EP1381467A2 - Method and device for manipulating small amounts of liquid on surfaces - Google Patents
Method and device for manipulating small amounts of liquid on surfacesInfo
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- EP1381467A2 EP1381467A2 EP02732662A EP02732662A EP1381467A2 EP 1381467 A2 EP1381467 A2 EP 1381467A2 EP 02732662 A EP02732662 A EP 02732662A EP 02732662 A EP02732662 A EP 02732662A EP 1381467 A2 EP1381467 A2 EP 1381467A2
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- guide
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Definitions
- the invention relates to methods and devices for manipulating small amounts of liquid on surfaces, preferably chip surfaces.
- liquid in the present text includes, among other things, pure liquids, mixtures, dispersions and suspensions, as well as liquids in which solid particles, e.g. B. biological material.
- microstructured channels e.g. O. Müller, Laborwelt 1/2000, pages 36-38.
- Such channels are e.g. B. etched in the chip and are several microns deep or wide and generally capped.
- the movement is carried out by electrokinetic (M. Köhler et al, Physikalischet 56, No. 11, pages 57-61), mechanical or electrical pumps or capillary forces, each in microstructured channels.
- a liquid or material contained therein is to be examined on a certain surface, a chemically, physically and / or biologically functionalized surface is often used.
- the functionalized area In order to be able to carry out such an analysis or synthesis at a well-located location, the functionalized area must be located within a channel and is therefore difficult to manufacture. With a corresponding functionalization on a free surface without channel formation, on the other hand, an exact localization of the liquid cannot be guaranteed during the analysis.
- the object of the present invention is to provide a method and a device with the aid of which a manipulation of a small amount of liquid along precisely defined transport routes or at defined analysis or synthesis points is possible, the method or the device being carried out or being economical and simple can be manufactured.
- This object is achieved with a method with the features of claim 1, a method with the features of claim 3, a device with the features of claim 19 and a device with the features of claim 21.
- the respective subclaims relate to preferred refinements or embodiments.
- a small amount of liquid which is held together by its surface tension, is applied to an area of a surface, e.g. B. a solid surface, which includes an intermediate region and at least one guide strip.
- the intermediate area is delimited by guide strips at least in one spatial direction.
- the surface properties of the at least one intermediate area and the guide strips are selected so that a surface with a surface texture that corresponds to the surface texture of a guide strip wets more with the amount of liquid than a surface with the surface properties of the intermediate area. A flatter wetting angle will thus result between the liquid and a guide strip than between the liquid and the intermediate area.
- the liquid is applied to the surface in such a way that it contacts both at least one guide strip and the intermediate area. The amount required for this can e.g. B. determined in preliminary tests or achieved by successive application of the liquid.
- At least one correspondingly arranged guide strip is provided for delimiting an intermediate area with the corresponding surface properties.
- the amount of liquid is held by the surface tension and by the preferred wetting with the surface of at least one guide strip.
- the surface of the surface outer region which is adjacent to a guide strip on its side facing away from the adjacent intermediate region, can be such from the surface of one Intermediate areas have different wetting properties that the small amount of liquid wets more with the surface of the intermediate area.
- the surface of the at least one guide strip is therefore most wetted by the liquid. Since the surface of the outer surface area is even less wetted by the amount of liquid than the intermediate area, the amount of liquid is thereby additionally localized in the area of the intermediate area and the guide strips.
- the different surface textures can be achieved by appropriate coatings.
- So z. B. for the manipulation of an aqueous solution the surface of the guide strips are selected to be hydrophilic in comparison to the surface of the intermediate region. In the case of oily solutions to be examined, the guide strips are chosen to be lipophilic in comparison to the intermediate area.
- the coatings can in a simple manner, for. B. can be achieved by lithographic processes with subsequent coating steps. Different wetting properties can still be achieved by microstructuring, as is the case with the so-called lotus effect, which is based on different roughnesses of the surfaces. This can e.g. B. can be obtained by microstructure of the corresponding surface areas, for. B. chemical treatment or ion irradiation.
- the intermediate area is raised relative to the at least one guide strip, the resulting step being smaller than the height of the amount of liquid held together by the surface tension on the intermediate area.
- a gradation between the guide strip and the intermediate area can, for. B. by a very flat etching z. B. can be achieved with a depth in the submicron range of the surface of a solid state chip.
- the intermediate region can consist of a coating using lithographic processes, or it can be in all of them Areas of the surface with the exception of the lead strips are grown in crystal material.
- Macroscopic i.e. H. the surface remains essentially planar on a length scale in the order of magnitude of the width of the intermediate region or the lateral extent of the small amount of liquid.
- Such a flat etching or step is very simple to manufacture and can be produced in a defined manner without the known problems of deep etching of narrow channels.
- the configurations according to the invention have in common that there are guide strips at the edge of the intermediate region, to which the liquid would like to spread. In one embodiment, this is brought about by the preferred wetting of the guide strips, in the other embodiment by the downward leading step. On the sides of the intermediate area, the amount of liquid is guided or held by guide strips. The surface tension of the small amount of liquid also prevents it from running apart.
- the amount of liquid can be in the form of a droplet on the intermediate area delimited by guide strips.
- the liquid can also be in the form of a “tube” on the intermediate area with the adjacent guide strips.
- the refinements according to the invention make it possible for a functionalization to be selected in the intermediate region independently of the wetting properties.
- the guide strips ensure that the amount of liquid is located or guided. So it is z. B. possible that material in an aqueous solution is examined on a functionalized area that is hydrophobic.
- the functionalized hydrophobic area represents the intermediate area, which is surrounded by hydrophilic or lowered guide strips. The liquid is thus kept in the functionalized area without deep etching being necessary to absorb the amount of liquid, although the functionalized area possibly hydrophobic.
- the guide strips prevent the liquid from leaving the functionalized and possibly hydrophobic area.
- a combination of the configurations with modulated wetting properties and lowered guide strips is also possible.
- the width of the guide strips is chosen to be larger than the width of a precursor film of the liquid to be examined, preferably more than about 100 nanometers.
- the precursor film is formed by condensation of liquid vapor on a solid (AW Adamson and AP Gast, "Physical Chemistry of Surfaces", John Wiley & Sons, Inc., New York 1997, 6th edition, pages 372, 373) in the environment a quantity of liquid on a surface regardless of the wetting angle.
- the small amount of liquid is limited on several sides by guide strips. So an exact localization of the amount of liquid can be achieved to z. B. to be able to carry out a reaction at a localized point.
- the liquid can e.g. B. on one of two sides limited by guide strips intermediate area in a type of guide rail.
- an external force z For example, a drop of liquid is guided along such an intermediate area with laterally arranged guide strips as on a "track".
- Different functionalized surface areas can be arranged in the intermediate area, with no particular consideration having to be given to their wetting properties.
- only a slight braking force is exerted on the liquid by the surface, so that rapid transport is possible.
- a plurality of guide strips are arranged parallel to one another, with an intermediate region being located between two guide strips.
- the outer guide strips serve to limit the lateral movement of the liquid, while the guide strips located between them ensure the stabilization of the movement.
- the methods according to the invention and the devices according to the invention are suitable for chemical, physical and / or biological analysis of the amount of liquid or of matter in the amount of liquid.
- the intermediate area can be functionalized accordingly.
- the method or the device can be used particularly advantageously to remove biological material, e.g. B. to examine cells or DNA molecules in buffer solutions.
- the intermediate area is functionalized with the help of biological macromolecules.
- the liquid is brought into the functionalized area and localized by the guide strips or limited in its movement in one spatial direction.
- the biological material in the liquid may react with the biological macromolecules in the intermediate area. Resulting changes in the physical, chemical and / or biological behavior can be examined and used for analysis.
- reaction areas can be provided on a chip, which, for example, enable “DNA screening”.
- an external force is used to mix the small amount of liquid.
- z. B. accelerate a reaction or achieve uniform reaction conditions.
- the shape of the small amount of liquid changes in accordance with the lateral extent of the intermediate area with adjacent guide strips.
- the external force can be in various ways, e.g. B. electrostatically generated.
- generating an external force with the aid of surface acoustic waves is particularly advantageous.
- Such surface sound waves lead to a mechanical deformation of the surface, which causes a momentum transfer to the amount of liquid.
- Is z. B a piezoelectric crystal is used as a solid on which the arrangement is located, the mechanical deformation of the surface by the surface sound wave is additionally accompanied by electrical fields, which in turn cause a force effect on charged or polarizable matter within the liquid to be examined.
- a surface sound wave transmits an impulse to the liquid.
- the pulse causes the liquid to move in the direction of the propagation of the surface sound wave. Mixing of the liquid is also achieved by the action of the surface sound wave.
- an interdigital transducer known per se is advantageously used on a piezoelectric area of the substrate or on a piezoelectric substrate. It is sufficient if the substrate or the corresponding coating is only piezoelectric in the area in which the interdigital transducer is located.
- such an interdigital transducer has two electrodes which interlock with one another like fingers.
- a high-frequency alternating field e.g. B. in the order of a few 10 to 100 MHz
- a surface acoustic wave is excited in the piezoelectric substrate or in the piezoelectric region of the substrate when the resonance condition is almost fulfilled that the finger spacing of an electrode corresponds to the quotient of the surface sound velocity and the frequency.
- the surface acoustic wave has the wavelength of the finger spacing of an electrode and its direction of propagation is essentially perpendicular to the intermeshing finger electrode structures.
- Interdigital transducers can also, e.g. B. can be controlled wirelessly by irradiation of an alternating electromagnetic field in an antenna device connected to the interdigital transducer.
- an interdigital transducer is arranged on the chip surface in such a way that one of its directions of sound propagation is essentially along the elongated arrangement of the intermediate area and guide strips.
- interdigital transducers can be used to control various tracks formed by intermediate areas with adjoining guide strips.
- a network arrangement of corresponding tracks and associated interdigital transducers is also possible.
- interdigital transducers with a non-constant finger distance (“tapped interdigital transducer”), the lateral propagation area of the surface sound of an interdigital transducer can also be limited. With such a tapered interdigital transducer, different areas of a chip can be selected.
- Interdigital transducers can be implemented in different geometries. According to the invention, other interdigital transducer geometries can also be used, as are known from the technology of surface acoustic wave filters.
- the strength of the force effect on the small amount of liquid can be adjusted in a wide range via the amplitude or the pulse frequency of the surface sound wave.
- the sonication of the solid surface with the surface sound wave can cause an automatic cleaning of the swept areas.
- the method according to the invention and the device according to the invention can advantageously also be used in a system composed of different analysis or synthesis points on a solid-state chip.
- a so-called “lab-on-a-chip” is formed.
- Elongated intermediate areas with guide strips on both sides, if necessary, can serve as connecting paths between different analysis or synthesis points. which are surrounded on several sides by guide strips can be used as reaction areas.
- the device according to the invention and the methods according to the invention can also be combined with other transport or localization methods on a chip.
- the liquid is e.g. B. brought with the help of a pipetting robot so that at least one guide strip is touched.
- the necessary amount can be determined in preliminary tests or can be achieved by successively applying the liquid.
- the z. B. are arranged in parallel, the amount of liquid is localized by the preferred wetting of the guide strips in cooperation with the surface tension.
- the liquid can also be applied in a self-adjusting manner.
- the amount of liquid is brought into contact with a guide strip and the intermediate area.
- external force e.g. B. by a surface sound wave or by moving the entire chip, the amount of liquid is moved so that it can come into contact with another guide strip.
- a state then arises in a self-adjusting manner in which the amount of liquid is kept between them due to its surface tension and the preferred wetting of the guide strips.
- Figure 1 is a plan view of an inventive device during the
- Figure 2a shows a cross section through the arrangement of Figure 1 along the
- Figure 2b shows a cross section along the line along the line BB of the figure
- FIG. 2c shows a cross section along the line C-C with the viewing direction indicated in FIG. 2a
- FIG. 3 shows an alternative embodiment in cross section
- FIG. 4 shows a plan view of a further embodiment of the device according to the invention when carrying out a method according to the invention
- Figure 5 shows a further embodiment of the device according to the invention when carrying out a method according to the invention.
- Figure 1 shows a schematic representation and a top view of the implementation of a method according to the invention with a device according to the invention.
- a section of a chip surface is shown.
- the embodiment shown serves to transport a small amount of liquid 1 along a defined route.
- 5 denotes lateral guide strips of width 8.
- 1 denotes a drop of liquid which is held together on the solid surface by its own surface tension.
- the guide strips are approximately one tenth to one third of the lateral extent of the amount of liquid to be manipulated, in the example shown the drop diameter, but larger than the width of the precursor film, ie larger than approximately 100 nm.
- the liquid volumes range from 1 ⁇ m 3 to 1 cm 3 .
- an intermediate area 3 which, for. B. is reaction functionalized.
- biological macromolecules can be bound in the reaction-functionalized intermediate region 3.
- the strip formed from the intermediate region 3 with the guide strips 5 is also not shown completely in FIG. 1, which is to be indicated by the lateral break lines 10. Different geometries and sizes are conceivable.
- the interdigital transducer consists of electrodes 9 with finger-like projections 11 which interlock. The distance between the individual fingers is of the order of micrometers.
- the arrangement is on a piezoelectric crystal, for. B. Lithium niobate.
- the surface of the chip can be coated with a piezoelectric layer, e.g. B. made of zinc oxide.
- the distance of the interdigital transducer 7 from the strip arrangement shown is not to scale. Larger distances are conceivable, as are known from surface acoustic wave technology.
- Figure 2a shows a section through the arrangement of Figure 1 along the line AA in the viewing direction indicated in Figure 1.
- the piezoelectric solid is denoted by 2.
- a hydrophobic reaction functionalization 3 is located between the guide strips 5.
- the surface wetting properties are chosen in such a way that there is less wetting than with the reaction-functionalized surface in the intermediate area 3. In this way, an additional localization of the amount of liquid on the intermediate area 3 and the guide strips 5 is achieved.
- Figure 2b shows a section along the line B-B of Figure 2a. In this area, the liquid of the liquid drop 1 is located on the hydrophilic area 5 over the entire cross section.
- the wetting angle a is set depending on the choice of materials.
- Figure 2c shows a section along the line C-C of Figure 2a. Here the edge of the liquid is on the possibly hydrophobic part 3. Accordingly, the wetting angle ⁇ is much steeper than the wetting angle ⁇ of the liquid on the hydrophilic area in FIG. 2b.
- Such an arrangement can be used as follows.
- a drop of liquid 1 is brought onto the strip arrangement from the intermediate area 3 with the lateral guide strips 5.
- the liquid drop 1 comprises an aqueous solution with z. B. biological material.
- the necessary amount of liquid can be determined in preliminary tests.
- z. B. a pipette can be successively increased until both guide strips 5 are at least touched. Due to the hydrophilic properties of the lateral guide strips 5, the liquid drop spreads completely in the direction of the edge. Due to the surface tension of the drop, it is held together in its shape and it does not run apart. This is additionally reinforced by the surface quality of the surface area 31, in which wetting takes place even less than in the intermediate area 3. In the intermediate area 3, which may have more hydrophobic properties than the guide strips 5, there is a steep wetting angle ⁇ , while in the area of the guide strips 5 there is a flatter wetting angle ⁇ .
- An alternating electrical field of the specified magnitude is applied to the electrodes 9 of the interdigital transducer in order to generate a surface sound wave towards 13.
- the surface sound wave transmits its momentum to the liquid drop 1, e.g. B. by the mechanical deformation of the surface.
- the liquid drop is moved in this way in the direction 13.
- the guide strips 5 prevent lateral breaking out. This behavior is independent of the wetting properties of the intermediate area 3.
- a less hydrophilic region, as is present in the embodiment shown, is also possible for the intermediate region 3, since the direction of the drop movement is determined by the guide strips 5.
- a defined movement of the drop of liquid along such a "track" is generated.
- Such an arrangement can be used to the liquid drop z. B. to bring to a certain analysis point, in which the intermediate area 3 is functionalized in a special form to z. B. enable a reaction or analysis. No consideration needs to be given to the wetting properties of the intermediate area, since the movement of the drop is defined by the guide strips 5.
- the liquid is arranged in the form of a droplet 1 on the surface.
- the liquid is in the form of a “liquid hose” on the “track” 3, 5.
- FIG. 3 An alternative embodiment is shown in FIG. The view corresponds to the illustration in FIG. 2a of the first embodiment.
- the guide strips are achieved by flat depressions 50 in the surface.
- there is a coating between the guide strips possibly with the desired reaction functionalization.
- the thickness of the coating is thinner than about one tenth of the surface sound wavelength that can be generated with a transducer 11.
- Outside the guide strips 50 there is a coating 30 with similar wetting properties as the reaction functionalization coating 3.
- the depth 51 of the lowered areas 50 is very much smaller than the height 10 of the liquid drop 1, for. B. in the submicron range. A drop of liquid 1, which is brought onto the intermediate area 3, flows laterally into the guide strips 50.
- the droplet of liquid 1 is also driven with an interdigital transducer in an arrangement similar to that in FIG. 1.
- FIG. 5 An embodiment with a plurality of guide strips 5, 6 is shown in FIG. The same elements are again provided with the same reference numbers. While the outer guide strips 5 prevent the amount of liquid 1 from breaking out laterally, the guide strips 6 serve to further stabilize the movement in the direction 13.
- the surface properties of the guide strips 6 correspond to the surface properties of the guide strips 5.
- the surface areas are analogous to the embodiment of FIGS 5 and 6 formed hydrophilic when the liquid drop to be moved is an aqueous solution.
- the wetting properties of the intermediate regions 3 can be chosen freely, so that a reaction functionalization can be provided which is independent of the wetting properties.
- Figure 5 shows an arrangement such as. B. can be used for analysis.
- the guide strips 5 form a border.
- a reaction-functionalized region 4 is located within this border 5.
- biological macromolecules can be bound to the surface.
- the wetting properties of the surface area 4 can be selected independently of the type of the liquid 1, since a lateral breakout by the hydrophilic strips 5 in cooperation with the surface tension of the amount of liquid 1 is prevented.
- an analysis can be carried out as follows. Via the intermediate regions 3 with the lateral guide strips 5, a quantity of liquid can be brought in the direction of the reaction region 4 with the aid of a surface acoustic wave which is generated with the interdigital transducer 7, as is the case, for example, with B. is described with reference to Figure 1.
- the liquid 1 can be in the reaction area 4.
- biological functionalization finds a reaction between the biological functionalization of the surface 4 with biological material, which, for. B. is contained in the liquid 1 instead.
- the liquid can e.g. B. can be removed by further irradiation of a surface acoustic wave on the other side of the reaction region 4.
- other, e.g. B. physical examinations are possible.
- reaction areas 4 of this type can be connected to one another via corresponding “tracks” and thus enable different reactions with a liquid.
- Other analysis or synthesis stations can also be provided, each of which is connected to one another via arrangements according to FIGS. 1 to 4 implement a "lab-on-the-chip" in which a very small amount of liquid is subjected to various tests.
- the invention thus enables a defined movement of a quantity of liquid on a chip surface. No deeply etched channels with the known difficulties arising are necessary for this.
- the surface remains essentially planar, can be cleaned very easily in this way and does not represent any additional obstacles to the movement of the amount of liquid. Due to the action of the surface sound wave, the amount of liquid is additionally turbulent and mixed. A reaction can be accelerated in this way.
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Abstract
The invention relates to methods and devices for manipulating small amounts of liquid (1) on surfaces, preferably on chip surfaces. According to the invention, an amount of liquid, which is held together by the surface tension thereof, is placed onto an area of a surface having at least one intermediate area (3, 4) that, at least in a lateral direction in space, abuts against a guide strip (5, 6). Either the guide strips (5, 6) have a surface condition, which differs from that of the intermediate area (3, 4) in that they are made wetter by a liquid or the intermediate area (3, 4) is elevated with regard to the guide strips (5, 6), whereby the height of the step is small compared to the height of the amount of liquid (1).
Description
Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen Method and device for manipulating small amounts of liquid on surfaces
Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen, vorzugsweise Chipoberflächen.The invention relates to methods and devices for manipulating small amounts of liquid on surfaces, preferably chip surfaces.
Der Begriff Flüssigkeit umfaßt im vorliegenden Text unter anderem reine Flüssigkeiten, Mischungen, Dispersionen und Suspensionen, sowie Flüssigkeiten, in denen sich feste Teilchen, z. B. biologisches Material, befinden.The term liquid in the present text includes, among other things, pure liquids, mixtures, dispersions and suspensions, as well as liquids in which solid particles, e.g. B. biological material.
Bei der in jüngster Zeit im Blickpunkt stehenden „Lab-on-a-chip"-Technologie ist es wünschenswert, eine definierte kleine Flüssigkeitsmenge zu einem definierten Analyse- oder Synthesepunkt auf dem Chip zu bewegen. Die Flüssigkeitsmengen sind dabei z. B. im Pikoliter- bis Milliliterbereich. Die Analysestellen haben oftmals nur eine Ausdehnung von wenigen Mikrometern oder weniger auf Chips in der Größenordnung von elektronischen Halbleiterbauelementen.With the recent "lab-on-a-chip" technology, it is desirable to move a defined small amount of liquid to a defined analysis or synthesis point on the chip. The amounts of liquid are, for example, in picoliters - to milliliter range The analysis sites often have an extent of only a few micrometers or less on chips in the order of magnitude of electronic semiconductor components.
Die Analyse derartig kleiner Flüssigkeitsmengen wird bereits heute zur Analytik in der Biologie eingesetzt (Anne Y. Fu et al., Nature Biotechnology 17, Seite 1109 ff.
(1999)). Diese Verfahren werden u.a. für anorganische Reagenzien oder organisches Material, wie Zellen, Moleküle, Makromoleküle oder genetische Materialien, ggf. in Pufferlösungen eingesetzt.The analysis of such small amounts of liquid is already used today for analysis in biology (Anne Y. Fu et al., Nature Biotechnology 17, page 1109 ff. (1999)). These methods are used, inter alia, for inorganic reagents or organic material, such as cells, molecules, macromolecules or genetic materials, if appropriate in buffer solutions.
Dabei wird die Bewegung und die Reaktion definierter Volumina kleiner Flüssigkeitsmengen mittels mikrostrukturierter Kanäle realisiert (z. B. O. Müller, Laborwelt 1/2000, Seiten 36-38). Solche Kanäle werden z. B. in den Chip geätzt und sind mehrere Mikrometer tief bzw. breit und im allgemeinen gedeckelt. Die Bewegung erfolgt durch elektrokinetische (M. Köhler et al, Physikalische Blätter 56, Nr. 11 , Seiten 57-61 ), mechanische bzw. elektrische Pumpen oder Kapillarkräfte jeweils in mikrostrukturierten Kanälen.The movement and reaction of defined volumes of small amounts of liquid is realized using microstructured channels (e.g. O. Müller, Laborwelt 1/2000, pages 36-38). Such channels are e.g. B. etched in the chip and are several microns deep or wide and generally capped. The movement is carried out by electrokinetic (M. Köhler et al, Physikalische Blätter 56, No. 11, pages 57-61), mechanical or electrical pumps or capillary forces, each in microstructured channels.
Hohe Pumpleistungen sind notwendig, um eine Flüssigkeit durch diese Kanäle zu bewegen. Aufgrund der scharfen Kanten und engen Kanäle ist eine Reinigung nach der Verwendung sehr erschwert.High pumping capacities are necessary to move a liquid through these channels. Because of the sharp edges and narrow channels, cleaning after use is very difficult.
Soll eine Flüssigkeit bzw. darin enthaltenes Material an einer bestimmten Fläche untersucht werden, so wird oftmals eine chemisch, physikalisch und/oder biologisch funktionalisierte Oberfläche eingesetzt. Um an einer gut lokalisierten Stelle eine solche Analyse bzw. Synthese durchführen zu können, muß der funktionalisierte Bereich sich innerhalb eines Kanales befinden und ist somit schwierig herzustellen. Bei einer entsprechenden Funktionalisierung auf einer freien Oberfläche ohne Kanalbildung ist andererseits eine genaue Lokalisierung der Flüssigkeit während der Analyse nicht gewährleistet.If a liquid or material contained therein is to be examined on a certain surface, a chemically, physically and / or biologically functionalized surface is often used. In order to be able to carry out such an analysis or synthesis at a well-located location, the functionalized area must be located within a channel and is therefore difficult to manufacture. With a corresponding functionalization on a free surface without channel formation, on the other hand, an exact localization of the liquid cannot be guaranteed during the analysis.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit deren Hilfe eine Manipulation einer kleinen Flüssigkeitsmenge entlang genau definierter Transportwege bzw. an definierten Analyse- bzw. Synthesepunkten möglich ist, wobei das Verfahren bzw. die Vorrichtung kostengünstig und einfach durchgeführt bzw. hergestellt werden können.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspuches 1 , einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 3, einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 19 bzw. einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 21 gelöst. Die jeweiligen Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen bzw. Ausführungsformen.The object of the present invention is to provide a method and a device with the aid of which a manipulation of a small amount of liquid along precisely defined transport routes or at defined analysis or synthesis points is possible, the method or the device being carried out or being economical and simple can be manufactured. This object is achieved with a method with the features of claim 1, a method with the features of claim 3, a device with the features of claim 19 and a device with the features of claim 21. The respective subclaims relate to preferred refinements or embodiments.
Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine kleine Flüssigkeitsmenge, die durch ihre Oberflächenspannung zusammengehalten wird, auf einen Bereich einer Oberfläche, z. B. einer Festkörperoberfläche, gebracht, der einen Zwischenbereich und mindestens einen Führungsstreifen umfaßt. Der Zwischenbereich wird von Führungsstreifen zumindest in einer Raumrichtung begrenzt. Die Oberflächenbeschaffenheiten des zumindest einen Zwischenbereiches und der Führungsstreifen sind dabei so gewählt, daß eine Oberfläche mit einer Oberflächenbeschaffenheit, die der Oberflächenbeschaffenheit eines Führungsstreifen entspricht, stärker mit der Flüssigkeitsmenge benetzt, als eine Oberfläche mit den Oberflächenbeschaffenheiten des Zwischenbereiches. Zwischen der Flüssigkeit und einem Führungsstreifen wird sich also ein flacherer Benetzungswinkel einstellen, als zwischen der Flüssigkeit und dem Zwischenbereich. Die Flüssigkeit wird dabei derart auf die Oberfläche aufgebracht, daß sie sowohl zumindest einen Führungsstreifen als auch den Zwischenbereich berührt. Die dazu notwendige Menge kann z. B. in Vorversuchen festgestellt oder durch sukzessives Aufbringen der Flüssigkeit erreicht werden.In a method according to the invention, a small amount of liquid, which is held together by its surface tension, is applied to an area of a surface, e.g. B. a solid surface, which includes an intermediate region and at least one guide strip. The intermediate area is delimited by guide strips at least in one spatial direction. The surface properties of the at least one intermediate area and the guide strips are selected so that a surface with a surface texture that corresponds to the surface texture of a guide strip wets more with the amount of liquid than a surface with the surface properties of the intermediate area. A flatter wetting angle will thus result between the liquid and a guide strip than between the liquid and the intermediate area. The liquid is applied to the surface in such a way that it contacts both at least one guide strip and the intermediate area. The amount required for this can e.g. B. determined in preliminary tests or achieved by successive application of the liquid.
Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist zumindest ein entsprechend angeordneter Führungsstreifen zur Begrenzung eines Zwischenbereiches mit den entsprechenden Oberflächenbeschaffenheiten vorgesehen.In a device according to the invention, at least one correspondingly arranged guide strip is provided for delimiting an intermediate area with the corresponding surface properties.
Die Flüssigkeitsmenge wird durch die Oberflächenspannung und durch die bevorzugte Benetzung mit der Oberfläche zumindest eines Führungsstreifens gehalten. Um die Lokalisierung weiter zu begünstigen, kann die Oberfläche des Oberflächen- außenbereiches, der einem Führungsstreifen auf seiner dem angrenzenden Zwischenbereich abgewandten Seite benachbart ist, derart von der Oberfläche eines
Zwischenbereiches unterschiedliche Benetzungseigenschaften aufweisen, daß die kleine Flüssigkeitsmenge stärker mit der Oberfläche des Zwischenbereiches benetzt. Die Oberfläche des zumindest einen Führungsstreifens wird von der Flüssigkeit also am stärksten benetzt. Da die Oberfläche des Oberflächenaußenbereiches noch weniger mit der Flüssigkeitsmenge benetzt als der Zwischenbereich, wird die Flüssigkeitsmenge dadurch im Bereich des Zwischenbereiches und der Führungsstreifen zusätzlich lokalisiert.The amount of liquid is held by the surface tension and by the preferred wetting with the surface of at least one guide strip. In order to further favor the localization, the surface of the surface outer region, which is adjacent to a guide strip on its side facing away from the adjacent intermediate region, can be such from the surface of one Intermediate areas have different wetting properties that the small amount of liquid wets more with the surface of the intermediate area. The surface of the at least one guide strip is therefore most wetted by the liquid. Since the surface of the outer surface area is even less wetted by the amount of liquid than the intermediate area, the amount of liquid is thereby additionally localized in the area of the intermediate area and the guide strips.
Die unterschiedlichen Oberflächenbeschaffenheiten lassen sich durch, entsprechende Beschichtungen erreichen. So kann z. B. zur Manipulation einer wäßrigen Lösung die Oberfläche der Führungsstreifen hydrophil im Vergleich zu der Oberfläche des Zwischenbereiches gewählt werden. Bei zu untersuchenden öligen Lösungen werden die Führungsstreifen lipophil im Vergleich zum Zwischenbereich gewählt werden.The different surface textures can be achieved by appropriate coatings. So z. B. for the manipulation of an aqueous solution, the surface of the guide strips are selected to be hydrophilic in comparison to the surface of the intermediate region. In the case of oily solutions to be examined, the guide strips are chosen to be lipophilic in comparison to the intermediate area.
Die Beschichtungen können auf einfache Weise z. B. durch lithographische Verfahren mit nachfolgenden Beschichtungsschritten erreicht werden. Unterschiedliche Benetzungseigenschaften können weiterhin durch Mikrostruktuherung erreicht werden, wie es beim sogenannten Lotuseffekt der Fall ist, der auf unterschiedlichen Rauhigkeiten der Oberflächen beruht. Diese kann z. B. durch Mikrostruktuherung der entsprechenden Oberflächenbereiche erhalten werden, z. B. chemische Behandlung oder lonenbestrahlung.The coatings can in a simple manner, for. B. can be achieved by lithographic processes with subsequent coating steps. Different wetting properties can still be achieved by microstructuring, as is the case with the so-called lotus effect, which is based on different roughnesses of the surfaces. This can e.g. B. can be obtained by microstructure of the corresponding surface areas, for. B. chemical treatment or ion irradiation.
Bei einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist der Zwischenbereich gegenüber dem zumindest einen Führungsstreifen erhaben, wobei die sich dadurch ergebende Stufe kleiner ist als die Höhe der durch die Oberflächenspannung zusammengehaltenen Flüssigkeitsmenge auf dem Zwischenbereich. Eine solche Abstufung zwischen Führungsstreifen und Zwischenbereich kann z. B. durch eine sehr flache Ätzung z. B. mit einer Tiefe im Submikrometerbereich der Oberfläche eines Festkörperchips erreicht werden. Alternativ kann mit Hilfe von lithographischen Verfahren der Zwischenbereich aus einer Beschichtung bestehen, oder es kann in allen
Bereichen der Oberfläche mit Ausnahme der Führungsstreifen Kristallmaterial aufgewachsen werden.In another embodiment of the invention, the intermediate area is raised relative to the at least one guide strip, the resulting step being smaller than the height of the amount of liquid held together by the surface tension on the intermediate area. Such a gradation between the guide strip and the intermediate area can, for. B. by a very flat etching z. B. can be achieved with a depth in the submicron range of the surface of a solid state chip. Alternatively, the intermediate region can consist of a coating using lithographic processes, or it can be in all of them Areas of the surface with the exception of the lead strips are grown in crystal material.
Makroskopisch, d. h. auf einer Längenskala in der Größenordnung der Breite des Zwischenbereiches bzw. der lateralen Ausdehnung der kleinen Flüssigkeitsmenge bleibt die Oberfläche dabei im wesentlichen planar. Eine derartig flache Ätzung bzw. Stufe ist fertigungstechnisch sehr einfach und definiert herstellbar, ohne daß die bekannten Probleme von tiefen Ätzungen schmaler Kanäle auftreten.Macroscopic, i.e. H. the surface remains essentially planar on a length scale in the order of magnitude of the width of the intermediate region or the lateral extent of the small amount of liquid. Such a flat etching or step is very simple to manufacture and can be produced in a defined manner without the known problems of deep etching of narrow channels.
Den erfindungsgemäßen Ausgestaltungen ist gemeinsam, daß sich am Rand des Zwischenbereiches Führungsstreifen befinden, zu denen sich die Flüssigkeit ausbreiten möchte. Bei einer Ausgestaltung wird dies durch die bevorzugte Benetzung der Führungsstreifen bewirkt, bei der anderen Ausgestaltung durch die abwärts führende Stufe. An den Seiten des Zwischenbereiches wird also die Flüssigkeitsmenge durch Führungsstreifen geführt bzw. gehalten. Die Oberflächenspannung der kleinen Flüssigkeitsmenge verhindert zusätzlich das Auseinanderlaufen.The configurations according to the invention have in common that there are guide strips at the edge of the intermediate region, to which the liquid would like to spread. In one embodiment, this is brought about by the preferred wetting of the guide strips, in the other embodiment by the downward leading step. On the sides of the intermediate area, the amount of liquid is guided or held by guide strips. The surface tension of the small amount of liquid also prevents it from running apart.
Die Flüssigkeitsmenge kann sich dabei je nach der Oberflächenspannung in Form eines Tröpfchens auf dem durch Führungsstreifen begrenzten Zwischenbereich befinden. Bei langgestreckten Zwischenbereichen mit angrenzenden Führungsstreifen kann sich die Flüssigkeit auch in Form eines „Schlauches" auf dem Zwischenbereich mit den angrenzenden Führungsstreifen befinden.Depending on the surface tension, the amount of liquid can be in the form of a droplet on the intermediate area delimited by guide strips. In the case of elongated intermediate areas with adjacent guide strips, the liquid can also be in the form of a “tube” on the intermediate area with the adjacent guide strips.
Die erfindungsgemäßen Ausgestaltungen ermöglichen es, daß im Zwischenbereich unabhängig von den Benetzungseigenschaften eine Funktionalisierung gewählt werden kann. Die Lokalisierung bzw. Führung der Flüssigkeitsmenge wird durch die Führungsstreifen gewährleistet. So ist es z. B. möglich, daß Material in einer wäßrigen Lösung auf einem funktionalisierten Bereich untersucht wird, der hydrophob ist. Der funktionalisierte hydrophobe Bereich stellt den Zwischenbereich dar, der von hydrophilen bzw. abgesenkten Führungsstreifen umgeben ist. Die Flüssigkeit wird also in dem funktionalisierten Bereich gehalten, ohne daß tiefe Ätzungen zur Aufnahme der Flüssigkeitsmenge notwendig sind, obwohl der funktionalisierte Bereich
ggf. hydrophob ist. Die Führungsstreifen verhindern, daß die Flüssigkeit den funktionalisierten und ggf. hydrophoben Bereich verläßt. Selbstverständlich ist auch eine Kombination der Ausgestaltungen mit modulierten Benetzungseigenschaften und abgesenkten Führungsstreifen möglich.The refinements according to the invention make it possible for a functionalization to be selected in the intermediate region independently of the wetting properties. The guide strips ensure that the amount of liquid is located or guided. So it is z. B. possible that material in an aqueous solution is examined on a functionalized area that is hydrophobic. The functionalized hydrophobic area represents the intermediate area, which is surrounded by hydrophilic or lowered guide strips. The liquid is thus kept in the functionalized area without deep etching being necessary to absorb the amount of liquid, although the functionalized area possibly hydrophobic. The guide strips prevent the liquid from leaving the functionalized and possibly hydrophobic area. Of course, a combination of the configurations with modulated wetting properties and lowered guide strips is also possible.
Bei einer Weiterbildung der erfindungsgemäßen Verfahren bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtungen wird die Breite der Führungsstreifen größer gewählt als die Breite eines Precursor-Filmes der zu untersuchenden Flüssigkeit, bevorzugt mehr als etwa 100 Nanometer. Der Precursor-Film bildet sich durch Kondensation von Flüssigkeitsdampf auf einem Festkörper (A. W. Adamson und A. P. Gast, „Physical Chemistry of Surfaces", John Wiley & Sons, Inc., New York 1997, 6. Auflage, Seiten 372, 373) im Umfeld einer Flüssigkeitsmenge auf einer Oberfläche unabhängig vom Benetzungswinkel.In a development of the method according to the invention or the devices according to the invention, the width of the guide strips is chosen to be larger than the width of a precursor film of the liquid to be examined, preferably more than about 100 nanometers. The precursor film is formed by condensation of liquid vapor on a solid (AW Adamson and AP Gast, "Physical Chemistry of Surfaces", John Wiley & Sons, Inc., New York 1997, 6th edition, pages 372, 373) in the environment a quantity of liquid on a surface regardless of the wetting angle.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung wird die kleine Flüssigkeitsmenge an mehreren Seiten durch Führungsstreifen eingegrenzt. So läßt sich eine genaue Lokalisierung der Flüssigkeitsmenge erreichen, um z. B. eine Reaktion an lokalisierter Stelle durchführen zu können. Zu einem solchen Reaktionsbereich kann die Flüssigkeit z. B. auf einem von zwei Seiten durch Führungsstreifen eingeschränkten Zwischenbereich in einer Art Führungsschiene geführt werden.In an advantageous embodiment, the small amount of liquid is limited on several sides by guide strips. So an exact localization of the amount of liquid can be achieved to z. B. to be able to carry out a reaction at a localized point. For such a reaction area, the liquid can e.g. B. on one of two sides limited by guide strips intermediate area in a type of guide rail.
Zum Transport kleiner Flüssigkeitsmengen auf einer Chipoberfläche eignen sich parallel angeordnete Führungsstreifen mit einem dazwischen befindlichen Zwischenbereich.For the transport of small amounts of liquid on a chip surface, parallel guide strips with an intermediate area in between are suitable.
Durch Einwirkung einer äußeren Kraft wird z. B. ein Flüssigkeitstropfen entlang eines solchen Zwischenbereiches mit seitlich angeordneten Führungsstreifen wie auf einem „Gleis" geführt. Im Zwischenbereich können verschieden funktionalisierte Oberflächenbereiche angeordnet sein, wobei auf deren Benetzungseigenschaften keine besondere Rücksicht genommen werden muß.
Bei einer Ausgestaltung mit einem Zwischenbereich, der schlechter von der Flüssigkeit benetzt wird, als die Führungsstreifen, wird durch die Oberfläche nur eine geringe Bremskraft auf die Flüssigkeit ausgeübt, so daß ein schneller Transport möglich ist.By the action of an external force z. For example, a drop of liquid is guided along such an intermediate area with laterally arranged guide strips as on a "track". Different functionalized surface areas can be arranged in the intermediate area, with no particular consideration having to be given to their wetting properties. In the case of an embodiment with an intermediate region which is less wetted by the liquid than the guide strips, only a slight braking force is exerted on the liquid by the surface, so that rapid transport is possible.
Bei einer Weiterbildung sind mehrere Führungsstreifen parallel zueinander angeordnet, wobei sich jeweils zwischen zwei Führungsstreifen ein Zwischenbereich befindet. Die äußeren Führungsstreifen dienen der lateralen Begrenzung der Bewegung der Flüssigkeit, während die dazwischen befindlichen Führungsstreifen die Stabilisierung der Bewegung gewährleisten.In one development, a plurality of guide strips are arranged parallel to one another, with an intermediate region being located between two guide strips. The outer guide strips serve to limit the lateral movement of the liquid, while the guide strips located between them ensure the stabilization of the movement.
Die erfindungsgemäßen Verfahren bzw. die erfindungsgemäßen Vorrichtungen eignen sich zur chemischen, physikalischen und/oder biologischen Untersuchung der Flüssigkeitsmenge bzw. von Materie in der Flüssigkeitsmenge. Dazu kann der Zwischenbereich entsprechend funktionalisiert werden. Besonders vorteilhaft kann das Verfahren bzw. die Vorrichtung eingesetzt werden, um biologisches Material, z. B. Zellen oder DNA-Moleküle in Pufferlösungen zu untersuchen. Dazu wird der Zwischenbereich mit Hilfe biologischer Makromoleküle funktionalisiert. Die Flüssigkeit wird in den funktionalisierten Bereich gebracht und durch die Führungsstreifen lokalisiert bzw. in ihrer Bewegung in einer Raumrichtung begrenzt. Das in der Flüssigkeit befindliche biologische Material reagiert ggf. mit den biologischen Makromolekülen im Zwischenbereich. Daraus resultierende Änderungen des physikalischen, chemischen und/oder biologischen Verhaltens können untersucht werden und zur Analyse eingesetzt werden.The methods according to the invention and the devices according to the invention are suitable for chemical, physical and / or biological analysis of the amount of liquid or of matter in the amount of liquid. The intermediate area can be functionalized accordingly. The method or the device can be used particularly advantageously to remove biological material, e.g. B. to examine cells or DNA molecules in buffer solutions. For this purpose, the intermediate area is functionalized with the help of biological macromolecules. The liquid is brought into the functionalized area and localized by the guide strips or limited in its movement in one spatial direction. The biological material in the liquid may react with the biological macromolecules in the intermediate area. Resulting changes in the physical, chemical and / or biological behavior can be examined and used for analysis.
Selbstverständlich kann auf einem Chip eine Vielzahl derartiger „Reaktionsbereiche" vorgesehen sein, die z. B. ein „DNA-Screening" ermöglichen.Of course, a large number of such “reaction areas” can be provided on a chip, which, for example, enable “DNA screening”.
Bei vorteilhaften Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Verfahren bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtungen wird eine äußere Krafteinwirkung genutzt, um eine Durchmischung der kleinen Flüssigkeitsmenge zu erreichen. Auf diese Weise las-
sen sich z. B. eine Reaktion beschleunigen bzw. gleichförmige Reaktionsbedingungen erzielen.In advantageous developments of the method according to the invention or the devices according to the invention, an external force is used to mix the small amount of liquid. In this way, z. B. accelerate a reaction or achieve uniform reaction conditions.
Sind Führungsstreifen in paralleler Ausrichtung vorhanden, zwischen denen sich ein Zwischenbereich befindet, so kann die Flüssigkeitsmenge entlang dieser Führungsstreifen durch Einwirkung einer äußeren Kraft bewegt werden.If guide strips are present in a parallel orientation, between which there is an intermediate area, the amount of liquid can be moved along these guide strips by the action of an external force.
Bewegt sich die Flüssigkeitsmenge entlang eines langgestreckten Zwischenbereiches mit angrenzenden Führungsstreifen, deren Abstand nicht konstant ist, so ändert sich die Form der kleinen Flüssigkeitsmenge entsprechend der lateralen Ausdehnung des Zwischenbereiches mit angrenzenden Führungsstreifen.If the amount of liquid moves along an elongated intermediate area with adjacent guide strips, the spacing of which is not constant, the shape of the small amount of liquid changes in accordance with the lateral extent of the intermediate area with adjacent guide strips.
Die äußere Kraft kann auf verschiedene Weisen, z. B. elektrostatisch, erzeugt werden. Besonders vorteilhaft ist jedoch die Erzeugung einer äußeren Kraft mit Hilfe von Oberflächenschallwellen. Derartige Oberflächenschallwellen führen zu einer mechanischen Deformation der Oberfläche, die einen Impulsübertrag auf die Flüssigkeitsmenge bewirkt.The external force can be in various ways, e.g. B. electrostatically generated. However, generating an external force with the aid of surface acoustic waves is particularly advantageous. Such surface sound waves lead to a mechanical deformation of the surface, which causes a momentum transfer to the amount of liquid.
Wird z. B. ein piezoelektrischer Kristall als Festkörper eingesetzt, auf dem sich die Anordnung befindet, so wird die mechanische Deformation der Oberfläche durch die Oberflächenschallwelle zusätzlich von elektrischen Feldern begleitet, die wiederum eine Kraftwirkung auf geladene oder polarisierbare Materie innerhalb der zu untersuchenden Flüssigkeit bewirken.Is z. B. a piezoelectric crystal is used as a solid on which the arrangement is located, the mechanical deformation of the surface by the surface sound wave is additionally accompanied by electrical fields, which in turn cause a force effect on charged or polarizable matter within the liquid to be examined.
Durch die genannten Effekte überträgt eine Oberflächenschallwelle einen Impuls auf die Flüssigkeit. Der Impuls bewirkt eine Bewegung der Flüssigkeit in Richtung der Ausbreitungsrichtung der Oberflächenschallwelle. Zusätzlich wird eine Durchmischung der Flüssigkeit durch die Einwirkung der Oberflächenschallwelle erzielt.Due to the effects mentioned, a surface sound wave transmits an impulse to the liquid. The pulse causes the liquid to move in the direction of the propagation of the surface sound wave. Mixing of the liquid is also achieved by the action of the surface sound wave.
Selbstverständlich können auch mehrere Flüssigkeitsmengen mit Oberflächenwellen aus unterschiedlichen Richtungen zueinander geführt werden, um miteinander zu reagieren oder sich zu vermischen.
Zur Erzeugung von Oberflächenschallwellen wird vorteilhaft ein an sich bekannter Interdigitaltransducer auf einem piezoelektrischen Bereich des Substrates oder auf einem piezoelektrischen Substrat eingesetzt. Dabei ist es ausreichend, wenn das Substrat bzw. die entsprechende Beschichtung nur in dem Bereich piezoelektrisch ist, in dem sich der Interdigitaltransducer befindet.Of course, several quantities of liquid with surface waves from different directions can also be guided to react with one another or to mix. To generate surface acoustic waves, an interdigital transducer known per se is advantageously used on a piezoelectric area of the substrate or on a piezoelectric substrate. It is sufficient if the substrate or the corresponding coating is only piezoelectric in the area in which the interdigital transducer is located.
Ein solcher Interdigitaltransducer hat in einfacher Ausführung zwei Elektroden, die fingerartig ineinander greifen. Durch Anlegen eines hochfrequenten Wechselfeldes, z. B. in der Größenordnung von einigen 10 bis 100 MHz, wird in dem piezoelektrischen Substrat bzw. in dem piezoelektrischen Bereich des Substrates eine Oberflächenschallwelle angeregt, wenn die Resonanzbedingung nahezu erfüllt ist, daß der Fingerabstand einer Elektrode dem Quotienten der Oberflächenschallgeschwindigkeit und der Frequenz entspricht. Die Oberflächenschallwelle hat die Wellenlänge des Fingerabstandes einer Elektrode und ihre Ausbreitungsrichtung ist im wesentlichen senkrecht zu den ineinander greifenden Fingerelektrodenstrukturen. Ein solcher Interdigitaltransducer läßt sich sehr einfach und kostengünstig mit bekannten lithographischen Verfahren und Beschichtungstechnologien herstellen. Interdigitaltransducer können zudem, z. B. durch Einstrahlung eines elektromagnetischen Wechselfeldes in eine mit dem Interdigitaltransducer verbundene Antenneneinrichtung, drahtlos angesteuert werden.In a simple version, such an interdigital transducer has two electrodes which interlock with one another like fingers. By applying a high-frequency alternating field, e.g. B. in the order of a few 10 to 100 MHz, a surface acoustic wave is excited in the piezoelectric substrate or in the piezoelectric region of the substrate when the resonance condition is almost fulfilled that the finger spacing of an electrode corresponds to the quotient of the surface sound velocity and the frequency. The surface acoustic wave has the wavelength of the finger spacing of an electrode and its direction of propagation is essentially perpendicular to the intermeshing finger electrode structures. Such an interdigital transducer can be produced very simply and inexpensively using known lithographic processes and coating technologies. Interdigital transducers can also, e.g. B. can be controlled wirelessly by irradiation of an alternating electromagnetic field in an antenna device connected to the interdigital transducer.
Um z. B. eine Flüssigkeitsmenge entlang eines langgestreckten Zwischenbereiches mit seitlich sich anschließenden Führungsstreifen zu treiben, wird ein Interdigitaltransducer so auf der Chipoberfläche angeordnet, daß eine seiner Schallausbreitungsrichtungen im wesentlichen entlang der langgestreckten Anordnung aus Zwischenbereich und Führungsstreifen ist.To z. B. to drive a quantity of liquid along an elongated intermediate area with laterally adjoining guide strips, an interdigital transducer is arranged on the chip surface in such a way that one of its directions of sound propagation is essentially along the elongated arrangement of the intermediate area and guide strips.
Selbstverständlich können mehrere Interdigitaltransducer zur Ansteuerung verschiedener durch Zwischenbereiche mit sich anschließenden Führungsstreifen gebildete Bahnen dienen. Ebenso ist eine Netzwerkanordnung aus entsprechenden Bahnen und dazu zugeordneten Interdigitaltransducern möglich.
Bei Einsatz von Interdigitaltransducem mit nicht konstantem Fingerabstand („geta- perter Interdigitaltransducer") läßt sich auch der laterale Ausbreitungsbereich des Oberflächenschalles eines Interdigitaltransducers begrenzen. Mit einem solchen getaperten Interdigitaltransducer können verschiedene Bereiche eines Chips ausgewählt angesteuert werden.Of course, several interdigital transducers can be used to control various tracks formed by intermediate areas with adjoining guide strips. A network arrangement of corresponding tracks and associated interdigital transducers is also possible. When using interdigital transducers with a non-constant finger distance (“tapped interdigital transducer”), the lateral propagation area of the surface sound of an interdigital transducer can also be limited. With such a tapered interdigital transducer, different areas of a chip can be selected.
Interdigitaltransducer lassen sich in verschiedenen Geometrien realisieren. Erfindungsgemäß können auch andere Interdigitaltransducergeometrien eingesetzt werden, wie sie aus der Technologie der Oberflächenwellenfilter bekannt sind.Interdigital transducers can be implemented in different geometries. According to the invention, other interdigital transducer geometries can also be used, as are known from the technology of surface acoustic wave filters.
Besondere Vorteile des Impulsübertrages mittels Oberflächenschallwellen zur Bewegung bzw. Durchmischung kleiner Flüssigkeitsmengen sind:Special advantages of the impulse transmission by means of surface sound waves for the movement or mixing of small amounts of liquid are:
- Es lassen sich verschiedene zeitliche Verläufe der Kraft, wie z. B. Pulse verschiedener Länge, elektronisch definieren.- There can be different time courses of the force, such as. B. Define pulses of different lengths electronically.
- Die Stärke der Kraftwirkung auf die kleine Flüssigkeitsmenge läßt sich in einem weiten Bereich über die Amplitude oder die Pulsfrequenz der Oberflächenschallwelle einstellen.- The strength of the force effect on the small amount of liquid can be adjusted in a wide range via the amplitude or the pulse frequency of the surface sound wave.
- Die Beschallung der Festkörperoberfläche mit der Oberflächenschallwelle kann eine automatische Reinigung der überstrichenen Bereiche bewirken.- The sonication of the solid surface with the surface sound wave can cause an automatic cleaning of the swept areas.
- Eine Ansteuerung über entsprechende Software ist einfach möglich.- Control via appropriate software is easily possible.
Das erfindungsgemäße Verfahren bzw. die erfindungsgemäße Vorrichtung lassen sich vorteilhaft auch in einem System aus verschiedenen Analyse- bzw. Synthesepunkten auf einem Festkörperchip einsetzen. Auf diese Weise wird ein sogenanntes „Lab-on-a-chip" gebildet. Dabei können langgestreckte Zwischenbereiche mit ggf. beidseitigen seitlichen Führungsstreifen als Verbindungspfade zwischen verschiedenen Analyse- bzw. Synthesepunkten dienen. Einzelne Zwischenbereiche,
die an mehreren Seiten von Führungsstreifen umgeben sind, können als Reaktionsbereiche eingesetzt werden. Selbstverständlich lassen sich auch die erfindungsgemäße Vorrichtung bzw. die erfindungsgemäßen Verfahren mit anderen Transport- bzw. Lokalisierungsverfahren auf einem Chip kombinieren.The method according to the invention and the device according to the invention can advantageously also be used in a system composed of different analysis or synthesis points on a solid-state chip. In this way, a so-called “lab-on-a-chip” is formed. Elongated intermediate areas with guide strips on both sides, if necessary, can serve as connecting paths between different analysis or synthesis points. which are surrounded on several sides by guide strips can be used as reaction areas. Of course, the device according to the invention and the methods according to the invention can also be combined with other transport or localization methods on a chip.
Die Flüssigkeit wird z. B. mit Hilfe eines Pipettierroboters derart auf den Zwischenbereich gebracht, daß zumindest ein Führungsstreifen berührt wird. Die notwendige Menge kann in Vorversuchen festgestellt oder durch sukzessives Aufbringen der Flüssigkeit erreicht werden. Bei Berührung von zwei Führungsstreifen, die z. B. parallel angeordnet sind, wird die Flüssigkeitsmenge durch die bevorzugte Benetzung der Führungsstreifen in Zusammenwirkung mit der Oberflächenspannung lokalisiert. Bei geeigneter Wahl der Geometrie oder des Verfahrensablaufes kann die Flüssigkeit auch selbstjustierend aufgebracht werden. Die Flüssigkeitsmenge wird in Kontakt mit einem Führungsstreifen und dem Zwischenbereich gebracht. Durch äußere Krafteinwirkung, z. B. durch eine Oberflächenschallwelle oder durch Bewegen des gesamten Chips, wird die Flüssigkeitsmenge derart bewegt, daß sie in Kontakt mit einem weiteren Führungsstreifen gelangen kann. Es stellt sich dann in selbstjustierender Weise ein Zustand ein, in dem die Flüssigkeitsmenge aufgrund ihrer Oberflächenspannung und der bevorzugten Benetzung der Führungsstreifen zwischen diesen gehalten wird.The liquid is e.g. B. brought with the help of a pipetting robot so that at least one guide strip is touched. The necessary amount can be determined in preliminary tests or can be achieved by successively applying the liquid. When touching two guide strips, the z. B. are arranged in parallel, the amount of liquid is localized by the preferred wetting of the guide strips in cooperation with the surface tension. With a suitable choice of the geometry or the process sequence, the liquid can also be applied in a self-adjusting manner. The amount of liquid is brought into contact with a guide strip and the intermediate area. By external force, e.g. B. by a surface sound wave or by moving the entire chip, the amount of liquid is moved so that it can come into contact with another guide strip. A state then arises in a self-adjusting manner in which the amount of liquid is kept between them due to its surface tension and the preferred wetting of the guide strips.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der anliegenden Figuren im Detail erläutert.- Die schematischen Figuren dienen der Erläuterung des Prinzipes und sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu. Die Figuren zeigen Ausschnitte auf Draufsichten bzw. Querschnitte von Chipoberflächen, die ggf. Teil eines größeren Komplexes sein können. Dabei zeigtThe invention is explained in detail below with reference to the attached figures. The schematic figures serve to explain the principle and are not necessarily to scale. The figures show cutouts on top views or cross sections of chip surfaces, which can possibly be part of a larger complex. It shows
Figur 1 die Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung während desFigure 1 is a plan view of an inventive device during the
Durchführens eines erfindungsgemäßen Verfahrens,Performing a method according to the invention,
Figur 2a einen Querschnitt durch die Anordnung der Figur 1 entlang derFigure 2a shows a cross section through the arrangement of Figure 1 along the
Linie A-A in der angezeigten Blickrichtung,
Figur 2b einen Querschnitt gemäß der Linie entlang der Linie B-B der FigurLine AA in the indicated direction of view, Figure 2b shows a cross section along the line along the line BB of the figure
2a, in der angezeigten Richtung,2a, in the indicated direction,
Figur 2c einen Querschnitt entlang der Linie C-C mit der in Figur 2a angegebenen Blickrichtung,2c shows a cross section along the line C-C with the viewing direction indicated in FIG. 2a,
Figur 3 eine alternative Ausführungsform im Querschnitt,FIG. 3 shows an alternative embodiment in cross section,
Figur 4 eine Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei der Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens, undFIG. 4 shows a plan view of a further embodiment of the device according to the invention when carrying out a method according to the invention, and
Figur 5 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei der Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens.Figure 5 shows a further embodiment of the device according to the invention when carrying out a method according to the invention.
Figur 1 zeigt in schematischer Darstellung und in Draufsicht die Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Gezeigt ist ein Ausschnitt aus einer Chipoberfläche. Die gezeigte Ausführungsform dient zum Transport einer kleinen Flüssigkeitsmenge 1 entlang einer definierten Strecke. Dabei bezeichnet 5 seitliche Führungsstreifen der Breite 8. 1 bezeichnet einen Flüssigkeitstropfen, der durch seine eigene Oberflächenspannung zusammengehalten auf der Festkörperoberfläche lokalisiert ist.Figure 1 shows a schematic representation and a top view of the implementation of a method according to the invention with a device according to the invention. A section of a chip surface is shown. The embodiment shown serves to transport a small amount of liquid 1 along a defined route. 5 denotes lateral guide strips of width 8. 1 denotes a drop of liquid which is held together on the solid surface by its own surface tension.
Typischerweise sind die Führungsstreifen etwa ein Zehntel bis ein Drittel der lateralen Ausdehnung der zu manipulierenden Flüssigkeitsmenge, im gezeigten Beispiel also des Tropfendurchmessers, jedoch größer als die Breite des Precursor- Filmes, also größer als etwa 100 nm.Typically, the guide strips are approximately one tenth to one third of the lateral extent of the amount of liquid to be manipulated, in the example shown the drop diameter, but larger than the width of the precursor film, ie larger than approximately 100 nm.
Die Flüssigkeitsvolumina bewegen sich in der Größenordnung von 1 μm3 bis 1 cm3.
Zwischen den Führungsstreifen 5 befindet sich ein Zwischenbereich 3, der z. B. reaktionsfunktionalisiert ist. Zum Beispiel können biologische Makromoleküle in dem reaktionsfunktionalisierten Zwischenbereich 3 gebunden sein. Auch der aus dem Zwischenbereich 3 mit den Führungsstreifen 5 gebildete Streifen ist in Figur 1 nicht vollständig dargestellt, was durch die seitlichen Bruchlinien 10 angedeutet sein soll. Verschiedene Geometrien und Größen sind denkbar.The liquid volumes range from 1 μm 3 to 1 cm 3 . Between the guide strips 5 there is an intermediate area 3 which, for. B. is reaction functionalized. For example, biological macromolecules can be bound in the reaction-functionalized intermediate region 3. The strip formed from the intermediate region 3 with the guide strips 5 is also not shown completely in FIG. 1, which is to be indicated by the lateral break lines 10. Different geometries and sizes are conceivable.
Beabstandet zu der Streifenanordnung aus Zwischenbereich 3 und Führungsstreifen 5 befindet sich ein Interdigitaltransducer 7, der auf der Festkörperoberfläche mit bekannten lithographischen Techniken und Beschichtungstechniken aufgebracht ist. Der Interdigitaltransducer besteht aus Elektroden 9 mit fingerartigen Fortsätzen 11 , die ineinander greifen. Der Abstand der einzelnen Finger ist dabei in der Größenordnung von Mikrometern. Bei der Ausführungsform der Figur 1 befindet sich die Anordnung auf einem piezoelektrischen Kristall, z. B. Lithiumniobat. Alternativ kann die Oberfläche des Chips mit einer piezoelektrischen Schicht, z. B. aus Zinkoxid, versehen sein. Bei Anlegen eines elektromagnetischen Wechselfeldes an die Elektroden 9 in der Größenordnung von einigen 10 bis 100 MHz wird in bekannter Weise eine Oberflächenschallwelle mit einer Ausbreitungsrichtung senkrecht zu der Erstreckungshchtung der fingerartigen Elektroden 11 angeregt. Der interessierende Teil des so angeregten Oberflächenschallwellenfeldes hat einen Schallpfad in Richtung 13.An interdigital transducer 7, which is applied to the solid surface using known lithographic techniques and coating techniques, is spaced apart from the strip arrangement consisting of intermediate area 3 and guide strip 5. The interdigital transducer consists of electrodes 9 with finger-like projections 11 which interlock. The distance between the individual fingers is of the order of micrometers. In the embodiment of Figure 1, the arrangement is on a piezoelectric crystal, for. B. Lithium niobate. Alternatively, the surface of the chip can be coated with a piezoelectric layer, e.g. B. made of zinc oxide. When an alternating electromagnetic field is applied to the electrodes 9 in the order of magnitude of a few 10 to 100 MHz, a surface sound wave with a direction of propagation perpendicular to the direction of extension of the finger-like electrodes 11 is excited in a known manner. The part of the surface sound wave field that is excited in this way has a sound path in the direction 13.
Der-Abstand des Interdigitaltransducers 7 von der gezeigten Streifenanordnung ist nicht maßstabsgetreu. Es sind größere Abstände denkbar, wie sie aus der Oberflä- chenschallwellentechnologie bekannt sind.The distance of the interdigital transducer 7 from the strip arrangement shown is not to scale. Larger distances are conceivable, as are known from surface acoustic wave technology.
Figur 2a zeigt einen Schnitt durch die Anordnung der Figur 1 entlang der Linie A-A in der in Figur 1 angegebenen Blickrichtung. Der piezoelektrische Festkörper ist mit 2 bezeichnet. Bei der gezeigten Ausführungsform befindet sich zwischen den Führungsstreifen 5 eine hydrophobe Reaktionsfunktionalisierung 3. Der Flüssigkeitstropfen 1 z. B. einer wäßrigen Lösung mit biologischem Material breitet sich bis zur äußeren Begrenzung der hydrophilen Führungsstreifen 5 aus. Außerhalb der Füh-
rungsstreifen 5 ist die Oberfläche 31 ebenfalls hydrophob. Die Oberflächenbenet- zungseigenschaften sind dabei derart gewählt, daß eine geringere Benetzung vorliegt, als mit der reaktionsfunktionalisierten Oberfläche im Zwischenbereich 3. So wird eine zusätzliche Lokalisierung der Flüssigkeitsmenge auf dem Zwischenbereich 3 und den Führungsstreifen 5 erreicht.Figure 2a shows a section through the arrangement of Figure 1 along the line AA in the viewing direction indicated in Figure 1. The piezoelectric solid is denoted by 2. In the embodiment shown, a hydrophobic reaction functionalization 3 is located between the guide strips 5. B. an aqueous solution with biological material spreads to the outer boundary of the hydrophilic guide strips 5. Outside the leadership tion strip 5, the surface 31 is also hydrophobic. The surface wetting properties are chosen in such a way that there is less wetting than with the reaction-functionalized surface in the intermediate area 3. In this way, an additional localization of the amount of liquid on the intermediate area 3 and the guide strips 5 is achieved.
Figur 2b zeigt einen Schnitt entlang der Linie B-B der Figur 2a. In diesem Bereich ist die Flüssigkeit des Flüssigkeitstropfens 1 über den gesamten Querschnitt auf dem hydrophilen Bereich 5 angesiedelt. Es stellt sich der Benetzungswinkel a je nach Wahl der Materialien ein. Figur 2c zeigt einen Schnitt entlang der Linie C-C der Figur 2a. Hier befindet sich der Rand der Flüssigkeit auf dem ggf. hydrophoben Teil 3. Dementsprechend ist der Benetzungswinkel ß sehr viel steiler als der Benetzungswinkel a der Flüssigkeit auf dem hydrophilen Bereich der Figur 2b.Figure 2b shows a section along the line B-B of Figure 2a. In this area, the liquid of the liquid drop 1 is located on the hydrophilic area 5 over the entire cross section. The wetting angle a is set depending on the choice of materials. Figure 2c shows a section along the line C-C of Figure 2a. Here the edge of the liquid is on the possibly hydrophobic part 3. Accordingly, the wetting angle β is much steeper than the wetting angle α of the liquid on the hydrophilic area in FIG. 2b.
Eine solche Anordnung läßt sich wie folgt einsetzen. Ein Flüssigkeitstropfen 1 wird auf die Streifenanordnung aus dem Zwischenbereich 3 mit den seitlichen Führungsstreifen 5 gebracht. Der Flüssigkeitstropfen 1 umfaßt eine wäßrige Lösung mit z. B. biologischem Material. Die notwendige Menge an Flüssigkeit kann in Vorversuchen ermittelt werden. Ebenso kann die Menge mit Hilfe z. B. einer Pipette sukzessiv erhöht werden, bis beide Führungsstreifen 5 zumindest berührt werden. Aufgrund der hydrophilen Eigenschaften der seitlichen Führungsstreifen 5 breitet sich der Flüssigkeitstropfen in Richtung des Randes vollständig aus. Aufgrund der Oberflächenspannung des Tropfens wird er in seiner Form zusammengehalten und ein Auseinanderlaufen wird verhindert. Dies wird durch die Oberflächenbeschaffen- heit des Oberflächenbereiches 31 , in dem eine noch geringere Benetzung stattfindet, als im Zwischenbereich 3, zusätzlich verstärkt. Im Zwischenbereich 3, der ggf. stärker hydrophobe Eigenschaften hat als die Führungsstreifen 5, stellt sich ein steiler Benetzungswinkel ß ein, während sich im Bereich der Führungsstreifen 5 ein flacherer Benetzungswinkel a einstellt.Such an arrangement can be used as follows. A drop of liquid 1 is brought onto the strip arrangement from the intermediate area 3 with the lateral guide strips 5. The liquid drop 1 comprises an aqueous solution with z. B. biological material. The necessary amount of liquid can be determined in preliminary tests. Likewise, with the help of z. B. a pipette can be successively increased until both guide strips 5 are at least touched. Due to the hydrophilic properties of the lateral guide strips 5, the liquid drop spreads completely in the direction of the edge. Due to the surface tension of the drop, it is held together in its shape and it does not run apart. This is additionally reinforced by the surface quality of the surface area 31, in which wetting takes place even less than in the intermediate area 3. In the intermediate area 3, which may have more hydrophobic properties than the guide strips 5, there is a steep wetting angle β, while in the area of the guide strips 5 there is a flatter wetting angle α.
Es wird ein elektrisches Wechselfeld der angegebenen Größenordnung an die Elektroden 9 des Interdigitaltransducers angelegt, um eine Oberflächenschallwelle
in Richtung 13 anzuregen. Die Oberflächenschallwelle überträgt ihren Impuls auf den Flüssigkeitstropfen 1 , z. B. durch die mechanische Deformation der Oberfläche. Der Flüssigkeitstropfen wird auf diese Weise in Richtung 13 fortbewegt. Die Führungsstreifen 5 verhindern ein seitliches Ausbrechen. Dieses Verhalten ist unabhängig davon, welche Benetzungseigenschaften der Zwischenbereich 3 hat. Auch ein weniger hydrophiler Bereich, wie er bei der gezeigten Ausführungsform vorhanden ist, ist für den Zwischenbereich 3 möglich, da die Richtung der Tropfenbewegung durch die Führungsstreifen 5 bestimmt wird. Es wird eine definierte Bewegung des Flüssigkeitstropfens entlang eines solchen „Gleises" erzeugt. -An alternating electrical field of the specified magnitude is applied to the electrodes 9 of the interdigital transducer in order to generate a surface sound wave towards 13. The surface sound wave transmits its momentum to the liquid drop 1, e.g. B. by the mechanical deformation of the surface. The liquid drop is moved in this way in the direction 13. The guide strips 5 prevent lateral breaking out. This behavior is independent of the wetting properties of the intermediate area 3. A less hydrophilic region, as is present in the embodiment shown, is also possible for the intermediate region 3, since the direction of the drop movement is determined by the guide strips 5. A defined movement of the drop of liquid along such a "track" is generated.
Eine solche Anordnung kann eingesetzt werden, um den Flüssigkeitstropfen z. B. an einen bestimmten Analysepunkt zu bringen, in dem der Zwischenbereich 3 in besonderer Form funktionalisiert ist, um z. B. eine Reaktion oder eine Analyse zu ermöglichen. Dabei braucht keine Rücksicht auf die Benetzungseigenschaften des Zwischenbereiches genommen werden, da die Bewegung des Tropfens durch die Führungsstreifen 5 festgelegt ist.Such an arrangement can be used to the liquid drop z. B. to bring to a certain analysis point, in which the intermediate area 3 is functionalized in a special form to z. B. enable a reaction or analysis. No consideration needs to be given to the wetting properties of the intermediate area, since the movement of the drop is defined by the guide strips 5.
Bei der gezeigten Ausführungsform ist die Flüssigkeit in Form eines Tröpfchens 1 auf der Oberfläche angeordnet. Bei einer entsprechend schmaleren Ausführung befindet sich die Flüssigkeit in Form eines „Flüssigkeitsschlauches" auf dem „Gleis" 3, 5.In the embodiment shown, the liquid is arranged in the form of a droplet 1 on the surface. In the case of a correspondingly narrower design, the liquid is in the form of a “liquid hose” on the “track” 3, 5.
In Figur 3 ist eine alternative Ausführungsform gezeigt. Die Ansicht entspricht der Darstellung der Figur 2a der ersten Ausführungsform. Gleiche Elemente sind mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Bei der in Figur 3 gezeigten Ausführungsform werden die Führungsstreifen durch flache Absenkungen 50 in der Oberfläche erreicht. Bei der gezeigten Ausführungsform befindet sich zwischen den Führungsstreifen eine Beschichtung ggf. mit der gewünschten Reakionsfunktionalisierung. Die Dicke der Beschichtung ist dabei dünner als etwa ein Zehntel der Oberflächen- schallwellenlänge, die mit einem Transducer 11 erzeugt werden kann. Außerhalb der Führungsstreifen 50 befindet sich eine Beschichtung 30 mit ähnlichen Benetzungseigenschaften wie die Reaktionsfunktionalisierungsbeschichtung 3. Die Tiefe
51 der abgesenkten Bereiche 50 ist sehr viel kleiner als die Höhe 10 des Flüssigkeitstropfens 1 , z. B. im Submikrometerbereich. Ein Flüssigkeitstropfen 1 , der auf den Zwischenbereich 3 gebracht wird, fließt seitlich in die Führungsstreifen 50. Seine Oberflächenspannung verhindert, daß er auf der entfernten Seite die abgesenkten Bereiche 50 wieder verläßt. Auch hier wird die notwendige Menge abhängig von den verwendeten Materialien z. B. im Versuch ermittelt. Auf diese Weise läßt sich ebenfalls ein „Gleis"-Effekt erreichen, wie bei der Ausführungsform der Figuren 1 und 2.An alternative embodiment is shown in FIG. The view corresponds to the illustration in FIG. 2a of the first embodiment. The same elements are designated with the same reference numbers. In the embodiment shown in FIG. 3, the guide strips are achieved by flat depressions 50 in the surface. In the embodiment shown, there is a coating between the guide strips, possibly with the desired reaction functionalization. The thickness of the coating is thinner than about one tenth of the surface sound wavelength that can be generated with a transducer 11. Outside the guide strips 50 there is a coating 30 with similar wetting properties as the reaction functionalization coating 3. The depth 51 of the lowered areas 50 is very much smaller than the height 10 of the liquid drop 1, for. B. in the submicron range. A drop of liquid 1, which is brought onto the intermediate area 3, flows laterally into the guide strips 50. Its surface tension prevents it from leaving the lowered areas 50 on the distal side. Again, the necessary amount depending on the materials used, for. B. determined in the experiment. In this way, a “track” effect can also be achieved, as in the embodiment of FIGS. 1 and 2.
Der Antrieb des Flüssigkeitstropfens 1 geschieht ebenfalls mit einem Interdigitaltransducer in analoger Anordnung wie bei der Figur 1.The droplet of liquid 1 is also driven with an interdigital transducer in an arrangement similar to that in FIG. 1.
In Figur 4 ist eine Ausführungsform mit mehreren Führungsstreifen 5, 6 gezeigt. Gleiche Elemente sind wiederum mit den gleichen Bezugsziffern versehen. Während die äußeren Führungsstreifen 5 das seitliche Ausbrechen der Flüssigkeitsmenge 1 verhindern, dienen die Führungsstreifen 6 der weiteren Stabilisierung der Bewegung in Richtung 13. Die Oberflächeneigenschaften der Führungsstreifen 6 entsprechen den Oberflächeneigenschaften der Führungsstreifen 5. Analog zu der Ausführungsform der Figuren 1 und 2 sind die Oberflächenbereiche 5 und 6 hydrophil ausgebildet, wenn der zu bewegende Flüssigkeitstropfen eine wäßrige Lösung ist. Die Benetzungseigenschaften der Zwischenbereiche 3 können frei gewählt werden, so daß eine Reaktionsfunktionalisierung vorgesehen sein kann, die unabhängig von den Benetzungseigenschaften ist.An embodiment with a plurality of guide strips 5, 6 is shown in FIG. The same elements are again provided with the same reference numbers. While the outer guide strips 5 prevent the amount of liquid 1 from breaking out laterally, the guide strips 6 serve to further stabilize the movement in the direction 13. The surface properties of the guide strips 6 correspond to the surface properties of the guide strips 5. The surface areas are analogous to the embodiment of FIGS 5 and 6 formed hydrophilic when the liquid drop to be moved is an aqueous solution. The wetting properties of the intermediate regions 3 can be chosen freely, so that a reaction functionalization can be provided which is independent of the wetting properties.
Figur 5 zeigt eine Anordnung, wie sie z. B. zur Analyse eingesetzt werden kann. Die Führungsstreifen 5 bilden eine Umrandung. Innerhalb dieser Umrandung 5 befindet sich ein reaktionsfunktionalisierter Bereich 4. Zum Beispiel können biologische Makromoleküle an der Oberfläche gebunden sein. Die Benetzungseigenschaften des Oberflächenbereiches 4 können unabhängig von der Art der Flüssigkeit 1 gewählt werden, da ein seitliches Ausbrechen durch die hydrophilen Streifen 5 in Zusammenwirkung mit der Oberflächenspannung der Flüssigkeitsmenge 1 verhindert wird.
Mit der Anordnung der Figur 5 kann wie folgt eine Analyse durchgeführt werden. Über die Zwischenbereiche 3 mit den seitlichen Führungsstreifen 5 kann eine Flüssigkeitsmenge mit Hilfe einer Oberflächenschallwelle, die mit dem Interdigitaltransducer 7 erzeugt wird, in Richtung des Reaktionsbereiches 4 gebracht werden, wie es z. B. mit Bezug zu der Figur 1 beschrieben ist. In dem Reaktionsbereich 4 kann sich die Flüssigkeit 1 aufhalten. Durch die entsprechend gewählte z. B. biologische Funktionalisierung findet eine Reaktion zwischen der biologischen Funktionalisierung der Oberfläche 4 mit biologischem Material, das z. B. in der Flüssigkeit 1 enthalten ist, statt. Nach der Reaktion kann die Flüssigkeit z. B. durch weiteres Einstrahlen einer Oberflächenschallwelle auf der anderen Seite des Reaktionsbereiches 4 wieder entfernt werden. Selbstverständlich können auch andere, z. B. physikalische Untersuchungen vorgenommen werden.Figure 5 shows an arrangement such as. B. can be used for analysis. The guide strips 5 form a border. A reaction-functionalized region 4 is located within this border 5. For example, biological macromolecules can be bound to the surface. The wetting properties of the surface area 4 can be selected independently of the type of the liquid 1, since a lateral breakout by the hydrophilic strips 5 in cooperation with the surface tension of the amount of liquid 1 is prevented. With the arrangement of FIG. 5, an analysis can be carried out as follows. Via the intermediate regions 3 with the lateral guide strips 5, a quantity of liquid can be brought in the direction of the reaction region 4 with the aid of a surface acoustic wave which is generated with the interdigital transducer 7, as is the case, for example, with B. is described with reference to Figure 1. The liquid 1 can be in the reaction area 4. By the appropriately chosen z. B. biological functionalization finds a reaction between the biological functionalization of the surface 4 with biological material, which, for. B. is contained in the liquid 1 instead. After the reaction, the liquid can e.g. B. can be removed by further irradiation of a surface acoustic wave on the other side of the reaction region 4. Of course, other, e.g. B. physical examinations.
Selbstverständlich kann auch die Anordnung der Figur 5 mit Hilfe von flachen abgesenkten Bereichen anstelle der Führungsstreifen 5 realisiert werden, wie sie z. B. mit Bezug zur Figur 3 beschrieben sind. Schließlich können auf dem Reaktionsbereich 4 mehrere Flüssigkeiten zur Reaktion zusammengebracht werden.Of course, the arrangement of Figure 5 can be realized with the help of flat lowered areas instead of the guide strips 5, as z. B. are described with reference to Figure 3. Finally, several liquids can be brought together for reaction in the reaction area 4.
Verschiedene derartige Reaktionsbereiche 4 können über entsprechende „Gleise" miteinander verbunden sein und so verschiedene Reaktionen mit einer Flüssigkeit ermöglichen. Auch andere Analyse- bzw. Synthesestationen können vorgesehen sein-, die jeweils über Anordnungen gemäß der Figuren 1 bis 4 miteinander verbunden sind. So läßt sich ein „Lab-on-the-chip" realisieren, in dem eine sehr kleine Flüssigkeitsmenge verschiedenen Untersuchungen unterzogen wird.Different reaction areas 4 of this type can be connected to one another via corresponding “tracks” and thus enable different reactions with a liquid. Other analysis or synthesis stations can also be provided, each of which is connected to one another via arrangements according to FIGS. 1 to 4 implement a "lab-on-the-chip" in which a very small amount of liquid is subjected to various tests.
Die Erfindung ermöglicht also eine definierte Bewegung einer Flüssigkeitsmenge auf einer Chipoberfläche. Dazu sind keine tief geätzten Kanäle mit den dabei entstehenden bekannten Schwierigkeiten notwendig. Die Oberfläche bleibt im wesentlichen planar, läßt sich auf diese Weise sehr leicht reinigen und stellt keine zusätzlichen Hindernisse für die Bewegung der Flüssigkeitsmenge dar.
Durch die Einwirkung der Oberflächenschallwelle wird die Flüssigkeitsmenge zusätzlich in Turbulenz versetzt und durchmischt. Eine Reaktion kann auf diese Weise beschleunigt werden.The invention thus enables a defined movement of a quantity of liquid on a chip surface. No deeply etched channels with the known difficulties arising are necessary for this. The surface remains essentially planar, can be cleaned very easily in this way and does not represent any additional obstacles to the movement of the amount of liquid. Due to the action of the surface sound wave, the amount of liquid is additionally turbulent and mixed. A reaction can be accelerated in this way.
Die gezeigten Geometrien dienen nur zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens und der erfindungsgemäßen Vorrichtungen und stellen somit bevorzugte Ausführungsformen dar. Die Ansprüche umfassen in für den Fachmann ersichtlicher Weise auch andere Anordnungen von Zwischenbereichen und Führungsstreifen bzw. Interdigitaltransducern. Ebenso ist die Anzahl der gezeigten Elemente nicht begrenzt. So können z. B. mehrere Interdigitaltransducer für die Bewegung in verschiedenen Richtungen vorgesehen sein, wenn Zwischenbereiche und Führungsstreifen entsprechende Geometrien aufweisen.
The geometries shown serve only to explain the method according to the invention and the devices according to the invention and thus represent preferred embodiments. The claims also include other arrangements of intermediate regions and guide strips or interdigital transducers, as is evident to the person skilled in the art. The number of elements shown is also not limited. So z. B. several interdigital transducers for movement in different directions may be provided if intermediate areas and guide strips have corresponding geometries.
Claims
1. Verfahren zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen, insbesondere Chipoberflächen, bei dem mindestens eine kleine von ihrer Oberflächenspannung zusammengehaltene Flüssigkeitsmenge (1 ) auf einen Bereich der Oberfläche mit zumindest einem Zwischenbereich (3, 4) gebracht . wird, der zumindest in einer lateralen Raumrichtung an einen Führungsstreifen (5, 6) angrenzt, wobei die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) sowohl zumindest einen Zwischenbereich (3, 4) als auch zumindest einen Führungsstreifen (5, 6) berührt und der zumindest eine Zwischenbereich (3, 4) und der Führungsstreifen (5, 6) unterschiedliche Oberflächenbeschaffenheiten aufweisen, die derart gewählt sind, daß eine Oberfläche mit der Oberflächenbeschaffenheit eines Führungsstreifens stärker von der kleinen Flüssigkeitsmenge benetzt wird, als eine Oberfläche mit der Oberflächenbeschaffenheit des zumindest einen Zwischenbereiches.
1. A method for manipulating small amounts of liquid on surfaces, in particular chip surfaces, in which at least a small amount of liquid (1) held together by its surface tension is applied to an area of the surface with at least one intermediate area (3, 4). which adjoins a guide strip (5, 6) at least in a lateral spatial direction, the small amount of liquid (1) touching both at least one intermediate region (3, 4) and at least one guide strip (5, 6) and the at least one intermediate region (3, 4) and the guide strip (5, 6) have different surface textures, which are selected such that a surface with the surface texture of a guide strip is wetted more by the small amount of liquid than a surface with the surface texture of the at least one intermediate area.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , bei dem der zumindest eine Zwischenbereich erhaben gegenüber dem Führungsstreifen gewählt wird, wobei die Stufe zwischen dem zumindest einen Zwischenbereich und dem Führungsstreifen kleiner als die Höhe der Flüssigkeitsmenge auf dem Zwischenbereich ist.2. The method according to claim 1, in which the at least one intermediate region is raised in relation to the guide strip, the step between the at least one intermediate region and the guide strip being smaller than the height of the amount of liquid on the intermediate region.
3. Verfahren zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen, insbesondere Chipoberflächen, bei dem mindestens eine kleine von ihrer Oberflächenspannung zusammengehaltene Flüssigkeitsmenge (1 ) auf einen Bereich der Oberfläche mit zumindest einem Zwischenbereich (3) gebracht wird, der wenigstens in einer lateralen Raumrichtung an einen Führungsstreifen (50) angrenzt, wobei die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) sowohl zumindest einen Zwischenbereich (3) als auch zumindest einen Führungsstreifen (50) berührt und der zumindest eine Zwischenbereich (3) gegenüber dem Führungsstreifen (50) erhaben gewählt ist und die Stufe (51 ) zwischen dem zumindest einen Zwischenbereich (3) und dem Führungsstreifen (50) kleiner als die Höhe (10) der Flüssigkeitsmenge (1 ) auf dem Zwischenbereich ist.3. A method for manipulating small amounts of liquid on surfaces, in particular chip surfaces, in which at least a small amount of liquid (1) held together by its surface tension is brought to a region of the surface with at least one intermediate region (3) which is at least in a lateral spatial direction on a guide strip (50) adjoins, the small amount of liquid (1) touching both at least one intermediate region (3) and at least one guide strip (50) and the at least one intermediate region (3) being raised in relation to the guide strip (50) and the step (51 ) between the at least one intermediate area (3) and the guide strip (50) is smaller than the height (10) of the amount of liquid (1) on the intermediate area.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Oberflächenbeschaffenheit des Oberflächenaußenbereiches (31 ), der einem Führungsstreifen (5) auf dessen dem angrenzenden Zwischenbereich (3) abgewandten Seite benachbart ist, derart ausgewählt sind, daß die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) schlechter oder gleich stark mit der Oberfläche des Oberflächenaußen-4. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the surface quality of the surface outer region (31), which is adjacent to a guide strip (5) on its side facing away from the adjacent intermediate region (3), are selected such that the small amount of liquid (1 ) worse or equally strong with the surface of the surface
- bereiches (31 ) benetzt, als mit der Oberfläche des Zwischenbereiches (3).- Area (31) wetted than with the surface of the intermediate area (3).
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) Wasser bzw. eine wäßrige Lösung ist und der zumindest eine Führungsstreifen (5, 6, 50) im Vergleich zu dem zumindest einen Zwischenbereich (3, 4) hydrophil gewählt ist.5. The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the small amount of liquid (1) is water or an aqueous solution and the at least one guide strip (5, 6, 50) compared to the at least one intermediate region (3, 4) is chosen hydrophilic.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die laterale Breite (8) eines Führungsstreifens (5, 6, 50) größer als die Breite des Precursor-Filmes der Flüssigkeitsmenge (1 ) gewählt wird.
6. The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the lateral width (8) of a guide strip (5, 6, 50) is chosen to be larger than the width of the precursor film of the amount of liquid (1).
7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die laterale Breite (8) eines Führungsstreifens (5, 6, 50) größer als 100 nm gewählt wird.7. The method according to claim 6, wherein the lateral width (8) of a guide strip (5, 6, 50) is selected to be greater than 100 nm.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) in mehreren Raumrichtungen von Führungsstreifen (5, 50) umgeben ist.8. The method according to any one of claims 1 to 7, wherein the small amount of liquid (1) is surrounded in several spatial directions by guide strips (5, 50).
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem die Flüssigkeitsmenge (1) auf einen Zwischenbereich (3, 4) gebracht wird, der zumindest auf zwei im wesentlichen gegenüberliegenden Seiten von Führungsstreifen (5, 50) begrenzt wird.9. The method according to any one of claims 1 to 8, wherein the amount of liquid (1) is brought to an intermediate region (3, 4) which is delimited at least on two substantially opposite sides of guide strips (5, 50).
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem zumindest zwei Führungsstreifen (5, 6, 50) im wesentlichen parallel angeordnet sind.10. The method according to any one of claims 1 to 9, in which at least two guide strips (5, 6, 50) are arranged substantially parallel.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem die Flüssigkeitsmenge (1 ) mehrere Zwischenbereiche (3) und mehr als zwei Führungsstreifen (5, 6) berührt.11. The method according to any one of claims 1 to 10, wherein the amount of liquid (1) touches a plurality of intermediate areas (3) and more than two guide strips (5, 6).
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11 , bei dem der zumindest eine Zwischenbereich (3, 4) zur Reaktion mit der kleinen Flüssigkeitsmenge (1 )12. The method according to any one of claims 1 to 11, wherein the at least one intermediate region (3, 4) for reaction with the small amount of liquid (1)
- und/oder darin enthaltenem Material zumindest teilweise physikalisch, chemisch und/oder biologisch funktionalisiert wird.- And / or material contained therein is at least partially physically, chemically and / or biologically functionalized.
13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem der zumindest eine Zwischenbereich (3, 4) durch biologische Makromoleküle funktionalisiert wird.13. The method according to claim 12, wherein the at least one intermediate region (3, 4) is functionalized by biological macromolecules.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) auf dem zumindest einen Zwischenbereich (3, 4) entlang der Führungsstreifen (5, 6, 50) mit Hilfe einer äußeren Krafteinwirkung bewegt wird.
14. The method according to any one of claims 1 to 13, wherein the small amount of liquid (1) on the at least one intermediate region (3, 4) along the guide strips (5, 6, 50) is moved with the aid of an external force.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, bei dem die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) auf dem zumindest einen Zwischenbereich (3, 4) mit Hilfe einer äußeren Krafteinwirkung durchmischt wird.15. The method according to any one of claims 1 to 14, wherein the small amount of liquid (1) on the at least one intermediate region (3, 4) is mixed with the aid of an external force.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei dem zumindest zwei Flüssigkeitsmengen auf einen Zwischenbereich (3, 4) gebracht werden und mit Hilfe äußerer Krafteinwirkung relativ zueinander bewegt werden, vorzugsweise um sie untereinander zu vermischen oder zur Reaktion zu bringen.16. The method according to any one of claims 1 to 15, in which at least two amounts of liquid are brought to an intermediate region (3, 4) and are moved relative to one another with the aid of external force, preferably in order to mix them with one another or to bring them to reaction.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem zur Erzeugung der äußeren Kraft der Impuls von wenigstens einer Oberflächenschallwelle auf die kleine Flüssigkeitsmenge (1 ) übertragen wird.17. The method according to any one of claims 14 to 16, in which to generate the external force, the pulse of at least one surface sound wave is transmitted to the small amount of liquid (1).
18. Verfahren nach Anspruch 14, bei dem die wenigstens eine Oberflächenschallwelle mit Hilfe zumindest eines Interdigitaltransducers (7) mit einer Abstrahlrichtung (13) in Richtung zumindest eines der Zwischenbereiche (3, 4) erzeugt wird.18. The method according to claim 14, wherein the at least one surface sound wave is generated with the aid of at least one interdigital transducer (7) with a radiation direction (13) in the direction of at least one of the intermediate regions (3, 4).
19. Vorrichtung zur Manipulation zumindest einer kleinen Flüssigkeitsmenge mit19. Device for manipulating at least a small amount of liquid
- einer Oberfläche, vorzugsweise einer Chipoberfläche,a surface, preferably a chip surface,
- zumindest einem Zwischenbereich (3, 4) auf der Oberfläche, der- At least one intermediate area (3, 4) on the surface, the
zumindest in einer Raumrichtung an einen Führungsstreifen (5) angrenzt, wobeiadjoins a guide strip (5) at least in one spatial direction, wherein
der zumindest eine Führungsstreifen (5, 50) und der zumindest eine Zwischenbereich (3, 4) derart unterschiedliche Oberflächenbeschaffenheiten aufweisen, daß eine Oberfläche mit der Oberflächenbeschaffenheit eines Führungsstreifens stärker von der kleinen Flüssigkeitsmenge benetzt würde, als
eine Oberfläche mit der Oberflächenbeschaffenheit des zumindest einen Zwischenbereiches.the at least one guide strip (5, 50) and the at least one intermediate region (3, 4) have such different surface textures that a surface with the surface condition of a guide strip would be wetted more by the small amount of liquid than a surface with the surface quality of the at least one intermediate area.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, bei der der zumindest eine Zwischenbereich gegenüber dem zumindest einen Führungsstreifen erhaben ist, wobei die Stufe zwischen dem zumindest einen Zwischenbereich und dem Führungsstreifen kleiner als die Höhe einer durch die Oberflächenspannung auf dem Zwischenbereich und dem Führungsstreifen zusammengehaltenen Flüssigkeitsmenge ist.20. The apparatus of claim 19, wherein the at least one intermediate region is raised relative to the at least one guide strip, the step between the at least one intermediate region and the guide strip being smaller than the amount of a quantity of liquid held together by the surface tension on the intermediate region and the guide strip.
21. Vorrichtung zur Manipulation zumindest einer kleinen Flüssigkeitsmenge mit21. Device for manipulating at least a small amount of liquid
- einer Oberfläche, vorzugsweise einer Chipoberfläche,a surface, preferably a chip surface,
- zumindest einem Zwischenbereich (3) auf der Oberfläche, der- At least one intermediate area (3) on the surface, the
zumindest in einer Raumrichtung an einen Führungsstreifen (50) angrenzt, wobeiadjoins a guide strip (50) at least in one spatial direction, wherein
der zumindest eine Zwischenbereich (3) gegenüber dem zumindest einen Führungsstreifen (50) erhaben ist und die Stufe zwischen dem zumindest einen Zwischenbereich (3) und dem Führungsstreifen (50) kleiner ist als die * Höhe einer durch die Oberflächenspannung auf dem Zwischenbereich und dem zumindest einen Führungsstreifen zusammengehaltenen Flüssigkeitsmenge.the at least one intermediate area (3) is raised above the at least one guide strip (50) and the step between the at least one intermediate area (3) and the guide strip (50) is smaller than the * height of one due to the surface tension on the intermediate area and the at least one amount of liquid held together by a guide strip.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 und 21 , bei der die Führungsstreifen (50) flach geätzte Täler in der Oberfläche sind.22. Device according to one of claims 20 and 21, wherein the guide strips (50) are flat etched valleys in the surface.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 und 21 , bei der der erhabene Zwischenbereich (3) durch eine Beschichtung bzw. aufgewachsenes Material gebildet ist.
23. Device according to one of claims 20 and 21, wherein the raised intermediate region (3) is formed by a coating or grown material.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 23, bei der die Oberfläche des Oberflächenaußenbereiches (31 ), der einem Führungsstreifen (5) auf seiner einem angrenzenden Zwischenbereich (3, 4) abgewandten Seite benachbart ist, derart von der Oberfläche des Zwischenbereiches (3, 4) unterschiedliche Benetzungseigenschaften aufweist, daß die kleine Flüssigkeitsmenge stärker mit der Oberfläche des Zwischenbereiches (3, 4) benetzt.24. Device according to one of claims 19 to 23, wherein the surface of the surface outer region (31), which is adjacent to a guide strip (5) on its side facing away from an adjacent intermediate region (3, 4), such from the surface of the intermediate region (3 , 4) has different wetting properties such that the small amount of liquid wets more strongly with the surface of the intermediate region (3, 4).
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 24, bei der die Führungsstreifen (5, 6, 50) im Vergleich zu dem zumindest einen Zwischenbereich (3, 4) hydrophil sind.25. Device according to one of claims 19 to 24, in which the guide strips (5, 6, 50) are hydrophilic in comparison to the at least one intermediate region (3, 4).
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 25, bei der die laterale Breite der Führungsstreifen (5, 6, 50) größer als die Breite des Precursor-Filmes einer zu manipulierenden Flüssigkeitsmenge (1 ) ist.26. Device according to one of claims 19 to 25, wherein the lateral width of the guide strips (5, 6, 50) is greater than the width of the precursor film of a quantity of liquid (1) to be manipulated.
27. Vorrichtung nach Anspruch 26, bei der die laterale Breite (13) der Führungsstreifen (5, 6, 50) größer als 100 nm ist.27. The apparatus of claim 26, wherein the lateral width (13) of the guide strips (5, 6, 50) is greater than 100 nm.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 27, mit einem Zwischenbereich (4), der ein in mehreren Raumrichtungen durch Führungsstreifen (5) begrenztes Feld umfaßt.28. Device according to one of claims 19 to 27, with an intermediate region (4) which comprises a field delimited in several spatial directions by guide strips (5).
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 28, mit einem Zwischenbereich (3), der auf zwei im wesentlichen gegenüberliegenden Seiten von Führungsstreifen (5, 50) umgeben ist.29. Device according to one of claims 19 to 28, with an intermediate region (3) which is surrounded on two substantially opposite sides by guide strips (5, 50).
30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 29, mit im wesentlichen parallel angeordneten Führungsstreifen (5, 6, 50).30. Device according to one of claims 19 to 29, with substantially parallel guide strips (5, 6, 50).
31. Vorrichtung nach Anspruch 30, bei der mehr als zwei Führungsstreifen (5, 6) nebeneinander parallel angeordnet sind.
31. The device according to claim 30, wherein more than two guide strips (5, 6) are arranged side by side in parallel.
32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 31 mit zumindest einem Zwischenbereich (3, 4), der zumindest teilweise physikalisch, chemisch und/oder biologisch funktionalisiert ist.32. Device according to one of claims 19 to 31 with at least one intermediate area (3, 4) which is at least partially functionalized physically, chemically and / or biologically.
33. Vorrichtung nach Anspruch 32, bei der der funktionalisierte Zwischenbereich mit biologischen Makromolekülen funktionalisiert ist.33. The apparatus of claim 32, wherein the functionalized intermediate region is functionalized with biological macromolecules.
34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 33 mit zumindest einer Oberflä- chenwellenerzeugungseinrichtung (7) mit einer Abstrahlrichtung (13) in etwa entlang zumindest eines der Zwischenbereiche (3, 4) zur Erzeugung einer Oberflächenschallwelle.34. Device according to one of claims 19 to 33 with at least one surface wave generating device (7) with a radiation direction (13) approximately along at least one of the intermediate areas (3, 4) for generating a surface acoustic wave.
35. Vorrichtung nach Anspruch 34, bei der die zumindest eine Oberflächenwel- lenerzeugungseinrichtung einen Interdigitaltransducer (7) umfaßt.35. The apparatus of claim 34, wherein the at least one surface wave generating device comprises an interdigital transducer (7).
36. Vorrichtung nach Anspruch 35, bei der der Interdigitaltransducer einen nicht konstanten Fingerabstand aufweist.36. The apparatus of claim 35, wherein the interdigital transducer has a non-constant finger spacing.
37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 36 mit einem Netzwerk aus Zwischenbereichen mit angrenzenden Führungsstreifen zum Transport und/oder zur Analyse kleiner Flüssigkeitsmengen.
37. Device according to one of claims 19 to 36 with a network of intermediate areas with adjacent guide strips for transport and / or for the analysis of small amounts of liquid.
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