DE9007809U1 - Positionsmeßeinrichtung - Google Patents

Description

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 19. Dezember 1989

Positionsmeßeinrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Positionsmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff-des-Anspruches. 1.

Positionsmeßeinrichtungen als Interferometer in integriert optischer Bauart sind bekannt. Als Beispiel sei die DE-C2 36 30 887 genannt. Dort wird eine Anordnung auf einem Substrat beschrieben, bei der ein Wellenleiter für den Meßstrahl mit einem Laser verbunden ist. Am anderen Ende des Wellenleiters befindet sich ein Aus- bzw. Einkoppelgitter für den Meßstrahl. Mittels eines Kopplers wird aus dem Meßwellenleiter ein sogenannter Bezugswellenleiter gewonnen, der an einer verspiegelten Kante des Substrates endet, die somit einen Spiegel für den Bezugswellenleiter bildet. Derartige Spiegel oder auch Bragg-Reflektoren sind in der integrierten Optik nicht leicht herzustellen. Auch Systeme, die Linsen benötigen, sind in der Herstellung

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und Justierung nicht unproblematisch.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemä-ße Positionsmeßeinrichtung zu schaffen, die beispielsweise Reflektoren und Linsen nur in geringstem Umfang benötigt, die also einfach aufgebaut ist, wenig Justageaufwand erfordert, leicht den Erfordernissen angepaßt werden kann und zudem störsicher arbeitet.

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Diese Aufgabe wird von einer Positionsmeßeinrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Die Vorteile der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung liegen darin, daß sich die passiven Elemente und auch die Beleuchtung auf einem Substrat zu einem Interferometer in integriert optischer Bauweise auf kleinstem Raum zusammenfassen lassen . ·■ und daß jegliche Art von Reflektor und/oder Linse auf dem Chip entfalten kann.

Lediglich der Meßreflektor an dem zu messenden Objekt ist zwangsläufig noch außerhalb des Substrates angeordnet.
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Weitere Vorteile sind durch die ünteransprüche ausgedrückt.

Anhand der Zeichnungen soll mit Hilfe von Ausführungsbeispielen die Erfindung noch näher erläutert werden.

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Es zeigt

Figur 1 ein Interferometer mit Zirkulargittern als Ein- und/oder Auskoppelelemente,'

Figur 2 ein Interferometer mit Lineargittern als Ein- und/oder Auskoppelelemente und

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Figur 3 ein Interferometer mit separatem Referenzkanal.

"" Wie bei Darstellungen in der integrierten Optik

üblich, müssen die Ausführungsbeispiele stark schematisiert und oft auch verzerrt dargestellt sein, damit die wesentlichen Einzelheiten deutlich werden.

In Figur 1 ist ein Substrat 1 gezeigt, in oder auf dessen Oberfläche sich in einem Teilbereich ein planarer Lichtwellenleiter la erstreckt.

Dort sind zwei Zirkulargitter 2 und 3 vorgesehen.

Ein von einer Laserdiode 4 in das Substrat 1 ein- _j fallendes Strahlenbündel 5 trifft auf das Zirkular

gitter 2, welches hier auch als Strahlteiler wirkt. Das nahezu senkrecht einfallende Strahlenbündel 5 wird in seine 0. und 1. Ordnung aufgespalten, wobei das Teilstrahlenbündel 0. Ordnung auf einen Meßreflektor trifft, der hier als Tripelprisma 6 ausgebildet ist. Das Teilstrahlenbündel mit dem Anteil der 1. Ordnung wird abgebeugt und in den planaren Lichtwellenleiter la eingekoppelt. Dabei wird dieses Teilstrahlenbündel 1. auf einen Eingang

eines integriert-optischen Kopplers 7 fokussiert. Integriert-optischen Koppler 7 sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt., Der Koppler 7 hat drei Ausgänge, die in Detektoren 3a, 8b, Sc münden.

Das Teilstrahlenbündel mit dem Anteil der 1. Ordnung, welches im Zirkulargitter 2 abgebeugt wird, wird über den Koppler 7 den Detektoren Sa bis 8c zugeführt und bildet den Referenzarm des Interferometers.

Das Teilstrahlenbündel mit dem . Anteil der 0. Ordnung, welches über den Meßreflektor 6 geführt wird, trifft auf das Zirkulargitter 3, von dem es in einen Zweig des Kopplers 7 fokussiert wird, der in den Detektoren Sa bis 8c mündet. Dieser Zweig bildet den Meßarm des Interferometers.

Im Koppler 7 interferieren die Teilstrahlenbündel von Meßarm 1. und Referenzarm 0., so daß mit Hilfe des Kopplers 7 in den Detektoren 8a, 8b, 8c drei zueinander phasenverschobene Signale erzeugt werden.

In Figur 2 ist ein ähnliches Interferometer dargestellt, bei dem Lineargitter 22 und 23 verwendet werden. In oder auf der Oberfläche eines Substrates 21 erstreckt sich ein planarer Lichtwellenleiter 21a, in den senkrecht oder nahezu senkrecht ein Strahlenbündel 25 einer Laserdiode 24 einfällt.

(Das Strahlenbündel kann auch in nicht gezeigter Weise parallel zum Substrat 21 in den planaren Lichtwellenleiter 21a einfallen, dann ändern sich die Beziehungen der Beugungsordnungen 0. und 1. zum Meßarm und zum Referenzarm). Arn Lineargitter 22

wird das einfallende Strahlenbündel 25 in Teilstrahlenbündel aufgespalten. Der Anteil der O. Ordnung fällt auf einen als Tripelprisma ausgebildeten Meßreflektor 26, der ihn auf das zweite Lineargitter 23 reflektiert, von dem er gebeugt und in den planaren Lichtwellenleiter 21a eingekoppelt wird.

Dort interferiert er mit dem Anteil der 1. Ordnung, der das zweite Lineargitter 23 passiert und nach Bildung von Interferenzstreifen in die Detektoren 2Sa, 28b, 28c eingespeist wird. Was zeichnerisch nicht darstellbar ist, kann so erläutert werden:

r\ Die mit Pfeilen angedeuteten Teilstrahlenbündel 0.

und 1. Ordnung haben eine endliche Ausdehnung und die planare Lichtwellenleiterschicht 21a hat eine endliche Dicke. Die zwei ebenen Wellen der 0. und 1. Ordnung interferieren innerhalb dieser Schicht pnd bilden ein Interferenz-Streifenmuster, welches von den Detektoren 2Sa, 2Sb, 2Sc erfaßt wird.

Durch leichte Schrägstellung des zweiten Gitters gegenüber dem ersten Gitter kann dieser Effekt erzeugt werden. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, das erste Gitter - wie beschrieben - als Lineargitter 22 auszubilden, aber das zweite Gitter beispielsweise als leichtes Zirkulargitter zu ge-...-¹ stalten. In jedem Falle werden die auf eine der

beschriebenen - aber nicht auf diese beschränkten Methoden erzeugten Interferenzstreifen von den Detektoren 2Sa, 28b, 2Sc erfaßt und in zueinander phasenverschobene Meßsignale umgeformt.

Zur Erzielung phasenverschobener Interferenzsignale kann aber auch in einem Teil des Referenzstrahls ein phasenschiebendes Element {nicht dargestellt) angebracht werden.

In einer weiteren Ausführungsform gemäß Figur 3

"" Ö —

wird ein von einer Laserdiode 34 in einen Lichtwellenleiter 31a einfallendes Strahlenbündel 35 einem Zirkulargitter 32 zugeführt. Dort wird es in Richtung eines Meßreflektors 36 ausgekoppelt und von diesem wieder auf ein Einkoppelgitter 33 reflektiert. Das ins Einkoppelgitter 33 eingespeiste Meß-Strahlenbündel 35 wird dort umgelenkt und von dem Zirkular-(Einkoppel-)gitter 33 in einen Lichtwellenleiter 31b fokussiert, der praktisch die Fortsetzung des ersten Lichtwellenleiters 31a ist.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der Referenzarm durch ein Teilstrahlenbündel 35a gebildet, das mit-

-J tels eines Kopplers 38 aus dem Lichtwellenleiter

31a ausgekoppelt und über einen Lichtwellenleiter 31c zu einem Koppler 37 geleitet wird.

Im Koppler 37 interferieren die Teilstrahlenbündel des Meßstrahlenbündels 35 mit dem Referenzstrahlenbündel 35a in bekannter^[1 Wers'e-Tirid-' es~werden """Tnterferenzsignale erzeugt, welche durch die Detektoren 38a, 38b, 38c aufgenommen und in zueinander phasenverschobene elektrische Meßsignale umgeformt werden.

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Claims (10)

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 19. Dezember 1989 Ansprüche

1. Positionsmeßeinrichtung, insbesondere Interferometer in integriert optischer Bauart, wenigstens mit einem Meß- und einem Referenz-Strahlenbün-

.-&Lgr; del, dadurch gekennzeichnet,, daß zumindest im

Strahlengang des Meß-Strahlenbündels (O.,35) wenigstens zwei räumlich getrennte Einkoppel- und/oder Auskoppelelemente (2, 22, 32; 3, 23, 33} angeordnet sind und daß das Meß-Strahlenbündel (O.,35) jedes dieser Einkoppel- und/oder Auskoppelelemente (2, 22, 32; 3, 23, 33) zumindest einmal durchtritt bzvr. an ihm gebeugt wird.

2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einkoppel- und/oder Auskoppelelemente Gitter {2, 22, 32; 3, 23, 33)

sind.

3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitteir Zirkular- (2, 3;

32, 33) oder Lineargitter {22, 23) sind.

4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Gitter (2, 22) als Strahlteiler dient, der ein einfallendes Strahlenbündel {5, 25) in das Meß- (0.) und das Referenz-Strahlenbündel (1.) aufteilt.

- &dgr;

5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Lichtquelle eine Laserdiode {4, 24, 34) dient, deren Strahlenbündel unter einem von 90° abweichenden Winkel in das Einkoppelgitter {2,-22} einfällt.

6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitterkonstanten der Gitter (2, 22} von einer Gitterkonstanten abweichen, die für senkrechten Strahleneinfall erforderlich wären.

7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Koppler {7, 37} vorgesehen ist, durch den zusätzlich zum Meßsignal ein Gegentaktsignal gewonnen und die Bewegungsrichtung ermittelt werden kann.

S. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch

20_. ... gekennzeichnet, daß zur Erzeugung von.zueinander phasenverschobenen Meß- bzw. Referenzsignalen ein phasenschiebendes Element (27) zwischen den Lineargittern vorgesehen ist.

9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung von zueinander phasenverschobenen Meß- bzw. Referenzsignalen das zweite Lineargitter gegenüber dem ersten eine Schrägstellung aufweist.

10. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung von zueinander phasenverschobenen Meß- bzw. Referenzsignalen das zweite Gitter gegenüber dem ersten in der Struktur modifiziert ist.