DE927525C

DE927525C - Arrangement for the compensation of the axial astigmatism of electric or magnetic electron lenses

Info

Publication number: DE927525C
Application number: DES33335A
Authority: DE
Inventors: Henry Burmester; Siegfried Dr Rer Nat Leisegang; Ernst Dr-Ing Ruska; Willi Schomburg
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1953-05-06
Filing date: 1953-05-07
Publication date: 1955-05-12

Description

Anordnung zur Kompensation des axialen Astigmatismus von elektrischen oder magnetischen Elektronenlinsen Das Patent gi644q. betrifft Elektronenlinsen, wie sie z. B. @in Elektronenmikroskopen angewendet werden. Derartige Linsen, gleichgültig ob es sich um magnetische oder um elektrische Linsen handelt, lassen sich bei genauester Fabrikation nicht so einwandfrei herstellen, daß sich keine Linsenfehler ergeben würden, die durch nicht völlig drehsymmetrische Felder verursacht sind. Diese Fehler haben, insbesondere wenn die Linse als Objektiv verwendet wird, zur Folge, daß das Auflösungsvermögen des elektronenoptischen. Gerätes nicht den erwarteten besten. Wert erreicht. Bedingt sind die Linsenfehler durch Ungleidhmäßigkeiten in der Oberflächengestaltung und' auch in der Struktur dies beim Bau der Linsen verwendeten Materials. Die Schnittlinien der Äquipotentialflächen des Fe-Wes solcher Elektronenlinsen, d. h. also des elektrischen oder des magnetischen Feldes mit den zur Strah.lachse senlc.recht stelhenden Flächen, sind bei den mit Fehlern behafteten Linsen nicht genaue Kreise; sie können aber angenähert werden durch Ellipsen. Eine fehlerfreie Linse müßte genaue Kreise als Schnittlinie der erwähnten Äqui:potentialflächen mit den senkrechten Flächen ergeben.Arrangement to compensate for the axial astigmatism of electrical or magnetic electron lenses The patent gi644q. concerns electron lenses, how they z. B. @ be used in electron microscopes. Such lenses, indifferent whether it is magnetic or electric lenses can be determined with the most precise Do not manufacture the fabrication so perfectly that there are no lens defects caused by fields that are not completely rotationally symmetrical. These mistakes especially if the lens is used as an objective, the result is that the Resolving power of the electron-optical. Device not the best expected. Value reached. The lens defects are caused by irregularities in the surface design and 'also in the structure of this material used in building the lenses. The cutting lines the equipotential surfaces of the Fe-Wes of such electron lenses, d. H. so the electric or the magnetic field with the surfaces facing right to the salmon stream, are imprecise circles in the flawed lenses; but they can are approximated by ellipses. A flawless lens should have exact circles as Line of intersection of the mentioned equi: potential surfaces with the vertical surfaces result.

Die im Hauptpatent behandelte Anomd'nung zur Kompensation des elliptischen Astigmatismus. von Elektronenlinsen arbeitet mit Hi,l:fe eines den Strahl ringförmig umgebenden Ko,rrektu,rlcörpers, der ein hinsichtlich Größe und Richtung veränderbares zylindrisches bzw. elliptisches Zusatzfeld zum Linsenfeld zu erzeugen gestattet. Mit Hilfe dieses Zusatzfeldes wird eine im Sinne der lk,orrelctur wirkende Fe fdverzerrung des Linsenfeldes erreicht. Dabei. ist der Korrekturkörper zur Änderung der Stärke des Zusatzfeldes i.n - axialer Richtung verschiebbar und zur Änderung der Richtung des Zusatzfel:des um die Linsenachse drehbar. Um eine elliptische Verformung des Feldes der Linse im Sinne der Korrektur dieser Linse zu bekommen, ist der leitende bzw. ferromagnetische Korrekturkörper auf der der Linse zugewendeten Seite so ausgebildet, daß er an zwei. gegenüberliegenden Stellen der Drehsymmetrie abweicht.The anomd'nung treated in the main patent to compensate for the elliptical Astigmatism. of electron lenses works with hi, l: fe one to make the beam ring-shaped surrounding Ko, rrektu, rlcörpers, which is changeable in terms of size and direction Allowed to generate a cylindrical or elliptical additional field to the lens field. With the help of this additional field, a field distortion acting in the sense of the lk, orrelctur of the lens field reached. Included. is the correction body for changing the strength of the additional field i.n - can be moved in the axial direction and to change the direction des Zusatzfel: des rotatable around the lens axis. To achieve an elliptical deformation of the Getting the field of the lens in the sense of correcting this lens is the conductive one or ferromagnetic correction bodies are designed on the side facing the lens in such a way that that he at two. opposite points of the rotational symmetry deviates.

Die Erfindung betrifft eine Abänderung derartiger ,im Hauptpatent behandelter Kompensationsei'hrichtungen, die darin besteht, d'aß der Korrektur# körp.er aus zwei oder :mehr relativ zueinander verdrehbaren Ringen zusammengesetzt ist, die je mit einer oder mehreren Unsymmetrien zur Erzielung elliptis:oher Ko:rrekturfe;lder versehen sind., wobei die Relativverdrehung beider Ringe gegeneinander zur Stärkeregelung und die gemeinsame Verdrehung bei;d@er Ringe relativ zum Linsenkörper zur Richtungsänderung des Zusatzfeldes dient. Hinsichtlich der Richtungsänderung des Zusatzfeldes entspricht also die Anordnung nach der Erfindung der dies Hauptpatents, denn in beiden Fällen ist die Dre -barkei:t des Korrekturfeldes vorgesehen, während aber beim Hauptpatent die Stärkeregel'ung durch ,eine Axialver.stel,lung desKorrekturkörpers . erreicht wird; ist für diesen Zweck beim Erfindungsgegenstand die Relativverdrehung der beiden Ringe gegeneinander vorgesehen.The invention relates to a modification of such, in the main patent treated compensation directions, which consists in the fact that the correction # body composed of two or more rings that can be rotated relative to one another is, each with one or more asymmetries to achieve elliptical: oher correction fields are provided., the relative rotation of the two rings against each other for strength control and the common rotation at; the rings relative to the lens body to change direction of the additional field. With regard to the change in direction of the additional field So the arrangement according to the invention of this main patent, because in both cases the rotability of the correction field is provided, while the main patent the strength control through an axial adjustment of the correction body. achieved will; is the relative rotation of the two for this purpose in the subject matter of the invention Rings provided against each other.

Man kann die Erfindung sowohl: bei magnetischen als auch bei elektrischen Elektronenlinsen an-,ven.den. Wenn es sich um magnetische Linsen handelt, wird ein Korrekturkörper angewendet, der mindlestens teilweise aus permeablem Material besteht. Im F2LI der elektrischen Linsen braucht der geteilte Korrekturkörper nur aus irgendeinem leitenden Material: hergestellt zu sein. Um die zur Kompensation des zylindrischen Störfeldes der Linse notwendige Umsymmetrie bei den Ringen des Korrektuxkörpers zu erzielen, kann man die Ringe beispielsweise mit zwei einander gegenüberliegenden kleinen Rillen oder Bohrungen versehen; eine andere Möglichkeit, die Unsymmetrien.herzustellen, ergibt sieh, wenn man an entsprechenden enStelIen der im übrigen völlig rotationssymmetrisch hergestellten Ringe eine kleine Menge eines elektrisch oder magnetisch leitenden Materials zusätzlich aufbringt.The invention can be applied to magnetic as well as electrical ones Apply and use electron lenses. If it is magnetic lenses, it will be a Correction body applied, which at least partially consists of permeable material. In the F2LI of electric lenses, the divided correction body needs only one of them conductive material: made to be. To compensate for the cylindrical Interference field of the lens necessary asymmetry in the rings of the corrective body to achieve, you can, for example, the rings with two opposite one another make small grooves or bores; another way to create the asymmetries, you see, if you look at corresponding points of the otherwise completely rotationally symmetrical rings manufactured a small amount of an electrically or magnetically conductive Material additionally applies.

Die Antriebswellen für die Korrekturkörperringe werden durch die Vakuumwand nach außen geführt und sind durch äußere Handgriffe zu betätigen, so daß die Verstellluug während des Betriebes erfolgen kann. Eine besonders zweckmäßige Anordnung ergibt sich-, wenn gemäß der weiteren Erfindung zwei koaxiale Antriebswellen für die beiden Korrekturkörperringe verwendet werden, denen zwei äußere Verstellhandgriffe zugeordnet sind, so daß bei der Betätigung des einen Handgriffes. beide Wellen gemeinsam im gleichen Drehsinn und bei Betätigen des anderen Handgriffes beide Wellen im entgegengesetzten Drehsinn angetrieben werden. Um eine einfache KontroIle zu ermöglichen, wird.' man den äußeren Verstellhandgriffen der beiden Antriebswellen entsprechende Einstellskalen zuordnen. Eine besonders vo:rteilha.fteAusführungs.möglichkeit der Erfindung besteht darin, daß die beiden Korrekturkörperringe zur Stärkeregelung gegenläufig durch ein über zwei. Reibungskupplungen betätigtes Umschaltgetriebe angetrieben werden. Man " kann dabei die Anordnung so ausilai-Iden, .d,aß_ durch zwei Drehknöpfe mit Hilfe des Getriebes. sowohl die Richtung als auch die Stärke der Korrekturkraft je gesondert eingestellt wird, derart, daß bei Betätigen des Drehknopfes für die Richtungseinstellung die beidenAntrieabswellen über eineKuppsung:in gleichsinniger Richtung und bei. Betätigen des Drehknopfes für die Stärkeregelung beide Antriebswellen in entgegengesetzter Richtung bis zu einem festen Anschlag mitgenommen werden.The drive shafts for the correction body rings are through the vacuum wall outwards and are to be operated by external handles, so that the Verstellluug can take place during operation. A particularly useful arrangement results if, according to the further invention, two coaxial drive shafts for the two Correction body rings are used, which are assigned two outer adjustment handles are, so that when you operate a handle. both waves together in same direction of rotation and when the other handle is operated, both shafts in the opposite direction Direction of rotation are driven. To enable simple control, will. ' man adjustment scales corresponding to the outer adjustment handles of the two drive shafts assign. There is a particularly advantageous embodiment of the invention in that the two correction body rings for strength control through opposite one over two. Friction clutches actuated changeover gear are driven. One "can design the arrangement in such a way, .d, aß_ by means of two rotary knobs Help of the transmission. both the direction and the strength of the corrective force is set separately, so that when you press the rotary knob for the Direction adjustment of the two drive output shafts via a clutch: in the same direction Direction and at. Actuate the rotary knob for the strength control of both drive shafts be taken in the opposite direction up to a firm stop.

Man kann die Anordüung nach der Erfindung so ausbilden, d@aß ein einziger mehrteiliger Korrekturkörper zur Anwendung kommt. Es isst aber auch möglich, zwei Korrektoren zu verwenden, von denen der eine ein um eine Größenordhung kleineres Korrekturfeld erzeugt, so da:ß auch bei höchsten Ansprüchen an die Rundheit des Feldes, bequem optimaleinigestellt werden kann. Bei. Einrichtungen, in denen zwei oder mehr Karrektoiren verwendet werden, kann man die einzelnen so dimensionieren, daß mit den verschiedenen Korrektoren Unsymmetrien anderer als zweiter Ordnung erzeugt oder kompensiert werden können. Wenn es sich um die Korrektur magnetischer Linsen handelt, kann man -den Korrekturkörper .in verschiedener Weise aufbauen. Die KoTrekturringe können in diesem Fall beispielsweise innerhalb einer Polschuhbohrung, und zwar vorzugsweise innerhalb der Bohrung des dem -Strahlerzeuger abgewendeten Polschuhes liegen. Eine andere Ausführungsmöglichkeit besteht darin, daß die ringförmigen Korrekturkörper außen über das, Polsdhuhsystem in der Nähe des Linsenfeldes gesetzt werden. Das Korrekturfeld selbst kann in diesem Fall durch rotationssymmetrische, ferromagnetische Körper mit kleinen Störungen der Rundheit, beispielsweise Bohrungen oder Ausfräsungen im Körper, erzeugt werden. Das Korrekturfeld kann man aber auch durch nicht ferromagnetischeKörper mit kleinen ferromagnetischen Störungen, beispielsweise aufgalvanisiertes oder angeschraubtes Eisen oder in Lack eingebettetes Eisenpulver, erzeugen. Wenn es sieh um die Korrektur elektrischer Linsen handelt, wird man das Korrekturfeld beispielsweise durch leitende Körper, welche kleine Störungen der Drehsymmetrie, beispielsweise Bohrungen oder Ausfräsungen, besitzen, erzeugen. Es ist -aber auch möglich, in diesem Fall- nichtleitende Körper anzuwenden, die mit kleinen, aus, leitendem Material- bestehenden Störstellen versehen sind!. Weitere für die Erfindiing wesentliche Merkmaue werden in den folgenden Ausführungsbeispielen behandelt.One can train the arrangement according to the invention so that a single one multi-part correction body is used. But it is also possible to eat two To use correctors, one of which is an order of magnitude smaller Correction field generated so that: ß even with the highest demands on the roundness of the Field, can be conveniently and optimally adjusted. At. Facilities where two or more cartoons are used, the individual dimensions can be that with the various correctors creates asymmetries other than the second order or can be compensated. When it comes to correcting magnetic lenses one can build up the body of correction in various ways. The co-rectification rings can in this case, for example, within a pole shoe bore, preferably lie within the bore of the pole piece facing away from the jet generator. One Another embodiment is that the annular correction body be placed outside over the, Polsdhuhsystem near the lens field. That Correction field itself can in this case by rotationally symmetrical, ferromagnetic Bodies with small disturbances to the roundness, for example holes or millings in the body. The correction field can, however, also be achieved through non-ferromagnetic bodies with small ferromagnetic disturbances, for example galvanized or screwed on Iron or iron powder embedded in paint. When it comes to the correction If electrical lenses are involved, the correction field is, for example, through conductive ones Body, which small disturbances of the rotational symmetry, for example holes or Milling, owning, generating. It is - but also possible in this case - non-conductive To apply bodies that are made of small, conductive material-existing imperfections are provided !. Further features essential to the invention are given in the following Treated embodiments.

In den Figuren ist schematisch eine Reihe von Ausführungsbeispielen gezeigt. In Fig. i ist ein Querschnitt durch das Palschuhsys.tem einer magnebi:schen Elektronenlinse dargestellt. Mit i und 2 sind die beiden Polschuhe; mit 3 das diese verbindende urmagnetische Zwischenstück bezeichnet. Es möge sich um das Objektiv eines Elektronenmikroskops handeln. Bei 4 ist das Objekt angedeutet. Auf der dem Objekt abgewendeten Seite des. Objektivs ist der Korrekturkörper zur Kompensation .des axialen Astigmatismus dieser Linse angeordnet. Der Korrekturkörper besteht aus zwei Ringen 5 und 6 aus ferromagnetischem Material, die sowohl' relativ zueinander als auch beide zusammen relativ zur Linse verdre'hbar innerhalb des Vakuumraumes des Mikroskops angeordnet sind. Als Verstelfvorrichtung ist beim AusfÜhTungsbeispiel ein Zahnrad 7 angedeutet, das über die Triebwelle 8 mit Hilfe des außerhalb der Vakuumwand 9 befindlichen Handgriffes io gedreht werden kann. Das Zahnrad 7 arbeitet mit den beiden Zahnkränzen i i und 12 zusammen.A series of exemplary embodiments is shown schematically in the figures shown. In Fig. I is a cross section through the Palschuhsys.tem a magnetic Electron lens shown. With i and 2 are the two pole pieces; with 3 this connecting primordial magnetic intermediate piece. May it be be the lens of an electron microscope. At 4 the object is indicated. The correction body is on the side of the lens facing away from the object Compensation of the axial astigmatism of this lens is arranged. The correction body consists of two rings 5 and 6 made of ferromagnetic material, which are both 'relative to each other as well as both together relative to the lens twistable within the vacuum space of the microscope are arranged. As an adjusting device is in the AusfÜhTungsbeispiel a gear 7 indicated, which is on the drive shaft 8 with the help of the outside of the Vacuum wall 9 located handle io can be rotated. The gear 7 works with the two sprockets i i and 12 together.

In der dargestellten Betriebslage kann man beim Drehen am Handrad io den äußeren Ring 5 relativ zum inneren Ring 6, der in diesem Fall fest stehenbleibt, verdrehen. Die Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die, beiden Ringe 5 und 6, diese sind je an zwei einander gegenüberliegenden Stellen 13, i4bzw. 15, 16 mit geringfügigen Aussparungen versehen, so daß der Korrekturkörperring auf diese Weise eine zusätzliche elliptische Verformung des Hauptfinsenfefdes hervorzubringen gestattet. In Fig.2 ist der Ring 6 relativ zum Ring 5 um den Winkel x verdreht. Wenn der Winkel a den Wert Null hat, ergibt sich die größte Stärke des Korrekturfeldes. Hat der Winkel a dien Wert 9o° erreicht, so ist durch den aus den beiden Ringen bestehenden Korrekturkörper keine Zusatzwirkung vorhanden. Die Relativverdrehung von 5 und 6 gestattet somit, die Stärke des Zusatzfeldes zu regeln. Für die Regelung der Richtung dies Zusatzfeldes werden beide Ringe gemeinsam verdreht. Zu diesem Zweck wird der Handgriff io auf die Mikroskopachse zu gedrückt, so daß nunmehr das Zahnrad 7 in die beiden Zahnkränze i i und 12 gemeinsam eingreift. Durch den Anschlag 17 ist die Bewegung dir Welle 8 in der anderen Richtung begrenzt. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Ringe 5 und 6 des Korrekturkörpers aus permeablem Material hergestellt.In the operating position shown, you can turn the handwheel io the outer ring 5 relative to the inner ring 6, which in this case remains stationary, twist. Fig. 2 shows a plan view of the two rings 5 and 6, these are each at two opposite points 13, i4bzw. 15, 16 with minor Provided recesses, so that the correction body ring in this way an additional Bringing elliptical deformation of the Hauptfinsenfefdes allowed. In Fig.2 the ring 6 is rotated relative to the ring 5 by the angle x. If the angle a den Has a value of zero, the greatest strength of the correction field results. Has the angle a reaches the value 90 °, then through the correction body consisting of the two rings no additional effect available. The relative rotation of 5 and 6 thus allows to regulate the strength of the additional field. For regulating the direction of this additional field both rings are twisted together. For this purpose, the handle is io on pressed the microscope axis so that now the gear 7 in the two ring gears i i and 12 intervene together. Through the stop 17 the movement is you wave 8 limited in the other direction. In this embodiment the rings are 5 and 6 of the correction body made of permeable material.

In Fig. 3 isst ein Ausführungsbeispiel schematisch geze,icbnet bei dem zwei relativ zueinander verd'rehbare Ringe 21 und 22 in der unteren Elektrode 23 einer elektrischen Linse angeordnet sind. Mit 24 ist die obere geerdete Elektrode, mit 25 die an Hochspannung liegende Elektrode der Linse bezeichnet. Auch in diesem Fall' dient die Relativverdrehung von 21 und 22 zueinander zur Stärkeregelung und die gemeinsame Verdrehung dieser beiden Ringe relativ zu 23 zur Richtungsänderung des Zusatzfeldes.In FIG. 3, an exemplary embodiment is shown schematically the two rings 21 and 22, which can be rotated relative to one another, in the lower electrode 23 of an electric lens are arranged. At 24 is the upper grounded electrode, with 25 denotes the high voltage electrode of the lens. Also in this Case 'the relative rotation of 21 and 22 to each other is used to regulate the strength and the common rotation of these two rings relative to 23 to change direction of the additional field.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung für eine Korrektureinrichtung, diie einer magnetischen Polschuhlinse zugeordnet ist und bei, der der Korirekturkörper außen über das Pol@schuhsystem gesetzt ist, ist in den Fig. 4 bis 6 dargestellt. Mit 31 ist der obere Polschuh, mit 32 der untere Polschuh des Objektivs bezeichnet. Der Korrekturkörper besteht aus den beiden Ringen 33 und 34, denen zwei An- , triebfiwellen35, 36 zugeordnet sind; Diese Antriebswellen sind konzentrisch zueinander angeordnet. Sie sind durch die Vakuumwand 37 des Objektivs hindurchgeführt. Für den äußeren Antrieb der Stigmatorringe 33 und 34 dienen zwei Drehknöpfe 38, 39. Der Drehknopf 38 ist für die Stärkeregelung vorgesehen. Bei seiner Betätigung wird die innere Antriebswel.lle 36 in dem einen Drehsinn angetrieben, während die äußere Hohlwelle 35 über die Getrieberäder 40, 42, 44, 45 im entgegengesetzten Drehsinn angetrieben wird. Dementsprechend werden die beiden Korrekturringe 33, 34 gegenläufig bewegt. Die Anordnung ist so ausgebildet, daß die Verstel,lbewegung bis zu festen Anschlägen 41, 43 hin erfolgen kann. Der Drehknopf 39 dient für die Richtu gseinste11ung der Korrekturkraft. Bei seiner Betätigung werden die beiden Antriebswellen 35, 36 über eine Reibungskupplung 51 in gleichsinniger Richtung verstellt. Die Skala für die Richtungseinstellung isst bei dieser Anordnung zwischen dem gerätefesten Teil 47 und' dem mit dem Umschaltgehäuse verbundenen Drehknopf 39 bei 48 angeordnet, während die Skala 49 für die Stärkeregeliung sich zwischen dem Drehknopf 39 dies Umschaltgetriebes und dem der Stärkee.in.stellung zugeordnet en Drehknopf 38 angeordnet ist. DerDrehknopf 39 ist in der beschriebenen Weise über eine Reibungskupplung 46 mit dem Gehäuse 50 und der Drehknopf 38 über eine 51 mit dem Drehknopf 39 verbunden.An embodiment of the invention for a correction device, which is assigned to a magnetic pole piece lens and in which the correction body is placed on the outside of the pole shoe system, is shown in FIGS. The upper pole piece is designated by 31 and the lower pole piece of the lens is designated by 32. The correction body consists of the two rings 33 and 34, to which two drive shafts 35, 36 are assigned; These drive shafts are arranged concentrically to one another. They are passed through the vacuum wall 37 of the lens. Two rotary knobs 38, 39 are used for the external drive of the stigmator rings 33 and 34. The rotary knob 38 is provided for regulating the strength. When it is actuated, the inner drive shaft 36 is driven in one direction of rotation, while the outer hollow shaft 35 is driven in the opposite direction of rotation via the gear wheels 40, 42, 44, 45. The two correction rings 33, 34 are accordingly moved in opposite directions. The arrangement is designed in such a way that the adjustment movement can take place up to fixed stops 41, 43. The rotary knob 39 is used to set the direction of the correction force. When it is actuated, the two drive shafts 35, 36 are adjusted in the same direction via a friction clutch 51. In this arrangement, the scale for setting the direction is located between the device-fixed part 47 and the rotary knob 39 connected to the switchover housing at 48, while the scale 49 for the strength regulation is assigned between the rotary knob 39 of the switchgear and that of the strength position en rotary knob 38 is arranged. The rotary knob 39 is connected in the manner described to the housing 50 via a friction clutch 46 and the rotary knob 38 is connected to the rotary knob 39 via a 51.

Wie oben angedeutet, 'hat die Reibungskupplung 51 dien Zweck, bei. der Betätigung des Drehknopfes 39 den Drehknopf 38 und die damit verbundene innere Welle 36 zw ang'läufig mitzunehmen. Die zweite Rutsdhkupplung 46 muß stärker bemessen sein als die Kupplung 51. Die Kuppltun,g 46 'hat nämlich dieAufgabe, zu verhindern, daß bei Betätigen des Drehknopfes 38 der Drehknopf 39 mitgenommen wird.As indicated above, 'the friction clutch 51 serves the purpose of. the actuation of the rotary knob 39 the rotary knob 38 and the associated inner Wave 36 must be taken with you. The second Rutsdhkupplung 46 must be dimensioned stronger than the clutch 51. The task of the clutch 'g 46' is to prevent that when the rotary knob 38 is actuated, the rotary knob 39 is taken along.

Das in den Drehknopf 39 eingebaute Zahnräderetriebe stellt ein Sti,rnraddifferenti,algetriebe dar. Das Zahnrad 4o ist mit der Innenwelle 36 fest verbunden. Das Zahnrad 45 ist mit der Außenwelle 35 starr vereinigt. Die Ritzel 42 und 44 sind' lose drehbar auf Achsen 52 gelagert, die im Drehknopf 39 in der aus der Fig. 6 ersichtlichen Weise befestigt sind. Das Ritzel 44 greift einerseits in das Zahnrad 40 und andererseits in das Ri.tzel' 42 ein, das seinerseits mit dem Zahnrad 45 zusammenarbeitet, Durch diese Konstruktion ist die oben beschriebene Wirkungsweise erzwungen.The gear drive built into the rotary knob 39 provides a pinion gear differential The gearwheel 4o is firmly connected to the inner shaft 36. The gear 45 is rigidly united with the outer shaft 35. The pinions 42 and 44 are 'loosely rotatable Axles 52 mounted in the rotary knob 39 in the manner shown in FIG are attached. The pinion 44 engages on the one hand with the gear 40 and on the other hand into the Ri.tzel '42, which in turn cooperates with the gear 45, through this construction is forced to operate as described above.

Man kann bei einer magnetischen Linse die beiden ringförmigen Korrekturkörper auch in eine Polschuhbohrung einbauen. Ein Awsführungsbeifspief hierfür ist schematisch in Fig. 7 dargeistellt. Mit 61 ist der obere, dem Strahlerzeuger zugekehrte Polschuh, mit 62 der untere Polschuh bezeichnet. In eine Bohrung des unteren Polschuhes sind die beiden relativ zueinander in entgegengesetzter Richtung bzw. gemeinsam in gleicher Richtung verdrehbaren Korrekturkörperringe 63 und 64 eingesetzt. Die Antriebsmittel für diese Ringe sind in dieser Figur nicht dargestellt. Man kann die Korrekturkörper so ausbilden, daß sie an zwei gegenüberliegenden Stellen von der Drehsymmetrie abweichen. Es sind aber auch Ausführungsformen der Erfindung denkbar, bei denen jeweils einem der Ringe nur an einer Stelle eine Abweichung von der Drehsymmetrie zugeordnet ist. Ferner ist es auch möglich, zusätzlich zu. den erwähnten Drehbewegungen selbst der Korrekturkörperringe auch noch eine Neigung der Korrekturkörperringe für die Zwecke der Einstellung eines bestimmten Korrekturfeldes um kontinuierlich regelbare Beträge durchzuführen.In the case of a magnetic lens, the two ring-shaped correction bodies can be used also install in a pole shoe hole. A reference letter for this is schematic in Fig. 7 dargeistellt. At 61 is the upper pole piece facing the jet generator, with 62 denotes the lower pole piece. Are in a hole in the lower pole piece the two relative to each other in opposite directions or together in the same direction Direction of rotatable correction body rings 63 and 64 are used. The propulsion means for these rings are not shown in this figure. One can form the correction body so that they are at two opposite points of deviate from the rotational symmetry. However, embodiments of the invention are also conceivable, in which one of the rings only deviates from rotational symmetry at one point assigned. Furthermore, it is also possible in addition to. the mentioned rotary movements even the correction body rings also have an inclination of the correction body rings for the purpose of setting a specific correction field around continuously carry out adjustable amounts.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Arrangement to compensate for the axial astigmatism of magnetic or electric electron lenses with a ring-shaped beam surrounding correction body, which is used to change the direction of the field distortion the lens axis is rotatable, according to patent g16444, thereby. marked that the Correction body consists of two or more rings that can be twisted relative to one another, each with one or more asymmetries to achieve elliptical correction fields are provided, whereby- the relative rotation of both rings against each other for strength control and: the common twisting of both rings relative to the lens body to change direction of the additional field.

2. Arrangement according to claim i, characterized in that the two rings of the correction body each with two opposite one on the circumference of the ring Asymmetries are provided. 3: Arrangement according to claim i or 2, characterized by using two preferably coaxial drive shafts for the two Correction body rings to which two outer vers.tell handles are assigned in such a way that when one handle is operated, both shafts are common to the same Direction of rotation and when the other handle is operated, both shafts in the opposite direction Direction of rotation are driven. 4. Arrangement according to claim 3, characterized in that that the two outer adjustment handles are assigned adjustment scales. 5. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the two Correction body rings for strength regulation in opposite directions through one over two friction clutches actuated shift gear are driven. 6. Arrangement according to claim 5, characterized characterized in that by two rotary knobs with the help of the changeover gear both the direction as well as the strength of the correction force is set separately, in such a way that when the rotary knob for setting the direction is actuated, the two Drive shafts via a coupling in the same direction and when actuated of the rotary knob for the strength control both drive shafts in opposite directions Direction can be taken up to a firm stop. 7. Arrangement according to claim 4 and 6, characterized in that the scale for setting the direction between the part fixed to the device and the rotary knob connected to the switch housing is and that the scale for the strength control between the housing part of the changeover gear and the rotary knob assigned to the strength setting is arranged. B. Arrangement according to claim 3 or one of the following, characterized in that the one The rotary knob assigned to the drive shaft has a coupling to the housing and the Rotary knob assigned to another drive shaft via a coupling with the first-mentioned one Knob is connected. G. Arrangement according to. Claim i or one of the following, characterized in that there are two correctors, one of which is used a correction field that is one order of magnitude smaller is generated than the other. io: arrangement according to claim g, characterized in that two: or more correctors are arranged are that with them asymmetries other than. second order generated or compensated can be. ii. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized characterized in that in the case of magnetic lenses, the ring-shaped correction bodies within a pole piece bore; and preferably within the bore of the the pole piece facing away from the beam generator. 12. Arrangement according to claim i or one of the following, characterized in that the annular correction bodies with magnetic lenses on the outside via the pole shoe system near the lens gap are set. 13. Arrangement according to claim i, characterized in that the correction field with electrical lenses through conductive bodies with small disturbances of the rotational symmetry (b: for example holes or millings) is generated; 14. Arrangement according to claim i, characterized in that the correction field in magnetic lenses by rotationally symmetrical ferromagnetic bodies; with small disturbances of the roundness, e.g. bores or millings in the body. 15. Arrangement according to claim i, characterized characterized in that the correction field in magnetic lenses by non-ferromagnetic Body with small ferromagnetic interference, for example electroplated or screwed-on iron or iron powder embedded in paint.