EP0987556A3 - Vorrichtung zur Diffusionslängenmessung in Halbleiterkörpern - Google Patents
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ID=7877045
Family Applications (1)
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EP99115516A Withdrawn EP0987556A3 (de) | 1998-08-10 | 1999-08-05 | Vorrichtung zur Diffusionslängenmessung in Halbleiterkörpern |
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Families Citing this family (2)
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FR2615036A1 (fr) * | 1987-05-05 | 1988-11-10 | France Etat | Machine pour la fabrication de silicium poreux |
EP0295440A1 (de) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Messvorrichtung zur Bestimmung der Diffusionslänge der Minoritätsladungsträger zur zerstörungsfreien Detektion von Defekten und Verunreinigungen in Halbleiterkristallkörpern |
US5010294A (en) * | 1989-05-31 | 1991-04-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for topically-resolved determination of the diffusion length of minority charge carriers in a semiconductor crystal body with the assistance of an electrolytic cell |
WO1992002948A1 (de) * | 1990-08-02 | 1992-02-20 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum einseitigen ätzen einer halbleiterscheibe |
-
1999
- 1999-08-05 EP EP99115516A patent/EP0987556A3/de not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
FR2615036A1 (fr) * | 1987-05-05 | 1988-11-10 | France Etat | Machine pour la fabrication de silicium poreux |
EP0295440A1 (de) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Messvorrichtung zur Bestimmung der Diffusionslänge der Minoritätsladungsträger zur zerstörungsfreien Detektion von Defekten und Verunreinigungen in Halbleiterkristallkörpern |
US5010294A (en) * | 1989-05-31 | 1991-04-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for topically-resolved determination of the diffusion length of minority charge carriers in a semiconductor crystal body with the assistance of an electrolytic cell |
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