DK145275B

DK145275B - APPARATUS FOR DETERMINING OR MONITORING A TWO-DIMENSION OF DIGEL-FREE ZONE MELTING

Info

Publication number: DK145275B
Application number: DK591473A
Authority: DK
Inventors: H L Stiegler; H Stut; H Drax
Original assignee: Siemens Ag
Priority date: 1972-11-02
Filing date: 1973-11-01
Publication date: 1982-10-18
Also published as: GB1446933A; FR2205661A1; DK145275C; JPS4978569A; NL7311949A; SU538671A3; JPS55174107U; IT998991B

Description

i 145275in 145275

Opfindelsen angår et apparat til bestemmelse eller overvågning af en tværdimension af den ved digelfri zonesmeltning gennem en halvlederstav vandrende smeltezone ved hjælp af et fjernsynskamera og et deraf styret gen-5 givelsesapparat, på hvis billedskærm der foruden billedet af smeltezonen frembringes et målemærke, der kan forskydes over billedskærmen i linieafbøjningsretningen ved hjælp af indstillingsmidler, på grundlag af hvis indstilling der kan frembringes et udgangssignal, der er 10 repræsentativt for en tværsnitsdimension af smeltezonen.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The invention relates to an apparatus for determining or monitoring a cross-section of the melt zone traveling through a semiconductor rod through a semiconductor rod by means of a television camera and a reproduction apparatus controlled thereon, over the image screen in the line deflection direction by means of setting means, on the basis of which setting an output signal representative of a cross-sectional dimension of the melt zone can be generated.

Apparater, hvormed genstande kan overvåges og måles ved hjælp af et fjernsynskamera og et tilsluttet billedgengivelsesapparat, kendes f.eks. fra DE-offentliggørel-sesskrift nr. 19 41 547, DE-fremlæggelsesskrift nr.Apparatus by which objects can be monitored and measured by means of a television camera and a connected image reproduction apparatus are known, for example. from DE Publication No. 19 41 547, DE Publication No.

15 19 54 847, DE-offentliggørelsesskrift nr. 14 23 606 og US-patentskrifter nr. 2 949 057 og 3 254 560. Anvendelsen af et sådant apparat ved digelfri zonesmeltning af halvlederstave er beskrevet i DE-offentliggørelsesskrift nr. 21 13 720.15 19 54 847, DE Publication No. 14 23 606 and U.S. Patent Nos. 2,949,057 and 3,254,560. The use of such an apparatus for crucible zone melting of semiconductor rods is described in DE Publication No. 21 13 720.

20 Som forklaret i sidstnævnte offentliggørelsesskrift er det muligt på grundlag af de på fjernsynskameraets udgang optrædende signaler at tilvejebringe informationer om diameteren af smeltezonen, f.eks. ved rekrystal-lisationsgrænsen, og at benytte denne information som 25 f.eks. en værdi til regulering af smeltezonens diameter.As explained in the latter disclosure, it is possible to provide information on the diameter of the melting zone, e.g. at the recrystallization limit, and using this information as e.g. a value for controlling the diameter of the melt zone.

Dette gælder især, hvis længderetningen af halvledersta-ven, der skal zonesmeltes, i billedet orienteres vinkelret på aftastningslinierne i fjernsynskameraet og bil-ledgengivelsesapparatet.This is especially true if the longitudinal direction of the semiconductor rod to be melted in the image is oriented perpendicular to the sensing lines of the television camera and the car articulator.

30 Fra US-patentskrift nr. 3 321 575 kendes der et ap parat til fjernbestemmelse af en dimension af en genstand ved hjælp af et fjernsynskamera og et tilhørende gengivelsesapparat, på hvis billedskærm der frembringes en måleplet, der kan flyttes frem og tilbage langs en 35 billedlinie ved hjælp af indstillingsmidler. Målepletten anbringes først ved skæringspunktet mellem den pågældende billedlinie og billedet af genstandens venstre kontur og flyttes derefter til skæringspunktet mellem 145275 2 billedlinien og billedet af genstandens højre kontur. På grundlag af de hertil svarende indstillinger er det muligt, efter passende justering, f.eks. ved tilsvarende målinger på en genstand af kendt dimension, at bestemme 5 genstandens tværmål langs den pågældende billedlinie.30 US Patent No. 3,321,575 discloses an apparatus for remotely determining a dimension of an object by means of a television camera and an associated reproduction apparatus, on whose image screen a measurement spot is produced which can be moved back and forth along a 35 image line using setting means. The measurement spot is first placed at the intersection of the image line in question with the image of the left contour of the object and then moved to the intersection of the image line with the image of the object's right contour. On the basis of the corresponding settings it is possible, after appropriate adjustment, e.g. by corresponding measurements on an object of known dimension, to determine the object's transverse dimensions along the respective image line.

.Denne kendte metode er ikke egnet til bestemmelse eller overvågning af en tværdimension af smeltezonen ved digelfri zonesmeltning. Dette skyldes, at zonesmeltningen er en til stadighed fremadskridende proces, hvor 10 der hele tiden sker forandringer i smeltezonen, og til tider endda forekommer en vis uro. Som følge af den successive bestemmelse af de to skæringspunkter vil det ofte forekomme, at den konstaterede position af det først bestemte, venstre skæringspunkt ikke falder sam-15 men med den virkelige position af dette skæringspunkt til det senere tidspunkt, hvor positionen af det højre skæringspunkt finder sted. Det er klart, at der herved indføres en fejl i dimensionsbestemmelsen. Hertil kommer, at det som følge af, at målepletten har en vis, 20 ganske vist lille, udstrækning i linieretningen, kan være vanskeligt at placere målepletten nøjagtigt i forhold til genstandens konturer. Dette bidrager også til en ikke særlig nøjagtig dimensionsbestemmelse.This known method is not suitable for determining or monitoring a cross-section of the melt zone by crucible zone melting. This is because zone melting is an ever-progressing process, with 10 changes constantly occurring in the melting zone, and sometimes even some turmoil occurs. As a result of the successive determination of the two intersections, it will often occur that the detected position of the first determined left intersection does not coincide with the actual position of that intersection until the later point where the position of the right intersection occurs. Obviously, this will introduce an error in the dimension determination. In addition, due to the fact that the measuring spot has a certain, although small, extension in the line direction, it can be difficult to position the measuring spot precisely in relation to the contours of the object. This also contributes to a not very accurate dimensional determination.

Med den foreliggende opfindelse tilsigtes tilveje-25 bragt et apparat, hvormed der kan opnås en mere nøjagtig bestemmelse og overvågning af en tværsnitsdimension af smeltezonen ved digelfri zonesmeltning, end der kan opnås med det netop beskrevne kendte apparat.The present invention is intended to provide an apparatus for obtaining a more accurate determination and monitoring of a cross-sectional dimension of the melt zone by crucible zone melting than can be achieved with the known apparatus just described.

Til dette formål er apparatet ifølge opfindelsen 30 ejendommeligt ved, at det indeholder koblingsmider til frembringelse i det på billedskærmen gengivne billede af. to som målemærke tjenende, streg- eller bjælkeformede, på linie med hinanden liggende markeringer, der strækker sig fra modstående sidekanter af billedskærmen 35 i retning mod hinanden, og at indstillingsmidlerne er indrettet til samtidig indstilling af positionerne af de to bort fra de respektive sidekanter vendende, frie ender af de to markeringer. De to markeringer kan som 145275 3 kæberne i en skydelære føres frem fra hver sin side til samtidig berøring med smeltezonens konturer. Herved konstateres positionerne af skæringspunkterne samtidigt, og den fejl, der i det kendte apparat hidrører fra den suc-5 cessive bestemmelse af skæringspunkterne, er helt undgået. Formen af markeringerne medfører, at det er overordentligt let at bestemme den indstilling, hvor de frie ender af markeringerne netop berører smeltezonens konturer.For this purpose, the apparatus according to the invention 30 is peculiar in that it contains coupling mites for production in the image depicted on the screen. two measuring markers, bars or bar-shaped, aligned markings extending from opposite side edges of the screen 35 towards each other, and the adjusting means adapted to simultaneously adjust the positions of the two away from the respective side edges facing , free ends of the two markings. The two markings can, like the jaws of a slide, be advanced from each side for simultaneous contact with the contour of the melt zone. Hereby the positions of the points of intersection are ascertained simultaneously, and the error which in the known apparatus results from the successive determination of the points of intersection is completely avoided. The shape of the markings means that it is extremely easy to determine the setting where the free ends of the markings precisely affect the contours of the melt zone.

10 En hensigtsmæssig udførelsesform for apparatet ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at en elektronstråle, der i kameraet aftaster billedet af smeltezonen langs horisontale linier eller en elektronstråle, der i billedgengivelsesapparatet tegner billedet af smeltezo-15 nen langs horisontale linier, modulåres til frembringelse af de to markeringer ved, at der i en elektronisk strømkreds, der styrer den pågældende elektronstråle, over et koblingsorgan tilføres elektriske impulser, som frembringes i en hjælpestrømkreds, der i serie indehol-20 der koblingsorganet, en jævnspændingskilde og to trepo-lede halvlederkoblere, at styrestrækningen i den ene af disse koblere påvirkes fra en impulsgenerator, der afgiver ens og i forhold til aftastningstiden for en billed-linie kortvarige kobleimpulser med indstillelig perio-25 de til fastlæggelse af de frie ender af markeringerne, og at styrestrækningen i den anden kobler påvirkes af de liniekipimpulser, der styrer elektronstrålen til fastlæggelse af markeringernes position og bredde på tværs' af linieafbøjningsretningen.A convenient embodiment of the apparatus according to the invention is characterized in that an electron beam scanning the image of the melt zone along horizontal lines or an electron beam drawing in the image reproducing apparatus the picture of the melt zone along horizontal lines is produced to produce two. markings in that in an electronic circuit controlling the particular electron beam, electrical impulses are generated over a coupling means which are generated in an auxiliary current circuit which in series contains the coupling means, a DC voltage source and two three-pole semiconductor couplers, one of these couplers is actuated by a pulse generator which emits the same and in relation to the scanning time of an image line short coupler pulses with adjustable period for determining the free ends of the markings and that the control distance in the other coupler is affected by the line chip pulses that control the electron beam for determination see the position and width of the markings across the line deflection direction.

30 En anden hensigtsmæssig udførelsesform for appara tet ifølge opfindelsen er ejendommelig ved, at koblings-midlerne til frembringelse af de to markeringer virker på et mellem kameraet og billedgengivelsesapparatet indkoblet blandingstrin, og at koblingsmidlerne også 35 virker på en udnyttelsesindretning med værdien af den horisontale afstand mellem markeringerne, der tilføres en styreindretning til regulering af smeltezonens størrelse.Another convenient embodiment of the apparatus according to the invention is characterized in that the coupling means for producing the two markings act on a mixing stage coupled between the camera and the image reproducing apparatus, and that the coupling means also act on an utilization device having the value of the horizontal distance between the markings applied to a control device for controlling the size of the melt zone.

145275 4145275 4

Opfindelsen forklares nærmere i det følgende under henvisning til den skematiske tegning, hvor fig. 1 viser grundprincippet i et apparat til frembringelse af en markering, 5 fig. 2 grundprincippet i et andet apparat til sam me formål, fig. 3 kredsløbsdetaljer i et forsinkelsesled til brug i et apparat ifølge fig. 1 eller 2, fig. 4 kredsløbsdetaljer i et på anden måde udfor-10 met forsinkelsesled til brug i et apparat ifølge fig.The invention is explained in more detail below with reference to the schematic drawing, in which fig. 1 shows the basic principle of an apparatus for making a mark; FIG. 2 shows the basic principle of another apparatus for the same purpose; FIG. 3 circuit details in a delay link for use in an apparatus according to FIG. 1 or 2, FIG. 4 circuit details in a differently designed delay link for use in an apparatus according to FIG.

1 eller 2, fig. 5 et eksempel på et billede på billedskærmen med to markeringer i henhold til opfindelsen, fig. 6 en variant af forsinkelsesleddet i fig. 4, 15 fig. 7, 8 og 9 tre eksempler på spændingsforløbet langs en billedlinie som funktion af tiden, og fig. 10 et blokdiagram over et fuldstændigt apparat ifølge opfindelsen.1 or 2, FIG. 5 shows an example of a picture on the display screen with two markings according to the invention; FIG. 6 shows a variation of the delay link in FIG. 4, 15 FIG. 7, 8 and 9 are three examples of the voltage path along an image line as a function of time; and FIGS. 10 is a block diagram of a complete apparatus according to the invention.

I fig. 1 er vist en af ledende luminescerende ma-20 teriale bestående eller med et sådant materiale belagt billedskærm 1 i et gengiveapparat, en elektronstråle 2, der tegner billedet af genstanden og markeringen M, og som ved den ene ende er i elektrisk forbindelse med det ledende luminescerende lag på billedskærmen 1 25 og ved den anden ende med den katode 3 i gengiveappa-ratets billedrør, der udsender elektronstrålen 2. I den ydre strømkreds for denne elektronstråle 2 findes en højspændt jævnspændingskilde 4, der frembringer elektronstrålen. Der går altså en til den pr. sekund i 30 elektronstrålen 2 transporterede elektriske ladning svarende strøm, der dels moduleres af de af et elektronisk kamera 6 afgivne impulser, f.eks. over en indgang 5 til gengiveapparatet, dels påvirkes af impulser, der frembringer markeringen M, over et koblings-35 organ 9. Som følge af modulationen af elektronstrålen 2 med den fra det elektroniske kamera 6 afgivne strøm i forbindelse med en passende kendt føring af elektronstrålen 2 synkront med føringen af en ækvivalent elek 145275 5 tronstråle i det elektroniske kamera 6 tegnes billedet af genstanden og dermed billedet D" af den søgte di-mension D på billedskærmen.In FIG. 1, there is shown a conductive luminescent material consisting of or coated with such a screen 1 in a reproducing apparatus, an electron beam 2 drawing the image of the object and the marking M, which at one end is in electrical contact with the conductive luminescent layer on the image screen 1 25 and at the other end with the cathode 3 in the image tube of the reproducing apparatus emitting the electron beam 2. In the outer circuit of this electron beam 2 there is a high voltage DC voltage source 4 which produces the electron beam. So one goes to it per. per second in the electron beam 2, electric charge carries similar current, which is partly modulated by the pulses emitted by an electronic camera 6, e.g. over an input 5 to the reproducing apparatus, partly affected by impulses producing the marking M, over a coupling means 9. As a result of the modulation of the electron beam 2 with the current emitted from the electronic camera 6 in connection with a suitable known guidance of the electron beam 2 synchronously with the guide of an equivalent electric beam in the electronic camera 6, the image of the object and thus the image D "of the dimension D searched on the image screen are drawn.

En impulsgenerator 7, der leverer periodiske, 5 eventuelt næsten periodiske og indbyrdes ens impulser, afgiver sit udgangssignal til et eventuelt indstilleligt forsinkelsesorgan 8 og dermed videre til koblingsorganet 9 og til den strømkreds, der indeholder elektronstrålen 2. Hvis perioden Π for disse impulser nøj-10 agtigt svarer til varigheden Τβ af billedperioden på billedskærmen, vil der af disse impulser, afhængigt af fortegnet, blive frembragt en stillestående forøgelse eller formindskelse af luminansen, altså en stillestående markering M. Hvis perioden Π for disse impulser 15 imidlertid ændrer sig i forhold til varigheden Τβ, vil markeringen successivt enten i skriveretningen eller i den modsatte retning gennemløbe den ene billedlinie efter den anden og til slut hele billedet. En forøget luminans som markering forekommer,, når der med impulsræk-20 ken frembringes en forøgelse af spændingen og/eller strømstyrken i elektronstrålen 2, mens der fås en formindskelse af luminansen, når de nævnte størrelser svækkes af impulserne.An impulse generator 7, which supplies periodic, 5 possibly almost periodic and mutually identical pulses, outputs its output signal to any adjustable delay means 8 and hence to the switching means 9 and to the circuit containing the electron beam 2. If the period Π of these pulses is 10 corresponds to the duration Τβ of the image period on the display screen, depending on the sign, these impulses will produce a stationary increase or decrease of the luminance, ie a stationary mark M. However, the period Π of these impulses 15 changes with respect to duration Τβ, the marking will successively either in the writing direction or in the opposite direction go through one image line after another and finally the whole image. An increased luminance as a marking occurs when, with the pulse sequence, an increase in the voltage and / or current in the electron beam 2 is produced, while a decrease in the luminance is obtained when said magnitudes are attenuated by the pulses.

På tilsvarende måde er det også muligt at taste 25 elektronstrålen i det elektroniske kamera 6. Disse forhold er vist i fig. 2. Det fra genstanden D udsendte lys tjener til afbildning af genstanden ved hjælp af en optik 10 på en målskærm 11, hvorpå billedet og den i dette indeholdte information oplagres, f.eks. i 30 form af en elektrostatisk ladningsfordeling, der derefter slukkes linievis ved hjælp af en elektronstråle 12 i det elektroniske kamera, der linievis aftaster målskærmen 11. Herved får elektronstrålen 12 en til denne ladning svarende modulation. Elektronstrålen 12 35 er nu bestanddel af en ydre strømkreds, der fører en af billedet af genstanden D moduleret strøm, og som ved den elektriske udgang 13 fra det elektroniske kamera 6 leverer en tilsvarende moduleret spænding, der så 145275 6 tilføres indgangen 5 til gengiveapparatet til påvirkning af dette. Spændingen modulerer da den elektronstråle i gengiveapparatet, der linievis tegner billedet på billedskærmen, og løber synkront med elektronstrålen 12 5 i kameraet 6. Billedet på billedskærmen vil da som bekendt på grund af den korte varighed af en billedperiode Τβ og kontinuiteten af den samlede proces optræde som et sammenhængende billede, især også fordi luminescensen af den af elektronstrålen lokalt aktiverede billedskærm 10 i billedgengiveapparatet kræver en i sammenligning med tidsrummet τ for skrivningen af en linie lang tid til atter at klinge ud. Også her findes en impulsgiver 7 svarende til den i fig. 1 viste.Similarly, it is also possible to enter the electron beam into the electronic camera 6. These conditions are shown in FIG. 2. The light emitted from the object D serves to display the object by means of an optic 10 on a target screen 11 on which the image and the information contained therein are stored, e.g. in the form of an electrostatic charge distribution, which is then switched off in a linear fashion by means of an electron beam 12 in the electronic camera which scans the target screen 11 in a linear fashion, thereby giving the electron beam 12 a modulation corresponding to this charge. The electron beam 12 35 is now a component of an external circuit which conducts a current modulated by the image of the object D, and which, at the electrical output 13 of the electronic camera 6, supplies a corresponding modulated voltage which is then applied to the input 5 of the reproducing apparatus. impact on this. The voltage then modulates the electron beam in the reproducing apparatus which draws the image linearly on the image screen and runs synchronously with the electron beam 12 5 in the camera 6. The image on the image screen will then, as is known, due to the short duration of a frame period Τβ and the continuity of the overall process. as a coherent image, especially also because the luminescence of the electron beam locally activated image screen 10 in the image reproducer apparatus requires, in comparison with the time τ for the writing of a line a long time to fade out again. Here, too, there is an impulse transmitter 7 corresponding to the one in FIG. 1.

Da nu elektronstrålen 2 desuden påvirkes med in-15 formationen svarende til markeringen M, enten ved hjælp af en umiddelbart med gengiveapparatet koblet impulsgenerator 7 eller en med det elektroniske kamera koblet impulsgiver 7, vil elektronstrålen 2 gengive en af impulserne frembragt markering M.Furthermore, since the electron beam 2 is also affected by the information corresponding to the mark M, either by means of a pulse generator 7 directly coupled to the reproducing apparatus or a pulse generator 7 coupled to the electronic camera, the electron beam 2 will reproduce one of the pulses produced M.

20 For den beskrevne variant af fremgangsmåden er der to perioder, som er vigtige, nemlig billedperioden Τβ og linieperioden τ. Hvis man har ialt n linier, gælder det, at Tg = η · τ, hvor såvel τ som Τβ er konstante størrelser, idet det bemærkes, at τ er summen 25 af varigheden af skrivningen af en linie og varigheden til tilbageføring af elektronstrålen til den følgende linie. For fuldstændighedens skyld skal bemærkes, at de enkelte billedperiodér her, således som det også er almindeligt inden for f j.ernsynsteknikken, slutter sig til 30 hinanden uden pause, således at de to synkront med hinanden bevægede elektronstråler 2 og 12 efter gennemløbet af den sidste billedlinie i enhver billedperiode u-middelbart begynder med gennemløbet af den første linie i den følgende periode. Impulsgeneratoren 7 frembrin-35 ger nu periodisk korte impulser, hvis varighed kun skal andrage en brøkdel af den til aftastning eller skrivning af en billedlinie i kameraet 6 eller gengiveapparatets billedrør nødvendige tid τ. De har f.eks. perioden 1Λ5275 7 Π = (Tg + a), hvor a er en indstillelig størrelse.20 For the described variant of the method, there are two periods that are important, namely the image period Τβ and the line period τ. If you have a total of n lines, then Tg = η · τ, where both τ and Τβ are constant, noting that τ is the sum 25 of the duration of the writing of a line and the duration of returning the electron beam to it. following line. For the sake of completeness, it should be noted that the individual imaging periods here, as is also common in the television technique, join 30 each other without pause, so that the two synchronously moving electron beams 2 and 12 after the passage of the last image line in any frame period immediately begins with the passage of the first line of the following period. The pulse generator 7 now produces periodic short pulses, the duration of which should be only a fraction of the time required to scan or write an image line in the camera 6 or the imaging tube's image tube τ. They have e.g. the period 1Λ5275 7 Π = (Tg + a), where a is an adjustable size.

Spændingen U i impulsfølgen er givet ved en funktion U = f(t) og strømstyrken ved en funktion I = g(t), hvor t betyder tiden. Desuden gælder underbetingelsen 5 f(t + Π) = f(t), g(t + Π) = g(t), ligegyldigt til hvilken værdi størrelsen a er indstillet, så længe blot a fastholdes. Hvis a er lig med nul, opstår der en af rækken af ækvidistante impulser betinget stillestående markering M. Giver man derimod a en fast positiv el-10 ler negativ værdi, vil markeringen M, svarende til den numeriske værdi af a, løbe med større eller mindre hastighed i den ene eller den anden retning langs linierne af fjernsynsbilledet på billedskærmen, indtil den til sidst bevæger sig over hele gengiveapparatets billed-15 felt. Størrelsen a er altså øjensynligt uegnet som indstillingsparameter p.The voltage U in the pulse sequence is given by a function U = f (t) and the current at a function I = g (t), where t means the time. In addition, the sub-condition 5 f (t + Π) = f (t), g (t + Π) = g (t), does not apply to which value the size a is set as long as a is held. If a is equal to zero, one of the series of equidistant impulses conditional on a stationary marking M. If, on the other hand, a is given a fixed positive or negative value, then the marking M, corresponding to the numerical value of a, runs with greater or less velocity in one direction or another along the lines of the television picture on the screen until it eventually moves across the image field of the reproducing apparatus. The size a is thus apparently unsuitable as the setting parameter p.

Hvis man derimod tilfører den strømkreds, der indeholder elektronstrålen 2 eller 12, impulsrækken fra generatoren 7 over en forsinkelseskobling 8, der 20 indstiller en bestemt fasevinkel υ mellem de med perl-oden Π = TD ækvidistante impulser i den overlejrendeOn the other hand, if the current circuit containing the electron beam 2 or 12 is applied to the pulse series from the generator 7 over a delay circuit 8, which 20 sets a certain phase angle υ between those with the pearl ode Π = TD equidistant pulses in the superimposed

.D.D

impulsrække, og de organer, der fastlasgger billedperio-den med varigheden Τβ, opnås nøjagtigt det forlangte.pulse series, and the organs determining the frame period of duration Τβ are exactly obtained as required.

Den forsinkelseskobling, der definerer fasevinklen 0 25 mellem impulserne i den overlejrende impulsrække på den ene side, og de impulser, der på den anden side styrer ; billedperioden for elektronstrålen 2 og 12, definerer upåklageligt en indstillingsparameter p. Som forsinkelseskobling 8 egner sig f,eks. den i fig. 3 i for-30 enklet form viste kobling.The delay circuit defining the phase angle 0 25 between the pulses in the superimposed pulse row on the one hand and the pulses controlling on the other; The imaging period of the electron beam 2 and 12, impeccably defines a setting parameter p. As delay coupling 8 is suitable, e.g. FIG. 3 in simplified form.

De impulser, der afgives af impulsgiveren 7 med frekvensen for billedperioden Tg-1, betjener en trepolet elektronisk kobler 15, f.eks. en kobletransistor eller en kobletyristor (Triac). Denne er lagt i serie 35 med en fast modstand 16 og en ladekondensator 17 til en jævnspændingskilde 14. Mellem den faste modstand 16 og ladekondensatoren 17 findes et udtag 18, der er sluttet til den ene indgang til en differensforstær- 145275 8 ker 20. Den anden indgang er sluttet til et udtag 21 på et potentiometer 19, der er koblet parallelt med den netop beskrevne seriekobling. Stillingen af potentiometerudtaget 21 er den indstillingsparameter p, 5 der fastlægger fasevinklen υ. Alt efter stillingen af dette udtag optræder de på udgangen fra differensforstærkeren aftagne impulser forsinket i forhold til de impulser fra generatoren 7, der betjener kobleren 15.The pulses emitted by the encoder 7 at the frequency of the frame period Tg-1 operate a three-pole electronic coupler 15, e.g. a coupling transistor or a coupling thyristor (Triac). This is laid out in series 35 with a fixed resistor 16 and a charging capacitor 17 for a DC voltage source 14. Between the fixed resistor 16 and the charging capacitor 17 there is an outlet 18 connected to one input of a differential amplifier 20. the second input is connected to an outlet 21 of a potentiometer 19 coupled parallel to the series connection just described. The position of the potentiometer outlet 21 is the setting parameter p, 5 which determines the phase angle υ. Depending on the position of this outlet, the pulses taken at the output of the differential amplifier appear delayed relative to the pulses from the generator 7 operating the coupler 15.

De på udgangen fra differensforstærkeren 20 optrædende 10 impulser anvendes nu til styring af elektronstrålen 2 eller elektronstrålen 12 over et kobleorgan 9. Afhængigt af den indstillede forsinkelse vil også fasevinklen υ være foranderlig i forhold til billedgengivelsesperioden, og markeringen M, der frembringes af impul-15 serne, får en indstillelig forskydning langs de enkelte linier, hvilken forskydning i modsætning til en forskydning hidrørende fra den ovenfor definerede størrelse a entydigt er knyttet til en entydig værdi af en indstillingsparameter, altså i dette tilfælde stillingen af po-20 tentiometerudtaget 21.The 10 pulses appearing at the output of the differential amplifier 20 are now used to control the electron beam 2 or electron beam 12 over a coupling means 9. Depending on the set delay, the phase angle υ will also be variable relative to the image reproduction period and the mark M produced by the pulse 15 the adjustable displacement along the individual lines, which in contrast to an displacement resulting from the size defined above is unequivocally associated with an unambiguous value of a setting parameter, i.e. in this case the position of the potentiometer outlet 21.

Som yderligere parameter p, der kan anvendes i stedet for en bestemt indstillet forsinkelseseffekt i forhold til de for gengivelsen af et billede på billedskærmen bestemmende processer, kan der i stedet for fa-25 sevinklen υ nævnes varigheden t^ af de enkeltimpulser, der frembringer markeringen M. Hvis man f.eks. indstiller det elektroniske kamera således i forhold til genstanden, der skal overvåges, at billedet D' af den søgte dimension D umiddelbart falder sammen med en gi-30 ven billedlinie på billedskærmen, og hvis markeringen M tillige tegnes på denne billedlinie som en streg med indstillelig længde, behøver man kun at indstille denne streg således, at billedet D' netop dækker den søgte dimension. I dette tilfælde er stregens længde nøjagtigt 35 parameteren p, der giver den søgte dimension D.As additional parameter p which can be used in place of a particular set delay effect in relation to the processes determining the reproduction of an image on the screen, instead of the phase angle υ, the duration t ^ of the single pulses producing the mark can be mentioned. M. For example, if Thus, the electronic camera sets with respect to the object to be monitored that the image D 'of the searched dimension D immediately coincides with a given image line on the image screen, and if the mark M is also drawn on this image line as a line with adjustable length, you only need to adjust this line so that the image D 'exactly covers the dimension you are looking for. In this case, the length of the line is exactly the parameter p which gives the dimension D.

Nedenfor forklares, hvorledes der som markeringer og M2 kan skrives to fra hinanden adskilte streger 145275 9 på samme billedlinie. Deres positioner indstilles da således, at den søgte dimension fremkommer som afstanden mellem de mod hinanden vendende ender af de to stregformede eller bjælkeformede markeringer og M2· 5 Med henblik på afgivelse af en impuls i form af en streg til en af de to strømkredse, der indeholder elektronstrålerne 2 og 12, kan man f.eks., se fig. 4, over en kobler 22 og en formodstand 24 slutte kobleorganet 9 til en jævnspændingskilde 23 med den side, der 10 påvirkes af styreimpulserne. Kobleren, f.eks. en tre-? eller firpolet tyristor, styres nu af impulserne fra.en impulsgenerator 7. Til styring af kobleren 22 skalder nu benyttes to impulsrækker, begge med perioden Π = Tg, men med bestemt indstillede faseforskelle mel-15 lem impulserne i den første og den anden impulsrække. ·The following explains how, as markings and M2, two separate lines can be written on the same image line. Their positions are then set such that the dimension sought is the distance between the opposite ends of the two bar-shaped or bar-shaped markings and M2 · 5, for the purpose of delivering a pulse in the form of a line to one of the two circuits which contains the electron beams 2 and 12, for example, see fig. 4, over a coupler 22 and a resistor 24 connect the coupler 9 to a DC voltage source 23 with the side 10 affected by the control pulses. The coupler, e.g. a three-? or four-pole thyristor, is now controlled by the pulses from a pulse generator 7. To control the coupler 22, two pulse rows are now used, both with the period Π = Tg, but with certain set phase differences between the pulses in the first and second pulse series. ·

Den første impulsrække indkobler kobleren 22 og den anden impulsrække udkobler atter kobleren. Så længe kobleren 22 er ledende, er strømkilden 23 tilsluttet kobleorganet 9 og modulerer elektronstrålen 2 eller.The first pulse series engages the coupler 22 and the second pulse series again switches off the coupler. As long as the coupler 22 is conductive, the power source 23 is connected to the coupler 9 and modulates the electron beam 2 or.

20 12 med en lys eller mørk kontinuert streg, afhængigt af hvorledes strømkilden 23 er polet i forhold til den elektronstråle, der skal moduleres..20 12 with a light or dark continuous line, depending on how the power source 23 is polished relative to the electron beam to be modulated.

Den netop beskrevne mulighed anvendes.først og fremmest, når den søgte dimension D, f.eks< diameteren af 25 en smeltezone ved digelfri zonesmeltning, skal bestemmes ved hjælp af to samtidigt anvendte markeringer M^ og Mj.The possibility just described is used, first and foremost, when the dimension D sought, for example <the diameter of a melt zone by crucible-free zone melting, has to be determined by two simultaneously used markings M 1 and M 2.

Disse markeringer M-^ og M2 bringes da samtidigt således i position på billedskærmen, at den ene ende af markeringen Μ^ falder sammen med det ene endepunkt, og 30 den ene ende af markeringen M2 falder sammen med det > andet endepunkt af billedet D' af den søgte dimension D. Af de hertil nødvendige stillinger af de til hver af disse markeringer knyttede indstillingsmidler kan da den søgte dimension D konstateres.These markings M1 and M2 are then simultaneously positioned on the screen so that one end of the marking Μ ^ coincides with one endpoint and one end of the marking M2 coincides with the> other endpoint of the image D ' of the searched dimension D. Of the necessary positions of the adjusting means attached to each of these markings, then the searched dimension D can then be ascertained.

35 Det er fordelagtigt, når de to markeringer og M2 udgøres af veldefinerede lyse eller mørke streger eller bjælker, der fra den pågældende feilledrand fra modsatte retninger føres hen mod genstanden, der skal 145275 ίο overvåges, således som det fremgår af fig. 5. Her er vist billedet Z' af en smeltezone Z, der holdes mellem to lodret holdte stavdele, i hvilket tilfælde det kun kommer an på at konstatere diameteren D af smelte-5 zonen Z eller diameteren D' af billedet Z' af smeltezonen ved hjælp af de to streg- eller skærformede markeringer M^ og M2· Disse føres fra venstre og højre hen til billedet Z' af smeltezonen Z. Den rigtige slut-stilling er opnået, når de mod hinanden vendende ender 10 af de to markeringer og M2 netop berører profilet af den smeltede zone på det sted, hvor den diameter D, der skal bestemmes, optræder på billedskærmen, se fig. 5.35 It is advantageous when the two markings and M2 are defined by well-defined light or dark lines or beams which are guided from the respective fault edge from opposite directions towards the object to be monitored, as can be seen in FIG. 5. Here is shown the image Z 'of a melting zone Z held between two vertically held rod parts, in which case it is only to ascertain the diameter D of the melting zone Z or the diameter D' of the image Z 'of the melting zone at by means of the two bar or cut-shaped markings M ^ and M2 · These are passed from left and right to the image Z 'of the melting zone Z. The right end position is obtained when the opposite ends 10 of the two markings and M2 precisely touches the profile of the molten zone at the location where the diameter D to be determined appears on the screen, see fig. 5th

Til frembringelse af sådanne markeringer M·^ og M2 kan der som vist i fig. 6 anvendes en kobling, der er en 15 videreudvikling af koblingen ifølge fig. 4. Den indeholder en jævnstrømskilde 23, en formodstand 24, det koblingsorgan, der tilvejebringer forbindelsen med elek-tronstrålén henholdsvis 2 eller 12, og to trepolede elektroniske koblere 22 og 25, f.eks. tyristorer, 20 hvilke komponenter alle er koblet i serie i forhold til strømkilden 23. Kobleren 22 påvirkes på en sådan måde fra en passende indrettet impulskilde 7, at den påvirkes således af to impulsrækker med perioden Τβ, at impulserne i den ene impulsrække gør kobleren 22 le-25 dende, og impulserne i den anden række gør den uledende.In order to produce such markings M · and M₂, as shown in FIG. 6, a coupling is used which is a further development of the coupling according to FIG. 4. It contains a direct current source 23, a resistor 24, the coupling means which provides the connection to the electron beam 2 or 12, respectively, and two three-pole electronic couplers 22 and 25, e.g. thyristors 20, all components of which are connected in series with respect to the power source 23. The coupler 22 is affected in such a way from a suitably arranged pulse source 7 that it is so affected by two pulse series with the period Τ β that the pulses in one pulse series make the coupler 22 25, and the impulses in the second row make it conductive.

Desuden er fasevinklen mellem de to impulsrækker indstillelig. Den anden kobler 25 påvirkes af impulser, der f.eks. er knyttet til springet af elektronstrålen 2 og 12 fra en forudgående linie eller umiddelbart for-30 anlediger dette spring (linieafbøjningsimpuls).In addition, the phase angle between the two pulse series is adjustable. The second coupler 25 is affected by pulses which, e.g. is associated with the jump of the electron beam 2 and 12 from a preceding line or immediately causes this jump (line deflection pulse).

Indkoblingsimpulsen til skrivning eller aftastning af en bestemt billedlinie, f.eks. linien Zy, skal således slutte kobleren 25, og den derpå følgende impuls for strålens spring til linien zv + 1 skal atter af-35 bryde kobleren 25. Endelig kræves der et koordineringsorgan, der gør det muligt at bringe de impulser, der betjener kobleren 25, i en bestemt indstillelig faserelation til hinanden. Et tælleorgan sørger for, at linie- 145275 11 kipimpulserne for elektronstrålen 2 eller 12 kun betjener kobleren 25 ved den impuls, der kobler om til linien Z. Endvidere skal impulserne fra impulsfrem-bringeren 7 kun optræde, når de impulser, der betjener 5 kobleren 25, bliver virksomme, altså med‘andre ord når elektronstrålen 2 tegner linien Zv, og elektronstrålen 12 aftaster Zv i kameraet 11.The switching pulse for writing or scanning a particular image line, e.g. Thus, the line Zy must terminate the coupler 25 and the subsequent pulse of the jet jumping to line zv + 1 must again disconnect coupler 25. Finally, a coordination means is required which allows the pulses operating the coupler 25 to be brought. , in a certain adjustable phase relationship to each other. A counting means ensures that the line pulses of the electron beam 2 or 12 operate only the coupler 25 at the pulse switching to line Z. Furthermore, the pulses of the pulse generator 7 should occur only when the pulses operating the coupler 25, becomes active, that is, in other words when the electron beam 2 draws the line Zv, and the electron beam 12 senses Zv in the camera 11.

Med undtagelse af det tidsrum, hvori linien Zv tegnes, skal den i fig. 6 viste koblekreds være således 10 indstillet, at kobleren 25 er åben, og kobleren 22 sluttet. Ved indkobling af linien Zv afgives der da en slutteimpuls til kobleren 25, der da slutter strømkilden 23 til kobleorganet 9. Der går da en vedvarende strøm, der enten direkte eller, hvis koblingen i 15 fig. 6 ikke er knyttet til gengiveapparatet, men derimod til det elektroniske kamera 6, indirekte styret elektronstrålen til dannelse af en kontinuert streg', der først afbrydes ved åbning af kobleren 22 med en af impulsgiveren 7 frembragt åbningsirapuls. På denne måde 20 opstår markeringen M·^. Da nu impulsgiveren 7 efter ‘ et tidsrum, der svarer til en faseforskydning φ, afgiver en nu som slutteimpuls virksom impuls til kobleren 22, sluttes denne atter, således at der igen går vedvarende strøm, og markeringen M2 tegnes. Endelig vil den 25 kipimpuls, der afslutter linien Zy i gengiveapparatet foruden sin funktion i gengiveapparatet åbne kobleren 25 og på denne måde genoprette den oprindelige tilstand.With the exception of the period in which the line Zv is drawn, it is shown in FIG. 6, such that the coupler 25 is open and the coupler 22 is closed. When the line Zv is switched on, a terminal pulse is then delivered to the coupler 25, which then connects the power source 23 to the coupling means 9. There is then a continuous current which either directly or, if the coupling in FIG. 6 is not connected to the reproducing apparatus but to the electronic camera 6, indirectly controlling the electron beam to form a continuous line 'which is first interrupted by opening the coupler 22 with an opening pulse produced by the encoder 7. In this way, the mark M · ^ arises. Since, after a period corresponding to a phase shift φ, the impulse transducer 7 gives a current impulse as the end impulse to the coupler 22, it is again connected so that renewable current goes again and the mark M2 is drawn. Finally, in addition to its function in the reproducing apparatus, the 25 tapping pulse which terminates the line Zy in the reproducing apparatus will open the coupler 25, thus restoring the original state.

Denne afbrydes påny, når den Zv'te linie nås ved skrivningen af det følgende billede.This is interrupted again when the Seventh Line is reached when writing the following image.

30 Som indstillingsparameter p har man her fasévink- len φ mellem impulserne fra impulsfrembringeren · 7.30 As the setting parameter p, here the phase angle between the pulses of the pulse generator · 7 is obtained.

Man kan f.eks. styre denne, idet man tilfører kobleren 22 åbningsimpulserne direkte og lukkeimpulserne over en indstillelig forsinkelseskobling eller omvendt.One can, for example. control the latter by directly supplying the coupler 22 with the opening pulses and the closing pulses over an adjustable delay coupling or vice versa.

35 Den omstændighed, at man i sædvanlige fjernsynsap parater foretager tilbageføringen af elektronstrålerne 2 og 12 fra én linie til den efterfølgende linie ved frakoblet elektronstråle 2 og 12, gør det ved anven- 145275 12 delsen af sådanne apparater muligt i stedet at tegne markeringerne M·^ Qg M2 under tilbageføringsfasen. Når diameteren af smeltezonebilledet skal måles ved den ν'te billedlinie, bliver elektronstrålen 2 altså ved tilba-5 geføringen fra den (v - 1)'te til den v'te linie og fra den v'te linie til den (v + 1)'te linie tastet med informationer, der frembringer markeringen M eller markeringerne og M2 og eventuelt ikke tillige med en information vedrørende billedet af genstanden. Iøv-10 rigt holdes de kipfaser, der tjener til tilbageføring af elektronstrålen, ved slukket elektronstråle.35 The fact that, in conventional television sets, the return of the electron beams 2 and 12 from one line to the subsequent line by the disconnected electron beam 2 and 12 makes it possible to draw the markings M · by using such apparatus instead. ^ Qg M2 during the feedback phase. Thus, when the diameter of the melt zone image is to be measured at the ν'th image line, the electron beam 2 becomes, at the return, from the (v - 1) 'tea to the left line and from the left line to it (v + 1 ) the second line typed with information which produces the mark M or the markings and M2 and possibly not also with information concerning the image of the object. In general, the tilting phases that serve to return the electron beam are kept at the off-beam.

Grundtanken i de netop beskrevne muligheder består i, at der samtidig med billedet af den genstand, der skal overvåges, frembringes to på bestemt måde og uafhæn-15 gigt af hinanden over den elektroniske billedskærm forskydelige markeringer og M2, der samtidig bringes i koincidens med endepunkterne af billedet D' af den søgte dimension D, at den hertil nødvendige indstilling af de midler, der fastlægger positionen af marke-20 ringerne M·^ og M2 på billedskærmen i gengiveapparatet, sammenlignes med den indstilling af disse midler, hvor de to markeringer M·^ og M2 samtidigt falder sammen med endepunkterne af en til en kendt tværgående strækning s i genstandens afstand fra det elektroniske kameras 25 optageoptik knyttet justeringsstrækning s' på billedskærmen, og at den virkelige værdi af dimensionen D tilvejebringes ud fra resultatet af denne sammenligning, fortrinsvis elektronisk.The basic idea of the possibilities just described is that, at the same time as the image of the object to be monitored, two distinct and independently of the electronic image screen are displaceable markings and M2, which is simultaneously brought into coincidence with the endpoints of the image D 'of the dimension D searched for, that the necessary adjustment of the means determining the position of the markers M · M and M2 on the image screen of the reproducing apparatus is compared with the setting of these means where the two markings M And M2 simultaneously coincide with the end points of a distance to a known transverse distance in the object's distance from the alignment distance s' of the electronic camera 25, and that the true value of dimension D is provided from the result of this comparison, preferably electronically. .

Til yderligere forklaring af opfindelsen tjener fΙ-ΒΟ gurerne 5 og 7-9, idet den i fig. 5 viste stilling af markeringerne og M2 kan svare til børtilstanden for diameteren D' for smeltezonebilledet Z. Hvis nu diameteren D' i smeltezonebilledet ændrer sig, sker der enten det, at i det mindste den ene af markeringerne 35 og M2 vandrer ind i smeltezonebilledet, eller at der opstår et mørkt mellemrum mellem markeringerne og smeltezonebilledet. Denne tilstand kan f.eks. aftastes med optoelektroniske overvågningsapparater og anvendes til 13 145276 betjening af midler, der atter bringer smeltezonen tilbage til børtilstanden.For further explanation of the invention, Figures 5 and 7-9 serve as the embodiment shown in FIG. 5, the position of the markings and M2 may correspond to the set state of the diameter D 'of the melting zone image Z. If the diameter D' of the melting zone image changes, then either at least one of the markings 35 and M2 migrates into the melting zone image. or that there is a dark gap between the markings and the melt zone image. This condition may e.g. is scanned with optoelectronic monitoring devices and used for operating agents which return the melt zone back to the initial state.

Det anbefales i dette tilfælde, at markeringerne og M2 styres, så de er lyse, hvorved de står lyst 5 fremhævet over for den mørke baggrund for smeltezonen Z. Billedet Z af den lyse smeltezone og de lyse markeringer og M2 svarer da til en høj spænding eller en stærk strøm i elektronstrålen 2, mens billedet af den mørke omgivelse svarer til en lille strøm. Strøm-10 styrken langs den ν'te linie, der indeholder såvel markeringerne og M2 som den dimension D' af smel-tezonebilledet Z', der skal måles, har da f.eks. det i figurerne 7-9 viste strøm- eller spændingsforløb i afhængighed af tiden t under gennemløbet af den til den 15 ν'te linie hørende periode τ .In this case, it is recommended that the markings and M2 be controlled so that they are bright, whereby they are bright 5 highlighted against the dark background of the melt zone Z. The image Z of the light melt zone and the light markings and M2 corresponds to a high voltage. or a strong current in the electron beam 2 while the image of the dark environment corresponds to a small current. The current 10 along the ν'th line containing both the markings and M2 as well as the dimension D 'of the melting zone image Z' to be measured then has e.g. the current or voltage sequence shown in Figures 7-9, depending on the time t during the passage of the period τ belonging to the 15 ν line.

Man kan altså aftaste den information, som elektron-strålen 2 indeholder på grund af virkningen af det elektroniske kamera 6 og de for frembringelsen af markeringerne og M2 ansvarlige midler med henblik på 20 at indregulere den rigtige i fig. 8 viste tilstand. Så længe denne tilstand ikke foreligger, har man mellem impulserne svarende til markeringerne og M2 og markeringen svarende til smeltezonebilledet z' enten et udpræget strømstyrke- eller spændingsminimum, fig. 7, el-25 ler en kraftig forøgelse ved kanterne af smeltezonebilledet, fig. 9.Thus, one can scan the information contained in the electron beam 2 due to the effect of the electronic camera 6 and the means responsible for producing the markings and M2 in order to balance the correct one in FIG. 8. As long as this condition is not present, between the pulses corresponding to the markings and M2 and the marking corresponding to the melting zone image z ', either a pronounced current or voltage minimum is present. 7, or a sharp increase at the edges of the melt zone image; 9th

Det skal endnu bemærkes, at man kan indføre markeringerne og M2 samtidigt i flere nabolinier i fjernsynsbilledet, således at der opstår en skær- eller bj«l-30 keformet skikkelse af markeringerne. Til opnåelse heraf kræves der en impulsgiver 7, der er således indrettet, at den afgiver med perioden τ forskudte impulsgrupper, der hver vender tilbage med perioden Τβ, i stedet for de ovenfor beskrevne enkeltimpulser, således at den ved 35 hjælp af fig. 6 beskrevne mekanisme skal anvendes ved flere nabolinier.It should be further noted that the markings and M2 can be introduced simultaneously in several neighboring lines in the television picture, so that a cut or beam-shaped shape of the markings is formed. To achieve this, a pulse generator 7 is arranged so that it emits offset pulse groups each with the period τ, each returning with the period Τβ, instead of the single pulses described above, so that it is shown by means of FIG. 6 mechanism should be used at several neighboring lines.

Opfindelsen forklares yderligere ved hjælp af det i fig. 10 viste blokdiagram over et eksempel på det sam- ' 145275 14 lede apparat.The invention is further explained by means of the embodiment of FIG. 10 is a block diagram of an example of the entire apparatus.

Det med et fjernsynskamera 101 optagne billede af en genstand 102, gengives i et fastlagt afbildningsforhold på et iagttagelsesapparat 103. Over et blan-5 dingstrin 104 indblændes samtidigt i fjernsynsbilledet på iagttagelsesapparatet 103 måleskær 105 for en skydelære, hvis dimensioner og beliggenhed fastlægges i en elektronisk måleindretning 121. Over en udnyttelsesindretning 106 fremkommer den indstillede målevær-10 di i digital form i en indikationsindretning 107 og indblændes over en cifferkoder 108 og blandingstrinnet 104 i fjernsynsbilledet på iagttagelsesapparatet 103.The image taken by a television camera 101 of an object 102 is reproduced in a determined imaging ratio on an observing device 103. Over a blending stage 104, at the same time, the television image of the observing device 103 is measuring cutter 105 for a slider whose dimensions and location are determined in an electronic measuring device 121. Above a utilization device 106, the set measuring value 10 appears in digital form in an indication device 107 and is blinded over a digit encoder 108 and the mixing stage 104 in the television image on the monitoring device 103.

Ved sammenknytning af denne fremgangsmåde med en automatisk billedaftastning og regulering af arbejdspro-15 cessen forbindes en indretning 109 til automatisk genstandsopfattelse med fjernsynskameraet 101, udnyttelsesindretningen 106 for koblingsindretningen og den elektroniske måleindretning 121. Desuden er udgangen fra udnyttelsesindretningen 106 forbundet med regule-20 ringsmekanismen for en indretning 123 til bearbejdelse af den iagttagne genstand, f.eks. en stræknings- op-stemnings- reguleringsindretning ved zonetrækning af halvledermaterialer.By associating this method with an automatic image scanning and control of the working process, a device for automatic object perception is connected to the television camera 101, the utilization device 106 for the switching device and the electronic measuring device 121. In addition, the output of the utilization device 106 is connected to the control mechanism for a device 123 for processing the observed object, e.g. a stretch tuning control device for zone drawing of semiconductor materials.

Ved fremgangsmåden bliver den lodrette stilling af 25 måleskærene i fællesskab sammenlignet i en sammenligningskobling 114 i den elektriske måleindretning 121 ved sammenligning af savtandsspændingen fra en sav-tandsgenerato.r 113 for den lodrette stilling af måleskærene, hvilken generator arbejder med en frekvens på 30 50 Hz svarende til billedfrekvensen, med en indstillelig jævnspænding, der ved manuel drift indføres over en modstand 112. Hvis savtandsspændingen når den indstillede jævnspænding, kobler sammenligningskoblingens udgang om.In the method, the vertical position of the 25 measuring cutters is jointly compared in a comparison circuit 114 of the electric measuring device 121 by comparing the sawtooth voltage of a sawtooth generator 113 for the vertical position of the measuring cutters, which operates at a frequency of 30 50 Hz. corresponding to the frame rate, with an adjustable DC voltage applied by manual operation over a resistor 112. If the sawtooth voltage reaches the set DC voltage, the output of the comparator switches.

Da savtandsgeneratoren er synkroniseret med fjernsyns-35 anlæggets billedfrekvens, er også tilstandsændringerne på sammenligningskoblingens udgang synkrone med billed-skiftet. Der .findes blot en tidsmæssig forskydning, der svarer til den indstillede jævnspænding. Den tidsmæssi- 145275 15 ge forskydning bestemmer nu den lodrette position af måleskærene. Ved hjælp af en efterkoblet linietæller 119 kan bredden af måleskærene ændres indtil billedets højde. Efter ønske kan så de udvalgte linier over blandings-5 trinnet 104 styres til at være lyse eller mørke på billedskærmen i iagttagelsesapparatet. 103.Since the sawtooth generator is synchronized with the picture frequency of the television system, the state changes on the output of the comparison coupling are also synchronous with the picture change. There is only a temporal offset that corresponds to the set DC voltage. The temporal offset now determines the vertical position of the measuring shears. By means of a post-connected line counter 119, the width of the measuring cutters can be changed up to the height of the image. If desired, then the selected lines over the mixing stage 104 can be controlled to be light or dark on the display of the viewing apparatus. 103rd

Den vandrette afstand mellem de to måleskær fastlægges på lignende måde. Her bliver f.eks. impulserne fra en savtandsgenerator 115, der arbejder med en fre-10 kvens svarende til liniefrekvensen, f.eks. 15625 Hz, sammenlignet separat med to indstillede jævnspændinger, der ved manuel drift indstilles over modstande 110 og 111 i hver sin sammenligningskobling 116 og 117. Da savtandsgeneratoren ligeledes er synkroniseret med fjern-15 synsanlæggets liniesynkroniseringsimpulser, er også tilstandsændringen for sammenligningskoblingernes udgange synkrone med liniebegyndelsen. Der findes blot en tidsmæssig forskydning, der svarer til de indstillede jævnspændinger, hvorved måleskærenes indbyrdes vandrette 20 afstand er bestemt.The horizontal distance between the two measuring inserts is similarly determined. Here, for example. the pulses of a sawtooth generator 115 operating at a frequency corresponding to the line frequency, e.g. 15625 Hz, compared separately with two set DC voltages, which are manually set across resistors 110 and 111 in each of the comparison couplings 116 and 117. Since the sawtooth generator is also synchronized with the line synchronization pulses of the remote viewing system, the state change of the comparison couplings outputs is also the state change. There is only a temporal offset that corresponds to the set DC voltages, which determines the horizontal distance between the measuring cutters.

Tilstandsændringerne på udgangene fra sammenligningskoblingerne forårsager desuden frigivelse af tælleimpulser over en måleimpulsfrigivelseskobling 122 under varigheden af tilstandsændringen for kun én sammen-25 ligningskoblingsudgang, der svarer til den vandrette afstand mellem de to måleskær. I den yderligere i og for sig kendte koblingsindretning 106 udnyttes impulserne og tilføres en cifferindikator eller indblændes over en cifferkoder 108 og blandingstrinnet 104 på billed-30 skærmen i iagttagelsesapparatet 103. Ved sammenknytning af den automatiske genstandsopfattelse 109 og regulering af arbejdsprocessen ved genstanden med skydelærens indretninger er det muligt, foruden den manuelle måling af genstanden ved indstilling af måleskærene i 35 positionen for det sted på genstanden, der skal måles, og ved fremføring af måleskærene til begrænsningslinien for billedprojektionen af genstanden, der skal måles, såvel automatisk at indstille det udvalgte målested, >:'Γ" 145275 16 som at angive måleværdierne automatisk på billedskærmen eller indikatorenheden. Herved bliver håndindstillingen af den vandrette og den lodrette stilling for måleskære-hé, dvs. modstandene 110 og 112 frakoblet med afbryde-5 ren 118 og styringen af positionen af måleskærene overtaget af det udpegede og ved hjælp af den automatiske genstandsopfattelse udnyttede sted i fjernsynsbilledet på iagttagelsesapparatet eller på afbildningen på vidiconrøret i fjernsynskameraet.The state changes on the outputs of the comparison couplings also cause the release of counting pulses over a measurement pulse release coupling 122 for the duration of the state change for only one comparison coupling output corresponding to the horizontal distance between the two measuring inserts. In the further known prior art switching device 106, the pulses are utilized and supplied with a digit indicator or blinded over a digit encoder 108 and the mixing stage 104 of the display 30 in the observing apparatus 103. By linking the automatic object perception 109 and controlling the working process with the object with the shooter it is possible, in addition to the manual measurement of the object, by setting the measuring cutters at the position of the location of the object to be measured, and by advancing the measuring cutters to the restriction line of the image projection of the object to be measured, as well as automatically setting the selected measuring point. , Such as setting the measurement values automatically on the display screen or indicator unit. Hereby, the manual setting of the horizontal and vertical position of the measuring cutter, ie resistors 110 and 112, is switched off with the switch 118 and the control of the position. of the measuring inserts taken over by the designated and by using the automatic object perception utilized location in the television image on the observation apparatus or on the image on the video tube in the television camera.

10 Ved sammenknytning af automatikken med skydelæren er det på enkel måde muligt optisk at overvåge den automatiske reguleringsindretning med hensyn til den foreskrevne funktion.10 By linking the automatic with the slider, it is simply possible to optically monitor the automatic control device with regard to the prescribed function.

Desuden er det muligt ved halvautomatisk drift, 15 dvs. med afbryderen 120 sluttet, manuelt at indstille den lodrette position over den indstillelige jævnspænding til indstilling af den lodrette position af måleskærene over modstanden 112 og at foretage en automatisk måling på genstanden på et vilkårligt manuelt ind-20 stillet sted.In addition, it is possible for semi-automatic operation, ie. with switch 120 closed, manually adjusting the vertical position above the adjustable DC voltage to adjust the vertical position of the measuring cutters over the resistor 112 and making an automatic measurement of the object at any manually set location.

Claims

145276

An apparatus for determining or monitoring a cross-section of the crucible-free zone melt through a semiconductor rod (102) by means of a television camera (101) and a reproduction apparatus (103) controlled thereon, on whose image screen, in addition to the image of the melt zone, is produced a measurement mark which can be displaced across the screen in the line-deflection direction by means of setting means (110, 111), on the basis of which setting an output signal representative of a cross-sectional dimension of the melt zone, characterized by coupling means (121) can be produced the image rendered on the screen of two measuring markers, dashed or bar-shaped, aligned with adjacent markings (M ^, M2, 105) extending from opposite side edges of the screen to each other, and the adjusting means (110, 111) are arranged for simultaneously adjusting the positions of those facing away from the respective side edges, fr ie ends of the two markings.

Apparatus according to claim 1, characterized in that an electron beam (12) which in the camera senses the image of the melt zone along horizontal lines or an electron beam (2) which in the image reproducing apparatus 25 draws the image of the melt zone along horizontal lines, to produce the two markings (M 1 and M 2) in that in an electronic circuit controlling the relevant electron beam (2 or 12), over a coupling means (9), electrical impulses are generated which are generated in an auxiliary current circuit which series contains the coupling means (9), a DC voltage source (23) and two three-pole semiconductor couplers (22 and 25) that the control line in one of these couplers (22) is actuated by a pulse generator which emits the same and in relation to scan-35 the shortening time of an image line short-duration switching pulses with an adjustable period for determining the free ends of the markings and that the control distance in the second coupler (25) is influenced by the line-switching pulses controlling