Korpuskularstrahlapparat Die Stewru:ng,des Eanvi@s,sionisstromes eines
Strahlerzeugers von Korpu@akularstrahllapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen,
hat ,man bisher durch eine von einer Anodernbatte@rie gelieferte Vorsrpannung oder
idürch einen vor der Kathcade liiegendem variablen Widerstand bewirkt. Die Erfindung
zielt darauf rat, die Steuerung des Em@issionsstrames durchzuführen, ohne d@aß in
den Stromkreis des Strahlenzeurgers selbst eingegriffen werden muß. Zu diesem Zweck
wird, eründlungsgemäß eine von außen bediehbaxe Verstellvorrichtung angewendet,
dunrh welche die Kathode innerhalb des Steuerzylinders zur Steuerung des Emissionsstromes
In der Achsrichtung bewegt werden kann. Der Strahlerzeugex wird dann gleich vorzugsRVeise
so durchgebildet, daß der Kathode zwei Varstellvarrichtungen zugeordnet werden,
von denen die eine eine Bewegung dnaxialer Richtung und die andere eine beliebige
Verstellung quer zur Achse gestattet. Durch die z uletzt rgemannte Qnerverstel:lilbankeit
läßt sich (er Elektronenstrahl mit einfachen Mitteln zentrieren. Gegenüber den bisher
Üblichen Zentnierungsmitteln hat dies den Vorteil, daß nunmehr die Verstelleinrichtung
an demjenigen Teill des S tmahlenganges
iangreiaft. der be!sionders
leicht dezentriert wird, weih idie Haa:rnaidelkatheidle wich leicht verbiegt, und
bei dem eine kleine Exzentrizität bereits viel rausmacht.Corpuscular beam apparatus The stewru: ng, of the Eanvi @ s, sionis current one
Beam generator from Korpu @ akularstrahllapparaten, for example electron microscopes,
has, up to now, by means of a preload supplied by an anode battery or
i causes a variable resistor located in front of the Kathcade. The invention
aims to control the em @ ission stream without d @ ate in
the electric circuit of the beam movement itself must be intervened. To this end
is, according to an externally controllable adjusting device used,
dunrh which the cathode inside the control cylinder to control the emission current
Can be moved in the axial direction. The beam generator is then immediately preferred
designed in such a way that the cathode is assigned two varstellar directions,
one of which has a dnaxial movement and the other any movement
Adjustment transverse to the axis permitted. Through the last maneuvered adjustment: lilbarity
can (the electron beam be centered with simple means. Compared to the previously
Conventional centering means this has the advantage that now the adjusting device
on that part of the meal
i attacked. the be! sionders
is slightly decentered, consecrated the Haa: rnaidelkatheidle slightly bent, and
where a little eccentricity already makes a big difference.
Weitere (für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben asiich bei
der Beschreibung adies folgenden .iu>safülb@rungsbeispiele's. Fig. i migt einen
Schniitt durch den S:trahlerzeuger eines Blektronetnm!ikroiskopis. Mit i iisit die
IM Halter@2 befestigte Haarbezeichnet. Diese Kathode ii,st am unteren Ende. eines
zweiarmigen Hebels ranigebirach.t. der -in eiinein Kugelgelenk 3 @i@nnerhialab (des
Kathodenschaftes d. ,schwenkbar gelagert ,ist. Der 7weiarmiige Heubiel -vvi.rd gebildet
durch adie beiden ineinandergesteckten. Rohre 5 und 6, von ,denen das innere:.;
6, ,dlie- Kathode trägt. Dias Rohr 5 Ist am oberen Ende. an einer Membran; 7 mit
Hilfe der Teile 8 und g verschraubt. Diese Mernibran eist mit .ihrem äußeren Rand
am Isolator io mit Hilfe, des Ringes ii befestiigt. Die Membran 7 eirmäglich:t eine
Bewegung der Textile 5 und :6 quer ,zur Strahlach,se. Daus Rohr 5 bildet einen Schlitten,
der iiin axinaler Richtung innerhalab der Kugel 3 verschiebabar isst. Die Membran:
7 ist so bemessen, daß ,sie ,auch geringfügige axiiale Verschiebungen des Rohres,
5 gestattet. Der Steuerzylinder 12 .ist :mit dlem festen Teil 4 dOs Kathodenischiuftes
ver'b,unlden. Dieser isst mit einer Crumimddichtuinig oder einer Fettclichtjung
in üblicher Weise gegen Iden Isolator 13 -gedichtet.Further features (essential for the invention can also be found in
the description of the following .iu> safülb @ rungsbeispiele's. Fig. I moderates one
Section through the beam generator of a Blektronetnm! Ikroiskopis. With i iisit the
Marked in the holder @ 2 attached hair. This cathode ii, st at the lower end. one
two-armed lever ranigebirach.t. der -in a ball joint 3 @ i @ nnerhialab (des
Cathode shaft d. , pivoted, is. The 7wei-armed Heubiel -vvi.rd formed
through the two nested. Pipes 5 and 6, of which the inner:.;
6,, dlie cathode carries. Slide 5 is at the top. on a membrane; 7 with
Screwed together using parts 8 and g. This Mernibran has its outer edge
attached to the isolator io with the help of the ring ii. The membrane 7 can be used
Movement of textiles 5 and: 6 across, to the beam axis, se. The tube 5 forms a slide,
which eats in an axinal direction within the sphere 3 so that it can be moved. The membrane:
7 is dimensioned so that, even slight axial displacements of the pipe,
5 allowed. The control cylinder 12 .is: with the fixed part 4 dOs of cathode disks
ver'b, unlden. He eats with a Crumimddichtuinig or a Fettclichtjung
Sealed against Iden insulator 13 in the usual way.
:Die Verstellung oder Kathode erfolgt vorzu:gswe(ise übear drei Betätiguniäsischanauben,
von denen idiie,ina ,der Fig. i nicht dargestellte Verstellischrauibe die Emission
durch Heben und, Senken Tier Kathode z relativ zum Steuerzylinder 12 beeinfiußt,
während die ,beiden. seitlich dazu liegenden Sch:raulben i-t :die Querverschieibung
,der Kathode be-wirken. Die i-. wird -in einer Mutter 15 gedreht, welche die ,Bewegung
ain eine Verschiebung umisetzt. Diese Verschiehebeweguing wi,rid über einten drehibaxen
Zwischenhebel 16 und. einen Stift 17 auf dem oberen Telil 8 des Kathodenhaltun agssystems
übertragen. Der den Schlitten 5, 6 mach oben abschließende Teiil 8 legt aaaich maifit
Hilfe einer Feder 18, @die auch den im Vaktzumziustan;d aufliegenden Atmosphärendruck
überwindet, gegen einen Ring i9, an dem die Steuerungsteile angreifen, welche die
axiale Vers chiehung der Kathode bewirken. In den Fig. 2 und 3 sind eine Seitenansicht
und leine Drau;fsiicht aauf die diese Verschiebung ,steuerufden Teile dargestellt.
Der Ring ig trägt zwei Biolaien 20, 21, ,die Über einen in !der Achse. 22 drehbar
gelagerten Doppelhebel 23 rauf und ab bewegt werden. Unterhalb des Ringes ig greifen
die Bolzen 17 an, welche idlie seitliche VerscMebumag steuern. Die Auswechseljung
der Kathode i ist dadurch erleichtert, daaß ,innerhalb des Rohres 5 das Rohr 6 angeordnet
fast, Idas m(it einer üblichen Diichtiwng 2q. ;geigen id@n, Abschlußtoil 8 ,des
Schllittens gediichiteit ,ist. Das Rohar 6 kann so ohne weiteres aus :dem Rohr 5
zusumimen mit (der Kathode i nach oben herausgezogen werden, ohne @daß irgendeine
Ein-Stellung fies Roheres 5 geändert zu werden . .braucht und dadurch verlorengeht.
DieBetätigungsstangen25 sind durch öffnungen 26 in dem Hochspannungsschirmkärper
27 eingeführt. Die Stangen 25 werden als Isolierstangen ausgebildet.: The adjustment or cathode takes place in front of: gswe (ise überear three actuating units,
of which idiie, ina, of Fig. i adjusting screw, not shown, the emission
by raising and lowering the animal cathode z relative to the control cylinder 12,
while the, both. Sch: raulben i-t on the side: the transverse sliding
affect the cathode. The i-. - is rotated in a nut 15, which the, movement
a translates into a shift. This shifting movement is carried out over a number of rotating axes
Intermediate lever 16 and. a pin 17 on the upper part 8 of the cathode holding system
transfer. The part 8 that closes the slide 5, 6 at the top lays aaaich maifit
With the help of a spring 18, which also controls the atmospheric pressure in the Vaktzumziustan; d
overcomes, against a ring i9, on which the control parts attack, which the
cause axial Vers chiehung of the cathode. 2 and 3 are a side view
and not shown on the parts that control this shift.
The ring ig carries two biolayers 20, 21,, the over one in! The axis. 22 rotatable
mounted double lever 23 are moved up and down. Grab ig below the ring
the bolts 17, which idlie lateral VerscMebumag control. The substitute young
the cathode i is facilitated by the fact that the tube 6 is arranged inside the tube 5
fast, Idas m (with a usual Diichtiwng 2q.; violins id @ n, Abschlusstoil 8, des
Schllittens gediichiteit is. The tube 6 can thus easily consist of: the tube 5
together with (the cathode i can be pulled out upwards without @ any
On-position nasty 5 raw to be changed. .used and thus lost.
The operating rods 25 are through openings 26 in the high voltage screen body
27 introduced. The rods 25 are designed as insulating rods.