EP0849577B1 - Membran für einen Druckmittler - Google Patents

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EP0849577B1
EP0849577B1 EP96120380A EP96120380A EP0849577B1 EP 0849577 B1 EP0849577 B1 EP 0849577B1 EP 96120380 A EP96120380 A EP 96120380A EP 96120380 A EP96120380 A EP 96120380A EP 0849577 B1 EP0849577 B1 EP 0849577B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
membrane
annular
membrane according
central surface
central
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP96120380A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0849577A1 (de
Inventor
Heinz Heller
Kurt Dr. Dipl.-Phys. Neubeck
Robert Schwägerl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WIKA Alexander Wiegand SE and Co KG
Original Assignee
WIKA Alexander Wiegand SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WIKA Alexander Wiegand SE and Co KG filed Critical WIKA Alexander Wiegand SE and Co KG
Priority to EP96120380A priority Critical patent/EP0849577B1/de
Priority to DE59605469T priority patent/DE59605469D1/de
Priority to CA002224141A priority patent/CA2224141C/en
Priority to US08/991,586 priority patent/US6209397B1/en
Priority to BRPI9706139-5A priority patent/BR9706139B1/pt
Priority to JP36373197A priority patent/JP3272654B2/ja
Publication of EP0849577A1 publication Critical patent/EP0849577A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0849577B1 publication Critical patent/EP0849577B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes

Definitions

  • the invention relates to a membrane for a membrane diaphragm seal according to the preamble of claim 1 and a diaphragm seal according to the preamble of claim 12.
  • a diaphragm seal is used when a device not responding to pressure for certain reasons should come into direct contact with the medium. This can for example, be the case if the medium is corrosive and in case of direct contact with the device this would attack if the medium is highly viscous and thereby the pressure transmission in the dead spaces of the device would be hindered or if the medium for crystallization or polymerization tends to lead to connecting lines would clog to the device.
  • This list of use cases a diaphragm seal is not final and contains only a few possible examples.
  • the device that responds to pressure is in the majority of applications for a pressure gauge Measurement and display of the overpressure of the medium. It can but it is also a pressure transmitter, a Pressure switch, a pressure sensor or a differential pressure measuring device or act like that. If in the following is spoken of a pressure gauge, it is in the pressure measuring device for an example of one of the possible pressure-sensitive devices connected to the diaphragm seal is connected and to which the pressure of the Transfer the medium by means of the diaphragm seal becomes.
  • a known diaphragm seal (EP-A-0 607 482) has a base body with a shallow recess, which is from an annular Joining surface is surrounded.
  • a usually circular membrane which is a circular one Has mounting surface, by soldering or attached in a fluid-tight manner in another way. Limit this way the walls of the recess and the membrane a liquid chamber, operating with a suitable filling liquid is filled.
  • the liquid chamber protrudes a line in this way in connection with the pressure measuring device, that by means of the pressure gauge, the pressure of the filling liquid measured in the liquid chamber and if necessary is shown.
  • On the side facing away from the liquid chamber Side of the diaphragm is in the diaphragm seal Formed measuring medium space which is filled with the measuring medium, however separated from the liquid chamber by the membrane is.
  • the one acting on the elastic membrane from the medium Pressure deflects them. If the diaphragm seal would not be firmly connected to the pressure gauge, would the liquid chamber and the deflection of the membrane the appropriate volume of liquid should emerge. This volume of liquid is usually called the working volume of the Diaphragm seal.
  • ⁇ V (p) is the dependency of the working volume ⁇ V from the pressure p in the medium reproduces.
  • This characteristic is required to be in the Range of the pressure to be measured has the same slope as possible has, so runs as linearly as possible, so that the system-related Measurement errors can be kept low. If low pressures are to be measured with high accuracy, that is for small nominal pressure ranges, the The slope of the characteristic curve in its linear range is comparatively high be big so low pressures become a big one Work volume is allocated.
  • the slope of the characteristic a diaphragm seal in its linear range usually referred to as the K factor.
  • the characteristic curve of a diaphragm seal is essentially determined by its membrane. Although one flat membrane a characteristic curve with large at low pressures Incline, it is still not suitable for Membrane diaphragm seals, since the characteristic curve is not linear.
  • a membrane with the features of the preamble of claim 1 is known from document EP-A-0 607 482.
  • This known membrane has on her Edge of an annular mounting surface, in the middle a flat central surface and between the mounting surface and the central surface is a non-flat, ring-shaped one Connecting surface.
  • area the common terminology is used for flat membranes, according to which the different areas or sections of a Membrane can be referred to as "area”, although the sections or areas of the membrane body with a volume are not zero.
  • area is justified because the thickness of the membrane measured perpendicular to the membrane level, compared to the membrane dimensions in the membrane level is very low.
  • connection surface consists of concentric to each other, annular waves, so that the connecting surface in Radial section has an undulating profile.
  • This training as a so-called corrugated membrane enables high linearity the characteristic curve, but it has been shown that in the extent to which by increasing the number of waves and the linearity is improved in height, at the same time the The membrane hardness increases and accordingly the K-factor or the slope of the characteristic is small.
  • the invention has for its object the generic Develop membrane in such a way that it has a characteristic with high linearity and at the same time high slope, i.e. large K factor enables. At the same time, a membrane diaphragm seal with a correspondingly improved membrane be created.
  • connection surface is formed by at least one annular step, which consists of a flat ring surface and a frustoconical step surface that is radial connects to the inside of the ring surface, the ring surfaces and the central surface in mutually parallel planes lie and being perpendicular to the plane of the central surface the measured height of each step surface is very small in relation to the width of the step and essentially in the area from 0.2% to 2.5% of the width of the step.
  • the frustoconical formation of the step surfaces does not rule out that the transition between the respective Step surface and the flat surfaces adjacent to it is rounded and that the truncated cone shape has a slight curvature is superimposed.
  • the entire Effective area that is, the area enclosed by the fastening area Area, made up exclusively of different, to each other parallel planes arranged flat surfaces as well one or more, the flat surfaces with each other connecting step surfaces of very low height.
  • the Diameter of those adjoining the central surface The step surface increases with increasing distance from the plane of the Central area preferably larger. The same applies to the remaining step surfaces if more than one step is provided is.
  • the membrane is a characteristic with high linearity and at the same time large slope in the linear range, i.e. large K factor results.
  • the training according to the invention enables a K factor that is, for example, 10 times larger than that an otherwise comparable corrugated membrane.
  • the membrane according to the invention has a stable zero position, because it causes at least one step, in contrast to the flat membrane, a stabilization.
  • the diaphragm seal according to the invention according to claim 12 enables the formation of the membrane, that the liquid chamber of the diaphragm seal with small volume can be formed, so that in the Liquid chamber enclosed transfer liquid volume is low. This in turn leads to a reduction the temperature-related measurement error.
  • the number of annular stages is at least two and preferably at least three. Three stages have proven to be particularly advantageous.
  • the membrane of the invention designed such that the Distances between the plane of the central surface and the planes of the ring surfaces increasing radially outwards are. It has also proven to be advantageous that the heights of the step surfaces are substantially the same are.
  • the central surface, the mounting surface and the existing steps are each circular, so that the membrane is a circular membrane.
  • the invention is but also applicable to non-circular membranes, for example with oval membranes and with rectangular ones Membranes.
  • a diaphragm diaphragm seal 2 shown schematically in FIG. 1 comprises an essentially circular disk-shaped base body 4, a flat, stepped membrane 6 and one in essential circular disk-shaped flange body 8.
  • a flat, stepped Membrane 6 formed as a circular membrane with a circular outline.
  • the Base body 4 On its lower side in FIG. 1, the Base body 4 has a centrally arranged, flat recess on that of an elevated, protruding downward in Figure 1 Ring flange section 10 is surrounded. At the ring flange section 10 is an annular mounting surface 12 (see Figures 2 and 3) of the membrane 6 soldered tight. This will limit the walls of the recess as well the membrane 6 is a flat liquid chamber 14. The Bottom of the flat recess in the base body 4 forms Membrane bed for the membrane 6, which, as Figure 1 shows, complementary to the membrane 6 is also stepped.
  • the flange body 8 is so fixed with the aid of screws connected to the base body 4 that its top on the Fastening surface 12 of the membrane 6 and on the ring flange section 10 lies tight. If necessary, in this A sealing element may also be provided in the area.
  • a measuring medium space 16 is formed, the separated from the liquid chamber by the membrane 6 is. Through a bore 18 in the flange body 8 is the medium 16 can be connected to the system containing the medium leads whose pressure is to be measured.
  • the liquid chamber 14 is through a central bore 20 connected to a line 22, to which in turn a (shown reduced) pressure measuring device 24, for example a spring tube manometer is connected.
  • a (shown reduced) pressure measuring device 24 for example a spring tube manometer is connected.
  • the liquid chamber 14, the bore 20, the line 22 and the measuring element of the pressure measuring device 28 filled with a suitable filling liquid. Furthermore, in Operation of the medium 16 filled with the medium whose Pressure should be measured.
  • the pressure of the medium in Medium 16 becomes a filling liquid by means of membrane 16 transferred in the liquid chamber 14 so that the Pressure measuring device 24, which measures the pressure of the filling liquid and indicates, thereby simultaneously the pressure of the medium in the Medium 16 measures and displays.
  • FIGS. 2 and 3 show a view of the Membrane 6 from below in Figure 1, while Figure 3 one Section through the membrane 6 in a radial plane thereof shows.
  • the membrane 6 is in accordance with the installation position Figure 1 shown upside down. Is accordingly the side of the membrane at the top in FIG. 3 is the measuring medium space 16 facing and is the one in Figure 3 below Side of the membrane facing the liquid chamber 14, if the diaphragm 6 is mounted in the diaphragm seal.
  • Figure 3 shows the membrane greatly exaggerated: all vertical Dimensions are compared to the horizontal dimensions the membrane 6 shown much larger than it corresponds to reality. This also applies to the thickness or wall thickness of the membrane 6.
  • Figure 3 is an enlarged, vertical representation of a membrane with a thickness of 0.1 mm and a diameter D of the mounting surface 12 limited pressurized Effective area of 82 mm.
  • the membrane 6 usually consists of a purpose the membrane diaphragm seal 2 adapted special material, for example titanium, Hastelloy (nickel-molybdenum-iron alloy with over 55% nickel), Monel (nickel-copper alloy with 30 to 40% copper), Inconel (heat-resistant nickel base alloy) or tantalum.
  • the in Figures 2 and 3 The shape shown is obtained by embossing one flat, circular blank. The molding process is not essential to the invention and is therefore here not explained in more detail.
  • the membrane 6 is rotationally symmetrical to its dot-dash line formed center line shown in Figure 3.
  • the membrane comprises 6 a flat, circular central surface 26, the circumferential points thereof lie on a circle 28. Radially outwards connects to the central surface 26 a first frustoconical Step surface 30 to which in turn a connects the first flat annular surface 32 radially outward, the radially outer circumferential points lie on a circle 34. Form the first step surface 30 and the first ring surface 32 together a first annular step 36. Radial to the outside adjoins the first annular surface 32 second frustoconical step surface 38, the radial outwards into a second flat annular surface 40, the radially outer circumferential points lie on a circle 42.
  • the second step surface 38 and the second ring surface 40 together form a second stage 44. Radially outside the second ring surface 40 closes a third frustoconical Step surface 46 on a third level Annular surface 48 merges, the radially outer circumferential points lie on a circle 50.
  • the third step surface 46 and the third ring surface 48 together form a third step 52.
  • the fastening surface is connected to the third ring surface 48 12 to that in the illustrated embodiment has an embossed edge with an S-profile, however could just be trained.
  • the transitions between the frustoconical step surfaces 30, 38 and 46 and the levels adjacent to them Surfaces are rounded.
  • the diameter of each of the frustoconical Step surfaces 30, 38 and 46 increase with increasing Distance from the plane of the central surface 26, so that each of the frustoconical surfaces has its largest Diameter at the transition to that ring surface, with which forms one of the stages.
  • the distance al between the plane of the central surface 26 and the plane of the first annular surface 32 is smaller than the distance a2 between the plane of the central surface 26 and the plane of the second ring surface 40, the distance a2 is again smaller than the distance a3 between the planes the central surface 26 and the plane of the third ring surface 48.
  • the three stages 36, 44 and 52 together form an annular Connection surface 54, the central surface 26th connects to the annular mounting surface 12.
  • the pressurized surface of the membrane 6, that is, its Effective area is composed of the central area 26 and the three stages 36, 44 and 52 and is thus radially outside limited by the circle 50, which has the diameter D. (see Figure 3).
  • the first step surface 30 has, perpendicular to the plane of the central surface 26 measured a height hl equal to the distance al is.
  • the second step surface 38 has a height h2
  • the third step surface 46 has a height h3. These heights are all very small in relation to the width of each Level 36 or 44 or 52, the width of a Level the difference between the radii of each Level radially inside and radially outside bounding circles is.
  • the heights h1, h2 and h3 equal to each other.
  • the height h1 is 1.43% the width of the first step 36
  • the height h2 is 1.5% the width of the second step 44 and the height h3 1.94% of the width of the third stage 52.
  • Radial section shown lie the circumferential points of the central surface 26 and the radially outer circumferential points of all Annular surfaces 32, 40 and 48 all on a common Envelope circle with the radius R.
  • the radius R is very large large in relation to the height of the envelope segment, by the radially outer circumferential points of the radially outermost ring surface, ie the third ring surface 48, is limited.
  • the ratio R / H is in the shown Embodiment 1000 and is in the for Ratio R / H preferred range from 300 to 1200.
  • the Membrane 6 is rotationally symmetrical to their midline the enveloping circles have the same radius in each radial section R. Accordingly, the central surface 26 is located Circle 28 and the radially outer boundary of the ring surfaces Circles 34, 42 and 50 all on one ball the radius R of the enveloping circles that are the same in all radial sections.
  • the areas projected onto the plane of the central surface 26 have the membrane in the projection plane, that is, in the plane the central surface, in the described embodiment following percentage of area.
  • the area the central area 26 is 10% of the area the effective area of the membrane.
  • the area of the first Step area 30 is 5% of the area of the effective area.
  • the area of the first ring surface 32 is 13% of the area of the effective area.
  • the area of the second step area 38 is 7% of the area of the Effective area.
  • the area of the second ring surface 40 is 17% of the area of the effective area.
  • the area the third step area 46 is 10% of the area the effective area, and the area of the third Ring area 48 is 22% of the area of the effective area.
  • the area of the fastening surface 12 is 16% of the area of the effective area.

Landscapes

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Membran für einen Membran-Druckmittler gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 sowie einen Membran-Druckmittler gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 12.
Ein Membran-Druckmittler kommt dann zur Anwendung, wenn ein auf Druck ansprechendes Gerät aus bestimmten Gründen nicht direkt mit dem Meßstoff in Berührung kommen soll. Dies kann beispielsweise dann der Fall sein, wenn der Meßstoff korrosiv ist und im Falle des direkten Kontaktes mit dem Gerät dieses angreifen würde, wenn der Meßstoff hochviskos ist und dadurch die Druckweiterleitung in den Toträumen des Gerätes behindert würde oder wenn der Meßstoff zur Kristallisation oder Polymerisation neigt und dadurch Anschlußleitungen zum Gerät verstopfen würde. Diese Aufzählung von Anwendungsfällen eines Membran-Druckmittlers ist nicht abschließend und enthält lediglich einige mögliche Beispiele.
Bei dem auf Druck ansprechenden Gerät handelt es sich in der Mehrzahl der Anwendungsfälle um ein Druckmeßgerät zur Messung und Anzeige des Überdrucks des Meßstoffes. Es kann sich dabei aber auch um einen Druckmeßumformer, einen Druckschalter, einen Druckaufnehmer oder ein Differenzdruckmeßgerät oder dergleichen handeln. Wenn im folgenden von einem Druckmeßgerät gesprochen wird, so handelt es sich bei dem Druckmeßgerät um ein Beispiel für eines der möglichen auf Druck ansprechenden Geräte, das an den Membran-Druckmittler angeschlossen ist und zu dem der Druck des Meßstoffes mittels des Membran-Druckmittlers übertragen wird.
Ein bekannter Membran-Druckmittler (EP-A-0 607 482) weist einen Grundkörper mit einer flachen Ausnehmung auf, die von einer ringförmigen Fügefläche umgeben ist. An der ringförmigen Fügefläche ist eine üblicherweise kreisrunde Membran, die eine kreisringförmige Befestigungsfläche aufweist, durch Löten oder auf andere Weise fluiddicht befestigt. Auf diese Weise begrenzen die Wände der Ausnehmung und die Membran eine Flüssigkeitskammer, die im Betrieb mit einer geeigneten Füllflüssigkeit gefüllt ist. Die Flüssigkeitskammer steht über eine Leitung derart mit dem Druckmeßgerät in Verbindung, daß mittels des Druckmeßgerätes der Druck der Füllflüssigkeit in der Flüssigkeitskammer gemessen und gegebenenfalls angezeigt wird. Auf der von der Flüssigkeitskammer abgewandten Seite der Membran ist im Membran-Druckmittler ein Meßstoffraum ausgebildet, der mit dem Meßstoff gefüllt ist, jedoch von der Flüssigkeitskammer durch die Membran getrennt ist.
Der vom Meßstoffraum auf die elastische Membran wirkende Druck biegt diese durch. Wenn der Membran-Druckmittler nicht fest mit dem Druckmeßgerät verbunden wäre, würde aus der Flüssigkeitskammer ein der Durchbiegung der Membran entsprechendes Flüssigkeitsvolumen austreten. Dieses Flüssigkeitsvolumen wird üblicherweise als Arbeitsvolumen des Membran-Druckmittlers bezeichnet.
Zur Kennzeichnung der Arbeitsweise des Membran-Druckmittlers dient seine Kennlinie ΔV(p), die die Abhängigkeit des Arbeitsvolumens ΔV vom Druck p im Meßstoffraum wiedergibt. Von dieser Kennlinie wird gefordert, daß sie im Bereich des zu messenden Druckes möglichst gleiche Steigung hat, also möglichst linear verläuft, damit die systembedingten Meßfehler niedrig gehalten werden können. Wenn niedrige Drücke mit hoher Genauigkeit gemessen werden sollen, das heißt bei kleinen Nenndruckbereichen, soll die Steigung der Kennlinie in ihrem linearen Bereich vergleichsweise groß sein, damit niedrigen Drücken ein großes Arbeitsvolumen zugeordnet ist. Die Steigung der Kennlinie eines Membran-Druckmittlers in ihrem linearen Bereich wird üblicherweise als K-Faktor bezeichnet.
Der Verlauf der Kennlinie eines Membran-Druckmittlers ist im wesentlichen durch dessen Membran bestimmt. Obwohl eine ebene Membran eine Kennlinie mit bei niedrigen Drücken großer Steigung ermöglicht, eignet sie sich dennoch nicht für Membran-Druckmittler, da die Kennlinie nicht linear verläuft.
Eine Membran mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Patentanspruch 1 ist aus dem Dokument EP-A-0 607 482 bekannt. Diese bekannte Membran weist an ihrem Rand eine ringförmige Befestigungsfläche, in ihrer Mitte eine ebene Zentralfläche und zwischen der Befestigungsfläche und der Zentalfläche eine nicht ebene, ringförmige Verbindungsfläche auf. Es sei klargestellt, daß hier die bei flachen Membranen übliche Terminologie verwendet wird, gemäß der die verschiedenen Bereiche bzw. Abschnitte einer Membran als "Fläche" bezeichnet werden, obwohl die Abschnitte bzw. Bereiche der Membran Körper mit einem Volumen ungleich null sind. Die Bezeichnung als "Fläche" ist gerechtfertigt, da die Dicke der Membran, gemessen senkrecht zur Membranebene, im Vergleich zu den Membranabmessungen in der Membranebene sehr gering ist. Bei der bekannten Membran besteht die Verbindungsfläche aus zueinander konzentrischen, ringförmigen Wellen, so daß die Verbindungsfläche im Radialschnitt ein wellenförmiges Profil hat. Diese Ausbildung als sogenannte Wellmembran ermöglicht eine hohe Linearität der Kennlinie, wobei sich jedoch gezeigt hat, daß in dem Maße, in dem durch Erhöhung der Anzahl der Wellen und ihrer Höhe die Linearität verbessert wird, zugleich die Härte der Membran zunimmt und dementsprechend der K-Faktor bzw. die Steigung der Kennlinie gering ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsgemäße Membran derart weiterzubilden, daß sie eine Kennlinie mit hoher Linearität und zugleich hoher Steigung, also großem K-Faktor ermöglicht. Zugleich soll ein Membran-Druckmittler mit einer entsprechend verbesserten Membran geschaffen werden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Membran gemäß Patentanspruch 1 sowie den Membran-Druckmittler gemäß Patentanspruch 12 gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Membran ist zusätzlich zu den Merkmalen des Oberbegriffs von Patentanspruch 1 vorgesehen, daß die Verbindungsfläche gebildet ist durch zumindest eine ringförmige Stufe, die aus einer ebenen Ringfläche und einer kegelstumpf-förmigen Stufenfläche besteht, die sich radial innen an die Ringfläche anschließt, wobei die Ringflächen und die Zentralfläche in zueinander parallelen Ebenen liegen und wobei die senkrecht zur Ebene der Zentralfläche gemessene Höhe jeder Stufenfläche sehr klein ist im Verhältnis zur Breite der Stufe und im wesentlichen im Bereich von 0,2% bis 2,5% der Breite der Stufe liegt.
Die kegelstumpfförmige Ausbildung der Stufenflächen schließt nicht aus, daß der Übergang zwischen der jeweiligen Stufenfläche und den an sie angrenzenden ebenen Flächen gerundet ist und daß der Kegelstumpfform eine leichte Wölbung überlagert ist.
Bei der erfindungsgemäßen Membran besteht somit die gesamte Wirkfläche, das heißt die von der Befestigungsfläche eingeschlossene Fläche, ausschließlich aus in verschiedenen, zueinander parallelen Ebenen angeordneten ebenen Flächen sowie einer oder mehreren, die ebenen Flächen miteinander verbindenden Stufenflächen von sehr geringer Höhe. Der Durchmesser der sich an die Zentralfläche anschließenden Stufenfläche wird mit zunehmendem Abstand von der Ebene der Zentralfläche vorzugsweise größer. Entsprechendes gilt für die übrigen Stufenflächen, wenn mehr als eine Stufe vorgesehen ist.
Es hat sich gezeigt, daß die erfindungsgemäße Ausbildung der Membran eine Kennlinie mit hoher Linearität und zugleich großer Steigung im linearen Bereich, also großem K-Faktor ergibt. Die erfindungsgemäße Ausbildung ermöglicht einen K-Faktor, der beispielsweise 10 mal größer als der einer ansonsten vergleichbaren Wellmembran ist. Darüberhinaus hat die erfindungsgemäße Membran eine stabile Nullage, denn die zumindest eine Stufe bewirkt, im Gegensatz zur ebenen Membran, eine Stabilisierung.
Bei dem erfindungsgemäßen Membran-Druckmittler gemäß Patentanspruch 12 ermöglicht es die Ausbildung der Membran, daß die Flüssigkeitskammer des Membran-Druckmittlers mit kleinem Volumen ausgebildet werden kann, so daß das in der Flüssigkeitskammer eingeschlossene Übertragungsflüssigkeitsvolumen gering ist. Dies wiederum führt zu einer Verringerung der temperaturbedingten Meßfehler.
In vorteilhafter Ausbildung der erfindungsgemäßen Membran kann vorgesehen sein, daß die Anzahl der ringförmigen Stufen zumindest zwei und vorzugsweise zumindest drei beträgt. Als besonders vorteilhaft haben sich drei Stufen erwiesen.
Wenn zwei oder mehr ringförmige Stufen vorgesehen sind, ist die erfindungsgemäße Membran derart ausgebildet, daß die Abstände zwischen der Ebene der Zentralfläche und den Ebenen der Ringflächen radial nach außen zunehmend größer sind. Dabei hat es sich ferner als vorteilhaft erwiesen, daß die Höhen der Stufenflächen im wesentlichen gleich sind.
In vorteilhafter Ausbildung der Erfindung kann ferner vorgesehen sein, daß in jedem Radialschnitt der Membran die Umfangspunkte der Zentralfläche und die radial äußeren Umfangspunkte aller Ringflächen sämtlich auf einem Hüllkreis liegen. Es hat sich gezeigt, daß bei einer solchen Ausbildung der Membran die Flächeninhalte der Zentral fläche und der Ringflächen besonders günstig im Hinblick auf die angestrebte Eigenschaftskombination von hoher Linearität und hohem K-Faktor aufeinander abgestimmt sind. Dabei wird bevorzugt, daß das Verhältnis R/H im Bereich von 300 bis 1200, insbesondere im Bereich von 600 bis 1200 liegt, wobei R der Radius des Hüllkreises und H die Höhe eines Hüllkreisabschnittes ist, der durch die radial äußeren Umfangspunkte der radial äußersten Ringfläche begrenzt ist.
In vorteilhafter Ausbildung der Erfindung kann ferner vorgesehen sein, daß die Zentralfläche, die Befestigungsfläche und die vorhandenen Stufen jeweils kreisringförmig sind, so daß die Membran eine Kreismembran ist. Die Erfindung ist jedoch auch anwendbar bei nicht-kreisförmigen Membranen, beispielsweise bei ovalen Membranen und bei rechteckigen Membranen.
Weitere Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Membran ergeben sich aus der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels derselben unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:
  • Figur 1 eine schematische Seitenansicht, teilweise im Schnitt, eines erfindungsgemäßen Membran-Druckmittlers;
  • Figur 2 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Membran; und
  • Figur 3 einen Radialschnitt durch die Membran gemäß Figur 2 in vergrößertem Maßstab.
    • Ein schematisch in Figur 1 gezeigter Membran-Druckmittler 2 umfaßt einen im wesentlichen kreisscheibenförmigen Grundkörper 4, eine flache, gestufte Membran 6 sowie einen im wesentlichen kreisscheibenförmigen Flanschkörper 8. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist die flache, gestufte Membran 6 als Kreismembran mit kreisförmigem Umriß ausgebildet.
    Auf seiner in Figur 1 unten liegenden Seite weist der Grundkörper 4 eine mittig angeordnete, flache Ausnehmung auf, die von einem erhöhten, in Figur 1 nach unten vorstehenden Ringflansch-abschnitt 10 umgeben ist. Am Ringflanschabschnitt 10 ist eine kreisringförmige Befestigungsfläche 12 (siehe Figuren 2 und 3) der Membran 6 dicht angelötet. Auf diese Weise begrenzen die Wände der Ausnehmung sowie die Membran 6 eine flache Flüssigkeitskammer 14. Der Boden der flachen Ausnehmung im Grundkörper 4 bildet ein Membranbett für die Membran 6, das, wie Figur 1 zeigt, komplementär zur Membran 6 ebenfalls gestuft geformt ist.
    Der Flanschkörper 8 ist mit Hilfe von Schrauben derart fest mit dem Grundkörper 4 verbunden, daß seine Oberseite an der Befestigungsfläche 12 der Membran 6 und am Ringflanschabschnitt 10 dichtend anliegt. Gegebenenfalls kann in diesem Bereich zusätzlich ein Dichtelement vorgesehen sein. Mittig im Flanschkörper 8 ist ein Meßstoffraum 16 ausgebildet, der von der Flüssigkeitskammer durch die Membran 6 getrennt ist. Durch eine Bohrung 18 im Flanschkörper 8 ist der Meßstoffraum 16 an das System anschließbar, das den Meßstoff führt, dessen Druck gemessen werden soll.
    Die Flüssigkeitskammer 14 ist durch eine mittige Bohrung 20 mit einer Leitung 22 verbunden, an die wiederum ein (verkleinert dargestelltes) Druckmeßgerät 24, beispielsweise ein Federrohrmanometer, angeschlossen ist.
    Im Betrieb sind die Flüssigkeitskammer 14, die Bohrung 20, die Leitung 22 und das Meßelement des Druckmeßgerätes 28 mit einer geeigneten Füllflüssigkeit gefüllt. Ferner ist im Betrieb der Meßstoffraum 16 mit dem Meßstoff gefüllt, dessen Druck gemessen werden soll. Der Druck des Meßstoffs im Meßstoffraum 16 wird mittels der Membran 16 zur Füllflüssigkeit in der Flüssigkeitskammer 14 übertragen, so daß das Druckmeßgerät 24, das den Druck der Füllflüssigkeit mißt und anzeigt, dadurch zugleich den Druck des Meßstoffs im Meßstoffraum 16 mißt und anzeigt.
    Die Membran 6 des vorstehend beschriebenen Membran-Druckmittlers 2 wird im folgenden anhand der Figuren 2 und 3 näher erläutert. Dabei zeigt Figur 2 eine Ansicht der Membran 6 von unten in Figur 1, während Figur 3 einen Schnitt durch die Membran 6 in einer Radialebene derselben zeigt. In Figur 3 ist die Membran 6 in zur Einbaulage gemäß Figur 1 umgekehrter Lage dargestellt. Dementsprechend ist die in Figur 3 oben liegende Seite der Membran dem Meßstoffraum 16 zugewandt und ist die in Figur 3 unten liegende Seite der Membran der Flüssigkeitskammer 14 zugewandt, wenn die Membran 6 im Membran-Druckmittler montiert ist.
    Figur 3 zeigt die Membran stark überhöht: Sämtliche vertikalen Abmessungen sind im Vergleich zu den waagerechten Abmessungen der Membran 6 wesentlich größer dargestellt, als es der Realität entspricht. Dies gilt auch für die Dicke bzw. Wandstärke der Membran 6. Figur 3 ist eine vergrößerte, in Vertikalrichtung überhöhte Darstellung einer Membran mit einer Dicke von 0,1 mm und einem Durchmesser D der von der Befestigungsfläche 12 begrenzten druckbeaufschlagten Wirkfläche von 82 mm.
    Die Membran 6 besteht üblicherweise aus einem an den Einsatzzweck des Membran-Druckmittlers 2 angepaßten Sondermaterial, beispielsweise Titan, Hastelloy (Nickel-Molybdän-Eisen-Legierung mit über 55% Nickel), Monel (Nickel-Kupfer-Legierung mit 30 bis 40% Kupfer), Inconel (warmfeste Nikkelbasislegierung) oder Tantal. Die in den Figuren 2 und 3 dargestellte Form erhält die Membran durch Prägen eines ebenen, kreisförmigen Rohlings. Das Formgebungsverfahren ist nicht wesentlich für die Erfindung und wird daher hier nicht näher erläutert.
    Die Membran 6 ist rotationssymmetrisch zu ihrer strichpunktiert in Figur 3 gezeigten Mittellinie ausgebildet.
    Wie in den Figuren 2 und 3 dargestellt ist, umfaßt die Membran 6 eine ebene, kreisförmige Zentralfläche 26, deren Umfangspunkte auf einem Kreis 28 liegen. Radial nach außen schließt sich an die Zentralfläche 26 eine erste kegelstumpfförmige Stufenfläche 30 an, an die sich wiederum eine erste ebene Ringfläche 32 radial nach außen anschließt, deren radial äußere Umfangspunkte auf einem Kreis 34 liegen. Die erste Stufenfläche 30 und die erste Ringfläche 32 bilden gemeinsam eine erste kreisringförmige Stufe 36. Radial nach außen schließt sich an die erste Ringfläche 32 eine zweite kegelstumpfförmige Stufenfläche 38 an, die radial nach außen in eine zweite ebene Ringfläche 40 übergeht, deren radial äußere Umfangspunkte auf einem Kreis 42 liegen. Die zweite Stufenfläche 38 und die zweite Ringfläche 40 bilden gemeinsam eine zweite Stufe 44. Radial außen an die zweite Ringfläche 40 schließt sich ein dritte kegelstumpfförmige Stufenfläche 46 an, die in eine dritte ebene Ringfläche 48 übergeht, deren radial äußere Umfangspunkte auf einem Kreis 50 liegen. Die dritte Stufenfläche 46 und die dritte Ringfläche 48 bilden gemeinsam eine dritte Stufe 52. An die dritte Ringfläche 48 schließt sich die Befestigungsfläche 12 an, die beim dargestellten Ausführungsbeispiel eine Randprägung mit einem S-Profil hat, jedoch auch eben ausgebildet sein könnte.
    Die Übergänge zwischen den kegelstumpfförmigen Stufenflächen 30, 38 und 46 und den jeweils an sie angrenzenden ebenen Flächen sind gerundet. Der Durchmesser jeder der kegelstumpfförmigen Stufenflächen 30, 38 und 46 nimmt mit zunehmendem Abstand von der Ebene der Zentralfläche 26 zu, so daß jede der kegelstumpfförmigen Flächen ihren größten Durchmesser am Übergang zu derjenigen Ringfläche hat, mit der sie eine der Stufen bildet.
    Aufgrund der vorstehend beschriebenen Ausbildung der Membran 6 ist der Abstand al zwischen der Ebene der Zentralfäche 26 und der Ebene der ersten Ringfläche 32 kleiner als der Abstand a2 zwischen der Ebene der Zentralfläche 26 und der Ebene der zweiten Ringfläche 40, wobei der Abstand a2 wiederum kleiner ist als der Abstand a3 zwischen der Ebene der Zentralfläche 26 und der Ebene der dritten Ringfläche 48. Dies bedeutet, daß die Abstände zwischen der Ebene der Zentralfläche 26 und den Ebenen der Ringflächen 32, 40 und 48 radial nach außen zunehmend größer sind.
    Die drei Stufen 36, 44 und 52 bilden gemeinsam eine kreisringförmige Verbindungsfläche 54, die die Zentralfläche 26 mit der kreisringförmigen Befestigungsfläche 12 verbindet. Die druckbeaufschlagte Fläche der Membran 6, das heißt ihre Wirkfläche setzt sich zusammen aus der Zentralfläche 26 und den drei Stufen 36, 44 und 52 und ist somit radial außen durch den Kreis 50 begrenzt, der den Durchmesser D hat (siehe Figur 3).
    Die erste Stufenfläche 30 hat, senkrecht zur Ebene der Zentralfäche 26 gemessen, eine Höhe hl, die gleich dem Abstand al ist. Die zweite Stufenfläche 38 hat eine Höhe h2, und die dritte Stufenfläche 46 hat eine Höhe h3. Diese Höhen sind sämtlich sehr klein im Verhältnis zur Breite der jeweiligen Stufe 36 bzw. 44 bzw. 52, wobei die Breite einer Stufe die Differenz zwischen den Radien der die jeweilige Stufe radial innen und radial außen begrenzenden Kreise ist. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Höhen h1, h2 und h3 einander gleich. Die Höhe h1 beträgt 1,43% der Breite der ersten Stufe 36, die Höhe h2 beträgt 1,5% der Breite der zweiten Stufe 44, und die Höhe h3 beträgt 1,94% der Breite der dritten Stufe 52.
    In jedem Radialschnitt der Membran 6 gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel und somit auch in dem in Figur 3 gezeigten Radialschnitt liegen die Umfangspunkte der Zentralfläche 26 und die radial äußeren Umfangspunkte aller Ringflächen 32, 40 und 48 sämtlich auf einem gemeinsamen Hüllkreis mit dem Radius R. Dabei ist der Radius R sehr groß im Verhältnis zu der Höhe desjenigen Hüllkreisabschnitts, der durch die radial äußeren Umfangspunkte der radial äußersten Ringfläche, also der dritten Ringfläche 48, begrenzt ist. Das Verhältnis R/H beträgt beim dargestellten Ausführungsbeispiel 1000 und liegt in dem für das Verhältnis R/H bevorzugten Bereich von 300 bis 1200. Da die Membran 6 gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel rotationssymmetrisch zu ihrer Mittellinie ausgebildet ist, haben die Hüllkreise in jedem Radialschnitt denselben Radius R. Dementsprechend liegen der die Zentralfläche 26 begrenzende Kreis 28 und die die Ringflächen radial außen begrenzenden Kreise 34, 42 und 50 sämtlich auf einer Kugel mit dem Radius R der in allen Radialschnitten gleichen Hüllkreise.
    Die auf die Ebene der Zentralfläche 26 projizierten Flächen der Membran haben in der Projektionsebene, also in der Ebene der Zentralfläche, bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel folgende prozentuale Flächeninhalte. Der Flächeninhalt der Zentralfläche 26 beträgt 10% des Flächeninhalts der Wirkfläche der Membran. Der Flächeninhalt der ersten Stufenfläche 30 beträgt 5% des Flächeninhalts der Wirkfläche. Der Flächeninhalt der ersten Ringfläche 32 beträgt 13% des Flächeninhalts der Wirkfläche. Der Flächeninhalt der zweiten Stufenfläche 38 beträgt 7% des Flächeninhalts der Wirkfläche. Der Flächeninhalt der zweiten Ringfläche 40 beträgt 17% des Flächeninhalts der Wirkfläche. Der Flächeninhalt der dritten Stufenfläche 46 beträgt 10% des Flächeninhalts der Wirkfläche, und der Flächeninhalt der dritten Ringfläche 48 beträgt 22% des Flächeninhalts der Wirkfläche. Der Flächeninhalt der Befestigungsfläche 12 beträgt 16% des Flächeninhalts der Wirkfläche.
    Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf die konkreten Einzelheiten des vorstehend anhand der Figuren 2 und 3 beschriebenen Ausführungsbeispiels beschränkt ist.

    Claims (12)

    1. Membran für einen Druckmittler, mit einer ebenen Zentralfläche (26), einer ringförmigen Befestigungsfläche (12), die konzentrisch zur Zentralfläche (26) angeordnet ist und den radial äußeren Rand der Membran (6) bildet, und einer ringförmigen Verbindungsfläche (54), die die Zentralfläche (26) mit der Randfläche (12) verbindet und insgesamt nicht eben ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsfläche (54) gebildet ist durch zumindest eine ringförmige Stufe (36, 44, 52), die aus einer ebenen Ringfläche (32, 40, 48) und einer kegelstumpfförmigen Stufenfläche (30, 38, 46) besteht, die sich radial innen an die Ringfläche (32, 40, 48) anschließt, wobei die Ringflächen (32, 40, 48) und die Zentralfläche (26) in zueinander parallelen Ebenen liegen und wobei die senkrecht zur Ebene der Zentralfläche (26) gemessene Höhe (h1, h2, h3) jeder Stufenfläche (30, 38, 46) sehr klein ist im Verhältnis zur Breite der Stufe (36, 44, 52) und im wesentlichen im Bereich von 0,2 % bis 2,5 % der Breite der Stufe liegt.
    2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der ringförmigen Stufen (36, 44, 52) zumindest zwei beträgt.
    3. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der ringförmigen Stufen (36, 44, 52) zumindest drei beträgt.
    4. Membran nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände (al, a2, a3) zwischen der Ebene der Zentralfläche (26) und den Ebenen der Ringflächen (32, 40, 48) radial nach außen zunehmend größer sind.
    5. Membran nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhen (hl, h2, h3) der Stufenflächen (30, 38, 46) im wesentlichen gleich sind.
    6. Membran nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem Radialschnitt der Membran (6) die Umfangspunkte der Zentralfläche (26) und die radial äußeren Umfangspunkte aller Ringflächen (32, 40, 48) sämtlich auf einem Hüllkreis liegen.
    7. Membran nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis R/H im Bereich von 300 bis 1200 liegt, wobei R der Radius des Hüllkreises und H die Höhe eines Hüllkreisabschnitts ist, der durch die radial äußeren Umfangspunkte der radial äußersten Ringfläche (48) begrenzt ist.
    8. Membran nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis R/H im Bereich von 600 bis 1000 liegt.
    9. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentralfläche (26), die Befestigungsfläche (12) und die vorhandenen Stufen (36, 44, 52) jeweils kreisringförmig sind.
    10. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigungsfläche (12) eben ist.
    11. Membran nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigungsfläche (12) eine Randprägung aufweist.
    12. Membran-Druckmittler mit einem Grundkörper (4), einer im Grundkörper ausgebildeten Ausnehmung, einer flachen Membran (6), die fluiddicht am Grundkörper befestigt ist und die zusammen mit den Wänden der Ausnehmung eine Flüssigkeitskammer (14) begrenzt, die im Betrieb mit einer Füllflüssigkeit gefüllt ist, und einem Meßstoffraum (16), der auf der von der Flüssigkeitskammer (14) abgewandten Seite der Membran (6) angeordnet ist und im Betrieb mit einem Meßstoff gefüllt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (6) nach einem der Ansprüche 1 bis 11 ausgebildet ist.
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    JP36373197A JP3272654B2 (ja) 1996-12-08 1997-12-17 圧力センサー用膜および膜型圧力センサー

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    Cited By (4)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    DE102007056844A1 (de) * 2007-11-23 2009-06-10 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Membranbett für einen Druckmittler, Druckmittler mit einem solchen Membranbett sowie Drucksensor mit einem solchen Druckmittler
    DE102005023021B4 (de) 2005-05-17 2009-07-02 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittler, Membran für derartige Druckmittler, Verfahren zum Herstellen derartiger Druckmittler sowie zum Herstellen derartiger Druckmittlermembranen
    DE102011017265A1 (de) * 2011-04-15 2012-10-18 Armaturenbau Gmbh Referenzdruckmanometer
    DE102004014919B4 (de) * 2003-03-28 2013-09-26 Denso Corporation Drucksensor, der eine Metallmembran mit einer Konvexität besitzt

    Families Citing this family (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    DE10034460A1 (de) * 2000-07-15 2002-01-31 Bosch Gmbh Robert Hochdrucksensor, Verfahren und Werkzeug zu seiner Herstellung
    EP2022519A1 (de) * 2007-08-10 2009-02-11 F. Hoffmann-La Roche AG Vorrichtung zur Detektion von Druckveränderungen in flüssigkeitsführenden Teilen einer Mikrodosiervorrichtung
    CN107024304B (zh) * 2017-03-31 2019-05-07 西安交通大学 一种应力衰减结构的超高压力传感器

    Family Cites Families (15)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US4241325A (en) * 1979-03-21 1980-12-23 Micro Gage, Inc. Displacement sensing transducer
    JPS5733334A (en) * 1980-08-05 1982-02-23 Yokogawa Hokushin Electric Corp Construction of diaphragm in differential pressure and pressure transmitter
    JPS6082827A (ja) * 1983-10-13 1985-05-11 Nisshin Keiki Kk 微圧計の隔膜製造方法
    DE3422945C2 (de) * 1984-06-20 1986-04-24 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Sensor
    US5064165A (en) * 1989-04-07 1991-11-12 Ic Sensors, Inc. Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports
    JP2524238B2 (ja) * 1990-01-30 1996-08-14 タツタ電線株式会社 圧力検出装置
    JPH04143630A (ja) * 1990-08-13 1992-05-18 Yamatake Honeywell Co Ltd 差圧・圧力発信器の製造方法
    JP2524256B2 (ja) * 1990-10-31 1996-08-14 タツタ電線株式会社 圧力センサ―におけるダイヤフラムの支持構造
    US5094109A (en) * 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
    CA2070605A1 (fr) * 1991-06-07 1992-12-08 Jacques Beauvir Vanne a membrane metallique
    US5230248A (en) * 1991-07-12 1993-07-27 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
    EP0607482B1 (de) 1993-01-20 1997-05-07 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Druckmittler
    SG43766A1 (en) * 1993-04-23 1997-11-14 Rosemount Inc Pressure isolator assembly for sanitary processing
    DE59307025D1 (de) * 1993-12-14 1997-09-04 Envec Mess Und Regeltechn Gmbh Druckmessanordnung
    JPH0894474A (ja) * 1994-09-27 1996-04-12 Yamatake Honeywell Co Ltd 圧力測定装置

    Cited By (5)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    DE102004014919B4 (de) * 2003-03-28 2013-09-26 Denso Corporation Drucksensor, der eine Metallmembran mit einer Konvexität besitzt
    DE102005023021B4 (de) 2005-05-17 2009-07-02 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittler, Membran für derartige Druckmittler, Verfahren zum Herstellen derartiger Druckmittler sowie zum Herstellen derartiger Druckmittlermembranen
    DE102005023021C5 (de) * 2005-05-17 2017-12-14 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittler, Membran für derartige Druckmittler, Verfahren zum Herstellen derartiger Druckmittler sowie zum Herstellen derartiger Druckmittlermembranen
    DE102007056844A1 (de) * 2007-11-23 2009-06-10 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Membranbett für einen Druckmittler, Druckmittler mit einem solchen Membranbett sowie Drucksensor mit einem solchen Druckmittler
    DE102011017265A1 (de) * 2011-04-15 2012-10-18 Armaturenbau Gmbh Referenzdruckmanometer

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