EA201400421A1 - Система охлаждения магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа - Google Patents

Система охлаждения магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа

Info

Publication number
EA201400421A1
EA201400421A1 EA201400421A EA201400421A EA201400421A1 EA 201400421 A1 EA201400421 A1 EA 201400421A1 EA 201400421 A EA201400421 A EA 201400421A EA 201400421 A EA201400421 A EA 201400421A EA 201400421 A1 EA201400421 A1 EA 201400421A1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
target
control system
belt
magnetron
fixed support
Prior art date
Application number
EA201400421A
Other languages
English (en)
Other versions
EA028887B1 (ru
Inventor
Виталий Владимирович Михалкович
Александр Алексеевич Ясюнас
Original Assignee
Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак" filed Critical Общество С Ограниченной Ответственностью "Изовак"
Priority to EA201400421A priority Critical patent/EA028887B1/ru
Publication of EA201400421A1 publication Critical patent/EA201400421A1/ru
Publication of EA028887B1 publication Critical patent/EA028887B1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к плазменной технике и предназначено для вакуумного ионно-плазменного нанесения тонких пленок металлов, полупроводников, диэлектриков и их соединений на поверхность твердых тел. Технический результат - повышение производительности магнетронной распылительной системы цилиндрического типа процесса, обеспечение полного удаления охлаждающего хладагента и упрощение конструкции магнетрона. Система содержит узел крепления 1 к вакуумной камере, в корпусе которого выполнены каналы подвода 2 и отвода 3 охлаждающей жидкости и сжатого воздуха, мотор 4, ременной привод вращения 15 распылительного блока 7, цилиндрическую мишень 5, систему управления приводом вращения 6 с датчиком наличия ремня 17, неподвижную опорную трубу 8 с магнитной системой, передний 10 и задний фланец 11 присоединения мишени с уплотнительными средствами 12. Задний фланец 11 содержит радиальное отверстие 13, соединенное с неподвижной опорной трубой 8. Передний фланец 10 присоединения мишени 5 дополнительно содержит радиальные отверстия 14, при этом радиальные отверстия переднего 10 и заднего фланцев 11 присоединения мишени выполнены сквозными в направлении от образующей фланцев к их центральной оси и соединены с каналами подвода 2 и отвода 3 охлаждающей жидкости. Система управления с приводом вращения 6 включает систему контроля 16 скорости вращения и фиксации распылительного блока 7 с цилиндрической мишенью 5 в любом наперед заданном положении. Датчик наличия ремня 17 системы контроля 16 содержит кинематически связанную с ним контрольную звезду 19 с ведомой шестерней 18 привода вращения распылительного блока 7, а один из зубьев 20 контрольной звезды 19 выполнен по ширине
EA201400421A 2014-02-28 2014-02-28 Система охлаждения мишени магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа EA028887B1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201400421A EA028887B1 (ru) 2014-02-28 2014-02-28 Система охлаждения мишени магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EA201400421A EA028887B1 (ru) 2014-02-28 2014-02-28 Система охлаждения мишени магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201400421A1 true EA201400421A1 (ru) 2015-08-31
EA028887B1 EA028887B1 (ru) 2018-01-31

Family

ID=53969024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201400421A EA028887B1 (ru) 2014-02-28 2014-02-28 Система охлаждения мишени магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа

Country Status (1)

Country Link
EA (1) EA028887B1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU198710U1 (ru) * 2020-02-10 2020-07-23 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Дагестанский федеральный исследовательский центр Российской академии наук" Распылительный магнетрон

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5200049A (en) * 1990-08-10 1993-04-06 Viratec Thin Films, Inc. Cantilever mount for rotating cylindrical magnetrons
RU2220226C1 (ru) * 2002-04-12 2003-12-27 Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете Магнетронная распылительная система
RU2362838C2 (ru) * 2007-10-09 2009-07-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) (СПбГЭТУ) Устройство для нанесения нанокластерного покрытия
RU71315U1 (ru) * 2007-10-31 2008-03-10 Общество с ограниченной ответственностью "ТехноМастер" Цепной редуктор
US8182662B2 (en) * 2009-03-27 2012-05-22 Sputtering Components, Inc. Rotary cathode for magnetron sputtering apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
EA028887B1 (ru) 2018-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2017000398A (es) Aparato para distribuir aire a traves de montajes de ejes motorizados.
MX2016015976A (es) Bomba de liquido accionada por motor electrico.
WO2015018878A3 (en) Centrifuge and method for centrifuging a reaction vessel unit
WO2017120449A3 (en) Heart pump
EP3653060A3 (en) Chocolate processing system and method
MX2019002569A (es) Sistema para inflado de neumáticos.
WO2006044001A1 (en) Method for magnetron sputter deposition
GB201021910D0 (en) A fan
EA201400421A1 (ru) Система охлаждения магнетронно-распылительного устройства цилиндрического типа
WO2013109333A3 (en) Linear scanning sputtering system and method
US7560011B2 (en) Sputtering target and method/apparatus for cooling the target
JP2015072066A5 (ru)
WO2014118284A3 (de) Vorrichtung zur elektromechanischen erzeugung von rotation - elektrischer umlaufräderantrieb
WO2016198962A3 (en) Boundary layer turbomachine, corresponding rotor assembly and partition
JP2019167618A5 (ru)
WO2015169508A3 (de) Baueinheit für ein kraftfahrzeug mit einer elektrische maschine und einer kupplungsbetätigungseinrichtung
RU175205U1 (ru) Магнетронная распылительная система цилиндрического типа
GEP20197026B (en) Method for nanomaterial production in vacuum and magnetron spray device for execution thereof
CN107699862B (zh) 一种旋转体镀膜夹具
US9422619B2 (en) Processing apparatus and shield
TWM483280U (zh) 真空鍍膜設備的旋轉靶材裝置
MX2017009226A (es) Turbina de atomizador giratorio.
US20100140375A1 (en) Rotary atomizer
US20170213708A1 (en) Method and apparatus for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants
US9558921B2 (en) Magnetron sputtering apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ KZ KG TJ TM