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Publication number: DEP0001160MA
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BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

Tag der Anmeldung: 27. März 1950 Bekanntgemacht am 29. November 1956Registration date: March 27, 1950. Advertised on November 29, 1956

DEUTSCHES PATENTAMTGERMAN PATENT OFFICE

Es sind Interferenzmikroskope bekannt, bei denen der von einer Lichtquelle ausgehende Strahlengang durch eine Strahlenteilerplatte aufgeteilt wird. Dabei wird ein Strahlenbündel auf das zu untersuchende Objekt gelenkt und das andere Strahlenbündel auf einen Vergleichsspiegel. Die von diesen beiden Flächen reflektierten Strahlenbündel erreichen über die Strahlenteilerplatte gemeinsam das Okular des Mikroskops. Auf ίο ihrem Weg durchlaufen die beiden Strahlenbündel fast genau gleiche optische Wege. Der Unterschied beider Wege besteht darin, daß das eine Strahlenbündel von dem zu untersuchenden Objekt, das andere Strahlenbündel dagegen von dem Vergleichsspiegel reflektiert wird. Durch Unregelmäßigkeiten in der zu untersuchenden Oberfläche wird die regelmäßige Anordnung der Interferenzstreifen gestört. Diese bekannten Interferenzmikroskope sind aufgebaut nach dem Prinzip des Michelson-Interferometers oder nach dem Prinzip des Interferenzapparates von J a m i n. Bei Apparaten zur Erzeugung von Interferenzen nach diesen Prinzipien werden die Strahlenbündel entweder an planparallelen Platten oder mittels halbdurchlässigerThere are interference microscopes known in which the emanating from a light source Beam path is divided by a beam splitter plate. In doing so, a bundle of rays appears the object to be examined is directed and the other bundle of rays is directed to a comparison mirror. The bundles of rays reflected from these two surfaces jointly reach the microscope's eyepiece via the beam splitter plate. on ίο the two bundles of rays traverse almost exactly the same optical path on their way. The difference Both ways consist in the fact that one beam of rays from the object to be examined, the other In contrast, the bundle of rays is reflected by the comparison mirror. By irregularities The regular arrangement of the interference fringes is disturbed in the surface to be examined. These known interference microscopes are based on the principle of the Michelson interferometer or according to the principle of J a m i n's interference apparatus. In apparatuses for generating of interferences according to these principles, the bundles of rays are either plane-parallel Plates or by means of semi-permeable

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Spiegel getrennt. In jedem Fall jedoch verläuft der hauptsächliche Strahlengang im Interferenzapparat in einem vorzugsweise rechten Winkel zum . Strahlengang im Mikroskop. Um bei der geteilten Führung der Strahlenbündel zu erreichen, daß diese optisch gleichartige Wege durchlaufen, ist es nötig, daß die einzelnen optischen Einrichtungen beider Wege miteinander identisch sind. Das bedingt bei Interferenzmikroskopen, bei denen dasMirror separated. In any case, however, the main beam path runs in the interference apparatus at a preferably right angle to the. Beam path in the microscope. To help with the shared It is necessary to guide the bundle of rays so that they traverse optically similar paths It is necessary that the individual optical devices of both paths are identical to one another. That requires with interference microscopes, where the

ίο Objektiv dicht über dem Objekt angeordnet sein muß, daß statt eines einzigen Objektivs zwei einander optisch identische Objektive verwendet werden müssen, und zwar eines über dem Objekt und eines über dem Vergleichsspiegel. Durch die Verwendung von zwei Objektiven und durch die Anordnung zur Strahlenteilung vor diesen Objektiven sind Interferenzmikroskope der bisherigen Bauart aufwendig, sperrig und teuer.ίο The lens must be arranged close to the object it must be that two optically identical lenses are used instead of a single lens must, namely one above the object and one above the comparison mirror. By using of two lenses and the arrangement for beam splitting in front of these lenses interference microscopes of the previous type are complex, bulky and expensive.

Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, diese Nachteile der bisher venvendeten Anordnungen zu beseitigen und darüber hinaus ein Interferenzmikroskop so. zu gestalten, daß es einfach aufgebaut, leicht und, in einem Kasten zusammengelegt, bequem zu transportieren ist.The invention has set itself the task of eliminating these disadvantages of the previously used arrangements to eliminate and, moreover, an interference microscope like that. to make it easy constructed, light and, when folded in a box, is easy to transport.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die besondere Anordnung der Strahlenteilerplatte vor dem Objektiv des Mikroskops. Dadurch wird die Anordnung, die zur Erzeugung der beiden kohärenten Strahlenbündel dient, vollkommen aus dem eigentliehen Mikroskop herausgenommen.This task is solved by the special arrangement of the beam splitter plate in front of the objective of the microscope. This makes the arrangement necessary to produce the two coherent The beam is used, completely removed from the actual microscope.

Das erfindungsgemäß vorgeschlagene Interferenzmikroskop ist dadurch gekennzeichnet, daß der Vergleichsspiegel und die Strahlenteilerplatte senkrecht zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs und zwischen diesem und dem Objekt angeordnet sind. Weitere Ausgestaltungen der so gekennzeichneten Erfindung bilden den Gegenstand der Unteransprüche. Um die Interferenzbedingungen zu erfüllen, ist es nötig, daß der Abstand der Strahlen- · teilerplatte vom Vergleichsspiegel und von dem spiegelnden. Prüf objekt gleich groß ist. Zum Einstellen dieses Abstandes sind Mittel, insbesondere nach Art einer Mikrometerschraube, vorgesehen. Die Anordnung zur Erzeugung der Interferenzen soll klein und gedrängt sein, damit möglichst geringe Lichtverluste auftreten. Aus diesem Grund wird der Vergleichsspiegel direkt auf der Frontlinse des Objektivs angeordnet, er kann auch in Form eines Metallniederschlages mittels einer Lochschablone direkt auf diese Linse aufgebracht sein.The interference microscope proposed according to the invention is characterized in that the Comparison mirror and the beam splitter plate perpendicular to the optical axis of the microscope objective and are arranged between this and the object. Further refinements of the so marked Invention form the subject of the subclaims. To meet the interference conditions, it is necessary that the distance of the beam splitter plate from the comparison mirror and from the reflective. Test object is the same size. To set this distance are means, in particular like a micrometer screw, provided. The arrangement for generating the interference should be small and compact so that as little light loss as possible occurs. For this reason If the comparison mirror is arranged directly on the front lens of the objective, it can also be used in In the form of a metal deposit, applied directly to this lens using a perforated template being.

Die Strahlenteilerpratte wird von zwei Glasplättchen gleicher Dicke mit planparallelen Oberflächen gebildet, die zusammengeklebt und senkrecht zur Achse des Objektivs angeordnet sind, nachdem zuvor eine der einander berührenden Flächen mit einem halbdurchlässigen Überzug versehen worden ist.The beam splitter plate is made up of two glass plates of the same thickness with plane-parallel surfaces formed, which are glued together and arranged perpendicular to the axis of the lens after previously one of the contacting surfaces has been provided with a semi-permeable coating is.

Nach einem der Unteransprüche befindet sich die Lichtquelle, mit deren Licht die Interferenzen erzeugt werden, in einem Seitenrohr, das winklig am Tubus des Mikroskops angeordnet ist. Ihre Strahlen werden mit Hilfe eines Spiegels oder Prismas in das Hauptrohr geworfen. Dabei können weiterhin die beiden Rohre gegeneinander austauschbar sein. . .According to one of the subclaims, there is the light source with whose light generates the interference in a side tube that is angled on the tube of the microscope. your Rays are thrown into the main pipe with the help of a mirror or prism. Here you can the two tubes continue to be interchangeable with one another. . .

Ein weiteres Kennzeichen der Erfindung besteht darin, daß die erwähnten Einstellmittel einen Fuß umfassen, welcher zur Auflage auf die zu prüfende und den zweiten Spiegel bildende Oberfläche bestimmt ist. Die ebene Unterfläche dieses Fußes dient zur Auflage auf die zu prüfende Oberfläche, während sein oberer Abschluß als Kugelzone ausgebildet ist. Auf dieser ruht die Unterkante des den Gerätekörper bildenden Rohres. Diese Anordnung erlaubt, die optische Achse des Mikroskops gegenüber dem Objekt zu ändern, um auf diese Weise die Interferenzstreifen in eine.zur Messung möglichst günstige Lage zu bringen.Another characteristic of the invention is that the adjustment means mentioned have a foot include, which is intended to rest on the surface to be tested and the second mirror forming is. The flat lower surface of this foot serves to rest on the surface to be tested, while its upper end is designed as a spherical zone. The lower edge of the rests on this the tube forming the device body. This arrangement allows the optical axis of the microscope to change in relation to the object in order to convert the interference fringes into one for measurement Bring the most favorable location possible.

Ein Interferenzmikroskop ist in der Zeichnung in einer bevorzugten Ausführungsform zur Erläuterung der Erfindung dargestellt.An interference microscope is shown in the drawing in a preferred embodiment for explanation of the invention shown.

Fig. ι zeigt ein aufgebautes Interferenzmikro- ' skop mit dazugehörigem Transportkasten im Schaubild; ■'..■''Fig. Ι shows a built-up interference micro- ' scope with associated transport box in the diagram; ■ '.. ■' '

Fig. 2 zeigt in vergrößertem Maßstab und im axialen Schnitt den Objektivkopf dieses Interferenzmikroskops; ■ 'Fig. 2 shows, on an enlarged scale and in axial section, the objective head of this interference microscope; ■ '

. Fig. 3 stellt denselben .Objektivkopf nach dem Entfernen eines Teiles der äußeren Umhüllung dar;. Fig. 3 shows the same lens head after removing part of the outer casing dar;

Fig. 4 zeigt schematisch den Strahlenverlauf zwischen Objektiv und Prüfling;4 shows schematically the beam path between the objective and the test object;

Fig. 5 zeigt schematisch in Seitenansicht den Apparat mit gegen die Vertikale geneigter optischer Achse;Fig. 5 shows schematically in side view the apparatus with the optical inclined relative to the vertical Axis;

Fig. 6 zeigt schematisch die Änderung des Streifenabstandes d bei geänderter Neigung der optischen Achse;6 shows schematically the change in the stripe spacing d with a changed inclination of the optical axis;

Fig. 7 ist eine schematische Ansicht des Strahlen-Verlaufes in einer anderen Ausführungsform der Erfindung.FIG. 7 is a schematic view of the beam path in another embodiment of FIG Invention.

Im einzelnen werden die Figuren wie folgt beschrieben: The figures are described in detail as follows:

Fig. 2 zeigt den Objektivkopf 12 des Interferenzmikroskope. Die Strahlenteilerplatte besteht aus den beiden planparalleleri Glasplättchen 1 und 2, zwischen denen eine halbdurchlässige Metallschicht 3 angebracht ist. Auf der Frontlinse des Objektivs 5 ist zentrisch der Vergleichsspiegel 4 no angeordnet. Dieser Spiegel ist auf die Achse des Objektivs zentriert und in seinem Durchmesser so bemessen, daß nur ein kleiner Teil des Beleuchtungsbündels ausgeblendet wird. Das Objektiv ist in die Buchse 11 eingeschraubt, welche ihrerseits mit einem Gewinde in dem Mikroskoptubus 6 sitzt. Die Schraube 13 verbindet die Buchse 11 mit der Betätigungsmuffe 12, wobei die Schraube 13 mit ihrem Schaft in dem Mikrometergang des Mikroskoptubus 14 läuft. Der Mikroskoptubus 6 ist mittels einer Feder 19 mit dem Fußteil 15 verbunden. Dieser weist an seiner Unterseite eine ebene Fläche 16 auf und mindestens ein Loch 17 für den Durchtritt des Prüflichtbündels. Das Fußteil 15 ist nach ·. oben durch die Oberfläche 18 einer Kugelzone abgeschlossen. Der Mittelpunkt der zugehörigenFig. 2 shows the objective head 12 of the interference microscope. The beam splitter plate consists of the two plane-parallel glass plates 1 and 2, between which a semi-permeable metal layer 3 is attached. On the front lens of the Objective 5 is centrically the comparison mirror 4 no arranged. This mirror is centered on the axis of the lens and so in its diameter dimensioned so that only a small part of the illumination beam is hidden. The lens is screwed into the socket 11, which in turn sits with a thread in the microscope tube 6. The screw 13 connects the socket 11 with the Actuating sleeve 12, the screw 13 with their shaft runs in the micrometer passage of the microscope tube 14. The microscope tube 6 is by means of a spring 19 is connected to the foot part 15. This has a flat surface on its underside 16 and at least one hole 17 for the passage of the test light beam. The foot part 15 is after ·. closed at the top by the surface 18 of a spherical zone. The center of the associated

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Kugel liegt bei O. Der untere Abschluß des Mikroskoptubus 6 stützt sich auf die Kugelzonenfläche ab, wobei durch die Verbindungsfeder 19 ein Auseinanderfallen dieser beiden Teile verhindert wird. Diese Anordnung erlaubt es, die Beobachtungseinrichtung gegenüber der Oberfläche des Objektivs P zu neigen.The ball is at O. The lower end of the microscope tube 6 is supported on the spherical zone surface, the connecting spring 19 preventing these two parts from falling apart. This arrangement allows the observation device to be inclined relative to the surface of the objective P.

Fig. ι zeigt ein aufgebautes Interferenzmikroskop mit dem dazugehörigen Transportkasten 27.Fig. Ι shows a built-up interference microscope with the associated transport box 27.

In diesem Kasten sind ein Transformator 28 und eine Batterie 29 untergebracht. Diese dienen wahlweise zur Versorgung der Lichtquelle S, welche mit ihrer Linse 26 in einem Seitentubus 25 eingebaut ist. In dem Kasten ist außerdem der Sockel 21 untergebracht, welcher zur Befestigung der Säule 20 dient. Diese Säule 20 trägt das Halterungssystem für das Interferenzmikroskop, welches lösbar und in der- Höhe verstellbar bei 23 und 24 mit der Blattfeder 22 die Standsäule 20 und das Mikroskop 6 miteinander verbindet. Mit 7 ist ein halbdurchlässiger Spiegel oder ein Prisma bezeichnet, wodurch die Strahlrichtung der Lichtquelle S in die optische Achse des Mikroskops umgelenkt sowie die Betrachtung des Mikroskopbildes durch das Okular 8 erlaubt wird.A transformer 28 and a battery 29 are housed in this box. These serve optionally to supply the light source S, which is installed with its lens 26 in a side tube 25. The base 21, which is used to fasten the column 20, is also accommodated in the box. This column 20 carries the mounting system for the interference microscope, which releasably and adjustable in height at 23 and 24 with the leaf spring 22 connects the column 20 and the microscope 6 to one another. A semitransparent mirror or a prism is denoted by 7, as a result of which the beam direction of the light source S is deflected into the optical axis of the microscope and the microscope image can be viewed through the eyepiece 8.

Die Gesamtanordnung des Apparates, welche die oben beschriebenen wesentlichen Teile so\vie Mittel umfaßt, um geeignete gegenseitige und vorzugsweise regelbare Lagen zwischen der Strahlenteilerplatte und dem Objektiv und dem Objekt P herzustellen, arbeitet in der in Fig. 4 schematisch dargestellten Weise.The overall arrangement of the apparatus, which comprises the essential parts described above as well as means for producing suitable mutual and preferably controllable positions between the beam splitter plate and the objective and the object P, operates in the manner shown schematically in FIG.

In dieser Fig. 4 sieht man, daß sich der von der . Lichtquelle 5* kommende einfallende Strahl, oder zur Vereinfachung der Elementarstrahl AB, in zwei Teile gemäß folgenden beiden Wegen aufteilt: einerseits ABCDEFG unter Durchdringung der Strahlenteilerplatte, Reflexion an dem Prüfling P, neuerlicher Durchdringung der Strahlenteilerplatte und Rückkehr zu dem Objektiv, d. h. zu der Beobachtungsvorrichtung; und andererseits A B C D' E F G unter aufeinanderfolgenden Reflexionen an der Strahlenteilerplatte und an dem Spiegel oder der Bezugsfläche 4 und hierauf ebenfalls Rückkehr zu der Beobachtungsvorrichtung.In this Fig. 4 it can be seen that the of the. Light source 5 * the incoming beam, or to simplify the elementary beam AB, divides it into two parts according to the following two ways: on the one hand ABCDEFG with penetration of the beam splitter plate, reflection on the test object P, renewed penetration of the beam splitter plate and return to the objective, i.e. to the observation device ; and on the other hand ABCD 'EFG with successive reflections on the beam splitter plate and on the mirror or reference surface 4 and then also return to the observation device.

Wenn die beiden Lichtbündel optisch gleiche Wege durchlaufen, was man durch eine geeignete Einstellung der gegenseitigen Lagen der zusammemvirkenden Teile erhalten kann, sieht man in dem Okular Interferenzstreifen auf der untersuchten Oberfläche erscheinen, deren Einzelheiten man, wie z. B. bei 9 in Fig. 6, erkennen und beurteilen kann, wobei Unterschiede in der Oberflächenbeschaffenheit zwischen PrüflingP und Vergleichsfläche 4 sich in Ungleichmäßigkeiten 10 dieser Streifen auswirken.If the two light bundles optically go through the same paths, which can be obtained by a suitable setting of the mutual positions of the cooperating parts, one sees interference fringes appear in the eyepiece on the examined surface, the details of which can be seen, e.g. B. at 9 in Fig. 6, can recognize and assess, differences in the surface properties between test object P and comparison surface 4 result in irregularities 10 of these strips.

Man kann somit mit Hilfe eines solchen Apparates den Zustand von Oberflächen untersuchen und messen.With the help of such an apparatus one can examine the condition of surfaces and measure.

Ein solcher Apparat gestattet jedoch auch, mit großer Genauigkeit und ohne körperliche Berührung die Lage einer polierten Fläche im Raum in bezug auf eine Vergleichsfläche festzustellen, indem man einem der Teile, deren Stellung und Lage die Interferenzerscheinung bestimmen, bei gleichzeitiger Beobachtung der Veränderungen des Interferenzbildes eine Verschiebung erteilt.However, such an apparatus also allows, with great accuracy and without physical contact determine the position of a polished surface in space in relation to a comparison surface by one of the parts whose position and position determine the interference phenomenon, while at the same time Observation of the changes in the interference pattern issued a shift.

So richtet man es gemäß einer bevorzugten Anordnung der Erfindung so ein, daß man nach Belieben die Einstellung des einfallenden Lichtbündeis oder der optischen Achse des Apparates gegenüber der zu untersuchenden .Oberfläche oder dem zu untersuchenden Gegenstand verändern kann, oder umgekehrt. Fig. 5 und 6 zeigen: hierfür schematisch, daß bei einer Veränderung des Winkels zwischen der optischen Achse X-X und der Oberfläche P sich der Abstand d der Streifen 9 (Fig. 6), welche Schnitte in Fig. 5 stark vergrößert dargestellten Interferenzebenen i mit der Oberfläche P sind, ändert. Ebenso verändert sich die Lage der Streifen 9 bei der Bewegung der Achse X-X auf einer Kegelfläche um eine lotrechte Achse Z-Z. Diese Streifen nehmen z. B. die neue, bei 9' gestrichelt angegebene Lage ein (an diesem gestrichelten Linienzug sind die Ungleichmäßigkeiten 10 nicht wiedergegeben, um die Zeichnung nicht zu überladen). Die Bedienungsperson gewinnt somit durch das Kippen der optischen Achse neue Untersuchungs- oder Meßmöglichkeiten.Thus, according to a preferred arrangement of the invention, it is set up in such a way that the setting of the incident light beam or the optical axis of the apparatus relative to the surface to be examined or the object to be examined can be changed as desired, or vice versa. Fig. 5 and 6 show: this schematically that with a change of the angle between the optical axis XX and the surface P, the distance is d, the strip 9 (Fig. 6), which cuts strongly in Figure 5 is increased interference levels shown i with. of the surface P , changes. The position of the strips 9 also changes when the axis XX moves on a conical surface about a vertical axis ZZ. These strips take e.g. B. the new position indicated by dashed lines at 9 '(the irregularities 10 are not shown on this dashed line in order not to overload the drawing). The operator thus gains new possibilities for examination or measurement by tilting the optical axis.

Die vorstehend angegebene Interferenzeinrichtung ist in ihrer Anwendung keineswegs auf das Prüfen von Oberflächen beschränkt. Man kann derartige Apparate als Interferenzfraktometer zur Kontrolle der Konstanz des Brechungsindex einer durchsichtigen Flüssigkeit oder zur Messung der Abweichung dieses Index von dem eines als Bezugsgröße dienenden Normalmittels benutzen. Hierfür genügt es, zwischen das Objektiv und das Strahlenteilersystem das Eichmittel zu bringen und das zii untersuchende Mittel zwischen das Strahlenteilersystem und die Oberfläche/³ der Fig. 4 einzuschalten. Eine Veränderung des Brechungsindex wirkt sich in einer Verschiebung der Interferenzstreifen aus, die leicht zu messen ist und leicht die Berechnung dieser Veränderung gestattet.The above-mentioned interference device is in no way limited in its application to the testing of surfaces. Such apparatus can be used as an interference fractometer for checking the constancy of the refractive index of a transparent liquid or for measuring the deviation of this index from that of a standard mean serving as a reference value. For this purpose it is sufficient to bring the calibration means between the objective and the beam splitter system and to connect the zii examining means between the beam splitter system and the surface / ³ of FIG. A change in the refractive index results in a shift in the interference fringes, which is easy to measure and allows this change to be easily calculated.

Ferner kann man sie für die Beobachtung von durchsichtigen Stoffen, z. B. von biologischen Präparaten, verwenden. Hierfür genügt es, das zu untersuchende Präparat auf eine tadellos polierte Metallfläche zu bringen. Die Unregelmäßigkeiten der Interferenzstreifen rühren dann von den Unterschieden der Indizes der von dem. Licht durchdrungenen Substanzen her und lassen so Einzelheiten erscheinen, welche man durch die üblichen Verfahren nicht erhält, wenn die Absorption des Lichtes in den verschiedenen Bestandteilen des Präparates gleich ist.They can also be used for the observation of transparent materials, e.g. B. of biological preparations, use. It is sufficient for the specimen to be examined to have a perfectly polished one Bring metal surface. The irregularities of the interference fringes then result from the differences of the indices of the. Substances permeated by light, thus leaving details appear which cannot be obtained by the usual methods if the absorption of the Light is the same in the various components of the preparation.

Fig. 4 stellt nur eine Möglichkeit der Strahlenführung in einem Interferenzmikroskop gemäß der Erfindung dar. Beispielsweise kann man auch in gewissen Fällen, insbesondere wenn es sich um die Bestimmung des Brechungsindex von durchsichtigen Körpern handelt, mit ein und demselben Strahlenteiler zwei optische Systeme oder Objektive L-U (Fig. 7) mit zwei Spiegeln oder Bezugsflächen D-D' zusammenwirken lassen.4 shows only one possibility of guiding the rays in an interference microscope according to the invention. For example, in certain cases, especially when determining the refractive index of transparent bodies, one and the same beam splitter can use two optical systems or objectives LU (Fig. 7) can interact with two mirrors or reference surfaces DD ' .

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Ein bei AB durch das Obj ektiv L ankommenderOne arriving at AB through the L objective

. einfallender Strahl kann sich auf zwei Wege ABC D' EG' und ABC D EG' aufteilen. Diese beiden Strahlen werden dann in dem Objektiv L' beobachtet. . incident beam can split into two paths ABC D 'EG' and ABC D EG ' . These two beams are then observed in the objective L '.

Das eine der Objektive L kann somit nur zur Beleuchtung dienen, und das andere, L', zur Beobachtung. Die Beobachtung kann jedoch auch gleichzeitig auf beiden Seiten durch das Objektiv L ίο oder L' erfolgen.One of the objectives L can therefore only be used for illumination, and the other, L ', for observation. The observation can, however, also take place simultaneously on both sides through the objective L ίο or L ' .

Claims

PATENT CLAIMS:

1. Interference microscope, in which the bundle of rays emanating from a light source divided by a beam splitter plate and thereby partly on the area to be examined Object and the other part is directed to a comparison mirror and that of these bundles of rays reflected from both surfaces

ao via the beam splitter plate together that

Reach the eyepiece of the microscope and interfere with each other on their way there, thereby characterized in that the comparison mirror and the beam splitter plate perpendicular to the optical Axis of the microscope lens are arranged between this and the test object.

2. Interference microscope according to claim 1, characterized in that it is provided with means for Fine adjustment, especially like a micrometer screw, to change the distances between the beam splitter and the comparison mirror or the one to be examined Object is equipped.

3. Interference microscope according to one of the claims 1 or 2, characterized in that the comparison mirror (4) on the lens side rests on the center of the objective front lens (5).

4.! Interference microscope according to claim 3, characterized in that the comparison mirror (4) of a reflective metallic Precipitation is formed on the center of the surface of the objective front lens (5).

5. interference microscope according to one of the claims 1 to 4, characterized in that the beam splitter plate (1 to 3) made of two plane-parallel glass plates of the same thickness (1 and 2) is composed, the common contact surface (3) is mirrored semi-permeable.

6. interference microscope according to claims 1 to 5, characterized in that the light source (S) in a side tube (25). is arranged and its rays are directed into the microscope tube (6) with the help of a mirror or prism.

7. interference microscope according to claim 6, characterized in that the illumination tube (25) and the eyepiece tube (8) against each other are designed to be interchangeable.

8. interference microscope according to one of claims 1 to 6, characterized in that the adjustment means comprise a foot (15) which is to rest on the to be tested and the second mirror forming surface is determined.

9. interference microscope according to claim 8, characterized in that the foot 15 with its flat lower surface (16) intended to rest on the surface to be tested and on its upper edge surface (18) is designed as a spherical zone on which the corresponding formed lower edge of the tube (6) forming the microscope tube is resting.

10. Interference microscope according to one of claims 8 or 9, characterized in that that as a resilient connecting member of the foot (15) and microscope tube (6) is a leaf spring (19) is used.

11. Interference microscope according to one of claims 1 or 2, characterized in that that the microscope objective (5) is adjustable in height in a screw mount (11) is arranged and that this, the beam splitter plate (1 to 3) containing screw socket (11) adjustable in height even in the microscope tube (6) by screwing sits.

Considered publications:
German Patent Nos. 631 822, 724040; French patents No. 663 254,
685.

1 sheet of drawings