EP1337326A1 - Device for controlling the temperature of microcomponents - Google Patents

Device for controlling the temperature of microcomponents

Info

Publication number
EP1337326A1
EP1337326A1 EP01989505A EP01989505A EP1337326A1 EP 1337326 A1 EP1337326 A1 EP 1337326A1 EP 01989505 A EP01989505 A EP 01989505A EP 01989505 A EP01989505 A EP 01989505A EP 1337326 A1 EP1337326 A1 EP 1337326A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
temperature control
control element
microcomponent
microcomponents
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP01989505A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Thomas Greve
Guido Pieper
Gerd Quenzer
Michael Schmelz
Hanns Wurziger
Lothar Spreng
Norbert Schwesinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Merck Patent GmbH
Original Assignee
Merck Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE10118030A external-priority patent/DE10118030A1/en
Application filed by Merck Patent GmbH filed Critical Merck Patent GmbH
Publication of EP1337326A1 publication Critical patent/EP1337326A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00851—Additional features
    • B01J2219/00871—Modular assembly
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/0095—Control aspects
    • B01J2219/00952—Sensing operations

Definitions

  • the invention relates to a device for tempering microcomponents, in particular microreactors, which are preferably plate-shaped and preferably consist of silicon.
  • microcomponents have become known, with the aid of which the experiments can be carried out in small quantities.
  • the modular structure of these microcomponents for example microreactors and other components for treating different substances, makes it easy to put together systems for the respective task.
  • Such modular chemical microsystems are described in DE 198 54 096 A1 and DE 199 17 398 A1.
  • the object of the present invention is to advantageously temperature control microcomponents, in particular microreactors, while maintaining the flexibility of the systems consisting of microcomponents. This object is achieved in that a temperature control element is provided and that there is a flat heat-conducting connection between the microcomponent and the temperature control element.
  • the temperature control element is a Peltier element.
  • This configuration has the advantage, among other things, that a relatively rapid change in the thermal power supplied or removed is possible.
  • a heat exchanger is arranged on the side of the Peltier element facing away from the microcomponents, to which a cooling or heating medium can be supplied.
  • the heat exchanger can preferably have an enlarged surface for heat exchange be formed with the ambient air.
  • a blower can be used to support the heat exchange.
  • temperature control is achieved in that the temperature control element is a heat exchanger to which a cooling or heating medium can be supplied.
  • the cooling or heating medium can be, for example, water or a heat transfer oil.
  • the heat exchanger can be hollow and can be provided with line connections for the cooling or heating medium.
  • the heat transfer surface of the temperature control element has essentially the size of the adjacent surface of the microcomponent.
  • the device according to the invention can also be developed in such a way that the heat-transferring surface of the temperature control element is smaller than the adjacent surface of the microcomponent.
  • a holder has a U-shaped receiving part for the microcomponent and for the temperature control element with two legs, the ends of which can be screwed to a pressure plate.
  • the pressure plate has a reinforced middle part which fits between the legs of the U-shaped receiving part.
  • a structurally clever arrangement of the temperature control element, in particular a Peltier element, is the result of another advantageous embodiment possible that an opening for receiving the temperature control element is arranged in the area of the U-shaped receiving part opposite the pressure plate.
  • Another advantageous embodiment enables connections to the outside in that holes are provided in the pressure plate for receiving connection elements.
  • the handling of the device according to the invention in particular the laying of electrical lines, can be facilitated by providing electrical connections for the temperature control element on the receiving part.
  • the holder consists of thermally resistant plastic.
  • microcomponents can be put together and connected to one another.
  • temperature control can be carried out in such a way that a plurality of microcomponents are held against one another and that an external microcomponent is thermally conductive to the temperature control element or that the other external microcomponent is thermally conductive to another temperature control element.
  • the temperature control from both sides of the stack can be carried out in the same direction in order to heat several of the microcomponents in the same direction, for example to cool or heat them.
  • Nenten plates are arranged with low thermal conductivity. It can be provided that the plates have openings for the passage of substances between the adjacent microcomponents, which are also provided with openings.
  • At least one sensor for detecting the temperature of at least one microcomponent is provided, which controls at least one controller of the temperature control element.
  • An advantageous arrangement of a sensor in which a good heat transfer from the microcomponent to the sensor is ensured, can be achieved in that the at least one sensor is arranged in a groove of a holder which is open in the direction of the adjacent microcomponent.
  • FIG. 1 shows the parts of a device according to the invention in an exploded view
  • FIG. 1 the embodiment of FIG. 1 in the assembled state in two different views
  • Fig. 5 shows a third embodiment
  • Fig. 6 shows part of the embodiment of FIG. 1 with a sensor.
  • 1 consists of a U-shaped receiving part 1 for receiving at least one micro component 2 and a pressure plate 3, which can be screwed to side webs 5, 6 (leg) of the receiving part 1.
  • the pressure plate 3 is reinforced in a central area 4. In the exemplary embodiment, one microcomponent is shown, but several microcomponents can also be held.
  • the receiving part 1 has two flange-like extensions 7, 8 for attachment to a suitable base.
  • Connection elements 10 can be screwed into the pressure plate 3, each of which has a sealing washer 11 at its front end and forms liquid-tight or possibly gas-tight connections with the surface of the microcomponent.
  • a cutout 12 in the receiving part 1 is shaped on two opposite edges 13, 14 in such a way that a positive connection is formed with the lateral contours of a Peltier element 15.
  • a cable connection 16 shown interrupted in Fig. 1 is used to supply electrical energy to the Peltier element 15 via a multiple connector 17.
  • the connection 16 can be passed through a bore, not shown, of the receiving part 1, so that the multiple connector 17 can be mounted directly on the receiving part 1 (Fig. 2 and Fig. 3).
  • the Peltier element 15 generates a temperature difference as a function of the applied voltage and can therefore be used for supplying and removing heat to and from the microcomponent 2. A simple and quick reversal of the heat flow is possible.
  • a body 18 is provided for heat exchange with the surroundings, the surface of which is enlarged with a series of ribs. An air flow of a blower 19 is guided between the ribs.
  • the cooling / heating power is limited in the Peltier elements available on the market, which are suitable, for example, in terms of their size, for the device according to the invention. Should higher powers, especially temperature differences If necessary, several Peltier elements can be connected in series or put together in the form of a step pyramid.
  • a heat exchanger 20 (FIG. 1a) can also be connected to the pelletizing element 15, which has a cavity for flow through with a cooling / heating medium which can be supplied and removed via connections 21, 22.
  • a heat sink 20 according to FIG. 1a is provided instead of the ribbed body 18 (FIGS. 1 to 3) for supplying and removing the heat transported by the Peltier element 15.
  • the exemplary embodiment according to FIG. 5 shows a device according to the invention, in which two microcomponents 2, 2 'are arranged in the holder 1, 3' and are separated by a plate 23. This serves to seal substances carried between the microcomponents 2, 2 'and for thermal insulation.
  • the pressure plate 3 'in the embodiment according to FIG. 5 is provided with channels not visible in the figure, so that it can be flowed through by an oil or heating medium which is supplied or discharged at 21 and 22.
  • two Peltier elements or two heat exchangers through which a cooling or heating medium flows can also be provided for tempering microcomponents or stacking microcomponents on both sides.
  • Fig. 6 shows a pressure plate 3 ', in which a groove 25 for a temperature sensor 24 is made. The sensor then closes approximately flat with the side of the pressure plate 3 1 facing the microcomponent, so that good heat-conducting contact with the microcomponent arises.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

The invention relates to a device for controlling the temperature of microcomponents, (2) especially microreactors, which are preferably embodied in a plate-like manner and preferably consist of silicon. At least one microcomponent is pressed against a temperature-controlling element (15, 20) in a holding device. A flat, heat conducting connection is provided between the microcomponent (2) and the temperature-controlling element (15, 20).

Description

Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten Device for tempering micro components
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen.The invention relates to a device for tempering microcomponents, in particular microreactors, which are preferably plate-shaped and preferably consist of silicon.
Zur Entwicklung und Herstellung neuer Substanzen sind im Bereich der Chemie häufig umfangreiche Versuchsreihen erforderlich. Dazu sind Mikrokomponenten bekanntgeworden, mit deren Hilfe die Versuche mit geringen Mengen durchgeführt werden können. Durch den modularen Aufbau dieser Mikrokomponenten, beispielsweise Mikroreaktoren und anderer Komponenten zum Behandeln verschiedener Substanzen, ist ein Zusammenstellen von Systemen für die jeweilige Aufgabe leicht möglich. Solche modularen chemischen Mikrosysteme sind in DE 198 54 096 A1 und DE 199 17 398 A1 beschrieben.Extensive series of tests are often required in the field of chemistry to develop and manufacture new substances. For this purpose, microcomponents have become known, with the aid of which the experiments can be carried out in small quantities. The modular structure of these microcomponents, for example microreactors and other components for treating different substances, makes it easy to put together systems for the respective task. Such modular chemical microsystems are described in DE 198 54 096 A1 and DE 199 17 398 A1.
Für die jeweils gewünschten Reaktionen ist oft die Einhaltung vorgegebener Temperaturen erforderlich. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es Mikrokomponenten, insbesondere Mikroreaktoren, in vorteilhafter Weise zu temperieren, wobei die Flexibilität der aus Mikrokomponenten bestehenden Systeme erhalten bleiben soll. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Temperierelement vorgesehen ist und daß zwischen der Mikrokomponente und dem Temperierelement eine flächige wärmeleitende Verbindung besteht.It is often necessary to maintain specified temperatures for the desired reactions. The object of the present invention is to advantageously temperature control microcomponents, in particular microreactors, while maintaining the flexibility of the systems consisting of microcomponents. This object is achieved in that a temperature control element is provided and that there is a flat heat-conducting connection between the microcomponent and the temperature control element.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß das Temperierelement ein Peltierelement ist. Diese Ausgestaltung hat unter anderem den Vorteil, daß eine relativ schnelle Änderung der zu- bzw. abgeführten thermischen Leistung möglich ist. Zum weiteren Wärmeaustausch mit der Umgebung kann bei dieser Ausgestaltung vorgesehen sein, daß auf der von der Mikrokom- ponenten abgewandten Seite des Peltierelementes ein Wärmetauscher angeordnet ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist. Vorzugsweise kann dabei der Wärmetauscher durch eine vergrößerte Oberfläche zum Wärmeaustausch mit der Umgebungsluft ausgebildet sein. Zur Unterstützung des Wärmeaustausches kann dabei ein Gebläse dienen.According to an advantageous embodiment of the invention, it is provided that the temperature control element is a Peltier element. This configuration has the advantage, among other things, that a relatively rapid change in the thermal power supplied or removed is possible. For further heat exchange with the environment it can be provided in this embodiment that a heat exchanger is arranged on the side of the Peltier element facing away from the microcomponents, to which a cooling or heating medium can be supplied. The heat exchanger can preferably have an enlarged surface for heat exchange be formed with the ambient air. A blower can be used to support the heat exchange.
Bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird eine Temperie- rung dadurch erzielt, daß das Temperierelement ein Wärmetauscher ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist. Dabei kann das Kühl- oder Heizmedium beispielsweise Wasser oder ein Wärmeträgeröl sein.In another advantageous embodiment of the invention, temperature control is achieved in that the temperature control element is a heat exchanger to which a cooling or heating medium can be supplied. The cooling or heating medium can be, for example, water or a heat transfer oil.
Bei beiden vorteilhaften Ausgestaltungen kann der Wärmetauscher hohl ausge- bildet sein und mit Leitungsanschlüssen für das Kühl- oder Heizmedium versehen sein.In both advantageous configurations, the heat exchanger can be hollow and can be provided with line connections for the cooling or heating medium.
Vorzugsweise ist bei der Erfindung vorgesehen, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponente aufweist. Sollte bei den Mikrokomponenten jedoch nur teilweise eine zur Wärmeübertragung geeignete Fläche vorhanden sein, so kann die erfindungsgemäße Einrichtung auch derart weitergebildet sein, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes kleiner als die angrenzende Fläche der Mikrokomponente ist.It is preferably provided in the invention that the heat transfer surface of the temperature control element has essentially the size of the adjacent surface of the microcomponent. However, if the microcomponents only partially have a surface suitable for heat transfer, the device according to the invention can also be developed in such a way that the heat-transferring surface of the temperature control element is smaller than the adjacent surface of the microcomponent.
Bei einer anderen Weiterbildung der erfindungsgemäßen Einrichtung ist vorgesehen, daß eine Halterung ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponente und für das Temperierelement aufweist mit zwei Schenkeln, deren Enden mit einer Andruckplatte verschraubbar sind.In another development of the device according to the invention it is provided that a holder has a U-shaped receiving part for the microcomponent and for the temperature control element with two legs, the ends of which can be screwed to a pressure plate.
Um mit einer Halterung verschieden dicke Mikrokomponenten oder Stapel aus Mikrokomponenten einspannen zu können, ist gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen, daß die Andruckplatte einen verstärkten Mittelteil aufweist, der zwischen die Schenkel des U-förmigen Aufnahmeteils paßt.In order to be able to clamp microcomponents or stacks of microcomponents of different thicknesses, according to a further advantageous embodiment it is provided that the pressure plate has a reinforced middle part which fits between the legs of the U-shaped receiving part.
Eine konstruktiv geschickte Anordnung des Temperierelementes, insbesondere eines Peltierelementes, ist bei einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung dadurch möglich, daß in dem der Andruckplatte gegenüberliegenden Bereich des U- förmigen Aufnahmeteils eine Öffnung zur Aufnahme des Temperierelementes angeordnet ist.A structurally clever arrangement of the temperature control element, in particular a Peltier element, is the result of another advantageous embodiment possible that an opening for receiving the temperature control element is arranged in the area of the U-shaped receiving part opposite the pressure plate.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung ermöglicht Anschlüsse nach außen dadurch, daß in der Andruckplatte Bohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen vorgesehen sind.Another advantageous embodiment enables connections to the outside in that holes are provided in the pressure plate for receiving connection elements.
Die Handhabbarkeit der erfindungsgemäßen Einrichtung, insbesondere die Ver- legung elektrischer Leitungen kann dadurch erleichtert werden, daß an dem Aufnahmeteil elektrische Anschlüsse für das Temperierelement vorgesehen sind.The handling of the device according to the invention, in particular the laying of electrical lines, can be facilitated by providing electrical connections for the temperature control element on the receiving part.
Je nach Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung stehen für die Halterung verschiedene Werkstoffe zur Verfügung. Es hat sich jedoch als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Halterung aus thermisch beständigem Kunststoff besteht.Depending on the application of the device according to the invention, different materials are available for the holder. However, it has proven to be advantageous if the holder consists of thermally resistant plastic.
Wie bereits erwähnt, können mehrere Mikrokomponenten, gegebenenfalls als Stapel, zusammengestellt und miteinander verbunden werden. Dabei kann eine Temperierung derart erfolgen, daß mehrere Mikrokomponenten aneinanderlie- gend gehalten werden und daß eine außenliegende Mikrokomponente mit dem Temperierelement in wärmeleitender Verbindung steht oder daß ferner die andere außenliegende Mikrokomponente mit einem weiteren Temperierelement in wärmeleitender Verbindung steht. Die Temperierung von beiden Seiten des Sta- pels kann gleichsinnig erfolgen, um mehrere der Mikrokomponenten gleichsinnig zu temperieren, beispielsweise zu kühlen oder zu erhitzen. Es ist jedoch auch möglich, die Temperierung an beiden Seiten des Stapels mit verschiedenen Temperaturen vorzunehmen, beispielsweise eine der außenliegenden Mikrokomponenten zu kühlen und die andere zu erwärmen.As already mentioned, several microcomponents, possibly as a stack, can be put together and connected to one another. In this case, temperature control can be carried out in such a way that a plurality of microcomponents are held against one another and that an external microcomponent is thermally conductive to the temperature control element or that the other external microcomponent is thermally conductive to another temperature control element. The temperature control from both sides of the stack can be carried out in the same direction in order to heat several of the microcomponents in the same direction, for example to cool or heat them. However, it is also possible to carry out the temperature control on both sides of the stack at different temperatures, for example to cool one of the external microcomponents and to heat the other.
Zur Verringerung eines Temperaturausgleiches zwischen den Mikrokomponenten kann dabei vorgesehen sein, daß zwischen aneinanderliegenden Mikrokompo- nenten Platten geringer Wärmeleitfähigkeit angeordnet sind. Dabei kann vorgesehen sein, daß die Platten Öffnungen zur Durchleitung von Substanzen zwischen den benachbarten Mikrokomponenten, die ebenfalls mit Öffnungen versehen sind, aufweisen.To reduce temperature compensation between the microcomponents, it can be provided that between adjacent microcomponents Nenten plates are arranged with low thermal conductivity. It can be provided that the plates have openings for the passage of substances between the adjacent microcomponents, which are also provided with openings.
Zur Einhaltung einer vorgegebenen Temperatur kann bei der erfindungsgemäßen Einrichtung ferner vorgesehen sein, daß mindestens ein Sensor zur Erfassung der Temperatur mindestens einer Mikrokomponente vorgesehen ist, der mindestens einen Regler des Temperierelementes steuert.To maintain a predetermined temperature, it can further be provided in the device according to the invention that at least one sensor for detecting the temperature of at least one microcomponent is provided, which controls at least one controller of the temperature control element.
Eine vorteilhafte Anordnung eines Sensors, bei welcher ein guter Wärmeübergang von der Mikrokomponente zum Sensor gewährleistet ist, kann dadurch erfolgen, daß der mindestens eine Sensor in einer in Richtung auf die angrenzende Mikrokomponente offenen Nut einer Halterung angeordnet ist.An advantageous arrangement of a sensor, in which a good heat transfer from the microcomponent to the sensor is ensured, can be achieved in that the at least one sensor is arranged in a groove of a holder which is open in the direction of the adjacent microcomponent.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung anhand mehrerer Figuren dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawing using several figures and are explained in more detail in the following description. It shows:
Fig. 1 die Teile einer erfindungsgemäßen Einrichtung in Explosionsdarstellung,1 shows the parts of a device according to the invention in an exploded view,
Fig. 1a ein weiteres Teil,1a another part,
Fig. 2 und Fig. 3 das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 im zusammengebauten Zustand in zwei verschiedenen Ansichten,2 and FIG. 3, the embodiment of FIG. 1 in the assembled state in two different views,
Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel,4 shows a second embodiment,
Fig. 5 ein drittes Ausführungsbeispiel undFig. 5 shows a third embodiment and
Fig. 6 ein Teil des Ausführungsbeispiels nach Fig. 1 mit einem Sensor. Die Einrichtung nach Fig. 1 besteht aus einem U-förmigen Aufnahmeteil 1 zur Aufnahme mindestens einer Mikrokomponente 2 und einer Andruckplatte 3, die mit seitlichen Stegen 5, 6 (Schenkel) des Aufnahmeteils 1 verschraubt werden kann. Die Andruckplatte 3 ist in einem mittleren Bereich 4 verstärkt. In dem Aus- führungsbeispiel ist eine Mikrokomponente dargestellt, es können jedoch auch mehrere Mikrokomponenten gehalten werden. Das Aufnahmeteil 1 weist zwei flanschartige Erweiterungen 7, 8 auf zur Befestigung auf einer geeigneten Basis. In die Andruckplatte 3 können Anschlußelemente 10 eingeschraubt werden, die an ihrem Stirnende jeweils eine Dichtscheibe 11 tragen und mit der Oberfläche der Mikrokomponente flüssigkeits- oder gegebenenfalls gasdichte Verbindungen bilden.Fig. 6 shows part of the embodiment of FIG. 1 with a sensor. 1 consists of a U-shaped receiving part 1 for receiving at least one micro component 2 and a pressure plate 3, which can be screwed to side webs 5, 6 (leg) of the receiving part 1. The pressure plate 3 is reinforced in a central area 4. In the exemplary embodiment, one microcomponent is shown, but several microcomponents can also be held. The receiving part 1 has two flange-like extensions 7, 8 for attachment to a suitable base. Connection elements 10 can be screwed into the pressure plate 3, each of which has a sealing washer 11 at its front end and forms liquid-tight or possibly gas-tight connections with the surface of the microcomponent.
Eine Aussparung 12 in dem Aufnahmeteil 1 ist an zwei gegenüberliegenden Rändern 13, 14 derart geformt, daß mit den seitlichen Konturen eines Peltierele- mentes 15 eine formschlüssige Verbindung gebildet wird. Eine in Fig. 1 unterbrochen dargestellte Kabelverbindung 16 dient zur Zuführung von elektrischer Energie zum Peltierelement 15 über einen Mehrfachstecker 17. Die Verbindung 16 kann durch eine nicht dargestellte Bohrung des Aufnahmeteils 1 geführt werden, so daß der Mehrfachstecker 17 unmittelbar am Aufnahmeteil 1 montiert werden kann (Fig. 2 und Fig. 3).A cutout 12 in the receiving part 1 is shaped on two opposite edges 13, 14 in such a way that a positive connection is formed with the lateral contours of a Peltier element 15. A cable connection 16 shown interrupted in Fig. 1 is used to supply electrical energy to the Peltier element 15 via a multiple connector 17. The connection 16 can be passed through a bore, not shown, of the receiving part 1, so that the multiple connector 17 can be mounted directly on the receiving part 1 (Fig. 2 and Fig. 3).
Das Peltierelement 15 erzeugt eine Temperaturdifferenz in Abhängigkeit von der angelegten Spannung und kann deshalb zur Zuführung und zum Entzug von Wärme zum bzw. aus der Mikrokomponente 2 verwendet werden. Dabei ist ein einfaches und schnelles Umkehren des Wärmestroms möglich. Zum Wärmeaustausch mit der Umgebung ist bei dem Beispiel nach Fig. 1 ein Körper 18 vorgesehen, dessen Oberfläche mit einer Reihe von Rippen vergrößert ist. Zwischen den Rippen wird ein Luftstrom eines Gebläses 19 geführt.The Peltier element 15 generates a temperature difference as a function of the applied voltage and can therefore be used for supplying and removing heat to and from the microcomponent 2. A simple and quick reversal of the heat flow is possible. In the example according to FIG. 1, a body 18 is provided for heat exchange with the surroundings, the surface of which is enlarged with a series of ribs. An air flow of a blower 19 is guided between the ribs.
Bei den auf dem Markt erhältlichen Peltierelementen, die beispielsweise in Bezug auf ihre Größe für die erfindungsgemäße Einrichtung geeignet sind, ist die Kühl- /Heizleistung begrenzt. Sollten höhere Leistungen, insbesondere Temperaturdif- ferenzen, erforderlich sein, lassen sich mehrere Peltierelemente in Reihe schalten oder stufenpyramidenförmig zusammenfügen.The cooling / heating power is limited in the Peltier elements available on the market, which are suitable, for example, in terms of their size, for the device according to the invention. Should higher powers, especially temperature differences If necessary, several Peltier elements can be connected in series or put together in the form of a step pyramid.
Anstelle des Körpers 18 kann auch ein Wärmetauscher 20 (Fig. 1a) mit dem Pel- tierelement 15 verbunden werden, der einen Hohlraum zum Durchströmen mit einem Kühl-/Heizmedium aufweist, das über Anschlüsse 21 , 22 zu- und abführbar ist.Instead of the body 18, a heat exchanger 20 (FIG. 1a) can also be connected to the pelletizing element 15, which has a cavity for flow through with a cooling / heating medium which can be supplied and removed via connections 21, 22.
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist anstelle des gerippten Körpers 18 (Figuren 1 bis 3) zum Zu- bzw. Abführen der vom Peltierelement 15 transportierten Wärme ein Kühlkörper 20 gemäß Fig. 1a vorgesehen.In the embodiment shown in FIG. 4, a heat sink 20 according to FIG. 1a is provided instead of the ribbed body 18 (FIGS. 1 to 3) for supplying and removing the heat transported by the Peltier element 15.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 zeigt eine erfindungsgemäße Einrichtung, bei welcher in der Halterung 1, 3' zwei Mikrokomponenten 2, 2' angeordnet sind, die von einer Platte 23 getrennt werden. Diese dient zum Abdichten von zwischen den Mikrokomponenteen 2, 2' geführten Substanzen und zur Wärmeisolierung. Die Andruckplatte 3' ist bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 mit in der Fig. nicht sichtbaren Kanälen versehen, so daß sie von einem Öl- bzw. Heizmedium durchströmt werden kann, das bei 21 und 22 zu- bzw. abgeleitet wird. Zur beidseitigen Temperierung von Mikrokomponenten bzw. Stapeln von Mikrokomponenten können in Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 5 auch zwei Peltierelemente oder zwei von einem Kühl- bzw. Heizmedium durchströmte Wärmetauscher vorgesehen sein.The exemplary embodiment according to FIG. 5 shows a device according to the invention, in which two microcomponents 2, 2 'are arranged in the holder 1, 3' and are separated by a plate 23. This serves to seal substances carried between the microcomponents 2, 2 'and for thermal insulation. The pressure plate 3 'in the embodiment according to FIG. 5 is provided with channels not visible in the figure, so that it can be flowed through by an oil or heating medium which is supplied or discharged at 21 and 22. In order to modify the exemplary embodiment according to FIG. 5, two Peltier elements or two heat exchangers through which a cooling or heating medium flows can also be provided for tempering microcomponents or stacking microcomponents on both sides.
Fig. 6 zeigt eine Andruckplatte 3', in welche eine Nut 25 für einen Temperatursensor 24 eingebracht ist. Der Sensor schließt dann etwa flächig mit der der Mikrokomponente zugewandten Seite der Andruckplatte 31 ab, so daß ein guter wärmeleitender Kontakt mit der Mikrokomponente entsteht. Fig. 6 shows a pressure plate 3 ', in which a groove 25 for a temperature sensor 24 is made. The sensor then closes approximately flat with the side of the pressure plate 3 1 facing the microcomponent, so that good heat-conducting contact with the microcomponent arises.

Claims

Patentansprüche claims
Einrichtung zum Temperieren von Mikrokomponenten (2), insbesondere Mikroreaktoren, die vorzugsweise plattenförmig ausgebildet sind und vorzugsweise aus Silizium bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Temperierelement (15, 20) vorgesehen ist und daß zwischen der Mikrokomponente (2) und dem Temperierelement (15, 20) eine flächige wärmeleitende Verbindung besteht.Device for tempering microcomponents (2), in particular microreactors, which are preferably plate-shaped and preferably consist of silicon, characterized in that a tempering element (15, 20) is provided and that between the microcomponent (2) and the tempering element (15, 20) there is a flat heat-conducting connection.
Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Temperierelement ein Peltierelement (15) ist.Device according to claim 1, characterized in that the temperature control element is a Peltier element (15).
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der von der Mikrokomponenten (2) abgewandten Seite des Peltierelementes ein Wärmetauscher (18, 20) angeordnet ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist.3. Device according to claim 2, characterized in that on the side of the Peltier element facing away from the microcomponents (2) a heat exchanger (18, 20) is arranged, to which a cooling or heating medium can be supplied.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmetau- scher (18) durch eine vergrößerte Oberfläche zum Wärmeaustausch mit der4. Device according to claim 3, characterized in that the heat exchanger (18) through an enlarged surface for heat exchange with the
Umgebungsluft ausgebildet ist.Ambient air is formed.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterstützung des Wärmeaustausches ein Gebläse (19) vorgesehen ist.5. Device according to claim 4, characterized in that a fan (19) is provided to support the heat exchange.
6. Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß das Temperierelement ein Wärmetauscher (18, 20) ist, dem ein Kühl- oder Heizmedium zuführbar ist.6. Device according to claim 1, characterized in that the temperature control element is a heat exchanger (18, 20) to which a cooling or heating medium can be supplied.
7. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmetauscher (20) hohl ausgebildet ist und mit Leitungsanschlüssen (21 , 22) für das Kühl- oder Heizmedium versehen ist. 7. Device according to claim 3, characterized in that the heat exchanger (20) is hollow and is provided with line connections (21, 22) for the cooling or heating medium.
Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes (18, 20) im wesentlichen die Größe der angrenzenden Fläche der Mikrokomponente (2) aufweist. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the heat transfer surface of the temperature control element (18, 20) has essentially the size of the adjacent surface of the microcomponent (2).
Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die wärmeübertragende Fläche des Temperierelementes kleiner als die angrenzende Fläche der Mikrokomponente ist.Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the heat transfer surface of the temperature control element is smaller than the adjacent surface of the microcomponent.
10. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (1 , 3, 3') ein U-förmiges Aufnahmeteil für die Mikrokomponente (2) und für das Temperierelement (15) aufweist mit zwei Schenkeln (5, 6), deren Enden mit einer Andruckplatte (3, 3') verschraubbar sind.10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the holder (1, 3, 3 ') has a U-shaped receiving part for the microcomponent (2) and for the temperature control element (15) with two legs (5, 6) whose ends can be screwed together with a pressure plate (3, 3 ').
11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Andruckplatte (3) einen verstärkten Mittelteil (4) aufweist, der zwischen die Schenkel (5, 6) des U-förmigen Aufnahmeteils (1) paßt.11. The device according to claim 10, characterized in that the pressure plate (3) has a reinforced central part (4) which fits between the legs (5, 6) of the U-shaped receiving part (1).
12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11 , dadurch gekennzeichnet, daß in dem der Andruckplatte (3) gegenüberliegenden Bereich des U- förmigen Aufnahmeteils (1) eine Öffnung (12) zur Aufnahme des Temperierelementes (15) angeordnet ist.12. Device according to one of claims 10 or 11, characterized in that an opening (12) for receiving the temperature control element (15) is arranged in the region of the U-shaped receiving part (1) opposite the pressure plate (3).
13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß in der Andruckplatte Bohrungen zur Aufnahme von Anschlußelementen (10) vorgesehen sind.13. Device according to one of claims 10 to 12, characterized in that holes for receiving connection elements (10) are provided in the pressure plate.
14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Aufnahmeteil elektrische Anschlüsse (17) für das Temperierelement (15) vorgesehen sind. 14. Device according to one of claims 10 to 13, characterized in that electrical connections (17) for the temperature control element (15) are provided on the receiving part.
15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (1 , 3, 3') aus thermisch beständigem Kunststoff besteht.15. Device according to one of claims 10 to 14, characterized in that the holder (1, 3, 3 ') consists of thermally resistant plastic.
16. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Mikrokomponenten (2, 2') aneinanderliegend gehalten werden und daß eine außenliegende Mikrokomponente (2) mit dem Temperierelement (15) in wärmeleitender Verbindung steht.16. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a plurality of microcomponents (2, 2 ') are held against one another and in that an external microcomponent (2) is in heat-conducting connection with the temperature control element (15).
17. Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ferner die andere außenliegende Mikrokomponente (2') mit einem weiteren Temperierelement (3') in wärmeleitender Verbindung steht.17. The device according to claim 16, characterized in that further the other external microcomponent (2 ') with a further temperature control element (3') is in thermally conductive connection.
18. Einrichtung nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeich- net, daß zwischen aneinanderliegenden Mikrokomponenten Platten (23) geringer Wärmeleitfähigkeit angeordnet sind.18. Device according to one of claims 16 or 17, characterized in that plates (23) of low thermal conductivity are arranged between adjacent microcomponents.
19. Einrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten Öffnungen zur Durchleitung von Substanzen zwischen den benachbarten Mikrokomponenten, die ebenfalls mit Öffnungen versehen sind, aufweisen.19. The device according to claim 18, characterized in that the plates have openings for the passage of substances between the adjacent microcomponents, which are also provided with openings.
20. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Sensor zur Erfassung der Temperatur mindestens einer Mikrokomponente vorgesehen ist, der mindestens einen Regler des Temperierelementes steuert.20. Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one sensor for detecting the temperature of at least one microcomponent is provided, which controls at least one controller of the temperature control element.
21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Sensor (24) in einer in Richtung auf die angrenzende Mikrokomponente offenen Nut (25) einer Halterung (3') angeordnet ist. 21. The device according to claim 20, characterized in that the at least one sensor (24) is arranged in an open in the direction of the adjacent microcomponent groove (25) of a holder (3 ').
EP01989505A 2000-11-29 2001-11-23 Device for controlling the temperature of microcomponents Withdrawn EP1337326A1 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10059295 2000-11-29
DE10059295 2000-11-29
DE10118030A DE10118030A1 (en) 2000-11-29 2001-04-11 Device for tempering micro components
DE10118030 2001-04-11
PCT/EP2001/013649 WO2002043853A1 (en) 2000-11-29 2001-11-23 Device for controlling the temperature of microcomponents

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1337326A1 true EP1337326A1 (en) 2003-08-27

Family

ID=26007835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01989505A Withdrawn EP1337326A1 (en) 2000-11-29 2001-11-23 Device for controlling the temperature of microcomponents

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7431891B2 (en)
EP (1) EP1337326A1 (en)
JP (1) JP4316877B2 (en)
AU (1) AU2002227942A1 (en)
TW (1) TW574065B (en)
WO (1) WO2002043853A1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004059210A1 (en) * 2004-12-09 2006-06-14 Merck Patent Gmbh Production of oxidic nanoparticles
IT1403791B1 (en) * 2010-12-30 2013-10-31 St Microelectronics Srl METHOD FOR CALIBRATING A TEMPERATURE SENSOR OF A CHEMICAL MICROREACTOR AND ANALYZER FOR BIOCHEMICAL ANALYSIS
DE102013101176B4 (en) * 2013-02-06 2018-04-05 Cybio Ag Cooling box with a rack equipped with tube-shaped vessels for automatic filling with a pipetting machine
KR102017275B1 (en) 2015-06-10 2019-09-02 젠썸 인코포레이티드 Automotive battery thermoelectric module with integrated cold plate assembly and its assembly method
JP6556874B2 (en) * 2015-06-10 2019-08-07 ジェンサーム インコーポレイテッドＧｅｎｔｈｅｒｍ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ Thermoelectric module with thermal isolation features for vehicle batteries
CN107735638A (en) * 2015-06-10 2018-02-23 金瑟姆股份有限公司 Vehicle battery electrothermal module with improved heat transfer and heat insulation characteristics
US11152557B2 (en) 2019-02-20 2021-10-19 Gentherm Incorporated Thermoelectric module with integrated printed circuit board
DE102023105303A1 (en) 2023-03-03 2024-09-05 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Thermochemical reactor device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4402185A (en) * 1982-01-07 1983-09-06 Ncr Corporation Thermoelectric (peltier effect) hot/cold socket for packaged I.C. microprobing
EP0342155A3 (en) * 1988-05-13 1990-06-27 Agrogen-Stiftung Laboratory device for optional heating and cooling
GB8814962D0 (en) * 1988-06-23 1988-07-27 Lep Scient Ltd Biochemical reaction machine
US4865986A (en) * 1988-10-06 1989-09-12 Coy Corporation Temperature control apparatus
US5641400A (en) * 1994-10-19 1997-06-24 Hewlett-Packard Company Use of temperature control devices in miniaturized planar column devices and miniaturized total analysis systems
US6057149A (en) * 1995-09-15 2000-05-02 The University Of Michigan Microscale devices and reactions in microscale devices
WO1998050147A1 (en) 1997-05-09 1998-11-12 The Regents Of The University Of California Peltier-assisted microfabricated reaction chambers for thermal cycling
DE19812067A1 (en) * 1998-03-19 1999-10-14 Manfred J Hampe Micro plant for chemical process simulation
WO2000048724A1 (en) 1999-02-18 2000-08-24 Toyo Kohan Co., Ltd. Micro-chip for chemical reaction
US6657169B2 (en) 1999-07-30 2003-12-02 Stratagene Apparatus for thermally cycling samples of biological material with substantial temperature uniformity
DE10031558A1 (en) * 2000-06-28 2002-01-10 Clariant Gmbh Process for conditioning organic pigments
US6734401B2 (en) 2000-06-28 2004-05-11 3M Innovative Properties Company Enhanced sample processing devices, systems and methods

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO0243853A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
TW574065B (en) 2004-02-01
JP2004525746A (en) 2004-08-26
WO2002043853A1 (en) 2002-06-06
AU2002227942A1 (en) 2002-06-11
US7431891B2 (en) 2008-10-07
US20040028562A1 (en) 2004-02-12
JP4316877B2 (en) 2009-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006000885B3 (en) Method for producing a heat exchanger tube bundle for heat exchangers of electrochemical energy storage devices
EP1742732B1 (en) Micro-fluidic system
DE69905882T2 (en) MICRO CHANNEL HEAT EXCHANGE
EP1331665B1 (en) Cooling apparatus
DE2242581C3 (en) Hollow sheet for building walls with variable thermal conductivity
EP1731340B1 (en) Electric heating device
WO2016030126A1 (en) Temperature control device
DE102005058780A1 (en) Micro heat exchanger and the use thereof as a fluid cooler for electronic components
EP3365616A1 (en) Heat exchanger, in particular a thermoelectric heat pump, for the temperature control of a battery
WO2002043853A1 (en) Device for controlling the temperature of microcomponents
DE102017222350A1 (en) HEAT EXCHANGER FOR DOUBLE-SIDED COOLING OF ELECTRONIC MODULES
DE102013222130A1 (en) Heat exchanger
EP1935684B1 (en) Electric heater or auxiliary heater, in particular for a heating or air conditioning system of a motor vehicle
DE102020125498B3 (en) Cooling segment for temperature control of a battery module of a motor vehicle battery
DE20305936U1 (en) Device for accommodating ceramic heating elements in heating device has at least one contact plate on which heating elements can be placed and held by frame in force-locking manner
DE102019203899A1 (en) Housing element for receiving at least one battery cell
EP1407907A9 (en) Heat exchange device
DE112015001249T5 (en) Insulator and connector for thermoelectric devices in a thermoelectric arrangement
DE10118030A1 (en) Device for tempering micro components
EP1285213B1 (en) Microstructured heat exchanger and method for producing the same
EP3553450A1 (en) Heat exchanger unit
DE102009041137B4 (en) Thermoelectric unit, battery unit, device for temperature control of a battery unit and method for temperature control
AT520693B1 (en) accumulator
EP1221726B1 (en) Carrier for components of microsystems
EP2469213B1 (en) Thermo-electric heat exchange

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20030408

AK Designated contracting states

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: SCHWESINGER, NORBERT

Inventor name: SPRENG, LOTHAR

Inventor name: WURZIGER, HANNS

Inventor name: SCHMELZ, MICHAEL

Inventor name: QUENZER, GERD

Inventor name: PIEPER, GUIDO

Inventor name: GREVE, THOMAS

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20100601