EP2100093A1 - Device and method for measuring layer thicknesses - Google Patents

Device and method for measuring layer thicknesses

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Publication number
EP2100093A1
EP2100093A1 EP07846280A EP07846280A EP2100093A1 EP 2100093 A1 EP2100093 A1 EP 2100093A1 EP 07846280 A EP07846280 A EP 07846280A EP 07846280 A EP07846280 A EP 07846280A EP 2100093 A1 EP2100093 A1 EP 2100093A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
path length
component
layer
weglängenmessgerät
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP07846280A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Andreas Jakimow
Manuel Hertter
Stefan Schneiderbanger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MTU Aero Engines AG
Original Assignee
MTU Aero Engines GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MTU Aero Engines GmbH filed Critical MTU Aero Engines GmbH
Publication of EP2100093A1 publication Critical patent/EP2100093A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness

Definitions

  • the present invention relates to a device for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating process, with at least a first and a second path length measuring device, wherein by means of the first Wegdorfnmess advocatess a first path length to a surface of a the component to be applied layer and by means of the second Wegnmess advocatess a second path length to an uncoated surface of the component continuously or at predefined times is measured.
  • the invention further relates to a method for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating process, wherein a first path length to a surface of a layer to be applied to the component by means of a first Wegdorfnmess experts and by means of a second Wegnmess advocatess a second path length an uncoated surface of the component is measured continuously or at predefined times.
  • the thickness of the applied layer is determined after completion of the coating process.
  • the layer thickness distribution and the layer structure of such layers is determined by a cut analysis of a process control sample.
  • the disadvantage here is that the layer thickness is always determined only on the said process control sample and not on the actual component. This leads to inaccuracies in the determination of the layer thickness. If, in addition, it is determined that, for example, the layer thickness is too low, then the corresponding layer must be re-injected. In some applications, this is not possible, so that the complete coating must be removed from the component and reapplied.
  • DE 44 25 187 A1 proposes a device and a method for measuring layer thicknesses of the type mentioned in the introduction.
  • the layer thickness or the layer thickness distribution is measured directly during or after the coating directly on the component.
  • two Weglynmesstechnik be used, which measures by means of laser triangulation on the one hand, the decreasing distance between the surface of the applied layer and a first Wegnmess réelle.
  • the distance of this device to an uncoated reference surface of the component is determined with a second path length measuring device.
  • the reference surface may be, for example, the uncoated back side of the component.
  • Object of the present invention is to provide a device of the type mentioned, which leads to a further improvement of the measurement accuracy over the known devices.
  • a device for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating preparation.
  • a second path length (b) to an uncoated surface of the component continuously or at least a first and a second Wegnmess réelle is measured at predefined times.
  • the device comprises at least a third path length measuring device for measuring and monitoring the position of the first path length measuring device relative to the component, wherein a third path length (c) for determining the position of the component is measured continuously or at predefined times by means of the third path length measuring device.
  • the first, second and third Wegzinmess réelle can be configured as optical and / or acoustic Weglenmess réelle.
  • laser path length measuring devices are used as first, second and third path length measuring devices.
  • At least the first Wegzinmess réelle is formed pivotable. This makes it possible to measure undercuts on the component or the applied to the component layer.
  • the first path length measuring device can be adjustable in defined angles ⁇ or ⁇ '.
  • the first, second and third Wegdorfnmess réelle are arranged on a rail system.
  • the path length measuring devices can be arranged to be movable on the rail system.
  • the rail system itself is designed to be movable.
  • the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c). This makes it possible that movements of the component itself in two directions (x, y) can be measured and thus taken into account in the determination of the layer thickness.
  • An inventive method for measuring layer thicknesses comprises measuring a first path length (a) to a surface of a layer to be applied to the component by means of a first Wegdorfnmess réelles and measuring a second path length ( b) to an uncoated surface of the component by means of a second Wegnmess réelles.
  • the measurements can take place continuously and at predefined times.
  • the position of the first path length measuring device relative to the component is measured and monitored by means of a third path length measuring device, for which purpose a third path length (c) for determining the position of the component is measured continuously or at predefined times.
  • the first path length measuring device it is advantageously possible to determine where the first path length measuring device is currently measuring.
  • the knowledge of the exact measuring point leads to a very high accuracy in the determination of the layer thickness distribution of the applied to the component layer.
  • movements of the component itself during or after the coating process in the determination or calculation of the exact layer thickness can be considered. This also leads to an increase in the measurement accuracy in the determination of layer thicknesses.
  • cross-sectional profiles of the component can be determined before and after the coating, which, relative to each other, make it possible to determine the layer thickness distribution with very high accuracy.
  • optical and / or acoustic path length measuring methods are used. In particular, a laser triangulation method, as described for example in DE 44 25 187 Al, find use.
  • the first path length measuring device is designed to be pivotable for measuring undercuts on the surface of the layer to be measured. Due to the possibility of swiveling the at least first path length measuring device, exact layer thicknesses or layer thickness distributions can be determined for special components in which layer thickness distributions occur which, due to undercuts with a rigid attachment of a path length measuring device, do not permit correct measurement.
  • the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c).
  • the thicknesses of the layer or the layer thickness distribution from the measured path lengths (a, b, c) are calculated and determined by means of a data processing system.
  • the distance data determined by the three path length measuring devices are related to one another, so that a layer thickness with respect to a single measuring point or a layer thickness distribution of the applied layer can be determined with very high accuracy in the ⁇ m range.
  • Figure 1 is a schematic representation of an exemplary device according to the invention.
  • Figure 2 is a schematic representation of the exemplary device according to the invention in a detailed view.
  • Figure 3 shows an exemplary, modified design of the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2 in partial view.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a device 10 according to the invention for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component 18 during or after a coating process.
  • the device 10 has a first and a second path length measuring device 12, 14.
  • a first path length (a) to a surface 20 of a layer 22 applied to the component 18 is measured by means of the first path length measuring device 12.
  • a second path length (b) to an uncoated surface 24 of the component 18 is determined.
  • the measurements can take place continuously or at predefined times.
  • the uncoated surface 24, which serves as a reference surface in determining the exact layer thickness distribution is arranged on the rear side of the component 18. But it is also possible that a correspondingly uncoated surface 24 is arranged on the layer side of the component 18.
  • the device 10 comprises a third path length measuring device 16 for measuring and monitoring the position of the first path length measuring device 12 relative to the component 18.
  • the third path length measuring device measures a third path length (c) for determining the position of the component 18. This measurement can also take place continuously or at predefined times. This makes it possible to determine the exact measuring position of the first Wegdorfnmess réelles 12. Measurement inaccuracies, which occur for example as a result of movements of the component 18 itself, can thus be compensated. the.
  • the component 18 is rotationally symmetrical. With the help of the third Wegfarnmess réelles 16, it is possible to determine the exact axial position of an axis 36 of the component 18.
  • the path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed as optical and / or acoustic path length measuring devices.
  • the path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed as laser path length measuring devices, as described, for example, in DE 44 25 187 A1.
  • the first Wegzinmess réelle 12 is formed pivotable.
  • the first Wegzinmess réelle 12 in defined angles ⁇ and ⁇ 'adjustable. Due to the adjustability of the first Wegdorfnmess réelles 12, it is possible undercuts, which are formed by the design of the component 18 itself or by a corresponding coating thickness order to measure exactly.
  • the pivotability of the first Wegdorfnmess réelles 12 by the angle ⁇ or ⁇ ' is shown in Figure 2 in detail. It can be seen that the design of the component 18 shown in FIG. 2 results in undercuts in the layer 22 to be applied, which can only be measured precisely by the pivotability of the first path length measuring device 12.
  • the device 10 consists of a rail system 26 consisting of two rails 28, 30 extending parallel to one another and a rail 32 connecting the two rails 28, 30 to one another.
  • the first path length measuring device 12 is arranged on the rail 28 and the second path length measuring device on the rail 30.
  • the third path length measuring device 16 is fastened to the rail 32 running perpendicular to the two rails 28, 30.
  • the path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed to be movable on the respective rails 28, 30, 32. But it is also possible that the entire rail system 26 is movably secured to a further rail 34 which extends parallel to the rails 28 and 30.
  • the rail system 26 results in a predefined position of the path length measuring devices 12, 14, 16. each other.
  • the entire rail system 26 and thus the three Weglynmessetti 12, 14, 16 are moved without a shift of the individual relative positions of Weglynmesstechnik 12, 14, 16, that is moved along the layer to be measured or back of the component.
  • the measurement of the first and second path lengths (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c) (x, y -Direction).
  • cross-sectional profiles of the component 18 can thus be determined before and after the coating, which set relative to one another a determination of the layer thickness distribution of the layer 22 with very high accuracy.
  • Fig. 3 shows an exemplary, modified design of the embodiment according to FIGS. 1 and 2 in partial view.
  • a Weglyn- measuring device 38 which may be in particular the second Weglynmess réelle 14 or the third Weglynmess réelle 16 of FIG. 2 and from Fig. 2.
  • a portion of the component 18 is shown in Fig. 3, and - a departure from the Figs. 1 and 2 - a position block 40th
  • a position block 40 is fastened on the component 18. This has a groove or a slot with a reference surface (hatched area see drawing).
  • the position block 40 is attached to the component 18 so that the distance to the reference surface can be measured either by the device 14 or 16.
  • the position block 40 must be constructed or advantageously designed so that the distance to the reference surface differs significantly from the distance to the component surface or the block surface.
  • the slot width a is critical to the accuracy of the position. However, it must not be smaller than the measuring beam of the laser.

Abstract

The invention relates to a device for measuring layer thicknesses, especially of a part (18) during or following a coating process. Said device comprises at least one first and a second distance measuring apparatus (12, 14). The first distance measuring apparatus (12) makes it possible to measure a first distance (a) to a surface (20) of a layer (22) that is to be applied to the part (18) while the second distance measuring apparatus (14) makes it possible to measure a second distance (b) to an uncoated surface (24) of the part (18), the measurements being taken continuously or at predefined points in time. According to the invention, the device (10) further comprises at least one third distance measuring apparatus (16) for measuring and monitoring the position of the first distance measuring apparatus (12) relative to the part (18), said third distance measuring apparatus (16) making it possible to measure a third distance (c) in a continuous manner or at predefined points in time in order to determine the position of the part (18). The invention also relates to a method for measuring layer thicknesses, particularly of a part (18) during or following a coating process.

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Schichtdicken Apparatus and method for measuring layer thicknesses
Beschreibungdescription
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils während oder nach einem Be- schichtungsvorgang, mit mindestens einem ersten und einem zweiten Weglängenmessge- rät, wobei mittels des ersten Weglängenmessgerätes eine erste Weglänge zu einer Oberfläche einer auf das Bauteil aufzutragenden Schicht und mittels des zweiten Weglängenmessgerätes eine zweite Weglänge zu einer unbeschichteten Oberfläche des Bauteils kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils während oder nach einem Beschichtungsvorgang, wobei mittels eines ersten Weglängenmessgerätes eine erste Weglänge zu einer Oberfläche einer auf das Bauteil aufzutragenden Schicht und mittels eines zweiten Weglängenmessgerätes eine zweite Weglänge zu einer unbeschichteten Oberfläche des Bauteils kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird.The present invention relates to a device for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating process, with at least a first and a second path length measuring device, wherein by means of the first Weglängenmessgerätes a first path length to a surface of a the component to be applied layer and by means of the second Weglängenmessgerätes a second path length to an uncoated surface of the component continuously or at predefined times is measured. The invention further relates to a method for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating process, wherein a first path length to a surface of a layer to be applied to the component by means of a first Weglängenmessgerätes and by means of a second Weglängenmessgerätes a second path length an uncoated surface of the component is measured continuously or at predefined times.
Bei der Beschichtung von Bauteilen, insbesondere mittels thermischer Beschichtungsver- fahren wie Flammspritzen, Plasmaspritzen, etc. wird in der Praxis die Dicke der aufgetragenen Schicht nach Beendigung des Beschichtungsverfahrens ermittelt. Dabei wird die Schichtdickenverteilung und das Schichtgefüge derartiger Schichten durch eine Schliffanalyse einer Prozesskontrollprobe ermittelt. Nachteilig dabei ist, dass die Schichtdicke immer nur an der genannten Prozesskontrollprobe und nicht an dem eigentlichen Bauteil ermittelt wird. Dies führt zu Ungenauigkeiten bei der Schichtdickenbestimmung. Wird zudem festgestellt, dass zum Beispiel die Schichtdicke zu niedrig ist, so muss die entsprechende Schicht nachgespritzt werden. Bei manchen Anwendungen ist dies nicht möglich, so dass die komplette Beschichtung wieder von dem Bauteil entfernt und neu aufgetragen werden muss. Diese Verfahren sind natürlich aufwändig und teuer und stellen zudem eine Verlängerung der Herstellungsdauer der beschichteten Bauteile dar. Um diese Nachteile zu überwinden, schlägt die DE 44 25 187 Al eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Messen von Schichtdicken der eingangs genannten Art vor. Dabei wird die Schichtdicke bzw. die Schichtdickenverteilung unmittelbar während oder nach der Be- schichtung direkt am Bauteil gemessen. Hierzu werden zwei Weglängenmessgeräte verwendet, die mittels Lasertriangulation einerseits den sich verringernden Abstand zwischen der Oberfläche der aufgetragenen Schicht und einem ersten Weglängenmessgerät misst. Andererseits wird mit einem zweiten Weglängenmessgerät der Abstand dieses Geräts zu einer unbeschichteten Referenzfläche des Bauteils ermittelt. Dadurch können Messunge- nauigkeiten, die zum Beispiel durch Ausdehnung des Bauteils durch die Beschichtungs- wärme verursacht werden, berücksichtigt werden. Bei der Referenzfläche kann es sich zum Beispiel um die unbeschichtete Rückseite des Bauteils handeln. Durch die bekannte Vorrichtung und das entsprechende bekannte Verfahren ist es möglich, die Dicke der Spritzschicht mit einer Genauigkeit im μm-Bereich zu vermessen.In the coating of components, in particular by means of thermal coating methods such as flame spraying, plasma spraying, etc., in practice the thickness of the applied layer is determined after completion of the coating process. The layer thickness distribution and the layer structure of such layers is determined by a cut analysis of a process control sample. The disadvantage here is that the layer thickness is always determined only on the said process control sample and not on the actual component. This leads to inaccuracies in the determination of the layer thickness. If, in addition, it is determined that, for example, the layer thickness is too low, then the corresponding layer must be re-injected. In some applications, this is not possible, so that the complete coating must be removed from the component and reapplied. Of course, these processes are time-consuming and expensive and also represent an extension of the production time of the coated components. In order to overcome these disadvantages, DE 44 25 187 A1 proposes a device and a method for measuring layer thicknesses of the type mentioned in the introduction. The layer thickness or the layer thickness distribution is measured directly during or after the coating directly on the component. For this purpose, two Weglängenmessgeräte be used, which measures by means of laser triangulation on the one hand, the decreasing distance between the surface of the applied layer and a first Weglängenmessgerät. On the other hand, the distance of this device to an uncoated reference surface of the component is determined with a second path length measuring device. As a result, measurement inaccuracies caused, for example, by expansion of the component by the coating heat can be taken into account. The reference surface may be, for example, the uncoated back side of the component. By the known device and the corresponding known method, it is possible to measure the thickness of the sprayed layer with an accuracy in the micron range.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art bereitzustellen, die zu einer weiteren Verbesserung der Messgenauigkeit gegenüber den bekannten Vorrichtungen führt.Object of the present invention is to provide a device of the type mentioned, which leads to a further improvement of the measurement accuracy over the known devices.
Es ist weiterhin Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein eingangs genanntes Verfahren bereitzustellen, dass gegenüber den bekannten Messverfahren eine erhöhte Messgenauigkeit aufweist.It is a further object of the present invention to provide a method mentioned in the introduction which has an increased measuring accuracy compared to the known measuring methods.
Gelöst werden diese Aufgaben durch eine Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch ein Verfahren gemäß den Merkmalen des Anspruchs 9.These objects are achieved by a device according to the features of claim 1 and by a method according to the features of claim 9.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den jeweiligen Unteransprüchen beschrieben.Advantageous embodiments of the invention are described in the respective subclaims.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils während oder nach einem Beschichtungsvor- gang weist mindestes ein erstes und ein zweites Weglängenmessgerät auf, wobei mittels des ersten Weglängenmessgeräts eine erste Weglänge (a) zu einer Oberfläche einer auf das Bauteil aufzutragenden Schicht und mittels des zweiten Weglängenmessgeräts eine zweite Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche des Bauteils kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung mindestens ein drittes Weglängenmessgerät zur Messung und Überwachung der Position des ersten Weglängenmessgeräts relativ zum Bauteil, wobei mittels des dritten Weglängenmessgeräts eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Damit kann mit sehr großer Genauigkeit festgestellt werden, wo das erste Weglängenmessgerät gerade misst. Insbesondere bei rotationssymmetrisch ausgebildeten Bauteilen kann es zu entsprechenden Bewegungen des Bauteils relativ zum ersten Weglängenmessgerät kommen, so dass es zu Ungenauigkeiten bei der Positionsbestimmung des ersten Weglängenmessgeräts und damit zu Ungenauigkeiten bei der Bestimmung der Dicke einer Schicht an einem entsprechenden Punkt des Bauteils kommen kann. Vorteilhafterweise wird also neben einer sehr großen Genauigkeit der Schichtdickenbestimmung bzw. Schichtdickenverteilung auch eine sehr hohe Messgenauigkeit bezüglich der Bestimmung der Position der gemessenen Schichtdicke ermöglicht. Es können somit exakte Aussagen über die Schichtdickenverteilung über die gesamte auf das Bauteil aufgetragene Schicht hinweg getroffen werden. Das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät kann dabei als optisches und/oder akustisches Weglängenmessgerät ausgestaltet sein. Insbesondere werden als erste, zweite und dritte Weglängenmessgeräte Laser- Weglängenmessgeräte eingesetzt. Es ist aber auch möglich, die Weglängen mittels Ultraschall oder vergleichbaren Methoden zu messen.A device according to the invention for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating preparation. a first path length (a) to a surface of a layer to be applied to the component and by means of the second Weglängenmessgeräts a second path length (b) to an uncoated surface of the component continuously or at least a first and a second Weglängenmessgerät is measured at predefined times. According to the invention, the device comprises at least a third path length measuring device for measuring and monitoring the position of the first path length measuring device relative to the component, wherein a third path length (c) for determining the position of the component is measured continuously or at predefined times by means of the third path length measuring device. This makes it possible to determine with great accuracy where the first path length measuring device is currently measuring. In particular in the case of rotationally symmetrical components, corresponding movements of the component relative to the first path length measuring device may occur so that inaccuracies in the position determination of the first path length measuring device and thus inaccuracies in the determination of the thickness of a layer at a corresponding point of the component may occur. Advantageously, in addition to a very high accuracy of the layer thickness determination or layer thickness distribution, a very high measurement accuracy with respect to the determination of the position of the measured layer thickness is made possible. It is thus possible to make precise statements about the layer thickness distribution over the entire layer applied to the component. The first, second and third Weglängenmessgerät can be configured as optical and / or acoustic Weglängenmessgerät. In particular, laser path length measuring devices are used as first, second and third path length measuring devices. However, it is also possible to measure the path lengths by means of ultrasound or comparable methods.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist zumindest das erste Weglängenmessgerät verschwenkbar ausgebildet. Dadurch ist es möglich, Hinterschneidungen auf dem Bauteil bzw. der auf das Bauteil aufgetragenen Schicht zu vermessen. Das erste Weglängenmessgerät kann dabei in definierten Winkeln α bzw. α' verstellbar sein.In a further advantageous embodiment of the invention, at least the first Weglängenmessgerät is formed pivotable. This makes it possible to measure undercuts on the component or the applied to the component layer. The first path length measuring device can be adjustable in defined angles α or α '.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät auf einem Schienensystem angeordnet. Dadurch ist es möglich, dass die Weglängenmessgeräte in vordefinierten Abständen und Winkeln zueinander positioniert sind. Die Weglängenmessgeräte können dabei auf dem Schienensystem verfahrbar angeordnet sein. Zudem ist es möglich, dass das Schienensystem selbst verfahrbar ausgebildet ist. Des Weiteren ist es möglich, dass gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung die Messung der ersten und zweiten Weglänge (a, b) ungefähr senkrecht zur Messung der dritten Weglänge (c) erfolgt. Dadurch ist es möglich, dass Bewegungen des Bauteils selbst in zwei Richtungen (x, y) vermessen und damit bei der Ermittlung der Schichtdicke berücksichtigt werden können.In a further advantageous embodiment of the invention, the first, second and third Weglängenmessgerät are arranged on a rail system. This makes it possible that the path length measuring devices are positioned at predefined distances and angles to one another. The path length measuring devices can be arranged to be movable on the rail system. In addition, it is possible that the rail system itself is designed to be movable. Furthermore, it is possible that according to a further advantageous embodiment of the invention, the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c). This makes it possible that movements of the component itself in two directions (x, y) can be measured and thus taken into account in the determination of the layer thickness.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils während oder nach einem Beschichtungsvorgang, umfasst die Messung einer ersten Weglänge (a) zu einer Oberfläche einer auf das Bauteil aufzutragenden Schicht mittels eines ersten Weglängenmessgeräts und die Messung einer zweiten Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche des Bauteils mittels eines zweiten Weglängenmessgeräts. Die Messungen können dabei kontinuierlich und zu vordefinierten Zeitpunkten erfolgen. Erfindungsgemäß wird mittels eines dritten Weglängenmessgeräts die Position des ersten Weglängenmessgeräts relativ zum Bauteil gemessen und überwacht, wobei hierzu eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird. Dadurch ist es vorteilhafterweise möglich, festzustellen, wo das erste Weglängenmessgerät gerade misst. Die Kenntnis des exakten Messpunktes führt zu einer sehr hohen Genauigkeit bei der Ermittlung der Schichtdickenverteilung der auf das Bauteil aufgetragenen Schicht. Zudem können Bewegungen des Bauteils selbst während oder nach dem Beschichtungsvorgang bei der Ermittlung bzw. Berechnung der exakten Schichtdicke berücksichtigt werden. Auch dies führt zu einer Erhöhung der Messgenauigkeit bei der Bestimmung von Schichtdicken. Mit den synchron bestimmten Messwerten der drei Weglängenmessgeräte können vor und nach der Beschichtung Querschnittsprofile des Bauteils bestimmt werden, die zueinander ins Verhältnis gesetzt eine Bestimmung der Schichtdickenverteilung mit sehr hoher Genauigkeit ermöglichen. Zur Ermittlung der ersten, zweiten und dritten Weglänge (a, b, c) werden dabei optische und/oder akustische Weglängenmessverfahren verwendet. Insbesondere kann ein Lasertriangulationsverfahren, wie dies zum Beispiel in der DE 44 25 187 Al beschrieben ist, Verwendung finden.An inventive method for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component during or after a coating process, comprises measuring a first path length (a) to a surface of a layer to be applied to the component by means of a first Weglängenmessgeräts and measuring a second path length ( b) to an uncoated surface of the component by means of a second Weglängenmessgeräts. The measurements can take place continuously and at predefined times. According to the invention, the position of the first path length measuring device relative to the component is measured and monitored by means of a third path length measuring device, for which purpose a third path length (c) for determining the position of the component is measured continuously or at predefined times. As a result, it is advantageously possible to determine where the first path length measuring device is currently measuring. The knowledge of the exact measuring point leads to a very high accuracy in the determination of the layer thickness distribution of the applied to the component layer. In addition, movements of the component itself during or after the coating process in the determination or calculation of the exact layer thickness can be considered. This also leads to an increase in the measurement accuracy in the determination of layer thicknesses. With the synchronously determined measured values of the three path length measuring devices, cross-sectional profiles of the component can be determined before and after the coating, which, relative to each other, make it possible to determine the layer thickness distribution with very high accuracy. To determine the first, second and third path lengths (a, b, c), optical and / or acoustic path length measuring methods are used. In particular, a laser triangulation method, as described for example in DE 44 25 187 Al, find use.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist zur Vermessung von Hinterschneidungen auf der zu vermessenden Oberfläche der Schicht das erste Weglängenmessgerät verschwenkbar ausgebildet. Durch die Möglichkeit der Ver- schwenkung des zumindest ersten Weglängenmessgeräts können bei speziellen Bauteilen, bei denen es zu Schichtdickenverteilungen kommt, die bedingt durch Hinterschneidungen mit einer starren Befestigung eines Weglängenmessgeräts keine korrekte Vermessung zulassen, exakte Schichtdicken bzw. Schichtdickenverteilungen bestimmt werden.In a further advantageous embodiment of the method according to the invention, the first path length measuring device is designed to be pivotable for measuring undercuts on the surface of the layer to be measured. Due to the possibility of swiveling the at least first path length measuring device, exact layer thicknesses or layer thickness distributions can be determined for special components in which layer thickness distributions occur which, due to undercuts with a rigid attachment of a path length measuring device, do not permit correct measurement.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Messung der ersten und zweiten Weglänge (a, b) ungefähr senkrecht zur Messung der dritten Weglänge (c). Dadurch ist es möglich, auch Bewegungen des Bauteils selbst während oder nach der Beschichtung bei der Ermittlung bzw. Berechnung der Schichtdicke bzw. Schichtdickenverteilung zu berücksichtigen, daher in zwei zueinander ungefähr senkrecht verlaufenden Bewegungsrichtungen gemessen wird.In a further advantageous embodiment of the method according to the invention, the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c). This makes it possible to take into account also movements of the component itself during or after the coating in the determination or calculation of the layer thickness or layer thickness distribution, is therefore measured in two mutually approximately perpendicular directions of movement.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die Dicken der Schicht bzw. die Schichtdickenverteilung aus den gemessenen Weglängen (a, b, c) mittels einer Datenverarbeitungsanlage errechnet und ermittelt. Dabei werden die von den drei Weglängenmessgeräten ermittelten Abstandsdaten zueinander in Beziehung gesetzt, so dass eine Schichtdicke bezüglich eines einzelnen Messpunkts bzw. eine Schichtdickenverteilung der aufgetragenen Schicht mit sehr hoher Genauigkeit im μm- Bereich ermittelt werden kann.In a further advantageous embodiment of the method according to the invention, the thicknesses of the layer or the layer thickness distribution from the measured path lengths (a, b, c) are calculated and determined by means of a data processing system. In this case, the distance data determined by the three path length measuring devices are related to one another, so that a layer thickness with respect to a single measuring point or a layer thickness distribution of the applied layer can be determined with very high accuracy in the μm range.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines zeichnerisch dargestellten Ausfuhrungsbeispiels. Dabei zeigt Figur 1 eine schematische Darstellung einer beispielhaften erfindungsgemäßen Vorrichtung;Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the following description of a drawing illustrated embodiment. It shows Figure 1 is a schematic representation of an exemplary device according to the invention;
Figur 2 eine schematische Darstellung der beispielhaften erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer Detailansicht; undFigure 2 is a schematic representation of the exemplary device according to the invention in a detailed view; and
Figur 3 eine beispielhafte, modifizierte Gestaltung des Ausfuhrungsbeispiels gemäß den Fig. 1 und 2 in teilweiser Ansicht.Figure 3 shows an exemplary, modified design of the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2 in partial view.
Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils 18 während oder nach einem Beschichtungsvorgang. Man erkennt, dass die Vorrichtung 10 ein erstes und ein zweites Weglängenmessgerät 12, 14 aufweist. Dabei wird mittels des ersten Weglängenmessgeräts 12 eine erste Weglänge (a) zu einer Oberfläche 20 einer auf das Bauteil 18 aufgetragenen Schicht 22 gemessen. Mittels des zweiten Weglängenmessgeräts 14 wird eine zweite Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche 24 des Bauteils 18 ermittelt. Die Messungen können dabei kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten erfolgen. In dem dargestellten Ausfuhrungsbeispiel ist die unbeschichtete Oberfläche 24, die als Referenzfläche bei der Ermittlung der exakten Schichtdickenverteilung dient, auf der Rückseite des Bauteils 18 angeordnet. Es ist aber auch möglich, dass eine entsprechend unbeschichtete Oberfläche 24 auf der Schichtseite des Bauteils 18 angeordnet ist. Zudem ist es möglich, eine unbeschichtete Referenzfläche auf einem separaten Bauteil, welches neben dem eigentlichen zu beschichtenden Bauteil zu liegen kommt, anzuordnen.FIG. 1 shows a schematic representation of a device 10 according to the invention for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component 18 during or after a coating process. It can be seen that the device 10 has a first and a second path length measuring device 12, 14. In this case, a first path length (a) to a surface 20 of a layer 22 applied to the component 18 is measured by means of the first path length measuring device 12. By means of the second path length measuring device 14, a second path length (b) to an uncoated surface 24 of the component 18 is determined. The measurements can take place continuously or at predefined times. In the illustrated exemplary embodiment, the uncoated surface 24, which serves as a reference surface in determining the exact layer thickness distribution, is arranged on the rear side of the component 18. But it is also possible that a correspondingly uncoated surface 24 is arranged on the layer side of the component 18. In addition, it is possible to arrange an uncoated reference surface on a separate component which comes to lie next to the actual component to be coated.
Des Weiteren erkennt man, dass die Vorrichtung 10 ein drittes Weglängenmessgerät 16 zur Messung und Überwachung der Position des ersten Weglängenmessgeräts 12 relativ zum Bauteil 18 umfasst. Das dritte Weglängenmessgerät misst dabei eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils 18. Auch diese Messung kann kontinuierlich o- der zu vordefinierten Zeitpunkten erfolgen. Dadurch ist es möglich, die exakte Messposition des ersten Weglängenmessgeräts 12 zu bestimmen. Messungenauigkeiten, die zum Beispiel durch Bewegungen des Bauteils 18 selbst erfolgen, können somit ausgeglichen wer- den. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Bauteil 18 rotationssymmetrisch ausgebildet. Mit Hilfe des dritten Weglängenmessgeräts 16 ist es möglich, die exakte axiale Position einer Achse 36 des Bauteils 18 festzustellen.Furthermore, it can be seen that the device 10 comprises a third path length measuring device 16 for measuring and monitoring the position of the first path length measuring device 12 relative to the component 18. The third path length measuring device measures a third path length (c) for determining the position of the component 18. This measurement can also take place continuously or at predefined times. This makes it possible to determine the exact measuring position of the first Weglängenmessgeräts 12. Measurement inaccuracies, which occur for example as a result of movements of the component 18 itself, can thus be compensated. the. In the illustrated embodiment, the component 18 is rotationally symmetrical. With the help of the third Weglängenmessgeräts 16, it is possible to determine the exact axial position of an axis 36 of the component 18.
In Figur 1 sind die Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 nur schematisch dargestellt. Dabei können die Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 als optische und/oder akustische Weglängenmessgeräte ausgebildet sein. Insbesondere können die Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 als Laser- Weglängenmessgeräte, wie dies zum Beispiel auch in der DE 44 25 187 Al beschrieben ist, ausgebildet sein.In Figure 1, the Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 are shown only schematically. The path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed as optical and / or acoustic path length measuring devices. In particular, the path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed as laser path length measuring devices, as described, for example, in DE 44 25 187 A1.
Aus Figur 1 wird zudem deutlich, dass das erste Weglängenmessgerät 12 verschwenkbar ausgebildet ist. Dabei ist das erste Weglängenmessgerät 12 in definierten Winkeln α bzw. α' verstellbar. Durch die Verstellbarkeit des ersten Weglängenmessgeräts 12 ist es möglich Hinterschneidungen, die durch die Ausgestaltung des Bauteils 18 selbst oder durch einen entsprechenden Schichtdickenauftrag gebildet werden, exakt zu vermessen. Die Verschwenkbarkeit des ersten Weglängenmessgeräts 12 um die Winkel α bzw. α' ist in Figur 2 im Detail dargestellt. Man erkennt, dass durch die Ausgestaltung des in Figur 2 dargestellten Bauteils 18 sich Hinterschneidungen in der aufzutragenden Schicht 22 ergeben, die nur durch die Verschwenkbarkeit des ersten Weglängenmessgeräts 12 exakt zu vermessen sind.From Figure 1 it is also clear that the first Weglängenmessgerät 12 is formed pivotable. In this case, the first Weglängenmessgerät 12 in defined angles α and α 'adjustable. Due to the adjustability of the first Weglängenmessgeräts 12, it is possible undercuts, which are formed by the design of the component 18 itself or by a corresponding coating thickness order to measure exactly. The pivotability of the first Weglängenmessgeräts 12 by the angle α or α 'is shown in Figure 2 in detail. It can be seen that the design of the component 18 shown in FIG. 2 results in undercuts in the layer 22 to be applied, which can only be measured precisely by the pivotability of the first path length measuring device 12.
Des Weiteren erkennt man aus Figur 1, dass die Vorrichtung 10 aus einem Schienensystem 26 bestehend aus zwei parallel zueinander verlaufenden Schienen 28, 30 und einer die beiden Schienen 28, 30 miteinander verbindenden Schiene 32 besteht. Dabei ist das erste Weglängenmessgerät 12 an der Schiene 28 und das zweite Weglängenmessgerät an der Schiene 30 angeordnet. Das dritte Weglängenmessgerät 16 ist an der senkrecht zu den beiden Schienen 28, 30 verlaufenden Schiene 32 befestigt. Die Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 können dabei auf den jeweiligen Schienen 28, 30, 32 verfahrbar ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich, dass das gesamte Schienensystem 26 an einer weiteren Schiene 34, die parallel zu den Schienen 28 und 30 verläuft, verfahrbar befestigt ist. Durch das Schienensystem 26 ergibt sich eine vordefinierte Position der Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 zu- einander. Über die Schiene 34 kann das gesamte Schienensystem 26 und damit die drei Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 ohne eine Verschiebung der einzelnen Relativpositionen der Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 verfahren werden, d. h. entlang der zu messenden Schicht bzw. Rückseite des Bauteils verfahren werden. Durch die in Figur 1 dargestellte beispielhafte Anordnung der drei Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 ergibt es sich zudem, dass die Messung der ersten und zweiten Weglänge (a, b) ungefähr senkrecht zur Messung der dritten Weglänge (c) erfolgt (x-, y-Richtung). Mit den synchron bestimmten Messungen der drei Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 können somit vor und nach der Beschichtung Querschnittsprofile des Bauteils 18 bestimmt werden, die zueinander ins Verhältnis gesetzt eine Bestimmung der Schichtdickenverteilung der Schicht 22 mit sehr hoher Genauigkeit ermöglichen.Furthermore, it can be seen from FIG. 1 that the device 10 consists of a rail system 26 consisting of two rails 28, 30 extending parallel to one another and a rail 32 connecting the two rails 28, 30 to one another. In this case, the first path length measuring device 12 is arranged on the rail 28 and the second path length measuring device on the rail 30. The third path length measuring device 16 is fastened to the rail 32 running perpendicular to the two rails 28, 30. The path length measuring devices 12, 14, 16 can be designed to be movable on the respective rails 28, 30, 32. But it is also possible that the entire rail system 26 is movably secured to a further rail 34 which extends parallel to the rails 28 and 30. The rail system 26 results in a predefined position of the path length measuring devices 12, 14, 16. each other. Via the rail 34, the entire rail system 26 and thus the three Weglängenmessgeräte 12, 14, 16 are moved without a shift of the individual relative positions of Weglängenmessgeräte 12, 14, 16, that is moved along the layer to be measured or back of the component. As a result of the exemplary arrangement of the three path length measuring devices 12, 14, 16 shown in FIG. 1, the measurement of the first and second path lengths (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c) (x, y -Direction). With the synchronously determined measurements of the three path length measuring devices 12, 14, 16, cross-sectional profiles of the component 18 can thus be determined before and after the coating, which set relative to one another a determination of the layer thickness distribution of the layer 22 with very high accuracy.
Fig. 3 zeigt eine beispielhafte, modifizierte Gestaltung des Ausführungsbeispiels gemäß den Fig. 1 und 2 in teilweiser Ansicht. Dargestellt ist dort insbesondere ein Weglängen- messgerät 38, welches insbesondere das zweite Weglängenmessgerät 14 oder das dritte Weglängenmessgerät 16 aus Fig. 2 bzw. aus Fig. 2 sein kann. Ferner ist in Fig. 3 ein Abschnitt des Bauteils 18 dargestellt, sowie - abweichend von den Fig. 1 und 2 - ein Positionsblock 40.Fig. 3 shows an exemplary, modified design of the embodiment according to FIGS. 1 and 2 in partial view. There is shown in particular a Weglängen- measuring device 38, which may be in particular the second Weglängenmessgerät 14 or the third Weglängenmessgerät 16 of FIG. 2 and from Fig. 2. Furthermore, a portion of the component 18 is shown in Fig. 3, and - a departure from the Figs. 1 and 2 - a position block 40th
Um eine Messung des Geräts 12 in Umfangrichtung reproduzierbar an (im Wesentlichen) derselben Bauteilstelle durchführen zu können und so eine direkte Vergleichbarkeit der Messwerte zu garantieren bzw. zu verbessern, wird ein Positionsblock 40 auf dem Bauteil 18 befestigt. Dieser besitzt eine Nut bzw. einen Schlitz mit einer Referenzfläche (schraffierte Fläche siehe Zeichnung). Der Positionsblock 40 wird so an dem Bauteil 18 befestigt, dass der Abstand zur Referenzfläche entweder vom Gerät 14 oder 16 gemessen werden kann. Der Positionsblock 40 muss so konstruiert sein bzw. ist vorteilhafter Weise so konstruiert, dass der Abstand zur Referenzfläche sich deutlich vom Abstand zur Bauteiloberfläche bzw. der Blockoberfläche unterscheidet. Die Schlitzbreite a ist entscheidend für die Genauigkeit der Position. Sie darf jedoch nicht kleiner sein als der Messstrahl des Lasers. In order to be able to carry out a measurement of the device 12 reproducibly in the circumferential direction on (substantially) the same component location and thus guarantee or improve a direct comparability of the measured values, a position block 40 is fastened on the component 18. This has a groove or a slot with a reference surface (hatched area see drawing). The position block 40 is attached to the component 18 so that the distance to the reference surface can be measured either by the device 14 or 16. The position block 40 must be constructed or advantageously designed so that the distance to the reference surface differs significantly from the distance to the component surface or the block surface. The slot width a is critical to the accuracy of the position. However, it must not be smaller than the measuring beam of the laser.

Claims

Patentansprüche claims
1. Vorrichtung zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils (18) während oder nach einem Beschichtungsvorgang, mit mindestens einem ersten und einem zweiten Weglängenmessgerät (12, 14), wobei mittels des ersten Weglängenmessgerätes (12) eine erste Weglänge (a) zu einer Oberfläche (20) einer auf das Bauteil (18) aufzutragenden Schicht (22) und mittels des zweiten Weglängenmessgerätes (14) eine zweite Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche (24) des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, die Vorrichtung (10) mindestens ein drittes Weglängenmessgerät (16) zur Messung und Überwachung der Position des ersten Weglängenmessgeräts (12) relativ zum Bauteil (18) umfasst, wobei mittels des dritten Weglängenmessgerätes (16) eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird.1. Device for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component (18) during or after a coating process, with at least one first and one second Weglängenmessgerät (12, 14), wherein by means of the first Weglängenmessgerätes (12) a first path length ( a) to a surface (20) of a component (18) to be applied layer (22) and by means of the second Weglängenmessgerätes (14) a second path length (b) to an uncoated surface (24) of the component (18) continuously or predefined At least one third path length measuring device (16) for measuring and monitoring the position of the first path length measuring device (12) relative to the component (18) is measured, wherein the device comprises a third path length (C) is measured continuously or at predefined times for determining the position of the component (18).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät (12, 14, 16) ein optisches und/oder akustisches Weglängenmessgerät ist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the first, second and third Weglängenmessgerät (12, 14, 16) is an optical and / or acoustic Weglängenmessgerät.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät (12, 14, 16) ein Laser- Weglängenmessgerät ist.3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the first, second and third Weglängenmessgerät (12, 14, 16) is a laser Weglängenmessgerät.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest das erste Weglängenmessgerät (12) verschwenkbar ausgebildet ist.4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least the first Weglängenmessgerät (12) is designed to be pivotable.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät (12, 14, 16) auf einem Schienensystem (26) angeordnet sind. 5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first, second and third Weglängenmessgerät (12, 14, 16) on a rail system (26) are arranged.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, zweite und dritte Weglängenmessgerät (12, 14, 16) auf einem Schienensystem (26) verfahrbar angeordnet sind.6. Apparatus according to claim 5, characterized in that the first, second and third Weglängenmessgerät (12, 14, 16) on a rail system (26) are arranged movable.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Schienensystem (26) verfahrbar ausgebildet ist.7. Apparatus according to claim 5 or 6, characterized in that the rail system (26) is designed to be movable.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung der ersten und zweiten Weglänge (a, b) ungefähr senkrecht zur Messung der dritten Weglänge (c) erfolgt.8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c).
9. Verfahren zum Messen von Schichtdicken, insbesondere zur Messung von Schichtdicken eines Bauteils (18) während oder nach einem Beschichtungsvorgang, wobei mittels eines ersten Weglängenmessgerätes (12) eine erste Weglänge (a) zu einer Oberfläche (20) einer auf das Bauteil (18) aufzutragenden Schicht (22) und mittels eines zweiten Weglängenmessgerätes (14) eine zweite Weglänge (b) zu einer unbeschichteten Oberfläche (24) des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines dritten Weglängenmessgerätes (16) die Position des ersten Weglängenmessgeräts (12) relativ zum Bauteil (18) gemessen und überwacht wird, wobei hierzu eine dritte Weglänge (c) zur Bestimmung der Position des Bauteils (18) kontinuierlich oder zu vordefinierten Zeitpunkten gemessen wird.9. A method for measuring layer thicknesses, in particular for measuring layer thicknesses of a component (18) during or after a coating process, wherein by means of a first Weglängenmessgerätes (12) a first path length (a) to a surface (20) of a on the component (18 ) and a second path length (b) to an uncoated surface (24) of the component (18) is measured continuously or at predefined times, characterized in that by means of a third Weglängenmessgerätes (16 ) the position of the first Weglängenmessgeräts (12) relative to the component (18) is measured and monitored, for which purpose a third path length (c) for determining the position of the component (18) is measured continuously or at predefined times.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittelung der ersten, zweiten und dritten Weglänge (a, b, c) ein optisches und/oder akustisches Weglängenmess- verfahren verwendet wird.10. The method according to claim 9, characterized in that for the determination of the first, second and third path length (a, b, c) an optical and / or acoustic Weglängenmess- method is used.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Weglängenmessver- fahren ein Lasertriangulationsverfahren ist. 11. The method according to claim 10, characterized in that the path length measuring method is a laser triangulation method.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermessung von Hinterschneidungen auf der zu vermessenden Oberfläche (20) der Schicht (22) zumindest das erste Weglängenmessgerät (12) verschwenkbar ausgebildet ist.12. The method according to any one of claims 9 to 11, characterized in that for measuring undercuts on the surface to be measured (20) of the layer (22) at least the first Weglängenmessgerät (12) is designed to be pivotable.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung der ersten und zweiten Weglänge (a, b) ungefähr senkrecht zur Messung der dritten Weglänge (c) erfolgt.13. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the measurement of the first and second path length (a, b) is approximately perpendicular to the measurement of the third path length (c).
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicken der Schicht (22) aus den gemessenen Weglängen (a, b, c) mittels einer Datenverarbeitungsanlage errechnet und ermittelt werden.14. The method according to any one of claims 9 to 13, characterized in that the thicknesses of the layer (22) from the measured path lengths (a, b, c) are calculated and determined by means of a data processing system.
15. Verwendung einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 oder eines Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 9 bis 14 zur Ermittelung der Schichtdicken und/oder Schichtdickenverteilung bei der Beschichtung von Bauteilen einer Turbine, insbesondere bei thermischen Beschichtungsverfahren. 15. Use of a device according to one of claims 1 to 8 or a method according to one of claims 9 to 14 for determining the layer thicknesses and / or layer thickness distribution in the coating of components of a turbine, in particular in thermal coating processes.
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