième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du premier nombre d’onde d’excitation et le deuxième nombre d’onde d’observation, le troisième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du deuxième nombre d’onde d’excitation et le premier nombre d’onde d’observation, le quatrième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du deuxième nombre d’onde d’excitation et le deuxième nombre d’onde d’observation, le multiple entier n étant supérieur ou égal à deux ;  the computer is adapted to generate a first, respectively second, part of the hyper Raman scattering spectrum in a first, respectively second, hyper Raman displacement spectral domain in relative wave number, in which the first relative wave number is equal to the difference between a product of an integer n and the first excitation wave number and the first observation wave number, the second relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the first excitation wave number and the second observation wave number, the third relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the second wavenumber excitation number and the first observation wave number, the fourth relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the second excitation wave number and the second x number of observation wave, the integer multiple n being greater than or equal to two;
- il est également prévu un filtre en détection configuré pour couper la première longueur d’onde d’excitation et/ou la deuxième longueur d’onde d’excitation ;  - There is also provided a detection filter configured to cut the first excitation wavelength and / or the second excitation wavelength;
- le filtre en détection comprend au moins un filtre passe-haut, un filtre passe-bas ou un filtre passe-bande ou une combinaison desdits filtres ;  the filter in detection comprises at least one high-pass filter, a low-pass filter or a band-pass filter or a combination of said filters;
- le système de séparation spectrale comprend un spectromètre à base de réseau(x) de diffraction, de prisme(s) et/ou de grism(s) ou un spectromètre comprenant une combinaison de réseau(x) de diffraction et/ou de prisme(s) et/ou de grism(s) ; the spectral separation system comprises a spectrometer based on diffraction grating (s), prism (s) and / or grism (s) or a spectrometer comprising a combination of diffraction grating (s) and / or prism (s) and / or grism (s);
- le système de séparation spectrale comprend un filtre interférentiel et/ou un interféromètre ;  the spectral separation system comprises an interference filter and / or an interferometer;
- le filtre en détection est fixe ; et  the filter in detection is fixed; and
- le système de détection comprend un détecteur monocanal ou un détecteur linéaire à une dimension ou un détecteur matriciel à deux dimensions.  the detection system comprises a single-channel detector or a one-dimensional linear detector or a two-dimensional matrix detector.
L’invention propose également un procédé de spectrométrie Raman comprenant les étapes suivantes :  The invention also proposes a Raman spectrometry method comprising the following steps:
- génération d’un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation par un système de source ;  generating a first excitation incident light beam at a first excitation wavelength by a source system;
- séparation spectrale d’un premier faisceau lumineux diffusé formé par diffusion du premier faisceau lumineux incident d’excitation sur un échantillon ;  spectral separation of a first scattered light beam formed by diffusion of the first incident light beam excitation on a sample;
- enregistrement d’un premier signal Raman associé au premier faisceau lumineux diffusé, détecté dans un intervalle spectral d’observation en longueur d’onde s’étendant entre une première longueur d’onde d’observation et une deuxième longueur d’onde d’observation ;  recording of a first Raman signal associated with the first scattered light beam, detected in a spectral wavelength observation range extending between a first observation wavelength and a second wavelength of observation;
- calcul d’une première partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit premier domaine spectral Raman s’étendant entre un premier nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un deuxième nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation ;  calculating a first portion of Raman spectrum as a function of the Raman displacement in a first Raman spectral domain in relative wave number, said first Raman spectral domain extending between a first relative wave number and a function of the first length of the Raman spectrum. excitation wave and the first observation wavelength and a second relative wave number according to the first excitation wavelength and the second observation wavelength;
- génération d’au moins un deuxième faisceau lumineux incident d’excitation à une deuxième longueur d’onde d’excitation par le système de source, ladite deuxième longueur d’onde d’excitation étant différente de la première longueur d’onde d’excitation ;  generating at least one second excitation incident light beam at a second excitation wavelength by the source system, said second excitation wavelength being different from the first wavelength of excitation; excitement;
- séparation spectrale d’un deuxième faisceau lumineux diffusé formé par diffusion du deuxième faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon ;  spectral separation of a second scattered light beam formed by diffusion of the incident incident light beam onto the sample;
- enregistrement d’un deuxième signal Raman associé au deuxième faisceau lumineux diffusé, détecté dans le même intervalle spectral d’observation en longueur d’onde ;  recording a second Raman signal associated with the second scattered light beam, detected in the same wavelength observation spectral range;
- calcul d’une deuxième partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un deuxième domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit deuxième domaine spectral Raman s’étendant entre un troisième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un quatrième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation, le deuxième domaine spectral Raman étant différent du premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif ; et calculation of a second part of the Raman spectrum according to the Raman shift in a second Raman spectral domain in relative wavenumber, said second Raman spectral domain extending between a third relative wavenumber function of the second excitation wavelength and the first wavelength of observation and a fourth relative wave number according to the second excitation wavelength and the second observation wavelength, the second Raman spectral domain being different from the first Raman spectral domain in number of relative wave; and
- combinaison de ladite première partie de spectre de diffusion Raman et de ladite deuxième partie de spectre de diffusion Raman pour reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif et/ou ayant une résolution spectrale accrue dans le premier et/ou deuxième domaine spectral Raman.  combining said first portion of the Raman scattering spectrum and said second portion of the Raman scattering spectrum to reconstitute a Raman scattering spectrum over an extended spectral range in relative wavenumber and / or having an increased spectral resolution in the first and / or second Raman spectral domain.
DESCRIPTION DETAILLEE D’UN EXEMPLE DE RÉALISATION DETAILED DESCRIPTION OF AN EXEMPLARY EMBODIMENT
La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre d’exemples non limitatifs, fera bien comprendre en quoi consiste l’invention et comment elle peut être réalisée. The following description with reference to the accompanying drawings, given as non-limiting examples, will make it clear what the invention consists of and how it can be achieved.
Sur les dessins annexés :  In the accompanying drawings:
- la figure 1 propose une représentation schématique des différents éléments d’un appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention ;  - Figure 1 provides a schematic representation of the various elements of a Raman spectrometry apparatus according to the invention;
- la figure 2 propose un exemple de configuration instrumentale de l’appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention ;  FIG. 2 provides an example of an instrumental configuration of the Raman spectrometry apparatus according to the invention;
- la figure 3 propose une représentation schématique des domaines spectraux obtenus en nombre d’onde relatif pour plusieurs longueurs d’onde d’excitation proposées ;  FIG. 3 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wavenumber for several proposed excitation wavelengths;
- la figure 4 représente un exemple de plusieurs parties de spectres de diffusion Raman en configuration Stokes, acquises à plusieurs longueurs d’onde d’excitation et représentées en fonction de la longueur d’onde d’observation ;  FIG. 4 represents an example of several portions of Raman scattering spectra in Stokes configuration, acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the observation wavelength;
- la figure 5 représente un exemple de parties de spectre de diffusion Raman en configuration Stokes calculées à partir des parties de spectres de la figure 4 et représentées en fonction du déplacement Raman exprimé en nombre d’onde relatif ;  FIG. 5 represents an example of Raman scattering spectrum portions in Stokes configuration calculated from the spectral portions of FIG. 4 and represented as a function of the Raman displacement expressed in relative wavenumber;
- la figure 6 représente un exemple de plusieurs parties de spectres de diffusion Raman en configuration anti-Stokes, acquises à plusieurs longueurs d’onde d’excitation et représentées en fonction de la longueur d’onde d’observation ; FIG. 6 represents an example of several parts of Raman scattering spectra in anti-Stokes configuration, acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the wavelength. observation;
- la figure 7 représente les exemples de parties de spectre de diffusion Raman en configuration anti-Stokes calculées à partir des parties de spectres de la figure 6 acquises à différentes longueurs d’onde d’excitation, et représentées en fonction du déplacement Raman exprimé en nombre d’onde relatif ;  FIG. 7 represents the examples of Raman scattering spectrum parts in anti-Stokes configuration calculated from the spectral portions of FIG. 6 acquired at different excitation wavelengths, and represented as a function of the Raman displacement expressed in FIG. relative wave number;
- la figure 8 représente un exemple de parties de spectre de diffusion hyper Raman en configuration Stokes, acquises à différentes longueurs d’onde d’excitation et représentés en fonction de la longueur d’onde d’observation ;  FIG. 8 represents an example of hyper Raman scattering spectrum parts in Stokes configuration, acquired at different excitation wavelengths and represented as a function of the observation wavelength;
- la figure 9 représente les exemples de parties de spectre de diffusion hyper Raman en configuration Stokes calculées à partir des parties de spectres de la figure 8 et représentées en fonction du déplacement Raman exprimé en nombre d’onde relatif ;  FIG. 9 represents the examples of Stokes hyper-Raman scattering spectrum parts calculated from the spectral portions of FIG. 8 and represented as a function of the Raman displacement expressed as a relative wavenumber;
- la figure 10 propose une autre représentation schématique des différents éléments d’un appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention ;  FIG. 10 proposes another schematic representation of the different elements of a Raman spectrometry apparatus according to the invention;
- la figure 11 représente un exemple de plusieurs parties de spectres de diffusion Raman, acquises à plusieurs longueurs d’onde d’excitation et représentées en fonction de la longueur d’onde d’observation ;  FIG. 11 represents an example of several parts of Raman scattering spectra acquired at several excitation wavelengths and represented as a function of the wavelength of observation;
- la figure 12 représente un exemple de parties de spectre de diffusion Raman calculées à partir des parties de spectres de la figure 11 et représentées en fonction du déplacement Raman exprimé en nombre d’onde relatif ;  FIG. 12 represents an example of Raman scattering spectrum parts calculated from the spectral portions of FIG. 11 and represented as a function of the Raman displacement expressed in relative wavenumber;
- la figure 13 propose une représentation schématique des domaines spectraux obtenus en nombre d’onde relatif pour plusieurs longueurs d’onde d’excitation proposées et plusieurs systèmes de séparation spectrale, l’axe des abscisses étant en longueur d’onde ; et  FIG. 13 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wavenumber for several proposed excitation wavelengths and several spectral separation systems, the x-axis being in wavelength; and
- la figure 14 propose une représentation schématique des domaines spectraux obtenus en nombre d’onde relatif de la figure 13 pour plusieurs longueurs d’onde d’excitation proposées et plusieurs systèmes de séparation spectrale, l’axe des abscisses étant en nombre d’onde relatif.  FIG. 14 proposes a schematic representation of the spectral domains obtained in relative wave number of FIG. 13 for several proposed excitation wavelengths and several spectral separation systems, the x-axis being in wave number relative.
Dans toute cette description, on utilisera les termes de longueur d’onde et de nombre d’onde, la relation entre les deux termes étant décrite par la formule (1 ) suivante : Throughout this description, the terms wavelength and wavenumber will be used, the relationship between the two terms being described by the following formula (1):
dans laquelle v correspond au nombre d’onde, exprimé en cm 1 et l correspond à la longueur d’onde exprimée en nm. where v is the wavenumber, expressed in cm 1 and l is the wavelength expressed in nm.
L’effet Raman consiste en la diffusion inélastique de photons par un matériau, une solution ou un gaz. Dans toute cette description, le déplacement Raman ou décalage Raman est toujours exprimé en différence de nombres d’onde, ici noté NvRaman. Le déplacement Raman est égal à la différence entre un nombre d’onde correspondant à la longueur d’onde du faisceau lumineux incident d’excitation et un nombre d’onde correspondant à une longueur d’onde dans un intervalle spectral d’observation. Le déplacement Raman en nombre d’onde, dénommé dans le présent document nombre d’onde relatif, de l’excitation par rapport à l’observation, est donné par la formule suivante : The Raman effect consists of the inelastic scattering of photons by a material, a solution or a gas. Throughout this description, the Raman shift or Raman shift is always expressed as a difference in wave numbers, here noted Nv Raman . The Raman displacement is equal to the difference between a wave number corresponding to the wavelength of the excitation incident light beam and a wavenumber corresponding to a wavelength in a spectral observation interval. The Raman displacement in wavenumber, referred to herein as the relative wave number, of the excitation with respect to the observation, is given by the following formula:
dans laquelle l’écart ou différence de nombres d’onde DnKa7hah exprimée en nombre d’onde relatif (en cm 1), correspond au déplacement Raman ou encore décalage Raman, Àexc correspond à la longueur d’onde d’excitation et Àobs correspond à une longueur d’onde dans l’intervalle spectral d’observation, Àexc et Àobs étant exprimées en nm. Les valeurs négatives de DnKa7hah correspondent à la diffusion Raman anti-Stokes et les valeurs positives de àvRaman correspondent à la diffusion Raman Stokes. wherein the difference or difference in wave numbers Dn Ka7hah expressed in relative wavenumber (in cm 1 ), corresponds to the Raman shift or Raman shift, Δt exc corresponds to the excitation wavelength and λ obs corresponds to a wavelength in the spectral observation interval, at and at exc obs being expressed in nm. The negative values of Dn Ka7hah correspond to the anti-Stokes Raman scattering and the positive values of αv Raman correspond to the Raman Stokes scattering.
Dans le cas de la configuration hyper Raman à n photons, le nombre d’onde relatif est donc formé par l’écart entre un multiple entier du nombre d’onde d’excitation et le nombre d’onde d’observation : AvRaman = n- vexc ~ v0bs (3), avec n ³ 2. In the case of the n-photon hyper Raman configuration, the relative wave number is thus formed by the difference between an integer multiple of the excitation wave number and the observation wave number: Av Ram an = n - v e xc ~ v 0 bs (3), with n ³ 2.
On définit un domaine spectral en déplacement Raman ou en décalage Raman, appelé ci-après domaine spectral Raman, exprimé en nombre d’onde relatif.  A Raman shift or Raman shift spectral domain, hereinafter referred to as the Raman spectral domain, is defined as a relative wavenumber.
Dispositif et procédé  Device and method
La figure 1 propose une représentation schématique des éléments d’un appareil de spectrométrie Raman 1 selon l’invention.  Figure 1 provides a schematic representation of the elements of a Raman spectrometer apparatus 1 according to the invention.
L’appareil de spectrométrie Raman 1 comprend un système de source 2, un dispositif de polarisation 4 optionnel, un système optique 3 optionnel de guidage et/ou focalisation et/ou collimation et/ou mise en forme de faisceau, un système de séparation spectrale 8, un filtre en détection 9, un système de détection 10 et un calculateur 12. L’appareil de spectrométrie Raman 1 est destiné à caractériser un échantillon 6. The Raman spectrometry apparatus 1 comprises a source system 2, an optional polarization device 4, an optional optical system 3 for guiding and / or focusing and / or collimation and / or beam shaping, a spectral separation system 8, a detection filter 9, a detection system 10 and a computer 12. The Raman spectrometry apparatus 1 is intended to to characterize a sample 6.
Le système de source 2 est adapté pour générer un faisceau lumineux incident d’excitation à au moins une première longueur d’onde d’excitation, notée ÀexCi et à une deuxième longueur d’onde d’excitation exC2. Dans un exemple de réalisation, le système de source 2 comprend une pluralité de sources lasers monochromatiques 21 , 22. La première source laser 21 génère un faisceau lumineux d’excitation à la première longueur d’onde d’excitation ÀexCl,The source system 2 is adapted to generate an incident excitation light beam at at least a first excitation wavelength, denoted by exCi and at a second excitation wavelength exC2 . In an exemplary embodiment, the source system 2 comprises a plurality of monochromatic laser sources 21, 22. The first laser source 21 generates an excitation light beam at the first excitation wavelength λ exCl ,
correspondant à un premier nombre d’onde d’excitation vexc = -— . La deuxième exc-i corresponding to a first excitation wave number v exc = -. The second exc-i
source laser 22 génère un faisceau lumineux d’excitation à la deuxième longueur d’onde d’excitation correspondant à un deuxième nombre d’onde d’excitation vexc = -— . Dans ce cas de pluralité de sources lasers exc2 laser source 22 generates an excitation light beam at the second excitation wavelength corresponding to a second excitation wave number v exc = -. In this case, a plurality of laser sources exc2
monochromatiques, l’appareil de spectrométrie Raman 1 comprend un sélecteur ou combineur de sources 20. Selon une alternative, le système de source 2 comprend une source laser accordable en longueur d’onde. Selon une autre alternative, le système de source 2 comprend une pluralité de sources accordables en longueur d’onde. Selon une autre alternative, le système de source 2 comprend une source à multiples longueurs d’onde sélectionnâmes. Le système de source 2 génère un faisceau lumineux incident d’excitation continu ou à impulsions. In one embodiment, the source system 2 comprises a wavelength tunable laser source. According to another alternative, the source system 2 comprises a plurality of wavelength tunable sources. According to another alternative, the source system 2 comprises a selected multi-wavelength source. The source system 2 generates an incident light beam of continuous or pulsed excitation.
En option, l’appareil de spectrométrie Raman 1 comporte un dispositif de polarisation 4. Le dispositif de polarisation 4 peut être intégré au système de source 2 ou séparé du système de source 2. Ce dispositif de polarisation 4 est décrit plus loin, en lien avec l’application à la mesure d’activité optique Raman (ROA).  Optionally, the Raman spectrometry apparatus 1 comprises a polarization device 4. The polarization device 4 can be integrated in the source system 2 or separated from the source system 2. This polarization device 4 is described below, in connection with FIG. with the application to the Raman Optical Activity Measurement (ROA).
De façon avantageuse, l’appareil de spectrométrie Raman 1 comporte un système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou focalisation et/ou de mise en forme du faisceau. Le système optique 3 peut être intégré au moins en partie au système de source 2 ou séparé du système de source 2. Le faisceau lumineux incident d’excitation est dirigé vers le système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou de focalisation et/ou de mise en forme du faisceau. Le système optique 3 est configuré pour diriger et adapter le faisceau lumineux à l’échantillon 6. En pratique, le système optique 3 peut comprendre un jeu de lentilles et/ou de miroirs et/ou une fibre optique et/ou encore un jeu de fibres optiques. De préférence, la fibre optique utilisée est une fibre creuse qui permet de limiter les signaux parasites lors de la transmission du faisceau lumineux. Le système optique 3 peut comprendre un dispositif optique confocal avec miroir et/ou objectif de microscope. Advantageously, the Raman spectrometry apparatus 1 comprises an optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam. The optical system 3 may be integrated at least in part with the source system 2 or separated from the source system 2. The incident light excitation beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam. The optical system 3 is configured to direct and adapt the light beam to the sample 6. In practice, the optical system 3 may comprise a set of lenses and / or mirrors and / or an optical fiber and / or a set of optical fibers. Preferably, the optical fiber used is a hollow fiber which makes it possible to limit the parasitic signals during the transmission of the light beam. The optical system 3 may comprise a confocal optical device with a mirror and / or a microscope objective.
Le faisceau lumineux incident d’excitation à la première longueur d’onde d’excitation est diffusé par l’échantillon 6 et génère un premier faisceau lumineux diffusé. Dans toute cette description, l’appellation « faisceau lumineux diffusé par l’échantillon » prendra également en compte le cas des faisceaux lumineux diffusés quelle que soit la direction d’observation, en particulier l’exemple des faisceaux lumineux rétrodiffusés par des échantillons opaques par exemple. De manière analogue, le faisceau lumineux incident d’excitation à la deuxième longueur d’onde d’excitation est diffusé par l’échantillon et génère un deuxième faisceau lumineux diffusé.  The incident light beam excitation at the first excitation wavelength is diffused by the sample 6 and generates a first scattered light beam. Throughout this description, the name "light beam scattered by the sample" will also take into account the case of scattered light beams regardless of the direction of observation, particularly the example of light beams backscattered by opaque samples by example. Similarly, the incident light beam excitation at the second excitation wavelength is scattered by the sample and generates a second scattered light beam.
Un système optique de collection 7 peut permettre de collecter le faisceau lumineux diffusé par l’échantillon 6. Dans le cas de faisceaux lumineux rétrodiffusés, le système optique de collection 7 peut être confondu avec le système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou focalisation et mise en forme du faisceau.  A collection optical system 7 can make it possible to collect the light beam scattered by the sample 6. In the case of backscattered light beams, the collection optical system 7 can be confused with the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and shaping the beam.
L’appareil de spectrométrie Raman 1 comprend un système de séparation spectrale 8 adapté pour recevoir et séparer spectralement le faisceau lumineux diffusé par l’échantillon 6. Dans un exemple de réalisation, le système de séparation spectrale 8 comprend un spectromètre à base de réseau(x) de diffraction (ou « diffraction grating » selon la terminologie anglo-saxonne) ou un spectromètre à base de prisme(s) ou un spectromètre à base de grism(s) ou encore un spectromètre comprenant une combinaison de réseau(x) de diffraction et/ou de prisme(s) et/ou de grism(s). Le faisceau lumineux diffusé par l’échantillon 6 est ainsi dispersé spatialement en ses différentes longueurs d’onde.  The Raman spectrometry apparatus 1 comprises a spectral separation system 8 adapted to receive and spectrally separate the light beam scattered by the sample 6. In an exemplary embodiment, the spectral separation system 8 comprises a network-based spectrometer ( x) diffraction (or "diffraction grating" according to the English terminology) or a spectrometer based prism (s) or a spectrometer based on grism (s) or a spectrometer comprising a combination of network (s) of (x) diffraction and / or prism (s) and / or grism (s). The light beam scattered by the sample 6 is thus dispersed spatially at its different wavelengths.
Dans un autre exemple de réalisation, le système de séparation spectrale 8 peut également comprendre un ou plusieurs filtres passe-bande ou interférentiels et/ou un filtre ajustable acousto-optique (ou AOTF pour « Acousto- Optic Tunable Filters » selon la terminologie anglo-saxonne) et/ou un interféromètre généralement limité en domaine spectral. Dans le cas d’un interféromètre, les différentes longueurs d’onde du faisceau lumineux diffusé sont séparées par interférométrie. In another exemplary embodiment, the spectral separation system 8 can also comprise one or more band-pass or interference filters and / or an acousto-optical adjustable filter (or AOTF for "Acousto-Optic Tunable Filters" according to the English terminology). Saxon) and / or an interferometer generally limited in spectral domain. In the case of a interferometer, the different wavelengths of the scattered light beam are separated by interferometry.
L’appareil de spectrométrie Raman 1 comprend aussi au moins un filtre en détection 9, disposé entre l’échantillon et le système de séparation spectrale 8 sur le trajet du premier, respectivement, deuxième faisceau lumineux diffusé. Le filtre 9 est généralement placé après le système optique de collection 7. Ce filtre 9 coupe la première longueur d’onde d’excitation ÀexCi et la deuxième longueur d’onde d’excitation exC2 , supprimant ainsi la diffusion Rayleigh desdits faisceaux lumineux diffusés. Ce filtre 9 laisse passer toutes les longueurs d’onde de l’intervalle spectral d’observation. L’utilisation du filtre 9 se distingue des dispositifs connus de l’art antérieur dans lesquels est de préférence utilisé un filtre réjecteur (ou « notch filter » selon la terminologie anglo-saxonne utilisée), filtre à bande étroite (de l’ordre de quelques nanomètres) centré sur une longueur d’onde d’excitation déterminée afin de l’éliminer du signal collecté. The Raman spectrometry apparatus 1 also comprises at least one detection filter 9 disposed between the sample and the spectral separation system 8 in the path of the first, respectively, second scattered light beam. The filter 9 is generally placed after the collection optical system 7. This filter 9 intersects the first excitation wavelength λ exCi and the second excitation wavelength exC2 , thus suppressing the Rayleigh scattering of said scattered light beams. . This filter 9 passes all the wavelengths of the spectral observation interval. The use of the filter 9 differs from known prior art devices in which is preferably used a notch filter (or "notch filter" according to the English terminology used), narrowband filter (of the order of few nanometers) centered on a determined excitation wavelength in order to eliminate it from the collected signal.
Dans un exemple de réalisation, le filtre 9 peut être un filtre passe-haut pour l’observation de la diffusion Raman Stokes. Dans ce cas, le filtre a une longueur d’onde de coupure située strictement entre la plus haute longueur d’onde d’excitation, par exemple ÀexCl , et la plus basse longueur d’onde d’observation ÀobSl . Dans un autre exemple de réalisation, le filtre 9 peut être un filtre passe-bas pour l’observation de la diffusion Raman anti-Stokes. Dans un autre exemple encore, le filtre 9 peut être un filtre passe-bande pour l’observation simultanée des diffusions Raman Stokes et anti-Stokes. Dans le cas de l’observation simultanée des diffusions Raman Stokes et anti-Stokes, un filtre supplémentaire, de type réjecteur centré sur la longueur d’onde d’excitation, est utilisé afin de filtrer la longueur d’onde d’excitation en question. Un tel filtre réjecteur permet uniquement de bloquer la longueur d’onde d’excitation dans l’intervalle spectral d’observation. Pour des longueurs d’onde d’excitation en dehors de l’intervalle spectral d’observation, il suffit de couper toutes les longueurs d’onde en dehors de l’intervalle spectral d’observation. Un filtre réjecteur peut aussi être utilisé uniquement pour limiter la luminosité au niveau du système de détection. In an exemplary embodiment, the filter 9 may be a high-pass filter for observing Raman Stokes scattering. In this case, the filter has a cut-off wavelength located strictly between the highest excitation wavelength, for example λ exCl , and the lowest observation wavelength λ . In another embodiment, the filter 9 may be a low-pass filter for the observation of anti-Stokes Raman scattering. In yet another example, the filter 9 may be a bandpass filter for the simultaneous observation of Raman Stokes and anti-Stokes scatterings. In the case of simultaneous observation of Raman Stokes and anti-Stokes scatterings, an additional jet-type filter centered on the excitation wavelength is used to filter the excitation wavelength in question. . Such a rejection filter only makes it possible to block the excitation wavelength in the spectral observation interval. For excitation wavelengths outside the spectral observation range, all the wavelengths outside the observation spectral range are cut off. A rejection filter can also be used only to limit the brightness at the detection system.
Le premier, respectivement deuxième, faisceau lumineux séparé spectralement est dirigé vers le système de détection 10. De préférence, l’intervalle spectral d’observation du système de détection 10 est fixé. Cet intervalle spectral d’observation s’étend entre une première longueur d’onde d’observation ÀobSi et une deuxième longueur d’onde d’observation ÀobS2. Par exemple, l’intervalle spectral d’observation peut s’étendre entre ÀobSi = 790 nm et l obs2 = 920 nm. Les dispositifs connus d’art antérieur de spectrométrie Raman utilisant un système de séparation spectrale fixe sont généralement configurés pour acquérir des mesures sur un spectre le plus large possible en longueur d’onde. Selon la configuration de l’invention, la largeur de l’intervalle spectral d’observation est relativement étroite, par exemple ici de 130 nm. The first, respectively second, spectrally separated light beam is directed to the detection system 10. Preferably, the spectral range of observation of the detection system 10 is set. This spectral range of observation extends between a first observation wavelength at obSi and a second observation wavelength at obS2 . For example, the spectral range of observation may range between λ = 790 nm and obs2 = 920 nm. Prior art devices of Raman spectrometry using a fixed spectral separation system are generally configured to acquire measurements over the widest spectrum possible in wavelength. According to the configuration of the invention, the width of the spectral observation range is relatively narrow, for example here 130 nm.
Dans un exemple de réalisation avec un spectromètre à base de réseau de diffraction, le système de détection 10 comporte un détecteur linéaire à une dimension ou un détecteur matriciel à deux dimensions, par exemple une caméra de type CCD ou CMOS pour une détection dans le visible et le proche-infrarouge ou encore InGaAs ou MCT pour une détection dans l’infrarouge.  In an exemplary embodiment with a diffraction grating-based spectrometer, the detection system 10 comprises a one-dimensional linear detector or a two-dimensional matrix detector, for example a CCD or CMOS-type camera for visible detection. and near-infrared or InGaAs or MCT for infrared detection.
Dans encore un autre exemple de réalisation, le système de séparation spectrale 8 comporte un filtre interférentiel, possiblement combiné avec un filtre passe-bande. Dans ce cas, le système de détection 10 comporte alors un détecteur permettant un suivi temporel du signal d’interférences sur ce détecteur. Par suivi temporel du signal, on entend un système interférentiel dans lequel on déplace un miroir en fonction du temps pour observer les franges d’interférence. Le spectre Raman en nombre d’onde relatif est reconstruit par transformée de Fourier à partir de l’interférogramme.  In yet another embodiment, the spectral separation system 8 comprises an interference filter, possibly combined with a bandpass filter. In this case, the detection system 10 then comprises a detector allowing a temporal tracking of the interference signal on this detector. By temporal tracking of the signal is meant an interference system in which a mirror is moved as a function of time to observe the interference fringes. The Raman spectrum in relative wavenumber is reconstructed by Fourier transform from the interferogram.
Le système de détection 10 comprend en général un détecteur qui permet de convertir en électrons les photons qu’il reçoit du faisceau diffusé et d’accumuler ces électrons. Le système de détection 10 comprend habituellement un convertisseur analogique-numérique adapté pour compter les électrons accumulés et convertir ces mesures en valeurs numériques. Le système de détection 10 enregistre ainsi sous forme de valeurs numériques un premier, respectivement deuxième, signal diffusé en Raman, appelé ci-après signal Raman, associé au premier, respectivement deuxième, faisceau lumineux diffusé et séparé spectralement par le système de séparation spectrale 8 dans l’intervalle spectral d’observation choisi.  The detection system 10 generally comprises a detector that makes it possible to convert the photons that it receives from the scattered beam into electrons and to accumulate these electrons. The detection system 10 usually includes an analog-to-digital converter adapted to count the accumulated electrons and convert these measurements into numerical values. The detection system 10 thus records in the form of numerical values a first, respectively second, Raman scattered signal, hereinafter called Raman signal, associated with the first, respectively second, scattered light beam and separated spectrally by the spectral separation system 8 in the selected spectral range of observation.
Un calculateur 12 est adapté pour recevoir le premier, respectivement deuxième, signal Raman enregistré sous forme de valeurs numériques. En général, le calculateur 12 est adapté pour générer un premier, respectivement deuxième, spectre du signal Raman, aussi appelé partie de spectre Raman dans la suite, dépendant de la longueur d’onde d’excitation et de l’intervalle spectral d’observation choisi en longueur d’onde [AofcSl AofcsJ . A calculator 12 is adapted to receive the first, respectively second, registered Raman signal as numerical values. In generally, the computer 12 is adapted to generate a first, respectively second, spectrum of the Raman signal, also called Raman spectrum part in the following, depending on the excitation wavelength and the selected spectral range of observation wavelength [A ofcSl A ofcs J.
Le calculateur 12 est adapté pour calculer une première, respectivement une deuxième, partie de spectre de diffusion Raman en fonction du nombre d’onde relatif calculé par rapport au premier nombre d’onde d’excitation vexCi , respectivement au deuxième nombre d’onde d’excitation vexC2, associé au faisceau lumineux incident d’excitation. Cette première, respectivement deuxième, partie de spectre Raman est calculée dans un premier, respectivement deuxième, domaine spectral Raman, exprimé en nombre d’onde relatif fonction du nombre d’onde d’excitation et de l’intervalle spectral d’observation, exprimé en nombre d’onde [vobS2, vobs J . Pour la première longueur d’onde d’excitation ÀexCl , le premier domaine spectral Raman s’étend entre un premier nombre d’onde relatif correspondant à la différence entre le premier nombre d’onde d’excitation vexCi et le nombre d’onde d’observation maximal vobSi et un deuxième nombre d’onde relatif Dn2 correspondant à la différence entre le premier nombre d’onde d’excitation vexCi et le nombre d’onde d’observation minimal vobS2. Pour la deuxième longueur d’onde d’excitation AexCz , le deuxième domaine spectral Raman s’étend entre un troisième nombre d’onde relatif Dn3 correspondant à la différence entre le deuxième nombre d’onde d’excitation vexC2 et le nombre d’onde d’observation maximal vobSi et un quatrième nombre d’onde relatif Dn4 correspondant à la différence entre le deuxième nombre d’onde d’excitation vexC2 et le nombre d’onde d’observation minimal vobS2. Autrement dit, le calculateur convertit le premier, respectivement deuxième, signal Raman exprimé en longueur d’onde en une première, respectivement deuxième, partie de spectre Raman exprimée en nombre d’onde relatif. Le premier domaine spectral Raman et le deuxième domaine spectral Raman sont différents en nombre d’onde relatif. Le premier domaine spectral Raman et le deuxième domaine spectral Raman peuvent être disjoints ou se recouvrir partiellement. The computer 12 is adapted to calculate a first, respectively second, part of the Raman scattering spectrum as a function of the relative wave number calculated with respect to the first excitation wave number v exCi , respectively to the second wave number. of excitation v exC2 , associated with the incident light beam of excitation. This first, respectively second, part of the Raman spectrum is calculated in a first, respectively second, Raman spectral domain, expressed as a relative wavenumber depending on the excitation wavenumber and the observation spectral interval, expressed wavenumber [OBS2 v, v J obs. For the first exCl excitation wavelength , the first Raman spectral domain extends between a first relative wave number corresponding to the difference between the first excitation wave number v exCi and the number of maximal observation wave v obSi and a second relative wave number Dn 2 corresponding to the difference between the first excitation wave number v exCi and the minimum observation wave number v obS2 . For the second excitation wavelength A exCz , the second Raman spectral domain extends between a third relative wave number Dn 3 corresponding to the difference between the second excitation wave number v exC2 and the number maximum observation waveform v obSi and a fourth relative wave number Dn 4 corresponding to the difference between the second excitation wave number v exC2 and the minimum observation wave number v obS2 . In other words, the computer converts the first, respectively second, Raman signal expressed in wavelength into a first, respectively second, part of the Raman spectrum expressed as a relative wavenumber. The first Raman spectral domain and the second Raman spectral domain are different in relative wavenumber. The first Raman spectral domain and the second Raman spectral domain may be disjoint or partially overlapping.
Les dispositifs connus d’art antérieur de spectrométrie Raman utilisent généralement une seule longueur d’onde d’excitation et adaptent le système de séparation spectrale et/ou le système de détection pour permettre d’obtenir un spectre Raman exprimé en fonction du nombre d’onde relatif le plus étendu possible. Au contraire, dans la configuration de l’invention, on utilise différentes longueurs d’onde d’excitation en combinaison de préférence avec un seul filtre de détection ou éventuellement dans certains cas avec plusieurs filtres de détection. Le ou les filtres de détection peuvent rester fixes malgré le changement de longueur d’onde d’excitation. Un intervalle spectral d’observation relativement étroit permet ensuite d’obtenir autant de parties différentes du spectre Raman sur différents domaines spectraux en nombre d’onde relatif que de longueurs d’onde d’excitation, permettant ensuite la reconstitution d’un spectre Raman étendu et/ou avec éventuellement une résolution spectrale élevée en adaptant le système de séparation spectrale 8. Le dispositif selon l’invention permet aussi d’obtenir quelques parties de spectres Raman spécifiques avec une haute résolution spectrale et/ou éloignées les unes des autres en nombre d’onde relatif. Prior art devices of Raman spectrometry generally use a single excitation wavelength and adapt the system of spectral separation and / or the detection system to obtain a Raman spectrum expressed as a function of the largest possible relative wave number. On the contrary, in the configuration of the invention, different excitation wavelengths are used in combination preferably with a single detection filter or possibly in some cases with several detection filters. The detection filter or filters may remain fixed despite the change in excitation wavelength. A relatively narrow spectral observation interval then makes it possible to obtain as many different parts of the Raman spectrum on different spectral domains in relative wavenumber as excitation wavelengths, then allowing the reconstruction of an extended Raman spectrum. and / or possibly with a high spectral resolution by adapting the spectral separation system 8. The device according to the invention also makes it possible to obtain some parts of specific Raman spectra with a high spectral resolution and / or remote from each other in number relative wave.
L’appareil de spectrométrie Raman 1 décrit ci-dessus permet de mettre en œuvre le procédé suivant de caractérisation d’un échantillon par spectrométrie Raman.  The Raman spectrometry apparatus 1 described above makes it possible to implement the following method of characterizing a sample by Raman spectrometry.
Selon le procédé de l’invention, le système de source 2 génère un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation ÀexCi qui correspond à un premier nombre d’onde d’excitation vexCl . Par exemple, on peut choisir comme première longueur d’onde d’excitation = 785 nm, comme le premier exemple représenté sur la figure 2 (en haut). According to the method of the invention, the source system 2 generates a first excitation incident light beam at a first excitation wavelength λ exCi which corresponds to a first excitation wavenumber v exCl . For example, one can choose as the first excitation wavelength = 785 nm, as the first example shown in Figure 2 (top).
Le premier faisceau lumineux incident d’excitation est dirigé vers le système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou focalisation et/ou de mise en forme avant d’être diffusé par l’échantillon 6 à caractériser. Un premier faisceau lumineux diffusé, formé par diffusion du premier faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon 6, se propage après l’échantillon 6 vers le filtre en détection 9. De façon avantageuse, ce filtre 9 bloque la première longueur d’onde d’excitation exCi, supprimant ainsi la diffusion Rayleigh. The first excitation light beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimation and / or focusing and / or shaping before being diffused by the sample 6 to be characterized. A first scattered light beam, formed by diffusion of the first excitation incident light beam on the sample 6, is propagated after the sample 6 towards the detection filter 9. Advantageously, this filter 9 blocks the first length of the light. ExCi excitation wave , thus suppressing Rayleigh scattering.
Le premier faisceau lumineux diffusé est ensuite dirigé vers le système de séparation spectrale 8 qui génère un premier faisceau lumineux diffusé séparé spectralement.  The first scattered light beam is then directed to the spectral separation system 8 which generates a first spectrally separated scattered light beam.
Le premier faisceau lumineux diffusé séparé spectralement est analysé par le système de détection 10. Le système de détection 10 enregistre un premier signal Raman associé au premier faisceau lumineux diffusé. Ce premier signal Raman est détecté dans un intervalle spectral d’observation en longueur d’onde. Cet intervalle spectral d’observation s’étend entre une première longueur d’onde d’observation ÀobSi et une deuxième longueur d’onde d’observation obS2 . De manière équivalente, l’intervalle spectral d’observation peut être exprimé en nombre d’onde, avec vobSl le premier nombre d’onde d’observation et vobS2 le deuxième nombre d’onde d’observation. Le filtre 9 laisse passer toutes les longueurs d’onde contenues dans cet intervalle spectral d’observation et bloque les longueurs d’onde d’excitation. Selon une variante, un filtre complémentaire est utilisé afin de filtrer davantage chaque longueur d’onde d’excitation et d’éviter d’éventuels signaux parasites au niveau du système de détection 10. Par exemple, sur les figures 2 et 3, l’intervalle spectral d’observation défini par le système de séparation spectrale 8 s’étend entre 790 nm et 920 nm. Sur la figure 2, le filtre en détection 9 est matérialisé par une ligne en pointillés. The first scattered light beam separated spectrally is analyzed by the detection system 10. The detection system 10 records a first Raman signal associated with the first scattered light beam. This first Raman signal is detected in a spectral wavelength observation interval. This spectral observation interval extends between a first observation wavelength At obSi and a second observation wavelength obS2 . Equivalently, the observation spectral interval can be expressed as a wavenumber, with v obS1 the first observation wavenumber and v obS2 the second observation wavenumber. The filter 9 passes all the wavelengths contained in this spectral observation range and blocks the excitation wavelengths. According to a variant, a complementary filter is used in order to further filter each excitation wavelength and to avoid any parasitic signals at the level of the detection system 10. For example, in FIGS. 2 and 3, FIG. spectral range of observation defined by the spectral separation system 8 extends between 790 nm and 920 nm. In FIG. 2, the detection filter 9 is represented by a dashed line.
En général, le calculateur 12 détermine un premier spectre Raman en longueur d’onde à partir du premier signal Raman dans l’intervalle spectral d’observation, dans les exemples des figures 2 et 3, entre 790 nm et 920 nm.  In general, the computer 12 determines a first wavelength Raman spectrum from the first Raman signal in the observation spectral range, in the examples of FIGS. 2 and 3, between 790 nm and 920 nm.
Le calculateur 12 génère une première partie de spectre Raman exprimé en fonction du nombre d’onde relatif DnKa7hah, lui-même fonction du premier nombre d’onde d’excitation vexCi et de l’intervalle spectral d’observation (sur les exemples des figures 2 et 3, entre 790 nm et 920 nm). Autrement dit, le calculateur convertit le premier signal Raman exprimé en longueur d’onde en une première partie de spectre Raman exprimée en nombre d’onde relatif. La première partie de spectre Raman s’étend entre un premier nombre d’onde relatif Dn-L = ^exc1 ~ ^obs1 et un deuxième nombre d’onde relatif Dn2 = vexCi - vobS2. Par exemple, sur les figures 2 et 3, pour une première longueur d’onde d’excitation ÀexCi de 785 nm, pour un intervalle spectral d’observation compris entre 790 nm et 920 nm, le premier domaine spectral Raman s’étend de = 81 cm-1 à Dn2 = 1869 cm _1. The computer 12 generates a first portion of Raman spectrum expressed as a function of the relative wave number Dn Ka7hah , itself a function of the first excitation wave number v exCi and the spectral observation interval (on the examples Figures 2 and 3, between 790 nm and 920 nm). In other words, the computer converts the first Raman signal expressed in wavelength into a first portion of Raman spectrum expressed in relative wavenumber. The first part of Raman spectrum extends between a first relative wave number Dn- L = ^ exc 1 ~ ^ obs 1 and a second relative wave number Dn 2 = v exCi -v obS2 . For example, in FIGS. 2 and 3, for a first excitation wavelength λ exCi of 785 nm, for an observation spectral interval of between 790 nm and 920 nm, the first Raman spectral domain extends from = 81 cm -1 to Dn 2 = 1869 cm _1.
Le système de source 2 est adapté pour générer un deuxième faisceau lumineux incident d’excitation à une deuxième longueur d’onde d’excitation exC2 correspondant à un deuxième nombre d’onde d’excitation vexC2. Ladite deuxième longueur d’onde d’excitation est différente de la première longueur d’onde d’excitation ÀexC2 ¹ ÀexCi . Par exemple, on peut choisir comme deuxième longueur d’onde d’excitation = 690 nm , comme le deuxième exemple représenté sur les figures 2 et 3 (deuxième ligne en partant du haut sur les figures 2 et 3). De façon avantageuse, la différence entre la première longueur d’onde d’excitation et la deuxième longueur d’onde d’excitation est comprise entre quelques nm et quelques centaines de nm. The source system 2 is adapted to generate a second excitation incident light beam at a second excitation wavelength exC2 corresponding to a second excitation wave number v exC2 . Said second excitation wavelength is different from the first excitation wavelength at exC2 ¹ to exCi . For example, one can choose as the second excitation wavelength = 690 nm, as the second example shown in Figures 2 and 3 (second line from the top in Figures 2 and 3). Advantageously, the difference between the first excitation wavelength and the second excitation wavelength is between a few nm and a few hundred nm.
Comme pour le premier faisceau lumineux incident d’excitation, le deuxième faisceau lumineux incident d’excitation est dirigé vers le système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou focalisation et de mise en forme puis vers l’échantillon 6 à caractériser. Un deuxième faisceau lumineux diffusé est formé par diffusion, par l’échantillon 6, du deuxième faisceau lumineux incident d’excitation.  As for the first excitation incident light beam, the second excitation incident light beam is directed towards the optical system 3 for guiding and / or collimation and / or focusing and shaping then to the sample 6 to be characterized. A second scattered light beam is formed by diffusion, by the sample 6, of the second excitation incident light beam.
Comme pour le premier faisceau lumineux diffusé, le deuxième faisceau lumineux diffusé est ensuite filtré par le filtre en détection 9 puis séparé par le système de séparation spectrale 8, et enfin dirigé vers le système de détection 10. Ce système de détection 10 mesure et enregistre un deuxième signal Raman associé au deuxième faisceau lumineux diffusé et séparé spectralement. Ce deuxième signal Raman est détecté dans le même intervalle spectral d’observation en longueur d’onde, qui s’étend pour les exemples des figures 2 et 3 entre 790 nm et 920 nm. Le système de détection 10 convertit ensuite les signaux Raman sous forme de valeurs numériques.  As for the first scattered light beam, the second scattered light beam is then filtered by the detection filter 9 and separated by the spectral separation system 8, and finally directed towards the detection system 10. This detection system 10 measures and records a second Raman signal associated with the second scattered and spectrally separated light beam. This second Raman signal is detected in the same wavelength observation spectral range, which extends for the examples of FIGS. 2 and 3 between 790 nm and 920 nm. The detection system 10 then converts the Raman signals into numerical values.
Le calculateur 12 calcule ensuite une deuxième partie de spectre Raman associée au deuxième signal diffusé dans un deuxième domaine spectral Raman, exprimé en nombre d’onde relatif àvRaman en fonction du deuxième nombre spectral d’observation en nombre d’onde. Le domaine spectral de cette deuxième partie de spectre Raman s’étend entre un troisième nombre d’onde relatif Dn3 = - vobSl et un quatrième nombre d’onde relatif Dn4 = - vobS2. Par exemple, sur les figures 2 et 3, pour une deuxième longueur d’onde d’excitation ÀexC2 de 690 nm, dans l’intervalle spectral d’observation compris entre 790 nm et 920 nm, le deuxième domaine spectral Raman s’étend de Dn3 = 1835 cm-1 à Dn4 = 3623 cm-1. Autrement dit, le calculateur convertit le deuxième signal Raman exprimé en longueur d’onde en une deuxième partie de spectre Raman exprimée en nombre d’onde relatif. The calculator 12 then calculates a second part of the Raman spectrum associated with the second signal scattered in a second Raman spectral domain, expressed in terms of wavenumber relative to Raman as a function of the second number. spectral observation in wavenumber. The spectral domain of this second part of the Raman spectrum extends between a third relative wave number Dn 3 = - v obSl and a fourth relative wave number Dn 4 = - v obS2 . For example, in FIGS. 2 and 3, for a second excitation wavelength λ exC2 of 690 nm, in the spectral observation interval between 790 nm and 920 nm, the second Raman spectral domain extends of Dn 3 = 1835 cm -1 at Dn 4 = 3623 cm -1 . In other words, the computer converts the second Raman signal expressed in wavelength into a second part of Raman spectrum expressed in relative wavenumber.
Selon une variante, le calculateur 12 conserve la première partie de spectre de diffusion Raman et la deuxième partie de spectre de diffusion Raman pour constituer un jeu de parties de spectres Raman pouvant être traité ultérieurement. Il peut aussi conserver dans ce jeu les informations des longueurs d’onde d’excitation et du (des) domaine(s) d’observation en longueur d’onde. Les différentes parties de spectres Raman conservées sont par exemple conservées sous la forme de vecteurs comprenant la longueur d’onde, le nombre d’onde, l’intensité et l’intensité du signal de fond.  According to a variant, the computer 12 retains the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to form a set of Raman spectra portions that can be processed later. It can also keep in this game the information of the wavelengths of excitation and the wavelength observation domain (s). The various parts of conserved Raman spectra are for example preserved in the form of vectors comprising the wavelength, the wave number, the intensity and the intensity of the background signal.
De façon avantageuse, le calculateur 12 combine la première partie de spectre de diffusion Raman et la deuxième partie de spectre de diffusion Raman pour reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif (voir l’exemple illustré sur les figures 11 -12) et/ou sur un domaine spectral avec une résolution spectrale accrue (voir l’exemple illustré sur les figures 13-14).  Advantageously, the computer 12 combines the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to reconstitute a Raman scattering spectrum over a relative wavelength-extended spectral domain (see the example illustrated in FIG. Figs. 11-12) and / or a spectral range with increased spectral resolution (see the example shown in Figs. 13-14).
Cette combinaison s’effectue de différentes manières. Elle peut s’effectuer par l’assemblage brut de la première partie de spectre de diffusion Raman et de la deuxième partie de spectre de diffusion Raman de manière à former un unique spectre de diffusion Raman. Ce spectre de diffusion obtenu peut être continu ou discontinu, dépendant de la continuité ou discontinuité des domaines spectraux des parties de spectre de diffusion Raman échantillonnés.  This combination is done in different ways. It can be accomplished by grossly assembling the first portion of the Raman scattering spectrum and the second portion of the Raman scattering spectrum to form a single Raman scattering spectrum. This scattering spectrum obtained may be continuous or discontinuous, depending on the continuity or discontinuity of the spectral domains of sampled Raman scattering spectrum portions.
En variante, une correction peut être apportée aux différentes parties de spectres de diffusion Raman avant leur assemblage. La correction peut porter sur une compensation d’un signal de fond en soustrayant le signal de fond du signal associé à chaque partie de spectre de diffusion Raman. Il peut également s’agir d’une correction des parties de spectre de diffusion Raman en intensité en tenant compte du système de détection 10 (préalablement étalonné avec un échantillon test), de l’énergie associée au système de source 2, de la taille du point focal du système de source 2 au niveau d’un point d’observation, du volume ou de la surface de l’échantillon 6 à caractériser ou encore de la longueur d’onde d’excitation. Par exemple, dans le cas d’une correction de l’intensité en fonction du volume de l’échantillon 6 à caractériser, le signal associé au spectre corrigé est obtenu en divisant le signal associé à chaque partie de spectre de diffusion Raman et corrigé du signal de fond par le volume de l’échantillon 6. On observe un gain en intensité en fonction du signal obtenu à une nouvelle longueur d’onde d’excitation lί par rapport à une longueur d’onde d’excitation de référence l, qui s’exprime comme suit : l,4/ l4. La partie de spectre Raman obtenue à la longueur d’onde d’excitation peut ainsi être corrigé par rapport à la partie de spectre Raman obtenue à la longueur d’onde d’excitation l, moyennant le facteur de gain indiqué ci-dessus. En variante, lorsqu’un recouvrement est observé entre la première partie de spectre de diffusion Raman et la deuxième partie de spectre de diffusion Raman, une moyenne des deux parties de spectre de diffusion Raman est calculée et utilisée pour le spectre final dans la zone de recouvrement. De manière alternative, dans la zone de recouvrement, la partie de spectre de diffusion Raman ayant le meilleur rapport signal sur bruit peut être utilisée. En dehors de la zone de recouvrement, chaque partie de spectre de diffusion Raman est conservée, corrigée au non selon les possibilités introduites précédemment. Alternatively, a correction can be made to the different parts of Raman scattering spectra before their assembly. The correction may relate to a compensation of a background signal by subtracting the background signal from the signal associated with each part of the Raman scattering spectrum. It can also be a correction of the intensity Raman scattering spectrum parts taking into account the detection system 10 (previously calibrated with a test sample), the energy associated with the source system 2, the size the focal point of the source system 2 at a point of observation, the volume or the surface of the sample 6 to be characterized or the excitation wavelength. For example, in the case of a correction of the intensity as a function of the volume of the sample 6 to be characterized, the signal associated with the corrected spectrum is obtained by dividing the signal associated with each part of the Raman scattering spectrum and corrected by background signal by the volume of the sample 6. We observe a gain in intensity as a function of the signal obtained at a new excitation wavelength l ί with respect to a reference excitation wavelength 1, which is expressed as follows: l, 4 / l 4 . The Raman spectrum portion obtained at the excitation wavelength can thus be corrected with respect to the portion of the Raman spectrum obtained at the excitation wavelength I, with the gain factor indicated above. Alternatively, when an overlap is observed between the first Raman scattering spectrum portion and the second Raman scattering spectrum portion, an average of the two Raman scattering spectrum portions is calculated and used for the final spectrum in the Raman scattering spectrum portion. recovery. Alternatively, in the overlap area, the Raman scattering spectrum portion having the best signal to noise ratio can be used. Outside the overlap area, each part of the Raman scattering spectrum is conserved, not corrected according to the possibilities introduced previously.
Cette combinaison des différentes parties de spectre de diffusion Raman présente l’avantage de reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif. Les figures 11 et 12 montrent par exemple que lors de l’utilisation de trois longueurs d’onde d’excitation de 532 nm, 561 nm et 633 nm en combinaison avec un même système de séparation spectrale et de détection limité à un domaine spectral d’étendant de 630 nm à 740 nm, le spectre de diffusion Raman (aussi appelé spectre Raman étendu ou spectre Raman multispectral composite) reconstitué obtenu par la combinaison de trois parties de spectres Raman s’étend sur un domaine spectral en nombre d’onde relatif entre environ 100 cm 1 et 5200 cm 1. This combination of the different parts of the Raman scattering spectrum has the advantage of reconstituting a Raman scattering spectrum over a range of spectral range in relative wavenumber. FIGS. 11 and 12 show, for example, that when using three excitation wavelengths of 532 nm, 561 nm and 633 nm in combination with the same spectral separation and detection system limited to a spectral domain of FIG. extending from 630 nm to 740 nm, the Raman scattering spectrum (also called extended Raman spectrum or composite multispectral Raman spectrum) obtained by the combination of three parts of Raman spectra extends over a spectral range in relative wavenumber. between about 100 cm 1 and 5200 cm 1 .
La combinaison des parties de spectre de diffusion Raman selon l’invention présente également l’avantage d’améliorer la résolution spectrale dans un domaine spectral Raman déterminé. Les figures 13 et 14 montrent que l’utilisation d’un système de séparation spectrale par réseau de diffraction de pas plus fin, par exemple de 1200 ou 1800 traits/mm, associée à l’utilisation de plusieurs longueurs d’onde d’excitation, permet d’améliorer la résolution spectrale des parties de spectres de diffusion Raman. Le domaine spectral sur lequel s’étend le spectre de diffusion Raman reconstitué reste relativement étendu même s’il peut présenter certaines discontinuités. En lien avec les figures 13 et 14, on considère un système Raman classique basé sur l’utilisation d’une longueur d’onde d’excitation de 633 nm, d’un système de dispersion basé sur un réseau de diffraction de 600 traits/mm et d’un système de détection s’étendant entre 635 nm et 1003 nm. Le système de détection détecte par exemple N pixels entre 635 nm et 1003 nm. Ce système permet d’obtenir un spectre Raman s’étendant entre 100 cm 1 et 5828 cm 1 mais nécessite un spectromètre sensible dans le proche infrarouge. Les figures 13 et 14 montrent par exemple l’utilisation d’un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 1200 traits/mm, avec une première longueur d’onde d’excitation de 633 nm, on acquiert une première partie de spectre entre 635 nm et 798 nm, et avec une deuxième longueur d’onde d’excitation de 561 nm on acquiert une deuxième partie de spectre dans la même fenêtre spectrale entre 635 nm et 798 nm. Autrement dit, on acquiert une première partie de spectre Raman s’étendant en nombre d’onde entre 100 cm 1 et 3266 cm 1 et une deuxième partie de spectre Raman s’étendant en nombre d’onde entre 2127 cm 1 et 5294 cm 1. Le spectre de diffusion Raman reconstitué obtenu par la combinaison de la première et la deuxième parties de spectres Raman s’étend sur un domaine spectral s’étendant alors en nombre d’onde relatif entre 100 cm 1 et 5294 cm 1 avec une résolution spectrale approximativement double de celle obtenue avec la seule longueur d’onde d’excitation de 633 nm, le réseau de diffraction de 600 traits/mm tout en utilisant un système de détection plus étroit en longueur d’onde avec une meilleure détectivité sur le domaine, ici dans le visible, donc plus standard et moins coûteuse. The combination of the Raman scattering spectrum portions according to the invention also has the advantage of improving the spectral resolution in a determined Raman spectral domain. FIGS. 13 and 14 show that the use of a spectral separation system with a finer pitch diffraction grating, for example of 1200 or 1800 lines / mm, associated with the use of several excitation wavelengths , improves the spectral resolution of the Raman scattering spectra. The spectral domain over which the reconstituted Raman scattering spectrum extends remains relatively large even though it may have certain discontinuities. In connection with FIGS. 13 and 14, a conventional Raman system based on the use of an excitation wavelength of 633 nm, a dispersion system based on a lattice of FIG. diffraction of 600 lines / mm and a detection system extending between 635 nm and 1003 nm. The detection system detects for example N pixels between 635 nm and 1003 nm. This system makes it possible to obtain a Raman spectrum extending between 100 cm 1 and 5828 cm 1 but requires a sensitive spectrometer in the near infrared. Figures 13 and 14 show for example the use of a diffraction grating spectral separation system, for example 1200 lines / mm, with a first excitation wavelength of 633 nm, we acquire a first part between 635 nm and 798 nm, and with a second excitation wavelength of 561 nm, a second spectrum portion is acquired in the same spectral window between 635 nm and 798 nm. In other words, a first portion of Raman spectrum extending in wavelength between 100 cm 1 and 3266 cm 1 and a second portion of spectrum Raman extending in wavenumber between 2127 cm 1 and 5294 cm 1 are acquired. . The reconstituted Raman scattering spectrum obtained by combining the first and second Raman spectral portions extends over a spectral domain then extending in relative wavenumber between 100 cm 1 and 5294 cm 1 with an approximate spectral resolution. double that obtained with the single excitation wavelength of 633 nm, the diffraction grating of 600 lines / mm while using a narrower detection system in wavelength with a better detectivity on the domain, here in the visible, so more standard and less expensive.
De manière analogue, les figures 13-14 montrent par exemple l’utilisation d’un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 1800 traits/mm avec trois longueurs d’onde d’excitation de 633 nm, 561 nm et 532 nm. Avec une première longueur d’onde d’excitation de 633 nm, on acquiert une première partie de spectre entre 635 nm et 718 nm, avec une deuxième longueur d’onde d’excitation de 561 nm on acquiert une deuxième partie de spectre dans la même fenêtre spectrale entre 635 nm et 718 nm et avec une troisième longueur d’onde d’excitation de 532 nm on acquiert une troisième partie de spectre dans la même fenêtre spectrale entre 635 nm et 718 nm. Autrement dit, on acquiert une première partie de spectre Raman s’étendant en nombre d’onde entre 100 cm 1 et 1870 cm 1, une deuxième partie de spectre Raman s’étendant en nombre d’onde entre 2127 cm 1 et 3898 cm 1 et une troisième partie de spectre Raman s’étendant en nombre d’onde entre 3098 cm 1 et 4869 cm 1. Le spectre de diffusion Raman reconstitué (aussi appelé spectre Raman multispectral composite) obtenu par la combinaison de la première, deuxième et troisième parties de spectres Raman s’étend sur un domaine spectral s’étendant en nombre d’onde relatif entre 100 cm 1 et 1870 cm 1 et entre 2127 cm 1 et 4869 cm 1 avec une résolution spectrale approximativement triple de celle obtenue avec une seule longueur d’onde d’excitation de 633 nm, un réseau de diffraction de 600 traits/mm et utilisant un domaine d’observation ou un système de détection plus limité en longueur d’onde, ici dans le visible, donc plus simple, plus efficace et moins coûteux. Similarly, FIGS. 13-14 show, for example, the use of a diffraction grating spectral separation system, for example 1800 lines / mm with three excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm and 532 nm. With a first excitation wavelength of 633 nm, a first spectrum portion is acquired between 635 nm and 718 nm, with a second excitation wavelength of 561 nm a second spectrum portion is acquired in the the same spectral window between 635 nm and 718 nm and with a third excitation wavelength of 532 nm is acquired a third spectrum portion in the same spectral window between 635 nm and 718 nm. In other words, a first portion of Raman spectrum extending in wavelength between 100 cm 1 and 1870 cm 1 is acquired, a second portion of Raman spectrum extending in wavenumber between 2127 cm 1 and 3898 cm 1 and a third portion of Raman spectrum extending in wavenumber between 3098 cm 1 and 4869 cm 1 . The Raman scattering spectrum reconstituted (also called composite multispectral Raman spectrum) obtained by the combination of the first, second and third parts of Raman spectra extends over a spectral range extending in relative wavenumber between 100 cm 1 and 1870 cm 1 and between 2127 cm 1 and 4869 cm 1 with a spectral resolution approximately triple that obtained with a single excitation wavelength of 633 nm, a diffraction grating of 600 lines / mm and using a field of observation or a control system. more limited detection in wavelength, here in the visible, so simpler, more efficient and less expensive.
Les dispositifs connus de spectrométrie Raman utilisent en général une seule source, à une seule longueur d’onde d’excitation fixe. Il est alors obtenu en une seule fois un spectre Raman le plus étendu possible en nombre d’onde relatif [Avmin, Avmax]. L’autre configuration connue utilise un système de séparation spectrale mobile, par exemple basé sur un réseau de diffraction mobile, et permet d’obtenir en plusieurs fois un spectre Raman mieux résolu et plus étendu. Ainsi, pour l’observation vers les hauts nombres d’onde, il est dans certains cas, en particulier pour l’Activité Optique Raman (ROA, présentée ultérieurement dans cette description), nécessaire de déplacer ou modifier le système de séparation spectrale mais également de reprendre tous les réglages optiques et d’adapter l’analyseur de polarisation pour l’observation des hauts nombres d’onde. Le procédé de l’invention permet d’obtenir un spectre Raman étendu vers les hauts nombres d’onde en ne modifiant que la longueur d’onde d’excitation du faisceau lumineux incident : chaque longueur d’onde d’excitation génère une partie de spectre Raman dans un domaine spectral différent en nombre d’onde relatif. Un jeu choisi de ces différentes parties de spectre Raman permet de reconstituer le domaine spectral Raman étendu. De façon particulièrement avantageuse, selon la présente divulgation, le filtre en détection 9, le dispositif de polarisation, l’analyseur de polarisation et le système de séparation spectrale 8 peuvent rester fixes. Ce même domaine étendu de spectre Raman reconstitué peut être obtenu avec une plus grande résolution spectrale en nombre d’onde relatif, en augmentant la résolution du système de séparation spectrale d’origine. The known devices for Raman spectrometry generally use a single source at a single fixed excitation wavelength. There is then obtained at once a Raman the widest possible spectrum wavenumber relative [Av min, Av max]. The other known configuration uses a mobile spectral separation system, for example based on a mobile diffraction grating, and makes it possible to obtain in several times a Raman spectrum better solved and extended. Thus, for the observation towards the high wave numbers, it is in certain cases, in particular for the Raman Optical Activity (ROA, presented later in this description), necessary to move or modify the spectral separation system but also to take all the optical settings and adapt the polarization analyzer for the observation of high wave numbers. The method of the invention makes it possible to obtain an extended Raman spectrum towards the high wavenesses by modifying only the excitation wavelength of the incident light beam: each excitation wavelength generates a portion of Raman spectrum in a different spectral range in relative wavenumber. A chosen set of these different parts of the Raman spectrum makes it possible to reconstruct the extended Raman spectral domain. Particularly advantageously, according to the present disclosure, the detection filter 9, the polarization device, the polarization analyzer and the spectral separation system 8 can remain fixed. This same extended domain of reconstituted Raman spectrum can be obtained with greater spectral resolution in relative wavenumber, by increasing the resolution of the original spectral separation system.
Le système de source 2 peut être adapté pour générer plus de deux faisceaux lumineux incidents d’excitation. Sur les exemples des figures 2 et 3, cinq faisceaux lumineux incidents d’excitation à cinq longueurs d’onde d’excitation, respectivement de 785 nm, 690 nm, 633 nm, 532 nm et 488 nm, sont générés soit séquentiellement, soit simultanément mais décalés spatialement sur un système de détection en deux dimensions. Le procédé appliqué à chacune des différentes longueurs d’onde d’excitation permet de générer cinq parties de spectre Raman fonction du nombre d’onde relatif (ou déplacement Raman DnKa7hah) de l’intervalle spectral d’observation à chaque faisceau lumineux incident d’excitation ( vexc ). La figure 2 montre que, selon un exemple de réalisation, le filtre en détection 9 reste inchangé lorsque les longueurs d’onde d’excitation sont modifiées. En variante, le filtre en détection 9 change en fonction de la longueur d’onde d’excitation. Comme le montre la figure 2, ce sont les spécificités de la configuration instrumentale combinant différentes longueurs d’onde d’excitation, au moins un filtre en détection 9 et un intervalle spectral d’observation de préférence fixe, qui permettent d’observer un domaine spectral Raman étendu, décomposé par parties, ou selon un autre choix, d’observer rapidement des domaines spectraux Raman éloignés les uns des autres avec une haute résolution spectrale. The source system 2 may be adapted to generate more than two incident light beams of excitation. In the examples of FIGS. 2 and 3, five incident excitation light beams with five excitation wavelengths of 785 nm, 690 nm, 633 nm, 532 nm and 488 nm, respectively, are generated either sequentially, either simultaneously but spatially shifted on a two-dimensional detection system. The method applied to each of the different excitation wavelengths makes it possible to generate five parts of Raman spectrum according to the relative wavenumber (or Raman shift Dn Ka7hah ) of the spectral interval of observation to each incident light beam. excitation (v exc ). FIG. 2 shows that, according to an exemplary embodiment, the detection filter 9 remains unchanged when the excitation wavelengths are modified. In a variant, the detection filter 9 changes as a function of the excitation wavelength. As shown in FIG. 2, it is the specific features of the instrumental configuration combining different excitation wavelengths, at least one detection filter 9 and a preferably fixed observation spectral interval, which make it possible to observe a domain extended Raman spectral, decomposed in parts, or according to another choice, to rapidly observe Raman spectral domains distant from each other with a high spectral resolution.
Les domaines spectraux Raman associés à ces parties de spectre s’étendent respectivement pour les cinq longueurs d’onde d’excitation de l’exemple ci-dessus : entre 81 cm 1 et 1869 cm 1, entre 1835 cm 1 et 3623 cm 1, entre 3140 cm 1 et 4929 cm 1, entre 6138 cm 1 et 7928 cm 1 et entre 7833 cm 1 et 9623 cm 1. L’utilisation d’une pluralité de longueurs d’onde incidentes d’excitation permet de reconstituer un domaine spectral étendu vers les hauts nombres d’onde. La figure 3 montre les différentes parties de spectres qui permettent de reconstituer un domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif entre 80 cm 1 et 9623 cm 1. Les figures 13 et 14 montrent les différentes parties de spectres qui permettent de reconstituer un domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif entre 100 cm 1 et 5828 cm 1. The Raman spectral domains associated with these spectrum portions extend respectively for the five excitation wavelengths of the example above: between 81 cm 1 and 1869 cm 1 , between 1835 cm 1 and 3623 cm 1 , between 3140 cm 1 and 4929 cm 1, between 6138 cm 1 and 7928 cm 1 and between 7833 cm 1 and 9623 cm 1. The use of a plurality of incident excitation wavelengths makes it possible to reconstruct an extended spectral range towards the high wavenumbers. FIG. 3 shows the different parts of spectra that make it possible to reconstitute a Raman spectral domain with a relative wavenumber between 80 cm 1 and 9623 cm 1 . FIGS. 13 and 14 show the different spectral parts that make it possible to reconstitute a Raman spectral domain with a relative wavenumber between 100 cm 1 and 5828 cm 1 .
Les mesures effectuées vers les hauts nombres d’onde permettent en particulier l’observation des modes de combinaisons, des modes d’élongation CH, NH et OH, mais aussi de modes harmoniques (ou « overtones » selon la terminologie anglo-saxonne parfois utilisée) dans ces hautes fréquences, et ceci avec une efficacité accrue dans notre exemple de réalisation, car l’intensité Raman est proportionnelle à la puissance de 4 de l’inverse de la longueur d’onde d’excitation, et donc augmente lors d’un décalage du rouge vers le bleu, c’est-à- dire vers les longueurs d’onde plus courtes. Ceci est également le cas pour des modes harmoniques d’ordre supérieur dans les très hautes fréquences. Un autre exemple de domaine spectral Raman reconstitué est proposé dans le tableau I suivant. Dans cet exemple, l’intervalle spectral d’observation s’étend entre 535 nm et 615 nm. La largeur de l’intervalle spectral d’observation de 80 nm, est ici inférieure à 100 nm. Le système de source 2 est adapté pour générer séquentiellement cinq longueurs d’onde d’excitation, respectivement de 633 nm, 561 nm, 532 nm, 488 nm et 473 nm. Les bornes inférieures et supérieures de chaque domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif sont calculées à partir de la formule (1 ) mentionnée précédemment. Les tableaux I et II suivants récapitulent les domaines spectraux Raman en nombre d’onde relatif obtenus pour deux intervalles spectraux d’observation, entre 535 nm et 615 nm pour le tableau I et entre 790 nm et 920 nm pour le tableau II : The measurements carried out towards the high wavenesses make it possible in particular to observe the modes of combinations, of the elongation modes CH, NH and OH, but also of harmonic modes (or "overtones" according to the English terminology sometimes used ) in these high frequencies, and this with increased efficiency in our embodiment, because the Raman intensity is proportional to the power of 4 of the inverse of the excitation wavelength, and therefore increases when a shift from red to blue, that is to say towards shorter wavelengths. This is also the case for higher order harmonic modes in very high frequencies. Another example of reconstituted Raman spectral domain is proposed in the following Table I. In this example, the spectral range of observation extends between 535 nm and 615 nm. The width of the spectral observation range of 80 nm is here less than 100 nm. The source system 2 is adapted to sequentially generate five excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm, 532 nm, 488 nm and 473 nm, respectively. The lower and upper bounds of each Raman spectral domain in relative wavenumber are calculated from the aforementioned formula (1). The following Tables I and II summarize the relative wavelength Raman spectral domains obtained for two spectral observation ranges, between 535 nm and 615 nm for Table I and between 790 nm and 920 nm for Table II:
Tableau I  Table I
Tableau II  Table II
La figure 4 représente un exemple de parties de spectres de diffusion Raman pour la configuration Stokes obtenues en utilisant le procédé de spectrométrie Raman décrit précédemment. L’axe des ordonnées correspond à l’intensité du signal électronique enregistré par le système de détection en unités arbitraires (u. a.). L’axe des abscisses correspond à la longueur d’onde d’observation (en nm). Les différentes courbes sont associées à des longueurs d’onde d’excitation différentes, respectivement de 700 nm, 710 nm, 720 nm, 730 nm, 740 nm et 750 nm. L’intervalle spectral d’observation s’étend ici entre 760 nm et 880 nm. La largeur de l’intervalle spectral d’observation est ici aussi relativement étroite, limitée à 120 nm. Ces différentes parties de spectres Raman de l’acétonitrile ont été obtenues avec un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 830 traits/mm et un système de détection comprenant une caméra CCD, par exemple de 2048 pixels. FIG. 4 represents an example of Raman scattering spectra for the Stokes configuration obtained using the Raman spectrometry method described above. The ordinate axis corresponds to the intensity of the electronic signal recorded by the detection system in arbitrary units (u. A.). The abscissa axis corresponds to the observation wavelength (in nm). The different curves are associated with different excitation wavelengths of 700 nm, 710 nm, 720 nm, 730 nm, 740 nm and 750 nm, respectively. The spectral range of observation ranges here between 760 nm and 880 nm. The width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 120 nm. These different parts of Raman spectra of acetonitrile were obtained with a spectral separation system by diffraction grating, for example 830 lines / mm and a detection system comprising a CCD camera, for example 2048 pixels.
La figure 5 représente un exemple de parties de spectre de diffusion Raman, pour la configuration Stokes, en nombre d’onde relatif correspondant aux spectres en longueur d’onde de la figure 4. L’axe des ordonnées correspond à l’intensité du signal électronique enregistré par le système de détection en unités arbitraires (u. a.). L’axe des abscisses correspond au déplacement Raman en nombre d’onde relatif (en cm 1). Chaque partie de spectre représentée sur la figure 5 correspond à un spectre présenté sur la figure 4. Les parties de spectre de la figure 5 sont générées par le calculateur en déplacement Raman en nombre d’onde relatif pour le même intervalle spectral d’observation que celui de la figure 4 par rapport aux différentes longueurs d’onde d’excitation. La configuration du système de séparation spectrale et du système de détection reste identique pour toutes les longueurs d’onde d’excitation. Le domaine spectral de l’ensemble des parties de spectre Raman s’étend ici d’environ 0 cm 1 à 2800 cm 1. FIG. 5 represents an example of Raman scattering spectrum parts, for the Stokes configuration, in relative wavenumber corresponding to the wavelength spectra of FIG. 4. The ordinate axis corresponds to the intensity of the signal electronic recorded by the detection system in arbitrary units (ua). The abscissa axis corresponds to Raman displacement in relative wavenumber (in cm 1 ). Each spectrum portion shown in FIG. 5 corresponds to a spectrum shown in FIG. 4. The spectrum portions of FIG. 5 are generated by the Raman displacement calculator in relative wavenumber for the same spectral observation interval as that of Figure 4 with respect to the different excitation wavelengths. The configuration of the spectral separation system and the detection system remains the same for all excitation wavelengths. The spectral range of all the Raman spectrum portions here ranges from about 0 cm 1 to 2800 cm 1 .
Le figure 11 représente un autre exemple de parties de spectres de diffusion Raman obtenues en utilisant le procédé de spectrométrie Raman décrit précédemment. Les différentes courbes sont associées à des longueurs d’onde d’excitation différentes, respectivement de 633 nm, 561 nm et 532 nm. L’intervalle spectral d’observation s’étend ici entre 630 nm et 740 nm. La largeur de l’intervalle spectral d’observation est ici aussi relativement étroite, limitée à 110 nm. Ces différentes parties de spectres Raman de l’alpha-pinène ont été obtenues avec un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 600 traits/mm. FIG. 11 represents another example of Raman scattering spectral spectra obtained using the Raman spectrometry method described previously. The different curves are associated with different excitation wavelengths of 633 nm, 561 nm and 532 nm, respectively. The spectral range of observation extends here between 630 nm and 740 nm. The width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 110 nm. These different parts of Raman spectra of alpha-pinene were obtained with a spectral separation system by diffraction grating, for example of 600 lines / mm.
La figure 12 représente un exemple de parties de spectre de diffusion Raman, en nombre d’onde relatif correspondant aux spectres en longueur d’onde de la figure 11. Chaque partie de spectre représentée sur la figure 12 correspond à un spectre présenté sur la figure 11. Les parties de spectre de la figure 12 sont générées par le calculateur en déplacement Raman en nombre d’onde relatif pour le même intervalle spectral d’observation que celui de la figure 11 par rapport aux différentes longueurs d’onde d’excitation. Plus précisément, une première partie de spectre Raman obtenue avec la longueur d’onde d’excitation de 633 nm s’étend entre 100 cm 1 et environ 2300 cm 1 ; une deuxième partie de spectre Raman obtenue avec la longueur d’onde d’excitation de 561 nm s’étend entre 2100 cm 1 et environ 4300 cm 1 et une troisième partie de spectre Raman obtenue avec la longueur d’onde d’excitation de 532 nm s’étend entre environ 3000 cm 1 et 5300 cm 1. La configuration du système de séparation spectrale et du système de détection reste identique pour toutes les longueurs d’onde d’excitation. Le domaine spectral de l’ensemble des parties de spectre Raman s’étend ici d’environ 0 cm 1 à 5300 cm 1. FIG. 12 represents an example of relative wave number Raman scattering spectrum portions corresponding to the wavelength spectra of FIG. 11. Each spectrum portion shown in FIG. 12 corresponds to a spectrum shown in FIG. 11. The spectrum portions of FIG. 12 are generated by the Raman shift calculator in relative wavenumber for the same spectral observation interval as that of FIG. 11 with respect to the different excitation wavelengths. More specifically, a first part of Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 633 nm extends between 100 cm 1 and about 2300 cm 1 ; a second portion of Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 561 nm extends from 2100 cm 1 and 4300 cm 1 and a third portion of the Raman spectrum obtained with the excitation wavelength of 532 nm extends between about 3000 cm 1 and 5300 cm 1 . The configuration of the spectral separation system and the detection system remains the same for all excitation wavelengths. The spectral range of all the Raman spectrum portions here ranges from about 0 cm 1 to 5300 cm 1 .
Dans un autre exemple (non illustré), l’utilisation de quatre longueurs d’onde d’excitation de 785nm, 685 nm, 633 nm et 561 nm permet d’obtenir quatre parties de spectres Raman du chloroforme et le calculateur permet de conserver ce jeu de quatre parties de spectres Raman pour les traiter ultérieurement ou de combiner ces quatre parties de spectre Raman pour reconstituer un spectre Raman s’étendant de 100 cm 1 jusqu’à 7000 cm 1. In another example (not shown), the use of four excitation wavelengths of 785 nm, 685 nm, 633 nm and 561 nm makes it possible to obtain four parts of Raman spectra of chloroform and the computer makes it possible to conserve this play four parts of Raman spectra for later processing or combine these four parts of Raman spectrum to reconstitute a Raman spectrum extending from 100 cm 1 up to 7000 cm 1 .
Les figures 6 et 7 représentent des exemples de spectre Raman pour la configuration anti-Stokes, en fonction de la longueur d’onde d’observation pour la figure 6 et en fonction du nombre d’onde relatif pour la figure 7.  FIGS. 6 and 7 represent examples of Raman spectrum for the anti-Stokes configuration, as a function of the observation wavelength for FIG. 6 and as a function of the relative wavenumber for FIG. 7.
Sur les figures 6 et 7, l’axe des ordonnées correspond à l’intensité du signal Raman enregistré par le système de détection en unités arbitraires (u. a.). Ces spectres ont été obtenus pour un intervalle spectral d’observation s’étendant entre 660 nm et 780 nm, avec un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 830 traits/mm, et un système de détection comprenant une caméra CCD par exemple de 2048 pixels. La largeur de l’intervalle spectral d’observation est ici aussi relativement étroite, limitée à 120 nm. Les différentes courbes sont associées à des longueurs d’onde d’excitation différentes respectivement de 788 nm, 800 nm, 820 nm et 850 nm. In FIGS. 6 and 7, the ordinate axis corresponds to the intensity of the Raman signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua). These spectra were obtained for an observation spectral range extending between 660 nm and 780 nm, with a spectral separation system by diffraction grating, for example 830 lines / mm, and a detection system comprising a CCD camera. for example 2048 pixels. The width of the spectral observation range is here also relatively narrow, limited to 120 nm. The different curves are associated with different excitation wavelengths respectively of 788 nm, 800 nm, 820 nm and 850 nm.
En variante, l’appareil de spectrométrie Raman 1 peut être utilisé pour mesurer des effets Raman non linéaires comme l’Hyper Raman, le Raman stimulé et la diffusion Raman cohérente anti-Stokes (CARS). Pour exemple, l’appareil de spectrométrie Raman 1 permet de mesurer l’effet Hyper Raman à 2 photons ou plus généralement à n photons, où n est un nombre entier naturel supérieur ou égal à 2. Dans cette configuration, le système de source 2 génère un faisceau lumineux incident d’excitation à une longueur d’onde d’excitation notée Àexc. Le calculateur 12 est adapté pour générer une partie de spectre Raman dans un intervalle spectral d’observation, ledit intervalle spectral d’observation s’étendant à côté d’une longueur d’onde correspondant à une fraction 1/n de la longueur d’onde d’excitation Àexc, par exemple à la moitié de la longueur d’onde d’excitation dans le cas où n=2. De manière optionnelle, un filtre supplémentaire est disposé dans l’appareil entre l’échantillon 6 et le système de détection 10, pour couper la longueur d’onde correspondant cette fraction 1/n de la longueur d’onde d’excitation. Le calculateur 12 est adapté pour générer une partie de spectre Hyper Raman à 2 photons dans un domaine spectral en nombre d’onde relatif :Alternatively, the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to measure non-linear Raman effects such as Hyper Raman, stimulated Raman, and anti-Stokes Raman scattering (CARS). For example, the Raman spectrometer 1 can be used to measure the Hyper Raman effect at 2 photons or more generally at n photons, where n is a natural number greater than or equal to 2. In this configuration, the source system 2 generates an incident light beam of excitation at an excitation wavelength noted at exc . The calculator 12 is adapted to generate a portion of the Raman spectrum in an observation spectral interval, said spectral observation interval extending beside a wavelength corresponding to a fraction 1 / n of the length of the spectrum. exc excitation wave At, for example at half the excitation wavelength in the case where n = 2. Optionally, an additional filter is disposed in the apparatus between the sample 6 and the detection system 10, to cut the corresponding wavelength that fraction 1 / n of the excitation wavelength. The computer 12 is adapted to generate a 2-photon Hyper Raman spectrum portion in a relative wavenum spectral domain:
Le nombre d’onde relatif pour le signal hyper Raman à 2 photons est ici égal à la différence entre le double du nombre d’onde d’excitation et le nombre d’onde d’observation. Ici aussi, le nombre d’onde relatif est donc formé d’une combinaison linéaire du nombre d’onde d’excitation et du nombre d’onde d’observation.  The relative wave number for the 2-photon hyper-Raman signal is here equal to the difference between twice the excitation wave number and the observation wave number. Here too, the relative wave number is thus formed of a linear combination of the excitation wave number and the observation wave number.
La figure 8 représente un exemple de spectres de diffusion Hyper Raman obtenus en utilisant la variante du procédé de spectrométrie Raman décrite au paragraphe précédent. L’axe des ordonnées correspond à l’intensité du signal Raman enregistré par le système de détection en unités arbitraires (u. a.). L’axe des abscisses correspond à la longueur d’onde d’observation (en nm). Les différentes courbes sont associées à des longueurs d’onde d’excitation différentes, respectivement de 1160 nm, 1180 nm, 1210 nm, 1240 nm, 1270 nm et 1300 nm. L’intervalle spectral d’observation s’étend ici entre 635 nm et 705 nm. La largeur de l’intervalle spectral d’observation est ici limitée à environ 70 nm pour la plupart des spectres. En complément, un spectre Raman d’environ 200 nm est représenté pour un spectre à la longueur d’onde d’excitation de 1300 nm, en tournant le réseau de diffraction. Ces différents spectres ont été obtenus avec un système de séparation spectrale par réseau de diffraction, par exemple de 1800 traits/mm et un système de détection comprenant une caméra CCD, par exemple de 2048 pixels. FIG. 8 represents an example of Hyper Raman scattering spectra obtained using the variant of the Raman spectrometry method described in the preceding paragraph. The ordinate axis corresponds to the intensity of the Raman signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua). The abscissa axis corresponds to the observation wavelength (in nm). The different curves are associated with different excitation wavelengths of 1160 nm, 1180 nm, 1210 nm, 1240 nm, 1270 nm and 1300 nm, respectively. The spectral range of observation here ranges between 635 nm and 705 nm. The width of the spectral range of observation is here limited to about 70 nm for most spectra. In addition, a Raman spectrum of about 200 nm is shown for a spectrum at the excitation wavelength of 1300 nm, rotating the diffraction grating. These different spectra were obtained with a spectral separation system by diffraction grating, for example 1800 lines / mm and a detection system comprising a CCD camera, for example 2048 pixels.
La figure 9 représente un exemple de parties de spectre de diffusion Hyper Raman en nombre d’onde relatif. L’axe des ordonnées correspond à l’intensité du signal électronique enregistré par le système de détection en unités arbitraires (u. a.). L’axe des abscisses correspond au déplacement Raman en nombre d’onde relatif (en cm 1) dans la configuration hyper Raman à deux photons (déduit de la formule (3)). Les parties de spectre représentées sur la figure 9 correspondent aux spectres présentés sur la figure 8 avec une modification de l’axe des abscisses par conversion des longueurs d’onde en nombres d’onde relatifs, les nombres d’onde relatifs étant calculés pour chaque partie de spectre Raman en fonction de la longueur d’onde d’excitation propre à chaque faisceau lumineux d’excitation et de la longueur d’onde d’observation dans l’intervalle spectral d’observation qui reste fixe pour toutes les longueurs d’onde d’excitation. Le calculateur 12 génère les parties de spectre de la figure 9 en nombre d’onde relatif de l’intervalle spectral d’observation de la figure 8 par rapport à chaque longueur d’onde d’excitation, les configurations des systèmes de séparation spectrale et de détection étant identiques. Le domaine spectral Raman (déduit de la formule (3)) s’étend ici en nombre d’onde relatif de - 200 cm 1 à 3300 cm 1. FIG. 9 represents an example of parts of the Hyper Raman scattering spectrum of relative wavenumber. The ordinate axis corresponds to the intensity of the electronic signal recorded by the detection system in arbitrary units (ua). The x-axis corresponds to the Raman displacement in relative wavenumber (in cm 1 ) in the two-photon hyper-Raman configuration (deduced from formula (3)). The spectrum portions shown in FIG. 9 correspond to the spectra shown in FIG. 8 with a modification of the abscissa axis by converting the wavelengths to relative wavenumber, the relative wavenumber being calculated for each part of the Raman spectrum as a function of the excitation wavelength specific to each excitation light beam and the observation wavelength in the observation spectral interval which remains fixed for all the lengths of excitation wave. The computer 12 generates the spectrum portions of FIG. 9 in relative wavenumber of the spectral observation interval of FIG. 8 with respect to each excitation wavelength, the configurations of the spectral separation systems and detection being identical. The Raman spectral domain (deduced from formula (3)) here extends in relative wavenumber from - 200 cm 1 to 3300 cm 1 .
En variante encore, l’appareil de spectrométrie Raman 1 peut être utilisé pour effectuer des mesures d’Activité Optique Raman (ou ROA). Il existe trois types de montages de base : le montage ICP (Incident circular polarisation), le montage SCP (Scattered Circular Polarisation) et le montage DCP (Dual Circular Polarisation). L’échantillon 6 à analyser est alors soit chiral, soit de structure primaire ou secondaire chirale. La mesure du spectre ROA est basée sur une différence de signaux Raman issus d’une modulation de polarisation du faisceau lumineux incident d’excitation et/ou du faisceau lumineux diffusé. La figure 10 propose une représentation schématique des différents éléments d’un appareil de spectrométrie Raman 100 dans le cadre de mesures d’Activité Optique Raman. Les éléments communs aux figures 1 et 10 portent les mêmes références et ne seront pas décrits à nouveau dans la suite. In another variant, the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to perform Raman Optical Activity (or ROA) measurements. There are three basic types of mounting: ICP (Incident circular polarization) mounting, SCP (Scattered Circular Polarization) mounting, and DCP (Dual Circular Polarization) mounting. The sample 6 to be analyzed is then either chiral, or of primary or secondary chiral structure. The measurement of the ROA spectrum is based on a difference of Raman signals resulting from a polarization modulation of the beam bright incident of excitation and / or scattered light beam. Figure 10 provides a schematic representation of the different elements of a Raman spectrometry apparatus 100 as part of Raman Optical Activity measurements. The elements common to Figures 1 and 10 have the same references and will not be described again below.
Le système de source 2 génère un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation. Le faisceau lumineux incident d’excitation est dirigé vers un dispositif de polarisation 4. Ledit dispositif de polarisation 4 comporte par exemple un polariseur et/ou un prisme ou une lame à retard demi-onde ou quart d’onde adaptés pour polariser le faisceau lumineux incident d’excitation soit suivant au moins deux états de polarisation différents, par exemple orthogonaux entre eux comme par exemple deux états de polarisation circulaires ou elliptiques, soit suivant une polarisation linéaire de direction aléatoire perpendiculaire à l’axe de propagation simulant un faisceau non polarisé. Le faisceau lumineux incident d’excitation ainsi polarisé par le dispositif de polarisation 4 est ensuite dirigé vers l’échantillon 6 à caractériser.  The source system 2 generates a first incident light beam excitation at a first excitation wavelength. The incident excitation light beam is directed towards a polarization device 4. Said polarization device 4 comprises, for example, a polarizer and / or a prism or a half-wave or quarter-wave delay plate adapted to polarize the light beam. excitation incident is according to at least two different polarization states, for example orthogonal to each other such as for example two circular or elliptic polarization states, or in a linear polarization of random direction perpendicular to the propagation axis simulating an unpolarized beam . The incident light beam of excitation thus polarized by the polarization device 4 is then directed towards the sample 6 to be characterized.
Après l’échantillon, le faisceau lumineux est filtré par le filtre de détection 9. L’appareil de spectrométrie Raman 100 comporte en outre un analyseur de polarisation 7 adapté pour analyser le faisceau lumineux filtré. L’analyseur de polarisation 7 comporte un diffuseur ou un sélecteur de polarisation circulaire droit et/ou gauche ou un sélecteur de polarisation elliptique droite et/ou gauche ou un séparateur de polarisations linéaires situé après un convertisseur de polarisation circulaire en polarisation linéaire, par exemple une lame quart d’onde. Après l’analyseur en polarisation 7, le faisceau lumineux diffusé et analysé en polarisation est séparé spectralement par le système de séparation spectrale 8, puis dirigé vers le système de détection 10. En variante, l’analyseur de polarisation 7 peut être positionné avant le filtre en détection 9.  After the sample, the light beam is filtered by the detection filter 9. The Raman spectrometry apparatus 100 further comprises a polarization analyzer 7 adapted to analyze the filtered light beam. The polarization analyzer 7 comprises a right and / or left circular polarization diffuser or selector or a right and / or left elliptic polarization selector or a linear polarization separator located after a linear polarization circular polarization converter, for example a quarter wave plate. After the polarization analyzer 7, the beam of light scattered and analyzed in polarization is spectrally separated by the spectral separation system 8, then directed to the detection system 10. In a variant, the polarization analyzer 7 can be positioned before the polarization analyzer 7. filter in detection 9.
De manière analogue au procédé de spectrométrie Raman décrit précédemment, le premier faisceau lumineux d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation polarisé suivant une première polarisation conduit à l’enregistrement d’un premier signal Raman.  Similarly to the Raman spectrometry method described above, the first excitation light beam at a first excitation wavelength polarized in a first polarization leads to the recording of a first Raman signal.
Le dispositif de polarisation 4 est configuré pour modifier l’état de polarisation du faisceau lumineux incident d’excitation et/ou diffusé, par exemple en premier lieu selon une polarisation circulaire gauche. Selon le procédé de spectrométrie Raman décrit précédemment, un deuxième faisceau lumineux d’excitation à cette première longueur d’onde d’excitation et polarisé suivant une deuxième polarisation conduit à l’enregistrement par le système de détection 10 d’un deuxième signal Raman. The polarization device 4 is configured to modify the polarization state of the incident light beam excitation and / or scattered, for example in the first place in a left circular polarization. According to the method of Raman spectrometry described above, a second excitation light beam at this first excitation wavelength and polarized according to a second polarization leads to the recording by the detection system 10 of a second Raman signal.
Le calculateur 12 est adapté pour générer un troisième signal Raman, dit spectre d’Activité Optique Raman, ce troisième signal correspondant à la différence du premier signal Raman et du deuxième signal Raman ou, suivant une autre configuration, à une combinaison linéaire d’un jeu de spectres Raman de différentes polarisations, exprimés en nombre d’onde relatif de l’excitation vexCi par rapport au domaine spectral d’observation [vobS2, vobSl] . The computer 12 is adapted to generate a third Raman signal, said spectrum of Raman Optical Activity, this third signal corresponding to the difference of the first Raman signal and the second Raman signal or, in another configuration, to a linear combination of a a set of Raman spectra of different polarizations, expressed as the relative wavenumber of the excitation v exCi with respect to the spectral range of observation [v obS2 , v obSl ].
Le système de source 2 est adapté pour générer au moins deux longueurs d’onde d’excitation différentes. Le procédé appliqué pour chacune des différentes longueurs d’onde d’excitation permet de générer au moins deux parties de spectre d’activité optique Raman en fonction du nombre d’onde relatif de l’intervalle spectral d’observation par rapport au nombre d’onde correspondant au faisceau lumineux incident d’excitation, sans changer les composants optiques polarisants. L’utilisation de multiples longueurs d’onde incidentes d’excitation permet soit de reconstituer un domaine spectral étendu vers les hauts nombres d’onde, soit d’observer rapidement des domaines spectraux Raman bien résolus et éloignés les uns des autres. Les deux solutions permettent de compléter et d’affiner la caractérisation spectrale de l’échantillon 6 étudié, par exemple la chiralité dans le cas de l’Activité Optique Raman.  The source system 2 is adapted to generate at least two different excitation wavelengths. The method applied for each of the different excitation wavelengths makes it possible to generate at least two portions of the Raman optical activity spectrum as a function of the relative wave number of the spectral observation interval with respect to the number of wave corresponding to the excitation light beam, without changing the polarizing optical components. The use of multiple incident excitation wavelengths makes it possible either to reconstruct an extended spectral domain towards high wavenumbers, or to rapidly observe Raman spectral domains that are well resolved and remote from one another. Both solutions make it possible to complete and refine the spectral characterization of the sample 6 studied, for example chirality in the case of the Raman Optical Activity.
En variante encore, l’appareil de spectrométrie Raman 1 peut être utilisé pour effectuer des mesures d’Activité Optique Hyper Raman (ou HROA). Dans ce cas, l’appareil de spectrométrie se décline comme la variante d’Activité Optique Raman, avec une excitation à deux photons au lieu d’un ou à n photons si on observe l’effet HROA non linéaire d’ordre supérieur. Dans la configuration Hyper Raman (ou HROA), seule l’excitation et le système optique 3 de guidage et/ou collimation et/ou de focalisation et/ou de mise en forme du faisceau doivent être adaptés pour une longueur d’onde d’excitation double de celle utilisée dans la configuration Raman (ou ROA). Eventuellement, un filtre supplémentaire adapté peut être ajouté pour couper la longueur d’onde d’excitation qui peut bruiter le système Raman, même à une longueur d’onde bien supérieure au domaine d’observation. In another variant, the Raman spectrometry apparatus 1 can be used to perform Hyper Raman Optical Activity (or HROA) measurements. In this case, the spectrometry apparatus is declined as the variant of Raman Optical Activity, with a two photon excitation instead of one or at n photons if we observe the higher order nonlinear HROA effect. In the Hyper Raman (or HROA) configuration, only the excitation and the optical system 3 for guiding and / or collimating and / or focusing and / or shaping the beam must be adapted for a wavelength of double excitation of that used in the Raman configuration (or ROA). Optionally, an adapted additional filter can be added to cut the excitation wavelength that can noisy the Raman system, even at a wavelength much greater than the domain observation.
En variante encore, le système de séparation spectrale 8 et/ou le filtre en détection 9 et/ou le système interférentiel et/ou le système de détection 10 est adapté pour enregistrer un spectre Raman, respectivement spectre de ROA, associé audit premier faisceau lumineux diffusé et détecté dans un autre intervalle spectral d’observation en longueur d’onde réduit [AofcS3 AofcsJ avec une meilleure résolution. En conservant le même nombre d’éléments de détection, un autre signal diffusé est alors détecté et présente ainsi une précision et résolution spectrale supérieure au premier signal Raman. Le calculateur 12 reçoit l’autre signal du système de détection 10 et génère un autre spectre dudit autre signal diffusé en fonction de la longueur d’onde dudit autre intervalle spectral d’observation [Aoi,S3,Aoi,sJ . Le calculateur 12 est également adapté pour générer une autre partie de spectre Raman en nombre d’onde relatif fonction de la différence entre le premier nombre d’onde associé au premier faisceau lumineux d’excitation et les nombres d’onde dudit domaine spectral d’observation réduit [v0bs4> Vobs3]> ledit autre domaine spectral s’étendant entre un cinquième nombre d’onde relatif Dn5 = vexCi - vobS3 et un sixième nombre d’onde relatif Dn6 = vexCi - v0bS4. De cette manière, comme le nombre d’éléments de détection est conservé dans le domaine spectral réduit, la précision spectrale du spectre de diffusion Raman obtenu augmente. En pratique, la précision spectrale augmente de manière inverse au rapport de réduction de l’intervalle spectral d’observation en longueur d’onde. In another variant, the spectral separation system 8 and / or the detection filter 9 and / or the interference system and / or the detection system 10 is adapted to record a Raman spectrum, respectively ROA spectrum, associated with said first light beam scattered and detected in another spectral range of reduced wavelength observation [A ofcS3 A ofcs J with better resolution. By keeping the same number of detection elements, another broadcast signal is then detected and thus has a higher accuracy and spectral resolution than the first Raman signal. The computer 12 receives the other of the detection system signal 10 and generates another spectrum from said another broadcast signal according to said wavelength other spectral observation interval [A oi, S3, A oi, s J. The computer 12 is also adapted to generate another part of the Raman spectrum in relative wavenumber as a function of the difference between the first wavenumber associated with the first excitation light beam and the wavenumbers of said spectral range. reduced observation [v 0bs4> Vobs3 ] > said other spectral range extending between a fifth relative wave number Dn 5 = v exCi - v obS3 and a sixth relative wave number Dn 6 = v exCi - v 0bS4 . In this way, as the number of sensing elements is kept in the reduced spectral range, the spectral accuracy of the Raman scattering spectrum obtained increases. In practice, the spectral accuracy increases inversely with the reduction ratio of the wavelength observation spectral interval.
En variante encore, un deuxième système de séparation spectrale (non représenté) peut être ajouté sur le trajet du faisceau lumineux après le premier système de séparation spectrale 8 ce qui permet de réduire l’intervalle spectral d’observation et ainsi d’obtenir des domaines spectraux Raman en nombre d’onde relatifs très résolus, typiquement de l’ordre de quelques dizaines de cm 1. In another variant, a second spectral separation system (not shown) may be added to the path of the light beam after the first spectral separation system 8, which makes it possible to reduce the spectral observation interval and thus to obtain domains Raman spectrals in relatively high relative wavenumber, typically of the order of a few tens of cm 1 .
En variante encore, l’appareil de spectrométrie Raman 1 permet de calibrer précisément et rapidement en longueur d’onde un système de séparation spectrale. Pour cela, le système de source 2 comporte une source laser accordable en longueur d’onde, ou de différentes longueurs d’onde discrètes sélectionnâmes. Le système de source est calibré d’origine ou mesuré en longueur d’onde avec un lambdamètre par exemple. Ces faisceaux lumineux d’excitation dont la longueur d’onde est déterminée, sont diffusés par un échantillon de référence présentant une ou plusieurs bandes spectrales fines et bien connues. Le changement de longueur d’onde d’excitation permet de scanner et calibrer le domaine spectral du système de séparation spectrale. L’utilisation de l’appareil de spectrométrie Raman 1 conforme à l’invention permet alors de s’affranchir des lampes de calibration spectrale. In another variant, the Raman spectrometry apparatus 1 makes it possible to calibrate a spectral separation system accurately and rapidly at a wavelength. For this, the source system 2 comprises a wavelength tunable laser source, or different discrete wavelengths selected. The source system is calibrated in origin or measured in wavelength with a lambdameter for example. These light beams of excitation whose wavelength is determined, are diffused by a reference sample having one or more fine and well known spectral bands. The change in excitation wavelength makes it possible to scan and calibrate the spectral range of the spectral separation system. The use of the Raman spectrometry apparatus 1 according to the invention then makes it possible to dispense with the spectral calibration lamps.
L’appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention peut concerner tous les spectromètres Raman, y compris les dispositifs portables et embarqués, qui travaillent avec un intervalle spectral d’observation fixe, adaptés pour des mesures sur sites, depuis les satellites, depuis les sondes extraterrestres ou dans les profondeurs des océans. Pour ces différentes applications, la reproductibilité spectrale et l’absence de pièces mobiles est cruciale pour la pérennité des instruments et des mesures.  The Raman spectrometry apparatus according to the invention can relate to all Raman spectrometers, including portable and embedded devices, which work with a fixed spectral observation interval, adapted for measurements on sites, from satellites, since the extraterrestrial probes or in the depths of the oceans. For these different applications, spectral reproducibility and the absence of moving parts is crucial for the durability of instruments and measurements.
L’appareil de spectrométrie Raman conforme à l’invention peut concerner également les spectromètres Raman pour lesquels des mesures avec une grande dynamique et de rapport signal sur bruit important aux hauts nombres d’onde sont souhaitées : le domaine spectral d’observation en longueur d’onde pour lequel le système de séparation spectrale et de détection est optimisé, et ce quels que soient les domaine Raman sondés. En particulier, il permet de sonder les harmoniques d’ordres supérieurs aux très hauts nombres d’onde, notamment supérieurs à 5000 cm 1. De la même manière, l’invention permet aussi de sonder rapidement avec une haute résolution plusieurs domaines spectraux Raman étroits et très éloignés en nombre d’onde relatif avec ces mêmes avantages d’efficacité. The Raman spectrometry apparatus in accordance with the invention can also relate to Raman spectrometers for which measurements with high dynamics and high signal-to-noise ratio at high wavenumbers are desired: the spectral range of observation in length of wave for which the spectral separation and detection system is optimized, regardless of the Raman domain probed. In particular, it allows to probe higher order harmonics with very high numbers wavelength, particularly greater than 5000 cm 1. In the same way, the invention also makes it possible to quickly probe with high resolution several Raman spectral domains narrow and far apart in relative wave number with these same efficiency advantages.
La présente invention permet de sonder des domaines spectraux Raman Stokes de nombre d’onde relatifs bien supérieurs au nombre d’onde d’observation initial : à titre d’exemple, si l’observation se situe vers 10000 nm (1000 cm 1), en excitant à 1000 nm (10000 cm 1), l’invention permet de mesurer aisément un spectre des très hauts nombres d’onde vers 9000 cm 1, où se situent les troisièmes harmoniques des modes d’élongation CH. The present invention makes it possible to probe Raman Stokes spectral domains of relative wavenumber well above the initial observation wavenumber: for example, if the observation is located around 10000 nm (1000 cm 1 ), by exciting at 1000 nm (10000 cm 1), the invention makes it easy to measure a very high wave number spectrum to 9000 cm 1, wherein are located the third harmonics of the CH stretch modes.
En outre, lorsque la fluorescence parasite les spectres Raman, l’usage est de privilégier une excitation laser dans le proche infrarouge à 785 nm et 1064 nm. Malheureusement, à ces longueurs d'onde excitatrices, la détection des hauts nombres d’onde, comme les élongations CH (stretching 3000 cm 1) et au-delà chute drastiquement, à cause de la faible efficacité des systèmes de détection : cela revient à observer les domaines infrarouges (respectivement 1030 nm et 1563 nm). La présente invention en conservant essentiellement le même domaine d'observation en nm sur au moins une zone de recouvrement et l'efficacité optimisée du système de séparation spectrale et du système de détection, permet de mesurer aisément ces hauts nombres d'ondes relatifs tout en augmentant l'effet Raman (proportionnel à Mlece) et en évitant toujours la fluorescence qui reste cantonnée dans le même domaine spectral d’émission en nm quelle que soit la longueur d’onde excitatrice. In addition, when the fluorescence parasitic Raman spectra, the use is to favor a laser excitation in the near infrared at 785 nm and 1064 nm. Unfortunately, at these exciting wavelengths, the detection of high wavenesses, such as CH elongations (stretching 3000 cm 1 ) and beyond drastically, because of the low efficiency of the detection systems: this amounts to observing the infrared domains (respectively 1030 nm and 1563 nm). The present invention retaining essentially the same nm observation range on at least one overlap zone and the optimized efficiency of the spectral separation system and the detection system makes it easy to measure these high relative wave numbers while increasing the Raman effect (proportional to Ml ece ) and always avoiding the fluorescence which remains confined in the same emission spectral domain in nm whatever the exciter wavelength.

Claims

REVENDICATIONS
1. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) pour caractériser un échantillon (6), l’appareil (1 ; 100) comprenant un système de source (2) générant un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation, un système de séparation spectrale (8) recevant un premier faisceau lumineux diffusé formé par diffusion dudit premier faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon (6) et séparant spectralement ledit premier faisceau lumineux diffusé, un système de détection (10) permettant d’enregistrer un premier signal Raman associé audit premier faisceau lumineux diffusé et détecté dans un intervalle spectral d’observation en longueur d’onde s’étendant entre une première longueur d’onde d’observation (ÀobSi) et une deuxième longueur d’onde d’observation {loύå2), un calculateur (12) recevant le premier signal Raman dudit système de détection (10) et générant une première partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit premier domaine spectral Raman s’étendant entre un premier nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un deuxième nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation ; 1. Raman spectrometry apparatus (1; 100) for characterizing a sample (6), the apparatus (1; 100) comprising a source system (2) generating a first incident excitation light beam at a first length of excitation wave, a spectral separation system (8) receiving a first scattered light beam formed by scattering said first incident excitation light beam onto the sample (6) and spectrally separating said first scattered light beam, a detection system Apparatus (10) for recording a first Raman signal associated with said first scattered and detected light beam in a wavelength observation spectral range extending between a first observation wavelength (At obSi ) and a second observation wavelength {l oύå2 ), a calculator (12) receiving the first Raman signal of said detection system (10) and generating a first portion of Raman spectrum according to the d Raman shifting in a first Raman spectral domain in relative wavenumber, said first Raman spectral domain extending between a first relative wavenumber according to the first wavelength of excitation and the first wavelength of observation and a second relative wave number according to the first excitation wavelength and the second observation wavelength;
caractérisé en ce que : characterized in that
ledit système de source (2) est adapté pour générer au moins un deuxième faisceau lumineux incident d’excitation à une deuxième longueur d’onde d’excitation, ladite deuxième longueur d’onde d’excitation étant différente de la première longueur d’onde d’excitation, ledit système de séparation spectrale (8) étant adapté pour recevoir un deuxième faisceau lumineux diffusé formé par diffusion dudit deuxième faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon (6) et pour séparer spectralement ledit deuxième faisceau lumineux diffusé, ledit système de détection (10) étant adapté pour détecter et enregistrer un deuxième signal Raman associé audit deuxième faisceau lumineux diffusé dans le même intervalle spectral d’observation en longueur d’onde, ledit calculateur (12) étant adapté pour mesurer le deuxième signal Raman et pour générer une deuxième partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un deuxième domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit deuxième domaine spectral Raman s’étendant entre un troisième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un quatrième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation, le deuxième domaine spectral Raman étant différent du premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, la première partie de spectre Raman et la deuxième partie de spectre Raman étant destinées à être combinées pour reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif et/ou ayant une résolution spectrale accrue dans le premier et/ou deuxième domaine spectral Raman. said source system (2) is adapted to generate at least a second excitation incident light beam at a second excitation wavelength, said second excitation wavelength being different from the first wavelength excitation circuit, said spectral separation system (8) being adapted to receive a second scattered light beam formed by scattering said second excitation incident light beam onto the sample (6) and to spectrally separate said second scattered light beam, said detection system (10) being adapted to detect and record a second Raman signal associated with said second light beam scattered in the same wavelength observation spectral range, said computer (12) being adapted to measure the second Raman signal and to generate a second part of Raman spectrum according to Raman displacement in a second Raman spectral domain in relative wavenumber, said second Raman spectral domain extending between a third relative wavenumber according to the second excitation wavelength and the first observation wavelength and a fourth relative wavenumber function of the second excitation wavelength and the second wavelength of observation, the second Raman spectral domain being different from the first Raman spectral domain in relative wavenumber, the first Raman spectrum portion and the second Raman spectrum portion being intended to be combined to reconstruct a Raman scattering spectrum over an extended spectral range in relative wavenumber and / or having an increased spectral resolution in the first and / or second domain spectral Raman.
2. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon la revendication 1 , dans lequel le système de source (2) est adapté pour générer une pluralité de faisceaux lumineux d’excitation à une pluralité de longueurs d’onde d’excitation.  The Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to claim 1, wherein the source system (2) is adapted to generate a plurality of excitation light beams at a plurality of excitation wavelengths.
3. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel le système de source (2) comprend une pluralité de sources lasers monochromatiques, une source laser accordable en fréquence optique et/ou une source générant plusieurs longueurs d’onde d’excitation monochromatiques sélectionnâmes ou séparables spatialement.  Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to claim 1 or 2, wherein the source system (2) comprises a plurality of monochromatic laser sources, an optical frequency tunable laser source and / or a multi-length generating source. Monochromatic excitation wave waves selectable or spatially separable.
4. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 3, dans lequel le système de source (2) comprend une source laser continue ou à impulsion.  Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 3, wherein the source system (2) comprises a continuous or pulsed laser source.
5. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, comportant en outre au moins un dispositif de polarisation (4) du faisceau lumineux d’excitation entre le système de source (2) et l’échantillon (6), ledit dispositif de polarisation (4) étant adapté pour polariser le premier faisceau lumineux incident d’excitation suivant au moins deux états de polarisation différents et, respectivement le deuxième faisceau lumineux incident d’excitation suivant au moins deux états de polarisation différents.  5. Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to any one of claims 1 to 4, further comprising at least one polarization device (4) of the excitation light beam between the source system (2) and the sample (6), said polarization device (4) being adapted to bias the first excitation incident light beam according to at least two different polarization states and respectively the second excitation incident light beam according to at least two states of different polarization.
6. Appareil de spectrométrie Raman (100) selon l’une des revendications 1 à 5, comportant en outre un analyseur de polarisation (7) disposé entre l’échantillon (6) et le système de détection (10), l’analyseur de polarisation (7) étant adapté pour analyser et/ou séparer en polarisation le premier faisceau lumineux diffusé et, respectivement, le deuxième faisceau lumineux diffusé. The Raman spectrometry apparatus (100) according to one of claims 1 to 5, further comprising a polarization analyzer (7) disposed between the sample (6) and the detection system (10), the analyzer of polarization (7) being adapted to analyze and / or polarize the first scattered light beam and, respectively, the second scattered light beam.
7. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel, le calculateur (12) est configuré pour conserver la première partie de spectre de diffusion Raman et la deuxième partie de spectre de diffusion Raman et constituer un jeu de parties de spectres Raman ou pour combiner la première partie de spectre Raman et la deuxième partie de spectre Raman et reconstituer un spectre Raman étendu et/ou de résolution spectrale accrue en nombre d’onde relatif. The Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to any one of claims 1 to 6, wherein the computer (12) is configured to hold the first Raman scattering spectrum portion and the second scattering spectrum portion. Raman and constitute a set of parts of Raman spectra or to combine the first portion of Raman spectrum and the second part of Raman spectrum and reconstruct an extended Raman spectrum and / or increased spectral resolution in relative wave number.
8. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel le calculateur (12) est adapté pour générer une première, respectivement deuxième, partie de spectre de diffusion hyper Raman dans un premier, respectivement deuxième, domaine spectral de déplacement hyper Raman en nombre d’onde relatif, dans lequel le premier nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit d’un nombre entier n et du premier nombre d’onde d’excitation et le premier nombre d’onde d’observation, le deuxième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du premier nombre d’onde d’excitation et le deuxième nombre d’onde d’observation, le troisième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du deuxième nombre d’onde d’excitation et le premier nombre d’onde d’observation, le quatrième nombre d’onde relatif est égal à la différence entre un produit du nombre entier n et du deuxième nombre d’onde d’excitation et le deuxième nombre d’onde d’observation, le multiple entier n étant supérieur ou égal à deux.  Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to any of claims 1 to 7, wherein the calculator (12) is adapted to generate a first, respectively second, part of a hyper-Raman scattering spectrum in a first, respectively second, a relative wavelength hyper Raman displacement spectral domain, wherein the first relative wavenumber is equal to the difference between a product of an integer n and the first excitation wavenumber and the first observation wave number, the second relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the first excitation wave number and the second observation wave number, the third relative wave number is equal to the difference between a product of the integer n and the second excitation wave number and the first observation wave number, the fourth relative wave number is equal to al to the difference between a product of the integer n and the second excitation wave number and the second observation wave number, the integer multiple n being greater than or equal to two.
9. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 8, comprenant un filtre en détection (9) configuré pour couper la première longueur d’onde d’excitation et/ou la deuxième longueur d’onde d’excitation.  9. Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 8, comprising a detection filter (9) configured to cut the first excitation wavelength and / or the second wavelength. excitation.
10. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 9, dans lequel le filtre en détection (9) comprend au moins un filtre passe-haut, un filtre passe-bas ou un filtre passe-bande ou une combinaison desdits filtres.  10. Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 9, wherein the detection filter (9) comprises at least one high-pass filter, a low-pass filter or a band-pass filter. or a combination of said filters.
11. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 10, dans lequel le système de séparation spectrale (8) comprend un spectromètre à base de réseau(x) de diffraction, de prisme(s) et/ou de grism(s) ou un spectromètre comprenant une combinaison de réseau(x) de diffraction et/ou de prisme(s) et/ou de grism(s). 11. Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 10, wherein the spectral separation system (8) comprises a spectrometer based on diffraction grating (s), prism (s) and / or grism (s) or a spectrometer comprising a combination of network (s) of diffraction and / or prism (s) and / or grism (s).
12. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 11 , dans lequel le système de séparation spectrale (8) comprend un filtre interférentiel et/ou un interféromètre.  Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 11, wherein the spectral separation system (8) comprises an interference filter and / or an interferometer.
13. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 12, dans lequel le filtre en détection (9) est fixe.  13. Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 12, wherein the detection filter (9) is fixed.
14. Appareil de spectrométrie Raman (1 ; 100) selon l’une des revendications 1 à 13, dans lequel le système de détection (10) comprend un détecteur monocanal ou un détecteur linéaire à une dimension ou un détecteur matriciel à deux dimensions.  The Raman spectrometry apparatus (1; 100) according to one of claims 1 to 13, wherein the detection system (10) comprises a single-channel detector or a one-dimensional linear detector or a two-dimensional matrix detector.
15. Procédé de spectrométrie Raman comprenant les étapes suivantes : 15. Raman spectrometry method comprising the following steps:
- génération d’un premier faisceau lumineux incident d’excitation à une première longueur d’onde d’excitation par un système de source (2) ; generating a first excitation incident light beam at a first excitation wavelength by a source system (2);
- séparation spectrale d’un premier faisceau lumineux diffusé formé par diffusion du premier faisceau lumineux incident d’excitation sur un échantillon (6) ;  spectral separation of a first scattered light beam formed by scattering the first excitation incident light beam onto a sample (6);
- enregistrement d’un premier signal Raman associé au premier faisceau lumineux diffusé, détecté dans un intervalle spectral d’observation en longueur d’onde s’étendant entre une première longueur d’onde d’observation et une deuxième longueur d’onde d’observation ;  recording of a first Raman signal associated with the first scattered light beam, detected in a spectral wavelength observation range extending between a first observation wavelength and a second wavelength of observation;
- calcul d’une première partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit premier domaine spectral Raman s’étendant entre un premier nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un deuxième nombre d’onde relatif fonction de la première longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation ;  calculating a first portion of Raman spectrum as a function of the Raman displacement in a first Raman spectral domain in relative wave number, said first Raman spectral domain extending between a first relative wave number and a function of the first length of the Raman spectrum. excitation wave and the first observation wavelength and a second relative wave number according to the first excitation wavelength and the second observation wavelength;
- génération d’au moins un deuxième faisceau lumineux incident d’excitation à une deuxième longueur d’onde d’excitation par le système de source (2), ladite deuxième longueur d’onde d’excitation étant différente de la première longueur d’onde d’excitation ;  generating at least one second excitation incident light beam at a second excitation wavelength by the source system (2), said second excitation wavelength being different from the first excitation wavelength; excitation wave;
- séparation spectrale d’un deuxième faisceau lumineux diffusé formé par diffusion du deuxième faisceau lumineux incident d’excitation sur l’échantillon (6) ;  spectral separation of a second scattered light beam formed by diffusion of the incident incident light beam onto the sample (6);
- enregistrement d’un deuxième signal Raman associé au deuxième faisceau lumineux diffusé, détecté dans le même intervalle spectral d’observation en longueur d’onde ; recording of a second Raman signal associated with the second scattered light beam, detected in the same spectral observation range in wavelength;
- calcul d’une deuxième partie de spectre Raman en fonction du déplacement Raman dans un deuxième domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif, ledit deuxième domaine spectral Raman s’étendant entre un troisième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la première longueur d’onde d’observation et un quatrième nombre d’onde relatif fonction de la deuxième longueur d’onde d’excitation et de la deuxième longueur d’onde d’observation, le deuxième domaine spectral Raman étant différent du premier domaine spectral Raman en nombre d’onde relatif ; et  calculating a second portion of Raman spectrum as a function of the Raman displacement in a second Raman spectral domain in relative wave number, said second Raman spectral domain extending between a third relative wave number and a function of the second length of excitation wave and the first observation wavelength and a fourth relative wave number according to the second excitation wavelength and the second observation wavelength, the second domain Raman spectral being different from the first Raman spectral domain in relative wavenumber; and
- combinaison de ladite première partie de spectre de diffusion Raman et de ladite deuxième partie de spectre de diffusion Raman pour reconstituer un spectre de diffusion Raman sur un domaine spectral étendu en nombre d’onde relatif et/ou ayant une résolution spectrale accrue dans le premier et/ou deuxième domaine spectral Raman.  combining said first portion of the Raman scattering spectrum and said second portion of the Raman scattering spectrum to reconstitute a Raman scattering spectrum over an extended spectral range in relative wavenumber and / or having an increased spectral resolution in the first and / or second Raman spectral domain.
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