EP0300196A1 - Transducer for length or distance variations, especially for the contactless measurement of torque in rotating axes - Google Patents

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EP0300196A1
EP0300196A1 EP88109554A EP88109554A EP0300196A1 EP 0300196 A1 EP0300196 A1 EP 0300196A1 EP 88109554 A EP88109554 A EP 88109554A EP 88109554 A EP88109554 A EP 88109554A EP 0300196 A1 EP0300196 A1 EP 0300196A1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
sensor according
length
capillary
shaft
distance
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP88109554A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Günter Dr.-Ing. Doemens
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP0300196A1 publication Critical patent/EP0300196A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0091—Transmitting or indicating the displacement of liquid mediums by electrical, electromechanical, magnetic or electromagnetic means
    • G01L9/0092—Transmitting or indicating the displacement of liquid mediums by electrical, electromechanical, magnetic or electromagnetic means using variations in ohmic resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/02—Measuring force or stress, in general by hydraulic or pneumatic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft

Definitions

  • the invention relates to a sensor for changes in length or distance, in particular for contactless measurement of torques on rotating shafts, in which the change in length or distance to be detected is amplified and converted into an electrical variable.
  • the contactless, precise measurement of the torque output and thus the mechanical power on rotating shafts is one of the most pressing sensor problems in energy and automation technology.
  • the fields of application lie in the monitoring and control of drives as well as in the efficiency optimization of energy conversion plants.
  • the currently known methods either use the detection of the mechanical tension generated by the moment on the shaft surface or the measurement of the torsion.
  • strain gauges are attached to the shaft and the measurement signal is taken from the rotating shaft via carrier frequency.
  • the method has been known for a long time, but has primarily been used in the laboratory, since the attachment of the strain gauges to the shaft is complex and the measurement transmission is very cost-intensive.
  • developments have become known in which the change in permeability to amorphous metal layers is caused by mechanical stresses Torque measurement can be used.
  • Torque measurement can be used.
  • the torsion of a shaft with the usual dimensions with regard to shaft diameter and torque is extremely low.
  • the torsion at nominal torque at a measuring distance of 30mm is only a few micrometers.
  • a longer measuring shaft is therefore connected to the stub shaft and the torsion is tapped thereon without contact via inductive systems.
  • the method is ruled out, since there is usually no space for the additional measuring shaft.
  • the invention has for its object to provide a sensor for measuring torque, which can detect the torque transmitted via the shaft and thus also the mechanical power with an accuracy of ⁇ 0.5% without contact both in the stationary and in the rotating state and emits an electrical signal proportional to the torque.
  • the change in length or distance to be recorded can be transferred to a displacer, liquid displaced by the displacer can be introduced into a capillary, -The electrical quantity can be derived from changes in the length of the liquid column in the capillary.
  • the invention is based on the finding that hydraulic amplification of the changes in length or distance to be detected is simple to implement and also allows a significantly higher accuracy and a significantly higher amplification factor than the known mechanical amplification with a lever system.
  • the area ratios of the displacer and capillary are included in the degree of amplification.
  • path reinforcements of up to 1: 5000 can be achieved. This results in an extremely small space requirement in the axial direction in the case of sensors for the measurement of torques.
  • the hydraulic / electrical principle according to the invention can also be used in general for the measurement of mechanical strains or stresses and in some cases can replace the conventional strain gauges. Overload protection in harsh environments can be cited as an application example.
  • displacer is formed by a membrane, the space requirement is further reduced compared to the use of pistons as displacers.
  • a particularly simple transmission arrangement is achieved in that the change in length or distance to be detected can be transmitted to the displacer by means of a transmission element oriented transversely thereto.
  • a particularly preferred embodiment of the invention is characterized by an electrically conductive liquid. This considerably facilitates the derivation of the electrical variable from changes in the length of the liquid column in the capillary.
  • Mercury is preferably used as the electrically conductive liquid. Mercury enables the sensor to be used within a very wide temperature range. In addition, when using mercury, wetting of the inner wall of the capillary, which is undesirable with regard to the highest possible accuracy, is excluded.
  • changes in the length of the liquid column in the capillary can then be converted in a simple manner into changes in an ohmic resistance.
  • the conversion of the changes in length into changes in an ohmic resistance can then be implemented in a particularly simple manner in that the resistance can be short-circuited in regions by the liquid column as a function of changes in length of the liquid column in the capillary.
  • the capillary is formed at least in regions by a groove running between two adjoining plates and the resistance is applied to one of the plates as a metallic thin film layer.
  • the groove can be made on the inside of one plate, while the resistance is applied on the inside of the other plate. Largest possible changes in length or distance proportional changes in resistance can be realized in that the resistance has a meandering course crossing the capillary at least in some areas.
  • the torsion occurring at a predeterminable axial measuring distance of the shaft can be transferred to the displacer as the change in length or distance to be detected.
  • a particularly small space requirement can be achieved in that the axial measuring distance corresponds to at most half the diameter of the shaft.
  • two clamping rings resting linearly on the shaft in the circumferential direction are provided for removing the torsion.
  • the torsion between the linear supports arranged at the axial measuring distance can then be transferred particularly easily to the displacer as a relative movement between the two clamping rings will wear.
  • the transmission member is expediently fastened in the axial direction on one clamping ring, while the associated displacer with capillary is fixedly arranged on the other clamping ring. If the capillary is aligned in the axial direction of the shaft, possible influences of centrifugal forces on the accuracy of the measuring sensor can be excluded.
  • the electrical quantity derived from changes in the length of the liquid column in the capillary can be inductively removed from the rotating shaft.
  • a capacitive transmission of the electrical variable is preferably carried out.
  • at least one cylindrical capacitor is provided, which is arranged coaxially to the shaft, one electrode of which is connected to the shaft and the other electrode of which is arranged stationary with respect to the shaft.
  • FIG. 1 shows a shaft We rotatable about the axis A, on the circumferential surface of which two measuring points Mp1 and Mp2 are arranged at the axial measuring distance 1. If a torque indicated by the arrow Dm is now transmitted through the shaft We, the torsion of the shaft We occurring between the measuring points Mp1 and Mp2 forms a measure of the torque Dm. This torsion, which is proportional to the torque Dm, is shown in FIG. 1 by the length change ⁇ x occurring in the circumferential direction between the measuring points Mp1 and Mp2.
  • a cross-axially aligned carrier T is attached to the measuring point Mp10, while an axially aligned transmission member Ug is attached to the measuring point Mp20.
  • This attachment which is only indicated here in FIG. 3, on the clamping rings Kr (cf. FIG. 2) can be carried out by soldering, welding, screwing and the like.
  • the carrier T carries two cylinders Z, which are arranged at a distance from one another in the circumferential direction and are extremely flat, the chambers Ka of which are each closed by membranes designated by V.
  • the two chambers Ka are each filled with an electrically conductive liquid F, which can escape in the capillaries K if the chamber volumes are reduced.
  • the liquid F is mercury.
  • the mercury columns cross meandering resistances W, which are more or less short-circuited as a result. There then remain residual resistances proportional to the torque Dm, which are connected on the one hand to the mass Ma via the mercury columns and on the other hand to the inner electrode E1 of a cylindrical capacitor Zk.
  • the two cylindrical capacitors Zk shown schematically in FIG. 3 serve as coupling capacitors for the contactless capacitive transmission of the resistance changes proportional to the torque Dm (compare FIGS. 1 and 2).
  • the inner electrodes E1 are mechanically connected to the shaft We (compare FIGS. 1 and 2), while the outer electrodes E2 are arranged in a fixed manner with respect to the shaft We.
  • Figure 4 shows that the capillary K is formed as a U-shaped groove on the inside of a plate P1 and that the meandering resistor W is formed on the inside of a second plate P2, the two plates P1 and P2 consisting of glass with their inner sides are liquid-tightly connected by pressure, adhesive and the like.
  • the cross section of the capillaries K or the groove is, for example, 0.3 x 0.3 mm.
  • the capillary K must not be chosen much narrower, otherwise the mercury columns may tear off due to the capillary action.
  • the resistance W formed on the plate P2 as a meandering thin film layer consists, for example, of nickel. With a layer thickness of 0.1 ⁇ m, a web width of 80 ⁇ m and approx. 150 meanders over a length of 20 mm, the total resistance is 50 k ⁇ .
  • FIG. 5 shows in a greatly simplified perspective Dar position the geometric / constructive arrangement of the entire sensor on the shaft We.
  • the two clamping rings Kr fastened next to each other on the shaft We can be seen.
  • the attachment of the transmission element Ug on the left clamping ring Kr and its arrangement between the two housings G1 and G2 cannot be seen in FIG.
  • the capillaries K in the housings G1 and G2 are oriented in the axial direction and not in the circumferential direction, as can be seen from the simplified, stretched illustration according to FIG.
  • FIG. 5 also shows the extremely compact and space-saving design of the entire measuring sensor.
  • the axial measuring distance l is less than half the diameter D of the shaft We.
  • FIG. 6 shows a bridge circuit, designated overall by Bs, for the capacitive transmission of the resistances W. proportional to the respective torque Dm (compare FIGS. 1 and 2) of the wave We shown in broken lines.
  • the variable resistances W are applied one side to ground Ma, while the other side is connected to the inner electrode E1 of the associated cylindrical capacitor Zk.
  • the mass Ma can be applied to the shaft We without contact, since the capacitive coupling between the rotor and the stator of a corresponding machine, for example, is completely sufficient for this.
  • a capacitor C and a coil L are connected in each case in parallel with the resistor W in the circuit arrangement shown.
  • the capacitor C is the stray capacitance of the respective cylindrical capacitor Zk to the wave We, while the coils L actually present compensate for this stray capacitance in resonance.
  • the outer electrodes E2 of the cylindrical capacitors Zk which are arranged fixed to the shaft We, are assigned on the one hand via Bridge circuit supplementary resistors Bw are applied to a supply voltage U Sp with a frequency of approximately 1 MHz and, on the other hand, are connected directly to the input of a differential amplifier Dv.
  • This differential amplifier Dv then forms from the diagonal voltages of the bridge circuit Bs an output voltage U A which is proportional to the torque Dm transmitted by the shaft We.
  • the conversion of the smallest displacements into proportional changes in resistance due to the hydraulic / electrical principle can also be used in general for the measurement of mechanical strains or stresses and in some cases replace the conventional strain gauges.
  • An example of this is overload protection in a harsh environment.
  • the contactless transmission shown for the torque measurement can also be omitted.

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Abstract

The torque detector has a relative displacement or length variation (delta x) dependent on the torque amplified via a mechanical lever system, before conversion into a corresponding electrical value. The displacement or length variation is fed to a fluid displacement system with a capillary (K) which provides a variable resistance dependent on the length of the fluid column, to provide the electrical output signal. The capillary fluid pref. comprises mercury, with the capillary enclosed between 2 opposing plates to provide a metallic thin-film resistance layer between the latter.

Description

Die Erfindung betrifft einen Meßaufnehmer für Längen- oder Abstandsänderungen, insbesondere für berührungslose Messung von Drehmomenten an rotierenden Wellen, bei welchem die zu erfassende Längen- oder Abstandsänderung verstärkt und in eine elektrische Größe umgewandelt wird.The invention relates to a sensor for changes in length or distance, in particular for contactless measurement of torques on rotating shafts, in which the change in length or distance to be detected is amplified and converted into an electrical variable.

Die berührungslose, präzise Messung des abgegebenen Drehmo­mentes und damit der mechanischen Leistung an rotierenden Wellen ist heute eines der vordringlichsten sensorischen Probleme in der Energie- und Automatisierungstechnik. Die Anwendungsfelder liegen in der Überwachung und Regelung von Antrieben sowie in der Wirkungsgradoptimierung von Energie­umwandlungsanlagen.The contactless, precise measurement of the torque output and thus the mechanical power on rotating shafts is one of the most pressing sensor problems in energy and automation technology. The fields of application lie in the monitoring and control of drives as well as in the efficiency optimization of energy conversion plants.

Zur berührungslosen Messung von Drehmomenten bedienen sich die zur Zeit bekannten Verfahren entweder der Erfassung der durch das Moment an der Wellenoberfläche erzeugten mechani­schen Spannung oder der Messung der Torsion.For the contactless measurement of torques, the currently known methods either use the detection of the mechanical tension generated by the moment on the shaft surface or the measurement of the torsion.

Zur Umsetzung der mechanischen Spannung in eine elektrische Größe werden Dehnungsmeßstreifen auf der Welle angebracht und das Meßsignal über Trägerfrequenz von der rotierenden Welle abgenommen. Das Verfahren ist seit langem bekannt, ist aber in erster Linie für den Laborbereich zur Anwendung gekommen, da das Anbringen der Dehnungsmeßstreifen an der Welle aufwendig und die Meßübertragung sehr kostenintensiv ist. In jüngster Zeit sind auch Entwicklungen bekannt ge­worden, bei denen die Veränderung der Permeabilität an amorphen Metallschichten durch mechanische Spannungen zur Drehmomentmessung ausgenutzt werden. Hier bestehen je­doch noch Probleme im Hinblick auf das Aufbringen der amorphen Metallschichten auf die Welle.To convert the mechanical tension into an electrical quantity, strain gauges are attached to the shaft and the measurement signal is taken from the rotating shaft via carrier frequency. The method has been known for a long time, but has primarily been used in the laboratory, since the attachment of the strain gauges to the shaft is complex and the measurement transmission is very cost-intensive. In recent times, developments have become known in which the change in permeability to amorphous metal layers is caused by mechanical stresses Torque measurement can be used. However, there are still problems with regard to the application of the amorphous metal layers to the shaft.

Die Torsion einer Welle bei den üblichen Dimensionierungen hinsichtlich Wellendurchmesser und Drehmoment ist äußerst gering. Bei einer 70mm starken Welle eines Elektromotors beträgt beispielsweise die Torsion bei Nenndrehmoment in einem Meßabstand von 30mm nur wenige Mikrometer. Zur Ver­stärkung des Torsionsweges schließt man deshalb an den Wellenstumpf eine längere Meßwelle an und greift daran die Torsion berührungslos über induktive Systeme ab. Das Verfah­ren scheidet jedoch in der Praxis aus, da in der Regel kein Platz für die zusätzliche Meßwelle vorhanden ist. Um auf dem im allgemeinen kurzen Wellenstumpf das Drehmoment dennoch über Torsion meßbar zu machen, ist in der Zeitschrift "VDI-­Nachrichten" Nr. 20, 15.Mai 1987 ein Verfahren vorgeschlagen worden, bei dem auf der Welle der Torsionsweg durch ein me­chanisches Hebelsystem in eine axiale Bewegung übersetzt wird. Die dann im Zehntelmillimeterbereich liegende axiale Verschie­bung wird über ein induktives System berührungslos abgenommen. Der axiale Meßabstand auf der Welle entspricht dabei etwa dem doppelten Wellendurchmesser. Eine derartige Erfassung von Drehmomenten erfordert jedoch eine relativ aufwendige Mecha­nik, wobei auch die erzielbare Genauigkeit von etwa 5% für viele Anwendungsfälle nicht ausreicht.The torsion of a shaft with the usual dimensions with regard to shaft diameter and torque is extremely low. With a 70mm shaft of an electric motor, for example, the torsion at nominal torque at a measuring distance of 30mm is only a few micrometers. To reinforce the torsion path, a longer measuring shaft is therefore connected to the stub shaft and the torsion is tapped thereon without contact via inductive systems. In practice, however, the method is ruled out, since there is usually no space for the additional measuring shaft. In order to still be able to measure the torque on the generally short stub shaft via torsion, a method has been proposed in the magazine "VDI-Nachrichten" No. 20, May 15, 1987, in which the torsion path on the shaft by a mechanical lever system in an axial movement is translated. The axial displacement, which is then in the tenths of a millimeter range, is measured without contact using an inductive system. The axial measuring distance on the shaft corresponds approximately to twice the shaft diameter. Such detection of torques, however, requires a relatively complex mechanism, and the achievable accuracy of about 5% is not sufficient for many applications.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Meßaufnehmer für die Messung von Drehmomenten zu schaffen, der sowohl im ruhenden als auch im rotierenden Zustand das über die Welle übertragene Moment und damit auch die mechanische Leistung mit einer Genauigkeit von ± 0,5% berührungslos erfassen kann und ein dem Drehmoment proportionales elektrisches Signal abgibt.The invention has for its object to provide a sensor for measuring torque, which can detect the torque transmitted via the shaft and thus also the mechanical power with an accuracy of ± 0.5% without contact both in the stationary and in the rotating state and emits an electrical signal proportional to the torque.

Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Meßaufnehmer durch folgende Merkmale gelöst:
-die zu erfassende Längen- oder Abstandsänderung ist auf einen Verdränger übertragbar,
-vom Verdränger verdrängte Flüssigkeit ist in eine Kapillare einleitbar,
-die elektrische Größe ist aus Längenänderungen der Flüssig­keitsäule in der Kapillare ableitbar.This object is achieved in a generic sensor by the following features:
the change in length or distance to be recorded can be transferred to a displacer,
liquid displaced by the displacer can be introduced into a capillary,
-The electrical quantity can be derived from changes in the length of the liquid column in the capillary.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß eine hydrau­lische Verstärkung der zu erfassenden Längen- oder Abstands­änderungen einfach zu realisieren ist und auch eine wesent­lich höhere Genauigkeit sowie einen deutlich höheren Ver­stärkungsfaktor erlaubt als die bekannte mechanische Verstärkung mit einem Hebelsystem. Bei der hydraulischen Ver­stärkung gehen die Flächenverhältnisse von Verdränger und Kapillare in den Verstärkungsgrad ein. Je nach Querschnitts­verhältnis von Verdränger zur Kapillare sind Wegverstärkungen bis 1 : 5000 realisierbar. Damit ergibt sich bei Meßaufnehmern für die Messung von Drehmomenten ein äußerst geringer Platzbe­darf in axialer Richtung. Neben der Messung von Drehmomenten kann das erfindungsgemäße hydraulisch/elektrische Prinzip auch allgemein bei der Messung von mechanischen Dehnungen bzw. Span­nungen eingesetzt werden und hier in manchen Fällen die konven­tionellen Dehnungsmeßstreifen ersetzen. Als Anwendungsbeispiel kann hier der Überlastschutz in rauher Umgebung genannt wer­den.The invention is based on the finding that hydraulic amplification of the changes in length or distance to be detected is simple to implement and also allows a significantly higher accuracy and a significantly higher amplification factor than the known mechanical amplification with a lever system. With hydraulic amplification, the area ratios of the displacer and capillary are included in the degree of amplification. Depending on the cross-sectional ratio of the displacer to the capillary, path reinforcements of up to 1: 5000 can be achieved. This results in an extremely small space requirement in the axial direction in the case of sensors for the measurement of torques. In addition to the measurement of torques, the hydraulic / electrical principle according to the invention can also be used in general for the measurement of mechanical strains or stresses and in some cases can replace the conventional strain gauges. Overload protection in harsh environments can be cited as an application example.

Ist der Verdränger durch eine Membrane gebildet, so ergibt sich gegenüber der Verwendung von Kolben als Verdränger eine weitere Reduzierung des Platzbedarfs.If the displacer is formed by a membrane, the space requirement is further reduced compared to the use of pistons as displacers.

Eine besonders einfache Übertragungsanordnung wird dadurch erreicht, daß die zu erfassende Längen- oder Abstandsänderung durch ein quer dazu ausgerichtetes Übertragungsglied auf den Verdränger übertragbar ist.A particularly simple transmission arrangement is achieved in that the change in length or distance to be detected can be transmitted to the displacer by means of a transmission element oriented transversely thereto.

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung ist gekennzeichnet durch eine elektrisch leitende Flüssig­keit. Hierdurch wird die Ableitung der elektrischen Größe aus Längenänderungen der Flüssigkeitsäule in der Kapillare erheblich erleichtert. Vorzugsweise wird dabei Quecksilber als elektrisch leitende Flüssigkeit verwendet. Quecksilber ermöglicht einen Einsatz des Meßaufnehmers innerhalb eines sehr großen Temperaturbereichs. Außerdem wird bei der Ver­wendung von Quecksilber eine im Hinblick auf eine möglichst hohe Genauigkeit unerwünschte Benetzung der Innenwandung der Kapillare ausgeschlossen.A particularly preferred embodiment of the invention is characterized by an electrically conductive liquid. This considerably facilitates the derivation of the electrical variable from changes in the length of the liquid column in the capillary. Mercury is preferably used as the electrically conductive liquid. Mercury enables the sensor to be used within a very wide temperature range. In addition, when using mercury, wetting of the inner wall of the capillary, which is undesirable with regard to the highest possible accuracy, is excluded.

Bei der Verwendung einer elektrisch leitenden Flüssigkeit können dann Längenänderungen der Flüssigkeitsäule in der Kapillare auf einfache Weise in Änderungen eines ohm'schen Widerstandes umgesetzt werden. Dies erfordert einen wesent­lich geringeren baulichen Aufwand als eine induktive Erfas­sung von Längenänderungen der Flüssigkeitssäule in der Kapil­lare. Die Umsetzung der Längenänderungen in Änderungen eines ohm'schen Widerstandes können dann auf besonders einfache Weise dadurch verwirklicht werden, daß der Widerstand in Ab­hängigkeit von Längenänderungen der Flüssigkeitssäule in der Kapillare durch die Flüssigkeitssäule bereichsweise kurz­schließbar ist.When using an electrically conductive liquid, changes in the length of the liquid column in the capillary can then be converted in a simple manner into changes in an ohmic resistance. This requires much less construction effort than an inductive detection of changes in length of the liquid column in the capillary. The conversion of the changes in length into changes in an ohmic resistance can then be implemented in a particularly simple manner in that the resistance can be short-circuited in regions by the liquid column as a function of changes in length of the liquid column in the capillary.

Im Hinblick auf eine möglichst einfache Bauweise des Meßauf­nehmers bei geringen Herstellungskosten hat es sich auch als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Kapillare zumindest be­reichsweise durch eine zwischen zwei aneinanderliegenen Platten verlaufende Rille gebildet ist und der Widerstand als metal­lische Dünnfilmschicht auf eine der Platten aufgebracht ist. Zur weiteren Vereinfachung der Fertigung kann dabei die Rille auf die Innenseite einer Platte eingebracht sein, während der Widerstand auf die Innenseite der anderen Platte aufgebracht ist. Möglichst große den Längen- oder Abstandsänderungen pro­ portionale Widerstandsänderungen können dabei dadurch realisiert werden, daß der Widerstand zumindest bereichs­weise einen die Kapillare kreuzenden mäanderförmigen Ver­lauf aufweist.In view of the simplest possible design of the measuring transducer with low manufacturing costs, it has also proven to be advantageous if the capillary is formed at least in regions by a groove running between two adjoining plates and the resistance is applied to one of the plates as a metallic thin film layer. To further simplify production, the groove can be made on the inside of one plate, while the resistance is applied on the inside of the other plate. Largest possible changes in length or distance proportional changes in resistance can be realized in that the resistance has a meandering course crossing the capillary at least in some areas.

Eine unerwünschte Ausdehnung des Flüssigkeitsvolumens in die Kapillare bei Temperaturerhöhung kann zum einen durch ein geringes Flüssigkeitsvolumen und zum anderen durch entsprechende Wahl des Ausdehnungskoeffizienten des umgebenden Kammermaterials vollständig kompensiert werden. Vorzugsweise wird jedoch zur Erhöhung der Genauigkeit sowie zur Kompensation von Temperatureffekten die zu erfassende Längen- oder Abstandsänderung auf zwei gegenläufig arbeitende Verdränger übertragen, denen jeweils eine Kapillare zugeord­net ist. Eine weitere Erhöhung der Genauigkeit kann dabei da­durch bewirkt werden, daß die aus Längenänderungen der Flüs­sigkeitsäulen in den Kapillaren ableitbaren elektrischen Größen mit einer Brückenschaltung in elektrische Spannungsänderungen umsetzbar sind.An undesired expansion of the liquid volume into the capillary when the temperature rises can be completely compensated for on the one hand by a small liquid volume and on the other hand by appropriate choice of the expansion coefficient of the surrounding chamber material. Preferably, however, in order to increase the accuracy and to compensate for temperature effects, the change in length or distance to be recorded is transferred to two oppositely operating displacers, each of which is assigned a capillary. A further increase in accuracy can be brought about in that the electrical quantities which can be derived from changes in the length of the liquid columns in the capillaries can be converted into electrical voltage changes using a bridge circuit.

Beim Einsatz der erfindungsgemäß ausgestalteten Meßaufnehmer für berührungslose Messung von Drehmomenten an rotierenden Wellen ist vorgesehen, daß als zu erfassende Längen- oder Ab­standsänderung die in einem vorgebbaren axialen Meßabstand der Welle auftretende Torsion auf den Verdränger übertrag­bar ist. Ein besonders geringer Platzbedarf kann dabei da­durch erzielt werden, daß der axiale Meßabstand höchstens dem halben Durchmesser der Welle entspricht.When using the transducers designed according to the invention for contactless measurement of torques on rotating shafts, it is provided that the torsion occurring at a predeterminable axial measuring distance of the shaft can be transferred to the displacer as the change in length or distance to be detected. A particularly small space requirement can be achieved in that the axial measuring distance corresponds to at most half the diameter of the shaft.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind zur Abnahme der Torsion zwei in Umfangsrichtung linien­förmig auf der Welle aufliegende Klemmringe vorgesehen. Die Torsion zwischen den im axialen Meßabstand angeordneten linien­förmigen Auflagen kann dann als Relativbewegung zwischen den beiden Klemmringen besonders einfach auf den Verdränger über­ tragen werden. Zweckmäßigerweise ist dabei das Übertra­gungsglied in axialer Richtung auf dem einen Klemmring befestigt, während der zugeordnete Verdränger mit Kapillare auf dem anderen Klemmring fest angeordnet ist. Ist die Kapil­lare dabei in axialer Richtung der Welle ausgerichtet, so kön­nen mögliche Einflüsse von Fliehkräften auf die Genauigkeit des Meßaufnehmers ausgeschlossen werden.According to a further preferred embodiment of the invention, two clamping rings resting linearly on the shaft in the circumferential direction are provided for removing the torsion. The torsion between the linear supports arranged at the axial measuring distance can then be transferred particularly easily to the displacer as a relative movement between the two clamping rings will wear. The transmission member is expediently fastened in the axial direction on one clamping ring, while the associated displacer with capillary is fixedly arranged on the other clamping ring. If the capillary is aligned in the axial direction of the shaft, possible influences of centrifugal forces on the accuracy of the measuring sensor can be excluded.

Die aus Längenänderungen der Flüssigkeitssäule in der Kapil­lare abgeleitete elektrische Größe kann von der rotierenden Welle induktiv berührungslos abgenommen werden. Zur weiteren Vereinfachung des baulichen Aufwands wird jedoch vorzugsweise eine kapazitive Übertragung der elektrischen Größe vorgenom­men. Zu dieser kapazitiven Übertragung ist dann mindestens ein koaxial zur Welle angeordneter Zylinderkondensator vor­gesehen, dessen eine Elektrode mit der Welle verbunden ist und dessen andere Elektrode in bezug auf die Welle ortsfest angeordnet ist.The electrical quantity derived from changes in the length of the liquid column in the capillary can be inductively removed from the rotating shaft. To further simplify the structural complexity, however, a capacitive transmission of the electrical variable is preferably carried out. For this capacitive transmission, at least one cylindrical capacitor is provided, which is arranged coaxially to the shaft, one electrode of which is connected to the shaft and the other electrode of which is arranged stationary with respect to the shaft.

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung an­hand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen

  • Fig. 1 die Erfassung der Torsion einer Welle als Maß für das übertragene Drehmoment,
  • Fig. 2 die Abnahme der Torsion durch zwei im Abstand zu­einander auf der Welle angeordnete Klemmringe,
  • Fig. 3 einen Meßaufnehmer für die berührungslose Messung von Drehmomenten durch hydraulisch/elektrische Erfassung der Torsion,
  • Fig. 4 die Ausgestalung von Kapillare und Widerstand bei dem Meßaufnehmer gemäß Fig. 4,
  • Fig. 5 die Anordnung der Klemmringe und des Meßaufnehmers gemäß Fig. 4 auf der Welle und
  • Fig. 6 eine Brückenschaltung zur kapazitiven Übertragung der mit dem Meßaufnehmer gemäß Fig. 3 ermittelten elektrischen Größen.
An exemplary embodiment of the invention is explained in more detail below with reference to the drawing.
Show it
  • 1 the detection of the torsion of a shaft as a measure of the transmitted torque,
  • 2 the decrease in the torsion by two spaced-apart clamping rings on the shaft,
  • 3 shows a sensor for the contactless measurement of torques by hydraulic / electrical detection of the torsion,
  • 4 shows the design of the capillary and the resistance in the sensor according to FIG. 4,
  • 5 shows the arrangement of the clamping rings and the sensor according to FIG. 4 on the shaft and
  • FIG. 6 shows a bridge circuit for capacitive transmission of the electrical quantities determined with the sensor according to FIG. 3.

Figur 1 zeigt eine um die Achse A drehbare Welle We, auf deren Umfangsfläche zwei im axialen Meßabstand 1 liegende Meßpunkte Mp1 und Mp2 angeordnet sind. Wird nun durch die Welle We ein durch den Pfeil Dm angedeutetes Drehmoment übertragen, so bil­det die zwischen den Meßpunkten Mp1 und Mp2 auftretende Torsion der Welle We ein Maß für das Drehmoment Dm. In Figur 1 ist diese dem Drehmoment Dm proportionale Torsion durch die zwischen den Meßpunkten Mp1 und Mp2 in Umfangsrichtung auf­tretende Längenänderung Δx aufgezeigt.FIG. 1 shows a shaft We rotatable about the axis A, on the circumferential surface of which two measuring points Mp1 and Mp2 are arranged at the axial measuring distance 1. If a torque indicated by the arrow Dm is now transmitted through the shaft We, the torsion of the shaft We occurring between the measuring points Mp1 and Mp2 forms a measure of the torque Dm. This torsion, which is proportional to the torque Dm, is shown in FIG. 1 by the length change Δx occurring in the circumferential direction between the measuring points Mp1 and Mp2.

Gemäß Figur 2 werden zur Abnahme der in Figur 1 aufgezeigten Torsion Δ x zwei mit Kr bezeichnete Klemmringe auf der Welle We derart befestigt, daß ihre in Umfangsrichtung linienförmigen Auflagen den axialen Meßabstand 1 aufweisen. Die Torsion Δx zwischen den Meßpunkten Mp1 und Mp2 kann dann als zwischen den Klemmringen Kr auftretende Relativbewegung in Umfangsrichtung abgenommen werden. Bei Übertragung eines Drehmomentes Dm durch die Welle We verdrehen sich also die auf den Klemmringen Kr dargestellten Meßpunkte Mp10 und Mp20 um die Torsion Δ x gegeneinander.According to FIG. 2, to remove the torsion Δ x shown in FIG. 1, two clamping rings denoted by Kr are fastened on the shaft We in such a way that their supports, which are linear in the circumferential direction, have the axial measuring distance 1. The torsion Δx between the measuring points Mp1 and Mp2 can then be taken off as a relative movement occurring in the circumferential direction between the clamping rings Kr. When a torque Dm is transmitted through the shaft We, the measuring points Mp10 and Mp20 shown on the clamping rings Kr twist against each other by the torsion Δ x.

Gemäß Figur 3 wird an dem Meßpunkt Mp10 ein queraxial ausge­richteter Träger T befestigt, während am Meßpunkt Mp20 ein axial ausgerichtetes Übertragungsglied Ug befestigt wird. Diese hier in Figur 3 lediglich angedeutete Befestigung auf den Klemmringen Kr (vergleiche Fig. 2) kann dabei durch Löten, Schweißen, Verschrauben und dgl. vorgenommen werden. Der Träger T trägt zwei in Umfangsrichtung im Abstand zueinander ange­ordnete und äußerst flach ausgebildete Zylinder Z, deren Kammern Ka jeweils durch mit V bezeichnete Membranen geschlossen sind. Die beiden Kammern Ka sind jeweils mit einer elektrisch leitenden Flüssigkeit F gefüllt, die bei einer Ver­ringerung der Kammervolumina in Kapillaren K ausweichen kann. Im dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Flüssigkeit F um Quecksilber. Wird nun über das knochenförmig ausgebildete frei Ende des Übertragungsgliedes Ug eine Torsion Δ x auf die beidseitig davon angeordneten und relativ steif ausgebildeten Membranen bzw. Verdränger V übertragen, so er­ geben sich in den zugeordneten Kapillaren K gegenläufige Längenänderungen Δ y, die der Torsion Δx und damit dem Drehmoment Dm (vergleiche Fig. 1 und 2) proportional sind. Die Verstärkung Δy/ Δx ergibt sich hierbei aus dem Querschnitts­verhältnis von Membran V zur Kapillare K, wobei die Längen­änderungen Δ y der Flüssigkeitssäulen durchaus einige Zenti­meter erreichen können. Um aus diesen Längenänderungen Δ y der Flüssigkeitssäulen bzw. Quecksilbersäulen elektrische Größen ableiten zu können, kreuzen die Quecksilbersäulen mäander­förmige Widerstände W, die dadurch mehr oder weniger kurz­geschlossen werden. Es verbleiben dann jeweils dem Drehmoment Dm proportionale Restwiderstände, die einerseits über die Quecksilbersäulen mit der Masse Ma und andererseits jeweils mit der inneren Elektrode E1 eines Zylinderkondensators Zk verbun­den sind. Die beiden in Figur 3 schematisch aufgezeigten Zylin­derkondensatoren Zk dienen als Koppelkondensatoren für die be­rührungslose kapazitive Übertragung der dem Drehmoment Dm (ver­gleiche Fig. 1 und 2) proportionalen Widerstandsänderungen. Die inneren Elektroden E1 sind dabei mit der Welle We (vergleiche Fig. 1 und 2) mechanisch verbunden, während die äußeren Elek­troden E2 in bezug auf die Welle We ortsfest angeordnet sind.According to FIG. 3, a cross-axially aligned carrier T is attached to the measuring point Mp10, while an axially aligned transmission member Ug is attached to the measuring point Mp20. This attachment, which is only indicated here in FIG. 3, on the clamping rings Kr (cf. FIG. 2) can be carried out by soldering, welding, screwing and the like. The carrier T carries two cylinders Z, which are arranged at a distance from one another in the circumferential direction and are extremely flat, the chambers Ka of which are each closed by membranes designated by V. The two chambers Ka are each filled with an electrically conductive liquid F, which can escape in the capillaries K if the chamber volumes are reduced. In the exemplary embodiment shown, the liquid F is mercury. If a torsion .DELTA.x is now transmitted via the bone-shaped free end of the transmission member Ug to the relatively rigid membranes or displacers V arranged on both sides thereof, he said there are opposite length changes Δ y in the assigned capillaries K, which are proportional to the torsion Δx and thus the torque Dm (compare FIGS. 1 and 2). The gain Δy / Δx results from the cross-sectional ratio of membrane V to capillary K, the length changes Δ y of the liquid columns being able to reach a few centimeters. In order to be able to derive electrical quantities from these changes in length Δ y of the liquid columns or mercury columns, the mercury columns cross meandering resistances W, which are more or less short-circuited as a result. There then remain residual resistances proportional to the torque Dm, which are connected on the one hand to the mass Ma via the mercury columns and on the other hand to the inner electrode E1 of a cylindrical capacitor Zk. The two cylindrical capacitors Zk shown schematically in FIG. 3 serve as coupling capacitors for the contactless capacitive transmission of the resistance changes proportional to the torque Dm (compare FIGS. 1 and 2). The inner electrodes E1 are mechanically connected to the shaft We (compare FIGS. 1 and 2), while the outer electrodes E2 are arranged in a fixed manner with respect to the shaft We.

Figur 4 zeigt, daß die Kapillare K als U-förmige Rille auf der Innenseite einer Platte P1 gebildet ist und daß der mäander­förmige Widerstand W auf der Innenseite einer zweiten Platte P2 gebildet ist, wobei die beiden aus Glas bestehenden Platten P1 und P2 mit ihren Innenseiten durch Druck, Klebung und dgl. flüssigkeitsdicht verbunden sind. Der Querschnitt der Kapillaren K bzw. der Rille beträgt beispielsweise 0,3 x 0,3 mm. Die Kapillare K darf nicht wesentlich enger gewählt werden, da sonst ein Abreißen der Quecksilbersäulen aufgrund der Kapillar­wirkung eintreten kann. Der auf der Platte P2 als mäanderförmi­ge Dünnfilmschicht gebildete Widerstand W besteht beispeils­weise aus Nickel. Bei einer Schichtdicke von 0,1 µm, einer Bahnbreite von 80 µm und ca. 150 Mäandern auf einer Länge von 20 mm ergibt sich ein Gesamtwiderstand von 50 kΩ.Figure 4 shows that the capillary K is formed as a U-shaped groove on the inside of a plate P1 and that the meandering resistor W is formed on the inside of a second plate P2, the two plates P1 and P2 consisting of glass with their inner sides are liquid-tightly connected by pressure, adhesive and the like. The cross section of the capillaries K or the groove is, for example, 0.3 x 0.3 mm. The capillary K must not be chosen much narrower, otherwise the mercury columns may tear off due to the capillary action. The resistance W formed on the plate P2 as a meandering thin film layer consists, for example, of nickel. With a layer thickness of 0.1 µm, a web width of 80 µm and approx. 150 meanders over a length of 20 mm, the total resistance is 50 kΩ.

Figur 5 zeigt in stark vereinfachter perspektivischer Dar­ stellung die geometrisch/konstruktive Anordnung des gesamten Meßaufnehmers auf der Welle We. Es sind die beiden nebenein­ander auf der Welle We befestigten Klemmringe Kr zu erkennen. Auf dem in Figur 5 rechts angeordneten Klemmring Kr sind zwei rechteckförmige Gehäuse G1 und G2 befestigt, welche die in Figur 3 aufgezeigten Teile beinhalten. Die Befestigung des Übertragungsgliedes Ug auf dem linken Klemmring Kr und seine Anordung zwischen den beiden Gehäusen G1 und G2 ist in Figur 5 nicht zu erkennen. Es ist aber noch darauf hinzuweisen, daß die Kapillaren K in den Gehäusen G1 und G2 in axialer Richtung aus­gerichtet sind und nicht in Umfangsrichtung, wie es aus der vereinfachten gestreckten Darstellung gemäß Figur 3 hervor­geht. In Figur 5 ist ferner die äußerst kompakte und raum­sparende Ausbildung des gesamten Meßaufnehmers zu erkennen. Der axiale Meßabstand l ist hierbei geringer als der halbe Durch­messer D der Welle We.Figure 5 shows in a greatly simplified perspective Dar position the geometric / constructive arrangement of the entire sensor on the shaft We. The two clamping rings Kr fastened next to each other on the shaft We can be seen. On the clamping ring Kr arranged on the right in FIG. 5, two rectangular housings G1 and G2 are fastened, which contain the parts shown in FIG. The attachment of the transmission element Ug on the left clamping ring Kr and its arrangement between the two housings G1 and G2 cannot be seen in FIG. However, it should also be pointed out that the capillaries K in the housings G1 and G2 are oriented in the axial direction and not in the circumferential direction, as can be seen from the simplified, stretched illustration according to FIG. FIG. 5 also shows the extremely compact and space-saving design of the entire measuring sensor. The axial measuring distance l is less than half the diameter D of the shaft We.

Figur 6 zeigt eine insgesamt mit Bs bezeichnete Brückenschal­tung für die kapazitive Übertragung der dem jeweiligen Dreh­moment Dm (vergleiche Fig. 1 und 2) der strichpunktiert dar­gestellten Welle We proportionalen Widerstände W. Wie bereits anhand der Figur 3 aufgezeigt wurde, liegen die veränderlichen Widerstände W an einer Seite an Masse Ma an, während die andere Seite jeweils mit der inneren Elektrode E1 des zugeordneten Zylinderkondensators Zk verbunden ist. Die Masse Ma kann dabei berührungslos an die Welle We angelegt werden, da hierzu bei­spielsweise die kapazitive Kopplung zwischen Rotor und Stator einer entsprechenden Maschine völlig ausreicht.FIG. 6 shows a bridge circuit, designated overall by Bs, for the capacitive transmission of the resistances W. proportional to the respective torque Dm (compare FIGS. 1 and 2) of the wave We shown in broken lines. As has already been shown with reference to FIG. 3, the variable resistances W are applied one side to ground Ma, while the other side is connected to the inner electrode E1 of the associated cylindrical capacitor Zk. The mass Ma can be applied to the shaft We without contact, since the capacitive coupling between the rotor and the stator of a corresponding machine, for example, is completely sufficient for this.

Jeweils parallel zum Widerstand W ist in der dargestellten Schaltungsanordnung ein Kondensator C und eine Spule L ge­schaltet. Bei dem Kondensator C handelt es sich dabei um die Streukapazität des jeweiligen Zylinderkondensators Zk zur Welle We, während die tatsächlich vorhandenen Spulen L diese Streu­kapazitäten in Resonanz kompensieren.A capacitor C and a coil L are connected in each case in parallel with the resistor W in the circuit arrangement shown. The capacitor C is the stray capacitance of the respective cylindrical capacitor Zk to the wave We, while the coils L actually present compensate for this stray capacitance in resonance.

Die ortsfest zur Welle We angeordneten äußeren Elektroden E2 der Zylinderkondensatoren Zk sind einerseits über zugeordnete Brückenschaltungsergänzungswiderstände Bw an eine Versorgungs­spannung USp mit einer Frequenz von ca. 1 MHz angelegt und andererseits direkt mit dem Eingang eines Differenzverstärkers Dv verbunden. Dieser Differenzverstärker Dv bildet dann aus den Diagonalspannungen der Brückenschaltung Bs eine Ausgangsspannung UA, die dem von der Welle We übertragenen Drehmoment Dm pro­portional ist. Mit der beschriebenen Anordnung kann sowohl im ruhenden als auch im rotierenden Zustand das über die Welle We übertragene Drehmoment Dm und damit auch die mechanische Leistung mit einer Genauigkeit von ± 0,5 % in einem Temperatur­bereich von -35 C bis +60 C berührungslos gemessen werden.The outer electrodes E2 of the cylindrical capacitors Zk, which are arranged fixed to the shaft We, are assigned on the one hand via Bridge circuit supplementary resistors Bw are applied to a supply voltage U Sp with a frequency of approximately 1 MHz and, on the other hand, are connected directly to the input of a differential amplifier Dv. This differential amplifier Dv then forms from the diagonal voltages of the bridge circuit Bs an output voltage U A which is proportional to the torque Dm transmitted by the shaft We. With the arrangement described, the torque Dm transmitted via the shaft We and thus also the mechanical power can be measured in a temperature range from -35 C to +60 C in a temperature range from -35 C to +60 C without contact, both in the stationary and in the rotating state .

Die insbesondere aus Figur 3 hervorgehende Umsetzung von kleinsten Verschiebungen in proportionale Widerstandsänderun­gen durch das hydraulisch/elektrische Prinzip kann auch allge­mein bei der Messung mechanischer Dehnungen bzw. Spannungen eingesetzt werden und hier in manchen Fällen die konventionel­len Dehnungsmeßstreifen ersetzen. Ein Anwendungsbeispiel hierzu ist der Überlastschutz in rauher Umgebung. Je nach den Anforderungen kann dabei auch die für die Drehmomentenmessung aufgezeigte berührungslose Übertragung entfallen.The conversion of the smallest displacements into proportional changes in resistance due to the hydraulic / electrical principle, which can be seen particularly in FIG. 3, can also be used in general for the measurement of mechanical strains or stresses and in some cases replace the conventional strain gauges. An example of this is overload protection in a harsh environment. Depending on the requirements, the contactless transmission shown for the torque measurement can also be omitted.

Claims (19)

1. Meßaufnehmer für Längen-oder Abstandsänderungen insbesondere für berührungslose Messung von Drehmomenten an rotierenden Wellen, bei welchem die zu erfassende Längen-oder Abstands­änderung verstärkt und in eine elektrische Größe umgewandelt wird,
gekennzeichnet durch
folgende Merkmale:
- die zu erfassende Längen-oder Abstandsänderung (Δ x) ist auf einen Verdränger (V) überträgbar,
- vom Verdränger (V) verdrängte Flüssigkeit (F) ist in eine Kapillare (K) einleitbar,
- die elektrische Größe ist aus Längenänderungen (Δ y) der Flüssigkeitssäule in der Kapillare (K) ableitbar.1. Measuring sensor for changes in length or distance, in particular for contactless measurement of torques on rotating shafts, in which the change in length or distance to be detected is amplified and converted into an electrical variable,
marked by
following features:
the change in length or distance to be detected (Δ x) can be transferred to a displacer (V),
liquid (F) displaced by the displacer (V) can be introduced into a capillary (K),
- The electrical quantity can be derived from changes in length (Δ y) of the liquid column in the capillary (K). 2. Meßaufnehmer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Verdränger (V) durch eine Membrane gebildet ist.2. Sensor according to claim 1,
characterized,
that the displacer (V) is formed by a membrane. 3. Meßaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zu erfassende Längen-oder Abstandsänderung (Δ x) durch ein quer dazu ausgerichtetes Übertragungsglied (Ug) auf den Verdränger (V) übertragbar ist.3. Sensor according to claim 1 or 2,
characterized,
that the change in length or distance (Δ x) to be recorded can be transmitted to the displacer (V) by a transmission element (Ug) oriented transversely thereto. 4. Meßaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch
eine elektrisch leitende Flüssigkeit (F).4. Sensor according to one of the preceding claims,
marked by
an electrically conductive liquid (F). 5. Meßaufnehmer nach Anspruch 4,
gekennzeichnet durch
Quecksilber als elektrisch leitende Flüssigkeit.5. Sensor according to claim 4,
marked by
Mercury as an electrically conductive liquid. 6. Meßaufnehmer nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß Längenänderungen ( Δ y) der Flüssigkeitssäule in der Kapillare (K) in Änderungen eines ohm'schen Widerstandes (W) umsetzbar sind.6. Sensor according to claim 4 or 5,
characterized in that changes in length (Δ y) of the liquid column in the Capillary (K) can be converted into changes in an ohmic resistance (W). 7. Meßaufnehmer nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstand (W) in Abhängigkeit von Längenänderungen ( Δ y) der Flüssigkeitssäule in der Kapillare (K) durch die Flüssigkeitssäule bereichsweise kurzschließbar ist.7. Sensor according to claim 6,
characterized in that the resistance (W) can be short-circuited by the liquid column depending on changes in length (Δ y) of the liquid column in the capillary (K). 8. Meßaufnehmer nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kapillare (K) zumindest bereichsweise durch eine zwischen zwei aneinanderliegenden Platten (P1, P2) verlaufen­de Rille gebildet ist und daß der Widerstand (W) als metalli­sche Dünnfilmschicht auf eine der Platten (P1, P2) aufgebracht ist.8. Sensor according to claim 7,
characterized,
that the capillary (K) is at least partially formed by a groove running between two adjacent plates (P1, P2) and that the resistor (W) is applied as a metallic thin film layer to one of the plates (P1, P2). 9. Meßaufnehmer nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Rille auf die Innenseite einer Platte (P1) eingebracht ist und daß der Widerstand (W) auf die Innenseite der anderen Platte (P2) aufgebracht ist.9. Sensor according to claim 8,
characterized,
that the groove is made on the inside of one plate (P1) and that the resistor (W) is placed on the inside of the other plate (P2). 10. Meßaufnehmer nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Widerstand (W) zumindest bereichsweise einen die Kapillare (K) kreuzenden mäanderförmigen Verlauf aufweist.10. Sensor according to claim 8 or 9,
characterized,
that the resistance (W) has, at least in some areas, a meandering course crossing the capillary (K). 11. Meßaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zu erfassende Längen-oder Abstandsänderung ( Δ x) auf zwei gegenläufig arbeitende Verdränger (V) übertragbar ist,
denen jeweils eine Kapillare (K) zugeordnet ist.11. Sensor according to one of the preceding claims,
characterized,
that the change in length or distance (Δ x) to be recorded can be transferred to two oppositely working displacers (V),
which are each assigned a capillary (K). 12. Meßaufnehmer nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die aus Längenänderungen ( Δ y) der Flüssigkeitssäulen in den Kapillaren (K) ableitbaren elektrischen Größen mit einer Brückenschaltung (Bs) in elektrische Spannungsänderungen (UM) umsetzbar sind.12. Sensor according to claim 11,
characterized,
that the electrical quantities which can be derived from changes in length (Δ y) of the liquid columns in the capillaries (K) can be converted into electrical voltage changes (U M ) using a bridge circuit (Bs). 13. Meßaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche für berührungslose Messung von Drehmomenten an rotierenden Wellen, dadurch gekennzeichnet,
daß als zu erfassende Längen-oder Abstandsänderung ( Δ x) die in einem vorgebbaren axialen Meßabstand (1) der Welle (We) auftretende Torsion auf den Verdränger (V) übertragbar ist.13. Sensor according to one of the preceding claims for non-contact measurement of torques on rotating shafts, characterized in that
that the torsion occurring at a predeterminable axial measuring distance (1) of the shaft (We) can be transferred to the displacer (V) as the change in length or distance (Δ x). 14. Meßaufnehmer nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß der axiales Meßabstand (1) höchstens dem halben Durchmesser (D) der Welle (We) entspricht.14. Sensor according to claim 13,
characterized,
that the axial measuring distance (1) corresponds to at most half the diameter (D) of the shaft (We). 15. Meßaufnehmer nach Anspruch 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Abnahme der Torsion zwei in Umfangsrichtung linienförmig auf der Welle (We) aufliegende Klemmringe (Kr) vorgesehen sind.15. Sensor according to claim 13 or 14,
characterized,
that two clamping rings (Kr) resting linearly in the circumferential direction on the shaft (We) are provided for removing the torsion. 16. Meßaufnehmer nach den Ansprüche 3 und 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Übertragungsglied (Ug) in axialer Richtung auf dem einen Klemmring (Kr) befestigt ist und daß der zugeordnete Verdränger (V) mit Kapillare (K) auf dem anderen Klemmring (Kr) fest ange­ordnet ist.16. Sensor according to claims 3 and 15,
characterized,
that the transmission member (Ug) is fastened in the axial direction on one clamping ring (Kr) and that the associated displacer (V) with capillary (K) is fixedly arranged on the other clamping ring (Kr). 17. Meßaufnehmer nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kapillare (K) in axialer Richtung der Welle (We) aus­gerichtet ist.17. Sensor according to claim 16,
characterized,
that the capillary (K) is aligned in the axial direction of the shaft (We). 18. Meßaufnehmer nach einem der Ansprüche 13 bis 17,
gekennzeichnet durch eine kapazitive Übertragung der elektrischen Größe.18. Sensor according to one of claims 13 to 17,
characterized by a capacitive transmission of the electrical quantity. 19. Meßaufnehmer nach Anspruch 18, dadurch ge­kennzeichnet, daß zur kapazitiven Übertragung mindestens ein koaxial zur Welle (We) angeordneter Zylinder­kondensator (Zk) vorgesehen ist, dessen eine Elektrode (E1) mit der Welle (We) verbunden ist und dessen andere Elektrode (E2) in bezug auf die Welle (We) ortsfest angeordnet ist.19. Sensor according to claim 18, characterized in that for capacitive transmission at least one coaxial to the shaft (We) arranged cylindrical capacitor (Zk) is provided, one electrode (E1) of which is connected to the shaft (We) and the other electrode (E2 ) is arranged stationary with respect to the shaft (We).
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