DE9315071U1 - Pressure transducer - Google Patents

Pressure transducer

Info

Publication number
DE9315071U1
DE9315071U1 DE9315071U DE9315071U DE9315071U1 DE 9315071 U1 DE9315071 U1 DE 9315071U1 DE 9315071 U DE9315071 U DE 9315071U DE 9315071 U DE9315071 U DE 9315071U DE 9315071 U1 DE9315071 U1 DE 9315071U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
chamber
separating membrane
fixed electrode
pressure transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE9315071U
Other languages
German (de)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OPE ELEKTRONISCHE SYSTEME GmbH
Original Assignee
OPE ELEKTRONISCHE SYSTEME GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by OPE ELEKTRONISCHE SYSTEME GmbH filed Critical OPE ELEKTRONISCHE SYSTEME GmbH
Priority to DE9315071U priority Critical patent/DE9315071U1/en
Publication of DE9315071U1 publication Critical patent/DE9315071U1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

OPEOPE

DruckwandlerPressure transducer

Die Erfindung betrifft einen Druckwandler, der zur Umwandlung von pneumatischem oder hydraulischem Druck in elektrischen Widerstand dient. Der Druckwandler ist dortThe invention relates to a pressure transducer which is used to convert pneumatic or hydraulic pressure into electrical resistance. The pressure transducer is

anwendbar, wo Drücke in Geräten, Anlagen, Gebäuden oder in der Umwelt ermittelt und Steuer- bzw. Regelfunktionen abgeleitet werden müssen. Solche Druckwandler sind u.a. für den Einsatz in der KonsumgüterIndustrie, im Fahrzeugbau und Apparatebau geeignet.applicable where pressures in devices, systems, buildings or in the environment need to be determined and control or regulation functions need to be derived. Such pressure transducers are suitable for use in the consumer goods industry, in vehicle construction and apparatus construction, among other things.

In DE OS 3638641 wird eine Einrichtung beschrieben, die zur Messung des mechanischen Druckes eine leitfähige Folie an einem Punkt oder an einer Linie mit weiteren leitfähigen Elementen kontaktiert. Nicht geeignet ist das Element für die Verwendung eines pneumatischen oder hydraulischenDE OS 3638641 describes a device that contacts a conductive foil at a point or along a line with other conductive elements for measuring mechanical pressure. The element is not suitable for use with a pneumatic or hydraulic

positiven oder negativen Überdruckes im Zusammenhang mit einer Eingangsdruckkammer und Gegendruckkammer.
Ein weiterer Druckwandler (EP 0443073) besteht aus zwei ausdehnungsempfindlichen Leitgummi-Membranen. Durch die Veränderung der Berührungsfläche wird der Übergangswider-
positive or negative overpressure in conjunction with an inlet pressure chamber and counterpressure chamber.
Another pressure transducer (EP 0443073) consists of two expansion-sensitive conductive rubber membranes. By changing the contact surface, the contact resistance is

stand zwischen den Membranen beeinflußt. Es ist nicht vorgesehen, daß positiver und negativer Überdruck wandelbar sein können.The pressure between the membranes is not affected. It is not intended that positive and negative overpressure can be changed.

In DE 05 4031012 wird ein Drucksensor mit einer ebenen Membran beschrieben, deren Verformung auf ein an ihr be-DE 05 4031012 describes a pressure sensor with a flat membrane, the deformation of which is dependent on a force applied to it.

findliches veränderbares Widerstandselement wirkt. Nicht zur Anwendung kommt die Einrichtung zur Ermittlung negativer Überdrücke.sensitive variable resistance element. The device for determining negative overpressures is not used.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Druckwandler zu schaffen, der einen einfachen Aufbau besitzt, sowie posi-The object of the invention is to provide a pressure transducer which has a simple structure and posi-

tiven und negativen Überdruck in einen entsprechenden elektrischen Widerstand wandelt, wobei die Zuordnung Druck-Widerstand justierbar sein soll.tive and negative overpressure into a corresponding electrical resistance, whereby the pressure-resistance assignment should be adjustable.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch einen Druckwandler gelöst, der ein pneumatisches Zweikammersystem darstelltAccording to the invention, the object is achieved by a pressure transducer which represents a pneumatic two-chamber system

und aus einer Eingangsdruckkammer 1 und einer Gegendruckkammer 2 aufgebaut ist und diese Kammern durch eine Trenn-Membran 3, die aus elektrisch leitendem Gummi besteht, getrennt sind, und eine Festelektrode 4, die sichand is made up of an inlet pressure chamber 1 and a counter pressure chamber 2 and these chambers are separated by a separating membrane 3 made of electrically conductive rubber, and a fixed electrode 4 which is

&Ogr;&Rgr;&Egr; Elek$:rpnisc5iei S^^tSäife· *
·· · ··· ·* ·· **
&Ogr;&Rgr;&Egr; Elek$:rpnisc5iei S^^tSaife· *
·· · ··· ·* ·· **

gegenüber der Trenn-Membran 3 befindet, vorhanden ist, wobei die Trenn-Membran 3 mit einem elektrischen Hauptaußenanschluß 5 und die Festelektrode 4 mit einem elektrischen Außenanschluß 6 elektrisch verbunden sind.
Entsprechende Ausführungsvarianten sind in den Unteransprüchen 2 bis 6 beschrieben.
opposite the separation membrane 3, wherein the separation membrane 3 is electrically connected to a main external electrical connection 5 and the fixed electrode 4 is electrically connected to an external electrical connection 6.
Corresponding embodiments are described in subclaims 2 to 6.

Die Erfindung wird an Hand von Ausführungsbeispielen erläutert. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen:The invention is explained using exemplary embodiments. The accompanying drawings show:

Fig. 1: Schnitt durch einen Druckwandler mit einer
konvexen Festelektrode
Fig. 1: Section through a pressure transducer with a
convex fixed electrode

Fig. 2: Schnitt durch einen Druckwandler mit mehreren
Festelektroden.
Fig. 2: Section through a pressure transducer with several
Fixed electrodes.

Der in Figur 1 dargestellte Druckwandler besteht aus einer Eingangsdruckkammer 1 und einer Gegendruckkammer 2, wobeiThe pressure transducer shown in Figure 1 consists of an input pressure chamber 1 and a counter pressure chamber 2, where

eine Trenn-Membran 3, die aus leitfähigem Gummi besteht, zwischen beiden Kammern angeordnet ist. Die Trenn-Membran 3 befindet sich gegenüber der Festelektrode 4.
Die Eingangsdruckkammer 1 besitzt einen Eingangsdruckanschluß 7 und die Gegendruckkammer 2 besitzt einen
a separating membrane 3 made of conductive rubber is arranged between the two chambers. The separating membrane 3 is located opposite the fixed electrode 4.
The inlet pressure chamber 1 has an inlet pressure connection 7 and the counter pressure chamber 2 has a

Gegendruckanschluß 8. Die Trenn-Membran 3 hat am Rand eine Wulst mit Schräge 10, so daß bei Montage die im Druckmesser kleinere Trenn-Membran 3 durch eine in dem Gehäuse 11 der Eingangsdruckkammer 1 bzw. der Gegendruckkammer 2 befindliche korrespondierende Rille mit größerem DurchmesserCounter pressure connection 8. The separating membrane 3 has a bead with a bevel 10 on the edge, so that when assembled the smaller separating membrane 3 in the pressure gauge is pushed through a corresponding groove with a larger diameter in the housing 11 of the inlet pressure chamber 1 or the counter pressure chamber 2.

diese Trenn-Membran 3 vorgespannt wird. Die in Fig.l dargestellte konvexe Festelektrode 4 ist mit dem elektrischen Hauptaußenanschluß 5 und die Trenn-Membran 3 mit dem elektrischen Außenanschluß 6 elektrisch verbunden. Der Eingangsdruckanschluß 7 wird mit dem Eingangsdruck p^ undthis separating membrane 3 is prestressed. The convex fixed electrode 4 shown in Fig.l is electrically connected to the main electrical external connection 5 and the separating membrane 3 to the electrical external connection 6. The inlet pressure connection 7 is connected to the inlet pressure p^ and

der Gegendruckanschluß 8 wird mit dem Gegendruck P2 beaufschlagt. Die Einstellschraube 9 gestattet die Realisierung des Vorspannweges x. Bei der Berührung der Trenn-Membran 3 mit der Festelektrode 4 ist zwischen dem elektrischen Hauptaußenanschluß 5 und dem elektrischen Außenanschluß 6the counter pressure connection 8 is subjected to the counter pressure P2. The adjusting screw 9 allows the pre-tensioning path x to be realized. When the separating membrane 3 comes into contact with the fixed electrode 4, there is a gap between the main external electrical connection 5 and the external electrical connection 6.

&Ogr;&Rgr;&Egr; &Egr;??&Rgr;&Egr;?Egr;

ein elektrischer Durchgangswiderstand feststellbar, der abhängig ist von der Membranvorspannung, dem Widerstand der Trenn-Membran 3, der Berührungsfläche A und dem effektiv wirkenden Druck, d.h. der Differenz von Eingangsdruck p]_an electrical resistance can be determined, which depends on the membrane pre-tension, the resistance of the separating membrane 3, the contact area A and the effective pressure, i.e. the difference between the inlet pressure p]_

und Gegendruck P2.and back pressure P2.

Wie in Fig.2 zu entnehmen, kann die Festelektrode 4 in &eegr; Einzelelektroden unterteilt sein, wobei diese in Form konzentrischer Kreise angeordnet sind, die mit &eegr; elektrischen Außenanschlüssen 6 verbunden sind. Die Eingangs-As can be seen in Fig.2, the fixed electrode 4 can be divided into η individual electrodes, which are arranged in the form of concentric circles that are connected to η external electrical connections 6. The input

druckkammer 1 besitzt einen Eingangsdruckanschluß 7 und die Gegendruckkammer 2 besitzt den Gegendruckanschluß 8.
Die Trenn-Membran 3 hat am Rand eine Wulst mit Schräge 10, so daß bei Montage die im Durchmesser kleinere Trenn-Membran 3 durch eine in dem Gehäuse 11 der Eingangs-
Pressure chamber 1 has an inlet pressure connection 7 and the counterpressure chamber 2 has the counterpressure connection 8.
The separating membrane 3 has a bead with a bevel 10 on the edge, so that during assembly the smaller diameter separating membrane 3 is pushed through a hole in the housing 11 of the inlet

druckkammer 1 bzw. der Gegendruckkammer 2 befindliche korrespondierende Rille mit größerem Durchmesser dieser Trenn-Membran 3 vorgespannt wird.The corresponding groove with a larger diameter of this separating membrane 3 located in the pressure chamber 1 or the counter-pressure chamber 2 is prestressed.

Der Elektrodenabstand z, die Membranvorspannung und der effektiv wirkende Druck sind bestimmend für die BerührungThe electrode distance z, the membrane preload and the effective pressure are decisive for the contact

der Trenn-Membran 3 mit den Festkontakten 4. Diese Berührung entspricht der druckabhängigen überbrückung der Festelektroden 4.the separating membrane 3 with the fixed contacts 4. This contact corresponds to the pressure-dependent bridging of the fixed electrodes 4.

OPE Elektronische: Sfrat^me. :OPE Electronic: Sfrat^me. :

Aufstellung der verwendeten BezugszeichenList of reference symbols used

11 EingangsdruckkammerInlet pressure chamber 22 GegendruckkammerCounterpressure chamber 33 Trenn-MembranSeparation membrane 44 FestelektrodeFixed electrode 55 elektrischer Hauptaußenanschlußmain external electrical connection 66 elektrischer Außenanschlußexternal electrical connection 77 EingangsdruckanschlußInlet pressure connection 88th GegendruckanschlußCounter pressure connection 99 EinstellschraubeAdjustment screw 1010 Wulst mit SchrägeBead with bevel 1111 GehäuseHousing 1212 Einlageninsoles AA BerührungsflächeTouch surface POPO Bezugsdruck (Umgebungsdruck)Reference pressure (ambient pressure) PlPl EingangsdruckInlet pressure P2P2 GegendruckCounterpressure XX VorspannwegPreload path ZZ ElektrodenabstandElectrode gap &eegr;&eegr; Zahl der EinzelelektrodenNumber of individual electrodes

Claims (6)

OPE ElekirpnisqJJe'^Ystamfe·.. SchutzansprücheOPE ElekirpnisqJJe'^Ystamfe·.. Protection claims 1. Druckwandler, der ein pneumatisches Zweikammersystem darstellt, aus einer Eingangsdruckkammer 1 und einer Gegendruckkammer 2 aufgebaut ist, dadurch gekennzeichnet,1. Pressure converter, which represents a pneumatic two-chamber system, is constructed from an input pressure chamber 1 and a counterpressure chamber 2, characterized in that daßthat diese Kammern durch eine Trenn-Membran 3, die aus elektrisch leitendem Gummi besteht, getrennt sind, und daß sich eine Festelektrode 4 gegenüber der Trenn-Membran 3 befindet, vorhanden ist, wobei die Trenn-Membran 3 mitthese chambers are separated by a separating membrane 3, which consists of electrically conductive rubber, and that a fixed electrode 4 is located opposite the separating membrane 3, wherein the separating membrane 3 is einem elektrischen Hauptaußenanschluß 5 und die Festelektrode 4 mit einem elektrischen Außenanschluß 6 elektrisch verbunden sinda main electrical external connection 5 and the fixed electrode 4 are electrically connected to an electrical external connection 6 2.Druckwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Festelektrode 4 aus einer oder mehreren elektrisch
leitenden, vorzugsweise kreisförmigen oder ringförmigen Flächen besteht, die sich auf einer ebenen, konvexen oder konkaven Isolatoroberfläche befinden.
2. Pressure transducer according to claim 1, characterized in that the fixed electrode 4 consists of one or more electrically
conductive, preferably circular or annular surfaces located on a flat, convex or concave insulator surface.
3.Druckwandler nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Festelektrode glatt ist
(Rauhtiefe kleiner 5 um) oder rauh ist (Rauhtiefe größer 100 uia} oder Rillen besitzt.
3. Pressure transducer according to claim 1 and 2, characterized in that the surface of the fixed electrode is smooth
(roughness depth less than 5 µm) or rough (roughness depth greater than 100 µm) or has grooves.
4. Druckwandler nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Trenn-Membran 3 am Rand eine Wulst mit Schräge 10 besitzt und das Gehäuse 11 der Eingangsdruck-4. Pressure converter according to claim 1 to 3, characterized in that the separating membrane 3 has a bead with a bevel 10 on the edge and the housing 11 of the input pressure kammer 1 bzw. der Gegendruckkammer 2 eine korrespondierende Rille mit gleichem oder größerem Druckmesser aufweist.chamber 1 or the counterpressure chamber 2 has a corresponding groove with the same or larger pressure gauge. 5. Druckwandler nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorspannweg &khgr; durch eine Einstellschraube 9 realisiert wird.5. Pressure transducer according to claims 1 to 4, characterized in that the preload travel &khgr; is realized by an adjusting screw 9. 6. Druckwandler nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand &zgr; durch Einlagen 12 festgelegt wird.6. Pressure transducer according to claims 1 to 4, characterized in that the distance &zgr; is determined by inserts 12.
DE9315071U 1993-10-05 1993-10-05 Pressure transducer Expired - Lifetime DE9315071U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9315071U DE9315071U1 (en) 1993-10-05 1993-10-05 Pressure transducer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9315071U DE9315071U1 (en) 1993-10-05 1993-10-05 Pressure transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9315071U1 true DE9315071U1 (en) 1994-02-17

Family

ID=6898964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9315071U Expired - Lifetime DE9315071U1 (en) 1993-10-05 1993-10-05 Pressure transducer

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE9315071U1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016106813A1 (en) * 2016-04-13 2017-10-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Method for producing a pressure measuring cell

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016106813A1 (en) * 2016-04-13 2017-10-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Method for producing a pressure measuring cell

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1581787B1 (en) Pressure sensor comprising an elastic sensor layer with a microstructured surface
DE68925425T2 (en) DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR WITH MEMBRANE WITH FREE EDGE CONSTRUCTION
DE68904889T2 (en) CAPACITIVE DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR WITH OVER PRESSURE SAFETY AND METHOD FOR OVER PRESSURE SAFETY OF A CAPACITIVE PRESSURE SENSOR.
DE69318847T2 (en) PRESSURE SENSOR PROTECTED FROM HIGH PRESSURE WITH A SMALL MEASURING RANGE
DE3142440C2 (en) Sensing membrane, especially for transducers for converting pressures into elastic quantities
DE3820418A1 (en) DIFFERENTIAL PRESSURE CONVERTER
EP1537395A1 (en) Capacitive pressure sensor
DE3908855A1 (en) PRESSURE SENSOR
DE2611494A1 (en) PRESSURE OR FORCE CONVERTER
EP0618435A2 (en) Capacitive pressure sensor
WO2007116024A1 (en) Tactile area sensor
DE10130372A1 (en) Differential Pressure Sensor
EP1451043B1 (en) Sensor arrangement
WO2013131711A1 (en) Micromechanical measuring element
EP3220116B1 (en) Force sensor device
DE10212023A1 (en) Sensor cell, especially for use in the sensor mat of a motor vehicle seat, has a piezoelectric resistance element with at least one additional contact so that two resistance measurements are made
CH657490A5 (en) Electret.
DE4207949C1 (en) Capacitative differential pressure sensor of glass-silicon@ type - has second pressure supply channel communicating with first but offset in covering plate
EP0167941A2 (en) Differential pressure gauge head
WO2003025961A1 (en) Switching element provided with a foil construction
DE9315071U1 (en) Pressure transducer
DE4111119A1 (en) Stackable micro-mechanical capacitative pressure measuring cell - has distance limiters on electrode cover or diaphragm and temp. dependent resistance path on electrode cover
DE19827772C2 (en) Ring seal
EP0896658B1 (en) Micromechanical pressure and force sensor
EP1356259B1 (en) Differential pressure sensor with overload protection