DE9215361U1 - Bearbeitungslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung - Google Patents
Bearbeitungslaser mit StrahlbeeinflussungsanordnungInfo
- Publication number
- DE9215361U1 DE9215361U1 DE9215361U DE9215361U DE9215361U1 DE 9215361 U1 DE9215361 U1 DE 9215361U1 DE 9215361 U DE9215361 U DE 9215361U DE 9215361 U DE9215361 U DE 9215361U DE 9215361 U1 DE9215361 U1 DE 9215361U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mirror
- processing laser
- laser according
- laser
- behind
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 28
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08072—Thermal lensing or thermally induced birefringence; Compensation thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
DGm 3R9
Fg/He
Bearbeitunqslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung
Der gattungsgemäße Laser ist aus der EP 0 048 715 Bl in
Form einer Prismenanordnung mit variablen Spalt zur Beeinflussung der Laserschwingung oder aus der EP 0 143 743 Al
in Form einer mechanisch austauschbaren Blende zur Modenänderung in Anpassung an das Betriebsverhalten des Lasers bekannt
.
Solche Maßnahmen zeigen aber keine bzw. keine ausreichende Wirkung gegen betriebsabhängige Einflüsse, die abträglich
für die strahlengeometrische Qualität eines Bearbeitungs-Laserstrahles sind. Denn Bearbeitungslaser, und insbesondere
Festkörperlaser, weisen nur bei niedriger bis mittlerer Strahlleistung ein für die Fokussierung günstiges
Produkt aus dem Radius der unvermeidlichen Strahltaille und dem Strahldivergenzwinkel auf, Parameter die in der DE-OS
41 08 419 näher erörtert sind. Für die Materialbearbeitung werden aber zunehmend Festkörperlaser höherer Strahlleistung
gefordert, bei denen desto schwerer ins Gewicht fällt, daß nur mit einem Laserstrahl hoher Qualität optimale
Arbeitsergebnisse erzielbar sind. Denn die Strahlqualität bestimmt entscheidend die Fokussierung des Laser-Strahles
auf den Einwirk-Durchmesser am Werkstück und beeinflußt damit unter anderem die Bearbeitungsqualität und -
dauer. Festkörperlaser hoher Ausgangsleistung liefern aufgrund interner thermischer Effekte, hervorgerufen durch inhomogene
Kühlung und ungleichmäßige Bestrahlung des Laserkristalles von den Lichtquellen der Pumpeinrichtung, grundsätzlich
eine schlechtere Qualität des zur Bearbeitung verfügbaren
Laserstrahles.
Die wichtigsten Effekte, die zu einer Degradierung der Strahlqualität insbesondere beim Festkörper-Bearbeitungslaser
führen, sind einmal ein thermischer Linseneffekt und zum anderen eine ungleichmäßige Kristallbeleuchtung. Der
thermische Linseneffekt wird hervorgerufen durch ungenügende Wärmeabfuhr aus dem Mittenbereich des angeregten
Festkörper-Resonators (Kristallstabes), was im Verlaufe des Betriebes eine Veränderung von Lage und Durchmesser der
Strahltaille gegenüber dem unbelasteten Resonator führt. Denn der Brechungsindex des Laserkristalles ist temperaturabhängig,
d. h. mit der Erwärmung ändert sich die wirksame optische Weglänge zwischen den bieden Endspiegeln des Resonators,
was weitgehend einer variablen Linsenwirkung entspricht. Eine ungleichmäßige Beleuchtung des Laserkristalles
durch die Lichtquellen führt zu einer ungleichmäßigen Temperaturverteilung im Festkörperresonator, die im wesentlichen
eine Verkippung des Strahles und Astigmatismuseffekte hervorruft. Auf den inhomogenen Pumpprozeß geht auch
das Anschwingen parasitärer Lasermoden zurück.
Schließlich ist eine Verschlechterung der theoretisch erzielbaren Strahlqualität auch darauf zurückzuführen, daß
der aktuell erzielte Lasermode nicht optimal an das Medium in der Laserkavität (beim Festkörperlaser also an das Kristallvolumen)
angepaßt ist.
In Erkenntnis dieser Gegebenheiten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Laser, insbesondere einen Festkörper-Materialbearbeitungslaser,
in seiner Kavität selbst mit
einer derartigen Strahlbeeinflussungsanordnung auszustatten,
daß außerhalb der Strahlquelle ein möglichst gut und zeitkonstant fokussierbarer Laserstrahl für Materialbearbeitungsaufgaben
verfügbar ist.
5
5
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß im wesentlichen dadurch
gelöst, daß der gattungsgemäße Laser mit einer Strahlbeeinflussungsanordnung
nach dem Kennzeichnungsteil des Hauptanspruches ausgelegt ist.
Nach dieser Lösung kann direkt in die Laserkavität ein apparativ relativ einfach sphärisch verformbarer Spiegel, der
vorzugsweise zugleich der total reflektierende Endspiegel ist, eingesetzt werden, um wenigstens die thermischen Linseneffekte
zu kompensieren. Wenn es sich nicht um einen auf Fluid-Überdruck hinter der Spiegelfläche basierenden Korrekturspiegel
handelt, genügt ein einziger elektromechanischer Aktuator hinter dem Zentrum der Spiegelfläche, um
eine hinreichend sphärische Auswölbung in der Umgebung des Zentrums hervorzurufen. Wenn mehrere solche individuell ansteuerbare
Aktuatoren gegeneinander versetzt hinter der Spiegelfläche angreifen, dann können mit dieser adaptiven
Optik auch die im Resonator auftretenden Effekte der Strahlverkippung und des Astigmatismus korrigiert werden.
Bei einer noch größeren Anzahl individuell beeinflußbarer
Spiegelteilflächen eröffnet sich sogar die Möglichkeit, zusätzlich
den aktuell anschwingenden Lasermode durch Korrekturmoden höherer Ordnung an das Kristallvolumen der Laserkavität
zu optimieren.
Wenn die Stellgrößen für die Beeinflussung der Spiegelplatten-Topographie
Regelgrößen sind, die nach Maßgabe des jeweils aktuellen Laserstrahles modifiziert werden, ergibt
sich durch diese Regelung ein zeitlich stabiler optisch optimierter Laserstrahl für längere Bearbeitungsaufgaben, die
dann mit gleichförmiger Qualität ausgeführt werden können.
Zusätzliche Alternativen und Weiterbildungen sowie weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den
weiteren Ansprüchen und, auch unter Berücksichtigung der Darlegungen in beiliegender Kurzfassung, aus nachstehender
Beschreibung eines in der Zeichnung unter Beschränkung auf das Wesentliche stark abstrahiert und nicht maßstabsgerecht
skizzierten bevorzugten Realisierungsbeispieles zur erfindungsgemäßen Lösung. Die einzige Figur der Zeichnung zeigt
im Axial-Längsschnitt eine Laser-Kavität mit adaptivem
Spiegel zu Erhöhung der geometrischen Qualität des Laserstrahles zur Werkstück-Bearbeitung.
Der skizzierte Bearbeitungslaser 11 weist als Strahlquelle
eine Kavität 12 mit einer Strahlbeeinflussungsanordnung 13 auf, die in die Kavität 12 hineinragt. Diese Anordnung 13
ist vorzugsweise der totalreflektierende Spiegel 14, der in
der Kavität 12 dem teilreflektierenden Auskoppelspiegel 15 gegenüber angeordnet ist. Bei externer Anordnung über eine
Pumpeinrichtung 16 wird ein Laserstrahl 17 ausgekoppelt, der in als solcher bekannter Weise nach einer Fokussierung
im Arbeitskopf (vgl. DE-OS 41 08 419) der Materialbearbeitung etwa in Form von Trennen, Verbinden oder Oberflächenbehandlung
dient. Vorzugsweise handelt es sich beim Bearbeitungslaser 11 um einen Festkörperlaser, der also in seiner
Kavität 12 mit einem Festkörperresonator 18 ausgestattet ist.
Zur Kompensation der eingangs geschilderten thermischen Linseneffekte im Festkörperlaser genügt es, den als Strahlbeeinflussungsanordnung
13 dienenden Endspiegel 14 wenigstens angenähert sphärisch zu verformen. Dazu kann ein adaptiver
Endspiegel 14 mit geringfügig verwölbbarer Spiegelfläche vorgesehen sein, wie es durch Überdruck hinter der
Spiegelfläche erzielbar ist. Bevorzugt wird hierfür jedoch ein Stellglied 19 mit zentral hinter der Spiegelfläche an-
greifendem Druckelement eingesetzt, bei dem es sich um einen elektromechanischen Linearaktuator, bevorzugt in der
Ausführung eines Piezo-Aktuators, handeln kann. Solch eine adaptive Optik in Form eines aufgrund eines zentralen Aktuators
deformierbaren Spiegel ist in der schon erwähnten DE-OS 41 08 419 unter Bezugnahme auf ältere eigene Anmeldungen
näher erläutert. Der adaptive Spiegel bewirkt, daß der wirksame optische Abstand zwischen den Spiegeln 14 - 15
praktisch unverändert bleibt. Die AbstandsSchwankung zwisehen
dem Stirnende des Kristalles 18 und dem variablen Endspiegel 14 ist gering und kann jedenfalls dann in erster
Näherung vernachlässigt werden, wenn dieser Abstand klein ist.
Wenn durch die Strahlbeeinflussungsanordnung 13 im Resonator
des Festkörperlasers nicht nur thermische Linseneffekte
kompensiert werden sollen, sondern auch die ebenfalls fokussierungsabträglichen Effekte einer Strahlverkippung und
des Astigmatismus, dann sind hinter der Spiegelfläche des Endspiegels 14 mehrere (etwa fünf bis sieben) Stellglieder
19 gegeneinander versetzt anzuordnen, vorzugsweise punktsymmetrisch um einen Zentralaktuator herum verteilt. Eine
solche prozeßoptimierende Optik mit mehreren Aktuatoren zur individuellen Beeinflussung der Spiegeloberfläche ist etwa
in der DE-OS 39 16 264 näher beschrieben.
Wenn die Anzahl der Stellglieder 19 weiter erhöht wird, kann zusätzlich zu den genannten Korrekturen der Betrieb
des Festkörper-Bearbeitungslasers 11 in der Anschwingphase eine Optimierung dahingehend erfahren, daß durch Korrekturmoden
höherer Ordnung eine Optimierung des aktuell anschwingenden Lasermodes im Volumen des Festkörperresonators
18 erzwungen wird.
Da die erwähnten und durch die adaptive Optik zu korrigierenden, auf die Fokussierbarkeit des Laserstrahles 17 ab-
träglichen Störeinflüsse nicht stationär sondern betriebszeitabhängig
sind, ist zweckmäßigerweise ein Regler 20 für die Optimierung der momentanen Einstellung der Strahlbeeinflussungsanordnung
13, also der Topographie der Spiegeloberflache, vorgesehen. Für Liefern einer entsprechenden
Regelgröße 21 an die Stellglieder 19 bezieht der Regler 20 einen Istwert 22 von einem Detektor 23 nach Maßgabe der momentanen
Parameter des Laserstrahles 17. Der Detektor 23 kann dafür die Ausgangsleistung des Bearbeitungslasers Il
messen, oder aber die im Laserstrahl 17 enthaltene Phasenfront, wofür jeweils über einen Auskoppler 24 (etwa einen
geneigt zur Achse des Laserstrahles 17 orientierten teildurchlässigen Spiegel) ein Teilstrahl 25 aus der Kavität 12
abgezweigt wird. Der Strahlteiler 24 ist so gewählt, daß das resonatorinterne Feld nur mgl. wenig bedämpft wird.
Deshalb kommt eine Platte im Brewsterwinkel in Frage, oder auch ein dichroitischer Strahlteiler 24 mit Antireflex-Coating.
Seblst niedrig reflektierende Strahlteiler 24 reflektieren noch genügend Leistung für die Rückkoppelung. Bei
Kühlproblemen aufgrund hoher Laserleistung kann ein feines Gitter oder eine Gitterzone in einen Umlenkspiegel geritzt
werden, der einen Bruchteil des Laserlichtes zum WeI-lenfrontsensor
23 auskoppelt, um im Regler 20 dann für die Optimierung der gemesssenen Wellenfront die Aktuatorhülle
zu berechnen.
Zur Optimierung der Ausgangsleistung des Bearbeitungslaser 11 wird also (wie in der Zeichnung im Detail nicht
berücksichtigt) dieser Teilstrahl 25 z. B. durch eine Blende oder ggf. über eine Aufweitungsoptik 26, sowie ggf.
über einen Wobbelspiegel, auf den Detektor 23 geleitet. Die dort meßbare Strahlpunktintensität bzw. Wellenfront am Detektorarray
ist ein Maß der momentanen Einstellung des Korrekturspiegels 14. Bei optimaler Detektor-Anregung infolge
linearer Wellenfront liegt auch auf dem vom Laserstrahl 17 zu bearbeitenden Werkstück eine maximale Laserleistung. Die
Zahl der Subaperturen des Wellenfrontsensors 23 ist der
Zahl der Aktuatoren 19 anzupassen. Die Bandbreite des Reglers
20 kann ohne weiteres den in der Praxis auftretenden typischen Störfrequenzen in der Arbeitsweise des Bearbeitungslasers
11 angepaßt werden.
Wenn über den deformierbaren Spiegel 14 eine Korrektur von Fehlern in der Phasenfront des Laserstrahles 17 dahingehend
erfolgen soll, daß optimale Strahlqualität und damit gute Fokussierung auf dem Werkstück erzielbar werden, dann ist
der Detektor 23 zur Ermittlung von Wellenfront-Daten ausgelegt, wie etwa in der DE-OS 40 07 321 näher erläutert. Zur
direkten Messung weist der Wellenfront-Detektor 23 im vorliegenden Falle jedoch zweckmäßiger ein Linsenarray mit
CCD-Kamera auf.
Wenn jedoch die Phasenfront-Korrektur auf Basis eines interferometrisch
gewonnenen Istwertes 22 erfolgen soll, dann werden abweichend von der Zeichnung zwei Teilstrahlen 25
aus dem Laserstrahl 17 hinter der Kavität 12 ausgekoppelt und in den Detektor 23 übertragen. Das dort resultierende
Interferogramm kann dann mit einer CCD-Kamera aufgenommen werden, um daraus mittels eines Digitalrechners die Wellenfront-
oder Phaseninformationen zu gewinnen, die dann den Istwert 22 für die Regelgröße 21 des deformierbaren Spiegels
14 darstellen.
Claims (10)
1. Bearbeitungslaser (11) mit Strahlbeeinflussungsanordnung
(13) in seiner Kavität (12), dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlbeeinflussungsanordnung (13) ein deformierbarer
Spiegel ist.
2. Bearbeitungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel der totalreflektierende
Endspiegel (14) in der Kavität (12) ist.
3. Bearbeitungslaser nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel hinter seiner Spiegelplatte wenigstens ein Stellglied (19) mit elektromechanischen!
Mikr&ogr;-Aktuator aufweist.
4. Bearbeitungslaser nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel als Endspiegel (14) hinter einem Festkörperresonator (18) angeordnet ist.
5. Bearbeitungslaser nach einem der vorangehenden Ansprüehe,
dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel hinter dem Zentrum seiner Spiegelfläche ein Stellglied (19) für geringförmige
guasi-sphärische Verformung des Zentrums seiner Spiegelfläche aufweist.
6. Bearbeitungslaser nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Stellglieder (19) um das zentrale Stellglied
(19) herum hinter der Spiegelfläche angreifen.
7. Bearbeitungslaser nach einem der vorangehenden Ansprüche,
■
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Vielzahl an Stellgliedern für die ortsselektive Verformung der Spiegelfläche vorgesehen ist.
8. Bearbeitungslaser nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel über einen Leistungs-Regler (20) nach Maßgabe eines hinter der Kavität (12)
aus dem Laserstrahl (179 abgezweigten Teilstrahles (25) ansteuerbar ist.
9. Bearbeitungslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der deformierbare Spiegel über einen Wellenfront-Regler (20) ansteuerbar ist.
10. Bearbeitungslaser nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Regler (20) über einen Wellenfront-Detektor (23) gespeist ist, der einen in der Nähe des
deformierbaren Spiegels in den Resonator integrierten Auskoppler (24) zum Bestrahlen eines Linsenarray-Wellenfrontsensors
(23) aufweist.
· t
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9215361U DE9215361U1 (de) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | Bearbeitungslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9215361U DE9215361U1 (de) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | Bearbeitungslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE9215361U1 true DE9215361U1 (de) | 1994-03-17 |
Family
ID=6885916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE9215361U Expired - Lifetime DE9215361U1 (de) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | Bearbeitungslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE9215361U1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006117153A1 (de) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Optisches modul zum einbau in den laser einer laserbearbeitungsmaschine |
EP2442412A2 (de) | 2010-10-14 | 2012-04-18 | I.S.L. Institut Franco-Allemand de Recherches de Saint-Louis | Laseranordnung mit einer Phasenfrontregelung |
-
1992
- 1992-11-11 DE DE9215361U patent/DE9215361U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006117153A1 (de) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Optisches modul zum einbau in den laser einer laserbearbeitungsmaschine |
US7859752B2 (en) | 2005-04-29 | 2010-12-28 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Optical module for adjusting a laser beam of a laser processing machine |
EP2442412A2 (de) | 2010-10-14 | 2012-04-18 | I.S.L. Institut Franco-Allemand de Recherches de Saint-Louis | Laseranordnung mit einer Phasenfrontregelung |
DE102010048294A1 (de) | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Deutsch-Französisches Forschungsinstitut Saint-Louis | Laseranordnung mit einer Phasenfrontregelung |
US8811437B2 (en) | 2010-10-14 | 2014-08-19 | Institut Franco-Allemand De Recherches De Saint-Louis | Laser device with phase front regulation |
DE102010048294B4 (de) * | 2010-10-14 | 2021-02-18 | Deutsch-Französisches Forschungsinstitut Saint-Louis | Laseranordnung mit einer Phasenfrontregelung |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11020272B2 (en) | Laser scanner | |
EP1716963B1 (de) | Optische Anordnung für die Remote-Laser-Materialbearbeitung zur Erzeugung eines dreidimensionalen Arbeitsraumes | |
US5624436A (en) | Laser beam and ablating apparatus and related method | |
DE69107121T2 (de) | Laservorrichtung. | |
EP0723834A1 (de) | Laservorrichtung | |
US5334830A (en) | Scanning optical microscope having a compact confocal optical system for adjusting position of aperture | |
DE112007002855T5 (de) | Festkörperlaser und Wellenlängenumwandlungslaser | |
EP1184946A1 (de) | Gaslaser | |
DE19606831A1 (de) | Optischer Scanner | |
EP2553524B1 (de) | Anordnung und verfahren zur frequenzkonversion von laserstrahlung | |
KR100451117B1 (ko) | 광파라메트릭발진장치 | |
DE102017002434B4 (de) | Laservorrichtung zur Materialbearbeitung | |
US5504762A (en) | Laser diode system with feedback control | |
DE9215361U1 (de) | Bearbeitungslaser mit Strahlbeeinflussungsanordnung | |
DE19946176A1 (de) | Diodengepumpter Laser mit interner Frequenzverdopplung | |
DE102010048294B4 (de) | Laseranordnung mit einer Phasenfrontregelung | |
DE4108419C2 (de) | Einrichtung zur Beeinflussung der Divergenz eines Laserstrahles | |
US5923685A (en) | Wavelength selectable laser oscillator in wavelength tunable laser | |
EP0992090B1 (de) | Resonatoranordnung für festkörperlaser | |
DE69107445T2 (de) | Vorrichtung zum erzeugen von laserstrahlen. | |
EP1163709A1 (de) | Montageverfahren zum aufbau eines miser-lasers mit faserankopplung | |
DE4345434C2 (de) | Verwendung eines Festkörperlasersystems zur Erzeugung eines Laserstrahls in einer Laserbearbeitungsvorrichtung | |
DE10230522B4 (de) | Bandleiterlaser mit einem instabilen Resonator | |
DE19539558C2 (de) | Optische Übertragungsvorrichtung | |
Siciliani et al. | Adaptive Optics for Laser Beam Shaping |