EP0583547A2 - Leading-through vacuum current - Google Patents

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EP0583547A2
EP0583547A2 EP93106254A EP93106254A EP0583547A2 EP 0583547 A2 EP0583547 A2 EP 0583547A2 EP 93106254 A EP93106254 A EP 93106254A EP 93106254 A EP93106254 A EP 93106254A EP 0583547 A2 EP0583547 A2 EP 0583547A2
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vacuum
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tube
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current feedthrough
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German Weber
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/46—Leading-in conductors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/46—Bases; Cases
    • H01R13/533—Bases, cases made for use in extreme conditions, e.g. high temperature, radiation, vibration, corrosive environment, pressure

Definitions

  • the invention relates to a vacuum feedthrough according to the preamble of claim 1.
  • the subject of claim 1 has the advantages that individual clamps are avoided by using a multiple plug fastened in a tube, that the implementation is particularly easy to produce by using commercially available components in conjunction with simple construction elements, and that several of these are due to the small size Feedthroughs can be provided on a vacuum flange, so that a variety of vacuum feedthroughs can be installed in the smallest of spaces. This results in greater economy and a factor of 5 to 10 lower manufacturing costs than with standard vacuum feedthroughs.
  • FIG. 1 shows an embodiment of a vacuum feedthrough according to the invention.
  • a cylindrical metallic tube 2 which is welded to the wall 1 in a vacuum-tight manner at a predetermined height. For this purpose, both ends of the tube 2 are turned accordingly.
  • the tube 2 is shown in Fig. 2a in side and front view.
  • the tube has a diameter of 12 mm and a height of 65 mm. At half its height, it has an inwardly extending projection 2A running on its inner wall in the circumferential direction, on which a base 3 with a plurality of electrical plug-in connections 3C arranged on a circular circumference and designed as round pins (Fig. 2b) is attached.
  • the projection 2A has a saddle 2B, which is formed in the form of a recess in the projection 2A.
  • the projection 2A is approximately triangular in cross section.
  • Socket 3 is a commercially available transistor 10-way socket from Elektrovac No. B1.046602-913.
  • the tube 2 contains a ceramic body 3A and a metallic circular plate 3B, which engages in the saddle 2B of the projection 2A when the base 3 is attached to the tube 2.
  • the attachment is carried out by oven soldering at 600 ° C. with a hard solder.
  • the soldering can be heated up to 400 ° C.
  • the solder joint is UHV-tight.
  • the tube 2 is provided on each side of the projection 2A with a bead 2C which extends in the longitudinal direction of the tube 2, is embossed from the outside and is at the same circumferential position of the tube 2 and is semi-circular in cross section.
  • a plug socket 4 (FIG. 2c) is plugged onto the base 3 with its plug connections, which is accommodated in a cylindrical metallic plug sleeve 5 (FIG. 2d).
  • the sleeve 5 has on one side a widened collar 5A, which serves to hold the socket 4, which is inserted from this side into the sleeve 5 and also contains a widened plate-shaped part 4A, in the sleeve 5 in one direction.
  • the socket 4 In order to firmly connect the socket 4 to the sleeve 5, the latter is clamped to the cylindrical holding body 4B of the socket 4 using special pliers.
  • the socket 4 and the sleeve 5 each have a semi-circular cross-section bead 4C or 5C, which are at the same circumferential position with the bead 2C in the tube 2 when inserting the sleeve 5 and the socket 4 into the tube 2 thus have the function of an anti-rotation device.
  • the socket 4 contains a plate-shaped part 4A and an adjacent cylindrical holding body 4B.
  • the plate-shaped part 4A contains a plurality of socket pins arranged on a circumference for receiving the round pins 3C of the base 3, the number and arrangement of the socket pins corresponding to that of the electrical plug connections of the base 3.
  • the socket pins are led out of the holding body 4B of the socket 4.
  • the socket 4 is a commercially available component from MBS Electronic No. 5858-1622.
  • the sleeve 5 has on its other side facing away from the base 3 a curl 5B to increase the grip.
  • a cable clamp 6 (FIG. 2e) consisting of a metal strip 6A and bent into a U is welded to a part of the curling 5B with its lower part 6B. With the cable clamp, the cables led away from the pins of the socket 4 can be clamped together.

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Abstract

A vacuum electrical bushing for a plurality of measurement or signal-current cables, which bushing can be inserted in a vacuum-tight manner into an opening (1A) in a wall (1) of a vacuum vessel or of a flange, has a base (3) which can be fastened in a vacuum-tight manner in a tube (2) and has, on both sides, a number of electrically conductive plug connecting pins (3C), the number of which corresponds to the number of electrical cables. Cables which lead inwards and outwards are in each case connected on both sides of the base to a plug socket (4). <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Stromdurchführung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a vacuum feedthrough according to the preamble of claim 1.

Bei Laborexperimenten im Ultrahochvakuum (UHV) kommen Meßstromdurchführungen zum Einsatz, bei denen durch eine Öffnung in einer Wand eines Vakuumgefäßes oder eines Flanschs Stromleitungen unter vakuumdichtem Abschluß durchgeführt werden. Bei den im Stand der Technik verwendeten Durchführungen wird mit Einfach-Steckern und Einzelklemmungen im Vakuumbehälter gearbeitet. Diese Durchführungen sind relativ groß, durch die Verwendung von Einfach-Steckern und Einzelklemmungen schwer zu handhaben und demzufolge teuer und unwirtschaftlich.In laboratory experiments in ultra-high vacuum (UHV), measuring current feedthroughs are used, in which power lines are carried out with a vacuum-tight seal through an opening in a wall of a vacuum vessel or flange. The bushings used in the prior art work with single plugs and individual clamps in the vacuum container. These bushings are relatively large, difficult to handle due to the use of simple plugs and single clamps, and are therefore expensive and uneconomical.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine einfache und zuverlässige Vakuum-Stromdurchführung für eine Mehrzahl von Meß- oder Signalstromleitungen anzugeben, die von geringer Baugröße, einfach zu handhaben und weniger aufwendig ist als handelsübliche Vakuumdurchführungen.It is therefore an object of the present invention to provide a simple and reliable vacuum feedthrough for a plurality of measurement or signal power lines, which is small in size, easy to handle and less expensive than conventional vacuum feedthroughs.

Diese Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved with the characterizing features of claim 1.

Der Gegenstand des Anspruchs 1 weist die Vorteile auf, daß durch Verwendung eines in einem Rohr befestigten Mehrfach-Steckers Einzelklemmungen vermieden werden, daß die Durchführung durch Verwendung handelsüblicher Baukomponenten in Verbindung mit einfachen Konstruktionselementen besonders einfach herstellbar ist, und daß durch die geringe Baugröße mehrere solcher Durchführungen auf einem Vakuumflansch vorgesehen werden können, so daß im Ergebnis eine Vielzahl von Vakuum-Stromdurchführungen auf engstem Raum angebracht werden können. Dadurch ergibt sich eine größere Wirtschaftlichkeit und um den Faktor 5 bis 10 geringere Herstellungskosten als bei handelsüblichen Vakuum-Stromdurchführungen.The subject of claim 1 has the advantages that individual clamps are avoided by using a multiple plug fastened in a tube, that the implementation is particularly easy to produce by using commercially available components in conjunction with simple construction elements, and that several of these are due to the small size Feedthroughs can be provided on a vacuum flange, so that a variety of vacuum feedthroughs can be installed in the smallest of spaces. This results in greater economy and a factor of 5 to 10 lower manufacturing costs than with standard vacuum feedthroughs.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstands des Anspruchs 1 sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous embodiments of the subject matter of claim 1 are specified in the subclaims.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to the drawings.

Es zeigen:

Fig. 1
eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuum-Stromdurchführung.
Fig. 2a-e
Einzeldarstellungen der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform.
Show it:
Fig. 1
an embodiment of a vacuum feedthrough according to the invention.
2a-e
Individual representations of the embodiment shown in Fig. 1.

In Figur 1 ist eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vakuum-Stromdurchführung dargestellt.1 shows an embodiment of a vacuum feedthrough according to the invention.

In einer kreisrunden Öffnung 1A einer Wand 1 eines Vakuumgefäßes oder eines Flanschs befindet sich ein zylindrisches metallisches Rohr 2, das an einer vorgegebenen Höhe rundum mit der Wand 1 vakuumdicht verschweißt wird. Zu diesem Zweck sind beide Enden des Rohres 2 entsprechend angedreht.In a circular opening 1A of a wall 1 of a vacuum vessel or a flange there is a cylindrical metallic tube 2 which is welded to the wall 1 in a vacuum-tight manner at a predetermined height. For this purpose, both ends of the tube 2 are turned accordingly.

Das Rohr 2 ist in Fig. 2a in Seiten- und Frontansicht dargestellt.The tube 2 is shown in Fig. 2a in side and front view.

Das Rohr hat einen Durchmesser von 12 mm und eine Höhe von 65 mm. Es weist auf seiner halben Höhe einen an seiner Innenwand in Umfangsrichtung verlaufenden, nach innen sich erstreckenden Vorsprung 2A auf, an dem ein Sockel 3 mit einer Vielzahl von auf einem Kreisumfang angeordneten als Rundstifte ausgebildeten elektrischen Steckverbindungen 3C (Fig. 2b), befestigt wird. Zu diesem Zweck weist der Vorsprung 2A einen Sattel 2B auf, der in Form einer Ausnehmung in den Vorsprung 2A eingeformt ist. Der Vorsprung 2A ist im Querschnitt in etwa dreieckförmig. Der Sockel 3 ist ein handelsüblicher Transistor-10-fach-Sockel der Fa. Elektrovac Nr. B1.046602-913. Er enthält einen Keramikkörper 3A und eine metallische kreisrunde Platte 3B, die bei Befestigung des Sockels 3 an das Rohr 2 in den Sattel 2B des Vorsprungs 2A eingreift Die Befestigung erfolgt durch eine Ofenlötung bei 600°C mit einem Hartlot. Die Lötung ist ausheizbar bis 400°C. Die Lötverbindung ist UHV-dicht. Das Rohr 2 ist auf jeder Seite des Vorsprungs 2A mit einer in Längsrichtung des Rohrs 2 verlaufenden, von außen eingeprägten und an ein und derselben Umfangsposition des Rohrs 2 befindlichen im Querschnitt halbkreisförmigen Sicke 2C versehen.The tube has a diameter of 12 mm and a height of 65 mm. At half its height, it has an inwardly extending projection 2A running on its inner wall in the circumferential direction, on which a base 3 with a plurality of electrical plug-in connections 3C arranged on a circular circumference and designed as round pins (Fig. 2b) is attached. For this purpose, the projection 2A has a saddle 2B, which is formed in the form of a recess in the projection 2A. The projection 2A is approximately triangular in cross section. Socket 3 is a commercially available transistor 10-way socket from Elektrovac No. B1.046602-913. It contains a ceramic body 3A and a metallic circular plate 3B, which engages in the saddle 2B of the projection 2A when the base 3 is attached to the tube 2. The attachment is carried out by oven soldering at 600 ° C. with a hard solder. The soldering can be heated up to 400 ° C. The solder joint is UHV-tight. The tube 2 is provided on each side of the projection 2A with a bead 2C which extends in the longitudinal direction of the tube 2, is embossed from the outside and is at the same circumferential position of the tube 2 and is semi-circular in cross section.

Auf den Sockel 3 mit seinen Steckverbindungen wird von beiden Seiten je eine Steckerbuchse 4 (Fig. 2c) aufgesteckt, die jeweils in einer zylindrischen metallischen Steckerhülse 5 (Fig. 2d) untergebracht ist. Die Hülse 5 weist auf ihrer einen Seite einen aufgeweiteten Bund 5A auf, der dazu dient, die Steckerbuchse 4, die von dieser Seite in die Hülse 5 eingeführt wird und ebenfalls ein aufgeweitetes plattenförmiges Teil 4A enthält, in einer Richtung in der Hülse 5 festzuhalten. Um die Steckerbuchse 4 fest mit der Hülse 5 zu verbinden, wird letztere mit einer Spezialzange an dem zylindrischen Haltekörper 4B der Steckerbuchse 4 festgeklemmt. Die Steckerbuchse 4 als auch die Hülse 5 weisen jeweils eine im Querschnitt halbkreisförmige Sicke 4C bzw. 5C auf, die beim Einführen der Hülse 5 und der Steckerbuchse 4 in das Rohr 2 an ein und derselben Umfangsposition mit der im Rohr 2 befindlichen Sicke 2C liegen und somit die Funktion einer Verdrehungssicherung haben.A plug socket 4 (FIG. 2c) is plugged onto the base 3 with its plug connections, which is accommodated in a cylindrical metallic plug sleeve 5 (FIG. 2d). The sleeve 5 has on one side a widened collar 5A, which serves to hold the socket 4, which is inserted from this side into the sleeve 5 and also contains a widened plate-shaped part 4A, in the sleeve 5 in one direction. In order to firmly connect the socket 4 to the sleeve 5, the latter is clamped to the cylindrical holding body 4B of the socket 4 using special pliers. The socket 4 and the sleeve 5 each have a semi-circular cross-section bead 4C or 5C, which are at the same circumferential position with the bead 2C in the tube 2 when inserting the sleeve 5 and the socket 4 into the tube 2 thus have the function of an anti-rotation device.

Die Steckerbuchse 4 enthält ein plattenförmiges Teil 4A und einen daran angrenzenden zylindrischen Haltekörper 4B. Das plattenförmige Teil 4A enthält eine Vielzahl von auf einem Kreisumfang angeordneten Buchsenstiften zur Aufnahme der Rundstifte 3C des Sockels 3, wobei Anzahl und Anordnung der Buchsenstifte der der elektrischen Steckverbindungen des Sockels 3 entspricht. Die Buchsenstifte sind aus dem Haltekörper 4B der Steckerbuchse 4 herausgeführt In der Ausführungsform nach Fig. 1 ist die Steckerbuchse 4 ein kommerziell erhältliches Bauteil der Firma MBS Electronic Nr. 5858-1622.The socket 4 contains a plate-shaped part 4A and an adjacent cylindrical holding body 4B. The plate-shaped part 4A contains a plurality of socket pins arranged on a circumference for receiving the round pins 3C of the base 3, the number and arrangement of the socket pins corresponding to that of the electrical plug connections of the base 3. The socket pins are led out of the holding body 4B of the socket 4. In the embodiment according to FIG. 1, the socket 4 is a commercially available component from MBS Electronic No. 5858-1622.

Die Hülse 5 weist an ihrer anderen dem Sockel 3 abgewandten Seite eine Rollierung 5B zur Erhöhung der Griffigkeit auf. An einem Teil der Rollierung 5B wird eine aus einem Metallstreifen 6A bestehende und zu einem U gebogene Kabelklemme 6 (Fig. 2e) mit ihrem unteren Teil 6B angeschweißt. Mit der Kabelklemme können die von den Stiften der Steckerbuchse 4 weggeführten Kabel zusammengeklemmt werden.The sleeve 5 has on its other side facing away from the base 3 a curl 5B to increase the grip. A cable clamp 6 (FIG. 2e) consisting of a metal strip 6A and bent into a U is welded to a part of the curling 5B with its lower part 6B. With the cable clamp, the cables led away from the pins of the socket 4 can be clamped together.

Infolge der kleinen Baugröße der Vakuum-Stromdurchführung können mehrere erfindungsgemäße Durchführungen in einem einzelnen Vakuum-Flansch angeordnet werden.Due to the small size of the vacuum feedthrough, several feedthroughs according to the invention can be arranged in a single vacuum flange.

Claims (10)

Vakuum-Stromdurchführung für eine Mehrzahl von Stromleitungen, die vakuumdicht in eine Öffnung (1A) einer Wand (1) eines Vakuumgefäßes oder eines Flansches einsetzbar ist, gekennzeichnet durch ein vakuumdicht in die Öffnung (1A) einsetzbares Rohr (2), in dem vakuumdicht ein Sockel (3) befestigt ist, der auf beiden Seiten eine der Stromleitungen entsprechende Anzahl von elektrisch leitenden Steckverbindungselementen (3C) aufweist.Vacuum power feed-through for a plurality of power lines, which can be used in a vacuum-tight manner in an opening (1A) of a wall (1) of a vacuum vessel or flange, characterized by a tube (2) which can be used in a vacuum-tight manner in the opening (1A) and in which a vacuum-tight Socket (3) is attached, which has on both sides a number of electrically conductive connector elements (3C) corresponding to the power lines. Vakuum-Stromdurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (2) einen an seiner Innenwand auf einer vorgegebenen Höhe in Umfangsrichtung verlaufenden nach innen sich erstreckenden Vorsprung (2A) aufweist, an dem der Sockel (3) vakuumdicht befestigt ist.Vacuum current feedthrough according to claim 1, characterized in that the tube (2) has an inwardly extending projection (2A) on its inner wall at a predetermined height in the circumferential direction, to which the base (3) is attached in a vacuum-tight manner. Vakuum-Stromdurchführung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (2A) einen Sattel (2B) enthält, der in Form einer Aussparung in den Vorsprung (2A) eingeformt ist, und daß der Sockel (3) eine Platte (3B) enthält, die eine vorgegebene Anzahl und Anordnung von Durchgangslöchern aufweist, durch die die Steckverbindungen geführt sind, wobei die Platte (3B) in den Sattel (2B) eingreift und an dem Sattel (2B) vakuumdicht befestigt ist.Vacuum current feedthrough according to claim 2, characterized in that the projection (2A) contains a saddle (2B) which is formed in the form of a recess in the projection (2A) and that the base (3) contains a plate (3B) , which has a predetermined number and arrangement of through holes through which the plug connections are guided, the plate (3B) engaging in the saddle (2B) and attached to the saddle (2B) in a vacuum-tight manner. Vakuum-Stromdurchführung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Sockel (3) ein an die Platte (3B) angrenzendes zylindrisches Halteteil (3A) aufweist, das eine vorgegebene Anzahl und Anordnung von Durchgangslöchern aufweist, durch die die Steckverbindungen geführt sind.Vacuum current feedthrough according to Claim 3, characterized in that the base (3) has a cylindrical holding part (3A) which adjoins the plate (3B) and which has a predetermined number and arrangement of through holes through which the plug connections are guided. Vakuum-Stromdurchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zwei Steckerbuchsen (4), die jeweils an ihrer einen dem Sockel (3) zugewandten Seite eine Vielzahl von in Längsrichtung des Rohres (2) verlaufenden Buchsenstiften aufweisen, deren Anzahl und Anordnung der der Steckverbindungselemente (3C) des Sockels (3) entspricht, wobei jede Steckerbuchse (4) auf je einer Seite des Sockels (3) als Ganzes mit der Vielzahl von Steckverbindungen des Sockels (3) verbunden ist, wobei jede Steckerbuchse (4) ein plattenförmiges Teil (4A) und einen daran angrenzenden zylindrischen Haltekörper (4B) aufweist, wobei die Buchsenstifte in Hohlräume des plattenförmigen Teils (4A) und des Haltekörpers (4B) eingeformt sind, auf der einen Seite der Steckerbuchse (4) an der Oberfläche des plattenförmigen Teils (4A) enden und auf der anderen Seite der Steckerbuchse (4) aus dem Haltekörper (4B) freistehend herausgeführt sind.Vacuum current feedthrough according to one of the preceding claims, characterized by two plug sockets (4), each of which has on its one side facing the base (3) a plurality of socket pins running in the longitudinal direction of the tube (2), the number and arrangement of which of the plug connection elements (3C) of the base (3), each connector (4) on each side of the base (3) as a whole being connected to the plurality of plug connections of the base (3), each connector (4) being a plate-shaped part ( 4A) and an adjacent cylindrical holding body (4B), the socket pins being formed in cavities in the plate-shaped part (4A) and the holding body (4B), on one side of the plug socket (4) on the surface of the plate-shaped part (4A ) end and are led out on the other side of the plug socket (4) from the holding body (4B). Vakuum-Stromdurchführung nach Ansprüche 5, gekennzeichnet durch Steckerhülsen (5), die die Steckerbuchsen (4) aufnehmen und die Steckerhülsen (5) einen aufgeweiteten Bund (5A) aufweisen, so daß bei Aufnahme der Steckerbuchsen (4) durch die Steckerhülsen (5) der plattenförmige Teil (4A) der Steckerbuchse (4) durch den aufgeweiteten Bund (5A) der Steckerhülse (5) gehaltert ist.Vacuum current feedthrough according to claims 5, characterized by plug sleeves (5) which receive the plug sockets (4) and the plug sleeves (5) have a widened collar (5A), so that when the plug sockets (4) are received by the plug sleeves (5) the plate-shaped part (4A) of the plug socket (4) is held by the flared collar (5A) of the plug sleeve (5). Vakuum-Stromdurchführung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steckerhülsen (5) an ihrem dem Rohr (2) abgewandten Ende eine Rollierung (5B) aufweisen und daß an der Rollierung (5B) eine aus einem Metallstreifen (6A) bestehende und zu einem U gebogene Kabelklemme (6) mit ihrem unteren Teil (6B) angeschweißt ist.Vacuum current feedthrough according to Claim 6, characterized in that the plug sleeves (5) have a roller coating (5B) on their end facing away from the tube (2) and that on the roller coating (5B) there is a metal strip (6A) and one U bent cable clamp (6) is welded to its lower part (6B). Vakuum-Stromdurchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand des Rohres (2) eine in seiner Längsrichtung verlaufende, in die Außenwand des Rohres (2) eingeprägte, und an einer vorgegebenen Umfangsposition des Rohres (2) befindliche Sicke (2C) aufweist, die im Bewreich des Vorsprunges unterbrochen ist, und daß die Steckerhülsen (5) jeweils eine in ihrer Längsrichtung verlaufende, in die Außenwand der Steckerhülsen (5) eingeprägte und an einer vorgegebenen Umfangsposition der Steckerhülsen (5) befindliche Sicke (5C) aufweist, daß das plattenförmige Teil (4A) eine über seine ganze Höhe konstante Ausnehmung (4C) aufweist, und daß die Sicken (2C und 5C) und die Ausnehmung (4C) im zusammengesetzten Zustand der Vakuum-Stromdurchführung an der gleichen Umfangsposition übereinander zu liegen kommen.Vacuum current feedthrough according to one of the preceding claims, characterized in that the wall of the tube (2) has a bead (2C) which extends in its longitudinal direction and is embossed in the outer wall of the tube (2) and is located at a predetermined circumferential position of the tube (2) ) which is interrupted in the area of the projection, and that the plug sleeves (5) Each has a bead (5C) running in its longitudinal direction, embossed in the outer wall of the connector sleeves (5) and located at a predetermined circumferential position of the connector sleeves (5), such that the plate-shaped part (4A) has a recess (4C) that is constant over its entire height. and that the beads (2C and 5C) and the recess (4C) come to lie one above the other in the assembled state of the vacuum current feedthrough at the same circumferential position. Vakuum-Stromdurchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sockel (3) an dem Rohr (2) durch eine Ofenlötung mit einem Hartlot befestigt ist.Vacuum current feedthrough according to one of the preceding claims, characterized in that the base (3) is fastened to the tube (2) by brazing the furnace with a hard solder. Vakuum-Stromdurchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (2) an einer vorgegebenen Höhe über seinen gesamten Umfang mit der Wand (1) vakuumdicht verschweißt ist.Vacuum current feedthrough according to one of the preceding claims, characterized in that the tube (2) is welded to the wall (1) in a vacuum-tight manner at a predetermined height over its entire circumference.
EP93106254A 1992-04-16 1993-04-16 Leading-through vacuum current. Withdrawn EP0583547A3 (en)

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