EP1938134A2 - Optical structure comprising an elastic suspension system and method for producing said structure - Google Patents

Optical structure comprising an elastic suspension system and method for producing said structure

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Publication number
EP1938134A2
EP1938134A2 EP06793729A EP06793729A EP1938134A2 EP 1938134 A2 EP1938134 A2 EP 1938134A2 EP 06793729 A EP06793729 A EP 06793729A EP 06793729 A EP06793729 A EP 06793729A EP 1938134 A2 EP1938134 A2 EP 1938134A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
component
spring elements
structure according
spring
connecting element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP06793729A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Ingo Smaglinski
Martin Popp
Thomas Petigk
Thomas Paatzsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huber and Suhner Cube Optics AG
Original Assignee
Cube Optics AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cube Optics AG filed Critical Cube Optics AG
Publication of EP1938134A2 publication Critical patent/EP1938134A2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/008Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4226Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T403/00Joints and connections
    • Y10T403/21Utilizing thermal characteristic, e.g., expansion or contraction, etc.
    • Y10T403/217Members having different coefficients of expansion

Definitions

  • the present invention relates to a structure, in particular an optical structure, consisting of a first and a second component and a connecting element connecting the two components.
  • a structure in particular an optical structure, consisting of a first and a second component and a connecting element connecting the two components.
  • the connecting element has at least two elastic elements or spring elements, each spring element has strong anisotropic elastic properties, so that the spring constant in two mutually perpendicular directions in space is at least twice as large as in the third, to the both first spatial directions perpendicular, the so-called elasticity direction, wherein the two spring elements have elasticity directions that are not parallel to each other.
  • spring constant or “spring reference variable” is understood to mean the proportionality constant, which relates the deflection of a linear spring to the resulting deflection force.
  • linear springs are not easy to implement.
  • the elastic elements or the spring elements can be deflected in general not only in one spatial direction from its rest position, but also in the other direction perpendicular thereto.
  • the spring constant in at least one direction is at most half as large as in the other directions, so that the spring elements provide a comparatively "soft" connection in one direction (this direction becomes the direction of elasticity) It will be understood that, strictly speaking, there is no linear relationship between deflection force and deflection, and thus the spring constant is only an approximation, that is, for small deflections, in the present invention goes, but the reality very well beschrei bt.
  • each spring element serves, on the one hand, to permit the movement of the first component relative to the second component to a limited extent, in particular in the case of a temperature change, in one direction, the so-called elasticity direction, while a corresponding relative movement in the other directions extending approximately perpendicularly thereto as possible prevented.
  • the elasticity direction runs in a zugten embodiment substantially parallel to the mutually aligned surfaces of the components.
  • the directions of elasticity of the two spring elements include an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 110 ° and particularly preferably between 85 and 95 °. Basically, an angle of about 90 ° is best, because then each one element in one direction provides the necessary elasticity and in the other direction provides the necessary stability.
  • substantially rigid connecting elements When using substantially rigid connecting elements, as is customary in the prior art, they also exert a certain bending moment on at least one of the components when one of the components is shortened or lengthened relative to the other. By providing a "soft" direction through the connector, the torque applied to the components is significantly reduced, resulting in higher angular accuracy.
  • the alignment of optical components to each other these often have two mutually aligned surfaces.
  • the spring elements are advantageously aligned in such a way that the plane which is spanned by the directions of elasticity runs parallel to the surface of the component to be aligned.
  • two of the four spring elements have approximately parallel directions of elasticity and the spring elements of the other two of the four spring elements also have approximately parallel directions of elasticity, wherein the elasticity directions of the first pair of spring elements with the elasticity directions of the second pair of spring elements an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 110 ° and more preferably between 85 and 95 °.
  • At least one pair of spring elements is arranged so that their directions of elasticity on the imaginary connection connecting line between the points of the individual spring elements of the spring element pair is located on one of the components.
  • the connecting element may be formed integrally with one of the two components in a particularly preferred embodiment. This has the advantage that it does not cause bending moments due to thermal fluctuations, because then the component and the connecting element have the same coefficient of thermal expansion.
  • the connecting element itself may be formed in one piece or in several parts. In principle, therefore, all the spring elements can be integrally formed. Instead, the connecting element can also consist of different separate spring elements.
  • the first component has a surface facing the second component and one or more adjoining the surface edge surface or edge surfaces, wherein the spring elements are connected to the edge surface.
  • the spring elements do not act on the surface facing the second component, but instead on the edge surfaces.
  • the second component has a surface facing the first component and that the connecting element is connected to the surface of the second component.
  • the connecting element is on the surface of the second component. This can be moved freely for the positioning of the two components to each other first on the surface of the second component.
  • the connecting element is then fixed on the surface of the second component.
  • the connecting element may be, for example, an etching part. Etched parts can be produced inexpensively with fairly high precision.
  • the spring elements are suitably made of metal, even if other materials are used in principle.
  • Metal exhibits typical elastic properties which are particularly suitable for the present invention.
  • the metal is selected such that it exhibits approximately the same expansion behavior as the second component. More specifically, it is advantageous if the volume expansion coefficient of the spring elements or the connecting element at 25 ° C by not more than 20%, preferably not more than 10% and particularly preferably not deviates by more than 5% from the volume expansion coefficient of the second component.
  • the volume expansion coefficient of the spring elements should be as small as possible, preferably smaller than 0.02 and particularly preferably smaller than 0.01 K -1 at 25 ° C. This ensures that the distance between the two components changes only slightly with a temperature change ,
  • the spring elements are made of a material whose modulus of elasticity is at least 1000 times greater, preferably at least 2000 times greater and more preferably at least 5000 times greater than the maximum elastic tensile strength.
  • the spring constant in the "soft" direction or the elasticity direction is less than 40 N / mm, preferably less than 25 N / mm and particularly preferably less than 15 N / mm.
  • connection between the connecting element on the one hand and the first or second component on the other hand has a bonding or welding, preferably a bond, proved to be particularly easy to handle.
  • bonding and welding provide a stepless adjustability of the position of the two components relative to one another.
  • the connecting element consists in a first embodiment of a substantially square base surface, which is connected to the surface of the second component, and four angled prong-shaped spring elements which are connected to the edge surface of the first component.
  • a connecting element can be produced, for example, as an etched part in one piece from metal, wherein the individual serrated spring elements are then angled at approximately 90 ° to the square base.
  • the square base has an approximately centrally arranged recess, which is optionally also square.
  • the base and the possibly existing recess depending on the application also have a different shape.
  • a further embodiment of a connecting element has proved successful, in which this consists of a web frame and four jagged Federele- extending therefrom.
  • the web frame is placed on the surface of the second component, while the serrated spring elements extending therefrom engage the edge surface of the second component. It is particularly useful if the serrated spring elements have a contact portion that comes into contact with the first component, and a portion with respect to the contact portion of reduced thickness. This improves the resilient properties.
  • the present invention relates to a method for producing a construction according to the invention.
  • the object mentioned is achieved by a method according to one of claims 20 to 24.
  • Figure 2 is a schematic representation of a construction of the prior art
  • Figures 3 and 4 are schematic representations of the processes in a temperature change in a structure according to the invention
  • Figure 5 is a representation of a first embodiment of an inventive
  • FIG. 6 shows a second embodiment of the construction according to the invention
  • FIG. 7 shows a third embodiment of the construction according to the invention
  • FIG. 8 shows a fourth embodiment of the construction according to the invention
  • FIG. 9 shows a fifth embodiment of the construction according to the invention.
  • Figures 10 and 1 1, a sixth embodiment of the structure according to the invention and Figures 12 and 13, a seventh embodiment of the structure according to the invention.
  • FIG. 1 shows an exploded view of a construction according to the prior art.
  • the connecting element 3 is here attached in one piece to the first component 1 and consists of four spacer feet, which extend from the component 1 in the direction of the component 2.
  • the spacer feet 3 are formed such that they correspond approximately to the desired distance between the component 1 and component 2.
  • the component 1 is aligned relative to the component 2 such that relative positions and the angular orientation are correct.
  • at least one of the spacer feet 3 will then be placed directly on the surface of the second component 2.
  • the spacer feet 3 have a square profile and are essentially rigid.
  • FIG. 2 shows a schematic diagram of the connecting elements used hitherto.
  • the component 1 is seated with the right Distanzfuß 3 on the second component 2, while the exact positioning of the first component 1 relative to the second component 2 makes a gap between the left Distanzfuß 3 and the second component 2 is required .
  • Adhesive 8 is then used to fix the two components, and the adhesive ⁇ then bridges the gap between the left spacer foot 3 and the second component 2. It can be seen immediately that, in the event that the adhesive 8 hardens, it shrinks the adhesive content comes, this possibly changed the previously achieved position and angle adjustment again.
  • the compound shown in Figures 1 and 2 which corresponds essentially to that described in DE 100 43 985, relatively rigid.
  • connection technology can only be used if all the materials used have the same coefficient of expansion or the structure is temperature-stabilized.
  • FIG. 3 shows schematically how a construction according to the invention behaves when the temperature changes.
  • the first component 1 via four spring elements (4, 5, 6, 7 - wherein the fourth spring element 5 is not visible in Figure 3, since it is behind the spring element 6) connected to the component 2.
  • the two spring elements 4 and 7 have a direction of elasticity, which runs in the figure 3 from left to right.
  • the two other spring elements 5 and 6, however, have a direction of elasticity which is perpendicular to the image plane.
  • first component 1 has a greater coefficient of thermal expansion than the second component 2.
  • first component 1 has a greater coefficient of thermal expansion than the second component 2.
  • second component 2 no thermal expansion were assumed. It is understood that the expansion effect in practice is much smaller and is not visible to the naked eye.
  • the first component 1 is once in the original size with a solid line, hatched once at a higher temperature with a dashed line and once at a lower temperature and shown with dotted line. Since the first component 1 expands more strongly than the second component 2, this inevitably leads to the spring elements 4, 5, 6, 7 bending, wherein in the view shown only the bending of the two spring elements 4 and 7 can be seen. This bending is shown schematically by the additional spring elements shown in dashed lines.
  • first component 1 Since the first component 1 is fixed by means of the spring elements 6 and 5 in the direction of the arrow comes There is no change in the overall position of the first component 1 in the arrow direction, but the component 1 expands, starting from the attachment point of the spring elements 5, 6 on the first component evenly to the right and left (or contracts). This ensures that the first component 1 does not tilt with respect to the second component 2 and maintains its position fairly exactly.
  • the spring elements are very flexible in one spatial direction, while they are relatively rigid in the two directions perpendicular thereto.
  • a change in length of the first component 1 relative to the second component 2 by the flexible spring elements 4, 5, 6, 7 are added. Any bending takes place essentially within the spring elements 4, 5, 6, 7 and not within one of the two components 1, 2.
  • a kind of fixed point 19 is determined. This fixed point 19 remains constant by the relatively rigid connection in the arrow direction by means of the spring elements 5, 6 in the position above the second component 2.
  • the first component 1 extends to the right and left of the fixed point 19 or contracts there without the fixed point 19 changes.
  • FIG. a first embodiment of the construction according to the invention is shown in FIG. Evident is the first component 1, the second component 2 and four spring elements 4, 5, 6, 7, which connect the two components.
  • Each of these spring elements 4, 5, 6, 7 is designed so that it allows an elastic bending of the spring element relative to the first component 1 in one direction, but substantially prevented in the two perpendicular thereto directions.
  • the spring elements 4, 5, 6, 7 are not all arranged in the middle of the provided by the base surface 9 sides, but the spring elements 4, 7 are slightly outwardly (in the figure 5 to the right) offset.
  • This measure can be advantageous if optical components which are particularly sensitive to positional errors are not located in the center of the component on a component.
  • the fixed point is advantageously placed exactly where the elements with the greatest sensitivity to misalignment are positioned.
  • FIG. 6 shows a second embodiment of a construction according to the invention.
  • the picture below shows an exploded view and the composite construction above.
  • the structure consists of the first component 1, the second component 2 and a connecting element 3, which here has two spring elements 4, 5.
  • the connecting element 3 is seated on the surface of the second component 2 facing the first component 1.
  • the spring elements which extend from a kind of web, come into contact with the edge surfaces of the first component 1.
  • An additional advantage here is that the connecting element 3 is seated flat on the second component 2. Any component tolerances are compensated by the positioning of the first component 1 with respect to the two spring elements 4, 5.
  • the connecting element 3 is adhesively bonded to the edge surfaces of the first component 1 at the same time both with the surface of the second component 2 and via the spring elements 4, 5.
  • This ensures a completely stress-free rest position.
  • the adhesive is not used constructively to determine the distance between the two components to each other, ie it is not used to fill up adjusting columns between connecting element 3 on the one hand and a the two components 1, 2 on the other. Therefore, it is essential that the spring elements 4, 5 on the outer or edge surfaces of a component, namely here the first component 1, attack.
  • the first spring element 4 is designed such that, as indicated in FIG.
  • the spring element 5 shows a corresponding anisotropic behavior, the soft axes, the so-called elasticity directions, not parallel, but in the present case form an angle of about 90 °.
  • This type of connection of the two components makes it possible that the optical structure can be exposed to greater temperature fluctuations, without causing a misalignment of the two components to each other.
  • FIG. 7 shows a third embodiment, in which the connecting element 3 has a total of three spring elements 4, 5, 6.
  • Figure 8 shows a fourth embodiment in which the connecting element is round and has a total of four spring elements 4, 5, 6, 7.
  • the connecting element 3 can assume any desired shape, which is advantageously adapted to the edge surfaces of the first component 1 to be positioned above the second component 2.
  • FIG. 9 Another example is shown in FIG. 9, which essentially corresponds to the embodiments of FIGS. 7 and 6, wherein here too four spring elements 4, 5, 6, 7 are provided.
  • FIG. 10 shows a special embodiment of a connecting element 3.
  • the connecting element 3 is designed here as an etching part and is made of metal.
  • the connecting element 3 has a substantially square base 9, the square base 9 has a square recess 10 also.
  • Four spring elements 4, 5, 6, 7 are connected to the square base 9.
  • the spring elements 4, 5, 6, 7 are each tab-shaped or pin-shaped and have a contact portion 11 and a particularly flexible portion 12 with a relation to the contact portion 11 reduced thickness.
  • the four spring elements 4, 5, 6, 7 are simply bent upwards after preparation in the etching process, so that the spring elements 4, 5, 6, 7 with the base 9 a substantially right angle lock in.
  • FIG 11 is an exploded view in a perspective view of the assembled structure to recognize how the individual parts are joined together.
  • This embodiment of the connecting element 3 has the advantage that due to the large base 9, the connecting element 3 can be securely fixed to the surface of the second component 2.
  • the spring elements 4, 5, 6, 7 are relatively soft, so that they spring elements movement of the first component 1 to the second component 2 to or from this way can not completely prevent.
  • the spring elements 4, 5, 6, 7 each with their contact surface 11 on the edge surface of the first component 1 present.
  • FIG. 12 shows a further embodiment of an inventive connecting element 3.
  • This connecting element 3 consists of a web 15 and four extending therefrom spring elements 4, 5, 6, 7, each having a contact portion 1 1 and an adjoining portion with respect to the contact portion 1 1 reduced thickness.
  • the web 15 has predetermined bending points 16 and a closure bending mechanism 17, 18, so that the web shown below in Figure 12 can be bent at the predetermined bending points 16 into a rectangle or a square, as shown in Figure 12 above.
  • Figure 13 shows in a perspective view and in an exploded view, how this embodiment of the connecting element 3 is used for positioning and fixing of two components.
  • the connecting element shown in FIGS. 12 and 13 has the advantage over the connecting element shown in FIGS.
  • the spring elements 4, 5, 6, 7 extend in the vertical direction, i.e. in the vertical direction. during a movement of the first component 1 on the second component 2 to or away from this, is rigid. Instead, it has a smaller contact surface on the surface of the second component 2.
  • the contact surface of the web 15 on the surface of the component 2 can be further reduced if the web has recesses 21.
  • the web 15 could also be designed so that it essentially sits on only 3 points on the surface of the second component.
  • the smaller bearing surface has the advantage that the connecting element has a better support position.
  • the proposed elastic suspension also has the advantage that it provides a very high positional and angular accuracy even with larger temperature fluctuations, especially when the two components aligned to each other have different coefficients of expansion.

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Abstract

The invention relates to a structure consisting of a first and second component and a connecting element, which joins the two components together and comprises at least two spring elements. The aim of the invention is to provide a structure, in particular an optical structure of the aforementioned type, in which the two components have an extremely high positional and angular degree of accuracy in relation to one another. To achieve this, each spring element has a spring constant that is at least double the value, (in two perpendicular spatial directions), of the third spatial direction, or direction of elasticity, running perpendicular to the first two spatial directions. The two spring elements have elasticity directions that do not run parallel to each other.

Description

Optischer Aufbau mit elastischer Aufhängung und Verfahren zur Herstellung eines solchen Optical structure with elastic suspension and method for producing such
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aufbau, insbesondere einen optischen Aufbau, bestehend aus einem ersten und einem zweiten Bauteil und einem die beiden Bauteile verbindenden Verbindungselement. Es gibt eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten, bei denen zwei Bauteile in ei- nem gewissen Abstand zueinander ausgerichtet und fixiert werden müssen. Insbesondere in der Optik müssen optische Bauteile häufig mit extrem hoher Positions- und Winkelgenauigkeit zueinander ausgerichtet werden und dann in der ausgerichteten Position relativ zueinander fixiert werden, um beispielsweise Abbildungsfehler gering zu halten.The present invention relates to a structure, in particular an optical structure, consisting of a first and a second component and a connecting element connecting the two components. There are a variety of applications in which two components must be aligned and fixed at a certain distance from each other. Particularly in optics, optical components often have to be aligned with one another with extremely high positional and angular accuracy and then fixed relative to one another in the aligned position in order, for example, to minimize aberrations.
Ein Beispiel eines solchen Aufbaus ist in der DE 100 43 985 dargestellt. Hier wird der Abstand zwischen zwei Bauteilen dadurch festgelegt, daß das eine Bauteil mit vier Füßen versehen ist, die auf das andere Bauteil geklebt werden. Da jedoch im allgemeine gewisse Bauteiltoleranzen bestehen, müssen die beiden Bauteile vor dem Aufkleben zueinander ausgerichtet werden, was zur Folge hat, daß meist nicht alle vier Füße flächig auf dem gegenüberliegenden Bauteil aufstehen, sondern teil- weise nur punktförmig oder sogar überhaupt nicht berühren. Bei der Justierung entstehen somit automatisch kleine Justierspalte zwischen den Füßen und dem gegenüberliegenden Bauteil. Zur Fixierung wird hier ein Klebstoff verwendet, der die Füße umgibt und zwangsläufig auch die entsprechenden Justierspalte füllt. Mit anderen Worten wird der Klebstoff hier konstruktiv verwendet, da er kleine Justierspalte überbrückt, was zwar zunächst eine exakte Ausrichtung der beiden Bauteile zueinander erlaubt, jedoch gegebenenfalls aufgrund eines Schrumpfprozesses des Klebstoffes beim Aushärten möglicherweise eine Dejustierung nach sich zieht.An example of such a construction is shown in DE 100 43 985. Here, the distance between two components is determined by providing one component with four feet which are glued to the other component. However, since certain component tolerances generally exist, the two components must be aligned with one another prior to bonding, with the result that not all four feet usually rise up flat against the opposing component, but partially touch only punctiform or even not at all. During the adjustment thus automatically arise small Justierspalte between the feet and the opposite component. For fixing here an adhesive is used, which surrounds the feet and inevitably fills the corresponding Justierspalte. In other words, the adhesive is used here constructively, since it bridges small Justierspalte, which initially allows an exact alignment of the two components to each other, but possibly due to a shrinkage process of the adhesive during curing may cause a misalignment.
Bei den eingangs genannten Aufbauten besteht des weiteren das Problem, daß der Aufbau häufig gewissen Temperaturschwankungen ausgesetzt ist, so daß, insbesondere dann, wenn die beiden Bauteile eine unterschiedliche thermische Ausdehnung zeigen, es durch eine Temperaturveränderung zu Abweichungen von der exakten Position und der Winkelorientierung kommen kann. Auch bei der beschriebenen „konstruktiven" Verwendung des Klebstoffes kommt es zu einer Dejustierung, da der Klebstoff meist ein von den Bauteilen und den verwendeten Füßen abweichendes Ausdehnungsverhalten bei Temperaturänderungen zeigt.In the structures mentioned above, there is also the problem that the structure is often exposed to certain temperature fluctuations, so that, in particular when the two components have a different thermal expansion, there are deviations from the exact position and the angular orientation by a change in temperature can. Even with the described "constructive" use of the adhesive, there is a misalignment, since the adhesive usually shows a deviating from the components and the feet used expansion behavior with temperature changes.
Temperaturänderungen führen aber nicht nur zu einer Dejustierung, sondern häufig und insbesondere bei der in der DE 100 43 985 beschriebenen Verbindungstechnik zu einer Verbiegung von zumindest einem Bauteil. Dies liegt an der recht starren Verbindung der beiden Bauteile miteinander. Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, einen Aufbau, insbesondere einen optischen Aufbau der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, bei dem die beiden Bauteile auch bei größeren Temperaturschwankungen eine extrem hohe Positions- und Winkelgenauigkeit zueinander aufweisen.However, temperature changes not only lead to a misalignment, but often and in particular in the connection technique described in DE 100 43 985 to a bending of at least one component. This is due to the rather rigid connection between the two components. Based on this prior art, it is an object of the invention to provide a structure, in particular an optical structure of the type mentioned above, in which the two components have an extremely high positional and angular accuracy to each other even with larger temperature fluctuations.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das Verbindungselement mindestens zwei elastische Elemente bzw. Federelemente aufweist, wobei jedes Federelement stark anisotrope elastische Eigenschaften hat, so daß deren Federkonstante in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen jeweils mindestens doppelt so groß ist wie in der dritten, zu den beiden ersten Raumrich- tungen senkrechten, der sogenannten Elastizitätsrichtung, wobei die beiden Federelemente Elastizitätsrichtungen aufweisen, die nicht parallel zueinander verlaufen.According to the invention this object is achieved in that the connecting element has at least two elastic elements or spring elements, each spring element has strong anisotropic elastic properties, so that the spring constant in two mutually perpendicular directions in space is at least twice as large as in the third, to the both first spatial directions perpendicular, the so-called elasticity direction, wherein the two spring elements have elasticity directions that are not parallel to each other.
Im allgemeinen versteht man unter der Federkonstante bzw. der Federrichtgröße die Proportionalitätskonstante, welche die Auslenkung einer linearen Feder mit der daraus resultierenden Auslen- kungskraft in Beziehung setzt. In der Praxis sind jedoch lineare Federn nicht leicht zu verwirklichen. Die elastischen Elemente bzw. die Federelemente lassen sich im allgemeinen nicht nur in einer Raumrichtung aus ihrer Ruhelage auslenken, sondern auch in den anderen hierzu senkrecht verlaufenden Richtungen. Je kleiner die Federkonstante ist, um so „weicher" ist das Federelement bzw. um so leichter läßt sich das Federelement aus der Ruhelage auslenken. Im folgenden wird daher angenommen, daß die Federelemente, die im übrigen durch jedes beliebige elastische Element verwirklicht werden können, in allen Raumrichtungen zumindest in einem bestimmten Ausmaß auslenkbar sind, wobei jedoch die Federkonstante in zumindest einer Richtung höchsten halb so groß ist, wie in den anderen Richtungen. Die Federelemente stellen daher in einer Richtung eine vergleichsweise „weiche" Verbindung (diese Richtung wird hier Elastizitätsrichtung genannt) und in den anderen Richtungen eine vergleichsweise „starre" Verbindung dar. Es versteht sich, daß genaugenommen kein linearer Zusammenhang zwischen Auslenkungskraft und Auslenkung besteht. Die Federkonstante ist somit nur eine Näherung, die für kleine Auslenkungen, um die es bei der vorliegenden Erfindung geht, aber die Realität sehr gut beschreibt.In general, the term "spring constant" or "spring reference variable" is understood to mean the proportionality constant, which relates the deflection of a linear spring to the resulting deflection force. In practice, however, linear springs are not easy to implement. The elastic elements or the spring elements can be deflected in general not only in one spatial direction from its rest position, but also in the other direction perpendicular thereto. The smaller the spring constant, the softer the spring element or the easier it is for the spring element to be deflected out of the rest position Accordingly, it will be assumed below that the spring elements which can otherwise be realized by any elastic element, However, the spring constant in at least one direction is at most half as large as in the other directions, so that the spring elements provide a comparatively "soft" connection in one direction (this direction becomes the direction of elasticity) It will be understood that, strictly speaking, there is no linear relationship between deflection force and deflection, and thus the spring constant is only an approximation, that is, for small deflections, in the present invention goes, but the reality very well beschrei bt.
Auch wenn jede nicht parallele Anordnung der Elastizitätsrichtungen erfindungsgemäße Vorteile mit sich bringt, ist, insbesondere bei der Verwendung von lediglich zwei Federelementen, eine im wesentlichen senkrechte Anordnung der beiden Elastizitätsrichtungen zueinander von Vorteil. Durch die beschriebene Maßnahme wird erreicht, daß zumindest die Winkelgenauigkeit bei größeren Temperaturänderungen relativ hoch bleibt. Dabei dient jedes Federelement dazu, einerseits die Be- wegung des ersten Bauteils gegenüber dem zweiten Bauteil, insbesondere bei einer Temperaturveränderung, in einer Richtung, der sogenannten Elastizitätsrichtung, in begrenztem Maße zuzulassen, während eine entsprechende Relativbewegung in den anderen hierzu in etwa senkrecht verlaufenden Richtungen möglichst verhindert wird. Dabei verläuft die Elastizitätsrichtung in einer bevor- zugten Ausführungsform im wesentlichen parallel zu den zueinander auszurichtenden Flächen der Bauteile.Even if each non-parallel arrangement of the elasticity directions brings about advantages according to the invention, an essentially vertical arrangement of the two elasticity directions relative to one another is advantageous, in particular when only two spring elements are used. The described measure ensures that at least the angular accuracy remains relatively high for larger temperature changes. In this case, each spring element serves, on the one hand, to permit the movement of the first component relative to the second component to a limited extent, in particular in the case of a temperature change, in one direction, the so-called elasticity direction, while a corresponding relative movement in the other directions extending approximately perpendicularly thereto as possible prevented. The elasticity direction runs in a zugten embodiment substantially parallel to the mutually aligned surfaces of the components.
Die Elastizitätsrichtungen der beiden Federelemente schließen in einer besonders bevorzugten Aus- führungsform einen Winkel zwischen 50 und 130°, vorzugsweise zwischen 70 und 1 10° und besonders bevorzugt zwischen 85 und 95° ein. Grundsätzlich ist ein Winkel von etwa 90° am besten, da dann jeweils ein Element in einer Richtung die notwendige Elastizität zur Verfügung stellt und in der anderen Richtung die notwendige Stabilität zur Verfügung stellt.In a particularly preferred embodiment, the directions of elasticity of the two spring elements include an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 110 ° and particularly preferably between 85 and 95 °. Basically, an angle of about 90 ° is best, because then each one element in one direction provides the necessary elasticity and in the other direction provides the necessary stability.
Bei der Verwendung von im wesentlichen starren Verbindungselementen, wie dies im Stand der Technik üblich ist, üben diese im übrigen auf zumindest eines der Bauteile ein gewisses Biegemoment aus, wenn sich eines der Bauteile relativ zu dem anderen verkürzt oder verlängert. Durch das Bereitstellen einer "weichen" Richtung durch das Verbindungselement wird das auf die Bauteile ausgeübte Drehmoment deutlich reduziert, was zu einer höheren Winkelgenauigkeit führt.When using substantially rigid connecting elements, as is customary in the prior art, they also exert a certain bending moment on at least one of the components when one of the components is shortened or lengthened relative to the other. By providing a "soft" direction through the connector, the torque applied to the components is significantly reduced, resulting in higher angular accuracy.
Je nach Form und Größe der Bauteile kann es von Vorteil sein, mehr als zwei Federelemente mit entsprechend anisotropen Federkonstanten zu verwenden. Bei der Verwendung von drei Federelementen könnten diese beispielsweise so angeordnet sein, daß jeweils zwei Elastizitätsrichtungen einen Winkel zwischen 100 und 140° einschließen.Depending on the shape and size of the components, it may be advantageous to use more than two spring elements with correspondingly anisotropic spring constants. When using three spring elements, these could for example be arranged so that in each case two directions of elasticity form an angle between 100 and 140 °.
Um eine extrem genaue Positionierung eines ersten Bauteils gegenüber einem zweiten Bauteil und eine entsprechende elastische Lagerung auch bei Temperaturunterschieden mit hoher Positionsund Winkelgenauigkeit zu erzielen, ist in einer besonders bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, daß vier Federelemente vorgesehen sind, deren Federkonstante jeweils in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen mindestens doppelt so groß ist wie in der dritten, zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtungen, der sogenannten Elastizitätsrichtung, ist, wobei alle Elastizitätsrichtungen im wesentlichen in einer Ebene liegen. Insbesondere bei der Ausrichtung von optischen Bauteilen zueinander weisen diese häufig zwei zueinander auszurichtende Oberflächen auf. Mit Vorteil sind die Federelemente so ausgerichtet, daß die von den Elastizitätsrichtungen auf- gespannte Ebene parallel zur auszurichtenden Fläche des Bauteils verläuft.In order to achieve an extremely accurate positioning of a first component relative to a second component and a corresponding elastic bearing even with temperature differences with high position and angular accuracy, is provided in a particularly preferred embodiment that four spring elements are provided, the spring constant in each case in two mutually perpendicular directions in space at least is twice as large as in the third, to the two first spatial directions vertical spatial directions, the so-called elasticity direction is, all elasticity directions are substantially in one plane. In particular, in the alignment of optical components to each other, these often have two mutually aligned surfaces. The spring elements are advantageously aligned in such a way that the plane which is spanned by the directions of elasticity runs parallel to the surface of the component to be aligned.
Insbesondere ist es von Vorteil, wenn zwei der vier Federelemente in etwa parallele Elastizitätsrichtungen aufweisen und die Federelemente der beiden anderen der vier Federelemente ebenfalls in etwa parallele Elastizitätsrichtungen aufweisen, wobei die Elastizitätsrichtungen des ersten Paares von Federelementen mit den Elastizitätsrichtungen des zweiten Paares von Federelementen einen Winkel zwischen 50 und 130°, vorzugsweise zwischen 70 und 1 10° und besonders bevorzugt zwischen 85 und 95° einschließen.In particular, it is advantageous if two of the four spring elements have approximately parallel directions of elasticity and the spring elements of the other two of the four spring elements also have approximately parallel directions of elasticity, wherein the elasticity directions of the first pair of spring elements with the elasticity directions of the second pair of spring elements an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 110 ° and more preferably between 85 and 95 °.
Weiterhin ist in einer besonders bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, daß mindestens ein Paar Federelemente so angeordnet ist, daß deren Elastizitätsrichtungen auf der gedachten Verbin- dungslinie zwischen den Angriffspunkten der einzelnen Federelemente des Federelementpaares an einem der Bauteile liegt.Furthermore, it is provided in a particularly preferred embodiment that at least one pair of spring elements is arranged so that their directions of elasticity on the imaginary connection connecting line between the points of the individual spring elements of the spring element pair is located on one of the components.
Das Verbindungselement kann in einer besonders bevorzugten Ausführungsform integral mit einem der beiden Bauteile ausgebildet sein. Dies hat den Vorteil, daß es dann aufgrund von thermischen Schwankungen zu keinen Biegemomenten kommt, da dann das Bauteil und das Verbindungselement den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten haben.The connecting element may be formed integrally with one of the two components in a particularly preferred embodiment. This has the advantage that it does not cause bending moments due to thermal fluctuations, because then the component and the connecting element have the same coefficient of thermal expansion.
Das Verbindungselement selbst kann einstückig oder mehrteilig ausgebildet sein. Grundsätzlich können somit alle Federelemente einstückig ausgebildet sein. Das Verbindungselement kann stattdessen aber auch aus verschiedenen getrennten Federelementen bestehen.The connecting element itself may be formed in one piece or in several parts. In principle, therefore, all the spring elements can be integrally formed. Instead, the connecting element can also consist of different separate spring elements.
In einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, daß das erste Bauteil eine dem zweiten Bauteil zugewandte Oberfläche und eine oder mehrere sich an die Oberfläche anschließende Kantenfläche bzw. Kantenflächen hat, wobei die Federelemente mit der Kantenfläche verbunden sind. Mit anderen Worten greifen die Federelemente erfindungsgemäß nicht an der dem zweiten Bauteil zugewandten Oberfläche an, sondern stattdessen an die Kantenflächen. Dies hat insbesondere den Vorteil, daß das erste Bauteil gegenüber dem zweiten Bauteil in einem ersten Schritt justiert werden kann und dann die Federelemente an den außen liegenden Kantenflächen des Bauteils befestigt werden können, so daß der für die Befestigung verwendete Kleber oder der entsprechende Schweißpunkt nicht konstruktiv zu der Bestimmung des Abstandes der beiden Bauteile beiträgt.In a further particularly preferred embodiment it is provided that the first component has a surface facing the second component and one or more adjoining the surface edge surface or edge surfaces, wherein the spring elements are connected to the edge surface. In other words, according to the invention, the spring elements do not act on the surface facing the second component, but instead on the edge surfaces. This has the particular advantage that the first component relative to the second component can be adjusted in a first step and then the spring elements can be attached to the outer edge surfaces of the component, so that the adhesive used for the attachment or the corresponding spot weld not constructive contributes to the determination of the distance between the two components.
Weiterhin ist in einer besonders bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, daß das zweite Bauteil eine dem ersten Bauteil zugewandte Oberfläche hat und daß das Verbindungselement mit der Oberfläche des zweiten Bauteils verbunden ist. Mit anderen Worten steht das Verbindungselement auf der Oberfläche des zweiten Bauteils. Dieses kann für die Positionierung der beiden Bauteile zueinander zunächst auf der Oberfläche des zweiten Bauteils frei verschoben werden. Im nächsten Schritt wird dann das Verbindungselement auf der Oberfläche des zweiten Bauteils fixiert.Furthermore, it is provided in a particularly preferred embodiment that the second component has a surface facing the first component and that the connecting element is connected to the surface of the second component. In other words, the connecting element is on the surface of the second component. This can be moved freely for the positioning of the two components to each other first on the surface of the second component. In the next step, the connecting element is then fixed on the surface of the second component.
Das Verbindungselement kann beispielsweise ein Ätzteil sein. Ätzteile sind kostengünstig mit recht hoher Präzision herstellbar.The connecting element may be, for example, an etching part. Etched parts can be produced inexpensively with fairly high precision.
Es hat sich gezeigt, daß die Federelemente zweckmäßigerweise aus Metall sind, auch wenn andere Materialien prinzipiell einsetzbar sind. Metall zeigt typische elastische Eigenschaften, die für die vorliegende Erfindung besonders geeignet sind. Zweckmäßigerweise wird das Metall derart ausgewählt, daß es in etwa das gleiche Ausdehnungsverhalten wie das zweite Bauteil zeigt. Genauer gesagt ist es von Vorteil, wenn sich der Volumenausdehnungskoeffizient der Federelemente bzw. des Verbindungselementes bei 25°C um nicht mehr als 20%, vorzugsweise um nicht mehr als 10% und besonders bevorzugt um nicht mehr als 5 % von dem Volumenausdehnungskoeffizienten des zweiten Bauteils abweicht.It has been shown that the spring elements are suitably made of metal, even if other materials are used in principle. Metal exhibits typical elastic properties which are particularly suitable for the present invention. Conveniently, the metal is selected such that it exhibits approximately the same expansion behavior as the second component. More specifically, it is advantageous if the volume expansion coefficient of the spring elements or the connecting element at 25 ° C by not more than 20%, preferably not more than 10% and particularly preferably not deviates by more than 5% from the volume expansion coefficient of the second component.
Weiterhin sollte der Volumenausdehnungskoeffizient der Federelemente möglichst klein, vorzugs- weise kleiner als 0,02 und besonders bevorzugt kleiner als 0,01 K"1 bei 25°C sein. Dies gewährleisten, daß sich der Abstand der beiden Bauteile bei einer Temperaturänderung nur wenig ändert.Furthermore, the volume expansion coefficient of the spring elements should be as small as possible, preferably smaller than 0.02 and particularly preferably smaller than 0.01 K -1 at 25 ° C. This ensures that the distance between the two components changes only slightly with a temperature change ,
In einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Federelemente aus einem Material hergestellt, dessen Elastizitätsmodul mindestens 1000 mal größer, vorzugsweise mindestens 2000 mal größer und besonders bevorzugt mindestens 5000 mal größer als die maximale elastische Zugfestigkeit ist.In a further particularly preferred embodiment, the spring elements are made of a material whose modulus of elasticity is at least 1000 times greater, preferably at least 2000 times greater and more preferably at least 5000 times greater than the maximum elastic tensile strength.
Es hat sich gezeigt, daß die Federkonstante in der „weichen" Richtung bzw. der Elastizitätsrichtung insbesondere für optische Anwendungen kleiner als 40 N/mm, vorzugsweise kleiner als 25 N/mm und besonders bevorzugt kleiner als 15 N/mm ist.It has been found that the spring constant in the "soft" direction or the elasticity direction, in particular for optical applications, is less than 40 N / mm, preferably less than 25 N / mm and particularly preferably less than 15 N / mm.
Auch wenn prinzipiell alle verschiedenen Verbindungsarten zwischen Verbindungselement einerseits und erstem oder zweitem Bauteil andererseits möglich sind, so hat sich eine Verklebung oder Verschweißung, vorzugsweise eine Verklebung, als besonders gut handhabbar erwiesen. Insbeson- dere stellen Verkleben und Verschweißen eine stufenlose Einstellbarkeit der Position der beiden Bauteile zueinander zur Verfügung.Although in principle all different types of connection between the connecting element on the one hand and the first or second component on the other hand are possible, so has a bonding or welding, preferably a bond, proved to be particularly easy to handle. In particular, bonding and welding provide a stepless adjustability of the position of the two components relative to one another.
Das Verbindungselement besteht in einer ersten Ausführungsform aus einer im wesentlichen quadratischen Grundfläche, die mit der Oberfläche des zweiten Bauteils verbunden ist, und vier dazu abgewinkelten zackenförmigen Federelementen, die mit der Kantenfläche des ersten Bauteils verbunden sind. Ein solches Verbindungselement kann beispielsweise als Ätzteil einstückig aus Metall hergestellt werden, wobei die einzelnen zackenförmigen Federelemente dann mit etwa 90° zu der quadratischen Grundfläche abgewinkelt werden. Weiterhin ist es zweckmäßig, wenn die quadratische Grundfläche eine in etwa zentral angeordnete Ausnehmung aufweist, die gegebenenfalls eben- falls quadratisch ist. Selbstverständlich kann die Grundfläche sowie die gegebenenfalls vorhandene Ausnehmung je nach Anwendungsfall auch eine andere Form haben.The connecting element consists in a first embodiment of a substantially square base surface, which is connected to the surface of the second component, and four angled prong-shaped spring elements which are connected to the edge surface of the first component. Such a connecting element can be produced, for example, as an etched part in one piece from metal, wherein the individual serrated spring elements are then angled at approximately 90 ° to the square base. Furthermore, it is expedient if the square base has an approximately centrally arranged recess, which is optionally also square. Of course, the base and the possibly existing recess depending on the application also have a different shape.
Alternativ dazu hat sich eine weitere Ausführungsform eines Verbindungselementes bewährt, bei dem dieses aus einem Stegrahmen und vier sich davon erstreckenden zackenförmigen Federele- menten besteht. Der Stegrahmen wird hierbei auf die Oberfläche des zweiten Bauteils gesetzt, während die sich hiervon erstreckenden zackenförmigen Federelemente an die Kantenfläche des zweiten Bauteils angreifen. Es ist besonders zweckmäßig, wenn die zackenförmigen Federelemente einen Kontaktabschnitt, der mit dem ersten Bauteil in Kontakt tritt, und einen Abschnitt mit gegenüber dem Kontaktabschnitt verminderter Dicke aufweisen. Dies verbessert die federnden Eigenschaften.Alternatively, a further embodiment of a connecting element has proved successful, in which this consists of a web frame and four jagged Federele- extending therefrom. In this case, the web frame is placed on the surface of the second component, while the serrated spring elements extending therefrom engage the edge surface of the second component. It is particularly useful if the serrated spring elements have a contact portion that comes into contact with the first component, and a portion with respect to the contact portion of reduced thickness. This improves the resilient properties.
Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Aufbaus. Die eingangs genannte Aufgabe wird durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 24 gelöst.Furthermore, the present invention relates to a method for producing a construction according to the invention. The object mentioned is achieved by a method according to one of claims 20 to 24.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der folgenden Beschreibung einiger bevorzugter Ausführungsformen. Es zeigen:Further advantages, features and applications of the present invention will become apparent from the following description of some preferred embodiments. Show it:
Figur 1 einen beispielhaften Aufbau aus dem Stand der Technik vor der Verbindung der beiden Bauteile,1 shows an exemplary construction of the prior art before the connection of the two components,
Figur 2 eine schematische Darstellung eines Aufbaus des Standes der Technik, Figuren 3 und 4 schematische Darstellungen der Vorgänge bei einer Temperaturveränderung bei einem Aufbau gemäß der Erfindung, Figur 5 eine Darstellung einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßenFigure 2 is a schematic representation of a construction of the prior art, Figures 3 and 4 are schematic representations of the processes in a temperature change in a structure according to the invention, Figure 5 is a representation of a first embodiment of an inventive
Verbindungselementes,Connecting element,
Figur 6 eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus, Figur 7 eine dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus,6 shows a second embodiment of the construction according to the invention, FIG. 7 shows a third embodiment of the construction according to the invention,
Figur 8 eine vierte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus,FIG. 8 shows a fourth embodiment of the construction according to the invention,
Figur 9 eine fünfte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus,FIG. 9 shows a fifth embodiment of the construction according to the invention,
Figuren 10 und 1 1 eine sechste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus und Figuren 12 und 13 eine siebte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus.Figures 10 and 1 1, a sixth embodiment of the structure according to the invention and Figures 12 and 13, a seventh embodiment of the structure according to the invention.
In Figur 1 ist eine Explosionsansicht eines Aufbaus gemäß des Standes der Technik gezeigt. Zu erkennen ist ein erstes Bauteil 1 , ein zweites Bauteil 2 und ein Verbindungselement 3. Das Verbindungselement 3 ist hier einstückig an dem ersten Bauteil 1 befestigt und besteht aus vier Distanzfüßen, die sich von dem Bauteil 1 aus in Richtung des Bauteils 2 erstrecken. Um das Bauteil 1 relativ zu dem Bauteil 2 zu positionieren, sind die Distanzfüße 3 derart ausgebildet, daß sie in etwa dem gewünschten Abstand zwischen Bauteil 1 und Bauteil 2 entsprechen. Um die beiden Bauteile 1 , 2 exakt zueinander zu positionieren und zu fixieren, wird in einem ersten Schritt das Bauteil 1 gegenüber dem Bauteil 2 derart ausgerichtet, daß Relativpositionen und die Winkelausrichtung korrekt sind. In der Regel wird dann zumindest einer der Distanzfüße 3 direkt auf der Oberfläche des zwei- ten Bauteils 2 aufsetzen. Dennoch wird aufgrund von Bauteiltoleranzen bei einigen der Distanzfüße 3 ein kleiner Spalt verbleiben. Zur Fixierung werden die Distanzfüße 3 auf der Oberseite des Bauteils 2 festgeklebt. Dabei wird der verwendete Kleber auch die verbliebenden Spaltabstände füllen. Im Endzustand wird somit der ausgehärtete Kleber konstruktiv verwendet, da er den Abstand zwi- schen dem Bauteil 1 und dem Bauteil 2 mitbestimmt. Die Distanzfüße haben hier ein quadratisches Profil und sind im wesentlichen starr.FIG. 1 shows an exploded view of a construction according to the prior art. Evident is a first component 1, a second component 2 and a connecting element 3. The connecting element 3 is here attached in one piece to the first component 1 and consists of four spacer feet, which extend from the component 1 in the direction of the component 2. In order to position the component 1 relative to the component 2, the spacer feet 3 are formed such that they correspond approximately to the desired distance between the component 1 and component 2. In order to position and fix the two components 1, 2 exactly relative to one another, in a first step the component 1 is aligned relative to the component 2 such that relative positions and the angular orientation are correct. As a rule, at least one of the spacer feet 3 will then be placed directly on the surface of the second component 2. Nevertheless, due to component tolerances in some of the spacer feet 3, a small gap will remain. To fix the spacer feet 3 are glued to the top of the component 2. The adhesive used will also fill the remaining gaps. In the final state, the cured adhesive is thus used constructively, since it reduces the distance between co-determined with the component 1 and the component 2. The distance feet here have a square profile and are essentially rigid.
Dies wird besonders deutlich anhand von Figur 2, die eine Prinzipskizze der bislang verwendeten Verbindungselemente zeigt. Hier ist deutlich zu erkennen, daß das Bauteil 1 mit dem rechten Distanzfuß 3 auf dem zweiten Bauteil 2 aufsitzt, während die exakte Positionierung des ersten Bauteils 1 relativ zu dem zweiten Bauteil 2 einen Spalt zwischen dem linken Distanzfuß 3 und dem zweiten Bauteil 2 erforderlich macht. Zur Fixierung der beiden Bauteile wird dann Klebstoff 8 verwendet und der Klebstoff δ überbrückt dann den Spalt zwischen dem linken Distanzfuß 3 und dem zweiten Bau- teil 2. Man erkennt sofort, daß für den Fall, daß beim Aushärten des Klebstoffs 8 es zu einem Schrumpfen des Klebstoffanteils kommt, dies möglicherweise die vorher erzielte Positions- und Win- keljustage wieder verändert. Darüber hinaus ist die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Verbindung, die im wesentlichen der in der DE 100 43 985 beschriebenen entspricht, relativ starr. Bei einer Temperaturveränderung kommt es daher zu Verspannungen innerhalb der Bauteile, die um so größer wer- den, je unterschiedlicher sich die Bauteile bei einer Temperaturveränderung ausdehnen. Insbesondere bei optischen Aufbauten, die eine Winkelgenauigkeit von kleiner als 0,5 mrad erfordern, ist die bekannte Verbindungstechnik nur einsetzbar, wenn alle verwendeten Materialien einen gleichen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen oder der Aufbau temperaturstabilisiert wird.This becomes particularly clear with reference to FIG. 2, which shows a schematic diagram of the connecting elements used hitherto. Here it can be seen clearly that the component 1 is seated with the right Distanzfuß 3 on the second component 2, while the exact positioning of the first component 1 relative to the second component 2 makes a gap between the left Distanzfuß 3 and the second component 2 is required , Adhesive 8 is then used to fix the two components, and the adhesive δ then bridges the gap between the left spacer foot 3 and the second component 2. It can be seen immediately that, in the event that the adhesive 8 hardens, it shrinks the adhesive content comes, this possibly changed the previously achieved position and angle adjustment again. In addition, the compound shown in Figures 1 and 2, which corresponds essentially to that described in DE 100 43 985, relatively rigid. As a result of a change in temperature, there will be tensions within the components, which will be the greater the more different the components expand as the temperature changes. In particular, in optical structures that require an angular accuracy of less than 0.5 mrad, the known connection technology can only be used if all the materials used have the same coefficient of expansion or the structure is temperature-stabilized.
In Figur 3 ist schematisch gezeigt, wie sich ein erfindungsgemäßer Aufbau bei einer Temperaturveränderung verhält. Bei dem erfindungsgemäßen Aufbau ist das erste Bauteil 1 über vier Federelemente (4, 5, 6, 7 - wobei das vierte Federelement 5 in der Figur 3 nicht zu erkennen ist, da es hinter dem Federelement 6 liegt) mit dem Bauteil 2 verbunden. Die beiden Federelemente 4 und 7 haben eine Elastizitätsrichtung, die in der Figur 3 von links nach rechts verläuft. Die beiden anderen Feder- elemente 5 und 6 haben hingegen eine Elastizitätsrichtung, die senkrecht auf der Bildebene steht.FIG. 3 shows schematically how a construction according to the invention behaves when the temperature changes. In the structure according to the invention, the first component 1 via four spring elements (4, 5, 6, 7 - wherein the fourth spring element 5 is not visible in Figure 3, since it is behind the spring element 6) connected to the component 2. The two spring elements 4 and 7 have a direction of elasticity, which runs in the figure 3 from left to right. The two other spring elements 5 and 6, however, have a direction of elasticity which is perpendicular to the image plane.
Es wurde angenommen, daß das erste Bauteil 1 einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten hat als das zweite Bauteil 2. Zur Verdeutlichung wurde bei dem ersten Bauteil 1 eine sehr große thermische Ausdehnung und bei dem zweiten Bauteil 2 keine thermische Ausdehnung angenom- men. Es versteht sich, daß der Ausdehnungseffekt in der Praxis viel kleiner ist und mit bloßem Auge nicht zu erkennen ist.It was assumed that the first component 1 has a greater coefficient of thermal expansion than the second component 2. For clarification, in the first component 1, a very large thermal expansion and in the second component 2 no thermal expansion were assumed. It is understood that the expansion effect in practice is much smaller and is not visible to the naked eye.
In Figur 3 ist das erste Bauteil 1 einmal in der ursprünglichen Größe mit durchgezogener Linie, einmal bei höherer Temperatur mit gestrichelter Linie und einmal bei niedrigerer Temperatur schraffiert und mit strichpunktierter Linie gezeigt. Da sich das erste Bauteil 1 stärker ausdehnt als das zweite Bauteil 2, führt dies zwangsläufig dazu, daß sich die Federelemente 4, 5, 6, 7 verbiegen, wobei in der gezeigten Ansicht nur die Verbiegung der beiden Federelemente 4 und 7 zu erkennen ist. Diese Verbiegung wird durch die zusätzlichen gestrichelt dargestellten Federelemente schematisch dargestellt. Da das erste Bauteil 1 mit Hilfe der Federelemente 6 und 5 in Pfeilrichtung fixiert wird, kommt es zu keiner Veränderung der Gesamtposition des ersten Bauteils 1 in Pfeilrichtung, sondern das Bauteil 1 dehnt sich, ausgehend von dem Befestigungspunkt der Federelemente 5, 6 an dem ersten Bauteil gleichmäßig nach rechts und links aus (oder zieht sich zusammen). Dadurch ist sicher gestellt, daß sich das erste Bauteil 1 nicht gegenüber dem zweiten Bauteil 2 verkippt und seine Positi- on ziemlich exakt einhält.In Figure 3, the first component 1 is once in the original size with a solid line, hatched once at a higher temperature with a dashed line and once at a lower temperature and shown with dotted line. Since the first component 1 expands more strongly than the second component 2, this inevitably leads to the spring elements 4, 5, 6, 7 bending, wherein in the view shown only the bending of the two spring elements 4 and 7 can be seen. This bending is shown schematically by the additional spring elements shown in dashed lines. Since the first component 1 is fixed by means of the spring elements 6 and 5 in the direction of the arrow comes There is no change in the overall position of the first component 1 in the arrow direction, but the component 1 expands, starting from the attachment point of the spring elements 5, 6 on the first component evenly to the right and left (or contracts). This ensures that the first component 1 does not tilt with respect to the second component 2 and maintains its position fairly exactly.
Wie bereits ausgeführt wurde, üben die Verbindungselemente des Standes der Technik aufgrund ihrer sehr starren Verbindung ein Biegemoment auf die Bauteile aus. Dies wird durch die erfindungsgemäße Aufhängung verhindert, wie schematisch in Figur 4, die im wesentlichen der Figur 3 entspricht, besonders deutlich gezeigt.As already stated, the prior art fasteners exert a bending moment on the components due to their very rigid connection. This is prevented by the suspension according to the invention, as shown schematically in Figure 4, which substantially corresponds to Figure 3, particularly clearly.
Erfindungsgemäß sind die Federelemente in einer Raumrichtung sehr flexibel, während sie in den beiden hierzu senkrechten Richtungen relativ starr sind. Durch diese Maßnahme kann eine Längenänderung des ersten Bauteils 1 relativ zu dem zweiten Bauteil 2 durch die flexiblen Federelemente 4, 5, 6, 7 aufgenommen werden. Jegliche Verbiegung findet im wesentlichen innerhalb der Federelemente 4, 5, 6, 7 und nicht innerhalb eines der beiden Bauteile 1 , 2 statt. Durch das Vorsehen der Federelemente 5 und 6, die in der "weichen" Richtung bzw. der Elastizitätsrichtung der Federelements 4, 7 recht starr sind, wird prinzipiell eine Art Fixpunkt 19 festgelegt. Dieser Fixpunkt 19 bleibt durch die relativ starre Verbindung in Pfeilrichtung mittels der Federelemente 5, 6 konstant in der Position oberhalb des zweiten Bauteils 2. Das erste Bauteil 1 dehnt sich rechts und links von dem Fixpunkt 19 aus bzw. zieht sich dort zusammen, ohne daß sich der festgelegte Fixpunkt 19 ändert. Mit anderen Worten unterscheidet sich u. a. die vorliegende Erfindung vom Stand der Technik dadurch, daß durch die trickreiche Aufhängung nur ein Punkt des ersten Bauteils 1 in Bezug auf das zweite Bauteil 2 fixiert wird, während im Stand der Technik eine Fixierung über mehrere Punkte er- folgte und damit bei Temperaturänderungen Spannungen auftraten.According to the invention, the spring elements are very flexible in one spatial direction, while they are relatively rigid in the two directions perpendicular thereto. By this measure, a change in length of the first component 1 relative to the second component 2 by the flexible spring elements 4, 5, 6, 7 are added. Any bending takes place essentially within the spring elements 4, 5, 6, 7 and not within one of the two components 1, 2. By providing the spring elements 5 and 6, which are quite rigid in the "soft" direction or the elasticity direction of the spring element 4, 7, in principle a kind of fixed point 19 is determined. This fixed point 19 remains constant by the relatively rigid connection in the arrow direction by means of the spring elements 5, 6 in the position above the second component 2. The first component 1 extends to the right and left of the fixed point 19 or contracts there without the fixed point 19 changes. In other words, u is different. a. The present invention of the prior art in that is fixed by the tricky suspension only one point of the first component 1 with respect to the second component 2, while in the prior art, a fixation over several points followed and thus occurred with temperature changes voltages ,
Dadurch ist auch bei größeren Temperaturschwankungen nur eine geringe Positionsabweichung und nahezu kein Winkelfehler festzustellen. Versuche haben gezeigt, daß die Positionier- und Winkelgenauigkeit durch die erfindungsgemäße Maßnahme enorm verbessert werden kann.As a result, even with larger temperature fluctuations only a small positional deviation and almost no angular error can be determined. Experiments have shown that the positioning and angular accuracy can be improved enormously by the inventive measure.
Zur besseren Verdeutlichung ist in Figur 5 eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufbaus dargestellt. Zu erkennen ist das erste Bauteil 1 , das zweite Bauteil 2 und vier Federelemente 4, 5, 6, 7, die die beiden Bauteile verbinden. Jedes dieser Federelemente 4, 5, 6, 7 ist so ausgestaltet, daß es eine elastische Verbiegung des Federelementes gegenüber dem ersten Bauteil 1 in einer Richtung erlaubt, jedoch in den beiden hierzu senkrechten Richtungen im wesentlichen verhindert.For better clarity, a first embodiment of the construction according to the invention is shown in FIG. Evident is the first component 1, the second component 2 and four spring elements 4, 5, 6, 7, which connect the two components. Each of these spring elements 4, 5, 6, 7 is designed so that it allows an elastic bending of the spring element relative to the first component 1 in one direction, but substantially prevented in the two perpendicular thereto directions.
Man betrachte zur Erläuterung beispielsweise das in Figur 5 vorne dargestellte laschenförmige Federelement 4. Dieses Federelement erlaubt eine elastische Verbiegung derart, daß sich das erste Bauteil 1 relativ zu dem zweiten Bauteil 2 nach vorne und hinten leicht bewegen kann, während eine Bewegung nach rechts oder links bzw. von oben nach unten im wesentlichen ausgeschlossen wird. Mit anderen Worten erlauben die beiden Federelemente 4, 7 eine Bewegung in Richtung der Linie 13, die parallel zu dem zweiten Bauteil 2 erfolgt. Die beiden Federelemente 5, 6 erlauben statt dessen eine gewisse Bewegung entlang der Linie 14, während Bewegungen in den anderen Richtungen im wesentlichen verhindert werden. Dies führt im wesentlichen in der Höhe des Schnittpunktes der beiden Linien 13 und 14 zu einem Fixpunkt (oder Pivotpunkt) 19, so daß das erste Bauteil 1 und das zweite Bauteil 2 in Höhe dieses Fixpunktes auch bei größeren Temperaturschwankungen exakt übe- reinanderliegen. Jegliche Längenausdehnungen werden ausgehend von diesem Fixpunkt in Richtung der Achsen 13 und 14 abgetragen. Man könnte somit sagen, daß, wenn sich das erste Bauteil 1 aufgrund eines gegenüber dem zweiten Bauteil 2 erhöhten Ausdehnungskoeffizienten ausdehnen würde, diese Ausdehnung ausgehend von dem Fixpunkt 19, der bei dem Schnittpunkt der beiden Linien 13, 14 liegt, in Richtung der Pfeile erfolgt. Alle vier Federelemente 4, 5, 6, 7 verbiegen sich daher etwas, wobei die beiden Bauteile 1 , 2 im wesentlichen exakt in der gleichen Winkelposition zueinander bleiben. Die Federelemente 4, 5, 6, 7 greifen möglichst an den Außen- bzw. Kantenflächen des ersten Bauteils 1 an. Grundsätzlich gilt, daß je weiter auseinander die Angriffspunkte der Federelemente 4, 5, 6, 7 mit gleicher (bzw. paralleler) Elastizitätsrichtung liegen, um so besser ist die Winkelsteifigkeit des Aufbaus.For explanation, consider, for example, the tab-shaped spring element 4 shown in the front in FIG. 5. This spring element permits elastic bending such that the first component 1 can easily move forwards and backwards relative to the second component 2, while moving to the right or left or from top to bottom is essentially excluded. In other words, allow the two spring elements 4, 7 a movement in the direction of the line 13, which is parallel to the second component 2. The two spring elements 5, 6 instead allow some movement along the line 14, while substantially preventing movements in the other directions. This results essentially in the height of the intersection of the two lines 13 and 14 to a fixed point (or pivot point) 19, so that the first component 1 and the second component 2 in the amount of this fixed point exactly ülieinnerlie¬ even with larger temperature fluctuations. Any length expansions are removed starting from this fixed point in the direction of the axes 13 and 14. It could therefore be said that if the first component 1 were to expand due to an increased coefficient of expansion relative to the second component 2, this expansion takes place in the direction of the arrows starting from the fixed point 19 which lies at the intersection of the two lines 13, 14 , All four spring elements 4, 5, 6, 7 therefore bend slightly, with the two components 1, 2 remaining substantially exactly in the same angular position relative to one another. The spring elements 4, 5, 6, 7 engage as possible on the outer or edge surfaces of the first component 1. In principle, the farther apart the points of application of the spring elements 4, 5, 6, 7 lie with the same (or parallel) elasticity direction, the better the angular rigidity of the construction.
Weiterhin ist zu erkennen, daß die Federelemente 4, 5, 6, 7 nicht alle in der Mitte der von der Basisfläche 9 bereitgestellten Seiten angeordnet sind, sondern die Federelemente 4, 7 etwas nach außen (in der Figur 5 nach rechts) versetzt sind. Dies führt dazu, daß der Fixpunkt 19 nicht im Zentrum des ersten Bauteils 1 liegt. Diese Maßnahme kann von Vorteil sein, wenn an einem Bauteil optische Elemente, die besonders empfindlich gegenüber Positionsfehler sind, nicht im Zentrum des Bauteils liegen. Der Fixpunkt wird mit Vorteil genau dorthin gelegt, wo die Elemente mit der größten Empfindlichkeit gegenüber einer Fehlausrichtung positioniert sind.Furthermore, it can be seen that the spring elements 4, 5, 6, 7 are not all arranged in the middle of the provided by the base surface 9 sides, but the spring elements 4, 7 are slightly outwardly (in the figure 5 to the right) offset. This results in that the fixed point 19 is not located in the center of the first component 1. This measure can be advantageous if optical components which are particularly sensitive to positional errors are not located in the center of the component on a component. The fixed point is advantageously placed exactly where the elements with the greatest sensitivity to misalignment are positioned.
In Figur 6 ist eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Aufbaus gezeigt. Die Abbildung zeigt unten eine Explosionsansicht und oben den zusammengesetzten Aufbau. Der Aufbau besteht aus dem ersten Bauteil 1 , dem zweiten Bauteil 2 sowie einem Verbindungselement 3, das hier zwei Federelemente 4, 5 aufweist. Das Verbindungselement 3 sitzt auf der dem ersten Bauteil 1 zugewandten Fläche des zweiten Bauteils 2. Die Federelemente, die sich von einer Art Steg aus erstrecken, treten mit den Kantenflächen des ersten Bauteils 1 in Kontakt. Von zusätzlichem Vorteil ist hier, daß das Verbindungselement 3 flächig auf dem zweiten Bauteil 2 aufsitzt. Jegliche Bauteiltoleranzen werden durch die Positionierung des ersten Bauteils 1 in Bezug auf die beiden Federelemente 4, 5 ausgeglichen. Sobald das erste Bauteil 1 gegenüber dem Bauteil 2 positioniert ist, wird das Verbindungselement 3 möglichst gleichzeitig sowohl mit der Oberfläche des zweiten Bauteils 2 als auch über die Federelemente 4, 5 mit den Kantenflächen des ersten Bauteils 1 verklebt. Dies gewährleistet eine völlig spannungsfreie Ruhelage. Bei diesem Aufbau wird der Klebstoff nicht konstruktiv zur Bestimmung des Abstandes der beiden Bauteile zueinander benutzt, d.h. er dient nicht zum Auffüllen von justierbedingten Spalten zwischen Verbindungselement 3 einerseits und einem der beiden Bauteile 1 , 2 andererseits. Daher ist es wesentlich, daß die Federelemente 4, 5 an den Außen- bzw. Kantenflächen eines Bauteils, nämlich hier des ersten Bauteils 1 , angreifen. Das erste Federelement 4 ist so ausgestaltet, daß es, wie in Figur 6 oben angedeutet ist, in Richtung des Doppelpfeils eine hohe Elastizität aufweist, die viel größer ist als die Elastizität in den hierzu senk- rechten Richtungen. In gleicher Weise zeigt auch das Federelement 5 ein entsprechend anisotropes Verhalten, wobei die weichen Achsen, die sogenannten Elastizitätsrichtungen, nicht parallel verlaufen, sondern im vorliegenden Fall einen Winkel von etwa 90° einschließen. Diese Art der Verbindung der beiden Bauteile ermöglicht es, daß der optische Aufbau größeren Temperaturschwankungen ausgesetzt sein kann, ohne daß es zu einer Dejustierung der beiden Bauteile zueinander kommt.FIG. 6 shows a second embodiment of a construction according to the invention. The picture below shows an exploded view and the composite construction above. The structure consists of the first component 1, the second component 2 and a connecting element 3, which here has two spring elements 4, 5. The connecting element 3 is seated on the surface of the second component 2 facing the first component 1. The spring elements, which extend from a kind of web, come into contact with the edge surfaces of the first component 1. An additional advantage here is that the connecting element 3 is seated flat on the second component 2. Any component tolerances are compensated by the positioning of the first component 1 with respect to the two spring elements 4, 5. As soon as the first component 1 is positioned relative to the component 2, the connecting element 3 is adhesively bonded to the edge surfaces of the first component 1 at the same time both with the surface of the second component 2 and via the spring elements 4, 5. This ensures a completely stress-free rest position. In this structure, the adhesive is not used constructively to determine the distance between the two components to each other, ie it is not used to fill up adjusting columns between connecting element 3 on the one hand and a the two components 1, 2 on the other. Therefore, it is essential that the spring elements 4, 5 on the outer or edge surfaces of a component, namely here the first component 1, attack. The first spring element 4 is designed such that, as indicated in FIG. 6 above, it has a high elasticity in the direction of the double arrow, which is much greater than the elasticity in the directions perpendicular thereto. In the same way, the spring element 5 shows a corresponding anisotropic behavior, the soft axes, the so-called elasticity directions, not parallel, but in the present case form an angle of about 90 °. This type of connection of the two components makes it possible that the optical structure can be exposed to greater temperature fluctuations, without causing a misalignment of the two components to each other.
Figur 7 zeigt eine dritte Ausführungsform, bei der das Verbindungselement 3 insgesamt drei Federelemente 4, 5, 6 aufweist.FIG. 7 shows a third embodiment, in which the connecting element 3 has a total of three spring elements 4, 5, 6.
Figur 8 zeigt eine vierte Ausführungsform, bei der das Verbindungselement rund ausgebildet ist und insgesamt vier Federelemente 4, 5, 6, 7 aufweist. Prinzipiell kann das Verbindungselement 3 jegliche beliebige Form einnehmen, die mit Vorteil an die Kantenflächen des über dem zweiten Bauteil 2 zu positionierenden ersten Bauteils 1 angepaßt ist.Figure 8 shows a fourth embodiment in which the connecting element is round and has a total of four spring elements 4, 5, 6, 7. In principle, the connecting element 3 can assume any desired shape, which is advantageously adapted to the edge surfaces of the first component 1 to be positioned above the second component 2.
Ein anderes Beispiel zeigt Figur 9, die im wesentlichen den Ausführungsformen der Figuren 7 und 6 entspricht, wobei auch hier vier Federelemente 4, 5, 6, 7 vorgesehen sind.Another example is shown in FIG. 9, which essentially corresponds to the embodiments of FIGS. 7 and 6, wherein here too four spring elements 4, 5, 6, 7 are provided.
Figur 10 zeigt schließlich eine spezielle Ausführungsform eines Verbindungselementes 3. Das Verbindungselement 3 ist hier als Ätzteil ausgebildet und ist aus Metall hergestellt. Das Verbindungselement 3 weist eine im wesentlichen quadratische Grundfläche 9 auf, die quadratische Grundfläche 9 weist eine ebenfalls quadratische Aussparung 10 auf. Vier Federelemente 4, 5, 6, 7 sind mit der quadratischen Grundfläche 9 verbunden. Die Federelemente 4, 5, 6, 7 sind jeweils laschen- bzw. zapfenförmig und weisen einen Kontaktabschnitt 11 und einen besonders flexiblen Abschnitt 12 mit einer gegenüber dem Kontaktabschnitt 11 reduzierten Dicke auf. Wie in Figur 10 oben zu erkennen ist, werden die vier Federelemente 4, 5, 6, 7 nach der Herstellung im Ätzverfahren einfach nach oben gebogen, so daß die Federelemente 4, 5, 6, 7 mit der Grundfläche 9 einen im wesentlichen rechten Winkel einschließen. In der Figur 11 ist eine Explosionsansicht in einer perspektivischen Ansicht des zusammengesetzten Aufbaus zu erkennen, wie die einzelnen Teile miteinander verbunden werden. Diese Ausführungsform des Verbindungselementes 3 hat den Vorteil, daß aufgrund der großen Grundfläche 9 das Verbindungselement 3 sicher an der Oberfläche des zweiten Bauteils 2 fixiert werden kann. Es hat jedoch den Nachteil, daß aufgrund des Umbiegens der Federelemente 4, 5, 6, 7 relativ zu der Grundfläche 9 an der Biegelinie 20 die Federelemente 4, 5, 6, 7 relativ weich werden, so daß sie Federelemente einer Bewegung des ersten Bauteils 1 auf das zweite Bauteil 2 zu oder von diesem weg nicht vollständig verhindern können. Man erkennt in Figur 11 oben, daß die Federelemente 4, 5, 6, 7 jeweils mit ihrer Kontaktfläche 11 an der Kantenfläche des ersten Bauteils 1 anliegen. Durch dieses Verbindungselement kann nahezu der gesamte Abstand zwischen den beiden Bauteilen 1 und 2 für die Federelemente 4, 5, 6, 7 verwendet werden, da die Grundfläche 9 sehr flach baut.Finally, FIG. 10 shows a special embodiment of a connecting element 3. The connecting element 3 is designed here as an etching part and is made of metal. The connecting element 3 has a substantially square base 9, the square base 9 has a square recess 10 also. Four spring elements 4, 5, 6, 7 are connected to the square base 9. The spring elements 4, 5, 6, 7 are each tab-shaped or pin-shaped and have a contact portion 11 and a particularly flexible portion 12 with a relation to the contact portion 11 reduced thickness. As can be seen in Figure 10 above, the four spring elements 4, 5, 6, 7 are simply bent upwards after preparation in the etching process, so that the spring elements 4, 5, 6, 7 with the base 9 a substantially right angle lock in. In the figure 11 is an exploded view in a perspective view of the assembled structure to recognize how the individual parts are joined together. This embodiment of the connecting element 3 has the advantage that due to the large base 9, the connecting element 3 can be securely fixed to the surface of the second component 2. However, it has the disadvantage that due to the bending of the spring elements 4, 5, 6, 7 relative to the base 9 at the bending line 20, the spring elements 4, 5, 6, 7 are relatively soft, so that they spring elements movement of the first component 1 to the second component 2 to or from this way can not completely prevent. It can be seen in Figure 11 above that the spring elements 4, 5, 6, 7 each with their contact surface 11 on the edge surface of the first component 1 present. By this connecting element can almost the entire distance between the two components 1 and 2 for the spring elements 4, 5, 6, 7 are used, since the base 9 is very flat.
In Figur 12 ist eine weitere Ausführungsform eines erfinderischen Verbindungselementes 3 gezeigt. Dieses Verbindungselement 3 besteht aus einem Steg 15 und vier sich hiervon erstreckenden Federelementen 4, 5, 6, 7, die jeweils wieder einen Kontaktabschnitt 1 1 und einen sich daran anschließenden Abschnitt mit gegenüber dem Kontaktabschnitt 1 1 reduzierter Dicke haben. Der Steg 15 weist Sollbiegestellen 16 sowie einen Verschlußbiegemechanismus 17, 18 auf, so daß der in Figur 12 unten gezeigte Steg an den Sollbiegestellen 16 zu einem Rechteck bzw. einem Quadrat gebogen werden kann, wie dies in Figur 12 oben dargestellt ist. Figur 13 zeigt in einer perspektivischen Ansicht sowie in einer Explosionsansicht, wie diese Ausführungsform des Verbindungselementes 3 zur Positionierung und Fixierung von zwei Bauteilen verwendet wird. Das in den Figuren 12 und 13 gezeigte Verbindungselement hat gegenüber dem in den Figuren 10 und 1 1 gezeigten Verbindungselement den Vorteil, daß die Federelemente 4, 5, 6, 7 in senkrechter Richtung, d.h. bei einer Bewegung des ersten Bauteils 1 auf das zweite Bauteil 2 zu oder von diesem hinweg, starr ist. Es hat stattdessen aber eine geringere Auflagefläche auf der Oberfläche des zweiten Bauteils 2. Die Auflagefläche des Stegs 15 auf der Oberfläche des Bauteils 2 kann noch weiter verringert werden, wenn der Steg Ausnehmungen 21 aufweist. Grundsätzlich könnte der Steg 15 auch so ausgebildet sein, daß er im wesentlichen nur an 3 Punkten auf der Oberfläche des zweiten Bauteils aufsitzt. Die kleinere Auflagefläche hat den Vorteil, daß das Verbindungselement eine bessere Auflageposition hat.FIG. 12 shows a further embodiment of an inventive connecting element 3. This connecting element 3 consists of a web 15 and four extending therefrom spring elements 4, 5, 6, 7, each having a contact portion 1 1 and an adjoining portion with respect to the contact portion 1 1 reduced thickness. The web 15 has predetermined bending points 16 and a closure bending mechanism 17, 18, so that the web shown below in Figure 12 can be bent at the predetermined bending points 16 into a rectangle or a square, as shown in Figure 12 above. Figure 13 shows in a perspective view and in an exploded view, how this embodiment of the connecting element 3 is used for positioning and fixing of two components. The connecting element shown in FIGS. 12 and 13 has the advantage over the connecting element shown in FIGS. 10 and 11 that the spring elements 4, 5, 6, 7 extend in the vertical direction, i.e. in the vertical direction. during a movement of the first component 1 on the second component 2 to or away from this, is rigid. Instead, it has a smaller contact surface on the surface of the second component 2. The contact surface of the web 15 on the surface of the component 2 can be further reduced if the web has recesses 21. In principle, the web 15 could also be designed so that it essentially sits on only 3 points on the surface of the second component. The smaller bearing surface has the advantage that the connecting element has a better support position.
Durch den erfindungsgemäßen Aufbau ist mit einfachen Mitteln eine deutlich vereinfacht ausgerich- tete Fixierung zweier Bauteile zueinander möglich geworden. Die Bauteile können zueinander in allen 6 Freiheitsgraden (3 translatorische und 3 rotatorische) ausgerichtet werden. Die vorgeschlagene elastische Aufhängung hat zudem den Vorteil, daß sie auch bei größeren Temperaturschwankungen, insbesondere dann, wenn die beiden zueinander ausgerichteten Bauteile unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten haben, eine sehr hohe Positions- und Winkelgenauigkeit zur Verfügung stellt. BezugszeichenlisteAs a result of the construction according to the invention, it is possible by simple means to achieve a significantly simplified fixation of two components relative to one another. The components can be aligned with each other in all 6 degrees of freedom (3 translational and 3 rotational). The proposed elastic suspension also has the advantage that it provides a very high positional and angular accuracy even with larger temperature fluctuations, especially when the two components aligned to each other have different coefficients of expansion. LIST OF REFERENCE NUMBERS
1 erstes Bauteil1 first component
2 zweites Bauteil2 second component
3 Verbindungselement3 connecting element
4 Federelement4 spring element
5 Federelement5 spring element
6 Federelement6 spring element
7 Federelement7 spring element
8 Klebstoff8 adhesive
9 quadratische Grundfläche9 square base
10 quadratische Aussparung10 square recess
1 1 Kontaktabschnitt1 1 contact section
12 flexibler Abschnitt12 flexible section
13, 14 Linien13, 14 lines
15 Steg15 footbridge
16 Sollbiegestellen16 predetermined bending points
17 Verschlußmechanismus17 locking mechanism
18 Verschlußmechanismus18 locking mechanism
19 Fixpunkt (Pivotpunkt)19 fixed point (pivot point)
20 Biegelinie20 bending line
21 Ausnehmung 21 recess

Claims

PATENTANSPRÜCH E PATENT CLAIMS E
1. Aufbau bestehend aus einem ersten und einem zweiten Bauteil (1 , 2) und einem die beiden Bauteile (1 , 2) verbindenden Verbindungselement (3), das mindestens zwei Federelemente aufweist, wobei jedes Federelement (4, 5, 6, 7) eine in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen jeweils mindestens doppelt so groß Federkonstante wie in der dritten, zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtung, der sogenannten Elastizitätsrichtung, hat, wobei die beiden Federelemente Elastizitätsrichtungen aufweisen, die nicht paral- IeI zueinander verlaufen.1. assembly consisting of a first and a second component (1, 2) and a two components (1, 2) connecting the connecting element (3) having at least two spring elements, each spring element (4, 5, 6, 7) a spring constant which is at least twice as great in two mutually perpendicular spatial directions as in the third spatial direction perpendicular to the two first spatial directions, the so-called elasticity direction, wherein the two spring elements have elasticity directions which do not run parallel to one another.
2. Aufbau nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Bauteile (1 , 2) sich unterscheidende thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.2. Structure according to claim 1, characterized in that the two components (1, 2) have different thermal expansion coefficients.
3. Aufbau nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Elastizitätsrichtungen einen Winkel zwischen 50 und 130°, vorzugsweise zwischen 70 und 1 10° und besonders bevorzugt zwischen 85 und 95° einschließen.3. Structure according to claim 1 or 2, characterized in that the two elasticity directions form an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 1 10 ° and more preferably between 85 and 95 °.
4. Aufbau nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens drei Federele- mente (4, 5, 6) mit jeweils einer Federkonstante, die in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen jeweils mindestens doppelt so groß ist wie die Federkonstante in der dritten zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtung, der sogenannten Elastizitätsrichtung, ist, vorgesehen sind, wobei die Elastizitätsrichtung der drei Federelemente (4,4. Structure according to claim 1 or 2, characterized in that at least three spring elements (4, 5, 6) each having a spring constant, which is in two mutually perpendicular directions in space at least twice as large as the spring constant in the third to the two spatial directions, the so-called elasticity direction, is provided, wherein the elasticity direction of the three spring elements (4,
5, 6) in etwa in einer Ebene liegen.5, 6) lie approximately in one plane.
5. Aufbau nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Elastizitätsrichtungspaar jeweils einen Winkel zwischen 100 und 140° einschließt.5. Structure according to claim 4, characterized in that each pair of elasticity in each case includes an angle between 100 and 140 °.
6. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß vier Federelemen- te (4, 5, 6, 7) vorgesehen sind, deren Federkonstante in zwei zueinander senkrechten6. Structure according to one of claims 1 to 5, characterized in that four spring elements (4, 5, 6, 7) are provided, the spring constant in two mutually perpendicular
Raumrichtungen jeweils mindestens doppelt so groß ist wie die Federkonstante in der dritten zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtung, der sogenannten Elastizitätsrichtung, und wobei alle Elastizitätsrichtungen im wesentlichen in einer Ebene liegen.Spaces each is at least twice as large as the spring constant in the third to the two first spatial directions vertical spatial direction, the so-called elasticity direction, and wherein all directions of elasticity are substantially in one plane.
7. Aufbau nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der vier Federelemente (4, 5,7. Structure according to claim 6, characterized in that two of the four spring elements (4, 5,
6, 7) in etwa parallele Elastizitätsrichtungen aufweisen und die Federelemente der beiden anderen der vier Federelemente (4, 5, 6, 7) ebenfalls in etwa parallele Elastizitätsrichtungen aufweisen, wobei die Elastizitätsrichtungen des ersten Paars von Federelementen mit den Elastizitätsrichtungen des zweiten Paares von Federelementen einen Winkel zwischen 50 und 130°, vorzugsweise zwischen 70 und 1 10° und besonders bevorzugt zwischen 85 und 95° einschließen.6, 7) have approximately parallel directions of elasticity and the spring elements of the other two of the four spring elements (4, 5, 6, 7) also have approximately parallel elasticity directions, wherein the elasticity directions of the first pair of spring elements with the elasticity directions of the second pair of spring elements an angle between 50 and 130 °, preferably between 70 and 110 ° and more preferably between 85 and 95 °.
8. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungs- element (3) integral mit einem der beiden Bauteile (1 , 2) ausgebildet ist.8. Structure according to one of claims 1 to 7, characterized in that the connecting element (3) integral with one of the two components (1, 2) is formed.
9. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungselement (3) einstückig ausgebildet sind.9. Structure according to one of claims 1 to 7, characterized in that the connecting element (3) are integrally formed.
10. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Bauteil (1 ) eine dem zweiten Bauteil (2) zugewandte Oberfläche und eine oder mehrere sich an die Oberfläche anschließende Kantenflächen hat, wobei die Federelemente (4, 5, 6, 7) mit der Kantenfläche verbunden sind.10. Structure according to one of claims 1 to 9, characterized in that the first component (1) has a second component (2) facing surface and one or more adjoining the surface edge surfaces, wherein the spring elements (4, 5, 6, 7) are connected to the edge surface.
1 1. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Bauteil (2) eine dem ersten Bauteil zugewandte Oberfläche hat und daß das Verbindungselement (3) mit der Oberfläche des zweiten Bauteils (2) verbunden ist.1 1. Structure according to one of claims 1 to 10, characterized in that the second component (2) has a surface facing the first component and that the connecting element (3) with the surface of the second component (2) is connected.
12. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Verbin- dungselement (3) ein Ätzteil ist.12. Structure according to one of claims 1 to 1 1, characterized in that the connecting element (3) is an etched part.
13. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Federelemente (4, 5, 6, 7) aus Metall sind.13. Structure according to one of claims 1 to 12, characterized in that the spring elements (4, 5, 6, 7) are made of metal.
14. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungselement (3) mit dem zweiten Bauteil (2) verklebt oder verschweißt, vorzugsweise verklebt ist.14. Structure according to one of claims 1 1 to 13, characterized in that the connecting element (3) with the second component (2) glued or welded, preferably glued.
15. Aufbau nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Federele- mente (4, 5, 6, 7) mit der Kantenfläche oder den Kantenflächen des ersten Bauteils (1 ) verklebt oder verschweißt, vorzugsweise verklebt sind.15. Structure according to one of claims 10 to 14, characterized in that the spring elements (4, 5, 6, 7) with the edge surface or the edge surfaces of the first component (1) glued or welded, preferably glued.
16. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungselement (3) aus einer im wesentlichen quadratischen Grundfläche (9), die mit der Oberfläche des zweiten Bauteils (2) verbunden ist, und vier dazu abgewinkelten zackenför- migen Federelementen (4, 5, 6, 7) besteht.16. Structure according to one of claims 1 to 15, characterized in that the connecting element (3) of a substantially square base surface (9) which is connected to the surface of the second component (2), and four angled zackenför- shaped Spring elements (4, 5, 6, 7).
17. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbindungselement (3) aus einem Stegrahmen und vier sich davon erstreckenden zackenförmi- gen Federelementen (4, 5, 6, 7) besteht. 17. Structure according to one of claims 1 to 15, characterized in that the connecting element (3) consists of a web frame and four extending therefrom zackenförmi- gene spring elements (4, 5, 6, 7).
18. Aufbau nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß die zackenförmigen Federelementen (4, 5, 6, 7) einen Kontaktabschnitt (1 1 ), der mit dem ersten Bauteil (1 ) in Kontakt tritt, und einen Abschnitt mit gegenüber dem Kontaktabschnitt (1 1 ) verminderter Dicke aufweisen.18. Structure according to claim 16 or 17, characterized in that the serrated spring elements (4, 5, 6, 7) has a contact portion (1 1), which comes into contact with the first component (1), and a portion with respect to the Contact portion (1 1) have reduced thickness.
19. Aufbau nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Federelement (4, 5, 6, 7) in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen Federkonstanten aufweist, die jeweils mindestens zehnmal so groß, vorzugsweise mindestens fünfzigmal so groß und besonders bevorzugt mindestens hundertmal so groß sind, wie die Federkonstante in der dritten zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtung, der sogenannten19. Structure according to one of claims 1 to 18, characterized in that each spring element (4, 5, 6, 7) in two mutually perpendicular spatial directions spring constants, each at least ten times as large, preferably at least fifty times as large and more preferably at least are a hundred times as large as the spring constant in the third direction perpendicular to the first two spatial directions, the so-called
Elastizitätsrichtung, ist, wobei die beiden Federelemente Elastizitätsrichtungen aufweisen, die nicht parallel zueinander verlaufen.Elastic direction is, wherein the two spring elements have elasticity directions that are not parallel to each other.
20. Verfahren zur Herstellung eines Aufbaus nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch ge- kennzeichnet, daß zunächst das Verbindungselement auf dem zweiten Bauteil positioniert wird, dann das erste Bauteil gegenüber dem zweiten Bauteil ausgerichtet wird und schließlich das Verbindungselement sowohl mit dem ersten als auch dem zweiten Bauteil verbunden wird.20. A method for producing a structure according to one of claims 1 to 19, character- ized in that first the connecting element is positioned on the second component, then the first component is aligned with respect to the second component and finally the connecting element with both the first and also connected to the second component.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung von Verbindungselement einerseits und Bauteil andererseits mittels Kleben erfolgt.21. The method according to claim 20, characterized in that the connection of the connecting element on the one hand and the component on the other hand by means of gluing.
22. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21 , dadurch gekennzeichnet, daß bei der Positionierung des ersten Bauteils gegenüber dem zweiten Bauteil das erste Bauteil zusammen mit dem Verbindungselement auf der Oberfläche des zweiten Bauteils verschoben wird, bis die gewünschte Position erreicht wird.22. The method according to claim 20 or 21, characterized in that in the positioning of the first component relative to the second component, the first component is moved together with the connecting element on the surface of the second component until the desired position is reached.
23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Bauteil derart ausgerichtet wird, daß die Federelemente des Verbindungselementes in unmittelbarer Um- gebung zu den Kantenflächen des ersten Bauteils zu liegen kommen und die Federelemente an den Kantenflächen des ersten Bauteils befestigt werden.23. The method according to claim 21 or 22, characterized in that the first component is aligned such that the spring elements of the connecting element come to lie in the immediate vicinity of the edge surfaces of the first component and the spring elements are attached to the edge surfaces of the first component ,
24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Bauteil derart ausgerichtet wird, daß die Federelement die Kantenflächen des ersten Bauteils nicht berühren und bei der Verbindung von Federelement und Kantenfläche der verbliebene Spalt mit Klebstoff ausgefüllt wird. 24. The method according to claim 23, characterized in that the first component is aligned such that the spring element does not touch the edge surfaces of the first component and in the connection of spring element and edge surface of the remaining gap is filled with adhesive.
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