EP3178119A1 - Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor - Google Patents

Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor

Info

Publication number
EP3178119A1
EP3178119A1 EP15747153.3A EP15747153A EP3178119A1 EP 3178119 A1 EP3178119 A1 EP 3178119A1 EP 15747153 A EP15747153 A EP 15747153A EP 3178119 A1 EP3178119 A1 EP 3178119A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
sensor
layer
electrode
protective
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP15747153.3A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hans-Jürgen SCHREINER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ceramtec GmbH
Original Assignee
Ceramtec GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ceramtec GmbH filed Critical Ceramtec GmbH
Publication of EP3178119A1 publication Critical patent/EP3178119A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H10N30/8548—Lead-based oxides
    • H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Definitions

  • the invention relates to a piezoceramic sensor in a housing with a layer of a piezoelectric material on each of which a sensor electrode is located on both sides and both sensor electrodes are each connected to a pole.
  • Such sensors are used for example for pressure measurement. They are flat and very accurate.
  • the disadvantage is that forms a potential difference between the sensor electrodes and the housing, which allows a discharge of the charge across the surface. The accuracy of the sensor would then be limited.
  • the invention has for its object to improve a piezoceramic sensor according to the preamble of claim 1 so that no potential difference between the housing and the sensor electrodes is formed, which would allow a derivative of the charge over the surface.
  • this object is achieved in that the layer projects beyond the sensor electrode on at least one side of the layer and a protective electrode enclosing the sensor electrode with insulating spacing is arranged on the part of the layer projecting beyond the sensor electrode.
  • the same charge is induced on the guard electrode (s) as on the sensor electrodes, so there is no potential difference that would allow the charge to dissipate across the surface. It remains the discharge of the volume, the volume resistances are so large that there is no effect on the measurement.
  • the protective electrode thus serves to equalize the voltage between the sensor housing and the sensor electrodes prevent. With this sensor, the smallest deformations in the ⁇ and subpm range can be measured. The protective electrode prevents the discharge of the charge.
  • Moisture which may also occur despite the installation of the sensor in a potting compound on the surface, leads to an increase in the conductivity, especially in piezoelectric materials. Since the potential difference between the protective and sensor electrode but equal to zero, there is no voltage compensation between the protective and sensor electrode.
  • both the sensor electrode and the guard electrode consist of a sintered silver paste.
  • the sensor electrode covers only an inner radius of the layer and the guard electrode surrounds the sensor electrode coaxially with an isolation distance. This coaxial embodiment requires the least space.
  • the layer is circular and consists of a ceramic based on polycrystalline ferroelectric lead zirconate titanate (PZT).
  • PZT polycrystalline ferroelectric lead zirconate titanate
  • the guard electrode is on both sides of the layer. This embodiment best prevents a potential difference.
  • the guard electrode is located on only one side of the layer. In this case, the sensor electrode preferably completely covers the layer on the other side not provided with the protective electrode. Also in this embodiment, a potential difference is prevented.
  • the use of the sensor according to the invention for measuring pressures is preferred. Advantage has in injectors for automobiles.
  • Figure 1 shows an embodiment of a piezoceramic sensor according to the invention in plan view and Figure 2 shows this sensor in a side view.
  • a layer 3 (in the form of a disk in this embodiment) consists of a piezoceramic material based on polycrystalline lead zirconate titanate. With this layer 3, a sensor electrode 2 are each sintered on both sides, wherein the sensor electrode 2 covers only an inner radius of the layer 3, i. the layer 3 projects annularly over the layer 3.
  • a protective electrode 1 is arranged on both sides of the layer 3 with insulating spacing 7 relative to the sensor electrode 2.
  • the protective electrode 1 is annular and is located in this embodiment, both above and below the layer 3.
  • Figure 1 shows the sensor according to Figure 2 in plan view.
  • the annular protective electrode 1 surrounds the sensor electrode 2 coaxially with an insulating spacing 7.
  • the sensor electrodes 2 on both sides of the layer 3 are each connected to a pole 5, 6. Since there is no potential difference between the sensor electrode 2 and the guard electrode 1, there is no charge drain. If a force 4 (see FIG. 2) is exerted on the sensor, it shortens or bends and this shortening or bending can be measured with this sensor.
  • FIGS. 3 and 4 show an alternative embodiment of a piezoceramic sensor according to the invention.
  • Figure 3 shows this alternative sensor in plan view and Figure 4 in a side view.
  • the upper side 9, on which the protective electrode 1 is located, is identical to the embodiment according to FIGS. 1 and 2.
  • FIG. 3 is therefore identical to FIG. In this embodiment, however, the underside 8 of the sensor is over the entire surface Sensor electrode 2 is formed, that is, on the underside 8 of the sensor there is no guard electrode 1, as on the top 9th
  • the protective electrode 1 can be sealed with an insulating layer.
  • the protective electrode 1 preferably consists of an applied sintered silver paste.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen piezokeramischer Sensor in einem Gehäuse mit einer Schicht (3), bevorzugt einer PZT-Schicht aus einem piezoelektrischen Material auf der sich beidseitig jeweils eine Sensorelektrode (2) befindet und beide Sensorelektroden (2) mit jeweils einem Pol (5, 6) verbunden sind. Damit keine Potentialdifferenz zwischen dem Gehäuse und den Sensorelektroden (2) entsteht, die eine Ableitung der Ladung über die Oberfläche ermöglichen würde, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass auf zumindest einer Seite der Schicht (3) die Schicht (3) über die Sensorelektrode (2) hinausragt und auf dem über die Sensorelektrode (2) hinausragenden Teil der Schicht (3) eine die Sensorelektrode (2) mit Isolierabstand (7) umgreifende Schutzelektrode (1) angeordnet ist.

Description

Schutzelektrode für einen piezokeramischen Sensor
Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Sensor in einem Gehäuse mit einer Schicht aus einem piezoelektrischen Material auf der sich beidseitig jeweils eine Sensorelektrode befindet und beide Sensorelektroden mit jeweils einem Pol verbunden sind.
Derartige Sensoren werden zum Beispiel zur Druckmessung verwendet. Sie sind flach und sehr genau.
Von Nachteil ist, dass sich zwischen den Sensorelektroden und dem Gehäuse eine Potentialdifferenz ausbildet, die eine Ableitung der Ladung über die Oberfläche ermöglicht. Die Genauigkeit des Sensors wäre dann eingeschränkt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen piezokeramischen Sensor nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so zu verbessern, dass keine Potentialdifferenz zwischen dem Gehäuse und den Sensorelektroden entsteht, die eine Ableitung der Ladung über die Oberfläche ermöglichen würde.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass auf zumindest einer Seite der Schicht die Schicht über die Sensorelektrode hinausragt und auf dem über die Sensorelektrode hinausragenden Teil der Schicht eine die Sensorelektrode mit Isolierabstand umgreifende Schutzelektrode angeordnet ist. Auf der oder den Schutzelektrode/Schutzelektroden wird dieselbe Ladung induziert wie auf den Sensorelektroden, daher entsteht keine Potentialdifferenz, die eine Ableitung der Ladung über die Oberfläche ermöglichen würde. Es bleibt die Entladung über das Volumen, wobei die Volumenwiderstände so groß sind, dass keine Beeinflussung der Messung erfolgt. Die Schutzelektrode dient also dazu, einen Spannungsausgleich zwischen dem Sensorgehäuse und den Sensorelektroden zu verhindern. Mit diesem Sensor lassen sich kleinste Verformungen im μιτι- und subpm-Bereich messen. Die Schutzelektrode verhindert hierbei das Ableiten der Ladung. Feuchtigkeit, welche auch trotz Verbau des Sensors in einer Vergussmasse auf der Oberfläche auftreten kann, führt zu einer Erhöhung der Leitfähigkeit insbesondere bei piezoelektrischen Materialien. Da die Potentialdifferenz zwischen Schutz- und Sensorelektrode aber gleich Null ist, erfolgt auch kein Spannungsausgleich zwischen Schutz- und Sensorelektrode.
Bevorzugt bestehen sowohl die Sensorelektrode als auch die Schutzelektrode aus einer versinterten Silberpaste.
In einer bevorzugten Ausführungsform bedeckt die Sensorelektrode nur einen inneren Radius der Schicht und umgreift die Schutzelektrode die Sensorelektrode koaxial mit einem Isolierabstand. Diese koaxiale Ausführungsform benötigt den wenigsten Bauraum.
Bevorzugt ist die Schicht kreisförmig ausgebildet und besteht aus einer Keramik auf der Basis von polykristallinem ferroelektrischen Blei-Zirkonat-Titanat (PZT).
In einer Ausführungsform befindet sich die Schutzelektrode auf beiden Seiten der Schicht. Diese Ausführungsform verhindert am besten eine Potentialdifferenz. In einer alternativen Ausführungsform befindet sich die Schutzelektrode nur auf einer Seite der Schicht. Hierbei bedeckt die Sensorelektrode auf der anderen, nicht mit der Schutzelektrode versehenen Seite die Schicht bevorzugt vollständig. Auch in dieser Ausführungsform wird eine Potentialdifferenz verhindert. Bevorzugt ist die Verwendung des erfindungsgemäßen Sensors zur Messung von Drücken. Vorteilhat in Injektoren für Automobile.
Figur 1 zeigt eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen piezokeramischen Sensors in Draufsicht und Figur 2 diesen Sensor in einer Seitenansicht. Eine Schicht 3 (in dieser Ausführungsform als Scheibe ausgeführt) besteht aus einem piezokeramischen Material auf der Basis von polykristallinem ferroelektrischen Blei- Zirkonat-Titanat. Mit dieser Schicht 3 sind beidseitig jeweils eine Sensorelektrode 2 versintert, wobei die Sensorelektrode 2 nur einen inneren Radius der Schicht 3 bedeckt, d.h. die Schicht 3 ragt ringförmig über die Schicht 3 hinaus. Auf diesem ringförmigen über die Schicht 3 hinausragenden Bereich ist auf beiden Seiten der Schicht 3 mit Isolierabstand 7 zur Sensorelektrode 2 eine Schutzelektrode 1 angeordnet. Die Schutzelektrode 1 ist ringförmig ausgebildet und befindet sich in dieser Ausführungsform sowohl oberhalb als auch unterhalb der Schicht 3. Figur 1 zeigt den Sensor gemäß Figur 2 in Draufsicht. Sehr gut ist zu sehen, dass die ringförmige Schutzelektrode 1 die Sensorelektrode 2 koaxial mit einem Isolierabstand 7 umgreift. Die Sensorelektroden 2 auf beiden Seiten der Schicht 3 sind mit jeweils einem Pol 5, 6 verbunden. Da zwischen der Sensorelektrode 2 und der Schutzelektrode 1 keine Potentialdifferenz besteht, findet auch kein Ladungsabfluss statt. Wird eine Kraft 4 (siehe Figur 2) auf den Sensor ausgeübt, verkürzt bzw. verbiegt sich dieser und diese Verkürzung bzw. Verbiegung kann mit diesem Sensor gemessen werden.
In den Figuren 3 und 4 ist eine alternative Ausführungsform eines erfindungsgemäßen piezokeramischen Sensors gezeigt. Figur 3 zeigt diesen alternativen Sensor in Draufsicht und Figur 4 in einer Seitenansicht. Die Oberseite 9, auf der sich die Schutzelektrode 1 befindet, ist mit der Ausführungsform gemäß den Figuren 1 und 2 identisch ausgbildet. Figur 3 ist daher mit Figur 1 identisch. In dieser Ausführungsform ist jedoch die Unterseite 8 des Sensors vollflächig als Sensorelektrode 2 ausgebildet, d.h. auf der Unterseite 8 des Sensors befindet sich keine Schutzelektrode 1 , wie auf der Oberseite 9.
In beiden Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Sensors ist dieser von einem Gehäuse (in den Figuren nicht gezeigt) umgeben. Das Gehäuse kann auch ein umspritzter Kunststoff sein. Zur Isolierung kann die Schutzelektrode 1 mit einer Isolierschicht abgedekt sein. Die Schutzelektrode 1 besteht bevorzugt aus einer aufgebrachten versinterten Silberpaste.

Claims

Ansprüche
1 . Piezokeramischer Sensor in einem Gehäuse mit einer Schicht (3), bevorzugt einer PZT-Schicht aus einem piezoelektrischen Material auf der sich beidseitig jeweils eine Sensorelektrode (2) befindet und beide Sensorelektroden (2) mit jeweils einem Pol (5, 6) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass auf zumindest einer Seite der Schicht (3) die Schicht (3) über die Sensorelektrode (2) hinausragt und auf dem über die Sensorelektrode (2) hinausragenden Teil der Schicht (3) eine die Sensorelektrode (2) mit Isolierabstand (7) umgreifende Schutzelektrode (1 ) angeordnet ist.
2. Sensor nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Sensorelektrode (2) als auch die Schutzelektrode (1 ) aus einer versinterten Silberpaste bestehen.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorelektrode (2) nur einen inneren Radius der Schicht (3) bedeckt und die Schutzelektrode (1 ) die Sensorelektrode (2) koaxial mit einem Isolierabstand (7) umgreift.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (3) kreisförmig ausgebildet ist und aus einer Keramik auf der Basis von polykristallinem ferroelektrischen Blei-Zirkonat-Titanat besteht.
5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Schutzelektrode (1 ) auf beiden Seiten der Schicht (3) befindet.
6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Schutzelektrode (1 ) nur auf einer Seite der Schicht (3) befindet.
7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorelektrode (2) auf der anderen, nicht mit der Schutzelektrode (1 ) versehenen Seite die Schicht (3) vollständig bedeckt.
8. Verwendung eines Sensors nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zur Messung von Drücken.
9. Verwendung eines Sensors nach Anspruch 7 in Injektoren für Automobile.
EP15747153.3A 2014-08-04 2015-08-04 Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor Withdrawn EP3178119A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014215323 2014-08-04
PCT/EP2015/067909 WO2016020364A1 (de) 2014-08-04 2015-08-04 Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP3178119A1 true EP3178119A1 (de) 2017-06-14

Family

ID=53783228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP15747153.3A Withdrawn EP3178119A1 (de) 2014-08-04 2015-08-04 Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20170363488A1 (de)
EP (1) EP3178119A1 (de)
JP (1) JP2017528909A (de)
KR (1) KR20170039266A (de)
CN (1) CN107078205A (de)
DE (1) DE102015214823A1 (de)
WO (1) WO2016020364A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7416376B2 (ja) * 2019-11-27 2024-01-17 ダイキンファインテック株式会社 圧電素子および圧電装置
CN113267289B (zh) * 2021-04-16 2022-08-16 上海交通大学 面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130285512A1 (en) * 2011-02-18 2013-10-31 Panasonic Corporation Piezoelectric element

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2943278A (en) * 1958-11-17 1960-06-28 Oskar E Mattiat Piezoelectric filter transformer
US2969512A (en) * 1960-02-17 1961-01-24 Clevite Corp Piezoelectric ceramic resonators
US3307052A (en) * 1964-04-06 1967-02-28 Frank W Neilson Piezoelectric stress gage
GB2122746B (en) * 1982-06-24 1985-09-04 Marconi Co Ltd Pressure sensors
GB2137056B (en) * 1983-03-16 1986-09-03 Standard Telephones Cables Ltd Communications apparatus
JP3141645B2 (ja) * 1993-08-23 2001-03-05 株式会社村田製作所 圧力センサ
CN1143184A (zh) * 1995-08-14 1997-02-19 日本碍子株式会社 传感器部件和颗粒传感器
UA65037A (en) * 2003-05-12 2004-03-15 Cherkasy State Tech Univ Piezoelectric mechanical-electric transducer
CA2598664A1 (en) * 2005-02-21 2006-08-31 University Of South Florida Micro sensor system for liquid conductivity, temperature and depth
US7456708B2 (en) * 2006-03-07 2008-11-25 Zippy Technology Corp. Piezoelectric plate electric connection structure
US7579753B2 (en) * 2006-11-27 2009-08-25 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Transducers with annular contacts
JP4600468B2 (ja) * 2007-12-10 2010-12-15 セイコーエプソン株式会社 半導体圧力センサ及びその製造方法、半導体装置並びに電子機器
JP5309898B2 (ja) * 2008-10-31 2013-10-09 セイコーエプソン株式会社 圧力センサ装置
CN102052989B (zh) * 2010-11-18 2012-02-29 华中科技大学 高q值大相对变化量电容压力传感器
UA65037U (ru) * 2011-04-22 2011-11-25 Анна Александровна Григорович Способ лечения взрослых больных с соматоформными расстройствами

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130285512A1 (en) * 2011-02-18 2013-10-31 Panasonic Corporation Piezoelectric element

Also Published As

Publication number Publication date
DE102015214823A1 (de) 2016-02-04
US20170363488A1 (en) 2017-12-21
CN107078205A (zh) 2017-08-18
WO2016020364A1 (de) 2016-02-11
JP2017528909A (ja) 2017-09-28
KR20170039266A (ko) 2017-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3182020A1 (de) Kochfeld
EP4402391B1 (de) Vorrichtung zum erfassen der zuspannkräfte zwischen einem bremskörper und einem bremsrotor einer scheiben- oder trommelbremse
DE102016110299A1 (de) Sensorkörper für einen Durchflussdrucksensor
DE4111118A1 (de) Mikromechanischer kapazitiver druckwandler
DE102015223784A1 (de) Drucksensoranordnung sowie Messumformer zur Prozessinstrumentierung mit einer derartigen Drucksensoranordnung
EP3265768A1 (de) Kraftsensor
DE3205705C2 (de) Einrichtung zur Messung einer physikalischen Größe mit einer verformbaren Feder
EP3178119A1 (de) Schutzelektrode für einen piezokeramischen sensor
DE10132269B4 (de) Drucksensor
DE102012205126A1 (de) Kapazitives Ortungsgerät
DE10221219A1 (de) Drucksensor
EP3001167B1 (de) Sensoranordnung und verfahren zur herstellung einer sensoranordnung
DE102009028343A1 (de) Sensorelement und Verfahren zum Betrieb eines Sensorelements
EP2315013A1 (de) Feuchtesensor
DE3811047A1 (de) Fuehler zur kapazitiven messung des druckes in gasen
DE202014010496U1 (de) Kapazitives Sensorelement mit integrierter Mess- und Referenzkapazität
DE102018104162A1 (de) Drucksensor
DE102018103180A1 (de) Anordnung für einen halbleiterbasierten Drucksensorchip und Drucksensorchip
DE202011111000U1 (de) Kapazitiver Näherungssensor
WO2019030121A1 (de) Messgerät zur messung des drucks eines mediums in einem behältnis und kapazitive druckmesszelle
DE102012217390A1 (de) Wegaufnehmermodul und Kraftmessdose
DE102007002593A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
WO2015028003A1 (de) Kapazitiver sensor mit integriertem heizelement
DE102013003648B3 (de) Textiler Kondensator
DE102015001988A1 (de) Hydraulischer Drucksensor für ein Fahrzeug

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20170306

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)
17Q First examination report despatched

Effective date: 20180409

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20180821