EP3669167A1 - Particle sensor and method for producing same - Google Patents

Particle sensor and method for producing same

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EP3669167A1
EP3669167A1 EP18749765.6A EP18749765A EP3669167A1 EP 3669167 A1 EP3669167 A1 EP 3669167A1 EP 18749765 A EP18749765 A EP 18749765A EP 3669167 A1 EP3669167 A1 EP 3669167A1
Authority
EP
European Patent Office
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electrode
sensor
electrically insulating
particle
particle sensor
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP18749765.6A
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German (de)
French (fr)
Inventor
Radoslav Rusanov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Filing date
Publication date
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Publication of EP3669167A1 publication Critical patent/EP3669167A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/06Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0656Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01NGAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N2560/00Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics
    • F01N2560/05Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics the means being a particulate sensor

Abstract

The invention relates to a particle sensor (100; 100a) having a particle charging device (110), which has a high-voltage electrode (112) and is intended to charge particles (P) in a fluid flow (A1), and having at least one sensor electrode (120) for capturing information relating to an electrical charge current caused by particles from the fluid flow (A1), characterized in that the sensor electrode (120) is arranged on a first electrically insulating body (102), and in that the high-voltage electrode (112) is arranged on a second electrically insulating body (104; 104') which differs from the first electrically insulating body (102).

Description

Beschreibung Titel  Description title
Partikelsensor und Herstellungsverfahren hierfür Stand der Technik  Particle sensor and manufacturing method for this state of the art
Die Erfindung betrifft einen Partikelsensor mit einer eine The invention relates to a particle sensor with a one
Hochspannungselektrode aufweisenden Partikelaufladeeinrichtung zum Aufladen von Partikeln in einem Fluidstrom, und mindestens einer Sensorelektrode zur Erfassung von Information über einen elektrischen Ladungsstrom, der durch Partikel, insbesondere geladene Partikel, aus dem Fluidstrom verursacht wird, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Partikelsensors.  High-voltage electrode having particle charging device for charging particles in a fluid stream, and at least one sensor electrode for detecting information about an electric charge flow caused by particles, in particular charged particles, from the fluid flow, and a method for producing such a particle sensor.
Aus der WO 2013/125181 A1 ist ein Partikelsensor für den Einsatz in WO 2013/125181 A1 discloses a particle sensor for use in
Kraftfahrzeugen bekannt. Der bekannte Partikelsensor weist einen komplexen Schichtaufbau mit einer Vielzahl von einzelnen Schichten vergleichsweise komplexer Geometrie auf. Cars known. The known particle sensor has a complex layer structure with a multiplicity of individual layers of comparatively complex geometry.
Offenbarung der Erfindung Disclosure of the invention
Demgemäß ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Partikelsensor der eingangs genannten Art und ein Herstellungsverfahren hierfür dahingehend zu verbessern, dass der Partikelsensor eine gesteigerte Präzision sowie einen vergleichsweise einfachen Aufbau aufweist und kostengünstig zu fertigen ist. Accordingly, it is an object of the present invention to improve a particle sensor of the type mentioned and a manufacturing method thereof to the effect that the particle sensor has increased precision and a comparatively simple structure and is inexpensive to manufacture.
Diese Aufgabe wird durch den Partikelsensor nach Patentanspruch 1 und das Verfahren nach Anspruch 10 gelöst. Der erfindungsgemäße Partikelsensor weist eine Partikelaufladeeinrichtung mit einer Hochspannungselektrode zum Aufladen von Partikeln in einem Fluidstrom auf, und mindestens eine Sensorelektrode zur Erfassung von Information über einen elektrischen Ladungsstrom, der durch geladene Partikel aus dem Fluidstrom verursacht wird. Erfindungsgemäß ist die Sensorelektrode an einem ersten elektrisch isolierenden Körper angeordnet, und die Hochspannungselektrode ist an einem zweiten elektrisch isolierenden Körper angeordnet, der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper verschieden ist. Durch die Anordnung der Sensorelektrode und der Hochspannungselektrode an den zwei verschiedenen elektrisch isolierenden Körpern ergibt sich ein besonders störungsarmer Betrieb, bei dem insbesondere Störeinflüsse von der Hochspannungselektrode auf die Sensorelektrode bzw. ggf. deren elektrische Zuleitung gegenüber den bekannten Systemen vermindert sind. Dadurch kann ein besonders empfindlicher und genauer Partikelsensor bereitgestellt werden. Weiter ergibt sich ein besonders einfacher Aufbau und eine kostengünstigeThis object is achieved by the particle sensor according to claim 1 and the method according to claim 10. The particle sensor according to the invention has a particle charging device with a high-voltage electrode for charging particles in a fluid flow, and at least one sensor electrode for detecting information about an electric charge flow, which is caused by charged particles from the fluid flow. According to the invention Sensor electrode disposed on a first electrically insulating body, and the high voltage electrode is disposed on a second electrically insulating body, which is different from the first electrically insulating body. The arrangement of the sensor electrode and the high voltage electrode on the two different electrically insulating bodies results in a particularly low-noise operation, in particular interference from the high voltage electrode to the sensor electrode or possibly their electrical supply to the known systems are reduced. As a result, a particularly sensitive and accurate particle sensor can be provided. Next, a particularly simple structure and a cost
Fertigung. Die Körper können auch als Träger für die betreffende(n) Elektrode(n) angesehen werden. Production. The bodies may also be considered as carriers for the relevant electrode (s).
Beispielsweise kann es sich bei dem genannten Fluidstrom um einen For example, the said fluid flow may be around a
Abgasstrom einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeugs handeln. Exhaust flow of an internal combustion engine of a motor vehicle act.
Beispielsweise kann es sich bei den Partikeln um Rußpartikel handeln, wie sie im Rahmen einer Verbrennung von Kraftstoff durch eine Brennkraftmaschine entstehen. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der erste und/oder zweite Körper ein For example, the particles may be soot particles, such as those produced as part of combustion of fuel by an internal combustion engine. In a preferred embodiment, the first and / or second body is a
Keramikkörper, der vorteilhaft beispielsweise mittels Keramikspritzgußverfahren (Ceramic Injection Molding, CIM) hergestellt werden kann. Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen können auch In-Mold-Labeling-Verfahren zur Herstellung des ersten und/oder zweiten Körpers eingesetzt werden, wobei vorteilhaft beispielsweise die Hochspannungselektrode bzw. die Sensorelektrode und/oder weitere ggf. vorhandene Elektroden bzw. elektrische Ceramic body, which can be advantageously prepared for example by means of ceramic injection molding (CIM). In further preferred embodiments, in-mold labeling methods for producing the first and / or second body can also be used, wherein advantageously, for example, the high-voltage electrode or the sensor electrode and / or further electrodes or electrical electrodes
Anschlussleitungen und dergleichen auf den bzw. die Körper aufgebracht werden können. Damit können auch vergleichsweise komplexe Strukturen mit vergleichsweise geringen Herstellungskosten bereitgestellt werden. Connecting lines and the like can be applied to the body or bodies. This also comparatively complex structures can be provided with relatively low production costs.
Bei bevorzugten Ausführungsformen ist die Partikelaufladeeinrichtung zur Erzeugung einer Korona-Entladung ausgebildet. Insbesondere kann der In preferred embodiments, the particle charging device is designed to generate a corona discharge. In particular, the
Hochspannungselektrode auch wenigstens eine Gegenelektrode High voltage electrode and at least one counter electrode
(„Hochspannungsgegenelektrode") zugeordnet sein. Die Korona-Entladung ermöglicht eine elektrische Aufladung von Partikeln oder allgemein Teilchen, z.B. auch von Gasen, aus dem Fluidstrom bzw. Abgasstrom in einem Raum um die Hochspannungselektrode. Damit werden zum einen Partikel direkt beim The corona discharge allows electrical charging of particles or particles in general, including gases, from the fluid flow or exhaust gas flow in a space around the High voltage electrode. This will be on the one hand particles directly at
Durchströmen des Bereichs der Korona-Entladung elektrisch aufgeladen. Zum anderen werden Partikel über aufgeladene Teilchen des Gas- bzw. Abgasstroms geladen, wobei der Gas- bzw. Abgasstrom direkt beim Durchströmen des Raumes im Bereich der Hochspannungselektrode geladen wurde. Dies verbessert insgesamt die Wirksamkeit der Aufladung. Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist die Hochspannungselektrode wenigstens eine nadeiförmige Elektrode bzw. Spitze auf. Flowing through the region of the corona discharge electrically charged. On the other hand, particles are charged via charged particles of the gas or exhaust gas stream, with the gas or exhaust gas stream being charged directly as the space flows through in the area of the high-voltage electrode. This overall improves the efficiency of charging. In a preferred embodiment, the high voltage electrode has at least one needle-shaped electrode or tip.
Bei bevorzugten Ausführungsformen ist der erste Körper im wesentlichen hohlzylindrisch ausgebildet, kann somit bevorzugt einen zylinderartigen Körper mit Hohlraum (wobei der Hohlraum auch zylinderartig geformt sein kann) darstellen, auch entlang der Höhe des Körpers. Insbesondere können bei weiteren Ausführungsformen die Grundflächen des Körpers und des Hohlraums i.w. beliebig und voneinander unterschiedlich sein und sich insbesondere auch über die Höhe (d.h., entlang einer Höhenkoordinate des Körpers) ändern. In preferred embodiments, the first body is formed substantially hollow cylindrical, thus preferably a cylinder-like body with cavity (the cavity may also be shaped like a cylinder), also along the height of the body. In particular, in further embodiments, the base surfaces of the body and the cavity i.w. be arbitrary and different from one another, and in particular also change over the height (i.e., along a height coordinate of the body).
Bei bevorzugten Ausführungsformen weist der erste Körper eine im wesentlichen kreisringförmige Querschnittsform auf. In preferred embodiments, the first body has a substantially circular cross-sectional shape.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist der zweite Körper im wesentlichen zylindrisch („zylinderartig") ausgebildet, kann somit bevorzugt einen zylinderartigen Körper darstellen. Insbesondere kann bei weiteren In further preferred embodiments, the second body is substantially cylindrical ("cylinder-like"), and thus may preferably be a cylinder-like body
Ausführungsformen die Grundfläche des zweiten Körpers i.w. beliebig sein und sich insbesondere auch über die Höhe (d.h., entlang einer Höhenkoordinate des zweiten Körpers) ändern. Embodiments The base of the second body i.w. be arbitrary and in particular also change over the height (i.e., along a height coordinate of the second body).
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind beide Körper (erster und zweiter Körper) im wesentlichen zylinderartig ausgebildet, und optional weist wenigstens einer von ihnen einen sich über die Höhe ändernden Radius auf. In a particularly preferred embodiment, both bodies (first and second bodies) are substantially cylindrically shaped, and optionally at least one of them has a radius varying over the height.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist die Hochspannungselektrode zumindest teilweise innerhalb eines Innenraums des ersten Körpers angeordnet, und es ist insbesondere eine Gegenelektrode für die Hochspannungselektrode an einer Innenoberfläche bzw. Innenwand des ersten Körpers angeordnet, insbesondere auf der Innenoberfläche bzw. Innenwand, wodurch sich eine besonders effiziente und gleichmäßige Aufladung von Partikeln ergibt. In further preferred embodiments, the high-voltage electrode is arranged at least partially within an inner space of the first body, and in particular a counterelectrode for the high-voltage electrode is arranged on an inner surface or inner wall of the first body, in particular on the inner surface or inner wall, resulting in a particularly efficient and uniform charging of particles.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist die mindestens eine In further preferred embodiments, the at least one
Sensorelektrode an einer bzw. der Innenoberfläche bzw. Innenwand des erstenSensor electrode on one or the inner surface or inner wall of the first
Körpers angeordnet, insbesondere auf der Innenoberfläche bzw. Innenwand. Beispielsweise kann die Sensorelektrode flächig direkt auf der Innenoberfläche angeordnet sein. Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen weist der zweite Körper in einem ersten axialen Endbereich eine maximale radiale Außenabmessung auf, die kleiner ist als eine minimale radiale Abmessung eines bzw. des Innenraums des ersten Körpers. Dies ermöglicht vorteilhaft, den zweiten Körper zumindest teilweise, insbesondere mit einem ersten axialen Endbereich, axial in den ersten Körper einzuführen. Beispielsweise kann bei einer im wesentlichen Body arranged, in particular on the inner surface or inner wall. For example, the sensor electrode can be arranged flat on the inner surface. In further preferred embodiments, in a first axial end region, the second body has a maximum radial outer dimension that is less than a minimum radial dimension of an interior of the first body. This advantageously makes it possible to insert the second body at least partially, in particular with a first axial end region, axially into the first body. For example, at a substantially
kreiszylindrisch ausgebildeten Grundform des zweiten Körpers die maximale radiale Außenabmessung einem Außendurchmesser entsprechen, wobei gegebenenfalls die minimale radiale Abmessung des ersten Körpers einem Innendurchmesser entspricht. In dieser Konfiguration wird durch die zumindest teilweise Ineinanderanordnung der beiden Körper ein Funktionsraum zwischen einer radialen Außen Oberfläche des zweiten Körpers und einer dieser gegenüberliegenden radialen Innenoberfläche des ersten Körpers definiert, welcher beispielsweise Elektroden der Partikelaufladeeinrichtung aufnehmen kann. Optional können auch ein oder mehrere Trap-Elektroden zur Ablenkung vergleichsweise leichter geladener Teilchen in diesem Bereich vorgesehen sein.circular cylindrical formed basic shape of the second body, the maximum radial outer dimension correspond to an outer diameter, wherein optionally the minimum radial dimension of the first body corresponds to an inner diameter. In this configuration, by the at least partial arrangement of the two bodies, a functional space between a radially outer surface of the second body and a radially opposite inner surface of the first body is defined which can receive, for example, electrodes of the particle charging device. Optionally, one or more trap electrodes can be provided for deflecting comparatively lightly charged particles in this area.
Bei weiteren Ausführungsformen, welche keine Ineinanderanordnung oder eine andersartige als die vorstehend beispielhaft beschriebene Ineinanderanordnung der zwei Körper vorsehen, kann ebenfalls optional wenigstens eine Trap- Elektrode vorgesehen sein. In further embodiments, which do not provide an arrangement with one another or a different arrangement of the two bodies than described above by way of example, optionally at least one trap electrode may also be provided.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist der zweite elektrisch isolierende Körper im wesentlichen koaxial zu dem ersten Körper angeordnet, ragt insbesondere zumindest teilweise in den ersten Körper hinein. Neben der vorstehend bereits beschriebenen Definition der Funktionsbereiche für die Elektroden ist dadurch vorteilhaft ein Kanal zur Führung eines Fluids, beispielsweise von Abgas, definiert. Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen weist die In further preferred embodiments, the second electrically insulating body is arranged substantially coaxially to the first body, protrudes in particular at least partially into the first body. In addition to the above-described definition of the functional areas for the electrodes, this advantageously defines a channel for guiding a fluid, for example exhaust gas. In further preferred embodiments, the
Hochspannungselektrode wenigstens eine der folgenden Strukturen auf: im wesentlichen planare Nadelelektrodenstrukturen, die bevorzugt auf wenigstens einer Außenoberfläche des zweiten Körpers angeordnet sind, High voltage electrode at least one of the following structures: substantially planar needle electrode structures, which are preferably arranged on at least one outer surface of the second body,
Nadelelektrodenstrukturen, die bevorzugt auf wenigstens einer Außenoberfläche des zweiten Körpers angeordnet sind und von der Außenoberfläche abragen, also aus der Außenoberfläche herausragen. Kombination aus beiden Varianten sind ebenfalls denkbar. Diese Ausführungsformen ermöglichen eine effiziente Erzeugung einer Korona-Entladung, wobei die betreffenden Elektrodenstrukturen gleichzeitig einfach zu fertigen sind.  Needle electrode structures, which are preferably arranged on at least one outer surface of the second body and protrude from the outer surface, that protrude from the outer surface. Combination of both variants are also conceivable. These embodiments enable efficient generation of a corona discharge, with the respective electrode structures being easy to manufacture at the same time.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist der zweite Körper vollständig in einem bzw. dem Innenraum des ersten Körpers angeordnet, bevorzugt von diesem gehalten, wodurch sich eine besonders klein bauende Konfiguration ergibt. In further preferred embodiments, the second body is arranged completely in one or the interior of the first body, preferably held by the latter, resulting in a particularly small-sized configuration.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen weist der erste Körper wenigstens eine Öffnung in einer Wand der hohlzylindrischen Grundform auf, wodurch vorteilhaft Fluid, insbesondere zu detektierende Partikel enthaltendes Abgas oder dergleichen, aus einer radial äußeren Umgebung des Partikelsensors in den Innenraum des ersten Körpers gelangen kann. In further preferred embodiments, the first body has at least one opening in a wall of the hollow cylindrical basic shape, whereby advantageously fluid, in particular particles to be detected containing exhaust gas or the like, can pass from a radially outer environment of the particle sensor into the interior of the first body.
Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung hat ein Verfahren zur Herstellung eines Partikelsensors mit einer eine Hochspannungselektrode aufweisendenAnother aspect of the present invention has a method of manufacturing a particulate sensor having a high voltage electrode
Partikelaufladeeinrichtung zum Aufladen von Partikeln in einem Fluidstrom zum Gegenstand. Der Partikelsensor weist mindestens eine Sensorelektrode zur Erfassung von Information über einen elektrischen Ladungsstrom, der durch Partikel aus dem Fluidstrom verursacht wird, auf. Das Verfahren weist die folgenden Schritte auf: Vorsehen eines ersten elektrisch isolierenden Körpers,Particle charging device for charging particles in a fluid flow to the object. The particle sensor has at least one sensor electrode for detecting information about an electric charge flow caused by particles from the fluid flow. The method comprises the following steps: providing a first electrically insulating body,
Anordnen der Sensorelektrode an dem ersten elektrisch isolierenden Körper, Vorsehen eines zweiten elektrisch isolierenden Körpers, der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper verschieden ist, Anordnen der Disposing the sensor electrode on the first electrically insulating body; providing a second electrically insulating body different from the first electrically insulating body;
Hochspannungselektrode an dem zweiten elektrisch isolierenden Körper. High voltage electrode on the second electrically insulating body.
Weitere Merkmale, Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung, die in den Figuren der Zeichnung dargestellt sind. Dabei bilden alle beschriebenen oder dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Other features, applications and advantages of the invention will become apparent from the following description of embodiments of the invention, which are illustrated in the figures of the drawing. All described or illustrated features alone or in any combination form the subject matter of the invention, regardless of their
Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung bzw. in der Zeichnung. Summary in the claims or their dependency and regardless of their formulation or representation in the description or in the drawing.
In der Zeichnung zeigt: In the drawing shows:
Figur 1 schematisch einen Querschnitt einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Partikelsensors, FIG. 1 schematically shows a cross section of a first embodiment of the particle sensor according to the invention,
Figur 2A, 2B schematisch jeweils eine Draufsicht auf Details eines FIGS. 2A, 2B schematically each show a plan view of details of a
Partikelsensors gemäß weiterer Ausführungsformen,  Particle sensors according to further embodiments,
Figur 3 schematisch einen Querschnitt einer weiteren Ausführungsform des Partikelsensors, FIG. 3 schematically shows a cross section of a further embodiment of the particle sensor,
Figur 4 schematisch ein vereinfachtes Flussdiagramm einer FIG. 4 schematically shows a simplified flowchart of a
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens, und  Embodiment of the method according to the invention, and
Figur 5 schematisch die Anordnung des Partikelsensors gemäß Figur 1 in einem Zielsystem. FIG. 5 schematically shows the arrangement of the particle sensor according to FIG. 1 in a target system.
Figur 1 zeigt schematisch einen Querschnitt einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Partikelsensors 100. Der Partikelsensor 100 weist eine Partikelaufladeeinrichtung 1 10 zum Aufladen von Partikeln P in einem Fluidstrom A1 auf. Die Partikelaufladeeinrichtung 1 10 weist wenigstens eine FIG. 1 schematically shows a cross section of a first embodiment of a particle sensor 100 according to the invention. The particle sensor 100 has a particle charging device 110 for charging particles P in a fluid flow A1. The particle charging device 110 has at least one
Hochspannungselektrode 1 12 auf, welche mit einem vergleichsweise großen elektrischen Potenzial, beispielsweise einigen 100 Volt oder einigen Kilovolt, beaufschlagbar ist, um eine Koronaentladung 1 13 zu erzeugen. Der High voltage electrode 1 12, which with a comparatively large electric potential, for example a few 100 volts or a few kilovolts, can be acted upon to produce a corona discharge 1 13. The
Hochspannungselektrode 1 12 ist eine Hochspannungsgegenelektrode 1 14 zugeordnet, die mit einem Bezugspotenzial, beispielsweise dem Massepotenzial GND, verbindbar ist. Die Koronaentladung 1 13 bildet sich vorteilhaft insbesondere in einem Raumbereich zwischen der Hochspannungselektrode 1 12 und der Hochspannungsgegenelektrode 1 14 aus. High voltage electrode 1 12 is associated with a high voltage counter electrode 1 14, which is connectable to a reference potential, for example, the ground potential GND. The corona discharge 1 13 forms advantageous in particular in a space between the high voltage electrode 1 12 and the high voltage counter electrode 1 14 from.
Die Koronaentladung 1 13 ermöglicht eine Aufladung von Partikeln P oder allgemein Teilchen, z.B. auch von Gasen, aus dem Fluidstrom bzw. AbgasstromThe corona discharge 13 allows charging of particles P or generally particles, e.g. also of gases, from the fluid flow or exhaust gas flow
A1 , A1 ' in einem Raumbereich um die Hochspannungselektrode 1 12. Damit werden zum einen Partikel P direkt beim Durchströmen des die A1, A1 'in a space around the high voltage electrode 1 12. Thus, on the one hand, particles P directly when flowing through the
Hochspannungselektrode 1 12 umgebenden Raumbereichbereichs geladen. Zum anderen werden Partikel über aufgeladene Teilchen des Gas- bzw. Abgasstroms A1 , A1 ' geladen, wobei der Gas- bzw. Abgasstrom direkt beim Durchströmen desHigh voltage electrode 1 12 surrounding room area area loaded. On the other hand, particles are charged via charged particles of the gas or exhaust gas flow A1, A1 ', wherein the gas or exhaust gas flow directly as it flows through the
Raumbereichs der Hochspannungselektrode 1 12 geladen wurde. Dies verbessert insgesamt die Wirksamkeit der Aufladung. Bei einer bevorzugten Ausführungsform weist die Hochspannungselektrode 1 12 wenigstens eine nadeiförmige Elektrode bzw. Spitze auf. Space region of the high voltage electrode 1 12 has been loaded. This overall improves the efficiency of charging. In a preferred embodiment, the high voltage electrode 1 12 has at least one needle-shaped electrode or tip.
Weiter erfindungsgemäß weist der Partikelsensor 100 mindestens eine Further according to the invention, the particle sensor 100 has at least one
Sensorelektrode 120 zur Erfassung von Informationen über einen elektrischen Ladungsstrom auf, der durch Partikel P aus dem Abgasstrom verursacht wird, die mittels der Partikelaufladeeinrichtung 1 10 aufgeladen wurden. Sensor electrode 120 for detecting information about an electric charge flow, which is caused by particles P from the exhaust gas stream, which were charged by means of the particle charging device 1 10.
Erfindungsgemäß ist die Sensorelektrode 120 an einem ersten elektrisch isolierenden Körper 102 angeordnet, und die Hochspannungselektrode 1 12 ist an einem zweiten elektrisch isolierenden Körper 104 angeordnet, der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper 102 verschieden ist. Mit anderen Worten weist der Partikelsensor 100 den ersten elektrisch isolierenden Körper 102 und einen hiervon verschiedenen, zweiten elektrisch isolierenden Körper 104 auf, und die Elektroden 1 12, 120 sind jeweils unterschiedlichen Körpern 104, 102 zugeordnet bzw. auf diesen angeordnet. Dadurch ergibt sich vorteilhaft eine besonders geringe Beeinflussung der Sensorelektrode 120 durch den Betrieb der Hochspannungselektrode 1 12, wodurch Präzision und Empfindlichkeit des erfindungsgemäßen Partikelsensors gegenüber konventionellen Konfigurationen deutlich gesteigert sind. According to the invention, the sensor electrode 120 is disposed on a first electrically insulating body 102, and the high voltage electrode 1 12 is disposed on a second electrically insulating body 104 different from the first electrically insulating body 102. In other words, the particle sensor 100 has the first electrically insulating body 102 and a second electrically insulating body 104 different therefrom, and the electrodes 1 12, 120 are respectively assigned to or arranged on different bodies 104, 102. This advantageously results in a particularly low influence of the sensor electrode 120 by the operation of the high voltage electrode 1 12, whereby precision and sensitivity of the particle sensor according to the invention over conventional configurations are significantly increased.
Bei bevorzugten Ausführungsformen ist der erste Körper 102 im wesentlichen hohlzylindrisch, bevorzugt mit im wesentlichen kreisringförmiger In preferred embodiments, the first body 102 is substantially hollow cylindrical, preferably substantially circular
Querschnittsform, ausgebildet, weist also Hülsenform auf, was vorteilhafte Möglichkeiten zur Anordnung von einer oder mehreren Elektroden auf einer Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 bietet. Cross-sectional shape, formed, thus has a sleeve shape, which is advantageous Possibilities for arranging one or more electrodes on an inner surface 102a of the first body 102.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist die Hochspannungselektrode 1 12 zumindest teilweise innerhalb eines Innenraums I des ersten Körpers 102 angeordnet, und insbesondere ist die Hochspannungsgegenelektrode 1 14 an der Innenoberfläche 102a bzw. Innenwand des ersten Körpers 102 angeordnet, wodurch sich eine besonders effiziente und gleichmäßige Aufladung der Partikel ergibt. Es kann sich also eine vergleichsweise homogene Koronaentladung in radialer Richtung um die bevorzugt wenigstens näherungsweise In further preferred embodiments, the high voltage electrode 1 12 is at least partially disposed within an inner space I of the first body 102, and in particular the high voltage counter electrode 1 14 is disposed on the inner surface 102a or inner wall of the first body 102, thereby providing a particularly efficient and uniform charging of the Particles results. It may therefore be a comparatively homogeneous corona discharge in the radial direction to the preferred at least approximately
rotationssymmetrisch (gegebenenfalls mit der Ausnahme einzelner rotationally symmetric (possibly with the exception of individual
Spitzenstrukturen) ausgebildete Hochspannungselektrode 1 12 ausbilden. Tip structures) formed high-voltage electrode 1 12 train.
Besonders bevorzugt ist die Hochspannungsgegenelektrode 1 14 als Particularly preferred is the high voltage counter electrode 1 14 as
Ringselektrode ausgebildet, entspricht also im wesentlichen einem Abschnitt einer Mantelfläche des Kreiszylinders, der durch den Innenraum I bzw. dieRing electrode formed, that is substantially corresponds to a portion of a lateral surface of the circular cylinder, through the interior I and the
Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 definiert wird. Inner surface 102a of the first body 102 is defined.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist die mindestens eine In further preferred embodiments, the at least one
Sensorelektrode 120 an der Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 angeordnet. Beispielsweise kann die Sensorelektrode 120 flächig direkt auf derSensor electrode 120 disposed on the inner surface 102 a of the first body 102. For example, the sensor electrode 120 can be directly on the surface
Innenoberfläche 102a angeordnet sein, im wesentlichen vergleichbar zu der Hochspannungsgegenelektrode 1 14. Be arranged inside surface 102 a, substantially similar to the high voltage counter electrode 1 14th
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen weist der zweite Körper 104 in einem ersten axialen Endbereich B1 eine maximale radiale Außenabmessung, auf, die kleiner ist als eine minimale radiale Abmessung des Innenraums I des ersten Körpers 102. Dies ermöglicht vorteilhaft, den zweiten Körper 104 zumindest teilweise, insbesondere mit seinem ersten axialen Endbereich B1 , axial in den ersten Körper 102 einzuführen. Beispielsweise kann bei einer im wesentlichen kreiszylindrisch ausgebildeten Grundform des zweiten Körpers 104 die maximale radiale Außenabmessung dem Außendurchmesser D1 In further preferred embodiments, the second body 104 has a maximum radial outer dimension in a first axial end region B1 which is smaller than a minimum radial dimension of the inner space I of the first body 102. This advantageously makes it possible for the second body 104 to be at least partially, in particular with its first axial end region B1, to insert axially into the first body 102. For example, in the case of a substantially circular-cylindrical basic shape of the second body 104, the maximum radial outer dimension corresponds to the outer diameter D1
entsprechen, wobei gegebenenfalls die minimale radiale Abmessung des Innenraums I des ersten Körpers 102 dem Innendurchmesser D2 entspricht. In dieser Konfiguration wird durch die zumindest teilweise Ineinanderanordnung der beiden Körper 102, 104 ein Funktionsraum FR zwischen einer radialen where appropriate, where appropriate, the minimum radial dimension of the inner space I of the first body 102 corresponds to the inner diameter D2. In this configuration, as a result of the at least partial arrangement of the two bodies 102, 104, a functional space FR between a radial space is obtained
Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104 und der dieser gegenüberliegenden radialen Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 definiert, welcher beispielsweise die Elektroden 1 12, 1 14 der Outer surface 104a of the second body 104 and this Defines the opposite radial inner surface 102a of the first body 102, which, for example, the electrodes 1 12, 1 14 of the
Partikelaufladeeinrichtung 1 10 aufnehmen kann. Optional können auch ein oder mehrere Trap-Elektroden zur Ablenkung vergleichsweise leichter geladener Teilchen (Ionen eines in dem Fluidstrom A1 , A1 ' enthaltenen Gases) in diesem Bereich vorgesehen sein. Dies bewirkt, dass geladene Teilchen, die nicht an zu detektierenden Partikeln haften, vor dem Erreichen der Sensorelektrode 120 abgefangen werden und damit nicht zur Ladungsmessung beitragen können. Vorliegend ist in Figur 1 eine optionaleParticle charger 1 10 can record. Optionally, one or more trap electrodes may be provided for deflecting comparatively lightly charged particles (ions of a gas contained in the fluid flow A1, A1 ') in this region. This causes charged particles, which do not adhere to the particles to be detected, to be trapped before reaching the sensor electrode 120 and thus can not contribute to the charge measurement. In the present case is an optional in Figure 1
Trap-Elektrode 130 durch eine gestrichelte Linie angedeutet, die auf der Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104 angeordnet ist. Bei manchen Ausführungsformen kann die optionale Trap-Elektrode 130 mit demselben elektrischen Potenzial beaufschlagt werden wie die Hochspannungselektrode 1 12, wodurch vorteilhaft nur eine einzige elektrische Anschlussleitung zurTrap electrode 130 indicated by a dashed line, which is arranged on the outer surface 104a of the second body 104. In some embodiments, the optional trap electrode 130 may be subjected to the same electrical potential as the high voltage electrode 1 12, advantageously providing only a single electrical lead for
Beaufschlagung der Trap-Elektrode und der Hochspannungselektrode mit einem der Hochspannung entsprechenden elektrischen Potenzial benötigt wird. Eine Gegenelektrode 132 für die Trap-Elektrode 130 ist vorteilhaft auf der Loading the trap electrode and the high voltage electrode is required with a corresponding to the high voltage electrical potential. A counter electrode 132 for the trap electrode 130 is advantageous on
Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 angeordnet, und zwar bezüglich einer Strömungsrichtung der Fluidströmung A1 zwischen der weiter Inner surface 102 a of the first body 102 disposed, with respect to a flow direction of the fluid flow between the A1 further
stromaufwärts liegenden Partikelaufladeeinrichtung 1 10 und der weiter stromabwärts liegenden Sensorelektrode 120. upstream particle charging device 110 and the downstream sensor electrode 120.
Bei anderen Ausführungsformen (nicht in Figur 1 gezeigt) kann auch vorgesehen sein, die Hochspannungselektrode 1 12 und eine Trap-Elektrode 130 funktional zusammenzufassen, beispielsweise mittels einer einzigen Elektrodenfläche zu realisieren, die bevorzugt wiederum auf der Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104 angeordnet ist. Auch hierbei bleibt die erfindungsgemäß In other embodiments (not shown in FIG. 1), it may also be provided to functionally combine the high-voltage electrode 1 12 and a trap electrode 130, for example by means of a single electrode surface, which in turn is preferably arranged on the outer surface 104 a of the second body 104. Here too, the invention remains
vorgeschlagene Trennung von mit Hochspannungspotenzial beaufschlagbaren bzw. beaufschlagten Elektroden 1 12,130 von der Sensorelektrode 120, realisiert durch die Anordnung auf voneinander getrennten elektrisch isolierenden Körpern 102, 104, vorteilhaft erhalten. proposed separation of high voltage applied to be acted upon or acted upon electrodes 1 12,130 of the sensor electrode 120, realized by the arrangement on separate electrically insulating bodies 102, 104, advantageously obtained.
Bei weiteren Ausführungsformen (ebenfalls nicht gezeigt), welche keine In further embodiments (also not shown), which no
Ineinanderanordnung oder eine andersartige als die vorstehend beispielhaft beschriebene Ineinanderanordnung der zwei Körper 102, 104 vorsehen, kann ebenfalls optional wenigstens eine Trap-Elektrode vorgesehen sein. Assembly or other than the above exemplified described arrangement of the two bodies 102, 104 provide, may also optionally be provided at least one trap electrode.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist der zweite elektrisch isolierende Körper 104 im wesentlichen koaxial zu dem ersten Körper angeordnet, ragt insbesondere zumindest teilweise in den ersten Körper 102 hinein, wie dies in Figur 1 beispielhaft abgebildet ist. Vorliegend ragt der erste axiale Endbereich B1 des zweiten Körpers 104 in den Innenraum I des ersten Körpers 102 hinein, wohingegen der zweite axiale Endbereich B2 des zweiten Körpers 104 nicht in den Innenraum I hineinragt und gegebenenfalls einen größeren In further preferred embodiments, the second electrically insulating body 104 is disposed substantially coaxially with the first body, projects in particular at least partially into the first body 102, as shown by way of example in FIG. In the present case, the first axial end region B1 of the second body 104 protrudes into the inner space I of the first body 102, whereas the second axial end region B2 of the second body 104 does not project into the inner space I and possibly a larger one
Außendurchmesser als den ersten Außendurchmesser D1 aufweist. Neben der vorstehend bereits beschriebenen Definition der Funktionsbereiche bzw. des Funktionsraums FR für die Elektroden 1 12, 1 14, 130 ist dadurch vorteilhaft ein Kanal K zur Führung eines Fluids, beispielsweise von Abgas, definiert. Aus dem Partikelsensor 100 austretendes Fluid ist durch das Bezugszeichen A2 angedeutet.  Outside diameter than the first outer diameter D1 has. In addition to the above-described definition of the functional areas or the functional space FR for the electrodes 1 12, 1 14, 130, this advantageously defines a channel K for guiding a fluid, for example exhaust gas. Fluid exiting from the particle sensor 100 is indicated by the reference A2.
Bei weiteren Ausführungsformen ist eine optionale Abschirmelektrode 140 vorgesehen, beispielsweise in Form einer Gitterelektrode, die vorzugsweise zwischen der Partikelaufladeeinrichtung 1 10 und der Sensorelektrode 120 angeordnet ist. Sofern eine optionale Trap-Elektrode 130 vorgesehen ist, ist die ebenfalls optionale Abschirmelektrode 140 bevorzugt zwischen der optionalen Trap-Elektrode 130 und der Sensorelektrode 120 angeordnet, wie dies in Figur 1 schematisch angedeutet ist. Die Abschirmelektrode 140 kann vorteilhaft dazu dienen, die Sensorelektrode 120 vor elektrischen Feldern abzuschirmen, die von weiter stromaufwärts angeordneten Komponenten herrühren (beispielsweise von der Koronaentladung 1 13 erzeugte elektrische Felder). In further embodiments, an optional shielding electrode 140 is provided, for example in the form of a grid electrode, which is preferably arranged between the particle charging device 110 and the sensor electrode 120. If an optional trap electrode 130 is provided, the likewise optional shield electrode 140 is preferably arranged between the optional trap electrode 130 and the sensor electrode 120, as is indicated schematically in FIG. The shield electrode 140 may advantageously serve to shield the sensor electrode 120 from electric fields resulting from further upstream components (eg, electric fields generated by the corona discharge 13).
Besonders bevorzugt ist der Partikelsensor bei manchen Ausführungsformen im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet, sodass eine Empfindlichkeit bezüglich eines Einbauwinkels in einem Zielsystem reduziert ist. Particularly preferably, the particle sensor is formed in some embodiments substantially rotationally symmetrical, so that sensitivity is reduced with respect to a mounting angle in a target system.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen, zu denen entsprechende In further preferred embodiments, corresponding to those
Draufsichten auf Details nachstehend unter Bezugnahme auf die Figuren 2A, 2B beschrieben sind, weist die Hochspannungselektrode 1 12 (Fig. 1 ) wenigstens eine der folgenden Strukturen auf: im wesentlichen planare Nadelelektrodenstrukturen 1 120 (Fig. 2A), die bevorzugt auf der Detailed plan views will be described below with reference to Figures 2A, 2B, the high voltage electrode 12 (Figure 1) having at least one of the following structures: substantially planar Needle electrode structures 1 120 (FIG. 2A), which are preferably located on the
Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104 angeordnet sind, Outer surface 104a of the second body 104 are arranged,
Nadelelektrodenstrukturen 1 122 (Fig. 2B), die bevorzugt auf der Needle electrode structures 1 122 (FIG. 2B), which are preferably located on the
Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104 angeordnet sind und von der Außenoberfläche 104a abragen, also aus der Außenoberfläche herausragen, insbesondere senkrecht (vorliegend auch senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 2B). Kombinationen aus beiden Varianten sind ebenfalls denkbar. Diese Outer surface 104a of the second body 104 are arranged and protrude from the outer surface 104a, so protrude from the outer surface, in particular perpendicular (in the present case also perpendicular to the plane of FIG. 2B). Combinations of both variants are also conceivable. These
Ausführungsformen ermöglichen eine effiziente Erzeugung einer Korona- Entladung, wobei die betreffenden Elektrodenstrukturen gleichzeitig einfach zu fertigen sind. Die Draufsichten gemäß der Figuren 2A, 2B sind mit Blickrichtung in eine radial innere Richtung des Partikelsensors 100, insbesondere auf die Außenoberfläche 104a des zweiten Körpers 104, dargestellt, wobei zusätzlich schematisch ein Teil der jeweiligen Hochspannungsgegenelektrode 1 14 angedeutet ist. Figur 2B zeigt zusätzlich schematisch eine elektrische Embodiments enable an efficient generation of a corona discharge, wherein the respective electrode structures are simultaneously easy to manufacture. The plan views according to FIGS. 2A, 2B are shown with a viewing direction in a radially inner direction of the particle sensor 100, in particular on the outer surface 104a of the second body 104, wherein additionally a part of the respective high-voltage counterelectrode 14 is additionally indicated. FIG. 2B additionally shows schematically an electrical
Anschlussleitung 1 10' für die Hochspannungselektrode mit ihren Connecting cable 1 10 'for the high-voltage electrode with their
Nadelelektrodenstrukturen 1 122.  Needle electrode structures 1 122.
Bei einer Ausführungsform können die Nadelelektrodenstrukturen 1 120 nach Fig. 2A beispielsweise mittels Siebdruck, insbesondere Platin-Siebdruck, hergestellt werden, also durch Aufdrucken auf den zweiten Körper 104. Bei weiterenIn one embodiment, the needle electrode structures 1 120 according to FIG. 2A can be produced for example by means of screen printing, in particular platinum screen printing, that is to say by printing on the second body 104
Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass die Nadelelektrodenstrukturen 1 120 alternativ oder ergänzend mittels einem In-Mold-Labeling-Verfahren hergestellt werden, was die Herstellung weiter vereinfacht und günstiger macht. Besonders bevorzugt sind die Nadelelektrodenstrukturen 1 120 bei manchenEmbodiments may be provided that the needle electrode structures 1 120 are produced alternatively or additionally by means of an in-mold labeling process, which further simplifies the production and cheaper. Particularly preferred are the needle electrode structures 1 120 in some
Ausführungsformen so geformt, dass die Nadelspitzen (Bereiche der Embodiments shaped so that the needle tips (areas of the
Nadelelektrodenstrukturen mit dem geringsten Krümmungsradius), insbesondere in Bezug auf einer Längsachse des Partikelsensors, im wesentlichen, Needle electrode structures having the lowest radius of curvature), in particular with respect to a longitudinal axis of the particle sensor, substantially,
vorzugsweise möglichst genau, im Bereich der Hochspannungsgegenelektrode 1 14 enden, wodurch die Korona-Entladungen 1 13 genau an dieser Stelle entstehen. preferably as closely as possible, in the region of the high voltage counter electrode 1 14 ends, causing the corona discharges 1 13 arise exactly at this point.
Bei einer Ausführungsform können die Nadelelektrodenstrukturen 1 122 nach Fig. 2B beispielsweise durch eine entsprechende 3D (dreidimensionale)-Formung von„Nadelformen" auf dem zweiten Körper 104, z.B. unterhalb von mittels In-In one embodiment, the needle electrode structures 1 122 of FIG. 2B may be formed, for example, by a corresponding 3D (three-dimensional) shaping of "needle shapes" on the second body 104, e.g.
Mold-Labeling-Prozessen hergestellten Elektrodenbereichen, und/oder durch nachträgliche Anbringung von den„Nadeln" auf ansonsten flachen Molded electrode regions produced by mold labeling processes, and / or by subsequent attachment of the "needles" on otherwise flat
Elektrodenbereichen erzeugt werden. Auch die Anbringung eines z.B. Electrode areas are generated. Also the attachment of e.g.
ringförmigen elektrisch leitfähigen (z.B. metallischen) Elements mit Nadelspitzen auf bzw. an dem inneren Körper 104 und dessen elektrische Verbindung zu einer Anschlussleitung für die Versorgung mit einem der Hochspannung annular electrically conductive (e.g., metallic) pin-pointed member on the inner body 104 and its electrical connection to a high voltage supply lead
entsprechenden Potential ist denkbar. corresponding potential is conceivable.
Figur 3 zeigt schematisch einen Querschnitt einer weiteren Ausführungsform 100a des Partikelsensors, bei der der zweite Körper 104' anders ausgebildet ist als bei der Konfiguration 100 gemäß Figur 1 , wobei der zweite Körper 104' bei der Ausführungsform 100a gemäß Figur 3 insbesondere vollständig in dem Innenraum I des ersten Körpers 102 angeordnet ist, wodurch sich eine besonders klein bauende Konfiguration ergibt. Bevorzugt ist der zweite Körper 104' auch von dem ersten Körper 102 gehalten, was eine besonders einfache Konstruktion ergibt. Hier ist also der äußere z.B. keramische Träger, der durch den ersten Körper 102 gebildet wird, in Fig. 3 i.w. horizontal„durchgehend" ausgebildet (z.B. bis hin zu einer nicht gezeigten Montagefassung, die einen Einbau in einem Zielsystem ermöglicht und vorliegend z.B. an dem in Fig. 3 linken Ende des erstem Körpers 102 vorgesehen sein könnte). FIG. 3 schematically shows a cross section of a further embodiment 100a of the particle sensor, in which the second body 104 'is designed differently than in the configuration 100 according to FIG. 1, wherein the second body 104' in the embodiment 100a according to FIG. 3 is in particular completely in the interior I of the first body 102 is arranged, resulting in a particularly small-sized configuration. Preferably, the second body 104 'is also held by the first body 102, resulting in a particularly simple construction. So here is the outer e.g. ceramic carrier formed by the first body 102, in Fig. 3 i.w. horizontally "continuous" (e.g., to a mounting frame, not shown, which may be installed in a target system, and which could be presently provided, for example, at the left end of the first body 102 in Figure 3).
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen weist der erste Körper 102 wenigstens eine Öffnung 1022 in einer Wand 102' der hohlzylindrischen In further preferred embodiments, the first body 102 has at least one opening 1022 in a wall 102 'of the hollow cylindrical one
Grundform auf, wodurch vorteilhaft Fluid, insbesondere zu detektieren Partikel P' enthaltendes Abgas oder dergleichen, aus einer Umgebung U des Basic form, which advantageously fluid, in particular to detect particles P 'containing exhaust gas or the like, from an environment U of
Partikelsensors 100a in den Innenraum I des ersten Körpers 102 gelangen kann.Particle sensor 100a can get into the interior I of the first body 102.
Optional kann auch ein im wesentlichen rohrförmiges Führungselement 1020, insbesondere Führungsblech, radial außenseitig des ersten Körpers 102 angeordnet sein, das eine Führung des Fluids bzw. der Fluidströmung A1 , A1 ' aus der Umgebung U in den Innenraum I, durch die Öffnungen 1022 hindurch, bewirkt. Optionally, a substantially tubular guide element 1020, in particular guide plate, can be arranged radially outside of the first body 102, which guides the fluid or the fluid flow A1, A1 'from the environment U into the interior I, through the openings 1022. causes.
Bei der in Figur 3 abgebildeten Konfiguration 100a ist als weiterer Unterschied zu der Konfiguration 100 gemäß Figur 1 eine kombinierte Hochspannungs- und Trap-Elektrode 1 12a vorgesehen, welche wiederum mit einem vergleichsweise großen elektrischen Potenzial beaufschlagbar ist, und welche beispielsweise über Nadelstrukturen 1 120, 1 122 verfügen kann, um die Ausbildung einer Koronaentladung zwischen der kombinierten Hochspannungs- und Trap- Elektrode 1 12a und einer entsprechenden Gegenelektrode 1 140 zu bewirken. Die Gegenelektrode 1 140 ist vorzugsweise auf der Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 angeordnet. In the configuration 100a depicted in FIG. 3, a further difference from the configuration 100 according to FIG. 1 is a combined high-voltage and trap electrode 1 12a, which in turn can be acted upon by a comparatively large electrical potential, and which can be supplied, for example, via needle structures 1 120, 1 122 may require the training of a Corona discharge between the combined high voltage and trap electrode 1 12a and a corresponding counter electrode 1 140 cause. The counter electrode 1 140 is preferably arranged on the inner surface 102 a of the first body 102.
Bei manchen Ausführungsformen kann die kombinierte Hochspannungs- und Trap-Elektrode 1 12a beispielsweise auch als diskretes Bauelement, In some embodiments, the combined high voltage and trap electrode 1 12a may also be used as a discrete device, for example.
insbesondere metallisch leitendes Element bzw. Element mit metallisch leitender Oberfläche, ausgebildet sein, welches beispielsweise in eine radial innere Öffnung des zweiten Körpers 104' einlegbar ist. Bei weiteren Ausführungsformen können auch mehrere Elektroden zur Realisierung wenigstens einer In particular, metallic conductive element or element with a metallically conductive surface, be formed, which, for example, in a radially inner opening of the second body 104 'can be inserted. In further embodiments, a plurality of electrodes for realizing at least one
Hochspannungselektrode und wenigstens einer Trap-Elektrode vorgesehen sein. In diesem Fall kann beispielsweise ein weiteres elektrisch isolierendes Element in dem zweiten Körper 104' vorgesehen bzw. angeordnet sein. High-voltage electrode and at least one trap electrode may be provided. In this case, for example, another electrically insulating element may be provided or arranged in the second body 104 '.
Eine elektrische Anschlussleitung 120' für die Sensorelektrode 120 ist vorteilhaft auf der Innenoberfläche 102a des ersten Körpers 102 angeordnet und somit räumlich von den„Hochspannungskomponenten" 1 12a, 1 120, 1 122 getrennt. Die elektrische Anschlussleitung 1 140' für die Gegenelektrode 1 140 kann in vergleichbarer Weise an der Innenoberfläche 102a angeordnet sein. An electrical connection line 120 'for the sensor electrode 120 is advantageously arranged on the inner surface 102a of the first body 102 and thus spatially separated from the "high-voltage components" 1 12a, 1 120, 1 122. The electrical connection line 1 140' for the counter electrode 1 140 can be arranged in a comparable manner on the inner surface 102a.
Insbesondere kann die Zuleitung der Sensorelektrode isoliert unterhalb der Gegenelektrode 1 140 verlaufen (z.B. hergestellt mittels mehrlagiger  In particular, the supply line of the sensor electrode can run in isolation below the counterelectrode 1 140 (for example produced by means of multilayer electrodes)
Siebdruckstrukturen) und wird durch diese dann von Störungen durch die Koronaentladung geschirmt. Screen printing structures) and is then shielded by these disturbances by the corona discharge.
Ein weiterer bedeutender Vorteil der Konfiguration 100a gemäß Figur 3 ist, dass keine elektrische Kontaktierung zwischen den zwei Körpern 102,104' zur Fortführung von elektrischen Anschlussleitungen bzw. Zuleitungen zu einer Halterung bzw. Montagefassung notwendig ist, was den Aufbau weiter vereinfacht. Another significant advantage of the configuration 100a according to FIG. 3 is that no electrical contact between the two bodies 102, 104 'is necessary for the continuation of electrical connection lines or feed lines to a holder or mounting frame, which further simplifies the structure.
Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung hat ein Verfahren zur Herstellung eines Partikelsensors 100, 100a beispielsweise gemäß den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen, zum Gegenstand, das nachfolgend unter Bezugnahme auf das vereinfachte Flussdiagramm gemäß Figur 4 beschrieben ist. Das Verfahren weist die folgenden Schritte auf: Vorsehen 200 eines ersten elektrisch isolierenden Körpers 102 (Fig. 1 , beispielsweise unter Verwendung von Keramik-Spritzguss), Anordnen 202 (Fig. 4) der Sensorelektrode 120 an dem ersten elektrisch isolierenden Körper 102, Vorsehen 204 eines zweiten elektrisch isolierenden Körpers 104, der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper 102 verschieden ist, Anordnen 206 der Hochspannungselektrode 1 12 an dem zweiten elektrisch isolierenden Körper 104. A further aspect of the present invention relates to a method for producing a particle sensor 100, 100a, for example according to the embodiments described above, which is described below with reference to the simplified flow chart according to FIG. The method includes the following steps: providing 200 of a first one electrically insulating body 102 (FIG. 1, for example, using ceramic injection molding), disposing 202 (FIG. 4) the sensor electrode 120 on the first electrically insulating body 102, providing 204 a second electrically insulating body 104 electrically remote from the first insulating body 102, arranging 206 the high voltage electrode 1 12 on the second electrically insulating body 104.
Figur 5 zeigt schematisch die Anordnung des Partikelsensors 100 gemäß Figur 1 in einem Zielsystem, bei dem es sich vorliegend um ein Abgasrohr R einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeugs handelt. Der Partikelsensor 100 ist in einer Schutzrohranordnung angeordnet, die ein radial äußeres erstes Rohr R1 umfasst und ein radial inneres zweites Rohr R2, das wie aus Figur 5 ersichtlich radial innerhalb des ersten Rohrs R1 und gegebenenfalls teilweise axial zu dem ersten Rohr R1 versetzt angeordnet ist. Aufgrund der unterschiedlichen Längen und der Anordnung der Rohre R1 , R2 relativ zueinander ergibt sich durch denFIG. 5 shows schematically the arrangement of the particle sensor 100 according to FIG. 1 in a target system, which in the present case is an exhaust pipe R of an internal combustion engine of a motor vehicle. The particle sensor 100 is arranged in a protective tube arrangement which comprises a radially outer first tube R1 and a radially inner second tube R2 which, as shown in FIG. 5, is arranged radially offset inside the first tube R1 and possibly partially offset axially relative to the first tube R1. Due to the different lengths and the arrangement of the tubes R1, R2 relative to each other results from the
Venturi-Effekt ein Sog, bei dem die Abgasströmung A in dem Abgasrohr R eine Fluidstromung P1 bzw. A1 (Fig. 1 ) aus dem inneren Rohr R1 heraus in Figur 5 in vertikaler Richtung nach oben bewirkt. Die weiteren Pfeile P2, P3, P4 deuten die Fortsetzung dieser durch den Venturi-Effekt bewirkten Fluidstromung durch einen Zwischenraum zwischen den beiden Rohren R1 , R2 hindurch zur Umgebung IT der Schutzrohranordnung hin an. Insgesamt wird durch die in Figur 5 abgebildete Anordnung eine vergleichsweise gleichmäßige Anströmung des Partikelsensors 100 bewirkt, was eine effiziente Erfassung von in der Fluidstromung P1 befindlichen Partikeln ermöglicht. Darüber hinaus wird der Partikelsensor 100 vor einem direkten Kontakt mit dem Haupt-Abgasstrom A geschützt. Somit ist durch die Elemente 100, R1 , R2 vorteilhaft eine Sensoreinrichtung 1000 zur Venturi effect a suction in which the exhaust gas flow A in the exhaust pipe R causes a fluid flow P1 or A1 (Fig. 1) out of the inner tube R1 in Figure 5 in a vertical upward direction. The further arrows P2, P3, P4 indicate the continuation of this caused by the Venturi effect fluid flow through a gap between the two tubes R1, R2 through to the environment IT of the protective tube assembly towards. Overall, a comparatively uniform flow of the particle sensor 100 is effected by the arrangement shown in Figure 5, which enables efficient detection of particles contained in the fluid flow P1. In addition, the particulate sensor 100 is protected from direct contact with the main exhaust flow A. Thus, by the elements 100, R1, R2 advantageously a sensor device 1000 for
Bestimmung einer Partikelkonzentration in dem Abgas A angegeben. Determination of a particle concentration in the exhaust gas A specified.
Bei weiteren bevorzugten Ausführungsformen kann die Funktion des radial äußeren Rohrs R2 beispielsweise auch durch das rohrförmige FührungselementIn further preferred embodiments, the function of the radially outer tube R2, for example, by the tubular guide member
1020 gemäß Figur 3 realisiert sein, wobei der erste Körper 102 des 1020 can be realized according to Figure 3, wherein the first body 102 of the
Partikelsensors 100a gemäß Figur 3 vorteilhaft die Funktion des inneren Rohrs R1 übernehmen kann, wodurch sich die Konstruktion weiter vereinfacht. Bei solchen Ausführungsformen ist es weiter vorteilhaft, wenn ein oder mehrere Öffnungen 1022 umlaufend bzw. ringförmig in dem ersten Körper 102 Particle sensor 100a according to Figure 3 can advantageously take over the function of the inner tube R1, which further simplifies the construction. In such embodiments, it is further advantageous if one or more openings 1022 are annular in the first body 102
vorgesehen sind, um ein Einleiten eines partikelhaltigen Fluids (z.B. Abgas) in den Innenraum I (Figur 3) des Partikelsensors zu ermöglichen, wo die Partikel zunächst aufgeladen werden und ihre Ladung anschließend gemessen wird. are provided to introduce a particulate-containing fluid (eg exhaust gas) in allow the interior I (Figure 3) of the particle sensor, where the particles are first charged and their charge is then measured.
Das Arbeitsprinzip des Partikelsensors 100, 100a gemäß den The working principle of the particle sensor 100, 100a according to the
Ausführungsformen basiert auf einer elektrischen Aufladung der zu messendenEmbodiments are based on an electrical charge of the to be measured
Partikel P (Fig. 1 ), insbesondere Rußpartikel, und der anschließenden Detektion dieser Ladung durch die Sensorelektrode 120. Der Partikelsensor kann vorteilhaft beispielsweise zur Überwachung eines Dieselpartikelfilters einer selbstzündenden Brennkraftmaschine eingesetzt werden. Mithilfe des Particle P (FIG. 1), in particular soot particles, and the subsequent detection of this charge by the sensor electrode 120. The particle sensor can advantageously be used for example for monitoring a diesel particulate filter of a self-igniting internal combustion engine. With the help of
Partikelsensors können beispielsweise die Massenkonzentration (mg/m3 bzw. mg/mi) und/oder die Anzahlkonzentration (Partikel/m3 oder Partikel/mi) der Rußpartikel P bestimmt werden. Gerade die Fähigkeit zur Messung der Particle sensors, for example, the mass concentration (mg / m 3 or mg / mi) and / or the number concentration (particle / m 3 or particle / mi) of the soot particles P can be determined. Just the ability to measure the
Anzahlkonzentration gemäß mancher Ausführungsformen ist hierbei besonders vorteilhaft, weil dies bei herkömmlichen Systemen für manche Einsatzzwecke nur unzureichend genau möglich ist. Number concentration according to some embodiments is particularly advantageous because this is insufficiently possible with conventional systems for some applications.
Bei weiteren Ausführungsformen kann der Partikelsensor beispielsweise auch in Fahrzeugen mit fremdgezündeten Brennkraftmaschinen, zum Beispiel„Benzin- Fahrzeugen", eingesetzt werden, um dort einen Partikelausstoß zu detektieren. Gerade dort ist es beispielsweise wichtig, schnell nach dem Start des Fahrzeugs bzw. der Brennkraftmaschine messfähig zu sein, da ein Großteil der Partikel beim Kaltstart entsteht. Für Benzin-Fahrzeuge ist die Partikelzahl-Messfähigkeit aufgrund der feinen Partikel (wenig Masse, hohe Anzahl) auch besonders wichtig. In further embodiments, the particle sensor can also be used, for example, in vehicles with spark-ignited internal combustion engines, for example "gasoline vehicles", in order to detect particle emissions there, for example, it is important to be able to measure rapidly after the vehicle or internal combustion engine has started Due to the fine particles (low mass, high number), particulate matter measurement capability is also particularly important for gasoline vehicles.
Unter diesem Gesichtspunkt ist der Partikelsensor gemäß der From this point of view, the particle sensor according to the
Ausführungsformen ebenfalls besonders vorteilhaft, da aktuell auf dem Markt verfügbare, konventionelle Automotive-Sensoren (On-Board) nicht in der Lage sind, Partikelanzahl zuverlässig zu messen. Embodiments are also particularly advantageous since conventional automotive sensors currently available on the market (on-board) are not able to reliably measure the number of particles.
Wie bereits vorstehend beschrieben, basieren bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Partikelsensors auf der Detektion der elektrischen Ladung (bzw. des entsprechenden elektrischen Stromes) von zuvor As already described above, preferred embodiments of the particle sensor according to the invention are based on the detection of the electric charge (or of the corresponding electric current) from previously
aufgeladenen Rußpartikeln P (Fig. 1 ). Die Aufladung erfolgt dabei bevorzugt mithilfe einer Koronaentladung in der Luft bzw. dem die Partikel enthaltendencharged soot particles P (FIG. 1). The charge is preferably carried out by means of a corona discharge in the air or containing the particles
Fluidstrom A1 , die Messung der Ladung beispielsweise durch das„escaping currenf-Prinzip oder durch Ladungsinfluenz (Erfassung eines die Ladung der Partikel bzw. den entsprechenden Strom charakterisierenden Messsignals durch die Sensorelektrode 120). Der Partikelsensor kann manchen Ausführungsformen zufolge besonders vorteilhaft für eine gesetzlich vorgeschriebene ODB (Onboard Diagnosis)-Überwachung des Zustandes eines Dieselpartikelfilters verwendet werden. Fluid flow A1, the measurement of the charge, for example by the "escaping currenf principle or by charge influence (detection of a charge of the particles or the corresponding current characterizing measurement signal by the sensor electrode 120). According to some embodiments, the particle sensor may be used particularly advantageously for a legally prescribed ODB (Onboard Diagnosis) monitoring of the state of a diesel particulate filter.
Auch andere Anwendungsgebiete, wie z.B. der Einsatz in einem Abgasstrang vor einem Dieselpartikelfilter (also stromaufwärts des Dieselpartikelfilters) für eine Optimierung der Motorsteuerung, sind denkbar. Durch das neuartige Messprinzip wird eine sehr viel höhere Empfindlichkeit (minimal messbare Partikel- bzw. Rußkonzentration) erreicht, welche mit den bisherigen resistiven Prinzipien (Messung von durch Ruß fließenden Strom) nicht möglich war. Auch die erfindungsgemäß ermöglichte viel höhere Messgeschwindigkeit (mindestens 1 Messung pro Sekunde im Vergleich zu mehrere Minuten pro Messung) und Möglichkeit der Partikelanzahl-Messung stellen einen großen Vorteil des Also other applications, such. the use in an exhaust system before a diesel particulate filter (ie upstream of the diesel particulate filter) for optimizing the engine control, are conceivable. Due to the novel measuring principle, a much higher sensitivity (minimum measurable particle or soot concentration) is achieved, which was not possible with the previous resistive principles (measurement of current flowing through soot). The inventively much higher measurement speed (at least 1 measurement per second compared to several minutes per measurement) and possibility of particle number measurement provide a great advantage of
Partikelsensors 100, 100a dar. Dadurch wird auch der Einsatz in Particle sensors 100, 100a dar. This is also the use in
Benzinfahrzeugen zur GPF (Partikelfilter für Benzinfahrzeuge)-Überwachung möglich. Insbesondere erlaubt die höhere Messgeschwindigkeit auch eine Korrelation eines Rohmesssignals mit Motorbetriebspunkten, was eine Gasoline vehicles for GPF (particle filter for gasoline vehicles) monitoring possible. In particular, the higher measurement speed also allows a correlation of a raw measurement signal with engine operating points, which is a
Verbesserung der Datenauswertung und damit eine Erhöhung der Improvement of the data evaluation and thus an increase of the
Sensorgenauigkeit zur Folge hat. Sensor accuracy results.
Das Prinzip der vorliegenden Ausführungsformen 100, 100a adressiert insbesondere das Problem der Reduktion eines Störeinflusses von The principle of the present embodiments 100, 100a addresses in particular the problem of reducing a disturbing influence of
Hochspannungselektroden und -Zuleitungen auf die Sensorelektrode 120 und deren Zuleitung. Dazu ist das vorstehend beschriebene Design mit den zwei getrennten Körpern 102, 104 vorgeschlagen, bei denen es sich z.B. um Körper aus einem keramischen Material handelt. Vorteilhaft können die Körper 102, 104 mittels Ceramic Injection Molding (CIM), insbesondere mit In-Mold-Labeling, hergestellt werden, welches auch vergleichsweise komplexe geometrischeHigh voltage electrodes and leads to the sensor electrode 120 and its supply line. For this purpose, the design described above with the two separate bodies 102, 104 is proposed, in which e.g. is about body of a ceramic material. Advantageously, the bodies 102, 104 can be produced by means of Ceramic Injection Molding (CIM), in particular with in-mold labeling, which also has comparatively complex geometric properties
Formen zu kleinen Herstellungskosten erlaubt. Molds allowed at low cost.
Das hier vorgeschlagene Konzept hat zudem einige weitere Vorteile gegenüber anderen Aufbauformen. Die Trennung bzw. Verteilung der Hoch- und The concept proposed here also has some further advantages over other types of construction. The separation or distribution of high and
Niederspannungselemente auf die zwei unterschiedlichen Körper bzw. TrägerLow-voltage elements on the two different body or carrier
102, 104 bringt Vorteile für die Empfindlichkeit und Genauigkeit des 102, 104 brings advantages for the sensitivity and accuracy of the
Partikelsensors. Durch die bei bevorzugten Ausführungsformen ermöglichten ringförmig angeordneten Korona-Entladungen erhöhen sich die Menge der aufgeladenen Rußpartikel (Wirkungsquerschnitt wird größer) und damit die Empfindlichkeit des Sensors. Durch die ringförmige Anordnung wird zusätzlich die Empfindlichkeit des Partikelsensors 100, 100a bezüglich des Einbauwinkels (vgl. Fig. 5) massiv reduziert, was die Montage in einem Zielsystem 1000 vereinfacht. Das gleiche gilt auch für die bei bevorzugten Ausführungsformen ringförmigen Trap-Elektroden 130, 132 und ihr elektrisches Feld, wodurch die Homogenität des Trapping (Einfangen von vergleichsweise leichten geladenenParticle sensor. The ring-shaped corona discharges made possible in preferred embodiments increase the amount of charged soot particles (cross-section becomes larger) and thus the sensitivity of the sensor. The annular arrangement additionally massively reduces the sensitivity of the particle sensor 100, 100a with respect to the installation angle (cf., Fig. 5), which simplifies assembly in a target system 1000. The same holds true for the trap shaped electrodes 130, 132 in the preferred embodiments and their electric field, whereby the homogeneity of the trapping (capturing of comparatively light charged
Teilchen) verbessert wird. Particles) is improved.
Der Partikelsensor gemäß den Ausführungsformen kann beispielsweise als Sensor für die On-Board Überwachung eines Zustandes eines The particulate sensor according to the embodiments may be used, for example, as a sensor for on-board monitoring of a state of a
Dieselpartikelfilters eines Personenkraftwagens oder Nutzkraftwagen verwendet werden. Das Konzept ermöglicht sowohl die Bestimmung der Diesel particulate filter of a passenger car or commercial vehicle are used. The concept allows both the determination of
Massenkonzentration (mg/m3 bzw. mg/mi) als auch der Anzahlkonzentration (Partikel/m3 oder Partikel/mi) der emittierten Partikel. Der Partikelsensor gemäß den Ausführungsformen kann darüber hinaus auch zur Überwachung des Zustandes des Partikelfilters bei Benzinfahrzeugen eingesetzt werden. Auch dieMass concentration (mg / m 3 or mg / mi) and the number concentration (particles / m 3 or particles / mi) of the emitted particles. The particulate sensor according to the embodiments may also be used for monitoring the condition of the particulate filter in gasoline vehicles. Also the
Verwendung des Sensors für die Bestimmung der Partikelkonzentration bei anderen Anwendungen (Raumluftqualität, Emissionen von Verbrennungsanlagen (privat, industriell)) ist denkbar. Use of the sensor for the determination of the particle concentration at other applications (indoor air quality, emissions from incinerators (private, industrial)) is conceivable.

Claims

Ansprüche claims
1 . Partikelsensor (100; 100a) mit einer eine Hochspannungselektrode (1 12) aufweisenden Partikelaufladeeinrichtung (1 10) zum Aufladen von Partikeln (P) in einem Fluidstrom (A1 ), und mindestens einer Sensorelektrode (120) zur Erfassung von Information über einen elektrischen Ladungsstrom, der durch Partikel (P), insbesondere geladene Partikel, aus dem Fluidstrom (A1 ) verursacht wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorelektrode (120) an einem ersten elektrisch isolierenden Körper (102) angeordnet ist, und dass die Hochspannungselektrode (1 12) an einem zweiten elektrisch isolierenden Körper (104; 104') angeordnet ist, der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper (102) verschieden ist. 1 . Particle sensor (100, 100a) having a particle charging device (1 10) having a high-voltage electrode (1 12) for charging particles (P) in a fluid flow (A1), and at least one sensor electrode (120) for detecting information about an electric charge current, which is caused by particles (P), in particular charged particles, from the fluid flow (A1), characterized in that the sensor electrode (120) is arranged on a first electrically insulating body (102), and in that the high-voltage electrode (1 12) a second electrically insulating body (104; 104 ') which is different from the first electrically insulating body (102).
2. Partikelsensor (100; 100a) nach Anspruch 1 , wobei der erste Körper (102) im wesentlichen hohlzylindrisch ausgebildet ist. 2. Particle sensor (100, 100a) according to claim 1, wherein the first body (102) is formed substantially hollow cylindrical.
3. Partikelsensor (100; 100a) nach Anspruch 2, wobei der erste Körper (102) eine im wesentlichen kreisringförmige Querschnittsform aufweist. The particle sensor (100; 100a) of claim 2, wherein the first body (102) has a substantially annular cross-sectional shape.
4. Partikelsensor (100; 100a) nach Anspruch 2 oder 3, wobei die The particle sensor (100; 100a) according to claim 2 or 3, wherein the
Hochspannungselektrode (1 12) zumindest teilweise innerhalb eines  High voltage electrode (1 12) at least partially within one
Innenraums (I) des ersten Körpers (102) angeordnet ist, und wobei insbesondere eine Gegenelektrode (1 14) für die Hochspannungselektrode (1 12) an einer Innenoberfläche (102a) des ersten Körpers (102) angeordnet ist, insbesondere auf der Innenoberfläche (102a).  Interior space (I) of the first body (102) is arranged, and wherein in particular a counter electrode (1 14) for the high voltage electrode (1 12) on an inner surface (102 a) of the first body (102) is arranged, in particular on the inner surface (102 a ).
5. Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die mindestens eine Sensorelektrode (120) an einer bzw. der 5. Particle sensor (100, 100a) according to claim 2, wherein the at least one sensor electrode (120) adjoins one or more of the sensor electrodes
Innenoberfläche (102a) des ersten Körpers (102) angeordnet ist, insbesondere auf der Innenoberfläche (102a).  Inner surface (102a) of the first body (102) is arranged, in particular on the inner surface (102a).
6. Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei der zweite Körper (104) in einem ersten axialen Endbereich (B1 ) eine maximale radiale Außenabmessung (D1 ) aufweist, die kleiner ist als eine minimale radiale Abmessung (D2) eines bzw. des Innenraums (I) des ersten Körpers (102). The particle sensor (100; 100a) according to at least one of claims 2 to 5, wherein the second body (104) has a maximum radial outer dimension (D1) smaller than a first axial end portion (B1) minimum radial dimension (D2) of the interior (I) of the first body (102).
Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der zweite elektrisch isolierende Körper (104; 104') im wesentlichen koaxial zu dem ersten Körper (102) angeordnet ist, insbesondere zumindest teilweise in den ersten Körper (102) hineinragt. A particle sensor (100; 100a) according to at least one of the preceding claims, wherein the second electrically insulating body (104; 104 ') is disposed substantially coaxially with the first body (102), in particular at least partially protruding into the first body (102).
Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die Hochspannungselektrode (1 12) wenigstens eine der folgenden Strukturen aufweist: im wesentlichen planare A particle sensor (100; 100a) according to at least one of the preceding claims, wherein the high voltage electrode (1 12) has at least one of the following structures: substantially planar
Nadelelektrodenstrukturen (1 120), die bevorzugt auf wenigstens einer Außenoberfläche (104a) des zweiten Körpers (104) angeordnet sind, Nadelelektrodenstrukturen (1 122), die bevorzugt auf wenigstens einer Außenoberfläche (104a) des zweiten Körpers (104) angeordnet sind und von der Außenoberfläche (104a) abragen.  Needle electrode structures (1 120) preferably disposed on at least one outer surface (104a) of the second body (104), needle electrode structures (122 2) preferably disposed on at least one outer surface (104a) of the second body (104) and of the Protrude outer surface (104 a).
Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche 2 bis 7, wobei der zweite Körper (104') vollständig in einem bzw. dem Innenraum (I) des ersten Körpers (102) angeordnet, bevorzugt von diesem gehalten, ist. The particle sensor (100; 100a) according to at least one of the preceding claims 2 to 7, wherein the second body (104 ') is completely disposed in, preferably held by, the interior space (I) of the first body (102).
0. Partikelsensor (100; 100a) nach wenigstens einem der vorstehenden 0. Particle sensor (100, 100a) according to at least one of the preceding
Ansprüche 2 bis 8, wobei der erste Körper (102) wenigstens eine Öffnung (1022) in einer Wand (102') der hohlzylindrischen Grundform aufweist. 1 . Verfahren zur Herstellung eines Partikelsensors (100; 100a) mit einer eine Hochspannungselektrode (1 12) aufweisenden Partikelaufladeeinrichtung (1 10) zum Aufladen von Partikeln (P) in einem Fluidstrom (A1 ), und mindestens einer Sensorelektrode (120) zur Erfassung von Information über einen elektrischen Ladungsstrom, der durch Partikel aus dem Fluidstrom (A1 ) verursacht wird, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: Vorsehen (200) eines ersten elektrisch isolierenden Körpers (102), Anordnen (202) der Sensorelektrode (120) an dem ersten elektrisch isolierenden Körper (102), Vorsehen (204) eines zweiten elektrisch isolierenden Körpers (104; 104'), der von dem ersten elektrisch isolierenden Körper (102) verschieden ist, Anordnen (206) der Hochspannungselektrode (1 12) an dem zweiten elektrisch isolierenden Körper (104; 104').  Claims 2 to 8, wherein the first body (102) has at least one opening (1022) in a wall (102 ') of the hollow cylindrical basic shape. 1 . Method for producing a particle sensor (100; 100a) having a particle charging device (1 10) having a high voltage electrode (1 12) for charging particles (P) in a fluid flow (A1), and at least one sensor electrode (120) for detecting information about an electric charge flow caused by particles from the fluid flow (A1), characterized by the following steps: providing (200) a first electrically insulating body (102), arranging (202) the sensor electrode (120) on the first electrically insulating body (102), providing (204) a second electrically insulating body (104; 104 ') different from the first electrically insulating body (102), arranging (206) the high voltage electrode (1 12) on the second electrically insulating body ( 104, 104 ').
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