DE9011675U1 - Device for surface treatment and galvanization of plate-shaped material - Google Patents
Device for surface treatment and galvanization of plate-shaped materialInfo
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Description
6 H 8 9 DE6 H 8 9 EN
Siemens AktiengesellschaftSiemens AG
Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung und Galvanisierung von plattenförrnigem MaterialDevice for surface treatment and galvanization of plate-shaped material
Die Druchkontaktierung von Leiterplatten wird n-sc'= dein heute allgemein prsktizierten Stpnd der Technik In C-Ivänikbädern mittels sogenannter Gestelltechnik ü\ ichgeführt. Die Behandlung der zu galvanisierenden Ware erfolgt dabei zwecks Reinigung und Aktivierung dar Epox-.d:!:-rf3^che in der Euhi^ng sowie zur chena_ehen uno anschießenden r"=ivaruschen Abscheidung von Kupfer in verschiedenen Standbädern unterschiedlicher Zusammensetzung.The through-contacting of circuit boards is carried out in C-vanic baths using what is known as rack technology, according to the state of the art in general practice today. The treatment of the goods to be galvanized takes place in the process for the purpose of cleaning and activating the epoxy surface in the galvanizing process and for the subsequent and subsequent deposition of copper in various standing baths of different compositions.
Neben der Problematik der Ausbildung einer gleichmäßigen Kupferschichtdicke sowohl in der Bohrung, an der Bohrungskante, als auch auf Cer Leiterplattenfläche ist besonders das Verhältnis Bohrungsdurchmesser / Plattendicke ausschlaggebend für die erfolgreiche Durchkontaktierung und die in der Bohrung erziel-In addition to the problem of forming a uniform copper layer thickness both in the hole, on the hole edge, and on the surface of the circuit board, the ratio of hole diameter to board thickness is particularly crucial for successful through-plating and the
2C bare Schichtdicke.2C bare layer thickness.
Die zunehmende Komplexität der Rechnerarchitekturen, in denen derartige Leiterplatten zum Einsatz kommen, führt verstärkt zu einer Erhöhung der Lagenzahl und Verkleinerung der Strukturen, resultierend in dickeren Leiterplatten bei gleichzeitig verringerten Bohrungsdurchmessern und erhöhter Anzahl von Bohrungen. Die gestiegenen Anforderungen führen zu erhöhten Kosten durch bei der Herstellung auftretende Fthler.The increasing complexity of the computer architectures in which such circuit boards are used is increasingly leading to an increase in the number of layers and a reduction in the size of the structures, resulting in thicker circuit boards with simultaneously reduced hole diameters and an increased number of holes. The increased requirements lead to increased costs due to errors that occur during production.
Durch diese veränderten Bedingungen treten folgende Probleme bei der Herstellung der Leiterplatten auf:Due to these changed conditions, the following problems arise during the production of printed circuit boards:
GH89DEGH89DE
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Aus makroskopischer Sicht ist der Stofftransport durch Migration (Ionenwanderung) und Diffusion (Stoffaustausch durch Konzentrationsgefälle) gegenüber dem Stofftransport durch Konvektion z.B, mittels Lufteinblasung zu vernachlässigen. Die LufteinblaiJOQ kann ihren Beitrag zlv k nzentrationsausgleich jedoch nur an derjenigen Oberfläche entfalten, die der Konvek-1^onsströmung ausgesetzt ist, d.h. nicht in der Bohrung.From a macroscopic point of view, the transport of substances by migration (ion migration) and diffusion (exchange of substances through concentration gradients) is negligible compared to the transport of substances by convection, e.g. by means of air injection. However, the air injection can only make its contribution to concentration equalization on the surface that is exposed to the convection flow, i.e. not in the borehole.
Die Reaktion bzw. Abscheidung an der Werkstückoberfläche fuhrt kurze Zeit nach Einsetzen der Abscheidung zu einer Konzentrationsverarmung in der Grenzschicht und damit zur Bildung einer Diffusionsschicht. In der Grenzschicht von Leiterplattenfläche und Bohrungswandung sind Diffusion und Migration daher von eminenter Bedeutung.The reaction or deposition on the workpiece surface leads to a reduction in concentration in the boundary layer shortly after the deposition begins, and thus to the formation of a diffusion layer. Diffusion and migration are therefore of paramount importance in the boundary layer between the circuit board surface and the bore wall.
1515
Außerdem wird durch die Konzentration der elektrischen Feldlinien auf Spitzen und Kanten bzw. die Faraday'sehe Abschirmung von Hohlräumen beim galvanischen Verstärken der Kupferschicht das Kupfer verstärkt an den Bohrlochkanten abgeschieden.In addition, the concentration of the electric field lines on tips and edges or the Faraday shielding of cavities during galvanic reinforcement of the copper layer leads to increased copper deposition at the edges of the drill hole.
2020
In den Bohrungen verbleiben nach dem Eintauchen in das jeweilige Medium, trotz des Einsatzes von Tensiden und der konventionellen langsamen Warenbewegung, Luftbläschen oder sich als Reaktionsprodukt bildende Gasbläschen, die eine Benetzung una damit die bezweckte Einwirkung des Mediums verhindern.Despite the use of surfactants and the conventional slow movement of the goods, air bubbles or gas bubbles that form as a reaction product remain in the holes after immersion in the respective medium, which prevent wetting and thus the intended effect of the medium.
Das ins Bohrloch strömende Medium enthält deshalb bei laminaren Strömungsverhältnissen, wie sie bei langsamer Warenbewegung vorliegen, besonders in der für die Abscheidung wichtigen Grenzschicht an der Innenwandung der Bohrung, bereits eine geringere Konzentration der Wirkstoffe.The medium flowing into the borehole therefore already contains a lower concentration of the active substances in laminar flow conditions, such as those that occur when goods are moving slowly, especially in the boundary layer on the inner wall of the borehole, which is important for separation.
Ferner sind wegen der Kapillarwirkung bei kleinen Bohrungen höhere Durchströmkräfte zur Überwindung der Oberflächenspannung nötig.Furthermore, due to the capillary effect, higher flow forces are required in small bores to overcome the surface tension.
G H 8 9 DEG H 8 9 EN
Bei kleinen Bohrunqsdurchmessern erhöht sich der Strömungswiderstand nach Hagen-Polseille proportional R . Eine durch konventionelle Warenbewegung erzwungene Durchströmunq ist deshalb bei kleinen Bohrungen nicht wirksam. Der höhere Reibungr.widerstand erfordert eine erhöhte Anströmgeschwindigkeit.For small bore diameters, the flow resistance increases proportionally to R according to Hagen-Polseille. A flow forced by conventional material movement is therefore not effective for small bores. The higher frictional resistance requires an increased flow velocity.
Neueren theoretischen Untersuchungen zufolge ist ein Fngpaß fürAccording to recent theoretical investigations, a catch pass for
Stoffkonzentration in der Führung, sondern die Erhöhung des elektrischen Widerstands durch kleine Bohrungsdurchmesser. Diese Widerst.andserhöhung ist bedingt durch Geometrie und Ausgangsleitfähigkeit des Bades und damit zum Teil stoffaustauschunabhängig. Eine Wirkstoffverarmung in der Bohrung wirkt, sich aber durch die zusätzliche, durchmesserabhängige Widerstand erhöhung überproportional aus.The main reason is not the concentration of substances in the guide, but the increase in electrical resistance due to small bore diameters. This increase in resistance is due to the geometry and initial conductivity of the bath and is therefore partly independent of the exchange of substances. A depletion of the active substance in the bore has a disproportionate effect due to the additional, diameter-dependent increase in resistance.
Zur Lösung der oben genannten Probleme sind schon verschiedenste Maßnahmen eingesetzt worden.Various measures have already been implemented to solve the problems mentioned above.
so wurde z.3. die Einblasung von Luft vorgenommen. Die Lufteinhlacunn orfninto i'ihor waanronhfo &Ggr;)&tgr; &igr; mu-1 iif f fi'ihrpnrip R ohr R itlitfor example, air was blown in. The air inlet orfninto i'ihor waanronhfo &Ggr;)&tgr;&igr; mu-1 iif f fi'ihrpnrip R ohr R itlit
'3''3'
schräg nach unten angeordneten Bohrungen. Sie bewirken zwar eine gute Durchmischung des Bades, aber die durch sie bewirkte Strömungsgeschwindigkeit des Mediums an der Platte ist durch Auftriebs- und Widerstandskräfte begrenzt. Eine Lufteinblasung kann außerdem bei schäumenden Medien nicht eingesetzt werden.holes arranged diagonally downwards. Although they ensure good mixing of the bath, the flow rate of the medium on the plate is limited by buoyancy and resistance forces. Air injection cannot be used with foaming media.
Auch die Einleitung von Ultraschall führte nicht zum gewünschten Erfolg. Die unter Umständen zu kräftige Wirkung von Ultraschall kann durch Ablösung passivierender und damit schützende] Oxidschichten auf Elektroden oder im Medium befindlicher Installationen zur Zerstörung dieser Einrichtungen durch Medienangriff führen. Die relativ geringe Standzeit von Ultraschall-Schwingern führt außerdem durch häufig notwendigen Austausch zi hohen Kosten. Ferner sammeln sich mikroskopisch kleine Gasbläs-The introduction of ultrasound did not lead to the desired result either. The potentially too strong effect of ultrasound can lead to the destruction of these devices by media attack by detaching passivating and thus protective oxide layers on electrodes or installations located in the medium. The relatively short service life of ultrasonic oscillators also leads to high costs due to frequent replacement. In addition, microscopic gas bubbles collect
90 61 48 9OE90 61 48 9OE
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chen in den Schwingungsbäuchen der Ultraschallwellen zu gröGe-&Ggr;&egr;&eegr; Bläschen, und gelöstes Gas wird durch die Energieanreieherunq zusätzlich ausgeschieden. Dadurch setzt zwar die Kavitationswirkung, d.h. Bildung von Dampfblasen durch kurzzeitiges Überschreiten des Dampfdrucks und Ultraschalleinwirkung schon bei geringeren einneknnpelten Schallintensitäten ein, aber das si''i in Bläschen sammelnde Gas beeinträchtigt die Benetzung der onho Hoer\r\r4ore Ir. UnhriinnonThe vibrations in the antinodes of the ultrasonic waves lead to large bubbles, and dissolved gas is also expelled by the energy accumulation. This means that the cavitation effect, i.e. the formation of vapor bubbles by briefly exceeding the vapor pressure and the effect of ultrasound, begins even at lower sound intensities, but the gas that collects in bubbles impairs the wetting of the ear canals.
Aue &igr; die sogenannte langsame Warenbewegung brachte keine Verbesserung der Ergpbnisse. Die Bewegung der Werkstücke erfolgte über den abgesenkten Warenträger auflagerseltig über längs der Behälterreihe einer Galvanikanlage gelagerte und über eine Exenterwelle gemeinsam angetriebene Rohre. Diese Bewegung ist fei hohem Verhältnis v~n Plattendicke zu Bohrungsdurchmesser ungeeignet zur Erzeugung einer ausreichenden Durchströmung der Bohrung.Even the so-called slow movement of the goods did not improve the results. The movement of the workpieces took place via the lowered goods carrier, supported by pipes that were mounted along the row of containers in a galvanic plant and driven jointly by an eccentric shaft. This movement is unsuitable for generating sufficient flow through the bore due to the high ratio of plate thickness to bore diameter.
Die bekannte manuelle Methode mit Erschütterung Jurch Schlag und Hammer oder Klopfer ist zum Austreiben von Luftbläschen nur bedinnt npp.innpt; als manuelle Maßnahme teuer ; und besitzt nur einen geringen EinfluQ auf die kontinuierliche Verbesserung des Stoffaustausches in der Grenzschicht. Ein eventuell mit der Warenbewegung gekoppelter Klopfer kann die Luftblasen zwar teilweise zum Aufsteigen bringen; die Funktion bei modernen Multilayern mit bis zu 30.000 Bohrungen und Durchmessern von 0,3 mm, in denen sich Bläschen befinden können, ist aber zweifelhaft.The well-known manual method of shaking by blowing and hammering or knocking is only of limited use for expelling air bubbles; it is expensive as a manual measure and has only a small influence on the continuous improvement of the exchange of materials in the boundary layer. A knocker, possibly coupled with the movement of the material, can cause the air bubbles to rise to some extent; however, its function is doubtful for modern multilayers with up to 30,000 holes and diameters of 0.3 mm, in which bubbles can be found.
Bei der forcierten Anströmung mit Hilfe von auf die zu behandelnden Werkstücke gerichteten Düsen ergeben sich stark unterschiedliche Diffusionsschichtdicken durch örtliche UnterschiedeWhen forced air is applied using nozzles directed at the workpieces to be treated, very different diffusion layer thicknesses result due to local differences
GI &Iacgr;8 9DEGI &Iacgr;8 9DE
der Anströmgeschwindigkeit, Oberflächenstrukturen oder Rauhigkeiten, und dadurch bedingt inhomogene Abscheidungsbedingungen.the flow velocity, surface structures or roughness, and thus inhomogeneous deposition conditions.
Zur Sicherstellung der Entfernung der Bläschen aus allen Bohrungen müßte die ganze Fläche lückenlos bestrahlt werden} andernfalls besteht die Gefahr, daß losgelöste Bläschen erneut in eine andere Bohrung gedruckt werden. Neben diesem Nachteil er-To ensure that the bubbles are removed from all holes, the entire surface would have to be irradiated without gaps; otherwise there is a risk that detached bubbles will be printed again in another hole. In addition to this disadvantage,
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levanten Bäder einen erheblichen Aufwand. IClevant baths a considerable effort. IC
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, die die oben aufgezeigten Probleme zu lösen gestattet, zum anderen aber nur einen geringen zusätzlichen Aufwand erfordert. Gelüst wird diese Aufgabe durch eine Vibr?i tionseinrichtung zuti Erzeugen einer schnellen Relativbewegung zwischen dem Badmedium und den darin befindlichen Werkstücken.The invention was therefore based on the object of creating a device that allows the problems outlined above to be solved, but on the other hand requires only a small amount of additional effort. This object is achieved by a vibration device for generating a rapid relative movement between the bath medium and the workpieces located therein.
Durch die Vibration wird die durch Oberflächenspannung verursachte Haftung der in den Bohrungen und auf der Oberfläche anliegenden Gasbläschen innerhalb kurzer Zeit nach dem Einschalten 3uf(ishoben und die Bisschen könriQr! 3|jfsteirien. Yerhin'J^rt wird ebenfalls die Einnistung von Gasbläschen, die sich prozeßbedingt, etwa aufgrund hoher Oberflächenspannung zwischen Medium und Werkstück, in den Bohrungen ansiedeln können, oder beim Eintauchen als Schaum in die Bohrungen eindringen.The vibration causes the adhesion of the gas bubbles in the holes and on the surface caused by surface tension to be lifted up within a short time after switching on and the bubbles to become granular . This also prevents the nesting of gas bubbles which can settle in the holes due to the process, for example due to high surface tension between the medium and the workpiece, or which can penetrate into the holes as foam during immersion.
Ferner werden durch die schnelle Relativbewegung zwischen Badmedium und Werkstück die Austauschvorgänge in der Grenzschicht, wie Konvektion, Migration und Diffusion unterstützt. 30Furthermore, the rapid relative movement between the bath medium and the workpiece supports the exchange processes in the boundary layer, such as convection, migration and diffusion. 30
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Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung einiqpr Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäflen Vorrichtung.Further details of the invention emerge from the patent claims and the following description of an embodiment of the device according to the invention.
j Die in FIG 1 schematisch dargestellte Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung und Galvanisierung von plattenförmigen Werk:..tükken besteht im Wesentlichen aus einem Standbad mit dem Behälter j The device for surface treatment and galvanization of plate-shaped workpieces shown schematically in FIG. 1 consists essentially of a standing bath with the container
1 lind riptn Rarimpri! um cnulc Horn nlaHonffirmlnon Uorl/cti'irl/ 31 and riptn Rarimpri! um cnulc Horn nlaHonffirmlnon Uorl/cti'irl/ 3
das an einem Warenträger 4 hingt. Der Warenträger h ruht auf einem Auflager 5. im dargestellten Fall ist das Auflager 5 aber nicht direkt auf dem Auflagerhnlm 6 angeordnet. Vielmehr ist das &Agr;&ugr;&Pgr;&eegr;&eegr;&egr;&tgr; 5 auf einer Platte 7 befestigt, mit der im dargestellten Fall 7wei Vibrationseinrichtungen 8 in Verbindung stehen. Die Platt-0 7 ruht ferner auf Entkopplungselementen 9, die ihrerseits auf dem Auflagerholm 6 befestigt sind. Durrh überkritische Auslegunn der aus Auflager 5, F'atte 7 und Entkopplungselementen 9 bestehenden Anordnung wird eine EntkopDlunq des Auflagers 7 und damit des Warenträgers & mit dem Werkstü^ 3 von den Auflagerhnimen 6 erreicht. Der Warenträger ^ mit dem plattenförmigen Werkstück 3 vollzieht dadurch zwar die durch einen aestrichelten PfRiI annpripntpfp Warpnhpwenunn mit. die von den Vibrationseinrichtungen 8 erzeugten schnellen Bewegungen werden aber von der Gesamtanlage weitaehend entkoppelt.which hangs on a goods carrier 4. The goods carrier h rests on a support 5. In the case shown, however, the support 5 is not arranged directly on the support rail 6. Rather, the support 5 is fastened to a plate 7, to which two vibration devices 8 are connected in the case shown. The plate 7 also rests on decoupling elements 9, which in turn are fastened to the support rail 6. The supercritical design of the arrangement consisting of support 5, plate 7 and decoupling elements 9 results in a decoupling of the support 7 and thus of the goods carrier & with the workpiece 3 from the support rails 6. The product carrier ^ with the plate-shaped workpiece 3 thereby carries out the warp movements indicated by a dotted line. However, the rapid movements generated by the vibration devices 8 are largely decoupled from the overall system.
Mit einer solchen erfindungsgemäßen Vorrichtung ist eine gleichmäßige Vibration des Werkstückes sowohl J Richtung seiner Oberfläche als auch senkrecht dazu, d.h. in Richtung von in dem Werkstück befindlichen Bohrungen, mit der dadurch verbesserten Konvektion erreichbar. Die Vorrichtung benötigt pro Standbad etwa vier Schwinger oder mindestens zwei elektromagnetische Vibratoren. Die Ausstattung einer gesamten Galvanikanlage auf diese Weise bedeutet damit einen beträchtlichen Aufwand an Vibrationseinrichtungen und zugehörigen Trägerplatten sowie Entkopplunoselementen. Für kleinere Anlagen oder Einzelbäder kann diese Lösung aber vorteilhaft sein.With such a device according to the invention, a uniform vibration of the workpiece can be achieved both in the direction of its surface and perpendicular to it, ie in the direction of holes in the workpiece, with the resulting improved convection. The device requires about four oscillators or at least two electromagnetic vibrators per standing bath. Equipping an entire electroplating system in this way therefore means a considerable outlay on vibration devices and associated carrier plates as well as decoupling elements. However, this solution can be advantageous for smaller systems or individual baths.
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FIG 2 zeigt - links von der Seite her und rechts von vorn gesehen - die Möglichkeit der Anordnung der Vibrationseinrichtung 8 unmittelbar auf dem Warenträger 4. Die Ausrüstung der zahlreichen Warenträger einer kompletten Oberflächenbehandlungs- und Galvanisiervorrichtung ist zwar etwas geringer als bei dem Ausführungsbeispiel von FIG 1 aber immer noch erheblich.FIG 2 shows - seen from the side on the left and from the front on the right - the possibility of arranging the vibration device 8 directly on the product carrier 4. The equipment of the numerous product carriers of a complete surface treatment and galvanizing device is somewhat less than in the embodiment of FIG 1 but still considerable.
Eine aufwandmäßig gesehen vorteilhafte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist in FIG 3 dargestellt, bei der die Viurationseinrichtung 8, hier in gegenläufig parallelgeschalteter Anordnung, auf dem sogenannten Hubwagen 10 angebracht ist. Dem geringeren Aufwand an Vibrationseinrichtungen 8 bei einer großen Galvanikanlage steht aber gegenüber, daß die Erzeugung der vergleichsweise schnellen Relativbewegung zwisehen dem Badmedium 2 und dem darin befindlichen Werkstück 3 nur während des Kontaktes des Hubwagens 10 mit dem Warenträger A erfolgen kann. Dies ist z.B. der Fall beim Eintauchen der Werkstücke in das Badmedium 2, bei eventuell vorzusehenden Zwischenhüben oder beim Herausnehmen aus dem Standbad 1 nach abgeschlossener Behandlung. Ein Vorteil dieser Auführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist allerdings der zusätzliche Effekt einer Verringerung der Verschleppung des Badmediums 2 durch dessen vibrationsunterstutzten Ablauf.An embodiment of a device according to the invention that is advantageous in terms of cost is shown in FIG. 3, in which the vibration device 8, here in a parallel arrangement connected in opposite directions, is mounted on the so-called lifting carriage 10. However, the lower cost of vibration devices 8 in a large electroplating plant is offset by the fact that the generation of the comparatively fast relative movement between the bath medium 2 and the workpiece 3 located therein can only take place during contact of the lifting carriage 10 with the goods carrier A. This is the case, for example, when the workpieces are immersed in the bath medium 2, during any intermediate strokes that may be required, or when they are removed from the standing bath 1 after treatment has been completed. An advantage of this embodiment of the device according to the invention is, however, the additional effect of reducing the entrainment of the bath medium 2 through its vibration-supported discharge.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemaßen Vorrichtung zeigt FIG 4. Die Einkopplung der vergleichsweise schnellen Bewegung mit Hilfe einer Vibrationseinrichtung geschieht hier über die Auflagerholme 6 - hier in der schematischen Darstellung nur einer dargestellt - oder über eine die beiden links und rechts der Anlage vorgesehenen Auflagerholme t veibindende Traverse 11.A particularly advantageous embodiment of the device according to the invention is shown in FIG. 4. The coupling of the comparatively fast movement with the aid of a vibration device takes place here via the support beams 6 - only one is shown here in the schematic representation - or via a cross member 11 connecting the two support beams provided to the left and right of the system.
Der Vorteil einer solchen Anordnung ist, daß für eine ganze Oberflächenbehandlungs- und Galvanlsierungsvorrichtung nur an einer einzigen Stelle eine Vibrationseinrichtung vorgesehen werden muß. Im dargestellten Beispiel von FIG 4 dient dazu wieder eine gegenläufig parallegeschaltete Anordnung zweierThe advantage of such an arrangement is that for an entire surface treatment and galvanizing device, a vibration device only needs to be provided at one single location. In the example shown in FIG 4, this is again done by an arrangement of two vibration devices running in parallel and running in opposite directions.
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Schwinger 8. Um eine unerwünschte Übertragung der schnellen Relativbewegung von den Vibrationseinrichtungen 8 auf die Antriebseinrichtung 12 für die langsame Warenbewegung zu verhindern, ist zwischen Auflagerholm 6 und Antriebseinrichtung 12Oscillator 8. In order to prevent an undesirable transmission of the fast relative movement from the vibration devices 8 to the drive device 12 for the slow movement of goods, a vibration damper is provided between the support beam 6 and the drive device 12. ein EntkopDlungselement 13 vorgesehen.a decoupling element 13 is provided.
Mit einer erfindungsgsmäSen Vorrichtung, wie sie in FIG 4 dar gestellt ist, kann eine optimale Relativbewegung senkrecht i*jT Oberfläche der plattenförmigen Werkstücke 3 und somit in derWith a device according to the invention, as shown in FIG 4, an optimal relative movement perpendicular to the surface of the plate-shaped workpieces 3 and thus in the
Standbäder I einer Reihe und damit äußerst kostengünstig realisiert werden. Gegenüber einei vertikalen Einkopplung (parallel % zur Oberfläcr der Werkstücke) sind die bei der Auslegung der % Vorrichtung zu beachtenden Versteifungsmaßnahmen wesentlich § Stand baths I in a row and thus extremely cost-effectively. Compared to a vertical coupling (parallel % to the surface of the workpieces), the stiffening measures to be taken into account when designing the % device are significantly § einfacher, da die Hauptrichtung der schnellen Bewegung in Rich- P tung der Auflagerholme 6 erfolgt. t easier, since the main direction of the fast movement is in the direction of the support beams 6. t
Außer den in den FIG 1 bis 4 dargestellten Beispielen für die Ausgestaltung erfindungsgemäßer Vorrichtungen ist es auch mög- ;In addition to the examples of the design of devices according to the invention shown in FIGS. 1 to 4, it is also possible; lieh, die vergleichsweise schnelle Relativbewegung zwischen dem 'i Badmedium und dem darin befindlichen Werkstück dadurch zu er- ; zeugen, daß die Vibrationseinrichtung als sogenannte Rüttelflasche ausgebildet und diese direkt in das Standbad eingeführt wird. Diese Art der Anregung des Badmediums zur schnellen BeweIt is possible to generate the comparatively fast relative movement between the bath medium and the workpiece in it by designing the vibration device as a so-called vibrating bottle and inserting it directly into the standing bath. This type of excitation of the bath medium for fast movement gung erfordert zwar eine schwingungssteife Konstruktion der Be hälterwände, da eine Vibrationseinkopplung in das Badmedium selbst sonst zu Schwingungen der Behälterwände und damit einer Wirkungsloslgkeit für die plattenförmigen Werkstücke führen kann. Bei einer entsprechenden Ausgestaltung der BehälterwändeThe system requires a vibration-resistant construction of the container walls, since vibration coupling into the bath medium itself can otherwise lead to vibrations in the container walls and thus to ineffectiveness for the plate-shaped workpieces. With an appropriate design of the container walls ist aber eine solche Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung vor allem für kleine Behälter oder Medien höherer Dichte geeignet.However, such a design of the device according to the invention is particularly suitable for small containers or media of higher density.
13 Schutzansprüche 4 FIR13 Protection claims 4 FIR
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9011675U DE9011675U1 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | Device for surface treatment and galvanization of plate-shaped material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9011675U DE9011675U1 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | Device for surface treatment and galvanization of plate-shaped material |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9011675U1 true DE9011675U1 (en) | 1990-10-18 |
Family
ID=6856416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9011675U Expired - Lifetime DE9011675U1 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | Device for surface treatment and galvanization of plate-shaped material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9011675U1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1990
- 1990-08-10 DE DE9011675U patent/DE9011675U1/en not_active Expired - Lifetime
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