DE928314C - Pump arrangement for generating a high vacuum - Google Patents

Pump arrangement for generating a high vacuum

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DE928314C
DE928314C DES35411A DES0035411A DE928314C DE 928314 C DE928314 C DE 928314C DE S35411 A DES35411 A DE S35411A DE S0035411 A DES0035411 A DE S0035411A DE 928314 C DE928314 C DE 928314C
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DE
Germany
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pump
oil
mercury vapor
backing
jet pump
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Expired
Application number
DES35411A
Other languages
German (de)
Inventor
Walter Dr Haenlein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps
    • F04F9/04Diffusion pumps in combination with fore pumps, e.g. use of isolating valves

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

Pumpenanordnung zur Erzeugung eines Hochvakuums Bisher werden zur Erzeugung eines Hochvakuums im allgemeinen Pumpenanlagen benutzt, die in der Hauptsache aus einer Öldiffus.ionspumpe und einer rotierenden Olvorpumpe bestehen. Diese Anordnung ist nachteilig, da die rotierende Ölvorpumpe verhältnismäßig teuer ist und da ferner in der Saugleistung zwischen den beiden Pumpen eine Lücke besteht. Die öldiffusionspumpe hat bei Drücken, die größer als io-3 Torr sind, noch keine sehr große Saugleistung. Andererseits sinkt die Saugleistung der rotierenden Ölpumpe bereits beträchtlich bei Drücken, die niedriger als io-iTorr sind. Es ist bekannt, die Lücke auszufüllen durch eine Öldampfstrahlpumpe. Diese weist jedoch große räumliche Abmessungen auf und benötigt ein niedriges Vorvakuum,was wieder dazu führt, daß die Vorpumpe verhältnismäßig teuer wird.Pump arrangement for generating a high vacuum So far, for Generating a high vacuum is generally used in pumping systems, in the main consist of an oil diffusion pump and a rotating oil priming pump. This arrangement is disadvantageous because the rotating oil priming pump is relatively expensive and because further there is a gap in the suction power between the two pumps. The oil diffusion pump does not yet have a very high suction power at pressures that are greater than io-3 Torr. On the other hand, the suction power of the rotating oil pump already drops considerably at pressures lower than io-iTorr. It is known to fill in the void by an oil vapor jet pump. However, this has large spatial dimensions and requires a low fore-vacuum, which again leads to the fore-pump being relatively becomes expensive.

Die Erfindung betrifft eine Pumpenanordnung zur Erzeugung eines Hochvakuums, bei der ebenfalls mindestens drei Pumpen, nämlich eine Vorpumpe, eine Dampfstrahlpumpe und eine Oldiffusionspumpe in Reihe geschaltet sind. Die vorerwähnten Nachteile einer solchen Pumpenanordnung sind dadurch beseitigt, daß erfindungsgemäß für die Dampfstrahlpumpe eine Quecksilberdampfstrahlpumpe verwendet und diese gegen das Eindringen von Öldämpfen aus der öldiffusionspumpe und/oder aus der Vorpumpe durch je eine vor- bzw. nachgeschaltete Heizvorrichtung abgeschirmt ist, durch die andringende Öldämpfe aufgespalten und somit in permanente Gase, die für das Arbeiten der Quecksilberdampfstrahlpumpe unschädlich sind, verwandelt werden.The invention relates to a pump arrangement for generating a high vacuum, which also has at least three pumps, namely a backing pump, a steam jet pump and an oil diffusion pump are connected in series. The aforementioned disadvantages such a pump arrangement are eliminated that according to the invention for the Steam jet pump uses a mercury vapor jet pump and this against the Ingress of oil vapors from the oil diffusion pump and / or from the backing pump an upstream or downstream heating device is shielded by the approaching one Oil vapors split and thus into permanent gases that are necessary for the operation of the mercury vapor jet pump are harmless, are transformed.

Die Verwendung einer Ouecksilberdampfstrahlpumpe zwischen der Vorpumpe und der Öldiffusionspumpe ergibt kleine räumliche Abmessungen der Quecksilberdampfstrahlpumpe und gestattet ferner, billige Vorpumpen zu benutzen, da die Quecksilberdampfstrahlpumpe in besonders günstiger Weise den Bereich zwischen den Saugleistungen einer Öldiffusionspumpe und einer üblichen und somit billigen Vorpumpe ausfüllt. Für die Vorpumpe wird vorzugsweise eine ölstrahlpumpe verwendet. Die Heizvorrichtungen, die zur Abschirmung der Quecksilberdampfstrahlpumpe gegen eindringende Öldämpfe dienen, werden besonders einfach, wenn man für sie elektrische Heizkörper, z. B. in Form von Glühwendeln, verwendet. Wollte man die Heizvorrichtung fortlassen, so würden Öldämpfe in die Quecksilberdampfstrahlpumpe eindringen, so daß alsdann in ihr die Öldämpfe aufgespalten würden, was mit Gasausbrüchen verknüpft wäre, die ihrerseits die Druckverhältnisse in den Düsen stören und die Quecksilberdampfstrahlpumpe außer Betrieb setzen würden.The use of a mercury vapor jet pump between the backing pump and the oil diffusion pump results in small spatial dimensions of the mercury vapor jet pump and also allows inexpensive backing pumps to be used as the mercury ejector pump in the area between the suction capacities of an oil diffusion pump is particularly advantageous and a common and therefore cheap backing pump. For the backing pump is preferred an oil jet pump used. The heating devices used to shield the mercury vapor pump Serving against penetrating oil vapors will be particularly easy if you use electric for them Radiators, e.g. B. in the form of filaments used. If you wanted the heater omit, oil vapors would penetrate the mercury vapor jet pump, see above that then the oil vapors would split up in it, which is associated with gas outbreaks which in turn disturb the pressure conditions in the nozzles and the mercury vapor jet pump would put out of service.

Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der neuen Pumpenanordnung. Gemäß der Darstellung sind zur Erzeugung eines Hochvakuums in dem Behälter i drei Pumpen in Reihe geschaltet, nämlich die dreistufige Öldiffusionspumpe 2, die Quecksilberdampfstrahlpumpe 3 und die als Vorpumpe dienende ölstrahlpumpe q., der das Öl über die Zahnradpumpe 5 zugeleitet wird. Da die Bauweise der einzelnen Pumpe an sich. bekannt ist, braucht auf sie nicht näher eingegangen zu werden: Aus dem gleichen Grunde konnte die Zeichnung auf eine schematische Darstellung beschränkt werden.The drawing illustrates an embodiment of the new pump arrangement. According to the illustration, there are three for generating a high vacuum in the container i Pumps connected in series, namely the three-stage oil diffusion pump 2, the mercury vapor jet pump 3 and the oil jet pump q. Serving as a backing pump, which feeds the oil via the gear pump 5 is forwarded. Because the design of the individual pump itself. is known, needs not to be dealt with in more detail: For the same reason, the drawing be limited to a schematic representation.

Wie schon oben erwähnt ist, muß das Eindringen von Öldämpfen aus der Oldiffusionspumpe 2 in die Quecksilberdampfs.trahlpumpe 3 verhindert werden, desgleichen das Eindringen von Öldämpfen aus der Ölstrahlpumpe q.. Zu @diesem Zweck ist in die Verbindungsleitung 6 zwischen der Öldiffusionspumpe 2 und der Quecksilberdampfstrahlpumpe 3 eine Heizvorrichtung 7 eingebaut, die einen elektrischen Heizkörper 7a enthält, die über die Klemmen 7b an Spannung gelegt wird und dessen Anschlüsse vakuumdicht abgedichtet sind. Ebenso ist in die Verbindungsleitung 8 zwischen der Quecksilberdampfstrahlpumpe 3 und der Olstrahlpumpe q. eine Heizvorrichtung 9 gelegt, die als Glühkörper eine Heizwendel 9a enthält, .die über die Klemmen 9b an Spannung. gelegt wird und deren Anschlüsse ebenfalls vakuumdicht abgedichtet sind. Soll die Pumpenanordnung in Betrieb genommen werden, so werden jeweils kurz vorher die Heizwendeln 7a und 911 an Spannung gelegt und dadurch auf solche Temperatur gebracht, daß sie bei der kurz darauf erfolgenden Inbetriebnahme der Pumpenanordnung die -andringenden Öldämpfe in leichte Kohlenwasserstoffe aufspalten, so daß sie also gasförmig werden und von den Pumpen. bequem abgesaugt werden können, ohne die Quecksilberdampfstrahlpumpe 3 zu stören bzw. außer Betrieb zu setzen.As mentioned above, the penetration of oil vapors from the Old diffusion pump 2 can be prevented in the Mercury vapor jet pump 3, the same the penetration of oil vapors from the oil jet pump q .. For this purpose, the Connection line 6 between the oil diffusion pump 2 and the mercury vapor jet pump 3 a heating device 7 installed, which contains an electric heater 7a, which is connected to voltage via terminals 7b and its connections vacuum-tight are sealed. Likewise, in the connecting line 8 between the mercury vapor pump 3 and the oil jet pump q. placed a heater 9, which as a glow body Contains heating coil 9a, which is connected to voltage via terminals 9b. is laid and their Connections are also sealed vacuum-tight. Should the pump assembly be in operation are taken, the heating coils 7a and 911 are connected to voltage shortly beforehand placed and thereby brought to such a temperature that it takes place at the shortly thereafter Commissioning of the pump arrangement converts the penetrating oil vapors into light hydrocarbons split up so that they become so gaseous and from the pumps. conveniently vacuumed can be without disturbing the mercury vapor pump 3 or out of operation to put.

Es empfiehlt sich, die Schalter, über,die die Heizwendeln 7b und 9b an Spannung gelegt werden, zu kuppeln oder sonstwie in Schaltabhängigkeit zu bringen mit der Sohaltvorrichtung, über die die eigentliche Pumpenanordnung in Betrieb gesetzt wird, derart, daß die Pumpenanordnung nur bei eingeschalteten Heizwendeln. betrieben werden kann.It is advisable to use the switches that the heating coils 7b and 9b be connected to voltage, to couple or to bring them into switching dependency in some other way with the holding device, via which the actual pump arrangement is put into operation is, in such a way that the pump arrangement only when the heating coils are switched on. operated can be.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE: i. Pumpenanordnung zur Erzeugung eines Hochvakuums, bei der mindestens drei Pumpen, nämlich eine Vorpumpe, eine Dampfstrahlpumpe und eine Oldiffusionspumpe, in Reilhe geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, da,ß für die Dampfstrahlp.umpe eine Quecksilberdampfstrahlpumpe verwendet und diese gegen das Eindringen von Öldämpfen aus der öldiffusionspumpe und/oder aus der Vorpumpe durch je eine vor- bzw. nachgeschaltete Heizvorrichtung abgeschirmt ist, durch die andringende Öldämpfe aufgespalten und somit in permanente Gase, die für das Arbeiten der Quecksilberdampfstrahlpumpe unschädlich sind, verwandelt werden. PATENT CLAIMS: i. Pump arrangement for generating a high vacuum, with at least three pumps, namely a backing pump, a steam jet pump and an oil diffusion pump, connected in Reilhe, characterized in that, ß a mercury vapor jet pump is used for the steam jet pump and this against the penetration of oil vapors from the oil diffusion pump and / or from the backing pump is shielded by an upstream or downstream heating device through which Ingress of oil vapors are split up and thus into permanent gases that are necessary for work the mercury vapor pump are harmless. 2. Pumpenanordnung nach Anspruch i, .dadurch gekennzeichnet, daß für die Vorpumpe eine Ölstrahlpumpe verwendet ist. 2. Pump arrangement according to claim i,. characterized in that an oil jet pump for the backing pump is used. 3. Pumpenanordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in die Verbindungsleitung zwischen der Oldiffusionspumpe (2) und der Quecksilberdampfstrahlpumpe (3) und gegebenenfalls ebenso in die Verbindungsleitung zwischen der Quecksilberdampfstrahlpumpe (3) und der Vorpumpe (q.) als Heizvorrichtung eine elektrische Glühwendel (7a bzw. 9a) eingebaut ist.3. Pump arrangement according to claim i or 2, characterized in that that in the connecting line between the oil diffusion pump (2) and the mercury vapor jet pump (3) and possibly also in the connection line between the mercury vapor jet pump (3) and the backing pump (q.) An electric filament (7a resp. 9a) is installed.
DES35411A 1953-09-25 1953-09-25 Pump arrangement for generating a high vacuum Expired DE928314C (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1030968B (en) * 1955-09-27 1958-05-29 Fischer Ag Georg Method and device for generating and maintaining a high vacuum
DE1032879B (en) * 1955-07-04 1958-06-26 Edwards High Vacuum Ltd Vacuum pump system
DE1267778B (en) * 1964-08-25 1968-05-09 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Propellant pump
WO2004044435A1 (en) * 2002-11-07 2004-05-27 Varian, Inc. Vapor jet vacuum pump having ejector stage in foreline conduit

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