DE8915969U1 - Optical article made of a composite structure of optical materials - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Verbundstruktur optischer Materialien, bei der ein Mehrschichtfilm aus Schichten mit einem hohen Brechungsindex und Schichten mit einem niedrigen Brechungsindex auf einem Substrat angeordnet ist und ein damit zu verbindendes Material mit der Oberseite des Mehrschichtfilms mittels eines organischen Klebstoffes verbunden ist.The invention relates to a composite structure of optical materials in which a multilayer film made of layers with a high refractive index and layers with a low refractive index is arranged on a substrate and a material to be bonded thereto is bonded to the upper surface of the multilayer film by means of an organic adhesive.
Eine Verbundstruktur dieser Art ist beispielsweise als Strahlenteiler bekannt, der aus zwei Prismen besteht, deren jedes eine unter einem Winkel von 45° geneigte Fläche hat und die mit einem Bindemittel wie Balsam, Epoxiharz und so weiter zu einer kubusartigen Anordnung miteinander verbunden sind. Eine Schrägfläche des einen Prismas ist mit einer Filmschicht versehen, die aufgedampt ist und einen einfallenden Lichtstrahl teilt.A composite structure of this type is known, for example, as a beam splitter, which consists of two prisms, each having an inclined surface at an angle of 45°, bonded together to form a cube-like arrangement with a binding agent such as balsam, epoxy resin, etc. One inclined surface of one prism is provided with a film layer which is vapor-deposited and splits an incident beam of light.
Dieser Film ist im allgemeinen ein Mehrschichtfilm aus Schichten mit hohem Brechungsindex und Schichten mit niedrigem Brechungsindex, die abwechselnd gestaptelt sind. Der Mehrschichtfilm zeichnet sich dadurch aus, daß mit zunehmendem Unterschied der Brechungsindizes der Schichten die Schichtenzahl zur Strahlteilung kleiner wird. Deshalb benötigt man zur Vereinfachung der Schichtstruktur und der Vakuumaufdampfung ein Material mit höherem Brechungsindex.This film is generally a multilayer film made up of layers with a high refractive index and layers with a low refractive index that are stacked alternately. The multilayer film is characterized by the fact that as the difference in the refractive indices of the layers increases, the number of layers for beam splitting becomes smaller. Therefore, to simplify the layer structure and vacuum deposition, a material with a higher refractive index is required.
Als Material mit hohem Brechungsindex wurde bisher im allgemeinen ZnS verwendet. In jüngerer Zeit wird jedoch TiO2 vorzugsweise eingesetzt, wozu T12O5 als Ausgangsmaterial verwendet wird. Der Brechunsindex von T1O2 ist bei Vakuum 2,3 und in der Atmosphäre 2,46 für einen Lichtstrahl mit einer Wellenlänge von 500 nm.ZnS has been generally used as a material with a high refractive index. Recently, however, TiO2 has been preferred, using T12O5 as the starting material. The refractive index of T1O2 is 2.3 in vacuum and 2.46 in the atmosphere for a light beam with a wavelength of 500 nm.
Das T1O2 kann bei einer höheren Temperatur als ZnS beschichtet werden und hat eine viel höhere physikalische Festigkeit. Ferner treten Alterungsänderungen nach der Beschichtung innerhalb einer Zeit von mehreren Tagen (eine Woche bei Verkleben unmittelbar nach dem Beschichten) bei ZnS auf, während T1O2 kürzere Alterungsänderungen zeigt und somit stabiler ist.T1O2 can be coated at a higher temperature than ZnS and has much higher physical strength. Furthermore, post-coating aging changes occur within a period of several days (one week if bonded immediately after coating) for ZnS, while T1O2 shows shorter aging changes and is thus more stable.
In der japanischen Zeitschrift Nikkei Sangyo Shinbun vom 22. September 1988 wurde jedoch auf Seite 3 von der Firma Osaka-shi Kogyo Kenkyusho dargelegt, daß TiO2 eine katalytische Wirkung für eine organische Substanz hat und daß diese bei Berührung mit TiC>2 zerfällt.However, in the Japanese magazine Nikkei Sangyo Shinbun of September 22, 1988, the company Osaka-shi Kogyo Kenkyusho stated on page 3 that TiO2 has a catalytic effect on an organic substance and that this substance decomposes when it comes into contact with TiO2.
Andereseits ist es bekannt, daß infolge der Porosität des durch Vakuumablagerung gebildeten Films leicht eine Feuchtigkeitsaufnahme, Oxidation und so weiter auftreten kann, wenn der Film aus dem Vakuum nach dem Aufdampfen in die Atmosphäre gebracht wird. Dadurch können sich die optischen Eigenschaften des Films ändern.On the other hand, it is known that due to the porosity of the film formed by vacuum deposition, moisture absorption, oxidation, etc. are likely to occur when the film is brought into the atmosphere from the vacuum after evaporation. This may cause the optical properties of the film to change.
Bei Berücksichtigung dieser Sachlage muß bei Verwendung von T1O2 als Filmschicht, die das Bindemittel berührt, damit gerechnet werden, daß das Bindemittel als organische Substanz in den porösen, durch Vakuum aufdampfen aufgebrachten Film eindringt und durch das T1O2 zerfällt.Taking this into account, when using T1O2 as a film layer that contacts the binder, it must be expected that the binder as an organic substance will penetrate into the porous film applied by vacuum vapor deposition and decompose due to the T1O2.
In Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung konnte eine Erscheinung festgestellt werden, die sich in einer starken Absorption von Licht innerhalb des sichtbaren Bereichs bis fast zum infraroten Bereich äußert und höchstwahrscheinlich auf die Reaktion zwischen einem Bindemittel und TiO2 bei Einsatz in einem verklebten Strahlenteiler zurückzuführen ist.In connection with the present invention, a phenomenon has been observed which manifests itself in a strong absorption of light within the visible range up to almost the infrared range and is most likely due to the reaction between a binder and TiO 2 when used in a bonded beam splitter.
Diese Absorption konnte mit einer Wellenlänge von 7 50 nm für verklebte Strahlenteiler der folgenden Ausführungen festgestellt werden.This absorption could be determined at a wavelength of 7 50 nm for bonded beam splitters of the following designs.
Die Materialien der verschiedenen Beispiele sind in ihrer Reihenfolge von der Lichteinfallsseite aus angegeben. Im einzelnen bezeichnen die Symbole folgende Bestandteile: The materials of the various examples are listed in order from the side of incidence of light. The symbols refer to the following components:
G: GlasprismaG: Glass prism
H,: Schicht mit hohem BrechungsindexH,: layer with high refractive index
H2: Schicht mit hohem BrechungsindexH 2 : layer with high refractive index
M: Schicht mit mittlerem BrechungsindexM: Layer with medium refractive index
L: Schicht mit kleinem BrechungsindexL: Layer with low refractive index
B: BindemittelschichtB: Binder layer
Bk7Bk7
TiO,TiO2,
Ta2O5 Ta 2 O 5
SiO,SiO2,
Brechungsindex 1,52 Brechungsindex 2,26 Brechungsindex 2,005 Brechungsindex 1,64 Brechungsindex 1,64Refractive index 1.52 Refractive index 2.26 Refractive index 2.005 Refractive index 1.64 Refractive index 1.64
In diesen Beispielen wird als Bindemittel B ein Expoximaterial verwendet, das durch Einwirkung ultravioletter Strahlen leicht aushärtet. Die Absorption vor dem Verkleben ist in jedem der vorstehend genannten Fälle 0 %. In den verschiedenen Materialien selbst wurde keine Absorption durch Einwirkung ultravioletter Strahlen festgestellt.In these examples, the binder B used is an epoxy material which hardens easily when exposed to ultraviolet rays. The absorption before bonding is 0% in each of the above cases. No absorption by exposure to ultraviolet rays was found in the various materials themselves.
Zunächst wurde die Absorption des Beispiels 1 geprüft, bei dem nur eine Bindemittelschicht zwischen Prismen vorgesehen ist. Obwohl diese Anordnung einen winzigen Absorptionsanteil im Bereich von 400 nm oder weniger zeigte, war sie bei einer Wellenlänge von 7 50 nm transparent (Absorption 0%).First, the absorption of Example 1, which has only a binder layer between prisms, was tested. Although this arrangement showed a tiny amount of absorption in the range of 400 nm or less, it was transparent at a wavelength of 750 nm (absorption 0%).
Die Anordnung (2) , bei der T1O2 und ein Bindemittel direkt miteinander in Berührung stehen, zeigte eine Absorption von 6,7 %.The arrangement (2) , in which T1O2 and a binder are in direct contact with each other, showed an absorption of 6.7%.
Die Anordnung (3), bei der Ta2Ü5 und ein Bindemittel kombiniert sind zeigte eine Absorption von 0 %.The arrangement (3), in which Ta2O5 and a binder are combined, showed an absorption of 0%.
Die Anordnung (4) hatte eine Absorption von 6,5 % und stimmt daher praktisch mit der Anordnung (2) überein.Arrangement (4) had an absorption of 6.5% and therefore practically agrees with arrangement (2).
Die Anordnung (5) , bei der das Ta2Ü5 der Anordnung (4) durch T1O2 ersetzt ist, zeigte eine Absorption von 5,0%.The arrangement (5) , in which the Ta2O5 of the arrangement (4) is replaced by T1O2, showed an absorption of 5.0%.
Die Anordnung (6) , bei der ein Bindemittel und T1O2 mit einer Zwischenschicht aus Ta2U5 ähnlich wie bei der Anordnung (5) vorgesehen sind, zeigte eine Absorption von 6,0 %.The arrangement (6) , which includes a binder and T1O2 with an intermediate layer of Ta2U5 similar to arrangement (5) , showed an absorption of 6.0 %.
Das Auftreten einer Absorption durch Reaktion zwischen dem Bindemittel und T1O2 wurde also durch die vorstehend beschriebenen Anordnungen (2) und (4) bestätigt. Da eine Absorption bei den Anordnungen (5) und (&bgr;), jedoch nicht bei der Anordnung (3) auftrat, war anzunehmen, daß das Bindemittel in die Schicht aus Ta2Ü5 eingedrungen war und die Schicht aus T1O2 erreicht hatte.The occurrence of absorption by reaction between the binder and T1O2 was thus confirmed by the arrangements (2) and (4) described above. Since absorption occurred in arrangements (5) and (β), but not in arrangement (3), it was assumed that the binder had penetrated into the Ta2O5 layer and reached the T1O2 layer.
Man kann ein Verhältnis nA/nv aus dem Brechungsindex nv bei Vakuum und dem Brechungsindex nA in der Atmosphäre als Referenz für die Packungsdichte eines aufgedampten Films bilden. Dieses Verhältnis ist für T1O2 1,057, für Ta2Ü5 1,042 und S1O2 1, 019, während es für AI2O3 1,005 ist. Deshalb hat AI2O3 eine kleinere Änderung des Brechungsindex als andere Materialien, und AI2O3 hat eine gegenüber diesen anderen Materialien hohe Dichte.One can form a ratio nA/nv from the refractive index nv in vacuum and the refractive index nA in the atmosphere as a reference for the packing density of a vapor-deposited film. This ratio is 1.057 for T1O2, 1.042 for Ta2O5 and 1.019 for S1O2, while it is 1.005 for Al2O3. Therefore, Al2O3 has a smaller change in refractive index than other materials, and Al2O3 has a high density compared to these other materials.
Aus den Ergebnissen der Anordnungen (5) und (6) kann man entnehmen, daß bei niedriger Dichte die Infiltration eines Bindemittels vergleichsweise leicht auftritt. Bei einer Schicht aus einem Material hoher Dichte wie beispielswiese AI2O3 und so weiter, die mit einem Bindemittel in Berührung steht, ist zu erwarten, daß die Möglichkeit des Eindringens des Bindemittels in einen Mehrschichtfilm geringer ist.From the results of arrangements (5) and (6), it can be seen that at low density, the infiltration of a binder occurs relatively easily. When a layer of a high density material such as Al2O3 and so on is in contact with a binder, it is expected that the possibility of penetration of the binder into a multilayer film is lower.
Die Erfindung zeichnet sich nun dadurch aus, daß bei einer Verbundstruktur eingangs genannter Art der Mehrschichtfilm zwischen einer ausgewählten Schicht und dem organischen Klebstoff mindestens eine Schicht aus einem Material hoher Dichte enthält.The invention is characterized in that, in a composite structure of the type mentioned above, the multilayer film contains at least one layer of a high-density material between a selected layer and the organic adhesive.
-A-A
Bei einer in dieser Art aufgebauten Verbundstruktur kann auch bei Verwendung von T1O2 für die ausgewählte Schicht verhindert werden, daß das Bindemittel in den Mehrschichtfilm eindringt. Dadurch wird die Lichtabsorption wesentlich verringert beziehungsweise vermieden.In a composite structure constructed in this way, even when T1O2 is used for the selected layer, the binder can be prevented from penetrating the multilayer film. This significantly reduces or even eliminates light absorption.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen weiter erläutert. Darin zeigen:The invention is explained further below with reference to the drawings, in which:
Fig. 1 den Querschnitt der BindungFig. 1 the cross section of the binding
eines verklebten Strahlenteilersa bonded beam splitter
Fig. 2 die Seitenansicht eines verklebFig. 2 the side view of a glued
ten Strahlenteilers mit einem Ausführungsbeispiel einer Verbundstruktur nach der Erfindungten beam splitter with an embodiment of a composite structure according to the invention
Fig. 3 eine graphische Darstellung derFig. 3 a graphical representation of the
spektralen Eigenschaften des Strahlenteilers nach Fig. 2 undspectral properties of the beam splitter according to Fig. 2 and
Fig. 4 die Seitenansicht eines SpiegelsFig. 4 the side view of a mirror
mit einem weiteren Ausführungsbeispiel einer Verbundstruktur nach der Erfindung.with a further embodiment of a composite structure according to the invention.
Die folgende Beschreibung nimmt Bezug auf einen Strahlenteiler, der an einem medizinischen Lichtleiter-Betrachtungsgerät befestigt ist, bei dem ein Lichtanteil abgezweigt und einem Okular zugeführt wird.The following description refers to a beam splitter attached to a medical fiber optic viewing device, where a portion of the light is branched off and fed to an eyepiece.
Wie die Figuren zeigen, besteht der Strahlenteiler 10 aus zwei Glasprismen 11 und 12, die jeweils ein gleichschenkeliges Dreieck als Grundfläche haben, aus Bk7 bestehen und miteinander durch ein Bindemittel 13 verbunden sind, so daß sich eine kubusartige Anordnung ergibt.As the figures show, the beam splitter 10 consists of two glass prisms 11 and 12, each of which has an isosceles triangle as its base, is made of Bk7 and is connected to one another by a binding agent 13, so that a cube-like arrangement is obtained.
Die Schrägfläche des Prismas 11 ist mit einem aufgedampften Mehrschichtfilm 14 versehen und teilt einen Lichtstrahl, der auf die in Fig. 2 linke Fläche auftrifft, entsprechend einem vorbestimmten Verhältnis. Der Mehrschichtfilm 14 besteht, wie Fig. 1 zeigt, aus sechs Schichten 14a bis 14f. Der spezielle Aufbau ist für zwei Beispiele in den folgenden Tabellen 1 und 2 angegeben, dabei ist das Verhältnis Rm/Tm=40%/60%. Die Größe Rm bezeichnet die mittlere Reflexionsfähigkeit für zwei polarisierte Lichtstrahlen, die Größe Tm die mittlere Durchlässigkeit für zwei polarisierte Lichtstrahlen. The inclined surface of the prism 11 is provided with a vapor-deposited multilayer film 14 and splits a light beam that strikes the left surface in Fig. 2 according to a predetermined ratio. The multilayer film 14 consists, as shown in Fig. 1, of six layers 14a to 14f. The specific structure is given for two examples in the following Tables 1 and 2, where the ratio Rm/Tm=40%/60%. The value Rm indicates the average reflectivity for two polarized light beams, the value Tm the average transmittance for two polarized light beams.
indexRefractive
index
dicke (nmMovie-
thickness (nm
fünfte Schicht i4e TiO.fifth layer i4e TiO.
2.262.26
64,1664.16
sechste Schicht I4fsixth layer I4f
1 ,641 ,64
102,95102.95
Bindeschicht 13Binding layer 13
Prisma 12Prism 12
Bk7Bk7
1,521.52
- .11 -- .11 -
Wenn die sechste Schicht 14f, die die Bindemittelschicht 13 berührt, aus AI2O3 besteht und somit eine Schicht hoher Dichte bildet, so zeigt diese Schicht den Effekt, daß sie das Eindringen des Bindemittels 13 in den Mehrschichtfilm 14 verhindert. Eine Absorption durch Reaktion zwischen dem Bindemittel 13 und der fünften Schicht aus T1O2 kann somit nicht auftreten. Dadurch wird die Absorptionsfähigkeit für einen Lichtstrahl mit einer Wellenlänge von 750 nm auf 0,31 % verringert.If the sixth layer 14f, which contacts the binder layer 13, is made of Al2O3 and thus forms a high-density layer, this layer has the effect of preventing the binder 13 from penetrating into the multilayer film 14. Absorption by reaction between the binder 13 and the fifth layer of T1O2 cannot therefore occur. As a result, the absorption capacity for a light beam with a wavelength of 750 nm is reduced to 0.31%.
Die Funktion des AI2O3 kann bestätigt werden, indem der Aufbau gemäß Tabelle 1 mit demjenigen der zuvor beschriebenen Anordnung (6) verglichen wird. Der Unterschied des Aufbaus dieser beiden Beispiele zeigt sich nur darin, daß die Schicht aus AI2O3, die mit dem Bindemittel nach Tabelle 1 in Berührung steht, bei der Anordnung (6) von dem Bindemittel einen Abstand hat. Die übrige Anordnung stimmt mit derjenigen nach der Tabelle überein.The function of the AI2O3 can be confirmed by comparing the structure according to Table 1 with that of the previously described arrangement (6). The difference in the structure of these two examples is only apparent in the fact that the layer of AI2O3 which is in contact with the binder according to Table 1 is at a distance from the binder in arrangement (6). The rest of the arrangement corresponds to that according to the table.
Fig. 3 zeigt die Eigenschaften eines verklebten Strahlenteilers mit dem vorbeschriebenen Aufbau. Dabei bezeichnen Tp, Ts und Tm jeweils eine Lichtdurchlässigkeit, während Rp, Rs und Rm eine Reflexionsfähigkeit bezeichnen. Der Index &rgr; gibt einen Wert bezüglich einer P-Polarisationskomponente an, der Index s gibt einen Wert bezüglich einer S-Polarisationskomponente an , und der Index m gibt einen Mittelwert dieser beiden Werte an. Die Absorptionsfähigkeit Am ist in der Figur gestrichelt dargestellt. Die Figur zeigt, daß die Absorptionsfähigkeit im gesamten Bereich der dargestellten Wellenlängen sehr gering ist.Fig. 3 shows the properties of a bonded beam splitter with the above-described structure. Tp, Ts and Tm each denote a light transmittance, while Rp, Rs and Rm denote a reflectance. The index ρ indicates a value relating to a P-polarization component, the index s indicates a value relating to an S-polarization component, and the index m indicates an average of these two values. The absorption capacity Am is shown in dashed lines in the figure. The figure shows that the absorption capacity is very low in the entire range of the wavelengths shown.
Die folgende Tabelle 2 zeigt den Aufbau eines weiteren Ausführungsbeispiels einer Schichtstruktur.The following Table 2 shows the structure of another embodiment of a layer structure.
indexRefractive
index
dicke (nmMovie
thickness (nm
Bei diesem Aufbau befindet sich T1O2 in der dritten Schicht, so daß es von dem Bindemittel 13 einen Abstand hat. Ferner sind zwischen der TiC^-Schicht und dem Bindemittel 13 zwei A^C^-Schichten vorgesehen. Dadurch ist die Möglichkeit der Reaktion zwischen T1O2 und dem Bindemittel verringert, verglichen mit dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel. Die Absorptionsfähigkeit ist 0,03 % für einen Lichtstrahl der Wellenlänge 750 nm.In this structure, T1O2 is in the third layer so that it is spaced from the binder 13. Furthermore, two A^C^ layers are provided between the TiC^ layer and the binder 13. As a result, the possibility of reaction between T1O2 and the binder is reduced compared to the previously described embodiment. The absorption capacity is 0.03% for a light beam of wavelength 750 nm.
Obwohl die Erfindung vorstehend für einen kubusförmigen Strahlenteiler mit zwei Glasprismen beschrieben wurde ist darauf nicht beschränkt, sondern sie kann in gleicher Weise auch auf Strahlenteiler angewendet werden, die aus drei oder mehr miteinander verklebten Prismen bestehen.Although the invention has been described above for a cube-shaped beam splitter with two glass prisms, it is not limited to this, but can also be applied in the same way to beam splitters consisting of three or more prisms glued together.
Wie zuvor beschrieben, kann ein Bindemittel an seinem Einringen in einen Mehrschichtfilm gehindert werden, wodurch sich beschichtete Produkte mit nur geringer Alterungsänderung nach dem Verkleben herstellen lassen. Entsprechend können die vor dem Verkleben festgestellten optischen Eigenschaften nach dem Verkleben beibehalten werden. Da ein Beschichtungsmaterial vor dem Verkleben ausgewertet werden kann, wirkt sich die Erfindung auf die Herstellung der optischen Elemente sehr vorteilhaft aus.As described above, a binder can be prevented from penetrating into a multilayer film, thereby allowing coated products to be produced with little aging change after bonding. Accordingly, the optical properties determined before bonding can be maintained after bonding. Since a coating material can be evaluated before bonding, the invention has a very advantageous effect on the production of optical elements.
Da ferner hinsichtlich der Alterung stabile Produkte erhalten werden, ermöglicht die Erfindung die Herstellung eines Strahlenteilers sehr hoher Genauigkeit, wie er für optische Aufnahmevorrichtungen in photoJ Furthermore, since products are obtained that are stable with respect to aging, the invention enables the manufacture of a beam splitter of very high precision, as is required for optical recording devices in photo J
elektromagnetischen Wiedergabegeräten erforderlich ist, bei denen es erforderlich ist, nicht nur die Durchlässigkeit und Reflexionsfähigkeit mit vorgegebenen Werten zu erzielen, sondern auch den Phasenunterschied zwischen Polarisationskomponenten zu begrenzen.electromagnetic reproduction devices where it is necessary not only to achieve transmittance and reflectivity with specified values, but also to limit the phase difference between polarization components.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Verbundstruktur nach der Erfindung, die bei einem Schnellspringspiegel einer einäugigen Spiegelreflexkamera angewendet ist.Fig. 4 shows another embodiment of a composite structure according to the invention, which is applied to a quick-release mirror of a single-lens reflex camera.
Dieser Spiegel hat ein Substrat 20, auf dem ein Mehrschichtfilm 21 angeordnet ist. Der Mehrschichtfilm 21 kann beispielsweise vorgesehen sein, um einen hohen Reflexionsgrad zu erzielen.This mirror has a substrate 20 on which a multilayer film 21 is arranged. The multilayer film 21 can, for example, be provided to achieve a high degree of reflection.
Eine Schutzschicht 22 wird auf diesen Spiegel aufgeklebt, wenn er in einer Kamera montiert wird, um Schaden an dem Mehrschichtfilm zu verhindern. Die Schutzschicht 22 ist an dem Mehrschichtfilm 21 mit einem Bindemittel 23 befestigt, das auf die Rückseite der Schutzschicht 22 aufgebracht ist und abgezogen wird, nachdem der Spiegel in der Kamera montiert ist.A protective layer 22 is glued to this mirror when it is mounted in a camera to prevent damage to the multilayer film. The protective layer 22 is attached to the multilayer film 21 with a bonding agent 23 which is applied to the back of the protective layer 22 and is peeled off after the mirror is mounted in the camera.
Wenn der Mehrschichtfilm den Aufbau der zuvor beschriebenen Anordnungen (4) , (5) und (6) hat, wobei sich kein Material hoher Dichte zwischen der TiC>2-Schicht und der Bindemittelschicht befindet, so kann ein aus einer organischen Substanz bestehendes Bindemittel in den Film eindringen und mit ihm reagieren, wodurch es sehr schwierig wird, die Schutzschicht 22 nach dem Montieren des Spiegels in der Kamera abzuziehen.If the multilayer film has the structure of the previously described arrangements (4), (5) and (6) with no high density material between the TiO2 layer and the binder layer, a binder consisting of an organic substance may penetrate into the film and react with it, thereby making it very difficult to peel off the protective layer 22 after mounting the mirror in the camera.
Durch mindestens eine Schicht mit hoher Dichte, beispielsweise eine Schicht aus AI2O3 und so weiter, zwischen der TiO2~Schicht und dem Bindemittel wird verhindert, daß das Bindemittel in den Mehrschichtfilm eindringt. Daher kann die Schutzschicht 22 von dem Mehrschichtfilm 21 nach Montage des Spiegels in der Kamera leicht abgezogen werden.By providing at least one high density layer, such as a layer of Al2O3 and so on, between the TiO2 layer and the binder, the binder is prevented from penetrating into the multilayer film. Therefore, the protective layer 22 can be easily peeled off from the multilayer film 21 after mounting the mirror in the camera.
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