EP3647600A1 - Erkennung eines elektrisch angeschlossenen zubehörs - Google Patents

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EP3647600A1
EP3647600A1 EP19201918.0A EP19201918A EP3647600A1 EP 3647600 A1 EP3647600 A1 EP 3647600A1 EP 19201918 A EP19201918 A EP 19201918A EP 3647600 A1 EP3647600 A1 EP 3647600A1
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EP
European Patent Office
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connection
accessory unit
vacuum device
accessory
message
Prior art date
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Application number
EP19201918.0A
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English (en)
French (fr)
Other versions
EP3647600B1 (de
Inventor
Viktor Dorscht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
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Publication of EP3647600A1 publication Critical patent/EP3647600A1/de
Priority to JP2020159318A priority patent/JP7005715B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of EP3647600B1 publication Critical patent/EP3647600B1/de
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring

Definitions

  • the present invention relates to a method for operating a vacuum device, in particular a vacuum pump system, the vacuum device having a control unit with a connection for an accessory unit.
  • the invention also relates to a vacuum device, in particular a vacuum pump system, with a control unit for operating the vacuum device.
  • the vacuum device can also be a vacuum device other than a vacuum pump system.
  • the vacuum device can be a display device or a pressure measuring device.
  • one or more connections are each provided for an accessory unit.
  • the accessory unit is operated by a control unit of the vacuum device.
  • the vacuum device can contain an input device on which a user can identify the connected accessory unit.
  • entering the information manually is tedious and not very flexible.
  • a method for operating a vacuum device in particular a vacuum pump system or a display device or a pressure measuring device, the vacuum device having a control unit with a connection for an accessory unit, with the features of claim 1, and in particular in that the method at least comprises the following steps: outputting a message via the connection in accordance with a predetermined communication protocol; Determining whether a response to the message is received over the port; if it is determined that a response to the message is not received, determining whether an electrical resistor is connected to the connector (in other words connected to the connector); and if it is determined that an electrical resistance is connected to the connection, recognizing and / or actuating the accessory unit based on the connected electrical resistance.
  • determining whether an electrical resistor is connected to the connection means that it is determined whether an (external) resistor (for example a characteristic resistor in the accessory unit) is connected to the connection (for example via a plug connection on the Connection to which an accessory unit can be connected).
  • an electrical resistance for example a characteristic resistor in the accessory unit
  • an attempt is made to determine whether an accessory unit is connected to certain connecting lines of a vacuum device, which can communicate with the vacuum device in accordance with a predetermined communication protocol and can thus actively identify itself with the vacuum device, and if it is found that such an accessory unit is not is connected, an attempt is made to determine whether an accessory unit, which can be identified by ascertaining a characteristic resistor installed in the accessory unit, is connected to the specific connecting lines of the vacuum device.
  • connection of the accessory unit can be carried out in a particularly simple manner, in particular without a manual or other external configuration, or with a manual or other external configuration adapted to the accessory unit.
  • This also makes the operation of the vacuum device particularly flexible, since accessory units can be connected, disconnected and / or replaced without great effort and as required.
  • a particularly comfortable operation in the sense of a "plug and play" concept is realized.
  • a connected accessory unit advantageously gains its function simply by connecting to the connection.
  • Accessories that can communicate with the vacuum device according to the specified communication protocol can also be referred to as “active accessories” or “intelligent accessories” because they can actively communicate with the vacuum device and can thus actively identify themselves with the vacuum device.
  • Accessory units that cannot communicate with the vacuum device in accordance with the specified communication protocol can also be referred to as "passive accessory units" because they cannot actively identify themselves with the vacuum device, but rather by determining an electrical one Resistance can be recognized by the vacuum device.
  • Passive accessories can preferably only be switched on and off, such as valves, fans or relays.
  • the specified communication protocol can be a digital communication protocol.
  • the predetermined communication protocol can be set up to transmit digital information.
  • the message can be digital information converted into a voltage sequence according to the predetermined communication protocol (in other words: a sequence of logical values, for example a sequence of bits, for example a sequence of logical values 0 and 1).
  • a resistor is connected to the connection or not, and / or the value of the resistor can be determined.
  • a two-step method is used in which it is first determined whether a resistor is connected to the connection and then, if it is determined that a resistor is connected to the connection, the value of the resistance is determined.
  • control unit can operate and / or control it as required.
  • control unit can recognize the accessory unit on the basis of a label and call up further information, such as maximum tolerable voltage, from a stored table.
  • control unit immediately recognizes the necessary information, in particular on the basis of a signal emitted by the accessory unit in the case of an active accessory unit.
  • the connection can have a plurality of communication contacts (in other words: pins; in other words: lines) for communicatively connecting the accessory unit to the control unit.
  • the communication contacts can be metallic and / or electrical contacts.
  • at least one communication contact is used both for communication in accordance with the predetermined communication protocol (that is to say outputting the message via the connection and / or receiving a response or determining whether a message was received) and also determining whether there is a resistance to the connection connected.
  • a pin of the connection can be used either in accordance with the specified communication protocol or as a measuring line for an analog value (for example a voltage which is dependent on the resistance).
  • the type of function of the pin (according to the communication protocol or as a measuring line) can be determined, for example, by a microcontroller that is also used to operate the Communication protocol is used, determined and / or carried out.
  • the possibility of communication between the control unit and the active accessory unit can not only simplify the detection, but also make the operation considerably more flexible, since data can now be exchanged between the control unit and the accessory unit.
  • communication in both directions is possible.
  • the communication contact can also be used for communication with other units that are not accessory units, that is, for example, for communication with a configuration and / or diagnostic unit, a further vacuum device and / or a process control system.
  • a separate interface such as a diagnostic or configuration interface, can then advantageously be dispensed with.
  • several communication contacts, in particular per connection can also be provided.
  • the same interface can be used to recognize and / or control the passive accessory unit.
  • the following steps can be carried out: outputting a further message via the connection in accordance with the predetermined communication protocol; Determining whether a response to the further message is received via the connection; if it is determined that a response to the further message is received, actuating the accessory unit based on the received message. If no active accessory unit is connected at first, and it is then determined that no passive accessory unit is connected, the detection of the active accessory unit is reduced.
  • a message can be output cyclically via the connection in accordance with the predetermined communication protocol and it can be determined whether an electrical resistance is connected to the connection until either a response to the message is received or it is determined that an electrical resistance is present the connection is connected. It is therefore possible to switch between the detection of active accessory units and passive accessory unit until an accessory unit (active or passive) is identified. The accessory unit can then be recognized and / or controlled based on the response received (for an active accessory unit) or the connected electrical resistance (for a passive accessory unit).
  • the change between the detection of active accessory units and the detection of passive accessory units can be terminated according to a predetermined rule (for example after a predetermined time has elapsed or after a predetermined number of (unsuccessful) recognition attempts) and a warning message can be issued to the user, for example will.
  • a predetermined rule for example after a predetermined time has elapsed or after a predetermined number of (unsuccessful) recognition attempts
  • determining whether a response to the message is received via the connection can include: determining whether a response to the message was received within the predetermined response time.
  • the predefined response time can be selected in accordance with the predefined communication protocol. The response time can in particular be chosen so that it the communication times between the Vacuum device and the accessory unit as well as the processing time in the accessory unit in response to the message received in the accessory unit. For example, the predefined response time can be in the range from 1 ⁇ s to 500 ms.
  • an electrical resistance is connected to the connection (in other words if a passive accessory unit is recognized)
  • the predetermined time interval can be selected so that on the one hand the effort of the repeated determination is limited, and on the other hand in time (for example in time to ensure safe operation of the vacuum device even without the accessory unit) if a previously connected accessory unit is no longer is connected to the connector.
  • the time interval can be in the range from 1 s to 100 s.
  • the following steps can be carried out: output of a further message via the connection in accordance with the predetermined communication protocol; Determining whether a response to the further message is received via the connection; if it is determined that a response to the message is received, address the Accessory unit based on the message received. After it is recognized that a previously connected passive accessory unit is no longer connected to the connector, it can recognize an active accessory unit (by outputting a message via the connector in accordance with the specified communication protocol and determining whether a response is received) or one passive accessory unit (by determining whether an electrical resistor is connected to the connector). This makes it possible to determine immediately after removing a previously connected accessory unit whether an accessory unit is connected again.
  • the communication protocol can be a serial protocol.
  • the serial protocol can be set up according to RS-232 (or ANSI EIA /) TIA-232-F or EIA-232), RS-422 (or EIA-422 or ITU-T V.11), RS-423 ( or EIA-423) or RS-485 (or EIA-485), LVDS (Low Voltage Differential Signaling) or TTY.
  • At least one of the communication contacts that are used for the serial interface can be used to determine whether an electrical resistor is connected to this communication contact. This enables serial and analog detection of accessory units on the same connection.
  • Serial detection can mean detection of active accessories.
  • Analog detection can mean detection of passive accessories.
  • the object of the invention is also achieved by a vacuum device, in particular a vacuum pump system, with a control unit for operating the vacuum device according to the independent claim directed thereon, in particular by a control unit for operating the vacuum device, the control unit being adapted to the method for operating the vacuum device Vacuum device to run at least partially.
  • connection has a voltage supply line and a serial interface with a receive line and a transmission line. This means that both the control of active accessory units and the voltage supply of both active and passive accessory units can take place.
  • a measuring resistor can be arranged between the receive line and the voltage supply line (or any other node in the vacuum device that provides a voltage supply).
  • the control unit can be adapted to determine whether an electrical resistance is connected to the connection based on a measurement of a current through the measurement resistance or a voltage (in other words: a voltage drop) at the measurement resistance.
  • the resistance in the accessory unit can be determined, for example, via a voltage drop across the measuring resistor.
  • the measuring resistor can have an ohmic resistance in the range of several 100 ohms to several kiloohms.
  • control unit can have a circuit board as a vacuum feedthrough.
  • vacuum feedthrough can also serve as an electronic component.
  • the accessory unit can be a sensor, a piezo sensor, a piezo / Pirani sensor, a flood valve, a sealing gas throttle, a sealing gas valve, a heater (for example a water heater or an air heater), a cooling device (for example a water cooling or an air cooling), a relay and a backing pump contain or be.
  • accessory units that can only be switched on and off are preferably passive accessory units.
  • More complex accessories that require control based on several parameters are preferably active Accessory units in which the controller is already communicating in accordance with the specified communication protocol.
  • connection has at least one supply contact for the electrical supply of the accessory unit.
  • the accessory unit therefore does not require an additional power connection, which simplifies the arrangement.
  • a driver can be provided for the supply contact or for the connection. This can advantageously be designed in such a way that accessory units from older device generations can also be operated reliably, in particular without means for transmitting identification signals (for example passive accessory units).
  • the control unit can be designed to supply the accessory unit with different voltages, in particular via the supply contact.
  • these are two different voltages, in particular zero and a general operating voltage for all accessories.
  • At least two different voltages different from zero are particularly advantageous.
  • the connection of accessory units can be made more flexible, since they can be supplied as required without the need for a transformer on the accessory unit.
  • the control unit is designed to apply a first non-zero voltage, for example 5 V, in principle, in particular to the connection or to the supply contact, and, after detection and / or communication with the accessory unit, another voltage suitable for the accessory unit Voltage, for example 24 V, to apply.
  • a specific supply voltage is permanently present, for example at the supply contact.
  • the accessory unit advantageously controls itself, in particular in Dependency on commands or data specified by the control unit, which are advantageously transmitted via a communication contact of the connection. This simplifies the vacuum device and control unit technically.
  • the supply contact can be used, for example, both for supplying energy to the accessory unit and as a mere switching means for actuating a switch, such as a relay, for example in the case of a passive accessory unit.
  • a switch such as a relay
  • accessories can also be operated for which a power supply via the vacuum device would be impossible or technically very complex.
  • the accessory unit can be a backing pump for the vacuum device designed here as a vacuum pump. This backing pump requires a relatively large output, which could only be provided with a special technical effort by the vacuum device. On top of this, this leads to an increased installation space, which is often undesirable. In this example, the energy supply to the accessory unit is thus advantageously outsourced.
  • a vacuum device Insofar as a vacuum device is described above as a unit different from the accessory unit, this relates to vacuum devices which are not intended as accessories for the vacuum device according to the invention, but are operated in a subordinate manner.
  • the backing pump described here is subordinate to the vacuum pump and dependent.
  • the backing pump is also controlled via the supply contact. In principle, however, it can also be controlled via a communication contact or other means of communication.
  • the connection according to the invention can be designed and used in a variety of ways. Control and / or communication can be implemented for numerous units, in particular starting from the control unit. In all of this, the automatic recognition of the accessory unit according to the invention ensures both Passive accessories as well as active accessories by the control unit for a completely new flexibility and simplicity.
  • the supply contact can be used to determine a voltage drop across the measuring resistor in the vacuum device, and thus the resistance in the accessory unit.
  • control unit is designed to control the accessory unit as a function of parameters of the vacuum device.
  • the speed is controlled as a function of a temperature in or on the vacuum device. This control can take place, on the one hand, via a supply contact and, on the other hand, via a communication contact, in which case the accessory unit is then prompted to adjust the speed itself.
  • the vacuum device and / or accessory unit are even designed such that both are possible.
  • a common contact can also be provided as a communication contact and supply contact. Communication and supply are then also possible via the same line. This proves to be particularly advantageous in terms of compatibility. Existing connections do not need to be redesigned. In addition, the construction is and remains simple.
  • control unit is designed to recognize the type of accessory unit from a signal emanating from the accessory unit.
  • the signal can include, for example, an identifier and / or information that directly parameters the Accessories, such as operating voltage, concern.
  • the signal can be a message according to the specified communication protocol.
  • the signal can be made available, for example, via a communication contact of the connection of the control unit. This enables particularly simple operation.
  • a serial interface for the accessory unit can be provided at the connection. This enables particularly reliable communication to be implemented in a simple manner.
  • a bus interface for the accessory unit can be provided at the connection. This enables particularly flexible operation for a large number of accessory units.
  • the accessory units can be controlled individually and / or in groups. In particular, the number of accessory units can be expanded.
  • control unit can recognize an assignment of the connected accessory units to the respective connection, for example via a topology, that is to say via direct or assigned individual wiring between the control unit and the respective connections. Alternatively, however, an assignment can also be made via a bus system.
  • control unit is designed to process useful data provided by the accessory unit.
  • data that is different from recognition data are considered as useful data.
  • user data include sensor data. So it can Accessory unit include, for example, a sensor and provide its information either analog or digital, in particular via the connection. It is possible with a cost advantage to dispense with a separate converter provided for the sensor. This not only saves a converter, but generally available parts can also be operated with the control unit without major technical adjustments.
  • control unit is designed to operate the accessory unit, even if the control unit does not recognize the accessory unit (but only recognizes that an accessory unit is connected, for example in the case of passive accessory units and the determination of only whether a resistor is connected and not a determination of the value of the resistor).
  • an input unit for inputting details (for example type or type or model) of the accessory unit to the control unit can be provided.
  • input can also be made via an additional connection for an accessory unit, it being possible for an input unit or a communication unit for receiving an input unit to be connected or connected to this connector as an accessory unit.
  • control unit can be designed to operate more than one accessory unit connected to the connection at the same time.
  • at least one accessory unit directly connected or connectable to the connector can have at least one additional connector for connecting at least one additional accessory unit.
  • the additional connection can either be connected directly to the first connection of the accessory unit, or can be connected via a processing unit, for example a microprocessor, it being possible, for example, to decide on the forwarding of data and / or voltage from a primarily connected accessory unit for one or more subsequent accessory units.
  • an adapter can also be provided for the parallel connection of at least two accessory units to one connection.
  • recognition and / or assignment can take place via address selection switches or preprogrammed addresses.
  • an accessory unit can also be connectable via a plurality of connections, for example in order to realize a higher output, in particular on the supply contacts, and / or a higher communication data rate, in particular on a communication contact. The possibility of connecting several accessory units for active accessory units is preferably provided.
  • control unit can comprise a motor controller for the vacuum device, in particular a vacuum pump, or can be part of one.
  • the control unit can be designed separately from an engine control and / or separately from other control elements.
  • One or more separate control units can each be provided for one or more connections.
  • a control unit can be provided for a connection, and in particular adjacent to or integrated in it. It is advantageous here that the control unit, in particular via the connection, can also be contacted and read out when the motor control or the other control element is not attached (in other words: not connected). This leads to a further flexibility in the operation and maintenance of the vacuum device or a vacuum system.
  • a connection can, for example, be male or female and / or comprise a plug or a socket, other types of connection also being conceivable.
  • the accessory unit can comprise, for example, a heating element, a fan, a flood valve, a sealing gas valve, a control relay, for example for a backing pump, a pressure measuring device and / or a, in particular integrated, measuring tube. More generally, the accessory unit can include, for example, at least one actuator and / or sensor. But accessories with other functional elements are also conceivable.
  • an accessory unit can also include a storage element for storing data. This can be used, for example, to record data from pump data over a longer period of time.
  • an (active) accessory unit comprises both an actuator and a sensor, in particular for a parameter that can be influenced by the actuator.
  • the accessory unit is in particular designed to output data, in particular user data, from the sensor via the connection. Examples of parameters that can be influenced by actuators are a temperature on a heating element and a speed on a fan.
  • the sensor data can advantageously be used for a functional check of the actuator or also for controlling it depending on the sensor data.
  • An (active) accessory unit can, for example, alternatively or additionally itself have an interface for communication with other devices or units.
  • the accessory unit includes a wireless interface.
  • it can form a radio module, by means of which a wireless connection can be flexibly retrofitted to a vacuum device.
  • the wireless interface can, for example, correspond to at least one of the standards for GSM, UMTS, LTE and / or other mobile radio standards, Bluetooth, NFC and / or WLAN can be formed.
  • the accessory unit can in this way read, control, recognize, etc. one or more arbitrary other devices, which, for example, themselves represent an accessory unit for a vacuum device, in particular the inventive vacuum device, by radio.
  • the accessory unit can advantageously be designed so that it can also be operated by a control unit of the vacuum device if the latter does not fully identify the accessory unit, but rather only recognizes, for example, that an accessory unit is connected (for example in the case of a passive accessory unit in which only it is determined that an electrical resistance is connected to the connection, but the value of the resistance is not determined).
  • the accessory unit has at least one second connection for connecting a further accessory unit to the accessory unit and / or to the vacuum device.
  • the second connection and its contacts can be connected directly to the first connection, wherein in particular the contacts and the accessory unit can be designed for connection to a bus system.
  • a processing unit of the accessory unit can also be connected between the connections.
  • the accessory unit can, for example, prevent the information and / or voltages from being forwarded and / or change them.
  • connection of the vacuum device and / or the accessory unit can be designed, for example, both for a mechanical connection and for an electrical and / or information technology connection of the accessory unit to the control unit. This enables a particularly flexible connection.
  • the accessory interface of the board can contain a UART interface as a vacuum feedthrough for connecting intelligent accessories.
  • this interface can also be used to identify other accessories (in other words: other accessory units, such as a flood valve, a sealing gas valve or a heater).
  • these accessories cannot have any communication devices and therefore cannot actively identify themselves with a controller (for example the control unit).
  • these accessories can also be recognized in order to enable automatic parameterization on the process controller. The effort for the modification of existing accessories is low (for example, only a characteristic resistor has to be provided in the accessory unit).
  • the detection of the (passive) accessories is realized according to the invention via a characteristic resistor on the respective accessories.
  • the controller switches the function of its pins during the runtime between AD (analog / digital) channel measurement and UART interface. This is done using controller pins that support both functions, and an additional resistor is installed from the UART_Rx line to V +. If a identification resistor is either recognized at this pin at runtime or a reply to a telegram (in other words: a message according to UART communication), the cyclic switching of the pins is deactivated and the recognized method is continued. After removing the recognized accessories, the two detection methods are switched over cyclically in order to ensure that they are identified again (which enables a plug & play function).
  • FIG. 1 A vacuum device 10 designed as a turbomolecular pump is shown with a control unit 12 and two connections 14 for accessory units (not shown).
  • Various accessories such as holding elements, fans, flood valves, sealing gas valves, control relays, pressure measuring devices and / or integrated measuring tubes, can each be connected to the connections 14.
  • One or, as shown here, two or more connections 14 can be provided.
  • the connections 14 are arranged on a lower part 16 of a housing of the vacuum device.
  • one or more connections 14 can also be arranged elsewhere, for example on an upper part 18 of the housing and / or on and / or in the control unit 12 or its housing.
  • FIG. 2 shown sectional view of the vacuum device 10 of the Fig. 1
  • the section plane runs essentially through the lower part 16, the vacuum device 10 being rotated essentially by 180 °, that is to say the vacuum device is viewed from below.
  • Electronics 20 is visible, which itself, alternatively or in addition to the control unit 12, can form a control unit for accessory units connected to the connections 14.
  • the control unit 12 can comprise, for example, an engine control.
  • the electronics 20 can be configured as a control unit for one or more accessory units, for example, in such a way that the accessory unit can also be operated when the control unit 12 is not connected.
  • Fig. 3 shows a similar sectional view as Fig. 2 , but here two connections 22 are additionally shown, each of which is connected to a connection 14 of the vacuum device 10. Starting from a respective connection 22, a line 24 runs to a respective accessory unit, which is not shown here.
  • the connections 14 are designed as sockets and the connections 22 as plugs.
  • the first exemplary connection diagram shown is provided with two accessory units 26 for connection to a vacuum device 10.
  • the vacuum device 10 comprises a control unit 12 with two connections 14 for respective connections 22 of the accessory units 26.
  • the connections 22 are each connected to the accessory unit 26 via a line 24, however, for example, a configuration of the connector 22 directly on the accessory unit 26 is also conceivable .
  • An accessory unit 26 could form a plug-in module.
  • a connection 14 can also be connected to the control unit 12 or the vacuum device 10 via a line or otherwise, but be made separately.
  • a second connection diagram is in Fig. 5 shown.
  • a vacuum device 10 comprises a connection 14 provided on the housing of the vacuum device 10, an accessory unit 26 with a connection 22 being provided for connection to the connection 14 arranged on the vacuum device 10.
  • a control unit 12 comprises three connections 14.
  • a connection 22 is provided for connection to one of the three connections 14 and connects the control unit 12 to an accessory unit 26 which is attached to and / or in the vacuum device 10.
  • This accessory unit 26 can have, for example, a heating element for heating the vacuum device 10 and / or a sensor for detecting a parameter prevailing in or on the vacuum device 10.
  • the third connection diagram shown includes a vacuum device 10, a control unit 12 with two connections 14.
  • a further connection 14 is provided on a housing part of the vacuum device 10 separately from the control unit 12.
  • the connection 14 is connected to the control unit 12 via a line 27.
  • the line 27 runs inside and / or in the housing of the vacuum device 10 or the control unit 12.
  • the connection 14 can be used, for example, both for a mechanical connection of the accessory unit 26 with the vacuum device 10 and for an electrical and / or information technology connection of the accessory unit 26 be formed on the control unit 12.
  • the control unit 12 can generally be designed as a component that is adjacent to the main housing of the vacuum device 10 and / or can also be integrated, that is to say can also be provided elsewhere in the vacuum device 10.
  • connection 22 which is connected directly to the control unit 26. No flexible line is therefore provided. However, such an arrangement can alternatively or additionally be provided. Via the connection 22, the accessory unit 26 is connected to the connection 14 of the vacuum device 10 both mechanically and electrically and / or in terms of information technology.
  • FIG. 7 A fourth connection diagram is shown, in which a control unit 12 is arranged integrated in a housing of the vacuum device 10.
  • the control unit 12 comprises a connection 14.
  • the vacuum device 10 comprises a further connection 14, which is connected to the control unit via a line 27.
  • Two connection units (not shown) can be connected to the respective connections 14 via connections 22.
  • FIG. 8 A vacuum device 10 with a connection 14 is shown.
  • an accessory unit 26 can be connected to the connector 14, which has a connector 22 for connecting the accessory unit 26 to the connector 14 of the vacuum device 10.
  • the accessory unit 26 also includes a connector 14 for connecting one or more additional accessory units.
  • An adapter 28, for example, can be connected to one of the connections 14 via a connection 22 and has a plurality of connections 14 for connecting further accessories.
  • connection 14 of a vacuum device not shown here, is shown, which has a supply contact 30 and a communication contact 32.
  • An accessory unit 26 also has a supply contact 34 and a communication contact 36 at a connection 22.
  • the accessory unit 26 can therefore communicate with a control unit via the communication contacts 36 and 32 of the connections 22 and 14, respectively.
  • the communication contacts 36 and 32 can be connected to a UART (Universal Asynchronous Receiver Transmitter; German: universal asynchronous receiver / transmitter), which enables a circuit for realizing serial communication (in other words: communication via a serial interface).
  • UART Universal Asynchronous Receiver Transmitter
  • German universal asynchronous receiver / transmitter
  • FIG. 9 Down in Fig. 9 an accessory unit 26 with only one supply contact 34 is shown.
  • This accessory unit 26 can be supplied with electrical energy via the supply contacts 34 and 30.
  • This accessory unit 26 illustrates an accessory unit of an older generation than the upper accessory unit 26.
  • the vacuum device with the connection 14 can advantageously be designed such that the lower accessory unit 26 even without complete automatic recognition (for example, it is only recognized that an accessory unit 26 is connected, but the type (or type or model) of the accessory unit 26 ) is operable.
  • a communication device and / or a communication contact can, for example, also be retrofittable on an accessory unit, for example via a switch connected between the connector 22 of the lower accessory unit 26 and the connector 14 of the vacuum device Detection unit 38.
  • the detection unit 38 has a supply contact 30 at the connection 14 for supplying the accessory unit 26. In addition to the supply contact 34, it has a communication contact 36 at the connection 22.
  • the detection unit 38 can use this, for example, to output a signal which indicates the type of the connected accessory unit 26.
  • the signal or the type can be preprogrammed and / or can be entered, for example.
  • Fig. 10 shows a control unit 12 and an accessory unit 26.
  • the (control unit side) connection 14 on the control unit 12 can contain a plurality of contacts 40.
  • An example is in Fig. 10 the bottom contact with reference number 40.
  • the connection 22 on the accessories side can also contain a plurality of contacts 42.
  • the number of contacts 40 of the control unit-side connection 14 and the number of contacts 42 of the accessory-side connection 22 can be identical.
  • the control unit 12 may be included in or connected to the vacuum device 10 as described above.
  • Fig. 11 shows an embodiment of the vacuum device-side connection 14 and the accessory-side connection 22.
  • a measuring resistor 48 can be connected to a predetermined communication contact 44 (which can serve, for example, as an Rx line of a serial interface) of the communication contacts 40.
  • the measuring resistor 48 can be connected to a further node 50 which, for example, provides a supply voltage.
  • the supply voltage can, for example, also be provided to the accessory unit 26 via one of the communication contacts 40.
  • the communication contact 44 can also be connected to a microcontroller 56.
  • the microcontroller 56 can, for example, provide a UART or be a UART.
  • the microcontroller 56 can be set up to either use the predetermined communication contact 44 To provide communication in accordance with the specified communication protocol (for example in accordance with a serial interface), for example for the detection of active accessory units, or the specified communication contact 44 as a measuring line for an analog value, for example a voltage which is, for example, dependent on the measuring resistor 48 and one in one Accessory built-in resistance to be used, for example, in the detection of passive accessories.
  • the specified communication contact 44 for example in accordance with a serial interface
  • the specified communication contact 44 as a measuring line for an analog value, for example a voltage which is, for example, dependent on the measuring resistor 48 and one in one Accessory built-in resistance to be used, for example, in the detection of passive accessories.
  • a identification resistor 52 is connected to a communication contact 46 of the communication contacts 40 at the interface 22 on the accessory side.
  • the characteristic resistor 52 can be connected to ground 54.
  • the arrangement shown can be determined when connecting the accessory unit 26 with the characteristic resistor 52 to the vacuum device, and a voltage drop across the measuring resistor 48 can be determined, and so can be recognized that an accessory unit 26 is connected to the vacuum device 10.
  • the size of the characteristic resistor 52 can be determined by determining the magnitude of the voltage drop, and the accessory unit 26 can thus be recognized (in other words, identified).
  • Fig. 12 shows a flow diagram of a method according to the invention.
  • the method starts at 1202. Alternatively, the method can also start before step 1226.
  • the system switches to digital input and output.
  • an attempt is made to identify an active accessory, for example by receiving a response (or waiting for a response) to a message in accordance with the predetermined communication protocol.
  • a comparison is made with a list 1208 (or database) of active accessory units, for example it is determined whether an active accessory unit can be identified from the list 1208 of active accessory units with the aid of a received message.
  • step 1226 If an active accessory unit was not recognized, the method continues in step 1226. If an active accessory has been detected, the method continues in step 1212. In step 1212, the recognized accessory is entered into a list 1218 (or database) of accessories (connected to the vacuum device). The process then continues with step 1214, in which it is checked whether the recognized accessory unit is still connected. If it is recognized in 1214 that the recognized accessory unit is still connected, the connection to the accessory unit is maintained in 1216 and the check in step 1214 is carried out again after a predetermined timer has expired. In step 1226, a switch is made to analog input. In 1228, an attempt is made to detect a passive accessory, for example, by determining whether an electrical resistor is connected to the control unit connector.
  • a comparison is made with a list 1230 (or database) of passive accessory units, for example it is determined whether a passive accessory unit can be identified from the list 1230 of passive accessory units with the aid of a determined resistance.
  • 1220 it is determined whether a passive accessory unit has been recognized. If a passive accessory is not recognized, the method continues in step 1204. If a passive accessory has been identified, the identified accessory is registered in the list 1218 of connected accessories in step 1222. In 1224 the expiry of a predetermined timer is monitored. It is then determined in 1228 whether the previously recognized passive accessory unit is still connected.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts, insbesondere eines Vakuumpumpsystems, wobei das Vakuumgerät eine Steuereinheit mit einem Anschluss für eine Zubehöreinheit aufweist, wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte aufweist: Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss gemäß einem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll; Ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird; falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht nicht empfangen wird, Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist; und falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, Erkennen und/oder Ansteuern der Zubehöreinheit basierend auf dem angeschlossenen elektrischen Widerstand.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts, insbesondere eines Vakuumpumpsystems, wobei das Vakuumgerät eine Steuereinheit mit einem Anschluss für eine Zubehöreinheit aufweist.
  • Die Erfindung betrifft auch ein Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpsystem, mit einer Steuereinheit zum Betreiben des Vakuumgeräts.
  • Das Vakuumgerät kann auch ein anderes Vakuumgerät als ein Vakuumpumpsystem sein. Beispielsweise kann das Vakuumgerät ein Anzeigegerät oder eine Druckmesseinrichtung sein.
  • Bei einem beispielhaften Vakuumgerät des Standes der Technik sind ein oder mehrere Anschlüsse jeweils für eine Zubehöreinheit vorgesehen. Die Zubehöreinheit wird nach Anschließen an den Anschluss durch eine Steuereinheit des Vakuumgeräts betrieben. Zum Betreiben des Vakuumgeräts mit der Zubehöreinheit kann es erforderlich sein, dass das Vakuumgerät Informationen über die Zubehöreinheiten, beispielsweise darüber, ob die Zubehöreinheit mit dem Vakuumgerät verbunden ist, oder Informationen mögliche Funktionen oder Protokolle oder Betriebsspannungen, hat. Dazu kann beispielsweise das Vakuumgerät eine Eingabevorrichtung enthalten, an der ein Benutzer die angeschlossene Zubehöreinheit identifizieren kann. Jedoch ist die manuelle Eingabe der Informationen mühsam und wenig flexibel.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, den Anschluss von Zubehör an ein Vakuumgerät zu vereinfachen und/oder flexibler zu gestalten.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts, insbesondere eines Vakuumpumpsystems oder eines Anzeigegeräts oder einer Druckmesseinrichtung, wobei das Vakuumgerät eine Steuereinheit mit einem Anschluss für eine Zubehöreinheit aufweist, mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst, und insbesondere dadurch, dass das Verfahren zumindest folgende Schritte aufweist: Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss gemäß einem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll; Ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird; falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht nicht empfangen wird, Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen (in anderen Worten mit dem Anschluss verbunden) ist; und falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, Erkennen und/oder Ansteuern der Zubehöreinheit basierend auf dem angeschlossenen elektrischen Widerstand. Es wird verstanden werden, dass das Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, bedeutet, dass ermittelt wird, ob ein (externer) Widerstand (beispielsweise ein Kennwiderstand in der Zubehöreinheit) an den Anschluss angeschlossen ist (beispielsweise über eine Steckverbindung am Anschluss, an der eine Zubehöreinheit angeschlossen werden kann). Beim Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, wird also nicht ermittelt, ob intern in dem Vakuumgerät ein Widerstand mit dem Anschluss verbunden ist.
  • Mit anderen Worten wird versucht, festzustellen, ob an bestimmte Anschlussleitungen eines Vakuumgeräts eine Zubehöreinheit angeschlossen ist, die mit dem Vakuumgerät gemäß einem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll kommunizieren und sich somit aktiv gegenüber dem Vakuumgerät identifizieren kann, und falls festgestellt wird, dass eine solche Zubehöreinheit nicht angeschlossen ist, wird versucht, festzustellen, ob eine Zubehöreinheit, welche durch Ermitteln eines in der Zubehöreinheit verbauten Kennwiderstand erkannt werden kann, an die bestimmten Anschlussleitungen des Vakuumgeräts angeschlossen ist.
  • Hierdurch kann das Anschließen der Zubehöreinheit besonders einfach erfolgen, insbesondere ohne händische oder anderweitig externe Konfiguration, oder mit auf die Zubehöreinheit angepasster händischer oder anderweitig externer Konfiguration. Der Betrieb des Vakuumgeräts wird hierdurch auch besonders flexibel, da Zubehöreinheiten ohne großen Aufwand und je nach Bedarf angeschlossen, getrennt und/oder ausgewechselt werden können. Erfindungsgemäß ist also ein besonders komfortabler Betrieb im Sinne eines "Plug-and-Play"-Konzepts realisiert. Eine angeschlossene Zubehöreinheit gewinnt somit aus Sicht des Nutzers in vorteilhafter Weise ihre Funktion schlicht durch Anschließen am Anschluss. Insbesondere wird es ermöglicht, sowohl Zubehöreinheiten, die gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll mit dem Vakuumgerät kommunizieren können, als auch Zubehöreinheiten, die nicht gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll mit dem Vakuumgerät kommunizieren können, zu erkennen und/oder anzusteuern.
  • Zubehöreinheiten, die gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll mit dem Vakuumgerät kommunizieren können, können auch als "aktive Zubehöreinheiten" oder "intelligente Zubehöreinheiten" bezeichnet werden, weil sie aktiv mit dem Vakuumgerät kommunizieren können und sich so aktiv gegenüber dem Vakuumgerät identifizieren können.
  • Zubehöreinheiten, die nicht gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll mit dem Vakuumgerät kommunizieren können, können auch als "passive Zubehöreinheiten" bezeichnet werden, da sie sich nicht aktiv gegenüber dem Vakuumgerät identifizieren können, sondern durch Ermitteln eines elektrischen Widerstands von dem Vakuumgerät erkannt werden können. Passive Zubehöreinheiten können bevorzugt nur an- und ausgeschaltet werden, wie beispielsweise Ventile, Lüfter oder Relais.
  • Das vorgegebene Kommunikationsprotokoll kann ein digitales Kommunikationsprotokoll sein. In anderen Worten kann das vorgegebene Kommunikationsprotokoll zur Übermittlung digitaler Information eingerichtet sein. Die Nachricht kann eine gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll in eine Spannungsfolge umgesetzte digitale Information (in anderen Worten: eine Abfolge logischer Werte, beispielsweise eine Abfolge von Bits, beispielsweise eine Abfolge von logischen Werten 0 und 1) sein.
  • Falls keine Antwort auf die Nachricht empfangen wird, kann das bedeuten, dass keine aktive Zubehöreinheit an den Anschluss angeschlossen ist. Daher wird erfindungsgemäß geprüft, ob eine passive Zubehöreinheit, die sich über einen elektrischen Widerstand (der beispielsweise in der Zubehöreinheit verbaut ist und der auch als Kennwiderstand bezeichnet werden kann) identifizieren lässt, an den Anschluss angeschlossen ist.
  • Dabei kann erfindungsgemäß ermittelt werden, ob ein Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist oder nicht, und/oder es kann der Wert des Widerstandes ermittelt werden. In einer Ausführungsform wird ein zweistufiges Verfahren angewendet, bei dem zuerst ermittelt wird, ob ein Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, und dann, falls ermittelt wird, dass ein Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, der Wert des Widerstands ermittelt wird.
  • Falls lediglich ermittelt wird, ob ein Widerstand angeschlossen ist, ohne zu ermitteln, welchen Wert der Widerstand hat, kann erkannt werden, dass eine passive Zubehöreinheit angeschlossen ist. Falls der Wert des Widerstands ermittelt wird, kann erkannt werden, welche Zubehöreinheit angeschlossen ist.
  • Dabei wird verstanden werden, dass entweder eine Art der Zubehöreinheit ermittelt werden kann oder eine eindeutige Identifikation der Zubehöreinheit ermittelt werden kann.
  • Die Steuereinheit kann in Kenntnis der Zubehöreinheit oder der Art der Zubehöreinheit diese bedarfsgerecht betreiben und/oder ansteuern.
  • Der Begriff "Art" erfasst zumindest die Informationen, die zum sicheren Betrieb der Zubehöreinheit nötig sind. Beispielsweise kann die Steuereinheit die Zubehöreinheit anhand eines Kennzeichens erkennen und weitere Informationen, wie etwa maximal erträgliche Spannung, aus einer hinterlegten Tabelle abrufen. Alternativ kann es auch vorgesehen sein, dass die Steuereinheit unmittelbar die nötigen Informationen erkennt, insbesondere anhand eines von der Zubehöreinheit ausgesendeten Signals im Fall einer aktiven Zubehöreinheit.
  • Gemäß einer Ausführungsform kann der Anschluss eine Mehrzahl von Kommunikationskontakten (in anderen Worten: Pins; in anderen Worten: Leitungen) zur kommunikativen Anbindung der Zubehöreinheit an die Steuereinheit aufweisen. Die Kommunikationskontakte können metallische und/oder elektrische Kontakte sein. Dabei wird zumindest ein Kommunikationskontakt sowohl für die Kommunikation gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll (also das Ausgeben der Nachricht über den Anschluss und/oder das Empfangen einer Antwort bzw. Ermitteln, ob eine Nachricht empfangen wurde) als auch das Ermitteln, ob ein Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, verwendet. Dazu kann beispielsweise ein Pin des Anschlusses entweder gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll oder als Messleitung für einen analogen Wert (beispielsweise eine Spannung, die abhängig vom Widerstand ist) verwendet werden. Die Funktionsart des Pins (gemäß dem Kommunikationsprotokoll oder als Messleitung) kann beispielsweise von einem Mikrocontroller, der auch für das Betreiben des Kommunikationsprotokolls eingesetzt wird, festgelegt und/oder durchgeführt werden.
  • Falls eine aktive Zubehöreinheit angeschlossen ist, kann durch die Möglichkeit zur Kommunikation zwischen Steuereinheit und aktiver Zubehöreinheit die Erkennung nicht nur vereinfacht werden, sondern auch der Betrieb erheblich flexibilisiert werden, da nun zwischen Steuereinheit und Zubehöreinheit Daten ausgetauscht werden können. Insbesondere ist eine Kommunikation in beiden Richtungen möglich. Beispielsweise kann der Kommunikationskontakt auch zur Kommunikation mit anderen Einheiten nutzbar sein, die nicht Zubehöreinheiten sind, also beispielsweise zur Kommunikation mit einer Konfigurations- und/oder Diagnoseeinheit, einem weiteren Vakuumgerät und/oder einem Prozessleitsystem. Mit Vorteil kann dann auf eine gesonderte Schnittstelle, wie etwa eine Diagnose- oder Konfigurationsschnittstelle, verzichtet werden. Grundsätzlich können auch mehrere Kommunikationskontakte, insbesondere je Anschluss, vorgesehen sein.
  • Gleichzeitig kann bei Anschluss einer passiven Zubehöreinheit die gleiche Schnittstelle verwendet werden, um die passive Zubehöreinheit zu erkennen und/oder anzusteuern.
  • Gemäß einer Ausführungsform können ferner, falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss nicht angeschlossen ist, die folgenden Schritte ausgeführt werden: Ausgeben einer weiteren Nachricht über den Anschluss gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll; Ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird; falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird, Ansteuern der Zubehöreinheit basierend auf der empfangenen Nachricht. Falls also zunächst keine aktive Zubehöreinheit angeschlossen ist, und danach ermittelt wird, dass auch keine passive Zubehöreinheit angeschlossen ist, wird zur Erkennung der aktiven Zubehöreinheit zurückgegangen.
  • In einer Weiterbildung kann zyklisch eine Nachricht über den Anschluss gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll ausgegeben werden und ermittelt werden, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, solange, bis entweder eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird oder ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an dem Anschluss angeschlossen ist. Es kann also so lange zwischen der Erkennung von aktiven Zubehöreinheiten und passiven Zubehöreinheit gewechselt werden, bis eine Zubehöreinheit (aktiv oder passiv) erkannt wird. Die Zubehöreinheit kann dann basierend auf der empfangenen Antwort (für eine aktive Zubehöreinheit) oder dem angeschlossenen elektrischen Widerstand (für eine passive Zubehöreinheit) erkannt und/oder angesteuert werden. In einer Ausführungsform kann der Wechsel zwischen der Erkennung von aktiven Zubehöreinheiten und der Erkennung von passiven Zubehöreinheiten gemäß einer vorgegebenen Regel (beispielsweise nach Ablauf einer vorgegebenen Zeit oder nach einer vorgegebenen Anzahl von (erfolglosen) Erkennungsversuchen) abgebrochen werden und beispielsweise eine Warnmeldung an den Benutzer ausgegeben werden.
  • In einer Ausführungsform kann ermittelt werden, ob innerhalb einer vorgegebenen Antwortzeit über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird. Falls ermittelt wird, dass innerhalb der vorgegebenen Antwortzeit keine Antwort auf die Nachricht empfangen wurde, kann ermittelt werden, dass keine Nachricht empfangen wurde. Falls ermittelt wird, dass innerhalb der vorgegebenen Antwortzeit eine Antwort auf die Nachricht empfangen wurde, kann ermittelt werden, dass eine Nachricht empfangen wurde. In anderen Worten: das ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird, kann enthalten: ermitteln, ob innerhalb der vorgegebenen Antwortzeit eine Antwort auf die Nachricht empfangen wurde. Die vorgegebene Antwortzeit kann dabei gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll gewählt sein. Die Antwortzeit kann insbesondere so gewählt sein, dass sie die Kommunikationszeiten zwischen dem Vakuumgerät und der Zubehöreinheit sowie die Bearbeitungszeit in der Zubehöreinheit in Reaktion auf die in der Zubehöreinheit empfangene Nachricht berücksichtigt. Beispielsweise kann die vorgegebene Antwortzeit im Bereich von 1 µs bis 500 ms liegen.
  • Falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist (falls also eine passive Zubehöreinheit erkannt wird), kann in einem vorgegebenen zeitlichen Abstand ermittelt werden, ob der elektrische Widerstand noch immer an den Anschluss angeschlossen ist. Falls bei der Erkennung der passiven Zubehöreinheit der Wert des Widerstands ermittelt wurde, kann in diesem Fall in einem vorgegebenen zeitlichen Abstand ermittelt werden, ob immer noch ein Widerstand von gleichem Wert an den Anschluss angeschlossen ist. Auf diese Weise kann ermittelt werden, ob die passive Zubehöreinheit noch immer an den Anschluss angeschlossen ist. Dies ermöglicht einen Plug-and-Play-Betrieb des Vakuumgeräts mit Zubehöreinheiten, in dem Zubehöreinheiten im laufenden Betrieb an- und abgeschlossen und gewechselt werden können. Der vorgegebene zeitliche Abstand kann dabei so gewählt werden, dass einerseits der Aufwand der wiederholten Ermittlung begrenzt wird, und andererseits rechtzeitig (beispielsweise rechtzeitig, um einen sicheren Betrieb des Vakuumgeräts auch ohne die Zubehöreinheit zu gewährleisten) erkannt wird, falls eine zuvor angeschlossene Zubehöreinheit nicht mehr an den Anschluss angeschlossen ist. Beispielsweise kann der zeitliche Abstand im Bereich von 1 s bis 100 s liegen.
  • In einer Ausführungsform können, falls ermittelt wird, dass der elektrische Widerstand nicht mehr an den Anschluss angeschlossen ist, folgende Schritte ausgeführt werden: Ausgeben einer weiteren Nachricht über den Anschluss gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll; Ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird; falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird, Ansteuern der Zubehöreinheit basierend auf der empfangenen Nachricht. Es kann also, nachdem erkannt wird, dass eine zuvor angeschlossene passive Zubehöreinheit nicht mehr an den Anschluss angeschlossen ist, das Erkennen einer aktiven Zubehöreinheit (durch Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll und Ermitteln, ob eine Antwort empfangen wird) oder einer passiven Zubehöreinheit (durch Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist) erfolgen. Dies ermöglicht es, unmittelbar nach Entfernen einer zuvor angeschlossenen Zubehöreinheit zu ermitteln, ob wieder eine Zubehöreinheit angeschlossen ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform kann das Kommunikationsprotokoll ein serielles Protokoll sein. Die serielle Protokoll kann eingerichtet sein gemäß RS-232 (bzw. ANSI EIA/) TIA-232-F oder EIA-232), RS-422 (bzw. EIA-422 oder ITU-T V.11), RS-423 (bzw. EIA-423) oder RS-485 (bzw. EIA-485), LVDS (Low Voltage Differential Signaling) oder TTY. Zumindest einer der Kommunikationskontakte, die für die serielle Schnittstelle verwendet werden, kann dabei für die Ermittlung, ob ein elektrischer Widerstand an diesem Kommunikationskontakt angeschlossen ist, verwendet werden. Somit ist eine serielle und analoge Erkennung von Zubehöreinheiten am gleichen Anschluss möglich. Serielle Erkennung kann dabei bedeuten Erkennung von aktiven Zubehöreinheiten. Analoge Erkennung kann dabei bedeuten Erkennung von passiven Zubehöreinheiten.
  • Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Vakuumgerät, insbesondere ein Vakuumpumpsystem, mit einer Steuereinheit zum Betreiben des Vakuumgeräts gemäß dem hierauf gerichteten unabhängigen Anspruch gelöst, insbesondere durch eine Steuereinheit zum Betreiben des Vakuumgeräts, wobei die Steuereinheit dazu angepasst ist, das Verfahren zum Betreiben des Vakuumgeräts zumindest teilweise auszuführen.
  • In einer Ausführungsform weist der Anschluss eine Spannungsversorgungsleitung und eine serielle Schnittstelle mit einer Empfangsleitung und einer Sendeleitung auf. Damit kann dann sowohl die Steuerung von aktiven Zubehöreinheiten erfolgen als auch die Spannungsversorgung von sowohl aktiven als auch passiven Zubehöreinheiten.
  • In einer Ausführungsform kann ein Messwiderstand zwischen der Empfangsleitung und der Spannungsversorgungsleitung (oder einem beliebigen anderen Knoten in dem Vakuumgerät, der eine Spannungsversorgung bereitstellt) angeordnet sein. Die Steuereinheit kann dazu angepasst sein, zu ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist basierend auf einer Messung eines Stroms durch den Messwiderstand oder einer Spannung (in anderen Worten: eines Spannungsabfalls) an dem Messwiderstand. In dieser Ausführungsform kann der Widerstand in der Zubehöreinheit beispielsweise über einen Spannungsabfall über dem Messwiderstand ermittelt werden. Der Messwiderstand kann einen ohmschen Widerstand im Bereich von mehreren 100 Ohm bis mehreren Kiloohm haben.
  • In einer Weiterbildung kann die Steuereinheit eine Platine als Vakuumdurchführung aufweisen. Dadurch kann die Vakuumdurchführung gleichzeitig als elektronisches Bauteil dienen.
  • Die Zubehöreinheit kann ein Sensor, ein Piezosensor, ein Piezo/ Piranisensor, ein Flutventil, eine Sperrgasdrossel, ein Sperrgasventil, eine Heizung (beispielsweise eine Wasserheizung oder eine Luftheizung), eine Kühlung (beispielsweise eine Wasserkühlung oder eine Luftkühlung), ein Relais und eine Vorpumpe enthalten oder sein. Dabei sind Zubehöreinheiten, die lediglich ein- und auszuschalten sind, bevorzugt passive Zubehöreinheiten. Komplexere Zubehöreinheiten, die eine Steuerung basierend auf mehreren Parametern benötigen, sind bevorzugt aktive Zubehöreinheiten, bei denen für die Steuerung bereits eine Kommunikation gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll erfolgt.
  • Es kann vorgesehen sein, dass der Anschluss wenigstens einen Versorgungskontakt zur elektrischen Versorgung der Zubehöreinheit aufweist. Die Zubehöreinheit benötigt somit keinen zusätzlichen Stromanschluss, was die Anordnung vereinfacht. Für den Versorgungskontakt bzw. für den Anschluss kann beispielsweise ein Treiber vorgesehen sein. Dieser kann vorteilhaft so ausgelegt sein, dass auch Zubehöreinheiten älterer Gerätegenerationen, insbesondere ohne Mittel zum Aussenden von Erkennungssignalen (also beispielsweise passive Zubehöreinheiten), zuverlässig betreibbar sind.
  • Beispielsweise kann die Steuereinheit dazu ausgebildet sein, die Zubehöreinheit, insbesondere über den Versorgungskontakt, mit unterschiedlichen Spannungen zu versorgen. Im einfachsten Fall sind dies zwei unterschiedliche Spannungen, insbesondere Null und eine generelle Betriebsspannung für alle Zubehöreinheiten. Insbesondere vorteilhaft sind wenigstens zwei von Null verschiedene, unterschiedliche Spannungen (beispielsweise 5 V und 24 V). Hierdurch kann der Anschluss von Zubehöreinheiten weiter flexibilisiert werden, da diese bedarfsgerecht versorgt werden können, ohne dass ein Transformator an der Zubehöreinheit nötig wäre. Bei einem weiteren Beispiel ist die Steuereinheit dazu ausgebildet, grundsätzlich, insbesondere am Anschluss bzw. am Versorgungskontakt, eine erste von Null verschiedene Spannung, beispielsweise 5 V, anzulegen und nach einer Erkennung und/oder Kommunikation mit der Zubehöreinheit eine andere, für die Zubehöreinheit geeignete Spannung, beispielsweise 24 V, anzulegen.
  • Bei einem weiteren Beispiel liegt, z.B. am Versorgungskontakt, dauerhaft eine bestimmte Versorgungsspannung an. Dabei steuert sich die Zubehöreinheit im Falle einer aktiven Zubehöreinheit vorteilhafter Weise selbst, insbesondere in Abhängigkeit von durch die Steuereinheit vorgegebenen Befehlen oder Daten, welche vorteilhafter Weise über einen Kommunikationskontakt des Anschlusses übertragen werden. Hierdurch werden Vakuumgerät und Steuereinheit technisch vereinfacht.
  • Der Versorgungskontakt kann beispielsweise sowohl zur Energieversorgung der Zubehöreinheit als auch als bloßes Schaltmittel zum Betätigen eines Schalters, wie etwas eines Relais', verwendbar sein, zum Beispiel im Falle einer passiven Zubehöreinheit. Der Betrieb wird hierdurch weiter flexibilisiert. So können beispielsweise auch Zubehöreinheiten betrieben werden, für die eine Stromversorgung über das Vakuumgerät unmöglich oder technisch sehr aufwendig wäre. Beispielsweise kann es sich bei der Zubehöreinheit um eine Vorpumpe für das hierbei als Vakuumpumpe ausgebildete Vakuumgerät handeln. Diese Vorpumpe benötigt eine relativ große Leistung, die über das Vakuumgerät nur mit besonderem technischen Aufwand bereitzustellen wäre. Dies führt obendrein zu einem vergrößerten Bauraum, was häufig unerwünscht ist. Somit wird bei diesem Beispiel die Energieversorgung der Zubehöreinheit vorteilhaft ausgelagert. Insoweit oben ein Vakuumgerät als eine von der Zubehöreinheit verschiedene Einheit beschrieben wird, bezieht sich dies auf Vakuumgeräte, die nicht als Zubehör für das erfindungsgemäße Vakuumgerät gedacht sind, sondern nebengeordnet betrieben werden. Die hier beschriebene Vorpumpe ist dagegen der Vakuumpumpe untergeordnet und abhängig. Außerdem wird die Vorpumpe in diesem Beispiel über den Versorgungskontakt angesteuert. Grundsätzlich kann sie aber auch über einen Kommunikationskontakt oder andere Kommunikationsmittel angesteuert werden. Es wird deutlich, dass der erfindungsgemäße Anschluss vielfältig ausgestaltet und genutzt werden kann. Eine Ansteuerung und/oder Kommunikation kann für zahlreiche Einheiten, insbesondere ausgehend von der Steuereinheit, realisiert werden. Bei alldem sorgt die erfindungsgemäße selbsttätige Erkennung der Zubehöreinheit sowohl für passive Zubehöreinheiten als auch für aktive Zubehöreinheiten durch die Steuereinheit für eine völlig neue Flexibilität und Einfachheit.
  • Für passive Zubehöreinheiten kann der Versorgungskontakt verwendet werden, um einen Spannungsabfall am Messwiderstand in dem Vakuumgerät, und damit des Widerstands in der Zubehöreinheit, zu ermitteln.
  • Bei einem weiteren praktischen Beispiel ist die Steuereinheit dazu ausgebildet, die Zubehöreinheit in Abhängigkeit von Parametern des Vakuumgeräts anzusteuern. Z.B. wird bei einer als Lüfter ausgebildeten Zubehöreinheit die Drehzahl in Abhängigkeit von einer Temperatur im oder am Vakuumgerät gesteuert. Diese Ansteuerung kann einerseits über einen Versorgungskontakt erfolgen und andererseits über einen Kommunikationskontakt, wobei dann die Zubehöreinheit dazu veranlasst wird, die Drehzahl selbst anzupassen. Bei einem im Hinblick auf Abwärtskompatibilität besonders vorteilhaften Beispiel sind Vakuumgerät und/oder Zubehöreinheit sogar so ausgestaltet, dass beides möglich ist.
  • Grundsätzlich kann auch ein gemeinsamer Kontakt als Kommunikationskontakt und Versorgungskontakt vorgesehen sein. Die Kommunikation und die Versorgung sind dann auch über dieselbe Leitung möglich. Dies erweist sich insbesondere im Hinblick auf die Kompatibilität als vorteilhaft. So brauchen bestehende Anschlüsse nicht umkonstruiert werden. Außerdem ist und bleibt die Konstruktion einfach.
  • Gemäß einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Steuereinheit dazu ausgebildet ist, aus einem von der Zubehöreinheit ausgehenden Signal die Art der Zubehöreinheit zu erkennen. Hierdurch kann eine besonders einfache und zuverlässige Erkennung verwirklicht werden. Das Signal kann beispielsweise ein Kennzeichen und/oder Informationen umfassen, die unmittelbar Parameter der Zubehöreinheit, wie etwa Betriebsspannung, betreffen. Das Signal kann eine Nachricht gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll sein.
  • Das Signal kann beispielsweise über einen Kommunikationskontakt des Anschlusses der Steuereinheit zur Verfügung gestellt werden. Dies ermöglicht einen besonders einfachen Betrieb.
  • Am Anschluss kann bei einem Ausführungsbeispiel eine serielle Schnittstelle für die Zubehöreinheit vorgesehen sein. Hierdurch kann auf einfache Weise eine besonders zuverlässige Kommunikation realisiert werden.
  • Alternativ oder zusätzlich kann am Anschluss eine Busschnittstelle für die Zubehöreinheit vorgesehen sein. Dies ermöglicht einen besonders flexiblen Betrieb für eine Vielzahl von Zubehöreinheiten.
  • Grundsätzlich können bei mehreren Anschlüssen die Zubehöreinheiten einzeln und/oder in Gruppen ansteuerbar sein. Insbesondere kann die Zahl der Zubehöreinheiten erweiterbar sein.
  • Bei mehreren Anschlüssen kann die Steuereinheit eine Zuordnung der angeschlossenen Zubehöreinheiten zum jeweiligen Anschluss beispielsweise über eine Topologie erkennen, also über eine direkte oder zugeordnete Einzelverdrahtung zwischen Steuereinheit und den jeweiligen Anschlüssen. Alternativ kann aber auch beispielsweise eine Zuordnung über ein Bussystem erfolgen.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel ist die Steuereinheit dazu ausgebildet, von der Zubehöreinheit zur Verfügung gestellte Nutzdaten zu verarbeiten. Als Nutzdaten werden hierbei solche Daten betrachtet, die von Erkennungsdaten verschieden sind. Beispielsweise umfassen Nutzdaten Sensordaten. So kann die Zubehöreinheit beispielsweise einen Sensor umfassen und dessen Informationen entweder analog oder digital, insbesondere über den Anschluss, zur Verfügung stellen. Es ist dabei mit Kostenvorteil möglich, auf einen für den Sensor vorgesehenen separaten Konverter zu verzichten. So wird nicht nur ein Konverter eingespart, sondern allgemein erhältliche Zulieferteile sind auch ohne große technische Anpassung mit der Steuereinheit betreibbar.
  • Bei einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Steuereinheit dazu ausgebildet ist, die Zubehöreinheit zu betreiben, selbst wenn die Steuereinheit die Zubehöreinheit nicht erkennt (sondern nur erkennt, dass eine Zubehöreinheit angeschlossen ist, zum Beispiel im Fall von passive Zubehöreinheiten und der Ermittlung nur, ob ein Widerstand angeschlossen ist und nicht einer Ermittlung des Wertes des Widerstands). Für diesen Fall kann beispielsweise eine Eingabeeinheit zur Eingabe von Details (zum Beispiel Art oder Typ oder Modell) der Zubehöreinheit an die Steuereinheit vorgesehen sein. Eine Eingabe kann grundsätzlich auch über einen zusätzlichen Anschluss für eine Zubehöreinheit erfolgen, wobei an diesem Anschluss als Zubehöreinheit entweder selbst eine Eingabeeinheit oder eine Kommunikationseinheit zum Empfang von einer Eingabeeinheit angeschlossen oder anschließbar sein kann.
  • Weiterhin kann die Steuereinheit dazu ausgebildet sein, mehr als eine am Anschluss angeschlossene Zubehöreinheit gleichzeitig zu betreiben. So kann beispielsweise zumindest eine unmittelbar am Anschluss angeschlossene oder anschließbare Zubehöreinheit wenigstens einen zusätzlichen Anschluss zum Anschließen wenigstens einer zusätzlichen Zubehöreinheit aufweisen. Hierdurch ist eine Verkettung von Zubehöreinheiten realisiert und es bleibt ohne zusätzliche Adapter und bei gleichbleibender Zahl von Anschlüssen am Vakuumgerät die Möglichkeit zum Anschließen, insbesondere zahlreicher, weiterer Zubehöreinheiten erhalten. Grundsätzlich kann der zusätzliche Anschluss entweder direkt mit dem ersten Anschluss der Zubehöreinheit verbunden sein, oder aber über eine Verarbeitungseinheit, beispielsweise einen Mikroprozessor verbunden sein, wobei beispielsweise über die Weiterleitung von Daten und/oder Spannung von einer vorrangig angeschlossenen Zubehöreinheit für eine oder mehrere nachfolgende Zubehöreinheiten entschieden werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann aber auch ein Adapter zum parallelen Anschluss von wenigstens zwei Zubehöreinheiten an einen Anschluss vorgesehen sein. Für den Fall, dass mehrere gleichartige Zubehöreinheiten an einem Anschluss des Vakuumgeräts angeschlossen sind, kann beispielsweise eine Erkennung und/oder Zuordnung über Adresswahlschalter oder vorprogrammierte Adressen erfolgen. Grundsätzlich kann auch eine Zubehöreinheit über mehrere Anschlüsse anschließbar sein, beispielsweise um eine größere Leistung, insbesondere an den Versorgungskontakten, und/oder eine größere Kommunikationsdatenrate, insbesondere an einem Kommunikationskontakt, zu realisieren. Bevorzugt wird die Möglichkeit des Anschlusses von mehreren Zubehöreinheiten für aktive Zubehöreinheiten bereitgestellt.
  • Grundsätzlich kann die Steuereinheit eine Motorsteuerung für das Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, umfassen oder Teil einer solchen sein. Es ist aber auch möglich, dass die Steuereinheit separat von einer Motorsteuerung und/oder separat von anderen Steuerungselementen ausgeführt ist. Es können eine oder mehrere separate Steuereinheiten jeweils für einen oder mehrere Anschlüsse vorgesehen werden. Beispielsweise kann eine Steuereinheit für einen Anschluss, und insbesondere benachbart zu oder integriert in diesen, vorgesehen sein. Hierbei ist vorteilhaft, dass die Steuereinheit, insbesondere über den Anschluss, auch kontaktiert und ausgelesen werden kann, wenn die Motorsteuerung oder das andere Steuerungselement nicht angebracht (in anderen Worten: nicht angeschlossen) ist. Dies führt zu einer weiteren Flexibilisierung des Betriebs und der Wartung des Vakuumgeräts bzw. eines Vakuumsystems.
  • Ein Anschluss kann beispielsweise männlich oder weiblich ausgebildet sein und/oder einen Stecker oder eine Buchse umfassen, wobei auch andere Anschlussarten denkbar sind.
  • Die Zubehöreinheit kann beispielsweise ein Heizelement, einen Lüfter, ein Flutventil, ein Sperrgasventil, ein Steuerrelais, beispielsweise für eine Vorpumpe, ein Druckmessgerät und/oder eine, insbesondere integrierte, Messröhre umfassen. Allgemeiner kann also die Zubehöreinheit beispielsweise wenigstens einen Aktor und/oder Sensor umfassen. Es sind aber auch Zubehöreinheiten mit anderen Funktionselementen denkbar. So kann beispielsweise auch eine Zubehöreinheit ein Speicherelement zum Speichern von Daten umfassen. Hiermit kann beispielsweise eine Datenaufzeichnung von Pumpendaten über einen längeren Zeitraum realisiert werden.
  • Bei einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel umfasst eine (aktive) Zubehöreinheit sowohl einen Aktor als auch einen Sensor, insbesondere für einen vom Aktor beeinflussbaren Parameter. Die Zubehöreinheit ist dabei insbesondere dazu ausgebildet ist, Daten, insbesondere Nutzdaten, von dem Sensor über den Anschluss auszugeben. Beispiele für von Aktoren beeinflussbare Parameter sind eine Temperatur an einem Heizelement und eine Drehzahl an einem Lüfter. Die Sensordaten können vorteilhaft für eine Funktionsüberprüfung des Aktors oder auch zu dessen Ansteuerung in Abhängigkeit der Sensordaten genutzt werden.
  • Eine (aktive) Zubehöreinheit kann beispielsweise auch alternativ oder zusätzlich selbst eine Schnittstelle zur Kommunikation mit weiteren Geräten oder Einheiten aufweisen. Beispielsweise umfasst die Zubehöreinheit eine Drahtlosschnittstelle. Sie kann dabei beispielsweise ein Funkmodul bilden, mittels dessen insbesondere flexibel eine Drahtlosverbindung an einem Vakuumgerät nachgerüstet werden kann. Die Drahtlosschnittstelle kann beispielsweise entsprechend zumindest einem der Standards für GSM, UMTS, LTE und/oder anderer Mobilfunkstandards, Bluetooth, NFC und/oder WLAN ausgebildet sein. Insbesondere kann die Zubehöreinheit auf diese Weise ein oder mehrere beliebige andere Geräte, die z.B. selbst eine Zubehöreinheit für ein, insbesondere erfindungsgemäßes, Vakuumgerät darstellen, per Funk - allgemein also drahtlos - auslesen, steuern, erkennen etc.
  • Die Zubehöreinheit kann mit Vorteil dazu ausgebildet sein, auch dann von einer Steuereinheit des Vakuumgeräts betreibbar zu sein, wenn diese die Zubehöreinheit nicht vollständig identifiziert, sondern beispielsweise nur erkennt, dass eine Zubehöreinheit angeschlossen ist (zum Beispiel im Fall einer passiven Zubehöreinheit, bei der nur ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, aber der Wert des Widerstandes nicht ermittelt wird).
  • Bei einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Zubehöreinheit wenigstens einen zweiten Anschluss zum Anschließen einer weiteren Zubehöreinheit an die Zubehöreinheit und/oder an das Vakuumgerät aufweist. Der zweite Anschluss und dessen Kontakte können direkt mit dem ersten Anschluss verbunden sein, wobei insbesondere die Kontakte und die Zubehöreinheit zum Anschluss an ein Bussystem ausgebildet sein können. Alternativ kann auch eine Verarbeitungseinheit der Zubehöreinheit zwischen die Anschlüsse geschaltet sein. Dabei kann die Zubehöreinheit beispielsweise die Informationen und/oder Spannungen an der Weiterleitung hindern und/oder diese ändern.
  • Der Anschluss des Vakuumgeräts und/oder der Zubehöreinheit kann beispielsweise sowohl für eine mechanische Verbindung als auch für eine elektrische und/oder informationstechnische Anbindung der Zubehöreinheit an die Steuereinheit ausgebildet sein. Dies ermöglicht ein besonders flexibles Anschließen.
  • In einer Ausführungsform kann die Zubehörschnittstelle der Platine als Vakuumdurchführung für den Anschluss von intelligentem Zubehör eine UART-Schnittstelle enthalten. Diese Schnittstelle kann erfindungsgemäß auch verwendet werden um andere Zubehöre (in anderen Worten: andere Zubehöreinheiten, wie beispielsweise ein Flutventil, ein Sperrgasventil oder eine Heizung) zu identifizieren. Diese Zubehöre können keinerlei Kommunikationseinrichtungen besitzen und können sich somit gegenüber einem Controller (beispielsweise der Steuereinheit) nicht aktiv identifizieren. Erfindungsgemäß können diese Zubehöre ebenfalls erkannt werden, um eine automatische Parametrierung am Prozesskontroller zu ermöglichen. Der Aufwand für die Modifikation von bestehenden Zubehören ist dabei gering (beispielsweise muss in der Zubehöreinheit lediglich ein Kennwiderstand bereitgestellt werden).
  • Die Erkennung der (passiven) Zubehöre wird erfindungsgemäß über einen Kennwiderstand am jeweiligen Zubehör realisiert. Für die Auswertung des Kennwiderstands schaltet der Controller die Funktion seiner Pins während der Laufzeit zwischen AD (analog/digital)-Kanalmessung und UART-Schnittstelle um. Hierfür werden Controllerpins verwendet, die beide Funktionen unterstützen, und es wird ein zusätzlicher Widerstand von der UART_Rx Leitungs nach V+ eingebaut. Wird zur Laufzeit entweder ein Kennwiderstand an diesem Pin erkannt oder es erfolgt eine Antwort auf ein Telegramm (in anderen Worten: eine Nachricht gemäß der UART-Kommunikation), wird die zyklische Umschaltung der Pins deaktiviert und mit dem erkannten Verfahren weitergearbeitet. Nach dem Abziehen des erkannten Zubehörs wird wieder auf das zyklische Umschalten der beiden Erkennungsverfahren umgeschaltet, um eine erneute Identifizierung zu gewährleisten (was eine Plug&Play-Funktion ermöglicht).
  • Die hierin beschriebenen Aspekte der Erfindung, also das Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts und das Vakuumgerät lassen sich selbstverständlich und vorteilhaft im Sinne aller zu jeweils anderen Aspekten beschriebenen Ausführungsformen weiterbilden.
  • Die Erfindung wird nachfolgend lediglich beispielhaft anhand der schematischen Zeichnung erläutert.
    • Fig. 1
    zeigt ein erfindungsgemäßes Vakuumgerät in perspektivischer Ansicht.
    Fig. 2
    zeigt eine Schnittdarstellung des Vakuumgeräts der Fig. 1.
    Fig. 3
    zeigt eine weitere Schnittdarstellung des Vakuumgeräts der Fig. 1, wobei an dem Vakuumgerät zwei Zubehöreinheiten angeschlossen sind.
    Fig. 4
    zeigt ein erstes Anschlussschema mit einem Vakuumgerät und Zubehöreinheiten.
    Fig. 5
    zeigt ein zweites Anschlussschema mit Vakuumgerät und Zubehöreinheiten.
    Fig. 6
    zeigt ein drittes Anschlussschema.
    Fig. 7
    zeigt ein viertes Anschlussschema.
    Fig. 8
    zeigt verschiedene Möglichkeiten zum Anschluss mehrerer Zubehöreinheiten an einen Anschluss eines Vakuumgeräts.
    Fig. 9
    zeigt verschiedene Anschlüsse.
    Fig. 10
    zeigt eine Steuereinheit und eine Zubehöreinheit.
    Fig. 11
    zeigt eine Ausführungsform des vakuumgerätseitigen Anschlusses und des zubehörseitigen Anschlusses.
    Fig. 12
    zeigt ein Flussdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • In Fig. 1 ist ein als Turbomolekularpumpe ausgebildetes Vakuumgerät 10 mit einer Steuereinheit 12 sowie zwei Anschlüssen 14 für Zubehöreinheiten (nicht dargestellt) gezeigt. An die Anschlüsse 14 sind jeweils verschiedene Zubehöreinheiten, wie zum Beispiel Halteelemente, Lüfter, Flutventile, Sperrgasventile, Steuerrelais, Druckmessgeräte und/oder integrierte Messröhren, anschließbar. Es können ein, oder wie hier gezeigt zwei, oder mehrere Anschlüsse 14 vorgesehen sein. Die Anschlüsse 14 sind in diesem Beispiel an einem Unterteil 16 eines Gehäuses des Vakuumgeräts angeordnet. Ein oder mehrere Anschlüsse 14 können aber auch andernorts, zum Beispiel an einem Oberteil 18 des Gehäuses und/oder an und/oder in der Steuereinheit 12 bzw. dessen Gehäuse angeordnet sein.
  • Bei der in Fig. 2 gezeigten Schnittdarstellung des Vakuumgeräts 10 der Fig. 1 verläuft die Schnittebene im Wesentlichen durch das Unterteil 16, wobei das Vakuumgerät 10 im Wesentlichen um 180° gedreht ist, das Vakuumgerät also von unten betrachtet wird. Es ist eine Elektronik 20 sichtbar, die selbst, alternativ oder zusätzlich zur Steuereinheit 12, eine Steuereinheit für an die Anschlüsse 14 angeschlossene Zubehöreinheiten bilden kann. Die Steuereinheit 12 kann beispielsweise eine Motorsteuerung umfassen. Die Elektronik 20 kann als Steuereinheit für ein oder mehrere Zubehöreinheiten beispielsweise derart ausgestaltet sein, dass ein Betrieb der Zubehöreinheit auch dann möglich ist, wenn die Steuereinheit 12 nicht angeschlossen ist.
  • Fig. 3 zeigt eine ähnliche Schnittdarstellung wie Fig. 2, wobei hier jedoch zusätzlich zwei Anschlüsse 22 gezeigt sind, welche jeweils an einen Anschluss 14 des Vakuumgeräts 10 angeschlossen sind. Ausgehend von einem jeweiligen Anschluss 22 verläuft eine Leitung 24 zu einer jeweiligen Zubehöreinheit, die hier nicht dargestellt ist. In dieser Ausführungsform sind die Anschlüsse 14 als Buchsen und die Anschlüsse 22 als Stecker ausgebildet.
  • Bei dem in Fig. 4 gezeigten, ersten beispielhaften Anschlussschema sind zwei Zubehöreinheiten 26 zum Anschluss an ein Vakuumgerät 10 vorgesehen. Das Vakuumgerät 10 umfasst eine Steuereinheit 12 mit zwei Anschlüssen 14 für jeweilige Anschlüsse 22 der Zubehöreinheiten 26. Die Anschlüsse 22 sind jeweils mit der Zubehöreinheit 26 über eine Leitung 24 verbunden, wobei beispielsweise aber auch eine Ausbildung des Anschlusses 22 unmittelbar an der Zubehöreinheit 26 denkbar ist. Eine Zubehöreinheit 26 könnte dabei ein Steckmodul bilden. Grundsätzlich kann auch ein Anschluss 14 mit der Steuereinheit 12 oder dem Vakuumgerät 10 über eine Leitung oder anderweitig verbunden, aber separat ausgeführt sein.
  • Ein zweites Anschlussschema ist in Fig. 5 gezeigt. Ein Vakuumgerät 10 umfasst einen am Gehäuse des Vakuumgeräts 10 vorgesehenen Anschluss 14, wobei eine Zubehöreinheit 26 mit einem Anschluss 22 zum Anschluss an den am Vakuumgerät 10 angeordneten Anschluss 14 vorgesehen ist. Eine Steuereinheit 12 umfasst drei Anschlüsse 14. Ein Anschluss 22 ist zum Anschließen an einen der drei Anschlüsse 14 vorgesehen und verbindet die Steuereinheit 12 mit einer Zubehöreinheit 26, welche an und/oder in dem Vakuumgerät 10 angebracht ist. Diese Zubehöreinheit 26 kann beispielsweise ein Heizelement zum Heizen des Vakuumgeräts 10 und/oder einen Sensor zum Erfassen eines in oder an dem Vakuumgerät 10 herrschenden Parameters aufweisen.
  • Bei dem in Fig. 6 gezeigten, dritten Anschlussschema umfasst ein Vakuumgerät 10 eine Steuereinheit 12 mit zwei Anschlüssen 14. Ein weiterer Anschluss 14 ist an einem Gehäuseteil des Vakuumgeräts 10 separat von der Steuereinheit 12 vorgesehen. Über eine Leitung 27 ist der Anschluss 14 mit der Steuereinheit 12 verbunden. Die Leitung 27 verläuft im Inneren und/oder im Gehäuse des Vakuumgeräts 10 bzw. der Steuereinheit 12. Der Anschluss 14 kann beispielsweise sowohl für eine mechanische Verbindung der Zubehöreinheit 26 mit dem Vakuumgerät 10 als auch für eine elektrische und/oder informationstechnische Anbindung der Zubehöreinheit 26 an die Steuereinheit 12 ausgebildet sein. Die Steuereinheit 12 kann ganz generell wie dargestellt als ein dem Hauptgehäuse des Vakuumgeräts 10 nebengeordnetes Bauteil und/oder auch integriert ausgebildet sein, also auch andernorts im Vakuumgerät 10 vorgesehen sein. Auch Zahl und Anordnung von weiteren Anschlüssen 14 können variieren. Die Zubehöreinheit 26 weist einen Anschluss 22 auf, der unmittelbar mit der Steuereinheit 26 verbunden ist. Es ist also keine flexible Leitung vorgesehen. Eine solche kann aber alternativ oder zusätzlich vorgesehen sein. Über den Anschluss 22 wird die Zubehöreinheit 26 sowohl mechanisch als auch elektrisch und/oder informationstechnisch an den Anschluss 14 des Vakuumgeräts 10 angeschlossen.
  • In Fig. 7 ist ein viertes Anschlussschema gezeigt, bei dem eine Steuereinheit 12 in einem Gehäuse des Vakuumgeräts 10 integriert angeordnet ist. Die Steuereinheit 12 umfasst einen Anschluss 14. Das Vakuumgerät 10 umfasst einen weiteren Anschluss 14, der mit der Steuereinheit über eine Leitung 27 verbunden ist. Über Anschlüsse 22 sind zwei nicht dargestellte Zubehöreinheiten an die jeweiligen Anschlüsse 14 anschließbar.
  • In Fig. 8 ist ein Vakuumgerät 10 mit einem Anschluss 14 gezeigt. An den Anschluss 14 ist beispielsweise eine Zubehöreinheit 26 anschließbar, welche einen Anschluss 22 zum Anschluss der Zubehöreinheit 26 an den Anschluss 14 des Vakuumgeräts 10 umfasst. Die Zubehöreinheit 26 umfasst außerdem einen Anschluss 14 zum Anschließen einer oder mehrerer weiterer Zubehöreinheiten. An einem der Anschlüsse 14 kann über einen Anschluss 22 beispielsweise ein Adapter 28 anschließbar sein, der eine Mehrzahl an Anschlüssen 14 zum Anschließen weiterer Zubehöreinheiten aufweist.
  • In Fig. 9 ist ein Anschluss 14 eines hier nicht näher dargestellten Vakuumgeräts gezeigt, der einen Versorgungskontakt 30 sowie einen Kommunikationskontakt 32 aufweist. Eine Zubehöreinheit 26 weist an einem Anschluss 22 ebenfalls einen Versorgungskontakt 34 sowie einen Kommunikationskontakt 36 auf. Die Zubehöreinheit 26 kann also über die Kommunikationskontakte 36 und 32 der Anschlüsse 22 bzw. 14 mit einer Steuereinheit kommunizieren. Die Kommunikationskontakte 36 und 32 können an einen UART (Universal Asynchronous Receiver Transmitter; deutsch: universeller asynchroner Empfänger/ Sender) angeschlossen sein, der eine Schaltung zur Realisierung einer seriellen Kommunikation (in anderen Worten: einer Kommunikation über eine serielle Schnittstelle) ermöglicht.
  • Unten in Fig. 9 ist eine Zubehöreinheit 26 mit lediglich einem Versorgungskontakt 34 gezeigt. Diese Zubehöreinheit 26 ist über die Versorgungskontakte 34 und 30 mit elektrischer Energie versorgbar. Diese Zubehöreinheit 26 illustriert eine Zubehöreinheit einer gegenüber der oberen Zubehöreinheit 26 älteren Generation. Das Vakuumgerät mit dem Anschluss 14 kann vorteilhaft so ausgebildet sein, dass die untere Zubehöreinheit 26 auch ohne vollständige selbsttätige Erkennung (wobei beispielsweise nur erkannt wird, dass eine Zubehöreinheit 26 angeschlossen ist, aber die Art (oder der Typ oder das Modell) der Zubehöreinheit 26) betreibbar ist. Eine Kommunikationseinrichtung und/oder ein Kommunikationskontakt können an einer Zubehöreinheit aber beispielsweise auch nachrüstbar sein, beispielsweise über eine zwischen den Anschluss 22 der unteren Zubehöreinheit 26 und den Anschluss 14 des Vakuumgeräts geschaltete Erkennungseinheit 38. Die Erkennungseinheit 38 weist am Anschluss 14 einen Versorgungskontakt 30 zum Versorgen der Zubehöreinheit 26 auf. Am Anschluss 22 weist sie zusätzlich zum Versorgungskontakt 34 einen Kommunikationskontakt 36 auf. Hierüber kann die Erkennungseinheit 38 beispielsweise ein Signal ausgeben, welches die Art der angeschlossenen Zubehöreinheit 26 anzeigt. Das Signal bzw. die Art kann beispielsweise vorprogrammiert und/oder eingebbar sein.
  • Fig. 10 zeigt eine Steuereinheit 12 und eine Zubehöreinheit 26. Der (steuereinheitsseitige) Anschluss 14 an der Steuereinheit 12 kann mehrere Kontakte 40 enthalten. Beispielhaft ist in Fig. 10 der unterste Kontakt mit Bezugszeichen 40 versehen. Als Gegenstück zum Anschluss 14 der Steuereinheit 12 findet sich auf der Seite der Zubehöreinheit 26 der zubehörseitige Anschluss 22. Der (zubehörseitige) Anschluss 22 kann ebenfalls mehrere Kontakte 42 enthalten. Die Anzahl der Kontakte 40 des steuereinheitsseitigen Anschlusses 14 und die Anzahl der Kontakte 42 des zubehörseitigen Anschlusses 22 können identisch sein. Die Steuereinheit 12 kann in dem Vakuumgerät 10 enthalten sein oder an dieses angeschlossen sein, wie oben beschrieben.
  • Fig. 11 zeigt eine Ausführungsform des vakuumgerätseitigen Anschlusses 14 und des zubehörseitigen Anschlusses 22. Gemäß der Ausführungsform kann an einen vorgegebenen Kommunikationskontakt 44 (der beispielsweise als eine Rx-Leitung einer seriellen Schnittstelle dienen kann) der Kommunikationskontakte 40 ein Messwiderstand 48 angeschlossen sein. Der Messwiderstand 48 kann mit einem weiteren Knoten 50, der zum Beispiel eine Versorgungsspannung bereitstellt, verbunden sein. Die Versorgungsspannung kann beispielsweise auch der Zubehöreinheit 26 über einen der Kommunikationskontakte 40 bereitgestellt werden. Der Kommunikationskontakt 44 kann außerdem an einen Mikrocontroller 56 angeschlossen sein. Der Mikrocontroller 56 kann beispielsweise ein UART bereitstellen oder ein UART sein. Der Mikrocontroller 56 kann eingerichtet sein, um über den vorgegebenen Kommunikationskontakt 44 entweder eine Kommunikation gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll (beispielsweise gemäß einer seriellen Schnittstelle), beispielsweise für die Erkennung von aktiven Zubehöreinheiten, bereitzustellen, oder den vorgegebenen Kommunikationskontakt 44 als Messleitung für einen analogen Wert, beispielsweise eine Spannung, die beispielsweise abhängig ist vom Messwiderstand 48 und einem in einer Zubehöreinheit verbauten Kennwiderstand, beispielsweise bei der Erkennung von passiven Zubehöreinheiten, zu verwenden.
  • Korrespondierend zum vorgegebenen Kommunikationskontakt 44 auf Seite der Steuereinheit 12 ist an einem Kommunikationskontakt 46 der Kommunikationskontakte 40 an der zubehörseitigen Schnittstelle 22 ein Kennwiderstand 52 angeschlossen. Der Kennwiderstand 52 kann auf Masse 54 gelegt sein. Durch die in Fig. 11 gezeigte Anordnung kann beim Anschluss der Zubehöreinheit 26 mit dem Kennwiderstand 52 an das Vakuumgerät ein Spannungsabfall über dem Messwiderstand 48 ermittelt werden, und so erkannt werden, dass eine Zubehöreinheit 26 an das Vakuumgerät 10 angeschlossen ist. Über die Ermittlung der Höhe des Spannungsabfalls kann bei Kenntnis des Messwiderstand 48 die Größe des Kennwiderstands 52 ermittelt werden, und so die Zubehöreinheit 26 erkannt (in anderen Worten identifiziert) werden.
  • Fig. 12 zeigt ein Flussdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens. Das Verfahren startet bei 1202. Alternativ kann das Verfahren auch vor Schritt 1226 starten. In 1204 wird auf digitale Ein- und Ausgabe umgeschaltet. In 1206 wird versucht, eine aktive Zubehöreinheit zu identifizieren, beispielsweise durch Empfangen einer Antwort (oder warten auf eine Antwort) auf eine Nachricht gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll. Dabei wird mit einer Liste 1208 (oder Datenbank) von aktiven Zubehöreinheiten verglichen, beispielsweise wird ermittelt, ob mithilfe einer empfangenen Nachricht eine aktive Zubehöreinheiten aus der Liste 1208 von aktiven Zubehöreinheiten identifiziert werden kann. In 1210 wird ermittelt, ob eine aktive Zubehöreinheit erkannt wurde.
  • Falls eine aktive Zubehöreinheit nicht erkannt wurde wird das Verfahren in Schritt 1226 fortgesetzt. Falls eine aktive Zubehöreinheit erkannt wurde, wird das Verfahren in Schritt 1212 fortgesetzt. In Schritt 1212 wird die erkannte Zubehöreinheit in eine Liste 1218 (oder Datenbank) von (mit dem Vakuumgerät) verbundenen Zubehöreinheiten eingetragen. Danach wird mit Schritt 1214 fortgefahren, in dem überprüft wird, ob die erkannte Zubehöreinheit noch verbunden ist. Falls in 1214 erkannt wird, dass die erkannte Zubehöreinheit noch verbunden ist, wird in 1216 die Verbindung zur Zubehöreinheit aufrechterhalten, und nach Ablauf eines vorgegebenen Timers die Überprüfung in Schritt 1214 erneut durchgeführt. In Schritt 1226 wird auf analoge Eingabe umgeschaltet. In 1228 wird versucht, eine passive Zubehöreinheit zu erkennen, zum Beispiel, durch ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss der Steuereinheit angeschlossen ist. Dabei wird mit einer Liste 1230 (oder Datenbank) von passiven Zubehöreinheiten verglichen, beispielsweise wird ermittelt, ob mithilfe eines ermittelten Widerstands eine passive Zubehöreinheiten aus der Liste 1230 von passiven Zubehöreinheiten identifiziert werden kann. In 1220 wird ermittelt, ob eine passive Zubehöreinheit erkannt wurde. Falls eine passive Zubehöreinheit nicht erkannt wurde, wird das Verfahren in Schritt 1204 fortgesetzt. Falls eine passive Zubehöreinheit erkannt wurde, wird in Schritt 1222 die erkannte Zubehöreinheit in der Liste 1218 der verbundenen Zubehöreinheiten registriert. In 1224 wird der Ablauf eines vorgegebenen Timers überwacht. Danach wird in 1228 ermittelt, ob die zuvor erkannte passive Zubehöreinheit noch verbunden ist.
    • Bezugszeichenliste
    • 10
    Vakuumgerät
    12
    Steuereinheit
    14
    Anschluss
    16
    Unterteil
    18
    Oberteil
    20
    Elektronik
    22
    Anschluss
    24
    Leitung
    26
    Zubehöreinheit
    27
    Leitung
    28
    Adapter
    30
    Versorgungskontakt
    32
    Kommunikationskontakt
    34
    Versorgungskontakt
    36
    Kommunikationskontakt
    38
    Erkennungseinheit
    40
    Kontakte
    42
    Kontakte
    44
    Kommunikationskontakt
    46
    Kommunikationskontakt
    48
    Messwiderstand
    50
    Knoten
    52
    Kennwiderstand
    54
    Masse
    56
    Mikrocontroller
    1202
    Verfahrensschritt
    1204
    Verfahrensschritt
    1206
    Verfahrensschritt
    1208
    Liste aktiver Zubehöreinheiten
    1210
    Liste verbundener Zubehöreinheiten
    1212
    Verfahrensschritt
    1214
    Verfahrensschritt
    1216
    Verfahrensschritt
    1218
    Verfahrensschritt
    1220
    Verfahrensschritt
    1222
    Verfahrensschritt
    1224
    Verfahrensschritt
    1226
    Verfahrensschritt
    1228
    Verfahrensschritt
    1230
    Liste passiver Zubehöreinheiten

Claims (15)

  1. Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts (10), insbesondere eines Vakuumpumpsystems, wobei das Vakuumgerät eine Steuereinheit (12) mit einem Anschluss (14) für eine Zubehöreinheit (26) aufweist,
    wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte aufweist:
    - Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss (14) gemäß einem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll;
    - Ermitteln, ob über den Anschluss (14) eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird;
    - falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht nicht empfangen wird, Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss (14) angeschlossen ist; und
    - falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss (14) angeschlossen ist, Erkennen und/oder Ansteuern der Zubehöreinheit (26) basierend auf dem angeschlossenen elektrischen Widerstand (52).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, ferner aufweisend:
    falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss (14) nicht angeschlossen ist:
    - Ausgeben einer weiteren Nachricht über den Anschluss (14) gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll;
    - Ermitteln, ob über den Anschluss (14) eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird;
    - falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird, Ansteuern der Zubehöreinheit (26) basierend auf der empfangenen Nachricht.
  3. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 oder 2, ferner aufweisend:
    zyklisch Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss (14) gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll und Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss angeschlossen ist, solange, bis entweder eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird oder ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand (52) an dem Anschluss angeschlossen ist; und
    Ansteuern der Zubehöreinheit (26) basierend auf der empfangenen Antwort oder dem angeschlossenen elektrischen Widerstand (52).
  4. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 3,
    wobei ermittelt wird, ob innerhalb einer vorgegebenen Antwortzeit über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4,
    wobei die vorgegebene Antwortzeit im Bereich von 1 µs bis 500 ms liegt.
  6. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner aufweisend:
    wobei, falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss (14) angeschlossen ist, in einem vorgegebenen zeitlichen Abstand ermittelt wird, ob der elektrische Widerstand (52) noch immer an den Anschluss (14) angeschlossen ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 6,
    wobei der vorgegebene zeitliche Abstand im Bereich von 1 s bis 100 s liegt.
  8. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 6 oder 7, ferner aufweisend:
    falls ermittelt wird, dass der elektrische Widerstand (52) nicht mehr an den Anschluss (14) angeschlossen ist:
    - Ausgeben einer weiteren Nachricht über den Anschluss (14) gemäß dem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll;
    - Ermitteln, ob über den Anschluss (14) eine Antwort auf die weitere Nachricht empfangen wird;
    - falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird, Ansteuern der Zubehöreinheit (26) basierend auf der empfangenen Nachricht.
  9. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 8,
    wobei das Kommunikationsprotokoll ein serielles Protokoll ist.
  10. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 9,
    wobei ein Wert eines an den Anschluss (14) angeschlossenen elektrischen Widerstands (52) ermittelt wird; und
    wobei die Zubehöreinheit (26) angesteuert wird basierend auf dem ermittelten Wert des angeschlossenen elektrischen Widerstands (52).
  11. Vakuumgerät (10), insbesondere Vakuumpumpsystem, mit einer Steuereinheit (12) zum Betreiben des Vakuumgeräts (10),
    wobei die Steuereinheit (12) dazu angepasst ist, das Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche zumindest teilweise auszuführen.
  12. Vakuumgerät nach Anspruch 11,
    wobei der Anschluss (14) aufweist eine Spannungsversorgungsleitung und eine serielle Schnittstelle mit einer Empfangsleitung und einer Sendeleitung.
  13. Vakuumgerät nach Anspruch 12,
    wobei ein Messwiderstand (48) zwischen der Empfangsleitung und der Spannungsversorgungsleitung angeordnet ist; und
    wobei die Steuereinheit (12) dazu angepasst ist, zu ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand (52) an den Anschluss (14) angeschlossen ist basierend auf einer Messung eines Stroms durch den Messwiderstand (48) oder einer Spannung an dem Messwiderstand (48).
  14. Vakuumgerät nach zumindest einem der Ansprüche 11 bis 13,
    wobei die Steuereinheit (12) eine Platine als Vakuumdurchführung aufweist.
  15. Vakuumgerät nach zumindest einem der Ansprüche 11 bis 14,
    wobei die Zubehöreinheit (26) aufweist mindestens ein Zubehör ausgewählt aus einer Gruppe bestehend aus: einem Sensor, einem Piezosensor, einem Piezo/ Piranisensor, einem Flutventil, einer Sperrgasdrossel, einem Sperrgasventil, einer Heizung, einer Wasserheizung, einer Luftheizung, einer Kühlung, einer Wasserkühlung, einer Luftkühlung, einem Relais und einer Vorpumpe.
EP19201918.0A 2019-10-08 2019-10-08 Erkennung eines elektrisch angeschlossenen zubehörs Active EP3647600B1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4006350A1 (de) * 2021-12-09 2022-06-01 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7473498B2 (ja) 2021-03-31 2024-04-23 株式会社デンソー 通信装置、基地局、及び通信方法
EP4071364A1 (de) * 2022-06-30 2022-10-12 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumgerät, auswertungsvorrichtung, kommunikationssystem sowie verfahren zum betreiben eines vakuumgeräts und verfahren zum betreiben einer auswertungsvorrichtung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6606536B1 (en) * 1999-02-25 2003-08-12 Seiko Instruments Inc. Magnetic bearing device and magnetic bearing control device
EP3096021A1 (de) * 2015-05-20 2016-11-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Ferndiagnose von vakuumgeräten
US20180032350A1 (en) * 2016-08-01 2018-02-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for recognizing external device and electronic device supporting the same

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6272400B1 (en) * 1998-07-13 2001-08-07 Helix Technology Corporation Vacuum network controller
DE102014116555A1 (de) * 2014-11-12 2016-05-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumgerät

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6606536B1 (en) * 1999-02-25 2003-08-12 Seiko Instruments Inc. Magnetic bearing device and magnetic bearing control device
EP3096021A1 (de) * 2015-05-20 2016-11-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Ferndiagnose von vakuumgeräten
US20180032350A1 (en) * 2016-08-01 2018-02-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for recognizing external device and electronic device supporting the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4006350A1 (de) * 2021-12-09 2022-06-01 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe

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