EP0154866B1 - Laser-misalignment compensating device - Google Patents

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EP0154866B1
EP0154866B1 EP85101963A EP85101963A EP0154866B1 EP 0154866 B1 EP0154866 B1 EP 0154866B1 EP 85101963 A EP85101963 A EP 85101963A EP 85101963 A EP85101963 A EP 85101963A EP 0154866 B1 EP0154866 B1 EP 0154866B1
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EP
European Patent Office
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laser
machine
deflecting
mirror
deflecting element
Prior art date
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Expired
Application number
EP85101963A
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German (de)
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EP0154866A1 (en
Inventor
Gerhard Prof. Dr. Müller
Gerhard Dr. Hohberg
Peter Dr. Greve
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of EP0154866A1 publication Critical patent/EP0154866A1/en
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Publication of EP0154866B1 publication Critical patent/EP0154866B1/en
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
    • B23K26/043—Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration

Definitions

  • FIG. 1 A further exemplary embodiment of the invention is shown in FIG. This is also a processing laser 104 of high power, which is placed in a separate housing 102 on its own vibration dampers, not shown, next to the measuring or processing machine 101, in whose guide system the laser beam is to be coupled.

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  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Description

Zur Führung von Laserstrahlen verwendet man entweder Lichtleiter in Form von flexiblen Glasfasern oder Übertragungssysteme, die ablenkende Optik, in der Regel Spiegel enthalten. Insbesondere für die Materialbearbeitung mittels Hochleistungs-COz-Lasern werden ausschließlich Übertragungssysteme des letztgenannten Typs verwendet, da bisher keine Faserkabel bekannt sind, die im Wellenlängenbereich eines CO2-Lasers ausreichend verlustarm übertragen.Either light guides in the form of flexible glass fibers or transmission systems which contain deflecting optics, as a rule mirrors, are used to guide laser beams. In particular for material processing using high-performance CO z lasers, only transmission systems of the latter type are used, since no fiber cables are known to date that transmit in the wavelength range of a CO 2 laser with low losses.

Die überwiegende Mehrzahl der bekannten Laserbearbeitungsmaschinen ist dazu eingerichtet ebene Werkstücke, wie z. B. Bleche, zu schneiden oder zu verschweißen. Bei diesen Maschinen ist der Laser mit seinen Systemen zur Strahlführung und Fokussierung ortsfest aufgestellt und das Werkstück wird in zwei Richtungen horizontal entsprechend der gewünschten Kontur unter dem den Laserstrahl fokussierenden Schneidkopf bewegt. Eine derartige Maschine ist z. B. in der US-PS 440 31 34 beschrieben.The vast majority of known laser processing machines are designed for flat workpieces, such as. B. sheets to cut or weld. In these machines, the laser with its beam guidance and focusing systems is installed in a fixed position and the workpiece is moved horizontally in two directions according to the desired contour under the cutting head that focuses the laser beam. Such a machine is e.g. B. described in US-PS 440 31 34.

Daneben sind jedoch z. B. aus der DE-OS 32 26 448 auch Geräte zur Laserbearbeitung auf der Basis herkömmlicher Werkzeugmaschinen bekannt, bei denen der Schneidkopf selbst in mehreren Koordinaten verfahrbar ist. Hier ist der Lasergenerator neben der eigentlichen Bearbeitungsmaschine aufgestellt und sein Strahl wird über mit den beweglichen Maschinenteilen gekoppelte Spiegel längs der Achsen' der Bearbeitungsmaschine geführt.However, z. B. from DE-OS 32 26 448 also known devices for laser processing on the basis of conventional machine tools, in which the cutting head itself can be moved in several coordinates. Here the laser generator is set up next to the actual processing machine and its beam is guided along the axes of the processing machine via mirrors coupled to the moving machine parts.

Wird der Lasergenerator separat neben der eigentlichen Bearbeitungsmaschine aufgestellt, dann treten Probleme bezüglich seiner exakten Einkopplung in das Strahlführungssystem der Maschine auf. Denn Relativbewegungen zwischen Generator und Maschine beispielsweise infolge von Schwingungen im Fundament oder Temperaturänderungen etc. können ein Auswandern des Laserstrahls verursachen. Da sich dabei die Lage des Fokus ändert, treten Bearbeitungsfehler auf. Bei größeren Abweichungen könnte sogar der Fall eintreten, das der Laser auf die Fassungen seiner Fokussieroptik auftrifft, was bei Hochleistunglaserns mit einer Leistung von mehreren Kilowatt unweigerlich zu deren Zerstörung führt.If the laser generator is installed separately next to the actual processing machine, then problems arise with regard to its exact coupling into the beam guidance system of the machine. This is because relative movements between the generator and the machine, for example as a result of vibrations in the foundation or changes in temperature etc., can cause the laser beam to migrate. Since the position of the focus changes, processing errors occur. Larger deviations could even result in the laser striking the frames of its focusing optics, which inevitably leads to their destruction in the case of high-power lasers with an output of several kilowatts.

Zwar ist es bei Lasersystemen zum Auslesen von Informationsspeicherplatten bekannt, Regeleinrichtungen vorzusehen, die den Fokus des Laserstrahls radial einer vorgegebenen Spur nachführen (DE-PS 26 30 381). Die Regeleinrichtungen für diese, mit sehr geringer Leistung arbeitenden Lasersysteme werten jedoch die Ablage des Fokus von der sichtbar vorgezeichneten Datenspur aus. Für Laserbearbeitungssysteme sind auf dieser Basis arbeitende Regeleinrichtungen nicht brauchbar. Dort begnügt man sich damit, Abweichungen der Fokusposition durch eine Rekalibrierung zwischen den Bearbeitungsvorgängen zu korrigieren, wie dies in der DE-OS 31 34 556 beschrieben ist.In laser systems for reading out information storage disks, it is known to provide control devices which radially track the focus of the laser beam on a predetermined track (DE-PS 26 30 381). However, the control devices for these laser systems, which operate at very low power, evaluate the storage of the focus from the visibly marked data track. Control devices operating on this basis cannot be used for laser processing systems. There, it is sufficient to correct deviations in the focus position by recalibration between the machining processes, as described in DE-OS 31 34 556.

Aus der JP-A-57-154389 ist eine Einrichtung zur Kompensation der Auswanderung eines über eine ablenkende Optik in einer Bearbeitungsmaschine geführten Laserstrahles bekannt, die steuerbare Ablenkelemente in Form je eines Spiegels für jede Koordinate (X, Y) besitzt, wobei der auftretende Strahlversatz durch eine Verschiebung des jeweiligen Spiegels und die auftretenden Winkelfehler des Strahles durch ein Verschwenken des gleichen Spiegels kompensiert werden. Die den Spiegeln zugeordneten beiden Detektoren für Strahlversatz und Winkelfehler sind zu einer gemeinsamen Einheit zusammengefaßt und werden von einem in Lichtrichtung gesehen hinter dem letzten Ablenkspiegel ange- .ordneten Strahlteiler beaufschlagt.From JP-A-57-154389 a device for compensating for the emigration of a laser beam guided through a deflecting optic in a processing machine is known, which has controllable deflecting elements in the form of a mirror for each coordinate (X, Y), the beam offset occurring can be compensated for by a displacement of the respective mirror and the angle errors of the beam that occur by pivoting the same mirror. The two detectors for beam offset and angular error assigned to the mirrors are combined into a common unit and are acted upon by a beam splitter arranged behind the last deflecting mirror, viewed in the direction of light.

Die bekannte Einrichtung ist insofern nachteilig, als mit einer translatorischen Verschiebung sich Versatz nur in geringem Ausmaß ausreichend schnell kompensieren läßt. In der bekannten Einrichtung erzeugt jede Winkelveränderung einen der Entfernung zwischen den Stellspiegeln und den Detektoren proportionalen Versatz, so daß die für die Kompensation vorgesehene Linearbewegung die Zeitkonstante des Regelkreises bestimmt.The known device is disadvantageous in that offset can only be compensated sufficiently quickly to a small extent with a translational displacement. In the known device, each change in angle produces an offset proportional to the distance between the control mirrors and the detectors, so that the linear movement provided for the compensation determines the time constant of the control loop.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Einrichtung zur Kompensation der Auswanderung eines von einem feststehenden Laserge-nerator ausgehenden, über eine ablenkende Optik zu einer Bearbeitungs- oder Meßmaschine übertragenen Laserstrahles zu schaffen, wobei die Nachteilen der Stand der Technik vermieden werden.It is the object of the present invention to provide means for compensating for the migration to create a g from a stationary laser e-erator outgoing via a deflecting optical system to a processing or measuring machine transmitted laser beam, wherein the disadvantages of the prior are avoided art.

Ausgehend von einer Einrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 wird diese Aufgabe durch die im Kennzeichen des Anspruches angegebenen Maßnahmen gelöst.Starting from a device according to the preamble of claim 1, this object is achieved by the measures specified in the characterizing part of the claim.

Die Erfindung macht von der Erkenntnis Gebrauch, daß sich eine ausreichend genaue Strahlführung über die mit z. B. einer Bearbeitungsmaschine fest verbundenen Spiegetelemente in der Regel dann ohne weiteres sicherstellen läßt, wenn der Laserstrahl sowohl in Bezug auf Versatz als auch in Bezug auf Winkelabweichungen stets in gleicher Lage in das Strahlführungssystem der Maschine eingekoppelt wird. Dies wird durch mindestens zwei vor dem Eingang der Strahlführungssystems angeordnete, steuerbare Ablenkelemente in Form von Schwenkspiegein sichergestellt, von denen das zur Kompensation von radialem Strahlversatz und das zweite zur Kompensation von Winkelfehlern, auch zusätzlich vom ersten Strahlablenker dabei eingeführter Winkelfehler, dient. Aufgrund des relativ großen Abstandes zwischen dem Stellspiegel 6 und dem Einkoppelpunkt in die Maschine kann die räumliche Lage des Laserstrahles in X- und Y-Richtung, d. h. der Versatz durch ein Verschwenken des ersten Stellspiegels bereits um kleine Winkel korrigiert werden. Dabei sind nur geringe Massen zu bewegen, so daß die Kompensation sehr schnell erfolgen kann.The invention makes use of the knowledge that a sufficiently precise beam guidance over the z. B. a processing machine firmly connected Spiegetelemente can usually ensure if the laser beam is always coupled in the same position in the beam guidance system of the machine both in terms of offset and in relation to angular deviations. This is ensured by at least two controllable deflecting elements in the form of swivel mirrors arranged in front of the entrance of the beam guidance system, of which the one serves to compensate for radial beam misalignment and the second serves to compensate for angle errors, also additionally introduced by the first beam deflector. Due to the relatively large distance between the positioning mirror 6 and the coupling point into the machine, the spatial position of the laser beam in the X and Y directions, i. H. the offset can already be corrected by small angles by pivoting the first adjusting mirror. Only small masses have to be moved, so that the compensation can take place very quickly.

Es ist vorteilhaft die beiden Lagefehler bereits vor der Regelsignalgewinnung zu separieren, um Regelschwingungen aufgrund der Konkurrenz nichtentkoppelter Kreise zu vermeiden. Erreicht wird dies durch die Vorschaltung eines Kollimators vor den zweiten positionsempfindlichen Detektor, denn in der Kollimatoranordnung wird die Lage des Fokus nur von Winkelfehlern beeinflußt. nicht jedoch von Versatz.It is advantageous to separate the two position errors before the control signal is obtained in order to avoid control oscillations due to the competition of non-decoupled circuits. This is achieved by connecting a collimator in front of the second position-sensitive detector, because in the collimator arrangement the position of the focus is only influenced by angular errors. but not by misalignment.

Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Regeleinrichtung werden die Anforderungen an das exakte Einhalten der gegenseitigen Justierung zwischen einem separat aufgestellten Laser und der damit versorgten Bearbeitungsmaschine verringert, so daß der Aufwand zur mechanischen und thermischen Stabilisierung herabgesetzt werden kann. Das ist insbesondere dann von Vorteil, wenn mehrere Maschinen von einem Lasergenerator aus versorgt werden sollen.When using the control device according to the invention, the requirements for exact compliance with the mutual adjustment between a separately installed laser and the processing machine supplied with it are reduced, so that the effort for mechanical and thermal stabilization can be reduced. This is particularly advantageous if several machines are to be supplied from one laser generator.

Da es problematisch ist die Auskoppelelemente direkt in den Strahl eines Arbeitslasers mit hoher Leistung einzufügen, ist es zweckmäßig, parallel aber nicht koaxial mit dem Strahl des Arbeitslasers einen Hilfslaserstrahl zu führen, in dem die Auskoppelelemente angeordnet sind. Bei diesem Hilfslaser kann es sich beispielsweise um den ohnehin zur Markierung des unsichtbaren Fokus des Arbeitslasers dienenden Pilotlaser handeln.Since it is problematic to insert the outcoupling elements directly into the beam of a high-power working laser, it is expedient to guide an auxiliary laser beam in which the outcoupling elements are arranged in parallel but not coaxially with the beam of the working laser. This auxiliary laser can be, for example, the pilot laser which is used anyway to mark the invisible focus of the working laser.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung finden sich in den Unteransprüchen und werden nachstehend anhand der Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung näher erläutert.

  • Figur 1 ist eine Prinzipskizze des Strahlenganges eines in eine Bearbeitungs- oder Meßniaschine eingekoppelten Lasers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel ;
  • Figur 2 ist eine ergänzende perspektivische Darstellung des Strahlverlaufs im Schneidkopf der Maschine aus Fig. 1 ;
  • Figur 3 ist eine Prinzipskizze des Strahlenganges eines in eine Bearbeitungs- oder Meßmaschine eingekoppelten Lasers gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung ;
  • Figur 4 ist eine detailliertere Skizze der positionsempfindlichen Detektoren aus Fig. 1 bzw. Fig. 3 ;
  • Figur 5 ist eine detailliertere Skizze der Stellspiegel aus Fig. 1 bzw. Fig. 3.
Further advantageous refinements of the invention can be found in the subclaims and are explained in more detail below on the basis of the description of an embodiment of the invention.
  • Figure 1 is a schematic diagram of the beam path of a laser coupled into a processing or measuring machine according to a first embodiment;
  • FIG. 2 is a supplementary perspective illustration of the beam path in the cutting head of the machine from FIG. 1;
  • Figure 3 is a schematic diagram of the beam path of a laser coupled into a processing or measuring machine according to a second embodiment of the invention;
  • Figure 4 is a more detailed sketch of the position sensitive detectors of Figures 1 and 3, respectively;
  • FIG. 5 is a more detailed sketch of the positioning mirrors from FIGS. 1 and 3.

In der Prinzipskizze nach Fig. 1 umfaßt der mit 1 bezeichnete, gestrichelt dargestellte Bereich ein an eine Bearbeitungs- bzw. Meßmaschine angebautes Strahlführungssystem. Mit 2 ist das Gehäuse eines getrennt von der Maschine 1 aufgestellten Hochleistungs C02-Lasers 4 bezeichnet. Ein Schutzrohr 3 verbindet das Gehäuse 2 und die Maschine 1 an der Stelle, an der der Laserstrahl in die Maschine 1 eingekoppelt wird.In the schematic diagram according to FIG. 1, the area denoted by 1, shown in broken lines, comprises a beam guidance system attached to a processing or measuring machine. The housing 2 of a high-power CO 2 laser 4 set up separately from the machine 1 is designated. A protective tube 3 connects the housing 2 and the machine 1 at the point at which the laser beam is coupled into the machine 1.

Im Bereich des Gehäuses 2 für den Laser 4 ist dessen Strahl über einen Umlenkspiegel 5 sowie über einen am Ausgang des Gehäuses 1 angeordneten Strahlablenker in Form eines Stellspiegels 6 geführt, dessen Ablenkwinkel durch ein piezoelektrisches Biegeelement 9, das die Spiegel fläche 7 mit seiner Halterung 8 verbindet, in einem kleinen Winkelbereich verstellt werden kann. Wie Figur 5 zeigt, besteht das piezoelektrische Biegeiement 9 aus vier einzeln ansteuerbaren Piezoelementen. Bei gegenläufiger Ansteuerung einander gegenüberliegender Elemente bzw. Elementenpaare verkrümmt sich das Biegelement ähnlich wie ein Bimetallstreifen und der Spiegel 7 wird mit seiner Flächennormalen bezüglich des auffallenden Strahls um einen kleinen Winkel verstellt, dessen Betrag und Richtung von der Spannung an den Piezoelementen abhängen.In the area of the housing 2 for the laser 4, its beam is guided via a deflecting mirror 5 and via a beam deflector arranged at the output of the housing 1 in the form of an adjusting mirror 6, the deflection angle of which is caused by a piezoelectric bending element 9 which surface 7 with its holder 8 connects, can be adjusted in a small angular range. As FIG. 5 shows, the piezoelectric bending element 9 consists of four individually controllable piezo elements. When opposite elements or pairs of elements are actuated in opposite directions, the bending element bends like a bimetallic strip and the surface 7 of the mirror 7 is adjusted with respect to the incident beam by a small angle, the amount and direction of which depend on the voltage at the piezo elements.

Der Spiegel 7 reflektiert den Laserstrahl durch das Schutzrohr 3 hindurch auf einen zweiten Stellspiegel 12, der am Eingang des Strahlführungssystems der Meß- bzw. Bearbeitungsmaschine 1 angeordnet ist und den gleichen Aufbau besitzt wie der Stellspiegel 6.The mirror 7 reflects the laser beam through the protective tube 3 onto a second adjusting mirror 12, which is arranged at the entrance of the beam guidance system of the measuring or processing machine 1 and has the same structure as the adjusting mirror 6.

Das Strahlführungssystem innerhalb der Maschine 1 besteht im wesentlichen aus den einzelnen Verschiebeachsen der Maschine zugeordneten Planspiegeln 16 und 17, die wie die Pfeile andeuten, auf den beweglichen Maschinenteilen befestigt sind. Mit 18 ist ein weiterer Spiegel bezeichnet, über den der Strahl in vertikaler Richtung auf den in Fig. 2 dargestellten. höhenverstellbaren Laserbearbeitungskopf gelenkt wird.The beam guidance system within the machine 1 essentially consists of the plane mirrors 16 and 17 assigned to the individual displacement axes of the machine, which, as indicated by the arrows, are fastened to the movable machine parts. With 18 another mirror is designated, through which the beam in the vertical direction to that shown in Fig. 2. height-adjustable laser processing head is steered.

Dieser Bearbeitungskopf 25 enthält zwei Planspiegel 21 und 22 sowie einen Paraboloidspiegel 23, durch den der Strahl auf das zu bearbeitende Werkstück 24 fokussiert wird. Die Spiegel 21, 22 und 23 sind mit der auf sie folgenden Optik jeweils um die Achse des auf sie auffallenden Strahls drehbar. Durch Drehung der Spiegel 22 und 23 läßt sich der Winkel, unter dem der Laserstrahl auf das Werkstück 24 auftrifft, frei einstellen. Durch eine Drehung des gesamten Kopfes 25 kann außerdem die Richtung der Polarisation des Laserstrahls eingestellt werden. Diese sollte mit der Schneidrichtung übereinstimmen, damit optimale Arbeitsergebnisse erzielt werden.This machining head 25 contains two plane mirrors 21 and 22 and a paraboloid mirror 23, through which the beam is focused on the workpiece 24 to be machined. The mirrors 21, 22 and 23 can each be rotated with the optics following them around the axis of the beam striking them. The angle at which the laser beam strikes the workpiece 24 can be freely adjusted by rotating the mirrors 22 and 23. The direction of polarization of the laser beam can also be adjusted by rotating the entire head 25. This should match the cutting direction so that optimal work results are achieved.

Wie einleitend bereits gesagt kann der Laserfokus infolge von Schwingungen in den Fundamenten oder thermischer Bewegung zwischen dem separat aufgestellten Lasergenerator 2 und der Maschine 1 aus seiner eingestellten Lage auswandern. Um dies zu verhindern ist am Eingang des Strahlführungssystems der Maschine 1 ein Strahlteiler 10 angeordnet, der einen geringen Bruchteil der Laserstrahlung auf einen positionsempfindlichen, photoelektrischen Detektor 11 ausspiegelt. Bei dem Detektor 11 handelt es sich um einen sogenannten Quadrantendetektor, wie er in Fig. 4 dargestellt ist. Danach ist die photoempfindliche Fläche des Detektors 4 in einzelne Quadranten aufgeteilt, die nur dann das gleiche Signal abgeben, wenn der ausgespiegelte Teilstrahl genau zentrisch auftrifft.As already mentioned in the introduction, the laser focus can move out of its set position as a result of vibrations in the foundations or thermal movement between the separately installed laser generator 2 and the machine 1. In order to prevent this, a beam splitter 10 is arranged at the entrance of the beam guidance system of the machine 1, which beam reflects a small fraction of the laser radiation onto a position-sensitive, photoelectric detector 11. The detector 11 is a so-called quadrant detector, as shown in FIG. 4. Thereafter, the photosensitive surface of the detector 4 is divided into individual quadrants which only emit the same signal when the reflected partial beam hits the center exactly.

Die Ausgänge des Detektors 11 sind mit einer elektrischen Schaltung 19 verbunden, in der z. B. durch zwei Operationsverstärker 20a und 20b die Differenz der Signale diagonal gegenüberliegender Quadranten verstärkt wird. Mit Hilfe des daraus gewonnenen Regelsignals wird der Stellspiegel 6 verschwenkt. Aufgrund des relativ großen räumlichen Abstandes zwischen dem Stellspiegel 6 und dem Einkoppelpunkt in die Maschine 1, in dessen Nähe der Detektor 11 angeordnet ist, kann durch ein Verschwenken des Spiegels 6 bereits um kleine Winkel die räumliche Lage des Laserstrahls in x- und y-Richtung gut korrigiert werden. Der so gebildete Regelkreis stellt also sicher, daß der Strahl des Lasers 4 immer in gleicher Position in die Maschine eingekoppelt wird, unabhängig von Versatz zwischen dem Generatorgehäuse 2 und der Maschine 1.The outputs of the detector 11 are connected to an electrical circuit 19 in which, for. B. by two operational amplifiers 20a and 20b, the difference in the signals of diagonally opposite quadrants is amplified. The control mirror 6 is pivoted with the aid of the control signal obtained therefrom. Because of the relatively large ß spatial distance between the control mirror 6 and the coupling point into the machine 1, in the vicinity of which the detector 11 is arranged, the spatial position of the laser beam in the x and y directions can be corrected well by pivoting the mirror 6 by small angles . The control loop thus formed ensures that the beam of the laser 4 is always coupled into the machine in the same position, regardless of the offset between the generator housing 2 and the machine 1.

Neben der beschriebenen Korrektur von Strahlversatz ist es außerdem nötig, die Winkellage, unter dem der Strahl in die Maschine 1 eingekoppelt wird, konstant zu halten. Denn Fluktuationen der Winkellage wirkt sich ebenfalls auf die Position des Fokus aus und zwar umso stärker, je länger der anschließende optische Weg zwischen dem Einkoppelpunkt und dem Fokus ist.In addition to the described correction of beam offset, it is also necessary to keep the angular position at which the beam is coupled into the machine 1 constant. Because fluctuations in the angular position also affect the position of the focus, and the stronger the longer the subsequent optical path between the coupling point and the focus.

Zur Korrektur der Winkellage dient der zweite Stellspiegel 12 in Verbindung mit einem zweiten photoeleketrischen Detektor 15, der von einem in Strahlrichtung gesehen hinter dem Stellspiegl 12 angeordneten Strahlteiler 13 mit einem geringen Bruchteil der Laserstrahlung beaufschlagt wird. Der Detektor 15 besitzt den gleichen Aufbau wie der Detektor 11 und ist ebenso mit seinen Ausgängen an die Steuerelektronik 19 angeschlossen, in der - durch zwei weitere Operationsverstärker 20c und 20d vereinfacht dargestellt - das Regelsignal für die winkelmäßige Nachstellung des Laserstrahls in 0 und ϕ durch den Stellspiegel 12 erzeugt wird.The second positioning mirror 12 is used to correct the angular position in conjunction with a second photoelectrical detector 15 which is exposed to a small fraction of the laser radiation from a beam splitter 13 arranged behind the positioning mirror 12 in the beam direction. The detector 15 has the same structure as the detector 11 and is also connected with its outputs to the control electronics 19, in which - shown in simplified form by two further operational amplifiers 20c and 20d - the control signal for the angular adjustment of the laser beam in 0 and ϕ by the Adjusting mirror 12 is generated.

Zwischen dem Strahlteiler 13 und dem Quadrantendetektor 15 ist ein Kollimator 14 angeordnet. -Die Kollimatoranordnung stellt sicher, daß der Detektor 15 allein auf Winkeländerungen des Laserstrahls anspricht, da die vom Detektor 15 nachgewiesene Position des Fokus in der Kollimatoranordnung gegenüber Versatz des Strahls in x bzw. y invariant ist.A collimator 14 is arranged between the beam splitter 13 and the quadrant detector 15. The collimator arrangement ensures that the detector 15 responds only to changes in the angle of the laser beam, since the position of the focus in the collimator arrangement which is proven by the detector 15 is invariant with respect to the displacement of the beam in x or y.

Durch diese Maßnahme sind die beiden Regelkreise 10-11-20ab-6 und 13-14-15-20cd-12 voneinander entkoppelt, so daß Regelschwingungen aufgrund der Konkurrenz beider Kreise von vornherein vermieden sind.As a result of this measure, the two control loops 10-11-20ab-6 and 13-14-15-20cd-12 are decoupled from one another, so that control vibrations due to the competition between the two circuits are avoided from the outset.

In Figur 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Auch hier handelt es sich um einen Bearbeitslaser 104 hoher Leistung, der in einem separaten Gehäuse 102 auf nichtdargestellten, eigenen Schwingungsdämpfern neben der Meß- oder Bearbeitungsmaschine 101 aufgestellt ist, in deren Führungssystem der Laserstrahl eingekoppelt werden soll.A further exemplary embodiment of the invention is shown in FIG. This is also a processing laser 104 of high power, which is placed in a separate housing 102 on its own vibration dampers, not shown, next to the measuring or processing machine 101, in whose guide system the laser beam is to be coupled.

Zwei steuerbare Stellspiegel 106 und 112 dienen dazu Versatz und Winkeländerungen des darüber geführten Strahls des Arbeitslasers 104 zu korrigieren. Zur Kontrolle von. Position und Winkellage wird jedoch nicht, wie im Ausführungsbeispiel nach Figur 1, ein Teil der Strahlung des Arbeitslasers über Strahlteiler ausgespiegelt und detektiert. Vielmehr wird ein zusätzlicher, ebenfalls im Gehäuse 102 angeordneter Pilotlaser 116 eingesetzt, dessen Strahl parallel versetzt zum Strahl des Arbeitslasers 104 ebenfalls über die Abtenkspiegel 106 und 112 geführt wird.Two controllable adjusting mirrors 106 and 112 serve to correct the offset and changes in angle of the beam of the working laser 104 guided over it. To control. However, as in the exemplary embodiment according to FIG. 1, the position and angular position are not reflected and detected in part of the radiation from the working laser via beam splitters. Rather, an additional pilot laser 116, also arranged in the housing 102, is used, the beam of which is guided parallel to the beam of the working laser 104 and likewise guided over the deflecting mirrors 106 and 112.

Ein vor dem Stellspiegel 112 am Eingang des optischen Führungssystems der Maschine 101 angeordneter Strahlteiler 110 spiegelt einen Teil der Strahlung des Pilotlasers 116 auf einen Quadrantendetektor 111 zur Gewinnung des Regelsignals zur Korrektur von Strahlversatz. Der verbleibende Teil der Pilotstrahlung fällt nach Umlenkung durch den Stellspiegel 112 auf einen festen Spiegel 113, hinter dem ein Kollimator 14 und darauffolgend der zweite Quadrantendetektor 115 zum Nachweis von Winkelfehlern angeordnet ist.A beam splitter 110 arranged in front of the adjusting mirror 112 at the input of the optical guidance system of the machine 101 reflects part of the radiation from the pilot laser 116 onto a quadrant detector 111 for obtaining the control signal for correcting beam offset. The remaining part of the pilot radiation falls after deflection by the adjusting mirror 112 onto a fixed mirror 113, behind which a collimator 14 and subsequently the second quadrant detector 115 are arranged for the detection of angular errors.

Beide Detektoren 111 und 115 sind an die elektronische Regeleinheit 119 angeschlossen, in der ihre Signale zur Erzeugung der Regelspannung für die Positionierung der Stellspiegel verarbeitet werden. Nicht dargestellt ist das anhand von Figur 1 und 2 bereits erläuterte Führungssystem für den weiteren Verlauf des Strahl des Arbeitslasers 104 in der Maschine 101.Both detectors 111 and 115 are connected to the electronic control unit 119, in which their signals for generating the control voltage for the positioning of the positioning mirrors are processed. The guide system for the further course of the beam of the working laser 104 in the machine 101, which has already been explained with reference to FIGS. 1 and 2, is not shown.

Durch die Verwendung des Pilotlasers 116 zur Gewinnung des Regelsignals wird der Strahl des Arbeitslasers 104 von transmittierender Optik freigehalten. Das ist insbesondere bei Infrarotlasern hoher Leistungsdichte wichtig, da Strahlteiler mit ausreichend guter Transparenz in dem Wellenlängenbereich z. B. eines CO2-Lasers schwer zu realisieren sind.By using the pilot laser 116 to obtain the control signal, the beam of the working laser 104 is kept free from transmitting optics. This is particularly important with infrared lasers of high power density, since beam splitters with sufficiently good transparency in the wavelength range, e.g. B. a CO 2 laser are difficult to implement.

In beiden Ausführungsbeispielen nach Figur 1 und Figur 3 wurde der Versatz des Arbeitslasers durch eine winkelmäßige Nachstellung über einen in der Nähe des Lasers angeordneten Stellspiegel kompensiert. Der dabei eingeführte Winkelfehler wurde zusammen mit anderen, zufälligen Winkelfehlern von einem zweiten, am Eingang der Meß- oder Bearbeitungsmaschine angeordneten Spiegel korrigiert. Ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen ist es jedoch auch möglich, statt der rotatorisch arbeitenden Stellspiegel 6 bzw. 106 translatorisch arbeitende Ablenkelemente einzusetzen, um den Strahlversatz zu korrigieren.In both exemplary embodiments according to FIG. 1 and FIG. 3, the offset of the working laser was compensated for by an angular adjustment using a positioning mirror arranged in the vicinity of the laser. The angle error introduced in the process was corrected together with other random angle errors by a second mirror arranged at the input of the measuring or processing machine. Without departing from the scope of the invention, however, it is also possible to use translatory deflection elements instead of the rotating adjusting mirrors 6 or 106 in order to correct the beam offset.

Claims (4)

1. Arrangement for compensating for the excursion of a laser beam, which emanates from a fixed laser generator (4, 104) and is guided to a working- or measuring machine (1, 101) via deflecting optics, comprising at least two deflecting elements (6, 12, 106, 112) for controlling offset and angular position of the guided beam which cooperate with positionsensitive detectors (11, 15, 111, 115) receiving partial beams diverted downstream of the controllable deflecting elements, characterized in that a first controllable deflecting element (6, 106) constructed as a pivotable mirror is arranged within the limits of the housing of the fixed laser and compensates the occuring offset of the Laser beam by changing its angular position, in that a second controllable deflecting element (12,112) which is also constructed as a pivotable mirror is arranged at the entrance of the optical beam guidance system of the machine (1, 101) and controls the angular position of the laser beam, and in that the beam splitter (10, 110) diverting the partial beam guided to the detector (11, 111) which is associated to the first deflecting element is arranged in front of the second deflecting element (12, 1.12) at the entrance of the machine (1, 101).
2. Arrangement according to claim 1, characterized in that a collimator (4,114) is arranged in front of the positionsensitive detector (5,115) which is associated to the second deflecting element (2, 112) as seen in light direction.
3. Arrangement according to claims 1- 2, characterized in that the diverting of the partial beams is effected by beam splitters (110. 113) which are arranged within the ray path of an auxiliary laser (116).
4. Arrangement according to claim 3, characterized in that the beam of the auxiliary laser (116) is disposed in spaced parallel relationship to the beam of the working laser (104).
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