EP1506140A1 - Method and use of a device for coating plate-shaped substrates - Google Patents

Method and use of a device for coating plate-shaped substrates

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EP1506140A1
EP1506140A1 EP03720078A EP03720078A EP1506140A1 EP 1506140 A1 EP1506140 A1 EP 1506140A1 EP 03720078 A EP03720078 A EP 03720078A EP 03720078 A EP03720078 A EP 03720078A EP 1506140 A1 EP1506140 A1 EP 1506140A1
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EP
European Patent Office
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coating
substrate
coating solution
extrusion
slot
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP03720078A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Stefan Walheim
Jürgen STEPS
Martin Holzbecher
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INTERFLOAT Corp
Original Assignee
INTERFLOAT Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by INTERFLOAT Corp filed Critical INTERFLOAT Corp
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/11Deposition methods from solutions or suspensions
    • C03C2218/113Deposition methods from solutions or suspensions by sol-gel processes

Definitions

  • the invention relates to a method and the use of a device for applying solvent-containing coating solutions to plate-shaped substrates.
  • the “nanometer range” for example heat protection or sun protection layers
  • a coating material is deposited from the gas phase onto flat glass or other flat substrates.
  • the vacuum-technology and plasma-assisted processes mentioned are suitable For the production of hard and also abrasion-resistant anti-reflective coatings on small-area, transparent substrates, preferably made of glass materials, for example glasses or optical glasses.
  • the increases in the use properties achieved in these applications justify the high coating and system costs. For example, in heated rooms when using windows With heat protection-coated flat glass, annual heating cost savings of 3 to 4 euros per m2 of window area - depending on the oil price.
  • coating solution a liquid phase (hereinafter referred to as coating solution) must first be applied to the substrates. This is followed by a chemical, chemophysical, thermochemical reaction, evaporation of the solvents, reaction products etc. and the conversion into the final desired functional layer or layer system on the substrate.
  • Transparent, optically effective, thin layers in the nanometer range must be used because of the required visual uniformity as well
  • Color uniformity can be produced both very homogeneously in the layer thickness and in the material homogeneity per unit area. Similar to the layer homogeneity and precision achieved with vacuum technology on flat glass, the coating solution must be applied to large flat glass sheets or other transparent substrates at and from the front edge in the direction of transport as well as across the entire surface with a thickness accuracy of less than 5% - regardless of technologically-related distances between successive flat glass sheets or substrates. The same accuracies are also placed on the material homogeneity of the final desired functional layer or the layer system (the solid layer). In large-scale technical systems, this visual uniformity must continue to be guaranteed from substrate to substrate over any length of production.
  • the way in which a coating solution is applied in connection with the substrate geometry essentially determines the extent to which a given production process can be designed continuously and with what productivity.
  • the production process, the individual production parameters and the quality requirements for the final, functional layer are of course all integrated into such production objectives.
  • Liquid coating technologies can be introduced sustainably as large-scale production technologies if processes for the continuous application of Coating solutions and overall for continuous layer production can be provided.
  • Suitable continuous coating processes are an essential prerequisite for the fact that the achievable solar energy permeability and the overall achievable increase in use value of antireflection-coated flat glasses lead to comparatively lower coating and system costs.
  • continuous coating processes are also required for the application of other functional layers to large-area flat glass, for example for transparent hydrophilic and hydrophobic or else for other optically effective layers.
  • a number of coating methods for applying coating solutions to glass and to other transparent substrates are known in the prior art.
  • EP-A-3 835 078 linear structures have been applied to flat glass surfaces, for example, by ejecting an application agent from an opening in the form of a thread that is not in contact with the substrate.
  • EP-A-0 765 694 describes a similar coating method and a corresponding device with a round nozzle located perpendicularly above the flat substrate and perpendicular to the substrate movement.
  • EP-A-0 775 669 describes the production of nanoporous aerogels on glass or other plate-shaped substrates.
  • the liquid brine should be applied by spray coating, dip coating or spin coating. In principle, spraying processes can be an option for continuously moving substrates in at a constant speed
  • aqueous polyurethane solutions are applied to glass, preferably to bottles, in an air pressure spraying process.
  • Layer thickness constancy is not a high requirement.
  • the coating solution (called coating lacquer there) for the production of nanostructured layers on glass or on transparent plastics is applied to the substrate in a defined manner by spin coating.
  • DE-A-43 25 760 describes a production process for band-shaped, also meandering, electrically conductive webs on glass. A technical solution for the coating is not described.
  • wet layer thicknesses of less than 10 nm to about 5 nm can be achieved on tape-like support materials by applying low-viscosity coating solutions with viscosities less than about 50 mPas by combining extrusion and bead coating processes.
  • the coating bead is a geometric shape made of coating solution which, viewed in cross section, bridges the narrow gap between the extrusion die and the material web that is being passed in the form of a drop that forms.
  • the coating solution is optionally supplied to the bead via a sliding plane or a slot-shaped channel. Under the action of earth's gravity and the direction of transport of the material web, which is preferably directed against earth's gravity, the bead is virtually in suspension.
  • wet-film thicknesses of up to about 10 nm can be achieved on tape-like carrier materials with slight fluctuations in the layer thickness by applying magnetizable, binder-containing coating solutions (in the manner of suspensions) by a process of delirium extrusion coating.
  • the extrusion pourer opening and the straight edge of a magnet are arranged in contact-free spacing.
  • the material web to be coated is guided from below over a sliding surface at high speeds up to approximately 100 m / min over this straight edge into a plane sliding plane inclined against gravity.
  • the magnet is used for additional stabilization of the coating process.
  • wet layer thicknesses of about 0.5 nm can be achieved on tape-like carrier materials by applying preparation liquids by extruding such liquids a wick pressed against the material web, which consists of organic, porous materials, such as felt, paper.
  • EP-A-0 876 848 discloses a method and an apparatus for applying a photoresist to a glass substrate.
  • the application device has a slot nozzle which is connected via a line to a container containing the coating solution.
  • a plurality of horizontal channels open into the slot nozzle, through which the solution is fed into a central collecting channel.
  • a vertical slot with an outlet opening connects to the collecting duct.
  • EP-A-0 876 848 teaches, among other things, how to determine the viscosity and surface tension of the coating solution
  • the distance between the outlet opening of the nozzle and the substrate surface can be calculated so that a stable and continuous meniscus between the nozzle and the substrate surface is maintained during the coating.
  • the photoresist used has a viscosity of 60 mPas (milli-Pascal seconds) and a surface tension of 30 * 10 " 3 N / m.
  • Coating speed of 10 mm / s and a layer thickness of 10 ⁇ m the distance between the application device and the substrate surface can vary between 16 and 66 ⁇ m.
  • US 5,622,747 discloses dispenser for wafer coating with a photoresist.
  • the dispensing device is formed by a housing with an inlet opening and an outlet opening.
  • the photoresist flows from the inlet opening into a reservoir, from which an elongated channel leads to the outlet opening.
  • the outlet opening has a gap width of 0.075 mm (75 ⁇ m).
  • Dispenser moved over a wafer at a speed of 4.5 cm / s and approximately 2 mm. An overpressure is applied to the nozzle for coating.
  • the processes for the coating of wafers have in common that substrates with relatively small uneven areas are coated with a photo residue with a viscosity greater than 50 mPas.
  • the coating speeds of up to 3 m / min are low and, for example, too low for the industrial coating of large-area substrates.
  • the aim of the present invention is to provide an improved coating method and a coating device for the continuous production of optical coatings and other transparent surface coatings on plate-shaped, preferably transparent substrates, in particular flat glass (float glass or cast glass).
  • the aim is to propose a method and a device with which large-area, plate-shaped substrates can be provided with a coating solution which can be cured.
  • Another objective is to apply a method and a device to large and preferably transparent substrates to apply homogeneous optical and other transparent surface finishes provided with great visual uniformity and color uniformity. It is also a goal that the methods and apparatus provided make it possible to produce constant coatings for optically effective reflective and antireflective layers and for other transparent surface coatings in a cost-effective manner and in any desired time period.
  • a further objective is that the method and the device optionally enable both single and multiple coatings as well as one- or two-sided coatings of plate-shaped, preferably transparent substrates. It is also the aim that the method and the device can be used to coat roughened or uniformly structured or also stochastically structured substrate surfaces.
  • a further aim is to provide a method and a coating produced by the method, with which an increase in the integral solar transmission of flat glass by at least approximately 2.5% per coated glass surface is achieved.
  • One aim is to provide antireflection coatings with a refractive index n less than 1.3, preferably about 1.23.
  • Another goal is to provide tempered coated glass which still has properties comparable to those of the glass material.
  • the goal is achieved in that low-viscosity coating solutions with a viscosity of less than 10 mPas are used.
  • slot die casters are also suitable for coating rigid, large-area plate-shaped substrates with unevenness of up to ⁇ 50 ⁇ m if coating solutions with a viscosity of less than 10 mPas be used.
  • the coating of flat, plate-shaped substrates with a slot slitter has the advantage that the process can be operated continuously.
  • the substrate is moved relative to the extrusion wide slot caster at a speed such that
  • the coating solution is additionally stretched on the substrate surface in the direction of transport. This enables uniform thin layers with layer thicknesses ⁇ 1 ⁇ m to be obtained.
  • the delivery rate and the speed of the substrate are expediently set in such a way that a coherent coating solution curtain forms from the extrusion wide-slot caster towards the moving substrate. It can help stabilize a coherent
  • Coating solution curtain depending on the properties of the coating solution, at least part of the distance between the opening of the slot slot and the substrate surface can be bridged with a doctor blade.
  • the elongation of the coating solution depends on the type and properties of the coating solution used in each case, the elongation of the
  • Coating solution on the substrate surface can be adjusted by adjusting the angle of the extrusion slotted die with respect to the direction of gravity.
  • the theological fluid properties (viscosity and internal
  • Normal tension the pH value, the delivery rate and delivery pressure, solids concentration and transport speed (relative speed between the slot die and the substrate) are adjusted so that a uniform wetting of the substrate surface, preferably from the front edge of the substrate, is achieved with the coating solution. This is important for a uniform coating of the substrates.
  • a corresponding wetting of the above-mentioned parameters such as fluid properties, delivery quantity and pressure, etc. is intended to achieve a uniform wetting of the substrate surface with the coating solution.
  • Another aim of the appropriate observance of the above-mentioned process parameters is that a uniform liquid bridge is established between the extrusion wide-contact protector and the substrate surface.
  • the coating solution is advantageously of low viscosity with a viscosity of less than 20 mPas (milli Pascal seconds), preferably less than 10 mPas, and is particularly preferred less than 5 mPas.
  • a viscosity of less than 20 mPas milli Pascal seconds
  • preferably less than 10 mPas and is particularly preferred less than 5 mPas.
  • the internal normal stress (perpendicular to the shear stress) of the coating solution is expediently greater than 2 Pascals.
  • the proportion by weight of solids in the coating solution is less than 20%, preferably less than 10%. Solutions with a low solids content are suitable for application to plate-shaped substrate surfaces by means of a slot die caster.
  • the substrate is expediently passed at a constant speed in the range between 2.0 to 30.0 m / min, preferably in the range between 4.0 to 15.0 m / min, under the slot slitter and coated with a liquid layer of the coating solution. At these speeds, there is a large production capacity. In addition, in contrast to the immersion process, the process can be carried out continuously.
  • the distance between the lower edge of the wide-slot caster and the substrate surface is preferably set via a height adjustment device of the wide-slot caster or optionally of the support. This can be achieved inexpensively, and different substrate thicknesses can then be coated.
  • the distance between the lower edge of the extrusion slot die and the substrate surface is advantageously set to a value of less than 2 mm, preferably between 0.1 mm and 1.0 mm and very particularly preferably between 0.1 mm and 0.4 mm.
  • the distance between the lower edge of the slot die and the substrate surface is expediently set with an accuracy of better than approximately 0.03 mm.
  • the solid layer thicknesses produced in the coating process are preferably less than 1 ⁇ m.
  • An easily volatilized, preferably organic solvent or solvent mixture in which the layer-forming solids are soluble can be used as the solvent.
  • suitable solvents are those which already have a high vapor pressure at room temperature.
  • Preferred solvents have a boiling point ⁇ 100 ° C, preferably ⁇ 80 ° C.
  • the coating is preferably carried out in a specific working or
  • the process gases can be used at least temporarily during the process to deliberately delay and accelerate the condensation and polymerization reactions etc. and solidify to form a solid layer.
  • an even layer thickness is supported by the use of the process gases.
  • the area of the extrusion wide-contact caster is flushed during the coating process by a first process gas with a gas composition adapted to the composition of the coating solution, optionally as a protective gas or gas with reactive constituents.
  • a first process gas with a gas composition adapted to the composition of the coating solution, optionally as a protective gas or gas with reactive constituents.
  • Coating conditions prevail and the liquid film does not break off.
  • the condensation process of, for example, metal alkoxy compounds can be controlled in a targeted manner during the coating.
  • the applied coating solution is expediently surrounded or washed around by further different process gases in successive working steps.
  • the choice and composition of the process gases can be chosen according to the chemical and chemical-physical necessity and in the order of a given manufacturing process. To this end, it may be necessary to separate the individual working gas areas from one another by simple constructive measures.
  • the preferably volatile solvent of the coating solution can be evaporated by means of one or more process gases and further volatile reaction and decomposition products can be taken up and removed.
  • the process gases used preferably consist of one or more inert or inert carrier gases, preferably nitrogen, and optionally of admixed reactive vapors and gases.
  • the concentrations of the reactive vapors and gases are admixed as a function of the process-technical reaction conditions, preferably in a total concentration of less than 15%.
  • the solidification of the solid layer can be accelerated by adding components which react with the coating solution.
  • organometallic compounds for example organosiloxanes
  • the solidification of the layer can be accelerated by adding, for example, water vapor in the gaseous state in a concentration in the range of, for example, 20 to 80% relative humidity.
  • the alkoxy metal compounds of the coating solution can react with reactive components of the process gas, for example H 2 O, and solidify.
  • the process gas can contain acid gases, acids and other suitable compounds in concentrations of less than approximately 10% by volume, optionally in gaseous form.
  • chlorine, sulfur dioxide, HC1, H 2 SO 4 , H2SO3, HNO3, CHsCOOH, water-soluble chlorides, hydrogen sulfates and sulfites can be contained.
  • the desired composition of the process gas atmospheres can be produced by mixing using a mixing device and directed to the desired location via corresponding lines.
  • the process gases can be discharged after contact with the applied liquid layer and their composition can be measured for control.
  • Substance reactions used in the coating By irradiation, e.g. with a UV source, the condensation of the metal alkoxy compound can be accelerated.
  • the substrate is preferably coated in a continuous process.
  • the costs of the coating process can thus be kept low.
  • further layers can also be applied. It is conceivable to apply one or two sides to plate-shaped substrates both simply and with two or more layers one above the other, each with the same or different solid layer thicknesses.
  • the substrates for the multiple coating within an automated production line are optionally coated in succession by the sequence of two or more slot die casters or returned or returned to the one slot die caster in a technically and logistically adapted bypass. circulated ..
  • Flat glass, plastic glass or other transparent plates can be used as substrates.
  • flat glass examples include float glass, cast glass with any regular and / or stochastically structured surfaces, for example with finely hammered surfaces, smooth or polished plate-shaped metals, mineral substances or other transparent plates.
  • translucent plastic plates preferably made of polymethyl methacrylate, polycarbonate, polystyrene and the like, can also be used as substrates. Like., Are used.
  • antique glass which is irregular due to the manufacturing process, with nanoporous antireflection layers - as with the coating of flat glass surfaces (float glass) - an increase in the integral solar transmission can be obtained.
  • a solution is used as coating solution containing at least one metal-alkoxy compound and an essentially non-polar polymer, which is preferably chemically inert compared to the metal-alkoxy compound used.
  • Coating solutions composed in this way can be used to produce nanoporous layers with significantly increased integral solar transmission.
  • the polymers are preferably derived from one of the following groups: polyacrylate, polycarbonate, polyethylene oxide, polymethylacrylate, polymethylmetaacrylate, polystyrene, polyvinylchloride, polyvinylpyridine (P2VP and P4VP), Teflon AF etc.
  • the polymer used is removed from the solid layer applied to the plate-shaped substrates. This can be done, for example, by detaching with a suitable, e.g. alcoholic, ethereal or aromatic solvents happen. Alternatively, the polymer can be evaporated by the application of heat. The solvent is expediently vaporized by a process gas stream. This process can be used to obtain nanoporous layers with anti-reflective properties. The integral solar transmission can thus be increased by at least approx. 2.5%.
  • the subject matter of the present invention is a coating method according to the preamble of claim 26, which is characterized in that the extrusion slurry protector and, if appropriate, the substrate passed under the extrusion slit pourer, at least in the region of the Outlet opening of the slot slot is washed with a process gas atmosphere.
  • the process gas can ensure that the liquid curtain does not break and that a thin layer is formed within seconds as the solvent is removed. After the solvent has been removed, the layer can already be solidified to such an extent that it can be handled.
  • the present invention also relates to the use of a device according to claim 28 for the continuous coating of transparent, large-area plate-shaped substrates, in particular substrates such as flat glass, with low-viscosity coating solutions with a viscosity of ⁇ 10 mPas (milliPascal seconds).
  • wide-slot casters have only been used for the coating of plastic sheets, etc. used with viscous coating compositions, but not for the coating of large-area plate-shaped substrates, such as glass plates.
  • the experts were convinced that slot die casters were not suitable for coating plate-shaped substrates with low-viscosity coating solutions. Surface coatings of large-area glass plates were therefore mainly carried out in the past using the immersion process.
  • it has now been found according to the invention that wide-slot casters are very well suited for the application of low-viscosity coating solutions.
  • the extrusion wide-contact protection castor is preferably arranged under a hood or in a chamber which is largely sealed off from the ambient atmosphere.
  • the coating can be carried out in a defined process gas atmosphere. At least one connected to the chamber is advantageous
  • Gas processing device for mixing inert and / or reactive gas components available. This allows different atmospheres to be used. At least two connections for supplying and discharging a process gas or gas mixture can be provided on the chamber. A metering and / or pressure-maintaining device is expediently provided, which is in contact with the extrusion wide protection castor
  • the chamber in which the extrusion sluice pourer is arranged can be divided into at least two reaction spaces.
  • gas guiding devices for example baffles or lines with baffles, can be provided in order to guide or suck off the gases in a targeted manner onto the substrate surface.
  • the transport device advantageously has a preferably movable support on which the substrates can be fixed.
  • the substrates can be fixed to the support on this support by means of a suitable device, for example by means of a negative pressure, for example in the manner of a chuck.
  • the substrates can be made movable relative to the substrate surface by means of overpressure, for example in the manner of an air cushion. It is also conceivable to arrange the support movably on a support frame by means of an air cushion.
  • Surface emitters in the chamber at a distance from the transport device are advantageous, e.g. IR and / or UV radiation queues arranged.
  • the hardening of the layer can be accelerated by means of the radiation sources.
  • the extrusion wide-contact mold has a long, wide wide-contact gap, preferably at least the width of the substrate to be coated.
  • the gap width of the wide slot gap is expediently adjustable depending on the properties of the coating solution.
  • the gap width or the slot width of the slot-shaped opening can preferably be set to a value less than 1.2 mm, preferably between 0.02 mm and 0.8 mm. Small slot widths are advantageous when using low-viscosity coating solutions.
  • a doctor blade can be connected to the wide slot gap according to known constructional designs.
  • the slot die caster is arranged in a plane which is essentially both perpendicular to the conveying direction of the substrate and perpendicular to the support surface. This is important if low-viscosity coating solutions are to be applied.
  • the slot slitter is above the support, respectively. of the substrate to be coated.
  • the wide slot caster is pivotable about an axis running parallel to the wide slot.
  • the coating curtain that arises during the coating process can be influenced.
  • the distance between the surface to be coated and the extrusion slotted caster can be set with an accuracy better than 0.03 mm. It is also an advantage if the support in the area under the broad contactor can be adjusted with a height accuracy better than 0.01 mm.
  • the transport device expediently has adjustable drive means so that the substrate can be transported at an adjustable, specific speed - preferably between 2.0 to 15 m / min. A high throughput can be achieved at these speeds.
  • the applied solid layer can be exposed in a final process step, preferably a thermochemical or a pyrolytic treatment.
  • a hardening or annealing furnace can be provided in the transport direction of the chamber.
  • FIG. 1 schematically shows an apparatus for coating glass substances
  • Figure 2 shows a slot die caster in more detail.
  • Fig. 3 shows the transmission spectra of different glasses between 300 and 2500 nm, which were coated according to the inventive method, in comparison.
  • the coating device 11 shown in FIG. 1 has a transport device 13 and a slot die caster 15 arranged above the transport device 13.
  • the transport device 13 comprises a support 19 movable in a conveying direction 17, on which plate-shaped substrates 21, in particular flat glass, can be arranged for the purpose of coating.
  • the support 19 rests on a substructure 23 (not shown in more detail) and is movable relative to the latter.
  • the support 19 can also be adjusted in height by means of a height adjustment device 25, so that substrates 21 of different thicknesses can be coated.
  • the wide-slot caster 15 is an extrusion wide-contact caster with one that extends transversely to the conveying direction 17 Slot 27.
  • the slot has a width between 0.02 and 1.0 mm, preferably between 0.08 and 0.3 mm.
  • the extrusion wide protection castor 15 is arranged on a frame 28 and can be pivoted about a horizontal pivot axis 30 running transversely to the transport direction.
  • the extrusion wide contactor 15 is connected to a storage container 31 via a feed line 29.
  • the storage container 31 serves to hold a coating solution 33.
  • a metering pump 35 allows the amount of liquid fed into the extrusion wide-contact protection caster 15 to be metered precisely. It is basically conceivable to control the metering of the amount of liquid via the hydrostatic pressure.
  • the extrusion wide protection casting 15 is arranged in a hood or chamber 37.
  • the chamber 37 covers the transport device 13 in width and is apart from one between support 19 and. Transport device 13 existing slot 39 closed.
  • the chamber 37 is at least in a coating chamber 44, in which the extrusion slug casting 15 is arranged, and an conveying direction 17 in the
  • a first working or process gas, in particular reactive gas, can be fed into the coating chamber 44 via a line 41.
  • a first gas treatment device 63, to which the line 41 is connected, is used to mix different gases. Excess gas can be removed or extracted through an outlet opening 43 provided in the coating chamber 44.
  • the drying chamber 45 covers the transport device 13 in width, so that substrates 21 arranged on the support 19 have a specific second, different from the first, in the conveying direction
  • Process gas atmosphere can be contacted.
  • a feed line 47 is used to feed a second process gas or process gas mixture, in particular a drying gas, into the drying chamber 45.
  • a second gas treatment device 65 to which the feed line 47 is connected, is used to mix different gases. The gas can escape again or be sucked out via an outlet opening 49 provided on the chamber 45.
  • a support loading station 51 and a support unloading station 53 are provided before resp. after the coating device 11. These stations 51, 53 are used for loading and Unloading the support 19 with the plate-shaped substrates 21. Swivel stackers 55, 57 allow uncoated substrates to be loaded onto the support 19, respectively. unload coated substrates.
  • a hardening furnace 59 can be provided in the conveying direction 17 after the swivel stacker 57.
  • glass coated beforehand in the coating device 11 can be thermally tempered.
  • the tempering of the glass and the final treatment of the applied layer e.g. pyrolytic removal of organic components
  • Upstream of the coating device 11 can be a known surface cleaning system 61, not shown.
  • FIG. 2 shows the lower part of a slot die caster 15 in more detail.
  • the wide slot caster has a wide contactor gap 27 with a certain slot width and slot height.
  • the slot height can be used to even out the pressure conditions in the slot slot caster and thus the delivery rate per unit of time.
  • the liquid curtain 67 is stretched in the transport direction 17 by the selected transport speed of the substrate 21.
  • the flat glass surfaces must first be cleaned and provided free of chemical contaminants and dusty deposits.
  • a monomeric, preferably quadruple-crosslinking alkoxy compound of silicon or that of another metal for example Al, Ce, Ga, In, Nd, Sn, Ti, Th, Tl, and / or Zr
  • the coating solution further contains at least one polymer with a molecular weight of less than 10,000, but preferably greater than 500,000, which preferably has no -OH and / or -NH groups.
  • oligomers as precursors for precursors which react in situ to give polymers is conceivable.
  • the polymer compound used is said to be largely chemically inert to the monomeric alkoxy compound. Furthermore, the polymer compound and the alkoxy compound should not be miscible with one another.
  • examples include polyacrylate, Polycarbonate, polyethylene oxide, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinyl pyridine (P2VP and P4VP) or Teflon AF.
  • Coating solutions consisting of one or more of the aforementioned polymers and one or more alkoxy metal compounds are characterized in that in the process of the desired rapid, shock-like evaporation of the solvent under the chemical influence of the process gases, the applied liquid layer solidifies to form a solid layer.
  • This solid layer consists of statistically distributed, alternating three-dimensional areas of the two solid components; from areas of the crosslinked polymer - the size and size distribution of which determines the statistical distribution of the porosity in the nanoporous antireflection layer after pyrolysis - and from areas of a chain-like crosslinked solid gel of the alkoxy compound used.
  • the coating solution is preferably adjusted to a pH ⁇ 7.
  • a little water and an acid e.g. HC1, H2SO 4
  • the amount of water is added in a substoichiometric ratio to the amount of the monomeric, four-crosslinking alkoxy compound in order to specifically achieve an uneven size distribution of the primary particles in the sol.
  • an acid e.g. HC1, H2SO 4
  • the amount of water is added in a substoichiometric ratio to the amount of the monomeric, four-crosslinking alkoxy compound in order to specifically achieve an uneven size distribution of the primary particles in the sol.
  • the addition of an acid in a small amount is necessary to precisely set a suitable pH in the range from 1 to 6, preferably 2 to 6.
  • the solids content in the solution should be less than 15% by weight.
  • the quantitative ratio between the two macromolecular components can be within one
  • the ratio of the two components essentially depends on the type of substance and the molecular weight of the substances used.
  • Coating solutions whose internal liquid composition - measured perpendicular to the shear stress - is characterized by a normal stress greater than approx. 2 Pa (Pascal) are particularly suitable.
  • the coating of plate-shaped, large-area substrates can be carried out continuously by a vertical or inclined one Free-falling liquid film takes place: After striking the coating solution on the front edge (front edge as seen in the conveying direction), the coating solution immediately spreads as a liquid curtain across the entire substrate width perpendicular to the transport speed. This ensures an even coating and layer thickness in the edge areas.
  • Coating solution a low viscosity, especially one ⁇ 20 mPas.
  • coating solutions produced and provided with an extrusion caster with a wide slot gap of this type are now applied to the flat glass or other plate-shaped substrates which are passed underneath - also referred to collectively as substrates - in the combined expansion layer and free-fall process.
  • a free-hanging liquid film bridges the distance from the bottom slot die edge to the substrate surface.
  • the liquid film is additionally stretched in the direction of transport by a corresponding feed rate of the substrate on the substrate surface.
  • the wide slot gap preferably has a slot ü of width between 0.02 and 0.8 mm, preferably between 0.05 and 1.0 mm, and very particularly preferably between 0.05 and 0.35 mm.
  • the distance between the surface of the substrate and the lower edge of the slot die can vary in the range between 0.1 and 1.0 mm, preferably 0.2 and 0.8 mm.
  • the length of the slot slot can preferably be greater than 1 m without interruption.
  • the aforementioned parameters are selected or selected in accordance with the properties of the coating solution and the production technology requirements. customized.
  • vibration-free support is preferably used.
  • the support can have a vacuum suction or other means for fixing substrates of different sizes.
  • the height of the transport plane can expediently be set with high accuracy, preferably to ⁇ 0.02 mm, with respect to the lower edge of the caster.
  • the transport speed should be adjustable to less than 1%.
  • a protective gas envelope for example nitrogen, optionally containing reactive gases in a low concentration, can preferably be provided. This helps that despite the quasi-continuous Working principle of the extrusion wide protection casters is in permanent operational readiness and substrates fed in succession are coated evenly from their front edge.
  • the coated substrate surface section reaches a subsequent drying chamber into which a second process gas, preferably designed as a drying gas, can absorb the evaporated solvent and other gaseous reaction products.
  • a second process gas preferably designed as a drying gas
  • the quality of the solidification and the drying speed and the applied layer are controlled by the special composition of the individual gas components of the second process gas and optionally in combination with an IR / UV radiation bed.
  • a solid layer forms the thickness of which on the substrate - depending on the thickness of the applied liquid layer and the solids content brought into solution - can be from about 20 nm, preferably in the range from 100 to 400 nm.
  • the solid layer thus produced consists of alternating dense areas of the two
  • Substance components the crosslinked polymer and the chain-like crosslinked gel of the original alkoxy metal compound, preferably alkoxy silane compound. These areas of material exist incompatible side by side as three-dimensional areas with statistically distributed different sizes in the Naometer range.
  • the polymer is removed from the three-dimensional solid matrix by a pyrolytic process using a high-temperature shock treatment in the glass hardening process.
  • a porous, highly cross-linked antireflective layer is thus formed from the original alkoxy compound.
  • the antireflection layer produced in this way then has the property of increasing the integral solar transmission of the flat glass coated in this way by at least 2.5%.
  • the polymer selected for this purpose can be removed without residue by a pyrolysis process which is gentle on the substrate.
  • the integral transmission of the substrate coated in this way can be increased by at least 2%.
  • process gases containing gaseous solvents can be prepared in the course of this method. Especially selected and Polymers and oligomers used can be selectively removed from the three-dimensional matrix of the applied solid layer with the help of such process gases.
  • plate-shaped metallic and other mineral, non-transparent substrates are also coated by the method and the solid layers applied in this way are likewise converted into antireflection layers with high-temperature shock treatment, and substrates are provided in this way, for example with anti-reflective surfaces and / or surfaces designed with interference color effects.
  • the total solids content in the coating solution is 5%.
  • the coating speed is 7.0 m / min.
  • the solid thickness is approximately 330 nm. Due to the high-temperature shock treatment in the glass hardening process, an average increase of 2.8% in the integral solar transmission is achieved in the spectral range from 450 to 1500 nm (measured with the integrating sphere).
  • Example 2 Production as in Example 1 with a solids content reduced by 50%
  • the solids content in the coating solution is only 2.3
  • Viscosity 0.43 mPas
  • the coating speed is 7.0 m / min.
  • the solid thickness is 240 nm.
  • the high-temperature shock treatment in the glass hardening process results in an average increase in the integral solar transmission of 1.8% in the spectral range from 450 to 1500 nm - compared to the uncoated flat glass (measured with the integrating sphere).
  • the anti-reflective coating was visually uneven.
  • example 2 shows that the proportion by weight of the solids and the proportion by weight among themselves have a significant influence on the quality of the antireflection layer.
  • the simply coated flat glass panes or other substrates are returned in a new technological bypass or coated with a subsequent second slot die caster.
  • the applied solid layer is mechanically stable after leaving the coating chamber so that substrates coated on one side can also be moved on the coated side using the automated transport technology customary for glass processing companies.
  • the layer thicknesses can be changed by changing the substrate speed or the delivery rates, and multiple layers can be realized with differently applied layer thicknesses and layer structures.
  • the solid layers are on the flat glass is converted into nanoporous anti-reflective layers by the subsequent high-temperature thermal shock.
  • Such a coated flat glass achieves a refractive index n up to approx. 1.1 compared to the adjacent air and, when coated on one side, leads to an increase in the integral solar transmission by more than 3%.
  • FIG. 4 shows the transmission in the spectral range between 300 nm and 2500 nm for different glasses.
  • Curve 1 corresponds to a non-coated reference glass (cast glass pane). The transmission in the range between approximately 400 nm and 2000 nm is just under 92%.
  • the curves denoted by 2 and 3 show the transmission after coating the glass pane with an anti-reflection layer according to the invention. The measurement curves were obtained by measuring the transmission at widely spaced locations on the same coated cast glass pane. The integral transmission is approximately the same for both curves.
  • Curve 4 shows the transmission of a coated cast glass pane whose antireflection layer is 20% thicker than the antireflection layer belonging to curves 2 and 3. It can clearly be seen that the maximum of curve 4 is shifted to longer wavelengths.
  • the design of the pore structure - pore sizes and pore size distribution - and the adjustment of the layer thickness can even achieve a higher integral solar transmission of more than 3% in this regard if the total transmission is maintained for predetermined spectral ranges.
  • dosing and pressure line device e.g. metering

Abstract

The invention relates to a coating method which is used to coat plate-shaped, especially transparent large-surface substrates, such as flat glass, wherein a low-viscous coating solution containing a solvent is applied in a gravitational direction to a lower substrate (21) from an extrusion wide-slotted caster (15). Thin layers can be produced in a continuous manner with high productivity according to the inventive method.

Description

Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur Beschichtung von plattenförmigen SubstratenMethod and use of a device for coating plate-shaped substrates
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und die Verwendung einer Vorrichtung zum Aufbringen von lösungsmittelhaltigen Beschichtungslösungen auf plattenförmige Substrate.The invention relates to a method and the use of a device for applying solvent-containing coating solutions to plate-shaped substrates.
Stand der TechnikState of the art
Stand der Technik ist die Herstellung von dünnen Schichten im SubmikronmeterbereichState of the art is the production of thin layers in the submicron range
(nachfolgend „Nanometerbereich" genannt), beispielsweise Wärmeschutz- bzw. Sonnenschutzschichten, in kontinuierlichen Produktionsprozessen mittels vakuumtechnischen bzw. plasmagestützten Verfahren. Bei diesen Verfahren wird ein Beschichtungsmaterial aus der Gasphase auf Flachglas oder andere plane Substrate abgeschieden. Die erwähnten vakuumtechnischen und plasmagestützten Verfahren eignen sich für die Herstellung von harten und auch abriebfesten Antireflexschichten auf kleinflächigen, transparenten Substraten, vorzugsweise aus Glaswerkstoffen, beispielsweise Brillen- oder Optikgläser. Die bei diesen Anwendungsfällen erreichten Erhöhungen der Gebrauchswerteigenschaften rechtfertigen die hohen Beschichtungs- und Anlagenkosten. Beispielsweise kann in beheizbaren Räumen beim Einsatz von Fenstern mit wärmeschutzbeschichtetem Flachglas eine jährliche Heizkosteneinsparung - je nach Ölpreis - von 3 bis 4 Euro pro m2 Fensterfläche erreicht werden.(hereinafter referred to as the “nanometer range”), for example heat protection or sun protection layers, in continuous production processes by means of vacuum technology or plasma-assisted processes. In these processes, a coating material is deposited from the gas phase onto flat glass or other flat substrates. The vacuum-technology and plasma-assisted processes mentioned are suitable For the production of hard and also abrasion-resistant anti-reflective coatings on small-area, transparent substrates, preferably made of glass materials, for example glasses or optical glasses. The increases in the use properties achieved in these applications justify the high coating and system costs. For example, in heated rooms when using windows With heat protection-coated flat glass, annual heating cost savings of 3 to 4 euros per m2 of window area - depending on the oil price.
Für andere Anwendungen, beispielsweise das Auftragen von Antireflexschichten auf großflächiges Flachglas, sind die erreichbaren Gebrauchswerterhöhungen aus physikalisch- optischen Gründen begrenzt. Das Auftragen der für effektive Antireflexschichten notwendigen Vielfachschichtsystemen ist mit vakuumtechnischen Verfahren technisch sehr aufwendig und viel zu teuer. Das Aufbringen von beispielsweise hydrophob, ultraphob oder hydrophil wirkenden Schichten ist a priori mit vakuumtechnischen Verfahren nicht erreichbar.For other applications, for example the application of anti-reflective layers on large flat glass, the achievable increases in utility value are limited for physical and optical reasons. The application of the multilayer systems required for effective anti-reflective layers is technically very complex using vacuum technology processes and is far too expensive. The application of, for example, hydrophobic, ultraphobic or hydrophilic layers cannot be achieved a priori with vacuum technology processes.
Es bestehen weltweit Bemühungen, solche funktionelle Beschichtungen mit nanotechnologischen Sol-Gel-Techniken auf der Grundlage metallorganischer Verbindungen bzw. in Kombination mit organischen Polymeren oder mit Hybridpolymeren oder auch nur in Kombinationen mit verschiedenen Hochpolymeren durchzuführen. Für die meisten dieser nach Stand der Technik bekannten Herstellungsverfahren ist charakteristisch, dass zunächst eine Flüssigphase (nachfolgend Beschichtungslösung genannt) auf die Substrate aufzubringen ist. Danach erfolgt auf dem Substrat über die jeweils vorgesehene chemische, chemo-physikalische, thermochemische Reaktion, eine Verdampfung der eingesetzten Lösungsmittel, Reaktionsprodukten usw. und die Umwandlung in die finale gewünschte funktionelle Schicht bzw. Schichtsystem.There are worldwide efforts to carry out such functional coatings with nanotechnological sol-gel techniques based on organometallic compounds or in combination with organic polymers or with hybrid polymers or even only in combinations with various high polymers. It is characteristic of most of these production processes known according to the prior art that a liquid phase (hereinafter referred to as coating solution) must first be applied to the substrates. This is followed by a chemical, chemophysical, thermochemical reaction, evaporation of the solvents, reaction products etc. and the conversion into the final desired functional layer or layer system on the substrate.
Transparente, optisch wirksame, dünne Schichten im Nanometerbereich (ca. 50 bis ca. 600 nin ) müssen wegen der erforderlichen visuellen Gleichmäßigkeit sowieTransparent, optically effective, thin layers in the nanometer range (approx. 50 to approx. 600 nin) must be used because of the required visual uniformity as well
Farbgleichmässigkeit sowohl sehr homogen in der Schichtdicke als auch in der Materialhomogenität pro Flächeneinheit hergestellt sein. Ähnlich den mit vakuumtechnischen Verfahren auf Flachglas erzielten Schichthomogenitäten und - genauigkeiten muß hier die Beschichtungslösung auf große Flachglastafeln oder andere transparente Substrate bereits an und ab der Vorderkante in Transportrichtung sowie über die gesamte Flache mit einer Dickengenauigkeit kleiner 5% aufgebracht werden - unabhängig von technologisch bedingten Abständen zwischen aufeinanderfolgenden Flachglastafeln bzw. Substraten. Gleiche Genauigkeiten werden auch an die Materialhomogenität der finalen gewünschten funktionellen Schicht bzw. des Schichtsystems (der Feststoffschicht) gestellt. In gross technischen Anlagen muß diese visuelle Gleichmäßigkeit weiterhin von Substrat zu Substi'at über beliebig große Produktionszeitspannen konstant gewährleistet werden.Color uniformity can be produced both very homogeneously in the layer thickness and in the material homogeneity per unit area. Similar to the layer homogeneity and precision achieved with vacuum technology on flat glass, the coating solution must be applied to large flat glass sheets or other transparent substrates at and from the front edge in the direction of transport as well as across the entire surface with a thickness accuracy of less than 5% - regardless of technologically-related distances between successive flat glass sheets or substrates. The same accuracies are also placed on the material homogeneity of the final desired functional layer or the layer system (the solid layer). In large-scale technical systems, this visual uniformity must continue to be guaranteed from substrate to substrate over any length of production.
Die Art des Aufbringens einer Beschichtungslösung es im Zusammenhang mit der Substratgeometrie bestimmt wesentlich die Möglichkeiten, inwieweit ein vorgesehener Produktionsprozeß kontinuierlich und mit welcher Produktivität gestaltet werden kann. Gesamtheitlich sind in solche Produktionszielstellungen natürlich das Herstellungsverfahren, die einzelnen Herstellungsparameter sowie die Qualitätsanforderungen an die finale, funktionelle Schicht eingebunden.The way in which a coating solution is applied in connection with the substrate geometry essentially determines the extent to which a given production process can be designed continuously and with what productivity. The production process, the individual production parameters and the quality requirements for the final, functional layer are of course all integrated into such production objectives.
Trotz der vielen Anwendungszielstellungen für die Beschichtung von großflächigem Flachglas - größer I m2 - werden in der Glasindustrie nur dannDespite the many application objectives for the coating of large flat glass - larger than I m 2 - only in the glass industry
Flüssigbeschichtungstechnologien nachhaltig als grosstechnische Produktionstechnologien eingeführt werden können, wenn Verfahren zum kontinuierlichen Aufbringen von Beschichtungslösungen und insgesamt zur kontinuierlichen Schichtherstellung bereitgestellt werden können.Liquid coating technologies can be introduced sustainably as large-scale production technologies if processes for the continuous application of Coating solutions and overall for continuous layer production can be provided.
Beispielsweise wird in der Solartechnik ständig an der Erhöhung der maximalen Energieausbeute gearbeitet. Sowohl für die Vorrichtungen zur Solarwärmeerzeugung als auch für die Photovoltaik wird großflächiges Flachglas mit maximaler solarer Transmission benötigt. Nach den physikalisch-optischen Gesetzen kann die Erhöhung der solaren Transmission durch Aufbringen von Antireflexschichten auf Flachglas bei einseitiger Beschichtung nur maximal 4% bzw. bei beidseitiger Beschichtung nur maximal 8% betragen. Im Stand der Technik gibt es eine große Anzahl von Herstellungsverfahren für Antireflexschichten.For example, solar technology is constantly working on increasing the maximum energy yield. Large flat glass with maximum solar transmission is required both for the devices for generating solar heat and for photovoltaics. According to the physico-optical laws, the increase in solar transmission by applying antireflection layers on flat glass can only be a maximum of 4% with one-sided coating or only a maximum of 8% with double-sided coating. There are a large number of manufacturing methods for anti-reflective layers in the prior art.
Geeignete kontinuierliche Beschichtungsverfahren sind eine wesentliche Voraussetzung dafür, dass die erreichbare solare Energiedurchlässigkeit und die insgesamt erreichbare Gebrauchswerterhöhung von antireflexbeschichteten Flachgläsern zu vergleichsweise geringeren Beschichtungs- und Anlagenkosten führen. Selbstverständlich werden solche kontinuierlichen Beschichtungsverfahren auch für das Aufbringen von anderen funktioneilen Schichten auf großflächiges Flachglas benötigt, beispielsweise für transparente hydrophile und hydrophobe oder auch für andere optisch wirksame Schichten. Nach dem Stand der Technik sind eine Anzahl von Beschichtungsverfahren zum Auftragen von Beschichtungslösungen auf Glas und auf andere transparente Substrate bekannt.Suitable continuous coating processes are an essential prerequisite for the fact that the achievable solar energy permeability and the overall achievable increase in use value of antireflection-coated flat glasses lead to comparatively lower coating and system costs. Of course, such continuous coating processes are also required for the application of other functional layers to large-area flat glass, for example for transparent hydrophilic and hydrophobic or else for other optically effective layers. A number of coating methods for applying coating solutions to glass and to other transparent substrates are known in the prior art.
Bereits in der US 4,271,210 wird als Bestandteil des Herstellungsverfahren das Auftragen der Beschichtungslösung im Tauchverfahren vorgeschlagen. In der US 4,830,879 werden zum Auftragen der Beschichtungslösung wahlweise Tauchverfahren, Schleuderverfahren bzw.In US 4,271,210, the application of the coating solution in the immersion process is proposed as part of the manufacturing process. US Pat. No. 4,830,879 uses either immersion processes, centrifugal processes or
Sprühverfahren vorgeschlagen. Nach DE-A-19916811, DE-A-19708776 Cl, EP-A-0835849 und WO 00/64830 wird zur Herstellung von antireflexschichtetem Flachglas die Beschichtungslösung im Tauchverfahren aufgetragen und danach das so beschichtete Flachglas über mehrere M uten getrocknet. Das vorgeschlagene Beschichtungsverfahren ist für eine grosstechnische Anwendung in der Glasindustiie nicht geeignet. Außerdem ist eine einseitige Beschichtung nur durch aufwendiges Abdecken einer Seite realisierbar. In der WO 00/00854 bzw. EP-A-1 092164 wird vorgeschlagen, die dort beschriebene Beschichtungslösung im Schleuderverfahren (spin coating ) auf Flachglas aufzubringen. Es ist bekannt, dass im industriellen Maßstab auf runde Gläser bzw. auf Displayträger bis zu einem Durchmesser von max. 1 m im Schleuderverfahren Beschichtungslösungen aufgebracht werden können. Dieses Beschichtungsverfahren ist für eine grosstechnische kontinuierliche Beschichtung jedoch nicht geeignet.Spray method suggested. According to DE-A-19916811, DE-A-19708776 Cl, EP-A-0835849 and WO 00/64830, the coating solution is applied in an immersion process to produce antireflection-coated flat glass and then the flat glass coated in this way is dried over several minutes. The proposed coating process is not suitable for large-scale application in the glass industry. In addition, a one-sided coating can only be achieved by covering one side in a complex manner. In WO 00/00854 and EP-A-1 092164 it is proposed to apply the coating solution described there to the flat glass by spin coating. It is known that on an industrial scale up to round glasses or on display carriers a diameter of max. 1 m coating solutions can be applied in a centrifugal process. However, this coating method is not suitable for large-scale continuous coating.
Nach der DE-A-3 835 078 worden auf beispielsweise plane Glasflächen lineare Strukturen durch Ausstoßen eines Auftragmittels aus einer nicht mit dem Substrat in Berührung stehenden Öffnung in Form eines Fadens aufgebracht. Auf das notwendige Verhindern des Aufsprühens wird ausdrücklich hingewiesen. In der EP-A-0 765 694 wird ein gleichartiges Beschichtungsverfahren und eine entsprechende Vorrichtung mit einer senkrecht über dem planen Substrat und senkrecht zur Substratbewegung befindlichen Runddüse beschrieben. In der EP-A-0 775 669 wird die Herstellung von nanoporösen Aerogelen auf Glas oder anderen plattenförmigen Substrate beschrieben. Die flüssigen Sole sollen mittels Sprühverfahren (spray coating), Tauchverfahren (dip-coating ) oder Schleuderverfahren (spin-coating ) aufgebracht werden. Sprühverfahren können prinzipiell eine Möglichkeit sein, kontinuierlich mit konstanter Geschwindigkeit vorbeigeführte Substrate inAccording to DE-A-3 835 078, linear structures have been applied to flat glass surfaces, for example, by ejecting an application agent from an opening in the form of a thread that is not in contact with the substrate. We explicitly point out the need to prevent spraying. EP-A-0 765 694 describes a similar coating method and a corresponding device with a round nozzle located perpendicularly above the flat substrate and perpendicular to the substrate movement. EP-A-0 775 669 describes the production of nanoporous aerogels on glass or other plate-shaped substrates. The liquid brine should be applied by spray coating, dip coating or spin coating. In principle, spraying processes can be an option for continuously moving substrates in at a constant speed
Transportlichtung in schmalen Bändern zu beschichten. Eine diesbezügliche technische Lösung für ein großflächiges Auftragen wird jedoch nicht beschrieben.To coat transport clearing in narrow bands. A related technical solution for large-area application is not described.
Nach der DE -A-19 619 545 werden wässrige Polyurethanlösungen in einem Luftdruckspritzverfahren auf Glas, vorzugsweise auf Flaschen aufgebracht. An dieAccording to DE-A-19 619 545, aqueous polyurethane solutions are applied to glass, preferably to bottles, in an air pressure spraying process. To the
Schichtdickenkonstanz werden keine hohen Anforderungen gestellt. Nach der DE-A-19719 948 wird die Beschichtungslösung (dort genannt: Beschichtungslack) zur Herstellung von nanostrukturierten Schichten auf Glas oder auf transparenten Kunststoffen durch Scheuderbeschichtung definiert auf das Substrat aufgebracht. In der DE-A-43 25 760 wird ein Herstellungsverfahren für bandförmige, auch mäanderförmige, elektrisch leitende Bahnen auf Glas beschrieben. Eine technische Lösung für die Beschichtung wird nicht beschrieben.Layer thickness constancy is not a high requirement. According to DE-A-19719 948, the coating solution (called coating lacquer there) for the production of nanostructured layers on glass or on transparent plastics is applied to the substrate in a defined manner by spin coating. DE-A-43 25 760 describes a production process for band-shaped, also meandering, electrically conductive webs on glass. A technical solution for the coating is not described.
Die Beschichtung von breiten Kunststofffolien mit hochviskosen Beschichtungslösungen wird im industriellen Meßstab bereits seit etwa 6 Jahrzehnten zur Herstellung von Fotofilmen durchgeführt. Nach dem Stand der Technik erfolgt das Aufbringen von viskosen bzw. hochviskosen Beschichtungslösungen auf flexible Materialbahnen auch durch Extrudieren aus konstruktiv sehr unterschiedlich ausgeführten Breitschlitzdüsen. Die Breitschlitzdüsen sind meist senkrecht zur Transportrichtung und zur vorbeigeführten Materialbahn angeordnet. Die Materialbahnen werden zwischen Vorratsrollen auf- bzw. abgespult. Komplizierte und im Mikrometerbereich genau gefertigte Transport- und Antriebsvorrichtungen in Verbindung mit Rollenführungen und Kalanderwalzensystemen ermöglichen mit konstruktiv speziell gestalteten Extrudern auch dünne Schichten bis in den Bereich von kleiner etwa 10 nm aufzubringen.The coating of wide plastic films with highly viscous coating solutions has been carried out on the industrial measuring stick for around 6 decades for the production of photo films. According to the prior art, the application of viscous or highly viscous coating solutions to flexible material webs is also carried out by extrusion from wide-slot nozzles of very different designs. The wide slot nozzles are usually arranged perpendicular to the direction of transport and to the material web being passed. The material webs are opened or closed between supply rolls unwound. Complicated transport and drive devices, precisely manufactured in the micrometer range, in conjunction with roller guides and calender roller systems enable thin layers down to the range of less than about 10 nm to be applied with specially designed extruders.
Verfahren und Vorrichtungen zum gleichmäßigen Aufbringen von Beschichtungslösungen auf flexible, bandförmige, gleichmäßig bewegte Materialbahnen mittels Extrusionsverfahren werden beispielsweise in den Schriften DE-A-4000405, DE-A-3126795, DE-A-3639027, DE-A- 10133582, EP-A-1080866, DE-A-3014816 (EP-A-0038526) beschrieben.Methods and devices for the uniform application of coating solutions to flexible, band-shaped, uniformly moving material webs by means of extrusion processes are described, for example, in the documents DE-A-4000405, DE-A-3126795, DE-A-3639027, DE-A-10133582, EP-A -1080866, DE-A-3014816 (EP-A-0038526).
Nach DE-A-210220 können auf bandförmigen Trägermaterialien Naßschichtdicken kleiner 10 nm bis etwa 5 nm erreicht werden durch Aufbringen von niedrigviskosen Beschichtungslösungen mit Viskositäten kleiner ca. 50 mPas durch Kombination von Extrusions- und Wulstbeschichtungsverfahren. Die Beschichtungswulst ist eine geometrische Form aus Beschichtungslösung, die im Querschnitt betrachtet in der Form eines sich ausbildenden Tropfens den schmalen Spalt zwischen dem Extrusionsgießer und der vorbeigeführten Materialbahn überbrückt. Die Beschichtungslösung wird wahlweise über eine Gleitebene bzw. einen schlitzförmigen Kanal der Wulst zugeführt. Unter der Einwirkung der Erdschwerkraft und der bevorzugt entgegen der Erdschwerkraft geführten Transportrichtung der Materialbahn befindet sich die Wulst quasi in der Schwebe. Zusätzliches Anblasen soll die Wulst stabilisieren. Nach DD-A-22413 können auf bandförmigen Trägermaterialien Naßschichtdicken bis etwa 10 nm mit geringen Schichtdickenschwankungen erreicht werden durch Aufbringen von magnetisierbaren, bindemittelhaltigen Beschichtungslösungen (in der Art von Suspensionen) nach einem Verfahren der Deliiiextrusionsbeschichtung. Die Extrusions gießeröffnung und die gerade Kante eines Magneten sind berührungslos im Abstand gegenüber angeordnet. Die zu beschichtende Materialbahn wird von unten über eine Gleitfläche mit hohen Geschwindigkeiten bis etwa 100 m/min über diese gerade Kante in eine geneigt gegen die Erdschwerkraft führende ebene Gleitebene weitergeführt. Der Magnet ist zur zusätzlichen Stabilisierung des Beschichtungsvorganges eingesetzt. Die extrudierte Beschichtungslösung wird nach dem Auftreffen durch die Schleppwirkung der Materialbahn in Richtung der entgegen der Erdschwerkraft geneigten Gleitebene gedehnt. Nach DD-A-227624 können auf bandförmigen Trägermaterialien Naßschichtdicken von etwa 0.5 nm erreicht werden durch Aufbringen von Präparationsflüssigkeiten durch die Extrusion solcher Flüssigkeiten über einen an die Materialbahn angepreßten Docht, der aus organischen, porösen Stoffen, beispielsweise Filz, Papier besteht.According to DE-A-210220, wet layer thicknesses of less than 10 nm to about 5 nm can be achieved on tape-like support materials by applying low-viscosity coating solutions with viscosities less than about 50 mPas by combining extrusion and bead coating processes. The coating bead is a geometric shape made of coating solution which, viewed in cross section, bridges the narrow gap between the extrusion die and the material web that is being passed in the form of a drop that forms. The coating solution is optionally supplied to the bead via a sliding plane or a slot-shaped channel. Under the action of earth's gravity and the direction of transport of the material web, which is preferably directed against earth's gravity, the bead is virtually in suspension. Additional blowing should stabilize the bead. According to DD-A-22413, wet-film thicknesses of up to about 10 nm can be achieved on tape-like carrier materials with slight fluctuations in the layer thickness by applying magnetizable, binder-containing coating solutions (in the manner of suspensions) by a process of delirium extrusion coating. The extrusion pourer opening and the straight edge of a magnet are arranged in contact-free spacing. The material web to be coated is guided from below over a sliding surface at high speeds up to approximately 100 m / min over this straight edge into a plane sliding plane inclined against gravity. The magnet is used for additional stabilization of the coating process. After striking, the extruded coating solution is stretched by the drag effect of the material web in the direction of the sliding plane, which is inclined against gravity. According to DD-A-227624, wet layer thicknesses of about 0.5 nm can be achieved on tape-like carrier materials by applying preparation liquids by extruding such liquids a wick pressed against the material web, which consists of organic, porous materials, such as felt, paper.
Die EP-A-0 876 848 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Auftragen eines Photoresists auf ein Glassubstrat. Die Auftragvorrichtung hat eine Schlitzdüse, welche über eine Leitung mit einem die Beschichtungslösung enthaltenden Behälter in Verbindung steht. In die Schlitzdüse mündet eine Mehrzahl von horizontalen Kanälen, durch welche die Lösung in einen zentralen Sammelkanal zugeführt wird. An den Sammelkanal schliesst ein vertikaler Schlitz mit einer Austrittsöffnung an. Die EP-A-0 876 848 lehrt u.a., wie aus der Viskosität und der Oberflächenspannung der Beschichtungslösung, derEP-A-0 876 848 discloses a method and an apparatus for applying a photoresist to a glass substrate. The application device has a slot nozzle which is connected via a line to a container containing the coating solution. A plurality of horizontal channels open into the slot nozzle, through which the solution is fed into a central collecting channel. A vertical slot with an outlet opening connects to the collecting duct. EP-A-0 876 848 teaches, among other things, how to determine the viscosity and surface tension of the coating solution
Beschichtungsgeschwindigkeit und der gewünschten Schichtdicke der Abstandsbereich zwischen der Austrittsöffnung der Düse und der Substratoberfläche berechnet werden kann, damit während der Beschichtung ein stabiler und kontinuierlicher Meniskus zwischen der Düse und der Substratoberfläche erhalten bleibt. Gemäss Ausführungsbeispiel hat der eingesetzte Photoresist eine Viskosität von 60 mPas (Milli-Pascal-Sekunden) und eine Oberflächenspannung von 30 * 10"3 N/m. Mit einer gewünschtenCoating speed and the desired layer thickness, the distance between the outlet opening of the nozzle and the substrate surface can be calculated so that a stable and continuous meniscus between the nozzle and the substrate surface is maintained during the coating. According to the exemplary embodiment, the photoresist used has a viscosity of 60 mPas (milli-Pascal seconds) and a surface tension of 30 * 10 " 3 N / m. With a desired
Beschichtungsgeschwindigkeit von 10 mm/s und einer Schichtdicke von 10 μm kann sich der Abstand zwischen der Auftragvorrichtung und der Substratoberfläche zwischen 16 und 66 μm bewegen.Coating speed of 10 mm / s and a layer thickness of 10 μm, the distance between the application device and the substrate surface can vary between 16 and 66 μm.
Die US 5,622,747 offenbart Abgabevorrichtung für die Waferbeschichtung mit einem Photoresist. Die Abgabevorrichtung ist durch ein Gehäuse gebildet mit einem Eintrittsöffnung und einer Austrittsöffnung. Von der Eintiittsöffnung fliesst der Photoresist in ein Reservoir, von welchem ein länglicher Kanal zur Austrittsöffnung führt. Die Austrittsöffnung hat eine Spaltweite von 0.075 mm (75 μm). Beim Beschichten wird dieUS 5,622,747 discloses dispenser for wafer coating with a photoresist. The dispensing device is formed by a housing with an inlet opening and an outlet opening. The photoresist flows from the inlet opening into a reservoir, from which an elongated channel leads to the outlet opening. The outlet opening has a gap width of 0.075 mm (75 μm). When coating the
Abgabevorrichtung mit einer Geschwindigkeit von 4.5 cm/s und ungefähr 2 mm über einen Wafer bewegt. Zum Beschichten wird an die Düse ein Überdruck angelegt.Dispenser moved over a wafer at a speed of 4.5 cm / s and approximately 2 mm. An overpressure is applied to the nozzle for coating.
Den Verfahren für die Beschichtung von Wafern ist gemeinsam, dass Substrate mit relativ kleinen Unebenlieiten mit einem Photorest einer Viskosität grösser als 50 mPas beschichtet werden. Die Beschielt tungsgesch windigkeiten mit bis zu 3 m/min sind klein und beispielsweise für die industrielle Beschichtung von grossflächigen Substraten zu gering. AufgabenstellungThe processes for the coating of wafers have in common that substrates with relatively small uneven areas are coated with a photo residue with a viscosity greater than 50 mPas. The coating speeds of up to 3 m / min are low and, for example, too low for the industrial coating of large-area substrates. task
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein verbessertes Beschichtungsverfahren und eine Beschichtungsvorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung von optischen Vergütungen und anderen transparent wirkenden Oberflächenvergütungen auf plattenförmigen, bevorzugt transparenten Substraten, insbesondere Flachglas (Floatglas oder Gussglas) bereitzustellen. Ziel ist es such, ein Verfahren und eine Vorrichtung vorzuschlagen, mit welchen großflächige, plattenförmige Substrate mit einer Beschichtungslösung, welche aushärtbar ist, versehen werden können. Eine weitere Zielstellung ist, mit einem Verfahren und einer Vorrichtung auf großflächige, vorzugsweise transparente Substrate homogene und mit großer visueller Gleichmäßigkeit und Farbgleichmäßigkeit versehene optische und andere transparent wirkende Oberflächenvergütungen aufzubrmgen. Es ist weiterhin Ziel, dass durch die bereitgestellten Verfahren und Vorrichtung kostengünstig und in beliebigen Zeitspannen konstante Beschichtungen für optisch wirksame Reflex- und Antireflexschichten und für andere transparent wirkende Oberflächenvergütungen herzustellen sind. Eine weitere Zielstellung ist, dass das Verfahren und die Vorrichtung wahlweise sowohl Ein- und Mehrfachbeschichrungen als auch ein- oder zweiseitige Beschichtungen von plattenförmigen, vorzugsweise transparenten Substraten ermöglicht. Ziel ist es auch, dass mit dem Verfahren und der Vorrichtung aufgerauhte oder gleichmäßig strukturierte oder auch stochastisch strukturierte Substratoberflächen beschichtet werden können. Eine weitere Zielstellung ist, ein Verfahren sowie eine mit dem Verfahren hergestellte Beschichtung bereitzustellen, mit welchen eine Erhöhung der integralen solaren Transmission von Flachglas um mindestens ca. 2,5% je beschichteter Glasoberfläche erreicht wird. Ein Ziel ist es, Antireflexschichten mit einem Brechungsindex n kleiner 1,3, vorzugsweise von ca. 1,23 bereitzustellen. Noch ein Ziel ist es, gehärtetes beschichtetest Flachglas bereitzustellen, welches weiterhin mit dem Glaswerkstoff vergleichbare Eigenschaften aufweist.The aim of the present invention is to provide an improved coating method and a coating device for the continuous production of optical coatings and other transparent surface coatings on plate-shaped, preferably transparent substrates, in particular flat glass (float glass or cast glass). The aim is to propose a method and a device with which large-area, plate-shaped substrates can be provided with a coating solution which can be cured. Another objective is to apply a method and a device to large and preferably transparent substrates to apply homogeneous optical and other transparent surface finishes provided with great visual uniformity and color uniformity. It is also a goal that the methods and apparatus provided make it possible to produce constant coatings for optically effective reflective and antireflective layers and for other transparent surface coatings in a cost-effective manner and in any desired time period. A further objective is that the method and the device optionally enable both single and multiple coatings as well as one- or two-sided coatings of plate-shaped, preferably transparent substrates. It is also the aim that the method and the device can be used to coat roughened or uniformly structured or also stochastically structured substrate surfaces. A further aim is to provide a method and a coating produced by the method, with which an increase in the integral solar transmission of flat glass by at least approximately 2.5% per coated glass surface is achieved. One aim is to provide antireflection coatings with a refractive index n less than 1.3, preferably about 1.23. Another goal is to provide tempered coated glass which still has properties comparable to those of the glass material.
Beschreibungdescription
Erfindungsgemäss wird das Ziel dadurch erreicht, dass niedrigviskose Beschichtungslösungen mit einer Viskosität kleiner als 10 mPas eingesetzt werden. ZurAccording to the invention, the goal is achieved in that low-viscosity coating solutions with a viscosity of less than 10 mPas are used. to
Überraschung des Erfinders hat sich herausgestellt, dass Breitschlitzgiesser sich auch für die Beschichtung von starren, grossflächigen plattenförmigen Substraten mit Unebenheiten bis zu ± 50 μm eignen, wenn Beschichtungslösungen mit einer Viskosität kleiner als 10 mPas eingesetzt werden. Die Beschichtung von ebenen plattenförmigen Substraten mit einem Breitschlitzgiesser hat den Vorteil, dass das Verfahren kontinuierlich betrieben werden kann.The inventor's surprise was found to be that slot die casters are also suitable for coating rigid, large-area plate-shaped substrates with unevenness of up to ± 50 μm if coating solutions with a viscosity of less than 10 mPas be used. The coating of flat, plate-shaped substrates with a slot slitter has the advantage that the process can be operated continuously.
Gemäss einer bevorzugten Ausführungsvariante wird das Substrat relativ zum Extrusionsbreitschlitzgießer mit einer solchen Geschwindigkeit bewegt, dass durchAccording to a preferred embodiment variant, the substrate is moved relative to the extrusion wide slot caster at a speed such that
Schleppwirkung die Beschichtungslösung auf der Substratoberfläche in Transportrichtung zusätzlich gedehnt wird. Dadurch können gleichmässige Dünnschichten mit Schichtdicken < 1 μm erhalten werden. Zweckmässigerweise werden die Fördermenge und die Geschwindigkeit des Substrats so eingestellt, dass sich ein zusammenhängender Beschichtungslösungsvorhang vom Extrusionsbreitschlitzgiesser zum bewegten Substrat hin ausbildet. Dabei kann zur Stabilisierung eines zusammenhängendenThe coating solution is additionally stretched on the substrate surface in the direction of transport. This enables uniform thin layers with layer thicknesses <1 μm to be obtained. The delivery rate and the speed of the substrate are expediently set in such a way that a coherent coating solution curtain forms from the extrusion wide-slot caster towards the moving substrate. It can help stabilize a coherent
Beschichtungslösungvorhanges in Abhängigkeit der Eigenschaften der Beschichtungslösung mindestens ein Teil des Abstandes zwischen der Öffnung des Breitschlitzspaltes und der Substratoberfläche hilfsweise mit einem Rakel überbrückt werden. Auch kann je nach der Art und Eigenschaften der jeweils eingesetzten Beschichtungslösung die Dehnung derCoating solution curtain, depending on the properties of the coating solution, at least part of the distance between the opening of the slot slot and the substrate surface can be bridged with a doctor blade. Depending on the type and properties of the coating solution used in each case, the elongation of the
Beschichtungslösung auf der Substratoberfläche über eine Winkeleinstellung des Extrusionsbreitschlitzgiessers in Bezug auf die Richtung der Erdschwerkraft eingestellt werden.Coating solution on the substrate surface can be adjusted by adjusting the angle of the extrusion slotted die with respect to the direction of gravity.
Vorteilhaft werden die Theologischen Fluideigenschaften (Viskosität, und innereThe theological fluid properties (viscosity and internal
Normalspannung), der pH- Wert, die Fördermenge und Förderdruck, Feststoffkonzentration und Transportgeschwindigkeit (Relativgeschwindigkeit zwischen Breitschlitzgiesser und Substrat) so eingestellt, dass eine gleichmässige Benetzung der Substratoberfläche, vorzugsweise bereits ab Vorderkante des Substrats mit der Beschichtungslösung erreicht wird. Dies ist von Bedeutung für eine gleichmässige Beschichtung der Substrate.Normal tension), the pH value, the delivery rate and delivery pressure, solids concentration and transport speed (relative speed between the slot die and the substrate) are adjusted so that a uniform wetting of the substrate surface, preferably from the front edge of the substrate, is achieved with the coating solution. This is important for a uniform coating of the substrates.
Insbesondere soll durch entsprechende Wahl der oben angegebenen Parameter wie Fluideigenschaften, Fördermenge und - druck etc. eine gleichmässige Benetzung der Substratoberfläche mit der Beschichtungslösung erreicht werden. Weiter hat die geeignete Einhaltung der obgenannten Verfahrensparameter zum Ziel, dass sich eine gleichmässige Flüssigkeitsbrücke zwischen dem Extrusionsbreitschützgiesser und der Substratoberfläche einstellt.In particular, a corresponding wetting of the above-mentioned parameters such as fluid properties, delivery quantity and pressure, etc. is intended to achieve a uniform wetting of the substrate surface with the coating solution. Another aim of the appropriate observance of the above-mentioned process parameters is that a uniform liquid bridge is established between the extrusion wide-contact protector and the substrate surface.
Vorteilhaft ist die Beschichtungslösung niedrigviskos mit einer Viskosität kleiner 20 mPas (Milli Pascalsekunden), vorzugsweise kleiner 10 mPas, und ganz besonders bevorzugt kleiner 5 mPas. Überraschenderweise und entgegen der bisherigen Lehrmeinung lassen sich derart niederviskose Lösungen sehr wohl mit einem Breitschlitzgiesser gleichmässig auf flache Substrate aufbringen. Zweckmässigerweise ist dabei die innere Normalspannung (senkrecht zur Scherspannung) der Beschichtungslösung grösser als 2 Pascal.The coating solution is advantageously of low viscosity with a viscosity of less than 20 mPas (milli Pascal seconds), preferably less than 10 mPas, and is particularly preferred less than 5 mPas. Surprisingly, and contrary to the previous opinion, such low-viscosity solutions can very well be applied uniformly to flat substrates with a slot die caster. The internal normal stress (perpendicular to the shear stress) of the coating solution is expediently greater than 2 Pascals.
Gemäss einer bevorzugten Verfahrensvariante ist der gewichtsmässige Feststoffanteil in der Beschichtungslösung kleiner 20%, vorzugsweise kiemer 10%. Lösungen mit niedrigem Feststoffgehalt eignen sich für das Aufbringen auf plattenförmige Substratoberflächen mittels Breitschlitzgiesser.According to a preferred variant of the method, the proportion by weight of solids in the coating solution is less than 20%, preferably less than 10%. Solutions with a low solids content are suitable for application to plate-shaped substrate surfaces by means of a slot die caster.
Zweckmässigerweise wird das Substrat mit einer jeweils konstanten Geschwindigkeit im Bereich zwischen 2.0 bis 30.0 m/ min, vorzugsweise im Bereich zwischen 4.0 bis 15.0 m/ min unter dem Breitschlitzgiesser vorbeigeführt und mit einer Flüssigkeitsschicht der Beschichtungslösung überzogen. Mit diesen Geschwindigkeiten ist eine grosse Produktionskapazität gegeben. Ausserdem kann das Verfahren - im Unterschied zum Eintauchverfahren - kontinuierlich durchgeführt werden.The substrate is expediently passed at a constant speed in the range between 2.0 to 30.0 m / min, preferably in the range between 4.0 to 15.0 m / min, under the slot slitter and coated with a liquid layer of the coating solution. At these speeds, there is a large production capacity. In addition, in contrast to the immersion process, the process can be carried out continuously.
Vorzugsweise wird der Abstand zwischen Unterkante des Breitschlitzgiessers und der Substratoberfläche über eine Höheneinstelleinrichtung des Breitschlitzgiesser oder wahlweise des Supports eingestellt. Dies ist kostengünstig realisierbar, und es können dann unterschiedliche Substratstärken beschichtet werden. Vorteilhaft wird der Abstand zwischen der Unterkante des Extrusionsbreitschlitzgiessers und der Substratoberfläche auf einen Wert kleiner 2 mm, vorzugsweise zwischen 0.1 mm und 1.0 mm und ganz besonders bevorzugt zwischen 0.1 mm und 0.4 mm eingestellt. Zweckmässigerweise wird der Abstand zwischen der Unterkante des Breitschlitzgiessers und der Substratoberfläche mit einer Genauigkeit von besser als ungefähr 0.03 mm eingestellt.The distance between the lower edge of the wide-slot caster and the substrate surface is preferably set via a height adjustment device of the wide-slot caster or optionally of the support. This can be achieved inexpensively, and different substrate thicknesses can then be coated. The distance between the lower edge of the extrusion slot die and the substrate surface is advantageously set to a value of less than 2 mm, preferably between 0.1 mm and 1.0 mm and very particularly preferably between 0.1 mm and 0.4 mm. The distance between the lower edge of the slot die and the substrate surface is expediently set with an accuracy of better than approximately 0.03 mm.
Vorteilhaft werden - im Unterschied zum Verfahren der US 6,177,131 (Frauenhof er) - keine kolloidal disperse Lösungen, sondern im wesentlichen echte und homogene Beschichtungslösungen eingesetzt. Agglomerate oder Feststoffanteile sind zweckmässigerweise nur in solcher Größe, Form und Menge enthalten, dass der Beschichtungslösungsvorhang zusammenhängend bleibt und die Fördermenge homogen auf das Substrat übertragen wird. Homogene Lösungen lassen sich gut mit einem Breitschlitzgiesser auftragen. Vorzugsweise sind die Beschichtungslösungen entgast. Die mit - lo ¬In contrast to the method of US Pat. No. 6,177,131 (Frauenhof er), it is advantageous not to use colloidally disperse solutions, but rather to use essentially genuine and homogeneous coating solutions. Agglomerates or solid components are expediently only contained in such a size, shape and amount that the coating solution curtain remains coherent and the delivery rate is homogeneously transferred to the substrate. Homogeneous solutions can be applied well with a wide-slot caster. The coating solutions are preferably degassed. With - lo ¬
dern Beschichtungsverfahren hergestellten Feststoffschichtdicken sind vorzugsweise kleiner 1 μm.The solid layer thicknesses produced in the coating process are preferably less than 1 μm.
Als Lösungsmittel können ein leicht verflüchtigbares, vorzugsweise organisches Lösungsmittel oder Lösungsmittelgemisch eingesetzt werden, in welchem die schichtbildenden Feststoffe lösbar sind. Beispiele für geeignete Lösungsmittel solche, welche bereits bei Raumtemperatur einen hohen Dampfdruck aufweisen. Bevorzugte Lösungsmittel haben einen Siedepunkt < 100 °C, vorzugsweise < 80 °C.An easily volatilized, preferably organic solvent or solvent mixture in which the layer-forming solids are soluble can be used as the solvent. Examples of suitable solvents are those which already have a high vapor pressure at room temperature. Preferred solvents have a boiling point <100 ° C, preferably <80 ° C.
Vorzugsweise wird die Beschichtung in einer bestimmten Arbeite- resp.The coating is preferably carried out in a specific working or
Prozessgasatmosphäre durchgeführt. Die Prozessgase können während des Verfahrens wenigstens zeitweise eingesetzt werden zur gezielten Verzögerung und Beschleunigung der Kondensations- und Polymerisationsreaktionen etc. und Verfestigung zur Feststoffschicht. Ausserdem wird eine Vergleichmässigung der Schichtdicke durch den Einsatz der Prozessgase unterstützt.Process gas atmosphere carried out. The process gases can be used at least temporarily during the process to deliberately delay and accelerate the condensation and polymerization reactions etc. and solidify to form a solid layer. In addition, an even layer thickness is supported by the use of the process gases.
Vorzugsweise wird der Bereich des Extrusionsbreitschützgiessers während des Beschichtungsvorgangs von einem ersten Prozessgas mit einer der Zusammensetzung der Beschichtungslösung angepassten Gaszusammensetzung, wahlweise als Schutzgas oder Gas mit reaktiven Bestandteilen, umspült. Dies hat den Vorteil, dass konstantePreferably, the area of the extrusion wide-contact caster is flushed during the coating process by a first process gas with a gas composition adapted to the composition of the coating solution, optionally as a protective gas or gas with reactive constituents. This has the advantage of being constant
Beschichtungsbedingungen herrschen und der Flüssigkeitsfilm nicht abbricht. Durch reaktive Gasbestandteile im Prozessgas kann der Kondensationsprozess von z.B. Metallalkoxyverbindungen während der Beschichtung gezielt gesteuert werden. Zweckmässigerweise wird die aufgebrachte Beschichtungslösung in aufeinanderfolgenden Arbeitsschritten von weiteren unterschiedlichen Prozessgasen umgeben oder umspült. Die Wahl und Zusammensetzung der Prozessgase kann gemäß der chemischen und chemischphysikalischen Notwendigkeit und in der Reihenfolge eines vorgegebenen Herstellungsverfahren gewählt werden. Dazu kann es notwendig sein, durch einfache konstruktive Maßnahmen die einzelnen Arbeitsgasbereiche voneinander zu trennen. Mittels eines oder mehrerer Prozessgase kann das vorzugsweise leichtflüchtige Lösungsmittel der Beschichtungslösung verdampft und weitere flüchtige Reaktions- und ZerfaUsprodukte aufgenommen und abgeführt werden. Vorzugsweise bestehen die eingesetzten Prozessgase aus einem oder mehreren reaktionsträgen oder inerten Trägergasen, bevorzugt Stickstoff, und wahlweise aus zugemischten reaktiven Dämpfen und Gasen. Zweckmässigerweise werden die Konzentrationen der reaktiven Dämpfe und Gase in Abhängigkeit der verfahrenstechnischen Reaktionsbedingungen zugemischt, bevorzugt in einer Gesamtkonzentration kleiner 15%. Durch die Zugabe von mit der Beschichtungslösung reagierenden Komponenten kann das Verfestigen der Feststoffschicht beschleunigt werden. Im Falle von OrganometaUverbindungen, z.B. Organosiloxane, kann durch die Zugabe von z.B. Wasserdampf im gasförmigen Zustand in einer Konzentration im Bereich von beispielsweise 20 bis 80 % relative Feuchte, das Verfestigen der Schicht beschleunigt werden. So können beispielsweise die Alkoxymetallverbindungen der Beschichtungslösung mit reaktiven Bestandteilen des Prozessgases, z.B. H20, reagieren und sich verfestigen. Ausserdem kann das Prozessgas in Konzentrationen kleiner ca. 10 Vol% wahlweise in gasförmiger Form saure Gase, Säuren und andere geeignete Verbindungen enthalten. Beispielsweise können, ohne darauf beschränkt zu sem, Chlor, Schwefeldioxid, HC1, H2SO4, H2SO3, HNO3, CHsCOOH, wasserlösliche Chloride, Hydrogensulfate und Sulfite enthalten sein. Die gewünschte Zusammensetzung der Prozessgasatmosphären kann durch Mischen mittels einer Mischeinrichtung hergestellt und über entsprechende Leitungen an den gewünschten Ort geleitet werden. Die Prozessgase können nach dem Kontakt mit der aufgebrachten Flüssigschicht abgeleitet und deren Zusammensetzung zur Kontrolle gemessen werden.Coating conditions prevail and the liquid film does not break off. Through reactive gas components in the process gas, the condensation process of, for example, metal alkoxy compounds can be controlled in a targeted manner during the coating. The applied coating solution is expediently surrounded or washed around by further different process gases in successive working steps. The choice and composition of the process gases can be chosen according to the chemical and chemical-physical necessity and in the order of a given manufacturing process. To this end, it may be necessary to separate the individual working gas areas from one another by simple constructive measures. The preferably volatile solvent of the coating solution can be evaporated by means of one or more process gases and further volatile reaction and decomposition products can be taken up and removed. The process gases used preferably consist of one or more inert or inert carrier gases, preferably nitrogen, and optionally of admixed reactive vapors and gases. Conveniently, the concentrations of the reactive vapors and gases are admixed as a function of the process-technical reaction conditions, preferably in a total concentration of less than 15%. The solidification of the solid layer can be accelerated by adding components which react with the coating solution. In the case of organometallic compounds, for example organosiloxanes, the solidification of the layer can be accelerated by adding, for example, water vapor in the gaseous state in a concentration in the range of, for example, 20 to 80% relative humidity. For example, the alkoxy metal compounds of the coating solution can react with reactive components of the process gas, for example H 2 O, and solidify. In addition, the process gas can contain acid gases, acids and other suitable compounds in concentrations of less than approximately 10% by volume, optionally in gaseous form. For example, but not limited to, chlorine, sulfur dioxide, HC1, H 2 SO 4 , H2SO3, HNO3, CHsCOOH, water-soluble chlorides, hydrogen sulfates and sulfites can be contained. The desired composition of the process gas atmospheres can be produced by mixing using a mixing device and directed to the desired location via corresponding lines. The process gases can be discharged after contact with the applied liquid layer and their composition can be measured for control.
Zweckmässigerweise werden IR- und UV-Strahlungsquellen zu strahlungsinduzierendenExpediently, IR and UV radiation sources become radiation-inducing ones
Stoffreaktionen in der Beschichtung eingesetzt. Durch Bestrahlung, z.B. mit einer UV-Quelle, kann die Kondensation der Metall- Alkoxy Verbindung beschleunigt werden.Substance reactions used in the coating. By irradiation, e.g. with a UV source, the condensation of the metal alkoxy compound can be accelerated.
Vorzugsweise erfolgt die Beschichtung des Substrats in einem kontinuierlichen Verfahren. Damit können die Kosten des Beschichtungsverfahrens niedrig gehalten werden. Auch können nach dem Aufbringen einer ersten Schicht, weitere Schichten aufgebracht werden. Es ist denkbar, auf plattenförmige Substrate ein- oder zweiseitig sowohl einfach als auch mit zwei oder mehreren Schichten übereinander mit jeweils gleichen oder auch unterschiedlichen Feststoffschichtdicken aufzubringen. Vorzugsweise werden die Substrate für die Mehrfachbeschichtung innerhalb einer automatisierten Fertigungslinie wahlweise durch die Aufeinanderfolge von zwei oder mehreren Breitschlitzgießern nacheinander beschichtet oder in einem technisch und logistisch angepassten Bypass zu dem einen Breitschlitzgießer rückgeführt resp. im Kreislauf geführt.. Als Substrate können Flachglas, Kunststoffglas oder andere transparente Platten eingesetzt werden. Beispiele für Flachglas sind Floatglas, Gußglas mit beliebig regelmässigen und/ oder stochastisch strukturierten Oberflächen, z.B. mit feingehämmerten Oberflächen, glatte oder polierte plattenförmige Metalle, mineralische Stoffe oder andere transparente Platten. Als Substrate können jedoch auch lichtdurchlässige Kunststoffplatten, vorzugsweise aus Polymethylmetacrylat, Polycarbonat, Polystyrol u. dgl., eingesetzt werden. Durch Beschichten von Antikglas, das herstellungsbedingt unregelmäßig uneben ist, mit nanoporösen Antireflexschichten kann - wie bei der Beschichtung von ebenen Glasoberflächen (Floatglas) - eine Erhöhung der integralen solaren Transmission erhalten werden.The substrate is preferably coated in a continuous process. The costs of the coating process can thus be kept low. After applying a first layer, further layers can also be applied. It is conceivable to apply one or two sides to plate-shaped substrates both simply and with two or more layers one above the other, each with the same or different solid layer thicknesses. Preferably, the substrates for the multiple coating within an automated production line are optionally coated in succession by the sequence of two or more slot die casters or returned or returned to the one slot die caster in a technically and logistically adapted bypass. circulated .. Flat glass, plastic glass or other transparent plates can be used as substrates. Examples of flat glass are float glass, cast glass with any regular and / or stochastically structured surfaces, for example with finely hammered surfaces, smooth or polished plate-shaped metals, mineral substances or other transparent plates. However, translucent plastic plates, preferably made of polymethyl methacrylate, polycarbonate, polystyrene and the like, can also be used as substrates. Like., Are used. By coating antique glass, which is irregular due to the manufacturing process, with nanoporous antireflection layers - as with the coating of flat glass surfaces (float glass) - an increase in the integral solar transmission can be obtained.
Gemäss einer bevorzugten Verfahrensvariante wird als Beschichtungslösung eine Lösung eingesetzt enthaltend wenigstens eine Metall-Alkoxy Verbindung und ein im wesentlichen unpolares, gegenüber der eingesetzten Metall-Alkoxy Verbindung vorzugsweise chemisch inertes Polymer. Mit derart zusammengesetzten Beschichtungslösungen lassen sich nanoporöse Schichten mit deutlich erhöhter integraler solarer Transmission herstellen.According to a preferred process variant, a solution is used as coating solution containing at least one metal-alkoxy compound and an essentially non-polar polymer, which is preferably chemically inert compared to the metal-alkoxy compound used. Coating solutions composed in this way can be used to produce nanoporous layers with significantly increased integral solar transmission.
Als Polymere werden vorzugsweise aus einer der nachfolgenden Gruppen stammt: Polyacrylat, Polycarbonat, Polyethylenoxid, Polymethylacrylat, Polymethylmetaacrylat, Polystyrol, Polyvinylchlorid, Polyvinylpyridin(P2VP und P4VP), Teflon AF etc.The polymers are preferably derived from one of the following groups: polyacrylate, polycarbonate, polyethylene oxide, polymethylacrylate, polymethylmetaacrylate, polystyrene, polyvinylchloride, polyvinylpyridine (P2VP and P4VP), Teflon AF etc.
Gemäss einer besonders bevorzugten Verfahrensvariante wird aus der auf die plattenförmigen Substrate aufgebrachten Feststoffschicht das eingesetzte Polymer entfernt. Dies kann beispielsweise durch Herauslösen mit einem geeigneten, z.B. alkohohlischen, ätherischen oder aromatischen Lösungsmittel geschehen. Alternativ kann das Polymer durch Zufuhr von Wärme verdampft werden. Zweckmässigerweise wird das Lösungsmittel durch einen Prozessgasstrom schockartig verdampft. Durch dieses Verfahren können nanoporöse Schichten mit Antireflexeigenschaften erhalten werden. Die integrale solare Transmission lässt sich somit um mindestens ca. 2.5 % erhöhen.According to a particularly preferred process variant, the polymer used is removed from the solid layer applied to the plate-shaped substrates. This can be done, for example, by detaching with a suitable, e.g. alcoholic, ethereal or aromatic solvents happen. Alternatively, the polymer can be evaporated by the application of heat. The solvent is expediently vaporized by a process gas stream. This process can be used to obtain nanoporous layers with anti-reflective properties. The integral solar transmission can thus be increased by at least approx. 2.5%.
Gemäss einem anderen unabhängigen Aspekt ist Gegenstand der vorliegenden Erfindung ein Beschichtungsverfahren gemäss Oberbegriff von Anspruch 26, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass der Extrusionsbreitschützgießer und gegebenenfalls das unter dem Extrusionsbreitschlitzgießer vorbeigeführte Substrat mindestes im Bereich der Austiittsöffnung des Breitschlitzspaltes mit einer Prozessgasatmosphäre umspült wird. Durch das Prozessgas kann erreicht werden, dass der Flüssigkeitsvorhang nicht abbricht und dass sich durch den Abtransport des Lösungsmittels innert Sekunden eine dünne Schicht bildet. Nach dem Entfernen des Lösungsmittels kann die Schicht bereits soweit verfestigt sein, dass sie händelbar ist. Weitere vorteiüiafte Aspekte des Verfahrens sind in den Unteransprüchen definiert.According to another independent aspect, the subject matter of the present invention is a coating method according to the preamble of claim 26, which is characterized in that the extrusion slurry protector and, if appropriate, the substrate passed under the extrusion slit pourer, at least in the region of the Outlet opening of the slot slot is washed with a process gas atmosphere. The process gas can ensure that the liquid curtain does not break and that a thin layer is formed within seconds as the solvent is removed. After the solvent has been removed, the layer can already be solidified to such an extent that it can be handled. Further advantageous aspects of the method are defined in the subclaims.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist auch die Verwendung einer Vorrichtung gemäss Anspruch 28 zur kontinuierlichen Beschichtung von transparenten, großflächigen plattenförmigen Substraten, insbesondere von Substraten wie Flachglas, mit iiiedrigviskosen Beschichtungslösungen mit einer Viskosität < 10 mPas (MilliPascalsekunden). Breitschlitzgiesser wurden bisher nur für die Beschichtung von Kunststoffbahnen u.a. mit zähflüssigen Beschichtungszusammensetzungen eingesetzt, jedoch nicht für die Beschichtung von grossflächigen plattenförmigen Substraten, wie Glasplatten. Allgemein war die Fachwelt der Überzeugung, dass Breitschlitzgiesser sich für die Beschichtung von plattenförmigen Substraten mit niedrigviskosen Beschichtunglösungen nicht eignen. Oberflächenbeschichtungen von grossflächigen Glasplatten wurden deshalb in der Vergangenheit zur Hauptsache im Tauchverfahren durchgeführt. Erfindungsgemäss wurde nun zur Überraschung der Fachwelt gefunden, dass Breitschlitzgiesser sich sehr wohl zur Applikation von niedrigviskosen Beschichtunglösungen eignen.The present invention also relates to the use of a device according to claim 28 for the continuous coating of transparent, large-area plate-shaped substrates, in particular substrates such as flat glass, with low-viscosity coating solutions with a viscosity of <10 mPas (milliPascal seconds). Up to now, wide-slot casters have only been used for the coating of plastic sheets, etc. used with viscous coating compositions, but not for the coating of large-area plate-shaped substrates, such as glass plates. In general, the experts were convinced that slot die casters were not suitable for coating plate-shaped substrates with low-viscosity coating solutions. Surface coatings of large-area glass plates were therefore mainly carried out in the past using the immersion process. To the surprise of experts, it has now been found according to the invention that wide-slot casters are very well suited for the application of low-viscosity coating solutions.
Vorzugsweise ist der Extrusionsbreitschützgiesser unter einer Haube oder in einer gegen die Umgebungsatmosphäre weitestgehend abgeschlossenen Kammer angeordnet. Dadurch kann die Beschichtung in einer definierten Prozessgasatmosphäre durchgeführt werden. Vorteilhaft ist wenigstens eine mit der Kammer in Verbindung stehendeThe extrusion wide-contact protection castor is preferably arranged under a hood or in a chamber which is largely sealed off from the ambient atmosphere. As a result, the coating can be carried out in a defined process gas atmosphere. At least one connected to the chamber is advantageous
Gasaufbereitungseinrichtung zur Mischung von inerten und/ oder reaktiven Gasbestandteilen vorhanden. Dies erlaubt es, unterschiedliche Atmosphären einzusetzen. An der Kammer können wenigstens zwei Anschlüsse zum Zu- und Ableiten eines Prozessgases oder -gasgemisches vorgesehen sein. Zweckmässigerweise ist eine Dosier- und/ oder Druckhaltevorrichtung vorgesehen, welche mit dem Extrusionsbreitschützgiesser inGas processing device for mixing inert and / or reactive gas components available. This allows different atmospheres to be used. At least two connections for supplying and discharging a process gas or gas mixture can be provided on the chamber. A metering and / or pressure-maintaining device is expediently provided, which is in contact with the extrusion wide protection castor
Verbindung steht Die Kammer, in welcher der Extrusionsbreitschützgiesser angeordnet ist, kann in mindestens zwei Reaktionsräume aufgeteilt sein. Weiter können Gasführungseinrichtungen, z.B. Leitbleche oder Leitungen mit Leitblechen, vorgesehen seüi, um die Gase gezielt auf die Substratoberfläche zu leiten oder abzusaugen. Vorteilhaf t hat die Transporteinrichtung einen vorzugsweise beweglichen Support, auf welchem die Substrate fixierbar sind. Auf diesem Support können die Substrate mittels einer geeigneten Einrichtung, z.B. mittels eines Unterdrucks, z.B. in der Art eines Chucks, am Support fixierbar sein. Andererseits kann mittels eines Überdrucks, beispielsweise in der Art eines Luftkissens, die Substrate relativ zur Substratoberfläche beweglich gemacht werden. Denkbar ist auch, den Support mittels eines Luftkissens auf einem Tragrahmen beweglich anzuordnen.Connection is established. The chamber in which the extrusion sluice pourer is arranged can be divided into at least two reaction spaces. Furthermore, gas guiding devices, for example baffles or lines with baffles, can be provided in order to guide or suck off the gases in a targeted manner onto the substrate surface. The transport device advantageously has a preferably movable support on which the substrates can be fixed. The substrates can be fixed to the support on this support by means of a suitable device, for example by means of a negative pressure, for example in the manner of a chuck. On the other hand, the substrates can be made movable relative to the substrate surface by means of overpressure, for example in the manner of an air cushion. It is also conceivable to arrange the support movably on a support frame by means of an air cushion.
Vorteilhaft sind in der Kammer in Abstand zur Transporteinrichtung Flächenstrahler, z.B. IR- und/ oder UV-StralilungsqueUen, angeordnet. Mittels der Strahlungsqu eilen kann das Verfestigen der Schicht beschleunigt werden.Surface emitters in the chamber at a distance from the transport device are advantageous, e.g. IR and / or UV radiation queues arranged. The hardening of the layer can be accelerated by means of the radiation sources.
Vorteilhaft hat der Extrusionsbreitschützgiesser einen langen, vorzugsweise wenigstens die Breite des zu beschichtenden Substrats aufweisenden, langen Breitschützspalt.Advantageously, the extrusion wide-contact mold has a long, wide wide-contact gap, preferably at least the width of the substrate to be coated.
Zweckmässigerweise ist die Spaltweite des Breitschlitzspaltes in Abhängigkeit der Eigenschaften des Beschichtungslösung einstellbar. Die Spaltweite bzw. die Schlitzweite der schlitzförmigen Öffnung ist vorzugsweise auf einen Wert kleiner 1.2 mm, vorzugsweise zwischen 0.02 mm und 0.8 mm einstellbar. Kleine Schlitzweiten sind vorteilhaft beim Einsatz von niederviskosen Beschichtungslösungen. Ausserdem kann in Abhängigkeit der Eigenschaften der Beschichtungslösung ein Rakel nach bekannten konstruktiven Ausführungen mit dem Breitschlitzspalt verbunden sem.The gap width of the wide slot gap is expediently adjustable depending on the properties of the coating solution. The gap width or the slot width of the slot-shaped opening can preferably be set to a value less than 1.2 mm, preferably between 0.02 mm and 0.8 mm. Small slot widths are advantageous when using low-viscosity coating solutions. In addition, depending on the properties of the coating solution, a doctor blade can be connected to the wide slot gap according to known constructional designs.
Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform ist der Breitschlitzgiesser in einer Ebene angeordnet ist, welche im wesentlichen sowohl senkrecht zur Förderrichtung des Substrates als auch senkrecht zur Supportoberfläche steht. Dies ist von Bedeutung, wenn niedrigviskose Beschichtungslösungen aufgetragen werden sollen. Zweckmässigerweise ist der Breitschlitzgiesser oberhalb des Supports, resp. des zu beschichtenden Substrates, angeordnet.According to a preferred embodiment, the slot die caster is arranged in a plane which is essentially both perpendicular to the conveying direction of the substrate and perpendicular to the support surface. This is important if low-viscosity coating solutions are to be applied. Advantageously, the slot slitter is above the support, respectively. of the substrate to be coated.
Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform ist der Breitschlitzgiesser um eine parallel zum Breitschlitz verlaufende Achse schwenkbar angeordnet. Dadurch kann der sich beim Beschichrungsvorgang einstellende Beschichtungsvorhang beeinflusst werden. Vorteilhaft ist der Abstand zwischen Transporteinrichtung resp. Support und der Unterkante des Breitschlitzgiessers verstell- resp. einstellbar. Dies erlaubt es, Substrate unterschiedlicher Dicke mit derselben Vorrichtung zu beschichten. Vorzugsweise kann der Abstand zwischen zu beschichtender Oberfläche und dem Extrusionsbreitschlitzgiesser mit einer Genauigkeit besser als 0.03 mm eingestellt werden. Es ist auch von Vorteil, wenn der Support im Bereich unter dem Breitschützgiesser mit einer Höhengenauigkeit besser als 0.01 mm einstellbar ist.According to a preferred embodiment, the wide slot caster is pivotable about an axis running parallel to the wide slot. As a result, the coating curtain that arises during the coating process can be influenced. The distance between the transport device or. Support and the bottom edge of the Breitschlitzgiessers adjustable or adjustable. This makes it possible to coat substrates of different thicknesses with the same device. Preferably, the distance between the surface to be coated and the extrusion slotted caster can be set with an accuracy better than 0.03 mm. It is also an advantage if the support in the area under the broad contactor can be adjusted with a height accuracy better than 0.01 mm.
Zweckmässigerweise weist die Transporteinrichtung regulierbare Antriebsmittel auf, damit das Substrat mit einer einstellbaren, bestimmten Geschwindigkeit - vorzugsweise zwischen 2.0 bis 15 m/min - transportiert werden kann. Mit diesen Geschwindigkeiten lässt sich ein hoher Durchsatz erreichen. Zur Herstellung einer gewünschten optisch wirksamen Vergütung kann die aufgebrachte Feststoffschicht in einem abschließenden Verfahrensschritt, vorzugsweise einer thermochemischen oder einer pyrolytischen Behandlung ausgesetzt werden. Zu diesem Zweck kann in Transportrichrung an die Kammer anschliessend ein Härte- oder Glühofen vorgesehen sein.The transport device expediently has adjustable drive means so that the substrate can be transported at an adjustable, specific speed - preferably between 2.0 to 15 m / min. A high throughput can be achieved at these speeds. To produce a desired optically effective coating, the applied solid layer can be exposed in a final process step, preferably a thermochemical or a pyrolytic treatment. For this purpose, a hardening or annealing furnace can be provided in the transport direction of the chamber.
Nachfolgend wird die Erfüidung unter Bezugnahme auf die Figuren beispielhaft näher beschreiben. Es zeigt:The invention is described in more detail below by way of example with reference to the figures. It shows:
Fig. 1 schematisch eine Vorrichtung zum Beschichten von Glassubst aten;1 schematically shows an apparatus for coating glass substances;
Fig. 2 einen Breitschlitzgiesser näher im Detail; undFigure 2 shows a slot die caster in more detail. and
Fig. 3 die Transmissionsspektren verschiedener Gläser zwischen 300 und 2500 nm, welche nach dem erfindungsgemässen Verfahren beschichtet wurden, im Vergleich.Fig. 3 shows the transmission spectra of different glasses between 300 and 2500 nm, which were coated according to the inventive method, in comparison.
Die in Figur 1 gezeigte Beschichtuiigsvorrichtung 11 besitzt eine Transporteinrichtung 13 und einen oberhalb der Transporteinrichtung 13 angeordneten Breitschlitzgiesser 15. Die Transporteinrichtung 13 umfasst einen in einer Förderrichtung 17 beweglichen Support 19, auf welchem zwecks Beschichtung plattenförmige Substrate 21, insbesondere Flachglas, anordenbar sind. Der Support 19 ruht auf einem nicht näher dargestellten Unterbau 23 und ist relativ zu diesem beweglich. Der Support 19 ist auch mittels einer Höhenverstelleinrichtung 25 höhenverstellbar, damit Substrate 21 unterschiedlicher Dicke beschichtbar sind.The coating device 11 shown in FIG. 1 has a transport device 13 and a slot die caster 15 arranged above the transport device 13. The transport device 13 comprises a support 19 movable in a conveying direction 17, on which plate-shaped substrates 21, in particular flat glass, can be arranged for the purpose of coating. The support 19 rests on a substructure 23 (not shown in more detail) and is movable relative to the latter. The support 19 can also be adjusted in height by means of a height adjustment device 25, so that substrates 21 of different thicknesses can be coated.
Der Breitschlitzgiesser 15 ist gemäss der bevorzugten Ausführungsform ein Extrusionsbreitschützgiesser mit einem quer zur Förderrichtung 17 sich erstreckenden Schlitz 27. Der Schlitz hat eine Weite zwischen 0.02 und 1.0 mm, vorzugsweise zwischen 0.08 und 0.3 mm. Der Extrusionsbreitschützgiesser 15 ist an einem Rahmen 28 angeordnet und um eine quer zur Transportrichtung verlaufende, horizontale Schwenkachse 30 verschwenkbar. Des weiteren ist der Extrusionsbreitschützgiesser 15 über eine Zuleitung 29 mit einem Vorratsbehälter 31 in Verbindung. Der Vorratsbehälter 31 dient der Aufnahme einer Beschichtungslösung 33. Eine Dosierpumpe 35 erlaubt, die in den Extrusionsbreitschützgiesser 15 zugeführte Flüssigkeitsmenge genau zu dosieren. Grundsätzlich denkbar ist, die Dosierung der Flüssigkeitsmenge über den hydrostatischen Druck zu steuern.According to the preferred embodiment, the wide-slot caster 15 is an extrusion wide-contact caster with one that extends transversely to the conveying direction 17 Slot 27. The slot has a width between 0.02 and 1.0 mm, preferably between 0.08 and 0.3 mm. The extrusion wide protection castor 15 is arranged on a frame 28 and can be pivoted about a horizontal pivot axis 30 running transversely to the transport direction. Furthermore, the extrusion wide contactor 15 is connected to a storage container 31 via a feed line 29. The storage container 31 serves to hold a coating solution 33. A metering pump 35 allows the amount of liquid fed into the extrusion wide-contact protection caster 15 to be metered precisely. It is basically conceivable to control the metering of the amount of liquid via the hydrostatic pressure.
Der Extrusionsbreitschützgiesser 15 ist in einer Haube oder Kammer 37 angeordnet. Die Kammer 37 überdeckt die Transporteinrichtung 13 in der Breite und ist bis auf einen zwischen Support 19 resp. Transporteinrichtung 13 bestehenden Schlitz 39 geschlossen. Vorzugsweise ist die Kammer 37 mindestens in eine Beschichtungskammer 44, in welcher der Extrusionsbreitschützgiesser 15 angeordnet ist, und eine m Förderrichtung 17 an dieThe extrusion wide protection casting 15 is arranged in a hood or chamber 37. The chamber 37 covers the transport device 13 in width and is apart from one between support 19 and. Transport device 13 existing slot 39 closed. Preferably, the chamber 37 is at least in a coating chamber 44, in which the extrusion slug casting 15 is arranged, and an conveying direction 17 in the
Reaktionskammer 44 anschliessende Trocknungskammer 45 unterteilt. Über eine Leitung 41 ist ein erstes Arbeite- oder Prozessgas, insbesondere Reaktivgas, in die Beschichtungskammer 44 zuführbar. Eine erste Gasaufbereirungseinrichtung 63, an welche die Leitung 41 angeschlossen ist, dient dem Mischen von verschiedenen Gasen. Überschüssiges Gas kann durch eine an der Beschichtungskammer 44 vorgesehene Austrittsöffnung 43 abgeführt oder abgesaugt werden.Reaction chamber 44 adjoining drying chamber 45 divided. A first working or process gas, in particular reactive gas, can be fed into the coating chamber 44 via a line 41. A first gas treatment device 63, to which the line 41 is connected, is used to mix different gases. Excess gas can be removed or extracted through an outlet opening 43 provided in the coating chamber 44.
Die Trocknungskammer 45 überdeckt wie die Beschichtungskammer 44 die Transporteinrichtung 13 in der Breite, sodass auf dem Support 19 angeordnete Substrate 21 in Förderrichtung mit einer bestimmten zweiten, zur ersten unterschiedlichenLike the coating chamber 44, the drying chamber 45 covers the transport device 13 in width, so that substrates 21 arranged on the support 19 have a specific second, different from the first, in the conveying direction
Prozessgasatmosphäre kontaktiert werden können. Eine Zuleitung 47 dient der Zufuhr eines zweiten Prozessgases oder Prozessgasgemisches, insbesondere eines Trocknungsgases, in die Trocknungskammer 45. Eine zweite Gasaufbereitungseinrichtung 65, an welche die Zuleitung 47 angeschlossen ist, dient dem Mischen von verschiedenen Gasen. Über eine an der Kammer 45 vorgesehne Austrittsöffnung 49 kann das Gas wieder austreten oder abgesaugt werden.Process gas atmosphere can be contacted. A feed line 47 is used to feed a second process gas or process gas mixture, in particular a drying gas, into the drying chamber 45. A second gas treatment device 65, to which the feed line 47 is connected, is used to mix different gases. The gas can escape again or be sucked out via an outlet opening 49 provided on the chamber 45.
Vor resp. nach der Beschichtungsvorrichtung 11 sind eine Support-Belegestation 51 und eine Support-Entladestation 53 vorgesehen. Diese Stationen 51,53 dienen dem Beladen und Entladen des Supports 19 mit den plattenförmigen Substraten 21. Schwenkstapler 55,57 erlauben, unbeschichtete Substrate auf den Support 19 zu laden, resp. beschichtete Substrate zu entladen.Before resp. after the coating device 11, a support loading station 51 and a support unloading station 53 are provided. These stations 51, 53 are used for loading and Unloading the support 19 with the plate-shaped substrates 21. Swivel stackers 55, 57 allow uncoated substrates to be loaded onto the support 19, respectively. unload coated substrates.
In Förderichtung 17 nach dem Schwenkstapler 57 kann ein Härteofen 59 vorgesehen sein. Im Härteofen kann beispielsweise vorgängig in der Beschichtungsvorrichtung 11 beschichtetes Glas thermisch vorgespannt werden. Das Vorspannen des Glases und die Endbehandlung der aufgetragenen Schicht (z.B. pyrolytische Entfernung von organischen Bestandteilen) kann dabei zeitgleich erfolgen. Der Beschichtungsvorrichtung 11 vorgeschaltet kann eine nicht näher dargestellte, bekannte Oberflächenreinigungsanlage 61 sein.A hardening furnace 59 can be provided in the conveying direction 17 after the swivel stacker 57. In the hardening furnace, for example, glass coated beforehand in the coating device 11 can be thermally tempered. The tempering of the glass and the final treatment of the applied layer (e.g. pyrolytic removal of organic components) can take place at the same time. Upstream of the coating device 11 can be a known surface cleaning system 61, not shown.
Figur 2 zeigt den unteren Teil eines Breitschlitzgiessers 15 näher im Detail. Der Breitschlitzgiesser besitzt eine Breitschützspalt 27 mit einer bestimmten Schlitzweite und Schlitzhöhe. Durch die Schlitzhöhe kann eine Vergleichmässigung der Druckverhältnisse im Breitschlitzgiesser und damit der Fördermenge pro Zeiteinheit bewirkt werden. Durch die gewählte Transportgeschwindigkeit des Substrats 21 wird der Flüssigkeitsvorhang 67 in Transportrichtung 17 gedehnt.Figure 2 shows the lower part of a slot die caster 15 in more detail. The wide slot caster has a wide contactor gap 27 with a certain slot width and slot height. The slot height can be used to even out the pressure conditions in the slot slot caster and thus the delivery rate per unit of time. The liquid curtain 67 is stretched in the transport direction 17 by the selected transport speed of the substrate 21.
Nachfolgend wird das erfindungsgemässe Beschichtungsverfahren anhand der Herstellung einer Antireflexionsbeschichtung beispieüiaft beschrieben:The coating method according to the invention is described below using the production of an antireflection coating as an example:
Die Flachglasoberflächen sind zuerst zu reinigen und frei von chemischen Verunreinigungen und staubförmigen Ablagerungen bereitzustellen. In einem organischen Lösungsmittel, das bei Zimmertemperatur einen hohen Dampfdruck hat, wird eine monomere, vorzugsweise vierfach vernetzende Alkoxy Verbindung von Silizium oder die eines anderen Metalles (zum Beispiel AI, Ce, Ga, In, Nd, Sn, Ti, Th, Tl, und/ oder Zr) gelöst. Weiter enthält die Beschichtungslösung mindestens ein Polymer mit einem Molekulargewicht kleiner lO'OOO'OOO, vorzugsweise jedoch grösser als 500O00, welches vorzugsweise keine -OH und/ oder -NH-Gruppen aufweist. Der Einsatz von Oligomeren als Vorstufen für in situ zu Polymeren reagierenden Vorstufen ist jedoch denkbar. Die verwendete Polymerverbindung soll gegenüber der monomeren Alkoxyverbindung chemisch weitgehend inert sein. Weiter sollen Polymerverbindung und Alkoxyverbindung miteinander nicht mischbar sein. Unter Verwendung von Polymeren oder auch Oligomeren, die im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens den genannten Einschränkungen genügen, seien beispielhaft Polyacrylat, Polycarbonat, Polyethylenoxid, Polymethylacrylat, Polymethylmetaacrylat, Polystyrol, Polyvinylchlorid, Polyvinylpyridin(P2VP und P4VP) oder Teflon AF genannt. Beschichtungslösungen aus einem oder mehreren vorgenannten Polymeren und einer oder mehreren Alkoxymetallverbindungen sind dadurch charakterisiert, dass im Prozess des gewünschten schnellen, schockartigen Verdampfens des Lösungsmittels unter chemischer Einwirkung der Prozessgase die aufgebrachte Flüssigkeitsschicht zu einer Feststoffschicht verfestigt. Diese Feststoffschicht besteht aus statistisch verteilten, alternierenden dreidimensionalen Bereichen der beiden Feststoffkomponenten; aus Bereichen des vernetzten Polymers - deren Grosse und Grössenverteilung nach der Pyrolyse die statistische Verteilung der Porosität in der nanoporösen Antireflexschicht bestimmt - und aus Bereichen eines kettenartig vernetzten festen Gels der verwendeten Alkoxyverbindung.The flat glass surfaces must first be cleaned and provided free of chemical contaminants and dusty deposits. In an organic solvent that has a high vapor pressure at room temperature, a monomeric, preferably quadruple-crosslinking alkoxy compound of silicon or that of another metal (for example Al, Ce, Ga, In, Nd, Sn, Ti, Th, Tl, and / or Zr) solved. The coating solution further contains at least one polymer with a molecular weight of less than 10,000, but preferably greater than 500,000, which preferably has no -OH and / or -NH groups. However, the use of oligomers as precursors for precursors which react in situ to give polymers is conceivable. The polymer compound used is said to be largely chemically inert to the monomeric alkoxy compound. Furthermore, the polymer compound and the alkoxy compound should not be miscible with one another. Using polymers or oligomers which meet the above-mentioned restrictions in the context of the process according to the invention, examples include polyacrylate, Polycarbonate, polyethylene oxide, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinyl pyridine (P2VP and P4VP) or Teflon AF. Coating solutions consisting of one or more of the aforementioned polymers and one or more alkoxy metal compounds are characterized in that in the process of the desired rapid, shock-like evaporation of the solvent under the chemical influence of the process gases, the applied liquid layer solidifies to form a solid layer. This solid layer consists of statistically distributed, alternating three-dimensional areas of the two solid components; from areas of the crosslinked polymer - the size and size distribution of which determines the statistical distribution of the porosity in the nanoporous antireflection layer after pyrolysis - and from areas of a chain-like crosslinked solid gel of the alkoxy compound used.
Die Beschichtungslösung wird vorzugsweise auf einen pH- Wert <7 eingestellt. Dazu kann dem organischen Lösungsmittel etwas Wasser und eine Säure (zum Beispiel HC1, H2SO4) zugesetzt werden. Die Menge des Wassers wird in einem unterstöchiomehischen Verhältnis zur Menge der monomeren, vierfach vernetzende Alkoxyverbindung zugegeben, um gezielt eine ungleichmäßige Größenverteilung der Primärpartikel in dem Sol zu erreichen. Für diesen chemischen Zwischenprozeß ist zur genauen Einstellung eines geeigneten pH- Wertes im Bereich von 1 bis 6, vorzugsweise 2 bis 6, die Zugabe einer Säure in geringer Menge erforderlich.The coating solution is preferably adjusted to a pH <7. A little water and an acid (e.g. HC1, H2SO 4 ) can be added to the organic solvent. The amount of water is added in a substoichiometric ratio to the amount of the monomeric, four-crosslinking alkoxy compound in order to specifically achieve an uneven size distribution of the primary particles in the sol. For this chemical intermediate process, the addition of an acid in a small amount is necessary to precisely set a suitable pH in the range from 1 to 6, preferably 2 to 6.
Um vor dem Hochtemperatur-Härteprozeß für die aufgebrachte Feststoffschicht eine Dicke innerhalb des Bereiches von ca. 100 bis 400 11m zu erreichen, soll der Feststoffgehalt in der Lösung geringer als 15 Gew.% sein. Im Rahmen dieses Feststoff-Gesamtgehaltes kann das Mengenverhältnis zwischen den beiden makromolekularen Komponenten innerhalb einesIn order to achieve a thickness within the range of approximately 100 to 400 11 m for the applied solid layer before the high-temperature hardening process, the solids content in the solution should be less than 15% by weight. Within this total solid content, the quantitative ratio between the two macromolecular components can be within one
Bereiches von 1:5 bis 5:1 liegen. Das Verhältnis der beiden Komponenten hängt im Wesentlichen von der Stoffart und dem Molekulargewicht der eingesetzten Substanzen ab.Range from 1: 5 to 5: 1. The ratio of the two components essentially depends on the type of substance and the molecular weight of the substances used.
Es sind besonders solche Beschichtungslösungen geeignet, deren innerer Flüssigkeitszusammenlialt - gemessen senkrecht zur Scherspannung - durch eine Normalspannung größer ca. 2 Pa (Pascal) charakterisiert ist.Coating solutions whose internal liquid composition - measured perpendicular to the shear stress - is characterized by a normal stress greater than approx. 2 Pa (Pascal) are particularly suitable.
Die Beschichtung von plattenförmigeii, grossflächigen Substraten, zu denen auch Flachglasscheiben gehören, kann kontinuierlich durch einen senkrecht oder geneigt freifallenden Flüssigkeitsfilm erfolgen: Nach dem Auf treffen der Beschichtungslösung an der Vorderkante (in Förderrichtung gesehen vordere Kante) breitet sich die Beschichtungslösung als Flüssigkeitsvorhang sofort über die gesamte Substratbreite senkrecht zur Transportgeschwindigkeit aus. Damit ist auch in den Randbereichen eine gleichmässige Beschichtung und Schichtdicke gesichert. Vorzugsweise hat die eingesetzteThe coating of plate-shaped, large-area substrates, which also include flat glass panes, can be carried out continuously by a vertical or inclined one Free-falling liquid film takes place: After striking the coating solution on the front edge (front edge as seen in the conveying direction), the coating solution immediately spreads as a liquid curtain across the entire substrate width perpendicular to the transport speed. This ensures an even coating and layer thickness in the edge areas. Preferably the one used
Beschichtungslösung eine niedrige Viskosität, insbesondere eine solche < 20 mPas.Coating solution a low viscosity, especially one <20 mPas.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden nun mit einem Extrusionsgießer mit Breitschlitzspalt solcher Art hergesteUte und bereitgestellte Beschichtungslösungen auf das darunter vorbeigeführte Flachglas oder auch andere plattenförmige Substrate - weiterhin zusammenfassend als Substrate bezeichnet - im kombinierten Dehnschicht- und Freifallverfahren aufgebracht. Im Beschichtungsbetrieb überbrückt ein freihängender Flüssigkeitsfilm den Abstand von der Breitschlitzgiesserunterkante zur Substratoberfläche. Des weiteren wird der Flüssigkeitsfilm durch entsprechende Vorschubgeschwindigkeit des Substrats auf der Substratoberfläche in Transportrichtung zusätzlich gedehnt.According to the present invention, coating solutions produced and provided with an extrusion caster with a wide slot gap of this type are now applied to the flat glass or other plate-shaped substrates which are passed underneath - also referred to collectively as substrates - in the combined expansion layer and free-fall process. In coating operation, a free-hanging liquid film bridges the distance from the bottom slot die edge to the substrate surface. Furthermore, the liquid film is additionally stretched in the direction of transport by a corresponding feed rate of the substrate on the substrate surface.
Der Breitschlitzspalt hat vorzugsweise einen Schlitz ü der Breite zwischen 0.02 und 0.8 mm, vorzugsweise zwischen 0.05 und 1.0 mm, und ganz besonders bevorzugt zwischen 0.05 und 0.35 mm. Der Abstand zwischen der Substratoberfäche und Unterkante Breitschlitzgiesser kann im Bereich zwischen 0.1 und 1.0 mm, vorzugsweise 0.2 und 0.8 mm, variieren. DieThe wide slot gap preferably has a slot ü of width between 0.02 and 0.8 mm, preferably between 0.05 and 1.0 mm, and very particularly preferably between 0.05 and 0.35 mm. The distance between the surface of the substrate and the lower edge of the slot die can vary in the range between 0.1 and 1.0 mm, preferably 0.2 and 0.8 mm. The
Länge des Breitschlitzspaltes kann vorzugsweise grösser 1 m ohne Unterbrechung betragen. Die vorgenannten Parameter werden gemäss den Eigenschaften der Beschichtungslösung und den produktionstechiiischeii Erfordernissen gewählt resp. angepaßt.The length of the slot slot can preferably be greater than 1 m without interruption. The aforementioned parameters are selected or selected in accordance with the properties of the coating solution and the production technology requirements. customized.
Um eine ausreichende Genauigkeit der aufgetragenen Feststoffschichtdicke zu sichern, wird vorzugsweise ein schwingungsfreier Support eingesetzt. Der Support kann eine Vakuumansaugung oder andere Mittel für die Fixierung unterschiedlich großer Substrate aufweisen. Zweckmässigerweise kann die Höhe der Transportebene bezüglich der Gießerunterkante mit hoher Genauigkeit, vorzugsweise auf ±0.02 mm, eingestellt werden. Die Transportgeschwindigkeit sollte auf kleiner 1 % genau einstellbar sein.In order to ensure sufficient accuracy of the applied solid layer thickness, vibration-free support is preferably used. The support can have a vacuum suction or other means for fixing substrates of different sizes. The height of the transport plane can expediently be set with high accuracy, preferably to ± 0.02 mm, with respect to the lower edge of the caster. The transport speed should be adjustable to less than 1%.
In der unmittelbaren Nähe der Unterkante des Breitschlitzgießers kann bevorzugt eine Schutzgashülle, z.B. Stickstoff, wahlweise reaktive Gase in geringer Konzentration enthaltend, vorgesehen sein. Dies hilft, dass sich trotz der quasikontinuierlichen Arbeitsweise der Extrusionsbreitschützgiesser in ständiger Betriebsbereitschaft befindet und nacheinander zugeführte Substrate ab ihrer Vorderkante gleichmässig beschichtet werden.In the immediate vicinity of the lower edge of the slot die caster, a protective gas envelope, for example nitrogen, optionally containing reactive gases in a low concentration, can preferably be provided. This helps that despite the quasi-continuous Working principle of the extrusion wide protection casters is in permanent operational readiness and substrates fed in succession are coated evenly from their front edge.
Nach der bewirkten Vergleichmäßigung der aufgebrachten Flüssigschicht erreicht der beschichtete Substratoberflächenabschnitt eine anschließende Trocknungskammer, in welche ein zweites Prozessgas, bevorzugt als Trocknungsgas ausgelegt, das verdampfte Lösungsmittel und andere gasförmige Reaktionsprodukte aufnehmen kann. Durch die besondere Zusammensetzung der einzelnen Gaskomponenten des zweiten Prozessgases und wahlweise in Kombination mit einem IR-/UV-Strahlungsbett werden die Güte der Verfestigung und die Trocknungsgeschwindigkeit und der aufgebrachten Schicht gesteuert. Bei diesem Prozess bildet sich eine Feststoffschicht , deren Dicke auf dem Substrat - je nach Dicke der aufgebrachten Flüssigkeitsschicht und des in Lösung gebrachten Feststoffgehaltes - ab etwa 20 nm, vorzugsweise im Bereich von 100 bis 400 nm liegen kann.After the applied liquid layer has been made uniform, the coated substrate surface section reaches a subsequent drying chamber into which a second process gas, preferably designed as a drying gas, can absorb the evaporated solvent and other gaseous reaction products. The quality of the solidification and the drying speed and the applied layer are controlled by the special composition of the individual gas components of the second process gas and optionally in combination with an IR / UV radiation bed. In this process, a solid layer forms, the thickness of which on the substrate - depending on the thickness of the applied liquid layer and the solids content brought into solution - can be from about 20 nm, preferably in the range from 100 to 400 nm.
Die so hergestellte Feststoffschicht besteht aus alternierenden dichten Bereichen der beidenThe solid layer thus produced consists of alternating dense areas of the two
Stoffkomponenten, dem vernetzten Polymer und dem kettenförmig vernetzten Gel der ursprünglichen Alkoxy-Metallverbindung, vorzugsweise Alkoxy-Silanverbindung. Diese Stoffbereiche bestehen inkompatibel nebeneinander als dreidimensionale Bereiche mit statistisch verteilten unterschiedlicher Größen im Naometerbereich.Substance components, the crosslinked polymer and the chain-like crosslinked gel of the original alkoxy metal compound, preferably alkoxy silane compound. These areas of material exist incompatible side by side as three-dimensional areas with statistically distributed different sizes in the Naometer range.
Aus der so hergestellten Feststoffschicht wird m einem nächsten Verfahrensschritt durch eine Hochtemperaturschockbehandlung im Glashärteprozeß das Polymer durch einen pyrolytischen Prozess quasi rückstandsfrei aus der dreidimensionalen Feststoffmatrix entfernt. Aus der ursprünglichen Alkoxyverbindung entstellt so eine poröse hochvernetzte Antireflexscliicht. Die so hergestellte Antireflexschicht hat dann die Eigenschaft, die integrale solare Transmission des so beschichteten Flachglases um mindestens 2,5 % zu erhöhen.In a next step of the process, the polymer is removed from the three-dimensional solid matrix by a pyrolytic process using a high-temperature shock treatment in the glass hardening process. A porous, highly cross-linked antireflective layer is thus formed from the original alkoxy compound. The antireflection layer produced in this way then has the property of increasing the integral solar transmission of the flat glass coated in this way by at least 2.5%.
Für den Fall, dass die hergestellte Feststoffschicht auf sonstige plattenförmige, transparente Materialien, die etwa ab 250 °C temperaturbeständig sind, aufgebracht ist, kann das dafür geeignet ausgewählte Polymer durch einen das Substrat schonenden Pyrolyseprozess rückstandsfrei entfernt werden. Die integrale Tranmission des so beschichteten Substrates kann so um mindestens 2% erhöht werden. Für Substrate, die eine geringere Temperaturbeständigkeit aufweisen, können im Rahmen dieses Verfahrens gasförmiges Lösungsmittel enthaltende Prozessgase bereitgesteüt werden. Besonders ausgewählte und eingesetzte Polymere und Oligomere können mit Hilfe solcher Prozessgase selektiv aus der dreidimensionalen Matrix der aufgebrachten Feststoffschicht herausgelöst werden.In the event that the solid layer produced is applied to other plate-shaped, transparent materials which are temperature-resistant from approximately 250 ° C., the polymer selected for this purpose can be removed without residue by a pyrolysis process which is gentle on the substrate. The integral transmission of the substrate coated in this way can be increased by at least 2%. For substrates which have a lower temperature resistance, process gases containing gaseous solvents can be prepared in the course of this method. Especially selected and Polymers and oligomers used can be selectively removed from the three-dimensional matrix of the applied solid layer with the help of such process gases.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden nach dem Verfahren auch plattenförmige metallische und sonstige mineralische nicht transparente Substrate beschichtet und die so aufgebrachten Feststoffschichten ebenfalls mit einer Hochtemperaturschockbehandlung in Antireflexschichten umgewandelt und auf diesem Wege Substrate zum Beispiel mit EntSpiegelungen und/ oder designermässig mit Interferenzfarbeffekten gestalteten Oberflächen bereitgestellt.According to the present invention, plate-shaped metallic and other mineral, non-transparent substrates are also coated by the method and the solid layers applied in this way are likewise converted into antireflection layers with high-temperature shock treatment, and substrates are provided in this way, for example with anti-reflective surfaces and / or surfaces designed with interference color effects.
Ausführungsbeispieleembodiments
1. Beispiel: Herstellung einer einseitig mit einer Antireflexschicht beschichteten1. Example: Production of an anti-reflective layer coated on one side
Flachglasscheibe zur Erhöhung der integralen solaren Transmission.Flat glass pane to increase the integral solar transmission.
In geeigneter ReUienfolge und Mischung werden in einem für alle Substanzen wirksamenIn a suitable sequence and mixture, all substances are effective
Lösungsmittel mit einem hohen Dampfdruck bei Raumtemperatur ein vierfach vernetzendes Silan, eüi Polymethacrylat mit einem Molekulargewicht von 996O00, H2SO4 und Wasser aufgelöst und ein geeignetes Verhältnis zwischen den beiden makromolekularen Stoffen eingestellt und zwangsgemischt.Der Feststoffgehalt üi der Beschichtungslösung beträgt insgesamt 5 %.Solvent with a high vapor pressure at room temperature, a fourfold cross-linking silane, polymethacrylate with a molecular weight of 996O00, H 2 SO 4 and water, and a suitable ratio between the two macromolecular substances is adjusted and mixed. The total solids content in the coating solution is 5%.
Folgende Werte der Theologischen Eigenschaften wurden gemessen: Viskosität = 0.60 mPas, Normalspannung = 8.5 PaThe following values of the theological properties were measured: viscosity = 0.60 mPas, normal stress = 8.5 Pa
Die Beschichtungsgeschwindigkeit beträgt 7.0 m/ min. Die Feststoffdicke beträgt ungefähr 330 nm. Durch die Hochtemperaturschockbehandlung beim Glashärteprozeß wird im spektralen Bereich von 450 bis 1500 nm - im Vergleich zum unbeschichteten Flachglas - eine durchschnittliche Erhöhung der integralen solaren Transmission um 2.8% erreicht (gemessen mit der Ulbrichtkugel).The coating speed is 7.0 m / min. The solid thickness is approximately 330 nm. Due to the high-temperature shock treatment in the glass hardening process, an average increase of 2.8% in the integral solar transmission is achieved in the spectral range from 450 to 1500 nm (measured with the integrating sphere).
2. Beispiel: Herstellung wie im Beispiel 1 mit um 50 % reduziertem Feststoffgehalt2. Example: Production as in Example 1 with a solids content reduced by 50%
Im Vergleich zum Beispiel 1 beträgt der Feststoffgehalt in der Beschichtungslösung nur 2.3In comparison to example 1, the solids content in the coating solution is only 2.3
%. Der Anteil des Polymethacrylats wurde im Vergleich zum Beispiel 1 auf ein Drittel reduziert.Die Zugabe von H2SO4 und Wasser wurde im Verhältnis der Reduzierung des Silans entsprechend verringert.%. The proportion of the polymethacrylate was compared to 1 in a third The addition of H2SO4 and water has been reduced in proportion to the reduction in silane.
Für die rheologischen Eigenschaften des Beschichtungslösung wurden folgende Werte gemessen:The following values were measured for the rheological properties of the coating solution:
Viskosität = 0.43 mPasViscosity = 0.43 mPas
Normalspannung = 2.8 PaNormal tension = 2.8 Pa
Die Beschichtungsgeschwindigkeit beträgt 7.0 m/min. Die Feststoffdicke beträgt 240 nm.The coating speed is 7.0 m / min. The solid thickness is 240 nm.
Durch die Hochtemperaturschockbehandlung beim Glashärteprozeß wird im spektralen Bereich von 450 bis 1500 nm - im Vergleich zum unbeschichteten Flachglas - eine durchschnittliche Erhöhung der integralen solaren Transmission um 1.8 % erreicht (gemessen mit der Ulbrichtkugel). Die Antireflexschicht war auffällig visuell ungleichmäßig.The high-temperature shock treatment in the glass hardening process results in an average increase in the integral solar transmission of 1.8% in the spectral range from 450 to 1500 nm - compared to the uncoated flat glass (measured with the integrating sphere). The anti-reflective coating was visually uneven.
Das Beispiel 2 zeigt im Vergleich zum Beispiel 1, dass der Gewichtsanteil der Feststoffe und die Gewichtsanteile untereinander die Güte der Antireflexscliicht wesentlich beeinflussen.In comparison to example 1, example 2 shows that the proportion by weight of the solids and the proportion by weight among themselves have a significant influence on the quality of the antireflection layer.
3. Beispiel: Herstellung von ein- und/ oder zweiseitig mit Ein- oder Mehrfachbeschichtung beschichteten Flachglasscheiben3. Example: Production of flat glass panes coated on one and / or two sides with single or multiple coating
Für die Mehrfachbeschichtung von Flachglasscheiben werden die einfach beschichteten Flachglasscheiben oder sonstigen Substraten in eüiem technologischen Bypass rückgeführt oder mit einem nachfolgenden zweiten Breitschlitzgiesser beschichtet. Die aufgebrachte Feststoffschicht ist nach Verlassen der Beschichtungskammer mechanisch so stabil, dass einseitig beschichtete Substrate mit der für Glasverarbeitungsbetriebe üblichen automatisierten Transporttechnik auch auf der beschichteten Seite bewegt werden können. So bestehen wahlweise die verfahrenstechnischen Möglichkeiten, vor dem Glashärteprozeß mit der gleichen Beschichtungslösung und gleichen Beschichtungsbedingungen die Rückseite der Substrate zu beschichten, oder ein bzw. zweiseitig die Substrate erneut zur Zweifachbeschichtung zu beschichten.For the multiple coating of flat glass panes, the simply coated flat glass panes or other substrates are returned in a new technological bypass or coated with a subsequent second slot die caster. The applied solid layer is mechanically stable after leaving the coating chamber so that substrates coated on one side can also be moved on the coated side using the automated transport technology customary for glass processing companies. For example, there are process engineering options available to coat the back of the substrates with the same coating solution and the same coating conditions before the glass hardening process, or to coat the substrates again on one or both sides for double coating.
Über Änderungen der Substratgeschwindigkeit bzw. der Fördermengen können die Schichtdicken geändert und Mehrfachschichten mit unterschiedlich aufgebrachten Schichtdicken und Schichtenstrukturen realisiert werden. Die Feststoffschichten werden auf dem Flachglas durch den nachfolgenden Hochtemperaturthermoschock in nanoporöse Antireflexschichten umgewandelt. Ein solches beschichtetes Flachglas erreicht einen Brechungsindex n bis ca. 1.1 gegenüber der angrenzenden Luft und führt bei einseitiger Beschichtung zu eüier Erhöhung der integralen solaren Transmission um mehr als 3%.The layer thicknesses can be changed by changing the substrate speed or the delivery rates, and multiple layers can be realized with differently applied layer thicknesses and layer structures. The solid layers are on the flat glass is converted into nanoporous anti-reflective layers by the subsequent high-temperature thermal shock. Such a coated flat glass achieves a refractive index n up to approx. 1.1 compared to the adjacent air and, when coated on one side, leads to an increase in the integral solar transmission by more than 3%.
In Figur 4 ist die Transmission im Spektralbereich zwischen 300 nm und 2500 nm für verschiedene Gläser dargestellt. Die Kurve 1 entspricht einem nicht beschichteten Referenzglas (Gussglasscheibe). Die Transmission beträgt im Bereich zwischen ungefähr 400 nm und 2000 nm knapp 92%. Die mit 2 und 3 bezeichneten Kurven zeigen die Transmission nach Beschichtung der Glasscheibe mit einer erfindimgsgemässen Antireflexionsschicht. Die Messkurven wurden erhalten, indem die Transmission an weit auseinander liegenden Stellen der selben beschichteten Gussglasscheibe gemessen wurde. Die integrale Transmission ist für beide Kurven ungefähr dieselbe. Kurve 4 zeigt die Transmission einer beschichteten Gussglasscheibe, deren Antireflexionsschicht im Vergleich zu der zu den Kurven 2 und 3 gehörenden Antireflexionsschicht um 20% dicker ist. Man sieht deutlich, dass das Maximum der Kurve 4 nach längeren Wellenlängen verschoben ist.FIG. 4 shows the transmission in the spectral range between 300 nm and 2500 nm for different glasses. Curve 1 corresponds to a non-coated reference glass (cast glass pane). The transmission in the range between approximately 400 nm and 2000 nm is just under 92%. The curves denoted by 2 and 3 show the transmission after coating the glass pane with an anti-reflection layer according to the invention. The measurement curves were obtained by measuring the transmission at widely spaced locations on the same coated cast glass pane. The integral transmission is approximately the same for both curves. Curve 4 shows the transmission of a coated cast glass pane whose antireflection layer is 20% thicker than the antireflection layer belonging to curves 2 and 3. It can clearly be seen that the maximum of curve 4 is shifted to longer wavelengths.
Über die Gestaltung der Porenstruktur - Porengrössen und Porengrössenverteilung - und über die Einstellung der Schichtdicke kann bei Einhaltung der Gesamttransmission für vorbestimmte spektrale Bereiche sogar eine diesbezüglich höhere integrale solare Transmission von mehr als 3% erreicht werden. The design of the pore structure - pore sizes and pore size distribution - and the adjustment of the layer thickness can even achieve a higher integral solar transmission of more than 3% in this regard if the total transmission is maintained for predetermined spectral ranges.
Legende:Legend:
11 Beschichtungsvorrichtung11 coating device
13 Transporteinrichtung13 Transport device
15 Extrustionsbreitschlitzgiesser15 extrusion slotted casters
17 Förderrichtung17 Direction of conveyance
19 Support19 support
21 plattenförmige Substi'ate, insbes. Flachglas21 plate-shaped substrates, especially flat glass
23 Unterbau23 substructure
25 Höhenverstelleinrichtung25 height adjustment device
27 Breitschützspalt27 wide contactor gap
28 Rahmen28 frames
29 Zuleitung29 supply line
30 Schwenkachse des Breitschlitzgiessers30 swivel axis of the wide-slot caster
31 Vorratsbehälter31 storage containers
33 Beschichtungslösung33 coating solution
35 Dosier- und Drucklialteemrichtung, z.B. Dosierpumpe35 dosing and pressure line device, e.g. metering
37 Kammer37 chamber
39 Schlitz zwischen Transporteinrichtung und Kammer 3739 slot between transport device and chamber 37
41 Leitung41 line
43 Austrittsöffnung43 outlet opening
44 Beschichtungskammer44 coating chamber
45 Trocknungskammer45 drying chamber
47 Zuleitung47 supply line
49 Austrittsöffnung49 outlet opening
51 Ladeeinrichtung51 loading device
53 Entladeeinrichruiig53 Unloading device
55,57 Schwenkstabler55.57 swivel tab
59 Härteofen59 hardening furnace
61 Oberflächenreinigungsanlage61 surface cleaning system
63 erste Gasaufbereitungseinrichtung63 first gas processing device
65 zweite Gasaufbereitungseinrichtung65 second gas treatment device
67 Flüssigkeitsvorhang 67 Liquid curtain

Claims

Patentansprüche Patent claims
1. Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von plattenförmigen, insbesondere transparenten, bevorzugt großflächigen Substraten, wie von Flachglas oder Kunststoffglas, vorzugsweise mit dünnen, transparenten Schichten zur optischen1. Coating process for coating plate-shaped, in particular transparent, preferably large-area substrates, such as flat glass or plastic glass, preferably with thin, transparent layers for optical purposes
Vergütung und anderen transparent wirkenden Oberflächenvergütungen, durch Aufbringen einer lösungsmittelhaltigen Beschichtungslösung auf ein Substrat, bei welchem Verfahren die Beschichtungslösung aus einem Extrusionsbreitschlitzgießer (15) in Richtung der Erdschwerkraft auf das darunter befindliche Substrat (21) aufgegossen wird und das Substrat undCoating and other transparent surface coatings, by applying a solvent-containing coating solution to a substrate, in which process the coating solution is poured from an extrusion slot molder (15) in the direction of earth's gravity onto the substrate (21) underneath and the substrate and
Extrusionsbreitschlitzgießer relativ zueinander in einer bestimmten Transportrichtung bewegt werden, dadurch gekennzeichnet, dass niedrigviskose Beschichtungslösungen mit einer Viskosität kleiner als 10 mPas eingesetzt werden.Extrusion slot casters are moved relative to one another in a specific transport direction, characterized in that low-viscosity coating solutions with a viscosity of less than 10 mPas are used.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fördermenge und die Geschwindigkeit des Substrats (21) so eingestellt werden, dass sich ein zusammenliängender Beschichtungslösungsvorhang vom Extrusionsbreitschützgiesser (15) zum bewegten Substrat hin ausbildet.2. The method according to claim 1, characterized in that the delivery rate and the speed of the substrate (21) are adjusted so that a continuous curtain of coating solution is formed from the extrusion wide gun caster (15) towards the moving substrate.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (21) relativ zum Extrusionsbreitschlitzgießer (15) so sclineU bewegt wird derart, dass durch Schleppwirkung die Beschichtungslösung auf der Substratoberfläche in Transportrichtung zusätzlich gedehnt wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the substrate (21) is moved relative to the extrusion slot caster (15) in such a way that the coating solution on the substrate surface is additionally stretched in the transport direction by dragging.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Stabilisierung eines zusammenhängenden Beschichtungslösungsvorhanges in Abhängigkeit der Eigenschaften des Beschichtungslösung mindestens ein Teil des Abstandes zwischen der Öffnung des BreitschUtzspaltes (27) und der4. The method according to one of claims 1 to 3, characterized in that in order to stabilize a coherent coating solution curtain, depending on the properties of the coating solution, at least part of the distance between the opening of the wide protection gap (27) and the
Substratoberfläche hilfsweise mit einem Rakel überbrückt wird.Substrate surface can be bridged with a squeegee.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Normalspannung der Beschichtungslösung auf einen Wert größer 2 Pa eingestellt wird.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the internal normal stress of the coating solution is set to a value greater than 2 Pa becomes.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der gewichtsmäßige Feststof fanteil in der Beschichtungslösung kleiner 20%, vorzugsweise kleiner 10% ist.6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the solids proportion by weight in the coating solution is less than 20%, preferably less than 10%.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass nach Art und Eigenschaften der jeweils eingesetzten Beschichtungslösung der Abstand zwischen der Unterkante des Extrusionsbreitschlitzgiessers (15) und der Substratoberfläche auf einen Wert kleiner 2 mm, vorzugsweise zwischen 0.1 mm und7. The method according to one of claims 1 to 6, characterized in that, depending on the type and properties of the coating solution used, the distance between the lower edge of the extrusion slot molder (15) and the substrate surface is set to a value of less than 2 mm, preferably between 0.1 mm and
1.0 mm eingestellt wird.1.0 mm is set.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mit einer jeweils konstanten Geschwindigkeit im Bereich zwischen 2.0 bis 30.0 m/min, vorzugsweise im Bereich zwischen 4.0 bis 15.0 m/ min unter dem8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the substrate is moved at a constant speed in the range between 2.0 to 30.0 m/min, preferably in the range between 4.0 to 15.0 m/min below
Extrusionsbreitschützgiesser (15) vorbeigeführt wird.Extrusion wide gun caster (15) is passed.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in der Beschichtungslösung bevorzugt ein leicht verflüchtigbares, vorzugsweise organisches Lösungsmittel eingesetzt wird.9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that a highly volatile, preferably organic solvent is preferably used in the coating solution.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung der Substrate in einer bestimmten aus mindestens einem Prozessgas gebildeten Prozessgasatmosphäre, z.B. in einer abgeschlossenen Kammer (37) unter Ausschluß der natürlichen Umgebungsatmosphäre, durchgeführt wird.10. The method according to one of claims 1 to 9, characterized in that the coating of the substrates is carried out in a specific process gas atmosphere formed from at least one process gas, for example in a closed chamber (37) with the exclusion of the natural ambient atmosphere.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass während des Beschichtungsverfahrens wenigstens zeitweise Prozessgase eingesetzt werden zur gezielten Verzögerung oder Beschleunigung von Kondensations-, Polymerisationsreaktionen etc. in der Beschichtungslösung sowie Verfestigung zur11. The method according to one of claims 1 to 10, characterized in that during the coating process, process gases are used at least temporarily for the targeted delay or acceleration of condensation, polymerization reactions, etc. in the coating solution and for solidification
Feststoffschicht.solid layer.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeiclinet, dass der Bereich der Unterkante des Extrusionsbreitschlitzgiessers von einem ersten Prozessgas mit einer der Beschichtungslösung angepaßten Gaszusammensetzung, wahlweise als Schutzgas oder Gas mit reaktiven BestandteUen, umspült wird.12. The method according to any one of claims 1 to 11, characterized in that the area of the lower edge of the extrusion slot molder is supplied by a first process gas is flushed with a gas composition adapted to the coating solution, either as a protective gas or gas with reactive components.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeiclinet, dass die aufgebrachte Beschichtungslösung in aufeuianderfolgenden Arbeitsschritten von weiteren, zum ersten Prozessgas unterschiedüchen Prozessgasen umgeben oder umspült wird.13. The method according to any one of claims 1 to 12, characterized in that the applied coating solution is surrounded or flushed around in successive work steps by further process gases that are different from the first process gas.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines oder mehrerer Prozessgase das Lösungsmittel der Beschichtungslösung verdampft und sonstige flüchtige Reaktions- und Zerfallsprodukte aufgenommen und abgeführt werden.14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that the solvent of the coating solution is evaporated by means of one or more process gases and other volatile reaction and decomposition products are absorbed and removed.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die eingesetzten Prozessgase aus einem oder mehreren reaktioiisträgen oder inerten15. The method according to any one of claims 10 to 14, characterized in that the process gases used consist of one or more inert or inert
Trägergasen, bevorzugt Stickstoff, und wahlweise aus zugemischten reaktiven Dämpfen und Gasen bestehen.Carrier gases, preferably nitrogen, and optionally consist of mixed reactive vapors and gases.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeiclinet, dass in den Prozessgasen gasförmiger Wasserdampf in einer Konzentration der relativen16. The method according to any one of claims 10 to 15, characterized in that gaseous water vapor is present in the process gases in a concentration of the relative
Prozessgas euchte im Bereich von ca. 20% bis 90%, vorzugsweise 20% bis 80%, enthalten ist.Process gas density is contained in the range of approximately 20% to 90%, preferably 20% to 80%.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass in den Prozessgasen die Konzentrationen der reaktiven Dämpfe und Gase in Abhängigkeit der verfahrenstechnischen Reaktionsbedüigungen zugemischt werden, bevorzugt in einer Gesamtkonzentration kleiner 20 %, vorzugsweise kleiner 15% (Volumenprozente) .17. The method according to one of claims 10 to 16, characterized in that the concentrations of the reactive vapors and gases are mixed in the process gases depending on the process engineering reaction requirements, preferably in a total concentration of less than 20%, preferably less than 15% (percentage by volume).
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozessgase nach dem Kontakt mit der aufgebrachten Flüssigschicht abgeleitet und deren Zusammensetzung zur KontroUe gemessen werden. 18. The method according to any one of claims 10 to 17, characterized in that the process gases are discharged after contact with the applied liquid layer and their composition is measured for control purposes.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeiclinet, dass im Bereich der Anwendung der Prozessgase zusätzlich wahlweise IR- und UV- Strahlungsquelleii zu Strahlungsinduzierenden Stoffreaktionen in der Beschichtung eingesetzt werden.19. The method according to one of claims 1 to 18, characterized in that in the area of application of the process gases, optionally IR and UV radiation sources are also used to produce radiation-inducing material reactions in the coating.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bisl9, dadurch gekennzeiclinet, dass die Beschichtung des Substrats in einem kontinuierlichen Verfahren erfolgt.20. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the coating of the substrate takes place in a continuous process.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekemizeichnet, dass durch das Beschichtungsverfahren einfache Feststoffschichten mit Schichtdicken vorzugsweise kleiner 1 μm für optische Vergütungen und für andere Oberflächeiivergütungen hergestellt werden.21. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized in that the coating process produces simple solid layers with layer thicknesses preferably less than 1 μm for optical coatings and other surface coatings.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die aufgebrachte Feststoffschicht entsprechend dem Herstellungsverfahren einem abschließenden22. The method according to claim 21, characterized in that the applied solid layer undergoes a final process in accordance with the manufacturing process
Verfahrensschritt, vorzugsweise einer thermochemischen oder einer pyrolytischen Behandlung ausgesetzt wird zur Herstellung einer gewünschten optisch wirksamen oder anderen gewünschten Oberflächeiivergütung.Process step, preferably subjected to a thermochemical or pyrolytic treatment to produce a desired optically effective or other desired surface finish.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeiclinet, dass auf plattenförmige Substi'ate ein- oder zweiseitig sowohl einfach als auch mit zwei oder mehreren Schichten übereinander mit jeweils gleichen oder auch unterschiedlichen Feststoffschichtdicken aufgebracht werden.23. The method according to any one of claims 1 to 22, characterized in that plate-shaped substituents are applied to plate-shaped substituents on one or two sides, both simply and with two or more layers one above the other, each with the same or different solid layer thicknesses.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeiclinet, dass als24. The method according to one of claims 1 to 23, characterized in that as
Substrat ein Flachglas, z.B. Floatglas, Gußglas mit beliebig regelmässigen und/oder stochastisch strukturierten Oberflächen, z.B. mit feingehämmerten Oberflächen, oder glatte oder polierte plattenförmige MetaUe, Platten aus mineralischen Stoffen oder aus anderen transparenten oder nicht-transparenten Platten eingesetzt werden.The substrate is a flat glass, e.g. float glass, cast glass with any regular and/or stochastically structured surfaces, e.g. with finely hammered surfaces, or smooth or polished plate-shaped metal, plates made of mineral materials or other transparent or non-transparent plates.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass als25. The method according to one of claims 1 to 24, characterized in that
Substrate lichtdurchlässige plattenförmige Substrate aus Kunststoff, vorzugsweise aus Polymethylmetacrylat, Polycarbonat, Polystyrol eingesetzt werden. Substrates translucent plate-shaped substrates made of plastic, preferably made of polymethyl methacrylate, polycarbonate, polystyrene can be used.
26. Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von plattenförmigen, insbesondere transparenten, bevorzugt großflächigen Substraten, wie von Flachglas oder Kunststoffglas, vorzugsweise mit dünnen, transparenten Schichten zur optischen Vergütung und anderen transparent wirkenden Oberflächenvergütungen, durch Aufbringen eines lösungsmitteUialtigen Beschichtungslösung auf ein Substrat, bei welchem Verfahren die Beschichtungslösung aus einem26. Coating process for coating plate-shaped, in particular transparent, preferably large-area substrates, such as flat glass or plastic glass, preferably with thin, transparent layers for optical coating and other transparent surface coatings, by applying a solvent-based coating solution to a substrate, in which process the coating solution from a
Extrusionsbreitschlitzgießer (15) in Richtung der Erdschwerkraft auf das darunter befindliche Substrat (21) aufgegossen wird und das Substrat und Extrusionsbreitschlitzgießer relativ zueinander in einer bestimmten Transportrichtung bewegt werden dadurch gekennzeichnet, dass der Extrusionsbreitschlitzgießer mindestes im Bereich der Austrittsöffnung mit einer Prozessgasatmosphäre umspült wird.Extrusion wide slot caster (15) is poured in the direction of gravity onto the substrate (21) underneath and the substrate and extrusion wide slot caster are moved relative to one another in a specific transport direction, characterized in that the extrusion wide slot caster is surrounded by a process gas atmosphere at least in the area of the outlet opening.
27. Verfahren nach Anspruch 26 und mindestens einem der Ansprüche 1 bis 25.27. The method according to claim 26 and at least one of claims 1 to 25.
28. Verwendung einer Vorrichtung (11) mit28. Using a device (11).
- einem Support, auf welchem ein zu beschichtendes Substrat angeordnet werden kann- A support on which a substrate to be coated can be arranged
- einem Extrusionsbreitschützgiesser (15) mit einer vorzugsweise ununterbrochenen spaltförmigen Austrittsöffnung, welcher oberhalb des Supports angeordnet ist,- an extrusion wide gun caster (15) with a preferably uninterrupted gap-shaped outlet opening, which is arranged above the support,
- einem Reservoir zur Aufnahme einer Beschichtungslösung,- a reservoir for holding a coating solution,
- mindestens einer Verbüidungsleitung und gegebenenfalls einer Dosierpumpe (35) zwischen dem Reservoir und dem Extrusionsbreitschlitzgiesser,- at least one connection line and optionally a metering pump (35) between the reservoir and the extrusion slot molder,
- einer Transporteinrichtung (13) zur BewerksteUigung einer Relativbewegung des Supports und des Beschichtungswerkzeugs in einer Transportrichtung (17), zur kontinuierlichen Beschichtung von transparenten, großflächigen plattenförmigen Substraten (21), insbesondere von Substraten wie Flachglas, mit niedrigviskosen Beschichtungslösungen mit eüier Viskosität < 10 mPas (MUUPascalsekunden).- a transport device (13) for effecting a relative movement of the support and the coating tool in a transport direction (17), for the continuous coating of transparent, large-area plate-shaped substrates (21), in particular substrates such as flat glass, with low-viscosity coating solutions with a viscosity <10 mPas (MUUPascalseconds).
29. Verwendung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine29. Use according to claim 28, characterized in that at least one
Einrichtung vorgesehen ist, um den Extrusionsbreitschützgiesser mindestes im Bereich der Austrittsöffnung mit einer Prozessgasatmosphäre zu umspülen.. Device is provided to flush the extrusion wide gun caster with a process gas atmosphere at least in the area of the outlet opening.
30. Verwendung nach Anspruch 28 oder 29, dadurch gekennzeichnet, dass eine Dosier- und/oder Druckhaltevorrichtung (35) vorgesehen ist, welche mit dem Extrusionsbreitschützgiesser (15) in Verbindung steht30. Use according to claim 28 or 29, characterized in that a metering and / or pressure maintaining device (35) is provided, which is connected to the extrusion wide gun caster (15).
31. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine mit der Kammer (37) über eine Leitung in Verbindung stehende Gasaufbereitungseinrichtung (63) vorgesehen ist zur Mischung von inerten und/ oder reaktiven Gasbestandteilen.31. Use according to one of claims 28 to 30, characterized in that at least one gas processing device (63) connected to the chamber (37) via a line is provided for mixing inert and / or reactive gas components.
32. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass an der Kammer wenigstens zwei Anschlüsse zum Zu- und Ableiten eines Prozessgases oder -gasgemisches vorgesehen sind, von denen mindestens einer mit der Gasaufbereitungsvorrichtung (63) in Verbindung steht.32. Use according to one of claims 28 to 31, characterized in that at least two connections are provided on the chamber for supplying and discharging a process gas or gas mixture, at least one of which is connected to the gas processing device (63).
33. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammer (37) in mindestens zwei Reaktionsräume, eine Beschichtungskammer (44) und eine Trocknungskammer (45) aufgeteUt ist.33. Use according to one of claims 28 to 32, characterized in that the chamber (37) is divided into at least two reaction spaces, a coating chamber (44) and a drying chamber (45).
34. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 33, dadurch gekennzeichnet, dass in der Kammer (37) im Abstand zur Transporteinrichtung Flächenstrahler, z.B. IR- und/oder UN-Strahlungsquellen, angeordnet smd.34. Use according to one of claims 28 to 33, characterized in that surface emitters, e.g. IR and/or UN radiation sources, are arranged in the chamber (37) at a distance from the transport device.
35. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 34, dadurch gekennzeiclinet, dass der Extrusionsbreitschützgiesser (15) einen langen, vorzugsweise durchgehenden und ungefähr die Breite des zu beschichtenden Substrats aufweisenden, langen35. Use according to one of claims 28 to 34, characterized in that the extrusion wide gun caster (15) has a long, preferably continuous and approximately the width of the substrate to be coated
Breitschlitzspalt (27) hat.Has wide slot gap (27).
36. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Spaltweite des Breitschlitzspaltes (27) in Abhängigkeit der Eigenschaften der Beschichtungslösung es einstellbar ist.36. Use according to one of claims 28 to 35, characterized in that the gap width of the wide slot gap (27) can be adjusted depending on the properties of the coating solution.
37. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 36, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung (13) einen vorzugsweise beweglichen Support (19) hat, auf welchem die Substrate (21) fixierbar sind.37. Use according to one of claims 28 to 36, characterized in that the transport device (13) has a preferably movable support (19). to which the substrates (21) can be fixed.
38. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 37, dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitzweite des Extrusionsbreitschlitzgiessers (15) auf einen Wert kleiner 1.2 mm, vorzugsweise zwischen ca. 0.02 und 0.8 mm, einstellbar ist.38. Use according to one of claims 28 to 37, characterized in that the slot width of the extrusion slot molder (15) can be adjusted to a value of less than 1.2 mm, preferably between approximately 0.02 and 0.8 mm.
39. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 38, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen Transporteinrichtung (13) resp. Support (19) und der Unterkante des Extrusionsbreitschlitzgiessers (15) versteU- resp. einstellbar ist.39. Use according to one of claims 28 to 38, characterized in that the distance between the transport device (13) or. Support (19) and the lower edge of the extrusion slot molder (15) adjust. is adjustable.
40. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 39, dadurch gekennzeiclinet, dass der Extrusionsbreitschützgiesser (15) in einer Ebene angeordnet ist, welche im wesentlichen sowohl senkrecht zur Förderrichtung (17) des Substrates (21) als auch senkrecht zur Supportoberfläche steht.40. Use according to one of claims 28 to 39, characterized in that the extrusion wide gun caster (15) is arranged in a plane which is essentially perpendicular to both the conveying direction (17) of the substrate (21) and perpendicular to the support surface.
41. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 40, dadurch gekennzeiclinet, dass der Extrusionsbreitschützgiesser (15) oberhalb der Transporteinrichtung (13) resp. des Supports (19) angeordnet ist.41. Use according to one of claims 28 to 40, characterized in that the extrusion wide gun caster (15) is above the transport device (13) or. of the support (19) is arranged.
42. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 41, dadurch gekennzeichnet, dass der Extrusionsbreitschützgiesser (15) um eine parallel zum Breitschlitz verlaufende Achse (30) schwenkbar angeordnet ist.42. Use according to one of claims 28 to 41, characterized in that the extrusion wide gun caster (15) is arranged to be pivotable about an axis (30) running parallel to the wide slot.
43. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 42, dadurch gekennzeichnet, dass die Transporteinrichtung regulierbare Antriebsmittel aufweist, um das Substrat mit einer bestimmten, jeweils konstant einstellbaren Geschwindigkeit - vorzugsweise zwischen 2.0 bis 30.0 m/min - transportiert werden kann.43. Use according to one of claims 28 to 42, characterized in that the transport device has adjustable drive means in order to transport the substrate at a specific, constantly adjustable speed - preferably between 2.0 to 30.0 m / min.
44. Verwendung nach einem der Ansprüche 28 bis 43, dadurch gekennzeichnet, dass in Traiisportrichtung an die Kammer (37) anschüessend ein Härteofen (59) oder44. Use according to one of claims 28 to 43, characterized in that a hardening oven (59) or
Endbehandlungseinrichtung für die Beschichtung der plattenförmigen Substi'ate angeordnet ist. Final treatment device for the coating of the plate-shaped substituents is arranged.
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