DE898500C - Corpuscular beam apparatus, in particular an electron microscope - Google Patents

Corpuscular beam apparatus, in particular an electron microscope

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DE898500C
DE898500C DES11558D DES0011558D DE898500C DE 898500 C DE898500 C DE 898500C DE S11558 D DES11558 D DE S11558D DE S0011558 D DES0011558 D DE S0011558D DE 898500 C DE898500 C DE 898500C
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DE
Germany
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arrangement according
box
electron microscope
switching
handle
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Expired
Application number
DES11558D
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German (de)
Inventor
Friedrich Theilen
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/248Components associated with high voltage supply

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop Die Erfindung betrifft einen Korpuskularstrahlapparat, insbesondere ein Elektronenmikroskop, bei dem die Kathodenheizspannung einem Sammler entnommen wird, .der ebenso wie die Batterie für die Steuervorspannung in einem Kasten angeordnet ist, welcher mit einem Endungsschalter im Betrieb an negative, Hochspannung gelegt und im ausgeschalteten Zustand des Apparates geerdet wird. Erfindungsgemäß ist hierbei eine mit einem Handgriff zu bedienende E.rdungsstange verwendet, an der die Erdungsleitung befestigt ist und die mit Schaltkontakten zum Ein- und Ausschalten der an den Kasten zu legenden Hochspannung zusammenarbeitet. Es ergibt sich auf diese Weise eine sicher arbeitende, leicht herzustellende und billige Erdungsschalterkonstruktion. Man wird der handbedienten Erdungsstange gemäß der weiteren Erfindung mit Vorteil zwei Rasten zuordnen, die- der Betriebsstellung und der Ausschaltstellung des Apparates entsprechen. Dabei kann die Konstruktion von vornherein so gewählt sein, daß die handbediente Erdungsstange überhaupt nur in diesen beiden ausgewählten Schaltstellungen sich selbst hält, so, daß es also. nicht möglich ist, die Erdungsstange in .einer Zwischenlage zwischen den beiden genannten Endstellungen stehenzulassen. Durch die- Erdungsstange kann man beim Enterden noch einen. weiteren. Kontakt betätigen lassen, durch den die Vorheizung .des Gleichrichters eingeschaltet wird. Zeitlich hinter dieser Kontaktbetätigung kommt dann beim Enterden durch das Überführen der Schaltstange in die Betriebslage ein Schaltkontakt zur Wirkung, mit dessen Hilfe die an den Kasten zu legende negative Hochspannung eingeschaltet wird. Es empfiehlt sich,- mit der handbedienten Erdungsstange fernerhin auch noch Schaltkontakte zu betätigen, die im geerdeten Zustand eine grüne Anzeigelampe und im Betriebszustand eine rote Anzeigelampe einschalten. Dem Bedienenden wird durch diese Lampen zwangsläufig angezeigt, ob der Batteriekasten für d en Betrieb des Korpuskularstrahlapparates enterdet oder für die Außerbetriebsetzung geerdet ist.Corpuscular beam apparatus, in particular an electron microscope The invention relates to a particle beam apparatus, in particular an electron microscope from which the cathode heating voltage is taken from a collector, like the battery for the control bias is arranged in a box with an end switch In operation, applied to negative, high voltage and when the device is switched off is grounded. According to the invention, one can be operated with a handle E. Earthing rod used to which the earth wire is attached and which has switch contacts works together to switch the high voltage to be applied to the box on and off. This results in a safe, easy to manufacture and cheap earthing switch construction. One becomes according to the hand-operated earthing rod the further invention advantageously assign two notches, the operating position and correspond to the switch-off position of the appliance. The construction be chosen from the outset so that the hand-operated earthing rod only in these two selected switch positions holds itself, so that it is. it is not possible to place the earthing rod in an intermediate position between the two to leave the end positions mentioned. You can use the earthing rod when earthening another one. further. Activate the contact through which the preheating of the rectifier is switched on. Time behind this contact comes then when disconnecting by moving the switch rod into the operating position Switching contact to the effect, with the help of which the negative to be placed on the box High voltage is switched on. It is recommended - with the hand-operated earthing rod also to operate switch contacts, which are green when earthed Switch on the indicator lamp and, in the operating state, a red indicator lamp. The operator these lamps inevitably indicate whether the battery box is ready for operation of the corpuscular beam apparatus or earthed for decommissioning is.

Wenn man die Erfindung bei einem Elektronenmikroskop an sich bekannter Konstruktion anwendet, das senkrecht stehend auf einem Hohlstativ montiert ist und bei dem sich der genannte zu erdende Batteriekasten oben auf dem Stativ befindet, wird man .die Erdungsstange im Hohlstativ auf- und abschiebbar lagern, wobei der ihr zugeordnete Handgriff in einem Schlitz in der Vorderwand geführt ist. Dieser Schlitz ist dabei vorzugsweise senkrecht von oben nach unten geführt, wobei die obenerwähnten Rasten, welche die Endstellungen des Erdungsschalters fühlbar machen, sich dadurch ergeben können, daß der Schlitz an seinen beiden Enden nach einer Seite hin waag@rechtein Stückchen weitergeführt ist. Das Einrastender Erdungsstange ergibt sich bei einer solchen Konstruktion also nach der senkrechten Verschiebebewegung der Endungsstange durch eine zusätzliche Querbetwegung in den Abschnitt des Schlitzes, der die Raste bildet. Den Handgriff für die Endungsstange wird man bei einer solchen Konstruktion mit Vorteil in einer solchen Höhenlage anordnen, daß die Bedienung der Endungsstange von dem vor dem Mikroskop sitzenden Beobachter aus möglich ist.If the invention is known per se in an electron microscope Uses construction that is vertically mounted on a hollow tripod and in which the said battery box to be earthed is on top of the tripod, the grounding rod will be stored in the hollow stand so that it can be pushed up and down, with the their associated handle is guided in a slot in the front wall. This The slot is preferably guided vertically from top to bottom, the the above-mentioned notches, which make the end positions of the earthing switch perceptible, can result from the fact that the slot at both ends to one side towards horizontal @ right is continued a bit. The engaging of the grounding rod results in In such a construction, therefore, according to the vertical displacement movement the end bar through an additional transverse bed path in the section of the slot, that forms the notch. The handle for the extension bar is used with one of these Arrange construction with advantage at such a height that the operation the end rod is possible from the observer sitting in front of the microscope.

Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale sind aus den Figuren ersichtlich, welche schematisch eine Anwendungsform der Erfindung bei einem mit einem Hohlstativ ausgerüsteten Elektronenmikroskop zeigen. In Fig. i ist die im Hohlstativ gelagerte Endungsstange, und das zugehörige Schaltbild dargestellt. Fig. 2 zeigt -die Vorderseite, des Stativs. Mit i ist das an sich bekannte Hohlstativ eines senkrecht stehend angeordneten Elektronenmikroskops bezeichnet. Oben auf diesem Stativ ist ein Kasten 2 isoliert montiert, :der einen Sammler für die Kathodenhei.zspannung und die Batterie für die Steuervorspan.nung aufnimmt. Dieser Kasten?, muß im ausgeschalteten: Zustand des Korpuskularstrahlapparates geerdet und im eingeschalteten Zustand an negative Hochspannung gelegt werden. Diese Schaltungen werden mit Hilfe einer handbedienten Erdun:gsstange 3 durchgeführt, die im Hohlstativ senkrecht auf und ab beweglich gelagert ist. Die Endungsstange trägt oben einen Kontaktpilz 4, der sich in der gezeichneten Schaltlage zur Erdung des Kastens :2 an die Unterseite dieses Kastens anlegt. Der Pilz ist mit der Erdungsleitung 5 unmittelbar verbunden. Mit 6 ist eine im Oberteil de@s Hohlstativs i angeordnete Lagerhülse für die verschiebbare Endungsstange 3 bezeichnet. Am unteren. Ende trägt die Endungsstange 3 einen Handgriff 7, der durch einen Schlitz 8 auf der Vorderseite des Mikroskopstativs herausragt. In der gezeichneten, Erdungsschaltlage ist ,der Handgriff 7 in eine Raste 9 geschwenkt, die durch eine Erweiterung des Schlitzes 8 nach rechts hin gegeben ist. Eine zweite derartige Raste io befindet sich am unteren Ende des Schlitzes B. In diese Raste wird der Handgriff 7 geführt, wenn .die- Erdungsstange 3 in die Betriebslage übergeführt werden soll, also in diejenige Lage, in welcher das Elektronenmikroskop eingeschaltet ist.Further features essential to the invention can be seen from the figures, which schematically show an application of the invention in an electron microscope equipped with a hollow stand. In Fig. I the end rod mounted in the hollow stand and the associated circuit diagram is shown. Fig. 2 shows - the front of the tripod. The hollow stand, known per se, of a vertically arranged electron microscope is denoted by i. On top of this stand, a box 2 is insulated: it houses a collector for the cathode heating voltage and the battery for the control voltage. This box? Must be grounded when the corpuscular beam apparatus is switched off and connected to negative high voltage when it is switched on. These circuits are carried out with the help of a hand-operated earthing rod 3, which is mounted so that it can move vertically up and down in the hollow stand. The end bar carries a contact mushroom 4 at the top, which in the illustrated switching position for grounding the box: 2 rests on the underside of this box. The mushroom is directly connected to the grounding line 5. With a bearing sleeve arranged in the upper part of the hollow stand i for the displaceable end rod 3 is designated. At the bottom. At the end, the end rod 3 carries a handle 7 which protrudes through a slot 8 on the front of the microscope stand. In the earthing switch position shown, the handle 7 is pivoted into a notch 9, which is given by widening the slot 8 to the right. A second such notch io is located at the lower end of the slot B. The handle 7 is guided into this notch when .die- earthing rod 3 is to be transferred into the operating position, that is, into the position in which the electron microscope is switched on.

Mit :der Erdungsstange 3 arbeiten eine Reihe von federnden Schaltkontakten 11, i2, 13 zusammen. In geerdetem Zustand ist der Kontakt i i geschlossen, so daß die mit 14 .bezeichnete grüne Anzeigelampe brennt. Führt man nun zur Inbetriebsetzung des Elektronenmikroskops die Erdungsstange 3 mit Hilfe des Handgriffes 7 nach unten, so öffnet sich zunächst der Erdungskontakt 4; danach wird. der Kontakt ii geöffnet, wodurch die grüne Lampe erlischt. Etwa gleichzeitig schließt sich der Kontakt 12, mit dessen Hilfe die rote Anzeigelampe 15 eingeschaltet und außerdem ein Stromkreis 16 zur Vorheizung des dem Elektronenmikroskop zugeordneten Gleichrichters geschlossen wird. Bei weiterem Herabführen wird dann am Kontakt 13 der Hochspannungsstromkreis 17 geschlossen, wodurch die negative Hochspannung an den Batteriekasten. 2 gelegt wird. Mit i8 sind Sicherungen in den beschriebenen Stromkreisen bezeichnet. Das Ein- und Ausschalten der Kontakte i i, 12 und 13 wird mit Hilfe eines Schaltnockens i9 bewirkt, der an der Endungsstange- 3 befestigt ist.With: the earthing rod 3 work a number of resilient switch contacts 11, i2, 13 together. In the grounded state, the contact i i is closed, so that the green indicator light marked 14 is on. One now leads to commissioning of the electron microscope the grounding rod 3 with the help of the handle 7 downwards, so the earthing contact 4 opens first; after that will. contact ii open, whereby the green lamp goes out. At about the same time, contact 12 closes, with the help of which the red indicator lamp 15 is switched on and also a circuit 16 closed for preheating the rectifier assigned to the electron microscope will. If the lead is further down, the high-voltage circuit is then connected to contact 13 17 closed, causing the negative high voltage to the battery box. 2 laid will. Fuses in the circuits described are designated by i8. That Switching the contacts i i, 12 and 13 on and off is done with the aid of a switch cam i9, which is attached to the end rod 3.

Claims (6)

PATENTANSPRÜCHE: i. Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, bei dem die Kathodenheizspannung einem Sammler entnommen wird, .der ebenso wie die Batterie für die Steuervorspannung in einem Kasten angeordnet ist, welcher mit einem Endungsschalter im Betrieb an negative Hochspannung gelegt und im ausgeschalteten Zustand des Apparates geerdet wird, gekennzeichnet durch eine mit einem Handgriff zu bedienende Endungsstange, an der ,die Erdungsleitung befestigt ist und die mit Schaltkontakten zum Ein- und Ausschalten der an den Kasten. zu legenden Hochspannung zusammenarbeitet. PATENT CLAIMS: i. Corpuscular beam apparatus, especially electron microscope, in which the cathode heating voltage is taken from a collector, .der as well as the Battery for the control bias is arranged in a box, which with a Limit switch connected to negative high voltage during operation and switched off State of the device is earthed, characterized by a with a handle The extension rod to be used, to which the earthing cable is attached and which is connected to Switching contacts for switching on and off the to the box. to be laid high voltage cooperates. 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der handbedienten Endungsstange zwei Rasten zugeordnet sind, die der Betriebsstellung und' der Ausschaltstellung des Apparates entsprechen. 2. Arrangement according to claim i, characterized in that the manually operated extension bar two notches are assigned to the operating position and 'correspond to the switch-off position of the device. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, -dadurch gekennzeichnet, daß durch die handbediente Endungsstange beim Enterden ein Kontakt betätigt wird, durch den .die Vorhei.zung des Gleichrichters eingeschaltet wird, und daß durch das Überführen in die Betriebsstellung der Schaltkontakt zum Einschalten -der an den Kasten zu legenden, Hochspannung geschlossen wird. q.. 3. Arrangement according to claim i or 2, characterized in that the manually operated extension bar at When a contact is actuated, it preheats the rectifier is switched on, and that by transferring to the operating position the Switching contact for switching on - the one to be placed on the box, high voltage closed will. q .. Anordnung nach Anspruch r oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß mit der handbedienten Erdungsstange Schaltkontakte zusammenarbeiten, die im geerdeten Zustand eine grüne Anzeigelampe und im Betriebszustand eine rote Anzeigelampe einschalten. Arrangement according to claim r or one of the following, characterized in that that with the manually operated earthing rod switch contacts work together, which are in the a green indicator lamp in the earthed state and a red indicator lamp in the operating state turn on. Anordnung nach Anspruch r oder einem der folgenden für ein Elektronenmikroskop, das senkrecht stehend auf einem Hohlstativ montiert ist, dadurch gekennzeichnet, .daß die Erdungsstange unterhalb des Batteriekastens im Hohlstativ :auf- und abschiebbar gelagert ist und d:aß der ihr zuge=ordnete Handgriff durch einen Schlitz in der Vorderwand des Stativs geführt ist. Arrangement according to claim r or one of the following for an electron microscope, which is mounted vertically on a hollow tripod, characterized in that .that the earthing rod underneath the battery box in the hollow stand: can be pushed up and down is stored and d: ate the handle assigned to it through a slot in the Front wall of the tripod is guided. 6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Handgriff sich in -einer solchen Höhenlage befindet, daß die Bedienung der Erdungsstange von dem vor dem Mikroskop sitzenden, Beobachter aus möglich ist.6. Arrangement according to claim 5, characterized in that that the handle is at such an altitude that the operation of the Earthing rod from the observer sitting in front of the microscope is possible.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2506072A1 (en) * 1981-05-18 1982-11-19 Varian Associates PARTICLE BEAM ACCELERATOR

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