DE968400C

DE968400C - Device for measuring pressure differences

Info

Publication number: DE968400C
Application number: DEA15713A
Authority: DE
Inventors: Dr Ludolph Jenckel; Erich Osterloh
Original assignee: Atlas Werke AG
Current assignee: Atlas Werke AG
Priority date: 1952-05-06
Filing date: 1952-05-06
Publication date: 1958-02-13

Description

Es ist bekannt, Druckdifferenzen mit einem elektrostatischen Differentialmanometer zu messen. Ein solches Druckmeßgerät besteht aus zwei gasdichten Kammern, die durch eine Membran voneinander getrennt sind. Dabei dient die Auslenkung der Membran als Maß für die zwischen den Kammern bestehende Druckdifferenz und wird elektrostatisch gemessen, indem die Membran einen Teil einer Kondensatoranordnung bildet, deren Kapazität sie durch ihre Auslenkung verändert. Die bekannten Differentialmanometer dieser Art haben den Nachteil, daß sie durch ihre Verbindungselemente die Ausheizung der Vakuumapparatur erschweren. Außerdem gehen Herstellungs-und Montageungenauigkeiten der Verbindungen stark in das Meßergebnis ein. It is known to measure pressure differentials with an electrostatic differential manometer to eat. Such a pressure measuring device consists of two gas-tight chambers that pass through a membrane are separated from each other. The deflection of the membrane serves as a Measure of the pressure difference between the chambers and becomes electrostatic measured by the membrane forming part of a capacitor arrangement, the Capacity it changes by its deflection. The well-known differential manometer of this type have the disadvantage that they cause the bake-out due to their connecting elements complicate the vacuum apparatus. In addition, there are manufacturing and assembly inaccuracies the connections have a strong influence on the measurement result.

Eine besonders einfache und genaue Herstellung sowie eine für die Ausheizung günstigere Bauweise solcher Differentialmanometer lassen sich dadurch erzielen, daß erfindungsgemäß die ruhenden Kondensatorplatten durch von der Membraneinspannung und vom Gehäuseverschluß unabhängige Mittel fest mit dem Druckmeßgehäuse verbunden sind, derart, daß sie nach ihrer Verbindung mit dem Gehäuse zur genauen Maßhaltigkeit geschliffen werden können. Nach einem weiteren Erfindungsmerkmal geschieht die Verbindung der ruhenden Kondensatorplatten mit dem Gehäuse vorteilhafterweise durch Isolierstehbolzen, die mit dem Gehäuse und den Kondensatorplatten vorzugsweise durch Verlöten fest verbunden sind. Dadurch wird jegliche Klemmverbindung mit ihren schwer ausheizbaren Spalten oder Fugen vermieden. A particularly simple and precise manufacture and one for the Bake out more favorable construction of such differential manometers can thereby achieve that, according to the invention, the stationary capacitor plates by the clamping of the membrane and means which are independent of the housing closure and are fixedly connected to the pressure measuring housing are such that they are after their connection with the housing for precise dimensional accuracy can be sanded. According to a further feature of the invention, the connection is made the stationary capacitor plates with the housing, advantageously by means of insulating studs, which are fixed to the housing and the capacitor plates, preferably by soldering are connected. This eliminates any clamping connection with its difficult to bake out Avoid gaps or joints.

Die Erfindung sei an einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht. Es zeigt Abb. I ein Differentialmanometer nach der Erfindung im Querschnitt und Abb. z eine Draufsicht auf die untere Gehäusehälfte mit eingebauter Kondensatorplatte. The invention is illustrated using an exemplary embodiment. It Fig. I shows a differential manometer according to the invention in cross section and Fig. z is a plan view of the lower half of the housing with built-in capacitor plate.

Die dargestellte Druckmeßvorrichtung besteht im wesentlichen aus einem zweiteiligen zylindrischen Gehäuse I, das durch eine senkrecht zu seiner Höhenachse angeordnete dünne Aluminiumfolie 2in zwei gasdichte Kammern 3, 4 unterteilt ist, welch letztere an die Räume anzuschließen sind, deren Druckdifferenz gemessen werden soll. Für die elektrische Verbindung der Kondensatorplatten 7, 8 mit einer Kapazitätsmeßbrücke sind Leitungsdurchführungen 9, IO vorgesehen. The pressure measuring device shown consists essentially of a two-part cylindrical housing I, which by a perpendicular to its height axis arranged thin aluminum foil 2 is divided into two gas-tight chambers 3, 4, which latter are to be connected to the rooms whose pressure difference is being measured target. For the electrical connection of the capacitor plates 7, 8 with a capacitance measuring bridge line bushings 9, IO are provided.

Die Kondensatorplatten weisen Durchbrechungen II, I2 auf, um eine schnellere Entlüftung der Räume zwischen den Platten und der Membran zu erzielen. The capacitor plates have openings II, I2 to a to achieve faster ventilation of the spaces between the plates and the membrane.

Sie sind mit den beiden Gehäusehälften durch einfache Rundbolzen I3, 14 aus Porzellan oder einem sonstigen Isolierstoff verbunden, die an ihren Enden verzinnt und mit dem Gehäuse bzw. den Platten verlötet sind.They are connected to the two halves of the housing by simple round bolts I3, 14 made of porcelain or some other insulating material connected at their ends tinned and soldered to the housing or the plates.

Um eine schnelle Ausheizung der Vakuumapparatur zu ermöglichen, wird zweckmäßigerweise die Verbindung zwischen den Stehbolzen I3, 14 und dem Gehäuse bzw. den Kondensatorplatten so vorgenommen, daß sich unter den Stirnflächen der Stehbolzen keine abgeschlossenen Kammern bzw. Spalte ausbilden können. In order to enable rapid heating of the vacuum apparatus, expediently the connection between the stud bolts I3, 14 and the housing or the capacitor plates made so that under the end faces of the Stud bolts cannot form closed chambers or gaps.

Zu diesem Zweck ist im vorliegenden Fall ein vollständiges Ausfüllen der unter den Stirnflächen der Bolzen befindlichen Räume durch Lötzinn vorgesehen. Zur festen Einspannung der Membran 2 zwischen den beiden Gehäusehälften sind die Einspannflächen mit Vorsprüngen I5, I6 versehen, die bei der Verbindung der beiden Gehäusehälften durch Flanschschrauben I7 in entsprechende Vertiefungen des anderen Gehäuseteiles eingreifen.For this purpose, in the present case, it must be completed in full the spaces located under the end faces of the bolts are provided by solder. To firmly clamp the membrane 2 between the two housing halves are the Clamping surfaces provided with projections I5, I6, when connecting the two Housing halves by means of flange screws I7 in the corresponding recesses of the other Engage the housing part.

Abgeschlossene Hohlräume unter den Stirnseiten der Verbindungsbolzen können auch dadurch vermieden werden, daß diese Räume durch umlaufende Ringnuten im Gehäuse mit den Druclrmeßkammern verbunden sind. Closed cavities under the end faces of the connecting bolts can also be avoided that these spaces by circumferential annular grooves are connected in the housing with the pressure measuring chambers.

PATENTANSPRSCEIE I. Vorrichtung zur Messung von Druckdifferenzen mit einer durch ihre Auslenkung die Kapazität einer Kondensatoranordnung beeinflussenden Membran, insbesondere elektrostatisches Differentialmanometer für Druckmessungen im Vakuum, bei dem Membran und Kondensatorplatten im Druckmeßraum liegen, dadurch gekennzeichnet, daß die ruhenden Kondensatorplatten (7, 8) durch von der Membraneinspannung und vom Gehäuseverschluß (I7) unabhängige Mittel (I3, I4) fest mit dem Drudmießgehäuse (I) verbunden sind, derart, daß sie nach ihrer Verbindung mit dem Gehäuse zur genauen Maßhaltigkeit geschliffen werden können. PATENT APPLICATION I. Apparatus for measuring pressure differences with one that influences the capacitance of a capacitor arrangement through its deflection Membrane, in particular electrostatic differential manometer for pressure measurements in the vacuum, in which the membrane and capacitor plates are in the pressure measuring space, thereby characterized in that the stationary capacitor plates (7, 8) are clamped by the diaphragm and means (I3, I4) independent of the housing closure (I7) fixed to the Drudmiess housing (I) are connected in such a way that after their connection with the housing they are accurate Dimensional accuracy can be ground.

Claims

2. Apparatus according to claim I, characterized in that the resting Capacitor plates (7, 8) are carried by insulating studs (I3, I4), which with the housing (I) and the capacitor plates, preferably firmly connected by soldering are.

Documents considered: French patent specification No. 964 108.