EP3364488B1 - Procédé de fabrication d'une batterie au lithium - Google Patents

Procédé de fabrication d'une batterie au lithium Download PDF

Info

Publication number
EP3364488B1
EP3364488B1 EP17210879.7A EP17210879A EP3364488B1 EP 3364488 B1 EP3364488 B1 EP 3364488B1 EP 17210879 A EP17210879 A EP 17210879A EP 3364488 B1 EP3364488 B1 EP 3364488B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
battery
cathode
anode
contact zone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
EP17210879.7A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP3364488A1 (fr
Inventor
Julien LADROUE
Fabien Pierre
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics Tours SAS
Original Assignee
STMicroelectronics Tours SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics Tours SAS filed Critical STMicroelectronics Tours SAS
Publication of EP3364488A1 publication Critical patent/EP3364488A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP3364488B1 publication Critical patent/EP3364488B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/052Li-accumulators
    • H01M10/0525Rocking-chair batteries, i.e. batteries with lithium insertion or intercalation in both electrodes; Lithium-ion batteries
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/056Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes
    • H01M10/0561Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes the electrolyte being constituted of inorganic materials only
    • H01M10/0562Solid materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/056Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes
    • H01M10/0564Accumulators with non-aqueous electrolyte characterised by the materials used as electrolytes, e.g. mixed inorganic/organic electrolytes the electrolyte being constituted of organic materials only
    • H01M10/0566Liquid materials
    • H01M10/0567Liquid materials characterised by the additives
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/13Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/13Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
    • H01M4/136Electrodes based on inorganic compounds other than oxides or hydroxides, e.g. sulfides, selenides, tellurides, halogenides or LiCoFy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/13Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
    • H01M4/139Processes of manufacture
    • H01M4/1391Processes of manufacture of electrodes based on mixed oxides or hydroxides, or on mixtures of oxides or hydroxides, e.g. LiCoOx
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/36Selection of substances as active materials, active masses, active liquids
    • H01M4/58Selection of substances as active materials, active masses, active liquids of inorganic compounds other than oxides or hydroxides, e.g. sulfides, selenides, tellurides, halogenides or LiCoFy; of polyanionic structures, e.g. phosphates, silicates or borates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/04Construction or manufacture in general
    • H01M2010/0495Nanobatteries
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present application relates to a method for manufacturing a lithium battery.
  • lithium batteries It is known to use lithium batteries in electronic devices such as portable computers, portable telephones, digital tablets.
  • lithium-ion batteries there are several types of lithium batteries, such as lithium-ion batteries, lithium-polymer batteries or lithium-metal batteries. Each of these types of batteries is characterized by the materials making up the different elements of the battery. More particularly, lithium-ion batteries can be formed of a cathode of a lithiated compound such as lithium cobalt dioxide (LiCoO 2 ), of an electrolyte of nitrided lithium phosphate (LiPON) and of an anode of lithium. LiPON is a solid electrolyte allowing the production of fine and flexible lithium batteries.
  • LiCoO 2 lithium cobalt dioxide
  • LiPON nitrided lithium phosphate
  • LiPON is a solid electrolyte allowing the production of fine and flexible lithium batteries.
  • the document WO2015 / 112986 describes a method for manufacturing a lithium battery comprising the plasma deposition of a LiPON electrolyte on a structure comprising an anode contacting zone and a
  • An object of an embodiment is to overcome all or part of the disadvantages of existing lithium batteries.
  • one embodiment provides a method of manufacturing a lithium battery comprising the plasma deposition of LiPON on a structure comprising an anode contacting zone and a cathode contacting zone, comprising the steps following: before depositing LiPON, provide conductive portions shorting the anode contacting area and the cathode contacting area; and after the deposit of LiPON, cut the said portions.
  • the battery comprises a LiCoO 2 cathode.
  • the battery comprises a lithium anode.
  • the anode and cathode contacting zones are made of platinum.
  • the battery further comprises between the anode and the anode contacting zone a layer of metal (19).
  • the metal layer is made of copper.
  • the battery has a rectangular shape.
  • the anode contacting zone and the cathode contacting zone are arranged in opposite corners of the battery.
  • the anode contacting zone and the cathode contacting zone are arranged in adjacent corners of the battery.
  • the conductive portions are cut during a step of etching the LiPON.
  • anode represents the negative electrode and the term “cathode” represents the positive electrode.
  • the Figures 1A and 1B are respectively a side sectional view and a top sectional view of a lithium battery 1.
  • the figure 1A is a sectional view of the battery 1 along the broken line AA of the figure 1B .
  • the figure 1B is a sectional view of the battery 1 along the broken line BB of the figure 1A .
  • the battery 1 is formed on a dielectric substrate 3.
  • the substrate 3 is for example made of zirconium dioxide (ZrO 2 ).
  • the conductive layer 7 is made of a metal, for example platinum, and has a thickness comprised between 50 nm and 10 ⁇ m, for example of the order of 100 nm.
  • the bonding layer 5 is made of lithium cobalt oxynitride (LiCoON) and has a thickness of between 50 nm and 10 ⁇ m, for example of the order of 1 ⁇ m.
  • the conductive layer 7 is a cathode contact layer. On most of the layer 7 rests a cathode layer 9, for example made of cobalt and lithium dioxide (LiCoO 2 ).
  • the cathode layer has a thickness of between 2 ⁇ m and 50 ⁇ m, for example of the order of 10 ⁇ m.
  • the other part of the conductive layer 7, better visible in figure 1B constitutes the contacting area of the cathode 11.
  • an electrolyte layer 13 made of phosphorus and lithium oxynitride (LiPON).
  • the electrolyte layer 13 overflows on one side on the conductive layer 7 (to the right of the layer 9 in the figures) and on the other on the substrate 3 (to the left of the layer 9 in the figures).
  • the electrolyte layer 13 has a thickness of between 500 nm and 5 ⁇ m, for example of the order of 2 ⁇ m.
  • the conductive layer 17 is possibly made of a metal of the same nature as the conductive layer 7.
  • the layer bonding 15 is optionally of the same nature as the bonding layer 5.
  • a layer 19 of a metal, for example copper, rests astride one end of the conductive layer 17 and on the substrate 3.
  • the end 19A of the layer 19 is distant from the end 13A of the electrolyte layer 13 to avoid alterations of the end of the layer 13.
  • the metal layer 19 has a thickness between 50 nm and 10 ⁇ m, for example of the order of 500 nm.
  • the metal layer 19 is hatched in all the figures.
  • the free part of the layer 17 constitutes the contacting area of the anode 21.
  • the platinum layer 17 and the copper layer 19 constitute the anode contact.
  • a lithium anode layer 23 covers most of the electrolyte layer 13. In addition, as shown in the figure 1B , the anode layer 23 overflows on the metal layer 19, the end 19A being symbolized by dotted lines.
  • the anode layer 23 has a thickness of between 50 nm and 20 ⁇ m, for example of the order of 5 ⁇ m.
  • An encapsulation 25 covers the various elements of the battery, leaving only the cathode and anode contact zones 11 and 21 accessible.
  • the encapsulation 25 is for example made of a film of polyethylene terephthalate (PET) ) covered with an aluminum film, also known by the abbreviation PET-alu, to which an adhesive film is added on the aluminum side.
  • PET polyethylene terephthalate
  • the encapsulation 25 is for example deposited by rolling.
  • the encapsulation 25 has a thickness of between 5 ⁇ m and 150 ⁇ m, for example of the order of 100 ⁇ m.
  • the figure 1B shows an example of the topology of battery 1 and its contacts.
  • the battery 1 has for example a rectangular shape and can have a length between 1 and 25 mm, for example 11 mm, and a width between 1 and 25 mm, for example 6 mm.
  • the cathode contact area 11 is, for example, arranged in the upper right corner of the battery 1.
  • the anode contact area 21 is, for example, arranged in the lower left corner of the battery 1
  • the contacting areas of the cathode and anode are for example in the form of a quadrant.
  • the battery 1 could include tongues or protrusions of various shapes on which the anode and cathode terminals could rest. These tabs or projections could for example facilitate the stacking and connection in parallel or in series of several batteries.
  • the production of the patterns presented can be obtained by producing a localized pattern during the deposition (for example with a stencil technique), or by carrying out a more extensive deposition which will subsequently be engraved, for example by a laser, this second method being used for the manufacturing process presented here.
  • the figure 3 is a sectional view illustrating the structure of the figure 2 at a later stage of manufacture.
  • a layer of LiPON 27 is deposited on the structure.
  • this deposition is carried out by plasma deposition, a process commonly called PVD (from the English Physical Vapor Deposition).
  • PVD from the English Physical Vapor Deposition
  • the conductive layers that is to say the layers 7 and 9, forming the cathode and the cathode contact, and the layers 17 and 19, forming the anode contact, become charged under the effect.
  • plasma present in the deposition reactor However, layers 7 and 9 have a larger surface area than layers 17 and 19. This results in a potential difference between the cathode and anode contacts, and a risk of arcing.
  • electric arcs are capable of forming through the portion of the layer 27 between the end 19A of the copper layer 19 and the opposite end of the conductive layer 7.
  • Such electric arcs cause the appearance of defects, for example the formation of cavities in layer 27.
  • the Figures 4A and 4B are respectively a top view and a sectional view illustrating the battery of Figures 1A and 1B at an intermediate stage of an embodiment of a method for manufacturing this battery.
  • the figure 4B is a sectional view of the figure 4A along line BB of the figure 4A .
  • the same steps were successively carried out as those carried out in the step illustrated by the Figures 2A and 2B .
  • the cathode contact and the anode contact are short-circuited.
  • the cathode and anode contacts remain at the same potential level while they are being charged.
  • the copper layer 19 comprises at least one extension, the end of which rests on a portion of the cathode layer 9.
  • layer 19 includes two extensions 33A and 33B.
  • the extensions 33A and 33B for example have the form of tongues.
  • the figure 5 is a top view of the structure of Figures 4A and 4B at a later stage of manufacture.
  • a layer of LiPON 29 is deposited on the structure, for example by plasma deposition.
  • the shape of the different layers constituting the structure of the figure 4A is designated by dotted lines.
  • the conductive layers such as the platinum layers 7 and 17, the copper layer 19 and the cathode layer 9, become charged. All these layers are short-circuited, they are all at the same potential. This avoids the formation of electric arcs and therefore of defects in the LiPON layer.
  • the Figures 6A and 6B are respectively a top view and a sectional view of the structure of the figure 5 at an even later stage of manufacture.
  • the figure 6A is a top view.
  • the figure 6B is a sectional view along line BB of the figure 6A .
  • the LiPON layer 27 is etched locally so as to make the conductive layer 7, the conductive layer 17, the copper layer 19 and a portion of the extensions 33A and 33B accessible.
  • the extensions 33A and 33B are sectioned, for example by laser engraving.
  • the anode contact is disconnected from the cathode contact.
  • Extension portions 33A and 33B may remain on the cathode layer 9 and under the layer 13. These portions are designated by dotted lines and are hatched on the figure 6A .
  • the remaining portions of the extensions 33A and 33B may exceed or be perpendicular to the layer 13.
  • the anode layer 23, presented in relation to the figure 1B is deposited locally on the structure so that the extensions 33A and 33B are not in electrical contact with the conductive layer 7 at the level of the zone 11.
  • the person skilled in the art will have provided adequate electrical insulation between these elements to avoid short-circuiting of the anode and of the cathode at this stage of the process.
  • the encapsulation layer 25, presented in relation to the Figures 1A and 1B is setup.
  • An advantage of this embodiment is to allow the reduction of the distances separating the layers 9, 13 and 19, and therefore to increase the area which can be allocated to the other elements of the battery.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Secondary Cells (AREA)
  • Cell Electrode Carriers And Collectors (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)

Description

    Domaine
  • La présente demande concerne un procédé de fabrication d'une batterie au lithium.
  • Exposé de l'art antérieur
  • Il est connu d'utiliser des batteries au lithium dans des dispositifs électroniques tels que des ordinateurs portables, des téléphones portables, des tablettes numériques.
  • Il existe plusieurs types de batteries au lithium, comme les batteries lithium-ion, les batteries lithium-polymère ou les batteries lithium-métal. Chacun de ces types de batteries est caractérisé par les matériaux composant les différents éléments de la batterie. Plus particulièrement, les batteries lithium-ion peuvent être formées d'une cathode en un composé lithié tel que le dioxyde de cobalt de lithium (LiCoO2), d'un électrolyte en phosphate de lithium nitruré (LiPON) et d'une anode en lithium. Le LiPON est un électrolyte solide permettant la réalisation de batteries au lithium fines et souples. Le document WO2015/112986 décrit un procédé de fabrication d'une batterie au lithium comprenant le dépôt par plasma d'un électrolyte de LiPON sur une structure comprenant une zone de prise de contact d'anode et une zone de prise de contact de cathode.
  • L'avancée de la technique amène à réaliser des batteries de plus en plus petites, ce qui pose divers problèmes de fabrication.
  • Résumé
  • Un objet d'un mode de réalisation est de pallier tout ou partie des inconvénients des batteries au lithium existantes.
  • Ainsi, un mode de réalisation prévoit un procédé de fabrication d'une batterie au lithium comprenant le dépôt par plasma de LiPON sur une structure comprenant une zone de prise de contact d'anode et une zone de prise de contact de cathode, comprenant les étapes suivantes : avant le dépôt de LiPON, prévoir des portions conductrices court-circuitant la zone de prise de contact d'anode et la zone de prise de contact de cathode ; et après le dépôt de LiPON, couper lesdites portions.
  • Selon un mode de réalisation, la batterie comprend une cathode en LiCoO2.
  • Selon un mode de réalisation, la batterie comprend une anode en lithium.
  • Selon un mode de réalisation, les zones de prise de contact d'anode et de cathode sont en platine.
  • Selon un mode de réalisation, la batterie comprend en outre entre l'anode et la zone de prise de contact d'anode une couche de métal (19).
  • Selon un mode de réalisation, la couche de métal est en cuivre.
  • Selon un mode de réalisation, la batterie a une forme rectangulaire.
  • Selon un mode de réalisation, la zone de prise de contact d'anode et la zone de prise de contact de cathode sont disposées dans des coins opposés de la batterie.
  • Selon un mode de réalisation, la zone de prise de contact d'anode et la zone de prise de contact de cathode sont disposées dans des coins adjacents de la batterie.
  • Selon un mode de réalisation, les portions conductrices sont coupées pendant une étape de gravure du LiPON.
  • Brève description des dessins
  • Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
    • Les figures 1A et 1B sont des vues en coupe d'une batterie au lithium ;
    • les figures 2A, 2B et 3 sont une vue de dessus et des vues en coupe illustrant des étapes d'un procédé de fabrication de la batterie des figures 1A et 1B ; et
    • les figures 4A, 4B, 5, 6A et 6B sont des vues en coupe et des vues de dessus illustrant des étapes d'un mode de réalisation d'un procédé de fabrication de la batterie des figures 1A et 1B.
    Description détaillée
  • De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références dans les différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Par souci de clarté, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits ont été représentés et sont détaillés.
  • Dans la description qui suit, lorsque l'on fait référence à des qualificatifs de position absolue, tels que les termes "gauche" et "droite", etc., ou relative, tels que les termes "supérieur", "inférieur", etc., il est fait référence à l'orientation des figures dans une position normale d'utilisation. Sauf précision contraire, l'expression "de l'ordre de" signifie à 10 % près, de préférence à 5 % près.
  • Par convention, pour une batterie, le terme "anode" représente l'électrode négative et le terme "cathode" représente l'électrode positive.
  • Les figures 1A et 1B sont respectivement une vue en coupe de côté et une vue en coupe de dessus d'une batterie au lithium 1. La figure 1A est une vue en coupe de la batterie 1 selon la ligne brisée A-A de la figure 1B. La figure 1B est une vue en coupe de la batterie 1 selon la ligne brisée B-B de la figure 1A.
  • Comme cela est représenté en figure 1A, la batterie 1 est formée sur un substrat diélectrique 3. Le substrat 3 est par exemple en dioxyde de zirconium (ZrO2).
  • Sur la plus grande partie du substrat 3 (à droite sur les figures) est disposée une couche conductrice 7, éventuellement sur une couche d'accrochage 5. La couche conductrice 7 est en un métal, par exemple du platine, et a une épaisseur comprise entre 50 nm et 10 µm, par exemple de l'ordre de 100 nm. La couche d'accrochage 5 est en oxynitrure de cobalt de lithium (LiCoON) et a une épaisseur comprise entre 50 nm et 10 µm, par exemple de l'ordre de 1 µm. La couche conductrice 7 est une couche de contact de cathode. Sur la plus grande partie de la couche 7 repose une couche de cathode 9, par exemple en dioxyde de cobalt et de lithium (LiCoO2). La couche de cathode a une épaisseur comprise entre 2 µm et 50 µm, par exemple de l'ordre de 10 µm. L'autre partie de la couche conductrice 7, mieux visible en figure 1B, constitue la zone de prise de contact de la cathode 11.
  • Sur la couche de cathode 9 repose une couche d'électrolyte 13 en oxynitrure de phosphore et de lithium (LiPON). La couche d'électrolyte 13 déborde d'un côté sur la couche conductrice 7 (à droite de la couche 9 sur les figures) et de l'autre sur le substrat 3 (à gauche de la couche 9 sur les figures). La couche d'électrolyte 13 a une épaisseur comprise entre 500 nm et 5 µm, par exemple de l'ordre de 2 µm.
  • Sur une petite partie du substrat 3 (à gauche sur les figures) est disposée une couche conductrice 17, éventuellement sur une couche d'accrochage 15. La couche conductrice 17 est éventuellement en un métal de même nature que la couche conductrice 7. La couche d'accrochage 15 est éventuellement de même nature que la couche d'accrochage 5. Une couche 19 en un métal, par exemple en cuivre, repose à cheval sur une extrémité de la couche conductrice 17 et sur le substrat 3. De plus, l'extrémité 19A de la couche 19 est distante de l'extrémité 13A de la couche d'électrolyte 13 pour éviter les altérations de l'extrémité de la couche 13. La couche en métal 19 a une épaisseur comprise entre 50 nm et 10 µm, par exemple de l'ordre de 500 nm. La couche en métal 19 est hachurée sur toutes les figures. La partie libre de la couche 17 constitue la zone de prise de contact de l'anode 21. La couche de platine 17 et la couche de cuivre 19 constituent le contact d'anode.
  • Une couche d'anode 23 en lithium recouvre la plus grande partie de la couche d'électrolyte 13. De plus, comme cela est représenté sur la figure 1B, la couche d'anode 23 déborde sur la couche en métal 19, l'extrémité 19A étant symbolisée par des pointillés. La couche d'anode 23 a une épaisseur comprise entre 50 nm et 20 µm, par exemple de l'ordre de 5 µm.
  • Une encapsulation 25 recouvre les différents éléments de la batterie en ne laissant accessibles que les zones de prise de contact de cathode et d'anode 11 et 21. L'encapsulation 25 est par exemple constituée d'un film de polytéréphtalate d'éthylène (PET) recouvert d'un film d'aluminium, aussi connu sous l'abréviation PET-alu, auquel est ajouté un film adhésif sur le côté aluminium. L'encapsulation 25 est par exemple déposée par laminage. L'encapsulation 25 a une épaisseur comprise entre 5 µm et 150 µm, par exemple de l'ordre de 100 µm.
  • La figure 1B représente un exemple de topologie de la batterie 1 et de ses contacts. La batterie 1 a par exemple une forme rectangulaire et peut avoir une longueur comprise entre 1 et 25 mm, par exemple 11 mm, et une largeur comprise entre 1 et 25 mm, par exemple 6 mm. La zone de prise de contact de cathode 11 est, par exemple, disposée dans le coin supérieur droit de la batterie 1. La zone de prise de contact d'anode 21 est, par exemple, disposée dans le coin inférieur gauche de la batterie 1. Les zones de prise de contact de cathode et d'anode sont par exemple en forme de quadrant. A titre d'exemple, la batterie 1 pourrait comprendre des languettes ou des saillies de formes diverses sur lesquelles pourraient reposer les bornes d'anode et de cathode. Ces languettes ou saillies pourraient par exemple faciliter l'empilement et la connexion en parallèle ou en série de plusieurs batteries.
  • La réalisation des motifs présentés peut être obtenue en réalisant un motif localisé lors du dépôt (par exemple avec une technique de pochoir), ou en réalisant un dépôt plus étendu qui sera par la suite gravé, par exemple par un laser, cette deuxième méthode étant utilisée pour le procédé de fabrication présenté ici.
  • Les figures 2A et 2B sont respectivement une vue de dessus et une vue en coupe illustrant la batterie des figures 1A et 1B à une étape intermédiaire de sa fabrication. La figure 2A est une vue de dessus de la figure 2B. La figure 2B est une vue en coupe selon la ligne B-B de la figure 2A. A ce stade, on a successivement réalisé les étapes suivantes :
    • déposer sur le substrat 3 une couche d'accrochage et une couche de métal, par exemple en platine, puis graver une tranchée afin d'obtenir les couches 5, 7 sur la plus grande partie du substrat 3 et les couches 15, 17 sur l'autre partie ;
    • déposer une couche de cathode 9 sur la plus grande partie de la couche 7 ; et
    • déposer une couche, par exemple en cuivre dans la tranchée séparant les couches 5, 7 des couches 15, 17 et en débordement sur la couche 17 et la couche de cathode 9, puis la graver pour former la couche 19.
  • La figure 3 est une vue en coupe illustrant la structure de la figure 2 à une étape ultérieure de fabrication. Une couche de LiPON 27 est déposée sur la structure. De façon classique, ce dépôt est effectué par dépôt plasma, procédé couramment nommé PVD (de l'anglais Physical Vapour Déposition). Pendant cette étape, les couches conductrices, c'est-à-dire les couches 7 et 9, formant la cathode et le contact de cathode, et les couches 17 et 19, formant le contact d'anode, se chargent sous l'effet du plasma présent dans le réacteur de dépôt. Cependant, les couches 7 et 9 ont une plus grande surface que les couches 17 et 19. Ceci entraine une différence de potentiel entre les contacts de cathode et d'anode, et un risque de formation d'arcs électriques. Plus particulièrement, des arcs électriques, symbolisés par une flèche 29, sont susceptibles de se former à travers la portion de la couche 27 comprise entre l'extrémité 19A de la couche de cuivre 19 et l'extrémité en regard de la couche conductrice 7. De tels arcs électriques entraînent l'apparition de défauts, par exemple la formation de cavités dans la couche 27.
  • Après l'étape de la figure 3, on arrive à la structure des figures 1A et 1B en procédant à la gravure de la couche 27 de LiPON pour former la couche d'électrolyte 13, puis à un dépôt localisé de lithium pour former la couche d'anode 23 présenté en relation avec la figure 1B. Pendant l'étape de dépôt de lithium, du lithium pénètre dans les cavités réalisées dans la couche d'électrolyte 13 par les éventuels arcs électriques 29 formés lors de l'étape de la figure 3, et ceci peut créer des courts-circuits entre l'anode et la cathode de la batterie. Une solution possible à ce problème est d'augmenter la distance entre l'extrémité 19A de la couche de cuivre 19 et l'extrémité en regard de la couche conductrice 7, mais cela réduit la surface disponible pour la couche de cathode 9 et donc la capacité de la batterie, pour une surface de substrat donnée.
  • Les figures 4A et 4B sont respectivement une vue de dessus et une vue en coupe illustrant la batterie des figures 1A et 1B à une étape intermédiaire d'un mode de réalisation d'un procédé de fabrication de cette batterie. La figure 4B est une vue en coupe de la figure 4A selon la ligne B-B de la figure 4A. A ce stade, on a successivement réalisé les mêmes étapes que celles réalisées à l'étape illustrée par les figures 2A et 2B. Cependant, pour pallier le problème décrit en relation avec la figure 3, le contact de cathode et le contact d'anode sont court-circuités. Ainsi, lors du dépôt par plasma de la couche de LiPON, les contacts de cathode et d'anode restent à un même niveau de potentiel tandis qu'ils se chargent. Pour créer ce court-circuit, dans le mode de réalisation représenté, la couche de cuivre 19 comprend au moins une extension dont l'extrémité repose sur une portion de la couche de cathode 9. Dans le cas représenté en figures 4A et 4B, la couche 19 comprend deux extensions 33A et 33B. Les extensions 33A et 33B ont par exemple la forme de languettes.
  • La figure 5 est une vue de dessus de la structure des figures 4A et 4B à une étape ultérieure de fabrication. Une couche de LiPON 29 est déposée sur la structure, par exemple par dépôt plasma. La forme des différentes couches constituant la structure de la figure 4A est désignée en pointillés. Pendant le dépôt de LiPON, les couches conductrices, telles que les couches de platine 7 et 17, la couche de cuivre 19 et la couche de cathode 9, se chargent. Toutes ces couches étant court-circuitées, elles sont toutes au même potentiel. On évite ainsi la formation d'arcs électriques et donc de défauts dans la couche de LiPON.
  • Les figures 6A et 6B sont respectivement une vue de dessus et une vue en coupe de la structure de la figure 5 à une étape encore ultérieure de fabrication. La figure 6A est une vue de dessus. La figure 6B est une vue en coupe selon la ligne B-B de la figure 6A. A cette étape, la couche de LiPON 27 est gravée localement de façon à rendre accessibles la couche conductrice 7, la couche conductrice 17, la couche de cuivre 19 et une portion des extensions 33A et 33B. Puis, les extensions 33A et 33B sont sectionnées, par exemple par gravure laser. Ainsi, le contact d'anode est déconnecté du contact de cathode. Des portions d'extensions 33A et 33B peuvent subsister sur la couche de cathode 9 et sous la couche 13. Ces portions sont désignées par des pointillés et sont hachurées sur la figure 6A. Les portions restantes des extensions 33A et 33B peuvent dépasser ou être à l'aplomb de la couche 13.
  • Dans des étapes ultérieures, la couche d'anode 23, présentée en relation avec la figure 1B, est déposée de manière localisée sur la structure de telle sorte que les extensions 33A et 33B ne soient pas en contact électrique avec la couche conductrice 7 au niveau de la zone 11. Dans le cas d'un dépôt de la couche 23 recouvrant tout ou partie des éléments suscitées, l'homme de l'art aura prévu une isolation électrique adéquate entre ces éléments pour éviter le court-circuit de l'anode et de la cathode à cette étape du procédé. Puis, la couche d'encapsulation 25, présentée en relation avec les figures 1A et 1B, est mise en place.
  • Un avantage de ce mode de réalisation est de permettre la réduction des distances séparant les couches 9, 13 et 19, et donc d'accroître la surface allouable aux autres éléments de la batterie.
  • Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, toutes autres méthodes permettant de court-circuiter temporairement les contacts de cathode et d'anode pendant le dépôt de LiPON pourront être utilisées.

Claims (10)

  1. Procédé de fabrication d'une batterie au lithium (1) comprenant le dépôt par plasma de LiPON (13) sur une structure comprenant une zone de prise de contact d'anode (21) et une zone de prise de contact de cathode (11), comprenant les étapes suivantes :
    avant le dépôt de LiPON (13), prévoir des portions conductrices (33A, 33B) court-circuitant la zone de prise de contact d'anode et la zone de prise de contact de cathode ; et
    après le dépôt de LiPON (13), couper lesdites portions.
  2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la batterie comprend une cathode (9) en LiCoO2.
  3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la batterie comprend une anode (23) en lithium.
  4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les zones de prise de contact d'anode (21) et de cathode (11) sont en platine.
  5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la batterie comprend en outre entre l'anode (23) et la zone de prise de contact d'anode (21) une couche de métal (19).
  6. Procédé selon la revendication 5, dans lequel la couche de métal (19) est en cuivre.
  7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la batterie (1) a une forme rectangulaire.
  8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel la zone de prise de contact d'anode (21) et la zone de prise de contact de cathode (11) sont disposées dans des coins opposés de la batterie (1).
  9. Procédé selon la revendication 7, dans lequel la zone de prise de contact d'anode (21) et la zone de prise de contact de cathode (11) sont disposées dans des coins adjacents de la batterie (1).
  10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel les portions conductrices (33A, 33B) sont coupées pendant une étape de gravure du LiPON (13).
EP17210879.7A 2017-02-16 2017-12-28 Procédé de fabrication d'une batterie au lithium Active EP3364488B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1751264A FR3062962B1 (fr) 2017-02-16 2017-02-16 Procede de fabrication d'une batterie au lithium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP3364488A1 EP3364488A1 (fr) 2018-08-22
EP3364488B1 true EP3364488B1 (fr) 2019-12-18

Family

ID=58455323

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP17210879.7A Active EP3364488B1 (fr) 2017-02-16 2017-12-28 Procédé de fabrication d'une batterie au lithium

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10418660B2 (fr)
EP (1) EP3364488B1 (fr)
FR (1) FR3062962B1 (fr)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6818356B1 (en) * 2002-07-09 2004-11-16 Oak Ridge Micro-Energy, Inc. Thin film battery and electrolyte therefor
US6835493B2 (en) * 2002-07-26 2004-12-28 Excellatron Solid State, Llc Thin film battery
CN106947948A (zh) * 2011-06-17 2017-07-14 应用材料公司 无针孔介电薄膜制造
US20120321815A1 (en) * 2011-06-17 2012-12-20 Applied Materials, Inc. Thin Film Battery Fabrication With Mask-Less Electrolyte Deposition
EP2839530B1 (fr) * 2012-04-18 2017-03-15 Applied Materials, Inc. Électrolyte à l'état solide sans piqûre à conductivité ionique élevée
FR2995454B1 (fr) * 2012-09-07 2014-08-22 Commissariat Energie Atomique Procede pour la realisation d'un electrolyte a base de lithium pour micro-batterie solide
TW201529873A (zh) * 2014-01-24 2015-08-01 Applied Materials Inc 電化學元件中之電極層上的固態電解質之沉積

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Also Published As

Publication number Publication date
US10418660B2 (en) 2019-09-17
US20180233769A1 (en) 2018-08-16
EP3364488A1 (fr) 2018-08-22
FR3062962A1 (fr) 2018-08-17
FR3062962B1 (fr) 2019-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2409352B1 (fr) Microbatterie au lithium et son procédé de fabrication
EP2306579A1 (fr) Procédé de formation d'une batterie lithium-ion en couches minces
EP3118920B1 (fr) Batterie en couches minces autosupportée et procédé de fabrication d'une telle batterie
FR2994338A1 (fr) Procede de formation d'une batterie de type lithium-ion
WO2011107675A1 (fr) Microbatterie et son procede de fabrication
EP2309581A1 (fr) Procédé de formation d'une batterie lithium-ion verticale en couches minces
FR3077426A1 (fr) Assemblage de microbatteries
EP3012886A1 (fr) Dispositif électrochimique, tel qu'une microbatterie ou un système électrochrome, et son procédé de réalisation
EP3047530B1 (fr) Procede de realisation d'une microbatterie au lithium et microbatterie au lithium
WO2015146667A1 (fr) Condensateur
US20130313122A1 (en) Method For Fabricating Conductive Structures of Substrate
EP3364488B1 (fr) Procédé de fabrication d'une batterie au lithium
EP2941793B1 (fr) Procédé de fabrication de batteries de type lithium-ion
JP2012122084A (ja) 薄型電池の製造方法
FR3086454A1 (fr) Condensateur
FR3077681A1 (fr) Batterie en couches minces
FR3041147A1 (fr) Procede d'integration d'au moins une interconnexion 3d pour la fabrication de circuit integre
EP3503142B1 (fr) Réalisation d'un collecteur de dispositif microélectronique
EP3734712B1 (fr) Dispositif de stockage et procédé de fabrication
FR2994023A1 (fr) Procede de realisation de vias
EP3776642B1 (fr) Procédé de fabrication d'un substrat donneur pour la réalisation d'une structure intégrée en trois dimensions et procédé de fabrication d'une telle structure intégrée
EP4195246A1 (fr) Procédé de fabrication d'un via
EP4002406A1 (fr) Dispositif électrochimique tel une micro batterie
FR3128059A1 (fr) Batterie à électrolyte solide
FR3089688A1 (fr) Empilage d’électrodes de pile galvanique

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20171228

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: H01M 10/0562 20100101AFI20190515BHEP

Ipc: H01M 10/04 20060101ALN20190515BHEP

Ipc: H01M 10/0525 20100101ALI20190515BHEP

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20190627

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602017009830

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 1215583

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20200115

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200318

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200318

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200319

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200513

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20191231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20200418

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 602017009830

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 1215583

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20191218

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20191228

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20191228

26N No opposition filed

Effective date: 20200921

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20191231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20171228

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20201231

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20201231

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20191218

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20211228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211228

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20231121

Year of fee payment: 7