EP1008191A1 - Prestressed piezoelectric actuator - Google Patents
Prestressed piezoelectric actuatorInfo
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- EP1008191A1 EP1008191A1 EP98943711A EP98943711A EP1008191A1 EP 1008191 A1 EP1008191 A1 EP 1008191A1 EP 98943711 A EP98943711 A EP 98943711A EP 98943711 A EP98943711 A EP 98943711A EP 1008191 A1 EP1008191 A1 EP 1008191A1
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Abstract
The invention concerns a piezoelectric actuator inserted in an elastic socket and connected prestressed with two ends thereof by force closure and /or form closure, thereby resulting in an assembly wherein the piezoelectric actuator prestress force is permanently adjusted during manufacture.
Description
Beschreibungdescription
Vorgespannter piezoelektrischer AktorPreloaded piezoelectric actuator
Die Erfindung betrifft einen vorgespannten piezoelektrischen Aktor gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, Verfahren zum Herstellen eines vorgespannten piezoelektrischen Aktors gemäß dem Patentanspruch 8 und ein Verfahren zum Herstellen eines Hohlkörpers nach Patentanspruch 10, der zum Vorspannen eines piezoelektrischen Aktors verwendet wird.The invention relates to a pre-stressed piezoelectric actuator according to the preamble of claim 1, a method for producing a pre-stressed piezoelectric actuator according to claim 8 and a method for producing a hollow body according to claim 10, which is used for biasing a piezoelectric actuator.
Piezoelektrische Aktoren werden beispielsweise in der Kraft- fahrzeugtechnik zum Steuern eines Einspritzventiles einer Brennkraftmaschine verwendet . Die Patentanmeldung mit dem amtlichen Aktenzeichen DE 196 53 555.7 beschreibt einen piezoelektrischen Aktor, der über Federmittel gegen eine Abdeck- platte eines Gehäuses vorgespannt ist . Die Abdeckplatte ist über eine Schraubverbindung mit dem Gehäuse, in dem sich das Federmittel und der piezoelektrische Aktor befinden, ver- schraubt.Piezoelectric actuators are used, for example, in motor vehicle technology to control an injection valve of an internal combustion engine. The patent application with the official file number DE 196 53 555.7 describes a piezoelectric actuator which is biased against a cover plate of a housing via spring means. The cover plate is screwed to the housing in which the spring means and the piezoelectric actuator are located.
Aus DE 38 44 134 C2 ist ein Einspritzventil bekannt, das als Stellantrieb einen piezoelektrischer Aktor aufweist. Der Aktor ist in eine hohlzylindrische Feder eingebracht und wird von der Feder gegen das Gehäuse des Einspritzventiles vorgespannt. Der Aufbau des Einspritzventiles ist aufwendig und zudem ist die Vorspannung des Aktors von Fertigungstoleranzen des Gehäuses abhängig.
Die Aufgabe der Erfindung beruht darin, einen einfach aufgebauten, und vorgespannten piezoelektrischen Aktor bereitzustellen, der im Bauraum optimiert ist. Eine weitere Aufgabe der Erfindung beruht darin, ein einfaches Verfahren zum Her- stellen des vorgespannten piezoelektrischen Aktors und ein kostengünstiges und einfaches Verfahren zum Herstellen eines Hohlkörpers, der zum Vorspannen des piezoelektrischen Aktors verwendet wird, bereitzustellen.From DE 38 44 134 C2 an injection valve is known which has a piezoelectric actuator as an actuator. The actuator is inserted into a hollow cylindrical spring and is biased by the spring against the housing of the injection valve. The structure of the injection valve is complex and the pretensioning of the actuator is dependent on the manufacturing tolerances of the housing. The object of the invention is to provide a simply constructed and preloaded piezoelectric actuator which is optimized in the installation space. Another object of the invention is to provide a simple method for producing the pretensioned piezoelectric actuator and an inexpensive and simple method for producing a hollow body which is used for pretensioning the piezoelectric actuator.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch die Merkmale des Anspruchs 1, 8, und 10 gelöst. Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung beruht darin, daß der piezoelektrische Aktor von einem Hohlkörper umgeben ist und der Hohlkörper mit dem vorgespannten piezoelektrischen Aktor eine Baueinheit bildet . Die Vorspannung des Aktors wird bei der Herstellung der Baueinheit auf Dauer festgelegt. Der Aktor muß somit nicht bei jedem Aus- und Einbau neu vorgespannt werden. Damit ist die Baueinheit montagefreundlich, wartungsarm und kostengünstig.The object of the invention is achieved by the features of claims 1, 8 and 10. An important advantage of the invention resides in the fact that the piezoelectric actuator is surrounded by a hollow body and the hollow body forms a structural unit with the prestressed piezoelectric actuator. The preload of the actuator is permanently fixed during the manufacture of the structural unit. The actuator therefore does not have to be preloaded every time it is removed and installed. This makes the assembly easy to install, low-maintenance and inexpensive.
Vorteilhafte Ausführungen und Verbesserungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous embodiments and improvements of the invention are specified in the subclaims.
Die Erfindung wird anhand der Figuren näher erläutert; es zeigen: Figur 1: eine erste Ausführungs orm des vorgespannten piezoelektrischen Aktors, Figur 2 : eine zweite Ausführungsform des piezoelektrischenThe invention is illustrated by the figures; FIG. 1 shows a first embodiment of the prestressed piezoelectric actuator, FIG. 2 shows a second embodiment of the piezoelectric actuator
Aktors, Figur 3 : eine Hülse mit Querschlitzen Figur 4: eine Hülse mit Schrägschlitzen
Figur 5: eine Hülse mit einer Schrägausnehmung, Figur 6: eine Hülse mit mehreren Schrägausnehmungen, Figur 7: eine Hülse mit runden Ausnehmungen, Figur 8 : eine Hülse mit einer schräg verlaufenden Verbin- düngsnaht ,Actuator, Figure 3: a sleeve with transverse slots Figure 4: a sleeve with oblique slots 5: a sleeve with an oblique recess, FIG. 6: a sleeve with a plurality of oblique recesses, FIG. 7: a sleeve with round recesses, FIG. 8: a sleeve with an oblique connecting seam,
Figur 9: eine Hülse mit einer gewellten Verbindungsnaht, Figur 10: eine Hülse mit einer geraden Verbindungsnaht, Figur 11: eine Hülse mit einer Kreuzverbindungsnaht, Figur 12: eine Montagevorrichtung zum Herstellen eines vorge- spannten Aktors und9: a sleeve with a corrugated connection seam, FIG. 10: a sleeve with a straight connection seam, FIG. 11: a sleeve with a cross connection seam, FIG. 12: an assembly device for producing a prestressed actuator and
Figur 13 : eine zweite Montagevorrichtung zum Vorgespannen eines Aktors.Figure 13: a second assembly device for prestressing an actuator.
Figur 1 zeigt einen piezoelektrischen Aktor 1, der aus mehre- ren übereinander gestapelten piezoelektrischen Einzelelementen besteht. Der piezoelektrische Aktor 1 ist in eine Hohl- form 2 eingebracht . Die Hohlform 2 ist beispielsweise eine Hülse mit einem kreisringförmigen Querschnitt oder ein Recht- eckrohrprofil . Die Form der Hohlform 2 ist vorzugsweise an die Form des piezoelektrischen Aktors 1 angepaßt. Der piezoelektrische Aktor 1 liegt mit seinem unteren Ende an einer unteren Abdeckplatte 4 an, die kraft- und/oder formschlüssig mit der Hohlform 2 verbunden ist. In diesem Ausführungsbei- spiel ist die untere Abdeckplatte 4 über eine Schweißnaht 5 formschlüssig mit der Hohlform 2 -verbunden.Figure 1 shows a piezoelectric actuator 1, which consists of several stacked piezoelectric individual elements. The piezoelectric actuator 1 is inserted into a hollow mold 2. The hollow form 2 is, for example, a sleeve with an annular cross section or a rectangular tube profile. The shape of the hollow mold 2 is preferably adapted to the shape of the piezoelectric actuator 1. The lower end of the piezoelectric actuator 1 lies against a lower cover plate 4, which is connected to the hollow mold 2 in a force-fitting and / or form-fitting manner. In this exemplary embodiment, the lower cover plate 4 is positively connected to the hollow mold 2 via a weld seam 5.
Das obere Ende des piezoelektrischen Aktors 1 liegt an einer oberen Abdeckplatte 3 an, die ebenfalls form- und/oder kraftschlüssig mit der Hohlform 2 verbunden ist. In diesem Ausfüh-
rungsbeispiel ist die obere Abdeckplatte 3 über eine Schweißnaht 5 mit der Hohlform 2 formschlüssig verbunden.The upper end of the piezoelectric actuator 1 rests on an upper cover plate 3, which is also positively and / or non-positively connected to the hollow mold 2. In this version Example, the upper cover plate 3 is positively connected to the hollow mold 2 via a weld seam 5.
Die obere Abdeckplatte 3 weist Durchführungen 7 auf, durch die Kontaktstifte 6 des piezoelektrischen Aktors geführt sind. Über die Kontaktstifte 6 ist der piezoelektrische Aktor für eine Ausdehnung ansteuerbar ausgebildet. Der piezoelektrische Aktor 1 ist durch die Hohlform 2 und die untere und obere Abdeckplatte 3,4 mit einer definierten Kraft gegen eine Auslenkung vorgespannt. Dazu ist die Hohlform 2 aus einem entsprechend elastischen Material gefertigt. Bevorzugte Materialien sind Werkstoffe mit einem niedrigen Elastizitätsmodul wie z.B. Kupfer-Berillium-Legierung (CuBe2) und/oder mit einem hohen Festigkeitskennwert wie z.B. Federstahl.The upper cover plate 3 has bushings 7 through which contact pins 6 of the piezoelectric actuator are guided. The piezoelectric actuator can be controlled for expansion via the contact pins 6. The piezoelectric actuator 1 is biased by the hollow mold 2 and the lower and upper cover plate 3, 4 with a defined force against deflection. For this purpose, the hollow mold 2 is made from a correspondingly elastic material. Preferred materials are materials with a low modulus of elasticity such as copper-beryllium alloy (CuBe 2 ) and / or with a high strength value such as spring steel.
Eine weitere Verbesserung der elastischen Eigenschaften der Hohlform 2 wird dadurch erreicht, daß in die Hohlform 2 Ausnehmungen eingebracht sind. Die verschiedenen Formen der Ausnehmungen werden in den Figuren 3 bis 7 näher erläutert .A further improvement in the elastic properties of the hollow mold 2 is achieved in that recesses are made in the hollow mold 2. The different shapes of the recesses are explained in more detail in FIGS. 3 to 7.
Figur 2 zeigt einen vorgespannten piezoelektrischen Aktor 1, der entsprechend Figur 1 durch eine Hohlform 2 zwischen eine obere und eine untere Abdeckplatte 3,4 eingespannt ist. Die Verbindung zwischen der Hohlform 2 und der oberen und unteren Abdeckplatte 3,4 ist in diesem Beispiel mit Hilfe einer Bör- delung ausgeführt. Dazu weisen die obere und die untere Abdeckplatte 3,4 vorzugweise Ausnehmungen 26 auf, in die jeweils ein umgebördelter oberer und unterer Randbereich der Hohlform 2 eingreift. In einer einfachen Ausführungsform sind keine Ausnehmungen 26 vorgesehen und der obere und der untere
Randbereich sind einfach um die obere und um die untere Kante der oberen und der unteren Abdeckplatte 3 , 4 gebördelt .FIG. 2 shows a pretensioned piezoelectric actuator 1 which, according to FIG. 1, is clamped between an upper and a lower cover plate 3, 4 by a hollow mold 2. In this example, the connection between the hollow mold 2 and the upper and lower cover plates 3, 4 is carried out with the aid of a flanging. For this purpose, the upper and lower cover plates 3, 4 preferably have recesses 26, in each of which a flanged upper and lower edge area of the hollow mold 2 engages. In a simple embodiment, no recesses 26 are provided and the upper and lower Edge areas are simply crimped around the upper and lower edges of the upper and lower cover plates 3, 4.
Ein wesentlicher Vorteil der in Figur 1 und Figur 2 darge- stellten Baueinheit, die aus der oberen und unteren Abdeckplatte 3,4, der Hohlform 2 und dem piezoelektrischen Aktor 1 aufgebaut ist, besteht darin, daß die Vorspannung des piezoelektrischen Aktors durch die feste Verbindung mit der Hohl- form 2 dauerhaft festgelegt ist. Auf diese Weise muß über die gesamte Einsatzdauer des Aktors keine Nachjustierung durchgeführt werden.A major advantage of the structural unit shown in FIG. 1 and FIG. 2, which is composed of the upper and lower cover plates 3, 4, the hollow mold 2 and the piezoelectric actuator 1, is that the pre-tensioning of the piezoelectric actuator by the fixed connection with the hollow form 2 is permanently fixed. In this way, no readjustment has to be carried out over the entire period of use of the actuator.
Der piezoelektrische Aktor 1, die Hohlform 2 und die obere und die untere Abdeckplatte 3,4 bilden eine kompakte Bauein- heit, die ohne Probleme zu transportieren ist und in einem einfachen Arbeitsvorgang in ein entsprechendes Stellglied, insbesondere in ein Einspritzventil, eingebaut werden kann. Die Baueinheit 1,2,3,4 kann aus dem Stellglied ausgebaut werden, ohne daß sich die Vorspannung des piezoelektrischen Ak- tors 1 ändert. Zudem ist die Fertigung der Baueinheit relativ kostengünstig .The piezoelectric actuator 1, the hollow mold 2 and the upper and lower cover plates 3, 4 form a compact structural unit that can be transported without problems and can be installed in a corresponding actuator, in particular in an injection valve, in a simple working process. The structural unit 1, 2, 3, 4 can be removed from the actuator without the bias of the piezoelectric actuator 1 changing. In addition, the production of the structural unit is relatively inexpensive.
Figur 3 zeigt eine Hohlform 2, die eine zylinderförmige Hülse darstellt, in der senkrecht zur Längsachse Querschlitze 10 eingebracht sind. Die Querschlitze 10 sind in der Anzahl und in der Länge derart ausgebildet, daß die Elastizität der Hohlform 2 an die gewünschte Funktionsweise des vorgespannten piezoelektrischen Aktors entsprechend den Figuren 1 und 2 angepaßt ist .
Figur 4 zeigt eine Hohlform 2, die eine zylinderförmige Hülse darstellt, in die schräg zur Längsachse der Hohlform 2 Schrägschlitze 11 eingebracht sind.FIG. 3 shows a hollow mold 2, which represents a cylindrical sleeve, in which transverse slots 10 are introduced perpendicular to the longitudinal axis. The number and length of the transverse slots 10 are such that the elasticity of the hollow mold 2 is adapted to the desired mode of operation of the prestressed piezoelectric actuator in accordance with FIGS. 1 and 2. FIG. 4 shows a hollow mold 2, which represents a cylindrical sleeve, into which oblique slots 11 are made at an angle to the longitudinal axis of the hollow mold 2.
Figur 5 zeigt eine Hohlform 2, die eine zylinderförmige Hülse darstellt, in der eine Schrägausnehmung 12 eingebracht ist, die spiralförmig um die Hohlform 2 umläuft. Dabei ist mindestens ein Teil der Hohlform 2 als zylinderförmige Spirale ausgebildet .FIG. 5 shows a hollow mold 2, which represents a cylindrical sleeve, in which an oblique recess 12 is made, which rotates in a spiral around the hollow mold 2. At least part of the hollow mold 2 is designed as a cylindrical spiral.
Figur 6 zeigt eine Hohlform 2, die eine zylinderförmige Hülse darstellt, in die mehrere, parallel zueinander und spiralförmig zur Längsachse der Hohlform 2 angeordnete Schlitze 13 eingebracht sind. Durch die Schlitze 13 werden aus mindestens einem Teil der Hohlform 2 mehrere spiralförmige und zylinderförmige Federlemente gebildet .FIG. 6 shows a hollow mold 2, which represents a cylindrical sleeve, into which a plurality of slots 13, which are arranged parallel to one another and spirally to the longitudinal axis of the hollow mold 2, are made. A plurality of spiral and cylindrical spring elements are formed from the slits 13 from at least part of the hollow mold 2.
Figur 7 zeigt eine Hohlform 2, die als zylinderförmige Hülse ausgebildet ist, in die kreisförmige Ausnehmungen 14 einge- bracht sind.FIG. 7 shows a hollow mold 2, which is designed as a cylindrical sleeve, into which circular recesses 14 are made.
Die Ausnehmungen und Schlitze der Figuren 3 bis 7 sind in der Anzahl und in der Geometrie derart gewählt, daß die Elastizität der Hohlform 2 in Längsrichtung, d. h. parallel zur Aus- lenkungsrichtung des piezoelektrischen Aktors 1, an die gewünschte Funktionsweise des piezoelektrischen Aktors 1 angepaßt ist .The recesses and slots of Figures 3 to 7 are chosen in number and in geometry such that the elasticity of the hollow mold 2 in the longitudinal direction, i. H. parallel to the direction of deflection of the piezoelectric actuator 1, is adapted to the desired mode of operation of the piezoelectric actuator 1.
Die in den Figuren 3 bis 7 dargestellten Hohlformen 2 sind vorzugsweise als dünnwandige Hohlform ausgebildet, die aus
einem einfachen, dünnwandigen vorzugsweise gezogenen Rohr hergestellt werden.The hollow molds 2 shown in FIGS. 3 to 7 are preferably designed as thin-walled hollow molds which are made of a simple, thin-walled pipe, preferably drawn.
Ein vorteilhaftes Verfahren zum Herstellen des Hohlkörpers 2 besteht darin, in eine Platte mit definierter Dicke und definierten Abmessungen in einem ersten Arbeitsgang Ausnehmungen und/oder Schlitze einzubringen. Die Form der Platte bietet den Vorteil, daß die Platte für die Einbringung der Ausnehmungen gut zugänglich ist und die Ausnehmungen beispielsweise durch kostengünstiges Stanzen in vielfältiger Geometrie, Anzahl und Ordnung eingebracht werden können.An advantageous method for producing the hollow body 2 consists in making recesses and / or slots in a plate with a defined thickness and defined dimensions in a first operation. The shape of the plate offers the advantage that the plate is easily accessible for the introduction of the recesses and the recesses can be introduced in diverse geometries, numbers and orders, for example by cost-effective punching.
Vorzugsweise wird der Randbereich einer Ausnehmung geringfügig plastisch verformt, so daß eine Verfestigung der Platte durch eine eingebrachte Druck-Eigenspannung eintritt. Eine entsprechende Verfestigung wird auch beispielsweise durch Kugelstrahlen der Randbereiche der Ausnehmung erreicht.The edge region of a recess is preferably plastically deformed slightly, so that the plate is solidified by an internal pressure stress. A corresponding solidification is also achieved, for example, by shot peening the edge regions of the recess.
Dies hat besonders bei dynamischer Belastung der Hohlform 2 eine stark festigkeitssteigernde Wirkung. Dies wird beispielsweise dadurch erreicht, daß sich der Stanzstempel, mit dem die Ausnehmungen in die Platte eingebracht werden, in Stanzrichtung nach dem Stanzquerschnitt auf einen größeren Querschnitt verbreitert, so daß zuerst die gewünschte Ausneh- mung aus der Platte gestanzt wird und anschließend der Randbereich der Ausnehmung verdichtet wird. Dadurch wird in den Randbereich der Ausnehmung eine Druckeigenspannung eingebracht, die eine gute Dauerfestigkeit bewirkt. Bei diesem Vorgang wird der Rand vorzugsweise in der Dicke verbreitert . Abhängig von der Art der Bearbeitung kann ein leichtes Ver-
biegen des Randes aus der Ebene der Platte heraus auftreten. Dies is- t beispielsweise ein Zeichen für eine Verdichtung des Randes .This has a strong strength-increasing effect, particularly when the hollow mold 2 is subjected to dynamic loads. This is achieved, for example, in that the punch, with which the recesses are made in the plate, widens to a larger cross-section in the punching direction after the punch cross-section, so that first the desired recess is punched out of the plate and then the edge region of the Recess is compressed. As a result, an internal compressive stress is introduced into the edge region of the recess, which brings about good fatigue strength. In this process, the edge is preferably widened in thickness. Depending on the type of processing, easy bend the edge out of the plane of the plate occur. This is, for example, a sign of a compression of the edge.
Die Platte wird anschließend zu der gewünschten Hohlform 2 geformt und mit einer Schweißnaht in der Hohlform 2 fixiert . Die dabei entstehende Naht wird vorzugsweise mit einem Laser geschweißt. Unstetigkeiten in der Schweißnaht werden durch eine Wärmebehandlung ausgeglichen.The plate is then shaped into the desired hollow shape 2 and fixed in the hollow shape 2 with a weld. The resulting seam is preferably welded with a laser. Discontinuities in the weld seam are compensated for by heat treatment.
Alternativ kann die Fixierung der Rohrform auch durch ein Verbinden der Hohlform 2 mit der oberen und der unteren Abdeckplatte 3,4 erfolgen. In diesem Fall werden die Stoßkanten, die üblicherweise verschweißt werden, nicht miteinander verbunden. Somit sind die in den Figuren 8 bis 11 dargestellten Stoßkanten, die die Nähte 15,17,16,18 bilden, in diesem Ausführungsbeispiel nicht miteinander verbunden. Damit wird eine vorteilhafte Verteilung der Druck- und Federkräfte erreicht .Alternatively, the tubular shape can also be fixed by connecting the hollow shape 2 to the upper and lower cover plates 3, 4. In this case, the butt edges, which are usually welded, are not connected to each other. Thus, the abutting edges shown in FIGS. 8 to 11, which form the seams 15, 17, 16, 18, are not connected to one another in this exemplary embodiment. This results in an advantageous distribution of the pressure and spring forces.
Die Figuren 8 bis 11 zeigen verschiedene Formen von Nähten 15,16,17,18, die zwei Stoßkanten einer geformten Platte verbinden und somit die Hohlform 2 fixieren. Figur 8 zeigt eine schräg zur Längsachse der Hülsenform 2 angeordnete Schrägnaht 15. Figur 9 zeigt eine symmetrisch zur Längsrichtung derFIGS. 8 to 11 show different shapes of seams 15, 16, 17, 18 which connect two abutting edges of a shaped plate and thus fix the hollow shape 2. FIG. 8 shows an oblique seam 15 arranged obliquely to the longitudinal axis of the sleeve shape 2. FIG. 9 shows a symmetrical to the longitudinal direction of the
Hohlform 2 angeordnete Wellennaht 17, die in Form einer Sinuswelle parallel zur Längsrichtung der Hülsenform 2 angeordnet ist. Figur 10 zeigt eine parallel zur Längsrichtung der Hohlform 2 angeordnete Längsnaht 16. Figur 11 zeigt eine sy - metrisch zur Längsachse der Hohlform 2 angeordnete Kreuznaht
18. Die Kreuznaht 18 ist in Form einer Zickzacklinie in Längsrichtung zur Hohlform 2 angeordnet. Vorzugsweise werden die Nähte 15,16,17,18 verschweißt.Hollow shape 2 arranged shaft seam 17, which is arranged in the form of a sine wave parallel to the longitudinal direction of the sleeve shape 2. FIG. 10 shows a longitudinal seam 16 arranged parallel to the longitudinal direction of the hollow form 2. FIG. 11 shows a cross seam arranged symmetrically to the longitudinal axis of the hollow form 2 18. The cross seam 18 is arranged in the form of a zigzag line in the longitudinal direction to the hollow shape 2. The seams 15, 16, 17, 18 are preferably welded.
Die Federrate der Hohlform 2 kann in weiten Grenzen durch folgende Parameter eingestellt werden:The spring rate of the hollow form 2 can be set within wide limits using the following parameters:
Innen- bzw. Außendurchmesser der Hülsenform, Wandstärke, Werkstoff mit passendem Elastizitätsmodul, Anzahl der Ausnehmungen, Geometrie der Ausnehmungen (Bohrungen, Nuten, Spiral- nuten, usw.), Anordnung der Ausnehmungen (horizontal, vertikal, schräg und bei Spiralnuten: Steigung, Gangzahl, Nutbreite usw. ) •Inner or outer diameter of the sleeve shape, wall thickness, material with suitable modulus of elasticity, number of recesses, geometry of the recesses (bores, grooves, spiral grooves, etc.), arrangement of the recesses (horizontal, vertical, oblique and for spiral grooves: pitch, Number of gears, groove width etc.) •
Die Ausnehmungen werden beispielsweise durch Bohren, Stanzen, Fräsen, Erodieren, oder elektrochemische Verfahren eingebracht .The recesses are made, for example, by drilling, punching, milling, eroding, or electrochemical processes.
Figur 12 zeigt eine Montageanordnung, mit der ein piezoelektrischer Aktor 1 in eine hülsenfδrmige Hohlform 2 mit genau definierter Kraft eingebaut wird. Dazu wird ein Ende derFIG. 12 shows a mounting arrangement with which a piezoelectric actuator 1 is installed in a sleeve-shaped hollow mold 2 with a precisely defined force. This will end the
Hohlform 2 mit einer oberen Abdeckplatte 3 mit Durchführungen 7 form- und/oder kraftschlüssig verbunden. Die Hohlform 2 weist am anderen Ende eine radial nach Außen gerichtete Auflagekante 24 auf. Die Hohlform 2 wird mit der oberen Abdeck- platte 3 voraus in eine Montagevorrichtung 20 eingelegt. Die Montagevorrichtung 20 weist eine Montageausnehmung 21 auf, die den Querschnitt der Hohlform 2 in der Weise angepaßt ist, daß die Hohlform 2 in die Montageausnehmung 21 eingeschoben werden kann und die Auflagekante 24 im Auflagebereich 27 der Montagevorrichtung 20 aufliegt. Anschließend wird ein piezo-
elektrischer Aktor 1 mit Kontaktstiften 6 voraus in die Hohl- form 2 eingelegt. Daraufhin wird in die Hohlform 2 eine untere Abdeckplatte 4 eingelegt und mit einem Stempel 22 von einer Montageeinrichtung 23 mit einer definierten Kraft in die Hohlform 2 gedrückt, wodurch sich die Hohlform 2 elastisch verlängert .Hollow mold 2 with an upper cover plate 3 with bushings 7 positively and / or non-positively connected. The hollow mold 2 has a radially outwardly directed contact edge 24 at the other end. The hollow mold 2 is inserted into an assembly device 20 with the upper cover plate 3 ahead. The mounting device 20 has a mounting recess 21 which is adapted to the cross section of the hollow mold 2 in such a way that the hollow mold 2 can be inserted into the mounting recess 21 and the support edge 24 rests in the support region 27 of the mounting device 20. Then a piezo electrical actuator 1 with contact pins 6 inserted into the hollow mold 2. A lower cover plate 4 is then inserted into the hollow mold 2 and pressed with a stamp 22 by a mounting device 23 with a defined force into the hollow mold 2, whereby the hollow mold 2 is elastically elongated.
Die definierte Kraft entspricht der gewünschten Vorspannung des piezoelektrischen Aktors 1. Unter Beibehaltung der Kraft wird anschließend die untere Abdeckplatte 4 mit der Hohlform 2 kraft- und/oder formschlüssig verbunden, vorzugsweise verschweißt. Auf diese Weise ist die Vorspannung des piezoelektrischen Aktors 1 fixiert.The defined force corresponds to the desired pretension of the piezoelectric actuator 1. While maintaining the force, the lower cover plate 4 is then connected to the hollow mold 2 in a non-positive and / or positive manner, preferably welded. In this way, the bias of the piezoelectric actuator 1 is fixed.
Figur 13 zeigt eine zweite Variante der Montageanordnung. Im Gegensatz zu der Anordnung in Figur 12 bleibt die Hohlform 2 während der Montage unbelastet und die abgeknickte Auflage- kante 27, die in Figur 12 dargestellt ist, kann entfallen. Dazu wird ein Ende der Hohlform mit der oberen Abdeckplatte 3 mit Durchführungen 7 form- und/oder kraftschlüssig verbunden, der piezoelektrische Aktor 1 in die Hohlform 2 eingeführt und gemäß Figur 13 mit den Kontaktstiften des piezoelektrischen Aktors 1 in die dafür vorgesehenen Vertiefungen der Bodenplatte 19 eingelegt. Die untere Abdeckplatte 4 wird nun auf den Aktor 1 aufgelegt, über einen Stempel 22 der Montagevorrichtung 20 in die Hohlform hineingepresst und anschließend mit dieser form- und/oder kraftschlüssig verbunden, vorzugsweise verschweißt. Die Einpreßkraft staucht nur den piezoelektrischen Aktor 1 und die Abdeckplatten 3,4. Nach dem Ent- lasten der Montagevorrichtung 20 dehnt sich der Aktor 1 aus
und spannt dabei die Hohlform 2. Die Einpreßkraft muß unter Berücksichtigung der Steifigkeiten von Aktor 1 und Hohlform 2 so berechnet werden, daß sich nach der Entlastung des Systems eine definierte Vorspannkraft einstellt.Figure 13 shows a second variant of the mounting arrangement. In contrast to the arrangement in FIG. 12, the hollow mold 2 remains unloaded during assembly and the kinked support edge 27, which is shown in FIG. 12, can be omitted. For this purpose, one end of the hollow mold is connected to the upper cover plate 3 with feedthroughs 7 in a positive and / or non-positive manner, the piezoelectric actuator 1 is inserted into the hollow mold 2 and, according to FIG. 13, with the contact pins of the piezoelectric actuator 1 into the recesses provided in the base plate 19 inserted. The lower cover plate 4 is now placed on the actuator 1, pressed into the hollow mold via a punch 22 of the mounting device 20 and then connected to it in a positive and / or non-positive manner, preferably welded. The press-in force compresses only the piezoelectric actuator 1 and the cover plates 3, 4. After the assembly device 20 has been relieved, the actuator 1 expands and clamps the hollow mold 2. The press-in force must be calculated taking into account the stiffness of the actuator 1 and hollow mold 2 so that a defined preload is established after the system is relieved.
Die fertigungstechnisch bedingten Längentoleranzen des piezoelektrischen Aktors 1 können vorzugsweise durch ein Abschleifen der unteren Abdeckplatte 4 ausgeglichen werden. Desweiteren kann durch das Abschleifen eine evtl. vorhandene Paralle- litätsabweichung der Endflächen des Piezoaktors 1 korrigiert werden. Dazu ist die untere Abdeckplatte 4 in einem entsprechenden Winkel abzuschleifen.
The length tolerances of the piezoelectric actuator 1 caused by manufacturing technology can preferably be compensated for by grinding the lower cover plate 4. Furthermore, a possible parallelism deviation of the end faces of the piezo actuator 1 can be corrected by the grinding. For this purpose, the lower cover plate 4 is to be ground at an appropriate angle.
Claims
1. Piezoelektrischer Aktor (1), der in einen Hohlkörper (2) eingeschoben ist, wobei der Hohlkörper (2) elastisch ausge- bildet ist und den Aktor (1) vorspannt, dadurch gekennzeichnet,1. Piezoelectric actuator (1) which is inserted into a hollow body (2), the hollow body (2) being of elastic design and prestressing the actuator (1), characterized in that
- daß der Hohlkörper (2) mit dem oberen Ende und mit dem unteren Ende des Aktors (1) kraft- und/oder formschlüssig verbunden ist und mit dem piezoelektrischen Aktor (1) eine Baueinheit bildet.- That the hollow body (2) with the upper end and with the lower end of the actuator (1) is non-positively and / or positively connected and forms a structural unit with the piezoelectric actuator (1).
2. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktor (1) in Ausdehnungsrichtung zwischen einer oberen und einer unteren Abdeckplatte (3,4) eingebracht ist, die mit der Hohlform (2) kraft- und/oder formschlüssig verbunden sind.2. Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the actuator (1) is introduced in the direction of expansion between an upper and a lower cover plate (3, 4) which are connected to the hollow mold (2) in a non-positive and / or positive manner.
3. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (2) über eine Schweißverbindung oder über eine Bördelung mit der oberen und der unteren Abdeckplatte (3,4) verbunden ist.3. Piezoelectric actuator according to claim 2, characterized in that the hollow body (2) is connected via a welded connection or via a flare to the upper and lower cover plates (3, 4).
4. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (2) mindestens eine Verbindungs- naht (15,16,17,18) aufweist, die- zwei Stoßkanten des Hohlkörpers miteinander verbindet, und die sich über die gesamte Länge des Hohlkörpers (2) erstreckt.4. Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the hollow body (2) has at least one connecting seam (15, 16, 17, 18) which connects two abutting edges of the hollow body, and which extends over the entire length of the Hollow body (2) extends.
5. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekenn- zeichnet, daß der Hohlkörper (2) zwei Stoßkanten aufweist,
die einander zugeordnet sind und die in Längsrichtung des Hohlkörpers (2) angeordnet sind, wobei die Stoßkanten nicht miteinander verbunden sind.5. Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the hollow body (2) has two abutting edges, which are assigned to one another and which are arranged in the longitudinal direction of the hollow body (2), the abutting edges not being connected to one another.
6. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (2) Ausnehmungen (10,11,12,13,14) aufweist, die die Elastizität des Hohlkörpers (2) mindestens teilweise festlegen.6. Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the hollow body (2) has recesses (10, 11, 12, 13, 14) which at least partially define the elasticity of the hollow body (2).
7. Piezoelektrischer Aktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (2) aus mindestens einer Platte gefertigt ist, die zu einem Hohlkörper geformt ist und anschließend über mindestens eine Verbindungsnaht (15,16,17,18) fixiert ist.7. Piezoelectric actuator according to claim 1, characterized in that the hollow body (2) is made of at least one plate which is shaped into a hollow body and is then fixed via at least one connecting seam (15, 16, 17, 18).
8. Verfahren zum Herstellen einer Baueinheit mit einem vorgespannten piezoelektrischen Aktor (1) mit folgenden Schritten: a) der Aktor (1) wird in einen Hohlkörper (2) eingeschoben, b) der Aktor (1) wird mit dem eingeschobenen Ende mit dem Hohlkörper kraft- oder formschlüssig verbunden, c) der Aktor (1) wird mit einer definierten Kraft in den Hohlkörper (2) gedrückt, d) der Aktor (1) wird im Bereich des hinteren Endes mit dem Hohlkörper (2) kraft- oder formschlüssig verbunden.8. A method for producing a structural unit with a prestressed piezoelectric actuator (1) with the following steps: a) the actuator (1) is inserted into a hollow body (2), b) the actuator (1) is inserted with the hollow body with the inserted end non-positively or positively connected, c) the actuator (1) is pressed into the hollow body (2) with a defined force, d) the actuator (1) is connected non-positively or positively in the region of the rear end to the hollow body (2) .
9. Verfahren nach Anspruch 8 mit folgenden Schritten:9. The method according to claim 8 with the following steps:
- ein offenes Ende des Hohlkörpers (2) wird vor dem Einbringen des Aktors (1) mit einer ersten Abdeckplatte (3) kraft- oder formschlüssig verbunden und so das offene Ende ver- schlössen,
- auf den eingeschobenen Aktor (1) wird eine zweite Abdeckplatte (4) gelegt und mit einer vorgebbaren Kraft in den Hohlkörper (2) gedrückt,- An open end of the hollow body (2) is connected to a first cover plate (3) in a force-locking or positive-locking manner before the actuator (1) is introduced, thus closing the open end, - A second cover plate (4) is placed on the inserted actuator (1) and pressed into the hollow body (2) with a specifiable force,
- die zweite Abdeckplatte (4) wird unter Beibehaltung der Kraft mit dem Hohlkörper (2) kraft- oder formschlüssig verbunden, so daß der Aktor (1) dauerhaft durch die Hohlform (2) vorgespannt ist.- The second cover plate (4) is non-positively or positively connected while maintaining the force with the hollow body (2), so that the actuator (1) is permanently biased by the hollow shape (2).
10. Verfahren zum Herstellen eines Hohlkörper (2), der zum Vorspannen eines piezoelektrischen Aktors (1) verwendet wird, mit folgenden Schritten: a) es wird eine Platte definierter Fläche hergestellt, b) in die Platte werden Ausnehmungen (10,11,12,13) eingebracht, die die Elastizität der Platte beeinflussen, c) die Platte wird zu einem Hohlkörper (2) geformt und d) die geformte Platte wird in der Form fixiert.10. A method for producing a hollow body (2), which is used for prestressing a piezoelectric actuator (1), with the following steps: a) a plate of defined area is produced, b) recesses (10, 11, 12) are made in the plate , 13) introduced, which influence the elasticity of the plate, c) the plate is formed into a hollow body (2) and d) the shaped plate is fixed in the mold.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens teilweise der Rand, der die Ausnehmung begrenzt, verdichtet wird.
11. The method according to claim 10, characterized in that at least partially the edge which delimits the recess is compressed.
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP1008191A1 true EP1008191A1 (en) | 2000-06-14 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP98943711A Ceased EP1008191A1 (en) | 1997-08-05 | 1998-07-22 | Prestressed piezoelectric actuator |
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Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10025998A1 (en) * | 2000-05-25 | 2001-12-06 | Bosch Gmbh Robert | Piezo actuator |
DE10140196A1 (en) * | 2001-08-16 | 2003-03-13 | Bosch Gmbh Robert | Sleeve-shaped hollow body for a piezo actuator module and method for its production |
DE10149746C1 (en) * | 2001-10-09 | 2003-05-28 | Siemens Ag | Process for producing a tube spring and actuator unit with such a tube spring |
DE10243147B4 (en) * | 2002-09-17 | 2006-03-16 | Siemens Ag | Method for introducing a hole contour into a workpiece |
DE10310787A1 (en) * | 2003-03-12 | 2004-09-23 | Robert Bosch Gmbh | Tubular spring for actuator of fuel injection valve for IC engine fuel injection system provided by 2 cooperating half shells |
DE10319600A1 (en) * | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Robert Bosch Gmbh | Actuator unit for a piezo-controlled fuel injection valve |
DE10319601A1 (en) * | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Robert Bosch Gmbh | Actuator unit for a piezo-controlled fuel injection valve |
DE10321694A1 (en) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Robert Bosch Gmbh | Actor module for actuating fuel injection valves in car fuel injection systems, comprising piezoelectric or magnetostrictive element and contact pins for it |
DE102004011455A1 (en) * | 2003-06-04 | 2004-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Bourdon tube for actuator and method for assembling the Bourdon tube |
ES2898459T3 (en) * | 2003-07-22 | 2022-03-07 | Polatis Ltd | Optical element positioning devices |
DE10340319A1 (en) | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Robert Bosch Gmbh | Valve device, in particular fuel injection valve for an internal combustion engine |
DE10344621A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-05-04 | Bosch Gmbh Robert | Bourdon tube for actuator |
DE10347770B4 (en) | 2003-10-14 | 2006-08-31 | Siemens Ag | Receiving sleeve for a piezoelectric actuator |
DE10358200B4 (en) * | 2003-12-12 | 2010-06-24 | Eurocopter Deutschland Gmbh | Rod-shaped, heavy duty, active connecting element and rotary wing aircraft with such a connecting element |
DE60311494T2 (en) | 2003-12-22 | 2007-06-06 | Siemens Vdo Automotive S.P.A., Fauglia | Actuator unit and method for its production |
DE102004011697A1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-11-24 | Siemens Ag | Method for arranging a contact pin for a piezoelectric element and sleeve and actuator unit |
US20070176383A1 (en) * | 2005-12-12 | 2007-08-02 | Winter David C | Trailer |
US20070132208A1 (en) * | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Winter David C | Trailer |
DE102006013705A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Robert Bosch Gmbh | Tube spring, e.g. for a fuel injector actuator, has parallel rows of openings stamped in a rectangular metal sheet to be rolled into a cylinder with rows at an angle to a radial plane |
DE102006035038A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Epcos Ag | Spring element for pre-loading of piezo actuator, comprises tube shape body of recesses, where recesses is formed in form of polygon with round corner |
DE102006047606A1 (en) * | 2006-10-09 | 2008-04-10 | Robert Bosch Gmbh | Actuator module with a covered piezoelectric actuator |
DE102007037551A1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator module |
US20090134240A1 (en) * | 2007-11-27 | 2009-05-28 | Caterpillar Inc. | Method of making piezoelectrically actuated device |
US7765877B2 (en) * | 2007-11-30 | 2010-08-03 | Caterpillar Inc | System for preloading piezoelectric actuators and method |
DE102008007205A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Robert Bosch Gmbh | Piezo actuator module with more than two connection pins for piezo injectors with integrated piezo sensor |
AT504958B1 (en) * | 2008-05-29 | 2009-08-15 | Avl List Gmbh | PIEZOELECTRIC SENSOR DEVICE |
DE102008029374A1 (en) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for generating electrical energy from mechanical vibrations of various amplitudes and frequencies by means of piezo actuators |
US7950596B2 (en) * | 2008-06-27 | 2011-05-31 | Caterpillar Inc. | Distributed stiffness biasing spring for actuator system and fuel injector using same |
DE102008041755A1 (en) | 2008-09-02 | 2010-03-04 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing at least one mechanical-electrical energy converter system and mechanical-electrical energy converter system |
DE202010008979U1 (en) | 2010-11-08 | 2012-02-09 | Starrag Heckert Ag | Device for correcting the position of elements of a machine tool and compensating element therefor |
US8841823B2 (en) * | 2011-09-23 | 2014-09-23 | Ascent Ventures, Llc | Ultrasonic transducer wear cap |
KR101366973B1 (en) * | 2011-12-06 | 2014-02-25 | 삼성전기주식회사 | Piezo Vibration module |
EP3290888B1 (en) * | 2016-09-02 | 2020-07-22 | Kistler Holding AG | Pressure sensor for high operating temperatures |
TWI637756B (en) * | 2016-10-13 | 2018-10-11 | 怡安醫療器材股份有限公司 | Pressure controller for phlegm sucking device |
WO2019140371A1 (en) | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Cts Corporation | Pre-loaded piezoelectric stack actuator |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2887770A (en) * | 1955-06-06 | 1959-05-26 | Nat Malleable & Steel Castings | Method of stabilizing and processing cushioning units |
US3230774A (en) * | 1960-08-30 | 1966-01-25 | Sensonics Inc | Temperature measuring device |
US4855963A (en) * | 1972-11-08 | 1989-08-08 | Exxon Production Research Company | Shear wave logging using acoustic multipole devices |
US4174799A (en) * | 1975-08-28 | 1979-11-20 | Officine Savio S.P.A. | System for the temporary storage of yarn |
JPS55134990A (en) * | 1979-07-19 | 1980-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezoelectric element unit |
JPS5627622A (en) * | 1979-08-15 | 1981-03-18 | Toyota Motor Corp | Sensor |
DE3039973A1 (en) * | 1980-10-23 | 1982-05-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | MECHANICAL ACTUATOR |
NL8105502A (en) * | 1981-12-08 | 1983-07-01 | Philips Nv | METHOD FOR MANUFACTURING A PIEZO ELECTRICAL DEVICE AND A DEVICE MANUFACTURED BY THIS METHOD |
US4471256A (en) * | 1982-06-14 | 1984-09-11 | Nippon Soken, Inc. | Piezoelectric actuator, and valve apparatus having actuator |
DE3787677T2 (en) * | 1986-07-02 | 1994-02-03 | Nec Corp | Non-directional ultrasound transducer. |
DE3705471A1 (en) * | 1987-02-20 | 1988-09-01 | Mettler Instrumente Ag | Force-measuring device |
JPH0794812B2 (en) * | 1987-12-29 | 1995-10-11 | トヨタ自動車株式会社 | Actuator for injector |
JP2785278B2 (en) * | 1988-09-21 | 1998-08-13 | トヨタ自動車株式会社 | Piezo actuator |
US4958101A (en) * | 1988-08-29 | 1990-09-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator |
US5113108A (en) * | 1988-11-04 | 1992-05-12 | Nec Corporation | Hermetically sealed electrostrictive actuator |
US4958100A (en) * | 1989-02-22 | 1990-09-18 | Massachusetts Institute Of Technology | Actuated truss system |
US4972390A (en) * | 1989-04-03 | 1990-11-20 | General Instrument Corp. | Stack driven flexural disc transducer |
US5132942A (en) * | 1989-06-16 | 1992-07-21 | Alphonse Cassone | Low frequency electroacoustic transducer |
US5281885A (en) * | 1989-11-14 | 1994-01-25 | Hitachi Metals, Ltd. | High-temperature stacked-type displacement device |
JP2508321B2 (en) * | 1989-12-04 | 1996-06-19 | 日本電気株式会社 | Piezoelectric actuator and manufacturing method thereof |
DE4002621A1 (en) * | 1990-01-30 | 1991-08-01 | Braun Ag | HEATABLE DEVICE OF PERSONAL NEED |
US5159226A (en) * | 1990-07-16 | 1992-10-27 | Atlantic Richfield Company | Torsional force transducer and method of operation |
WO1992001955A1 (en) * | 1990-07-16 | 1992-02-06 | Atlantic Richfield Company | Torsional force transducer and method of operation |
US5097172A (en) * | 1990-07-20 | 1992-03-17 | Sundstrand Data Control, Inc. | Mounting system for transducer |
GB2257928B (en) * | 1991-06-09 | 1995-05-31 | Braun Ag | Heatable appliance for personal use |
US5482213A (en) * | 1993-05-31 | 1996-01-09 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Fuel injection valve operated by expansion and contraction of piezoelectric element |
US5557974A (en) * | 1993-08-26 | 1996-09-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Torque sensor using magnetostrictive alloy and method of manufacturing the same |
US5423319A (en) * | 1994-06-15 | 1995-06-13 | Hewlett-Packard Company | Integrated impedance matching layer to acoustic boundary problems for clinical ultrasonic transducers |
DE19653555C2 (en) | 1996-12-20 | 2002-10-31 | Siemens Ag | Piezoelectric actuator |
US6135234A (en) * | 1997-01-02 | 2000-10-24 | Gas Research Institute | Dual mode multiple-element resonant cavity piezoceramic borehole energy source |
US5907211A (en) * | 1997-02-28 | 1999-05-25 | Massachusetts Institute Of Technology | High-efficiency, large stroke electromechanical actuator |
DE69830139T2 (en) * | 1997-06-30 | 2006-03-02 | Matsushita Electric Works, Ltd., Kadoma | ULTRASONIC LOCKENWICKELGERÄT |
DE19750149C2 (en) * | 1997-11-12 | 2000-02-17 | Siemens Ag | Cylinder spring and its use |
DE19818068A1 (en) * | 1998-04-22 | 1999-10-28 | Siemens Ag | Piezo-electronic actuator for an actuator |
US6494288B1 (en) * | 1998-04-28 | 2002-12-17 | Schlumberger Technology Corporation | Acoustic logging tool |
DE19826339A1 (en) * | 1998-06-12 | 1999-12-16 | Bosch Gmbh Robert | Valve for controlling liquids |
DE19928916B4 (en) * | 1999-06-24 | 2017-12-14 | Robert Bosch Gmbh | Fuel injector |
US6193010B1 (en) * | 1999-10-06 | 2001-02-27 | Tomoseis Corporation | System for generating a seismic signal in a borehole |
US6265810B1 (en) * | 2000-01-25 | 2001-07-24 | The Boeing Company | Piezoelectric support device |
US6739423B2 (en) * | 2000-12-11 | 2004-05-25 | Schlumberger Technology Corporation | Acoustic logging tool |
DE10206115A1 (en) * | 2001-03-06 | 2002-09-19 | Ceramtec Ag | Piezoceramic multilayer actuators and a process for their production |
US6800987B2 (en) * | 2002-01-22 | 2004-10-05 | Measurement Specialties, Inc. | Protective housing for ultrasonic transducer apparatus |
-
1998
- 1998-07-22 JP JP2000506689A patent/JP2001512911A/en not_active Withdrawn
- 1998-07-22 WO PCT/DE1998/002061 patent/WO1999008330A1/en not_active Application Discontinuation
- 1998-07-22 EP EP98943711A patent/EP1008191A1/en not_active Ceased
-
2000
- 2000-02-07 US US09/499,853 patent/US6681462B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-16 US US09/639,962 patent/US6998761B1/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See references of WO9908330A1 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6681462B1 (en) | 2004-01-27 |
WO1999008330A1 (en) | 1999-02-18 |
JP2001512911A (en) | 2001-08-28 |
US6998761B1 (en) | 2006-02-14 |
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EP1021662B1 (en) | Piezoelectric actuator unit | |
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