Pumpenanordnung zur Erzeugung eines Hochvakuums Bisher werden zur
Erzeugung eines Hochvakuums im allgemeinen Pumpenanlagen benutzt, die in der Hauptsache
aus einer Öldiffus.ionspumpe und einer rotierenden Olvorpumpe bestehen. Diese Anordnung
ist nachteilig, da die rotierende Ölvorpumpe verhältnismäßig teuer ist und da ferner
in der Saugleistung zwischen den beiden Pumpen eine Lücke besteht. Die öldiffusionspumpe
hat bei Drücken, die größer als io-3 Torr sind, noch keine sehr große Saugleistung.
Andererseits sinkt die Saugleistung der rotierenden Ölpumpe bereits beträchtlich
bei Drücken, die niedriger als io-iTorr sind. Es ist bekannt, die Lücke auszufüllen
durch eine Öldampfstrahlpumpe. Diese weist jedoch große räumliche Abmessungen auf
und benötigt ein niedriges Vorvakuum,was wieder dazu führt, daß die Vorpumpe verhältnismäßig
teuer wird.Pump arrangement for generating a high vacuum So far, for
Generating a high vacuum is generally used in pumping systems, in the main
consist of an oil diffusion pump and a rotating oil priming pump. This arrangement
is disadvantageous because the rotating oil priming pump is relatively expensive and because further
there is a gap in the suction power between the two pumps. The oil diffusion pump
does not yet have a very high suction power at pressures that are greater than io-3 Torr.
On the other hand, the suction power of the rotating oil pump already drops considerably
at pressures lower than io-iTorr. It is known to fill in the void
by an oil vapor jet pump. However, this has large spatial dimensions
and requires a low fore-vacuum, which again leads to the fore-pump being relatively
becomes expensive.
Die Erfindung betrifft eine Pumpenanordnung zur Erzeugung eines Hochvakuums,
bei der ebenfalls mindestens drei Pumpen, nämlich eine Vorpumpe, eine Dampfstrahlpumpe
und eine Oldiffusionspumpe in Reihe geschaltet sind. Die vorerwähnten Nachteile
einer solchen Pumpenanordnung sind dadurch beseitigt, daß erfindungsgemäß für die
Dampfstrahlpumpe eine Quecksilberdampfstrahlpumpe verwendet und diese gegen das
Eindringen von Öldämpfen aus der öldiffusionspumpe und/oder aus der Vorpumpe durch
je eine vor- bzw. nachgeschaltete Heizvorrichtung abgeschirmt ist, durch die andringende
Öldämpfe aufgespalten und somit in permanente Gase, die für das Arbeiten der Quecksilberdampfstrahlpumpe
unschädlich sind, verwandelt werden.The invention relates to a pump arrangement for generating a high vacuum,
which also has at least three pumps, namely a backing pump, a steam jet pump
and an oil diffusion pump are connected in series. The aforementioned disadvantages
such a pump arrangement are eliminated that according to the invention for the
Steam jet pump uses a mercury vapor jet pump and this against the
Ingress of oil vapors from the oil diffusion pump and / or from the backing pump
an upstream or downstream heating device is shielded by the approaching one
Oil vapors split and thus into permanent gases that are necessary for the operation of the mercury vapor jet pump
are harmless, are transformed.
Die Verwendung einer Ouecksilberdampfstrahlpumpe zwischen der Vorpumpe
und der Öldiffusionspumpe ergibt kleine räumliche Abmessungen der Quecksilberdampfstrahlpumpe
und gestattet ferner, billige Vorpumpen zu benutzen, da die Quecksilberdampfstrahlpumpe
in
besonders günstiger Weise den Bereich zwischen den Saugleistungen einer Öldiffusionspumpe
und einer üblichen und somit billigen Vorpumpe ausfüllt. Für die Vorpumpe wird vorzugsweise
eine ölstrahlpumpe verwendet. Die Heizvorrichtungen, die zur Abschirmung der Quecksilberdampfstrahlpumpe
gegen eindringende Öldämpfe dienen, werden besonders einfach, wenn man für sie elektrische
Heizkörper, z. B. in Form von Glühwendeln, verwendet. Wollte man die Heizvorrichtung
fortlassen, so würden Öldämpfe in die Quecksilberdampfstrahlpumpe eindringen, so
daß alsdann in ihr die Öldämpfe aufgespalten würden, was mit Gasausbrüchen verknüpft
wäre, die ihrerseits die Druckverhältnisse in den Düsen stören und die Quecksilberdampfstrahlpumpe
außer Betrieb setzen würden.The use of a mercury vapor jet pump between the backing pump
and the oil diffusion pump results in small spatial dimensions of the mercury vapor jet pump
and also allows inexpensive backing pumps to be used as the mercury ejector pump
in
the area between the suction capacities of an oil diffusion pump is particularly advantageous
and a common and therefore cheap backing pump. For the backing pump is preferred
an oil jet pump used. The heating devices used to shield the mercury vapor pump
Serving against penetrating oil vapors will be particularly easy if you use electric for them
Radiators, e.g. B. in the form of filaments used. If you wanted the heater
omit, oil vapors would penetrate the mercury vapor jet pump, see above
that then the oil vapors would split up in it, which is associated with gas outbreaks
which in turn disturb the pressure conditions in the nozzles and the mercury vapor jet pump
would put out of service.
Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der neuen Pumpenanordnung.
Gemäß der Darstellung sind zur Erzeugung eines Hochvakuums in dem Behälter i drei
Pumpen in Reihe geschaltet, nämlich die dreistufige Öldiffusionspumpe 2, die Quecksilberdampfstrahlpumpe
3 und die als Vorpumpe dienende ölstrahlpumpe q., der das Öl über die Zahnradpumpe
5 zugeleitet wird. Da die Bauweise der einzelnen Pumpe an sich. bekannt ist, braucht
auf sie nicht näher eingegangen zu werden: Aus dem gleichen Grunde konnte die Zeichnung
auf eine schematische Darstellung beschränkt werden.The drawing illustrates an embodiment of the new pump arrangement.
According to the illustration, there are three for generating a high vacuum in the container i
Pumps connected in series, namely the three-stage oil diffusion pump 2, the mercury vapor jet pump
3 and the oil jet pump q. Serving as a backing pump, which feeds the oil via the gear pump
5 is forwarded. Because the design of the individual pump itself. is known, needs
not to be dealt with in more detail: For the same reason, the drawing
be limited to a schematic representation.
Wie schon oben erwähnt ist, muß das Eindringen von Öldämpfen aus der
Oldiffusionspumpe 2 in die Quecksilberdampfs.trahlpumpe 3 verhindert werden, desgleichen
das Eindringen von Öldämpfen aus der Ölstrahlpumpe q.. Zu @diesem Zweck ist in die
Verbindungsleitung 6 zwischen der Öldiffusionspumpe 2 und der Quecksilberdampfstrahlpumpe
3 eine Heizvorrichtung 7 eingebaut, die einen elektrischen Heizkörper 7a enthält,
die über die Klemmen 7b an Spannung gelegt wird und dessen Anschlüsse vakuumdicht
abgedichtet sind. Ebenso ist in die Verbindungsleitung 8 zwischen der Quecksilberdampfstrahlpumpe
3 und der Olstrahlpumpe q. eine Heizvorrichtung 9 gelegt, die als Glühkörper eine
Heizwendel 9a enthält, .die über die Klemmen 9b an Spannung. gelegt wird und deren
Anschlüsse ebenfalls vakuumdicht abgedichtet sind. Soll die Pumpenanordnung in Betrieb
genommen werden, so werden jeweils kurz vorher die Heizwendeln 7a und 911 an Spannung
gelegt und dadurch auf solche Temperatur gebracht, daß sie bei der kurz darauf erfolgenden
Inbetriebnahme der Pumpenanordnung die -andringenden Öldämpfe in leichte Kohlenwasserstoffe
aufspalten, so daß sie also gasförmig werden und von den Pumpen. bequem abgesaugt
werden können, ohne die Quecksilberdampfstrahlpumpe 3 zu stören bzw. außer Betrieb
zu setzen.As mentioned above, the penetration of oil vapors from the
Old diffusion pump 2 can be prevented in the Mercury vapor jet pump 3, the same
the penetration of oil vapors from the oil jet pump q .. For this purpose, the
Connection line 6 between the oil diffusion pump 2 and the mercury vapor jet pump
3 a heating device 7 installed, which contains an electric heater 7a,
which is connected to voltage via terminals 7b and its connections vacuum-tight
are sealed. Likewise, in the connecting line 8 between the mercury vapor pump
3 and the oil jet pump q. placed a heater 9, which as a glow body
Contains heating coil 9a, which is connected to voltage via terminals 9b. is laid and their
Connections are also sealed vacuum-tight. Should the pump assembly be in operation
are taken, the heating coils 7a and 911 are connected to voltage shortly beforehand
placed and thereby brought to such a temperature that it takes place at the shortly thereafter
Commissioning of the pump arrangement converts the penetrating oil vapors into light hydrocarbons
split up so that they become so gaseous and from the pumps. conveniently vacuumed
can be without disturbing the mercury vapor pump 3 or out of operation
to put.
Es empfiehlt sich, die Schalter, über,die die Heizwendeln 7b und 9b
an Spannung gelegt werden, zu kuppeln oder sonstwie in Schaltabhängigkeit zu bringen
mit der Sohaltvorrichtung, über die die eigentliche Pumpenanordnung in Betrieb gesetzt
wird, derart, daß die Pumpenanordnung nur bei eingeschalteten Heizwendeln. betrieben
werden kann.It is advisable to use the switches that the heating coils 7b and 9b
be connected to voltage, to couple or to bring them into switching dependency in some other way
with the holding device, via which the actual pump arrangement is put into operation
is, in such a way that the pump arrangement only when the heating coils are switched on. operated
can be.