EP0946779A1 - Process and device for coating the internal face of metal buildings components - Google Patents

Process and device for coating the internal face of metal buildings components

Info

Publication number
EP0946779A1
EP0946779A1 EP97944871A EP97944871A EP0946779A1 EP 0946779 A1 EP0946779 A1 EP 0946779A1 EP 97944871 A EP97944871 A EP 97944871A EP 97944871 A EP97944871 A EP 97944871A EP 0946779 A1 EP0946779 A1 EP 0946779A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
coating
cavity
component
cathode
reaction chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP97944871A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Ino Jakob Rass
Erich Lugscheider
Frank Löffler
Stefan Esser
Martin Feldhege
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Euromat GmbH
Original Assignee
Euromat GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19652633A external-priority patent/DE19652633A1/en
Application filed by Euromat GmbH filed Critical Euromat GmbH
Publication of EP0946779A1 publication Critical patent/EP0946779A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/046—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering

Definitions

  • the invention relates to a method for the internal coating of metallic components - with a wear-resistant layer - by a deposition process for the coating material from the vapor phase or by sputtering.
  • the invention also relates to a device for internal coating.
  • Such deposition processes have long been known per se as (physical vapor deposit) PVD processes or (chemical vapor deposit) CVD processes. They are mainly used for the flat application of thin layers based on nitride, oxide or carbide. It is also possible to use this method to deposit metals and / or metal alloys or their compounds.
  • WO 89/03 930 describes a method in which a heat insulation layer of small thickness is introduced into a combustion chamber of an engine.
  • the coating of the treads - to improve the running properties - is not dealt with in this document.
  • a thermal barrier coating made of metal oxides is introduced into a combustion chamber, which can also be used for the tread.
  • Thermal spraying processes can be used for internal coating, but these problems arise with regard to the layer thickness, the possible coating material, the tightness of the layer, its surface roughness or the like. pose.
  • an inner coating method for cavities, inner surfaces of bushes or larger bores and in particular for cylinder recesses in engine blocks is to be created.
  • the inventor has set itself the goal of developing a suitable device or system, which should preferably be suitable for automation.
  • the process conditions required for the coating process in the cavity (s) of the component having the surface to be coated are produced by changing the air composition and / or the air pressure, for example generating a gas atmosphere or — preferably — a vacuum.
  • the component can be fixed in a vacuum system in a coating system, for example before the coating process, and then subjected to the coating.
  • the cavity of the component is sealed before the coating process by closure elements applied to the component and its interior is vented; the cavity itself becomes a vacuum chamber.
  • At least one rod cathode is lowered into the cylinder recess in a cylinder surface and the coating process is carried out at a vacuum of approximately 10 " " mbar and a substrate temperature of ⁇ 400 ° C. - preferably ⁇ 250 ° C - performed.
  • a vacuum of approximately 10 " " mbar
  • a substrate temperature of ⁇ 400 ° C. - preferably ⁇ 250 ° C - performed.
  • several layers should possibly also be built up on the surface, for example a TiAl layer with a hard material layer.
  • a total layer thickness between 0.1 ⁇ m and 30 ⁇ m, in particular 0.5 ⁇ m to 20 ⁇ m, and a roughness (R R ; R L ; R Z ) of the coating between 0.1 ⁇ m and 10 ⁇ m have proven advantageous, in particular 0.3 ⁇ m and 6 ⁇ m - - proven.
  • the initial roughness before coating should be influenced by the coating process by less than 10%.
  • a device for internally coating metallic components by means of a deposition process for the coating material from the vapor phase - which should be particularly suitable for carrying out the method discussed above - with a reaction chamber for the deposition process in the form of a vacuum chamber or a plurality of vacuum chamber parts which can be assembled and with at least one cathode (28) which can be moved relative to the component (10, 40).
  • the component containing the cavity is intended to be fixed in the vacuum chamber and the cathode is to be movable relative to the cavity and to be inserted therein. It is preferred to form the vacuum chamber of the component itself by means of closure elements tightly attached to it and to arrange the cathode movably in it.
  • closure elements sealing the cavity should be designed as closure plates which are placed with sealing surfaces on mating surfaces of the component and with the latter delimit the cavity in an airtight manner.
  • the cavity can have any shape, but a polygonal or circular cross section - defining a central axis - is preferred, in particular the cylindrical cavity mentioned.
  • the cathode is then arranged to be movable in the longitudinal axis of the cavity.
  • the method is preferably used for cylinder liner surfaces in an engine block made of an aluminum alloy, in the cylinder recesses of which a wear-resistant layer is applied without the surface quality previously produced by honing being lost - reworking is no longer necessary.
  • sealing surfaces required between the hollow component and the closure plates can be part of an elastic sealing element, in particular made of rubber or a rubber compound, or else of a - temperature-resistant - plastic material.
  • sealing surfaces in the form of polished metallic surfaces are also within the scope of the invention.
  • the closure elements are placed on the reaction chamber parts from the start of the process by means of a pressure device and the latter are thereby sealed.
  • the pressure can be done mechanically or by means of pneumatic or hydraulic pressure devices.
  • the above-discussed problems of the inner coating ' can be solved by a deposition from the vapor phase and the inner layers are applied with a good quality.
  • FIG. 3 shows a sketch of a coating system, the coating chamber of which is formed from the engine block itself and two closure plates;
  • Fig. 6 a schematic overview of several components
  • Fig. 7 part of the system in plan view.
  • a cylinder recess 12 can be seen in FIG. 1, whose tread 14 is to be coated from the vapor phase.
  • the interior 16 of the engine block 10 is closed at both ends by closure plates 18 which, in the closed position, have corresponding counter surfaces 20 a of the engine block 10 with sealing surfaces 20.
  • the closure plate 18 of FIG. 1 is equipped with a central connection 22 for a vacuum pump (not shown for reasons of clarity) and with an inlet connection 24 for reaction gas.
  • FIG. 3 illustrates an engine block 10 prepared for coating those treads 14; the interior 16 of the engine block 10, which is closed by the two closure plates 18, 18 a , becomes a vacuum chamber 26 when the vacuum pump / s connected to the connections 22 are actuated; the cylinder recesses 12 are also part of the vacuum system thanks to further connections 22 a .
  • a rod cathode 28 hangs in the vacuum chamber 26 in each of the cylinder axes M and is lowered into the respective cylinder recess 12 for the coating process in order to carry out the coating there by means of the (physical vapor deposition) PVD method.
  • the same coating process also takes place in the coating system 30 according to FIG. 4; here the engine block 10 is introduced into a vacuum chamber 26 a of the coating system 30. After this insertion, the rod cathodes 28 are lowered into the cylinder recesses 12 to be coated in the engine block 10 defined by means of clamping devices 32 and their running surfaces 14 are also coated using the PVD method.
  • a cylinder liner 40 is coated in another internal coating system 30 a according to FIG. 5.
  • the interior 42 of the sleeve 40 is taken as the coating chamber; the latter are also a lower closure plate 18 with vacuum connection 22 and gas inlet 24 and an upper closure plate 18 a assigned.
  • a rod cathode 28 axially hangs from the latter into the interior 42.
  • the cylinder liner 40 delivered via a transfer arm 44 is brought into the coating position, and the closure plates 18 and 18 a are automatically closed via pressing heads 46 and 46 a of a robot device.
  • the coating process can now be carried out.
  • FIG. 6 schematically shows a system 50 for the continuous internal coating of engine blocks 10 with two tracks S X , S 2 each containing a conveyor belt 52.
  • step A the track S x is not equipped; in track S 2 , the closure plate 18 and the counterplate 18 a designed as a recipient cover - with the vacuum connection 22 and the rod cathode 28 - are placed at a distance from one another; they take the engine block 10 between them in step B of the track S x .
  • step C the closure plate 18 is moved into the interior 16 of the engine block 10 as recipient bottom and in step D the recipient lid 18 a is put on - the coating process is initiated.
  • step E the free track S 2 is equipped with a raw engine block 10, while in track S-. the procedure is ongoing.
  • step F the recipient parts 18 , 18 a are detached from the coated engine block 10 b and brought to a new engine block 10 in track S 2 .
  • Fig. 7 offers a top view of a coated engine block 10 b in track S x and a raw engine block 10 in track S 2 ; the rearrangement of these engine blocks 10, 10b can take place in a plurality of parallel tracks.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

According to the disclosed method for coating the internal face of metal building components (10), involving the gaseous phase precipitation of a coating material, the conditions required for the coating process in the hollow space or spaces (12) of the building component where the internal face (14) is to be coated are created by changing the air composition and/or pressure. Moreover, a gaseous atmosphere or vacuum conditions are created; in that case, the building component (10) is placed in a vacuum chamber (26) prior to coating.

Description

BESCHREIBUNG DESCRIPTION
Verfahren und Vorrichtung zum Innenbeachichten metallischerMethod and device for internal metal teaching
BauteileComponents
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Innenbeschichten von metallischen Bauteilen -- mit einer verschleißbeständigen Schicht -- durch einen Abscheidungs-prozeß für den Beschichtungswerkstoff aus der Dampfphase oder durch Sputtern. Zudem erfaßt die Erfindung eine Vorrichtung zum Innenbeschichten .The invention relates to a method for the internal coating of metallic components - with a wear-resistant layer - by a deposition process for the coating material from the vapor phase or by sputtering. The invention also relates to a device for internal coating.
Derartige Abscheidungsprozesse sind als (physical vapor deposit) PVD-Verfahren oder (chemical vapor deposit) CVD- Verfahren an sich seit längerer Zeit bekannt. Sie werden hauptsächlich zum flächigen Auftragen dünner Schichten auf Nitrid-, Oxid- oder Karbid-Basis verwendet. Auch besteht die Möglichkeit mit diesen Verfahren Metalle und/oder Metallegierungen oder deren Verbindungen abzuscheiden.Such deposition processes have long been known per se as (physical vapor deposit) PVD processes or (chemical vapor deposit) CVD processes. They are mainly used for the flat application of thin layers based on nitride, oxide or carbide. It is also possible to use this method to deposit metals and / or metal alloys or their compounds.
Bei solchen Abscheidungen aus der Dampfphase werden -- im Falle des Nichtabdeckens eines metallischen Teils oder einer nicht zur Beschichtung vorgesehenen Oberfläche nicht zu beschichtende Flächen mitbeschichtet, weshalb diese -- nicht zu beschichtenden -- Flächen sauber abgedeckt werden müssen. Dadurch erhöhen sich die relativ hohen Verfahrenskosten noch weiter.In the case of such deposits from the vapor phase, if a metallic part or a surface not intended for coating is not covered, surfaces which are not to be coated are also coated, which is why these surfaces which are not to be coated must be covered cleanly. This increases the relatively high process costs even further.
Die WO 89/03 930 beschreibt ein Verfahren, bei dem eine Wärmedämmschicht geringer Dicke in einen Verbrennungsraum eines Motors eingebracht wird. Das Beschichten der Laufflächen -- zur Verbesserung der Laufeigenschaften -- wird in dieser Schrift nicht behandelt.WO 89/03 930 describes a method in which a heat insulation layer of small thickness is introduced into a combustion chamber of an engine. The coating of the treads - to improve the running properties - is not dealt with in this document.
Nach US-A-4 495 907 wird eine Wärmedämmschicht aus Metalloxiden in einem Verbrennungsraum eingebracht, die auch für die Lauffläche verwendet zu werden vermag. Zum Innenbeschichten können thermische Spritzverfahren eingesetzt werden, die aber Probleme hinsichtlich der Schichtstärke, des möglichen Beschichtungswerkstoffes, der Dichtigkeit der Schicht, ihrer Oberflächenrauhigkeit od. dgl . aufwerfen.According to US-A-4 495 907, a thermal barrier coating made of metal oxides is introduced into a combustion chamber, which can also be used for the tread. Thermal spraying processes can be used for internal coating, but these problems arise with regard to the layer thickness, the possible coating material, the tightness of the layer, its surface roughness or the like. pose.
In Kenntnis dieses Standes der Technik soll ein Innenbeschichtungsverfahren für Hohlräume, Innenflächen von Büchsen oder größeren Bohrungen und insbesondere für Zylinderausnehmungen in Motorblöcken geschaffen werden. Zudem hat sich der Erfinder die Entwicklung einer dafür geeigneten Vorrichtung oder Anlage zum Ziel gesetzt, die bevorzugt für eine Automatisierung geeignet sein soll.Knowing this state of the art, an inner coating method for cavities, inner surfaces of bushes or larger bores and in particular for cylinder recesses in engine blocks is to be created. In addition, the inventor has set itself the goal of developing a suitable device or system, which should preferably be suitable for automation.
Erfindungsgemaß werden in dem/den die zu beschichtende Fläche aufweisenden Hohlraum/ -räumen des Bauteils für das Beschichtungsverfahren erforderliche Prozeßbedingungen durch Veränderung der Luftzusammensetzung und/oder des Luftdruckes hergestellt, beispielsweise eine Gasatmosphäre erzeugt oder -- bevorzugt -- ein Vakuum.According to the invention, the process conditions required for the coating process in the cavity (s) of the component having the surface to be coated are produced by changing the air composition and / or the air pressure, for example generating a gas atmosphere or — preferably — a vacuum.
Das Bauteil kann etwa vor dem Beschichtungsvorgang in einer Vakuumkammer einer Beschichtungsanlage stationär festgelegt und dann der Beschichtung unterzogen werden.The component can be fixed in a vacuum system in a coating system, for example before the coating process, and then subjected to the coating.
Bei einem besonders vorteilhaften Verfahren wird der Hohlraum des Bauteils vor dem Beschichtungsvorgang durch an das Bauteil angelegte Verschlußelemente abgedichtet und sein Innenraum entlüftet; der Hohlraum wird so selbst zu einer Vakuumkammer.In a particularly advantageous method, the cavity of the component is sealed before the coating process by closure elements applied to the component and its interior is vented; the cavity itself becomes a vacuum chamber.
Um eine gleichmäßige Schichtdicke und Güte über die gesamte Beschichtungsflache zu erzielen, wird bei einer Zylinderfläche wenigstens eine Stabkathode in die Zylinderausnehmung abgesenkt und der Beschichtungsvorgang bei einem Vakuum von etwa 10"" mbar und einer Substrattemperatur von <400°C -- vorzugsweise <250°C -- durchgeführt . Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren sollen gegebenenfalls auch mehrere Schichten auf der Fläche aufgebaut werden, etwa eine TiAl -Schicht mit einer HartstoffSchicht .In order to achieve a uniform layer thickness and quality over the entire coating surface, at least one rod cathode is lowered into the cylinder recess in a cylinder surface and the coating process is carried out at a vacuum of approximately 10 " " mbar and a substrate temperature of <400 ° C. - preferably <250 ° C - performed. With the method according to the invention, several layers should possibly also be built up on the surface, for example a TiAl layer with a hard material layer.
Als günstig haben sich eine Gesamtschichtdicke zwischen 0,1 μm und 30 μm, insbesondere 0,5 μ bis 20 μm, sowie eine Rauhigkeit (RR;RL;RZ) der Beschichtung zwischen 0,1 μm und 10 μm -- insbesondere 0,3 μm und 6 μm - - erwiesen. Dabei soll die Ausgangsrauhigkeit vor dem Beschichten durch den Beschichtungsvorgang um weniger als 10 % beeinflußt werden.A total layer thickness between 0.1 μm and 30 μm, in particular 0.5 μm to 20 μm, and a roughness (R R ; R L ; R Z ) of the coating between 0.1 μm and 10 μm have proven advantageous, in particular 0.3 μm and 6 μm - - proven. The initial roughness before coating should be influenced by the coating process by less than 10%.
Im Rahmen der Erfindung liegt eine Vorrichtung zum Innenbeschichten metallischer Bauteile durch einen Abscheidungsprozeß für den Beschichtungswerkstoff aus der Dampfphase -- die vor allem zur Durchführung des oben erörterten Verfahrens geeignet sein soll -- mit einer Reaktionskammer für den Abscheidevorgang in Form einer Vakuumkammer oder mehreren zusammensetzbaren Vakuumkammerteilen sowie mit wenigstens einer in dieser/diesen relativ zum Bauteil (10,40) bewegbaren Kathode (28) . In einer Ausführung soll das den Hohlraum enthaltende Bauteil in der Vakuumkammer festgelegt und die Kathode gegenüber dem Hohlraum bewegbar und in diesen einfahrbar angebracht sein. Bevorzugt wird über den Holraum des Bauteils selbst durch an dieses dicht angefügte Verschlußelemente als Vakuumkammer auszubilden und in ihr die Kathode bewegbar anzuordnen.Within the scope of the invention is a device for internally coating metallic components by means of a deposition process for the coating material from the vapor phase - which should be particularly suitable for carrying out the method discussed above - with a reaction chamber for the deposition process in the form of a vacuum chamber or a plurality of vacuum chamber parts which can be assembled and with at least one cathode (28) which can be moved relative to the component (10, 40). In one embodiment, the component containing the cavity is intended to be fixed in the vacuum chamber and the cathode is to be movable relative to the cavity and to be inserted therein. It is preferred to form the vacuum chamber of the component itself by means of closure elements tightly attached to it and to arrange the cathode movably in it.
Dabei sollen die den Hohlraum abdichtende Verschlußelemente als Verschlußplatten ausgebildet sein, die mit Dichtflächen an Gegenflächen des Bauteils angelegt werden und mit letzterem den Hohlraum luftdicht begrenzen.The closure elements sealing the cavity should be designed as closure plates which are placed with sealing surfaces on mating surfaces of the component and with the latter delimit the cavity in an airtight manner.
Grundsätzlich kann der Hohlraum eine beliebige Gestalt haben, bevorzugt wird aber ein -- eine Mittelachse definierender -- polygoner oder kreisförmiger Querschnitt, insbesondere der erwähnte zylindrische Hohlraum. Die Kathode wird dann in der Hohlraumlängsachse verfahrbar angeordnet .In principle, the cavity can have any shape, but a polygonal or circular cross section - defining a central axis - is preferred, in particular the cylindrical cavity mentioned. The The cathode is then arranged to be movable in the longitudinal axis of the cavity.
Ein bevorzugter Einsatz des Verfahrens ergibt sich aufgabengemäß für Zylinderlaufbuchsenflachen in einem Motorblock aus einer Aluminiumlegierung, in dessen Zylinderausnehmungen eine verschleißfeste Schicht aufgebracht wird, ohne daß die vorher durch Honen erzeugte Oberflächengüte verloren ginge - eine Nachbearbeiten ist nicht mehr notwendig.According to the task, the method is preferably used for cylinder liner surfaces in an engine block made of an aluminum alloy, in the cylinder recesses of which a wear-resistant layer is applied without the surface quality previously produced by honing being lost - reworking is no longer necessary.
Die zwischen dem hohlen Bauteil sowie den Verschlußplatten erforderlichen Dichtflächen können Teil eines elastischen Dichtungselementes insbesondere aus Gummi bzw. einer Kautschukmasse oder aber aus einem -- temperaturbeständigen -- Plastikwerkstoff sein. Jedoch liegen auch Dichtflächen in Form polierter metallischer Oberflächen innerhalb der Erfindung.The sealing surfaces required between the hollow component and the closure plates can be part of an elastic sealing element, in particular made of rubber or a rubber compound, or else of a - temperature-resistant - plastic material. However, sealing surfaces in the form of polished metallic surfaces are also within the scope of the invention.
Die Verschlußelemente werden von Prozeßbeginn mittels einer Andruckeinrichtung auf die Reaktionskammerteile aufgesetzt und letztere damit abgedichtet. Der Andruck kann mechanisch erfolgen oder mittels pneumatischer oder hydraulischer Andruckeinrichtungen .The closure elements are placed on the reaction chamber parts from the start of the process by means of a pressure device and the latter are thereby sealed. The pressure can be done mechanically or by means of pneumatic or hydraulic pressure devices.
Dank der Erfindung können nunmehr die eingangs erörterten Probleme des Innenbeschichten ' durch ein Abscheideverfahren aus der Dampfphase gelöst und die Innenschichten mit einer guten Qualität aufgebracht werden.Thanks to the invention, then the above-discussed problems of the inner coating 'can be solved by a deposition from the vapor phase and the inner layers are applied with a good quality.
Zum Erzielen einer hohen Güte der Laufflächen auf Leicht - oder anderen Substratmetallen ist eine hohe hertz ' sehe Schwingungsbelastung zu beachten. Dieses Problem -- sowie das auftretender innerer Spannungen -- kann durch das Auftragen mehrlagiger oder gradierter Schichten gelöst werden . Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnung; diese zeigt inIn order to achieve a high quality of the running surfaces on light or other substrate metals, a high hertz 'see vibration load has to be observed. This problem - as well as the occurrence of internal stresses - can be solved by applying multilayer or graded layers. Further advantages, features and details of the invention result from the following description of preferred exemplary embodiments and from the drawing; this shows in
Fig. 1: eine Teilansicht eines Abschnittes eines Motorblocks mit einer diesem vorgesetzten, teilweise geschnittenen Verschlußplatte ;1: a partial view of a section of an engine block with a partially cut closure plate placed in front of it;
Fig. 2: eine Teildraufsicht auf den Motorblock;2: a partial top view of the engine block;
Fig. 3: eine Skizze zu einer Beschichtungsan- lage, deren Beschichtungskammer aus dem Motorblock selbst sowie zwei Verschlußplatten gebildet ist;3 shows a sketch of a coating system, the coating chamber of which is formed from the engine block itself and two closure plates;
Fig. 4: eine der Fig. 3 etwa entsprechende Skizze einer anderen Beschichtungsan- läge mit einer den Motorblock aufnehmenden Beschichtungskammer;4: a sketch of another coating system approximately corresponding to FIG. 3 with a coating chamber accommodating the engine block;
Fig. 5: eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer weiteren Beschichtungs- anläge mit einer Beschichtungskammer aus einer Büchse sowie zwei dieser stirnseitig zugeordneten Verschlußplatten .5: a partially sectioned side view of a further coating system with a coating chamber made of a sleeve and two closure plates assigned to these on the end face.
Fig. 6: eine schematische Übersicht zu mehrerenFig. 6: a schematic overview of several
Verfahrensschritten innerhalb einer Anlage;Procedural steps within a plant;
Fig. 7: ein Teil der Anlage in Draufsicht. In einem unteren Abschnitt eines aus einer Aluminiumlegierung geformten Motorblocks 10 ist in Fig. 1 eine Zylin- derausnehmung 12 zu erkennen, deren Lauffläche 14 aus der Dampfphase beschichtet werden soll. Dazu wird der Innenraum 16 des Motorblocks 10 beidends durch Verschlußplatten 18 geschlossen, die in Verschlußstellung mit Dichtflächen 20 entsprechenden Gegenflächen 20a des Motorblocks 10 anliegen .Fig. 7: part of the system in plan view. In a lower section of an engine block 10 formed from an aluminum alloy, a cylinder recess 12 can be seen in FIG. 1, whose tread 14 is to be coated from the vapor phase. For this purpose, the interior 16 of the engine block 10 is closed at both ends by closure plates 18 which, in the closed position, have corresponding counter surfaces 20 a of the engine block 10 with sealing surfaces 20.
Die Verschlußplatte 18 der Fig. 1 ist mit einem zentralen Anschluß 22 für eine aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht gezeigten Vakuumpumpe sowie mit einem Einlaßstutzen 24 für Reaktionsgas ausgestattet.The closure plate 18 of FIG. 1 is equipped with a central connection 22 for a vacuum pump (not shown for reasons of clarity) and with an inlet connection 24 for reaction gas.
Einen zur Durchführung der Beschichtung jener Laufflächen 14 vorbereiteten Motorblock 10 verdeutlicht die Skizze der Fig. 3; der durch die beiden Verschlußplatten 18, 18a verschlossene Innenraum 16 des Motorblocks 10 wird bei Betätigung der mit den Anschlüssen 22 verbundenen Vakuumpumpe/n zu einer Vakuumkammer 26; ebenfalls sind die Zylinderausnehmungen 12 dank weiterer Anschlüsse 22a Teile des Vakuumsystems .The sketch of FIG. 3 illustrates an engine block 10 prepared for coating those treads 14; the interior 16 of the engine block 10, which is closed by the two closure plates 18, 18 a , becomes a vacuum chamber 26 when the vacuum pump / s connected to the connections 22 are actuated; the cylinder recesses 12 are also part of the vacuum system thanks to further connections 22 a .
In jeder der Zylinderachsen M hängt in der Vakuumkammer 26 eine Stabkathode 28, die für den Beschichtungsvorgang in die jeweilige Zylinderausnehmung 12 abgesenkt wird, um dort mittels des (physical vapor deposition) PVD - Verfahrens die Beschichtung vorzunehmen.A rod cathode 28 hangs in the vacuum chamber 26 in each of the cylinder axes M and is lowered into the respective cylinder recess 12 for the coating process in order to carry out the coating there by means of the (physical vapor deposition) PVD method.
Der gleiche Beschichtungsvorgang läuft auch in der Be- schichtungsanlage 30 nach Fig. 4 ab; hier wird der Motorblock 10 in eine Vakuumkammer 26a der Beschichtungsanlage 30 eingeschleust. Nach diesem Einschleusen werden die Stabkathoden 28 in die zu beschichtenden Zylinderausnehmungen 12 des mittels Spanneinrichtungen 32 festgelegten Motorblocks 10 abgesenkt und deren Laufflächen 14 ebenfalls nach dem PVD-Verfahren beschichtet. In einer anderen Innenbeschichtungsanlage 30a nach Fig. 5 wird eine Zylinderlaufbüchse 40 beschichtet. Hier wird als Beschichtungskammer der Innenraum 42 der Büchse 40 genommen; letzterer sind ebenfalls eine untere Verschlußplatte 18 mit Vakuumanschluß 22 und Gaseinlaß 24 sowie eine obere Verschlußplatte 18a zugeordne . Von dieser hängt axial eine Stabkathode 28 in den Innenraum 42. Die über einen Transferarm 44 angelieferte Zylinderbüchse 40 wird in Beschichtungsposition gebracht, und die Verschlußplatten 18 bzw. 18a werden über Anpreßköpfe 46 bzw. 46a einer Robotereinrichtung automatisch geschlossen. Nun kann der Beschichtungsvorgang durchgeführt werden.The same coating process also takes place in the coating system 30 according to FIG. 4; here the engine block 10 is introduced into a vacuum chamber 26 a of the coating system 30. After this insertion, the rod cathodes 28 are lowered into the cylinder recesses 12 to be coated in the engine block 10 defined by means of clamping devices 32 and their running surfaces 14 are also coated using the PVD method. A cylinder liner 40 is coated in another internal coating system 30 a according to FIG. 5. Here, the interior 42 of the sleeve 40 is taken as the coating chamber; the latter are also a lower closure plate 18 with vacuum connection 22 and gas inlet 24 and an upper closure plate 18 a assigned. A rod cathode 28 axially hangs from the latter into the interior 42. The cylinder liner 40 delivered via a transfer arm 44 is brought into the coating position, and the closure plates 18 and 18 a are automatically closed via pressing heads 46 and 46 a of a robot device. The coating process can now be carried out.
Fig. 6 zeigt schematisch eine Anlage 50 zum konti- nuierlichen Innenbeschichten von Motorblöcken 10 mit zwei jeweils ein Förderband 52 enthaltende Spuren SX,S2. Im Schritt A ist die Spur Sx nicht bestückt, in Spur S2 sind Verschlußplatte 18 und die als Rezipientendeckel ausgestaltete Gegenplatte 18a -- mit dem Vakuumanschluß 22 und der Stabkathode 28 -- in Abstand zueinander gestellt; sie nehmen in Schritt B der Spur Sx den Motorblock 10 zwischen sich auf. Im Schritt C wird die Verschlußplatte 18 als Rezipientenboden in den Innenraum 16 des Motorblocks 10 eingefahren und in Schritt D der Rezipientendeckel 18a aufgesetzt - der Beschichtungsvorgang wird eingeleitet. In Schritt E wird die freie Spur S2 mit einem rohen Motorblock 10 bestückt, während in Spur S-. das Verfahren läuft. Schließlich werden im Schritt F die Rezipiententeile 18,18a vom beschichteten Motorblock 10b gelöst und zu einem neuen Motorblock 10 in Spur S2 gebracht.FIG. 6 schematically shows a system 50 for the continuous internal coating of engine blocks 10 with two tracks S X , S 2 each containing a conveyor belt 52. In step A, the track S x is not equipped; in track S 2 , the closure plate 18 and the counterplate 18 a designed as a recipient cover - with the vacuum connection 22 and the rod cathode 28 - are placed at a distance from one another; they take the engine block 10 between them in step B of the track S x . In step C, the closure plate 18 is moved into the interior 16 of the engine block 10 as recipient bottom and in step D the recipient lid 18 a is put on - the coating process is initiated. In step E, the free track S 2 is equipped with a raw engine block 10, while in track S-. the procedure is ongoing. Finally, in step F, the recipient parts 18 , 18 a are detached from the coated engine block 10 b and brought to a new engine block 10 in track S 2 .
Fig. 7 bietet in Draufsicht einen beschichteten Motorblock 10b in Spur Sx und einen rohen Motorblock 10 in Spur S2 an; das Umschichten dieser Motorblöcke 10,10b kann in einer Mehrzahl von parallelen Spuren erfolgen. Fig. 7 offers a top view of a coated engine block 10 b in track S x and a raw engine block 10 in track S 2 ; the rearrangement of these engine blocks 10, 10b can take place in a plurality of parallel tracks.

Claims

PATENTANSPRÜCHE PATENT CLAIMS
1. Verfahren zum Innenbeschichten metallischer Bauteile (10, 40) durch einen Abscheidungsprozeß für einen1. Method for the internal coating of metallic components (10, 40) by a deposition process for one
Beschichtungswerkstoff aus der Dampfphase, bei dem in dem/den die zu beschichtende Fläche (14) aufweisenden Hohlraum/-räumen (12, 42) des Bauteils für das Beschichtungsverfahren erforderliche Prozeßbedin- gungen durch Veränderung der Luftzusammensetzung und/oder des Luftdruckes hergestellt werden.Coating material from the vapor phase, in which in the cavity (s) (12, 42) of the component which has the surface to be coated (14), the process conditions required for the coating process are produced by changing the air composition and / or the air pressure.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Gasatmosphäre erzeugt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that a gas atmosphere is generated.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vakuum erzeugt wird.3. The method according to claim 1, characterized in that a vacuum is generated.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3 , dadurch gekennzeichnet, daß das Bauteil (10, 40) vor dem4. The method according to claim 1 or 3, characterized in that the component (10, 40) before
Beschichtungsvorgang in einer Vakuumkammer (26a) festgelegt wird, bevorzugt in einer Vakuumkammer mit einem Vakuum von etwa 10"4 mbar.Coating process in a vacuum chamber (26 a ) is set, preferably in a vacuum chamber with a vacuum of about 10 "4 mbar.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (12, 42) des Bauteils (10, 40) vor dem Beschichtungsvorgang durch an das Bauteil angelegte Verschlußelemente abgedichtet und zu einer Vakuumkammer entlüftet wird.5. The method according to claim 1 or 3, characterized in that the cavity (12, 42) of the component (10, 40) is sealed before the coating process by closure elements applied to the component and vented to a vacuum chamber.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Substrattemperatur für den Beschichtungsvorgang von unter 400°C, vorzugsweise von unter 250°C. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized by a substrate temperature for the coating process of less than 400 ° C, preferably of less than 250 ° C.
7. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (12,42) zylindrisch ausgebildet und die Kathode (28) etwa in der Zylinderachse (M) verfahren wird.7. The method according to at least one of claims 1 to 6, characterized in that the cavity (12,42) is cylindrical and the cathode (28) is moved approximately in the cylinder axis (M).
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch den Aufbau mehrerer Schichten auf der zu beschichtenden Fläche (14) .8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized by the construction of several layers on the surface to be coated (14).
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch den Aufbau zumindest zweier Einzelschichten in einem sogenannten multilayer.9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized by the construction of at least two individual layers in a so-called multilayer.
10. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch das Auftragen einer TiAl-10. The method according to at least one of claims 1 to 9, characterized by the application of a TiAl
Schicht sowie einer HartstoffSchicht .Layer as well as a hard material layer.
11. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis11. The method according to at least one of claims 1 to
10, gekennzeichnet durch das Auftragen einer Schicht mit gradiertem Hartstoffanteil .10, characterized by the application of a layer with a graded proportion of hard material.
12. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis12. The method according to at least one of claims 1 to
11, gekennzeichnet durch eine Gesamtschichtdicke zwischen 0,1 μm und 30 μm, insbesondere 0,5 μm bis 20 μm.11, characterized by a total layer thickness between 0.1 μm and 30 μm, in particular 0.5 μm to 20 μm.
13. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis13. The method according to at least one of claims 1 to
12, gekennzeichnet durch eine Rauhigkeit der Beschichtung zwischen 0,1 μm und 10 μm.12, characterized by a roughness of the coating between 0.1 μm and 10 μm.
14. Verfahren nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch die Beeinflussung der Ausgangsrauheit nach DIN vor der Beschichtung von weniger als 10 % am Ende des Beschichtungsvorganges . 14. The method according to claim 13, characterized by influencing the initial roughness according to DIN before the coating of less than 10% at the end of the coating process.
15. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zu beschichtende Fläche (14) bzw. eine den Beschichtungswerkstoff enthaltende Kathode (28) mittels eines PVD-Verfahren behandelt wird.15. The method according to at least one of claims 1 to 14, characterized in that the surface to be coated (14) or a cathode (28) containing the coating material is treated by means of a PVD process.
16. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zu beschichtende Fläche (14) bzw. eine den Beschichtungswerkstoff enthaltende Kathode (28) durch ein CVD-Verfahren behandelt wird.16. The method according to at least one of claims 1 to 14, characterized in that the surface to be coated (14) or a cathode (28) containing the coating material is treated by a CVD process.
17. Vorrichtung zum Innenbeschichten metallischer Bauteile durch einen Abscheidungsprozeß für den Beschichtungswerkstoff aus der Dampfphase, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach wenigstens einem der voraufgehenden Patentansprüche, mit einer Reak ionskammer (26,42) für den Abscheidevorgang oder mehreren zusammensetzbaren Reaktionskammerteilen sowie mit wenigstens einer in dieser/diesen relativ zum Bauteil (10,40) bewegbaren Kathode (28), wobei der Hohlraum (12,16,42) des Bauteils durch an dieses dicht angefügte Verschlußelemente (18,18a) als Reaktionskammer ausge- bildet und in ihr die Kathode bewegbar angeordnet ist .17. Apparatus for internally coating metallic components by means of a deposition process for the coating material from the vapor phase, in particular for carrying out the method according to at least one of the preceding claims, with a reaction chamber (26, 42) for the deposition process or a plurality of reaction chamber parts which can be assembled and with at least one in this / these relative to the component (10,40) movable cathode (28), wherein the cavity (12,16,42) (a 18:18) designed as reaction chamber forms of the component by of this tightly attached fastener elements, and in it the Cathode is movably arranged.
18. Vorrichtung zum Innenbeschichten metallischer Bauteile durch einen Abscheidungsprozeß für den Beschichtungswerkstoff aus der Dampfphase, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach wenigstens einem der voraufgehenden Patentansprüche, mit einer Reaktionskammer (26a) für den Abscheidevorgang oder mehreren zusammensetzbaren Reaktionskammerteilen sowie mit wenigstens einer in dieser relativ zum Bauteil (10,40) bewegbaren Kathode (28), wobei das den Hohlraum (12,16,42) enthaltende Bauteil in der Reaktionskammer festgelegt und die Kathode gegenüber dem Hohlraum bewegbar sowie in diesen einfahrbar angebracht ist.18. Apparatus for internally coating metallic components by means of a deposition process for the coating material from the vapor phase, in particular for carrying out the method according to at least one of the preceding claims, with a reaction chamber (26 a ) for the deposition process or a plurality of reaction chamber parts which can be assembled, and with at least one part thereof to the component (10, 40) movable cathode (28), the component containing the cavity (12, 16, 42) being fixed in the reaction chamber and the Cathode is movable relative to the cavity and is mounted retractable in this.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß als Verschlußelemente Verschlußplatten (18,18a) mit Dichtflächen (20) an Gegenflächen (20a) des Bauteils (10) angelegt sind, welche mit letzterem den Hohlraum (12,16,42) dicht begrenzen.19. The apparatus according to claim 17 or 18, characterized in that the closure elements (18, 18 a ) with sealing surfaces (20) on counter surfaces (20 a ) of the component (10) are created, which with the latter, the cavity (12, 16 , 42) tightly limit.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktionskammer (26,26a,42) bzw. die zusammensetzbaren Reaktionskammerteile mit den Verschlußelementen (I8,18a) eine Vakuumkammer bildet/bilden.20. Device according to one of claims 17 to 19, characterized in that the reaction chamber (26,26 a , 42) or the assemblable reaction chamber parts with the closure elements (I8,18 a ) forms / form a vacuum chamber.
21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Verschlußplatten (18,18a) mit einem Vakuumanschluß (22) ausgestattet ist.21. The apparatus according to claim 19 or 20, characterized in that at least one of the closure plates (18, 18 a ) is equipped with a vacuum connection (22).
22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der als Vakuumkammer dienende Hohlraum (12,16,42) querschnittlich polygon ausgebildet ist.22. The apparatus according to claim 20 or 21, characterized in that the cavity serving as a vacuum chamber (12,16,42) is cross-sectionally polygonal.
23. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der als Vakuumkammer dienende Hohlraum (12,16,42) querschnittlich kreisförmig, insbesondere als Zylinder ausgestaltet, ist.23. The apparatus of claim 20 or 21, characterized in that the cavity (12, 16, 42) serving as a vacuum chamber is circular in cross section, in particular designed as a cylinder.
24. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 17 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (28) in der Hohlraumlängsachse (M) verfahrbar angeordnet ist. 24. The device according to at least one of claims 17 to 23, characterized in that the cathode (28) is arranged to be movable in the longitudinal axis of the cavity (M).
25. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 19 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß das hohle Bauteil25. The device according to at least one of claims 19 to 24, characterized in that the hollow component
(10,40) mit den Verschlußplatten (18,18a) einen Rezipienten bildet und die eine Verschlußplatte als Rezipientenboden in den Hohlraum (12,16,42) einfahrbar angeordnet ist.(10, 40) forms a recipient with the closure plates (18, 18a) and the one closure plate is arranged so that it can be moved into the cavity (12, 16, 42) as recipient bottom.
26. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 19 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verschlußplatte (18a) als Rezipientendeckel mit in ihm vorgesehener Stabkathode (28) ausgebildet ist.26. The device according to at least one of claims 19 to 25, characterized in that a closure plate (18a) is designed as a recipient lid with the rod cathode (28) provided in it.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtfläche (20,20a) Teil eines elastischen Dichtungsteils insbesondere aus Gummi oder aus einer Kautschukmasse hergestellt ist .27. The device according to one of claims 19 to 26, characterized in that the sealing surface (20 , 20 a ) part of an elastic sealing part is made in particular of rubber or a rubber compound.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtfläche (20,20a)28. Device according to one of claims 19 to 26, characterized in that the sealing surface (20 , 20 a )
Teil eines Dichtungsteils aus einem Plastikwerkstoff hergestellt ist, insbesondere aus einem temperaturbeständigen Kunststoff.Part of a sealing part is made of a plastic material, in particular a temperature-resistant plastic.
29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtfläche (20,20a) eine polierte metallische Oberfläche ist.29. Device according to one of claims 19 to 26, characterized in that the sealing surface (20 , 20 a ) is a polished metallic surface.
30. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 17 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Andruckeinrichtung (46,46a) zum Aufsetzen der Verschlußelemente (18,18a) sowie zum Abdichten der Reaktionskammerteile aufweist.30. The device according to at least one of claims 17 to 29, characterized in that it has a pressure device (46,46 a ) for placing the closure elements (18,18 a ) and for sealing the reaction chamber parts.
31. Vorrichtung nach Anspruch 30, gekennzeichnet durch eine mechanische Andruckeinrichtung (46,46a) . 31. The device according to claim 30, characterized by a mechanical pressure device (46,46 a ).
32. Vorrichtung nach Anspruch 30, gekennzeichnet durch eine pneumatische oder hydraulische Andruckeinrichtung (46,46a) . 32. Device according to claim 30, characterized by a pneumatic or hydraulic pressure device (46 , 46 a ).
EP97944871A 1996-09-13 1997-09-11 Process and device for coating the internal face of metal buildings components Withdrawn EP0946779A1 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19637271 1996-09-13
DE19637271 1996-09-13
DE19652633A DE19652633A1 (en) 1996-09-13 1996-12-18 Method and device for internally coating metallic components
DE19652633 1996-12-18
PCT/EP1997/004968 WO1998011270A1 (en) 1996-09-13 1997-09-11 Process and device for coating the internal face of metal buildings components

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP0946779A1 true EP0946779A1 (en) 1999-10-06

Family

ID=26029329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP97944871A Withdrawn EP0946779A1 (en) 1996-09-13 1997-09-11 Process and device for coating the internal face of metal buildings components

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0946779A1 (en)
MX (1) MXPA99002496A (en)
WO (1) WO1998011270A1 (en)

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3560248A (en) * 1966-10-31 1971-02-02 Doran W Padgett Method for controlled deposition of elements on structures of complex shapes
US4354456A (en) * 1981-03-24 1982-10-19 Raychem Corporation Apparatus for use in making a selectively vapor deposition coated tubular article
CH659346A5 (en) * 1983-05-10 1987-01-15 Balzers Hochvakuum DEVICE FOR TREATING THE INTERNAL WALL OF A TUBE.
JPS6113064A (en) * 1984-06-28 1986-01-21 Teikoku Piston Ring Co Ltd Piston ring for internal-combustion engine
JPS6179774A (en) * 1984-09-28 1986-04-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Method for coating inside surface of vessel
DE3516078A1 (en) * 1985-05-04 1986-11-06 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg METHOD FOR THE GLIMMENT-CHARGE-ACTIVATED REACTIVE DEPOSITION OF ELECTRICALLY CONDUCTIVE MATERIAL FROM A GAS PHASE
JPS62167882A (en) * 1986-01-20 1987-07-24 Nippon Kokan Kk <Nkk> Coating method with movable electrode
US4859489A (en) * 1988-07-18 1989-08-22 Vapor Technologies Inc. Method of coating a metal gas-pressure bottle or tank
JPH05148618A (en) * 1991-11-25 1993-06-15 Nissin Electric Co Ltd Excavating tool
US5301211A (en) * 1992-08-03 1994-04-05 Combustion Engineering, Inc. Fuel assembly sputtering process

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO9811270A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
MXPA99002496A (en) 2003-07-21
WO1998011270A1 (en) 1998-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69504944T2 (en) Process for the production of engine blocks with coated cylinder bores
DE3506012C2 (en)
DE102004038183A1 (en) Method for machining cylinder crankshaft housings with injection-molded cylinder liners
DE3914986A1 (en) COATING PROCESS FOR PROTECTING CERAMIC OBJECTS AGAINST MECHANICAL AND THERMAL INTERFERENCES AND PROTECTIVE-COVERED CERAMIC OBJECT
DE69718820T2 (en) MICROPUMP WITH BUILT-IN INTERMEDIATE
DE102009011913A1 (en) Thermal insulation layer system for use in gas turbine, comprises metallic adhesion-promoting layer, and ceramic thermal insulation layer applied on adhesion-promoting layer
DE102012211746B4 (en) LOW-FRICTION COATING LAYER FOR A VEHICLE PART AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
DE102004038182A1 (en) Method for machining thermally sprayed cylinder liners
EP0320706B1 (en) Process for producing layers resistant against corrosion, wear and compaction
WO1998011270A1 (en) Process and device for coating the internal face of metal buildings components
EP1524329A1 (en) Modular device for surface coating
DE4139421C2 (en) Process for covering a substrate surface with a sintered layer and powdered starting material therefor
DE102004038180A1 (en) Process for producing a thermally coated cylinder surface with a final chamfer
DE19652634C2 (en) Process for the internal coating of a metallic component, in particular a component with a cylindrical cavity, a device for carrying it out and the use of the method
EP0911423B1 (en) Method for joining workpieces
DE10349446B4 (en) Method for coating a surface of a cylinder and cylinder with this coating
EP2618029B1 (en) Coated cogwheel
DE102004038175A1 (en) Process for the preparation of thermally sprayed cylinder surfaces
DE102004038173A1 (en) Method for thermal spraying of cylinder running surfaces in multi-row engines
DE102004006857B4 (en) Gradient layer and process for its preparation
DE102016116815A1 (en) Process for coating a cylinder of an internal combustion engine and cylinder for an internal combustion engine
DE102004038176A1 (en) Method for fluid radiation of laterally thermally coated cylinder surfaces
DE19847608A1 (en) Production of a sliding surface of cylinder faces of a lifting piston machine comprises sealing the coating on the surface of the base material by rolling
DE3810851C2 (en) Process for the production of molded parts
WO2021175879A1 (en) Cleaning method for ceramic fiber composite materials

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19990409

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE ES GB

17Q First examination report despatched

Effective date: 19991217

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20031008