EP1875218A2 - Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section - Google Patents

Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section

Info

Publication number
EP1875218A2
EP1875218A2 EP06726150A EP06726150A EP1875218A2 EP 1875218 A2 EP1875218 A2 EP 1875218A2 EP 06726150 A EP06726150 A EP 06726150A EP 06726150 A EP06726150 A EP 06726150A EP 1875218 A2 EP1875218 A2 EP 1875218A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
camera according
laser beam
camera
heating zone
zone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP06726150A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Marc Piriou
Laurent Legrandjacques
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Areva NP SAS
Original Assignee
Areva NP SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Areva NP SAS filed Critical Areva NP SAS
Publication of EP1875218A2 publication Critical patent/EP1875218A2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/72—Investigating presence of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means

Definitions

  • Photothermal examination camera with optical device for elongating the section of a laser beam
  • the present invention relates to a photothermal examination camera of the type comprising:
  • a laser beam shaping system comprising a beam section elongation device for forming, on a surface of a test piece, an elongate heating zone along a direction,
  • an array of infrared detectors for detecting infrared radiation emitted by a detection zone on the surface of the part relative to the heating zone
  • the invention is particularly applicable to the non-destructive testing of parts, to detect defects, variations in the nature or properties of their materials, differences in thickness of coating layers, local variations in diffusivity or conductivity
  • the parts being examined can be metallic and made of ferrous materials, for example alloy steels such as stainless steels or non-ferrous materials. They can also be made of composite materials, ceramics or plastics.
  • the photothermal examination is based on the phenomenon of diffusion of a thermal disturbance produced by a local heating of the part to be examined.
  • a photothermal examination camera emitting a laser beam is used, which is focused on the surface of the part being examined, in a heating zone.
  • the infrared radiation emitted by the room in a detection zone close to or coincident with the heating zone makes it possible. measure or evaluate the temperature rise in the detection zone due to heating in the heating zone.
  • the offset between the heating zone and the detection zone is generally called “offset”. This offset can be zero so that the detection zone and the heating zone are then combined.
  • Infrared radiation and thus temperature rise can be measured without contact using a detector such as an infrared detector.
  • Infrared radiation or temperature rise in the detection zone is influenced by the local characteristics of the materials being inspected.
  • the diffusion of heat between the heating zone and the detection zone which is at the origin of the temperature rise in the detection zone depends on the defects of the part to be examined, such as cracks. , at the level of the heating zone or the detection zone or in the vicinity of these two zones ...
  • thermographic image of the surface. of the room By scanning the surface of the part to be examined by the heating zone and detecting the radiation emitted by the detection zone, which moves with the heating zone during the scanning, it is thus possible to obtain a thermographic image of the surface. of the room, this image being representative of variations in the diffusion of heat in the room or defects present inside the room.
  • the section of the laser beam is elongated by a slot through which the laser beam passes.
  • the subject of the invention is a photothermal examination camera of the aforementioned type, characterized in that the elongation device is an optical device.
  • the camera may comprise one or more of the following characteristics, taken separately or in any technically possible combination:
  • the optical device comprises a lens intended to be traversed by the laser beam
  • the optical device comprises a mirror intended to reflect the laser beam
  • the shaping system comprises a device for homogenizing the power of the laser beam along the heating zone
  • the device for homogenizing the power is formed by the device for lengthening the section of the laser beam; - A face of the lens has a profile adapted to homogenize the power of the laser beam along the heating zone;
  • a reflecting face of the mirror has a profile adapted to homogenize the power of the laser radiation along the heating zone
  • the homogenization device is a device for forming the electrode by setting the laser beam in motion perpendicularly to its direction of propagation;
  • the device comprises an acousto-optical cell
  • the homogenization device comprises an oscillating mirror
  • the homogenizing device comprises a bundle of optical fibers whose upstream ends receive the laser beam and whose downstream ends are arranged along a line to create the elongated heating zone;
  • the camera comprises a system for mechanically adjusting an offset between the elongated heating zone and the detection zone;
  • the camera comprises a trunk, and the mechanical adjustment system comprises a device for moving the matrix of infrared detectors relative to the trunk;
  • the camera comprises a trunk
  • the mechanical adjustment system comprises a device for moving the shaping system relative to the trunk
  • the displacement device comprises a linear motor.
  • the displacement device comprises a linear piezoelectric actuator;
  • the displacement device comprises a rotary motor and a mechanism for transforming a rotary movement into a translational movement;
  • the camera comprises a filter blade for reflecting the laser beam and transmitting the infrared radiation radiated by the detection zone towards the matrix of infrared detectors;
  • the blade comprises at least one material selected from the list consisting of CaF 2, MgF 2, Al 2 O 3, BaF 2, Ge, ZnSe, ZnS FLIR multispectral ZnS, MgO, and SrF 2;
  • the camera comprises a system for scanning the surface of the room by the heating zone
  • the processing unit is able to adjust an offset between the heating zone and the detection zone by selecting a row of infrared detectors in the detection matrix;
  • the processing unit is able to independently process the signals supplied by each of the infrared detectors of the matrix;
  • the camera comprises a laser source
  • the camera comprises connection means to a camera source which does not belong to the camera.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating the principles of photothermal examination
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a photothermal examination method implemented by a camera according to the invention
  • FIG. 3 is a schematic view illustrating a photothermal examination camera according to a first embodiment of the invention
  • FIG. 4A is a schematic section illustrating, for the camera of FIG. 3, the lengthening device of FIG. the section of the laser beam,
  • FIGS. 4B, 5A, 5B and 6 are views similar to FIG. 4A illustrating variants of the device of FIG. 4A,
  • FIGS. 7 and 8 are diagrammatic figures illustrating two other variants of the device of FIG. 4A.
  • FIG. 9 and 10 are schematic views illustrating two other embodiments of a camera according to the invention.
  • FIG. 1 shows a part 1 to be examined.
  • the upper surface 1a thereof is moved by moving a heating zone 2 and a detection zone 3 synchronously on the surface 1a.
  • the heating zone 2 and the detection zone 3 are offset relative to one another and separated by a distance d called offset.
  • the offset d is zero and zones 2 and 3 are merged.
  • Zone 2 is heated by an incident laser beam, indicated by the arrow 4.
  • the infrared radiation emitted by the detection zone 3 is detected. This radiation is indicated by the arrow 5 in FIG. 1.
  • the displacement of zones 2 and 3 is shown by the arrow 6.
  • the displacement 6 is parallel or not to the offset d between the heating zone 2 and the detection zone 3.
  • the scanning is for example carried out line by line, the direction of movement being reversed for each of the successive lines ("slot" configuration ") Or the same (" comb "configuration).
  • the heating zone 2 is situated in front of the detection zone 3 with respect to the direction of movement 6.
  • any other relative position is possible, as described in the document FR-2,760,528 ( US 6,419,387) the contents of which are incorporated herein by reference.
  • FIG. 2 illustrates a photothermal examination method in which the heating zone 2 is an elongated zone along a direction D. More Zone 2 has a line shape but, alternatively, it can have another shape, such as an ellipse ...
  • the detection zone 3 has a shape similar to that of the zone 2. It will be noted that in the example of FIG. 2 it is situated in front of the heating zone 2 with respect to the direction of displacement 6.
  • an elongated heating zone 2 makes it possible to reduce the time required to scan the surface 1a, as described in document FR-2,760,528 (US-6,419,387). This characteristic is also present in the invention.
  • a matrix 8 of infrared detectors 10 is used to detect the emitted radiation 5.
  • the matrix 8 generally comprises M rows and N columns.
  • the numbers M and N may vary independently of each other and may be, for example, between 1 and several hundred or more.
  • FIG. 2 shows the trace 14 of the radiation 5 emitted by the detection zone 3 on the matrix 8 of detectors 10.
  • the row 12 selected actually comprises the detectors 10 illuminated by the infrared radiation emitted by In the invention, and as in FR-2,760,528 (US Pat. No. 6,419,387), it is possible, by selecting an appropriate row 12 of detectors 10, to adjust the offset d between the heating zone. 2 and the detection zone 3.
  • FIG. 3 illustrates a photothermal examination camera 16 according to the invention.
  • This camera 16 mainly comprises:
  • a chest 18 provided with a transparent window 20,
  • a system 22 for shaping the laser beam 4 a system 22 for shaping the laser beam 4, a system 24 for detecting the radiation 5, and
  • the shaping system 22 is connected to a laser source 34 via an optical fiber 36.
  • the shaping system 22 comprises a collimator 38 and a device 40 for extending the section of the laser. laser beam 4 emitted by the source 34.
  • the section of the beam 4 is elongated perpendicular to its direction of propagation, to form the elongate heating zone 2.
  • the elongation device 40 comprises a lens 42, through which the beam 4 passes.
  • This lens 42 is a divergent cylindrical lens.
  • This lens 42 ensures a divergence of the beam 4 in the direction in which the elongation is to be produced. This direction is perpendicular to the direction of propagation of the beam 4, as shown by the arrows 4a to 4c of FIG. 4A, which illustrate lines of propagation of the beam 4 at the exit of the lens 42.
  • the plane of FIG. 4A contains the elongation direction and the direction of propagation of the beam 4.
  • the plane of FIG. 4A is perpendicular to the plane of FIG. 3.
  • the upstream face 43 and the downstream face 44 of the lens 42 have sections in the plane of Figure 4A substantially in circular arcs. It will be noted that the lens 42 does not produce an elongation of the section of the beam, and is therefore not divergent, in the plane of FIG.
  • the detection system 24 comprises the matrix 8 of detectors 10 as well as a unit 46 for processing the signals emitted by the detectors 10 of the matrix 8.
  • This unit 46 is capable of independently processing the signals emitted by each of the detectors 10, this which allows in particular to select the row
  • the unit 46 controls the operation of the entire camera 16.
  • unrepresented optical elements may be arranged in the system 24, upstream of the matrix 8 with respect to the direction of propagation of the radiation 5, in order to ensure satisfactory operation of the matrix 8.
  • the unit 46 is able to construct a thermographic image of the surface 1a of the part 1 by processing the signals received from the detectors 10 of the selected row 12.
  • the unit 46 may be connected, for example, to means 48 for displaying the thermographic image and to storage means 50 for storing the data resulting from the processing.
  • the means 48 and 50 are remote from the camera 16, but they may alternatively belong to the latter.
  • the blade 32 is a semi-reflecting plate to allow the laser beam 4 to be reflected while allowing the radiation to pass through. More precisely, the blade 32 makes it possible:
  • one or more of the following materials may be used:
  • CaF 2 (calcium fluoride), MgF 2 (magnesium fluoride), Al 2 O 3 (Saphire), BaF 2 (barium fluoride), Ge (Germanium),
  • ZnS - FLIR Forward Looking Infra Red
  • ZnS Multispectral Zinc Sulphide
  • MgO Magnnesium Oxide
  • SrF 2 Tin Fluoride
  • the camera 16 comprises a device 52 for moving the detection system 24 with respect to the trunk 18.
  • This displacement system 52 makes it possible to move the system 24 and therefore the matrix 8 of detectors 10 perpendicular to the radiation 5 upstream of the matrix 8.
  • the device displacement 52 may comprise, for example, a linear piezoelectric actuator, a linear motor or a rotary motor associated with a screw / nut mechanism in order to allow a fine lateral displacement of the detection system 24 perpendicular to the beam 5 in the plane of FIG. 3
  • Other mechanisms for transforming a rotational movement into translational motion can be envisaged.
  • the camera 16 also comprises a device 54 for moving the shaping system 22.
  • This device 54 has for example a structure similar to that of the device 52 and makes it possible to move the shaping system 22 perpendicular to the direction propagation of the beam 4 at the output of the shaping system 22.
  • the camera 16 also comprises a device 55 making it possible to move the mirror 28 in order to ensure that the surface 1a is scanned by the heating zone 2 and the detection zone 3.
  • This displacement device 55 comprises, for example, two galvanometers or two motors. to sweep the surface 1a in two perpendicular directions.
  • the mirror 26 returns the laser beam 4 elongated by the device 40 on the shutter 30.
  • the shutter 30 When the shutter 30 is open, it allows the beam 4 which is reflected by the plate 32 to pass to the mirror 28 which itself reflects the beam 4 towards the surface 1a through the window 20.
  • the radiation 5 passes through the window 20, is returned by the mirror 28 to the blade 32 it passes through to reach the detection system 24 and illuminate the matrix 8 of detectors 10.
  • the unit 46 can then build as and when scanning a thermographic image of the surface 1a, this image being displayed by the display means 48.
  • the power loss of the laser beam is lower than in FR-2,760,528 (US-6,419,387) where a slot was used to lengthen the section. . This makes it possible to reduce the scanning time of the surface 1 and to use the power of the laser beam 4 more efficiently.
  • the choice of one or more of the abovementioned materials to form the blade 32 makes it possible to ensure better retention of the blade 32 over time. This helps to improve the reliability of the examination performed by the camera 16.
  • the displacement devices 52 and 54 allow a fine mechanical adjustment of the offset d between the heating zone 2 and the detection zone 3. It is recalled that it may be desirable to conduct zero offset examinations.
  • This fine adjustment which can be controlled by the processing unit 46 or manually, is in addition to the possibility of adjustment offered by the choice of the row 12 used.
  • This second possibility of mechanical adjustment of the offset makes it possible, in cases where the trace 14 of the detection zone 3 is close to or bites on the boundary of the row 12 of detectors selected, to replace this trace 14 in the center of the row. 12 chosen.
  • This third aspect of the invention makes it possible to increase the quality of the thermographic image formed and thus to increase the accuracy and reliability of the examination carried out by means of the camera 16. It will be observed that each of these three aspects the use of an optical device 40, the nature of the blade 32, and the mechanical adjustment of the offset can be used independently of the others.
  • the elongation device of the section 40 may have a different structure from that described above while remaining an optical and non-physical device as in the state of the art.
  • cylindrical lens any lens having a different vergence in the two axes perpendicular to the direction of propagation of the laser beam 4, so as to obtain a beam whose cross section will be greater along an axis than the along the other.
  • one of these lenses or the lens 42 used may have a face 44 or more profile faces (s) adapted (s) to homogenize the power. This is illustrated by FIG. 5A where the downstream face 44 of the lens 42 has a different section of an arc of a circle, this section having a profile adapted to increase the homogeneity of the power of the laser beam 4 over the length of its section.
  • the elongation device 40 then performs two functions, namely that of elongating the section of the laser beam 4 and that of homogenizing the power of the beam 4 over this length.
  • the power distribution along the direction D of the heating zone 2 is relatively homogeneous thanks to the elongation device 40, the image formed is clear and the photothermal examination performed by the camera 16 is reliable.
  • the device 40 may comprise one or more mirrors which provide, by reflection, the elongation functions of the section and optionally the homogenization of the power.
  • the device 40 may then comprise a mirror 56, a face 58 reflecting the beam 4 has a circular arc section or profile section adapted to homogenize the power.
  • Such mirrors 56 and their reflecting faces 58 are respectively shown in FIGS. 4B and 5B.
  • the elongation of the section of the laser beam is carried out by increasing this section along one dimension.
  • this elongation can be made by reducing the width of the section of the beam.
  • the collimator 38 can be omitted.
  • the device 40 may also, alternatively, provide the functions of elongation of the section and possibly homogenization of the power by setting the laser beam 4 in motion.
  • the optical device 40 may comprise, for example, an acoustic cell. -optique 60. As shown in Figure 6, this accousto-optical cell 60 extends the beam section 4 by ensuring a displacement of the latter along the direction where its section must be extended. This displacement is materialized by the double arrow 62 in FIG. 6.
  • the movement of the laser beam 4 can be provided by an oscillating mirror 64.
  • Figure 8 illustrates yet another variant.
  • the optical device 40 then comprises a bundle 66 of optical fibers 68 whose upstream ends receive the laser beam 4 and whose downstream ends 72 are aligned so that they output a laser beam 4 of elongate section.
  • the elongation functions of the section on the one hand, and power homogenization on the other hand can be provided by two separate devices.
  • the camera 16 With regard to the mechanical adjustment of the offset, it is not necessary for the camera 16 to have both a device 52 for moving the detection system 24 and a device 54 for moving the shaping system 22. It can indeed include only one of these devices.
  • FIG. 9 This is illustrated in FIG. 9 where the camera 16 comprises only a device 52 for moving the shaping system 24.
  • the structure of the camera 16 is further simplified in that the laser source 34 has been integrated into the camera 16 and in that the mirrors 26 and 28 have been removed.
  • the camera 16 of Figure 9 does not include an integrated device 55 for moving to ensure the scanning of the surface 1a.
  • This scanning is then provided by a device for moving the workpiece 1 or by a device for moving the camera 16 located outside of the latter.
  • the mechanical adjustment of the offset d used in addition to the software adjustment by selection of the row 12 can be carried out by means of devices for moving one or more optical members arranged between the shaping system 22, the detection system 24 and the part 1 to be examined. It is therefore not necessary to move the shaping system 22 or the detection system 24.
  • the beam 4 incident on the part 1 and the infrared beam emitted 5 are not necessarily parallel but may be inclined with respect to each other, as illustrated schematically in FIG. 10 by way of example.
  • the blade 32 serves as a protection filter for the detectors 10 of the matrix 8.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

The inventive photothermal test camera (16) is provided with a laser beam (4) shaping system (22) comprising a device (40) for extending the laser beam section in such a way that a heating area (2) extended in a direction (D) is formed on the surface of a testable piece (1), an array (8) of infrared sensors (10) for detecting a infrared radiation transmitted by a detection area (3) on the surface (1a) of the piece (1) with respect to the heating area (2) and a unit (46) for processing signals transmitted by the infrared sensors (10) in such a way that a thermographic image of the piece (1) surface (1a) is produced by scanning said surface (1a) with the aid of the heating area (2). An extending device (40) is embodied in the form of an optical device. Said invention can be used for non-distructive testing.

Description

Caméra d'examen photothermique à dispositif optique d'allongement de la section d'un faisceau laser. Photothermal examination camera with optical device for elongating the section of a laser beam.
La présente invention concerne une caméra d'examen photothermique du type comportant :The present invention relates to a photothermal examination camera of the type comprising:
- un système de mise en forme d'un faisceau laser comprenant un dispositif d'allongement de la section du faisceau pour former, sur une surface d'une pièce à examiner, une zone de chauffage allongée le long d'une direction,a laser beam shaping system comprising a beam section elongation device for forming, on a surface of a test piece, an elongate heating zone along a direction,
- une matrice de détecteurs infrarouges pour détecter un rayonnement infrarouge émis par une zone de détection sur la surface de la pièce par rapport à la zone de chauffage, etan array of infrared detectors for detecting infrared radiation emitted by a detection zone on the surface of the part relative to the heating zone, and
- une unité de traitement des signaux fournis par les détecteurs infrarouges pour construire une image thermographique de la surface de la pièce par balayage de la surface par la zone de chauffage. L'invention s'applique en particulier au contrôle non-destructif de pièces, pour détecter des défauts, des variations de nature ou de propriétés de leurs matériaux, des différences d'épaisseur de couches de revêtement, des variations locales de diffusivité ou de conductivité thermique à leurs surfaces ou sous leurs surfaces... Les pièces dont on réalise l'examen peuvent être métalliques et constituées de matériaux ferreux, par exemple des aciers alliés tels que des aciers inoxydables, ou encore de matériaux non-ferreux. Elles peuvent également être réalisées en matériaux composites, céramiques ou en matières plastiques.a signal processing unit provided by the infrared detectors for constructing a thermographic image of the surface of the part by scanning the surface by the heating zone. The invention is particularly applicable to the non-destructive testing of parts, to detect defects, variations in the nature or properties of their materials, differences in thickness of coating layers, local variations in diffusivity or conductivity The parts being examined can be metallic and made of ferrous materials, for example alloy steels such as stainless steels or non-ferrous materials. They can also be made of composite materials, ceramics or plastics.
L'examen photothermique est fondé sur le phénomène de diffusion d'une perturbation thermique produite par un échauffement local de la pièce à examiner.The photothermal examination is based on the phenomenon of diffusion of a thermal disturbance produced by a local heating of the part to be examined.
En pratique, on utilise une caméra d'examen photothermique émettant un faisceau laser qui est focalisé sur la surface de la pièce dont on réalise l'examen, dans une zone de chauffage. Le rayonnement infrarouge émis par la pièce dans une zone de détection voisine ou confondue avec la zone de chauffage permet de. mesurer ou d'évaluer l'élévation de température dans la zone de détection, due au chauffage dans la zone de chauffage. Le décalage entre la zone de chauffage et la zone de détection est généralement appelé « offset ». Cet offset peut être nul de sorte que la zone de détection et la zone de chauffage sont alors confondues.In practice, a photothermal examination camera emitting a laser beam is used, which is focused on the surface of the part being examined, in a heating zone. The infrared radiation emitted by the room in a detection zone close to or coincident with the heating zone makes it possible. measure or evaluate the temperature rise in the detection zone due to heating in the heating zone. The offset between the heating zone and the detection zone is generally called "offset". This offset can be zero so that the detection zone and the heating zone are then combined.
Le rayonnement infrarouge et donc l'élévation de température peut être mesuré sans contact en utilisant un détecteur tel qu'un détecteur infrarouge. Le rayonnement infrarouge ou l'élévation de température dans la zone de détection est influencé par les caractéristiques locales des matériaux inspectés. En particulier, la diffusion de la chaleur entre la zone de chauffage et la zone de détection qui est à l'origine de l'élévation de température dans la zone de dé- tection dépend des défauts de la pièce à examiner, tels que des fissures, au niveau de la zone de chauffage ou de la zone de détection ou au voisinage de ces deux zones...Infrared radiation and thus temperature rise can be measured without contact using a detector such as an infrared detector. Infrared radiation or temperature rise in the detection zone is influenced by the local characteristics of the materials being inspected. In particular, the diffusion of heat between the heating zone and the detection zone which is at the origin of the temperature rise in the detection zone depends on the defects of the part to be examined, such as cracks. , at the level of the heating zone or the detection zone or in the vicinity of these two zones ...
En balayant la surface de la pièce à examiner par la zone de chauffage et en détectant le rayonnement émis par la zone de détection, qui se dé- place avec la zone de chauffage lors du balayage, on peut ainsi obtenir une image thermographique de la surface de la pièce, cette image étant représentative des variations de diffusion de la chaleur dans la pièce ou encore des défauts présents à l'intérieur de la pièce.By scanning the surface of the part to be examined by the heating zone and detecting the radiation emitted by the detection zone, which moves with the heating zone during the scanning, it is thus possible to obtain a thermographic image of the surface. of the room, this image being representative of variations in the diffusion of heat in the room or defects present inside the room.
Auparavant, on utilisait une zone de chauffage ponctuelle et un détec- teur infrarouge unique pour capter le rayonnement émis par la zone de détection qui était également une zone ponctuelle. L'offset entre la zone de détection et la zone de chauffage devait donc être réglé très finement grâce à des dispositifs mécaniques. En outre, le balayage de la surface d'une pièce était très long de sorte qu'un tel procédé d'examen photothermique n'était en pratique pas utilisa- ble à l'échelle industrielle. Pour pallier ces inconvénients, FR-2 760 528 (US-Previously, a point heating zone and a single infrared detector were used to capture the radiation emitted by the detection zone, which was also a point zone. The offset between the detection zone and the heating zone had to be adjusted very finely thanks to mechanical devices. In addition, the scanning of the surface of a workpiece was very long so that such a photothermal examination method was in practice not usable on an industrial scale. To overcome these disadvantages, FR-2,760,528 (US Pat.
6419 387) a proposé une caméra du type précité.6419 387) proposed a camera of the aforementioned type.
La création d'une zone de chauffage allongée, plutôt que d'un point de chauffage, permet de réduire le temps de balayage. En outre, grâce à la matrice de détecteurs, il est possible de sélectionner une rangée de détecteurs à partir de laquelle on va construire une image thermographique de la pièce examinée. Ce réglage de l'offset par sélection des détecteurs dans la matrice permet de s'affranchir du réglage mécanique fin de l'état de la technique.Creating an elongated heating zone, rather than a heating point, reduces the sweep time. In addition, thanks to the array of detectors, it is possible to select a row of detectors from which a thermographic image of the examined part will be constructed. This setting of the offset by selection of the detectors in the matrix makes it possible to overcome the fine mechanical adjustment of the state of the art.
Dans cette caméra, la section du faisceau laser est allongée grâce à une fente traversée par le faisceau laser. Une telle caméra s'avère satisfaisante et utilisable industriellement.In this camera, the section of the laser beam is elongated by a slot through which the laser beam passes. Such a camera proves satisfactory and usable industrially.
Toutefois, il apparaît souhaitable de réduire encore le temps de balayage, tout en maintenant la fiabilité de l'examen qu'une caméra du type précité permet d'effectuer. A cet effet, l'invention a pour objet une caméra d'examen photothermique du type précité, caractérisée en ce que le dispositif d'allongement est un dispositif optique.However, it seems desirable to further reduce the scanning time, while maintaining the reliability of the examination that a camera of the aforementioned type can perform. For this purpose, the subject of the invention is a photothermal examination camera of the aforementioned type, characterized in that the elongation device is an optical device.
Selon des modes particuliers de réalisation, la caméra peut comprendre l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles :According to particular embodiments, the camera may comprise one or more of the following characteristics, taken separately or in any technically possible combination:
- le dispositif optique comprend une lentille destinée à être traversée par le faisceau laser ;the optical device comprises a lens intended to be traversed by the laser beam;
- le dispositif optique comprend un miroir destiné à réfléchir le faisceau laser ; - le système de mise en forme comprend un dispositif d'homogénéisation de la puissance du faisceau laser le long de la zone de chauffage ;the optical device comprises a mirror intended to reflect the laser beam; the shaping system comprises a device for homogenizing the power of the laser beam along the heating zone;
- le dispositif d'homogénéisation de la puissance est formé par le dispositif d'allongement de la section du faisceau laser ; - une face de la lentille a un profil adapté pour homogénéiser la puissance du faisceau laser le long de la zone de chauffage ;the device for homogenizing the power is formed by the device for lengthening the section of the laser beam; - A face of the lens has a profile adapted to homogenize the power of the laser beam along the heating zone;
- une face réfléchissante du miroir a un profil adapté pour homogénéiser la puissance du rayonnement laser le long de la zone de chauffage ;a reflecting face of the mirror has a profile adapted to homogenize the power of the laser radiation along the heating zone;
- le dispositif d'homogénéisation est un dispositif de formation de la Ii- gne par mise en mouvement du faisceau laser perpendiculairement à sa direction de propagation ;the homogenization device is a device for forming the electrode by setting the laser beam in motion perpendicularly to its direction of propagation;
- le dispositif comprend une cellule acousto-optique ;the device comprises an acousto-optical cell;
- le dispositif d'homogénéisation comprend un miroir oscillant ;the homogenization device comprises an oscillating mirror;
- le dispositif d'homogénéisation comprend un faisceau de fibres opti- ques dont les extrémités amont reçoivent le faisceau laser et dont les extrémités aval sont disposées le long d'une ligne pour créer la zone de chauffage allongée ;the homogenizing device comprises a bundle of optical fibers whose upstream ends receive the laser beam and whose downstream ends are arranged along a line to create the elongated heating zone;
- la caméra comprend un système de réglage mécanique d'un décalage entre la zone de chauffage allongée et la zone de détection ; - la caméra comprend un coffre, et le système de réglage mécanique comprend un dispositif de déplacement de la matrice de détecteurs infrarouges par rapport au coffre ;the camera comprises a system for mechanically adjusting an offset between the elongated heating zone and the detection zone; the camera comprises a trunk, and the mechanical adjustment system comprises a device for moving the matrix of infrared detectors relative to the trunk;
- la caméra comprend un coffre, et le système de réglage mécanique comprend un dispositif de déplacement du système de mise en forme par rapport au coffre ;the camera comprises a trunk, and the mechanical adjustment system comprises a device for moving the shaping system relative to the trunk;
- le dispositif de déplacement comprend un moteur linéaire.the displacement device comprises a linear motor.
- le dispositif de déplacement comprend un actionneur piézoélectrique linéaire ; - le dispositif de déplacement comprend un moteur rotatif et un mécanisme de transformation d'un mouvement rotatif en un mouvement de translation ;the displacement device comprises a linear piezoelectric actuator; the displacement device comprises a rotary motor and a mechanism for transforming a rotary movement into a translational movement;
- la caméra comprend une lame filtre pour réfléchir le faisceau laser et transmettre le rayonnement infrarouge rayonné par la zone de détection vers la matrice de détecteurs infrarouges ;the camera comprises a filter blade for reflecting the laser beam and transmitting the infrared radiation radiated by the detection zone towards the matrix of infrared detectors;
- la lame comprend au moins un matériau choisi parmi la liste constituée par CaF2, MgF2, AI2O3, BaF2, Ge, ZnSe, ZnS FLIR, ZnS multispectral, MgO, et SrF2 ;- the blade comprises at least one material selected from the list consisting of CaF 2, MgF 2, Al 2 O 3, BaF 2, Ge, ZnSe, ZnS FLIR multispectral ZnS, MgO, and SrF 2;
- la caméra comprend un système de balayage de la surface de la pièce par la zone de chauffage ;the camera comprises a system for scanning the surface of the room by the heating zone;
- l'unité de traitement est apte à régler un décalage entre la zone de chauffage et la zone de détection par sélection d'une rangée de détecteurs infrarouges dans la matrice de détection ;the processing unit is able to adjust an offset between the heating zone and the detection zone by selecting a row of infrared detectors in the detection matrix;
- l'unité de traitement est apte à traiter indépendamment les signaux fournis par chacun des détecteurs infrarouges de la matrice ;the processing unit is able to independently process the signals supplied by each of the infrared detectors of the matrix;
- la caméra comprend une source laser ; etthe camera comprises a laser source; and
- la caméra comprend des moyens de raccordement à une source Ia- ser qui n'appartient pas à la caméra.the camera comprises connection means to a camera source which does not belong to the camera.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite en se référant aux dessins annexés, sur lesquels :The invention will be better understood on reading the description which follows, given solely by way of example, and with reference to the appended drawings, in which:
- la figure 1 est une vue schématique en perspective illustrant les principes de l'examen photothermique, - la figure 2 est un schéma illustrant un procédé d'examen photothermique mis en œuvre par une caméra selon l'invention,FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating the principles of photothermal examination, FIG. 2 is a diagram illustrating a photothermal examination method implemented by a camera according to the invention,
- la figure 3 est une vue schématique illustrant une caméra d'examen photothermique selon un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 4A est une section schématique illustrant, pour la caméra de la figure 3, le dispositif d'allongement de la section du faisceau laser,FIG. 3 is a schematic view illustrating a photothermal examination camera according to a first embodiment of the invention; FIG. 4A is a schematic section illustrating, for the camera of FIG. 3, the lengthening device of FIG. the section of the laser beam,
- les figures 4B, 5A, 5B et 6 sont des vues analogues à la figure 4A illustrant des variantes du dispositif de la figure 4A,FIGS. 4B, 5A, 5B and 6 are views similar to FIG. 4A illustrating variants of the device of FIG. 4A,
- les figures 7 et 8 sont des figures schématiques illustrant encore deux autres variantes du dispositif de la figure 4A, etFIGS. 7 and 8 are diagrammatic figures illustrating two other variants of the device of FIG. 4A, and
- les figures 9 et 10 sont des vues schématiques illustrant deux autres modes de réalisation d'une caméra selon l'invention.- Figures 9 and 10 are schematic views illustrating two other embodiments of a camera according to the invention.
Afin de rappeler les principes de l'examen photothermique, on a représenté sur la figure 1 une pièce 1 à examiner. Pour l'examiner, on effectue un ba~ layage de sa surface supérieure 1a, en déplaçant une zone de chauffage 2 et une zone de détection 3 de manière synchrone, sur la surface 1a. La zone de chauffage 2 et la zone de détection 3 sont décalées l'une par rapport à l'autre et séparées par une distance d appelée offset. Dans certains cas de mise en oeuvre, l'offset d est nul et les zones 2 et 3 sont confondues. La zone 2 est chauffée par un faisceau laser incident, matérialisé par la flèche 4. On détecte le rayonnement infrarouge émis par la zone de détection 3. Ce rayonnement est matérialisé par la flèche 5 sur la figure 1. Le déplacement des zones 2 et 3 est matérialisé par la flèche 6.In order to recall the principles of photothermal examination, FIG. 1 shows a part 1 to be examined. In order to examine it, the upper surface 1a thereof is moved by moving a heating zone 2 and a detection zone 3 synchronously on the surface 1a. The heating zone 2 and the detection zone 3 are offset relative to one another and separated by a distance d called offset. In some cases of implementation, the offset d is zero and zones 2 and 3 are merged. Zone 2 is heated by an incident laser beam, indicated by the arrow 4. The infrared radiation emitted by the detection zone 3 is detected. This radiation is indicated by the arrow 5 in FIG. 1. The displacement of zones 2 and 3 is shown by the arrow 6.
Le déplacement 6 est parallèle ou non à l'offset d entre la zone de chauffage 2 et la zone de détection 3. Le balayage est par exemple réalisé ligne par ligne, le sens du déplacement étant inversé pour chacune des lignes successives (configuration « créneau ») ou identique (configuration « peigne »).The displacement 6 is parallel or not to the offset d between the heating zone 2 and the detection zone 3. The scanning is for example carried out line by line, the direction of movement being reversed for each of the successive lines ("slot" configuration ") Or the same (" comb "configuration).
Sur la figure 1 , la zone de chauffage 2 est située en avant de la zone de détection 3 par rapport au sens du déplacement 6. Toutefois, tout autre posi- tion relative est possible, comme décrit dans le document FR-2 760 528 (US- 6 419 387) dont le contenu est incorporé ici par référence.In FIG. 1, the heating zone 2 is situated in front of the detection zone 3 with respect to the direction of movement 6. However, any other relative position is possible, as described in the document FR-2,760,528 ( US 6,419,387) the contents of which are incorporated herein by reference.
La figure 2 illustre un procédé d'examen photothermique dans lequel la zone de chauffage 2 est une zone allongée le long d'une direction D. Plus pré- cisément, la zone 2 a une forme de ligne mais, en variante, elle peut avoir une autre forme, telle qu'une ellipse ...FIG. 2 illustrates a photothermal examination method in which the heating zone 2 is an elongated zone along a direction D. More Zone 2 has a line shape but, alternatively, it can have another shape, such as an ellipse ...
La zone de détection 3 a une forme analogue à celle de la zone 2. On notera que sur l'exemple de la figure 2 elle est située en avant de la zone de chauffage 2 par rapport au sens du déplacement 6.The detection zone 3 has a shape similar to that of the zone 2. It will be noted that in the example of FIG. 2 it is situated in front of the heating zone 2 with respect to the direction of displacement 6.
L'utilisation d'une zone de chauffage 2 allongée permet de réduire le temps nécessaire pour balayer la surface 1a, comme décrit dans le document FR-2 760 528 (US-6 419 387). Cette caractéristique est également présente dans l'invention. Pour détecter le rayonnement émis 5, on utilise une matrice 8 de détecteurs infrarouges 10. La matrice 8 comprend généralement M lignes et N colonnes. Les nombres M et N peuvent varier indépendamment l'un de l'autre et peuvent être, par exemple, compris entre 1 et plusieurs centaines, voire plus.The use of an elongated heating zone 2 makes it possible to reduce the time required to scan the surface 1a, as described in document FR-2,760,528 (US-6,419,387). This characteristic is also present in the invention. To detect the emitted radiation 5, a matrix 8 of infrared detectors 10 is used. The matrix 8 generally comprises M rows and N columns. The numbers M and N may vary independently of each other and may be, for example, between 1 and several hundred or more.
Comme dans FR-2 760 528 (US-6 419 387), on sélectionne une ran- gée 12 de détecteurs 10 au sein de la matrice 8 pour effectuer l'examen. On a représenté sur la figure 2 la trace 14 du rayonnement 5 émis par la zone de détection 3 sur la matrice 8 de détecteurs 10. Comme on le voit, la rangée 12 sélectionnée comprend en réalité les détecteurs 10 illuminés par le rayonnement infrarouge émis par la zone de détection 3. Dans l'invention, et comme dans FR-2 760 528 (US-6 419 387), on peut, en sélectionnant une rangée 12 adéquate de détecteurs 10, régler l'offset d entre la zone de chauffage 2 et la zone de détection 3.As in FR-2,760,528 (US Pat. No. 6,419,387), a row 12 of detectors 10 is selected within the matrix 8 to perform the examination. FIG. 2 shows the trace 14 of the radiation 5 emitted by the detection zone 3 on the matrix 8 of detectors 10. As can be seen, the row 12 selected actually comprises the detectors 10 illuminated by the infrared radiation emitted by In the invention, and as in FR-2,760,528 (US Pat. No. 6,419,387), it is possible, by selecting an appropriate row 12 of detectors 10, to adjust the offset d between the heating zone. 2 and the detection zone 3.
En pratique, l'émission du faisceau laser incident 4 et la détection du rayonnement 5 sont assurés de préférence par une même caméra. La figure 3 illustre une caméra d'examen photothermique 16 selon l'invention.In practice, the emission of the incident laser beam 4 and the detection of the radiation 5 are preferably provided by the same camera. FIG. 3 illustrates a photothermal examination camera 16 according to the invention.
Cette caméra 16 comprend principalement :This camera 16 mainly comprises:
- un coffre 18 muni d'une fenêtre transparente 20 ,a chest 18 provided with a transparent window 20,
- un système 22 de mise en forme du faisceau laser 4, - un système 24 de détection du rayonnement 5, eta system 22 for shaping the laser beam 4, a system 24 for detecting the radiation 5, and
- deux miroirs 26 et 28, un obturateur 30 et une lame filtre 32, ces éléments étant interposés dans le coffre 18 entre la fenêtre 20, le système de mise en forme 22, et le système 24 de détection pour envoyer le faisceau laser 4 mis en forme vers la pièce 1 et envoyer le rayonnement 5 vers le système de détection 24 comme on le verra par la suite plus en détail.two mirrors 26 and 28, a shutter 30 and a filter blade 32, these elements being interposed in the trunk 18 between the window 20, the shaping system 22, and the detection system 24 for sending the laser beam 4 shaped to the part 1 and send the radiation 5 to the detection system 24 as will be seen later in more detail.
Le système de mise en forme 22 est raccordé à une source laser 34, par l'intermédiaire d'une fibre optique 36. Le système de mise en forme 22 com- prend un collimateur 38 et un dispositif 40 d'allongement de la section du faisceau laser 4 émis par la source 34.The shaping system 22 is connected to a laser source 34 via an optical fiber 36. The shaping system 22 comprises a collimator 38 and a device 40 for extending the section of the laser. laser beam 4 emitted by the source 34.
La section du faisceau 4 est donc allongée perpendiculairement à sa direction de propagation, afin de former la zone de chauffage 2 allongée.The section of the beam 4 is elongated perpendicular to its direction of propagation, to form the elongate heating zone 2.
Comme illustré par la figure 4A, le dispositif d'allongement 40 com- prend une lentille 42, traversée par le faisceau 4. Cette lentille 42 est une lentille cylindrique divergente.As illustrated in FIG. 4A, the elongation device 40 comprises a lens 42, through which the beam 4 passes. This lens 42 is a divergent cylindrical lens.
Cette lentille 42 assure une divergence du faisceau 4 dans la direction selon laquelle l'allongement doit être produit. Cette direction est perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau 4, comme matérialisé par les flèches 4a à 4c de la figure 4A qui illustrent des lignes de propagation du faisceau 4 à la sortie de la lentille 42.This lens 42 ensures a divergence of the beam 4 in the direction in which the elongation is to be produced. This direction is perpendicular to the direction of propagation of the beam 4, as shown by the arrows 4a to 4c of FIG. 4A, which illustrate lines of propagation of the beam 4 at the exit of the lens 42.
Le plan de la figure 4A contient la direction d'allongement et la direction de propagation du faisceau 4. Le plan de la figure 4A est perpendiculaire au plan de la figure 3. La face amont 43 et la face aval 44 de la lentille 42 ont des sections dans le plan de la figure 4A sensiblement en arcs de cercle. On notera que la lentille 42 ne produit pas d'allongement de la section du faisceau, et n'est donc pas divergente, dans le plan de la figure 3.The plane of FIG. 4A contains the elongation direction and the direction of propagation of the beam 4. The plane of FIG. 4A is perpendicular to the plane of FIG. 3. The upstream face 43 and the downstream face 44 of the lens 42 have sections in the plane of Figure 4A substantially in circular arcs. It will be noted that the lens 42 does not produce an elongation of the section of the beam, and is therefore not divergent, in the plane of FIG.
Le système de détection 24 comprend la matrice 8 de détecteurs 10 ainsi qu'une unité 46 de traitement des signaux émis par les détecteurs 10 de la matrice 8. Cette unité 46 est apte à traiter indépendamment les signaux émis par chacun des détecteurs 10, ce qui permet notamment de sélectionner la rangéeThe detection system 24 comprises the matrix 8 of detectors 10 as well as a unit 46 for processing the signals emitted by the detectors 10 of the matrix 8. This unit 46 is capable of independently processing the signals emitted by each of the detectors 10, this which allows in particular to select the row
12 de détecteurs 10 afin de régler l'offset.12 detectors 10 to adjust the offset.
Plus généralement, l'unité 46 pilote le fonctionnement de l'ensemble de la caméra 16.More generally, the unit 46 controls the operation of the entire camera 16.
De manière classique, des organes optiques non-représentés peuvent être disposés dans le système 24, en amont de la matrice 8 par rapport au sens de propagation du rayonnement 5, afin d'assurer un fonctionnement satisfaisant de la matrice 8. L'unité 46 est apte à construire une image thermographique de la surface 1a de la pièce 1 par traitement des signaux reçus des détecteurs 10 de la rangée 12 sélectionnée. L'unité 46 peut être reliée par exemple à des moyens 48 d'affichage de l'image thermographique et à des moyens 50 de stockage afin de stocker les données issues du traitement. Dans l'exemple représenté, les moyens 48 et 50 sont éloignés de la caméra 16, mais ils peuvent en variante appartenir à cette dernière.Conventionally, unrepresented optical elements may be arranged in the system 24, upstream of the matrix 8 with respect to the direction of propagation of the radiation 5, in order to ensure satisfactory operation of the matrix 8. The unit 46 is able to construct a thermographic image of the surface 1a of the part 1 by processing the signals received from the detectors 10 of the selected row 12. The unit 46 may be connected, for example, to means 48 for displaying the thermographic image and to storage means 50 for storing the data resulting from the processing. In the example shown, the means 48 and 50 are remote from the camera 16, but they may alternatively belong to the latter.
La lame 32 est une lame semi-réfléchissante pour permettre de réfléchir le faisceau laser 4 tout en laissant passer le rayonnement 5. Plus précisément, la lame 32 permet :The blade 32 is a semi-reflecting plate to allow the laser beam 4 to be reflected while allowing the radiation to pass through. More precisely, the blade 32 makes it possible:
- de laisser passer le rayonnement 5 par l'emploi d'un substrat présentant une transmission maximale du flux infrarouge dans la bande spectrale correspondant aux températures à laquelle la caméra 16 amène localement la pièce inspectée 1 , et - de réfléchir le faisceau laser 4 par le truchement d'un filtre interfé- rentiel (constitué d'un empilement de couches d'indices optique différents et déposées à la surface du substrat) permettant de maximiser la réflectivité de la lame à la longueur d'onde et à l'angle d'incidence du faisceau 4.to let the radiation pass through the use of a substrate having a maximum transmission of the infrared flux in the spectral band corresponding to the temperatures at which the camera 16 locally brings the inspected part 1, and to reflect the laser beam 4 by by means of an interferential filter (consisting of a stack of layers of different optical indices and deposited on the surface of the substrate) making it possible to maximize the reflectivity of the plate at the wavelength and at the angle d incidence of beam 4.
Pour former le substrat de la lame 32, on peut utiliser l'un ou plusieurs des matériaux suivants :To form the substrate of the blade 32, one or more of the following materials may be used:
CaF2 (Fluorure de Calcium), MgF2 (Fluorure de Magnésium), AI2O3 (Saphire), BaF2 (Fluorure de Baryum), Ge (Germanium),CaF 2 (calcium fluoride), MgF 2 (magnesium fluoride), Al 2 O 3 (Saphire), BaF 2 (barium fluoride), Ge (Germanium),
ZnSe (Séléniure de zinc),ZnSe (zinc selenide),
ZnS - FLIR (Sulphure de zinc - Forward Looking Infra Red), ZnS multispectral (Sulphure de zinc), MgO (Oxyde de Magnésium), et SrF2 (Fluorure de strontium).ZnS - FLIR (Forward Looking Infra Red), ZnS Multispectral (Zinc Sulphide), MgO (Magnesium Oxide), and SrF 2 (Strontium Fluoride).
La caméra 16 comprend un dispositif 52 de déplacement du système de détection 24 par rapport au coffre 18. Ce système de déplacement 52 permet de déplacer le système 24 et donc la matrice 8 de détecteurs 10 perpendiculairement au rayonnement 5 en amont de la matrice 8. Pour cela, le dispositif de déplacement 52 peut comprendre par exemple un actionneur piézoélectrique linéaire, un moteur linéaire ou un moteur rotatif associé à un mécanisme vis/écrou pour permettre d'assurer un déplacement latéral fin du système de détection 24 perpendiculairement au faisceau 5 dans le plan de la figure 3. D'autres mécanis- mes de transformation d'un mouvement de rotation en mouvement de translation peuvent être envisagés.The camera 16 comprises a device 52 for moving the detection system 24 with respect to the trunk 18. This displacement system 52 makes it possible to move the system 24 and therefore the matrix 8 of detectors 10 perpendicular to the radiation 5 upstream of the matrix 8. For this purpose, the device displacement 52 may comprise, for example, a linear piezoelectric actuator, a linear motor or a rotary motor associated with a screw / nut mechanism in order to allow a fine lateral displacement of the detection system 24 perpendicular to the beam 5 in the plane of FIG. 3 Other mechanisms for transforming a rotational movement into translational motion can be envisaged.
De même, la caméra 16 comprend également un dispositif 54 de déplacement du système de mise en forme 22. Ce dispositif 54 a par exemple une structure analogue à celle du dispositif 52 et permet de déplacer le système de mise en forme 22 perpendiculairement à la direction de propagation du faisceau 4 en sortie du système de mise en forme 22.Similarly, the camera 16 also comprises a device 54 for moving the shaping system 22. This device 54 has for example a structure similar to that of the device 52 and makes it possible to move the shaping system 22 perpendicular to the direction propagation of the beam 4 at the output of the shaping system 22.
La caméra 16 comprend également un dispositif 55 permettant de déplacer le miroir 28 afin d'assurer le balayage de la surface 1a par la zone de chauffage 2 et la zone de détection 3. Ce dispositif de déplacement 55 comprend par exemple deux galvanomètres ou deux moteurs permettant de balayer de la surface 1 a suivant deux directions perpendiculaires.The camera 16 also comprises a device 55 making it possible to move the mirror 28 in order to ensure that the surface 1a is scanned by the heating zone 2 and the detection zone 3. This displacement device 55 comprises, for example, two galvanometers or two motors. to sweep the surface 1a in two perpendicular directions.
Dans la caméra 16, le miroir 26 renvoie le faisceau laser 4 allongé par le dispositif 40 sur l'obturateur 30.In the camera 16, the mirror 26 returns the laser beam 4 elongated by the device 40 on the shutter 30.
Lorsque l'obturateur 30 est ouvert, il laisse passer le faisceau 4 qui est réfléchi par la lame 32 vers le miroir 28 qui réfléchit lui-même le faisceau 4 vers la surface 1a au travers de la fenêtre 20.When the shutter 30 is open, it allows the beam 4 which is reflected by the plate 32 to pass to the mirror 28 which itself reflects the beam 4 towards the surface 1a through the window 20.
Le rayonnement 5 traverse la fenêtre 20, est renvoyé par le miroir 28 vers la lame 32 qu'il traverse pour atteindre le système de détection 24 et illuminer la matrice 8 de détecteurs 10. L'unité 46 peut alors construire au fur et à mesure du balayage une image thermographique de la surface 1a, cette image étant affichée par les moyens 48 d'affichage.The radiation 5 passes through the window 20, is returned by the mirror 28 to the blade 32 it passes through to reach the detection system 24 and illuminate the matrix 8 of detectors 10. The unit 46 can then build as and when scanning a thermographic image of the surface 1a, this image being displayed by the display means 48.
Grâce à l'utilisation d'un dispositif 40 qui est de nature optique, la déperdition de la puissance du faisceau laser est plus faible que dans FR-2 760 528 (US-6 419 387) où une fente était utilisée pour allonger la section. Cela permet de réduire le temps de balayage de la surface 1 et d'utiliser plus efficacement la puissance du faisceau laser 4.Due to the use of a device 40 which is optical in nature, the power loss of the laser beam is lower than in FR-2,760,528 (US-6,419,387) where a slot was used to lengthen the section. . This makes it possible to reduce the scanning time of the surface 1 and to use the power of the laser beam 4 more efficiently.
Le choix de l'un ou de plusieurs des matériaux précités pour constituer la lame 32 permet d'assurer une meilleure tenue dans le temps de la lame 32. Cela contribue à améliorer la fiabilité de l'examen réalisé par la caméra 16.The choice of one or more of the abovementioned materials to form the blade 32 makes it possible to ensure better retention of the blade 32 over time. This helps to improve the reliability of the examination performed by the camera 16.
Les dispositifs de déplacement 52 et 54 permettent un réglage mécanique fin de l'offset d entre la zone de chauffage 2 et la zone de détection 3. On rappelle qu'il peut être souhaitable de conduire des examens à offset d nul.The displacement devices 52 and 54 allow a fine mechanical adjustment of the offset d between the heating zone 2 and the detection zone 3. It is recalled that it may be desirable to conduct zero offset examinations.
Ce réglage fin, qui peut être commandé par l'unité de traitement 46 ou manuellement, vient s'ajouter à la possibilité de réglage offerte par le choix de la rangée 12 utilisée. Cette seconde possibilité de réglage mécanique de l'offset permet, dans les cas où la trace 14 de la zone de détection 3 serait proche ou mordrait sur la frontière de la rangée 12 de détecteurs sélectionnée, de replacer cette trace 14 au centre de la rangée 12 choisie.This fine adjustment, which can be controlled by the processing unit 46 or manually, is in addition to the possibility of adjustment offered by the choice of the row 12 used. This second possibility of mechanical adjustment of the offset makes it possible, in cases where the trace 14 of the detection zone 3 is close to or bites on the boundary of the row 12 of detectors selected, to replace this trace 14 in the center of the row. 12 chosen.
Ce troisième aspect de l'invention, permet d'augmenter la qualité de l'image thermographique formée et donc d'accroître la précision et la fiabilité de l'examen réalisé grâce à la caméra 16. On observera que chacun de ces trois aspects à savoir l'utilisation d'un dispositif 40 optique, la nature de la lame 32, et le réglage mécanique de l'offset peut être utilisé indépendamment des autres.This third aspect of the invention makes it possible to increase the quality of the thermographic image formed and thus to increase the accuracy and reliability of the examination carried out by means of the camera 16. It will be observed that each of these three aspects the use of an optical device 40, the nature of the blade 32, and the mechanical adjustment of the offset can be used independently of the others.
Concernant le premier aspect, le dispositif d'allongement de la section 40 peut avoir une structure différente de celle décrite précédemment tout en res- tant un dispositif optique et non physique comme dans l'état de la technique.Regarding the first aspect, the elongation device of the section 40 may have a different structure from that described above while remaining an optical and non-physical device as in the state of the art.
Il peut par exemple comprendre plusieurs lentilles, notamment cylindriques.It may for example include several lenses, in particular cylindrical.
Par lentille cylindrique, on entend toute lentille présentant une vergence différente dans les deux axes perpendiculaires à la direction de propaga- tion du faisceau laser 4, de façon à obtenir un faisceau dont la section transverse sera plus importante le long d'un axe que le long de l'autre.By cylindrical lens is meant any lens having a different vergence in the two axes perpendicular to the direction of propagation of the laser beam 4, so as to obtain a beam whose cross section will be greater along an axis than the along the other.
Plutôt que de présenter des faces 43 et 44 de sections en arcs de cercle, une de ces lentilles ou la lentille 42 utilisée peut présenter une face 44 ou plusieurs faces de profil(s) adapté(s) pour homogénéiser la puissance. Cela est illustré par la figure 5A où la face aval 44 de la lentille 42 présente une section différente d'un arc de cercle, cette section ayant un profil adapté pour accroître l'homogénéité de la puissance du faisceau laser 4 sur la longueur de sa section. Le dispositif d'allongement 40 remplit alors deux fonctions, à savoir celle d'allonger la section du faisceau laser 4 et celle d'homogénéiser la puissance du faisceau 4 sur cette longueur.Rather than presenting faces 43 and 44 of circular arc sections, one of these lenses or the lens 42 used may have a face 44 or more profile faces (s) adapted (s) to homogenize the power. This is illustrated by FIG. 5A where the downstream face 44 of the lens 42 has a different section of an arc of a circle, this section having a profile adapted to increase the homogeneity of the power of the laser beam 4 over the length of its section. The elongation device 40 then performs two functions, namely that of elongating the section of the laser beam 4 and that of homogenizing the power of the beam 4 over this length.
La répartition de puissance le long de la direction D de la zone de chauffage 2 étant relativement homogène grâce au dispositif d'allongement 40, l'image formée est nette et l'examen photothermique exécuté grâce à la caméra 16 est fiable.The power distribution along the direction D of the heating zone 2 is relatively homogeneous thanks to the elongation device 40, the image formed is clear and the photothermal examination performed by the camera 16 is reliable.
A la place d'une ou de plusieurs lentilles 42, le dispositif 40 peut comprendre un ou plusieurs miroirs qui assurent par réflexion les fonctions d'allongement de la section et éventuellement d'homogénéisation de la puissance. Le dispositif 40 peut alors comprendre un miroir 56 dont une face 58 réfléchissant le faisceau 4 présente une section en arc de cercle ou une section de profil adaptée pour homogénéiser la puissance.Instead of one or more lenses 42, the device 40 may comprise one or more mirrors which provide, by reflection, the elongation functions of the section and optionally the homogenization of the power. The device 40 may then comprise a mirror 56, a face 58 reflecting the beam 4 has a circular arc section or profile section adapted to homogenize the power.
De tels miroirs 56 et leurs faces réfléchissantes 58 sont respective- ment représentés sur les figures 4B et 5B.Such mirrors 56 and their reflecting faces 58 are respectively shown in FIGS. 4B and 5B.
On observera que dans les exemples précédents, l'allongement de la section du faisceau laser est effectué en augmentant cette section le long d'une dimension. En variante, cet allongement peut être amené en réduisant la largeur de la section du faisceau. De même, en fonction du dispositif 40 utilisé, on peut supprimer le collimateur 38.It will be observed that in the preceding examples, the elongation of the section of the laser beam is carried out by increasing this section along one dimension. Alternatively, this elongation can be made by reducing the width of the section of the beam. Similarly, depending on the device 40 used, the collimator 38 can be omitted.
Le dispositif 40 peut également, en variante, assurer les fonctions d'allongement de la section et éventuellement d'homogénéisation de la puissance en mettant en mouvement le faisceau laser 4. Dans ce cas, le dispositif optique 40 peut comprendre par exemple une cellule acousto-optique 60. Comme illustré par la figure 6, cette cellule accousto-optique 60 allonge la section du faisceau 4 en assurant un déplacement de ce dernier le long de la direction où sa section doit être allongée. Ce déplacement est matérialisé par la double flèche 62 sur la figure 6. En variante, et comme illustré par la figure 7, la mise en mouvement du faisceau laser 4 peut être assurée par un miroir oscillant 64.The device 40 may also, alternatively, provide the functions of elongation of the section and possibly homogenization of the power by setting the laser beam 4 in motion. In this case, the optical device 40 may comprise, for example, an acoustic cell. -optique 60. As shown in Figure 6, this accousto-optical cell 60 extends the beam section 4 by ensuring a displacement of the latter along the direction where its section must be extended. This displacement is materialized by the double arrow 62 in FIG. 6. Alternatively, and as illustrated in FIG. 7, the movement of the laser beam 4 can be provided by an oscillating mirror 64.
La figure 8 illustre encore une autre variante. Le dispositif optique 40 comprend alors un faisceau 66 de fibres optiques 68 dont les extrémités amont reçoivent le faisceau laser 4 et dont les extrémités aval 72 sont alignées de sorte qu'elles produisent en sortie un faisceau laser 4 de section allongée.Figure 8 illustrates yet another variant. The optical device 40 then comprises a bundle 66 of optical fibers 68 whose upstream ends receive the laser beam 4 and whose downstream ends 72 are aligned so that they output a laser beam 4 of elongate section.
D'autres variantes sont encore envisageables. En particulier, les fonctions d'allongement de la section d'une part, et d'homogénéisation de la puis- sance d'autre part, peuvent être assurées par deux dispositifs distincts.Other variants are still possible. In particular, the elongation functions of the section on the one hand, and power homogenization on the other hand, can be provided by two separate devices.
Pour ce qui concerne le réglage mécanique de l'offset, il n'est pas nécessaire que la caméra 16 possède à la fois un dispositif 52 de déplacement du système 24 de détection et un dispositif 54 de déplacement du système de mise en forme 22. Elle peut en effet ne comprendre qu'un seul de ces dispositifs.With regard to the mechanical adjustment of the offset, it is not necessary for the camera 16 to have both a device 52 for moving the detection system 24 and a device 54 for moving the shaping system 22. It can indeed include only one of these devices.
Cela est illustré par la figure 9 où la caméra 16 comprend uniquement un dispositif 52 de déplacement du système de mise en forme 24.This is illustrated in FIG. 9 where the camera 16 comprises only a device 52 for moving the shaping system 24.
La structure de la caméra 16 est encore simplifiée en ce que la source laser 34 a été intégrée à la caméra 16 et en ce que les miroirs 26 et 28 ont été supprimés.The structure of the camera 16 is further simplified in that the laser source 34 has been integrated into the camera 16 and in that the mirrors 26 and 28 have been removed.
En outre, la caméra 16 de la figure 9 ne comprend pas de dispositif intégré 55 de déplacement permettant d'assurer le balayage de la surface 1a.In addition, the camera 16 of Figure 9 does not include an integrated device 55 for moving to ensure the scanning of the surface 1a.
Ce balayage est alors assuré par un dispositif de déplacement de la pièce 1 ou par un dispositif de déplacement de la caméra 16 situé à l'extérieur de cette dernière.This scanning is then provided by a device for moving the workpiece 1 or by a device for moving the camera 16 located outside of the latter.
Plus généralement, le réglage mécanique de l'offset d utilisé en plus du réglage logiciel par sélection de la rangée 12 peut être effectué grâce à des dispositifs de déplacement d'un ou plusieurs des organes optiques disposés entre le système de mise en forme 22, le système de détection 24 et la pièce 1 à examiner. Il n'est donc pas indispensable de déplacer le système de mise en forme 22 ou le système 24 de détection.More generally, the mechanical adjustment of the offset d used in addition to the software adjustment by selection of the row 12 can be carried out by means of devices for moving one or more optical members arranged between the shaping system 22, the detection system 24 and the part 1 to be examined. It is therefore not necessary to move the shaping system 22 or the detection system 24.
D'autres modes de réalisation sont encore envisageables.Other embodiments are still conceivable.
En particulier, le faisceau 4 incident sur la pièce 1 et le faisceau infrarouge 5 émis ne sont pas forcément parallèles mais peuvent être inclinés l'un par rapport à l'autre, comme illustré schématiquement par la figure 10 à titre d'exemple.In particular, the beam 4 incident on the part 1 and the infrared beam emitted 5 are not necessarily parallel but may be inclined with respect to each other, as illustrated schematically in FIG. 10 by way of example.
Sur la figure 10, la lame 32 sert de filtre de protections des détecteurs 10 de la matrice 8.In FIG. 10, the blade 32 serves as a protection filter for the detectors 10 of the matrix 8.
De même, il n'est pas indispensable d'utiliser une lame filtre. Similarly, it is not essential to use a filter blade.

Claims

REVENDICATIONS
1. Caméra (16) d'examen photothermique, du type comportant :A photothermal examination camera (16), of the type comprising:
- un système (22) de mise en forme d'un faisceau laser (4) comprenant un dispositif (40) d'allongement de la section du faisceau pour former, sur une surface d'une pièce (1) à examiner, une zone de chauffage (2) allongée le long d'une direction (D),a system (22) for shaping a laser beam (4) comprising a device (40) for elongating the section of the beam to form, on a surface of a part (1) to be examined, a zone heater (2) elongated along a direction (D),
- une matrice (8) de détecteurs infrarouges (10) pour détecter un rayonnement infrarouge émis par une zone de détection (3) sur la surface (1a) de la pièce (1), et - une unité (46) de traitement des signaux fournis par les détecteurs infrarouges (10) pour construire une image thermographique de la surface (1 a) de la pièce (1) par balayage de la surface (1 a) par la zone de chauffage (2), caractérisée en ce que le dispositif d'allongement (40) est un dispositif optique. a matrix (8) of infrared detectors (10) for detecting infrared radiation emitted by a detection zone (3) on the surface (1a) of the part (1), and - a unit (46) for signal processing provided by the infrared detectors (10) for constructing a thermographic image of the surface (1 a) of the workpiece (1) by scanning the surface (1 a) by the heating zone (2), characterized in that the device extender (40) is an optical device.
2. Caméra selon la revendication 1 , caractérisée en ce que le dispositif optique (40) comprend une lentille (42) destinée à être traversée par le faisceau laser (4).2. Camera according to claim 1, characterized in that the optical device (40) comprises a lens (42) to be traversed by the laser beam (4).
3. Caméra selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que le dispositif optique (40) comprend un miroir (56) destiné à réfléchir le faisceau laser (4).Camera according to claim 1 or 2, characterized in that the optical device (40) comprises a mirror (56) for reflecting the laser beam (4).
4. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le système de mise en forme (22) comprend un dispositif (40) d'homogénéisation de la puissance du faisceau laser (4) le long de la zone de chauffage (2). 4. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that the forming system (22) comprises a device (40) for homogenizing the power of the laser beam (4) along the heating zone ( 2).
5. Caméra selon la revendication 4, caractérisée en ce que le dispositif d'homogénéisation de la puissance est formé par le dispositif (40) d'allongement de la section du faisceau laser.5. Camera according to claim 4, characterized in that the power homogenization device is formed by the device (40) of elongation of the section of the laser beam.
6. Caméra selon les revendications 2 et 5 prises ensemble, caractérisée en ce qu'une face (44) de la lentille (42) a un profil adapté pour homogénéi- ser la puissance du faisceau laser (4) le long de la zone de chauffage (2).6. Camera according to claims 2 and 5 taken together, characterized in that a face (44) of the lens (42) has a profile adapted to homogenize the power of the laser beam (4) along the area of heating (2).
7. Caméra selon les revendications 3 et 5 prises ensemble, caractérisée en ce qu'une face réfléchissante (58) du miroir (56) a un profil adapté pour homogénéiser la puissance du rayonnement laser (4) le long de la zone de chauffage (2). 7. Camera according to claims 3 and 5 taken together, characterized in that a reflecting face (58) of the mirror (56) has a profile adapted to homogenize the power of the laser radiation (4) along the heating zone ( 2).
8. Caméra selon la revendication 5, caractérisée en ce que le dispositif d'homogénéisation (40) est un dispositif de formation de la ligne par mise en mouvement du faisceau laser (4) perpendiculairement à sa direction de propagation. 8. Camera according to claim 5, characterized in that the homogenizing device (40) is a device for forming the line by moving the laser beam (4) perpendicularly to its direction of propagation.
9. Caméra selon la revendication 8, caractérisée en ce que le dispositif9. Camera according to claim 8, characterized in that the device
(40) comprend une cellule acousto-optique (60).(40) comprises an acousto-optic cell (60).
10. Caméra selon la revendication 8, caractérisée en ce que le dispositif d'homogénéisation (40) comprend un miroir oscillant (64).10. Camera according to claim 8, characterized in that the homogenizer (40) comprises an oscillating mirror (64).
11. Caméra selon la revendication 5, caractérisée en ce que le dispo- sitif d'homogénéisation (40) comprend un faisceau (66) de fibres optiques (68) dont les extrémités amont (70) reçoivent le faisceau laser (4) et dont les extrémités aval sont disposées le long d'une ligne pour créer la zone de chauffage (2) allongée.11. Camera according to claim 5, characterized in that the homogenisation device (40) comprises a bundle (66) of optical fibers (68) whose upstream ends (70) receive the laser beam (4) and whose the downstream ends are arranged along a line to create the elongated heating zone (2).
12. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend un système (52, 54) de réglage mécanique d'un décalage12. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises a system (52, 54) for mechanical adjustment of an offset.
(d) entre la zone de chauffage allongée (2) et la zone de détection (3).(d) between the elongate heating zone (2) and the detection zone (3).
13. Caméra selon la revendication 12, caractérisée en ce qu'elle comprend un coffre (18), et en ce que le système de réglage mécanique comprend un dispositif (52) de déplacement de la matrice (8) de détecteurs infrarouges (10) par rapport au coffre (18).13. Camera according to claim 12, characterized in that it comprises a trunk (18), and in that the mechanical adjustment system comprises a device (52) for moving the matrix (8) of infrared detectors (10). relative to the trunk (18).
14. Caméra selon la revendication 12 ou 13, caractérisée en ce qu'elle comprend un coffre (18), et en ce que le système de réglage mécanique comprend un dispositif (54) de déplacement du système de mise en forme (22) par rapport au coffre (18). Camera according to claim 12 or 13, characterized in that it comprises a trunk (18), and in that the mechanical adjustment system comprises a device (54) for moving the shaping system (22) by report to the chest (18).
15. Caméra selon la revendication 13 ou 14, caractérisée en ce que le dispositif de déplacement (52, 54) comprend un moteur linéaire.15. Camera according to claim 13 or 14, characterized in that the displacement device (52, 54) comprises a linear motor.
16. Caméra selon la revendication 13 ou 14, caractérisée en ce que le dispositif de déplacement (52, 54) comprend un actionneur piézoélectrique linéaire. 16. Camera according to claim 13 or 14, characterized in that the displacement device (52, 54) comprises a linear piezoelectric actuator.
17. Caméra selon la revendication 13 ou 14, caractérisée en ce que le dispositif de déplacement (52, 54) comprend un moteur rotatif et un mécanisme de transformation d'un mouvement rotatif en un mouvement de translation.17. Camera according to claim 13 or 14, characterized in that the displacement device (52, 54) comprises a rotary motor and a mechanism for transforming a rotary movement into a translational movement.
18. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend une lame filtre (32) pour réfléchir le faisceau laser (4) et transmettre le rayonnement infrarouge (5) rayonné par la zone de détection (3) vers la matrice (8) de détecteurs infrarouges (10).18. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises a filter blade (32) for reflecting the laser beam (4) and transmitting the infrared radiation (5) radiated by the detection zone (3) to the matrix (8) of infrared detectors (10).
19. Caméra selon la revendication 18, caractérisée en ce que la lame comprend au moins un matériau choisi parmi la liste constituée par CaF2, MgF2, AI2O3, BaF2, Ge, ZnSe, ZnS FLIR, ZnS multispectral, MgO, et SrF2.19. Camera according to claim 18, characterized in that the blade comprises at least one material selected from the list consisting of CaF 2, MgF 2, Al 2 O 3, BaF 2, Ge, ZnSe, ZnS FLIR multispectral ZnS, MgO , and SrF 2 .
20. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend un système de balayage de la surface (1a) de la pièce (1) par la zone de chauffage (2).20. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises a system for scanning the surface (1a) of the workpiece (1) by the heating zone (2).
21. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'unité de traitement (46) est apte à régler un décalage (d) entre la zone de chauffage (2) et la zone de détection (3) par sélection d'une rangée (12) de détecteurs infrarouges (10) dans la matrice de détection (8).Camera according to one of the preceding claims, characterized in that the processing unit (46) is able to adjust an offset (d) between the heating zone (2) and the detection zone (3) by selection. a row (12) of infrared detectors (10) in the detection matrix (8).
22. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l'unité de traitement (46) est apte à traiter indépendamment les si- gnaux fournis par chacun des détecteurs infrarouges (10) de la matrice (8).22. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that the processing unit (46) is able to independently process the signals provided by each of the infrared detectors (10) of the matrix (8).
23. Caméra selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle comprend une source laser (34).23. Camera according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises a laser source (34).
24. Caméra selon l'une des revendications 1 à 22, caractérisée en ce qu'elle comprend des moyens (36) de raccordement à une source laser (34) qui n'appartient pas à la caméra. 24. Camera according to one of claims 1 to 22, characterized in that it comprises means (36) for connection to a laser source (34) which does not belong to the camera.
EP06726150A 2005-04-28 2006-03-30 Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section Withdrawn EP1875218A2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0504330A FR2885220B1 (en) 2005-04-28 2005-04-28 PHOTOTHERMIC EXAMINATION CAMERA WITH OPTICAL DEVICE FOR ELONGATION OF THE SECTION OF A LASER BEAM.
PCT/FR2006/000700 WO2006114490A2 (en) 2005-04-28 2006-03-30 Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1875218A2 true EP1875218A2 (en) 2008-01-09

Family

ID=35355358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP06726150A Withdrawn EP1875218A2 (en) 2005-04-28 2006-03-30 Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20080212072A1 (en)
EP (1) EP1875218A2 (en)
JP (1) JP2008539404A (en)
KR (1) KR20080011170A (en)
CN (1) CN101166969A (en)
FR (1) FR2885220B1 (en)
WO (1) WO2006114490A2 (en)
ZA (1) ZA200708594B (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8029186B2 (en) * 2004-11-05 2011-10-04 International Business Machines Corporation Method for thermal characterization under non-uniform heat load
TWI450200B (en) * 2010-03-30 2014-08-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Printed circuit board detecting system and image capture device thereof
US20140340680A1 (en) * 2011-11-30 2014-11-20 Labsphere, Inc. Apparatus and method for mobile device camera testing
JP2015505035A (en) * 2011-12-23 2015-02-16 エスゲーエル カーボン ソシエタス ヨーロピアＳＧＬ Ｃａｒｂｏｎ ＳＥ Measurement method of thermal conductivity
US9897561B2 (en) 2014-03-12 2018-02-20 Agency For Science, Technology And Research Method of detecting defects in an object based on active thermography and a system thereof
US12092518B2 (en) 2021-04-19 2024-09-17 The Johns Hopkins University High power laser profiler

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3703635A (en) * 1970-09-08 1972-11-21 E Systems Inc Zoom light
US3886362A (en) * 1973-04-09 1975-05-27 Mikhail Mikhailovi Miroshnikov Method and apparatus for thermal examination of the interior surface of annular stator packs for electrical machines
US4206348A (en) * 1978-06-05 1980-06-03 Eastman Kodak Company Optical scanner with electrooptical feedback for beam positioning
US4360732A (en) * 1980-06-16 1982-11-23 Texas Instruments Incorporated Infrared charge transfer device (CTD) system
US5124993A (en) * 1984-09-20 1992-06-23 International Sensor Technology, Inc. Laser power control
US4874948A (en) * 1986-12-29 1989-10-17 Canadian Patents And Development Limited Method and apparatus for evaluating the degree of cure in polymeric composites
CA2080557A1 (en) * 1992-10-14 1994-04-15 Joan F. Power Sensitive interferometric parallel thermal-wave imager
JP3229411B2 (en) * 1993-01-11 2001-11-19 株式会社日立製作所 Method of detecting defects in thin film transistor substrate and method of repairing the same
US5573493A (en) * 1993-10-08 1996-11-12 United States Surgical Corporation Endoscope attachment for changing angle of view
FR2760528B1 (en) * 1997-03-05 1999-05-21 Framatome Sa METHOD AND DEVICE FOR PHOTOTHERMAL EXAMINATION OF A MATERIAL
US6271968B1 (en) * 1998-11-30 2001-08-07 National Research Council Of Canada Cut-off filters
US6887233B2 (en) * 2001-03-22 2005-05-03 Lumenis, Inc. Scanning laser handpiece with shaped output beam

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2006114490A2 *

Also Published As

Publication number Publication date
ZA200708594B (en) 2008-10-29
US20080212072A1 (en) 2008-09-04
WO2006114490A3 (en) 2007-03-01
FR2885220A1 (en) 2006-11-03
WO2006114490A2 (en) 2006-11-02
FR2885220B1 (en) 2007-07-27
CN101166969A (en) 2008-04-23
KR20080011170A (en) 2008-01-31
JP2008539404A (en) 2008-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0965037B1 (en) Method and device for the inspection of a material by thermal imaging
EP1875218A2 (en) Photothermal test camera provided with an optical device for extending a laser beam section
EP1875217A1 (en) Photothermal inspection camera having an offset adjusting device
EP2577707B1 (en) Adjustable cathodoluminescence detection system and microscope employing such a system
FR2659039A1 (en) METHOD AND APPARATUS FOR OPTICAL MONITORING OF LASER MATERIAL PROCESSING.
TW201802464A (en) Wafer inspection
EP2577706B1 (en) Flexible cathodoluminescence detection system and microscope employing such a system
FR2873200A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR THE NON-CONTACT OPTICAL MEASUREMENT OF THE THICKNESS OF CHROMATIC ABERRATION
WO2013139718A1 (en) Method and device for testing a composite material using laser ultrasonics
FR2877433A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR NON-CONTACT ENTRY OF THE THERMAL PROPERTIES OF THE SURFACE OF AN OBJECT
FR2774319A1 (en) METHOD FOR ADJUSTING THE POSITION OF A THERMOGRAPHIC WELDING CONTROL CAMERA
EP3137887B1 (en) Photothermal examination method and corresponding examination unit
EP1407253B1 (en) Method for inspecting the surface of a roll cylinder
EP0965038B1 (en) Method for the inspection of a part by thermal imaging
FR2700611A1 (en) Method and device for dimensionally controlling the profile of long products
FR2785388A1 (en) METHOD AND INSTRUMENT FOR CONTROLLING THE CONNECTION OF THE ALVEOLED SOUL OF A HONEYCOMB ON A SKIN
EP3489665B1 (en) System for monitoring degradation and fouling of a mirror
EP3781902B1 (en) Measuring device for determining the thickness of a layer of material
WO2002048695A1 (en) Device for automatic surface inspection of an unwinding strip
EP3479107B1 (en) Method for inspecting a metal surface and associated device
WO2021122599A1 (en) Method for characterising the integrity of an object subjected to a mechanical, thermal or thermoelastic stress liable to generate elastic waves in the object
FR2748327A1 (en) SPATIAL FILTER FOR MULTI-BORE FIBER AND METHOD OF MAKING SAME

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20071017

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: HR

RAX Requested extension states of the european patent have changed

Extension state: HR

Payment date: 20071017

111L Licence recorded

Free format text: 0101 INTERCONTROLE

Effective date: 20080919

17Q First examination report despatched

Effective date: 20100525

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20101001