DE925963C

DE925963C - Electrostatic microscope

Info

Publication number: DE925963C
Application number: DEA5495D
Authority: DE
Inventors: Walter Dr-Ing Mecklenburg; Erich Dr-Ing Westendorf
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1944-10-18
Filing date: 1944-10-18
Publication date: 1955-04-04

Description

Die elektrostatischen Übermikroskope benötigen im Verhältnis zu den magnetischen Übermikroskopen bereits einen weit geringeren Aufwand hinsichtlich der Zusatzgeräte. Bei den bekannten elektrostatischen Übermikroskopen mußte aber immer noch getrennt von dem eigentlichen Gerät eine Hochspannungsanlage vorgesehen werden. Diese benötigte einerseits . zusätzlichen Raum. Andererseits mußte die Hochspannungsleitung berührungssicher durch den Raum verlegt werden.The electrostatic super microscopes need in relation to the Magnetic microscopes already require much less effort the accessories. But with the known electrostatic microscopes a high-voltage system is still provided separately from the actual device will. This needed on the one hand. additional space. On the other hand, the high-voltage line had to can be laid safely through the room.

Die Erfindung betrifft ein elektrostatisches Übermikroskop, welches sich dadurch auszeichnet, daß die Verwendung eines von dem Übermikroskop getrennten Hochspannungsgerätes vermieden ist. Dieses wird nach der Erfindung dadurch erreicht, daß die Hochspannungserzeugung mittels Hochfrequenz in der Nähe spannungsführender Elektroden erfolgt. Die Erzeugung von Hochspannung mittels Hochfrequenz ist an sich bekannt. Durch die Anwendung dieser Art der Hochspannungserzeugung werden bei dem elektrostatischen Übermikroskop wesentliche Vorteile erzielt. Zunächst kann die Leitungskapazität so niedrig gehalten werden, daß Wanderwellen vermieden werden. Die Frequenz kann dabei so hoch gewählt werden, daß eine ausreichende Abschirmung leicht möglich ist.The invention relates to an electrostatic microscope, which is characterized in that the use of a separate from the microscope High voltage device is avoided. This is achieved according to the invention by that the high voltage generation by means of high frequency in the vicinity of live Electrodes takes place. The generation of high voltage by means of high frequency is in itself known. By using this type of high voltage generation, the electrostatic microscope achieved significant advantages. First of all, the Line capacitance can be kept so low that traveling waves are avoided. The frequency can be chosen so high that there is sufficient shielding is easily possible.

Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, auch die Heiz-und gegebenenfalls die Wehnelt-Zylinderspannung durch Hochfrequenz zu erzeugen.It has proven to be useful, including the heating and, where appropriate to generate the Wehnelt cylinder voltage by high frequency.

Die Hoc hspannungserzeugung durch in Röhrenschaltungen erzeugte Hochfrequenz ist wegen des geringen Leistungsbedarfs beim elektrostatischen Übermikroskop besonders zweckmäßig. Für die Hochspannung sind etwa 30 Watt erforderlich, während zur Heizung 15 Watt benötigt werden. Der Wehnelt-Zylinder verbraucht überhaupt keine Energie.The high voltage generation by high frequency generated in tube circuits is particularly useful because of the low power requirement of the electrostatic microscope. About 30 watts are required for the high voltage, while 15 watts are required for heating. The Wehnelt cylinder does not consume any energy.

Im übrigen können sämtliche Betriebsspannungen des elektrostatischen Übermikroskops durch übliche Schaltungsmaßnahmen bei der Hochfrequenzerzeugung, wie Gegenkopplung, von etwaigen primären Spannungsschwankungen unabhängig gemacht werden. Die Einstellung der Nutzspannungen kann mittels Kleinpotentiometer erfolgen.In addition, all operating voltages of the electrostatic Over microscope through common circuit measures for high frequency generation, like negative feedback, made independent of any primary voltage fluctuations will. The useful voltages can be set using a small potentiometer.

Der Gegenstand der Erfindung ist an einem in der Zeichnung schematisch dargestelltexi Ausführungsbeispiel näher erläutert. Das Elektronenmikroskop i$ ruht auf einem Tisch i und ist an diesem mit Hilfe eines Stativs ig verankert. In dem Tisch i befindet sich einerseits das Netzgerät 2 und -andererseits die Hochfrequenzerzeugungsanlage 3. Von dem Hochfrequenzgerät gehen einerseits Leitungen q. zu der Kaskadenschaltung 7, welche die für das elektrostatische Übermikroskop benötigte Hochspannung von beispielsweise 6o kV liefert. Die Leitungen 5 und 6 sind über die Kopplungen io bzw. 12 mit den Stromkreisen ii bzw. 13,lwelche innerhalb des Isolierstoffgehäuses 8 angeordnet sind, gekoppelt und führen dem Wehnelt-Zyinder 15 bzw. der Kathode 14 die Spannungen zu. Die an Hochspannung liegenden Elektroden 16 und 17 sind mit der Kathode, d. h. also mit der Kaskadenschaltung 7, verbunden. Zwischen die Kaskadenschaltung und den Kathodenkreis ist ein Schutz-: widerstand von beispielsweise 2 Megohm geschaltet.The subject matter of the invention is shown schematically in one of the drawings illustrated embodiment explained in more detail. The electron microscope is at rest on a table i and is anchored to this with the help of a tripod ig. By doing Table i is on the one hand the power supply unit 2 and on the other hand the high-frequency generation system 3. On the one hand, lines q go from the high-frequency device. to the cascade connection 7, which provides the high voltage required for the electrostatic microscope of for example 6o kV. The lines 5 and 6 are io via the couplings or 12 with the circuits ii or 13, lwhich within the insulating material housing 8 are arranged, coupled and lead the Wehnelt cylinder 15 or the cathode 14 the tension too. The high voltage electrodes 16 and 17 are with the cathode, d. H. that is, connected to the cascade circuit 7. Between the cascade connection and the cathode circuit is connected to a protective resistor of, for example, 2 megohms.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Electrostatic super microscope, characterized in, that the high voltage generation by means of high frequency in the vicinity of live Electrodes takes place.

2. Electrostatic microscope according to claim i, characterized characterized in that the Wehnelt cylinder voltage is generated by means of high frequency in the device will.

3. Electrostatic microscope according to claim i or 2, characterized in that that the heating voltage is generated in the device by means of high frequency. q ..

Electrostatic Super microscope according to claim 1, 2 or 3, characterized in that for the production the high voltage for the microscope, the high frequency of a rectifier cascade circuit (7) is supplied.

5. Electrostatic microscope according to claim q., Characterized characterized in that between the cascade circuit (7) and the cathode circuit Protective resistance of, for example, 2 megohms is switched.