DE914295C

DE914295C - Magnetic lens for electron beam tubes, especially electron microscopes

Info

Publication number: DE914295C
Application number: DEA9010D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Ernst Brueche; Dr Phil Ernst Kinder
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1940-04-14
Filing date: 1940-04-14
Publication date: 1954-07-01

Description

Es ist bekannt, bei Elektronenmikroskopen magnetische Linsen zu verwenden, die die Form von mit Polschuhen versehenen Spulen besitzen. Diese Anordnungen sind einerseits verhältnismäßig kompliziert herzustellen. Andererseits bereitet es vielfach Schwierigkeiten, bei Verwendung mehrerer derartiger magnetischer Linsen eine gute Zentrierung des Systems zu erhalten.It is known to use magnetic lenses in electron microscopes, which are in the form of coils provided with pole pieces. These arrangements are on the one hand, relatively complicated to manufacture. On the other hand, it prepares many times Difficulty finding a good one when using several such magnetic lenses To maintain centering of the system.

Die Erfindung betrifft eine magnetische Linse, bei der diese Schwierigkeiten beseitigt sind. Erfindungsgemäß besteht die magnetische Linse, insbesondere für Elektronenmikroskope, aus einem an den Enden konisch zugespitzten Metallrohr, über das eine Spule geschoben ist. Das Metallrohr besteht aus einem ferromagnetischen Werkstoff. Auf Grund der Rotationssymmetrie des Aufbaues zeichnet sich der Gegenstand der Erfindung dadurch aus, daß er in äußerst einfacher Weise herstellbar ist. Zudem bildet sich an beiden Enden des Metallrohres eine Linse aus, so daß eine äußerst einfache, gut zentrierte Anordnung geliefert wird, die aus zwei einzelnen Linsen besteht. Die Zentrierung der beiden Linsen zueinander wird auch durch äußere mechanische Einflüsse nicht gestört werden.The invention relates to a magnetic lens in which these difficulties are eliminated. According to the invention, the magnetic lens, in particular for Electron microscopes, made from a metal tube with a conical point at the ends that a coil is pushed. The metal tube consists of a ferromagnetic one Material. The object stands out due to the rotational symmetry of the structure of the invention in that it can be produced in an extremely simple manner. In addition A lens forms at both ends of the metal tube, so that one extremely simple, well-centered arrangement made up of two individual lenses consists. The centering of the two lenses to each other is also through external mechanical Influences are not disturbed.

In den Fig. z und 2 sind in zum Teil schematischer Weise Ausführungsbeispiele nach der Erfindung dargestellt. Die Fig. i zeigt eine Anordnung, bei der das Rohr i aus ferromagnetischem Werkstoff an den Enden zugespitzte Ansätze 2, 6 besitzt. Das Metallrohr selbst ist von einer Spule 3_ um- ' geben. Sowohl in der Öffnung 8 als auch in der Öffnung 9 der Ansätze :2 und 6 bildet sich eine Linse aus.In FIGS. Z and 2, exemplary embodiments are shown in a partially schematic manner shown according to the invention. Fig. I shows an arrangement in which the pipe i made of ferromagnetic material has tapered lugs 2, 6 at the ends. The metal tube itself is surrounded by a coil 3_. Both in the opening 8 as well as in the opening 9 of the approaches: 2 and 6 a lens is formed.

In manchen Fällen hat es sich als besonders zweckmäßig erwiesen, das Metallrohr i noch mit einem weiteren Metallrohr zu umgeben, wie es in der Fig. 2 zu sehen ist. Das Rohr i entspricht dem in der Fig. i dargestellten Rohr. Es ist also wiederum mit nach den Enden zugespitzten Ansätzen 2, 6 versehen, die Öffnungen 8, 9 besitzen. Unter Zwischenfügung der Spule 3 ist auf das Rohr i ein weiteres Rohr 4 aufgesetzt. Dieses Rohr 4, das ebenfalls aus ferromagnetischem Werkstoff besteht, ist mit zugespitzten Ansätzen 5, 7 versehen, die in geringem Abstand von den Ansätzen 2, 6 angeordnet sind. Die Öffnungen io, i i der Ansätze 5, 7 liegen in einer Linie mit den Öffnungen 8, 9 der Ansätze 2, 6. Diese Anordnung zeichnet sich dadurch aus, daß die an den Enden der Rohre gebildeten Linsen verhältnismäßig kurz sind.In some cases it has proven particularly useful to use the Metal pipe i still to be surrounded by another metal pipe, as shown in FIG. 2 you can see. The tube i corresponds to the tube shown in FIG. It is thus again provided with projections 2, 6 pointed towards the ends, the openings 8, 9 own. With the interposition of the coil 3, another is on the tube i Tube 4 put on. This tube 4, which is also made of ferromagnetic material exists, is provided with pointed lugs 5, 7, which are at a small distance from the approaches 2, 6 are arranged. The openings io, i i of the approaches 5, 7 are located in a line with the openings 8, 9 of the lugs 2, 6. This arrangement draws is characterized in that the lenses formed at the ends of the tubes are relatively are short.

Die Herstellung der erfindungsgemäßen Linse kann in äußerst einfacher Weise erfolgen: Die Fabrikation eines mit zugespitzten Ansätzen versehenen Rohres bereitet keine Schwierigkeiten, zumal die Anordnung völlig rotationssymmetrisch ist. Bei der Anordnung nach Fig. i wird dann auf das fertige Metallrohr die Spule 3 aufgebracht. Soll die Anordnung entsprechend der Ausführungsform nach Fig. 2 ausgebildet werden, so ist es nur erforderlich, ein weiteres Rohr auf die Spule 3 aufzusetzen. Dieses kann beispielsweise dadurch erfolgen, daß das äußere Rohr aus zwei Halbzylindern hergestellt wird und diese nach dem Aufsetzen miteinander verbunden werden. Man kann aber auch gegebenenfalls das äußere Rohr aus zwei zylinderförmigen Teilen herstellen, die dann mit den entsprechenden Flächen aneinander gesetzt und verbunden werden. Beispielsweise kann der eine Ansatz des äußeren Rohres erst nach Zusammenfügung der gesamten Anordnung an dem äußeren Rohr befestigt werden.The production of the lens according to the invention can be extremely simple How to do it: The fabrication of a pipe provided with pointed ends poses no difficulties, especially since the arrangement is completely rotationally symmetrical is. In the arrangement according to FIG. I, the coil is then placed on the finished metal tube 3 applied. Should the arrangement be designed according to the embodiment of FIG it is only necessary to place another tube on the spool 3. This can be done, for example, in that the outer tube consists of two half cylinders is produced and these are connected to each other after being put on. Man but can also optionally produce the outer tube from two cylindrical parts, which are then placed next to each other with the corresponding surfaces and connected. For example, the one approach of the outer tube can only after joining the entire assembly can be attached to the outer tube.

In den Figuren ist angenommen, daß das Rohr i bzw. bei der Anordnung nach der Fig. 2 das Rohr q einen Teil der Gefäßwand bildet, so daß gleichzeitig ein Schutz gegen äußere Störfelder elektrischer oder magnetischer Natur gegeben ist.In the figures it is assumed that the tube i or in the arrangement 2, the tube q forms part of the vessel wall, so that at the same time protection against external interference fields of an electrical or magnetic nature is.

Claims

PATENT CLAIM: i. Magnetic lens for cathode ray tubes, in particular electron microscopes, characterized in that they consist of a the ends of the pointed metal tube (i), over which a coil (3) is pushed is.

2. Magnetic lens according to claim i, characterized in that on the coil another pointed metal tube is placed in such a way that the corresponding Openings of the metal pipes are in a line.

3. Magnetic lens according to claim i or 2, characterized in that the tubes form part of the vessel wall.