DE9110287U1 - Device for contactless measurement of core thickness, diameter and concentricity of micro drills in printed circuit board technology - Google Patents

Device for contactless measurement of core thickness, diameter and concentricity of micro drills in printed circuit board technology

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Siemens AktiengesellschaftSiemens AG

Einrichtung zur berührungslosen Messung der Kerndicke, des Durchmessers und des Rundlaufs von Microbohrern der Leiterplattentechnik Device for contactless measurement of core thickness, diameter and concentricity of micro drills in printed circuit board technology

Zur Herstellung der Durchkontaktierungsbohrungen für Leiterplatten hoher Qualität werden vorzugsweise sog. Micro-Hartmetallbohrer mit Nenndurchmessern kleiner 0,4 mm eingesetzt. Um bei den qualitativ sehr hochwertigen und teueren Leiterplatten AusschuSraten, bedingt durch Bohrerbruch und mangelnde Qualität der Bohrungen, gering zu halten, werden an diese Microbohrer ganz besondere konstruktive Anforderungen gestellt. Die Microbohrer werden so ausgebildet, daß der Kernquerschnitt von der Bohrerspitze zum Bohrerschaft hin zunimmt, während der Bohrer-Außendurchmesser sich zum Bohrerschaft hin konisch verjüngen soll. Außerdem wird eine sehr hohe Rundlaufgenauigkeit der Microbohrer verlangt.To produce through-holes for high-quality circuit boards, so-called micro hard metal drills with nominal diameters of less than 0.4 mm are preferably used. In order to keep the scrap rates of very high-quality and expensive circuit boards, caused by drill breakage and poor quality of the holes, low, very special design requirements are placed on these micro drills. The micro drills are designed in such a way that the core cross-section increases from the drill tip to the drill shaft, while the drill's outer diameter tapers conically towards the drill shaft. In addition, the micro drills must have a very high concentricity.

Für den Anwender derartiger Microbohrer ist es wünschenswert, eine Meßmöglichkeit zu haben, um die Einhaltung der definierten Fertigungstoleranzen vor dem Einsatz der Microbohrer zu erfassen und zu überprüfen.For the user of such micro drills, it is desirable to have a measuring option in order to record and check compliance with the defined manufacturing tolerances before using the micro drills.

Desgleichen ist es für die Hersteller der Microbohrer interessant und notwendig, ein zerstörungsfreies Meß- und Prüfverfahren zur Qualitätssicherung für ihre Erzeugnisse zu haben. Bedingt durch die hohe Bruchempfindlichkeit und die sehr kleinen geometrischen Abmessungen der Microbohrer können die für Bohrer mit Durchmessern größer 0,4 mm gebräuchlichen mechanischen Meßtaster nicht mehr eingesetzt werden. Bei Bohrern mit Durchmessern kleiner 0,4 mm konnte bislang nur eine zerstörende Stichprobenprüfung durchgeführt werden. Bei einer derartigen Stichprobenprüfung werden Schliffproben hergestellt und anschließend mit dem Mikroskop vermessen.Likewise, it is interesting and necessary for the manufacturers of micro drills to have a non-destructive measuring and testing method to ensure the quality of their products. Due to the high sensitivity to breakage and the very small geometric dimensions of the micro drills, the mechanical measuring probes commonly used for drills with diameters greater than 0.4 mm can no longer be used. For drills with diameters smaller than 0.4 mm, only a destructive sample test could be carried out up to now. In such a sample test, ground samples are produced and then measured using a microscope.

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Der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Einrichtung zur berührungslosen und damit zerstörungsfreien Messung der Kerndicke, des Durchmessers und des Rundlaufs von Mikrobohrern zu schaffen.The invention specified in claim 1 is based on the problem of creating a device for the contactless and thus non-destructive measurement of the core thickness, diameter and concentricity of micro drills.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß ein handelsüblicher, zur Oberflächenprofil- und Rauheitsmessung vorgesehener Lasertaster eingesetzt werden kann, dessen Umrüstung und Anpassung nur einen geringen baulichen Aufwand erfordert. Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung tastet dann ein fokussierter Laserstrahl sehr geringer Leistung die Mantelfläche des Microbohrers ab. Diese Abtastung kann sowohl in Längsrichtung des Bohrerdrallteils, als auch in Querrichtung zu seinem Durchmesser erfolgen. Dies bedeutet, daß für eine Längshälfte des Microbohrers eine exakte Topographiemessung durchgeführt werden kann. Eine Drehung der Spannzange um 180* ermöglicht dann eine entsprechende Topographiemessung der gegenüberliegenden Bohrerhälfte. Die Dreheinrichtung wird auch zur Prüfung der Rundlaufgenauigkeit eingesetzt, wobei hier der Laserstrahl zuvor auf den Außendurchmesser des Microbohrers justiert wird.The advantages achieved with the invention are in particular that a commercially available laser probe intended for surface profile and roughness measurement can be used, the conversion and adaptation of which requires only a small amount of structural effort. In the device according to the invention, a focused laser beam of very low power then scans the surface of the micro drill. This scanning can take place both in the longitudinal direction of the drill's twist part and in the transverse direction to its diameter. This means that an exact topography measurement can be carried out for one longitudinal half of the micro drill. A rotation of the collet by 180* then enables a corresponding topography measurement of the opposite half of the drill. The rotating device is also used to check the concentricity, whereby the laser beam is previously adjusted to the external diameter of the micro drill.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist im Anspruch 2 angegeben. Die Weiterbildung nach Anspruch 2 erfordert beim Einsatz von Lasertastern mit einem in Z-Richtung verfahrbaren Meßkopf nur noch die zusätzliche Verwendung eines X/Y-Tisches, einer Dreheinrichtung und einer Spannzange.An advantageous embodiment of the invention is specified in claim 2. The further development according to claim 2 requires only the additional use of an X/Y table, a rotary device and a collet when using laser probes with a measuring head that can be moved in the Z direction.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung angegeben und wird im folgenden näher beschrieben.An embodiment of the invention is shown in the drawing and is described in more detail below.

Es zeigen:Show it:

Figur 1 eine Einrichtung zur berührungslosen Messung der Kerndicke, des Durchmessers und des Rundlaufs von Microbohrern in stark vereinfachter schematischer Darstellung undFigure 1 shows a device for contactless measurement of the core thickness, diameter and concentricity of micro drills in a highly simplified schematic representation and

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Figur 2 ein mit der Einrichtung nach Figur 1 erstelltes Diagramm, aus welchem die Konizität und die Kerndickenzunahme eines vermessenen Microbohrers ersichtlich sind.Figure 2 is a diagram created using the device shown in Figure 1, showing the conicity and the core thickness increase of a measured micro drill.

Figur 1 zeigt eine in X-Richtung verstellbare erste Verstelleinrichtung VX und eine darauf angeordnete, in Y-Richtung verstellbare zweite Verstelleinrichtung VY. Die beiden Verstelleinrichtungen VX und VY sind mit 1 pm-Teilungen verstellbar, wobei im dargestellten Ausführungsbeispiel eine elektrische Verstellung mit Hilfe von Motoren MX bzw. MY vorgesehen ist. Die zweite Verstelleinrichtung VY trägt eine Dreheinrichtung D und eine Spannzange Sz. Die Dreheinrichtung D ist um 360* schwenkbar und elektrisch angetrieben. Der elektrische Antrieb der Dreheinrichtung D ist aus Figur 1 nicht ersichtlich, während der entsprechende Drehwinkel mit Dw bezeichnet ist. Die Zentrierachse der Spannzange Sz und damit auch die Bohrerlängsachse eines darin eingespannten Microbohrers Mb verlaufen in Z-Richtung.Figure 1 shows a first adjustment device VX that is adjustable in the X direction and a second adjustment device VY that is arranged on top of it and is adjustable in the Y direction. The two adjustment devices VX and VY are adjustable with 1 pm divisions, whereby in the embodiment shown an electrical adjustment is provided using motors MX and MY. The second adjustment device VY carries a rotary device D and a collet Sz. The rotary device D can be swiveled through 360* and is electrically driven. The electrical drive of the rotary device D is not visible in Figure 1, while the corresponding angle of rotation is designated by Dw. The centering axis of the collet Sz and thus also the longitudinal axis of a micro drill Mb clamped in it run in the Z direction.

Der fokussierte Laserstrahl Ls eines insgesamt mit Mt bezeichneten optischen Meßtasters ist senkrecht zur in Figur 1 nicht näher bezeichneten Zentrierachse der Spannzange Sz ausgerichtet. Der Tastkopf Tk des Meßtasters Mt kann mit Hilfe einer zweiten Verstelleinrichtung VZ in Z-Richtung verstellt werden. Auch hier ist eine elektrische Verstellung mit 1 pm-Teilung vorgesehen, wobei der entsprechende Motor mit MZ bezeichnet ist. Mit ASPC ist ein Auswerte- und Steuer-PC bezeichnet, dessen Steuerleitung Sl zum optischen Meßtaster Mt führt.The focused laser beam Ls of an optical measuring probe, designated as Mt, is aligned perpendicular to the centering axis of the collet Sz, which is not designated in more detail in Figure 1. The probe head Tk of the measuring probe Mt can be adjusted in the Z direction using a second adjustment device VZ. Here too, an electrical adjustment with 1 pm division is provided, with the corresponding motor designated as MZ. ASPC is an evaluation and control PC, whose control line Sl leads to the optical measuring probe Mt.

Nach dem Spannen eines zu prüfenden Mikrobohrers Mb in der Spannzange Sz wird der Fokuspunkt des Laserstrahls Ls mit Hilfe der ersten Verstelleinrichtung VX in X-Richtung in bezug auf den Microbohrer Mb ausgerichtet. Der Fokuspunkt kann dabei beispielsweise in dem Bereich des Kerndurchmessers oder im Be-After clamping a micro drill Mb to be tested in the collet Sz, the focus point of the laser beam Ls is aligned in the X direction with the help of the first adjustment device VX in relation to the micro drill Mb. The focus point can be, for example, in the area of the core diameter or in the

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reich des Außendurchmessers des Microbohrers Mb gelegt werden, wobei in manchen Fällen auch eine Zwischenstellung zur Erfassung beider Bereiche möglich ist. Der Laserstrahl Ls ist dabei senkrecht zur Bohrerlängsachse bzw. Z-Achse ausgerichtet. Durch Verfahren des Laserstrahls Ls in Z-Richtung mit Hilfe der dritten Verstelleinrichtung VZ kann dann der Microbohrer Mb in Längsrichtung abgetastet werden. Man erhält durch Auswertung des Oberflächenprofils des Bohrers sowohl eine Aussage über die Kerndickenzunahme als auch über die Konizität des Bohrerdrallteils. Durch eine Abtastung in Y-Richtung und in Z-Richtung mit Hilfe der Verstelleinrichtungen VY und VZ kann eine Xopographie für eine Längshälfte des Microbohrers Mb erstellt werden. Die Topographie der gegenüberliegenden Längshälfte kann dann nach einer Drehung der Dreheinrichtung D um Dw = 180* erstellt werden. Wird bei feststehender Boherlängsachse die Dreheinrichtung D um Dw = 360* gedreht, kann ein Querschnittsprofil des Microbohrers Mb in der entsprechenden Z-Ebene aufgenommen werden. Durch Aneinanderreihen mehrer Z-Ebenen-Messungen auf dem Auswerte- und Steuer-PC ASPC kann dann ebenfalls wieder ein Längsprofil des Microbohrers Mb erzeugt werden.The laser beam Ls can be placed in the range of the external diameter of the micro drill Mb, although in some cases an intermediate position for recording both areas is also possible. The laser beam Ls is aligned perpendicular to the drill's longitudinal axis or Z axis. By moving the laser beam Ls in the Z direction using the third adjustment device VZ, the micro drill Mb can then be scanned in the longitudinal direction. By evaluating the surface profile of the drill, information is obtained both about the increase in core thickness and about the conicity of the drill's twist part. By scanning in the Y direction and in the Z direction using the adjustment devices VY and VZ, an xopography can be created for one longitudinal half of the micro drill Mb. The topography of the opposite longitudinal half can then be created after rotating the rotating device D by Dw = 180*. If the rotary device D is rotated by Dw = 360* with the drill's longitudinal axis fixed, a cross-sectional profile of the micro drill Mb can be recorded in the corresponding Z plane. By stringing together several Z plane measurements on the evaluation and control PC ASPC, a longitudinal profile of the micro drill Mb can then also be generated.

Figur 2 zeigt ein Diagramm, bei welchem das mit Hilfe der Einrichtung gemäß Figur 1 in X-Richtung gemessene Profil eines Microbohrers Mb über der Z-Richtung aufgetragen ist. Mit anderen Worten sind in Figur 2 die gemessenen Werte des Außendurchmessers der Bohrernut und des Kerndurchmessers (X-Richtung) über der Bohrerlängsrichtung (Z-Richtung) aufgetragen. Das Diagramm enthält eine Aussage über die Kerndickenzunahme und die Konizität des Bohrerdrallteils des Microbohrers Mb. Diese Aussage ist durch strichpunktierte Linien KZ und KB verdeutlicht, wobei die strichpunktierte Linie KZ die Kerndickenzunahme zeigt, während die strichpunktierte Linie KB die Konizität des Bohrers aufzeigt. Durch Vergleich mit vorgegebenen gewünschten Werten der Kerndickenzunahme und der KonizitätFigure 2 shows a diagram in which the profile of a micro drill Mb measured in the X direction using the device according to Figure 1 is plotted against the Z direction. In other words, in Figure 2 the measured values of the outside diameter of the drill groove and the core diameter (X direction) are plotted against the longitudinal direction of the drill (Z direction). The diagram contains a statement about the core thickness increase and the conicity of the drill twist part of the micro drill Mb. This statement is illustrated by dot-dash lines KZ and KB, where the dot-dash line KZ shows the core thickness increase, while the dot-dash line KB shows the conicity of the drill. By comparing with specified desired values of the core thickness increase and the conicity

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eines Microbohrers Mb kann das in Figur 2 dargestellte Diagramm somit zur Qualitätssicherung herangezogen werden.of a micro drill Mb, the diagram shown in Figure 2 can therefore be used for quality assurance.

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Claims (2)

91 6 H O 9 DE (&ogr; Schutzansprüche91 6 H O 9 DE (&ogr; Protection claims 1. Einrichtung zur berührungslosen Messung der Kerndicke, des Durchmessers und des Rundlaufs von Microbohrern (Mb) der Leiterplattentechnik, mit1. Device for contactless measurement of core thickness, diameter and concentricity of micro drills (Mb) in printed circuit board technology, with einer Spannzange (Sz) zur zentrischen Aufnahme des zu prüfenden Microbohrers (Mb),a collet (Sz) for the centric holding of the micro drill (Mb) to be tested, einer Dreheinrichtung (D) zum Drehen der Spannzange (Sz) um ihre in Z-Richtung verlaufende Zentrierachse, - einem optischen Meßtaster (Mt), dessen fokussierter Laserstrahl (Ls) senkrecht zur Zentrierachse der Spannzange (Sz) ausgerichtet ist und mita rotating device (D) for rotating the collet (Sz) about its centering axis running in the Z direction, - an optical measuring probe (Mt) whose focused laser beam (Ls) is aligned perpendicular to the centering axis of the collet (Sz) and with - drei Verstelleinrichtungen (VX, VY, VZ), mit welchen der Tastkopf (Tk) des Meßtasters (Mt) und die Spannzange (Sz) in X-, in Y- und in Z-Richtung relativ zueinander verstellbar sind, wobei- three adjustment devices (VX, VY, VZ) with which the probe head (Tk) of the measuring probe (Mt) and the collet chuck (Sz) can be adjusted relative to each other in the X, Y and Z directions, whereby - X1 Y und Z die zueinander senkrechten Koordinatenachsen eines räumlichen kartesischen Koordinatensystems sind.- X 1 Y and Z are the mutually perpendicular coordinate axes of a spatial Cartesian coordinate system. 2. Einrichtung nach Anspruch 1,2. Device according to claim 1, gekennzeichnet durch eine erste Verstelleinrichtung (VX) und eine zweite Verstelleinrichtung (VY) zur Verstellung der Spannzange (Sz) in X-Richtung und in Y-Richtung und durch eine dritte Verstelleinrichtung (VZ) zur Verstellung des Tastkopfes (Tk) des Meßtasters (Mt) in Z-Richtungcharacterized by a first adjustment device (VX) and a second adjustment device (VY) for adjusting the collet (Sz) in the X direction and in the Y direction and by a third adjustment device (VZ) for adjusting the probe head (Tk) of the measuring probe (Mt) in the Z direction 02 0102 01
DE9110287U 1991-08-20 1991-08-20 Device for contactless measurement of core thickness, diameter and concentricity of micro drills in printed circuit board technology Expired - Lifetime DE9110287U1 (en)

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