DE896407C

DE896407C - Process for coating glass bodies with layers of high-melting metal

Info

Publication number: DE896407C
Application number: DEQU99D
Authority: DE
Original assignee: Quarzlampen GmbH
Current assignee: Quarzlampen GmbH
Priority date: 1940-11-06
Filing date: 1940-11-06
Publication date: 1953-11-12
Also published as: FR876610A

Description

Verfahren zum Überziehen von Glaskörpern mit Schichten aus hochschmelzendem Metall Für die Herstellung vakuumdichter Stromeinführungen in Entladungsgefäße aus Glas, insbesondere aus Quarzglas oder anderen hochschmelzenden Gläsern, werden mit einem Metallüberzug versehene Glasstäbe verwendet., die in die Gefäßwand so eingeschmolzen sind, daß der leitende Überzug am einen Ende von außen, am anderen Ende von innen zugänglich ist. Bei den bekannten Verfahren zur Herstellung von Stromeinführungen dieser Art wird der einzuschmelzende Glasstab mittels der in der Keramik üblichen Einbrennverfahren oder durch Kathodenzerstäubung oder durch Kondensation von Metalldämpfen .im Vakuum mit dem Metallüberzug versehen. Die auf diese Weise erzeugten metallisierten Glasstäbe ergeben jedoch nicht mit absoluter Sicherheit vakuumdichte Stromeinführungen. Die aufgebrachte Schicht haftet nämlich weder in allen Teilen absolut fest an der Unterlage, noch hängt sie in sich überall fest zusammen. Esi ist daher möglich, sie teilweise abzuwischen oder die aufgebrachte Schicht zu beschädii@gen. Die auf diese Weise hergestellten metallisierten Glasstäbe bedürfen daher, wenn sie als vakuumdichte Stromeinführungen Verwendung finden sollen, einer besonders sorgfältigen Behandlung und sind selbst, wenn größte Sorgfalt angewandt wird, nicht absolut zuverlässig vakuumdicht, da ;stie beim Einschmelzen einer hohen Temperatur ausgesetzt. werden müsisen, . die leicht zu einer Ablösung der ohnehin nicht gut haftenden Schicht von der Unterlage führt und auch eine Lockerung des Gefüges der Schicht selbst zur Folge hat.Process for coating glass bodies with layers of high melting point Metal For the production of vacuum-tight current inlets in discharge vessels Glass, in particular made of quartz glass or other high-melting glasses, are made with Metal-coated glass rods are used, which are melted into the vessel wall are that the conductive coating at one end from the outside, at the other end from the inside is accessible. In the known processes for the production of current inlets The glass rod to be melted down is made of this type by means of the ones commonly used in ceramics Burn-in process or by cathode sputtering or by condensation of metal vapors . Provided with the metal coating in a vacuum. The metallized ones produced in this way However, glass rods do not produce vacuum-tight power entries with absolute certainty. The applied layer does not adhere absolutely firmly to the in all parts Base, it is still firmly connected in itself everywhere. It is therefore possible partially wipe them off or damage the applied layer. The on Metallized glass rods produced in this way therefore require when they are used as Vacuum-tight power feeds should be used, a particularly careful Treatment and are not entirely reliable even if the greatest care is taken vacuum-tight, because when melted down a high temperature exposed. need to be. which can easily detach the layer, which is not adhering well anyway from the base and also a loosening of the structure of the layer itself Consequence.

Diese Nachteile werden bei dem Verfahren nach der Erfindung dadurch vermieden, daß der zu überziehende Glaskörper während des Aufb:ringens des Metalls, dessen Schmelzpunkt höher liegt als der Erweichungspunkt des Glaskörpers, lieh zum mindesten an seiner zu überziehenden Oberfläche auf einer in der Nähe seines Erweichungspunktes liegenden Temperatur befindet. Als hochschmelzendes Metall wird vorteilhaft Wolfram,- Molybdän oder Tautal verwendet, wenn es sich um das Überziehen von Quarzglas oder anderen hochschmelzenden Gläsern handelt. Das Metall wird in feinverteilter Form, vorteilhaft mittels Kathodenzerstäubung oder durch Niederschlagen von Metalldampf,-auf den zu überziehenden Glaskörper gebracht.These disadvantages are thereby in the method according to the invention avoided that the glass body to be coated during the application of the metal, whose melting point is higher than the softening point of the glass body, borrowed for at least on its surface to be coated on one in the vicinity of its softening point lying temperature. As a high-melting metal, tungsten is advantageous, Molybdenum or Tautal is used when it comes to plating or quartz glass other high-melting glasses. The metal is in finely divided form, advantageously by means of cathode sputtering or by depositing metal vapor on brought the glass body to be coated.

Es hab sich gezeigt, daß es am vorteilhaftesten ist, den Glaskörper vor Beginn des Aufbringens des Metalls auf eine in der Nähe seines Erweichungspunktesi liegende Temperatur zu bringen, daß jedoch auch noch zuverlässige Einschmelzungen erzielt werden können, wenn die Oberfläche des Glaskörpers erst während des Aufbringens der Schicht auf die genannte hohe Temperatur gebracht wird.. Die hohe Temperatur muß jedoch erreicht werden, bevor sich ein, zusammenhängender Metallbelag bildet, da andernfalls die Hafbfes:tigkeit des Überzuges an der Unterlage geringer ist.It has been shown that it is most beneficial to use the vitreous humor before starting to apply the metal to one near its softening pointi Bring lying temperature, but that also still reliable melts can be achieved if the surface of the glass body only during application the layer is brought to the said high temperature. The high temperature must be reached, however, before a coherent metal coating is formed, otherwise the adhesion of the coating to the base is less.

Der Überzug wird entweder im Hochvakuum oder in einer das Metall nicht angreifenden Gas-oder Dampfatmosphäre, vorzugsweise bei einem niedrigen Druck von o, i bis 5 mmHg, beispielsweise verdünnter Luft, aufgebracht. Letzteres, Verfahren empfiehlt sich besonders dann, wenn der Metalldampf durch Erhitzen eines verhältnismäB:ig kleinen Metallkörpers, beispielsweise einer den Glaskörper umgebenden Wendel, erzeugt Wird. Bei einer ,solchen Anordnung besteht nämlich die Gefahr, daß die Bedampfüng ungleichmäßig erfolgt, wenn slie im Hochvakuum vorgenommen wird, während durch die Gas- oder Dampfatmosphäre von vorzugsweise niedrigem Druck durch die Streuung des Dampfstroms eine größere Gleichmäßigkeit bewirkt wird. Zum Ausgleichen solcher, durch die Ausbildung der Verdampfungsvorrichtung oder der Einrichtung zur Kathodenzerstäu= bung bedingten Ungleichmäßigkeiten können diese Vorrichtungen gegenüber der zu überziehenden Oberfläche während des Überziehens bewegt werden.The coating is either in a high vacuum or in a the metal does not attacking gas or steam atmosphere, preferably at a low pressure of 0.1 to 5 mmHg, for example dilute air, applied. The latter, procedure is particularly recommended when the metal vapor is produced by heating a proportionate small metal body, for example a helix surrounding the glass body, is generated Will. With such an arrangement there is a risk that the steaming occurs unevenly when slie is done in a high vacuum while through the Gas or steam atmosphere of preferably low pressure due to the scattering of the Steam flow is effected a greater uniformity. To compensate for those by the design of the evaporation device or the device for cathodic atomization Exercise-related irregularities can make these devices compared to the one to be covered Surface can be moved during coating.

Der Abstand zwischen dem Metallvorrat und der zu überziehenden Oberfläche wird während des Aufbringens des Metallüberzuges zweckmäßig kleiner als 5 mm, vorzugsweise kleiner als 2 mm, gewählt.The distance between the metal supply and the surface to be coated is expediently smaller than 5 mm, preferably during the application of the metal coating smaller than 2 mm.

Die zur Erhitzung der zu überziehenden Oberfläche dienende Wärmequelle kann zugleich zur Verdampfung des Metallvorrats herangezogen werden oder diese unterstützen. Es kann, auch durch eine besondere Heizvorrichtung die zu überziehende Oberfläche vor Beginn des Überziehens auf eine in der Nähe des Erweichungspunktes des Glaskörpers liegende Temperatur vorgeheizt werden.The heat source used to heat the surface to be coated can also be used to evaporate the metal supply or support it. The surface to be coated can also be affected by a special heating device before starting the coating to one near the softening point of the vitreous preheated temperature.

Es ist oft wünschenswert, die Dicke des Metallüberzuges örtlich verschieden zu wählen. So ist beispielsweise bei den erwähnten Stromeinführungen eine Verstärkung des Überzuges an den beiden Enden, beispielsweise zum Anschluß von Stromleitern oder Elektroden, erwünscht. Eine solche örtliche Verstärkung kann, durch eine entsprechende Erhöhung der Bedampfungs- bzw. Bestäub.ungsintensität oder durch Verlängerung der Expositionszeit an diesen Stellen bewirkt werden.It is often desirable to vary the thickness of the metal coating locally to choose. For example, there is a reinforcement in the mentioned current introductions of the coating at both ends, for example for connecting current conductors or electrodes, desired. Such a local reinforcement can, by an appropriate Increase in the steaming or dusting intensity or by extending the Exposure time can be effected at these points.

In manchen Fällen ist es wünschenswert, auf ein und denselben Glaskörper mehrere miteinander nicht leitend zusammenhängende Schichten aufzubringen. Zu diesem Zweck wird entweder die Bedampfung oder Bestäubung entsprechend begrenzt und beispielsweise die nicht zu überziehenden Zwischenräume während der Bedampfung abgedeckt, oder es werden na-eh der Herstellung eines zusammenhängenden Überzuges größerer Abmessung durch mechanische oder chemische Mittel Teile desselben derart entfernt, daß die gewünschten, miteinander nicht leitend zusammenhängenden Schichten gebildet werden. Wenn der Glaskörper, beispielsweise ein Quarzstab, auf einer sehr großen Fläche mit einem Metallüberzug versehen werden soll, bereitet die Herstellung eines entsprechend großen Ofens zur Erhitzung der Oberfläche des Glaskörpers und zur Zerstäubung bzw. Verdampfung des hochschmelzenden Metalls Schwierigkeiten, die dadurch vermieden werden können, daß das Überziehen der einzelnen Teile der Oberfläche des Glaskörpers nicht auf einmal, sondern nacheinander vorgenommen wird. Zu diesem Zweck kann beispielsweise der zu überziehende Glasstab mit konstanter Geschwindigkeit durch die Erhitzungs- und Bedampfungs- bzw. Bestäubungsvorrichtung geschoben werden, so daß er nacheinander auf seiner ganzen Länge mit einem Metallüberzug versehen wird. Der VorGschub kann jedoch auch mit wechselnder Geschwindigkeit erfolgen, wenn entweder ein Überzug ungleichförmiger Dicke erzeugt werden soll oder wenn. der Vorschub: jeweils um eine Länge der Bedampfungs- bzw. Bes@täubungseinrichtung erfolgt, so daß die gleich dicken Schichten, die nacheinander hergestellt werden, unmittelbar aneinander angrenzen. Es ist auch möglich, bei dieser Einrichtung, d. h. bei konstanter oder wechselnder Vorschubgeschwindigkeit, auch die Bestäubungs- bzw. Bedampfungsintensität beispielsweise periodisch derart zu ändern, daß die Schicht längs der zu überziehenden Oberfläche eine periodisch wechselnde Dicke besitzt. Aus, einem solchen langen Glaskörper können im Bedarfsfalle kurze, beispielsweise zum Einschmelzen in Entladungsgefäße geeignete Stücke, die als Stromeinführung dienen sollen, abgeschnitten werden. Bei entsprechender Führung des Verfahrens zum überziehen und Abschneiden der einzelnen Teilstücke kann erreicht werden, däß diese Stücke an ihren zum Stromanschluß dienenden Enden eine gegenüber dem eingeschmolzenen Teil verdickte Schicht aufweisen.In some cases it is desirable to use the same vitreous humor to apply several non-conductive cohesive layers. To this Purpose is either the vaporization or dusting accordingly limited and for example the spaces not to be covered covered during the steaming, or it will be close to the production of a cohesive coating of larger dimensions parts thereof removed by mechanical or chemical means in such a way that the desired, non-conductive cohesive layers are formed. If the glass body, for example a quartz rod, covers a very large area to be provided with a metal coating, the production of a prepares accordingly large furnace for heating the surface of the glass body and for atomization or Evaporation of the refractory metal difficulties thereby avoided that the coating of the individual parts of the surface of the glass body is not done all at once, but one after the other. For this purpose, for example the glass rod to be coated at constant speed through the heating and steaming or dusting device are pushed so that he successively is provided with a metal coating over its entire length. The advance can however, it can also be done at varying speeds when either a coating of non-uniform thickness is to be generated or if. the feed: by one at a time Length of the steaming or deadening device takes place so that the thicknesses are the same Layers that are produced one after the other are immediately adjacent to one another. It is also possible with this device, i. H. at constant or changing Feed rate, also the dusting or steaming intensity, for example to change periodically so that the layer along the surface to be coated has a periodically changing thickness. From, such a long vitreous can if necessary, short ones, suitable for example for melting in discharge vessels Pieces that are to serve as power supply are cut off. With the appropriate Management of the process for covering and cutting off the individual pieces can can be achieved that these pieces at their ends serving for power connection a have thickened layer compared to the melted part.

Es ist auch möglich, dass Überziehen des langen Glaskörpers so zu leiten, daß zwischen den einzelnen aufeinantderfolgenden Teilen des Überzuges von Metall völlig freie Zwischenräume verbleiben. Dieses Verfahren würde zweckmäßig dann angewandt, wenn die für den Gebrauch bestimmten metallisierten Glaskörper an ihren Enden nicht überzogen sein sollen. Man könnte jedoch auch nachträglich diese Enden durch chemische oder mechanische Mittel von ihrem Überzug befreien.It is also possible to cover the long glass body like this too conduct that between the successive parts of the coating of Metal completely free spaces remain. This procedure would be useful then applied when the metalized glass body intended for use is on their ends should not be coated. However, this could also be done retrospectively Strip the ends of their coating by chemical or mechanical means.

Anstatt den Überzug an den Enden durch zusätzliche Bedampfung oder Bestäubung zu verdicken, ist es auch möglich, zunächst den Glaskörper gleichmäßig zu überziehen und nachträglich durch mechanische oder chemische Mittel die Schichtdicke an einzelnen Stellen zu verringern. Wenn es .sich beispielsweise um die Herstellung von Stromeinführungen handelt, könnte man einen zunächst mit einer dicken Schicht versehenen Glaskörper durch Behandlung mit einem den Überzug auflösenden chemischen Mittel derart schwächen, daß er an der einzuschmelzenden Stelle eine geringere, zum Einschmelzen geeignetere Dicke besitzt als an seinen zum Anschluß der äußeren Stromleiter bzw. Elektroden dienenden Enden.Instead of the coating on the ends by additional steaming or To thicken pollination, it is also possible to first make the vitreous humor evenly to be coated and subsequently the layer thickness by mechanical or chemical means to decrease in individual places. For example, when it comes to manufacturing When it comes to power feeds, you could start with a thick layer provided glass body by treatment with a chemical that dissolves the coating Weaken the agent in such a way that it has a lower, has a more suitable thickness for melting than at its for connecting the outer Current conductors or electrodes serving ends.

Sowohl bei der Herstellung von Metallüberzügen mit konstanter als auch mit ungleichförmiger Vorschubgeschwindigkeit können zur Verkürzung der Bedampfung:s#- bzw. Bestäubungsdauer die Glaskörper vor dem Einbringen in bzw. vor dem Einwirken der Besitäubungs- bzw. Verdampfungsvorrichtung vorgeheizt werden.Both in the production of metal coatings with constant than Even with a non-uniform feed rate, the following can be used to shorten the steaming: s # - or dusting time the vitreous body before the introduction into or before the action the spray or evaporation device are preheated.

Werden nur verhältnismäßig kleine Glaskörper überzogen, so würde die Beschickung der Vorrichtung verhältnismäßig viel Zeit in Anspruch nehmen. Es empfiehlt sich daher in einem solchen Fall, an der Vorrichtung einen Stapel von nacheinander zu überziehenden Glaskörpern unterzubringen und sie nacheinander, vorzugsweise selbsttätig der Bestäubung bzw. Bedampfung auszusetzen und nach dem Überziehen vorzugsweise selbsttätig aus der Vorrichtung zu entfernen und die fertig überzogenen Glaskörper erneut zu stapeln. Es, können dabei Vorkehrungen getroffen werden, die es, gestatten, die Stapel der noch nicht überzogenen und die Stapel der überzogenen Glaskörper während des Betriebes der Bestäubungs- bzw. Verdampfungs,-vorrichtung einzuführen b:zw. zu entfernen.If only relatively small glass bodies are covered, the Loading the device take a relatively long time. It recommends Therefore, in such a case, a stack of consecutive items is attached to the device To accommodate glass bodies to be coated and they one after the other, preferably automatically to be exposed to dusting or steaming and preferably after coating to remove automatically from the device and the finished coated glass body to stack again. Thereby, precautions can be taken that allow, the stacks of the not yet coated and the stacks of the coated glass bodies to introduce during operation of the dusting or evaporation device respectively. to remove.

Wenn zum Bedampfen eine Drahtwendel oder ein Metallband verwendet wird, das den zu bedampfenden Körper umgibt, dann wird nur höchstens die Hälfte des gebildeten Dampfes die zu überziehende Oberfläche erreichen, während der Rest sich an anderen Teilen der Einrichtung niederschlägt. Dieser Verlust an hochschmelzendem Metall ist an sich unerwünscht. Er kann vermieden werden, wenn die Glaskörper relativ zu dem verdampfenden Körper derart geführt werden, daß der Dampf sich nur auf dem Glaskörper niederschlagen kann. Man kann beispielsweise ein ebenesi Band bis auf die Verdampfungstemperatur heizen und zu beiden Seiten Glasstäbe unter gleichzeitiger Drehung um ihre Längsachse vorbeiführen, so daß sie rundherum gleichmäßig bedampft werden. Bei dieser Anordnung wird das von beiden Seiten des Bandes abdampfende Metall bei entsprechend dichter Aufeinanderfolge der zu bedampfenden Glasstäbe nur auf deren Oberfläche niederschlagen.If a wire coil or a metal band is used for steaming that surrounds the body to be steamed, then only half is at most of the formed steam reach the surface to be coated, while the rest is reflected in other parts of the facility. This loss of high melting point Metal in itself is undesirable. It can be avoided if the vitreous is relatively to the evaporating body so that the steam is only on the Vitreous can precipitate. For example, you can use a flat band up to heat the evaporation temperature and put glass rods on both sides at the same time Rotate around its longitudinal axis so that it steams evenly all around will. With this arrangement, the metal evaporating from both sides of the belt becomes with a correspondingly close succession of the glass rods to be steamed only on precipitate their surface.

Das zu verdampfende Metall kann jedoch auch in einem Tiegel oder in einem Hohlkörper aus noch höher schmelzendem Werkstoff untergebracht werden. Auch bei einer solchen Anordnung kann das Metall nur von der freien Oberfläche abdampfen; wenn man also vor dieser den zu bedampfenden Körper anbringt, vermeidet man einen Verlust durch unerwünschte Bedampfung nicht, zu überziehender Teile. Zur Verminderung der zur Erhitzung der Glaskörperoberfläche und der zur Verdampfung des hochschmelzenden Metalls. erforderlichen Wärmemenge können die Wärmeabstrahlung und -ableitung vermindernde Mittel, beispielsweise mehrere hintereinandergestellte Strahlungslschutzkörper oder Isolierkörper, benutzt werden.' In manchen Fällen ist es wünschenswert, die Glaskörper gleichzeitig oder nacheinander mit verschiedenen hochschmelzenden Metallen oder zunächst mit hochschmelzenden und nachträglich mit niedriger schmelzenden Metallen zu überziehen. Zu diesem Zweck kann anschließend oder gleichzeitig mit dem erfindungsgemäßen Aufdampfen eines hochschmelzenden Metalls ein weiteres hochschmelzendes oder gegebenenfalls auch niedriger schmelzendes Metall aufgedampft b:zw. durch Kathodenzersüäubung aufgetragen werden. Durch entsprechende Leitung des Bedampfungs- bzw. Bestäubungsverfahrens kann die Zusammensetzung der auf diese Weise erzielten Schicht in weiten Grenzen geändert werden. Es ist insbesondere möglich, den Glaskörper durch Verdampfung oder Zersroäubung von reinen Metallen mit aus diesen zusammengesetzten Legierungen zu überziehen. Die Anwendung dieses Verfahrens ist beispielsweise vorteilhaft, wenn die beiden Legierungsbestandteile stark verschiedene Schmelzpunkte haben, so daß bei der Erhitzung eines aus der Legierung bestehenden Körpers zunächst bevorzugt das leichter schmelzende und erst später auch das höher schmelzende verdampfen würde. Das. Verfahren bietet auch dann Vorteile, wenn die Herstellung der aufzudampfenden Legierung Schwierigkeiten bereitet oder sie in der gewünschten Zusammensetzung schwerer erhältlich ist.However, the metal to be evaporated can also be in a crucible or in a hollow body made of an even higher melting material. Even with such an arrangement the metal can only evaporate from the free surface; So if you put the body to be steamed in front of it, you avoid one Loss due to undesired vaporization of parts not to be coated. To reduce the one for heating the vitreous surface and the one for the evaporation of the high-melting point Metal. The amount of heat required can reduce heat radiation and dissipation Means, for example several radiation protection bodies or one behind the other Insulating body. ' In some cases it is desirable to have the vitreous simultaneously or successively with different refractory metals or initially with high-melting metals and subsequently with lower-melting metals to cover. For this purpose can subsequently or simultaneously with the invention Vapor deposition of a refractory metal or, if necessary, a further refractory metal also lower-melting metal vapor-deposited b: betw. applied by cathode atomization will. Through appropriate management of the vaporization or dusting process the composition of the layer obtained in this way can be varied within wide limits to be changed. In particular, it is possible to remove the glass body by evaporation or Atomization of pure metals with alloys composed of them overlay. The use of this method is advantageous, for example, when the two alloy components have very different melting points, so that initially preferred when heating a body made of the alloy the lighter melting and later also the higher melting would evaporate. That. The method also offers advantages when the manufacture is to be vapor-deposited Alloy causes difficulties or makes it difficult to achieve the desired composition is available.

Werden die verschiedenen Metalle nicht gleichzeitig, sondern nacheinander, gegebenenfalls mehrfach abwechselnd hintereinander, aufgebracht, so erhält man, falls die Temperatur genügend hoch ist, Legierungen zwischen den einzelnen aufgebrachten Metallen, während sich bei niedrigerer Temperatur während des Aufbringens und der nachträglichen Verarbeitung häufig nur dünne Schichten miteinander nicht legierter Metalle aus-.bilden, deren thermischer Ausdehnungskoeffizient m it dem der entsprechenden Legierung nicht übereinzustimmen braucht.Are the different metals not at the same time, but one after the other, if necessary several times alternately one after the other, one obtains, if the temperature is high enough, alloys are applied between each Metals, while at a lower temperature during application and the subsequent processing often only thin Layers with each other non-alloyed metals, whose thermal expansion coefficient m it does not need to match that of the corresponding alloy.

Für manche Zwecke, beispielsweise für die Herstellung einer Lötverbindung zwischen dem Überzug aus hochschmelzendem Metall, beispielsweise Molybdän oder Wolfram, der unmittelbar an die Oberfläche des Glaskörpers angrenzt,, und einen den Glaskörper umgebenden Metallring ist es wünschenswert, auf das hochschmelzende Metall leichter lötfähige Metalle aufzubringen. Es können beispielsweise auf Molybdän, Wolfram oder Tantal Eisen, Nickel oder Invar aufgedampft werden. Diese Metn;lle lassen seich leichter hart miteinander oder mit anderen Metallen verlöten, als dies bei den genannten hochschmelzenden Metallen der Fall ist. Die Zusammensetzung der die Schicht hochschmelzenden Metalls, das an die Oberfläche des Glaskörpers angrenzt, umgebenden Schicht aus leichter lö@tfähi!gem Metall braucht nicht an sich homogen zu sein. Es bietet sogar Vorteile, ihren Gehalt an hochschmelzendem Metall von der Oberfläche des Glaskörpers aus nach außen hin, vorzugsweise monoton, abnehmen zu lassen, wenn das hochschmelzende Metall einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der sich von dem des Glaskörpers nur wenig- unterscheidet,, während das lötfähige Metall einen davon abweichenden Ausdehnungskoeffizienten besitzt. Man erzielt auf diese Weise einen allmählichen Übergang und. vermindert die Gefahr einer Ablösung dest Metallüberzuges von der Oberfläche des Glaskörpers..For some purposes, such as making a soldered joint between the coating of refractory metal, for example molybdenum or tungsten, which directly adjoins the surface of the vitreous, and one the vitreous surrounding metal ring it is desirable to lighten the refractory metal to apply solderable metals. For example, it can be based on molybdenum, tungsten or Tantalum iron, nickel or Invar can be vapor-deposited. These metals leave you easier to solder hard to one another or to other metals than with the aforementioned refractory metals is the case. The composition of the layer of high melting point Metal, which is adjacent to the surface of the glass body, surrounding layer Easier to dissolve metal does not need to be homogeneous per se. It even offers Advantages, their content of refractory metal from the surface of the glass body from outwardly, preferably monotonously, to decrease when the high melting point Metal has a coefficient of thermal expansion that differs from that of the Glass body differs only slightly, while the solderable metal differs one of them has different expansion coefficients. That's how you get one gradual transition and. reduces the risk of the metal coating becoming detached from the surface of the vitreous ..

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann die Erhitzung der zu überziehenden Oberfläche des Glaskörpers auch durch diesen hindurch erfolgen oder unterstützt werden. Zu diesem Zweck kann, beispielsweise wenn. es sich um die Erhitzung der Außenseite eines hohl ausgebildeten Glaskörpers handelt, eine im: seiner Höhlung angeordnete Heizvorrichtung, vorzugsweise ein Glühdraht oder eine Glühwendel, verwendet werden.In the method according to the invention, the heating of the to be coated Surface of the glass body also take place through this or supported will. For this purpose, for example if. it is heating the Outside of a hollow glass body acts, one in: its cavity arranged heating device, preferably a filament or a filament used will.

Das Ein- und Ausschalten der Heiz-, Be-. dampfungs- bzw. Bestäubungsvorrvchtung sowie gegebenenfalls der Bewegungsvorrichtung für den Glaskörper und für die Bedampfungs- bzw. Bestäubungsvorrichtung kann selbsttätig erfolgen. Zu diesem Zweck werden vorzugsweise Zeitrelais, oder von der Temperatur der zu überziehenden Oberfläche abhängige Relais oder eine Kombination beider Relaisarten verwendet. DieTemperatur der Glaskörperoberfläche wird an der zu überziehenden Stelle oder an einer Stelle überwacht, deren Temperatur ein bekannter Weise von der Temperatur der zu überziehenden Stelle abhängt. Die Überwachung erfolgt vorzugsweise durch Thermoelemente oder Mikropyrometer.Switching on and off the heating, loading. steaming or dusting device as well as, if necessary, the movement device for the glass body and for the steaming or dusting device can take place automatically. For this purpose are preferred Time relays, or relays dependent on the temperature of the surface to be coated or a combination of both relay types is used. The temperature of the vitreous surface is monitored at the point to be coated or at a point, its temperature depends in a known way on the temperature of the area to be coated. the Monitoring is preferably carried out by thermocouples or micropyrometers.

Da durch die Verdampfung der hoch erhitzten Heiz- bzw. Bedampfungswendel eine Abnahme des Querschnihtts derselben im Laufe des Betriebes eintritt, die eine Auswechslung notwendig macht, ist es zweckmäßig, die zur Erhitzung der Glaskörperoberfläche dienende Heizvorrichtung so zu belasten, daß während ihres Betriebes zum überziehen des Glaskörpers oder eines Glaskörperteiles keine merkliche Verdampfung eintritt. Die Belastung und die Abmessungen der Heizvorrichtung werden zweckmäßig so gewählt, daß die Glasoberfläche innerhalb von wenigen Sekunden die erforderliche Temperatur erreicht. Bei diesem Verfahren wird nicht nur eine seltenere Auswechslung des Glühkörpers der Heizvorrichtung erforderlich, sondern darüber hinaus, falls die Bedampfungswendel und die Heizwendel aus. verschiedenen Werkstoffen bestehen, wird auch noch der Vorteil erzielt, daß eine Bedampfung der Glaskörperoberfläche mit einem anderen Werkstoff als dem der Bedampfungswendel vermieden wird. Man kann beispielsweise die Heizwendel aus Wolfram herstellen und die Bedampfungswendel aus, Molybdän und beide so belasten, daß sie während der Bedampfung oder Heizung etwa die gleiche Temperatur annehmen. In diesem Fall wird sich auf der Glasoberfläche praktisch nur Molybdän niederschlagen, da dieses einen sehr viel höheren Dampfdruck aufweist als Wolfram.Because by the evaporation of the highly heated heating or steaming coil a decrease in the cross section of the same occurs in the course of operation, the one If replacement is necessary, it is advisable to heat the surface of the vitreous body To load serving heating device so that to cover during its operation of the vitreous or a vitreous part no noticeable evaporation occurs. The load and the dimensions of the heating device are expediently chosen so that the glass surface reaches the required temperature within a few seconds achieved. This process not only requires the incandescent body to be replaced less frequently the heating device is required, but also if the steaming coil and the heating coil off. different materials, there will also be an advantage achieved that a vapor deposition of the glass body surface with another material than that of the vaporization coil is avoided. For example, you can use the heating coil made of tungsten and the vaporization coil made of molybdenum and both so load, that they assume approximately the same temperature during steaming or heating. In this case, practically only molybdenum will be deposited on the glass surface, because this has a much higher vapor pressure than tungsten.

Durch erforderlichenfalls bewegbare Abdeckvorrichtungen, die zwischen der Oberfläche des Glaskörpers und dem verdampfenden Metallvorrat angebracht sind, beispielsweise durch Blenden, kann erreicht werden, daß während des Erhitzens oder Überziehens des Glaskörpers die jeweils nicht genügend erhitzten Teile der Glasoberfläche gegen das Auftreffen von Metall geschützt werden, so daß die Glasoberfläche nur dort überzogen wird, wo sie die erwünschte Temperatur besitzt.By moving cover devices, if necessary, between are attached to the surface of the glass body and the evaporating metal supply, for example by blending, that can be achieved during heating or Covering the glass body the parts of the glass surface that are not sufficiently heated be protected against the impact of metal, so that the glass surface only is coated where it has the desired temperature.

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können auch mehrere voneinander isolierte, ineinandergeschachtelte oder hintereinander angeordnete, vorzugsweise koaxiale, Metallüberzüge dadurch hergestellt werden, daß zunächst ein stab- oder rohrförmiger Glaskörper mit einem äußeren Metallüberzug versehen wird und anschließend dieser Metallüberzug vorzugsweise im Vakuum oder einer ihn nicht angreifenden Atmosphäre, zum mindesten teilweise mit Glas, vorzugsweise einem Glasrohr, überzogen wird, das seinerseits ebenfalls mindestens teilweise mit Metall überzogen wird. Dieses Verfahren kann zur Erzeugung von mehr als zwei hintereinander angeordneten oder inednandergeschachtelten, voneinander isolierten Metallüberzügen entsprechend oft wiederholt werden.According to the method according to the invention, several of one another can also be used isolated, nested or arranged one behind the other, preferably Coaxial, metal coatings are produced in that first a rod or tubular glass body is provided with an outer metal coating and then this metal coating preferably in a vacuum or in a non-aggressive atmosphere, is at least partially covered with glass, preferably a glass tube, which in turn is also at least partially coated with metal. This method can be used to generate more than two consecutively arranged or nested, metal coatings isolated from one another are repeated accordingly often.

Der dünne Metallüberzug wird, wenn er sich im Betrieb während längerer Zeit auf hoher Temperatur befindet, leicht vollständig oxydieren, wenn er aus einem oxydierbaren Metall besteht, das unmittelbar an Luft angrenzt: Zur Vermeidung dieses Nachteils empfiehlt es sich, den hochschmelzenden, oxydierbaren Metallüberzug an den mit der Luft in Berührung stehenden Stellen mit einem Schueüberzug aus hochschmelzendem, nichtoxyd:ierbaren Metall, vorzugsweise Rhenium, Iridium oder Osmium, durch Bedampfen oder Bestäuben vorzugsweise bei der für idie Herstellung des oxydierbaren Grundüberzuges angewendeten hohen Temperatur zu versehen. Die Figuren zeigen in zum Teil schematischer Darstellung Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens @sowie Stromeinführungen, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt sind. Es sind ferner einige Anwendungsbeispiele für die so hergestellten Stromeinführungen zum Teil schematriis.ch wiedergegeben. Bei der Vorrichtung gemäß Fig. i sind auf der Grundplatte i aus vakuumdichtem Isoliermaterial zwei Säulen 3 und 4 befestigt, die vakuumdicht durch diese Platte hindurchgeführt sind und zu der Wendel 5 führen, die durch den Strom:durchgang bis zur Glühtemperatur erhitzt wird. Als Abschluß des Vakuumgefäßes dient die beispielsweise aus Glas bestehende Glocke 6. Die Evakuierung sowie gegebenenfalls. das Einfüllen von Gas geschieht durch das Rohr 7. Der mit einem metallischen Überzug zu versehende Glaskörper, bei dem Ausführungsbeispiel ein Quarzstab 8, wird mittels des Halters 9 in die Glühwendel 5 eingeführt. Bei diesemAusführungsbeispie 1 dient die Glühwendel 5 sowohl zum Erhitzen der Oberfläche des Körpers bis auf eine in der Nähe seines Erweichungspunktes liegende Temperatur, d. h. im vorliegenden Fall auf mindestens i2oo° C, vorzugsweise i5oo° C. Die hocherhitzte, beispielsweise aus o,8 mm starkem Molybdändraht besitehendeWendel weist bei einer Länge von etwa 2o mm und einer lichten Weite von 8 mm etwa zehn Windungen auf. Der Stromdurchgang wird so hoch gesteigert, daß schließlich eine ausreichend starke Verdampfung des Molybdäns eintritt, das sich zu einem großen Teil, beispielsweisse etwa 4o '/o, auf der erhitzten Oberfläche des Quarzstabes 8 niederschlägt. Bei dieser Vorrichtung ist also keine besondere Heizvorrichtung für die Erhitzung der Oberfläche des Glaskörpers vorgesehen. Es dient vielmehr die zur Verdampfung des Metallvorrates dienende Wendel zugleich zum Erhitzen der Glaskörperoberfläche. Nach erfolgter Bedampfung und Abkühlung wird der überzogene Glaskörper 8 nach Einlassen von Luft ih die - Glocke mittels des Schliffpaares io, ii entfernt. DieGlocke6 braucht dazu nicht entfernt zu werden. An den durch das obere Ende des Halters 9 abgedeckten Teil 12 bleibt der Quarzkörper frei von einem Metallüberzug. In gleicher Weise kann auch das obere Ende :2 des Stabes durch eine abnehmbare Abdeckkappe 13 gegen Bedampfung geschützt werden, falls dies für den Anwendungszweck erwünscht ist. Die Glühwendel mit den angegebenen Ab- messungen wird mit etwa 8Qo bis iooo Watt belastet. Dadurch wird bereits in etwa 2 bis 5 Sekunden nach dem Einschaltgen der Wendel die Oberfläche des Quarzglases bis in die Nähe der Erweichungstemperatur erhitzt. Da die Glühwendel helle Weißglut erreicht, tritt eine starke - Verdampfung ein. Nach etwa 15 bis 30 Sekunden wird die für dieHerstellung einerStromeinführung erforderliche Schichtdicke erreicht.The thin metal coating will easily oxidize completely if it is in operation for a long period of time at a high temperature if it consists of an oxidizable metal that is directly adjacent to air: To avoid this disadvantage, it is advisable to use the high-melting, oxidizable metal coating to provide the areas in contact with the air with a shoe coating made of high-melting, non-oxidizable metal, preferably rhenium, iridium or osmium, by vapor deposition or dusting, preferably at the high temperature used to produce the oxidizable base coat. The figures show, in a partially schematic representation, devices for carrying out the method as well as current inlets which are produced according to the method according to the invention. There are also some application examples for the power feeds produced in this way, partly shown schematriis.ch. In the device according to FIG. I, two columns 3 and 4 are attached to the base plate i made of vacuum-tight insulating material, which are passed through this plate in a vacuum-tight manner and lead to the coil 5, which is heated to the annealing temperature by the current: passage. The bell 6, which is made of glass, for example, serves as the closure of the vacuum vessel. the gas is filled in through the tube 7. The glass body to be provided with a metallic coating, in the exemplary embodiment a quartz rod 8, is inserted into the incandescent filament 5 by means of the holder 9. In this embodiment 1, the incandescent filament 5 serves both to heat the surface of the body to a temperature close to its softening point, ie in the present case to at least 1200 ° C, preferably 1500 ° C. The highly heated one, for example 0.8 mm thick A coil containing molybdenum wire has about ten turns with a length of about 20 mm and a clearance of 8 mm. The passage of current is increased so high that finally a sufficiently strong evaporation of the molybdenum occurs, a large part of which, for example about 40%, is deposited on the heated surface of the quartz rod 8. In this device, no special heating device is provided for heating the surface of the glass body. Rather, the filament which is used to vaporize the metal supply also serves to heat the surface of the glass body. After steaming and cooling have taken place, the coated glass body 8 is removed after letting in air ih the - bell by means of the cut pair io, ii. The bell 6 does not need to be removed for this. On the part 12 covered by the upper end of the holder 9, the quartz body remains free of a metal coating. In the same way, the upper end: 2 of the rod can also be protected against vapor deposition by a removable cover cap 13, if this is desired for the application. The filament measurements with the specified waste is charged with about 8Qo to iooo watts. As a result, the surface of the quartz glass is heated to close to the softening temperature in about 2 to 5 seconds after the coil is switched on. As the filament reaches a bright white glow, strong evaporation occurs. After about 15 to 30 seconds, the layer thickness required for establishing a current introduction is achieved.

Soll ein Körper aus Hartglas mit einer Er= weichuagstemperatur von nur 8oo° C nach dem erfindungsgemäßen Verfahren mit einem hochschmelzenden Metall, beispielsweise Mölybdän, überzogen werden, so benötigt man eine geringere Temperatur der Glaskörperoberfläche. Man muß also bei sonst gleichen Bedingungen die der Glühwendel zugeführte Leistung in diesem Fall geringer wählen. Dadurch wird .in der Regel die erforderliche Bedampfungszeit länger werden.Should a body made of hard glass with a softening temperature of only 8oo ° C according to the method according to the invention with a high-melting metal, For example Mölybdän, are coated, a lower temperature is required the vitreous surface. So all other things being equal, you have to use that of the filament In this case, select a lower input power. This usually creates the required steaming time will be longer.

Durch die thermische Ausdehnung der Glühwendel selbst und ihrer Zuleitungen treten leicht im Laufe des Betriebes Verbiegungen ein, die eine ungleichmäßige Bedampfung und Erhitzung des Glaskörpers zur Folge haben können. Es ist deshalb zweckmäßig, die Zuleitungen zur Wendel, soweit sie sich nennenswert erhitzen und infolgedessen ausdehnen, möglichst kurz zu wählen und so anzuordnen, daß keine starken Deformationen der Glühwendel eintreten. Diese Störung wird in besonders wirkungsvoller Weise dadurch vermindert, daß dieGlühwendel bifilar gewickeltwird. Bei dem geschilderten Ausführungsbeispiel könnte eine in Fig. 2 dargestellte, bifilar gewickelte Glühwendel Verwendung finden, deren Zuleitungen möglichst bis im. die unmittelbare Nähe derWendel so stark gewählt bzw. in guter Berührung mit wärmeableitenden, wenn möglich sich an der Stromzuleitung beteiligenden Körpern geführt werden, daß sie praktisch kalt bleiben. Zur Erleichterung des Auswechselas der Glühwendeln werden -bei dieser Anordnung die beiden Säulen 3 und 4 nebeneinander so angeordnet, daß die beiden Zuleitungen 14, 15 parallel zueinander geführt in Bohrungen .der Haltevorrichtung nach Fig. 2 eingeführt werden können. Zur besseren Darstellung sind in Fig. 2 die beiden Haltevorrichtungen sowie die Zuleitungen 1q., 15 der Glühwendel, abweichend von dieser geeigneten Anordnung, so dargestellt, als ob :die beiden Zuleitungen in entgegengesetzter Richtung zueinander verliefen.Due to the thermal expansion of the filament itself and its supply lines bends easily occur in the course of operation, resulting in uneven steaming and heating of the vitreous. It is therefore advisable the leads to the helix, insofar as they heat up appreciably and as a result expand, choose as short as possible and arrange them so that no major deformations enter the filament. This makes this disorder particularly effective reduces the incandescent filament being wound bifilar. In the illustrated embodiment a bifilar-wound incandescent filament shown in FIG. 2 could be used, their feed lines, if possible, up to the. the close proximity of the helix was chosen to be so strong or in good contact with heat dissipating, if possible on the power supply line involved bodies are guided so that they remain practically cold. To make things easier When replacing the filament, the two pillars in this arrangement are 3 and 4 arranged side by side so that the two leads 14, 15 are parallel guided to each other in bores .the holding device according to FIG. 2 are introduced can. For better illustration, the two holding devices as well as the supply lines 1q., 15 of the filament, deviating from this suitable arrangement, shown as if: the two leads in opposite directions to each other passed.

Die Erhitzung der Glaskörperoberfläche kann auch durch :ihn .selbst hindurch, beispielsweise durch eine in seinem Innern angeordnete Glühwendel 17, bewirkt oder unterstützt werden, wenn der Glaskörper, wie Fig. 3 zeigt, eine entsprechende Bohrung 16 aufweist. Bei dieser Anordnung erfolgt :die Bedampfung in derselben Weise wie. bei der Erläuterung der Fig. i auseinandergesetzt ist durch die Glühwendel 5, deren Temperatur jedoch entsprechend niedriger gewählt werden kann, wenn eine Abkürzung der Bedampfungs.zeit nicht erwünscht ist. Ein Vorteil dieser Anordnung ist, daß es mit ihr möglich ist, die äußere Oberfläche des Glaskörpers bereits zu Beginn der Bedampfung auf eine genügend hohe Temperatur zu erhitzen. Auf diese Weise können selbstverständlich auch Rohre, und nicht nur einseitig verschlossene Hohlkörper aus Glas bedampft werden.. Durch entsprechende Bemessung der Länge und des Querschnittes des Drahtes der Wendeln 5 und 17 sowie durch entsprechende Auswahl ihres Werkstoffes hat man es in der Hand, die zu ihrem Betrieb erforderliche Spannung auf beispielsweise gleiche Werte zu bringen, so däß sie in Parallelschaltung betrieben werden können. Dabei kann die Temperatur derWendel i7 so niedrig gehaltenwerden, daß ihr Material praktisch nicht verdampft und daher auf der Innenseite des, Rohres keinenNiederschlag erzeugt. Es kann jedoch auf diese Weise auch gleichzeitig eine erfindungsgemäße Bedampfung der Innenseite &es Glaskörpers durchgeführt werden.The surface of the vitreous body can also be heated by: himself through, for example through an incandescent filament 17 arranged in its interior, caused or supported when the glass body, as shown in FIG. 3, a corresponding Has bore 16. With this arrangement: The vapor deposition takes place in the same way how. in the explanation of FIG. i is dealt with by the incandescent filament 5, the temperature of which can, however, be selected correspondingly lower if a Shortening the steaming time is not desired. An advantage of this arrangement is that it is possible with it, the outer surface of the vitreous already to Start of steaming to heat to a sufficiently high temperature. In this way Of course, pipes can also be used, and not just hollow bodies closed on one side made of glass. By appropriately dimensioning the length and cross-section of the wire of the coils 5 and 17 and by appropriate selection of their material you have it in your hand, the voltage required for their operation, for example bring the same values so that they can be operated in parallel. The temperature can the Wendel i7 can be kept so low that their material practically does not evaporate and therefore on the inside of the pipe no precipitation generated. In this way, however, a vapor deposition according to the invention of the inside & it glass body can be carried out.

Fig. q. zeigt' ein weiteres Ausführungsbeispiiel, bei dem die Erhitzung der Gliaskörperoberfläche durch die Wendel 1q. erfolgt, die bereits vor der Einschaltung der zur Bedampfung dienenden Glühwendel 5 in Betrieb genommen werden kann. Auch bei dieser Anordnung kann durch die Vorheizung die Glaskörperoberfläche bereits vor dem Auftreffen des Metalldampfes bis auf eine in der Nähe des Erweichungspunktes liegende Temperatur erhitzt werden. Dabei braucht das Material dieser Wendel nicht zu verdampfen. Durch dieInbetriebnahme der Glühwendel 5, die auf eine so hohe Temperatur erhitzt wird, daß sie merklich verdampft, wird eine weitere Erhitzung der Glaskörperoberfläche erreicht und gleichzeitig die Bildung des Überzuges bewirkt. Um -eine unzulässig hohe Steigerung der Temperatur der Oberfläche des Glaskörpers zu verhindern, ist es unter Umständen notwendig, nach dem Einschalten der Glühwendeln bzw. nach der Steigerung ihrer Temperatur auf hohe Werte, die Erhitzung der Heizwendel 1q. herabzusetzen oder diese ganz außer Betrieb zu nehmen.Fig. Q. shows a further exemplary embodiment in which the heating of the glass body surface by the coil 1q. takes place, which can be put into operation before the incandescent filament 5 used for vapor deposition is switched on. With this arrangement, too, the preheating allows the surface of the glass body to be heated to a temperature close to the softening point before the metal vapor hits it. The material of this coil does not need to evaporate. By starting the filament 5, which is heated to such a high temperature that it noticeably evaporates, further heating of the glass body surface is achieved and at the same time the formation of the coating is effected. In order to prevent an inadmissibly high increase in the temperature of the surface of the glass body, it may be necessary, after switching on the incandescent filaments or after increasing their temperature to high values, to heat the heating filament 1q. reduce it or take it out of operation entirely.

Für manche Anwendungszwecke ist es wünschenswert, einen ungleichmäßigen Metallüberzug auf dem Glasikörper zu erzielen. Die Figuren 5 bis 7 zeigen einfache Vorrichtungen, die geeignet sind, den Glasüberzug an den beiden Enden des Glaskörpers in größerer Dicke als in seiner Mitte zu erzeugen. Bei der Vorrichtung nach Fig. 5 ist die Glühwendel 18 an ihren beiden Enden mit geringerer Steigerung gewickelt als in der Mitte. Dies hat zur Folge, daß diese Stellen der Glaskörperoberfläche stärker bedampft werden. Sie werden auch stärker erhitzt als die mittleren Teile der Glaskörperoberfläche, so daß es, unter Umständen zweckmäßig ist, zur Ausgleichung dieses Temperaturunterschiedes eine zusätzliche Heizwendel i9 vorzusehen, .die, ohne selbst merklich zu verdampfen, nur die Erhitzung der Gl:askörperoberfläche bewirken soll.For some purposes it is desirable to have a non-uniform To achieve metal coating on the glass body. Figures 5 to 7 show simple Devices that are suitable for applying the glass coating to the two ends of the glass body to be produced in a greater thickness than in its center. In the device according to Fig. 5, the incandescent filament 18 is wound at both ends with a smaller increase than in the middle. This has the consequence that these points of the vitreous surface be steamed more strongly. They are also heated more than the middle parts the surface of the vitreous, so that it may be useful to compensate this temperature difference to provide an additional heating coil i9, .the, without noticeably vaporizing itself, just heating the surface of the glass body should effect.

Bei der Anordnung nach @Fig. 6 wird eine Glühwendel 2o gleichmäßiger Steigung verwendet. Durch eine. zweite Glühwendel 21, die nur die beiden Enden des Glaskörpers umschließt; ist für eine zusätzliche Bedampfung dieser Enden Sorge getragen. Die Glühwendel 2i kann dabei entweder selbst verdampfen oder nur die Verdampfung der Glühwendel2o durch die Steigerung der Temperatur derselben an ihren Enden durch die benachbarte Glühwendel 21 erhöhen. Auch bei dieser Anordnung kann zur Ausgleichung der ungleichmäßigen Erhitzung der Glaskörperoberfläche eine weitere, selbst nicht merklich verdampfende Glühwendel i9 in der Nähe des mittleren Teiles des Glaskörpers vorgesehen werden. Falls die Glühwendel2i aus einem anderen Werkstoff .als die Glühwendel 2o hergestellt und ihre Temperatur bis zur Verdampfung ihres Materials gesteigert wird, können die Enden des Glaskörpers mit einem ganz oder bevorzugt aus dem Material der Wendelei bestehenden überzug versehen werden. Es ist auch möglich, mit der dargestellten Anordnung zunächst den ganzen Stab mit einer gleichmäßigen Schicht aus dem Werkstoff der Wendel 2o zu versehen und anschließend mit Hilfe der Wendel ei die Enden mit dem gleichen oder einem anderen Werkstoff zu überziehen. Verwendet man für die Wendel2o beispielsweise Molybdän, Wolfram oder Tantal, so bietet es Vorteile, die Enden mit einem in der Luft nicht oxydierbaren Metall, bei,spielsweiseRhenium,Iridium oder Osmium zu überziehen- und zu diesem Zweck die Wendel ei aus einem dieser Werkstoffe herzustellen. Werden die Wendeln 2o und 21 gleichzeitig in Betrieb gehalten, so entsteht ein aus beiden Metallen gemischter Überzug, während andernfalls die äußere Schicht nur aus dem Metall der Wendel besteht, die zuletzt in Betrieb war. Wird die Temperatur derTeile, auf die gleichzeitig oder abwechselnd nacheinander verschiedene Metalle aufgedampft werden, genügend lange hoch gehalten, oder erfolgt das Aufdampfen -selbst bereits bei genügend hoher Temperatur, so tritt zwischen . den beiden Metallen eine Legierungsbildung ein.With the arrangement according to @Fig. 6 a filament 2o becomes more uniform Slope used. By a. second incandescent filament 21, which only covers the two ends of the Vitreous enclosing; care is taken for an additional steaming of these ends. The incandescent filament 2i can either evaporate itself or only the evaporation the filament by increasing its temperature at its ends Increase the adjacent filament 21. This arrangement can also be used to compensate the uneven heating of the vitreous surface is another, not itself noticeably evaporating incandescent filament near the middle part of the vitreous humor are provided. If the filament 2i is made of a different material than the filament 2o produced and their temperature increased to the point of evaporation of their material is, the ends of the glass body with a wholly or preferably made of the material the existing coating can be provided for the Wendelei. It is also possible with the one shown First arrange the whole rod with an even layer of the material to provide the helix 2o and then with the help of the helix ei the ends with to coat the same or a different material. Is used for the Wendel2o for example molybdenum, tungsten or tantalum, it offers advantages to use the ends a metal that cannot be oxidized in the air, for example rhenium, iridium or To cover osmium - and for this purpose the coil egg made of one of these materials to manufacture. If the coils 2o and 21 are kept in operation at the same time, so the result is a mixed coating of both metals, while otherwise the outer one Layer consists only of the metal of the coil that was last in operation. Will the temperature of the parts to which simultaneously or alternately one after the other different Metals are vapor-deposited, held high for a long enough time, or vapor deposition takes place -Even at a sufficiently high temperature, then occurs between. the two metals an alloy formation.

Bei dem AusEührungsbeispiel nach Fig. 7 besteht die Glühwendel aus Teilen verschiedenen Querschnitts. Der mittlere Teil 22 weist einen größeren Querschnitt auf als die beiden die Enden des Glaskörpers umgebenden Teile 23. Letztere erhitzen sich infolgedessen stärker als der mittlere Teil, so daß die Enden mit einer dickeren Metallschicht überzogen werden. Solche Wendeln mit abgestuftem Querschnitt können beispielsweise durch Abätzen der beiden Enden einer Wendel gleichmäßigen Querschnitts hergestellt werden.In the embodiment according to FIG. 7, the incandescent filament consists of Parts of different cross-section. The middle part 22 has a larger cross section than the two parts surrounding the ends of the glass body 23. Heat the latter as a result stronger than the middle part, so that the ends with a thicker one Metal layer are coated. Such spirals with a stepped cross-section can for example by etching off the two ends of a helix of uniform cross section getting produced.

Auch die Wendeln 16 bis 2:3 können zur Vermeidung von Deformationen durch die Erwärmung entsprechend der Fig. 2 bifilar ausgeführt werden.The coils 16 to 2: 3 can also be used to avoid deformations be carried out bifilar by the heating according to FIG. 2.

Falls nur ein Ende des Glaskörpers mit einer dickeren Schicht versehen werden soll, wird nur dieses mit einer Vorrichtung zur Verstärkung der Schicht entsprechend dem oberen oder unteren Ende gemäß den Fig. 5 bis 7 umgeben.If only one end of the glass body is provided with a thicker layer is to be, only this is corresponding with a device for reinforcing the layer the upper or lower end according to FIGS. 5 to 7 surrounded.

Fig. 8 zeigt eine Vorrichtung zurr Überziehen von. Glaskörpern mit Metlall gemäß der Erfindung, bei der im Gegensatz zu der Anordnung nach Fig. i nicht nach Beendigung des Überziehens des Glaskörpers in die Bedampfungsvorrichtung Luft eingelassen zu werden braucht. Es ist vielmehr dafür Sorge getragen, daß die Glaskörper nach dem Überziehen im Innern eines an den Bedampfungsraum angeschlossenen Vakuumraumes untergebracht werden können, und daß jeweils ein weiterer Glaskörper einem im Innern des Vakuumraumes angeordneten Stapel entnommen werden kann. Fig. 8 stellt diese Vorrichtung nur echematisch in ihren für das Verständnis wesentlichen Teilen dar. Die Bedampfungsvorrichtung selbst besteht aus der den Glaskörper 8 umgebenden, bifilar gewickelten Glühwendel 5 sowie gegebenenfalls einer zusätzlichen Heizwendel 14.Fig. 8 shows an apparatus for coating. Vitreous with Metal according to the invention, in which, in contrast to the arrangement according to FIG after the completion of the coating of the glass body in the steaming device air needs to be admitted. Rather, care is taken that the vitreous after coating inside a vacuum room connected to the steaming room can be accommodated, and that each a further glass body one inside the stack arranged in the vacuum chamber can be removed. Fig. 8 illustrates this Device only echematically in its essential for understanding share represents. The vaporization device itself consists of the glass body 8 surrounding, bifilar wound filament 5 and optionally an additional heating coil 14th

Die Heiz- und Bedampfungsvorrichtung kann selbstverständlich im Bedarfsfalle auch anders ausgebildet sein, beispielsweise entsprechenddenFig. r bis 7. Nach beendeter Bedampfung wird durch Drehen des Handgriffes 24 die Vorrichtung zur Auswechslung des Glaskörpers betätigt. Diese Vorrichtung ist durch das gegen Drehung nachgiebige Wellrohr 25, die drehbare Welle 26 sowie die beiden Absperrschieber 27 und 218 symbolisch dargestellt. Die beiden Absperrschieber 27 und 28 sind so ausgebildet, daß bei einer Drehung der Achse 26 zunächst der bedampfte Glaskörper 8 aus der Bedampfungsvorrichtung heraus in das Sammelgefäß 29 fällt. Die erforderlichen Führungseinrichtungen für das Heruntergleiten der Glaskörper sind in der Figur nicht dargestellt. Der obere Absperrschieber 28 ist so ausgebildet, daß er erst nach dem Entfernen des Glaskörpers aus(der Heizvorrichtung einen anderen Glaskörper aus dem einen Stapel von noch nicht überzogenen Glaskörpern 30 enthaltenden Magazin 3 r herausgleiten läßt, nachdem vorher der untere Absperrschieber 27 die untere Öffnung der Bedampfungsvorrichtung wieder verschlossen hat. Die für den Vorschub der Glaskörper 3o dienende Vorrichtung ist in der Fig. 8 symbolisch durch eine Feder 32 dargestellt, die auf den Stapel von Glaskörpern 30 einen Druck ausübt. Zum Herausdrücken des jeweils vordersten Glaskörpers aus dem Magazin dient eine weitere selbsttätige Vorrichtung, die in der Figur symbolisch durch die Feder 33 dargestellt ist: Auch bei diesem Teil der Vorrichtung sind die erforderlichen Führungseinrichtungen nicht dargestellt.The heating and steaming device can of course also be designed differently if necessary, for example according to FIG. r to 7. After the vaporization has ended, the device for changing the glass body is actuated by turning the handle 24. This device is symbolically represented by the corrugated pipe 25, which is flexible against rotation, the rotatable shaft 26 and the two gate valves 27 and 218. The two gate valves 27 and 28 are designed in such a way that when the axis 26 is rotated, the vaporized glass body 8 first falls out of the vaporization device into the collecting vessel 29. The necessary guide devices for sliding down the glass body are not shown in the figure. The upper gate valve 28 is designed in such a way that it only allows another glass body to slide out of the magazine 3 r containing a stack of uncoated glass bodies 30 after the glass body has been removed from the heating device, after the lower gate valve 27 has previously opened the lower opening of the The device used to advance the glass bodies 3o is symbolically represented in FIG automatic device, which is symbolically represented in the figure by the spring 33: the necessary guide devices are also not shown in this part of the device.

Die Abschlußglocke 34 braucht nur entfernet zu werden, wenn das Magazin neu gefüllt werden muß. Für die Entnahme der metallisierten Glaskörper aus dem Raum 29 ist eine Unterbrechung der Bedampfung sowie das Einlassen von Luft in den Bedampfungsraum nicht erforderlich. Dieser Raum kann nämlich durch die Hähne 35 bis 37 von der übrigen Einrichtung getrennt werden. Zur Entnahme wird der Verschlußdecke13i8 entfernt. Zum Auspumpen des Raumes 29 wird zunächst der Hahn 36 geöffnet, während die Hähne 35 und 37 noch geschlossen sind, und die Luft be'i 7 abgepumpt. Nach Erreichung des gewünschten Vakuums werden die Hähne 35 und 37 ebenfalls geöffnet, so daß erneut aus der Bedampfungsvorrichtung metallisierte Glaskörper in den Sammelraum 29 eingeführt werden können.The final bell 34 only needs to be removed when the magazine must be refilled. For removing the metallized glass body from the room 29 is an interruption of the steaming as well as the admission of air into the steaming room not mandatory. This space can namely through the taps 35 to 37 from the rest Facility to be separated. The closure cover13i8 is removed for removal. To pump out the space 29, the cock 36 is first opened while the cocks 35 and 37 are still closed, and the air at 7 is pumped out. After attainment the desired vacuum, the taps 35 and 37 are also opened, so that again Glass bodies metallized from the vapor deposition device are introduced into the collecting space 29 can be.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel geschieht die Vorheizung bzw. zusätzliche Heizung des Glaskörpers durch die Wendel 14- Unter Umständen ist es jedoch vorteilhafter, zur Erhöhung der Geschwindigkeit, mit der die ganze Vorrichtung arbeitet, die Vorheizung der Glaskörper bereits im Magazin 32 oder auf dem Wege von diesem zur Bedampfungsvorrichtung vorzunehmen oder zum mindesten bereits an dieser Stelle eine gewisse Vorheizung durchzuführen. Es kann beispielsweise das ganze Magazin als Ofen ausgebildet werden.In the illustrated embodiment, the preheating takes place or additional heating of the glass body by the helix 14- under certain circumstances however, it is more advantageous to increase the speed at which the whole device works, the preheating of the glass body already in the magazine 32 or on the way from this to the steaming device or at least already on carry out a certain amount of preheating at this point. For example, it can do that entire magazine can be designed as a furnace.

Während bei dem in Fig. 8 dargestellten Ausführungsbeispiel nur Glaskörper bedampft werden können, deren metallisierteOberfläehekeinegrößere Länge aufweist als die Bedampfungswendel, wird bei der Vorrichtung nach Fig. 9 die Bedampfung von größeren Oberflächen ermöglicht. Die Bedampfung geschieht bei dieser ebenfalls schematisch dargestellten Vorrichtung durch die symbolisch dargestellte Bedampfungsvorrichtung 39, die entsprechend den Fig. z und 2 oder 4 bis 7 ausgebildet sein kann, in die der Glaskörper 40 eingeführt ist. Bei dieser Vorrichtung erfolgt die Bedampfung also zunächst nur auf einem kleinen Teil der Oberfläche des Glaskörpers;; die Anordnung ist jedoch so getroffen, daß der Glaskörper vorgeschoben werden kann. Es kommen dann andere Teile seiner Oberfläche in die Bed;ampfungsvorrichtung. Die Heizung der Glaskörperoberfläche kann entweder mittels der auch zur Bedampfung dienernden Glühwendel 39 oder vorwiegend bzw. zusätzlich mittels einer besonderen Heizvorrichtung 41 durchgeführt werden. Bei der dargestellten Vorrichtung sind noch zwei Abdeckplatten 42 und 43 vorgesehen, die verhindern, daß sich auf nicht genügend erhitzten Teilen der Glaskörperoberfläche Metall niederschlägt.While in the embodiment shown in Fig. 8 only glass body can be vapor-deposited, the metallized surface of which does not have a greater length as the vaporization coil, in the device according to FIG. 9, the vaporization of allows larger surfaces. The vaporization takes place in this also schematically shown device by the symbolically shown steaming device 39, which can be formed according to FIGS. Z and 2 or 4 to 7, in the the glass body 40 is inserted. In this device, the vapor deposition takes place so initially only on a small part of the surface of the vitreous ;; the order however, is made so that the glass body can be advanced. There come then other parts of its surface into the damping device. The heating system the surface of the vitreous can either be used for vapor deposition Incandescent filament 39 or predominantly or additionally by means of a special heating device 41 can be carried out. In the device shown, there are still two cover plates 42 and 43 are provided, which prevent themselves on parts that are not sufficiently heated Metal deposits on the vitreous surface.

Wird der Vorschub mit konstanter Geschwindigkeit, beispielsweise von r mm/Sek. durchgeführt, so würde, wenn die Bedampfungsvorrichtung 39 2o mm lang ist, jedes Element der Glaskörperoberfläche sich 2o Sekunden in der Bedampfungszone befinden. Es würde also eine gleichmäßige, bei genügend intensiverBedampfung ausreichend dicke Schicht erzeugt werden. Der Vorschub kann jedoch auch ruckweise vorgenommen werden, so daß der Stab während der Bedampfung ruht. Bei dem soeben geschildertenBeispiel derBedampfungswendel von 2o mm Länge und einer erforderlichen B-edampfungszeiü von 2o Sekunden müßte also der Glaskörper etwa 2o Sekunden in seiner Lage'verharren und dann ruckweise so weit vorgeschoben werden, daß nunmehr die neu zu bedampfende Oberfläche sich innerhalb der Bedampfungsvorr.ichtung 3,9 befindet. Wird bei dem geschilderten Beispiel der Glaskörper 4o jeweils um 2o mm ruckweise vorgeschoben, so reihen sich die nacheinander hergestellten Überzüge gleichmäßiger Dicke unmittelbar aneinander an. Ist jedoch der jeweilige ruckweise Vorschub kleiner als die Länge der Bedampfungsvorrichtung 39, so überlappen sich die Bedampfungszonen, und es entstehen an den überlappten Stellen Schichten doppelter Dicke, die für gewisse Anwendungszwecke, beispielsweise zur Herstellung von Stromeinführungen, erwünscht ist.If the feed rate is constant, for example from r mm / sec. carried out, so if the steaming device 39 would be 20 mm long every element of the vitreous surface is in the vaporization zone for 20 seconds are located. Even if the steaming is sufficiently intensive, this would be sufficient thick layer can be generated. However, the advance can also be carried out in jerks so that the rod rests during steaming. In the example just described the steaming coil of 20 mm length and a required steaming time of So the vitreous body would have to remain in its position for about 20 seconds and then jerkily advanced so far that the new steam to be steamed is now Surface is within the steaming device 3,9. Will with the the example shown, the glass body 4o pushed forward jerkily by 2o mm, so the successively produced coatings of uniform thickness are directly lined up to each other. However, if the respective jerky feed is smaller than the length of the steaming device 39, the steaming zones overlap and result at the overlapping points layers of double thickness, which for certain purposes, for example for the production of current inlets, is desirable.

Erfolgt jedoch der Vorschub jeweils um eine größere Länge als die Bedampfungsvorrichtung 39, so - Sind zwischen den metallisierten Oberflächenteilen des Glaskörpers 40 nichtmetallisierte Oberflächenteile vorhanden. Auch in dieser Weise hergestellte Glaskörper sind für manche Anwendungszwecke geeignet. Nach der Metallisierung des ganzen Stabes 40 wird er aus der Vorrichtung entfernt und in die für den Gebrauch bestimmten Ab- schnitte geteilt.If, however, the advance takes place by a greater length than the vapor deposition device 39, then there are non-metallized surface parts between the metallized surface parts of the glass body 40. Glass bodies produced in this way are also suitable for some purposes. After metallization of the whole staff of 40 it is removed and cuts in intended for use waste divided from the device.

Der Vorschub kann auch mit ungleichförmiger Geschwindigkeit erfolgen, wenn es- darauf ankommt, einzelne Teile der Glaskörperoberfläche stärker als andere Teile mit Metall zu überziehen. Bei dem soeben geschilderten Beispiel mit ruckweisem Vorschubwar nur die Möglichkeit gegeben, an den überlappten Teilen eine Schicht doppelter Dicke zu erzeugen. Es besteht jedoch auch die Möglichkeit, jeweils einen. Teil der Glaskörperoberfläche mit einer verhältnismäßig dünnen Metallschicht zu überziehen, indem man diesen Teil nur kurze Zeit in der Bedampfungsvorrichtung 39 beläßt und anschließend den folgenden Teil sehr viel stärker zu bedampfen, indem man diesen Teil entsprechend länger in der Bedampfungsvorrichtung läßt. Auf diese Weise läßt sich das D:ickenverhältnis der Schichten an den verschiedenen Teilen der Oberfläche in sehr weiten Grenzen ändern.The feed can also take place at a non-uniform speed, When it matters, individual parts of the vitreous surface are stronger than others To coat parts with metal. In the example just described with a jerk Feed was only given the option of one layer on the overlapped parts double thickness. However, there is also the option of one at a time. Part of the glass body surface with a relatively thin metal layer by coating this part in the steaming device 39 for only a short time leaves and then steaming the following part much more intensely by you leave this part correspondingly longer in the steaming device. To this The ratio of the thickness of the layers to the various parts can be determined in this way change the surface within very wide limits.

Die Änderung der Schichtdicke kann auch- da,-durch erfolgen, daß man bei der Bedampfung der verschiedenen Oberflächenteile die Bedampfungswendel 39 verschieden stark heizt. Besitzt sie zudem nur eine geringe Länge, - so läßt sich die Schicht in sehr kleinen Abständen längs der Glase körperoberfläche in verschiedener Dicke erzeugen. Dabei kann der Vorschub mit konstanter Geschwindigkeit sowie mit wechselnder Geschwindigkeit, beispielsweise auch ruckweise, erfolgen. Es ist unterUmständen zweckmäßig, dieHeizvorrichtüng ebenfalls entsprechend zu steuern, damit die während der Bedampfung sehr intensiv erhitzten Teile der Glaskörperoberfläche nichts unzulässig heiß werden. -Wenn es sich um die Erzeugung periiodisch aufeinanderfolgender Abschnitte gleicher Schichtdickenverteilung handelt, können der Vorschub sowie die Heiz- und' Bedämpfungsvorrichtungen periodisch gesteuert werden.The change in the layer thickness can also be done by in the steaming of the various surface parts, the steaming coil 39 is different strongly heats. In addition, if it has only a short length, the layer can be at very small intervals along the surface of the vitreous body in various thicknesses produce. The feed can be at a constant speed as well as at a changing speed Speed, for example also in jerks, take place. It may be expedient to also control the heating device accordingly, so that the during Nothing inadmissible for parts of the surface of the vitreous body that are heated very intensely by vaporization getting hot. -If it is about the generation of periodically consecutive sections is the same layer thickness distribution, the feed as well as the heating and ' Damping devices are controlled periodically.

Der Vorschub wird bei dem dargestellten Ausführungsbenspiel mit Hilfe eines auf den Glaskörper einwirkenden Eisenteils 44 bewirkt, der seinerseits unter dem Einfluß eines verstellbaren Magneten 45 steht. Alle genannten Teile mit Ausnahme des Magneten 4.5 befinden sich im Innern der vakuumdicht abgeschlossenen Vorrichtung. Die Bewegung des Stabes erfolgt von rechts nachlinks. Sie kann auch mit Hilfe von, vakuumdicht durch die Gefäßwand hindurchgeführten, - von außen bewegbaren Teilen erfolgen.The feed is shown with the aid of the execution game an iron part 44 acting on the glass body, which in turn is under the influence of an adjustable magnet 45 is available. All parts mentioned except of the magnet 4.5 are located inside the vacuum-tight device. The rod moves from right to left. It can also be done with the help of, vacuum-tight through the vessel wall - externally movable parts take place.

An Stelle der wendelförmig ausgebildeten Heizuni Bedampfungsvorrichtungen können auch -den Glaskörper umgebende Rohre verwendet werden, die entweder in ihrer Längsrichtung vom Strom durchflossen oder mittels Hochfrequenz erhitzt werden. Da sich Rohre aus den jin Frage kommenden Werkstoffen verhältnismäßig schwer herstellen lassen, können auch geschlitzte Rohre, vorzugsweise mit sich überlappenden Rändern, aus ebenen Blechen gebogen werden oder eine Reihe von parallel zur Glaskörperoberfläche ausgespannte Metallbänder benutzt werden.Instead of the helical heating units, steaming devices Tubes surrounding the vitreous can also be used, either in their The current flows through it lengthways or it can be heated by means of high frequency. There It is relatively difficult to manufacture pipes from the materials in question can also be slotted tubes, preferably with overlapping edges, be bent from flat sheet metal or a series of pieces parallel to the surface of the glass body stretched metal straps are used.

Bei der Anordnung nach Fig. 9 ist es nicht notwendig, die Beda_ mpfungswendel sehr eng zu wickeln, falls die Bewegung des. Glaskörpers mit etwa konstanter Geschwindigkeit erfolgt, da in diesem Fall trotiz der ungleichmäßigen Bedampfung im Ergebnis eine gleichmäßige Schicht erzielt wird. Es ist aus diesem Grunde in diesem Fall bei: der Vorrichtung nach Fig. 9 auch nicht immer notwendig, die Vorrichtung mit Gas von niedrigem Drück zu füllen, um dadurch eine durch die Streuung bewirkte gleichmäßige Verteilung des aufdampfenden Metalls zu erzielen. Man kann vielmehr auch in sehr hohem Vakuum arbeiten.In the arrangement according to FIG. 9, it is not necessary for the control coil to wrap very tightly if the movement of the vitreous at about constant speed takes place, since in this case the uneven steaming in the result is defied uniform layer is achieved. For this reason, in this case it is: the device according to FIG. 9 is not always necessary, the device with gas of low pressure to fill thereby a uniform caused by the scattering To achieve distribution of the vapor-deposited metal. Rather, one can also in very much work in high vacuum.

Nach 4,°m erfindungsgemäßen Verfahren können mit besonderem Vorteil Stromeinführungen :durch Gefäßwände aus Glas, insbesondere aus Quarzglas und anderen hochschmelzenden Gläsern, hergestellt werden. Zu diesem Zweck wird ein: vorzugsweise zylindrischer Glaskörper m-it beispielsweise kreisförmigem Querschnitt mit einem Metadlüber.zug, vorzugsweise von weniger .als 2o ,u Dicke und 5 bis 15 mm Länge vakuumdicht in die Gefäßwand eingeschmolzen und,diebeiden Enden des Metallüberzuges mit .den, Zuleitungen, bzw. Elektroden verbunden. Gerade bei diesem Anwendungsgebiet empfiehlt es sich, von dem geschilderten Verfahren zur örtlichen. Verstärkung des Metallüberzuges Gebrauch zu machen, da @-es wünschenswert :ist, die zum Anschluß der Zuleitungen bzw. Elektroden dieneniden Enden. zu verstärken bzw. mit einem sie gegen Oxydation an der Luft schützenden Überzug, beispielsweise aus Rhenium, Iridium oder Osmium, zu versehen: Wenn .die Aufgabe vorliegt, mehrere Strom-,ei.nführüngen dicht nebeneinander durch eine Gefäßwand aus Glas hindurchzuführen, können. nach dem erfindungsgemäßeriVerfähnen auf ein. und:demsellben Glaskörper-mehrere@ beispielsweise parallel angeordnete; miteinander nicht im Zusammenhang stehende metallische überziige angebracht und der Glaskörper eingeschmolzen werden. Es können jedoch auch mehrere ineinandergeschachtelte oder hintereinander angeordnete Metallschichten nach dem erfindungsgemäßen- Verfahren dadurch hergestellt werdeny daß zunächst ein: Glaskörper ioä (Fig. 24) mit einem Metallüberzug sog versehen, dann in ein ihn eng umschließendes Glasrohr iio eingeschmolzen und .dieses Glasrohr nach denn erfindurigsgemäßen Verfahren mit Metall i i i überzagen wird. Diese beiden koaxialen Leiterschichten können als Stronneinführungen dienen; die so, hergestelltei Einheit wird gerade so, wie ein nur mit einer einzigen Metallschicht überzogener Glaskörper in; .die Gefäßwand zig eingeschmolzen. Zur Erleichterung des Artschlusses der Zuleitungen bzw. Elektroden: :an ,den: Enden der Metallüberzüge ist es unter Umständen zweckmäßig, dafür Sorge zu tragen; Uaß jeder Metallüberzug an seinen beiden Enden einen. nicht mit. Glas überzogenen Teil aufiveist "d. h. d'aß die Längen der einzelnen Überzüge und zwischengeschalteten Glasschichten. entsprechend abgestuft sind.. Nach,dem geschilderten Verfahren können auch mehr als zwei h,intereinan.-der angeordnete bzw. ineinandergeschachtelte, zur Stromeinführung dienende Schichten herbestellt werden.According to the method according to the invention, current inlets can be produced with particular advantage: through vessel walls made of glass, in particular made of quartz glass and other high-melting glasses. Preferably a cylindrical glass body having for example a circular cross section with a Metadlüber.zug, preferably less .als 2o, u thickness, and 5 and 1 5 mm length vacuum-tight sealed and in the vessel wall, diebeiden ends of the metal coating with: for this purpose is. connected to the, supply lines or electrodes. In this area of application in particular, it is advisable to switch from the method described to the local one. To make use of reinforcement of the metal coating, since it is desirable that the ends serve to connect the leads or electrodes. to reinforce or to provide them with a coating to protect them against oxidation in the air, for example made of rhenium, iridium or osmium: If the task is to pass several current and inlet ducts close together through a vessel wall made of glass. according to the invention on a. and: the same glass body - several @, for example arranged in parallel; unrelated metallic coatings are attached and the glass body is melted down. However, several metal layers, nested one inside the other or arranged one behind the other, can be produced according to the method according to the invention by first providing a glass body (Fig. 24) with a metal coating, then fusing it into a glass tube that tightly encloses it, and then afterwards this glass tube Inventive method is coated with metal iii. These two coaxial conductor layers can serve as current inlets; the unit produced in this way becomes just like a glass body covered with only a single layer of metal in; .the vessel wall melted down umpteen. To facilitate the interconnection of the leads or electrodes:: at, the: ends of the metal coatings, it may be useful to take care of this; Each metal coating had one at both ends. not with. The glass-covered part is "ie that the lengths of the individual coatings and interposed glass layers are graded accordingly. According to the process described, more than two layers that are arranged or nested inside one another and used for current introduction can also be ordered .

Als Anschluß für die Stromzuleitungen bzw. die Elektroden wird zweckmäßig ein den Metallüberzug .des Glaskörpers: umgebender Metallteil, vorzugsweise eine Schelle oder eine aufgeschraubte Wendel, vorgesehen,.It is useful as a connection for the power supply lines or the electrodes a metal part surrounding the glass body, preferably a metal coating Clamp or a screwed-on helix, provided.

Fig. io zeigt eine Ausführungsbeispiel für eine -solche: Abordnung. Der Glaskörper q.6 ,ist .mit einem Metall:üiberzug 47 versehen, der an, seinen, beiden Enden bei, 48 in der geschilderten Weise verstärkt ist. Bei dieser Darstellung ist :der Deutlichkeit hglber die in der Regel weniger als 20 ,u starke 'Metallsch.icht im Vergleich zu den übrigen Abmessungen außerordentlich stark vergrößert dargestellt. Die beiden Enden des Metall.üb@erzug es sind von. einer Schelle: 49 b :zw. 5o umgeben, andienen die Zuleitung 51 bzw. der Halter der Elektrode 52 angeschweißt ist. Das Einschmelzen des mit .dem Metallüberzug und gegebenenfalls. bereits mit der Elektrode und: der Zuleitung verbundenen Glaskörpers in die Glaswandung 53 wird zweckmäßig .in d!er üblichen Weise im Vakuum vorgenommen.. Das ,dem Vakuumraum zugekehrte Ende dies Metallüberzuges kann, soweit es nicht von :der Schelle bedeckt ist, gegen, den Lichthogenangriff geschützt werden. Zu diesem Zweck kann beispielsweise die Schelle mit einem schirmartigen Rand versehen sein oder die, Elektrode 52: so, ausgebildet werden, ,daß sie praktisch .dien ganzen Ouerschni.tt dies Rohres 54 ausfüllt. Es können auch zwischen der Elektrode und der zu schützenden. Metallschicht be-,sondere Schirme untergebracht werden: Während bei diesem Ausführungsbeispiel der Elektrodenhalter bzw. die Zuleitung mit :den Schellen verlötet oder verschweißt bzw. aus einem Stück hergestellt war, wird bei, den Anordnungen nach Fig. i i bis 16 durch die Schelle ein. großflächiger Kontakt mit der Metallschicht hergestellt. und: gleichzeitig der Zuleitungsdraht bzw-. der Halteidraht oder -streifen der ELekrode von .ihr leitend berührt und an den Überzug gepreßt. Der mit einem Metallüberzug nach dem erfindungsgemäßen Verfahren versehene Glaskörper 55 ist in die Gefäßwand 56 eingeschmolzen, nachdem er an. seinen beiden Enden mit den Schellen 57 und 58 -umgeben, ist, die die Elektrodenhaltedrähte 59 und -den Zuleitungsdraht 60 gegen. die Schicht pressen. Dabei isst es nicht wichtig, ,daß die nur .als starker Strichdargestellte Metallschicht 61 in einem gut leitenden Kontakt mit den Drähten 59 und 6o steht. Der leitende Übergang von diesen Drähten zu der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgebrachten Schicht findet nämlich an den übrigen Stellen des Umfanges des Glaskörpers statt. Der Strom fließt also vorzugsweise von. den genannten Drähten zunächst zu !der Schelle und von dieser an der großflächigen: Kontaktstelle zur aufgebrachten Metallschicht. Die Fig. 13 und' 1q. neigen ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem die Schelle 6@2 finit einer öffnung 63 und: einer Latsche 6@q. versehen ist. Die Lasche wird durch die Öffnung hindurchgesteckt und' nach hem Strammziehen umgebogen, so daß sie die Drähte 59 stark gegen die Schicht 61 preßt und .dadurch, in der geschilderten Weise den Stromübergang sicherstellt, den sie vorzugsweise dicht umgeben.Fig. 10 shows an embodiment of such a delegation. The glass body q.6 is provided with a metal coating 47 which is reinforced at its two ends at 48 in the manner described. In this illustration: for the sake of clarity, the metal layer, which is usually less than 20 'thick, is shown extremely enlarged in comparison to the other dimensions. The two ends of the Metall.üb@erzug there are from. a clamp: 49 b: betw. Surrounded 5o, the supply line 51 or the holder of the electrode 52 is welded. The melting of the with .dem metal coating and possibly. The glass body connected to the electrode and the supply line in the glass wall 53 is expediently carried out in the usual way in a vacuum. the arc attack are protected. For this purpose, for example, the clamp can be provided with an umbrella-like edge or the electrode 52 can be designed in such a way that it fills practically the entire area of the tube 54. It can also be placed between the electrode and the one to be protected. Metal layer special screens are accommodated: While in this embodiment the electrode holder or the supply line with: the clamps was soldered or welded or made from one piece, in the arrangements according to FIGS. extensive contact made with the metal layer. and: at the same time the lead wire or. the holding wire or strip of the electrode touched by .ihr conductively and pressed against the coating. The glass body 55 provided with a metal coating according to the method according to the invention is melted into the vessel wall 56 after it has been attached. its two ends with the clamps 57 and 58 -surrounded, which the electrode holding wires 59 and -the lead wire 60 against. press the layer. It is not important that the metal layer 61, which is only shown as a heavy line, is in good conductive contact with the wires 59 and 6o. This is because the conductive transition from these wires to the layer applied by the method according to the invention takes place at the other points on the circumference of the glass body. So the current preferably flows from. the wires mentioned first to! the clamp and from this to the large: contact point to the applied metal layer. Figures 13 and '1q. tend another embodiment in which the clamp 6 @ 2 finite an opening 63 and: a pine 6 @ q. is provided. The tab is pushed through the opening and bent 'after hem tightening, so that it presses the wires 59 strongly against the layer 61 and .due, in the manner described ensures the current transition, which they preferably surround tightly.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. i5 ist eine nicht in sich, geschlossene Lasche, sondern eine offene Lasche 6,5 vorgesehen. Bei dieser Anordnung muß der Druck während des Einschmelzens beispielsweise durch den äußeren Überdruck auf die Lasche ausgeübt. werden, um einen sicheren Kontakt herzustellen.. Diese Anordnung eignet sich daher, falls nicht eine sehr s.teffe (dicke, breite und harte) Lasche verwendet wird., vorzugsweise für Stromeinführungen, bei .denen die Eins chmelzung in die Gefäßwandung, wie Fig. ii zeigt, so, erfolgt, daß auch die Lasche selbst mit eingeschmolzen ist. Die anderen Anordnungen können ,auch in ähnlicher Weise wie die in; Fig. io dargestellte, auf frei in den Entladungsraum bzw. in die Atmosphäre hinaus ragende!n Teilendes Glaiskörpers mit großer Sicherheit angebracht werden.In the embodiment according to FIG. I5, one is not self-contained Tab, but an open tab 6.5 is provided. With this arrangement, the Pressure during melting, for example due to the external overpressure on the Tab exercised. to establish a secure contact .. This arrangement Therefore, if not a very tight (thick, wide and hard) flap is suitable is used., preferably for power inlets, where the fusing into the vessel wall, as Fig. ii shows, so that the tab itself with is melted down. The other arrangements can, too, in a similar manner like the one in; Fig. IO shown, freely in the discharge space or in the atmosphere protruding parts of the glass body can be attached with great security.

Fig. 16 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem .die Schelle 66 die zur Elektrode führenden Drähte 67 gegen die Schicht, 61 des Glaskörpers 55 preßt, während der Draht 68, der die Elektrode 69 trägt, von dem Draht 67 in mehreren: Windungen 70 umgeben: ist. Die Verbindungen: zwischen den Windungen; 70 und, dem Haltedraht 6,8 kann, durch Klemmen, erfo,rd@er1ich@en.falls: jedoch auch durch Schweißen, oder Löten: erfolgen.16 shows a further embodiment in which the clamp 66 presses the wires 67 leading to the electrode against the layer 61 of the glass body 55, while the wire 68, which carries the electrode 69, of the wire 67 in several: turns 70 surrounded: is. The connections: between the turns; 70 and, the holding wire 6, 8 can be done by clamping, erfo, rd @ er1ich @ en, if: however, also by welding or soldering.

Wenn der die Enden dets. Metallüberzuges umgebende Metallteil, wie in :den Fig. 17 und 18 dargestellt, als aufgeschraubte Wendieln 71, 72 ausgebildet ist, empfiehlt es sich, diese in einen vorzugsweise zylindrischen Teil 73 bzw. 7¢ geringerem Durchmessers auslaufen zu lassen. Dieser Teil dient entweder zur Aufnahme eines Körpers 75 aus Aktivicrun:gssto:ffen., oder ist mit solchen Stoffken, überzogen oder umschließt einen die Elektrode 69 tragenden Stift 68, mit der sie entweder durch Klemmen oder durch Löten o,d:er Schweißen verbunden ist. In entsprechender Weise kann die Wendel 74 kleineren. Durchmessers mit der Stromzuleitung 76' verbunden werden. Auch bei dieser Anordnung kann die Einschmelzung so, vorgenommen werden, d@aß die aufge,schra"ubten Wendeln 71 bzw. 72 miteingeschmolzen: werden. In,diesem Fall muß die Erwärmung .des den Glaskörper, die Metallschicht und die Wendeln umgebenden Glasrohres 77 auf der ganzen: Länge erfolgen., so. .d:aß durch .dien bei der Erhitzung herrschenden äußeren Überdruck die weiche Glasmasse: auch gegen die aufgeschrumpften Wendeln. gepreßt wird. Eine vakuumdichte Verbindung entsteht allerdings nur auf dem mittleren, von den aufgeschraubten Wendeln freien Teil des Metallüberzuges. Der Einschmel.zvorgang kann jedoch durch Beschränkung der Erhitzung des Rohres 77 auf den .diesen mitt- 1e ren Teil des Glaskörpers 55 umgebendenTeil auch so geleitet werden; daß die aufgeschraubten Wendel:n nach Beendigung des Ennschmelzvorganges nicht in Berührung mit- der Innenseite der Wandung .des Rohres 77 stehen. Nach dem Verschmelzen wird der untere Teil .des Rohres 77, etwa unterhalb von der Wendel 7:2, abgetrennt. Bei dem Ausführüngsb@ei:spiel nach .dien Fig. 11 und 17 ist, sofern die die Schicht umgebenden Metallteile an der dem Vakuumraum zugekehrtem Seite nach dem Einschmelzen von, der Gefäßwand unmittelbar eng umschlossen werden; das Anbringen besonderer Abdeckvorrirht urigen oder Schirme zum Schutz des Metallüberzuges nicht erforderlich, andernfalls kann, wie Fig. 17 zeigt, ein. mit der Gefäßwand in Verbindung stehender Ring 78 zur Verhinderung des Ansetzens der Entladung an der nicht bedeckten Metallschicht- vorgesehen werden. Bei der Andrdnung nach Fig. 17 ist das freie Ende 79,der aufgeschraubten Wendel 71 auf eine Länge von einigen Millimetern in Richtung ;der Lichtbogeniachse abgebogen. An diiesem Ende setzt sich der Lichtbogen während des Betriebes am.When the ends dets. The metal part surrounding the metal coating, as shown in FIGS. 17 and 18, is designed as screwed-on filaments 71, 72, it is advisable to let these run out into a preferably cylindrical part 73 or 7 [deg.] Of smaller diameter. This part either serves to accommodate a body 75 made of Aktivicrun: gssto: ffen., Or is covered with such material or encloses a pin 68 carrying the electrode 69, to which it is connected either by clamping or by soldering or welding is. In a corresponding manner, the helix 74 can be smaller. Diameter are connected to the power supply line 76 '. With this arrangement, too, the melting can be carried out in such a way that the screwed-on coils 71 and 72 are also melted in. In this case, the glass tube 77 surrounding the glass body, the metal layer and the coils must be heated along the entire length., so. .d: ate through .the external overpressure prevailing during heating the soft glass mass: is also pressed against the shrunk-on spirals. However, a vacuum-tight connection is only created on the central one, from the screwed-on spirals The melting process can, however, also be conducted by restricting the heating of the tube 77 to the part surrounding this central part of the glass body 55; the inside of the wall of the tube 77. After the fusing, the lower part of the tube 77, approximately below the helix 7: 2, is wiped off nnt. In the case of the embodiment according to FIGS. 11 and 17, if the metal parts surrounding the layer are immediately and closely enclosed on the side facing the vacuum space after the melting of the vessel wall; It is not necessary to attach special cover devices or screens to protect the metal coating, otherwise, as FIG. 17 shows, a. Ring 78, which is in communication with the vessel wall, can be provided to prevent the discharge from attaching to the uncovered metal layer. 17, the free end 79 of the screwed-on helix 71 is bent over a length of a few millimeters in the direction of the arc axis. At this end, the arc sets up during operation.

Die Eig. 19. bi!s 22 zeigen weitere Ausführungsbeispiele für Entlädungsgefäße mit Stromeinführungen, ,die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt sind. Auch bei diesen Anordnungen wird der Übergang zwischen der auf den Glaskörper 8o aufgebrachten. Metallschicht und den Zuleiturngen 82, 8.3 zur Elektrode oder,dem äußeren Stromkreis mittels den Metallüberzug umgebender Metallteile 84 bzw. 8:5 bewirkt. Die dargestellte Anordnung unterscheidet sich von .den bisher beschriebenen dadurch, daß der Glaskörper an einem oder (Fig. 2o) an beiden Enden eine Vertiefung aufweist, in die ein vorzugsweise stabförmi:ger Körper 86 eingeführt äst. Dieser Stift wird zweckmäßig in. der Bohrung festgekeilt, so. d.aß die an ihm befestigten Elektroden 87, die aus einer Reihe von über den Stab geschobenen Scheiben aus hochschmelzendem Metall mit einem Überzug aus Aktivierungs:stoffen bestehen, durch Vermittlung des Stabes 86 unmittelbar von dem Glaskörper 8o getragen wird. Die zur Verbindung des Elektrodenhalters:86 dienenden Zuleitungsdrähte 83 sind also von .der Funktion des Tragens völlig entlastet: Sie dienen, ausschließlich dem Stromtransport und sind auf dem Stab festgpeklemmt oder mit ihm durch Löten oder Schweißen verbunden.. Bei dem Ausfiihrungsbeispiel nach Fig. 2o ist das Verkeillen des Elektroden trägers 86 durch den .draht- oder bandförmigen Leiter 8,8 bewirkt, der in eine Bohrung des Glaskörpers 8o neben dem Elektro,denträ:ger 86 eingeführt .ist. Da auch bei dieser Anordnung ,die Elektrode von dem Glaskörper unmittelbar getragen wird, ist der verbindende Leiter 88 von der Funktion -des Tragens völlig entlastet. Es empfiehlt sich auch, wie in Fig.20 dargestellt ist, den äußeren Stromleiter 89 in derselben Weise mit .dem Glaskörper so zu verbinden, daß seine Verbindung mit der mach dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgebrachten Schicht mechanisch nicht lreansprucbt wird. Fig.21 zeigt ails weiteres Ausführungsbeispiel ein Entladungsgefäß, bei dem der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren mit einer Metallschicht 9o überzogene Glaskörper 91 an dem äußeren Ende in derselben Weise wie.die Elektrode in Fig. 11 mit der Metallschicht verbunden: ist, während das dem Vakuumraum zugekehrte Ende .der Metallschicht mit dem Träger 92 der Elektrode 87 über den als beispnelsweüse 2 mm breites und 20 bis 50 ,u starkes Molybdünb:and ausgebildeten Leiter 93 verbunden ist: Auch bei dieser Anordnung ist der Stift 92 in der Bohrung des Glaskörpers g1 fest verkeilt. Die Verbindung zwischen ihm und .dem Metallband 93 kann .beispielsweise durch auf den Träger aufgespi,eßteM.o.lybdänscheibcheng4 erfolgen, die unter Druck fest gegen das Moly!b,dänb@and 93 geschoben sind. Auf diese Weise- wird ein sehr guter Stromübergang erzielt. Bei dem am anderen Ende dargestellten Stromanschluß ist das Metallband 9;5 oder ein Draht, beispielsweise aus Molybdän, von etwa 0,3 bis o,6 mm mit seinen beiden zweckmäßig zugespitzten Enden. unter die auf .der metallischen Schicht 9o fest aufsitzende Schelle 96 geschoben-. Die so@ zusammengebaute Einheit von Elektroden nebst Stromeinführung und äußerem Stromanschluß wird, w'üe@ bereits bei der-Erläuterung der Fig. 17 auseinandiergesetzltd, unter Vakuum mit der umgebenden Gefäßwand 97 verschmolzen.The prop. 19. to 22 show further exemplary embodiments for discharge vessels with current inlets, which are produced according to the method according to the invention. In these arrangements, too, the transition between the one applied to the glass body 8o. Metal layer and the supply lines 82, 8.3 to the electrode or the external circuit by means of metal parts 84 or 8: 5 surrounding the metal coating. The arrangement shown differs from the previously described ones in that the glass body has a recess at one or (FIG. 2o) at both ends, into which a preferably rod-shaped body 86 is inserted. This pin is suitably wedged in the hole, see above. d.ass the electrodes 87 attached to it, which consist of a series of disks of refractory metal with a coating of activating substances pushed over the rod, are directly supported by the glass body 8o through the intermediary of the rod 86. The lead wires 83 used to connect the electrode holder: 86 are therefore completely relieved of the function of carrying: They serve exclusively to transport electricity and are clamped onto the rod or connected to it by soldering or welding the wedging of the electrode carrier 86 is brought about by the wire or band-shaped conductor 8, 8 which is inserted into a bore in the glass body 8o next to the electrode carrier 86. Since the electrode is also carried directly by the glass body in this arrangement, the connecting conductor 88 is completely relieved of the function of carrying. It is also advisable, as shown in FIG. 20, to connect the outer conductor 89 to the glass body in the same way so that its connection with the layer applied by the method according to the invention is not mechanically tested. FIG. 21 shows a further exemplary embodiment of a discharge vessel in which the glass body 91 coated with a metal layer 90 according to the method according to the invention is connected to the metal layer at the outer end in the same way as the electrode in FIG The end facing the metal layer is connected to the carrier 92 of the electrode 87 via the conductor 93, which is, for example, 2 mm wide and 20 to 50 mm thick molybdenum: in this arrangement too, the pin 92 is fixed in the bore of the glass body g1 wedged. The connection between it and the metal band 93 can be made, for example, by spiked, edged, or lydian disks 4, which are pushed firmly against the Moly! B, dänb @ and 93 under pressure. In this way a very good current transfer is achieved. In the case of the power connection shown at the other end, the metal band 9; 5 or a wire, for example made of molybdenum, of about 0.3 to 0.6 mm with its two expediently pointed ends. pushed under the clamp 96 which is firmly seated on the metallic layer 9o. The unit of electrodes assembled in this way, together with the power inlet and external power connection, is fused to the surrounding vessel wall 97 under vacuum, as already explained in the explanation of FIG.

Mit den beschriebenen Stromeinführungenkönnen Ströme :bis zu 5.o Amp, und mehr vakuumdicht in Entladungsgefäßen aus Glas eingeführt werden. Es ist jedoch zur Vermeidung von thermischen Überbeanspruchungen, zu empfehlen, "beim Übergang zu größeren Leistungen nach Möglichkeit nicht .die Schichtdicke, sorndern den Umfang ider Schicht und damfit die für die Wärmeableitung maßgebende Oberfläche zu vergrößern. Es hat sich gezeigt, daß besonders zuverlässige Einschnnelzungen erhalten wenden, wenn der Wert i2 w1B2 D kleiner als 6 ist. In .dieser Formel bezeichnet i den Strom in Ampere, w den; spezifischen Widerstand eines Kubikzentimeterwürfels bei .der Betrie#bstempe:r.atur, B den Umfang bzw. die Breite der nach .dem erfindungsgemäßen Verfahren. hergestellten. Schicht (in Zenrtimerber) und D die Dicke .der erfindungsgemäßen Schicht (in Zentimeter). Die Temperatur der Schicht liegt ilm Betrieb etwa bei 4oo'". Der Widerstand -einer Molybidänsch.icht von 4,u Dicke auf einem Quarzstab von ö,4 cm Durchmesser beträgt etwa o,03. Ohm bei einer Metallschicht von .-11 mm Länge.With the described current infeeds, currents: up to 50 amps and more can be introduced vacuum-tight in glass discharge vessels. However, in order to avoid thermal overstressing, it is recommended "if possible not to increase the layer thickness during the transition to higher power levels, reduce the circumference of the layer and thus increase the surface area that is decisive for heat dissipation. It has been shown that particularly reliable constrictions when the value i2 w1B2 D is less than 6. In this formula i denotes the current in amperes, w the specific resistance of a cubic centimeter cube at the operating temperature: r.atur, B the circumference or the width of the layer produced by the process according to the invention (in Zenrtimerber) and D the thickness of the layer according to the invention (in centimeters). The temperature of the layer during operation is approximately 400 "". The resistance of a molybdenum layer of 4 µ thick on a quartz rod with a diameter of 0.4 cm is about 0.03. Ohm for a metal layer of.-11 mm in length.

Beii der Anordnung nach Fig. 22 ist der Elektro,denträger 92, mit der Schicht 9o über eine mit ihm fest verbundene, beispielsweise aufgepreßte oder verschweißte Scheibe 9:8, deren. Durchmesser so !groß gewählt ist, daß die die Metallschicht umgebende Schelle 9g, die auf dieser unter Preßsitz aufsitzt, an ihrem Außenrand abei loo einen Druck ausübt. Die Scheibe 98 und die Schelle 99 können auch warm auf den Elektrodenträger 92 bzw. die Schicht 9o .aufgezogen werden.In the arrangement according to FIG. 22, the electrode carrier 92 is connected to the layer 9o via a disk 9: 8 firmly connected to it, for example pressed on or welded. The diameter is chosen so large that the clamp 9g surrounding the metal layer, which is seated on this with a press fit, exerts a pressure on its outer edge abei loo. The disk 9 8 and the clamp 99 can also be pulled warm onto the electrode carrier 92 or the layer 9o.

Bei ,der in. Fig. 23,dargestellten Stromeinführung ist der Ansatz 1o1 aus Glas, insbesondere Quarzglas des Gefäßes ioe nach Üem erfindungsgemäßen Verfahren, mit einem Metallüberzug 103 versehen, der mit der Kappe 104 bei 105 verlötet ist. An der Kappe ist der Stromleiter io6 angebracht, und zwar vorzugsweise, wie dargestellt, durch eine Bohrung durch sie hindurchgeführt und bei i o7 vakuumdicht mit ihr verlötet.In the case of the current introduction shown in FIG. 23, the attachment 101 made of glass, in particular quartz glass, of the vessel according to the method according to the invention is provided with a metal coating 103 which is soldered to the cap 104 at 105. The current conductor io6 is attached to the cap, preferably, as shown, passed through a hole through it and soldered to it in a vacuum-tight manner at i o7.

Da sich die meisten hochschmelzendem Metalle, beispielsweise Molybdän, Wolfram und Tantal, nur verhältnismäßig schwer löten lassen, empfiehlt es sich, für den vorliegenden. Verwendungszweck auf eine, beispielsweise aus Molybdän bestehende Grundschicht, die an, dem Glaskörper ioi fest haftet, ein weiteres Metall aufzudampfen, das sich besser als die genannten Metalle verlöten, lassen. Es kann beispielsweise, falls der Glaskörper aus Quarzglas besteht, (die Aufdampfung einer dünnen Schicht aus Invarmet.all, d. h. einer Eisen.-Nickel-LPegierun:g mit 64% Eisen und 360/0 Nickel, besonders geeignet sein, weil dieses Metall sich in, dem Bereich zwischen. o und. 2oo,aC nur außerordentlich wenig ausdehnt, so. daß sowohl das Quarzglas, ,als auch die Haftfesti:gkeiti der aufgedampften Molybdänsch:icht wegen der ebenfalls geringen Ausdehnung des Quarzglases nur geringfügig beansprucht wird. In diesem Fall wird auch die Kappe 104 mit Vorteil aus Invar hergestellt. Dabei, ist es zweckmäßig, die Abmessungen so zu wählen, daß die Kappe mit sehr geringem Spiel über die Schicht 103 geschoben werden kann, da in @diesem Fall das Lot infolge der Kapillarwirkung besonders gut ;in den feinen Spalt eindringt und eine sichere Lötung gewährleistet. Die Löturig selbst wird: zweckmäßig im Vakuum oder in einer Schutzgasatmosphäre vorgenommen, um eine Oxydation der Metallschicht 103 zu vermeiden.. Bei dieser Anordnung kann auch von. der weiteren. Ausgestaltung (des erfindungsgemäßen Verfahrens, nach welchem der Gehalt der auf dien Glaskörper aufgebrachten: Metallschicht sich in seiner Zusammensetzung von der Glaskörperoberfläche nach .außen hin ändert, beispielswieise monoton abnimmt, Gebrauch gemacht werden. Während beispielsweise die unterste Schicht aus reinem Molybdän beisteht; weisen die äußeren Schichten einen zunehmend größeren Gehalt an, besser lötbarem Metall, beispielsweise Invar, auf. Diese Ungleichförmigke,it der Zusammensetzung der Schicht Toi kann durch gleichzeitiges zeitlich veränderliches oder abwechselndes Aufdampfen der verschiedenen in Frage kommenden Metalle bewirkt werden. Dabei kann. auch das Iniv armetall aus seinen. Bestandteilen unmittelbar durch Aufdampfung erzeugt werden. Soll der Überzug durch Beidampfung aufgebracht werden, ,so wird neben der Wendel aus Molybd.än eine Wendel aus Eisen. und eine Wendel aus Nickel ' vorgesehen, die nacheinander bzw. ganz öder zeitweise gleichzeitig erhitzt werden. Dias Invarmeta.ll kann auch in. einem Tiegel bis auf seine Verdampfungstemperatur erhitzt werden. In diesem Fall ruß jedoch durch dauerndes Bewegendes zu überziehenden Glaskörpers für eine gleichmäßige Bedampfung von allen, Seiten. Sorge getragen werden. In entsprechender Weise kann bei der Verwendung anderer Legierungen oder anderer abgestufter Schichten verfahren. werden.Since most of the refractory metals, such as molybdenum, tungsten and tantalum, are relatively difficult to solder, it is advisable to use this. Purpose of use on a base layer, for example made of molybdenum, which adheres firmly to the glass body, to vaporize another metal that can be soldered better than the metals mentioned. For example, if the glass body is made of quartz glass, (the vapor deposition of a thin layer of Invarmet.all, ie an iron-nickel alloy with 64% iron and 360/0 nickel, is particularly suitable because this metal is in, the range between. o and In this case, the cap 104 is also advantageously made from Invar, and it is useful to choose the dimensions so that the cap can be pushed over the layer 103 with very little play, since in this case the solder is particularly important due to the capillary action good; penetrates into the fine gap and ensures reliable soldering. The soldering itself is: expediently carried out in a vacuum or in a protective gas atmosphere in order to avoid oxidation of the metal layer 103 .. With this arrangement can also from. the other. Design (of the method according to the invention, according to which the content of the metal layer applied to the glass body changes in its composition from the glass body surface to the outside, for example decreases monotonously. While, for example, the bottom layer is made of pure molybdenum; outer layers have an increasingly greater content of metal, for example invar, which is easier to solder. This non-uniformity in the composition of the layer Toi can be brought about by simultaneous, time-varying or alternating vapor deposition of the various metals in question If the coating is to be applied by vapor deposition, a coil made of iron and a coil made of nickel are provided in addition to the coil made of molybdenum, which are heated one after the other or at times at the same time will be The Invarmeta.ll can also be heated in a crucible up to its evaporation temperature. In this case, however, soot is caused by constant movement of the glass body to be coated for even vapor deposition from all sides. To be taken care of. The same procedure can be used when using other alloys or other graded layers. will.

Claims

PATENT CLAIMS: i. Procedure for coating! of glass bodies, in particular made of Ouarzglas or .other high-melting glass, with layers of high-melting metal, in particular tungsten, modybdenum or tantalum, the melting point of which is higher than the softening point of the glass body, characterized in that the body is at least. . on its surface to be coated is at a temperature close to its softening point during the coating. a2. Method according to Claim i, characterized in that the metal coating is produced by cathode sputtering. 3. Procedure. according to claim i: characterized in that the metal coating is produced by the deposition of metal vapor. 4. The method according to claim i to 3, characterized in that the production of the coating in a high vacuum or in a non-attacking the coating. Gas or steam atmosphere preferably carried out at a low pressure of 0.1 to 5 mmHg; will. 5. Verfahrnem according to claim 2 and following; characterized in that .the distance between the metal supply and the surface to be coated during the application of the metal coating is less than 5 mm, preferably less than 2 mm. 6. The method according to claim 2 and following, characterized in that the surface to be coated and the metal supply during. of the coating are moved relative to one another. 7. Procedure according to. Claim 3 and following, characterized in -that the heating of the to be coated. Surface is caused or supported by @ the same heat source that is used to evaporate the metal supply. B. Procedure. according to claim i and. following, characterized in that the surface to be coated before the beginning of coating the opposite to be coated glass body temperature is preheated to a in -the vicinity of the softening point. g .. The method according to claim i and the following, .that: characterized; that .the coating is reinforced by local intensification of the steaming or dusting intensity or by extending the exposure time, preferably at its ends compared to the rest of the part. ok Method: according to claim 1 and "following": characterized in that: two or more non-conductive cohesive layers are produced on the surface to be coated by locally limited dusting or vapor deposition, preferably by covering the spaces not to be coated. Process according to Claim i Abis, 9, characterized in that parts are removed from a coherent coating by mechanical or chemical means in such a way that two or more non-conductive cohesive layers are formed. characterized in that the parts of the surface of the glass body to be coated are coated one after the other. 13. The method according to claim 12, characterized in that the glass body is pushed through the heating or dusting or steaming device in such a way that its surface parts are pushed one after the other ready to be plated metal 14. Procedure according to claim 13, characterized in that the feed rate, preferably 1 to 2. mm / sec., the operating conditions of the heating and the dusting or damping device are kept constant. 15. The method according to claim 13, characterized in .daß, de: r Vomschu @ b takes place at a periodically changing speed. 16. The method according to claim 15, characterized in that the feed speed is alternately selected to be very large, preferably jerky, and then very small, preferably equal to zero. 17. The method according to claim 13, 15 and 16, characterized in that the operating conditions of the heating device and / or the dusting or steaming device are changed periodically. 18. The method according to claim 12 to. 17, characterized in that metallized glass bodies of short length are obtained by cutting from a metallized glass body of greater length, the layer of which preferably has a thickness that changes periodically in accordance with the length of the sections in such a way that each section has one on one or Reinforced layer at both ends and, if necessary, subsequently. has an uncoated surface portion. i9. Method according to claim. i and following, characterized in that a metal coating of preferably uniform thickness is locally weakened by chemical or mechanical means. 2o. Procedure. according to claim 12 and the following,. characterized in that. the glass body prior to introduction or prior to action. the dusting or vaporizing device is heated. 2.1. Method according to claim 1 and following, characterized in that a stack of glass bodies is introduced into the device for producing the coating, which are preferably automatically heated one after the other and introduced into and removed from the dusting or steaming device. 22. Procedure according to. Claim i and following, characterized in that the atomizing or vaporizing metal supply is as possible with all of its free material during the coating. The surface is located opposite the parts of the surface of the vitreous body to be coated. 23. The method according to claim 2.2, characterized in that. the glass bodies during .the coating; are moved relative to the free surface of the metal supply in such a way that they are coated on more than one side or on all sides. 24. The method: according to claim i and follow-.den, @ characterized in that the glass body is coated one after the other and / .or alternately with different high and / or never: drigerschmelzen-.den: metals. 2 @ 5. A method according to claim 24, characterized in that the temperature of the metal coating during the application of the metal or afterwards is selected so high that the metals applied simultaneously or one after the other are wholly or partially alloyed with one another. 26. The method according to claim 24 and the following, characterized in that the pollination b.zw. Vapor deposition is conducted in such a way that the composition of the layer changes from, the vitreous surface to the outside, preferably monotonously. 27. The method according to claim i and the following: the,, characterized in that the heating .the surface of the glass body to be coated by .these; takes place through it or is supported. 28. The method according to claim 27, characterized in that for heating a hollow glass body to be coated on its outside, in particular a glass tube, a heating device arranged in its cavity, preferably a filament or a filament, is used. 29. The method according to claim i and following, characterized in that the switching on and off of the heating, steaming or dusting device and optionally the moving device for the glass body and for the steaming or dusting device automatically, preferably .by time relays and / or, by means of relays dependent on the temperature of the surface to be coated: takes place. 30. The method according to claim i and the following, the; characterized in that .the temperature of the vitreous body at the point to be coated or at a point whose temperature depends in a known manner on this temperature, is monitored preferably by thermocouples or micropyrometers. 31. Procedure according to. Claim i and following, characterized in that a heating device is used for heating the surface of the glass body, the loading of which is as follows. is dimensioned that during its operation to coat a glass body or a part of the surface there is no noticeable vaporization of the material .the heating device, and that, preferably within a few seconds, the glass surface reaches a temperature close to the softening temperature. 32. The method according to claim i, characterized in that during the heating and / or coating of the glass body between its surface and the metal supply, if necessary, movable covering devices, for example screens, are located against the glass surface through the parts that are not sufficiently heated the impact of metal must be protected. 33. The method according to .Anspruch i and follow .-, characterized in that a heating coil made of tungsten and an evaporation coil made of Moilybidän are so loaded that they are approximately the same temperature during steaming, steaming and / or heating accept. 34. The method according to claim i and the following. for the production of mutually insulated, nested or one behind the other, preferably co-axial, metal coatings, characterized in that first a preferably sbab-shaped glass body is provided with a metal coating, and then the metal coating, preferably in a vacuum or in an atmosphere that does not attack it, at least is partially covered with glass, preferably a glass tube, Idas in turn is also at least partially covered with metal. 35. The method according to claim 34, characterized by multiple repetition of the same for generating. More than two nested or one behind the other arranged, isolated from one another metal coatings :. 36. The method according to claim i and the following, characterized in that a coating consisting of high-melting, oxidizable metal wholly or partially with a protective coating of high-melting, non-oxidizable metal, preferably rhenium, iridium or osmium, preferably by vapor deposition or dusting the high temperature used to produce the oxidizable base coat. will. 37. The method according to claim i and the following:, characterized in that .the glass surface before heating, preferably: by sandblasting or etching., Roughened and heated so quickly and briefly during the coating with metal that it is not smooth again. 38. Device for carrying out the method according to claim i and following, characterized by a device for heating the surface of the glass body and a device for evaporation and / or deadening of the metal supply. 39. Device according to claim 38, in particular for carrying out the method according to claim 2, 3 and 7, characterized in that a preferably bifilar wound, made of tungsten, for heating -the glass body and / or evaporation or atomization of the metal supply Molybdenum or tantalum existing incandescent filament is provided. 4oi. Apparatus according to claims 3 8 and the following, in particular for carrying out the methods according to claims 3 and. 8th; characterized in that an incandescent filament serving for heating is provided inside, between or outside the incandescent filament serving for vapor deposition: is provided. 41. Device according to claim 39 and the following, in particular for carrying out the method according to claim 9 and ro, characterized in that; that the vaporization filament near the point that is provided with a thicker metal coating. is supposed to have a lower slope than in the vicinity of the other parts of the glass surface. 42. Apparatus according to claim 39 and following, in particular for carrying out the method according to claim 9 and 1o, characterized in that the steaming filament -in, in the vicinity of the points which are provided with a thicker metal coating. should, a, smaller cross-section, preferably with the same or larger surface per unit of length. the filament than in the vicinity of the other parts has vein of the glass body surface. 43. Apparatus according to claim 39 and the following, in particular for carrying out the method according to claim 9 and io, characterized in that in the vicinity of the wire points that are to be provided with a thicker metal coating: an additional steaming glow coil is provided- is. 44. Apparatus according to claim 39, in particular for carrying out the method according to claim 9 and: 1o, characterized in that in: the vicinity of the points that are to be provided with a thicker metal coating, to increase the temperature of the bed: amp.fungsglühwende: l an additional heating coil is provided, or the slope of the heating coil is lower or, through the choice of material and dimensions, its temperature is selected to be higher than in the vicinity of the other parts of the glass body surface. 45. Stromeinführung- through vessel walls made of glass, in particular Ouarzglas or other high-melting glasses, produced according to the method according to claim z and the following, characterized in that: that a preferably cylindrical glass body with a metal coating, preferably less than 2o, y thickness and .5 up to 15 mm in length, melted vacuum-tight into the vessel wall and the two ends of the metal coating are connected to the leads or electrodes. 46. Strülmeinführung according to claim 45, characterized in that the ends of the Metallüherzuges serving to connect the power supply lines or electrodes, preferably by means of the method. according to claim 9, 24 to 26, as well as the devices according to claim 41 to 43, are reinforced. 47. Power inlet according to claim 45 and the following, with several metal layers nested one inside the other or arranged one behind the other, in particular produced according to the method according to claim 34 and 3.5, characterized in that the lengths of the individual metal coatings and the glass coatings covering them are graded so that each metal coating on its ben, the ends one to the power connection of the supply lines or. Has sufficient electrodes not covered with glass. 48. Strom-ednführung according to claim 4: 5 and following, characterized in that d: aß the width B (in centimeters) and the thickness D (in centimeters) of the metal layer and its specific resistance w (in ohm centimeters) at the operating temperature so, are chosen that for the operating current i (in amperes) i2 w / B2 D is less than 6. 49. Current lead-in according to claim 45 and following, characterized in that the end of the metal coating of the glass body is used as a connection for the power supply lines or electrodes surrounding metal part, preferably a clamp, or a screwed-on coil made of high-melting metal is provided. 5o. Method for producing a current inlet according to Claim 49, characterized in that the metal part surrounding the glass body is drawn on while warm. 51. Electrical discharge vessel with arc discharge with a current inlet according to claim 45 and following with a helix screwed onto the end of the glass body facing the discharge space, characterized in that the helix is inserted into a preferably cylindrical helix of smaller diameter made of high-melting metal which is coated with activating substances or enclosing a body made of such substances, preferably a pressed body made of metal powder and activating substances. 52. Discharge vessel according to claim 51, characterized in that the wire of the helix is bent at its free end over a length of a few millimeters in the direction of the arc axis. 53. E: discharge vessel with a current inlet according to claim 5o, characterized in that the ends of the glass body screwed onto the discharge space merge into a helix of smaller diameter which surrounds and holds a pin carrying the electrode. 54. Discharge vessel with a current lead-in according to claim 5a, characterized in that the helix attached to the end of the glass body provided with a metal coating facing away from the discharge space runs into a preferably cylindrical helix of smaller diameter, which runs a wire which is used for connection to the outside encloses and holds. 55. Discharge vessel according to claim 5o and the following, characterized in that the metal part used to connect the supply lines or electrodes is melted between the metal coating and the glass body surrounding it. 56. Discharge vessel with a current conductor according to claim 5o, characterized in that the the; The metal part surrounding the glass body is designed as a clamp made of thin sheet metal, which on the one hand. has extensive contact with the metal coating and on the other hand touches the lead wire or retaining wire or strip conductively and presses it against the coating. 57. Discharge vessel according to claim 56, characterized in that the clamp ends in a tab, It is pushed through an opening provided in the tab and bent over. 5.8. Discharge vessel according to claims 56 and 57, characterized by a connecting wire or strip, the two ends of which at two points opposite one another on a diameter of the shaft support: by a clamp are attached to the layer, while in its center it serves as a current cut-off and, for example, surrounds the electrode wire or support or the supply line in one or more turns it is known that the metal part surrounding the glass body has an umbrella-like edge to protect the metal coatings s against. the arc is. 6o. Discharge vessel with light source discharge and current introduction according to claim 48, characterized in that the electrodes and / or an additional screen between it and the metal layer to protect the same against the arc has an inner diameter of the surrounding part. of the discharge vessel has almost the same outer diameter. 61. Current introduction with a not involved in the St @ romleiturig, according to the method according to claim i and the following. Metal coating applied to the outside of a glass tube, in particular made of quartz glass, characterized in that a current conductor is passed through the inside of the glass tube and is soldered to the outside of the metal layer by means of a cap. 62. Current lead-in according to claim 61, characterized in that a molybdenum layer with a coating of preferably metal, preferably with a molybdenum content that is removable towards the outside, is attached to the glass tube. 63. Power inlet according to claim 62, characterized in that the solderable metal layer and / or the cap consists of Invar.